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KR20160128649A - Flexible Substrate, Flexible Display Device Using the Same and Method for Manufacturing the Same - Google Patents

Flexible Substrate, Flexible Display Device Using the Same and Method for Manufacturing the Same Download PDF

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KR20160128649A
KR20160128649A KR1020150060350A KR20150060350A KR20160128649A KR 20160128649 A KR20160128649 A KR 20160128649A KR 1020150060350 A KR1020150060350 A KR 1020150060350A KR 20150060350 A KR20150060350 A KR 20150060350A KR 20160128649 A KR20160128649 A KR 20160128649A
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stainless steel
film
plastic film
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a flexible substrate, a flexible display device using the same, and a method for manufacturing the same for improving the characteristic of a barrier, heat resistant properties, and chemical and mechanical stability so as to be suitable for a roll-to-roll process. The flexible display device of the present invention includes: a first plastic film; a first flexible substrate having first and second stainless steel films which are attached to both sides of the first plastic film; a buffer layer which is disposed on the first flexible substrate; a thin film transistor array which is disposed on the buffer layer; an organic light emitting array which is connected to the thin film transistor array; and an encapsulation unit which covers the organic light emitting array and is in contact with the buffer layer.

Description

플렉서블 기판, 이를 이용한 플렉서블 표시 장치 및 이의 제조 방법 {Flexible Substrate, Flexible Display Device Using the Same and Method for Manufacturing the Same}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to a flexible substrate, a flexible display device using the flexible substrate, and a method of manufacturing the flexible substrate.

본 발명은 플렉서블 기판에 관한 것으로, 특히, 배리어 특성 및 내열성, 화학적 및 기계적 안정성을 향상시켜 롤투롤 공정에 적합하게 한 플렉서블 기판, 이를 이용한 플렉서블 표시 장치 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flexible substrate, and more particularly, to a flexible substrate suitable for a roll-to-roll process by improving barrier properties, heat resistance, chemical and mechanical stability, a flexible display using the same, and a manufacturing method thereof.

평판 표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 유기 발광 표시 장치(Organic Emitting Display Device), 플라즈마 표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 양자점 표시 장치(Quantum Dot Display Device), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기영동 표시장치(Electrophoretic Display Device : EPD) 등을 들 수 있는데, 이들은 공통적으로 화상을 구현하는 평판 표시패널을 필수적인 구성요소로 하는 바, 평판 표시패널은 고유의 발광 또는 편광 혹은 그 밖의 광학 물질층을 사이에 두고 한 쌍의 투명 절연기판을 대면 합착시킨 구성을 갖는다.Specific examples of the flat panel display include a liquid crystal display (LCD) device, an organic light emitting display device, a plasma display panel (PDP) device, a quantum dot display device ), A field emission display device (FED), and an electrophoretic display device (EPD). The flat display panel, which realizes images in common, is an essential component, The flat panel display panel has a structure in which a pair of transparent insulation substrates are bonded together with inherent light emission, polarization, or other optical material layers interposed therebetween.

최근 표시장치의 대형화에 따라 공간 점유가 적은 평면표시소자로서의 요구가 증대되고 있는데, 이러한 평면표시소자 중 하나로서 유기 발광 표시 장치에 관한 기술이 빠른 속도로 발전하고 있다.BACKGROUND ART [0002] Recently, as a display device has become larger, a demand for a flat display device with a smaller space occupation is increasing. Techniques for an organic light emitting display device as one of such flat display devices are rapidly developing.

유기 발광 표시 장치는 별도의 광원을 요구치 않고, 내부에 픽셀 단위로 자발광의 유기 발광 다이오드를 포함하여 표시가 이루어지는 것으로, 광원 및 이를 표시 패널과 조립하기 위한 구조물이 생략되는 이점이 있어 박형 경량화의 이점이 커 차세대 표시 장치로 고려되고 있다.The organic light emitting display device does not require a separate light source and includes a self-luminous organic light emitting diode in a pixel unit, and the light source and the structure for assembling the light source with the display panel are omitted, Which is considered as a next generation display device.

상기 유기 발광 다이오드는 전자 주입 전극(음극) 과 정공 주입 전극(양극) 사이에 형성된 유기막에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자이다.The organic light emitting diode is a device that injects an electric charge into an organic film formed between an electron injection electrode (cathode) and a hole injection electrode (anode) to form an electron and a hole.

한편, 상술한 유기 발광 표시 장치를 포함한 표시 장치는 최근 플렉서블한 형태로 이용하고자 하는 요구가 있다. 이에 따라, 표시 장치 기능을 갖는 백플레인 기판을 글래스 기판에서 가요성이 있는 기판, 즉 플렉서블 기판으로 대체하여 이용하고 있다.On the other hand, a display device including the above-described organic light emitting display device has recently been required to be used in a flexible form. Accordingly, the backplane substrate having the display device function is replaced with a flexible substrate in the glass substrate, that is, a flexible substrate.

그리고, 플렉서블 기판으로는 주로 폴리이미드와 같은 절연성이며, 내열성이 있는 플라스틱 필름이 선호되고 있다.As the flexible substrate, an insulating plastic film having heat resistance such as polyimide is preferred.

그러나, 플라스틱 필름을 기판으로 이용할 경우, 여러번의 롤투롤(roll-to-roll) 공정에서 기판 변형의 문제가 발생하며, 플라스틱 필름 기판의 반송 중 연신률에 대한 제약이 크고, 수분 투과 정도가 커서 특히 유기 발광 표시 장치와 같이, 내습성이 요구되는 표시 장치에 이용이 불가능하다.However, when a plastic film is used as a substrate, there arises a problem of substrate deformation in a number of roll-to-roll processes, and there is a large restriction on the elongation rate of the plastic film substrate during transportation, It can not be used for a display device requiring moisture resistance, such as an organic light emitting display.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로, 배리어 특성 및 내열성, 화학적 및 기계적 안정성을 향상시켜 롤투롤(roll-to-roll) 공정에 적합하게 한 플렉서블 기판, 이를 이용한 플렉서블 표시 장치 및 이의 제조 방법을 제공하는데, 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a flexible substrate suitable for a roll-to-roll process by improving barrier properties, heat resistance, chemical and mechanical stability, And a method for producing the same.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플렉서블 기판은, 플라스틱 필름 및 상기 플라스틱 필름 양면에 접한 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막을 포함하여 이루어진다.To achieve the above object, the flexible substrate of the present invention comprises a plastic film and first and second stainless steel films on both sides of the plastic film.

여기서, 상기 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막의 두께는 각각 1㎛ 내지 5㎛로 상기 플라스틱 필름의 표면 상에 얇은 두께로 제 1, 제 2 스테인레스 스틸막을 코팅한다.Here, the thickness of the first and second stainless steel films is 1 占 퐉 to 5 占 퐉, respectively, and the first and second stainless steel films are coated with a thin thickness on the surface of the plastic film.

