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KR20170011992A - Short arc type flash lamp with both ends sealed - Google Patents

Short arc type flash lamp with both ends sealed Download PDF

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KR20170011992A
KR20170011992A KR1020160037806A KR20160037806A KR20170011992A KR 20170011992 A KR20170011992 A KR 20170011992A KR 1020160037806 A KR1020160037806 A KR 1020160037806A KR 20160037806 A KR20160037806 A KR 20160037806A KR 20170011992 A KR20170011992 A KR 20170011992A
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KR
South Korea
Prior art keywords
tube
sealing
metal
sealing glass
glass tube
Prior art date
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Withdrawn
Application number
KR1020160037806A
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Korean (ko)
Inventor
다카유키 오니시
다카유키 히라이시
요시모리 록카쿠
Original Assignee
우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by 우시오덴키 가부시키가이샤 filed Critical 우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

[과제]발광관 내에 한 쌍의 주전극과, 시동 보조 전극을 가지며, 상기 발광관의 제1 봉지관에는, 제1 주전극의 심선이 봉지되어 발광관 밖으로 도출되고, 상기 제2 봉지관에는 봉지용 유리관이 용착되고, 상기 봉지용 유리관에는, 제2 주전극의 심선이 봉지되어 발광관 밖으로 도출되어 이루어지는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 있어서, 상기 제2 봉지관과 상기 봉지용 유리관의 용착 작업시에 있어서, 상기 봉지용 유리관의 내주면이 연화에 의해 변형 팽출하는 것을 방지할 수 있는 구조를 제공하는 것이다.
[해결 수단]상기 봉지용 유리관에 있어서의, 상기 제2 봉지관과의 용착 영역의 내주면에, 유리의 변형을 방지하는 금속 통상체가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.A first sealing tube of the arc tube is sealed with a core wire of a first main electrode and led out of the arc tube, and the second sealing tube is provided with a pair of main electrodes and a starting auxiliary electrode in the arc tube, A double-end sealed type short arc flash lamp in which a sealing glass tube is welded and a core wire of a second main electrode is sealed in the sealing glass tube and led out of an arc tube, And it is an object of the present invention to provide a structure capable of preventing the inner peripheral surface of the sealing glass tube from being deformed and expanded by softening at the time of work.
[MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] In a sealing glass tube, a metal cylindrical body for preventing deformation of glass is provided on an inner peripheral surface of a welded region with the second sealing tube.

Description

양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프{SHORT ARC TYPE FLASH LAMP WITH BOTH ENDS SEALED} [0001] SHORT ARC TYPE FLASH LAMP WITH BOTH ENDS SEALED [0002]

이 발명은 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 관한 것이며, 특히, 한쪽의 봉지관 부분이 이중관 구조로 된 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 관한 것이다. The present invention relates to a double-end sealed short arc flash lamp, and more particularly, to a double-end sealed short arc flash lamp having a double tube structure at one end thereof.

플래시 점등을 행하는 방전등은, 반도체 제조 공정에 있어서의 플래시 어닐링을 비롯한 산업용도로 널리 이용되고 있고, 본 발명의 램프는, 특히 진공 자외광을 이용한 노광 공정에 사용되는 것이다.A discharge lamp that performs flash lighting is widely used for industrial purposes including flash annealing in a semiconductor manufacturing process, and the lamp of the present invention is particularly used in an exposure process using vacuum ultraviolet light.

상기 노광 공정에 있어서는, 소영역에 고밀도인 광을 단시간에 조사할 수 있고, 광의 방향성이나 분포에 불균일이 비교적 적은, 평행광에 가까운 광을 사용하는 것이 요구된다. In the exposure step, it is required to use light with a wavelength close to the parallel light, which can irradiate light of high density to a small area in a short time and has a relatively small non-uniformity in the directionality and distribution of light.

그러기 위해서는, 플래시 램프를, 오목면 반사경 등에 의해 집광하여 평행광을 형성하는 것이 바람직하고, 집광 효율을 높이기 위해서는 봉지부의 지름이 작은 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프가 유리하다.For this purpose, it is preferable to form a parallel light by condensing the flash lamp with a concave reflector or the like, and a double-end sealed type short arc flash lamp having a small diameter of the encapsulation portion is advantageous in order to increase the light collection efficiency.

이러한 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프가, 일본국 특허제5360033호 공보에 개시되어 있다.Such a double-end sealed short arc flash lamp is disclosed in Japanese Patent No. 5360033.

도 5에 그 개략 구조가 표시되어 있고, 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 있어서, 발광관(1)의 양단에 제1 봉지관(2)과 제2 봉지관(3)이 연속 설치되어 있다. 그리고, 상기 제2 봉지관(3)에는 봉지용 유리관(4)이 삽입되고 있고, 양자는 용착되어 있다.Fig. 5 shows the schematic structure thereof. In the both end encapsulated short arc flash lamp, the first encapsulation tube 2 and the second encapsulation tube 3 are provided at both ends of the arc tube 1 in succession. A sealing glass tube (4) is inserted into the second sealing tube (3), and both are welded together.

