[go: up one dir, main page]

KR20190019907A - 자유-플로팅 방법을 사용한 대규모 이송을 위한 그래핀 시트 취급 방법 - Google Patents

자유-플로팅 방법을 사용한 대규모 이송을 위한 그래핀 시트 취급 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20190019907A
KR20190019907A KR1020187030506A KR20187030506A KR20190019907A KR 20190019907 A KR20190019907 A KR 20190019907A KR 1020187030506 A KR1020187030506 A KR 1020187030506A KR 20187030506 A KR20187030506 A KR 20187030506A KR 20190019907 A KR20190019907 A KR 20190019907A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
graphene sheet
ions
substrate
floating
prepared
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
KR1020187030506A
Other languages
English (en)
Inventor
스코트 이. 헤이세
피터 브이. 베드월쓰
스티븐 더블유. 신톤
제이콥 엘. 스웨트
Original Assignee
록히드 마틴 코포레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=60038774&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=KR20190019907(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by 록히드 마틴 코포레이션 filed Critical 록히드 마틴 코포레이션
Publication of KR20190019907A publication Critical patent/KR20190019907A/ko
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26—Deposition of carbon only
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
    • C01B32/15—Nano-sized carbon materials
    • C01B32/182—Graphene
    • C01B32/194—After-treatment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/01—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes on temporary substrates, e.g. substrates subsequently removed by etching
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/56—After-treatment
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/10—Etching compositions
    • C23F1/14—Aqueous compositions
    • C23F1/16—Acidic compositions
    • C23F1/18—Acidic compositions for etching copper or alloys thereof

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

구리 기판으로부터 기능성 기판으로 그래핀 시트를 이송하는 방법은 화학 기상 피착을 이용하여 구리 기판 상에 그래핀 시트를 형성하고, 준비된 그래핀 시트를 형성하기 위해 넓은 빔 조사를 사용하여 복수의 크세논 이온으로 구리 기판 상에 배치된 그래핀 시트를 조사하는 것을 포함한다. 준비된 그래핀 시트는 준비된 그래핀 시트를 기능성 기판에 이송하는 동안 유도된 의도하지 않은 결함을 형성하는 것에 저항성이 있다. 방법은 준비된 그래핀 시트로부터 구리 기판을 에찬트 배스를 사용하여 제거하고, 준비된 그래핀 시트를 플로팅 배스 내에 플로팅시키고, 플로팅 배스 내에 기능성 기판을 담그고, 플로팅 배스의 유제 표면을 감소시켜 준비된 그래핀 시트를 기능성 기판 상에 하강시키는 것을 더 포함한다.