상기 플라스틱 필름은 폴리에스테르(polyester) 또는 폴리 에스테르를 포함하는 공중합체, 폴리이미드(polyimide) 또는 폴리 이미드를 포함하는 공중합체, 올레핀계 공중합체, 폴리아크릴산(polyacrylic acid) 또는 폴리아크릴산을 포함하는 공중합체, 폴리스티렌(polystyrene) 또는 폴리스테린을 포함하는 공중합체, 폴리설페이트(polysulfate) 또는 폴리설페이트를 포함하는 공중합체, 폴리카보네이트(polycarbonate) 또는 폴리 카보네이트를 포함하는 공중합체, 폴리아믹산(polyamic acid) 또는 폴리아믹산을 포함하는 공중합체, 폴리아민(polyamine) 및 폴리아믹산을 포함하는 공중합체, 폴리비닐 알콜(polyvinylalcohol), 폴리 알릴아민(polyallyamine)으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 고분자 화합물을 포함하는 것으로, 이 때, 상기 플라스틱 필름의 두께는 5㎛ 내지 150㎛인 것이 바람직하다.Wherein the plastic film comprises a copolymer comprising a polyester or a polyester, a copolymer comprising a polyimide or a polyimide, an olefinic copolymer, a polyacrylic acid or a polyacrylic acid, Copolymers comprising polystyrene, polystyrene, copolymers comprising polystyrene, copolymers comprising polysulfate or polysulfate, copolymers comprising polycarbonate or polycarbonate, polyamic acid, Or a copolymer including polyamic acid, a copolymer including polyamine and polyamic acid, a polyvinyl alcohol, and a polyallyamine. At this time, the plastic film has a thickness of 5 to 150 mu m desirable.

한편, 상기 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막의 투습도(Water Vapor Transmission Rate)는 10-6 g/m2 ˙day 이하인 것으로, 플라스틱 필름 대비 내투습성이 좋은 것으로, 전체 플렉서블 기판의 투습도를 낮추는 기능을 한다.On the other hand, the water vapor transmission rate of the first and second stainless steel membranes is 10 -6 g / m 2 ˙day or less, which is good in moisture permeability compared to a plastic film, and functions to lower the moisture permeability of the entire flexible substrate .

경우에 따라, 상기 제 1 스테인레스 스틸막 상에 버퍼층을 더 포함할 수도 있다. 그리고, 상기 버퍼층은 산화절연막 또는 질화절연막을 적어도 한 층 포함할 수 있다.Optionally, a buffer layer may be further included on the first stainless steel film. The buffer layer may include at least one oxide insulating film or a nitride insulating film.

또한, 동일한 목적을 위한 본 발명의 플렉서블 표시 장치는, 제 1 플라스틱 필름과, 상기 제 1 플라스틱 필름 양면에 접한 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막을 포함한 제 1 플렉서블 기판과, 상기 제 1 플렉서블 기판 상에 버퍼층과, 상기 버퍼층 상에 박막 트랜지스터 어레이와, 상기 박막 트랜지스터 어레이와 접속된 유기 발광 어레이 및 상기 유기 발광 어레이를 덮으며, 상기 버퍼층과 접한 봉지 수단을 포함한다.The flexible display device of the present invention for the same purpose comprises: a first flexible substrate including a first plastic film, first and second stainless steel films abutting both surfaces of the first plastic film, and a second flexible film formed on the first flexible substrate And a sealing means covering the organic light emitting array and the organic light emitting array connected to the thin film transistor array and contacting the buffer layer.

여기서, 상기 봉지 수단은, 상기 유기 발광 어레이를 덮으며, 상기 버퍼층과 접한 접착층 및 상기 접착층과 전면 접한 제 2 플렉서블 기판을 포함할 수 있다.Here, the sealing means may include an adhesive layer covering the organic light emitting array and the buffer layer, and a second flexible substrate contacting the front surface of the adhesive layer.

상기 제 1 플렉서블 기판의 투습도(Water Vapor Transmission Rate)는 10-1 g/m2 ˙day 내지 10-3 g/m2 ˙day 일 수 있다. 그리고, 상기 제 1 플렉서블 기판의 두께는 7 ㎛ 내지 152㎛인 것이 바람직하며, 상기 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막의 두께는 각각 1㎛ 내지 5㎛일 수 있다. The water vapor transmission rate of the first flexible substrate may be 10 -1 g / m 2 ˙day to 10 -3 g / m 2 ˙day. The thickness of the first flexible substrate is preferably in the range of 7 탆 to 152 탆, and the thickness of the first and second stainless steel films may be in the range of 1 탆 to 5 탆.

여기서, 상기 제 2 플렉서블 기판은 상기 접착층과 대향면에 터치 전극 어레이를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 봉지 수단은 투명하다.Here, the second flexible substrate may further include a touch electrode array on a surface opposite to the adhesive layer. In this case, the sealing means is transparent.

또한, 플렉서블 표시 장치의 제조 방법은, 제 1 플라스틱 필름의 양 표면에 제 1, 제 2 스테인레스 스틸막을 코팅한 제 1 플렉서블 기판을 준비하는 단계와, 상기 제 1 스테인레스 스틸막 상에 버퍼층을 형성하는 단계와, 상기 버퍼층 상에 박막 트랜지스터 어레이 및 유기 발광 어레이를 형성하는 단계 및 접착층을 개재하여, 박막 트랜지스터 어레이 및 유기 발광 어레이를 갖는 상기 버퍼층과 제 2 플렉서블 기판을 접착하는 단계를 포함할 수 있다.A method of manufacturing a flexible display device includes the steps of preparing a first flexible substrate on which first and second stainless steel films are coated on both surfaces of a first plastic film and a first flexible substrate on which a buffer layer is formed on the first stainless steel film Forming a thin film transistor array and an organic light emitting array on the buffer layer, and bonding the buffer layer having the thin film transistor array and the organic light emitting array to the second flexible substrate via an adhesive layer.

본 발명의 플렉서블 기판, 이를 이용한 플렉서블 표시 장치 및 이의 제조 방법은 다음과 같은 효과가 있다.The flexible substrate of the present invention, the flexible display device using the flexible substrate, and the manufacturing method thereof have the following effects.

첫째, 플렉서블 표시 장치에서 기판으로 이용하는 플라스틱 필름의 경우, 롤투롤로 공정이 이루어지는데, 이 때, 하중에 따라 플라스틱 필름의 연신 변화가 크기 때문에, 반송시 처짐이나 플라스틱 필름의 주름과 같은 기판 변형이 크다. 그런데, 플라스틱 필름의 양면에 스테인레스 스틸(stainless steel)막과 같이 강성이 있는 금속막을 코팅시 전체 플렉서블 기판의 변형을 방지할 수 있다. 따라서, 이용하는 플렉서블 기판의 기계적 안정성을 확보할 수 있다.First, in the case of a plastic film used as a substrate in a flexible display device, a roll process is performed. At this time, since the stretching change of the plastic film is large according to the load, deformation of the substrate such as sagging during conveyance or wrinkling of the plastic film is large . However, when a metal film having a rigidity such as a stainless steel film is coated on both sides of a plastic film, deformation of the entire flexible substrate can be prevented. Therefore, the mechanical stability of the flexible substrate to be used can be secured.

둘째, 플라스틱 필름의 양면을 스테인레스 스틸막으로 코팅하여, 단독의 플라스틱 필름 대비 내투습도를 100배 이상 늘릴 수 있으며, 스테인레스 스틸막이 갖는 내화학성 및 낮은 열팽창률에 의한 표시 장치의 안정성 및 신뢰성을 확보할 수 있다.Second, by coating both sides of a plastic film with a stainless steel film, it is possible to increase the moisture permeability more than 100 times compared to a single plastic film and to secure the stability and reliability of the display device due to the chemical resistance and low thermal expansion coefficient of the stainless steel film .

셋째, 코팅하는 스테인레스 스틸막의 두께는 5㎛ 이하로 하여, 플렉서블 기판의 두께를 크게 늘리지 않아도 강성을 유지할 수 있어, 장치의 슬림니스(slimness)와 강성 확보가 동시 구현 가능하다.Third, since the thickness of the coated stainless steel film is 5 占 퐉 or less, rigidity can be maintained even if the thickness of the flexible substrate is not greatly increased, and the slimness and rigidity of the device can be secured simultaneously.

넷째, 유기 발광 표시 장치의 백플레인 기판으로 이용시 스테인레스 스틸막을 적용시 플렉서블 기판 상에 추가적으로 요구되는 버퍼층의 수를 줄이거나 생략하여도 스테인레스 스틸막에 유사한 수준의 내투습도를 가져, 장치의 슬림화 및 공정을 단순화할 수 있다.Fourth, when a stainless steel film is used as a backplane substrate of an organic light emitting display device, even if the number of buffer layers required on a flexible substrate is reduced or omitted, a moisture permeability similar to that of a stainless steel film is obtained. Can be simplified.

도 1은 본 발명의 플렉서블 기판을 나타낸 단면도
도 2는 본 발명의 플렉서블 기판의 다른 예를 나타낸 단면도
도 3은 본 발명의 플렉서블 표시 장치를 나타낸 단면도
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 플렉서블 기판의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도
도 5는 본 발명의 플렉서블 기판의 제조 방법의 다른 예를 나타낸 공정 단면도
도 6은 플라스틱 필름의 두께 및 스테인레스 스틸막 적용을 달리한 플렉서블 기판의 롤투롤 반송 장력에 따른 연신률을 나타낸 그래프
도 7a 내지 도 7e는 본 발명의 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도
1 is a cross-sectional view showing a flexible substrate of the present invention
2 is a cross-sectional view showing another example of the flexible substrate of the present invention
3 is a cross-sectional view showing a flexible display device of the present invention
Figs. 4A and 4B are cross-sectional views showing a process for producing a flexible substrate according to the present invention
5 is a process sectional view showing another example of the method for producing a flexible substrate of the present invention
Fig. 6 is a graph showing the elongation of the flexible substrate in accordance with the thickness of the plastic film and the roll-to-roll conveying tension of the flexible substrate different from the application of the stainless steel film
7A to 7E are cross-sectional views showing the steps of a method of manufacturing the flexible display device of the present invention

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 플렉서블 기판, 플렉서블 표시 장치 및 이의 제조 방법에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a flexible substrate, a flexible display, and a method of manufacturing the flexible substrate of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 플렉서블 기판을 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a flexible substrate of the present invention.

도 1과 같이, 본 발명의 플렉서블 기판(1000)은, 플라스틱 필름(100) 및 상기 플라스틱 필름(100) 양면에 접한 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막(110, 120)을 포함하여 이루어진다.1, the flexible substrate 1000 of the present invention includes a plastic film 100 and first and second stainless steel films 110 and 120 which are in contact with both surfaces of the plastic film 100.

여기서, 상기 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막(110, 120)의 두께는 각각 1㎛ 내지 5㎛로 상기 플라스틱 필름(100)의 두께 대비 10배 이상 얇게 박면으로 상기 제 1, 제 2 스테인레스 스틸막(110, 120) 상에 코팅하는 것이다. 코팅하는 방식은, 슬릿 코팅(slit coating), 스프레이 코팅(spray coating) 혹은 도금(plating), 디핑(dipping) 등의 방식을 이용할 수 있다. 또한, 코팅 후 어닐링(annealing)을 더 적용하여, 표면 균일도를 확보할 수 있다.The thickness of the first and second stainless steel films 110 and 120 is 1 μm to 5 μm and is thinner than the thickness of the plastic film 100 by at least 10 times the thickness of the first and second stainless steel films 110 and 120, (110, 120). The coating method may be slit coating, spray coating, plating, dipping, or the like. In addition, annealing after coating is further applied to ensure surface uniformity.

상술한 코팅 방식 중 슬릿 코팅(slit coating)이나 스프레이 코팅(spray coating)의 경우는 플라스틱 필름(100)의 한 면에 스테인레스 스틸막을 코팅 후 어닐링하여 표면을 평탄화하고, 플라스틱 필름(100)을 반전시켜 다른 면에 스테인레스 스틸막에 코팅 후 어닐링하여 표면을 평탄화한다.In the case of slit coating or spray coating in the above coating method, the stainless steel film is coated on one side of the plastic film 100, and then the surface is flattened, and the plastic film 100 is inverted The other surface is coated with a stainless steel film and then the surface is planarized by annealing.

도금 또는 디핑의 방식을 이용할 경우, 플라스틱 필름(100)의 양면에 동시 코팅이 가능하다.When the plating or dipping method is used, simultaneous coating on both sides of the plastic film 100 is possible.

상기 플라스틱 필름(100)은 폴리에테르 또는 폴리 에테르를 포함하는 공중합체, 폴리에스테르(polyester) 또는 폴리 에스테르를 포함하는 공중합체, 폴리이미드(polyimide) 또는 폴리 이미드를 포함하는 공중합체, 올레핀계 공중합체, 폴리아크릴산(polyacrylic acid) 또는 폴리아크릴산을 포함하는 공중합체, 폴리스티렌(polystyrene) 또는 폴리스테린을 포함하는 공중합체, 폴리 카보네이트 또는 폴리 카보네이트를 포함하는 공중합체, 폴리설페이트(polysulfate) 또는 폴리설페이트를 포함하는 공중합체, 폴리카보네이트(polycarbonate) 또는 폴리 카보네이트를 포함하는 공중합체, 폴리아믹산(polyamic acid) 또는 폴리아믹산을 포함하는 공중합체, 폴리아민(polyamine) 및 폴리아믹산을 포함하는 공중합체, 폴리비닐 알콜(polyvinylalcohol), 폴리 알릴아민(polyallylamine)으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 고분자 화합물을 포함한다.The plastic film 100 may be a copolymer comprising a polyether or polyether, a copolymer comprising a polyester or a polyester, a copolymer comprising a polyimide or a polyimide, A copolymer comprising polyacrylic acid or polyacrylic acid, a copolymer comprising polystyrene or polystyrene, a copolymer comprising polycarbonate or polycarbonate, a polysulfate or polysulfate, A copolymer comprising a polycarbonate or polycarbonate, a copolymer comprising a polyamic acid or a polyamic acid, a copolymer comprising a polyamine and a polyamic acid, a copolymer comprising a polyvinyl alcohol (polyvinylalcohol), and polyallylamine Is selected document comprises at least one polymer compound.

예를 들어, 주로 플라스틱 필름(100)으로 이용되는 필름으로 PET(Polyethylene), PEN(Polyethylene naphthalate), PMMA(poly (methyl methacrylate)), PES(poly esther sulfone), PC(Poly carbonate), COP(cyclo olefin polymer), PI(polyimide), COC(cyclic olefin copolymer), PAR(Poly acrylate) 등이 있다.For example, a film mainly used as the plastic film 100 is a film made of PET, polyethylene naphthalate (PEN), poly (methyl methacrylate), polyesters (PES), polycarbonate (PC) cyclo olefin polymer, PI (polyimide), COC (cyclic olefin copolymer) and PAR (poly acrylate).

그리고, 가요성 및 슬림니스를 유지하기 위해, 이용되는 상기 플라스틱 필름(100)의 두께는 5㎛ 내지 150㎛인 것이 바람직하다.In order to maintain the flexibility and the slimness, the thickness of the plastic film 100 used is preferably 5 占 퐉 to 150 占 퐉.

본 발명의 플렉서블 기판이 제 1, 제 2 스테인레스 스틸막(110, 120)을 구비한 이유는 다음과 같다.The reason why the flexible substrate of the present invention is provided with the first and second stainless steel films 110 and 120 is as follows.

상술한 재료의 플라스틱 필름(100)은, 가요성을 만족하기 위해 구비되지만, 내열성, 기계적 안정성, 전기 광학적 특성, 내화학성 등이 유리기판에서 요구되는 정도를 만족하지 못한다. 특히, 박막 트랜지스터 어레이와 같은 어레이 공정에서 고열 공정이 요구되고, 플라스틱 필름(100)은 필름 상으로 롤투롤 공정을 반복하는데, 이 과정에서, 기판의 변형이 발생하는 문제가 있으며, 일단 기판의 변형이 발생한 후에는 원 상태로의 복구는 불가한 실정이다. 특히, 플라스틱 필름(100) 상에 패터닝이 요구되는 층이 복수층 구비됨을 감안할 때, 기판 변형이 발생된 후에는, 그 전후의 층간 정렬도 맞지 않아 장치로서 수율이 떨어지는 문제점도 발생한다.The plastic film 100 of the above-described material is provided for satisfying the flexibility, but the heat resistance, the mechanical stability, the electro-optical characteristic, the chemical resistance, and the like do not satisfy the degree required for the glass substrate. Particularly, a high-temperature process is required in an array process such as a thin film transistor array, and the plastic film 100 repeats a roll-to-roll process in a film form. In this process, the substrate is deformed. The recovery to the original state is not possible. Particularly, considering that a plurality of layers are required to be patterned on the plastic film 100, after the substrate is deformed, the interlayer alignment before and after the formation of the substrate does not match.

따라서, 베어 필름(bare film)으로서 플라스틱 필름(100)을 이용하고, 그 양 표면에 스테인레스 스틸막(110, 120)과 같은, 기계적 강성과 내열성, 내투습성, 내화학성을 갖는 금속막을 형성하여, 플렉서블 기판의 안정성을 확보한 것이다.Therefore, a metal film having mechanical rigidity, heat resistance, moisture resistance and chemical resistance, such as stainless steel films 110 and 120, is formed on both surfaces of the plastic film 100 as a bare film, The stability of the flexible substrate is ensured.

상기 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막(110, 120)을 적용시 제 1, 제 2 스테인레스 스틸막(110, 120)의 투습도(Water Vapor Transmission Rate)는 10-6 g/m2 ˙day 이하인 것으로, 약 1~10 g/m2 ˙day 이상의 투습도를 갖는 플라스틱 필름 대비 내투습성이 좋은 것으로, 전체 플렉서블 기판(1000)의 투습도를 1/100 이하의 수준으로 낮추는 기능을 한다. 상기 제 1, 제 2 스테인레스 스틸막(110, 120) 적용 후 전체 플렉서블 기판(1000)의 투습도는 10-1 g/m2 ˙day 내지 10-3 g/m2 ˙day 의 수준으로 낮춰진다. 따라서, 배리어 특성이 우수하며, 상기 플렉서블 기판(1000)을 유기 발광 표시 패널의 백플레인 기판으로 적용시 필수적으로 요구되는 내투습성을 위해 구비되는 버퍼층의 층 수를 줄이거나 생략할 수 있다.When the first and second stainless steel films 110 and 120 are applied, the water vapor transmission rate of the first and second stainless steel films 110 and 120 is 10 -6 g / m 2 ˙day or less , The moisture permeability is better than that of a plastic film having a moisture permeability of about 1 to 10 g / m 2 ˙day or more, and functions to lower the moisture permeability of the entire flexible substrate 1000 to a level of less than 1/100. The moisture permeability of the entire flexible substrate 1000 after the application of the first and second stainless steel films 110 and 120 is lowered to a level of 10 -1 g / m 2 ˙day to 10 -3 g / m 2 ˙day. Therefore, the number of layers of the buffer layer, which is excellent for barrier moisture resistance, and which is required for moisture resistance required when the flexible substrate 1000 is applied to a backplane substrate of an organic light emitting display panel, can be reduced or omitted.

플라스틱 필름(100)의 하나인 폴리 이미드(poly imide)와 스테인레스 스틸막의 성질을 비교해본다.Compare the properties of the polyimide (polyimide), which is one of the plastic films 100, with the stainless steel film.

먼저, 내열성 측면에서 고려해야 하는 요소는 글래스 전이 온도(Tg), 열팽창 계수(CTE: Coefficient of Thermal Expansion)이다.First, the factors that should be taken into account in terms of heat resistance are glass transition temperature (Tg) and coefficient of thermal expansion (CTE).

폴리이미드의 글래스 전이 온도는 320℃이며, 스테인레스 스틸막의 경우 글래스 전이 온도는 1200℃이다. 폴리이미드의 열팽창 계수는 20ppm이며, 스테인레스 스틸막의 열팽창계수는 10.4이다. 즉, 내열성 측면에서, 폴리이미드보다 스테인레스 스틸막이 더 우수한 점을 알 수 있으며, 플라스틱 필름(100)의 양면을 스테인레스 스틸막(110, 120)이 덮고 있을 때, 플렉서블 기판(1000) 전체의 특성은 스테인레스 스틸막(110, 120)의 특성에 따를 것으로, 본 발명의 플렉서블 기판이 단독의 베어 필름의 플라스틱 필름 대비 내열성이 우수함을 알 수 있다.The glass transition temperature of the polyimide is 320 ° C, and the glass transition temperature of the stainless steel film is 1200 ° C. The thermal expansion coefficient of the polyimide is 20 ppm, and the thermal expansion coefficient of the stainless steel film is 10.4. That is, from the viewpoint of heat resistance, it can be seen that the stainless steel film is more excellent than the polyimide. When the both surfaces of the plastic film 100 are covered with the stainless steel films 110 and 120, the characteristics of the entire flexible substrate 1000 are It can be seen that the flexible substrate of the present invention is superior in heat resistance to the plastic film of the single bare film in accordance with the characteristics of the stainless steel films 110 and 120.

또한, 기계적 강성면을 비교하여도, 폴리이미드의 탄성 계수는 2.94GPa 이며, 스테인레스 스틸막의 탄성 계수는 200GPa이다. 폴리이미드보다 스테인레스 스틸막이 더 우수한 점을 알 수 있으며, 플라스틱 필름(100)의 양면을 스테인레스 스틸막(110, 120)이 덮고 있을 때, 기계적 강성도 플렉서블 기판(1000) 전체의 특성은 스테인레스 스틸막(110, 120)의 특성에 따를 것으로, 본 발명의 플렉서블 기판이 단독의 베어 필름의 플라스틱 필름 대비 기계적 강성도 개선됨을 알 수 있다. 따라서, 롤투롤 공정에서 일정 장력( 수 Kgf)을 유지한 상태로 플렉서블 기판(100)의 반송이 이루어지며, 이 과정이 반복되는 동안 단독의 베어 필름의 플라스틱 필름은 주름지거나 일정 방향의 연신이 커져 필름의 변형이 큰데, 이 문제점을 해결할 수 있다.Further, even when the mechanical stiffness is compared, the modulus of elasticity of the polyimide is 2.94 GPa, and the modulus of elasticity of the stainless steel film is 200 GPa. The mechanical strength of the flexible substrate 1000 is higher than that of the stainless steel film 110. When the both surfaces of the plastic film 100 are covered with the stainless steel films 110 and 120, 110, and 120, it can be seen that the flexible substrate of the present invention has improved mechanical stiffness compared to the plastic film of a single bare film. Therefore, during the roll-to-roll process, the flexible substrate 100 is conveyed while maintaining a constant tension (several Kgf). During this process, the plastic film of the single bare film is wrinkled or stretched in a certain direction This problem can be solved because the film has a large deformation.

그리고, 내화학성 면에 있어서도, 본 발명의 플렉서블 기판은, 단일 플라스틱 필름 적용대비 양면 제 1, 제 2 스테인레스 스틸막(110, 120)이 보강되기에, 내화학성 역시 개선된다.In terms of chemical resistance, the flexible substrate of the present invention is also improved in chemical resistance because the first and second stainless steel films 110 and 120 are reinforced with respect to the application of a single plastic film.

또한, 본 발명의 플렉서블 기판의 양면 코팅에 적용하는 성분을 스테인레스 스틸(stainless steel)막으로 적용한 이유는 상술한 바와 같이, 여타의 금속 대비 내열성, 내화학성, 내투습성이 검증되었기 때문이다.The reason why the components applied to the double-side coating of the flexible substrate of the present invention is applied to a stainless steel film is that heat resistance, chemical resistance, and moisture resistance are verified against other metals as described above.

이하, 본 발명의 플렉서블 기판의 다른 예를 살펴본다.Hereinafter, another example of the flexible substrate of the present invention will be described.

도 2는 본 발명의 플렉서블 기판의 다른 예를 나타낸 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing another example of the flexible substrate of the present invention.

도 2는, 본 발명의 플렉서블 기판의 다른 예로, 상술한 도 1의 구조 대비 제 1 스테인레스 스틸막(110)을 덮으며, 플라스틱 기판(100) 상에 버퍼층(150)이 더 적용된 점이 차이점이다.2 is another example of the flexible substrate of the present invention in that the buffer layer 150 is further applied on the plastic substrate 100 so as to cover the first stainless steel film 110 as compared with the structure of FIG.

상기 버퍼층(150)은 산화절연막 또는 질화절연막을 적어도 한 층 포함할 수 있다. 그리고, 산화 절연막 또는 질화절연막과 같은 무기막 외에 유기막을 더 포함할 수도 있다.The buffer layer 150 may include at least one oxide insulating film or a nitride insulating film. In addition to the inorganic film such as an oxide insulating film or a nitride insulating film, an organic film may be further included.

한편, 상기 버퍼층(150)을 적용하는 이유는 플렉서블 기판(1100) 상에, 박막 트랜지스터 어레이와 같은 전기적 특성을 갖는 소자를 형성할 때, 스테인레스 스틸막(110, 120)과 전기적 절연을 유지하여, 소자의 신뢰성을 유지하기 위함이다. 또한, 플라스틱 필름(100) 대비 거칠기가 있는 제 1 스테인레스 스틸막(110) 상에 직접 어레이 형성시 상부의 평탄도를 유지할 수 없기 때문에, 이를 방지하기 위함이다.The reason why the buffer layer 150 is applied is that when the device having electrical characteristics such as a thin film transistor array is formed on the flexible substrate 1100, the buffer layer 150 is electrically insulated from the stainless steel films 110 and 120, This is to maintain the reliability of the device. In addition, since the flatness of the upper portion can not be maintained when the array is directly formed on the first stainless steel film 110 having a roughness compared to the plastic film 100, this is to prevent this.

도 3은 본 발명의 플렉서블 표시 장치를 나타낸 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing a flexible display device of the present invention.

도 3은 상술한 플렉서블 기판을 기판으로 적용한 플렉서블 표시 장치를 나타낸 것이다.Fig. 3 shows a flexible display device in which the above-described flexible substrate is applied as a substrate.

도 3과 같이, 본 발명의 플렉서블 표시 장치는, 제 1 플라스틱 필름(100)과, 상기 제 1 플라스틱 필름(100) 양면에 접한 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막(110, 120)을 포함한 제 1 플렉서블 기판(1000)과, 상기 제 1 플렉서블 기판(1000) 상에 버퍼층(150)과, 상기 버퍼층 상에 박막 트랜지스터 어레이(130)와, 상기 박막 트랜지스터 어레이(130)와 접속된 유기 발광 어레이(140) 및 상기 유기 발광 어레이(140)를 덮으며, 상기 버퍼층(150)과 접한 봉지 수단(2000)을 포함한다.3, the flexible display device of the present invention includes a first plastic film 100 and a first plastic film 100 including first and second stainless steel films 110 and 120 which are in contact with both surfaces of the first plastic film 100. [ A flexible substrate 1000, a buffer layer 150 on the first flexible substrate 1000, a thin film transistor array 130 on the buffer layer, and an organic light emitting array 140 connected to the thin film transistor array 130 And an encapsulating unit 2000 covering the organic light emitting array 140 and contacting the buffer layer 150.

여기서, 상기 봉지 수단(2000)은, 상기 유기 발광 어레이(140)를 덮으며, 상기 버퍼층(150)과 접한 접착층(250) 및 상기 접착층(250)과 전면 접한 제 2 플렉서블 기판(200)을 포함한다.The sealing means 2000 includes an adhesive layer 250 covering the organic light emitting array 140 and contacting the buffer layer 150 and a second flexible substrate 200 contacting the front surface of the adhesive layer 250 do.

또한, 제 1 플렉서블 기판(100) 상에는, 내투습성을 위해 상기 유기 발광 어레이(140)를 완전히 덮도록 유기막 또는 무기막 혹은 유무기막이 교번된 적층 형태의 보호층(160)을 더 구비할 수 있다.Further, on the first flexible substrate 100, it is possible to further include a protective layer 160 in the form of a laminate layer in which an organic film, an inorganic film, or an organic or inorganic film is alternately covered so as to completely cover the organic light emitting array 140 have.

여기서, 상기 제 2 플렉서블 기판(200)은 상기 접착층(250)과 대향면에 터치 전극 어레이(210)를 더 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 제 2 플렉서블 기판(200)을 포함한 봉지 수단(2000)은 투명한 것으로, 유기 발광 어레이(140)에서 나온 광이 상기 봉지 수단(2000)의 상측으로 투사된다.Here, the second flexible substrate 200 may further include a touch electrode array 210 on a surface opposite to the adhesive layer 250. In this case, the sealing means 2000 including the second flexible substrate 200 is transparent so that the light emitted from the organic light emitting array 140 is projected onto the sealing means 2000.

경우에 따라, 상기 제 2 플렉서블 기판을 폴리이미드 양면에 스테인레스 스틸막을 적용한 형태로 할 수 있으나, 이 경우, 하측의 제 1 플렉서블 기판은 투명한 플라스틱 필름일 수 있다.In some cases, the second flexible substrate may be formed by applying a stainless steel film to both sides of the polyimide. In this case, the first flexible substrate on the lower side may be a transparent plastic film.

한편, 이와 같이, 제 1 플렉서블 기판(1000)이, 플라스틱 필름 양면에 스테인레스 스틸막을 적용한 형태로 적용시, 상기 제 1 플렉서블 기판(1000)의 투습도(Water Vapor Transmission Rate)는 10-1 g/m2 ˙day 내지 10-3 g/m2 ˙day 일 수 있으며, 이에 따라, 단일의 베어 필름으로 플라스틱 필름을 적용한 경우 대비 내투습도가 향상될 수 있다. 이 경우, 상기 제 1 플렉서블 기판(1000)의 두께는 7 ㎛ 내지 152㎛으로, 단일의 베어 필름의 플라스틱 필름 대비 늘지 않는다. 왜냐하면, 양면 코팅되는 상기 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막(110, 120)의 두께는 각각 1㎛ 내지 5㎛로 얇은 박막이기 때문이다.When the first flexible substrate 1000 is applied to both surfaces of the plastic film by applying a stainless steel film, the water vapor transmission rate of the first flexible substrate 1000 is 10 -1 g / m 2 2 ˙day to 10 -3 g / m 2 ˙day, so that the application of a plastic film to a single bare film can improve the moisture permeability within the contrast. In this case, the thickness of the first flexible substrate 1000 is 7 占 퐉 to 152 占 퐉, which is smaller than that of the plastic film of the single bare film. This is because the thickness of the first and second stainless steel films 110 and 120 coated on both sides is a thin film of 1 탆 to 5 탆 each.

이하, 본 발명의 플렉서블 기판의 제조 방법의 몇 가지 예를 살펴본다.Hereinafter, some examples of the manufacturing method of the flexible substrate of the present invention will be described.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 플렉서블 기판의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도이다.4A and 4B are process cross-sectional views showing a method of manufacturing a flexible substrate of the present invention.

슬릿 코팅(slit coating)은, 도 4a와 같이, 베어 필름의 플라스틱 필름(100)을 마련한 후, 도 4b와 같이, 상기 플라스틱 필름(100)을 반송하여 슬릿 코팅 장비(400)에 대응시켜 플라스틱 필름(100)의 일면에 스테인레스 스틸막(110)을 코팅하는 것이다. 이 경우, 슬릿 코팅이 진행되지 않은 플라스틱 필름(100)의 다른 면은 반송롤(450)에 의해 이동이 제어된다. 그리고, 슬릿 코팅 장비(400)는 플라스틱 필름(100)의 복수개의 개소에 슬릿 노즐을 구비할 수 있다.4A, the plastic film 100 of the bare film is provided, and then the plastic film 100 is transported as shown in FIG. 4B to form a plastic film 100 corresponding to the slit coating equipment 400, The stainless steel film 110 is coated on one surface of the substrate 100. In this case, the other surface of the plastic film 100 on which slit coating has not proceeded is controlled to move by the transport roll 450. The slit coating apparatus 400 may include a slit nozzle at a plurality of locations of the plastic film 100.

상기 일면에 스테인레스 스틸막(110)을 형성 후, 어닐링하여 형성면의 평탄성을 향상시킨 후, 플라스틱 필름(100)을 반전하여, 동일 슬릿 코팅 공정을 반복한다.After the stainless steel film 110 is formed on the one surface, the flatness of the formed surface is improved by annealing, and then the plastic film 100 is inverted and the same slit coating process is repeated.

도 5는 본 발명의 플렉서블 기판의 제조 방법의 다른 예를 나타낸 공정 단면도이다.5 is a process sectional view showing another example of the method of manufacturing the flexible substrate of the present invention.

도 5는 스퍼터링 방식으로 스테인레스 스틸막을 증착하는 방법을 나타낸 것이다. 도 5와 같이, 챔버(미도시) 내 타겟(500)에 고주파로 일정의 전압을 인가하고, 타겟과 대면된 스테이지(510) 상에 플라스틱 필름(100)을 위치시킨 후, 스테이지(510)를 접지시킨다. 그리고, Ar 과 같은 반응성 기체를 공급하면, 반응성 기체가 타겟면을 때리며, 그 충격에 의해 타겟(500)에 있는 스테인레스 스틸 성분이 플라스틱 필름(100) 상에 증착되게 된다.5 shows a method of depositing a stainless steel film by a sputtering method. 5, a constant voltage is applied to the target 500 in a chamber (not shown) at a high frequency, the plastic film 100 is placed on the stage 510 facing the target, Ground. Then, when a reactive gas such as Ar is supplied, the reactive gas hits the target surface, and the impact causes the stainless steel component in the target 500 to be deposited on the plastic film 100.

상술한 스퍼터링 방식 역시 일면에 스테인레스 스틸막을 형성 후 다시 반전시켜 다른 면에 같은 공정을 반복하는 것이 필요하다.The above-described sputtering method is also required to form a stainless steel film on one surface, then to invert the surface again and repeat the same process on the other surface.

한편, 스테인레스 스틸막의 형성은 도시된 슬릿 코팅이나, 스퍼터링 외에 상술한 플레이팅 혹은 디핑 방식의 코팅 또는 증착 방식으로도 가능하다.Meanwhile, the stainless steel film can be formed by the plating or dipping coating or vapor deposition method described above in addition to the slit coating or sputtering shown in the drawings.

그리고, 상기 스테인레스 스틸막의 형성 후 표면의 평탄도를 높이기 위해 추가로 어닐링 혹은 평탄화 공정을 더 진행할 수도 있다.After the formation of the stainless steel film, annealing or planarization may be further performed to increase the flatness of the surface.

또한, 형성하고자 하는 대상으로 스테인레스 스틸막을 이용한 이유는 얇은 두께로 충분한 기계적 강성과 내투습성 및 내화학성, 내열성이 검증된 재료이기 때문이며, 재료의 개발로 다른 금속 재료로 이러한 특성을 유지할 수 있는 경우, 대체를 고려할 수 있다.The reason why the stainless steel film is used as the object to be formed is that it is a material having a sufficient mechanical rigidity, moisture resistance, chemical resistance and heat resistance with a thin thickness. If the development of the material can maintain such characteristics with other metal materials, Substitution can be considered.

도 6은 플라스틱 필름의 두께 및 스테인레스 스틸막 적용을 달리한 플렉서블 기판의 롤투롤 반송 장력에 따른 연신률을 나타낸 그래프이다.6 is a graph showing the elongation of the flexible substrate in accordance with the thickness of the plastic film and the roll-to-roll conveying tension of the flexible substrate in which the application of the stainless steel film is different.

도 6은 본 발명의 플렉서블 기판과, 베어 필름의 폴리이미드의 필름간 하중에 따른 연신 정도를 나타낸 것으로, 실험에서, 베어 필름으로서 폴리이미드의 두께는 38㎛, 50㎛, 75㎛, 125㎛로 하고, 본 발명의 플렉서블 기판에서는 폴리이미드 필름을 75㎛에 양면 스테인레스 스틸막 1㎛을 적용하였다.Fig. 6 shows the degree of stretching according to the load between the flexible substrate of the present invention and the polyimide film of the bare film. In the experiment, the thickness of the polyimide as the bare film was 38 탆, 50 탆, 75 탆, In the flexible substrate of the present invention, a polyimide film of 75 μm and a double-sided stainless steel film of 1 μm were applied.

