KR20190006921A - 물품 반송차 - Google Patents
물품 반송차 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20190006921A KR20190006921A KR1020180079228A KR20180079228A KR20190006921A KR 20190006921 A KR20190006921 A KR 20190006921A KR 1020180079228 A KR1020180079228 A KR 1020180079228A KR 20180079228 A KR20180079228 A KR 20180079228A KR 20190006921 A KR20190006921 A KR 20190006921A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- regulating
- support
- container
- supporting
- regulating member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
- B66F—HOISTING, LIFTING, HAULING OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD
- B66F9/00—Devices for lifting or lowering bulky or heavy goods for loading or unloading purposes
- B66F9/06—Devices for lifting or lowering bulky or heavy goods for loading or unloading purposes movable, with their loads, on wheels or the like, e.g. fork-lift trucks
- B66F9/07—Floor-to-roof stacking devices, e.g. "stacker cranes", "retrievers"
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transportation (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Civil Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geology (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
도 2는, 물품 반송차의 일부 종단 배면도이다.
도 3은, 지지체가 상승 높이인 물품 반송차의 측면도이다.
도 4는, 지지체가 하강 높이인 물품 반송차의 측면도이다.
도 5는, 지지부가 인퇴 위치이고 또한 지지체가 하강 위치인 물품 반송차의 일부 종단 배면도이다.
도 6은, 지지부가 돌출 위치이고 또한 지지체가 하강 위치인 물품 반송차의 일부 종단 배면도이다.
도 7은, 지지부가 돌출 위치이고 또한 지지체가 상승 위치의 물품 반송차의 일부 종단 배면도이다.
도 8은, 지지부가 인퇴 위치이고 또한 지지체가 상승 위치의 물품 반송차의 일부 종단 배면도이다.
도 9는, 제어 블록도이다.
도 10은, 도 3의 부분 확대도이다.
도 11은, 도 4의 부분 확대도이다.
5 : 개구
6 : 본체부
7 : 커버체
13 : 주행부
19 : 지지부
20 : 이동 기구
21 : 커버체(중간부)
26 : 지지체
27 : 이동체
28 : 승강 기구
36 : 제1 규제체(낙하 규제체)
36A : 연결부
36B : 규제부
36C : 요동부
38A : 링크 기구
38B : 링크체
W : 용기
WS : 지지 용기
X : 전후 방향
Y : 폭 방향
Y1 : 폭 방향 제1 측(본체 측)
Y2 : 폭 방향 제2 측(반대 측, 돌출 측)
Z : 상하 방향
Claims (10)
- 주행 경로를 따라 주행하는 주행부; 용기를 지지하는 지지부; 및 상기 지지부를 상하 방향으로 볼 때 상기 주행 경로에 대하여 교차하는 폭 방향으로 이동시키는 이동 기구를 포함하고,
상기 이동 기구는, 상기 주행부에 대하여 상기 폭 방향으로 돌출시킨 돌출 위치와, 상기 돌출 위치에 대하여 상기 주행부 측의 인퇴(引退) 위치로 상기 지지부를 이동시키고,
상기 지지부는, 상기 용기의 바닥면을 하방으로부터 지지하는 지지체; 상기 이동 기구에 의해 상기 폭 방향으로 이동하는 이동체; 및 상기 지지체를 상기 이동체에 대하여 상하 방향으로 이동시키는 승강 기구를 구비하고,
상기 용기는, 상기 지지부에 지지되어 있는 상태에서 상기 폭 방향으로 개구되는 본체부; 및 상기 개구를 닫는 커버체를 구비하고 있는 물품 반송차로서,
상기 지지체에 지지되어 있는 상기 용기인 지지 용기의 상기 커버체가 낙하하는 것을 규제하는 낙하 규제체; 및 상기 낙하 규제체를 상기 지지체에 연동시키는 연동 기구를 더 포함하고,
