KR20190004667A

KR20190004667A - 연삭 장치

Info

Publication number: KR20190004667A
Application number: KR1020180076987A
Authority: KR
Inventors: 마코토 마에지마; 가츠타카 구와나; 마사아키 스즈키; 료스케 니시하라; 에미코 가와무라
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2017-07-04
Filing date: 2018-07-03
Publication date: 2019-01-14
Anticipated expiration: 2038-07-03
Also published as: CN109202690A; CN109202690B; JP7067878B2; TWI763861B; TW201907468A; KR102554148B1; JP2019013989A

Abstract

환형으로 배치된 지석의 외측으로 연삭수가 배출되기 쉬운 연삭 장치를 제공한다.
연삭 장치(1)는, 연삭수 공급 수단(30)을 구비하고, 연삭수 공급 수단(30)은, 스핀들(14)과 마운트(13)를 관통하는 관통로(31)와, 마운트(13)의 장착면(13a)측의 중심에 배치되고 관통로(31)로 연통하여 연삭수(GW)를 방수하는 연삭수 노즐(32)을 구비하며, 연삭수 노즐(32)은, 마운트(13)로부터 아래로 연장하는 통체(33)와, 통체(33)의 자유단부(33a)에 형성되는 방수부(34)와, 관통로(31)를 흘러내린 연삭수(GW)를 통체(33)의 내벽(33b)을 타고 흐르도록 유도하는 유도부(35)를 구비하고, 방수부(34)는, 연삭수(GW)를 끝으로 갈수록 넓어지게 방수시키는 모따기부(34a)를 구비하였기 때문에, 환형으로 배치된 지석(12)의 전체 둘레의 선단 부분을 향해 연삭수(GW)를 고르게 공급할 수 있어, 웨이퍼(W)의 피연삭면과 지석(12) 사이의 조그만 간극으로부터 연삭수(GW)가 지석(12)의 외측으로 배출되기 쉬워진다.

Description

연삭 장치{GRINDING MACHINE}

본 발명은, 웨이퍼를 연삭하는 연삭 장치에 관한 것이다.

연삭을 행함으로써 웨이퍼가 얇아지면, 웨이퍼의 강성이 저하되어 그 후의 공정에 있어서 웨이퍼의 취급이 곤란해진다고 하는 문제가 있기 때문에, 예컨대, 웨이퍼의 직경보다 작은 직경으로 지석을 환형으로 배치한 연삭휠을 이용하여, 웨이퍼의 이면 중, 디바이스가 복수 형성된 디바이스 영역에 대응하는 영역에 오목부를 형성하고, 디바이스 영역의 외주측의 외주 잉여 영역에 대응하는 영역에 링형의 볼록부를 형성하는 연삭 방법이 제안되어 있다(예컨대, 하기의 특허문헌 1을 참조).

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2013-165287호 공보

그러나, 상기 연삭 방법에 있어서는, 웨이퍼의 면내에 연삭휠이 배치되고, 웨이퍼와 지석에 연삭수를 공급하면서, 연삭휠의 하부에 환형으로 배치된 지석의 반주분(半周分)이 웨이퍼의 이면에 접촉하여 연삭하고 있다. 이 때, 나머지 반주분의 지석의 연삭면과 웨이퍼의 이면 사이의 간극이 작기 때문에, 지석의 내측에 공급된 연삭수가 지석의 외측으로 배출되기 어렵다. 그 때문에, 지석의 내측에 연삭수가 체류하여 지석의 냉각을 충분히 행할 수 없고, 체류한 연삭수에 포함되는 연삭 부스러기에 의해 피연삭면에 흠집이 생긴다고 하는 문제나 지석의 소모가 빨라진다고 하는 문제도 있다. 또한, 소모된 지석으로 연삭을 행하면, 웨이퍼에 형성되는 오목부의 모서리 부분이 둥글게 되어 직각이 되지 않기 때문에, 웨이퍼의 최외주 부분의 칩을 평탄화할 수 없다고 하는 문제가 있다.