도 6의 그래프는, 베어 필름의 폴리이미드는 그 두께가 두꺼워질수록 하중에 대해 연신률이 작은 것을 나타내며, 이는 플렉서블 기판(1000)의 베어 필름의 두께가 커지면 기판의 변형이 적음을 의미한다. 본 발명의 플렉서블 기판은 폴리이미드 두께가 125㎛인 경우보다 60%의 두께 수준(75㎛)으로 폴리이미드의 두께를 줄여도 오히려 하중에 따른 연신 정도가 줄어드는 것으로, 가장 기판의 변형이 적은 것을 알 수 있다.In the graph of FIG. 6, the polyimide of the bare film has a smaller elongation with respect to the load as the thickness of the polyimide increases. This means that when the thickness of the bare film of the flexible substrate 1000 is large, the deformation of the substrate is small. The flexible substrate according to the present invention exhibits less deformation of the substrate even when the polyimide thickness is reduced to 60% of the thickness level (75 占 퐉) than when the thickness of the polyimide film is 125 占 퐉, have.

대략 반송 장력 6kgf에서, 베어 필름의 폴리이미드가 1000ppm의 연신 변화가 있다면, 본 발명의 플렉서블 기판은 양면 스테인레스 스틸막 1㎛의 적용으로, 270ppm으로 연신 변화가 줄어듦을 확인할 수 있었으며, 이는 동일 두께에서, 스테인레스 스틸막 적용시 약 1/4 수준의 인장 변형이 일어남을 의미하며, 그 강성이 단순히 베어 필름의 두께를 줄이는 것 대비 현저히 상승함을 확인할 수 있다. 즉, 본 발명의 플렉서블 기판 적용시 반송이 수회 반복되는 롤투롤 공정에서 플렉서블 기판이 기계적 안정성을 가짐을 알 수 있다.When the stretch change of the polyimide of the bare film was 1000 ppm at approximately the conveying tension of 6 kgf, the flexible substrate of the present invention showed that the stretch change was reduced at 270 ppm by applying the 1 μm thick double-side stainless steel film, , It means that tensile deformation occurs at a level of about 1/4 when the stainless steel film is applied, and it can be confirmed that the stiffness is significantly increased compared with the case of simply reducing the thickness of the bare film. That is, it can be seen that the flexible substrate has mechanical stability in the roll-to-roll process in which the transporting is repeated several times when the flexible substrate of the present invention is applied.

도 7a 내지 도 7e는 본 발명의 플렉서블 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 공정 단면도이다.7A to 7E are process cross-sectional views showing a manufacturing method of the flexible display device of the present invention.

도 7a와 같이, 상술한 코팅 혹은 증착 방식으로 플라스틱 필름(100)의 양면에 제 1, 제 2 스테인레스 스틸막(110, 120)을 코팅한 제 1 플렉서블 기판(1000)을 준비한다.As shown in FIG. 7A, a first flexible substrate 1000 having first and second stainless steel films 110 and 120 coated on both sides of a plastic film 100 by coating or vapor deposition as described above is prepared.

이어, 도 7b와 같이, 상기 제 1 스테인레스 스틸막(110) 상에 버퍼층(150)을 형성한다.Next, as shown in FIG. 7B, a buffer layer 150 is formed on the first stainless steel film 110.

도 7c와 같이, 상기 버퍼층(150) 상에 박막 트랜지스터 어레이(130) 및 유기 발광 어레이(140)를 형성한다.The thin film transistor array 130 and the organic light emitting array 140 are formed on the buffer layer 150 as shown in FIG.

도 7d와 같이, 표면에 터치 전극 어레이(210)을 갖는 제 2 플렉서블 기판(200)을 준비한다.7D, a second flexible substrate 200 having a touch electrode array 210 on its surface is prepared.

이어, 도 7e와 같이, 접착층(250)을 개재하여, 박막 트랜지스터 어레이(130) 및 유기 발광 어레이(140)를 갖는 상기 버퍼층(150)과 제 2 플렉서블 기판(200)을 접착한다.7E, the buffer layer 150 having the thin film transistor array 130 and the organic light emitting array 140 is bonded to the second flexible substrate 200 with the adhesive layer 250 interposed therebetween.

여기서, 접착층(250)이 대응되는 부위는 적어도 유기 발광 어레이(140)를 커버하는 영역으로, 상기 접착층(250)은 일종의 페이스 씰(face seal)로 봉지 기능과 내습성을 갖는 성분이다. 또한, 상기 접착층(250)이 대응되기 전, 상기 유기 발광 어레이(140) 형성의 최종 과정에서, 상기 박막 트랜지스터 어레이(130) 및 유기 발광 어레이(140)을 덮는 보호막(160)을 더 포함할 수 있다.Here, the portion corresponding to the adhesive layer 250 is a region covering at least the organic light emitting array 140, and the adhesive layer 250 is a component having a sealing function and moisture resistance by a kind of face seal. The protective layer 160 may cover the thin film transistor array 130 and the organic light emitting array 140 in the final process of forming the organic light emitting array 140 before the adhesive layer 250 is formed. have.

도시된 예에서는, 제 2 플렉서블 기판(200) 측에 터치 전극 어레이(210)가 구비된 예를 설명했지만, 이에 한하지 않고, 상기 터치 전극 어레이(210)는 제 1 플렉서블 기판(1000) 측에도 구비 가능하다.In the illustrated example, the touch electrode array 210 is provided on the second flexible substrate 200 side. However, the touch electrode array 210 may be provided on the first flexible substrate 1000 side It is possible.

또한, 터치 감지형이 아닌 표시 장치에는 상기 터치 전극 어레이(210)는 생략될 수도 있다.In addition, the touch electrode array 210 may be omitted in a non-touch sensing display device.

상술한 제 1 플라스틱 필름에 양면 스테인레스 스틸막이 적용된 제 1 플렉서블 기판(1000)을 적용하여, 플렉서블 표시 장치의 제조에 있어서, 어레이 형성 공정에서 수회 요구되는 고열 조건 및 복수개의 노광 공정에서의 반복적인 반송에서 플렉서블 기판의 기판 변형을 방지하여, 표시 장치의 신뢰성 및 안정성을 유지할 수 있다. 궁극적으로, 수율 향상을 기대할 수 있다.The first flexible substrate 1000 to which the double-sided stainless steel film is applied is applied to the first plastic film described above. In the manufacture of the flexible display device, the high temperature condition required several times in the array forming step and the repetitive conveyance It is possible to prevent deformation of the substrate of the flexible substrate and maintain the reliability and stability of the display device. Ultimately, yield improvement can be expected.

상술한 플렉서블 표시 장치에 있어서는, 유기 발광 다이오드를 포함한 예로 설명하였지만, 이에 한정되지 않고, 상술한 플렉서블 기판을 백플레인 기판으로 하여 액정 패널이나, 전기 영동 패널, 양자점 패널 등의 다양한 표시 패널을 구현 가능할 것이다.The above-described flexible display device has been described as an example including an organic light emitting diode. However, the present invention is not limited to this, and various display panels such as a liquid crystal panel, an electrophoretic panel, and a quantum dot panel can be realized by using the flexible substrate as a backplane substrate .