상기 낙하 규제체는, 상기 지지 용기의 상기 커버체에 대하여 상기 본체부의 측과는 반대 측에 배치되고, 상기 커버체의 하단(下端)으로부터 상방으로 돌출되는 규제 위치와, 상기 커버체의 하단으로부터 하방으로 인퇴하는 퇴피(退避) 위치로 이동 가능하게 구성되고,
상기 연동 기구는, 상기 지지체가 상승함에 따라 상기 낙하 규제체를 상기 퇴피 위치로부터 상기 규제 위치로 이동시키고, 또한 상기 지지체가 하강함에 따라 상기 낙하 규제체를 상기 규제 위치로부터 상기 퇴피 위치로 이동시키는,
물품 반송차. - 제1항에 있어서,
상기 낙하 규제체는, 상기 폭 방향을 따르는 축심(軸心) 주위로 요동 가능하게 상기 지지체에 연결되어, 요동에 의해 상기 규제 위치와 상기 퇴피 위치로 이동하고,
상기 연동 기구는, 상기 이동체와 상기 낙하 규제체의 양쪽에 요동 가능하게 연결된 링크 기구를 가지고 있는, 물품 반송차. - 제2항에 있어서,
상기 낙하 규제체는, 상기 지지체에 연결되는 연결부; 상기 연결부로부터 상기 폭 방향에 직교하는 제1 방향을 따라 연장되는 규제부; 상기 연결부로부터 상기 폭 방향에 직교하고, 또한 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 연장되는 요동부를 구비하고,
상기 규제부는, 상기 낙하 규제체가 상기 규제 위치에 있는 상태에서 상기 지지 용기의 상기 커버체의 하단보다 상방에 위치하고, 또한 상기 낙하 규제체가 상기 퇴피 위치에 있는 상태에서 상기 지지 용기의 상기 커버체의 하단보다 하방에 위치하는 부분을 가지고,
상기 요동부는, 상기 규제 위치 및 상기 퇴피 위치의 양쪽에 있어서 상기 규제부보다 하방에 위치하고,
상기 링크 기구는, 상기 이동체와 상기 요동부 양쪽에 대하여 요동 가능하게 연결된 링크체를 구비하고 있는, 물품 반송차. - 제2항에 있어서,
상기 폭 방향에 있어서 상기 인퇴 위치에 대하여 상기 돌출 위치가 존재하는 측을 돌출 측으로 하고,
상기 지지체는, 상기 개구가 상기 돌출 측을 향하는 자세로 상기 지지 용기를 지지하고,
상기 낙하 규제체는, 상기 지지체에 있어서의 상기 돌출 측의 단부(端部)에 연결되어 있는, 물품 반송차. - 제3항에 있어서,
상기 폭 방향에 있어서 상기 인퇴 위치에 대하여 상기 돌출 위치가 존재하는 측을 돌출 측으로 하고,
상기 지지체는, 상기 개구가 상기 돌출 측을 향하는 자세로 상기 지지 용기를 지지하고,
상기 낙하 규제체는, 상기 지지체에 있어서의 상기 돌출 측의 단부에 연결되어 있는, 물품 반송차. - 제1항에 있어서,
상기 낙하 규제체를 제1 규제체로 하고, 상기 제1 규제체가 상기 규제 위치로 되는 상기 지지체의 높이를 상승 높이로 하여,
상기 지지 용기의 상기 커버체가 낙하하는 것을 규제하는 제2 규제체; 상기 제2 규제체를 이동시키는 구동부; 및 상기 주행부에 지지되고 또한 상기 이동 기구를 지지하는 중간부를 더 포함하고,
상기 제2 규제체는, 상기 지지부가 상기 인퇴 위치에 위치하는 상태에서 상기 지지 용기의 상기 커버체에 대하여 상기 본체부의 측과는 반대 측에 위치하도록, 상기 중간부에 지지되고,
상기 구동부는, 상기 지지체가 상기 상승 높이에 위치하는 상태에서, 상기 제2 규제체가 상기 커버체의 상단으로부터 하방으로 돌출되는 규제 위치와, 상기 지지체가 상기 상승 높이에 위치하는 상태에서, 상기 제2 규제체가 상기 지지 용기의 상단으로부터 상방으로 인퇴하는 퇴피 위치로 상기 제2 규제체를 이동시키는, 물품 반송차. - 제2항에 있어서,
상기 낙하 규제체를 제1 규제체로 하고, 상기 제1 규제체가 상기 규제 위치로 되는 상기 지지체의 높이를 상승 높이로 하여,
상기 지지 용기의 상기 커버체가 낙하하는 것을 규제하는 제2 규제체; 상기 제2 규제체를 이동시키는 구동부; 및 상기 주행부에 지지되고 또한 상기 이동 기구를 지지하는 중간부를 더 포함하고,
상기 제2 규제체는, 상기 지지부가 상기 인퇴 위치에 위치하는 상태에서 상기 지지 용기의 상기 커버체에 대하여 상기 본체부 측과는 반대 측에 위치하도록, 상기 중간부에 지지되고,
상기 구동부는, 상기 지지체가 상기 상승 높이에 위치하는 상태에서, 상기 제2 규제체가 상기 커버체의 상단으로부터 하방으로 돌출되는 규제 위치와, 상기 지지체가 상기 상승 높이에 위치하는 상태에서, 상기 제2 규제체가 상기 지지 용기의 상단으로부터 상방으로 인퇴하는 퇴피 위치로 상기 제2 규제체를 이동시키는, 물품 반송차. - 제3항에 있어서,
상기 낙하 규제체를 제1 규제체로 하고, 상기 제1 규제체가 상기 규제 위치로 되는 상기 지지체의 높이를 상승 높이로 하여,
상기 지지 용기의 상기 커버체가 낙하하는 것을 규제하는 제2 규제체; 상기 제2 규제체를 이동시키는 구동부; 및 상기 주행부에 지지되고 또한 상기 이동 기구를 지지하는 중간부를 더 포함하고,