Description

자유-플로팅 방법을 사용한 대규모 이송을 위한 그래핀 시트 취급 방법
관련 특허 출원에 대한 상호 참조
본 출원은 본원에 전체가 참고로 인용된 "METHOD FOR TREATING GRAPHENE SHEETS FOR LARGE-SCALE TRANSFER USING FREE-FLOAT METHOD" 명칭의 2016년 4월 14일자로 출원된 계류중인 미국 특허 출원 15/099,464에 관련된다.
그래핀은 탄소 원자가 단일의 원자적으로 얇은 시트 또는 6-멤버 격자 링의 수 개의 층상(layered) 시트(예를 들어, 약 20개 이하) 내에 거주하는 탄소의 형태를 나타낸다. 고 품질의 대규모 그래핀 시트(즉, 1cm2 이상)를 제조하는 하나의 공지된 방법은 화학 기상 피착(CVD)이다. CVD 동안, 성장 기판은 성장 기판의 표면 상에 탄소막을 피착하도록 반응하는 하나 이상의 가스 반응물에 노출되어 그래핀 시트를 생성한다. 성장 후, 그래핀 시트는 그래핀 시트의 의도된 응용에 적합한 기능성 기판으로 이송되어야 한다. 그래핀 시트를 원하는 기판에 옮기기 위해서는 그래핀 시트를 성장 기판에서 분리해야 하는데, 이는 특히 손상 위험이 더 큰 대규모 이송에서, 그래핀 시트의 티어링, 크랙, 또는 이외 다른 실질적 결함을 초래할 수 있다. 일반적으로, 성장 기판으로부터 그래핀 시트의 이송을 용이하게 하기 위해 2가지 방법으로서 지지 이송 방법 및 자유-플로팅 이송 방법이 사용될 수 있다.
지지 이송 방법은 전형적으로 폴리(메틸 메타크릴레이트)(PMMA) 또는 이외 다른 유사한 폴리머와 같은 지지 폴리머의 사용을 수반한다. 이 방법에서, 그래핀은 PMMA로 코팅되고 이어 하지의 성장 기판이 에칭된다. PMMA-그래핀 복합물은 기능성 기판에 이송되어 실장된다. 일단 실장되면, 복합물은 PMMA를 제거하기 위해 솔벤트로 세척된다. 이 방법은 이송 중에 그래핀에 물리적 지지를 제공하기 때문에, 그래핀 시트의 대규모 이송이 가능해지게 한다. 그러나, 폴리머의 사용은 그래핀 시트의 표면 상에 오염물 또는 잔류물을 남긴다. 오염물 또는 잔류물이 소량으로 존재하도록 PMMA를 제거하는 것이 가능하지만, 그럼에도 불구하고 소량이라도 시트의 품질에 영향을 미칠 수 있다. 그러나, 품질에 이러한 영향은 어떤 응용에선 중요할 수 있다. 예를 들어, 오염물 또는 잔류물은 그래핀 시트를 확실하게 천공하는 능력에 영향을 미칠 수 있다. 또한, 폴리머를 제거하기 위해 필요한 솔벤트는 사용될 수 있는 기능성 기판의 유형을 제한할 수 있다. 예를 들어, PMMA를 제거할 때, 일반적으로 아세톤이 사용된다. 그러나, 이 솔벤트의 사용은 트랙-에칭된 폴리카보네이트를 기능성 기판으로서 사용하지 못하게 할 수 있다.
자유-플로팅 이송 방법은 일반적으로 용액 내에 그래핀을 플로팅할 것을 요구한다. 이 방법 동안에, 그래핀-성장 기판 복합물은 먼저 성장 기판을 에칭하는 에전트를 함유하는 에칭 용액 내에 플로팅되어, 자유-플로팅 그래핀 시트를 생성한다. 이어 에칭 용액은 씻어내고 물-기반의 용액으로 바꾸어 그래핀이 원하는 기판 위에 플로팅될 수 있게 한다. 자유-플로팅 이송 방법은 그래핀 시트를 코팅하기 위한 2차 폴리머 물질의 사용을 수반하지 않으므로, 자유-플로팅 이송 방법은 그래핀 시트 상에 오염물을 도입하거나 잔류물을 남길 위험이 적기 때문에, 지지 이송 방법보다 바람직하다. 그러나, 이 방법을 사용한 그래핀 시트의 대규모 이송은 이송 방법의 지지되지 않는 특성에 기인하여 시트가 티어링 되거나 아니면 손상될 위험이 더 높기 때문에 어렵다.
일부 실시예에 따라, 그래핀 시트를 구리 기판에서 기능성 기판으로 이송하는 방법은, 화학 기상 피착을 이용하여 구리 기판 상에 그래핀 시트를 형성하는 단계, 및 준비된 그래핀 시트를 형성하기 위하여 넓은 광 조사를 사용하여 복수의 크세논 이온들을 구리 기판 상에 형성된 그래핀 시트에 조사하는 단계를 포함할 수 있다. 준비된 그래핀 시트는 기능성 기판에 준비된 그래핀 시트의 이송 동안 유발되는 의도하지 않은 결함들을 형성하는 것에 저항성이 있을 수 있다. 방법은 에찬트 배스를 이용하여 준비된 그래핀 시트로부터 구리 기판을 제거하는 단계, 준비된 그래핀 시트를 플로팅 배스에 플로팅시키는 단계; 플로팅 배스에 기능성 기판을 담그는 단계, 및 플로팅 배스의 유체 레벨을 감소시켜 준비된 그래핀 시트를 기능성 기판 상에 하강시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예에 따라, 그래핀 시트는 1㎠ 이상의 면적을 포함할 수 있다.
일부 실시예에 따라, 넓은 빔 조사는 시준될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 복수의 크세논 이온들은 약 100V 내지 약 1500V 범위의 전압으로 인가될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 복수의 크세논 이온들은 약 250V 내지 약 750V 범위의 전압으로 인가될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 복수의 크세논 이온들은 약 500V의 전압으로 인가될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 방법은 구리 기판 상에 형성된 그래핀 시트를 약 50℃ 내지 약 100℃ 범위의 온도로 가열하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예에 따라, 방법은 구리 기판 상에 배치된 그래핀 시트를 약 80℃의 온도로 가열하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예에 따라, 복수의 크세논 이온들은 약 6.24 x 1011 Xe+/cm2/s 내지 약 6.24 x 1014 Xe+/cm2/s의 플럭스로 제공될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 복수의 크세논 이온들은 약 6.24 x 1012 Xe+/cm2/s 내지 약 6.24 x 1013 Xe+/cm2/s의 플럭스로 제공될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 복수의 크세논 이온들은 약 3.75 x 1013 Xe+/cm2/s의 플럭스로 제공될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 구리 기판 상에 형성된 그래핀 시트는 약 6.24 x 1012 Xe+/cm2 내지 약 2.5 x 1013 Xe+/cm2의 총 플루언스가 되도록 하는 접촉 시간 동안 복수의 크세논 이온들로 조사될 수 있다.
구리 기판 상에 형성된 그래핀 시트는 약 1.25 x 101 3Xe+/cm2의 총 플루언스가 되도록 하는 접촉 시간 동안 복수의 크세논 이온들로 조사될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 그래핀 시트를 구리 기판으로부터 기능성 기판으로 이송하는 방법은 화학 기상 피착을 이용하여 구리 기판 상에 그래핀 시트를 형성하는 단계, 및 준비된 그래핀 시트를 형성하기 위하여 넓은 광 조사를 사용하여 복수의 네온 이온들을 구리 기판 상에 형성된 그래핀 시트에 조사하는 단계를 포함할 수 있다. 준비된 그래핀 시트는 기능성 기판에 준비된 그래핀 시트의 이송 동안 유발되는 의도하지 않은 결함들을 형성하는 것에 저항성이 있을 수 있다. 방법은 에찬트 배스를 이용하여 준비된 그래핀 시트로부터 구리 기판을 제거하는 단계, 준비된 그래핀 시트를 플로팅 배스에 플로팅시키는 단계, 플로팅 배스에 기능성 기판을 담그는 단계, 및 플로팅 배스의 유체 레벨을 감소시켜 준비된 그래핀 시트를 기능성 기판 상에 하강시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예에 따라, 방법은 구리 기판 상에 형성된 그래핀 시트를 약 50℃ 내지 약 100℃의 온도로 가열하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예에 따라, 구리 기판 상에 형성된 그래핀 시트는 약 6.24 x 1012 ions/cm2 내지 약 7.5 x 1013 ions/cm2의 총 플루언스가 되도록 하는 접촉 시간 동안 복수의 네온 이온들로 조사될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 구리 기판 상에 형성된 그래핀 시트는 최대 2 x 1014 ions/cm2의 총 플루언스가 되도록 하는 접촉 시간 동안 복수의 네온 이온들로 조사될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 성장 기판으로부터 기능성 기판으로 그래핀 시트를 이송하는 방법은 성장 기판 상에 그래핀 시트를 형성하는 단계, 및 준비된 그래핀 시트를 형성하기 위하여 복수의 이온들을 성장 기판 상에 형성된 그래핀 시트에 조사하는 단계를 포함할 수 있다. 준비된 그래핀 시트는 기능성 기판에 준비된 그래핀 시트의 이송 동안 유발되는 의도하지 않은 결함들을 형성하는 것에 저항성이 있을 수 있다. 방법은 에찬트 배스를 이용하여 준비된 그래핀 시트로부터 구리 기판을 제거하는 단계, 준비된 그래핀 시트를 플로팅 배스에 플로팅시키는 단계, 플로팅 배스에 기능성 기판을 담그는 단계, 및 플로팅 배스의 유체 레벨을 감소시켜 준비된 그래핀 시트를 기능성 기판 상에 하강시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예에 따라, 그래핀 시트는 1㎠ 이상의 면적을 포함할 수 있다.
일부 실시예에 따라, 성장 기판은 구리 기판일 수 있다.
일부 실시예에 따라, 성장 기판은 니켈 기판일 수 있다.
일부 실시예에 따라, 그래핀 시트는 화학 기상 피착을 사용하여 구리 기판 상에 형성될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 그래핀 시트는 화학 기상 피착을 이용하여 니켈 기판 상에 형성될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 복수의 이온들은 희가스 이온들을 포함할 수 있다.
일부 실시예에 따라, 희가스 이온들은 크세논 이온들을 포함할 수 있다.
일부 실시예에 따라, 희가스 이온들은 네온 이온들을 포함할 수 있다.
일부 실시예에 따라, 희가스 이온들은 아르곤 이온들을 포함할 수 있다.
일부 실시예에 따라, 복수의 이온들은 넓은 빔 조사를 사용하여 성장 기판 상에 형성된 그래핀 시트에 인가될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 넓은 빔 조사는 시준될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 복수의 이온들은 성장 기판 상에 형성된 그래핀 시트에 약 100V 내지 약 1500V의 전압으로 인가될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 복수의 이온들은 약 1 nA/mm2 내지 약 1000 nA/mm2의 플럭스로 인가될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 복수의 이온들은 약 10 nA/mm2 내지 약 100 nA/mm2의 플럭스로 인가될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 복수의 이온들은 약 40 nA/mm2 내지 약 80 nA/mm2의 플럭스로 인가될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 복수의 이온들은 약 60 nA/mm2의 플럭스로 인가될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 성장 기판 상에 형성된 그래핀 시트는 약 10 nAs/mm2 내지 약 120 nAs/mm2의 총 플루언스가 되게 하는 접촉 시간 동안 복수의 이온들로 조사될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 성장 기판 상에 형성된 그래핀 시트는 약 10 nAs/mm2 내지 약 40 nAs/mm2의 총 플루언스가 되게 하는 접촉 시간 동안 복수의 이온들로 조사될 수 있다.
일부 실시예에 따라, 성장 기판 상에 형성된 그래핀 시트는 약 20 nAs/mm2의 총 플루언스가 되게 하는 접촉 시간 동안 복수의 이온들로 조사될 수 있다.
도 1a는 본 발명의 실시예에 따른 그래핀 시트의 형성에서 사용되는 성장 기판의 개략적인 사시도이다.
도 1b는 도 1a의 성장 기판 상에 형성된 그래핀 시트의 개략적인 사시도이다.
도 2는 자유-플로팅 이송을 위해 도 1b의 그래핀 시트를 준비하기 위한 이송 준비 장치의 개략도이다.
도 3a는 자유-플로팅 이송 방법을 사용하여 도 2의 준비된 그래핀 시트로부터 성장 기판의 에칭 단계의 개략적인 사시도이다.
도 3b는 자유-플로팅 이송 방법을 사용하여 기능성 기판에 도 2의 준비된 그래핀 시트의 이송 단계의 개략적인 사시도이다.
도 4는 성장 기판을 제거한 후 도 2의 이송 준비 장치를 사용하여 준비된 대규모 그래핀 시트를 도시한다.
도 5는 자유-플로팅 이송 방법을 사용하여 기능성 기판으로 이송한 후 도 4의 대규모 그래핀 시트를 도시한다.
도 6은 자유-플로팅 이송 방법을 사용하여 기능성 기판에 이송된 그래핀 시트의 주사 전자 현미경(SEM)의 마이크로그래프이다.
도 7은 도 6의 SEM 마이크로그래프의 상세도이다.
일부 실시예는 성장 기판이 제거되기 전에 성장 기판 상에 성장된 그래핀 시트 및 자유-플로팅 이송 방법을 사용하여 기능성 기판에 이송된 그래핀 시트를 처리하기 위한 시스템 및 방법을 제공한다. 처리는 자유-플로팅 이송 방법 동안 시트를 기능성 기판에 이송할 때 감소된 실패 위험을 갖고(예를 들어, 티어링, 크랙, 또는 다른 바람하지 못한 결함을 형성할 위험이 거의 없이) 성장 기판으로부터 이송될 수 있는, 의도하지 않은 결함을 거의 갖지 않는 프리스틴(예를 들어, 실질적으로 잔류/오염물이 없는) 그래핀 시트를 제공한다. 일부 실시예에서, 그래핀 시트는 성장 기판 상에 배치되는 동안 그래핀 시트에 에너지의 인가를 통해, 수정되어 이에 따라 이송을 위해 준비된다. 에너지 인가는 그래핀 시트가 성장 기판 상에 배치되는 동안 신뢰성 있는 대규모 이송을 위해 준비되도록 이온(예를 들면, 18족 원소 이온)으로 그래핀 시트를 조사하도록 구성된 넓은 빔 이온 소스의 형태일 수 있다. 따라서, 본원에 기술된 시스템 및 방법들 중 일부는 그래핀 시트를 기능성 기판에 이송하는 것을 보조하기 위해 2차 코팅 물질(예, 폴리머)의 필요성을 제거하며, 이에 따라 2차 코팅 물질의 사용에 의해 도입되는 오염물을 통한 그래핀 시트의 품질을 저하시키는 위험을 제거한다. 따라서, 일부 실시예의 이송 제조 방법은 자유-플로팅 이송 방법을 사용하여 대규모(즉, 1cm2 이상)의 고품질 그래핀 시트를 신뢰성있게 이송할 수 있게 한다.
도 1a 및 도 1b는 일부 실시예에 따라 성장 기판 상에 대규모 그래핀 또는 그래핀-기반 시트를 성장시키는 방법을 도시한다. 도 1a는 그래핀 시트의 제조에서 사용을 위해 성장 기판(10)을 준비하는 제1 단계를 도시한다. 성장 기판(10)은 그래핀의 제조에 적합한 임의의 성장 기판일 수 있다. 예를 들어, 일부 실시예에서, 성장 기판(10)은 구리 또는 니켈과 같은 금속 촉매이다. 도 1a에 도시된 바와 같이, 성장 기판(10)은 표면을 솔벤트로 세정하고, 기판(10)을 고온에서 어닐링함으로써 준비된 구리 기판이다.
성장 기판(10)의 제조 후에, 그래핀이 성장 기판(10)의 상측 및 바닥 표면 둘 다에서 성장되는데, 이는 그래핀이 형성될 때까지 성장 기판(10)을 가스 반응물에 노출시킴으로써 화학 기상 피착(CVD)을 통해 달성될 수 있다. CVD 프로세스는 성장 기판(10)의 바닥 표면과 성장 기판(10)의 상측 표면 둘 다에서 그래핀 시트가 합성되게 한다. 도 1b에 도시된 바와 같이, 바닥 표면 상에 합성된 그래핀 시트는 제거되고, 상측 표면 상에 합성된 그래핀 시트(10)는 기능성 기판에 이송을 위해 이용된다. 성장 후에, 그래핀 시트(10)는 이의 표면 상에 탄소질 물질을 가질 수 있는데 이는, 일부 경우에, 구리 기판 상에 그래핀 시트(10)의 성장의 결과일 수 있다. 탄소질 물질은 비정질 탄소, 하나 이상의 탄화수소, 산소-함유 탄소 화합물, 질소-함유 탄소 화합물, 또는 이들의 조합과 같은 물질일 수 있다. 도 1b에 도시된 실시예에서, 그래핀 시트(10)는 적어도 1 cm2 이상의 평면 방향에서 단면적을 갖는 대규모 시트이다.
일단 그래핀 시트(20)가 성장 기판(10)의 상측 표면 상에 피착되었으면, 그래핀 시트(20)는 원하는 응용을 위해 기판으로 이송될 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 그래핀 시트(20)가 성장 기판(10)으로부터 제거되기 전에, 이송 준비 장치(100)를 사용하여 이송을 위해 그래핀 시트(20)가 준비된다. 이송 준비 장치(100)는 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(10) 구조에 에너지를 부여하게 구성된다. 예를 들어, 이송 준비 장치(100)는 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(10)에 이온 조사를 부여하도록 구성될 수 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 이송 준비 장치(100)는 그래핀 시트(20)에 복수의 이온(50)을 공급하게 구성된 이온 소스일 수 있다.
어떤 실시예에서, 이송 준비 장치(100)는 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(10)에 넓은 빔 이온 조사를 제공하도록 구성될 수 있다. 넓은 빔 이온 소스는 시준 또는 실질적으로 시준(예를 들어, 법선으로부터 5도)될 수 있다. 복수의 이온(50)은 단독으로 또는 다중으로 차징된 이온들을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 복수의 이온(50)은 주기율표의 18족으로부터의 원소의 이온과 같은 희가스 이온일 수 있다. 일부 실시예에서, 복수의 이온(50)은 유기 이온 또는 유기금속 이온일 수 있다. 유기 또는 유기금속 이온은 방향족 성분을 가질 수 있다. 또한, 유기 또는 유기금속 이온의 분자 질량은 75 내지 200 또는 90 내지 200의 범위일 수 있다. 일부 실시예에서, 복수의 이온(50)은 Ne+ 이온, Ar+ 이온, 트로필륨 이온, 및/또는 페로세늄 이온을 포함할 수 있다. 어떤 실시예에서, 복수의 이온(50)은 Xe+ 이온을 포함한다.
이온 소스는 약 100V 내지 약 1500V의 범위의 전압에서 복수의 이온(50)을 공급하도록 구성될 수 있다. 일부 실시예에서, 복수의 이온(50)은 약 250V 내지 약 750V의 범위의 전압에서 인가될 수 있다. 어떤 실시예에서, 복수의 이온(50)(예를 들어, Xe+ 이온)은 약 500V의 전압에서 인가될 수 있다.
이송 준비 프로세스 동안, 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(30)은 약 50℃ 내지 약 100℃ 범위의 온도까지 가열될 수 있다. 일부 실시예에서, 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(30)은 약 80℃의 온도까지 가열될 수 있다. 다른 실시예에서, 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(30)은 실온에서 유지될 수 있다. 또한, 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(30)은 5x10-7 Torr 미만의 압력에 노출될 수 있다. 일부 실시예에서, 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(30)은 1x10-7 Torr 내지 5x10-6 Torr 범위의 압력에 노출될 수 있다. 일부 실시예에서,이 프로세스는 수 시간 이상 또는 하룻밤 행해지도록 설정될 수 있다.
이온 소스는 약 1 nA/mm2(6.24 x 1011 ions/cm2/s) 내지 약 1000 nA/mm2(6.24 x 1014 ions/cm2/s)의 플럭스에서 복수의 이온(50)을 제공하도록 구성될 수 있다. 일부 실시예에서, 복수의 이온(50)은 약 10 nA/mm2(6.24 x 1012 ions/cm2/s) 내지 약 100 nA/mm2(6.24 x 1013 ions/cm2/s)의 플럭스로 제공된다. 어떤 실시예에서, 복수의 이온(50)은 약 40 nA/mm2(2.5 x 1013 ions/cm2/s) 내지 약 80 nA/mm2(5.0 x 1013 ions/cm2/s)의 플럭스로 제공된다. 어떤 실시예에서, 복수의 이온(50)은 약 60 nA/mm2(3.75 x 1013 ions/cm2/s)의 플럭스로 제공된다. 복수의 이온(50)이 Xe+ 이온을 포함하는 실시예에서, 복수의 이온(50)은 약 6.24 x 1011 Xe+/cm2/s 내지 약 6.24 x 1014 Xe+/cm2/s의 플럭스로 제공될 수 있다. 다른 실시예에서, 복수의 이온(50)은 약 6.24 x 1012 Xe+/cm2/s 내지 약 6.24 x 1013 Xe+/cm2/s의 플럭스에서 제공된 Xe+ 이온을 포함한다. 다른 실시예에서, 복수의 이온(50)은 약 3.75 x 1013 Xe+/cm2/s의 플럭스에서 제공된 Xe+ 이온을 포함한다.
그래핀 시트(20) 및 성장 기판(30)은 10 nAs/mm2(6.24 x 1012 ions/cm2) 내지 약 40 nAs/mm2(2.5 x 1013 ions/cm2)의 총 플루언스가 되게 하는 접촉 시간 동안 이온 소스에 노출될 수 있다. 어떤 실시예에서, 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(30)은 총 플루언스가 20 nAs/mm2(1.25 x 1013 ions/cm2)가 되도록 1초 미만 동안 노출된다. 복수의 이온이 Xe+ 이온을 포함하는 실시예에서, 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(30)은 약 10 nAs/mm2 내지 약 40 nAs/mm2(또는 약 6.24 x 1012 Xe+/cm2 내지 약 2.5 x 1013 Xe+/cm2)의 총 플루언스가 되게 하는 접촉 시간 동안 노출될 수 있다. 복수의 이온(50)이 Xe+ 이온을 포함하는 어떤 실시예에서, 총 노출 시간은 약 1.25 x 1013 Xe+/cm2의 총 플루언스가 되게 한다. 이송 준비 프로세스를 위한 총 플루언스의 상한은 복수의 이온(50)의 원자 수가 감소함에 따라 증가할 수 있다. 일부 실시예에서, 총 플루언스의 상한은 약 120nAs/mm2일 수 있다. 다른 실시예에서, 총 플루언스의 상한은 약 500 nAs/mm2일 수 있다. 일부 실시예에서, 총 플루언스의 상한은 약 1000nAs/mm2일 수 있다. 예를 들어, 복수의 이온이 Ne+ 이온을 포함하는 실시예에서, 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(30)은 약 10 nAs/mm2(6.24 x 1012 ions/cm2) 내지 약 120nAs/mm2(7.5 x 1013 ions/cm2/s)의 총 플루언스가 되게 하는 접촉 시간 동안 노출될 수 있다. 일부 실시예에서, 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(30)은 약 10 nAs/mm2 내지 약 500 nAs/mm2의 총 플루언스가 되게 하는 접촉 시간 동안 복수의 네온 이온에 노출될 수 있다. 다른 실시예에서, 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(30)은 약 10 nAs/mm2 내지 약 1000 nAs/mm2의 총 플루언스가 되게 하는 접촉 시간 동안 복수의 네온 이온에 노출될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(30)은 최대 2 x 1014 ions/cm2의 총 플루언스가 되게 하는 접촉 시간 동안 복수의 네온 이온에 노출될 수 있다.
위에서 처리 후, 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(30)은 기능성 기판에 그래핀 시트(20) 이송 전에 프로세스에서 최종 단계로서 약 1 atm의 N2에 노출될 수 있다. 제조 프로세스의 결과는, 사실상, 자유-플로팅 이송 프로세스 동안 그래핀 시트(20)에 의도하지 않은 결함 (티어링, 크랙, 링클, 의도하지 않게 생성된 세공)을 형성하거나 유발하는 것에 저항이 있으면서 비-지지 자유-플로팅 이송 방법을 사용하여 기능성 기판에 신뢰성 있게 이송될 수 있는 "강화된" 그래핀 시트(20)이다. 따라서, 처리는 기능성 기판 상에 고 커버리지 영역(예를 들어, 기능성 기판의 99% 이상이 그래핀 시트에 의해 덮여 있음) 및 다른 처리 프로세스(예를 들면, 천공 프로세스)의 효과적인 사용을 위한 청정한 표면을 제공할 수 있는 강화된 그래핀 시트(20)을 제공한다. 이송하기 위해 그래핀 시트(20)를 준비 또는 강화하는 메카니즘에 대한 임의의 특정한 이론에 제한되지는 않지만, 강화는 탄소질 물질의 존재 및 그래핀 시트(20)와 구리 성장 기판(10) 계면 사이의 상호작용에 의해 용이해 질 수 있다. 이온 빔 조사는 구리 기판(10) 상에 있는 동안 그래핀 시트(20)을 그래핀 시트(20)의 표면에 및/또는 표면 상에 존재하는 탄소 원자의 스퍼터링에 기인하여 프리스틴 층으로 재형성하기 위해 탄소질 물질에 충분한 에너지를 제공할 수 있다.
일단 그래핀 시트(20)가 이송 준비 장치(100)를 사용하여 제조되었으면, 그래핀 시트(20)와 성장 기판(10)의 복합물은, 도 3a에 도시된 바와 같이, 에찬트 배스(30) 내에 놓여진다. 에찬트 배스(30)는 청정한 그래핀 시트(20)가 남도록 성장 기판(10)이 에칭될 수 있게 한다. 에찬트 배스(30)는 그래핀 시트(20)로부터 성장 기판(10)을 에칭할 수 있는 임의의 적절한 에찬트일 수 있다. 예를 들어, 구리-기반 성장 기판에 대해, 에찬트 배스(30)는 염화철, 질산 철 및/또는 과황산 암모늄을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 그래핀 시트(20) 및 성장 기판(10) 복합물은 그래핀 시트(20)로부터 성장 기판(10)의 완전한 에칭을 더 보조하기 위해 동일하거나 상이한 에찬트를 포함할 수 있는 제2 에칭 배스(30) 내에 놓여질 수 있다.
도 3b에 도시된 바와 같이, 이어, 에찬트 배스(30)는 점진적으로 제거되고 그래핀 시트(20)를 기능성 기판(40)에 이송시키는 플로팅 메카니즘으로 작용할 수 있는 플로팅 배스(35)로 대체된다. 플로팅 배스(35)는 물(예를 들면, 탈이온수) 또는 물과 솔벤트(예를 들면, 이소프로필 알콜)와의 혼합물과 같은, 물-기반 용액일 수 있다. 예를 들어, 일부 실시예에서, 에찬트 배스(30)는 탈이온수의 점진적 도입에 의해 제거될 수 있으며, 탈이온수는 이어 탈이온수와 이소프로필 알콜과의 혼합물로서 도입될 수 있다. 플로팅 배스(35)에 그래핀 시트(20)가 플로팅됨에 따라, 기능성 기판(40)은, 도 3b에 도시된 바와 같이, 그래핀 시트(20)의 바닥 표면 밑에 도입될 수 있다. 일부 실시예에서, 플로팅 프레임(도시되지 않음)은 그래핀 시트(20)가 용액에서 플로팅하고 이어 기능성 기판(40)에 적용될 때 그래핀 시트(20)에 안정성을 제공하기 위해 그래핀 시트(20) 주위에 배치될 수 있다. 이어, 그래핀 시트(20)를 기판(40) 위로 낮추도록 유체 레벨이 감소하게 플로팅 배스(35)는 점진적으로 제거된다. 이송 준비 장치(100)를 이용하여 이송을 위해 준비된 하나 이상의 추가의 그래핀 시트(20)는 자유-플로팅 이송 방법을 사용하여 필요에 따라 기능성 기판(40) 상에 적층될 수 있다.
도 4 및 도 5는 Xe+ 이온을 사용하여 시준된 브로드 빔 이온 조사를 공급하게 구성된 이송 준비 장치의 실시예에 의해 이송을 위해 준비되었된 그래핀 시트의 이미지를 도시한다. 도 4는 구리 성장 기판을 화학적 에칭에 의해 제거한 후에 준비된 그래핀 시트를 도시한다. 도 4에 도시된 준비된 그래핀 시트는 대략 9 ㎝ x 14 ㎝(또는 약 126 ㎠의 확장된 평면 영역)의 치수를 갖는 대규모 시트이다. 도 4에 도시된 검은 색 원형 마킹은 그래핀 시트의 경계를 묘사한다.
도 5는 이송 기판(도 5에 도시된 실시예에서 폴리머 멤브레인 기판)에 이송된 후에 도 4에 도시된 것과 같은 준비된 그래핀 시트를 도시한다. 도 4처럼, 준비된 그래핀 시트는 약 9 ㎝ x 14 ㎝ 치수를 갖는 대규모 시트이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 그래핀 시트 및 기능성 기판 복합물은 가시적인, 의도하지 않은 결함이 없는 그래핀 시트를 도시한다. 시트가 자유-플로팅하는 동안 에찬트 배스의 벽과의 충돌에 기인하여 얼마간의 결함이 에지를 따라 발생할 수 있지만, 준비된 그래핀 시트는 2차 폴리머 지지 물질을 사용하지 않고 기능성 기판 상에 그래핀 시트를의 자유-플로팅 및 하강 후에도 시트의 본체 내에 임의의 가시적 결함(예를 들면, 가시적 티어링, 크랙 또는 링클)을 나타내지 않는다. 이것은 이송 준비 장치를 사용하는 그래핀 시트의 준비 프로세스가 자유-플로팅 이송 프로세스 동안 발생할 수 있는 의도하지 않은 결함에 내성이 있게 강화된 그래핀 시트가 되게 함을 나타낸다.
도 6 및 도 7은 Xe+ 이온을 사용하여 시준된 브로드 빔 이온 조사를 공급하게 구성된 이송 준비 장치의 실시예에 의해 이송을 위해 준비되었된 준비된 그래핀 시트의 SEM 이미지를 도시한다. 준비 후, 준비된 그래핀 시트는 전술한 바와 같이 자유-플로팅 이송 방법을 사용하여 복수의 세공을 갖는 트랙-에칭된 폴리머 기판의 형태로 기능성 기판에 이송되었다. 도면에 도시된 실시예에서, 복수의 세공은 350 nm 내지 450 nm 범위의 명목상 세공 크기를 갖는다. 도 6에 도시된 총 필드는 대략 0.036 mm2(약 225 ㎛ x 160 ㎛)이고, 도 7은 도 6에 도시된 그래핀 시트의 상-좌측 사분면의 상세한 영역을 도시한다.
제조된 그래핀 시트에 의해 덮인 폴리머 기판에 존재하는 세공은 도 6 및 도 7에서 중간 회색으로서 도시된다. 이송 프로세스에 기인한 준비된 그래핀 시트 내 의도하지 않은 결함에 기인한 커버되지 않은 세공은 흑색으로 도시되었다. 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 기판 세공의 99% 이상은 준비된 그래핀 시트에 의해 덮여져 폴리머 기판 위에 제조된 그래핀 시트의 높은 커버리지 면적을 나타낸다.
일부 실시예는 이의 바람직한 실시예를 참조하여 특별히 상세히 설명되었지만, 청구 범위의 사상 및 범위 내에서 변형 및 수정이 이루어질 수 있음은 당업자에 의해 이해될 것이다.

