KR20170107040A - Roughened copper foil and printed wiring board - Google Patents
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Abstract
고주파 용도에 있어서의 전송 손실이 양호하면서, 액정 폴리머 필름과 같은 화학 밀착을 기대할 수 없는 절연 수지 기재에 대해서도 높은 박리 강도를 나타내는 것이 가능한 구리박이 제공된다. 본 발명의 조면화 처리 구리박은, 적어도 한쪽의 측에 조면화 입자를 구비한 조면화 처리면을 갖고, 조면화 처리면이 0.6∼1.7㎛의 10점 평균 조도 Rzjis를 갖고, 또한 조면화 입자의 높이의 빈도 분포에 있어서의 반값 폭이 0.9㎛ 이하이다.There is provided a copper foil capable of exhibiting a high peel strength even for an insulating resin base material in which transmission loss in a high-frequency use is good and chemical adhesion such as a liquid crystal polymer film can not be expected. The roughened copper foil of the present invention has a roughened surface having roughening particles on at least one side thereof and a roughened surface having a 10-point average roughness Rzjis of 0.6 to 1.7 m, The half width in the frequency distribution of the height is 0.9 占 퐉 or less.
Description
본 발명은, 조면화 처리 구리박 및 프린트 배선판에 관한 것으로, 더 구체적으로는, 고주파 용도용 프린트 배선판 및 그것에 적합한 조면화 처리 구리박에 관한 것이다.The present invention relates to a roughened copper foil and a printed wiring board, and more particularly to a printed wiring board for high frequency use and a roughened copper foil suitable for the same.
플렉시블 프린트 배선판(FPC)이 휴대용 전자 기기 등의 전자 기기에 널리 사용되고 있다. 특히, 최근의 휴대용 전자 기기 등의 고기능화에 수반하여, 대량의 정보의 고속 처리를 하기 위해 신호의 고주파화가 진행되고 있어, 고주파 용도에 적합한 플렉시블 프린트 배선판이 요구되고 있다. 이러한 고주파용 플렉시블 프린트 배선판에는, 고주파 신호를 품질 저하시키지 않고 전송 가능하게 하기 위해, 전송 손실의 저감이 요망된다. 플렉시블 프린트 배선판은 배선 패턴으로 가공된 구리박과 절연 수지 기재를 구비한 것이지만, 전송 손실은, 구리박에 기인하는 도체 손실과, 절연 수지 기재에 기인하는 유전체 손실로 주로 이루어진다. 도체 손실은, 고주파로 될수록 현저하게 나타나는 구리박의 표피 효과에 의해 더욱 커질 수 있다.Flexible printed wiring boards (FPC) are widely used in electronic devices such as portable electronic devices. Particularly, along with the recent enhancement of functions of portable electronic devices and the like, high frequency signals have been advanced for high-speed processing of a large amount of information, and a flexible printed wiring board suitable for high frequency applications is required. In such a high frequency flexible printed wiring board, it is desired to reduce the transmission loss in order to enable high frequency signals to be transmitted without degrading the quality. The flexible printed wiring board has a copper foil and an insulating resin base material processed into a wiring pattern. The transmission loss is mainly composed of a conductor loss caused by the copper foil and a dielectric loss caused by the insulating resin base. The conductor loss can be further increased by the skin effect of the copper foil, which is remarkable as the frequency becomes higher.
고주파 용도에 있어서의 전송 손실의 저감을 도모하기 위해, 도체 손실을 저감 가능한 구리박이 제안되어 있다. 예를 들어, 특허문헌 1(일본 특허 공개 제2014-224313호 공보)에는, 구리박의 표면에, 구리의 1차 입자층을 형성한 후, 당해 1차 입자층 상에, Cu-Co-Ni 합금의 2차 입자층을 형성한 구리박이며, 레이저 현미경에 의한 조면화 처리면의 요철의 높이의 평균값이 1500 이상인 고주파 회로용 구리박이 개시되어 있다. 또한, 특허문헌 2(일본 특허 공개 제2014-225650호 공보)에는, 구리박의 표면에, 구리의 1차 입자층을 형성한 후, 당해 1차 입자층 상에, Cu-Co-Ni 합금의 2차 입자층을 형성한 구리박이며, 조면화 처리면의 일정 영역의 레이저 현미경에 의한 이차원 표면적에 대한 삼차원 표면적의 비가 2.0 이상 2.2 미만인 고주파 회로용 구리박이 제안되어 있다. 특허문헌 1 및 2에 기재된 구리박은 모두, 고주파 회로 기판에 사용하여 전송 손실을 양호하게 억제할 수 있다고 되어 있다.In order to reduce the transmission loss in high-frequency applications, a copper foil capable of reducing conductor loss has been proposed. For example, in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2014-224313), after a primary particle layer of copper is formed on the surface of a copper foil, a Cu-Co-Ni alloy A copper foil having a secondary particle layer formed thereon and an average value of heights of concavities and convexities on a roughened surface by a laser microscope of 1500 or more. In addition, Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2014-225650) discloses a method in which a primary particle layer of copper is formed on the surface of a copper foil and then a secondary particle layer of Cu- A copper foil having a particle layer formed thereon and a ratio of a three-dimensional surface area to a two-dimensional surface area by a laser microscope in a certain region of the roughed surface is not less than 2.0 and less than 2.2. All of the copper foils described in Patent Documents 1 and 2 are used for a high-frequency circuit board so that transmission loss can be satisfactorily suppressed.
또한, 고주파 용도에 있어서의 전송 손실의 저감을 도모하는 다른 방법으로서, 유전체 손실을 저감 가능한 절연 수지 기재도 제안되어 있다. 이러한 절연 수지 기재의 예로서는 액정 폴리머(LCP) 필름을 들 수 있다. 그러나, 액정 폴리머 필름 등의 고주파 용도에 적합한 절연 수지 기재는 구리박과의 밀착성이 저하되는 경향이 있고, 그러한 절연 수지 기재와의 밀착성의 향상에 대처한 구리박도 제안되어 있다. 예를 들어, 특허문헌 3(일본 특허 공개 제2005-219379호 공보)에는, 표면 조도 Rz가 2.5∼4.0㎛인 조면화 처리면을 구비한 표면 처리 구리박과, 50% 이상이 열가소성 액정 폴리머로 이루어지는 절연 기판이 적층되어 이루어지는 복합 재가 개시되어 있다. 또한, 특허문헌 4(일본 특허 공개 제2010-236058호 공보)에는, 헤드 정상부 각도가 85°이하인 돌기 형상의 미세 구리 입자를 석출 형성한 조면화 처리면을 구비한 조면화 처리 구리박이 개시되어 있다.As another method for reducing the transmission loss in high-frequency applications, an insulating resin base capable of reducing dielectric loss has also been proposed. An example of such an insulating resin base material is a liquid crystal polymer (LCP) film. However, an insulating resin base material suitable for high frequency applications such as a liquid crystal polymer film tends to have poor adhesion with copper foil, and a copper foil to cope with the improvement in adhesion with such an insulating resin base has also been proposed. For example, Patent Document 3 (Japanese Unexamined Patent Publication (Kokai) No. 2005-219379) discloses a surface treated copper foil having a roughened surface having a surface roughness Rz of 2.5 to 4.0 占 퐉, and a thermoplastic liquid crystal polymer having 50% And an insulating substrate is laminated on the substrate. Patent Document 4 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-236058) discloses a roughened copper foil having a roughened surface obtained by precipitating protruding fine copper particles having a head top angle of 85 or less .
고주파 용도에 있어서의 전송 손실을 억제하기 위해서는, 표피 효과의 관점에서 로우 프로파일의 표면의 구리박이 요구된다. 한편, 로우 프로파일의 구리박은 절연 수지 기재와의 앵커 효과(즉, 구리박 표면의 요철을 이용한 물리적인 밀착성 향상 효과)가 저감된다. 그로 인해, 액정 폴리머 필름과 같이 화학 밀착을 기대할 수 없는 절연 수지 기재에 대해, 충분한 박리 강도를 얻는 것이 어렵고, 그 때문에 플렉시블 프린트 배선판으로서의 신뢰성이 떨어지는 것으로 될 수 있다. 이와 같이, 전송 손실과 박리 강도는, 구리박의 표면 프로파일에 대해 트레이드 오프의 관계에 있기 때문에, 본래적으로 양립이 어려운 것이다.In order to suppress transmission loss in high-frequency applications, a copper foil of a low-profile surface is required in view of the skin effect. On the other hand, the low-profile copper foil reduces the anchor effect with the insulating resin base material (that is, the effect of improving the physical adhesiveness by using the unevenness of the copper foil surface). As a result, it is difficult to obtain a sufficient peel strength for an insulating resin base material which can not be chemically contacted with, such as a liquid crystal polymer film, and as a result, the reliability as a flexible printed wiring board can be deteriorated. As described above, the transmission loss and the peel strength are inherently difficult to achieve because they have a trade-off relationship with the surface profile of the copper foil.
본 발명자들은, 이번에, 0.6∼1.7㎛의 10점 평균 조도 Rzjis를 갖고, 또한 상기 조면화 입자의 높이의 빈도 분포에 있어서의 반값 폭이 0.9㎛ 이하인 조면화 처리면을 구리박에 부여함으로써, 고주파 용도에 있어서의 전송 손실이 양호하면서, 액정 폴리머 필름과 같은 화학 밀착을 기대할 수 없는 절연 수지 기재에 대해서도 높은 박리 강도를 나타내는 것이 가능한 구리박을 제공할 수 있다는 지견을 얻었다.The inventors of the present invention have found that by applying to the copper foil a roughened surface having a 10-point average roughness Rzjis of 0.6 to 1.7 탆 and a half width of 0.9 탆 or less in the frequency distribution of the height of the roughened particles, It was possible to provide a copper foil capable of exhibiting a high peel strength even for an insulating resin base material in which a transmission loss in use is good and chemical adhesion such as a liquid crystal polymer film can not be expected.
따라서, 본 발명의 목적은, 고주파 용도에 있어서의 전송 손실이 양호하면서, 액정 폴리머 필름과 같은 화학 밀착을 기대할 수 없는 절연 수지 기재에 대해서도 높은 박리 강도를 나타내는 것이 가능한 구리박을 제공하는 데 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a copper foil which can exhibit a high peel strength even for an insulating resin base material in which a transmission loss in a high-frequency application is good and chemical adhesion such as a liquid crystal polymer film can not be expected.
본 발명의 일 양태에 의하면, 적어도 한쪽의 측에 조면화 입자를 구비한 조면화 처리면을 갖는 조면화 처리 구리박이며, 상기 조면화 처리면이 0.6∼1.7㎛의 10점 평균 조도 Rzjis를 갖고, 또한 상기 조면화 입자의 높이의 빈도 분포에 있어서의 반값 폭이 0.9㎛ 이하인, 조면화 처리 구리박이 제공된다.According to one aspect of the present invention, there is provided a roughened copper foil having a roughened surface provided with roughening particles on at least one side thereof, wherein the roughened surface has a 10-point average roughness Rzjis of 0.6 to 1.7 m , And a full width at half maximum in the frequency distribution of the height of the roughening particles is not more than 0.9 mu m.
본 발명의 다른 일 양태에 의하면, 상기 양태의 조면화 처리 구리박과, 상기 구리박의 상기 조면화 처리면에 밀착시켜 형성된 절연 수지층을 구비한, 고주파 용도용 프린트 배선판이 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a printed wiring board for high frequency use, comprising a roughened copper foil of the above-mentioned aspect and an insulating resin layer formed in close contact with the roughened surface of the copper foil.
도 1은 조면화 입자의 높이의 빈도 분포와 반값 폭의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 조면화 처리면에 있어서의 조면화 입자의 단면을 관찰한 FIB-SIM 화상이다.
도 3은 조면화 입자의 헤드의 확대 화상(FIB-SIM 화상)이다.
도 4는 전송 손실 측정용 샘플의 구성을 나타내는 모식 단면도이다.1 is a diagram for explaining the relationship between the frequency distribution of the height of the roughened particles and the half width.
2 is an FIB-SIM image obtained by observing the cross section of roughened particles on the roughened surface.
3 is an enlarged image (FIB-SIM image) of the head of the roughened particle.
4 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a sample for measurement of transmission loss.
정의Justice
본 발명을 특정하기 위해 사용되는 용어 내지 파라미터의 정의를 이하에 나타낸다.Definitions of terms and parameters used to specify the present invention are as follows.
본 명세서에 있어서 「10점 평균 조도 Rzjis」는, JIS B0601-2001에 준거하여 측정되는 표면 조도이며, 조도 곡선에서 가장 높은 산 정상으로부터 높은 순서로 5번째까지의 산 높이의 평균과, 가장 깊은 곡저로부터 깊은 순서로 5번째까지의 평균의 합이다.In the present specification, the " 10-point average roughness Rzjis " is the surface roughness measured according to JIS B0601-2001, and the average of the peak height from the highest peak to the fifth highest peak in the roughness curve, To the fifth in the deepest order.
본 명세서에 있어서 「조면화 입자의 높이의 빈도 분포에 있어서의 반값 폭 」이라 함은, 조면화 처리 구리박의 조면화 처리면에 존재하는 조면화 입자의 높이의 빈도 분포에 있어서, 도 1에 나타내어진 바와 같이 빈도 분포 피크의 최댓값의 1/2의 값에 있어서의 빈도 분포 피크의 전체 폭으로서 정의된다. 조면화 입자의 높이의 빈도 분포는, 삼차원 조도 해석 장치를 사용하여, 조면화 처리 구리박의 조면화 처리면의 표면 프로파일을 조면화 입자의 사이즈에 따른 원하는 배율(예를 들어, 600∼30000배)로 측정함으로써 얻을 수 있다. 조면화 입자의 높이를 조면화 입자의 입도로 간주할 수 있다. 조면화 입자의 높이 내지 입도의 산출은, 사전에 조면화 처리 전의 전해 구리박(원박)의 표면 프로파일을 계측해 두고, 이 조면화 처리 전의 표면 프로파일에 기인하는 값을 입도 산출 시에 백그라운드로서 제거함으로써 행해지는 것이 바람직하다.In the present specification, the " half-width in the frequency distribution of the height of the roughened particle " refers to the distribution of the height of the roughened particle height present on the roughened surface of the roughened copper foil, Is defined as the total width of the frequency distribution peak at a value 1/2 of the maximum value of the frequency distribution peak as shown. The frequency distribution of the height of the roughened particles can be measured by using a three-dimensional roughness analyzer to measure the surface profile of the roughened surface of the roughened copper foil at a desired magnification (for example, 600 to 30000 times ). ≪ / RTI > The height of the roughened particle can be regarded as the particle size of the roughened particle. The height and the grain size of the roughed grains can be calculated by measuring the surface profile of the electrolytic copper foil before roughening and measuring the value resulting from the roughened surface profile before the roughening treatment as a background .
본 명세서에 있어서 「비표면적」이라 함은, 조면화 처리 구리박의 조면화 처리면의 삼차원 표면적 X를 측정 면적 Y로 나눔으로써 얻어진 X/Y의 값이다. 삼차원 표면적 X는, 조면화 처리면의 소정의 측정 면적 Y(예를 들어, 14000㎛2)의 표면 프로파일을 시판되고 있는 레이저 현미경으로 측정함으로써 산출할 수 있다.In the present specification, the term "specific surface area" refers to a value of X / Y obtained by dividing the three-dimensional surface area X of the roughened surface of the roughened copper foil by the measured area Y. The three-dimensional surface area X can be calculated by measuring a surface profile of a predetermined measurement area Y (for example, 14000 mu m 2 ) of the roughened surface with a commercially available laser microscope.
본 명세서에 있어서 「조면화 입자 단면적 비율」이라 함은, 조면화 입자 표면의 요철 정도(즉, 미세 조면화의 정도)를 나타내는 지표이며, 시판되고 있는 화상 처리 해석기와 시판되고 있는 수렴 이온 빔 가공 관찰 장치(FIB)를 사용하여, 조면화 처리면의 소정의 시야 범위(예를 들어, 8㎛×8㎛)에 있어서의 개개의 조면화 입자의 단면을 관찰하여 배율 18000배로 FIB의 SIM 화상(이하, FIB-SIM 화상이라고 함)을 취득하고, 이 FIB-SIM 화상을 화상 해석하여 폐곡 단면적 및 단면적을 측정하고, (조면화 입자의 폐곡 단면적)/(조면화 입자의 단면적)의 비로서 조면화 입자 단면적 비율을 산출함으로써 정해지는 값이다. 구체적인 측정 순서는 이하와 같다. 먼저, 도 2에 나타내어진 FIB-SIM 화상에 그려진 바와 같이, 조면화 입자의 헤드의 대략 이등분 위치로부터 조면화 입자 긴 변 방향(즉, 조면화 입자의 높이 방향)으로 직선을 긋는다. 이 직선 상의 조면화 입자의 헤드 정상부로부터 소정 거리(예를 들어, 2㎛) 떨어진 위치에 기준점 a를 특정한다. 이 기준점 a로부터 조면화 입자에 2개의 접선을 긋고, 이들 접선과 조면화 입자의 접점 b, c를 특정한다. 접점 b, c를 연결하는 직선(이하, b-c 직선이라고 함)과 조면화 입자의 헤드의 단면 윤곽선으로 둘러싸인 단면 영역의 단면적을 화상 해석에 의해 구하여, 「조면화 입자의 단면적」으로 한다. 이어서, 도 3의 FIB-SIM 화상에 그려진 바와 같이, 「조면화 입자의 폐곡 단면적」을, 조면화 입자 표면의 미세 볼록 형상의 각 선단(미세 조면화 입자가 존재하는 경우에는 미세 조면화 입자의 각 선단)을 연결하는 선과 b-c 직선으로 둘러싸인 영역의 면적으로 규정하고, 이것을 화상 해석에 의해 구한다. 상기 각 선단의 위치 결정은 시판되고 있는 화상 처리 해석기가 구비하는 소프트웨어에 의해 자동적으로 행할 수 있다. 조면화 입자의 폐곡 단면적은 조면화 입자 표면의 요철 정도(즉, 미세 조면화의 정도)에 따라서 조면화 입자의 단면적보다 큰 값으로서 얻어진다. 따라서, 이 조면화 입자의 폐곡 단면적을 조면화 입자의 단면적으로 나눔으로써, 조면화 입자 표면의 요철 정도(즉, 미세 조면화의 정도)를 나타내는 수치를 얻을 수 있다. 즉, 상기 얻어진 폐곡 단면적과 조면화 입자의 단면적으로부터 조면화 입자 단면적 비율을 산출한다. 조면화 입자 단면적 비율은 1 시야마다 관찰되는 개개의 조면화 입자에 대해 행하여, 5 시야분의 모든 조면화 입자에 대해 얻어진 조면화 입자 단면적 비율의 평균값을 산출하는 것이 바람직하다.In the present specification, the term " roughened particle cross-sectional area ratio " is an index indicating the degree of roughness (i.e., degree of fine roughening) of the roughed surface of the roughened particle, and is calculated by a commercially available image processing analyzer and a commercially available convergent ion beam processing A section of each roughened particle in a predetermined viewing range (for example, 8 占 퐉 占 8 占 퐉) of the roughened surface was observed using an observation apparatus (FIB), and a SIM image of FIB The cross sectional area and the cross sectional area of the FIB-SIM image were analyzed by image analysis of the FIB-SIM image, and the ratio of the cross sectional area of the roughened particle to the cross sectional area of the roughened particle) Is a value determined by calculating the ratio of cotton particle cross-sectional area. The specific measurement procedure is as follows. First, as shown in the FIB-SIM image shown in Fig. 2, a straight line is drawn from the approximately bisecting position of the roughened particle head to the roughened particle long side direction (i.e., the height direction of the roughened particle). A reference point a is specified at a position a predetermined distance (for example, 2 占 퐉) from the top of the head of the straightened roughened particle. Two tangent lines are drawn from the reference point a to the roughened particle, and the tangent line and the contact points b and c of the roughened particle are specified. Sectional area of a cross-sectional area surrounded by a straight line connecting the contacts b and c (hereinafter referred to as a straight line b-c) and the cross-section contour of the head of the roughened particle is determined by image analysis to be " cross-sectional area of roughened particle ". Next, as shown in the FIB-SIM image of Fig. 3, the "closed cross-sectional area of the roughened particle" was measured at each tip of the fine convex shape of the roughened particle surface (when fine roughened particles were present, And the area surrounded by the straight line bc, and this is determined by image analysis. The positioning of each of the leading ends can be automatically performed by software provided in a commercially available image processing analyzer. The cross-sectional area of the roughened particle is obtained as a value larger than the cross-sectional area of the roughened particle according to the degree of concavity and convexity of the roughened particle surface (that is, the degree of fine roughening). Therefore, by dividing the closed cross-sectional area of the roughened particle by the cross-sectional area of the roughened particle, it is possible to obtain a numerical value indicating the degree of concavity and convexity of the roughened particle surface (i.e., degree of fine roughening). That is, the ratio of the cross-section of the roughened particle is calculated from the obtained closed cross-sectional area and the cross-sectional area of the roughened particle. The ratio of the roughened particle cross-sectional area is preferably determined for each of the roughened particles observed every 1 o'clock, and it is preferable to calculate the average value of the roughened particle cross-sectional area ratios obtained for all the roughened particles at 5 o'clock.