상기 제2 규제체는, 상기 지지부가 상기 인퇴 위치에 위치하는 상태에서 상기 지지 용기의 상기 커버체에 대하여 상기 본체부 측과는 반대 측에 위치하도록, 상기 중간부에 지지되고,
상기 구동부는, 상기 지지체가 상기 상승 높이에 위치하는 상태에서, 상기 제2 규제체가 상기 커버체의 상단으로부터 하방으로 돌출되는 규제 위치와, 상기 지지체가 상기 상승 높이에 위치하는 상태에서, 상기 제2 규제체가 상기 지지 용기의 상단으로부터 상방으로 인퇴하는 퇴피 위치로 상기 제2 규제체를 이동시키는, 물품 반송차. - 제4항에 있어서,
상기 낙하 규제체를 제1 규제체로 하고, 상기 제1 규제체가 상기 규제 위치로 되는 상기 지지체의 높이를 상승 높이로 하여,
상기 지지 용기의 상기 커버체가 낙하하는 것을 규제하는 제2 규제체; 상기 제2 규제체를 이동시키는 구동부; 및 상기 주행부에 지지되고 또한 상기 이동 기구를 지지하는 중간부를 더 포함하고,
상기 제2 규제체는, 상기 지지부가 상기 인퇴 위치에 위치하는 상태에서 상기 지지 용기의 상기 커버체에 대하여 상기 본체부 측과는 반대 측에 위치하도록, 상기 중간부에 지지되고,
상기 구동부는, 상기 지지체가 상기 상승 높이에 위치하는 상태에서, 상기 제2 규제체가 상기 커버체의 상단으로부터 하방으로 돌출되는 규제 위치와, 상기 지지체가 상기 상승 높이에 위치하는 상태에서, 상기 제2 규제체가 상기 지지 용기의 상단으로부터 상방으로 인퇴하는 퇴피 위치로 상기 제2 규제체를 이동시키는, 물품 반송차. - 제5항에 있어서,
상기 낙하 규제체를 제1 규제체로 하고, 상기 제1 규제체가 상기 규제 위치로 되는 상기 지지체의 높이를 상승 높이로 하여,
상기 지지 용기의 상기 커버체가 낙하하는 것을 규제하는 제2 규제체; 상기 제2 규제체를 이동시키는 구동부; 및 상기 주행부에 지지되고 또한 상기 이동 기구를 지지하는 중간부를 더 포함하고,
상기 제2 규제체는, 상기 지지부가 상기 인퇴 위치에 위치하는 상태에서 상기 지지 용기의 상기 커버체에 대하여 상기 본체부 측과는 반대 측에 위치하도록, 상기 중간부에 지지되고,
상기 구동부는, 상기 지지체가 상기 상승 높이에 위치하는 상태에서, 상기 제2 규제체가 상기 커버체의 상단으로부터 하방으로 돌출되는 규제 위치와, 상기 지지체가 상기 상승 높이에 위치하는 상태에서, 상기 제2 규제체가 상기 지지 용기의 상단으로부터 상방으로 인퇴하는 퇴피 위치로 상기 제2 규제체를 이동시키는, 물품 반송차.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2017-135617 | 2017-07-11 | ||
JP2017135617A JP6794946B2 (ja) | 2017-07-11 | 2017-07-11 | 物品搬送車 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20190006921A true KR20190006921A (ko) | 2019-01-21 |
KR102466930B1 KR102466930B1 (ko) | 2022-11-11 |
Family
ID=65000563
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020180079228A Active KR102466930B1 (ko) | 2017-07-11 | 2018-07-09 | 물품 반송차 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11066284B2 (ko) |
JP (1) | JP6794946B2 (ko) |
KR (1) | KR102466930B1 (ko) |
CN (1) | CN109230307B (ko) |
TW (1) | TWI743377B (ko) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102167259B1 (ko) * | 2019-04-23 | 2020-10-19 | 시너스텍 주식회사 | 풉 도어의 개방을 방지하는 oht 장치 |
KR20200134079A (ko) * | 2019-05-21 | 2020-12-01 | 세메스 주식회사 | 카세트 지지 유닛 및 이를 갖는 비히클 |
KR20210023140A (ko) * | 2019-08-22 | 2021-03-04 | 세메스 주식회사 | 캐리어 이송 장치 |
KR20210128784A (ko) * | 2020-04-17 | 2021-10-27 | 세메스 주식회사 | 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클 |