발광관(1) 내에 한 쌍의 제1 주전극(5)과 제2 주전극(6)이 대향 배치되어 있다. 상기 제1 주전극(5)은, 그 심선(7)이 제1 봉지관(2)에 단이음 유리 등의 수단에 의해 지지·봉지되어 그 외쪽으로 도출되어 있고, 한편, 상기 제2 주전극(6)은, 그 심선(8)이 상기 봉지용 유리관(4)에 단이음 유리 등의 수단에 의해 지지·봉지되어 그 외쪽으로 도출되어 있다.A pair of first main electrodes 5 and a second main electrode 6 are arranged opposite to each other in the arc tube 1. [ The first main electrode 5 has its core wire 7 supported and sealed to the first encapsulation tube 2 by a means such as a step glass or the like and led out of the first main electrode 5, The core wire 8 is supported and sealed to the sealing glass tube 4 by a means such as a single glass or the like and led out to the outside.

발광관(1) 내의 주전극(5, 6)의 사이에는, 한 쌍의 제1 시동 보조 전극(10)과 제2 시동 보조 전극(11)이 설치되어 있어, 각각의 내부 리드(12, 15)와 외부 리드(13, 16)가, 상기 제2 봉지관(3)과 봉지용 유리관(4) 사이의 용착 영역에 있어서, 금속 봉지박(14, 17)을 개재하여 전기적으로 접속되어 있다.A pair of the first starting auxiliary electrode 10 and the second starting auxiliary electrode 11 are provided between the main electrodes 5 and 6 in the arc tube 1 and the respective inner leads 12 and 15 And the outer leads 13 and 16 are electrically connected to each other through the metal encapsulation foils 14 and 17 in the welded region between the second encapsulation tube 3 and the sealing glass tube 4. [

그리고, 발광관(1) 내에는, 발광 가스로서, 예를 들면 크세논 가스가 봉입되어 있다.In the arc tube 1, for example, xenon gas is sealed as a luminescent gas.

이 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프는, 소정의 전압이 인가됨으로써, 우선 시동 보조 전극(10, 11)간에서 예비 방전하고, 주전극(5, 6)간의 방전을 보조하는 하전 입자를 발광관(1) 내에 발생시키는 구성로 되어 있다.This double-end sealed type short arc flash lamp is configured such that by applying a predetermined voltage, the preliminary discharge occurs between the starting auxiliary electrodes 10 and 11 and the charged particles assisting the discharge between the main electrodes 5 and 6 are discharged to the arc tube 1).

이러한 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프는, 예를 들면 포물 반사면경의 초점에 램프의 발광점(휘점)을 일치시켜 배치함으로써, 램프로부터 방사되는 광을 평행광으로서 조사하는 광원 장치가 구성된다.In such a double-end sealed short arc flash lamp, for example, a light source device that irradiates light emitted from a lamp as parallel light is constructed by disposing the luminous points (bright spots) of the lamps coinciding with the focus of the parabolic reflective luminous lamp.

그런데, 이러한 이중관 구조를 취하는 제2 봉지부측에 있어서는, 도 6에 표시되는 바와 같이, 그 용착 공정에 있어서, 봉지용 유리관(4)의 외주면에, 시동 보조 전극(10, 11)의 내부 리드(12, 15)와 외부 리드(13, 16) 및 금속 봉지박(14, 17)을 배치하여, 이것을 제2 봉지관(3) 내에 삽입하고, 그 외주로부터 버너(B)에 의해 가열하고, 봉지용 유리관(4)과 제2 봉지관(3)을 용착한다는 작업이 행해지고 있다.6, the inner leads (10, 11) of the starting auxiliary electrodes (10, 11) are connected to the outer peripheral surface of the sealing glass tube (4) in the bonding step, 12 and 15 and the outer leads 13 and 16 and the metal sealing foils 14 and 17 are placed in the second sealing tube 3 and heated from the outer periphery thereof by the burner B, And the glass tube 4 and the second sealing tube 3 are welded to each other.

그리고, 이 용착 작업에 있어서는, 금속 봉지박(14, 17) 부분에 있어서 밀봉 봉지함으로써, 이 금속 봉지박(14, 17)을 중심으로 한 영역을 특히 가열하여 용착한다.In this welding process, the metal sealing foils 14 and 17 are sealed and sealed so that the region around the metal sealing foils 14 and 17 is particularly heated and welded.

그 때문에, 도 6에 표시되는 바와 같이, 봉지용 유리관(4)의 이 영역의 유리가 가열에 의해 연화하여, 그 내면이 변형하고, 내부를 향한 팽출 형상(25)이 되어, 결국은 제2 주전극(6)의 심선(8)과 접촉하는 등의 사태를 초래하는 일이 있고, 크랙의 원인이 된다는 문제가 있다.Therefore, as shown in Fig. 6, the glass in this region of the sealing glass tube 4 is softened by heating, and the inner surface thereof is deformed to become the bulging shape 25 toward the inside, It may cause a situation such as contact with the core wire 8 of the main electrode 6, which causes a problem of cracking.