Claims (37)

  1. 그래핀 시트를 구리 기판에서 기능성 기판으로 이송하는 방법에 있어서,
    화학 기상 피착을 이용하여 상기 구리 기판 상에 상기 그래핀 시트를 형성하는 단계;
    준비된 그래핀 시트를 형성하기 위하여 넓은 광 조사를 사용하여 복수의 크세논 이온들을 상기 구리 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트에 조사하는 단계로서, 상기 준비된 그래핀 시트는 상기 기능성 기판에 상기 준비된 그래핀 시트의 이송 동안 유발되는 의도하지 않은 결함들을 형성하는 것에 저항성이 있는 것인, 단계;
    에찬트 배스를 이용하여 상기 준비된 그래핀 시트로부터 상기 구리 기판을 제거하는 단계;
    상기 준비된 그래핀 시트를 플로팅 배스에 플로팅시키는 단계;
    상기 플로팅 배스에 상기 기능성 기판을 담그는 단계; 및
    상기 플로팅 배스의 유체 레벨을 감소시켜 상기 준비된 그래핀 시트를 상기 기능성 기판 상에 하강시키는 단계를 포함하는, 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 그래핀 시트는 1㎠ 이상의 면적을 포함하는, 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 넓은 빔 조사는 시준되는, 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 복수의 크세논 이온들은 약 100V 내지 약 1500V 범위의 전압으로 인가되는, 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 복수의 크세논 이온들은 약 250V 내지 약 750V 범위의 전압으로 인가되는, 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 복수의 크세논 이온들은 약 500V의 전압으로 인가되는, 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 구리 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트를 약 50℃ 내지 약 100℃ 범위의 온도로 가열하는 단계를 더 포함하는, 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 구리 기판 상에 배치된 상기 그래핀 시트를 약 80℃의 온도로 가열하는 단계를 더 포함하는, 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 복수의 크세논 이온들은 약 6.24 x 1011 Xe+/cm2/s 내지 약 6.24 x 1014 Xe+/cm2/s의 플럭스로 제공되는, 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 복수의 크세논 이온들은 약 6.24 x 1012 Xe+/cm2/s 내지 약 6.24 x 1013 Xe+/cm2/s의 플럭스로 제공되는, 방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 복수의 크세논 이온들은 약 3.75 x 1013 Xe+/cm2/s의 플럭스로 제공되는, 방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 구리 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트는 약 6.24 x 1012 Xe+/cm2 내지 약 2.5 x 1013 Xe+/cm2의 총 플루언스가 되도록 하는 접촉 시간 동안 상기 복수의 크세논 이온들로 조사되는, 방법.
  13. 제1항에 있어서, 상기 구리 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트는 약 1.25 x 1013 Xe+/cm2의 총 플루언스가 되도록 하는 접촉 시간 동안 상기 복수의 크세논 이온들로 조사되는, 방법.
  14. 그래핀 시트를 구리 기판으로부터 기능성 기판으로 이송하는 방법에 있어서,
    화학 기상 피착을 이용하여 상기 구리 기판 상에 상기 그래핀 시트를 형성하는 단계;
    준비된 그래핀 시트를 형성하기 위하여 넓은 광 조사를 사용하여 복수의 네온 이온들을 상기 구리 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트에 조사하는 단계로서, 상기 준비된 그래핀 시트는 상기 기능성 기판에 상기 준비된 그래핀 시트의 이송 동안 유발되는 의도하지 않은 결함들을 형성하는 것에 저항성이 있는 것인, 단계;
    에찬트 배스를 이용하여 상기 준비된 그래핀 시트로부터 상기 구리 기판을 제거하는 단계;
    상기 준비된 그래핀 시트를 플로팅 배스에 플로팅시키는 단계;
    상기 플로팅 배스에 상기 기능성 기판을 담그는 단계; 및
    상기 플로팅 배스의 유체 레벨을 감소시켜 상기 준비된 그래핀 시트를 상기 기능성 기판 상에 하강시키는 단계를 포함하는, 방법.
  15. 제14항에 있어서, 상기 구리 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트를 약 50℃ 내지 약 100℃의 온도로 가열하는 단계를 더 포함하는, 방법.
  16. 제14항에 있어서, 상기 구리 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트는 약 6.24 x 1012 ions/cm2 내지 약 7.5 x 1013 ions/cm2의 총 플루언스가 되도록 하는 접촉 시간 동안 상기 복수의 네온 이온들로 조사되는, 방법.
  17. 제14항에 있어서, 상기 구리 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트는 최대 2 x 1014 ions/cm2의 총 플루언스가 되도록 하는 접촉 시간 동안 상기 복수의 네온 이온들로 조사되는, 방법.
  18. 성장 기판으로부터 기능성 기판으로 그래핀 시트를 이송하는 방법에 있어서,
    상기 성장 기판 상에 상기 그래핀 시트를 형성하는 단계;
    준비된 그래핀 시트를 형성하기 위하여 복수의 이온들을 상기 성장 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트에 조사하는 단계로서, 상기 준비된 그래핀 시트는 상기 기능성 기판에 상기 준비된 그래핀 시트의 이송 동안 유발되는 의도하지 않은 결함들을 형성하는 것에 저항성이 있는 것인, 단계;
    에찬트 배스를 이용하여 상기 준비된 그래핀 시트로부터 상기 구리 기판을 제거하는 단계;
    상기 준비된 그래핀 시트를 플로팅 배스에 플로팅시키는 단계;
    상기 플로팅 배스에 상기 기능성 기판을 담그는 단계; 및
    상기 플로팅 배스의 유체 레벨을 감소시켜 상기 준비된 그래핀 시트를 상기 기능성 기판 상에 하강시키는 단계를 포함하는, 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 그래핀 시트는 1㎠ 이상의 면적을 포함하는, 방법.
  20. 제18항에 있어서, 상기 성장 기판은 구리 기판인, 방법.
  21. 제18항에 있어서, 상기 성장 기판은 니켈 기판인, 방법.
  22. 제20항에 있어서, 상기 그래핀 시트는 화학 기상 피착을 사용하여 상기 구리 기판 상에 형성되는, 방법.
  23. 제21항에 있어서, 상기 그래핀 시트는 화학 기상 피착을 이용하여 상기 니켈 기판 상에 형성되는, 방법.
  24. 제18항에 있어서, 상기 복수의 이온들은 희가스 이온들을 포함하는, 방법.
  25. 제24항에 있어서, 상기 희가스 이온들은 크세논 이온들을 포함하는, 방법.
  26. 제24항에 있어서, 상기 희가스 이온들은 네온 이온들을 포함하는, 방법.
  27. 제24항에 있어서, 상기 희가스 이온들은 아르곤 이온들을 포함하는, 방법.
  28. 제18항에 있어서, 상기 복수의 이온들은 넓은 빔 조사를 사용하여 상기 성장 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트에 인가되는, 방법.
  29. 제28항에 있어서, 상기 넓은 빔 조사는 시준되는, 방법.
  30. 제18항에 있어서, 상기 복수의 이온들은 상기 성장 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트에 약 100V 내지 약 1500V의 전압으로 인가되는, 방법.
  31. 제18항에 있어서, 상기 복수의 이온들은 약 1 nA/mm2 내지 약 1000 nA/mm2의 플럭스로 인가되는, 방법.
  32. 제18항에 있어서, 상기 복수의 이온들은 약 10 nA/mm2 내지 약 100 nA/mm2의 플럭스로 인가되는, 방법.
  33. 제18항에 있어서, 상기 복수의 이온들은 약 40 nA/mm2 내지 약 80 nA/mm2의 플럭스로 인가되는, 방법.
  34. 제18항에 있어서, 상기 복수의 이온들은 약 60 nA/mm2의 플럭스로 인가되는, 방법.
  35. 제18항에 있어서, 상기 성장 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트는 약 10 nAs/mm2 내지 약 120 nAs/mm2의 총 플루언스가 되게 하는 접촉 시간 동안 상기 복수의 이온들로 조사되는, 방법.
  36. 제18항에 있어서, 상기 성장 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트는 약 10 nAs/mm2 내지 약 40 nAs/mm2의 총 플루언스가 되게 하는 접촉 시간 동안 상기 복수의 이온들로 조사되는, 방법.
  37. 제18항에 있어서, 상기 성장 기판 상에 형성된 상기 그래핀 시트는 약 20 nAs/mm2의 총 플루언스가 되게 하는 접촉 시간 동안 상기 복수의 이온들로 조사되는, 방법.
KR1020187030506A 2016-04-14 2016-04-14 자유-플로팅 방법을 사용한 대규모 이송을 위한 그래핀 시트 취급 방법 Withdrawn KR20190019907A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US15/099,464 2016-04-14
PCT/US2016/027623 WO2017180137A1 (en) 2016-04-14 2016-04-14 Method for treating graphene sheets for large-scale transfer using free-float method
US15/099,464 US10017852B2 (en) 2016-04-14 2016-04-14 Method for treating graphene sheets for large-scale transfer using free-float method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20190019907A true KR20190019907A (ko) 2019-02-27

Family

ID=60038774

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020187030506A Withdrawn KR20190019907A (ko) 2016-04-14 2016-04-14 자유-플로팅 방법을 사용한 대규모 이송을 위한 그래핀 시트 취급 방법

Country Status (8)

Country Link
US (1) US10017852B2 (ko)
EP (1) EP3442739A4 (ko)
JP (1) JP2019511451A (ko)
KR (1) KR20190019907A (ko)
CA (1) CA3020686A1 (ko)
SG (1) SG11201808962RA (ko)
TW (1) TW201803805A (ko)
WO (1) WO2017180137A1 (ko)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10418143B2 (en) 2015-08-05 2019-09-17 Lockheed Martin Corporation Perforatable sheets of graphene-based material
US10653824B2 (en) 2012-05-25 2020-05-19 Lockheed Martin Corporation Two-dimensional materials and uses thereof
US10376845B2 (en) 2016-04-14 2019-08-13 Lockheed Martin Corporation Membranes with tunable selectivity
US9572918B2 (en) 2013-06-21 2017-02-21 Lockheed Martin Corporation Graphene-based filter for isolating a substance from blood
CN106029596A (zh) 2014-01-31 2016-10-12 洛克希德马丁公司 采用多孔非牺牲性支撑层的二维材料形成复合结构的方法
MX2018001559A (es) 2015-08-06 2018-09-27 Lockheed Corp Modificacion de nanoparticula y perforacion de grafeno.
WO2017180133A1 (en) 2016-04-14 2017-10-19 Lockheed Martin Corporation Methods for in situ monitoring and control of defect formation or healing
CA3020880A1 (en) 2016-04-14 2017-10-19 Lockheed Martin Corporation Selective interfacial mitigation of graphene defects
WO2017180134A1 (en) 2016-04-14 2017-10-19 Lockheed Martin Corporation Methods for in vivo and in vitro use of graphene and other two-dimensional materials
US11524898B2 (en) 2016-11-04 2022-12-13 Massachusetts Institute Of Technology Formation of pores in atomically thin layers
US10995409B2 (en) * 2018-05-22 2021-05-04 Etx Corporation Method and apparatus for transfer of two-dimensional materials
TWI869471B (zh) * 2019-10-24 2025-01-11 美商美國琳得科股份有限公司 奈米纖維過濾膜及可溶性基板處理
TWI748740B (zh) * 2020-11-11 2021-12-01 宸寰科技有限公司 散熱導電軟板
KR102670974B1 (ko) * 2021-12-27 2024-05-31 한국화학연구원 그래핀의 전사 방법
GB2622118A (en) * 2022-05-13 2024-03-06 Ningbo Softcarbon Electronic Tech Co Ltd Binding agent for graphene film transfer and transfer method of graphene film