KR102712311B1 (ko) * | 2023-06-01 | 2024-10-02 | 서울엔지니어링(주) | Euv 레티클 운반용 캐리어 박스 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102387549B1 (ko) * | 2018-01-24 | 2022-04-19 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 반송차 |
CN111332721A (zh) * | 2020-04-01 | 2020-06-26 | 南通天福机械有限公司 | 一种宽度高度可调节式输送轨 |
JP2022101200A (ja) * | 2020-12-24 | 2022-07-06 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
CN113871335A (zh) * | 2021-09-30 | 2021-12-31 | 弥费实业(上海)有限公司 | 横向移载装置、空中运输设备及自动物料搬送系统 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200218657Y1 (ko) * | 2000-11-02 | 2001-04-02 | 보아기계공업주식회사 | 우편물 하역용 레벨링 장치 |
KR20130131460A (ko) * | 2011-05-17 | 2013-12-03 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 천정 반송차 |
KR20150085780A (ko) * | 2014-01-16 | 2015-07-24 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 대차 |
KR20150116387A (ko) * | 2014-04-07 | 2015-10-15 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송차 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004315191A (ja) * | 2003-04-18 | 2004-11-11 | Daifuku Co Ltd | 物品保管設備の落下防止装置 |
JP3981885B2 (ja) * | 2003-05-20 | 2007-09-26 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
KR101227918B1 (ko) * | 2008-05-22 | 2013-01-30 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 천정반송차 |
CN102789132B (zh) * | 2011-01-28 | 2014-07-16 | 家登精密工业股份有限公司 | 具有固定结构的极紫外光光罩储存传送盒 |
US9635839B2 (en) * | 2013-08-19 | 2017-05-02 | A.H. Jansen Holding B.V. | Device and method for facilitating placing of poultry in containers |
EP3159923B1 (en) * | 2014-06-19 | 2021-06-16 | Murata Machinery, Ltd. | Carrier buffering device and buffering method |
JP6327124B2 (ja) * | 2014-11-12 | 2018-05-23 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
-
2017
- 2017-07-11 JP JP2017135617A patent/JP6794946B2/ja active Active
-
2018
- 2018-07-09 KR KR1020180079228A patent/KR102466930B1/ko active Active
- 2018-07-10 TW TW107123846A patent/TWI743377B/zh active
- 2018-07-10 US US16/031,231 patent/US11066284B2/en active Active
- 2018-07-11 CN CN201810757273.9A patent/CN109230307B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR200218657Y1 (ko) * | 2000-11-02 | 2001-04-02 | 보아기계공업주식회사 | 우편물 하역용 레벨링 장치 |
KR20130131460A (ko) * | 2011-05-17 | 2013-12-03 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 천정 반송차 |
KR20150085780A (ko) * | 2014-01-16 | 2015-07-24 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송 대차 |