그러나, 상기한 도 5에 나타내는 종래예에 있어서는, 제2 봉지관(3)과 봉지용 유리관(4)의 용착 작업에서는, 봉지용 유리관(4)의 외주의 내부 리드(12, 15)나 외부 리드(13, 16) 및 금속 봉지박(14, 17)을 정확한 위치에 유지한 상태로 용착하는 것이 어렵고, 용착 후에 정확한 위치에서의 조립 구조를 얻기 어렵다는 문제가 생기는 경우가 있다.5, the inner leads 12 and 15 on the outer periphery of the sealing glass tube 4 and the outer leads 12 and 15 on the outer periphery of the sealing glass tube 4 are bonded to each other in the fusion bonding work of the second sealing tube 3 and the sealing glass tube 4. However, It is difficult to weld the leads 13 and 16 and the metal encapsulation foils 14 and 17 while keeping them at the correct positions and there arises a problem that it is difficult to obtain an assembled structure at an accurate position after welding.

이러한 문제점에 대해서는, 도 7, 8에 나타내는 바와 같이, 상기 봉지용 유리관(4)에 있어서의 상기 제2 봉지관(3)과의 용착 영역의 외주면에, 상기 내부 리드(12, 15), 외부 리드(13, 16) 및 금속 봉지박(14, 17)을 피복하도록 일차 봉지용 유리 부재(20)를 용착하는 구조로 함으로써 해결할 수 있다.As shown in Figs. 7 and 8, the inner leads 12 and 15 and the outer leads 12 and 15 are formed on the outer circumferential surface of the fusion region with the second encapsulation tube 3 in the sealing glass tube 4, The primary sealing glass member 20 is welded to cover the leads 13 and 16 and the metal sealing foils 14 and 17.

즉, 봉지용 유리관(4)의 선단측의 제2 봉지관(3)과의 겹침 영역, 즉, 용착 영역에 있어서, 그 외주에, 상기 내부 리드(12, 15), 외부 리드(13, 16) 및 금속 봉지박(14, 17)을 피복하도록 일차 봉지용 유리 부재(20)를 용착한 구조로 하는 것이다.That is, the inner leads 12 and 15, the outer leads 13 and 16 (the outer leads 13 and 16, and the outer leads 13 and 14) are provided on the outer periphery of the sealing glass tube 4 in the overlapping region with the second sealing tube 3, And the first sealing glass member 20 is welded to cover the metal sealing foils 14 and 17.

이렇게 하여, 선단 영역의 외주에 있어서 일차 봉지용 유리 부재(20)가 용착 된 봉지용 유리관(4)이, 제2 봉지관(3) 내에 삽입되어, 상기 제2 봉지관(3)과 일차 봉지용 유리 부재(20)가 용착되고, 이로 인해, 제2 봉지관(3)과 봉지용 유리관(4)이 용착되는 것이다 .In this way, the sealing glass tube 4 in which the primary sealing glass member 20 is welded on the outer periphery of the tip end region is inserted into the second sealing tube 3, and the second sealing tube 3 and the primary seal Whereby the second sealing tube 3 and the sealing glass tube 4 are welded together.

이러한 구조를 채용함으로써, 내부 리드(12, 15)나 외부 리드(13, 16) 및 금속 봉지박(14, 17)의 위치를 정확하게 유지하여 용착할 수 있는 것이다.By adopting such a structure, the positions of the inner leads 12 and 15, the outer leads 13 and 16, and the metal sealing foils 14 and 17 can be precisely maintained and welded.

그러나, 이러한 이중 봉지 구조를 채용한 경우에 있어서도, 상기 도 6에 나타내는 가열 용착시의 봉지용 유리관(4) 내면의 팽출 형상의 발생은 동일한 문제로서 발생하는 경우가 있다.However, even in the case of adopting such a double-sealed structure, the occurrence of the bulging shape on the inner surface of the sealing glass tube 4 at the time of heating and heating shown in Fig. 6 may occur as the same problem.

도 9에 나타내는 바와 같이, 봉지용 유리관(4)과 일차 봉지용 유리 부재(20)의 가열 용착시에, 봉지용 유리관(4)이 연화하여 그 내면이 팽출 형상(25)이 되고, 심선(8)과 접촉해 버리는 경우가 있다. 이 구조에 있어서는, 일차 봉지 후의 2차 봉지시에 제2 봉지관(3)과 용착 작업을 행함으로써, 이 때에도 같은 문제가 중복되어 발생하는 경우가 있다.9, the sealing glass tube 4 is softened so that the inner surface of the sealing glass tube 4 becomes the bulge shape 25 at the time of heating for heating the sealing glass tube 4 and the primary sealing glass member 20, 8 may be brought into contact with each other. In this structure, when the second sealing pipe 3 is subjected to the welding work at the time of the second sealing after the first sealing, the same problem may occur at the same time.