Family Cites Families (563)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2187417A (en) 1938-12-30 1940-01-16 Ralph N Doble Tea bag, coffee bag, and the like
US3024153A (en) 1958-08-25 1962-03-06 Kennedy Ted Method of forming a pipe covering
US3303085A (en) 1962-02-28 1967-02-07 Gen Electric Molecular sieves and methods for producing same
US3501831A (en) 1968-06-17 1970-03-24 Rogers Corp Eyelet
GB1271423A (en) 1968-06-27 1972-04-19 Gen Electric Improvements relating to the manufacture of sheets having holes therein by an etching process
FR2048130A5 (ko) 1969-12-05 1971-03-19 Swank Roy
US3701433A (en) 1970-11-10 1972-10-31 Pall Corp Filter for use in the filtration of blood
AR205025A1 (es) 1974-04-19 1976-03-31 Johnson & Johnson Medios para filtrar sangre
US4162220A (en) 1977-01-03 1979-07-24 Johnson & Johnson Blood filter
US4303530A (en) 1977-10-26 1981-12-01 Medical Incorporated Blood filter
US4159954A (en) 1978-02-24 1979-07-03 Gangemi Ronald J Isolator filter
US4277344A (en) 1979-02-22 1981-07-07 Filmtec Corporation Interfacially synthesized reverse osmosis membrane
DE3370990D1 (en) 1982-11-15 1987-05-21 Gec Avionics Inertial systems
US4743371A (en) 1983-04-08 1988-05-10 Shiley, Inc. Blood filter
US4935207A (en) 1986-04-01 1990-06-19 The Johns Hopkins University Capacitive chemical sensor using an ion exchange surface
US4855058A (en) 1986-06-24 1989-08-08 Hydranautics High recovery spiral wound membrane element
US5052444A (en) 1987-04-30 1991-10-01 The Fluorocarbon Company Reinforced fluid hose having on-bonded tape
US5580530A (en) 1987-07-30 1996-12-03 Johnson & Johnson Medical, Inc. Device for vapor sterilization of articles having lumens
US4976858A (en) 1987-08-12 1990-12-11 Toyo Roki Seizo Kabushiki Kaisha Multi-layer filter medium
US5182111A (en) 1987-11-17 1993-01-26 Boston University Research Foundation In vivo delivery of active factors by co-cultured cell implants
US4891134A (en) 1988-01-25 1990-01-02 Abbott Laboratories Sample filtration device
US4880440A (en) 1988-09-12 1989-11-14 Union Carbide Corporation Hollow fiber multimembrane cells and permeators
ATE141825T1 (de) 1988-10-19 1996-09-15 Joopary Arastoo Khodai Membrantrennverfahren für gase, isotope und flüssigkeiten
US4889626A (en) 1988-11-17 1989-12-26 Memron, Inc. Filter cartridge having a tunable asymmetric fluoropolymer alloy filter membrane
US4925560A (en) 1989-02-02 1990-05-15 Sorrick Charles H Clog resistant high efficiency filter media
US5080770A (en) 1989-09-11 1992-01-14 Culkin Joseph B Apparatus and method for separating particles
US5922304A (en) 1989-12-22 1999-07-13 Imarx Pharmaceutical Corp. Gaseous precursor filled microspheres as magnetic resonance imaging contrast agents
US5314960A (en) 1990-04-10 1994-05-24 Permeable Technologies, Inc. Silicone-containing polymers, oxygen permeable hydrophilic contact lenses and methods for making these lenses and treating patients with visual impairment
US5244981A (en) 1990-04-10 1993-09-14 Permeable Technologies, Inc. Silicone-containing contact lens polymers, oxygen permeable contact lenses and methods for making these lenses and treating patients with visual impairment
US5371147A (en) 1990-10-11 1994-12-06 Permeable Technologies, Inc. Silicone-containing acrylic star polymers, block copolymers and macromonomers
US5314961A (en) 1990-10-11 1994-05-24 Permeable Technologies, Inc. Silicone-containing polymers, compositions and improved oxygen permeable hydrophilic contact lenses
US5082476A (en) 1990-10-19 1992-01-21 Donaldson Company, Inc. Filtration arrangement and method
US5344454A (en) 1991-07-24 1994-09-06 Baxter International Inc. Closed porous chambers for implanting tissue in a host
DE4040106A1 (de) 1990-12-12 1992-06-17 Mecron Med Prod Gmbh Hohlschaftprothese
CA2037988A1 (en) 1991-03-11 1992-09-12 Otto Sova Continuous flow method and apparatus for separating substances in solution
CA2109085C (en) 1991-04-25 2003-03-11 Keith E. Dionne Implantable biocompatible immunoisolatory vehicle for delivery of selected therapeutic products
US5201767A (en) 1991-07-15 1993-04-13 Johnson & Johnson Orthopaedics, Inc. Fluted-wedge osteal prosthetic component
US5185086A (en) 1991-07-16 1993-02-09 Steven Kaali Method and system for treatment of blood and/or other body fluids and/or synthetic fluids using combined filter elements and electric field forces
AU2502592A (en) 1991-08-23 1993-03-16 Denise Faustman Implantable immunoisolated therapeutic devices
GB2277461B (en) 1991-12-24 1997-04-02 Pall Corp Dynamic filter system
US5679249A (en) 1991-12-24 1997-10-21 Pall Corporation Dynamic filter system
GB9206504D0 (en) 1992-03-25 1992-05-06 Jevco Ltd Heteromorphic sponges as wound implants
US5314492A (en) 1992-05-11 1994-05-24 Johnson & Johnson Orthopaedics, Inc. Composite prosthesis
US5565210A (en) 1993-03-22 1996-10-15 Johnson & Johnson Medical, Inc. Bioabsorbable wound implant materials
US5679232A (en) 1993-04-19 1997-10-21 Electrocopper Products Limited Process for making wire
US6213124B1 (en) 1993-04-23 2001-04-10 Johnson & Johnson Medical, Inc. Surgical drape with a sealable pouch
DK0663817T3 (da) 1993-08-10 2000-03-13 Gore & Ass Celleindkapslingsindretning
JP4098355B2 (ja) 1993-08-12 2008-06-11 ニューロテック ユーエスエー， インコーポレイテッド 遺伝的に改変された細胞を含む生体適合性免疫隔離カプセル
US5932185A (en) 1993-08-23 1999-08-03 The Regents Of The University Of California Method for making thin carbon foam electrodes
GB2282328B (en) 1993-09-29 1997-10-08 Johnson & Johnson Medical Absorbable structures for ligament and tendon repair
US5665118A (en) 1994-02-18 1997-09-09 Johnson & Johnson Professional, Inc. Bone prostheses with direct cast macrotextured surface regions and method for manufacturing the same
CA2142636C (en) 1994-02-18 2005-09-20 Salvatore Caldarise Implantable articles with as-cast macrotextured surface regions and method of manufacturing the same
CA2142634C (en) 1994-02-18 2005-09-20 Salvatore Caldarise Self-lubricating implantable articulation member
US5516522A (en) 1994-03-14 1996-05-14 Board Of Supervisors Of Louisiana State University Biodegradable porous device for long-term drug delivery with constant rate release and method of making the same
US6105235A (en) 1994-04-28 2000-08-22 Johnson & Johnson Professional, Inc. Ceramic/metallic articulation component and prosthesis
US6309532B1 (en) 1994-05-20 2001-10-30 Regents Of The University Of California Method and apparatus for capacitive deionization and electrochemical purification and regeneration of electrodes
US5425858A (en) 1994-05-20 1995-06-20 The Regents Of The University Of California Method and apparatus for capacitive deionization, electrochemical purification, and regeneration of electrodes
CA2192319C (en) 1994-06-29 2000-12-05 Randy Gene Ogg Core for core wound paper products having preferred seam construction
US6080393A (en) 1994-07-09 2000-06-27 Johnson & Johnson Consumer Products, Inc. Skin care composition comprising a retinoid
US6461622B2 (en) 1994-09-07 2002-10-08 Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. Topical compositions
US5976555A (en) 1994-09-07 1999-11-02 Johnson & Johnson Consumer Products, Inc. Topical oil-in-water emulsions containing retinoids
US5549697A (en) 1994-09-22 1996-08-27 Johnson & Johnson Professional, Inc. Hip joint prostheses and methods for manufacturing the same
US5636437A (en) 1995-05-12 1997-06-10 Regents Of The University Of California Fabricating solid carbon porous electrodes from powders
CA2190628C (en) 1995-06-07 2000-05-30 Mark D. Butler An implantable containment apparatus for a therapeutical device and method for loading and reloading the device therein
US6156323A (en) 1995-06-08 2000-12-05 Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. Tricot-like pouch for the delivery of topical drugs and cosmetics
IN187897B (ko) 1995-06-15 2002-07-20 Johnson & Johnson Inc
US6209621B1 (en) 1995-07-07 2001-04-03 Depuy Orthopaedics, Inc. Implantable prostheses with metallic porous bead preforms applied during casting and method of forming the same
JPH0990607A (ja) 1995-07-14 1997-04-04 Canon Inc 原版検査修正装置及び方法
US5562944A (en) 1995-08-28 1996-10-08 Johnson & Johnson Professional, Inc. Process for the protection of metallic surfaces
AU6423796A (en) 1995-08-29 1997-03-06 Johnson & Johnson Professional, Inc. Bone prosthesis with protected coating for penetrating bone intergrowth
US5725586A (en) 1995-09-29 1998-03-10 Johnson & Johnson Professional, Inc. Hollow bone prosthesis with tailored flexibility
DE19536560C1 (de) 1995-10-02 1997-03-13 Mft Membran Filtrations Techni Membranelement
IL125424A0 (en) 1998-07-20 1999-03-12 New Technologies Sa Ysy Ltd Pacing with hemodynamic enhancement
AR006049A1 (es) 1996-03-01 1999-07-21 Johnson & Johnson Consumer Una emulsion de aceite en agua
US5731360A (en) 1996-03-05 1998-03-24 Regents Of The University Of California Compression molding of aerogel microspheres
US6495100B1 (en) 1996-04-04 2002-12-17 Ethicon, Inc. Method for sterilizing devices in a container
US5935172A (en) 1996-06-28 1999-08-10 Johnson & Johnson Professional, Inc. Prosthesis with variable fit and strain distribution
US5746272A (en) 1996-09-30 1998-05-05 Johnson & Johnson Professional, Inc. Investment casting
US5716412A (en) 1996-09-30 1998-02-10 Johnson & Johnson Professional, Inc. Implantable article with ablated surface
US5906234A (en) 1996-10-22 1999-05-25 Johnson & Johnson Professional, Inc. Investment casting
MA26028A1 (fr) 1997-01-09 2004-04-01 Garfield Int Invest Ltd Dessalement de l'eau
US20080063585A1 (en) 1997-03-07 2008-03-13 William Marsh Rice University, A Texas University Fullerene nanotube compositions
US6683783B1 (en) 1997-03-07 2004-01-27 William Marsh Rice University Carbon fibers formed from single-wall carbon nanotubes
US5902762A (en) 1997-04-04 1999-05-11 Ucar Carbon Technology Corporation Flexible graphite composite
DE69800531T2 (de) 1997-04-09 2001-09-27 Societe Des Ceramiques Techniques, Bazet Makroporöser Träger mit einem Porositätsgradient und Methode zu dessen Herstellung
DE19720551A1 (de) 1997-05-16 1998-11-19 Heidelberger Druckmasch Ag Basisträgerhülse für Rotationsdruckmaschinen
US5910172A (en) 1997-05-20 1999-06-08 Johnson & Johnson Apparatus for, and method of, preparing hip prosthesis implantation
KR100397860B1 (ko) 1997-09-22 2003-12-18 카가쿠기쥬쯔죠 킨조쿠자이료 기쥬쯔켄큐죠 반응성이온에칭법및그장치
US5935084A (en) 1997-09-30 1999-08-10 Johnson & Johnson Professional, Inc. Inflatable pressure indicator
US6013080A (en) 1997-10-30 2000-01-11 Johnson & Johnson Professional, Inc. Tamp with horizontal steps used for impaction bone grafting in revision femur
US6022733A (en) 1997-12-02 2000-02-08 Tam; Yun K. Simulated biological dissolution and absorption system
US6139585A (en) 1998-03-11 2000-10-31 Depuy Orthopaedics, Inc. Bioactive ceramic coating and method
US6052608A (en) 1998-03-30 2000-04-18 Johnson & Johnson Professional, Inc. Implantable medical electrode contacts
US5980718A (en) 1998-05-04 1999-11-09 The Regents Of The University Of California Means for limiting and ameliorating electrode shorting
US6228123B1 (en) 1998-08-19 2001-05-08 Depuy Orthopaedics, Inc. Variable modulus prosthetic hip stem
US6093209A (en) 1998-08-20 2000-07-25 Johnson & Johnson Professional, Inc. Proximally holllow prosthesis
ATE280615T1 (de) 1998-08-31 2004-11-15 Johnson & Johnson Consumer Elektrotransportvorrichtung mit klingen
US6022509A (en) 1998-09-18 2000-02-08 Johnson & Johnson Professional, Inc. Precision powder injection molded implant with preferentially leached texture surface and method of manufacture
US20010036556A1 (en) 1998-10-20 2001-11-01 James S. Jen Coatings for biomedical devices
US6264699B1 (en) 1998-11-23 2001-07-24 Depuy Orthopaedics, Inc. Modular stem and sleeve prosthesis
US6346187B1 (en) 1999-01-21 2002-02-12 The Regents Of The University Of California Alternating-polarity operation for complete regeneration of electrochemical deionization system
US6152882A (en) 1999-01-26 2000-11-28 Impulse Dynamics N.V. Apparatus and method for chronic measurement of monophasic action potentials
AUPQ034399A0 (en) 1999-05-14 1999-06-03 Panbio Pty Ltd Metal chelating filters and metal chelate filters
US6292704B1 (en) 1999-05-25 2001-09-18 Impulse Dynamics N. V. High capacitance myocardial electrodes
US7190997B1 (en) 1999-06-04 2007-03-13 Impulse Dynamics Nv Drug delivery device
US7092753B2 (en) 1999-06-04 2006-08-15 Impulse Dynamics Nv Drug delivery device
US7171263B2 (en) 1999-06-04 2007-01-30 Impulse Dynamics Nv Drug delivery device
DE10000196B4 (de) 2000-01-05 2013-10-10 Sartorius Stedim Biotech Gmbh Verbesserte Crossflow-Filtrationseinheit
AU2001236744A1 (en) 2000-02-14 2001-08-27 Johnson And Johnson Consumer Companies, Inc. Delivery system for topical skin care agents
JP2001232158A (ja) 2000-02-24 2001-08-28 Shinko Pantec Co Ltd ダイアフィルトレーション方法
AUPQ691400A0 (en) 2000-04-14 2000-05-11 Life Therapeutics Limited Separation of micromolecules
CA2405710C (en) 2000-04-25 2010-04-20 Impres Medical, Inc. Method and apparatus for creating intrauterine adhesions
US6454095B1 (en) 2000-05-12 2002-09-24 Johnson & Johnson Inc. Visual reference system for sanitary absorbent article
US6544316B2 (en) 2000-05-19 2003-04-08 Membrane Technology And Research, Inc. Hydrogen gas separation using organic-vapor-resistant membranes
US6455115B1 (en) 2001-01-26 2002-09-24 Milliken & Company Textile reinforced thermoplastic or thermoset pipes
DE10034386A1 (de) 2000-07-14 2002-01-24 Creavis Tech & Innovation Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Elektrofiltration
US6692627B1 (en) 2000-09-26 2004-02-17 Boise State University Electrical field flow fractionation (EFFF) using an electrically insulated flow channel
JP4001710B2 (ja) 2000-10-18 2007-10-31 東洋鋼鈑株式会社 分離精製・抽出用粒子状担体及びその製造方法
US6695880B1 (en) 2000-10-24 2004-02-24 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Intraocular lenses and methods for their manufacture
US6552401B1 (en) 2000-11-27 2003-04-22 Micron Technology Use of gate electrode workfunction to improve DRAM refresh
KR101035205B1 (ko) 2000-12-11 2011-05-17 프레지던트 앤드 펠로우즈 오브 하버드 칼리지 나노센서
JP3590765B2 (ja) 2000-12-21 2004-11-17 Ｓｍｃ株式会社 電磁弁
GB0100513D0 (en) 2001-01-09 2001-02-21 Smithkline Beecham Plc Process
US6641773B2 (en) 2001-01-10 2003-11-04 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Electro spinning of submicron diameter polymer filaments
US6580598B2 (en) 2001-02-15 2003-06-17 Luxon Energy Devices Corporation Deionizers with energy recovery
US6462935B1 (en) 2001-09-07 2002-10-08 Lih-Ren Shiue Replaceable flow-through capacitors for removing charged species from liquids
JP2002353075A (ja) 2001-03-21 2002-12-06 Morinobu Endo 電気二重層コンデンサの電極材料およびこれを用いた電気二重層コンデンサ
US6521865B1 (en) 2001-06-14 2003-02-18 Advanced Cardiovascular Systems, Inc. Pulsed fiber laser cutting system for medical implants
IL144213A0 (en) 2001-07-09 2002-05-23 Mind Guard Ltd Implantable filter
US6702857B2 (en) 2001-07-27 2004-03-09 Dexcom, Inc. Membrane for use with implantable devices
JP3939943B2 (ja) 2001-08-29 2007-07-04 株式会社Ｇｓｉクレオス 気相成長法による炭素繊維からなるフィルター材
CN2570208Y (zh) 2001-09-03 2003-09-03 珠海中富聚酯啤酒瓶有限公司 聚酯啤酒瓶
US20030134281A1 (en) 2001-09-20 2003-07-17 Evans Glen A. Nanomachine compositions and methods of use
US20040063097A1 (en) 2002-09-20 2004-04-01 Evans Glen A. Nanomachine compositions and methods of use
US20030138777A1 (en) 2001-09-20 2003-07-24 Evans Glen A. Nanomachine compositions and methods of use
GB2380135B (en) 2001-09-27 2005-01-12 Johnson & Johnson Medical Ltd Therapeutic wound dressing
AU2002338858A1 (en) 2001-09-27 2003-04-14 Johnson And Johnson Consumer France S.A.S. Stable compositions containing ethanolamine derivatives and glucosides
US7166443B2 (en) 2001-10-11 2007-01-23 Aviva Biosciences Corporation Methods, compositions, and automated systems for separating rare cells from fluid samples
US6686437B2 (en) 2001-10-23 2004-02-03 M.M.A. Tech Ltd. Medical implants made of wear-resistant, high-performance polyimides, process of making same and medical use of same
US20050238730A1 (en) 2001-11-21 2005-10-27 Agnes Le Fur Compositions comprising an ethanolamine derivative and organic metal salts
US6908552B2 (en) 2002-02-26 2005-06-21 Gesellschaft Fuer Schwerionenforschung Mbh Method of producing nanostructures in membrances, and asymmetrical membrane
US20080185293A1 (en) 2002-03-27 2008-08-07 Giselher Klose Method and Apparatus for Decontamination of Fluid with One or More High Purity Electrodes
US6905612B2 (en) 2003-03-21 2005-06-14 Hanuman Llc Plasma concentrate apparatus and method
JP4369153B2 (ja) 2002-05-16 2009-11-18 株式会社神鋼環境ソリューション 膜分離装置及び膜分離方法
EP1553051A4 (en) 2002-07-01 2011-05-18 Jfe Eng Corp BAND-TYPE MATERIAL USING CARBON NANOROES AND METHOD OF MANUFACTURING CARBON NANOROES AND BANDING MATERIAL ELECTRODE OF THE ELECTROFIELD EMISSION TYPE AND METHOD OF PRODUCTION THEREOF
US7235164B2 (en) 2002-10-18 2007-06-26 Eksigent Technologies, Llc Electrokinetic pump having capacitive electrodes
US6699684B2 (en) 2002-07-23 2004-03-02 Nalco Company Method of monitoring biofouling in membrane separation systems
CA2494727A1 (en) 2002-07-24 2004-01-29 Board Of Regents, The University Of Texas System Capture and detection of microbes by membrane methods
AU2003267094A1 (en) 2002-09-11 2004-04-30 Temple University - Of The Commonwealth System Of Higher Education System and methods for electrophoretic separation of proteins on protein binding membranes
US7329393B2 (en) 2002-10-10 2008-02-12 Irm Llc Capacity altering device, holder, and methods of sample processing
WO2004037747A2 (en) 2002-10-22 2004-05-06 Ut-Battelle, Llc Soil amendment and hydrogen gas produced by pyrolysis of cabonaceous materials
US6889715B2 (en) 2002-11-27 2005-05-10 Wellstream International Limited Flexible tubular member with sealed tape layer
JP2004179014A (ja) 2002-11-28 2004-06-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd プラズマ加工方法及び装置
US7081208B2 (en) 2002-12-16 2006-07-25 International Business Machines Corporation Method to build a microfilter
DE20302819U1 (de) 2003-02-21 2003-05-08 Filtertek, S.A., Plailly Filter für medizinische und Laborzwecke, insbesondere für Blutanalysen u.dgl.
US20040185730A1 (en) 2003-03-17 2004-09-23 Lambino Danilo L. Expandable skin cleansing implement
FR2852515B1 (fr) 2003-03-17 2005-11-18 Dispositif et procede de traitement de sang avec extraction selective de solutes
US8993327B2 (en) 2003-04-07 2015-03-31 Ut-Battelle, Llc Parallel macromolecular delivery and biochemical/electrochemical interface to cells employing nanostructures
US6708826B1 (en) 2003-04-30 2004-03-23 Warner-Lambert Company, Llc Packaged supply of individual doses of a personal care product
US7875293B2 (en) 2003-05-21 2011-01-25 Dexcom, Inc. Biointerface membranes incorporating bioactive agents
US7150813B2 (en) 2003-06-12 2006-12-19 Palo Alto Research Center Incorporated Isoelectric focusing (IEF) of proteins with sequential and oppositely directed traveling waves in gel electrophoresis
US7476222B2 (en) 2003-06-30 2009-01-13 Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. Methods of reducing the appearance of pigmentation with galvanic generated electricity
US7477940B2 (en) 2003-06-30 2009-01-13 J&J Consumer Companies, Inc. Methods of administering an active agent to a human barrier membrane with galvanic generated electricity
US7477941B2 (en) 2003-06-30 2009-01-13 Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. Methods of exfoliating the skin with electricity
US8734421B2 (en) 2003-06-30 2014-05-27 Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. Methods of treating pores on the skin with electricity
US7479133B2 (en) 2003-06-30 2009-01-20 Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. Methods of treating acne and rosacea with galvanic generated electricity
US7477939B2 (en) 2003-06-30 2009-01-13 Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. Methods of treating a wound with galvanic generated electricity
US7175783B2 (en) 2003-08-19 2007-02-13 Patrick Michael Curran Carbon electrode for use in aqueous electrochemical devices and method of preparation
JP2005126966A (ja) 2003-10-22 2005-05-19 Tachikawa Blind Mfg Co Ltd スライドスクリーン
US7674517B2 (en) 2003-11-04 2010-03-09 Porex Corporation Composite porous materials and methods of making and using the same
US7674477B1 (en) 2003-11-06 2010-03-09 University Of Notre Dame Du Lac Bone and tissue scaffolding for delivery of therapeutic agents
CA2545788A1 (en) 2003-11-13 2005-06-02 Galileo Pharmaceuticals, Inc. Plant-derived protein extract compositions and methods
US7935331B2 (en) 2003-12-12 2011-05-03 Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. Vanillin polymers for use in darkening the skin
JP2007523822A (ja) 2004-01-15 2007-08-23 ナノコンプ テクノロジーズ インコーポレイテッド 伸長した長さのナノ構造の合成のためのシステム及び方法
KR100569188B1 (ko) 2004-01-16 2006-04-10 한국과학기술연구원 탄소-다공성 지지체 복합 전극 및 그 제조방법
US20050189673A1 (en) 2004-02-26 2005-09-01 Jeremy Klug Treatment of flexible graphite material and method thereof
US7410574B2 (en) 2004-03-03 2008-08-12 Patent Innovations Llc Magnetic particle filtration apparatus
US7452547B2 (en) 2004-03-31 2008-11-18 Johnson&Johnson Consumer Co., Inc. Product for treating the skin comprising a polyamine microcapsule wall and a skin lightening agent
US7600567B2 (en) 2004-05-28 2009-10-13 Bp Exploration Operating Company Limited Desalination method
GB0414837D0 (en) 2004-07-02 2004-08-04 Booth John P Improvements in or relating to tubular bodies and methods of forming same
US7459121B2 (en) 2004-07-21 2008-12-02 Florida State University Research Foundation Method for continuous fabrication of carbon nanotube networks or membrane materials
WO2007013872A2 (en) 2004-07-22 2007-02-01 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Sensors employing single-walled carbon nanotubes
US7083653B2 (en) 2004-08-12 2006-08-01 Charles Edward Jennings Implantable human kidney replacement unit
US20060093885A1 (en) 2004-08-20 2006-05-04 Krusic Paul J Compositions containing functionalized carbon materials
US8785013B2 (en) 2004-08-20 2014-07-22 E I Du Pont De Nemours And Company Compositions containing modified fullerenes
US7374677B2 (en) 2004-08-20 2008-05-20 Kkj, Inc. Two stage hemofiltration that generates replacement fluid
US7786086B2 (en) 2004-09-08 2010-08-31 Ramot At Tel-Aviv University Ltd. Peptide nanostructures containing end-capping modified peptides and methods of generating and using the same
JP5350635B2 (ja) 2004-11-09 2013-11-27 ボード・オブ・リージエンツ，ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム ナノファイバーのリボンおよびシートならびにナノファイバーの撚り糸および無撚り糸の製造および適用
US7842271B2 (en) 2004-12-07 2010-11-30 Petrik Viktor I Mass production of carbon nanostructures
DE102004062535A1 (de) 2004-12-24 2006-07-06 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Semipermeables Membransystem für magnetische Partikelfraktionen
JP2006188393A (ja) 2005-01-06 2006-07-20 Japan Science & Technology Agency カーボン物質の加工方法
US20060151382A1 (en) 2005-01-12 2006-07-13 Petrik Viktor I Contact devices with nanostructured materials
EP1841854A4 (en) 2005-01-27 2009-10-21 Applera Corp DEVICES AND METHODS FOR PREPARING SAMPLES
JP2008546427A (ja) 2005-02-14 2008-12-25 ワーナー−ランバート カンパニー リミテッド ライアビリティー カンパニー 個人用ケア製品のパッケージ
US9169579B2 (en) 2005-03-11 2015-10-27 New Jersey Institute Of Technology Carbon nanotube mediated membrane extraction
DE102005012594A1 (de) 2005-03-18 2006-09-21 Bayer Technology Services Gmbh Elektrofiltrationsverfahren
US7382601B2 (en) 2005-03-28 2008-06-03 Saga Sanyo Industries Co., Ltd. Electric double layer capacitor and method of manufacturing same
RU2007139819A (ru) 2005-03-29 2009-05-10 МакНЕЙЛ-Пи-Пи-Си, ИНК. (US) Композиции с гидрофильными лекарствами в гидрофобной среде
US20060253079A1 (en) 2005-04-25 2006-11-09 Mcdonough Justin Stratum corneum piercing device
US8182590B2 (en) 2005-04-29 2012-05-22 University Of Rochester Ultrathin porous nanoscale membranes, methods of making, and uses thereof
US7381707B2 (en) 2005-06-30 2008-06-03 Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. Treatment of dry eye
US8246917B2 (en) 2006-06-23 2012-08-21 Johns Hopkins University Self-assembled, micropatterned, and radio frequency (RF) shielded biocontainers and their uses for remote spatially controlled chemical delivery
US7323401B2 (en) 2005-08-08 2008-01-29 Applied Materials, Inc. Semiconductor substrate process using a low temperature deposited carbon-containing hard mask
WO2007024619A1 (en) 2005-08-26 2007-03-01 Entegris, Inc. Porous membranes containing exchange resin
WO2007030747A2 (en) 2005-09-09 2007-03-15 Tangenx Technology Corporation Laminated cassette device and methods for making same
US7650805B2 (en) 2005-10-11 2010-01-26 Millipore Corporation Integrity testable multilayered filter device
DE102005049388A1 (de) 2005-10-15 2007-04-19 Dechema Gesellschaft Für Chemische Technik Und Biotechnologie E.V. Verfahren zur Vermeidung oder Verminderung von Biofilmen auf einer Oberfläche
US20070099813A1 (en) 2005-10-27 2007-05-03 Luizzi Joseph M Effervescent cleansing article
JP5082101B2 (ja) 2005-11-14 2012-11-28 国立大学法人東京工業大学 ナノポーラス基板の製造方法
US7883839B2 (en) * 2005-12-08 2011-02-08 University Of Houston Method and apparatus for nano-pantography
US8715221B2 (en) 2006-03-08 2014-05-06 Fresenius Medical Care Holdings, Inc. Wearable kidney
US7761809B2 (en) 2006-03-30 2010-07-20 Microsoft Corporation Targeted user interface fall-through
DE102006022502A1 (de) 2006-05-08 2007-11-29 Ltn Nanovation Ag Filtereinheit für die Abwasseraufbereitung und die Trinkwassergewinnung
KR101445270B1 (ko) 2006-05-18 2014-09-29 다우 글로벌 테크놀로지스 엘엘씨 셀룰로스 분말의 제조에서 특정한 스크린의 용도
WO2007140252A1 (en) 2006-05-25 2007-12-06 Drexel University Filled nanoporous polymer membrane composites for protective clothing and methods for making them
US7833355B2 (en) 2006-06-02 2010-11-16 Peter David Capizzo Carbon nanotube (CNT) extrusion methods and CNT wire and composites
US7866475B2 (en) 2006-06-12 2011-01-11 Mcneil-Ppc, Inc. Blister package
ITBO20060493A1 (it) 2006-06-27 2007-12-28 Bellco Srl Macchina di dialisi con controllo della glicemia
WO2008006201A1 (en) 2006-07-10 2008-01-17 Convergent Bioscience Ltd. Method and apparatus for precise selection and extraction of a focused component in isoelectric focusing performed in micro-channels
JP4977756B2 (ja) 2006-07-14 2012-07-18 エクソンモービル リサーチ アンド エンジニアリング カンパニー 混合気−液原料を用いる改良膜分離プロセス
US20080045877A1 (en) 2006-08-15 2008-02-21 G&L Consulting, Llc Blood exchange dialysis method and apparatus
WO2008023388A1 (en) 2006-08-23 2008-02-28 Budhaditya Chattopadhyay An apparatus for purificatiion of blood and a process thereof
US7931838B2 (en) 2006-08-31 2011-04-26 Virginia Tech Intellectual Properties, Inc. Method for making oriented single-walled carbon nanotube/polymer nano-composite membranes
US20080081362A1 (en) 2006-09-29 2008-04-03 Daniel Keeley Multilayered Composite for Organ Augmentation and Repair
US20080081323A1 (en) 2006-09-29 2008-04-03 Daniel Keeley Regenerative Medicine Devices and Melt-Blown Methods of Manufacture
WO2008046050A2 (en) 2006-10-12 2008-04-17 Impres Medical, Inc. Method and apparatus for occluding a lumen
US20130153440A9 (en) 2006-11-13 2013-06-20 Kc Energy, Llc Rf systems and methods for processing salt water
KR100834729B1 (ko) 2006-11-30 2008-06-09 포항공과대학교 산학협력단 반사 방지용 나노 다공성 필름 및 블록 공중합체를 이용한그 제조방법
WO2008118228A2 (en) 2006-12-05 2008-10-02 Stonybrook Water Purification Articles comprising a fibrous support
US7998246B2 (en) 2006-12-18 2011-08-16 Uop Llc Gas separations using high performance mixed matrix membranes
EP2114510A4 (en) 2006-12-19 2014-04-16 Arnold J Lande CHRONIC ACCESS SYSTEM FOR EXTRACORPOREAL TREATMENT OF BLOOD WITH A CONTINUOUSLY PORTABLE HEMODIALYSER
US20100196439A1 (en) 2006-12-22 2010-08-05 Medtronic, Inc. Angiogenesis Mechanism and Method, and Implantable Device
US8187255B2 (en) 2007-02-02 2012-05-29 Boston Scientific Scimed, Inc. Medical devices having nanoporous coatings for controlled therapeutic agent delivery
US7960708B2 (en) 2007-03-13 2011-06-14 University Of Houston Device and method for manufacturing a particulate filter with regularly spaced micropores
US20080241085A1 (en) 2007-03-29 2008-10-02 Lin Connie B Compositions for use in darkening the skin
EP2148706A2 (en) 2007-04-24 2010-02-03 Advanced Technologies and Regenerative Medicine, LLC Engineered renal tissue
US20100323177A1 (en) 2007-05-14 2010-12-23 Northwestern University Graphene oxide sheet laminate and method
JP5526392B2 (ja) 2007-05-26 2014-06-18 ザ・リサーチ・ファウンデーション・フォー・ザ・ステイト・ユニヴァーシティ・オブ・ニューヨーク セルロース又はセルロース誘導体を含む高流束流体分離膜
CN101108194B (zh) 2007-06-30 2010-12-01 广西壮族自治区化工研究院 一种除去右旋糖酐铁络合物水溶液中氯化钠的方法及装置
EP2171460B1 (en) 2007-07-13 2017-08-30 Handylab, Inc. Polynucleotide capture materials, and methods of using same
US20100059378A1 (en) 2007-07-18 2010-03-11 The Water Company Llc Apparatus and method for removal of ions from a porous electrode that is part of a deionization system
EP2182799A4 (en) 2007-07-27 2015-01-21 Univ Leland Stanford Junior SUPRAMOLECULAR FUNCTIONALIZATION OF GRAPHITE NANOPARTICLES FOR ACTIVE EXTRACTION
US8978899B2 (en) 2007-08-01 2015-03-17 Donaldson Company, Inc. Fluoropolymer fine fiber
DE102007041820A1 (de) 2007-09-03 2009-03-05 Universität Bielefeld Graphitschichten
EP2195648B1 (en) 2007-09-12 2019-05-08 President and Fellows of Harvard College High-resolution molecular graphene sensor comprising an aperture in the graphene layer
US20090075371A1 (en) 2007-09-18 2009-03-19 Daniel Keeley Regenerative Medicine Devices and Foam Methods of Manufacture
US20100224555A1 (en) 2007-09-21 2010-09-09 Hoek Eric M V Nanocomposite membranes and methods of making and using same
EP2754445A3 (en) 2007-09-28 2014-08-27 Johnson & Johnson Consumer Companies Inc. Electricity-generating particulates for use in excessive sweating
US20090087395A1 (en) 2007-10-01 2009-04-02 Lin Connie B Compositions for use in darkening the skin
US20110263912A1 (en) 2007-11-07 2011-10-27 Air Products And Chemicals, Inc. Control Of Kinetic Decomposition In Mixed Conducting Ion Transport Membranes
DE602007011946D1 (de) 2007-11-13 2011-02-24 Acuros Gmbh Osmotische Pumpe
US7706128B2 (en) 2007-11-29 2010-04-27 Corning Incorporated Capacitive device
US20090148495A1 (en) 2007-12-11 2009-06-11 Hammer Joseph J Optimum Density Fibrous Matrix
WO2009087156A1 (en) 2008-01-08 2009-07-16 Shell Internationale Research Maatschappij B.V. Multi - stage membrane separation process
US8435676B2 (en) 2008-01-09 2013-05-07 Nanotek Instruments, Inc. Mixed nano-filament electrode materials for lithium ion batteries
KR100964504B1 (ko) 2008-02-14 2010-06-21 포항공과대학교 산학협력단 나노다공성 멤브레인, 이의 제조 방법 및 이를 구비한 서방성 약물 전달 장치
EP2254534A1 (en) 2008-02-25 2010-12-01 McNeil-PPC, Inc. Thermal treatment device
FR2928093B1 (fr) 2008-02-28 2010-12-31 Commissariat Energie Atomique Dispositif de separation de molecules et procede de fabrication.
US9737593B2 (en) 2008-03-19 2017-08-22 Yale University Carbon nanotube compositions and methods of use thereof
WO2009117616A2 (en) 2008-03-19 2009-09-24 Yale University Carbon nanotube compositions and methods of use thereof
US8409450B2 (en) 2008-03-24 2013-04-02 The Regents Of The University Of California Graphene-based structure, method of suspending graphene membrane, and method of depositing material onto graphene membrane
US20090241242A1 (en) 2008-03-31 2009-10-01 Heidi Beatty Facial mask
WO2009129194A2 (en) 2008-04-14 2009-10-22 Massachusetts Institute Of Technology Large-area single- and few-layer graphene on arbitrary substrates
GB0807267D0 (en) 2008-04-21 2008-05-28 Ntnu Technology Transfer As Carbon membranes from cellulose esters
US8673294B2 (en) 2008-04-25 2014-03-18 Vanderbilt University Immunoisolation patch system for cellular transplantation
JP5864253B2 (ja) 2008-05-07 2016-02-17 ナノコンプ テクノロジーズ インコーポレイテッド ナノ構造複合材シートの形成方法
KR100977610B1 (ko) 2008-05-15 2010-08-23 웅진코웨이주식회사 나권형 필터 카트리지
DE102008024106A1 (de) 2008-05-17 2009-11-19 Heinrich, Hans-Werner, Prof. Dr. Vorrichtung zum Abscheiden von Partikeln in und aus Flüssigkeiten und deren Anwendung in Biotechnologie, biologische Forschung, Diagnostik und Krankheitsbehandlung
WO2009148959A2 (en) 2008-05-29 2009-12-10 Lawrence Livermore National Security, Llc Membranes with functionalized carbon nanotube pores for selective transport
US7993524B2 (en) 2008-06-30 2011-08-09 Nanoasis Technologies, Inc. Membranes with embedded nanotubes for selective permeability
CN102143908A (zh) 2008-07-08 2011-08-03 宋健民 石墨烯与六方氮化硼薄片及其相关方法
US8316865B2 (en) 2008-07-31 2012-11-27 Mcneil-Ppc, Inc. Process for winding dental tape
US20100024722A1 (en) 2008-07-31 2010-02-04 Harold Ochs Apparatus for Coating Dental Tape
TW201012749A (en) 2008-08-19 2010-04-01 Univ Rice William M Methods for preparation of graphene nanoribbons from carbon nanotubes and compositions, thin films and devices derived therefrom
CN101659789B (zh) 2008-08-29 2012-07-18 清华大学 碳纳米管/导电聚合物复合材料的制备方法
EP2334352A1 (en) 2008-08-29 2011-06-22 Mohammad Saklain Rizvi A hiv filtration machine and method of filtering hiv using the machine and method of detecting hiv virus during filtration
US20110177154A1 (en) 2008-09-15 2011-07-21 Searete Llc, A Limited Liability Corporation Of The State Of Delaware Tubular nanostructure targeted to cell membrane
US9675443B2 (en) 2009-09-10 2017-06-13 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Energized ophthalmic lens including stacked integrated components
US9296158B2 (en) 2008-09-22 2016-03-29 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Binder of energized components in an ophthalmic lens
US20100076553A1 (en) 2008-09-22 2010-03-25 Pugh Randall B Energized ophthalmic lens
US9388048B1 (en) * 2008-10-08 2016-07-12 University Of Southern California Synthesis of graphene by chemical vapor deposition
US9375886B2 (en) 2008-10-31 2016-06-28 Johnson & Johnson Vision Care Inc. Ophthalmic device with embedded microcontroller
US8960449B2 (en) 2008-10-31 2015-02-24 Toray Industries, Inc. Composite semipermeable membrane and manufacturing method therefor
EP2356227B1 (en) 2008-11-14 2018-03-28 Viacyte, Inc. Encapsulation of pancreatic cells derived from human pluripotent stem cells
US8487296B2 (en) 2008-11-26 2013-07-16 New Jersey Institute Of Technology Graphene deposition and graphenated substrates
US20100161014A1 (en) 2008-12-23 2010-06-24 Lynch Joseph M Thermal treatment device
US8293013B2 (en) 2008-12-30 2012-10-23 Intermolecular, Inc. Dual path gas distribution device
CA2691390A1 (en) 2009-01-29 2010-07-29 Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. Facial treatment mask comprising an isolation layer
US8147599B2 (en) 2009-02-17 2012-04-03 Mcalister Technologies, Llc Apparatuses and methods for storing and/or filtering a substance
EP2416893B1 (en) 2009-02-24 2013-10-30 Ultradian Diagnostics LLC Microsecond response electrochemical sensors and methods thereof
EP2230511B1 (en) 2009-03-20 2017-04-26 Ecole Polytechnique Method for varying the diameter of a nanopore contained in a nanoporous membrane functionalised with a ph-dependent polyelectrolyte
KR101118473B1 (ko) 2009-03-27 2012-03-12 (주)바이오니아 나노다공막 및 이의 제조방법
SG174553A1 (en) 2009-03-27 2011-10-28 Johnson & Johnson Consumer Binary and tertiary galvanic particulates and methods of manufacturing and use thereof
US20100249273A1 (en) 2009-03-31 2010-09-30 Scales Charles W Polymeric articles comprising oxygen permeability enhancing particles
IT1393689B1 (it) 2009-04-06 2012-05-08 Envitech S R L Sa Processo e reattore di elettrocoagulazione con elettrodi di materiale nanostrutturato a base di carbonio per la rimozione di contaminanti dai liquidi
US20100258111A1 (en) 2009-04-07 2010-10-14 Lockheed Martin Corporation Solar receiver utilizing carbon nanotube infused coatings
US9017937B1 (en) 2009-04-10 2015-04-28 Pacific Biosciences Of California, Inc. Nanopore sequencing using ratiometric impedance
JP5449852B2 (ja) 2009-05-08 2014-03-19 株式会社東芝 超音波診断装置
FI122495B (fi) 2009-05-22 2012-02-29 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Näyteportti, monikerrossuodatin, näytteenottomenetelmä ja näyteportin käyttö näytteenotossa
US20110139707A1 (en) 2009-06-17 2011-06-16 The Regents Of The University Of California Nanoporous inorganic membranes and films, methods of making and usage thereof
JP5626969B2 (ja) 2009-07-02 2014-11-19 日本原料株式会社 濾過材洗浄装置
JP5500173B2 (ja) 2009-07-22 2014-05-21 コニカミノルタ株式会社 圧電体、超音波トランスデューサー、医療用超音波診断装置および非破壊超音波検査装置
EP2464446B1 (en) 2009-08-10 2014-12-24 Danisco US Inc. Cross-flow membrane filtration-based process for protein recovery
WO2011020035A2 (en) 2009-08-14 2011-02-17 Northwestern University Sorting two-dimensional nanomaterials by thickness
CA2770518A1 (en) 2009-08-18 2011-02-24 Technion Research & Development Foundation Ltd. Methods and devices of separating molecular analytes
CN101996853B (zh) 2009-08-19 2012-08-08 中国科学院物理研究所 一种对石墨或石墨烯进行各向异性刻蚀的方法
WO2011022677A1 (en) 2009-08-21 2011-02-24 Massachusetts Institute Of Technology Optical nanosensors comprising photoluminescent nanostructures
US8753468B2 (en) * 2009-08-27 2014-06-17 The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Method for the reduction of graphene film thickness and the removal and transfer of epitaxial graphene films from SiC substrates
US8808257B2 (en) 2009-08-31 2014-08-19 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Methods and apparatus for pulsatile release of medicaments from a punctal plug
WO2011025045A1 (ja) * 2009-08-31 2011-03-03 独立行政法人科学技術振興機構 グラフェン薄膜とその製造方法
US20110054576A1 (en) 2009-09-03 2011-03-03 Robinson Ronni L Combined Portable Thermal and Vibratory Treatment Device
US8292092B2 (en) 2009-09-08 2012-10-23 Teledyne Scientific & Imaging, Llc Macrocyclic pore-apertured carbon nanotube apparatus
CN102630304B (zh) 2009-09-18 2014-11-26 哈佛大学校长及研究员协会 可实现高灵敏度分子检测和分析的具有纳米孔的裸露的单层石墨烯膜
US20110073563A1 (en) 2009-09-25 2011-03-31 Industrial Technology Research Institute Patterning Method for Carbon-Based Substrate
KR101262327B1 (ko) 2009-10-16 2013-05-08 그래핀스퀘어 주식회사 그래핀의 롤투롤 전사 방법, 그래핀의 롤투롤 전사 장치 및 그래핀 롤
KR20110042952A (ko) 2009-10-20 2011-04-27 삼성전자주식회사 레이저 광을 이용한 그라핀의 힐링방법 및 전자소자 제조방법
US8449504B2 (en) 2009-11-11 2013-05-28 Calibra Medical, Inc. Wearable infusion device and system
BR112012011411A2 (pt) 2009-11-13 2017-12-12 Johnson & Johnson Consumer Companies Inc dispositivo galvânico de tratamento da pele
US20110124253A1 (en) 2009-11-23 2011-05-26 Applied Nanostructured Solutions, Llc Cnt-infused fibers in carbon-carbon composites
US9591852B2 (en) 2009-11-23 2017-03-14 Mcneil-Ppc, Inc. Biofilm disruptive compositions
CN102781558B (zh) 2009-11-25 2015-06-24 悉尼大学 膜及膜分离系统
US8808810B2 (en) 2009-12-15 2014-08-19 Guardian Industries Corp. Large area deposition of graphene on substrates, and products including the same
US20110152795A1 (en) 2009-12-21 2011-06-23 Aledo Eduardo C A Transparent facial treatment mask
WO2011087301A2 (ko) 2010-01-15 2011-07-21 성균관대학교산학협력단 기체 및 수분 차단용 그래핀 보호막, 이의 형성 방법 및 그의 용도
GB201000743D0 (en) 2010-01-18 2010-03-03 Univ Manchester Graphene polymer composite
WO2011094204A2 (en) 2010-01-26 2011-08-04 Wisconsin Alumni Research Foundation Methods of fabricating large-area, semiconducting nanoperforated graphene materials
EP2354272B1 (en) 2010-02-08 2016-08-24 Graphene Square Inc. Roll-to-roll apparatus for coating simultaneously internal and external surfaces of a pipe and graphene coating method using the same
WO2011099761A2 (ko) 2010-02-09 2011-08-18 (주)브라이어스 그래핀 파이버, 이의 제조 방법 및 이의 용도
WO2011100458A2 (en) 2010-02-10 2011-08-18 Bioo Scientific Corporation Methods for fractionating and processing microparticles from biological samples and using them for biomarker discovery
US20110202201A1 (en) 2010-02-12 2011-08-18 Fujitsu Ten Limited Remote starting device and remote starting method
JP5407921B2 (ja) 2010-02-19 2014-02-05 富士電機株式会社 グラフェン膜の製造方法
US9096437B2 (en) * 2010-03-08 2015-08-04 William Marsh Rice University Growth of graphene films from non-gaseous carbon sources
CN105496423A (zh) 2010-03-17 2016-04-20 伊利诺伊大学评议会 基于生物可吸收基质的可植入生物医学装置
US8592291B2 (en) * 2010-04-07 2013-11-26 Massachusetts Institute Of Technology Fabrication of large-area hexagonal boron nitride thin films
US8652779B2 (en) 2010-04-09 2014-02-18 Pacific Biosciences Of California, Inc. Nanopore sequencing using charge blockade labels
US8308702B2 (en) 2010-04-21 2012-11-13 Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. Foaming porous pad for use with a motorized device
US20110269919A1 (en) 2010-04-28 2011-11-03 Nanomaterial Innovation Ltd. CO2 reservoir
EP2566535A4 (en) 2010-05-03 2013-12-18 Izhar Halahmi DEVICE FOR ADMINISTERING A BIOACTIVE AGENT
US20130256118A1 (en) 2010-05-11 2013-10-03 Trustees Of Boston University Use of Nanopore Arrays For Multiplex Sequencing of Nucleic Acids
KR101537638B1 (ko) 2010-05-18 2015-07-17 삼성전자 주식회사 그라펜 박막을 이용한 수지의 도금 방법
US9075009B2 (en) * 2010-05-20 2015-07-07 Sungkyunkwan University Foundation For Corporation Collaboration Surface plasmon resonance sensor using metallic graphene, preparing method of the same, and surface plasmon resonance sensor system
CN103154729B (zh) 2010-06-08 2015-01-07 哈佛大学校长及研究员协会 具有由石墨烯支持的人工脂质膜的纳米孔装置
US9005565B2 (en) * 2010-06-24 2015-04-14 Hamid-Reza Jahangiri-Famenini Method and apparatus for forming graphene
CN103097288B (zh) 2010-07-14 2016-06-15 莫纳什大学 材料及其应用
US9216390B2 (en) 2010-07-15 2015-12-22 Ohio State Innovation Foundation Systems, compositions, and methods for fluid purification
WO2012015692A2 (en) 2010-07-28 2012-02-02 Smartcells, Inc. Recombinantly expressed insulin polypeptides and uses thereof
KR101227453B1 (ko) 2010-07-29 2013-01-29 서강대학교산학협력단 인공 신단위 장치
WO2012021801A2 (en) 2010-08-13 2012-02-16 Seventh Sense Biosystems, Inc. Systems and techniques for monitoring subjects
US9475709B2 (en) 2010-08-25 2016-10-25 Lockheed Martin Corporation Perforated graphene deionization or desalination
US8361321B2 (en) 2010-08-25 2013-01-29 Lockheed Martin Corporation Perforated graphene deionization or desalination
KR101211850B1 (ko) 2010-09-01 2012-12-12 연세대학교 산학협력단 그라핀 나노 필터 망, 그라핀 나노 필터 및 그 제조방법
WO2012030368A1 (en) 2010-09-01 2012-03-08 Lawrence Curtin Application of radio frequency to fluidized beds
EP2611948A2 (en) 2010-09-01 2013-07-10 Facultés Universitaires Notre-Dame de la Paix Method for depositing nanoparticles on substrates
US9522161B2 (en) 2010-10-26 2016-12-20 Advanced Bio Development, Inc. Performance enhancing composition and method of delivering nutrients
WO2012074506A1 (en) 2010-11-29 2012-06-07 Empire Technology Development Llc Graphene production using laser heated crystal growth
WO2012075120A2 (en) 2010-11-30 2012-06-07 University Of South Florida Graphene electrodes on a planar cubic silicon carbide (3c-sic) long term implantable neuronal prosthetic device
US8354296B2 (en) 2011-01-19 2013-01-15 International Business Machines Corporation Semiconductor structure and circuit including ordered arrangement of graphene nanoribbons, and methods of forming same
JP5699872B2 (ja) 2011-01-24 2015-04-15 日立金属株式会社 差動信号伝送用ケーブル
US20120211367A1 (en) 2011-01-25 2012-08-23 President And Fellows Of Harvard College Electrochemical carbon nanotube filter and method
US9162885B2 (en) 2011-02-17 2015-10-20 Rutgers, The State University Of New Jersey Graphene-encapsulated nanoparticle-based biosensor for the selective detection of biomarkers
US8950862B2 (en) 2011-02-28 2015-02-10 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Methods and apparatus for an ophthalmic lens with functional insert layers
BR112013023586B1 (pt) 2011-03-15 2021-01-26 President And Fellows Of Harvard College método de formação de um nanoporo em um material nanométrico e estrutura nanométrica
US9110310B2 (en) 2011-03-18 2015-08-18 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Multiple energization elements in stacked integrated component devices
US9698129B2 (en) 2011-03-18 2017-07-04 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Stacked integrated component devices with energization
US9914273B2 (en) 2011-03-18 2018-03-13 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Method for using a stacked integrated component media insert in an ophthalmic device
US10451897B2 (en) 2011-03-18 2019-10-22 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Components with multiple energization elements for biomedical devices
US9102111B2 (en) 2011-03-21 2015-08-11 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Method of forming a functionalized insert with segmented ring layers for an ophthalmic lens
US9804418B2 (en) 2011-03-21 2017-10-31 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Methods and apparatus for functional insert with power layer
US9195075B2 (en) 2011-03-21 2015-11-24 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Full rings for a functionalized layer insert of an ophthalmic lens
US9216391B2 (en) 2011-03-25 2015-12-22 Porifera, Inc. Membranes having aligned 1-D nanoparticles in a matrix layer for improved fluid separation
US9702849B2 (en) 2011-04-04 2017-07-11 President And Fellows Of Harvard College Nanopore sensing by local electrical potential measurement
US10138169B2 (en) 2011-04-04 2018-11-27 The Regents Of The University Of Colorado, A Body Corporate Highly porous ceramic material and method of using and forming same
KR101813170B1 (ko) 2011-04-11 2017-12-28 삼성전자주식회사 그래핀 함유 분리막
CN102242062B (zh) 2011-04-19 2012-12-19 浙江大学 一种高分辨率的生物传感器
WO2012145652A1 (en) 2011-04-20 2012-10-26 Trustees Of Tufts College Dynamic silk coatings for implantable devices
US8551650B2 (en) 2011-05-12 2013-10-08 Northwestern University Graphene materials having randomly distributed two-dimensional structural defects
CN102344132B (zh) 2011-07-08 2013-06-19 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种逐层减薄石墨烯的方法
US9193587B2 (en) 2011-07-13 2015-11-24 Lockheed Martin Corporation System and method for water purification and desalination
US8617411B2 (en) 2011-07-20 2013-12-31 Lam Research Corporation Methods and apparatus for atomic layer etching
US10761043B2 (en) * 2011-07-22 2020-09-01 The Trustees Of The University Of Pennsylvania Graphene-based nanopore and nanostructure devices and methods for macromolecular analysis
US20130025907A1 (en) 2011-07-26 2013-01-31 Tyco Electronics Corporation Carbon-based substrate conductor
US10175195B2 (en) 2011-07-27 2019-01-08 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Nanopore sensors for biomolecular characterization
US9812730B2 (en) 2011-08-02 2017-11-07 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Biocompatible wire battery
US9132389B2 (en) 2011-08-08 2015-09-15 Colorado State University Research Foundation Magnetically responsive membranes
US20140190550A1 (en) * 2011-08-11 2014-07-10 National University Of Singapore Tandem solar cell with graphene interlayer and method of making
US8586324B2 (en) 2011-08-15 2013-11-19 Biomet Biologics, Llc Method and apparatus to create autologous clotting serum
AU2012301868B2 (en) 2011-08-31 2017-02-02 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Processor controlled intraocular lens system
US20130056367A1 (en) 2011-09-06 2013-03-07 William E. Martinez Integrated sensing device and related methods
US8759153B2 (en) 2011-09-06 2014-06-24 Infineon Technologies Ag Method for making a sensor device using a graphene layer
US8925736B2 (en) 2011-09-12 2015-01-06 University Of Houston Nanocomposite polymer-carbon based nanomaterial filters for the simultaneous removal of bacteria and heavy metals
KR101405256B1 (ko) 2011-09-16 2014-06-10 엠파이어 테크놀로지 디벨롭먼트 엘엘씨 그래핀 결함 변경
WO2013039507A1 (en) 2011-09-16 2013-03-21 Empire Technology Development Llc Graphene defect detection
CN102423272B (zh) 2011-09-20 2016-03-30 复旦大学 一种具有网络通道的多孔支架及其制备方法
EP2574923A1 (en) * 2011-09-28 2013-04-03 Koninklijke Philips Electronics N.V. Apparatus for the processing of single molecules
KR101858642B1 (ko) 2011-09-29 2018-05-16 한화테크윈 주식회사 그래핀의 전사 방법
US9645149B2 (en) 2011-09-30 2017-05-09 The Regents Of The University Of Michigan System for detecting rare cells
US8808645B2 (en) 2011-10-25 2014-08-19 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Molecular filters
US9394177B2 (en) 2011-10-27 2016-07-19 Wisconsin Alumni Research Foundation Nanostructured graphene with atomically-smooth edges
US8721074B2 (en) 2011-11-30 2014-05-13 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Electrical interconnects in an electronic contact lens
US20130323295A1 (en) 2011-12-08 2013-12-05 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Monomer systems with dispersed silicone-based engineered particles
US20130146221A1 (en) * 2011-12-13 2013-06-13 Southern Illinois University Carbondale Graphene-based membranes as electron transparent windows for ambient pressure x-ray photoelectron spectroscopy
US20130152386A1 (en) 2011-12-15 2013-06-20 Praveen Pandojirao-S Methods and apparatus to form electrical interconnects on ophthalmic devices
EP2797993A4 (en) 2011-12-28 2015-12-09 Hollister Inc INSONORIZING NONWOVEN MATERIAL, SOUNDING MULTILAYER FILM AND FABRICATED LAMINATES THEREOF
CN103182249B (zh) 2011-12-30 2016-10-05 财团法人工业技术研究院 多孔基材的修饰方法及经修饰的多孔基材
US9425571B2 (en) 2012-01-06 2016-08-23 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Methods and apparatus to form electrical interconnects on ophthalmic devices
US9149806B2 (en) 2012-01-10 2015-10-06 Biopico Systems Inc Microfluidic devices and methods for cell sorting, cell culture and cells based diagnostics and therapeutics
EP2812750B1 (en) 2012-01-26 2019-07-10 Johnson & Johnson Vision Care Inc. Energized ophthalmic lens including stacked integrated components
WO2013112164A1 (en) 2012-01-26 2013-08-01 Empire Technology Development, Llc Graphene membrane with regular angstrom-scale pores
US8857983B2 (en) 2012-01-26 2014-10-14 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Ophthalmic lens assembly having an integrated antenna structure
US9056282B2 (en) 2012-01-27 2015-06-16 Empire Technology Development Llc Accelerating transport through graphene membranes
US8686249B1 (en) 2012-02-15 2014-04-01 Pioneer Hi Bred International Inc Maize hybrid X08C971
JP5504298B2 (ja) 2012-02-22 2014-05-28 アオイ電子株式会社 振動発電素子およびその製造方法
US9134546B2 (en) 2012-02-22 2015-09-15 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Ophthalmic lens with segmented ring layers in a functionalized insert
US20130215380A1 (en) 2012-02-22 2013-08-22 Randall B. Pugh Method of using full rings for a functionalized layer insert of an ophthalmic device
US9437370B2 (en) 2012-02-27 2016-09-06 Nanotek Instruments, Inc. Lithium-ion cell having a high-capacity anode and a high-capacity cathode
CN102592720A (zh) 2012-03-14 2012-07-18 于庆文 非金属电缆、制作方法及用途
AU2013231930B2 (en) 2012-03-15 2017-05-25 King Fahd University Of Petroleum & Minerals Graphene based filter
US20130240355A1 (en) 2012-03-16 2013-09-19 Lockheed Martin Corporation Functionalization of graphene holes for deionization
US9028663B2 (en) 2012-03-21 2015-05-12 Lockheed Martin Corporation Molecular separation device
IN2014DN07732A (ko) 2012-03-21 2015-05-15 Lockheed Corp
US8906245B2 (en) 2012-03-21 2014-12-09 Richard S. PLOSS, JR. Material trivial transfer graphene
DE102012005978A1 (de) 2012-03-23 2013-09-26 Johnson & Johnson Medical Gmbh Chirurgisches Implantat
US9095823B2 (en) 2012-03-29 2015-08-04 Lockheed Martin Corporation Tunable layered membrane configuration for filtration and selective isolation and recovery devices
US9463421B2 (en) 2012-03-29 2016-10-11 Lockheed Martin Corporation Planar filtration and selective isolation and recovery device
US20130256139A1 (en) 2012-03-30 2013-10-03 International Business Machines Corporation Functionalized graphene or graphene oxide nanopore for bio-molecular sensing and dna sequencing
US9675755B2 (en) 2012-04-04 2017-06-13 National Scientific Company Syringe filter
ES2745211T3 (es) 2012-04-12 2020-02-28 Univ Yale Vehículos para la administración controlada de diferentes agentes farmacéuticos
US9758674B2 (en) 2012-04-13 2017-09-12 Ticona Llc Polyarylene sulfide for oil and gas flowlines
US9494260B2 (en) 2012-04-13 2016-11-15 Ticona Llc Dynamically vulcanized polyarylene sulfide composition
US9758821B2 (en) 2012-04-17 2017-09-12 International Business Machines Corporation Graphene transistor gated by charges through a nanopore for bio-molecular sensing and DNA sequencing
US20130277305A1 (en) 2012-04-19 2013-10-24 Lockheed Martin Corporation Selectively perforated graphene membranes for compound harvest, capture and retention
CN102637584B (zh) 2012-04-20 2014-07-02 兰州大学 一种图形化石墨烯的转移制备方法
US20160067390A1 (en) 2014-03-12 2016-03-10 Lockheed Martin Corporation Methods for in vivo and in vitro use of graphene and other two-dimensional materials
US9744617B2 (en) 2014-01-31 2017-08-29 Lockheed Martin Corporation Methods for perforating multi-layer graphene through ion bombardment
US9067811B1 (en) 2012-05-25 2015-06-30 Lockheed Martin Corporation System, method, and control for graphenoid desalination
US9244196B2 (en) 2012-05-25 2016-01-26 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Polymers and nanogel materials and methods for making and using the same
US9610546B2 (en) 2014-03-12 2017-04-04 Lockheed Martin Corporation Separation membranes formed from perforated graphene and methods for use thereof
US9834809B2 (en) 2014-02-28 2017-12-05 Lockheed Martin Corporation Syringe for obtaining nano-sized materials for selective assays and related methods of use
US9297929B2 (en) 2012-05-25 2016-03-29 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Contact lenses comprising water soluble N-(2 hydroxyalkyl) (meth)acrylamide polymers or copolymers
US10653824B2 (en) 2012-05-25 2020-05-19 Lockheed Martin Corporation Two-dimensional materials and uses thereof
US20170296972A1 (en) 2016-04-14 2017-10-19 Lockheed Martin Corporation Method for making two-dimensional materials and composite membranes thereof having size-selective perforations
US10376845B2 (en) 2016-04-14 2019-08-13 Lockheed Martin Corporation Membranes with tunable selectivity
US10073192B2 (en) 2012-05-25 2018-09-11 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Polymers and nanogel materials and methods for making and using the same
US9403112B2 (en) 2012-06-12 2016-08-02 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Graphene oxide filters and methods of use
US20140000101A1 (en) 2012-06-29 2014-01-02 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Methods and apparatus to form printed batteries on ophthalmic devices
EP2679540A1 (en) 2012-06-29 2014-01-01 Graphenea, S.A. Method of manufacturing a graphene monolayer on insulating substrates
KR101964582B1 (ko) 2012-06-29 2019-04-03 존슨 앤드 존슨 비젼 케어, 인코포레이티드 눈의 갈바닉 치유를 위한 안과용 기구
DE102012016090A1 (de) 2012-08-14 2014-02-20 Johnson & Johnson Medical Gmbh Chirurgisches Implantat
GB201214565D0 (en) 2012-08-15 2012-09-26 Univ Manchester Membrane
KR101556360B1 (ko) 2012-08-16 2015-09-30 삼성전자주식회사 그래핀 물성 복귀 방법 및 장치
US20140093728A1 (en) 2012-09-28 2014-04-03 Applied Nanostructured Solutions, Llc Carbon nanostructures and methods of making the same
DE102012021547A1 (de) 2012-11-02 2014-05-08 Johnson & Johnson Medical Gmbh Chirurgisches Implantat
GB201220804D0 (en) * 2012-11-20 2013-01-02 Provost Fellows Foundation Scholars And The Other Members Of Board Of Asymetric bottom contacted 2D layer devices
US20150273401A1 (en) 2012-11-30 2015-10-01 Empire Technology Development Llc Selective membrane supported on nanoporous graphene
WO2014084856A1 (en) 2012-11-30 2014-06-05 Empire Technology Development, Llc Graphene membrane with size-tunable nanoscale pores
WO2014084860A1 (en) 2012-11-30 2014-06-05 Empire Technology Development, Llc Graphene membrane laminated to porous woven or nonwoven support
CA2893972A1 (en) 2012-12-19 2014-06-26 Johnson & Johnson Consumer Companies, Inc. Anhydrous powder-to-liquid particles
US20150321149A1 (en) 2012-12-19 2015-11-12 Robert McGinnis Selective membranes formed by alignment of porous materials
US9835390B2 (en) 2013-01-07 2017-12-05 Nanotek Instruments, Inc. Unitary graphene material-based integrated finned heat sink
SG2013091087A (en) 2013-01-09 2014-08-28 Johnson & Johnson Vision Care Multi-piece insert device with glue seal for ophthalmic devices
SG2013091095A (en) 2013-01-09 2014-08-28 Johnson & Johnson Vision Care Method of forming a multi-piece insert device with seal for ophthalmic devices
SG2013091079A (en) 2013-01-09 2014-08-28 Johnson & Johnson Vision Care Multi-piece insert device with locking seal for ophthalmic devices
US10898865B2 (en) 2013-01-31 2021-01-26 American University In Cairo (AUC) Polymer-carbon nanotube nanocomposite porous membranes
US9108158B2 (en) 2013-02-14 2015-08-18 University Of South Carolina Ultrathin, molecular-sieving graphene oxide membranes for separations along with their methods of formation and use
WO2014138691A1 (en) 2013-03-07 2014-09-12 Viacyte, Inc. 3-dimensional large capacity cell encapsulation device assembly
DE102013004573A1 (de) 2013-03-11 2014-09-11 Johnson & Johnson Medical Gmbh Chirurgisches Implantat
DE102013004574A1 (de) 2013-03-11 2014-09-11 Johnson & Johnson Medical Gmbh Chirurgisches Implantat
US9592475B2 (en) 2013-03-12 2017-03-14 Lockheed Martin Corporation Method for forming perforated graphene with uniform aperture size
US20160009049A1 (en) 2013-03-13 2016-01-14 Lockheed Martin Corporation Nanoporous membranes and methods for making the same
CN105102105A (zh) 2013-03-13 2015-11-25 洛克希德马丁公司 纳米多孔薄膜及其制造方法
US9480952B2 (en) 2013-03-14 2016-11-01 Lockheed Martin Corporation Methods for chemical reaction perforation of atomically thin materials
US8859286B2 (en) 2013-03-14 2014-10-14 Viacyte, Inc. In vitro differentiation of pluripotent stem cells to pancreatic endoderm cells (PEC) and endocrine cells
DE102013004486A1 (de) 2013-03-14 2014-09-18 Johnson & Johnson Medical Gmbh Chirurgisches Implantat
WO2014150363A2 (en) 2013-03-15 2014-09-25 Lockheed Martin Corporation Method of separating an atomically thin material from a substrate
US8974055B2 (en) 2013-03-15 2015-03-10 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Method and apparatus for encapsulating a rigid insert in a contact lens for correcting vision in astigmatic patients
US8894201B2 (en) 2013-03-15 2014-11-25 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Methods and ophthalmic devices with thin film transistors
US9977260B2 (en) 2013-03-15 2018-05-22 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Sealing and encapsulation in energized ophthalmic devices with annular inserts
US9307654B2 (en) 2013-03-15 2016-04-05 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Method of forming a patterned multi-piece insert for an ophthalmic lens
US8940552B2 (en) 2013-03-15 2015-01-27 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Methods and ophthalmic devices with organic semiconductor layer
US9581832B2 (en) 2013-03-15 2017-02-28 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Method and apparatus for encapsulating a rigid insert in a contact lens for correcting vision in astigmatic patients
US9406969B2 (en) 2013-03-15 2016-08-02 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Methods and apparatus to form three-dimensional biocompatible energization elements
US9481138B2 (en) 2013-03-15 2016-11-01 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Sealing and encapsulation in energized ophthalmic devices with annular inserts
US9310626B2 (en) 2013-03-15 2016-04-12 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Ophthalmic devices with organic semiconductor transistors
US9329410B2 (en) 2013-03-15 2016-05-03 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Ophthalmic lenses with colorant patterned inserts
US9096050B2 (en) * 2013-04-02 2015-08-04 International Business Machines Corporation Wafer scale epitaxial graphene transfer
US20160354729A1 (en) 2013-04-12 2016-12-08 General Electric Company Membranes comprising graphene
WO2014171946A1 (en) 2013-04-18 2014-10-23 Empire Technology Development, Llc Methods and systems for labeling and detecting defects in a graphene layer
US9370749B2 (en) 2013-04-24 2016-06-21 Battelle Memorial Institute Porous multi-component material for the capture and separation of species of interest
KR101421219B1 (ko) 2013-04-24 2014-07-30 한양대학교 산학협력단 그래핀 옥사이드 코팅층을 포함하는 복합 분리막 및 그 제조방법
US9358508B2 (en) 2013-04-25 2016-06-07 Lockheed Martin Corporation Dryer and water recovery/purification unit employing graphene oxide or perforated graphene monolayer membranes
WO2014182063A1 (ko) 2013-05-07 2014-11-13 주식회사 엘지화학 이차전지용 전극, 그의 제조방법, 그를 포함하는 이차전지 및 케이블형 이차전지
US8975121B2 (en) 2013-05-09 2015-03-10 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Methods and apparatus to form thin film nanocrystal integrated circuits on ophthalmic devices
US9429769B2 (en) 2013-05-09 2016-08-30 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Ophthalmic device with thin film nanocrystal integrated circuits
CN203235358U (zh) 2013-05-13 2013-10-16 无锡力合光电传感技术有限公司 一种空气过滤膜
DE102013208924A1 (de) 2013-05-14 2014-12-04 Johnson & Johnson Medical Gmbh Chirurgisches Implantat umfassend einer Lage mit Öffnungen
US9337274B2 (en) * 2013-05-15 2016-05-10 Globalfoundries Inc. Formation of large scale single crystalline graphene
US9804416B2 (en) 2013-05-21 2017-10-31 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Energizable ophthalmic lens with an event-based coloration system
CN105358448B (zh) 2013-05-21 2018-06-22 强生消费者公司 儿童安全包装件
US9572918B2 (en) 2013-06-21 2017-02-21 Lockheed Martin Corporation Graphene-based filter for isolating a substance from blood
US9052533B2 (en) 2013-07-11 2015-06-09 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Energizable ophthalmic lens with a smartphone event indicator mechanism
US9014639B2 (en) 2013-07-11 2015-04-21 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Methods of using and smartphone event notification utilizing an energizable ophthalmic lens with a smartphone event indicator mechanism
CN103480281A (zh) 2013-08-09 2014-01-01 天津工业大学 一种有机-无机超滤复合膜及制备方法
DE102013014295A1 (de) 2013-08-22 2015-02-26 Johnson & Johnson Medical Gmbh Chirurgisches Implantat
US20150053627A1 (en) 2013-08-26 2015-02-26 Hollingsworth & Vose Company Filter media having an optimized gradient
US9185486B2 (en) 2013-08-27 2015-11-10 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Ophthalmic lens with micro-acoustic elements
WO2015030698A1 (en) 2013-08-28 2015-03-05 National Institute Of Aerospace Associates Bulk preparation of holey carbon allotropes via controlled catalytic oxidation
US9448421B2 (en) 2013-09-04 2016-09-20 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Ophthalmic lens system capable of communication between lenses utilizing a secondary external device
US9170646B2 (en) 2013-09-04 2015-10-27 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Ophthalmic lens system capable of interfacing with an external device
US9268154B2 (en) 2013-09-17 2016-02-23 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Method and apparatus for ophthalmic devices including hybrid alignment layers and shaped liquid crystal layers
US9335562B2 (en) 2013-09-17 2016-05-10 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Method and apparatus for ophthalmic devices comprising dielectrics and liquid crystal polymer networks
US9500882B2 (en) 2013-09-17 2016-11-22 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Variable optic ophthalmic device including shaped liquid crystal elements with nano-scaled droplets of liquid crystal
US9442309B2 (en) 2013-09-17 2016-09-13 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Method and apparatus for ophthalmic devices comprising dielectrics and nano-scaled droplets of liquid crystal
US20150077658A1 (en) 2013-09-17 2015-03-19 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Variable optic ophthalmic device including shaped liquid crystal elements and polarizing elements
SG10201405242WA (en) 2013-09-17 2015-04-29 Johnson & Johnson Vision Care Variable optic ophthalmic device including liquid crystal elements
US9366881B2 (en) 2013-09-17 2016-06-14 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Method and apparatus for ophthalmic devices including shaped liquid crystal polymer networked regions of liquid crystal
US9869885B2 (en) 2013-09-17 2018-01-16 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Method and apparatus for ophthalmic devices including gradient-indexed liquid crystal layers and shaped dielectric layers
US20150075667A1 (en) 2013-09-19 2015-03-19 Lockheed Martin Corporation Carbon macrotubes and methods for making the same
US9225375B2 (en) 2013-09-23 2015-12-29 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Ophthalmic lens system capable of wireless communication with multiple external devices
US20150096935A1 (en) 2013-10-04 2015-04-09 Somenath Mitra Nanocarbon immobilized membranes
US10166386B2 (en) 2013-10-14 2019-01-01 The Board Of Regents Of The University Of Oklahoma Implantable electrode assembly
AU2014342140B2 (en) 2013-11-01 2018-10-04 King Fahd University Of Petroleum & Minerals Mitigating leaks in membranes
US20160284811A1 (en) * 2013-11-04 2016-09-29 Massachusetts Institute Of Technology Electronics including graphene-based hybrid structures
CN103585891A (zh) 2013-11-13 2014-02-19 济南泰易膜科技有限公司 一种抗压微孔膜及其制备方法
US9731437B2 (en) 2013-11-22 2017-08-15 Johnson & Johnson Vision Care, Inc. Method of manufacturing hydrogel ophthalmic devices with electronic elements
CN103603706A (zh) 2013-11-25 2014-02-26 广西玉柴机器股份有限公司 发动机曲轴箱油气分离装置
US20160282326A1 (en) 2013-11-25 2016-09-29 Northeastern University Freestanding Ultrathin Membranes and Transfer-Free Fabrication Thereof
WO2015095267A1 (en) 2013-12-18 2015-06-25 Ticona Llc Conductive thermoplastic compositions for use in tubular applications
US9522189B2 (en) 2013-12-20 2016-12-20 Johnson & Johnson Consumer Inc. Topical gel compositions including poly(monostearoyl glycerol-co-succinate) polymer and methods for enhancing the topical application of a benefit agent
US20150174254A1 (en) 2013-12-23 2015-06-25 Mcneil-Ppc, Inc. Topical gel compositions including polycaprolactone polymer and methods for enhancing the topical application of a benefit agent
US9347911B2 (en) 2013-12-30 2016-05-24 Infineon Technologies Ag Fluid sensor chip and method for manufacturing the same
US20150182473A1 (en) 2013-12-30 2015-07-02 Molecular Rebar Design, Llc Transdermal patches with discrete carbon nanotubes
WO2015110277A1 (de) 2014-01-21 2015-07-30 Nephro-Solutions Ag Dialysegerät mit einem dialysator
CN105940479A (zh) 2014-01-31 2016-09-14 洛克希德马丁公司 使用宽离子场穿孔二维材料
CN106029596A (zh) 2014-01-31 2016-10-12 洛克希德马丁公司 采用多孔非牺牲性支撑层的二维材料形成复合结构的方法
WO2015138736A1 (en) 2014-03-12 2015-09-17 Lockheed Martin Corporation In vivo and in vitro use of graphene
WO2015138752A1 (en) 2014-03-12 2015-09-17 Lockheed Martin Corporation Coating of a porous substrate for disposition of graphene and other two-dimensional materials thereon
JP2017512129A (ja) 2014-03-12 2017-05-18 ロッキード・マーチン・コーポレーション 有孔グラフェンから形成された分離膜
WO2015138808A1 (en) 2014-03-12 2015-09-17 Lockheed Martin Corporation Graphene-based molecular separation and sequestration device
US20150258525A1 (en) 2014-03-12 2015-09-17 Lockheed Martin Corporation Graphene-based molecular sieves and methods for production thereof
WO2015148548A2 (en) 2014-03-24 2015-10-01 Lockheed Martin Corporation Large area membrane evaluation apparatuses and methods for use thereof
US9468606B2 (en) 2014-03-31 2016-10-18 Johnson & Johnson Consumer Inc. Compostions and methods for enhancing the topical application of an acidic benefit agent
US9474699B2 (en) 2014-03-31 2016-10-25 Johnson & Johnson Consumer Inc. Compostions and methods for enhancing the topical application of a basic benefit agent
EP2937313B1 (en) 2014-04-24 2019-04-03 Graphenea, S.A. Equipment and method to automatically transfer a graphene monolayer to a substrate
MX2016014557A (es) 2014-05-08 2017-05-04 Lockheed Corp Materiales bidimensionales apilables y metodos para producir estructuras que incorporan los mismos.
US9274245B2 (en) 2014-05-30 2016-03-01 Baker Hughes Incorporated Measurement technique utilizing novel radiation detectors in and near pulsed neutron generator tubes for well logging applications using solid state materials
US11607026B2 (en) 2014-05-30 2023-03-21 Johnson & Johnson Consumer Inc. Device for delivery of skin care composition
US20150359742A1 (en) 2014-06-17 2015-12-17 Johnson & Johnson Consumer Inc. Compositions and methods for enhancing the topical application of a benefit agent including powder to liquid particles and a second powder
PL224343B1 (pl) * 2014-06-25 2016-12-30 Inst Tech Materiałów Elektronicznych Sposób przenoszenia warstwy grafenowej
US9742001B2 (en) 2014-08-07 2017-08-22 Nanotek Instruments, Inc. Graphene foam-protected anode active materials for lithium batteries
US10456754B2 (en) 2014-08-08 2019-10-29 University Of Southern California High performance membranes for water reclamation using polymeric and nanomaterials
KR101595185B1 (ko) 2014-09-01 2016-02-19 한국기계연구원 액체 여과 구조체
CN107073408A (zh) 2014-09-02 2017-08-18 洛克希德马丁公司 基于二维膜材料的血液透析膜和血液过滤膜及其应用方法
TWI526534B (zh) 2014-12-01 2016-03-21 國立台灣科技大學 葡萄糖氧化酵素/赤血鹽複合電紡聚乙烯醇奈米纖維膜及應用於拋棄式感測試紙的葡萄糖氧化酵素/赤血鹽複合電紡聚乙烯醇奈米纖維膜
WO2016102003A1 (en) 2014-12-23 2016-06-30 Das-Nano, S.L. Quality inspection of thin film materials
DE102015002672A1 (de) 2015-03-03 2016-09-08 Mann + Hummel Gmbh Filtermedium und Filterelement mit einem Filtermedium
EP3070053B1 (en) 2015-03-17 2018-02-28 Graphenea, S.A. Method for obtaining graphene oxide
US10354866B2 (en) 2015-07-27 2019-07-16 Graphenea, S.A. Equipment and method to automatically transfer a graphene monolayer to a substrate
MX2018001559A (es) 2015-08-06 2018-09-27 Lockheed Corp Modificacion de nanoparticula y perforacion de grafeno.
WO2017023379A1 (en) 2015-08-06 2017-02-09 Lockheed Martin Corporation Implantable graphene membranes with low cytotoxicity
WO2017023375A1 (en) * 2015-08-06 2017-02-09 Lockheed Martin Corporation Biologically-relevant selective enclosures for promoting growth and vascularization
EP3135631B1 (en) 2015-08-24 2024-04-10 Graphenea Semiconductor S.L.U. Method for transferring graphene
US10124299B2 (en) 2015-09-08 2018-11-13 Gwangju Institute Of Science And Technology Membrane based on graphene and method of manufacturing same
CA3020880A1 (en) 2016-04-14 2017-10-19 Lockheed Martin Corporation Selective interfacial mitigation of graphene defects