조면화Rough cotton 처리 process 구리박Copper foil
본 발명의 구리박은 조면화 처리 구리박이다. 이 조면화 처리 구리박은 적어도 한쪽의 측에 조면화 입자를 구비한 조면화 처리면을 갖는다. 조면화 처리면은 0.6∼1.7㎛의 10점 평균 조도 Rzjis를 갖고, 또한 조면화 입자의 높이의 빈도 분포에 있어서의 반값 폭이 0.9㎛ 이하이다. 이와 같이, 0.6∼1.7㎛의 10점 평균 조도 Rzjis를 갖고, 또한 조면화 입자의 높이의 빈도 분포에 있어서의 반값 폭이 0.9㎛ 이하인 조면화 처리면을 구리박에 부여함으로써, 고주파 용도에 있어서의 전송 손실이 양호하면서, 액정 폴리머 필름과 같은 화학 밀착을 기대할 수 없는 절연 수지 기재에 대해서도 높은 박리 강도(예를 들어, 두께 18㎛의 구리박에서 1.2kgf/cm 이상)를 나타내는 것이 가능해진다. 전술한 바와 같이, 전송 손실과 박리 강도는, 구리박의 표면 프로파일에 대해 트레이드 오프의 관계에 있기 때문에, 본래적으로 양립이 어렵다는 문제가 있었지만, 본 발명의 조면화 처리 구리박에 의하면, 양호한 전송 손실과 높은 박리 강도를 예상 외로 양립할 수도 있다.The copper foil of the present invention is a roughened copper foil. The roughened copper foil has a roughened surface having roughened particles on at least one side thereof. The roughened surface has a 10-point average roughness Rzjis of 0.6 to 1.7 탆, and the half width in the frequency distribution of the height of the roughened particles is 0.9 탆 or less. Thus, by providing the copper foil with a roughened surface having a 10-point average roughness Rzjis of 0.6 to 1.7 탆 and a half-width of 0.9 탆 or less in the frequency distribution of the height of the roughened particles, It is possible to exhibit a high peel strength (for example, 1.2 kgf / cm or more in a copper foil having a thickness of 18 mu m) for an insulating resin base material in which the transmission loss is good and chemical adhesion as the liquid crystal polymer film can not be expected. As described above, since the transmission loss and the peel strength are in a trade-off relationship with respect to the surface profile of the copper foil, there is a problem that they are inherently difficult to be compatible with each other. According to the roughened copper foil of the present invention, The loss and the high peel strength can be achieved at an unexpected level.
양호한 전송 손실과 높은 박리 강도의 양립을 가능하게 하는 메커니즘은 반드시 확실한 것은 아니지만, 이하와 같은 것이라고 생각된다. 먼저, 조면화 처리면의 10점 평균 조도 Rzjis가 0.6∼1.7㎛라고 하는 낮은 값의 범위로 함으로써, 고주파 용도에 있어서의 구리박의 표피 효과를 유의미하게 저감시켜 도체 손실을 저감시키고, 그것에 의해 전송 손실을 적게 할 수 있는 것이라고 생각된다. 그러나, 상기 0.6∼1.7㎛라고 하는 10점 평균 조도 Rzjis는 약간 낮은 값이기는 해, 그것만으로는 본래적으로 액정 폴리머 필름과 같은 화학 밀착을 기대할 수 없는 절연 수지 기재와의 밀착성이 불충분해질 수 있다. 이것은, 조면화 입자의 높이에 변동이 있으면 밀착 강도가 불안정해지기 때문이라고 생각된다. 이 점에서, 본 발명의 조면화 처리 구리박에 있어서는, 조면화 입자의 높이의 빈도 분포에 있어서의 반값 폭을 0.9㎛ 이하로 함으로써 조면화 입자의 높이의 변동을 작게 하여, 더 많은 조면화 입자를 밀착성 향상에 기여하게 하고, 그것에 의해 밀착 강도의 안정화를 실현할 수 있다. 그 결과, 액정 폴리머 필름과 같은 화학 밀착을 기대할 수 없는 절연 수지 기재에 대해서도 높은 박리 강도(예를 들어, 두께 18㎛의 구리박에서 1.2kgf/cm 이상)를 나타내는 것이 가능해진다.The mechanism that enables compatibility between a good transmission loss and a high peel strength is not necessarily certain, but is considered to be as follows. First, by setting the 10-point average roughness Rzjis of the roughened surface to a low value range of 0.6 to 1.7 탆, the skin effect of the copper foil in the high-frequency application is significantly reduced to reduce the conductor loss, It is thought that the loss can be reduced. However, since the 10-point average roughness Rzjis of 0.6 to 1.7 탆 is a somewhat low value, the adhesiveness to an insulating resin base material, which can not be expected to have the same chemical adhesion as the liquid crystal polymer film originally, can be insufficient. This is presumably because the adhesion strength becomes unstable when the height of the roughened particle varies. In this regard, in the roughened copper foil of the present invention, the half width in the frequency distribution of the height of the roughened particles is set to 0.9 탆 or less, whereby the fluctuation of the height of the roughened particles is reduced, Thereby contributing to the improvement of the adhesion, whereby the adhesion strength can be stabilized. As a result, it becomes possible to exhibit a high peeling strength (for example, 1.2 kgf / cm or more in a copper foil having a thickness of 18 mu m) for an insulating resin base material in which chemical adhesion as the liquid crystal polymer film can not be expected.
조면화 처리면의 10점 평균 조도 Rzjis(JIS B0601-2001에 준거하여 측정됨)는 0.6∼1.7㎛이고, 바람직하게는 0.7∼1.6㎛이고, 더 바람직하게는 0.9∼1.5㎛이다. 이들 범위 내의 Rzjis이면, 고주파 용도에 있어서의 전송 손실을 바람직하게 저감시킬 수 있음과 함께, 절연 수지 기재에 대한 밀착성 확보에도 기여한다.The 10-point average roughness Rzjis (measured in accordance with JIS B0601-2001) of the roughed surface is 0.6 to 1.7 탆, preferably 0.7 to 1.6 탆, more preferably 0.9 to 1.5 탆. If Rzjis is within these ranges, the transmission loss in high-frequency applications can be preferably reduced, and also the adhesion to the insulating resin base material can be ensured.
조면화 입자의 높이의 빈도 분포에 있어서의 반값 폭은 0.9㎛ 이하이고, 바람직하게는 0.2∼0.9㎛, 보다 바람직하게는 0.2∼0.7㎛이고, 더욱 바람직하게는 0.2∼0.6㎛이다. 이들 범위 내의 반값 폭이면, 조면화 입자의 높이의 변동을 작게 하여, 더 많은 조면화 입자를 밀착성 향상에 기여하게 하고, 그것에 의해 밀착 강도의 안정화를 실현할 수 있다. 그 결과, 액정 폴리머 필름과 같은 화학 밀착을 기대할 수 없는 절연 수지 기재에 대해서도 높은 박리 강도(예를 들어, 두께 18㎛의 구리박에서 1.2kgf/cm 이상)를 나타내는 것이 가능해진다.The half width in the frequency distribution of the height of the roughening particles is 0.9 탆 or less, preferably 0.2 to 0.9 탆, more preferably 0.2 to 0.7 탆, and still more preferably 0.2 to 0.6 탆. When the half width is within the above range, the fluctuation of the height of the roughened particles is reduced, and more roughened particles contribute to the improvement of the adhesion, thereby achieving stabilization of the adhesion strength. As a result, it becomes possible to exhibit a high peeling strength (for example, 1.2 kgf / cm or more in a copper foil having a thickness of 18 mu m) for an insulating resin base material in which chemical adhesion as the liquid crystal polymer film can not be expected.
조면화 처리 구리박은, 조면화 입자 상에 조면화 입자보다 미세한 미세 조면화 입자를 더 구비하여 이루어지는 것이 바람직하다. 미세 조면화 입자를 조면화 입자 상에 형성하여 표면적을 증가시킴으로써, 박리 강도를 한층 더 향상시킬 수 있다. 그러면서도, 미세 조면화 입자의 입경은 전형적으로는 150㎚ 이하라고 하는 정도로 매우 작은 점에서, 100㎓ 이하의 주파수대에 있어서는 전송 손실에의 영향은 매우 낮다.It is preferable that the roughened copper foil is further provided with fine fine roughening particles on the roughened particles rather than roughened particles. By forming the fine roughened particles on the roughening particles to increase the surface area, the peel strength can be further improved. However, the particle diameter of the fine roughened particles is very small, which is typically about 150 nm or less, and the influence on the transmission loss is very low in the frequency band below 100 GHz.
조면화 처리면은 1.1∼2.1의 비표면적을 갖는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.2∼2.0이고, 더욱 바람직하게는 1.3∼1.9이고, 특히 바람직하게는 1.5∼1.9이다. 비표면적은, 전술한 바와 같이, 조면화 처리면의 삼차원 표면적 X를 측정 면적 Y로 나눔으로써 얻어진 X/Y의 값이다. 비표면적이 1.1 이상으로 적절하게 큼으로써 절연 수지 기재에 대한 박리 강도를 향상시킬 수 있다. 또한, 비표면적이 2.1 이하로 지나치게 크지 않음으로써, 비표면적이 지나치게 큰 경우에 일어날 수 있는 물리적인 접촉에 의한 조면화 입자의 벗겨져 떨어짐(이른바, 가루 낙하)을 억제할 수 있고, 그것에 의해 박리 강도의 저하나 후공정의 오염을 효과적으로 회피할 수 있다.The roughened surface preferably has a specific surface area of 1.1 to 2.1, more preferably 1.2 to 2.0, still more preferably 1.3 to 1.9, and particularly preferably 1.5 to 1.9. The specific surface area is a value of X / Y obtained by dividing the three-dimensional surface area X of the roughened surface by the measured area Y, as described above. The specific surface area is appropriately increased to not less than 1.1 so that the peel strength of the insulating resin base material can be improved. Further, since the specific surface area is not excessively large at 2.1 or less, it is possible to suppress peeling off (so-called dropping of the powder) of the roughed particles due to physical contact which may occur when the specific surface area is excessively large, It is possible to effectively avoid the contamination of the downstream and downstream processes.
조면화 처리면은 1.10∼1.50의 조면화 입자 단면적 비율을 갖는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.15∼1.30이고, 더욱 바람직하게는 1.15∼1.20이다. 조면화 입자 단면적 비율은, 전술한 바와 같이, 조면화 입자 표면의 요철 정도(즉, 미세 조면화의 정도)를 나타내는 지표이다. 따라서, 조면화 입자 상에 돌기물이 있을수록 조면화 입자 단면적 비율의 값이 커지기 때문에, 조면화 처리면을 절연 수지 기재와 접합시킨 경우, 절연 수지 기재와의 접촉 면적이 커지는 결과, 조면화 입자 단독(즉, 미세 조면화 입자가 없는 경우)보다 물리적인 밀착력이 높아지게 된다. 따라서, 조면화 입자 단면적 비율이 1.15 이상이면, 조면화 입자의 물리적인 밀착력을 효과적으로 높일 수 있다. 또한, 조면화 입자 단면적 비율을 1.50 이하로 함으로써, 비표면적이 지나치게 큰 경우에 일어날 수 있는 물리적인 접촉에 의한 미세 조면화 입자의 벗겨져 떨어짐(이른바 가루 낙하)을 억제할 수 있고, 그것에 의해 박리 강도의 저하나 후공정의 오염을 효과적으로 회피할 수 있다.The roughened surface preferably has a roughened particle cross-sectional area ratio of 1.10 to 1.50, more preferably 1.15 to 1.30, and further preferably 1.15 to 1.20. The ratio of the roughened particle cross-sectional area is an index indicating the degree of roughness (that is, the degree of fine roughening) of the roughened particle surface as described above. Therefore, the larger the value of the ratio of the cross-sectional area of the roughened particle becomes, the more the projection surface on the roughened particle becomes. Therefore, when the roughened surface is bonded to the insulating resin base material, (I.e., in the absence of fine roughening particles), the physical adhesion becomes higher. Therefore, when the ratio of the cross-sectional area of the roughened particles is 1.15 or more, the physical adhesion of the roughened particles can be effectively increased. By setting the ratio of the cross-sectional area of the roughened particles to 1.50 or less, it is possible to suppress peeling off (so-called dropping of the powder) of the fine roughed particles due to physical contact which may occur when the specific surface area is excessively large, It is possible to effectively avoid the contamination of the downstream and downstream processes.
본 발명의 조면화 처리 구리박의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 0.1∼35㎛가 바람직하고, 더 바람직하게는 0.5∼18㎛이다. 또한, 본 발명의 조면화 처리 구리박은, 통상의 구리박의 표면에 조면화 처리를 행한 것에 한정되지 않고, 캐리어 부착 구리박의 구리박 표면의 조면화 처리 내지 미세 조면화 처리를 행한 것이어도 된다.The thickness of the roughened copper foil of the present invention is not particularly limited, but is preferably 0.1 to 35 mu m, more preferably 0.5 to 18 mu m. The surface roughening treatment copper foil of the present invention is not limited to the roughening treatment of the surface of a conventional copper foil but may be a roughening treatment or fine roughening treatment of the copper foil surface of the copper foil with a carrier .
상술한 바와 같이, 본 발명의 조면화 처리 구리박은, 고주파 용도용 프린트 배선판에 사용되는 것이 바람직하다. 즉, 본 발명의 바람직한 양태에 의하면, 본 발명의 조면화 처리 구리박과, 구리박의 조면화 처리면에 밀착시켜 형성된 절연 수지층을 구비한, 고주파 용도용 프린트 배선판이 제공된다. 고주파 용도용 프린트 배선판에 사용된 경우, 본 발명의 조면화 처리 구리박은, 고주파 용도에 있어서의 전송 손실이 양호하면서, 액정 폴리머 필름과 같은 화학 밀착을 기대할 수 없는 절연 수지 기재에 대해서도 높은 박리 강도(예를 들어, 두께 18㎛의 구리박에서 1.2kgf/cm 이상)를 나타내는 것이 가능해진다. 따라서, 절연 수지층은 액정 폴리머(LCP)를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하고, 예를 들어 액정 폴리머(LCP) 필름이다. 고주파 용도의 바람직한 예로서는, 스마트폰 등의 휴대용 전자 기기에 탑재되는 고주파 부품, 예를 들어 액정 디스플레이 모듈, 카메라 모듈 및 안테나 모듈을 들 수 있다.As described above, the roughed copper foil of the present invention is preferably used in a printed wiring board for high frequency use. That is, according to a preferred embodiment of the present invention, there is provided a printed wiring board for high frequency use, which comprises the roughened copper foil of the present invention and an insulating resin layer formed in close contact with the roughened surface of the copper foil. When used in a printed wiring board for high frequency use, the roughened copper foil of the present invention is excellent in transmission loss in high-frequency applications and has a high peeling strength (for example, an insulating resin base material such as a liquid crystal polymer film, For example, 1.2 kgf / cm or more in a copper foil having a thickness of 18 mu m). Therefore, the insulating resin layer preferably comprises a liquid crystal polymer (LCP), and is, for example, a liquid crystal polymer (LCP) film. Preferred examples of high-frequency applications include high-frequency components mounted on portable electronic devices such as a smart phone, for example, a liquid crystal display module, a camera module, and an antenna module.
제조 방법Manufacturing method
본 발명에 의한 조면화 처리 구리박의 바람직한 제조 방법의 일례를 설명한다. 이 바람직한 제조 방법은, 10점 평균 조도 Rzjis가 1.5㎛ 이하의 표면을 갖는 구리박을 준비하는 공정과, 상기 표면에 대해 소정의 전류 밀도 J1로 전해 석출을 행하는 제1 조면화 공정과, 상기 표면에 대해 소정의 전류 밀도 J2로 전해 석출을 행하는 제2 조면화 공정과, 상기 표면에 대해 소정의 전류 밀도 J3으로 전해 석출을 행하여 조면화 처리면을 형성하는 제3 조면화 공정을 포함하여 이루어지고, 바람직하게는 제1 조면화 공정, 제2 조면화 공정 및 제3 조면화 공정에 있어서의 전류 밀도 J1, J2 및 J3의 비(즉, J1:J2:J3)가, 1.0:1.4:1.2∼1.0:1.6:1.5의 범위 내로 된다. 다만, 본 발명에 의한 조면화 처리 구리박은 이하에 설명하는 방법에 한정되지 않고, 모든 방법에 의해 제조된 것이어도 된다.An example of a preferable method for producing a roughened copper foil according to the present invention will be described. This preferred production method comprises the steps of preparing a copper foil having a surface having a 10-point average roughness Rzjis of not more than 1.5 탆, a first roughening step of performing electrolytic deposition at a predetermined current density J 1 on the surface, A second roughing step of performing electrolytic deposition at a predetermined current density J 2 on the surface, and a third roughing step of forming a roughened surface by subjecting the surface to electrolytic deposition at a predetermined current density J 3 (J 1 : J 2 : J 3) of the current densities J 1 , J 2 and J 3 in the first roughing process, the second roughing process and the third roughing process, ) Is in the range of 1.0: 1.4: 1.2 to 1.0: 1.6: 1.5. However, the roughened copper foil of the present invention is not limited to the method described below, but may be produced by any method.
(1) 구리박의 준비(1) Preparation of Copper foil
조면화 처리 구리박의 제조에 사용하는 구리박으로서, 전해 구리박 및 압연 구리박의 양쪽의 사용이 가능하고, 더 바람직하게는 전해 구리박이다. 또한, 구리박은, 무조면화 구리박이어도 되고, 예비적 조면화를 실시한 것이어도 된다. 구리박의 두께는 특별히 한정되지 않지만 0.1∼35㎛가 바람직하고, 더 바람직하게는 0.5∼18㎛이다. 구리박이 캐리어 부착 구리박의 형태로 준비되는 경우에는, 구리박은, 무전해 구리 도금법 및 전해 구리 도금법 등의 습식 성막법, 스퍼터링 및 화학 증착 등의 건식 성막법, 또는 그것들의 조합에 의해 형성한 것이어도 된다.The copper foil used for the production of the roughened copper foil can be either an electrolytic copper foil or a rolled copper foil, more preferably an electrolytic copper foil. The copper foil may be a non-roughened copper foil or may be preliminary roughened. The thickness of the copper foil is not particularly limited, but is preferably 0.1 to 35 mu m, more preferably 0.5 to 18 mu m. When the copper foil is prepared in the form of a copper foil with a carrier, the copper foil is formed by a wet film formation method such as an electroless copper plating method and an electrolytic copper plating method, a dry film formation method such as sputtering and chemical vapor deposition, or a combination thereof It is acceptable.
조면화 처리가 행해지게 되는 구리박의 표면은, JIS B0601-2001에 준거하여 측정되는 10점 평균 조도 Rzjis가 1.5㎛ 이하인 표면을 갖는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.3㎛ 이하, 더욱 바람직하게는 1.0㎛ 이하이다. 하한값은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 0.1㎛ 이상이다. 상기 범위 내이면, 본 발명의 조면화 처리 구리박에 요구되는 표면 프로파일, 특히 0.6∼1.7㎛의 10점 평균 조도 Rzjis를 조면화 처리면에 부여하기 쉬워진다.The surface of the copper foil subjected to the roughening treatment preferably has a surface having a 10-point average roughness Rzjis measured according to JIS B0601-2001 of 1.5 m or less, more preferably 1.3 m or less, Or less. The lower limit value is not particularly limited, but is, for example, 0.1 mu m or more. Within the above range, it is easy to impart the surface profile required for the roughened copper foil of the present invention, particularly 10-point average roughness Rzjis of 0.6 to 1.7 m, to the roughened surface.
(2) 조면화 처리(2) roughening treatment
Rzjis가 1.5㎛ 이하인 구리박 표면에 대해, 제1 조면화 공정, 제2 조면화 공정, 제3 조면화 공정의 3단계의 조면화 공정을 실시하는 것이 바람직하다. 제1 조면화 공정에서는, 구리 농도 8∼12g/L 및 황산 농도 200∼280g/L을 포함하는 황산구리 용액 중, 20∼40℃의 온도에서, 소정의 전류 밀도 J1로 전해 석출을 행하는 것이 바람직하고, 이 전해 석출은 5∼20초간 행해지는 것이 바람직하다. 제2 조면화 공정에서는, 구리 농도 8∼12g/L 및 황산 농도 200∼280g/L을 포함하는 황산구리 용액 중, 20∼40℃의 온도에서, 소정의 전류 밀도 J2로 전해 석출을 행하는 것이 바람직하고, 이 전해 석출은 5∼20초간 행해지는 것이 바람직하다. 제3 조면화 공정에서는, 구리 농도 65∼80g/L 및 황산 농도 200∼280g/L을 포함하는 황산구리 용액 중, 45∼55℃의 온도에서, 소정의 전류 밀도 J3으로 전해 석출을 행하여 조면화 처리면을 형성하는 것이 바람직하고, 이 전해 석출은 5∼25초간 행해지는 것이 바람직하다. 그리고, 제1 조면화 공정, 제2 조면화 공정 및 제3 조면화 공정에서의 전류 밀도 J1, J2 및 J3의 비, 즉, J1:J2:J3이 1.0:1.4:1.2∼1.0:1.6:1.5의 범위 내인 것이 바람직하다. 이 범위 내의 전류 밀도비이면, 본 발명의 조면화 처리 구리박에 요구되는 표면 프로파일, 특히 0.9㎛ 이하라고 하는 조면화 입자의 높이의 빈도 분포에 있어서의 반값 폭을 조면화 처리면에 부여하기 쉬워진다. 바람직하게는, 제1 조면화 공정의 전류 밀도 J1이 8∼20A/dm2이고, 제2 조면화 공정의 전류 밀도 J2가 12∼32A/dm2이고, 제3 조면화 공정의 전류 밀도 J3이 10∼30A/dm2이다.It is preferable to carry out the three-step roughening process of the first roughening process, the second roughening process and the third roughening process on the copper foil surface having the Rzjis of not more than 1.5 탆. In the first step cotton process, electrolytic precipitation is preferably performed at a predetermined current density J 1 at a temperature of 20 to 40 캜 in a copper sulfate solution containing a copper concentration of 8 to 12 g / L and a sulfuric acid concentration of 200 to 280 g / L And the electrolytic precipitation is preferably carried out for 5 to 20 seconds. In the second step of the cotton process, electrolytic precipitation is preferably performed at a predetermined current density J 2 at a temperature of 20 to 40 캜 in a copper sulfate solution containing a copper concentration of 8 to 12 g / L and a sulfuric acid concentration of 200 to 280 g / L And the electrolytic precipitation is preferably carried out for 5 to 20 seconds. Article 3 In the cotton process, electrodeposition is carried out at a predetermined current density J 3 at a temperature of 45 to 55 ° C in a copper sulfate solution containing a copper concentration of 65 to 80 g / L and a sulfuric acid concentration of 200 to 280 g / It is preferable to form the treated surface, and the electrolytic precipitation is preferably performed for 5 to 25 seconds. The ratio of the current densities J 1 , J 2 and J 3 in the first roughing process, the second roughing process and the third roughing process, that is, the ratio J 1 : J 2 : J 3 is 1.0: 1.4: 1.2 To 1.0: 1.6: 1.5. When the current density ratio is within this range, it is easy to impart a half width in the frequency distribution of the surface profile required for the roughened copper foil of the present invention, particularly, the height distribution of the roughed grains of 0.9 mu m or less, to the roughened surface Loses. Preferably, the current density J 1 of the first roughening process is 8 to 20 A / dm 2 , the current density J 2 of the second roughening process is 12 to 32 A / dm 2 , the current density of the third roughening process J 3 is 10 to 30 A / dm 2 .
(3) 미세 조면화 처리(3) Fine roughening treatment
제3 조면화 공정에서 형성된 조면화 처리면에 대해 미세 조면화 처리가 더 행해지는 것이 바람직하다. 미세 조면화 처리는, 구리 농도 10∼20g/L, 황산 농도 30∼130g/L, 9-페닐아크리딘 농도 100∼200㎎/L, 염소 농도 20∼100㎎/L의 황산구리 용액 중, 20∼40℃의 온도에서, 전류 밀도 10∼40A/dm2로 미세 구리 입자를 전해 석출시킴으로써 행해지는 것이 바람직하고, 이 전해 석출은 0.3∼1.0초간 행해지는 것이 바람직하다.(3) The fine roughening treatment is preferably performed on the roughened surface formed in the step (3). The fine roughening treatment was carried out in a copper sulfate solution having a copper concentration of 10 to 20 g / L, a sulfuric acid concentration of 30 to 130 g / L, a 9-phenyl acridine concentration of 100 to 200 mg / L and a chlorine concentration of 20 to 100 mg / It is preferable to conduct electrolytic deposition of the fine copper particles at a current density of 10 to 40 A / dm 2 at a temperature of -40 캜, and this electrolytic deposition is preferably performed for 0.3 to 1.0 second.
(4) 방청 처리(4) Anti-rust treatment
요망에 따라, 조면화 처리 후의 구리박에 방청 처리를 실시해도 된다. 방청 처리는, 아연을 사용한 도금 처리를 포함하는 것이 바람직하다. 아연을 사용한 도금 처리는, 아연 도금 처리 및 아연 합금 도금 처리 중 어느 것이든 좋고, 아연 합금 도금 처리는 아연-니켈 합금 처리가 특히 바람직하다. 아연-니켈 합금 처리는 적어도 Ni 및 Zn을 포함하는 도금 처리이면 되고, Sn, Cr, Co 등의 다른 원소를 더 포함하고 있어도 된다. 아연-니켈 합금 도금에 있어서의 Ni/Zn 부착 비율은, 질량비로, 1.2∼10이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2∼7, 더욱 바람직하게는 2.7∼4이다. 또한, 방청 처리는 크로메이트 처리를 더 포함하는 것이 바람직하고, 이 크로메이트 처리는 아연을 사용한 도금 처리 후에, 아연을 포함하는 도금의 표면에 행해지는 것이 더 바람직하다. 이와 같이 함으로써 방청성을 더욱 향상시킬 수 있다. 특히 바람직한 방청 처리는, 아연-니켈 합금 도금 처리와 그 후의 크로메이트 처리의 조합이다.The copper foil after the roughening treatment may be subjected to an anti-corrosive treatment as required. The rust-preventive treatment preferably includes a plating treatment using zinc. The plating process using zinc may be either a zinc plating process or a zinc alloy plating process, and the zinc alloy plating process is particularly preferably a zinc-nickel alloy process. The zinc-nickel alloy treatment may be a plating treatment containing at least Ni and Zn, and may further include other elements such as Sn, Cr, and Co. The ratio of Ni / Zn in the zinc-nickel alloy plating is preferably 1.2 to 10, more preferably 2 to 7, and still more preferably 2.7 to 4 in mass ratio. Further, it is preferable that the rust-preventive treatment further includes a chromate treatment, and it is more preferable that the chromate treatment is performed on the surface of the plating containing zinc after the plating treatment with zinc. By doing so, the corrosion resistance can be further improved. A particularly preferable rust-preventive treatment is a combination of a zinc-nickel alloy plating treatment and a subsequent chromate treatment.
(5) 실란 커플링제 처리(5) Treatment with silane coupling agent
요망에 따라, 구리박에 실란 커플링제 처리를 실시하여, 실란 커플링제층을 형성해도 된다. 이에 의해 내습성, 내약품성 및 절연 수지 기재 등과의 밀착성 등을 향상시킬 수 있다. 실란 커플링제층은, 실란 커플링제를 적절하게 희석하여 도포하고, 건조시킴으로써 형성할 수 있다. 실란 커플링제의 예로서는, 4-글리시딜부틸트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란 등의 에폭시 관능성 실란 커플링제, 또는 3-아미노프로필트리에톡시실란, N-2(아미노에틸)3-아미노프로필트리메톡시실란, N-3-(4-(3-아미노프로폭시)부톡시)프로필-3-아미노프로필트리메톡시실란, N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실란 등의 아미노 관능성 실란 커플링제, 또는 3-머캅토프로필트리메톡시실란 등의 머캅토 관능성 실란 커플링제 또는 비닐트리메톡시실란, 비닐페닐트리메톡시실란 등의 올레핀 관능성 실란 커플링제, 또는 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란 등의 아크릴 관능성 실란 커플링제, 또는 이미다졸실란 등의 이미다졸 관능성 실란 커플링제, 또는 트리아진실란 등의 트리아진 관능성 실란 커플링제 등을 들 수 있다.According to requirements, a copper foil may be treated with a silane coupling agent to form a silane coupling agent layer. As a result, it is possible to improve the moisture resistance, chemical resistance, adhesion with the insulating resin base material, and the like. The silane coupling agent layer can be formed by appropriately diluting a silane coupling agent, applying it, and drying it. Examples of the silane coupling agent include epoxy functional silane coupling agents such as 4-glycidylbutyltrimethoxysilane and 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, or 3-aminopropyltriethoxysilane, N-2 ( Aminopropyltrimethoxysilane, N-3- (4- (3-aminopropoxy) butoxy) propyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, N-phenyl- Amino functional silane coupling agents such as trimethyl silane, amino silane coupling agents such as trimethyl silane, amino silane coupling agents such as trimethyl silane, amino silane coupling agents such as trimethyl silane, Or an acryl functional silane coupling agent such as 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, or an imidazole functional silane coupling agent such as imidazole silane, or a triazine functional silane coupling agent such as triazinilane .
캐리어carrier 부착 Attach 구리박Copper foil
본 발명의 조면화 처리 구리박은, 캐리어 부착 구리박의 형태로 제공되어도 된다. 이 경우, 캐리어 부착 구리박은, 캐리어와, 이 캐리어 상에 형성된 박리층과, 이 박리층 상에 조면화 처리 표면을 외측으로 하여 형성된 본 발명의 조면화 처리 구리박을 구비하여 이루어진다. 다만, 캐리어 부착 구리박은, 본 발명의 조면화 처리 구리박을 사용하는 것 이외에는, 공지의 층 구성이 채용 가능하다.The roughened copper foil of the present invention may be provided in the form of a copper foil with a carrier. In this case, the copper foil with a carrier is provided with a carrier, a peeling layer formed on the carrier, and a roughened copper foil of the present invention formed on the peeling layer with the roughened surface outward. However, a known layer structure can be employed for the copper foil with a carrier, except that the roughened copper foil of the present invention is used.
캐리어는, 조면화 처리 구리박을 지지하여 그 핸들링성을 향상시키기 위한 박상 내지 층상의 부재이다. 캐리어의 예로서는, 알루미늄박, 구리박, 표면을 메탈 코팅한 수지 필름 등을 들 수 있고, 바람직하게는 구리박이다. 구리박은 압연 구리박 및 전해 구리박 중 어느 것이어도 된다. 캐리어의 두께는 전형적으로는 200㎛ 이하이고, 바람직하게는 12㎛∼70㎛이다.The carrier is a thin or layered member for supporting the roughened copper foil and improving its handling properties. Examples of the carrier include an aluminum foil, a copper foil, and a resin film formed by metal coating the surface, and is preferably a copper foil. The copper foil may be either a rolled copper foil or an electrolytic copper foil. The thickness of the carrier is typically 200 μm or less, preferably 12 μm to 70 μm.
박리층은, 캐리어의 박리 강도를 약하게 하여, 당해 강도의 안정성을 담보하고, 더욱이 고온에서의 프레스 성형 시에 캐리어와 구리박 사이에 일어날 수 있는 상호 확산을 억제하는 기능을 갖는 층이다. 박리층은, 캐리어의 한쪽 면에 형성되는 것이 일반적이지만, 양면에 형성되어도 된다. 박리층은, 유기 박리층 및 무기 박리층 중 어느 것이어도 된다. 유기 박리층에 사용되는 유기 성분의 예로서는, 질소 함유 유기 화합물, 황 함유 유기 화합물, 카르복실산 등을 들 수 있다. 질소 함유 유기 화합물의 예로서는, 트리아졸 화합물, 이미다졸 화합물 등을 들 수 있고, 그 중에서도 트리아졸 화합물은 박리성이 안정되기 쉬운 점에서 바람직하다. 트리아졸 화합물의 예로서는, 1,2,3-벤조트리아졸, 카르복시벤조트리아졸, N', N'-비스(벤조트리아졸릴메틸)우레아, 1H-1,2,4-트리아졸 및 3-아미노-1H-1,2,4-트리아졸 등을 들 수 있다. 황 함유 유기 화합물의 예로서는, 머캅토벤조티아졸, 티오 시아누르산, 2-벤즈이미다졸티올 등을 들 수 있다. 카르복실산의 예로서는, 모노카르복실산, 디카르복실산 등을 들 수 있다. 한편, 무기 박리층에 사용되는 무기 성분의 예로서는, Ni, Mo, Co, Cr, Fe, Ti, W, P, Zn, 크로메이트 처리막 등을 들 수 있다. 또한, 박리층의 형성은 캐리어의 적어도 한쪽의 표면에 박리층 성분 함유 용액을 접촉시켜, 박리층 성분이 캐리어의 표면에 고정되는 것 등에 의해 행하면 된다. 캐리어의 박리층 성분 함유 용액에의 접촉은, 박리층 성분 함유 용액에의 침지, 박리층 성분 함유 용액의 분무, 박리층 성분 함유 용액의 유하 등에 의해 행하면 된다. 또한, 박리층 성분의 캐리어 표면에의 고정은, 박리층 성분 함유 용액의 흡착이나 건조, 박리층 성분 함유 용액 중의 박리층 성분의 전착 등에 의해 행하면 된다. 박리층의 두께는, 전형적으로는 1㎚∼1㎛이고, 바람직하게는 5㎚∼500㎚이다.The release layer is a layer having a function of suppressing the mutual diffusion which may occur between the carrier and the copper foil at the time of press molding at a high temperature by securing the stability of the strength by weakening the peel strength of the carrier. The release layer is generally formed on one side of the carrier, but it may be formed on both sides. The release layer may be either an organic release layer or an inorganic release layer. Examples of the organic component used in the organic release layer include a nitrogen-containing organic compound, a sulfur-containing organic compound, and a carboxylic acid. Examples of the nitrogen-containing organic compound include triazole compounds and imidazole compounds. Among them, triazole compounds are preferable because of their easy peelability. Examples of triazole compounds include 1,2,3-benzotriazole, carboxybenzotriazole, N ', N'-bis (benzotriazolylmethyl) urea, 1H-1,2,4- -1H-1,2,4-triazole, and the like. Examples of the sulfur-containing organic compound include mercaptobenzothiazole, thiocyanuric acid, 2-benzimidazole thiol and the like. Examples of the carboxylic acid include a monocarboxylic acid and a dicarboxylic acid. On the other hand, examples of the inorganic component used in the inorganic release layer include Ni, Mo, Co, Cr, Fe, Ti, W, P, Zn and a chromate treatment film. The release layer may be formed by bringing the release layer component-containing solution into contact with at least one surface of the carrier and fixing the release layer component to the surface of the carrier. The carrier may be contacted with the solution containing the release layer component by immersion in the release layer component-containing solution, spraying of the solution containing the release layer component, and dropping of the solution containing the release layer component. The peeling layer component may be fixed to the carrier surface by adsorption or drying of the solution containing the peeling layer component and electrodeposition of the peeling layer component in the solution containing the releasing layer component. The thickness of the release layer is typically 1 nm to 1 占 퐉, preferably 5 nm to 500 nm.
조면화 처리 구리박으로서는, 상술한 본 발명의 조면화 처리 구리박을 사용한다. 본 발명의 조면화 처리 구리박은 조면화 처리, 또는 조면화 처리 및 미세 조면화 처리가 실시된 것이지만, 순서로서는, 우선 박리층의 표면에 구리층을 구리박으로서 형성하고, 그 후 적어도 조면화 처리 및/또는 미세 조면화 처리를 행하면 된다. 조면화 처리 및 미세 조면화 처리의 상세에 대해서는 전술한 바와 같다. 또한, 구리박은 캐리어 부착 구리박으로서의 이점을 살리기 위해, 극박 구리박의 형태로 구성되는 것이 바람직하다. 극박 구리박으로서의 바람직한 두께는 0.1㎛∼7㎛이고, 보다 바람직하게는 0.5㎛∼5㎛, 더욱 바람직하게는 0.5㎛∼3㎛이다.As the roughened copper foil, the above-mentioned roughened copper foil of the present invention is used. The roughened copper foil of the present invention is subjected to a roughening treatment or a roughening treatment and a fine roughening treatment. In order to attain this, the copper layer is first formed on the surface of the release layer as a copper foil, And / or fine roughening treatment may be performed. Details of the roughening treatment and the fine roughening treatment are as described above. Further, in order to take advantage of the copper foil with a carrier, the copper foil is preferably formed in the form of an ultra-thin copper foil. The thickness of the ultra thin copper foil is preferably from 0.1 mu m to 7 mu m, more preferably from 0.5 mu m to 5 mu m, and still more preferably from 0.5 mu m to 3 mu m.
박리층과 구리박 사이에 다른 기능층을 형성해도 된다. 그러한 다른 기능층의 예로서는 보조 금속층을 들 수 있다. 보조 금속층은 니켈 및/또는 코발트로 이루어지는 것이 바람직하다. 보조 금속층의 두께는, 0.001∼3㎛로 하는 것이 바람직하다.Another functional layer may be formed between the release layer and the copper foil. An example of such another functional layer is an auxiliary metal layer. The auxiliary metal layer is preferably made of nickel and / or cobalt. The thickness of the auxiliary metal layer is preferably 0.001 to 3 mu m.
실시예Example
본 발명을 이하의 예에 의해 더욱 구체적으로 설명한다.The present invention will be described more specifically with reference to the following examples.
예 1∼3Examples 1-3
본 발명의 조면화 처리 구리박의 제작을 이하와 같이 하여 행하였다.The roughened copper foil of the present invention was produced as follows.
(1) 전해 구리박의 제작(1) Production of electrolytic copper foil
구리 전해액으로서 이하에 나타내어지는 조성의 황산구리 용액을 사용하고, 음극에 표면 조도 Ra가 0.20㎛인 티타늄제의 회전 전극을 사용하고, 양극에는 DSA(치수 안정성 양극)를 사용하고, 용액 온도 45℃, 전류 밀도 55A/dm2로 전해하여, 두께 18㎛의 전해 구리박을 얻었다. 이 전해 구리박의 석출면의 10점 평균 조도 Rzjis를 후술하는 방법으로 측정한 바, 0.6㎛였다.A copper sulfate solution of the following composition was used as the copper electrolyte, a rotary electrode made of titanium having a surface roughness Ra of 0.20 占 퐉 was used for the negative electrode, DSA (dimensional stability anode) was used for the positive electrode, And a current density of 55 A / dm < 2 > to obtain an electrolytic copper foil having a thickness of 18 mu m. The ten-point average roughness Rzjis of the precipitated surface of the electrolytic copper foil was measured by the method described later and found to be 0.6 탆.
<황산 산성 황산구리 용액의 조성><Composition of Sulfuric Acid Sulfuric Acid Solution>
- 구리 농도: 80g/L- Copper concentration: 80g / L
- 황산 농도: 260g/L- sulfuric acid concentration: 260 g / L
- 비스(3-술포프로필)디술피드 농도: 30㎎/LBis (3-sulfopropyl) disulfide concentration: 30 mg / L
- 디알릴디메틸암모늄클로라이드 중합체 농도: 50㎎/L- diallyldimethylammonium chloride Polymer concentration: 50 mg / L
- 염소 농도: 40㎎/L- Chlorine concentration: 40 mg / L
(2) 조면화 처리(2) roughening treatment
상술한 전해 구리박이 구비하는 전극면 및 석출면 중, 석출면측에 대해, 이하의 3단계의 프로세스로 조면화 처리를 행하였다.Roughening treatment was performed on the side of the precipitation surface of the electrode surface and the precipitation surface of the above-mentioned electrolytic copper foil by the following three-step process.
- 조면화 처리의 1단계째는, 조면화 처리용 구리 전해 용액(구리 농도: 10.8g/L, 황산 농도: 240g/L, 9-페닐아크리딘 농도: 0㎎/L, 염소 농도: 0㎎/L) 중, 표 1A에 나타내어지는 조건에서 전해하고, 수세함으로써 행하였다.In the first step of the roughening treatment, a copper electrolytic solution (copper concentration: 10.8 g / L, sulfuric acid concentration: 240 g / L, 9-phenyl acridine concentration: 0 mg / L, chlorine concentration: 0 Mg / L) under the conditions shown in Table 1A, and rinsed with water.
- 조면화 처리의 2단계째는, 조면화 처리용 구리 전해 용액(구리 농도: 10.8g/L, 황산 농도: 240g/L, 9-페닐아크리딘 농도: 0㎎/L, 염소 농도: 0㎎/L) 중, 표 1A에 나타내어지는 조건에서 전해하고, 수세함으로써 행하였다.In the second stage of the roughening treatment, the copper electrolytic solution for roughening treatment (copper concentration: 10.8 g / L, sulfuric acid concentration: 240 g / L, 9-phenyl acridine concentration: 0 mg / Mg / L) under the conditions shown in Table 1A, and rinsed with water.
- 조면화 처리의 3단계째는, 조면화 처리용 구리 전해 용액(구리 농도: 70g/L, 황산 농도: 240g/L, 9-페닐아크리딘 농도: 0㎎/L, 염소 농도: 0㎎/L) 중, 표 1A에 나타내어지는 조건에서 전해하고, 수세함으로써 행하였다.In the third step of the roughening treatment, a copper electrolytic solution (copper concentration: 70 g / L, sulfuric acid concentration: 240 g / L, 9-phenyl acridine concentration: 0 mg / / L) under the conditions shown in Table 1A, and rinsed with water.
(3) 미세 조면화 처리(3) Fine roughening treatment
표 1에 나타내어지는 조건에서 전해를 행함으로써 미세 조면화 처리를 행하였다. 미세 조면화 처리는, 조면화 처리용 구리 전해 용액(구리 농도: 13g/L, 황산 농도: 70g/L, 9-페닐아크리딘 농도: 140㎎/L, 염소 농도: 35㎎/L) 중, 표 1B에 나타내어지는 조건에서 전해하고, 수세함으로써 행하였다.Fine-roughening treatment was carried out by conducting electrolysis under the conditions shown in Table 1. The fine roughening treatment was carried out in a copper electrolytic solution (copper concentration: 13 g / L, sulfuric acid concentration: 70 g / L, 9-phenyl acridine concentration: 140 mg / L, chlorine concentration: 35 mg / L) , And electrolysis under the conditions shown in Table 1B, followed by washing with water.
(4) 방청 처리(4) Anti-rust treatment
미세 조면화 처리 후의 전해 구리박의 양면에, 무기 방청 처리 및 크로메이트 처리로 이루어지는 방청 처리를 행하였다. 먼저, 무기 방청 처리로서, 피로인산욕을 사용하여, 피로인산칼륨 농도 80g/L, 아연 농도 0.2g/L, 니켈 농도 2g/L, 액온 40℃, 전류 밀도 0.5A/dm2로 아연-니켈 합금 방청 처리를 행하였다. 이어서, 크로메이트 처리로서, 아연-니켈 합금 방청 처리 위에, 크로메이트층을 더 형성하였다. 이 크로메이트 처리는, 크롬산 농도가 1g/L, pH11, 용액 온도 25℃, 전류 밀도 1A/dm2로 행하였다.The both surfaces of the electrolytic copper foil after the fine roughening treatment were subjected to anti-corrosive treatment comprising an inorganic anti-rust treatment and a chromate treatment. First, as an inorganic anti-corrosive treatment, using an acid bath exhaustion, potassium pyrophosphate concentration of 80g / L, zinc concentration of 0.2g / L, the nickel concentration 2g / L, liquid temperature of 40 ℃, zinc at a current density of 0.5A / dm 2 - Nickel Alloy rust prevention treatment. Subsequently, as a chromate treatment, a chromate layer was further formed on the zinc-nickel alloy rust-preventive treatment. The chromate treatment was carried out at a chromic acid concentration of 1 g / L, a pH of 11, a solution temperature of 25 캜, and a current density of 1 A / dm 2 .
(5) 실란 커플링제 처리(5) Treatment with silane coupling agent
상기 방청 처리가 실시된 구리박을 수세하고, 그 후 즉시 실란 커플링제 처리를 행하여, 조면화 처리면의 방청 처리층 상에 실란 커플링제를 흡착시켰다. 이 실란 커플링제 처리는, 순수를 용매로 하고, 3-아미노프로필트리메톡시실란 농도가 3g/L인 용액을 사용하고, 이 용액을 샤워링으로 조면화 처리면에 분사하여 흡착 처리함으로써 행하였다. 실란 커플링제의 흡착 후, 최종적으로 전열기에 의해 수분을 증발시켜, 두께 18㎛의 조면화 처리 구리박을 얻었다.The copper foil subjected to the rust-inhibitive treatment was washed with water and then immediately subjected to a silane coupling agent treatment to adsorb a silane coupling agent on the rust-inhibited layer on the roughened surface. This silane coupling agent treatment was carried out by using a solution having a concentration of 3 g / L of 3-aminopropyltrimethoxysilane as a solvent and spraying the solution onto a roughened surface with a shower to carry out an adsorption treatment . After the adsorption of the silane coupling agent, moisture was finally evaporated by an electric heater to obtain a roughened copper foil with a thickness of 18 mu m.
예 4Example 4
i) 미세 조면화 처리를 생략한 것, 및 ii) 조면화 처리를 표 1A에 나타내어지는 조건에서 행한 것 이외에는 예 1과 마찬가지로 하여, 조면화 처리 구리박의 제작을 행하였다.A roughened copper foil was produced in the same manner as in Example 1 except that i) the fine roughening treatment was omitted, and ii) the roughening treatment was conducted under the conditions shown in Table 1A.
예 5(비교) Example 5 (comparative)
i) 전해 구리박의 전극면측(즉, 석출면측과 반대측, Rzjis: 1.5㎛)에 조면화 처리 등의 처리를 행한 것, 및 ii) 조면화 처리 및 미세 조면화 처리를 표 1A 및 표 1B에 나타내어지는 조건에 따라서 행한 것 이외에는 예 1과 마찬가지로 하여, 조면화 처리 구리박의 제작을 행하였다.(i) the surface of the electrolytic copper foil on the electrode surface side (i.e., the side opposite to the precipitation surface side, Rzjis: 1.5 占 퐉) was subjected to roughening treatment and the like; and ii) roughening treatment and fine roughening treatment were shown in Tables 1A and 1B A roughened copper foil was produced in the same manner as in Example 1, except that the copper foil was subjected to the conditions shown.
예 6(비교) Example 6 (comparative)
i) 제1, 제2 및 제3 조면화 공정 대신에 이하의 1단계의 조면화 처리를 행한 것, 및 ii) 미세 조면화 처리를 생략한 것 이외에는 예 1과 마찬가지로 하여, 조면화 처리 구리박의 제작을 행하였다.(i) roughening treatment in the following one step was performed in place of the first, second and third roughening processes, and (ii) roughening treatment in the same manner as in Example 1, except that the fine roughening treatment was omitted .
(조면화 처리)(Roughening treatment)
상술한 전해 구리박이 구비하는 전극면 및 석출면 중, 석출면측에 대해, 이하에 나타내어지는 조성의 조면화 처리용 구리 전해 용액을 사용하여, 용액 온도 30℃, 전류 밀도 50A/dm2, 시간 4초의 조건에서 전해하여, 조면화 처리를 행하였다.Of the surface of the above electrolysis comprising copper foil electrode surface and precipitation, using the electrolytic copper for treatment roughening of the composition solution indicated below for the deposition side, the solution temperature 30 ℃, a current density of 50A / dm 2, time 4 Sec, and roughening treatment was carried out.
<조면화 처리용 구리 전해 용액의 조성><Composition of copper electrolytic solution for roughening treatment>
- 구리 농도: 13g/L- Copper concentration: 13 g / L
- 황산 농도: 70g/L- sulfuric acid concentration: 70 g / L
- 9-페닐아크리딘 농도: 100㎎/L- 9-phenylacridine concentration: 100 mg / L
- 염소 농도: 35㎎/L- Chlorine concentration: 35 mg / L
예 7(비교) Example 7 (comparative)
i) 전해 구리박의 전극면측(즉, 석출면측과 반대측, Rzjis: 1.5㎛)에 조면화 처리 등의 처리를 행한 것, ii) 미세 조면화 처리를 생략한 것, 및 iii) 조면화 처리를 표 1A에 나타내어지는 조건에서 행한 것 이외에는 예 1과 마찬가지로 하여, 조면화 처리 구리박의 제작을 행하였다.(i) a treatment such as roughening treatment on the electrode surface side of the electrolytic copper foil (that is, the side opposite to the precipitation surface side, Rzjis: 1.5 탆), ii) the fine roughening treatment is omitted, and iii) A roughened copper foil was produced in the same manner as in Example 1 except that the conditions were as shown in Table 1A.
예 8(비교) Example 8 (comparative)
i) 전해 구리박의 전극면측(즉, 석출면측과 반대측, Rzjis: 1.5㎛)에 조면화 처리 등의 처리를 행한 것, ii) 제2 조면화 공정과 미세 조면화 처리를 생략한 것, 및 iii) 조면화 처리(즉, 제1 조면화 공정과 제3 조면화 공정)를 표 1A에 나타내어지는 조건에서 행한 것 이외에는 예 1과 마찬가지로 하여, 조면화 처리 구리박의 제작을 행하였다.(i) a treatment such as roughening treatment on the electrode surface side of the electrolytic copper foil (that is, the side opposite to the precipitation surface side, Rzjis: 1.5 탆), ii) the second roughening step and the fine roughening treatment are omitted, and (iii) roughening treatment (that is, the first roughening process and the third roughening process) were carried out under the conditions shown in Table 1A.
[표 1A][Table 1A]
[표 1B][Table 1B]
평가evaluation
예 1∼8에 있어서 제작된 조면화 처리 구리박에 대해, 이하에 나타내어지는 각종 평가를 행하였다.For the roughened copper foil produced in Examples 1 to 8, various evaluations shown below were carried out.
<10점 평균 조도 Rzjis><10 point average roughness Rzjis>
조면화 처리 구리박의 조면화 처리면의 10점 평균 조도 Rzjis를, 접촉식 표면 조도계(가부시끼가이샤 고사까 겡뀨쇼, SE3500)에 의해, JIS B0601-2001에 준거하여 측정하였다. 이 측정은, 직경 2㎛의 다이아몬드 볼을 촉침으로서 사용하여, 기준 길이 0.8㎜에 대해 행하였다. 또한, 전술한 각 예에 있어서의 조면화 처리 전의 전해 구리박의 석출면 또는 전극면의 Rzjis의 측정도 상기와 마찬가지의 순서로 행해졌다.The 10-point average roughness Rzjis of the roughened surface of the roughened copper foil was measured according to JIS B0601-2001 by a contact surface roughness meter (Kosaka Kagaku Co., Ltd., SE3500). This measurement was carried out for a reference length of 0.8 mm using a diamond ball having a diameter of 2 탆 as a stylus. The Rzjis of the deposition surface or the electrode surface of the electrolytic copper foil before the roughening treatment in each of the examples described above was also measured in the same manner as described above.
<조면화 입자의 높이의 빈도 분포에 있어서의 반값 폭>≪ Half width in the frequency distribution of the height of the roughened particles >
조면화 처리 구리박의 조면화 처리면의 표면 프로파일을 삼차원 조도 해석 장치(가부시끼가이샤 엘리오닉스제, ERA-8900)를 사용하여, 배율 600∼30000배, 가속 전압 10㎸의 조건에서 측정하였다. 측정 배율은 조면화 입자의 사이즈에 따라서 상기 범위 내에서 조정하였다. 이 측정된 표면 프로파일에 기초하여 입도를 산출하였다. 그때, z축(박 두께 방향) 간격을 0.01㎛ 단위로 측정된 조면화 입자의 높이를 입도로 간주하였다. 조면화 입자의 높이 내지 입도의 산출은, 사전에 조면화 처리 전의 전해 구리박(원박)의 표면 프로파일을 계측해 두고, 이 조면화 처리 전의 표면 프로파일에 기인하는 값을 입도 산출 시에 백그라운드로서 제거함으로써 행하였다. 이와 같이 하여 산출된 높이 내지 입도에 기초하는 조면화 입자의 높이의 빈도 분포를 작성하고, 도 1에 나타내어진 바와 같이 빈도 분포 피크의 최댓값의 1/2의 값에 있어서의 빈도 분포 피크의 전체 폭을 반값 폭(㎛)으로서 산출하였다.The surface profile of the roughened surface of the roughened copper foil was measured using a three-dimensional roughness analyzer (ERA-8900, manufactured by EI ONIX CO., LTD.) Under the conditions of a magnification of 600 to 30000 times and an acceleration voltage of 10 kV. The measurement magnification was adjusted within the above range depending on the size of the roughened particles. The particle size was calculated based on the measured surface profile. At that time, the height of the roughened particles measured in the z-axis (in the thickness direction) interval in the unit of 0.01 mu m was regarded as the particle size. The height and the grain size of the roughed grains can be calculated by measuring the surface profile of the electrolytic copper foil before roughening and measuring the value resulting from the roughened surface profile before the roughening treatment as a background . The frequency distribution of the height of the roughened particle based on the height or the grain size thus calculated is created and the total width of the frequency distribution peak at a value 1/2 of the maximum value of the frequency distribution peak as shown in Fig. Was calculated as a half width (mu m).
<조면화 처리면 비표면적>≪ Surface surface area of roughened surface >
조면화 처리 구리박의 조면화 처리면에 있어서의 면적 14000㎛2의 영역(100㎛×140㎛)의 표면 프로파일을, 레이저 현미경(가부시끼가이샤 키엔스제, VK-X100)을 사용하여 배율 2000배로 측정하였다. 얻어진 조면화 처리면의 표면 프로파일의 삼차원 표면적 X(㎛2)를 산출하고, 이 X의 값을 측정 면적 Y(14000㎛2)로 나눈 값 X/Y를 비표면적으로 하였다.The surface profile of the area (100 μm × 140 μm) having an area of 14,000 μm 2 on the roughened surface of the roughened copper foil was measured at a magnification of 2000 × using a laser microscope (VK-X100, manufactured by KYOSEN CHEMICAL CO. Respectively. A three-dimensional surface area X (mu m 2 ) of the surface profile of the obtained roughened surface was calculated, and the value X / Y obtained by dividing the value of X by the measured area Y (14,000 mu m 2 ) was defined as the specific surface area.