일본국 특허제5360033호 공보Japanese Patent No. 5360033

이 발명이 해결하려고 하는 과제는, 상기 종래 기술의 문제점을 감안하여, 유리제의 발광관의 내부에 한 쌍의 주전극과, 시동 보조 전극을 가지며, 상기 발광관의 양단에 제1 봉지관과 제2 봉지관을 구비하고, 상기 제1 봉지관에는, 제1 주전극의 심선이 봉지되어 발광관 밖으로 도출되고, 상기 제2 봉지관에는, 상기 제2 봉지관의 내부에 삽입된 봉지용 유리관이 용착되고, 상기 봉지용 유리관에는, 제2 주전극의 심선이 봉지되어 발광관 밖으로 도출되어 이루어지고, 상기 제2 봉지관과 상기 봉지용 유리관의 사이에서, 상기 시동 보조 전극의 내부 리드와 외부 리드, 및 이들을 전기적으로 접속하는 금속 봉지박이 봉지되어 이루어지는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 있어서, 상기 제2 봉지관과 상기 봉지용 유리관의 가열 용착시에, 봉지용 유리관이 연화해도 그 내면에 팽출 형상이 생기는 일이 없도록 한 구조를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to solve the problems of the prior art described above by providing a glass tube having a pair of main electrodes and a starting auxiliary electrode inside the glass tube, Wherein a sealing glass tube inserted into the inside of the second sealing tube is attached to the first sealing tube so that the core wire of the first main electrode is sealed and led out of the arc tube, And the sealing glass tube is sealed with a core wire of the second main electrode and led out from the arc tube, and between the second sealing tube and the sealing glass tube, the inner lead of the starting auxiliary electrode and the outer lead And a metal sealing foil for electrically connecting the sealing glass tube and the sealing glass tube, wherein a sealing glass tube is provided for sealing the second sealing tube and the sealing glass tube for heating, So that a bulge shape does not occur on the inner surface even if it is softened.

상기 과제를 해결하기 위해서, 이 발명에 따른 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프는, 상기 봉지용 유리관에 있어서의, 상기 제2 봉지관과의 용착 영역의 내주면에, 유리의 변형을 방지하는 금속 통상체가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, the double-end sealed short arc flash lamp according to the present invention is characterized in that the sealing glass tube is provided with an inner circumferential surface of a welded region with the second sealing tube, Is installed.

또, 상기 금속 통상체는, 고융점 금속으로 이루어지는 권회한 금속박인 것을 특징으로 한다 .The metal cylindrical body is a rolled metal foil made of a refractory metal.

또, 상기 금속 통상체는, 상기 제2 봉지관과 상기 봉지용 유리관의 사이에 설치된 상기 금속 봉지박의 길이보다 길고, 상기 금속 봉지박의 양단부보다 돌출하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.The metal cylindrical body is longer than the length of the metal encapsulation foil provided between the second encapsulation tube and the sealing glass tube and is arranged to protrude from both end portions of the metal encapsulation foil.

또, 상기 금속 통상체를 구성하는 상기 금속박은, 상기 봉지용 유리관의 내주면과 접하는 표면에 로듐이 도금되어 있는 것을 특징으로 한다.The metal foil constituting the metal cylindrical body is characterized in that rhodium is plated on the surface of the metal foil which is in contact with the inner circumferential surface of the sealing glass tube.

또, 상기 봉지용 유리관의 내면에는, 상기 금속 통상체의 단부에 인접하여, 상기 금속 통상체가 상기 발광관의 축방향으로 이동하는 것을 규제하는 돌기부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.The inner surface of the sealing glass tube is provided with a projection adjacent to an end of the metal cylindrical body and regulating the movement of the metal cylindrical body in the axial direction of the arc tube.

또, 상기 봉지용 유리관에 있어서의 상기 제2 봉지관과의 용착 영역의 외주면에는, 주전극의 내부 리드, 외부 리드 및 금속 봉지박을 피복하도록 일차 봉지용 유리 부재가 용착되어 있고, 상기 제2 봉지관과 상기 일차 봉지용 유리 부재가 용착되어 있고, 상기 봉지용 유리관에 있어서의, 상기 제2 봉지관과의 용착 영역의 내주면에, 유리의 변형을 방지하는 금속 통상체가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.The first sealing glass member is welded to the outer circumferential surface of the welded region of the sealing glass tube with the second sealing tube so as to cover the inner lead of the main electrode, the outer lead and the metal sealing foil, Wherein the sealing tube and the primary sealing glass member are welded to each other and a metal cylindrical body for preventing deformation of the glass is provided on the inner circumferential surface of the fusion region with the second sealing tube in the sealing glass tube do.

이 발명의 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 의하면, 봉지용 유리관의 내주면에 금속 통상체를 설치했기 때문에, 제2 봉지관과 봉지용 유리관의 용착시에, 유리가 연화해도 상기 금속 통상체에 의해 변형이 방지되고, 내주면이 팽출하여 주전극의 심선과 접촉해 버리는 일이 없다. 이로 인해, 봉지용 유리관에 크랙이 생겨 파손해 버리는 일이 없어진다. According to the two-end sealed type short arc flash lamp of the present invention, since the metal cylindrical body is provided on the inner peripheral surface of the sealing glass tube, even when the glass is softened when the second sealing tube and the sealing glass tube are melted, Deformation is prevented and the inner circumferential surface does not bulge and come into contact with the core wire of the main electrode. As a result, cracks are generated in the sealing glass tube and the glass tube is not damaged.

또, 상기 금속 통상체의 단부에 돌기부를 형성했기 때문에, 상기 금속 통상체가 발광관의 관축방향으로 이동하는 것이 방지되어, 봉지용 유리관의 내주면의 팽출 억제 작용이 손상되는 일이 없다.In addition, since the protruding portion is formed at the end portion of the metal cylindrical body, the metal cylindrical body is prevented from moving in the tube axis direction of the arc tube, and the inner peripheral surface of the sealing glass tube is prevented from being inhibited from expanding.

도 1은, 본 발명의 제1 실시예의 부분 단면도
도 2는, 본 발명의 제2 실시예의 부분 단면도
도 3은, 본 발명의 제3 실시예의 부분 단면도
도 4는, 본 발명의 제4 실시예의 부분 단면도
도 5는, 종래의 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프의 단면도
도 6은, 종래예의 결함의 설명 단면도
도 7은, 종래예의 개량 구조에 따른 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프
도 8은, 도 7의 분해 부분 확대도
도 9는, 도 7의 개량 구조에 있어서의 결함의 설명 단면도 1 is a partial cross-sectional view of a first embodiment of the present invention
2 is a partial cross-sectional view of a second embodiment of the present invention
3 is a partial cross-sectional view of a third embodiment of the present invention
4 is a partial cross-sectional view of a fourth embodiment of the present invention
5 is a sectional view of a conventional double-end sealed short arc flash lamp
FIG. 6 is a cross-sectional view of a defect of a conventional example
Fig. 7 is a cross-sectional view of a double-ended sealed type short arc flash lamp
8 is an exploded partial enlarged view of Fig. 7
9 is a cross-sectional view explaining defects in the improved structure of Fig. 7

도 1에 본 발명의 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프의 제1 실시예가 표시되어 있고, 봉지용 유리관(4)에 있어서의, 제2 봉지관(3)과의 용착 영역의 내주면에, 유리의 팽출 변형을 방지하는 금속 통상체(30)가 설치되어 있다. 이 금속 통상체(30)는, 고융점 금속재료로 이루어지고, 예를 들면 몰리브덴, 텅스텐, 탄탈 등이며, 특히 몰리브덴이 바람직하다.1 shows a first embodiment of a double-end sealed short arc flash lamp according to the present invention. In the sealing glass tube 4, on the inner peripheral surface of the welded region with the second sealing tube 3, A metal cylindrical body 30 for preventing deformation is provided. The metal body 30 is made of a refractory metal material such as molybdenum, tungsten, or tantalum, and molybdenum is particularly preferable.

이 금속 통상체(30)는, 파이프와 같이 원통 형상으로 성형된 것이나, 금속박 등을 말아 통 형상으로 한 것 중 어느 것이어도 된다. 이 중, 금속박을 이용하는 경우는, 적어도 1회 이상 말아 통 형상으로 하여, 그 반경 방향으로의 탄성 복원력에 의해 봉지용 유리관(4)의 내주면에 맞닿게 할 수 있다.The metal body 30 may be either a pipe-shaped pipe or a metal foil or the like. In the case of using a metal foil, the metal foil can be rolled at least one time to form a cylindrical shape, and can be brought into contact with the inner peripheral surface of the sealing glass tube 4 by the elastic restoring force in the radial direction.

주전극의 심선(8)과, 봉지용 유리관(4)의 내주면과의 거리는 대체로 2㎜ 정도이다. 금속 통상체(30)를 구성하는 금속박은 0.01~0.04㎜ 정도의 두께인 것, 예를 들면 0.015㎜의 몰리브덴박을 몇 회 정도 권회하여 봉지용 유리관(4)의 내주면에 당접함으로써, 봉지용 유리(4)의 연화에 따른 내주면의 변형, 및 주전극의 심선(8)과의 유착을 방지할 수 있다.The distance between the core wire 8 of the main electrode and the inner circumferential surface of the sealing glass tube 4 is approximately 2 mm. The metal foil constituting the metal cylindrical body 30 may be a metal foil having a thickness on the order of 0.01 to 0.04 mm, for example, molybdenum foil of 0.015 mm wound several times to contact the inner circumferential surface of the sealing glass tube 4, Deformation of the inner peripheral surface due to softening of the main electrode 4 and adhesion of the main electrode to the core wire 8 can be prevented.

이 금속 통상체(30)는, 봉지용 유리관(4)이 가열에 의해 연화하여 가장 변형하기 쉬운 부위에 설치하는 것이 좋다. 제2 봉지관(3)과 봉지용 유리관(4)의 용착시에 가장 가열되는 부위는, 봉지 구조를 담당하는 금속 봉지박(14, 17)의 주변이며, 따라서, 금속 통상체(30)는, 금속 봉지박(14, 17)보다 길게 하여, 금속 봉지박(14, 17)의 양단부보다 돌출하도록 배치되어 있는 것이 적합이다.It is preferable that the metal cylindrical body 30 is provided at a portion where the sealing glass tube 4 is softened by heating and most deformable. The portion to be heated most at the time of melting the second sealing tube 3 and the sealing glass tube 4 is the periphery of the metal sealing foils 14 and 17 serving as the sealing structure, 17 and the metal sealing foils 14, 17 so as to protrude from both end portions of the metal sealing foils 14, 17.

또, 이 금속 통상체(30)의 외주면은, 봉지용 유리관(4)의 내주면과 접촉하게 되기 때문에, 금속 통상체(30)와 봉지용 유리관(4)이 유착하는 것, 혹은 서로 스침으로써 봉지용 유리관(4)의 표면에 미소한 크랙이 생길 우려가 있다.Since the outer circumferential surface of the metal cylindrical body 30 comes into contact with the inner circumferential surface of the sealing glass tube 4, the metal cylindrical body 30 and the sealing glass tube 4 are brought into contact with each other, There is a possibility that a minute crack is generated on the surface of the glass tube 4 for use.

이것을 방지하기 위해, 금속 통상체(30)의 표면에는 로듐이 코팅되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 로듐의 성질에 대해서는, 일본국 특허공개소40-892호 공보에도 개시되어 있지만, 1750℃ 이상의 융점을 가지며 산화성이 약한 로듐은, 석영 유리와 화학 결합을 일으키지 않고, 석영 유리와 물리적으로 접촉한 채로 유지되기 때문이다.In order to prevent this, it is preferable that the surface of the metal body 30 is coated with rhodium. Although the properties of rhodium are disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 40-892, rhodium having a melting point of 1750 DEG C or more and having a weak oxidizing property does not chemically bond with quartz glass and is in physical contact with quartz glass It will remain.

도 2에 제2 실시예가 표시되어 있다. 봉지용 유리관(4)의 내주면에 설치된 금속 통상체(30)는, 소정 위치로부터 발광관(4)의 관축방향으로 이동할 우려가 있고, 예를 들면, 수송 중 등에, 금속 통상체(30)가 움직여 버리면, 당초, 최적인 위치에 배치한 것이, 그 위치가 어긋나 버려, 봉지용 유리관(4)의 유리의 내측으로의 팽출을 억제하는 효과가 약해져 버리는 일이 있다.The second embodiment is shown in Fig. The metal cylindrical body 30 provided on the inner circumferential surface of the sealing glass tube 4 may move from the predetermined position in the tube axis direction of the arc tube 4. For example, If the glass tube 4 is initially moved to the optimum position, the position thereof is shifted, and the effect of suppressing the bulging of the sealing glass tube 4 toward the inside of the glass may be weakened.

또, 극단적인 경우에는, 봉지용 유리관(4)으로부터 이탈하여 발광 공간 내에 침입해 버리는 일이 있고, 램프의 점등 자체가 곤란해지는 등의 문제가 있다.In an extreme case, there is a problem that the glass tube 4 may be detached from the sealing glass tube 4 and enter the light emitting space, and the lamp itself may become difficult to turn on.

이러한 현상을 방지하기 위해서, 이 실시예에서는, 봉지용 유리관(4) 내주면에 설치한 금속 통상체(30)의 양단부에 인접하는 위치에, 돌기부(31, 31)를 설치하고 있다.In order to prevent such a phenomenon, protrusions 31 and 31 are provided at positions adjacent to both ends of the metal cylindrical body 30 provided on the inner circumferential surface of the sealing glass tube 4 in this embodiment.

이 돌기부(31)는, 봉지용 유리관(4)을 가열하고, 그 내주면의 일부를 내측으로 돌출시킴으로써 형성할 수 있다. The projecting portion 31 can be formed by heating the sealing glass tube 4 and projecting a part of the inner peripheral surface thereof inward.

이로 인해, 금속 통상체(30)는, 발광관의 관축방향에서의 이동이 방지되어, 적정 위치에 유지된다.As a result, the metal cylindrical member 30 is prevented from moving in the tube axis direction of the arc tube, and is held at the proper position.

이 돌기부(31)는, 적어도 금속 통상체(30)의 발광 공간측에 설치할 필요가 있고, 더 바람직하게는, 금속 통상체(30)의 양측에 설치하는 것이 좋다.It is preferable that the protruding portions 31 should be provided at least on the side of the light emitting space of the metal cylindrical body 30, more preferably on both sides of the metal cylindrical body 30.

이 실시예의 구조에서는, 먼저, 봉지용 유리관(4)의 용착 영역에 상당하는 내주면에 금속 통상체(30)를 설치하고, 그 금속 통상체(30)의 양단부 근방을 가열하여 유리를 연화시키고, 내주면의 일부에 돌기부(31, 31)를 형성한다.In the structure of this embodiment, first, the metal cylindrical body 30 is provided on the inner circumferential surface corresponding to the welding region of the sealing glass tube 4, and the vicinity of both ends of the metal cylindrical body 30 is heated to soften the glass, The protrusions 31 and 31 are formed on a part of the inner circumferential surface.

이렇게 하여 내주면에 금속 통상체(30)가 설치되고, 그 양단부에 근접하여 돌기부(31, 31)가 형성된 봉지용 유리관(4)을 제2 봉지관(3) 내에 삽입하여 가열 용착하는 것이다.The sealing glass tube 4 in which the metal cylindrical body 30 is provided on the inner circumferential surface and the protruding portions 31 and 31 are formed in the vicinity of both ends thereof is inserted into the second sealing tube 3 and heated and welded.