Also Published As

Publication number Publication date
CA3020686A1 (en) 2017-10-19
SG11201808962RA (en) 2018-11-29
JP2019511451A (ja) 2019-04-25
TW201803805A (zh) 2018-02-01
US20170298504A1 (en) 2017-10-19
US10017852B2 (en) 2018-07-10
WO2017180137A1 (en) 2017-10-19
EP3442739A1 (en) 2019-02-20
EP3442739A4 (en) 2020-03-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20190019907A (ko) 자유-플로팅 방법을 사용한 대규모 이송을 위한 그래핀 시트 취급 방법
US8987688B2 (en) Device and method for manufacturing a particulate filter with regularly spaced micropores
JP5883621B2 (ja) インプリントで誘導されるブロック共重合体のパターン化のためのシステムおよび方法
KR102182550B1 (ko) 유도된 자기-조립층을 기판 상에 형성하는 방법
US8637346B1 (en) Method for manufacturing graphene nano array and field-effect transistor including the same
US9023221B2 (en) Method of forming multi-layer graphene
US9314819B2 (en) Anhydride copolymer top coats for orientation control of thin film block copolymers
US20180257359A1 (en) Methods for transferring graphene films and substrates comprising graphene films
TW201544453A (zh) 使用多孔性非犧牲型支撐層以形成具有二維材料的複合結構體之方法
KR20140002570A (ko) 절연기판상에 그래핀 단일층을 제조하는 방법
US10646831B2 (en) Method for manufacturing of a carbon nanomembrane
US9610544B2 (en) Method for creating a nano-perforated crystalline layer
US9927706B2 (en) Atomic layer chemical patterns for block copolymer assembly
US20230012465A9 (en) Methods of supporting a graphene sheet disposed on a frame support
KR101563231B1 (ko) 나노시트-무기물 적층 다공성 나노구조체 및 이의 제조 방법
EP2991754B1 (en) Method of manufacturing a partially freestanding two-dimensional crystal film and device comprising such a film
US9018101B2 (en) Patterned graphene structures on silicon carbide
WO2014078124A1 (en) Pattern fortification for hdd bit patterned media pattern transfer
Zulqurnain et al. Defect seeded remote epitaxy of GaAs films on graphene
CN110534429A (zh) 一种超导薄膜及其制备方法
JP2010521291A (ja) 規則的に間隔をおいて配置されたマイクロ細孔を有する微粒子フィルタを製造するためのデバイスおよび方法
JP6288774B2 (ja) 防汚性に優れた高分子エラストマー部材およびそれを用いたロール部材
JP2023029978A (ja) 官能基の着脱を利用したグラフェンナノ細孔の形成方法及びそれによって形成されたグラフェンナノ細孔を有するグラフェンシート
KR102564206B1 (ko) 표면에너지 조절층을 이용한 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
JP2002283761A (ja) 印刷版及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
PA0105 International application

Patent event date: 20181022

Patent event code: PA01051R01D

Comment text: International Patent Application

PG1501 Laying open of application
PC1203 Withdrawal of no request for examination