한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be the most practical and preferred embodiment, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Will be apparent to those of ordinary skill in the art.

100: (제 1) 플라스틱 필름 110: 제 1 스테인레스 스틸막
120: 제 2 스테인레스 스틸막 130: 박막 트랜지스터 어레이
140: 유기 발광 어레이 150: 버퍼층
160: 보호층 200: 제 2 플렉서블 기판
210: 터치 전극 어레이 250: 접착층
1000, 1100: 플렉서블 기판 2000: 봉지 수단
100: (first) plastic film 110: first stainless steel film
120: second stainless steel film 130: thin film transistor array
140: organic light emitting array 150: buffer layer
160: protective layer 200: second flexible substrate
210: touch electrode array 250: adhesive layer
1000, 1100: flexible substrate 2000: sealing means

Claims (15)

플라스틱 필름; 및
상기 플라스틱 필름 양면에 접한 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막을 포함한 플렉서블 기판.
Plastic film; And
Wherein the first and second stainless steel films are in contact with both surfaces of the plastic film.
제 1항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막의 두께는 각각 1㎛ 내지 5㎛인 플렉서블 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the thickness of the first and second stainless steel films is 1 占 퐉 to 5 占 퐉, respectively.
제 1항에 있어서,
상기 플라스틱 필름은 폴리에스테르(polyester) 또는 폴리 에스테르를 포함하는 공중합체, 폴리이미드(polyimide) 또는 폴리 이미드를 포함하는 공중합체, 올레핀계 공중합체, 폴리아크릴산(polyacrylic acid) 또는 폴리아크릴산을 포함하는 공중합체, 폴리스티렌(polystyrene) 또는 폴리스티렌폴리스티렌 공중합체, 폴리카보네이트(polycarbonate) 또는 폴리 카보네이트를 포함하는 공중합체, 폴리설페이트(polysulfate) 또는 폴리설페이트를 포함하는 공중합체, 폴리아믹산(polyamic acid) 또는 폴리아믹산을 포함하는 공중합체, 폴리아민(polyamine) 및 폴리아믹산을 포함하는 공중합체, 폴리비닐 알콜(polyvinylalcohol), 폴리 알릴아민(polyallylamine)으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 고분자 화합물을 포함하는 플렉서블 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the plastic film comprises a copolymer comprising a polyester or a polyester, a copolymer comprising a polyimide or a polyimide, an olefinic copolymer, a polyacrylic acid or a polyacrylic acid, Copolymers, including copolymers, including polystyrene or polystyrene polystyrene copolymers, polycarbonates or polycarbonates, copolymers containing polysulfates or polysulfates, polyamic acids or polyamic acids, And at least one polymer compound selected from the group consisting of a copolymer comprising a polyamine and a polyamic acid, a copolymer including a polyamine and a polyamic acid, a polyvinyl alcohol, and a polyallylamine.
제 1항에 있어서,
상기 플라스틱 필름의 두께는 5㎛ 내지 150㎛인 플렉서블 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the plastic film has a thickness of 5 占 퐉 to 150 占 퐉.
제 1항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막의 투습도(Water Vapor Transmission Rate)는 10-6 g/m2 ˙day 이하인 플렉서블 기판.
The method according to claim 1,
Wherein the first and second stainless steel membranes have a water vapor transmission rate of 10 -6 g / m 2 ˙day or less.
제 1항에 있어서,
상기 제 1 스테인레스 스틸막 상에 버퍼층을 더 포함한 플렉서블 기판.
The method according to claim 1,
And a buffer layer on the first stainless steel film.
제 6항에 있어서,
상기 버퍼층은 산화절연막 또는 질화절연막을 적어도 한 층 포함한 플렉서블 기판.
The method according to claim 6,
Wherein the buffer layer comprises at least one layer of an oxide insulating film or a nitride insulating film.
제 1 플라스틱 필름과, 상기 제 1 플라스틱 필름 양면에 접한 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막을 포함한 제 1 플렉서블 기판;
상기 제 1 플렉서블 기판 상에 버퍼층;
상기 버퍼층 상에 박막 트랜지스터 어레이;
상기 박막 트랜지스터 어레이와 접속된 유기 발광 어레이; 및
상기 유기 발광 어레이를 덮으며, 상기 버퍼층과 접한 봉지 수단을 포함한 플렉서블 표시 장치.
A first flexible substrate including a first plastic film and first and second stainless steel films abutting on both surfaces of the first plastic film;
A buffer layer on the first flexible substrate;
A thin film transistor array on the buffer layer;
An organic light emitting array connected to the thin film transistor array; And
And a sealing means covering the organic light emitting array and contacting the buffer layer.
제 8항에 있어서,
상기 봉지 수단은,
상기 유기 발광 어레이를 덮으며, 상기 버퍼층과 접한 접착층; 및
상기 접착층과 전면 접한 제 2 플렉서블 기판을 포함한 플렉서블 표시 장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the sealing means comprises:
An adhesive layer covering the organic light emitting array and in contact with the buffer layer; And
And a second flexible substrate which is in contact with the adhesive layer.
제 8항에 있어서,
상기 제 1 플렉서블 기판의 투습도(Water Vapor Transmission Rate)는 10-1 g/m2 ˙day 내지 10-3 g/m2 ˙day 인 플렉서블 표시 장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the first flexible substrate has a water vapor transmission rate of 10 -1 g / m 2 ˙day to 10 -3 g / m 2 ˙day.
제 8항에 있어서,
상기 제 1 플렉서블 기판의 두께는 7 ㎛ 내지 152㎛인 플렉서블 표시 장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the first flexible substrate has a thickness of 7 탆 to 152 탆.
제 11항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 스테인레스 스틸막의 두께는 각각 1㎛ 내지 5㎛인 플렉서블 표시 장치.
12. The method of claim 11,
Wherein the thickness of the first and second stainless steel films is 1 占 퐉 to 5 占 퐉, respectively.
제 8항에 있어서,
상기 제 2 플렉서블 기판은 상기 접착층과 대향면에 터치 전극 어레이를 더 포함한 플렉서블 표시 장치.
9. The method of claim 8,
And the second flexible substrate further includes a touch electrode array on a surface facing the adhesive layer.
제 8항에 있어서,
상기 봉지 수단은 투명한 플렉서블 표시 장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the sealing means is transparent.
제 1 플라스틱 필름의 양 표면에 제 1, 제 2 스테인레스 스틸막을 코팅한 제 1 플렉서블 기판을 준비하는 단계;
상기 제 1 스테인레스 스틸막 상에 버퍼층을 형성하는 단계;
상기 버퍼층 상에 박막 트랜지스터 어레이 및 유기 발광 어레이를 형성하는 단계; 및
접착층을 개재하여, 박막 트랜지스터 어레이 및 유기 발광 어레이를 갖는 상기 버퍼층과 제 2 플렉서블 기판을 접착하는 단계를 포함한 플렉서블 표시 장치의 제조 방법.
Preparing a first flexible substrate having first and second stainless steel films coated on both surfaces of a first plastic film;
Forming a buffer layer on the first stainless steel film;
Forming a thin film transistor array and an organic light emitting array on the buffer layer; And
And adhering the buffer layer having the thin film transistor array and the organic light emitting array to the second flexible substrate via the adhesive layer.
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