본 발명은, 상기한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 연삭휠의 하부에 환형으로 배치된 지석의 외측으로 연삭수가 배출되기 쉬운 연삭 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 웨이퍼를 유지하는 유지 테이블과, 웨이퍼의 직경보다 작은 직경으로 환형으로 지석이 배치된 연삭휠이 회전 가능하게 장착되어 상기 유지 테이블에 유지된 웨이퍼의 외주부를 남겨두고 중앙부를 연삭하는 연삭 수단과, 상기 지석과 웨이퍼에 연삭수를 공급하는 연삭수 공급 수단을 포함하는 연삭 장치로서, 상기 연삭 수단은, 상기 연삭휠을 장착하는 장착면을 갖는 마운트와, 상기 마운트의 중심과 축심을 일치시켜 한쪽 끝을 연결한 스핀들과, 상기 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 지지 수단과, 상기 스핀들을 회전시키는 모터를 포함하고, 상기 연삭수 공급 수단은, 상기 스핀들과 상기 스핀들에 연결된 상기 마운트를 관통하는 관통로와, 상기 마운트의 상기 장착면측의 중심에 배치되고 상기 관통로로 연통하여 상기 연삭수를 방수(放水)하는 연삭수 노즐을 포함하며, 상기 연삭수 노즐은, 상기 마운트로부터 아래로 연장하는 통체와, 상기 통체의 자유단부에 형성되는 방수부와, 상기 관통로와 상기 방수부 사이에 배치되고 상기 관통로를 흘러내린 상기 연삭수를 상기 통체의 내벽을 타고 흐르도록 유도하는 유도부를 포함하고, 상기 방수부는, 상기 연삭수를 끝으로 갈수록 넓어지게 방수시키는 모따기부를 포함한다.

본 발명에 따른 연삭 장치는, 지석과 웨이퍼에 연삭수를 공급하는 연삭수 공급 수단을 구비하고, 연삭수 공급 수단은, 스핀들과 스핀들에 연결된 마운트를 관통하는 관통로와, 마운트의 장착면측의 중심에 배치되고 관통로로 연통하여 연삭수를 방수하는 연삭수 노즐을 구비하며, 연삭수 노즐은, 마운트로부터 아래로 연장하는 통체와, 통체의 자유단부에 형성되는 방수부와, 관통로와 방수부 사이에 배치되고 관통로를 흘러내린 연삭수를 통체의 내벽을 타고 흐르도록 유도하는 유도부를 구비하고, 방수부는, 연삭수를 끝으로 갈수록 넓어지게 방수시키는 모따기부를 구비하였기 때문에, 환형으로 배치된 지석의 전체 둘레의 선단 부분을 향해 연삭수를 고르게 공급할 수 있어, 웨이퍼의 피연삭면과 지석 사이의 조그만 간극으로부터 연삭수가 지석의 외측으로 배출되기 쉬워진다. 연삭수와 함께 지석의 외측으로 연삭 부스러기나 탈락 지립이 배출되기 때문에, 웨이퍼의 피연삭면에 흠집이 생기는 것을 막을 수 있다. 또한, 연삭수가 환형으로 배치된 지석의 전체 둘레의 선단 부분에 충분히 공급되기 때문에, 지석의 냉각 효과를 높임과 더불어 지석의 소모량을 저감할 수 있다.

도 1은 연삭 장치의 구성을 나타낸 사시도이다.
도 2는 연삭 수단 및 연삭수 공급 수단의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 3은 연삭 수단 및 연삭수 공급 수단의 주요부 확대 단면도이다.
도 4의 (a)는 연삭수 노즐을 위쪽에서 본 평면도이다. (b)는 연삭수 노즐을 아래쪽에서 본 저면도이다.
도 5는 연삭휠에 의해 웨이퍼를 연삭하는 상태를 나타낸 단면도이다.
도 6은 연삭휠에 의해 웨이퍼를 연삭하는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 7은 연삭수를 웨이퍼와 지석에 공급하면서 웨이퍼를 연삭하는 상태를 설명한 평면도이다.
도 8의 (a)는 연삭수 노즐의 변형예를 나타낸 단면도이다. (b)는 연삭수 노즐의 변형예를 위쪽에서 본 평면도이다. (c)는 연삭수 노즐의 변형예를 아래쪽에서 본 저면도이다.

도 1에 도시된 연삭 장치(1)는, Y축 방향으로 연장되는 장치 베이스(2)와, 장치 베이스(2)의 Y축 방향 후방부측에 세워진 칼럼(3)을 갖고 있다. 장치 베이스(2)의 상면(2a)에는, 웨이퍼를 유지하는 유지면(5a)을 갖는 유지 테이블(5)을 구비하고 있다. 유지 테이블(5)은, 흡인원에 접속되어 있다. 유지 테이블(5) 주위에는, Y축 방향으로 이동 가능한 이동 베이스(4)에 의해 커버되어 있다. 유지 테이블(5)의 아래쪽에는, 벨로즈(6)로 덮인 도시하지 않은 이동 수단이 배치되어 있고, 이동 수단에 의해 이동 베이스(4)와 함께 유지 테이블(5)이 Y축 방향으로 이동하는 구성으로 되어 있다.

칼럼(3)의 전방에는, 웨이퍼의 직경보다 작은 직경으로 환형으로 지석(12)이 배치된 연삭휠(11)이 회전 가능하게 장착되어 유지 테이블(5)에 유지된 웨이퍼의 외주부를 남겨두고 중앙부를 연삭하는 연삭 수단(10)과, 연삭 수단(10)을 유지 테이블(5)에 대하여 접근 및 이격하는 방향(Z축 방향)으로 연삭 이송하는 연삭 이송 수단(20)과, 지석(12)과 웨이퍼에 연삭수를 공급하는 연삭수 공급 수단(30)을 구비하고 있다.

연삭 이송 수단(20)은, Z축 방향으로 연장되는 볼나사(21)와, 볼나사(21)의 일단에 접속된 모터(22)와, 볼나사(21)와 평행하게 연장되는 한 쌍의 가이드 레일(23)과, 한쪽 면이 연삭 수단(10)에 고정된 승강판(24)을 구비하고 있다. 한 쌍의 가이드 레일(23)에는 승강판(24)의 다른 쪽 면이 미끄럼 접촉하고, 승강판(24)의 내부에 형성된 너트에는 볼나사(21)가 나사 결합되어 있다. 모터(22)에 의해 볼나사(21)를 회동시킴으로써, 승강판(24)과 동시에 연삭 수단(10)을 Z축 방향으로 이동시킬 수 있다.

연삭 수단(10)은, 웨이퍼를 연삭하는 지석(12)이 환형으로 고착된 연삭휠(11)과, 연삭휠(11)을 장착하는 장착면(13a)을 갖는 마운트(13)와, 마운트(13)의 중심과 축심을 일치시켜 한쪽 끝을 연결한 스핀들(14)과, 스핀들(14)을 회전 가능하게 지지하는 지지 수단(15)과, 스핀들(14)을 회전시키는 도 2에 도시된 모터(16)를 구비하고 있다. 본 실시형태에 나타낸 지석(12)은, 세그먼트 지석으로 구성되어 있지만, 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 마운트(13)의 장착면(13a)은 수직 방향과 직교하는 수평 방향에 평행한 평탄면으로 되어 있다.

지지 수단(15)은, 스핀들(14)을 회전 가능하게 둘러싸는 케이싱(150)을 구비하고 있다. 케이싱(150)은, 승강판(24)에 고정된 홀더(17)에 의해 유지되어 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 케이싱(150) 내부에는, 에어 공급원(19)에 접속된 에어 공급로(151)와, 케이싱(150)과 스핀들(14) 사이의 간극(153)에 고압 에어를 분출하는 에어 분출구(152)를 구비하고 있다. 케이싱(150) 내부에 수용된 스핀들(14)은, 에어 분출구(152)로부터 간극(153)으로 분출되는 고압 에어에 의해 비접촉의 상태로 회전 가능하게 지지된다.

연삭수 공급 수단(30)은, 스핀들(14)과 스핀들(14)에 연결된 마운트(13)를 관통하는 관통로(31)와, 마운트(13)의 장착면(13a)측의 중심에 배치되고 관통로(31)로 연통하여 연삭수를 방수하는 연삭수 노즐(32)을 구비하고 있다. 관통로(31)의 상단에는, 연삭수 공급원(18)이 접속되어 있다.

연삭수 노즐(32)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 스핀들(14) 및 마운트(13) 내의 중심에 형성된 관통로(31)로부터 아래로 연장하는 통체(33)와, 통체(33)의 자유단부(33a)에 형성되는 방수부(34)와, 관통로(31)와 방수부(34) 사이에 배치되고 관통로(31)를 흘러내린 연삭수를 통체(33)의 내벽(33b)을 타고 흐르도록 유도하는 유도부(35)를 구비하고 있다.

통체(33)의 상단부에는, 플랜지부(36)가 배치되어 있다. 플랜지부(36)에는, 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 복수(도시한 예에서는 4지점)의 나사 관통 구멍(37)이 둘레 방향으로 등간격으로 이격되어 형성되어 있다. 도 3에 도시된 마운트(13)의 장착면(13a)에 있어서도 나사(7)가 나사 결합되는 암나사가 나사 관통 구멍(37)의 위치와 대응하여 형성되어 있다. 연삭수 노즐(32)을 마운트(13)에 부착할 때에는, 플랜지부(36)의 나사 관통 구멍(37)에 아래쪽에서부터 나사(7)를 삽입하여 암나사에 나사 결합시킴으로써, 마운트(13)의 장착면(13a)에 연삭수 노즐(32)을 고정할 수 있다.

유도부(35)는, 관통로(31)로 연통하는 연통로(350)와, 통체(33)의 내부에 마련된 분기부(352)에 의해 분기된 유도로(351)를 구비하고 있다. 유도로(351)는, 통체(33)의 내벽(33b의 근접한 위치에 마련된 공동(空洞)이다. 본 실시형태에서는, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 복수(도시한 예에서는 3지점)의 유도로(351)가 둘레 방향으로 등간격으로 이격되어 형성되어 있다. 이와 같이 구성되는 유도부(35)에서는, 연삭시에 연통로(350)로부터 유도로(351)에 연삭수가 유입되면, 스핀들(14)의 회전에 의한 원심력을 수반하여 연삭수가 직경 방향 외측으로 흐르기 때문에, 연삭수가 내벽(33b)을 타고 흘러내리도록 유도할 수 있다. 유도로(351)의 수는, 특별히 본 실시형태에 나타낸 구성에 한정되지 않는다.

도 3에 도시된 방수부(34)는, 끝으로 갈수록 넓어지게(우산형으로) 확장된 구성으로 되어 있고, 테이퍼형의 모따기부(34a)를 구비하고 있다. 방수부(34)에서는, 연삭휠(11)의 회전에 의한 원심력과 연삭수의 자중에 의해, 유도부(35)에 의해 내벽(33b)을 타고 흘러내려 온 연삭수가 모따기부(34a)를 타고 더 흘러가기 때문에, 연삭수를 끝으로 갈수록 넓어지게(우산형으로) 방수시킬 수 있다. 이에 따라, 환형으로 배치된 지석(12)의 전체 둘레의 선단 부분을 향해 연삭수를 고르게 공급할 수 있다. 즉, 지석(12)과 웨이퍼의 접촉 부분뿐만 아니라, 지석(12)과 웨이퍼가 접촉하지 않는 조그만 간극에도 연삭수를 충분히 공급할 수 있다.

여기서, 도 2에 도시된 연삭수 노즐(32)의 하단(통체(33)의 자유단부(33a))은 연삭휠(11)의 하면(11a)보다도 하방측에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 연삭휠(11)의 하면(11a)보다도 위에 배치되어 있으면, 지석(12)의 선단 부분에 효율적으로 연삭수를 공급할 수 없기 때문에, 연삭수 노즐(32)의 하단은, 연삭휠(11)의 하면(11a)보다도 하방측에 배치함으로써, 방수부(34)를 가공 대상이 되는 웨이퍼에 접근시킨 위치에 위치시키면 된다.

다음에, 연삭 장치(1)를 이용하여, 도 2에 도시된 웨이퍼(W)의 중앙 부분을 연삭하여 오목부(Wd)를 형성하여 외주부를 남겨두고, 외주부에 링형의 볼록부(Wc)를 형성하는 연삭예에 대해서 설명한다. 웨이퍼(W)는, 디바이스가 형성된 면이 표면(Wa)으로 되어 있고, 표면(Wa)에는 예컨대 보호 테이프가 붙여진다. 한편, 표면(Wa)과 반대측에 있는 이면(Wb)이 지석(12)에 의해 연삭되는 피연삭면이다.

여기서, 본 실시형태에 나타낸 연삭에 이용하는 지석(12)의 높이(L)는, 웨이퍼(W)의 외주부에 형성되는 볼록부(Wc)의 두께(T1)(연삭 전의 웨이퍼(W)의 두께)보다도 클 필요가 있다. 볼록부(Wc)의 두께(T1)가 예컨대 750 ㎛인 경우, 오목부(Wd)의 두께(T2)를 예컨대 100 ㎛로 박화하기 위해서는, 가장 마모되었을 때의 지석(12)의 높이(L)가 650 ㎛보다도 클 필요가 있다. 또한, 가장 마모되었을 때의 지석(12)의 연삭면(12a)보다도 높은 위치에 연삭수 노즐(32)의 하단을 배치하는 것이 바람직하다.

도 5에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W)의 표면(Wa)측을 유지 테이블(5)의 유지면(5a)에 배치하여 이면(Wb)측을 노출시킨다. 계속해서 도시하지 않은 흡인원의 흡인력에 의해 유지면(5a)에서 웨이퍼(W)를 흡인 유지하면, 유지 테이블(5)을 연삭 수단(10)의 아래쪽으로 이동시킨다. 그 후, 도 1에 도시된 연삭 이송 수단(20)에 의해, 연삭 수단(10)을 유지 테이블(5)에 접근하는 방향으로 하강시킨다. 또한, 유지 테이블(5)의 유지면(5a)은, 그 중앙으로부터 바깥 둘레에 걸쳐 경사진 경사면으로 되어 있지만, 실제로는 육안으로 시인할 수 없을 정도의 미미한 경사면이다.

계속해서, 도 6에 도시된 바와 같이, 유지 테이블(5)을 예컨대 화살표 A 방향으로 회전시킴과 더불어, 연삭 수단(10)은, 스핀들(14)이 회전함으로써 연삭휠(11)을 예컨대 화살표 A 방향으로 회전시키면서, 웨이퍼(W)의 이면(Wb)에 지석(12)의 연삭면(12a)을 접촉시켜 연삭을 행한다.

연삭 수단(10)은, 도 7에 도시된 바와 같이, 지석(12)이 항상 웨이퍼(W)의 회전 중심(Wo)을 통과하도록 회전시킨다. 구체적으로는, 웨이퍼(W)의 회전 중심(Wo)에 지석(12)의 회전 궤적이 되는 반주 영역(P1)(중심선 B를 축으로 한 좌측 부분)을 항상 접촉시켜, 웨이퍼(W)의 중앙 부분만을 연삭하여 오목부(Wd)를 형성함과 더불어 웨이퍼(W)의 외주부에 환형의 볼록부(Wc)를 형성한다. 이 때, 나머지 지석(12)의 반주 영역(P2)(중심선 B를 축으로 한 우측 부분)은, 웨이퍼(W)에 접촉하고 있지 않아, 오목부(Wd)와 지석(12) 사이에 조그만 간극이 생기고 있다.

웨이퍼(W)의 연삭 중에는 항상 방수부(34)로부터 회전하는 지석(12)의 내측에 연삭수(GW)를 공급한다. 구체적으로는, 도 3에 도시된 연삭수 공급원(18)으로부터 관통로(31)에 소정 유량의 연삭수(GW)를 유입시킨다. 관통로(31)를 흘러내려 온 연삭수(GW)는, 유도부(35)를 통과하여 스핀들(14)의 회전에 의한 원심력을 수반하여 통체(33)의 내벽(33b)을 타고 흘러내려 가고, 또한, 내벽(33b)으로부터 모따기부(34a)를 타고 흘러가, 방수부(34)로부터 우산형으로 방수된다.

도 7에 도시된 바와 같이, 방수부(34)로부터 우산형으로 방수된 연삭수(GW)는, 지석(12)의 전체 둘레를 향해 방사형으로 흘러간다. 그 때문에, 상기한 반주 영역(P2)에 있어서의 지석(12)과 오목부(Wd) 사이의 조그만 간극으로부터 연삭수(GW)가 지석(12)의 외측으로 배출되기 쉬워진다. 지석(12)의 내측에 형성된 오목부(Wd)에 고인 연삭수(GW)에는, 웨이퍼(W)의 연삭 부스러기나 탈락 지립이 포함되어 있고, 연삭수(GW)와 함께 지석(12)의 외측으로 연삭 부스러기나 탈락 지립이 배출된다.

이상과 같이, 본 발명에 따른 연삭 장치(1)는, 지석(12)과 웨이퍼(W)에 연삭수(GW)를 공급하는 연삭수 공급 수단(30)을 구비하고, 연삭수 공급 수단(30)은, 스핀들(14)과 스핀들(14)에 연결된 마운트(13)를 관통하는 관통로(31)와, 마운트(13)의 장착면(13a)측의 중심에 배치되고 관통로(31)로 연통하여 연삭수(GW)를 방수하는 연삭수 노즐(32)을 구비하며, 연삭수 노즐(32)은, 마운트(13)로부터 아래로 연장하는 통체(33)와, 통체(33)의 자유단부(33a)에 형성되는 방수부(34)와, 관통로(31)와 방수부(34) 사이에 배치되고 관통로(31)를 흘러내린 연삭수(GW)를 통체(33)의 내벽(33b)을 타고 흐르도록 유도하는 유도부(35)를 구비하고, 방수부(34)는, 연삭수(GW)를 끝으로 갈수록 넓어지게 방수시키는 모따기부(34a)를 구비하였기 때문에, 환형으로 배치된 지석(12)의 전체 둘레의 선단 부분을 향해 연삭수(GW)를 고르게 공급할 수 있어, 웨이퍼(W)의 피연삭면(오목부(Wd))과 지석(12) 사이의 조그만 간극으로부터 연삭수(GW)가 지석(12)의 외측으로 배출되기 쉬워진다. 연삭수(GW)와 함께 지석(12)의 외측으로 연삭 부스러기나 탈락 지립이 배출되기 때문에, 웨이퍼(W)의 피연삭면으로부터 연삭 부스러기나 탈락 지립을 효과적으로 제거하여 웨이퍼(W)의 피연삭면에 흠집이 생기는 것을 막을 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 환형으로 배치된 지석(12)의 전체 둘레의 선단 부분에 연삭수(GW)가 충분히 공급되기 때문에, 지석(12)의 냉각 효과를 높임과 더불어 지석(12)의 소모량을 저감할 수 있다.

도 8에 도시된 연삭수 노즐(32A)은, 상기 연삭수 노즐(32)의 변형예이다. 연삭수 노즐(32A)은, 도 8의 (a)에 도시된 바와 같이, 통체(33)와, 통체(33)의 자유단부(38)에 형성되는 방수부(34A)와, 도시하지 않은 관통로와 방수부(34A) 사이에 배치되고 관통로를 흘러내린 연삭수를 통체(33)의 내벽(33b)을 타고 흐르도록 유도하는 유도부(35)를 구비하고 있다. 연삭수 노즐(32A)의 상단부에는, 플랜지부(36)가 배치되고, 도 8의 (b)에 도시된 바와 같이, 플랜지부(36)의 둘레 방향으로 등간격으로 이격되어 복수(도시의 예에서는 4지점)의 나사 관통 구멍(37)이 형성되어 있다. 통체(33)의 내벽(33b)은, 도 8의 (c)에 도시된 자유단부(38)에 도달할 때까지 직선형으로 형성되어 있고, 그 최하부에 모따기부(39)가 형성되어 있다. 이와 같이 구성되는 연삭수 노즐(32A)에 있어서도, 스핀들(14)의 회전에 의한 원심력과 연삭수(GW)의 자중에 의해, 연삭수(GW)가 통체(33)의 내벽(33b) 및 모따기부(39)를 타고 흘러내리고, 방수부(34A)로부터 연삭수(GW)를 우산형으로 방수할 수 있다.

1 : 연삭 장치 2 : 장치 베이스
3 : 칼럼 4 : 이동 베이스
5 : 유지 테이블 5a : 유지면
6 : 벨로즈 7 : 나사
10 : 연삭 수단 11 : 연삭휠
12 : 지석 13 : 마운트
13a : 장착면 14 : 스핀들
15 : 지지 수단 16 : 모터
17 : 홀더 18 : 연삭수 공급원
19 : 에어 공급원 20 : 연삭 이송 수단
21 : 볼나사 22 : 모터
23 : 가이드 레일 24 : 승강판
30 : 연삭수 공급 수단 31 : 관통로
32, 32A : 연삭수 노즐 33 : 통체
33a : 자유단부 33b : 내벽
34, 34A : 방수부 34a : 모따기부
35 : 유도부 36 : 플랜지부
37 : 나사 관통 구멍 38 : 자유단부
39 : 모따기부

Claims

웨이퍼를 유지하는 유지 테이블과, 웨이퍼의 직경보다 작은 직경으로 환형으로 지석이 배치된 연삭휠이 회전 가능하게 장착되어 상기 유지 테이블에 유지된 웨이퍼의 외주부를 남겨두고 중앙부를 연삭하는 연삭 수단과, 상기 지석과 웨이퍼에 연삭수를 공급하는 연삭수 공급 수단을 포함하는 연삭 장치로서,
상기 연삭 수단은,
상기 연삭휠을 장착하는 장착면을 갖는 마운트와,
상기 마운트의 중심과 축심을 일치시켜 한쪽 끝을 연결한 스핀들과,
상기 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 지지 수단과,
상기 스핀들을 회전시키는 모터
를 포함하고,
상기 연삭수 공급 수단은,
상기 스핀들과 상기 스핀들에 연결된 상기 마운트를 관통하는 관통로와,
상기 마운트의 상기 장착면측의 중심에 배치되고 상기 관통로로 연통하여 상기 연삭수를 방수(放水)하는 연삭수 노즐
을 포함하며,
상기 연삭수 노즐은,
상기 마운트로부터 아래로 연장하는 통체와,
상기 통체의 자유단부에 형성되는 방수부와,
상기 관통로와 상기 방수부 사이에 배치되고 상기 관통로를 흘러내린 상기 연삭수를 상기 통체의 내벽을 타고 흐르도록 유도하는 유도부
를 포함하고,
상기 방수부는, 상기 연삭수를 끝으로 갈수록 넓어지게 방수시키는 모따기부를 포함하는 것인 연삭 장치.