도 3에 제3 실시예가 표시되어 있고, 이 실시예에서는, 도 7, 8에 표시된 종래예의 개량 구조에 따른 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프가 표시되어 있고, 상기 단락 0007, 0008에서 설명한 바와 같이, 봉지용 유리관(4)의 선단측, 즉, 제2 봉지관(3)과의 용착 영역의 외주에 일차 봉지용 유리 부재(20)가 융착되어 있다. 이 구조에 있어서도, 상기 봉지용 유리관(4)의 내주면에 금속 통상체(30)가 설치되어 있다. 그리고, 이 실시예에 있어서의 금속 통상체(30)도, 도 1의 제1 실시예와 마찬가지로, 금속 봉지박(14, 17)보다 길게 하여, 또한, 금속 봉지박(14, 17)의 양단부보다 돌출하도록 배치되어 있다.The third embodiment is shown in Fig. 3. In this embodiment, both end sealed short arc flash lamps according to the improved structure of the conventional example shown in Figs. 7 and 8 are displayed. As described in paragraphs 0007 and 0008, The primary sealing glass member 20 is fused to the outer periphery of the front end side of the sealing glass tube 4, that is, the welded region with the second sealing tube 3. Also in this structure, the metal cylindrical body 30 is provided on the inner circumferential surface of the sealing glass tube 4. Like the first embodiment shown in Fig. 1, the metal cylindrical body 30 in this embodiment is made longer than the metal encapsulation foils 14 and 17, and both ends of the metal encapsulation foils 14 and 17 As shown in Fig.

이 구조에 의해, 일차 봉지용 유리 부재(20)와 봉지용 유리관(4)의 용착시에, 봉지용 유리관(4) 내면에서, 연화한 유리가 내부로 팽출하는 것을 억제하고 있다. 또한, 일차 봉지용 유리 부재(20)와 제2 봉지관(3)의 용착시에 있어서도, 같은 팽출 억제 효과를 기대할 수 있다.This structure prevents the softened glass from expanding inside from the inner surface of the sealing glass tube 4 at the time of melting the primary sealing glass member 20 and the sealing glass tube 4. In addition, even at the time of melting the primary sealing glass member 20 and the second sealing tube 3, the same bulge suppressing effect can be expected.

도 4의 제4 실시예에서는, 도 2의 제2 실시예와 마찬가지로, 금속 통상체(30)의 양단부에 근접하는 위치에, 이동 방지용의 돌기부(31, 31)가 형성되어 있다.In the fourth embodiment shown in Fig. 4, similarly to the second embodiment shown in Fig. 2, protrusions 31, 31 for preventing movement are formed at positions close to both ends of the metal cylindrical body 30. [

이 실시예에 있어서도, 우선, 봉지용 유리관(4)의 용착 영역에 상당하는 내주면에 금속 통상체(30)를 설치하고, 그 금속 통상체(30)의 양단부 근방을 가열하여 유리를 연화시키고, 내주면의 일부에 돌기부(31, 31)를 형성한다.Also in this embodiment, first, the metal cylindrical body 30 is provided on the inner peripheral surface corresponding to the welding region of the sealing glass tube 4, and the vicinity of both ends of the metal cylindrical body 30 is heated to soften the glass, The protrusions 31 and 31 are formed on a part of the inner circumferential surface.

이렇게 하여 내주면에 금속 통상체(30)가 설치되고, 그 양단부에 근접하여 돌기부(31, 31)가 형성된 봉지용 유리관(4)에 일차 봉지용 유리 부재(20)를 끼워, 이들을 외주로부터 가열하여 용착시킨다. In this way, the metal sealing body 30 is provided on the inner circumferential surface and the glass sealing glass 20 is sandwiched between the sealing glass tube 4 in which the protruding portions 31 and 31 are formed in proximity to both ends thereof, Respectively.

이때, 금속 통상체(30)에 의해, 일차 봉지용 유리 부재(20)가 연화해도 내부로 팽출 변형하는 것이 억제된다.At this time, even if the primary sealing glass member 20 is softened by the metal cylindrical member 30, it is prevented that the primary sealing glass member 20 is deformed by bulging.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에서는, 봉지용 유리관에 있어서의, 제2 봉지관과의 용착 영역의 내주면에, 유리의 변형을 방지하는 금속 통상체가 설치되어 있으므로, 제2 봉지관과 봉지용 유리관의 용착시에, 봉지용 유리관이 가열에 의해 연화해도, 내부로 팽출 변형하는 것이 억제되어, 봉지용 유리관을 관통하는 주전극의 심선과 접촉하는 등의 사태를 방지할 수 있다. As described above, in the double-end sealed short arc flash lamp according to the present invention, since the metal cylindrical body for preventing deformation of the glass is provided on the inner circumferential surface of the fusion region with the second sealing tube in the sealing glass tube, Even when the sealing glass tube is softened by heating at the time of melting the second sealing tube and the sealing glass tube, the sealing glass tube is suppressed from being deformed inward to prevent it from coming into contact with the core wire of the main electrode passing through the sealing glass tube can do.

그리고, 상기 금속 통상체의 단부에 근접하여 돌기부를 형성함으로써, 상기 금속 통상체가 봉지용 유리관 내에서 축방향으로 이동하는 것이 억제되어 적정 위치에 유지된다.By forming the projecting portion close to the end portion of the metal cylindrical body, the metal cylindrical body is restrained from moving in the axial direction in the sealing glass tube and is held at the proper position.

1:발광관 2:제1 봉지관
3:제2 봉지관 4:봉지용 유리관
5:제1 주전극 6:제2 주전극
7:제1 주전극의 심선 8:제2 주전극의 심선
10:제1 시동 보조 전극 11:제2 시동 보조 전극
12:제1 시동 보조 전극의 내부 리드
13:제1 시동 보조 전극의 외부 리드
14:금속 봉지박 15:제2 시동 보조 전극의 내부 리드
16:제2 시동 보조 전극의 외부 리드
17:금속 봉지박 20:일차 봉지용 유리 부재
30:(변형 방지용) 금속 통상체 31:(이동 규제) 돌기부1: luminous tube 2: first sealing tube
3: Second sealing pipe 4: Glass sealing pipe
5: first main electrode 6: second main electrode
7: core wire of the first main electrode 8: core wire of the second main electrode
10: first starting auxiliary electrode 11: second starting auxiliary electrode
12: inner lead of the first starter electrode
13: outer lead of the first starter electrode
14: metal sealing foil 15: inner lead of the second starting auxiliary electrode
16: the outer lead of the second starting auxiliary electrode
17: metal sealing foil 20: primary sealing glass member
30: (for preventing deformation) Metal normal body 31: (Restriction of movement)

Claims (6)

유리제의 발광관의 내부에 한 쌍의 주전극과, 시동 보조 전극을 가지며, 상기 발광관의 양단에 제1 봉지관과 제2 봉지관을 구비하고,
상기 제1 봉지관에는, 제1 주전극의 심선이 봉지되어 발광관 밖으로 도출되고,
상기 제2 봉지관에는, 상기 제2 봉지관의 내부에 삽입된 봉지용 유리관이 용착되고, 상기 봉지용 유리관에는, 제2 주전극의 심선이 봉지되어 발광관 밖으로 도출되어 이루어지고,
상기 제2 봉지관과 상기 봉지용 유리관의 사이에서, 상기 시동 보조 전극의 내부 리드와 외부 리드, 및 이들을 전기적으로 접속하는 금속 봉지박이 봉지되어 이루어지는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프에 있어서,
상기 봉지용 유리관에 있어서의, 상기 제2 봉지관과의 용착 영역의 내주면에, 유리의 변형을 방지하는 금속 통상체가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프.A pair of main electrodes and a starting auxiliary electrode inside the glass arc tube and having a first sealing tube and a second sealing tube at both ends of the arc tube,
The core of the first main electrode is sealed in the first sealing tube and led out of the arc tube,
Wherein a sealing glass tube inserted into the second sealing tube is welded to the second sealing tube and a core wire of the second main electrode is sealed to the sealing glass tube and led out of the light emitting tube,
Arc sealed flash arc lamp in which an inner lead and an outer lead of the starting auxiliary electrode and a metal sealing foil electrically connecting them are sealed between the second sealing tube and the sealing glass tube,
Wherein the metal sealing body is provided on the inner circumferential surface of the sealing region of the sealing glass tube with the second sealing tube so as to prevent deformation of the glass. 청구항 1에 있어서,
상기 금속 통상체는, 고융점 금속으로 이루어지는 권회한 금속박인 것을 특징으로 하는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프.The method according to claim 1,
Wherein the metal cylindrical body is a rolled metal foil made of a refractory metal. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 금속 통상체는, 상기 제2 봉지관과 상기 봉지용 유리관의 사이에 설치된 상기 금속 봉지박의 길이보다 길고, 상기 금속 봉지박의 양단부보다 돌출하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프.The method according to claim 1 or 2,
Characterized in that the metal cylindrical body is longer than the length of the metal encapsulation foil provided between the second encapsulation tube and the sealing glass tube and is arranged so as to protrude from both ends of the metal encapsulation foil, Flash lamp. 청구항 2에 있어서,
상기 금속 통상체를 구성하는 상기 금속박은, 상기 봉지용 유리관의 내주면과 접하는 표면에 로듐이 도금되어 있는 것을 특징으로 하는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프.The method of claim 2,
Wherein the metal foil constituting the metal cylindrical body is plated with rhodium on the surface of the metal foil which is in contact with the inner circumferential surface of the sealing glass tube. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 봉지용 유리관의 내면에는, 상기 금속 통상체의 단부에 인접하여, 상기 금속 통상체가 상기 발광관의 축방향으로 이동하는 것을 규제하는 돌기부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프.The method according to claim 1 or 2,
And a protruding portion is formed on the inner surface of the sealing glass tube so as to adjoin the end portion of the metal cylindrical body and restrict the movement of the metal cylindrical body in the axial direction of the arc tube. . 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 봉지용 유리관에 있어서의 상기 제2 봉지관과의 용착 영역의 외주면에는, 상기 내부 리드, 외부 리드 및 금속 봉지박을 피복하도록 일차 봉지용 유리 부재가 용착되어 있고, 상기 제2 봉지관과 상기 일차 봉지용 유리 부재가 용착되어 있는 것을 특징으로 하는 양단 봉지형 쇼트 아크 플래시 램프.The method according to claim 1 or 2,
A first sealing glass member is welded to the outer circumferential surface of the welding region of the sealing glass tube with the second sealing tube so as to cover the inner lead, the outer lead and the metal sealing foil, Wherein the first sealing glass member is welded to the first sealing glass member.
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