<박리 강도><Peel strength>
절연 수지 기재로서, 두께 50㎛의 액정 폴리머(LCP) 필름(가부시끼가이샤 구라레이제, Vecstar CTZ)을 준비하였다. 이 절연 수지 기재에 조면화 처리 구리박을 그 조면화 처리면이 절연 수지 기재와 접촉하도록 적층하고, 압력 4㎫ 및 온도 310℃에서 10분간의 열간 프레스 성형을 행하여 동장 적층판 샘플을 제작하였다. 이 동장 적층판 샘플에 대해, JIS C 5016-1994의 방법 A에 준거하여, 절연 수지 기재면에 대해 90°방향으로 박리하여 상태 박리 강도(kgf/cm)를 측정하였다.As an insulating resin base material, a liquid crystal polymer (LCP) film having a thickness of 50 占 퐉 (Vecstar CTZ manufactured by Kabushiki Kaisha K.K.) was prepared. The roughened copper foil was laminated on the insulating resin base so that the roughened surface was in contact with the insulating resin base, and hot press forming was performed at a pressure of 4 MPa and a temperature of 310 DEG C for 10 minutes to prepare a copper clad laminate sample. With respect to this copper-clad laminate sample, the state peel strength (kgf / cm) was measured in accordance with Method A of JIS C 5016-1994 by peeling in the direction of 90 ° with respect to the surface of the insulating resin base material.
<조면화 입자 단면적 비율>≪ Percentage of cross-sectional area of roughed grain &
조면화 처리 구리박의 조면화 처리면에 있어서의 조면화 입자 단면적 비율의 측정을 행하였다. 이 측정은, 탁상형 자동식 다기능 화상 처리 해석기(가부시끼가이샤 니레코제, LUZEX AP)와 수렴 이온 빔 가공 관찰 장치(FIB)를 사용하여, 조면화 처리면의 소정의 시야 범위(8㎛×8㎛)에 있어서의 개개의 조면화 입자의 단면을 관찰하여 배율 18000배로 FIB의 SIM 화상(이하, FIB-SIM 화상이라고 함)을 취득하고, 이 FIB-SIM 화상을 화상 해석하여 폐곡 단면적 및 단면적을 측정하고, (조면화 입자의 폐곡 단면적)/(조면화 입자의 단면적)의 비로서 조면화 입자 단면적 비율을 산출함으로써 행하였다. 이 화상 해석에 있어서의 2치화 설정은 127로 하였다. 구체적인 순서는 이하와 같이 하였다.The roughened particle cross-sectional area ratio on the roughened surface of the roughened copper foil was measured. This measurement was carried out using a bench type automatic multifunctional image processing analyzer (LUZEX AP) and a converged ion beam processing observation apparatus (FIB) (Hereinafter referred to as " FIB-SIM image ") at a magnification of 18000 times by observing a cross section of each of the roughened particles in the FIB-SIM image , And calculating the ratio of the roughened particle cross-sectional area as a ratio of the cross-sectional area of the roughened particles to the cross-sectional area of the roughened particles. The binarization setting in this image analysis was set to 127. [ The concrete procedure was as follows.
(1) 조면화 입자의 단면적의 측정(1) Measurement of cross-sectional area of roughened particles
도 2에 나타내어진 FIB-SIM 화상에 그려진 바와 같이, 조면화 입자의 헤드의 대략 이등분 위치로부터 조면화 입자 긴 변 방향(즉, 조면화 입자의 높이 방향)으로 직선을 긋는다. 이 직선 상의 조면화 입자의 헤드 정상부로부터 2㎛ 떨어진 위치에 기준점 a를 특정한다. 이 기준점 a로부터 조면화 입자에 2개의 접선을 긋고, 이들 접선과 조면화 입자의 접점 b, c를 특정한다. 접점 b, c를 연결하는 직선(이하, b-c 직선이라고 함)과 조면화 입자의 헤드의 단면 윤곽선으로 둘러싸인 단면 영역의 단면적을 화상 해석에 의해 구하여, 조면화 입자의 단면적으로 한다. 또한, 기준점 a를 정하는 데 있어서 조면화 입자의 헤드 정상부로부터의 거리를 2㎛로 하고 있는 것은, FIB-SIM 화상의 스케일의 길이가 2㎛인 것을 고려한 것이며, 이러한 길이이면 기준점 a의 위치가 다소 변동되어도 접점 b, c의 위치가 거의 일의적으로 특정되는 결과, 조면화 입자의 단면적의 값이 높은 정밀도로 얻어지기 때문이다.As shown in the FIB-SIM image shown in Fig. 2, a straight line is drawn in the direction of the long side of the roughened particle (i.e., the height direction of the roughened particle) from the roughly bisection position of the roughened particle head. The reference point a is specified at a position 2 占 퐉 away from the top of the head of the straightened roughened particle. Two tangent lines are drawn from the reference point a to the roughened particle, and the tangent line and the contact points b and c of the roughened particle are specified. Sectional area of a cross-sectional area surrounded by a straight line connecting the contacts b and c (hereinafter referred to as a straight line b-c) and the cross-sectional contour of the head of the roughened particle is determined by image analysis to obtain the cross- The reason why the distance from the top of the head of the roughened particle in setting the reference point a is 2 占 퐉 is that the length of the scale of the FIB-SIM image is 2 占 퐉. The positions of the contact points b and c are uniquely specified even if they fluctuate, so that the value of the cross-sectional area of the roughened particles can be obtained with high accuracy.
(2) 조면화 입자의 폐곡 단면적의 측정(2) Measurement of the cross sectional area of roughened particles
도 3에 조면화 입자의 헤드의 확대 화상이 예시된다. 도 3의 FIB-SIM 화상에 그려진 바와 같이, 조면화 입자의 폐곡 단면적을, 조면화 입자 표면의 미세 볼록 형상의 각 선단(미세 조면화 입자가 존재하는 경우에는 미세 조면화 입자의 각 선단)을 연결하는 선과 b-c 직선으로 둘러싸인 영역의 면적으로 규정하고, 이것을 화상 해석에 의해 구하였다. 상기 각 선단의 위치 결정은 화상 처리 해석기가 구비하는 소프트웨어에 의해 자동적으로 행하였다.An enlarged image of the head of the roughened particle is shown in Fig. As shown in the FIB-SIM image of Fig. 3, the closed cross-sectional area of the roughened particles was determined by dividing the cross-sectional area of each roughened surface of the roughened particle surface by the tip of each of the fine convex roughened surfaces (each tip of the roughened particles in the presence of fine roughened particles) And an area of a region surrounded by a connecting line and a bc straight line, and this was determined by image analysis. The positioning of each tip was automatically performed by the software provided in the image processing analyzer.
(3) 조면화 입자 단면적 비율의 결정(3) Determination of the roughening particle cross-sectional area ratio
상기 얻어진 폐곡 단면적과 조면화 입자의 단면적으로부터 조면화 입자 단면적 비율을 산출하였다. 조면화 입자 단면적 비율은 1 시야마다 관찰되는 개개의 조면화 입자에 대해 행하여, 5 시야분의 모든 조면화 입자에 대해 얻어진 조면화 입자 단면적 비율의 평균값을 산출하였다.The ratio of the cross-section of the roughened particle was calculated from the obtained closed cross-sectional area and the cross-sectional area of the roughened particle. The ratio of the roughened particle cross-sectional area was calculated for each roughened particle observed every 1 field, and the average value of the roughened particle cross-sectional area ratios obtained for all roughened particles at 5 fields was calculated.
<전송 손실><Transmission Loss>
절연 수지 기재로서, 두께 50㎛의 액정 폴리머(LCP) 필름(가부시끼가이샤 구라레이제, Vecstar CTZ)을 준비하였다. 이 절연 수지 기재의 양면에 조면화 처리 구리박을 그 조면화 처리면이 절연 수지 기재와 접촉하도록 적층하여 배치 프레스에 의해 접합하였다. 도 4에 도시된 바와 같이, 절연 수지 기재(40)의 편면측의 조면화 처리 구리박에만 에칭을 행하고, 특성 임피던스가 50Ω으로 되도록 마이크로스트립 라인을 형성시켜 시그널층(42)(두께 18㎛)으로 하였다. 한편, 절연 수지 기재(40)의 시그널층(42)의 반대측의 조면화 처리 구리박은 에칭을 실시하지 않고 접지층(44)(두께 18㎛)으로 하였다. 절연 수지 기재(40)의 시그널층(42)측에, 두께 25㎛로 도포한 접착제(가부시끼가이샤 아리사와 세이사꾸쇼제, AY-25KA)를 통해 두께 12㎛의 폴리이미드 필름(니칸 고교사제, CISV-1225)을 커버레이(46)로서 접합하여 전송 손실 측정용 샘플을 얻었다. 얻어진 샘플의 마이크로스트립 라인에 대해, 네트워크 애널라이저(키사이트 테크놀로지제, N5247A)와 프루버 시스템(캐스케이드 마이크로테크제, SUMMIT9000)을 사용하여, 회로 길이 5㎝에서의 40㎓의 전송 손실 S21을 구하였다.As an insulating resin base material, a liquid crystal polymer (LCP) film having a thickness of 50 占 퐉 (Vecstar CTZ manufactured by Kabushiki Kaisha K.K.) was prepared. The roughened copper foil was laminated on both sides of the insulating resin base material so that the roughened surface was in contact with the insulating resin base material and bonded by a batch press. 4, etching is performed only on the roughened copper foil on one side of the insulating
결과result
예 1∼8에 있어서 얻어진 평가 결과는 표 2에 나타내어지는 바와 같았다.The evaluation results obtained in Examples 1 to 8 were as shown in Table 2.
[표 2][Table 2]
Claims (8)
상기 반값 폭이 0.2∼0.9㎛인, 조면화 처리 구리박.The method according to claim 1,
Wherein the half-width of the copper foil is 0.2 to 0.9 mu m.
상기 조면화 처리면이 1.1∼2.1의 비표면적을 갖고, 당해 비표면적은 상기 조면화 처리면의 삼차원 표면적 X를 측정 면적 Y로 나눔으로써 얻어진 X/Y의 값인, 조면화 처리 구리박.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the surface to be roughened has a specific surface area of 1.1 to 2.1, and the specific surface area is a value of X / Y obtained by dividing the three-dimensional surface area X of the roughened surface by the measured area Y.
상기 조면화 입자 상에 당해 조면화 입자보다 미세한 미세 조면화 입자를 더 구비하여 이루어지는, 조면화 처리 구리박.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the roughening treatment further comprises fine roughening particles finer than the roughening particles on the roughening particles.
상기 조면화 처리면이 1.10∼1.50의 조면화 입자 단면적 비율을 갖는, 조면화 처리 구리박.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the roughened surface has a roughened particle cross-sectional area ratio of 1.10 to 1.50.
고주파 용도용 프린트 배선판에 사용되는, 조면화 처리 구리박.6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Roughened copper foil used for printed wiring boards for high frequency applications.
상기 절연 수지층이 액정 폴리머를 포함하여 이루어지는, 고주파 용도용 프린트 배선판.8. The method of claim 7,
Wherein the insulating resin layer comprises a liquid crystal polymer.
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