KR20150116387A (ko) * | 2014-04-07 | 2015-10-15 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 물품 반송차 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102167259B1 (ko) * | 2019-04-23 | 2020-10-19 | 시너스텍 주식회사 | 풉 도어의 개방을 방지하는 oht 장치 |
KR20200134079A (ko) * | 2019-05-21 | 2020-12-01 | 세메스 주식회사 | 카세트 지지 유닛 및 이를 갖는 비히클 |
KR20210023140A (ko) * | 2019-08-22 | 2021-03-04 | 세메스 주식회사 | 캐리어 이송 장치 |
KR20210128784A (ko) * | 2020-04-17 | 2021-10-27 | 세메스 주식회사 | 카세트 고정 유닛 및 이를 갖는 비히클 |
KR102712311B1 (ko) * | 2023-06-01 | 2024-10-02 | 서울엔지니어링(주) | Euv 레티클 운반용 캐리어 박스 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11066284B2 (en) | 2021-07-20 |
CN109230307B (zh) | 2021-11-30 |
JP2019018924A (ja) | 2019-02-07 |
KR102466930B1 (ko) | 2022-11-11 |
CN109230307A (zh) | 2019-01-18 |
US20190016574A1 (en) | 2019-01-17 |
TWI743377B (zh) | 2021-10-21 |
TW201908220A (zh) | 2019-03-01 |
JP6794946B2 (ja) | 2020-12-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20190006921A (ko) | 물품 반송차 | |
TWI634066B (zh) | 物品搬送台車 | |
JP6171984B2 (ja) | 物品支持装置 | |
TWI660903B (zh) | 物品搬送設備 | |
KR102155617B1 (ko) | 물품 수납 설비 | |
CN1576193B (zh) | 搬运装置 | |
KR101359682B1 (ko) | 천장을 주행하는 반송차의 사이드 버퍼 및 반송차 시스템 | |
TWI731214B (zh) | 高架搬送車 | |
CN103171841A (zh) | 物品运送设备 | |
KR20080082470A (ko) | 물품 반송 설비 | |
KR20180028973A (ko) | 물품 반송 장치 | |
CN111587201B (zh) | 搬送车 | |
JP6743967B2 (ja) | 天井搬送車システム及びティーチングユニット | |
TW202200467A (zh) | 物品收納設備 | |
TW202306862A (zh) | 物品搬送設備 | |
TW202130564A (zh) | 物品收納設備 | |
JP2003128209A (ja) | 搬送装置 | |
KR20240026100A (ko) | 반송차 | |
KR20220061877A (ko) | 반송차 | |
KR20230143936A (ko) | 용기간 이송탑재 장치 및 용기간 이송탑재 방법 | |
KR20220060485A (ko) | 반송차 | |
JP2005219834A (ja) | 自動倉庫における荷の移載装置 | |
JPH046580B2 (ko) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20180709 |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
A201 | Request for examination | ||
PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20210329 Comment text: Request for Examination of Application Patent event code: PA02011R01I Patent event date: 20180709 Comment text: Patent Application |
|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20220621 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20220921 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20221109 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20221109 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration |