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KR20150067019A - Downholder for holding down the substrate places of a substrate - Google Patents

Downholder for holding down the substrate places of a substrate Download PDF

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KR20150067019A
KR20150067019A KR1020140160125A KR20140160125A KR20150067019A KR 20150067019 A KR20150067019 A KR 20150067019A KR 1020140160125 A KR1020140160125 A KR 1020140160125A KR 20140160125 A KR20140160125 A KR 20140160125A KR 20150067019 A KR20150067019 A KR 20150067019A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plate
pneumatic
downholder
opening
holder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
KR1020140160125A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
구이도 주터
Original Assignee
베시 스위처랜드 아게
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 베시 스위처랜드 아게 filed Critical 베시 스위처랜드 아게
Publication of KR20150067019A publication Critical patent/KR20150067019A/en
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  • Die Bonding (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
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Abstract

기판의 기판 장소를 누르기 위한 다운홀더는 다이의 본딩을 위해 적어도 하나의 기판 장소를 접근가능하게 하는 중심 개구(2)와 중심 개구(2)에 인접하여 양측에 배치되는 2개의 추가 개구(3, 4)를 갖춘 플레이트(1), 개구(11) 및 다운홀더 웨브(12)를 갖춘 다운홀더 플레이트(10), 제1 및 제2 공압 구동 장치, 및 두 공압 구동 장치의 압력 챔버에 압축 가스를 공급하기 위한 압력 라인(9)을 포함한다. 각각의 공압 구동 장치는 실린더(5, 6)와 구동 요소를 포함하며, 이것들 사이에 압력 챔버가 형성된다. 제1 구동 장치의 실린더(5)는 제1 추가 개구(3) 위에 고정되고, 제2 구동 장치의 실린더(6)는 제2 추가 개구(4) 위에 고정된다.The down holder for pressing the substrate location of the substrate includes a central opening 2 for making at least one substrate location accessible for bonding of the die and two additional openings 3, A down holder plate 10 having a plate 1 with an opening 11 and a downholder web 12, a first and a second pneumatic drive device, and a pressure chamber of two pneumatic drive devices, And a pressure line 9 for supplying the pressurized gas. Each pneumatic driving device includes cylinders 5 and 6 and a driving element, and a pressure chamber is formed therebetween. The cylinder 5 of the first driving device is fixed on the first additional opening 3 and the cylinder 6 of the second driving device is fixed on the second additional opening 4.

Description

기판의 기판 장소를 누르기 위한 다운홀더{DOWNHOLDER FOR HOLDING DOWN THE SUBSTRATE PLACES OF A SUBSTRATE}[0001] DOWNHOLDER FOR HOLDING DOWN THE SUBSTRATE [

본 발명은 기판의 기판 장소(substrate place)를 누르기 위한 다운홀더(downholder)에 관한 것이다.The present invention relates to a downholder for pressing a substrate place of a substrate.

그러한 다운홀더는 실장 중에 기판의 기판 장소를 지지체에 가압시키기 위해, 본 기술 분야에 "다이(die)"로 알려져 있는 구성요소의 실장을 위한 자동 실장기, 즉 이른바 다이 본더(die bonder)에 사용된다. 다이에 대한 예는 특히 반도체 칩이지만, 또한 커패시터, 금속 소판(metal platelet), 금속 리드(metal lid) 등이다.Such a down holder may be used in an automatic machine for the mounting of components known in the art as "die ", i.e. so-called die bonders, to press the substrate location of the substrate onto the substrate during mounting do. Examples for die are, in particular, semiconductor chips, but also capacitors, metal platelets, metal leads, and the like.

반도체 칩의 실장에서 반도체 칩, 주로 전력 반도체를 솔더(solder)에 의해 기판에 접속시켜 작동 중에 발생하는 반도체 칩으로부터의 열 손실의 효과적인 소산을 솔더 접속부를 통해 보장하는 것이 일반적이다. 이러한 공정에 적합한 다이 본더가 본 출원인에 의해 DB2009 SSI라는 명칭으로 유통된다. 상기 다이 본더는 다운홀더를 갖춘 관통식 퍼니스(through-type furnace)를 포함한다. 다운홀더는 300 내지 450 ℃의 공정 온도에 노출된다.It is common to connect a semiconductor chip, mainly a power semiconductor, to a substrate by solder in the mounting of the semiconductor chip to ensure effective dissipation of heat loss from the semiconductor chip during operation through the solder connecting portion. A die bonder suitable for such a process is distributed by the applicant under the name DB2009 SSI. The die bonder includes a through-type furnace with a down holder. The down holders are exposed to a process temperature of 300-450 占 폚.

본 발명은 300 내지 450 ℃의 작업 온도에서 사용될 수 있는 간단한 구성과 높은 신뢰성을 갖는 다운홀더를 개발하는데 목적을 두고 있다.The present invention aims to develop a down holder with a simple configuration and high reliability that can be used at operating temperatures of 300 to 450 ° C.

본 발명에 따르면, 기판의 기판 장소를 누르기 위한 다운홀더는,According to the present invention, the down holder for pressing the substrate position of the substrate comprises:

중심 개구와 중심 개구에 인접하여 양측에 배치되는 2개의 추가 개구를 갖춘 플레이트;A plate having a central opening and two additional openings disposed on both sides adjacent the central opening;

개구와 개구에서 저면 상에 배치되는 다운홀더 웨브를 갖춘 다운홀더 플레이트로서, 다운홀더 플레이트는 관절식으로 그리고 플레이트의 저면 상에서 다운홀더 플레이트의 개구가 플레이트의 중심 개구와 정렬되도록 장착되는, 상기 다운홀더 플레이트;Wherein the down holder plate is articulated and mounted on the bottom surface of the plate such that the opening of the down holder plate is aligned with the central opening of the plate, the down holder plate having a down- plate;

제1 및 제2 공압 구동 장치로서, 제1 및 제2 공압 구동 장치 각각은 실린더와 구동 요소를 포함하고, 상기 실린더와 구동 요소 사이에 압력 챔버가 형성되며, 제1 구동 장치의 실린더는 제1 추가 개구 위에서 플레이트의 상면 상에 고정되고, 제2 구동 장치의 실린더는 제2 추가 개구 위에서 플레이트의 상면 상에 고정되는, 상기 제1 및 제2 공압 구동 장치; 및Wherein each of the first and second pneumatic driving apparatuses includes a cylinder and a driving element, a pressure chamber is formed between the cylinder and the driving element, and the cylinder of the first driving apparatus is a first The first and second pneumatic actuation devices being fixed on the upper surface of the plate above the additional opening and the cylinder of the second driving device being fixed on the upper surface of the plate above the second additional opening; And

두 공압 구동 장치의 압력 챔버에 압축 가스를 공급하기 위한 제1 압력 라인A first pressure line for supplying compressed gas to the pressure chambers of the two pneumatic actuators

을 포함한다..

바람직하게는, 제1 공압 구동 장치의 구동 요소는 다운홀더 플레이트의 구형 요홈 내에 맞물리는 구형 돌출부를 포함하고, 제2 공압 구동 장치의 구동 요소는 원형 단면을 갖는 중간 섹션을 포함하는, 다운홀더 플레이트의 긴 요홈 내에 맞물리는 구형 돌출부를 포함하며, 제1 공압 구동 장치의 구동 요소의 구형 돌출부와 다운홀더 플레이트의 구형 요홈은 동일한 반경을 갖고, 제2 공압 구동 장치의 구동 요소의 구형 돌출부의 반경은 다운홀더 플레이트의 긴 요홈의 중간 섹션의 단면의 반경과 동일하다.Preferably, the driving element of the first pneumatic actuation device comprises a spherical projection engaging in the spherical recess of the downholder plate, and the driving element of the second pneumatic driving device comprises an intermediate section having a circular cross section, Wherein the spherical protrusion of the driving element of the first pneumatic driving device and the spherical recess of the downholder plate have the same radius and the radius of the spherical protrusion of the driving element of the second pneumatic driving device is Section of the middle section of the long groove of the down-holder plate.

공압 구동 장치의 구동 요소는 예를 들어 피스톤 또는 멤브레인일 수 있다.The driving element of the pneumatic drive may be, for example, a piston or a membrane.

다운홀더는 바람직하게는 작동 중에, 압축 가스의 공급이 종료될 때 각각 피스톤 또는 멤브레인이 후퇴 위치로 복귀되는지를 검사할 수 있도록, 두 공압 구동 장치의 압력 챔버에 가스를 공급하기 위한 제2 압력 라인과 제2 압력 라인 내의 압력 또는 가스 유동을 모니터하기 위한 센서를 포함한다.The down holders preferably comprise a second pressure line for supplying gas to the pressure chambers of the two pneumatic actuators, so as to be able to check whether the piston or membrane returns to the retracted position, respectively, And a sensor for monitoring pressure or gas flow in the second pressure line.

플레이트의 저면에 대한 다운홀더 플레이트의 지지는 유리하게는 플레이트의 상면 상에 배치되는 리턴 스프링을 통해 그리고 플레이트 내의 나사형성되지 않은 보어홀을 통해 안내되는 그리고 다운홀더 플레이트 내에 스크류 체결되는 스크류에 의해 수행되고, 리턴 스프링은 스크류가 다운홀더 플레이트를 플레이트의 저면을 향해 끌어당기도록 사전인장된다.The support of the down-holder plate relative to the bottom of the plate is advantageously carried out by means of a return spring disposed on the upper surface of the plate and through a screw which is guided through the unthreaded bore hole in the plate and screwed into the down- And the return spring is pre-tensioned such that the screw pulls the down holder plate toward the bottom of the plate.

본 발명에 의하면, 300 내지 450 ℃의 작업 온도에서 사용될 수 있는 간단한 구성과 높은 신뢰성을 갖는 다운홀더가 제공된다.The present invention provides a down holder with a simple configuration and high reliability that can be used at an operating temperature of 300-450 占 폚.

본 명세서에 포함되고 그것의 일부를 구성하는 첨부 도면은 본 발명의 하나 이상의 실시 형태를 예시하며, 상세한 설명과 함께 본 발명의 원리 및 구현을 설명하는 역할을 한다. 명료성의 이유로, 도면은 축척에 맞게 도시되지 않는다.
도 1은 플레이트와 다운홀더 플레이트를 갖춘 본 발명에 따른 다운홀더의 제1 실시 형태의 사시도를 도시한다.
도 2는 아래로부터 본 제1 실시 형태의 다운홀더를 도시한다.
도 3은 아래로부터 본 본 발명에 따른 다운홀더의 제2 실시 형태를 도시한다.
도 4와 도 5는 두 작동 상태에 있는 다운홀더를 단면도로 도시한다.
도 6은 본 발명에 따른 다운홀더의 제2 실시 형태를 단면도로 도시한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The accompanying drawings, which are incorporated in and constitute a part of this specification, illustrate one or more embodiments of the invention and, together with the description, serve to explain the principles and implementations of the invention. For clarity reasons, the drawings are not drawn to scale.
Figure 1 shows a perspective view of a first embodiment of a down holder according to the invention with a plate and a down holder plate.
Fig. 2 shows the down holder of the first embodiment seen from below.
Fig. 3 shows a second embodiment of the down holder according to the invention seen from below.
Figures 4 and 5 show in cross-section the down holders in both operating states.
6 shows a second embodiment of the down holder according to the present invention in a sectional view.

도 1은 본 발명에 따른 다운홀더의 제1 실시 형태를 사시도로 도시한다. 다운홀더는 중심 개구(2)와 2개의 추가 개구(3, 4)(도 4 및 도 5)를 갖춘 플레이트(1)를 포함한다. 이러한 추가 개구(3, 4)는 중심 개구(2)에 인접하여 양측에 배치되고, 유리하게는 실질적으로 둥글지만, 또한 임의의 다른 형상을 가질 수 있다. 중심 개구(2)는 이 실시 형태에서 길고, 다이의 본딩을 위해 기판의 기판 장소로의 접근을 허용하며, 이러한 기판 장소는 적어도 일렬로 배치된다.Fig. 1 is a perspective view showing a first embodiment of a down holder according to the present invention. The down holder comprises a plate 1 with a central opening 2 and two additional openings 3, 4 (Figures 4 and 5). These additional openings 3, 4 are arranged on both sides adjacent to the central opening 2, advantageously substantially round, but may also have any other shape. The central opening 2 is long in this embodiment and allows access to the substrate location of the substrate for die bonding, and such substrate locations are arranged in at least one row.

다운홀더는 또한 제1 및 제2 공압 구동 장치를 포함한다. 두 공압 구동 장치 각각은 실린더(5, 6)와 구동 요소를 포함하며, 이것들 사이에 압력 챔버가 형성된다. 구동 요소는 예를 들어 변위가능한 피스톤(7, 8)(도 4 및 도 5), 또는 또한 탄성적으로 변형가능한 그리고/또는 편향가능한 멤브레인(18, 19)(도 6)이다. 제1 공압 구동 장치의 실린더(5)는 개구(3) 위에서 플레이트(1)의 상면 상에 고정되고, 제2 공압 구동 장치의 실린더(6)는 개구(4) 위에서 플레이트(1)의 상면 상에 고정된다. 피스톤(7, 8)을 갖춘 실시 형태에서, 그것들은 플레이트(1)에 의해 형성되는 평면에 수직하게 변위가능하고, 멤브레인(18, 19)을 갖춘 실시 형태에서, 그것들은 이 방향으로 적어도 변형가능하다. 제1 압력 라인(9)이 압축 가스를 두 공압 구동 장치의 압력 챔버에 공급하기 위해 플레이트(1)의 상면 상에 배치된다. 기판이 산화되지 않도록 보호 가스가 압축 가스로서 사용될 수 있다. 흔히 사용되는 보호 가스는 질소 또는 예를 들어 N2H2와 같은 포밍 가스(forming gas)이다.The down holder also includes first and second pneumatic actuation devices. Each of the two pneumatic drive devices includes cylinders 5 and 6 and a drive element, and a pressure chamber is formed therebetween. The driving elements are, for example, displaceable pistons 7, 8 (Figs. 4 and 5), or also elastically deformable and / or deflectable membranes 18, 19 (Fig. 6). The cylinder 5 of the first pneumatic drive device is fixed on the upper surface of the plate 1 above the opening 3 and the cylinder 6 of the second pneumatic drive device is fixed on the upper surface of the plate 1 above the opening 4 Respectively. In the embodiment with the pistons 7 and 8 they are displaceable perpendicular to the plane formed by the plate 1 and in the embodiment with the membranes 18 and 19 they are at least deformable in this direction Do. A first pressure line (9) is disposed on the upper surface of the plate (1) for supplying compressed gas to the pressure chambers of the two pneumatic actuators. A protective gas may be used as the compressed gas so that the substrate is not oxidized. Protective gas commonly used is a forming gas (forming gas) such as nitrogen or N 2 H 2, for example.

다운홀더는 또한 개구(11)를 갖춘 다운홀더 플레이트(10)를 포함한다. 도 2는 제1 실시 형태의 다운홀더를 아래로부터 본 부분 도면으로 도시한다. 이 실시 형태에서, 개구(11)는 길고, 다운홀더 플레이트(10)는 상응하게 십자형이다. 다운홀더 플레이트(10)는 그것의 저면 상에, 즉 플레이트(1)의 반대쪽을 향하는 그것의 면 상에, 개구(11) 내에 배치되는 수개의 다운홀더 웨브(12)를 포함한다. 이때 다운홀더 웨브(12)는 개구(11)의 2개의 긴 측부 에지를 따라 배치된다. 다운홀더 웨브(12)는 필요할 경우 개구(11)에 걸쳐 횡방향으로 연장될 수 있다. 다운홀더 플레이트(10)는 다운홀더 플레이트(10)의 긴 개구(11)가 플레이트(1)의 중심 개구(2)(이 개구도 또한 이 실시 형태에서 김(elongated))와 정렬되도록 플레이트(1)의 저면 상에 배치되고 플레이트(1) 상에 장착된다. 다운홀더 플레이트(10)는 공압 구동 장치가 압축 가스로 작동될 때, 그것이 기판의 배향에 맞추어질 수 있도록 플레이트(1) 상에 관절식으로 장착된다. 다운홀더 플레이트(10)는 예를 들어 4개의 스크류(13)에 의해 플레이트(1)에 고정된다. 스크류(13)는 리턴 스프링(return spring)(14)(도 1)을 통해 그리고 플레이트(1) 내의 나사형성되지 않은 보어홀(threadless borehole)을 통해 안내되어 다운홀더 플레이트(10) 내에 스크류 체결되며, 여기에서 스크류(13)의 스크류 헤드와 플레이트(1)의 상면 사이에 배치된 리턴 스프링(14)은 사전인장된다. 따라서, 리턴 스프링(14)은 스크류 헤드를 플레이트(1)로부터 멀어지게 가압시켜, 스크류(13)가 다운홀더 플레이트(10)를 플레이트(1)의 저면을 향해 끌어당기도록 한다.The down holder also includes a down holder plate (10) with an opening (11). 2 is a partial view of the down holder of the first embodiment viewed from below. In this embodiment, the opening 11 is long and the downholder plate 10 is correspondingly cross-shaped. The downholder plate 10 includes several downholder webs 12 disposed in the opening 11 on its bottom surface, i.e. on its side facing away from the plate 1. At this time, the downholder web 12 is disposed along two long side edges of the opening 11. The downholder web 12 may extend transversely across the opening 11 if desired. The down holder plate 10 is configured such that the elongate opening 11 of the down holder plate 10 is aligned with the central opening 2 of the plate 1 (this opening is also elongated in this embodiment) And is mounted on the plate 1. The plate 1 is made of a metal plate. The downholder plate 10 is articulated on the plate 1 so that when the pneumatic drive is operated with compressed gas it can be fitted to the orientation of the substrate. The down holder plate 10 is fixed to the plate 1 by four screws 13 for example. The screw 13 is guided through a return spring 14 (Fig. 1) and through a threadless borehole in the plate 1 and is screwed into the down holder plate 10 , Wherein the return spring 14 disposed between the screw head of the screw 13 and the upper surface of the plate 1 is pretensioned. The return spring 14 therefore urges the screw head away from the plate 1 so that the screw 13 pulls the down holder plate 10 towards the bottom of the plate 1.

다운홀더 플레이트(10)는 그것의 상면 상에 2개의 요홈(15, 16)을 포함하며, 이러한 요홈은 개구(11)의 중심의 양측에 배치되고, 그것의 위치가 다운홀더 플레이트(10)의 저면을 도시하는 도 2에 파선으로 표시된다. 요홈(15)은 구형이다. 요홈(16)은 길고, 2개의 대략 반구형 단부 영역과 원형 단면을 갖는 중간 섹션으로 구성된다. 요홈(16)의 종방향은 이 실시 형태에서 긴 개구(11)의 종방향에 직교하게 연장된다.The downholder plate 10 includes two recesses 15 and 16 on its upper surface which are arranged on both sides of the center of the opening 11 and whose position is the same as that of the downholder plate 10 And is indicated by a broken line in Fig. 2 showing the bottom face. The groove (15) is spherical. The groove (16) is elongate and is comprised of an intermediate section having two substantially hemispherical end regions and a circular cross section. The longitudinal direction of the groove (16) extends perpendicular to the longitudinal direction of the long opening (11) in this embodiment.

도 3은 아래로부터 본 다운홀더의 제2 실시 형태의 단면도를 도시한다. 이 실시 형태에서, 플레이트(1)의 중심 개구(2)와 또한 다운홀더 플레이트(10)의 개구(11)는 예를 들어 단일-장소 기판(single-placed substrate)의 기판 장소에 접근가능하게 하기 위해 정사각형 또는 직사각형/길다. 따라서, 다운홀더 플레이트(10)는 각각 넓고 좁거나 길다. 다운홀더 플레이트(10)의 요홈(16)의 종방향은 이 실시 형태에서 다운홀더 플레이트(10)의 종방향에 평행하게 연장된다.Fig. 3 shows a cross-sectional view of a second embodiment of the down holder seen from below. In this embodiment, the central opening 2 of the plate 1 and also the opening 11 of the down-holder plate 10 are made to be accessible to the substrate location of, for example, a single-placed substrate For square or rectangle / long. Thus, the down holder plate 10 is wide, narrow or long, respectively. The longitudinal direction of the groove 16 of the downholder plate 10 extends parallel to the longitudinal direction of the downholder plate 10 in this embodiment.

추가 개구(3, 4)는 바람직하게는 양 실시 형태에서 중심 개구(2)에 대해 대칭으로 배치된다. 대칭은 개구(2)의 중심의 양측에 그리고 그것으로부터 동일한 거리를 두고 있음을 의미한다.The additional openings 3, 4 are preferably arranged symmetrically with respect to the central opening 2 in both embodiments. The symmetry means that both sides of the center of the aperture 2 are at the same distance from and from it.

도 4와 도 5는 구동 요소로서 피스톤(7, 8)을 갖춘 실시 형태의 다운홀더를 단면도로 도시하며, 여기에서 도 4는 두 공압 구동 장치의 압력 챔버가 해제된 때의 제1 작동 상태를 도시하고, 도 5는 두 공압 챔버의 압력 챔버가 압축 가스에 의해 작동되어, 피스톤(7, 8)이 다운홀더 플레이트(10)를 플레이트(1)로부터 멀어지게 그리고 기판을 향해 가압시킨 때의 제2 작동 상태를 도시한다. 피스톤(7, 8)의 상부 에지는 낮아진 쇼율더를 구비하며, 따라서 피스톤(7, 8)은 제1 압력 라인(9)의 오리피스 개구를 절대로 완전히 덮지 않는다.Figures 4 and 5 show, in cross-section, a down holder of an embodiment with pistons 7, 8 as drive elements, wherein Figure 4 shows a first operating state when the pressure chambers of the two pneumatic actuation devices are released Figure 5 shows a schematic diagram of a system in which the pressure chambers of the two pneumatic chambers are actuated by compressed gas so that the pistons 7,8 move away from the plate 1 and towards the substrate 2 shows the operation state. The upper edges of the pistons 7, 8 have lowered showers, so that the pistons 7, 8 never completely cover the orifice openings of the first pressure line 9.

도 6은 구동 요소로서 멤브레인(18, 19)을 갖춘 실시 형태의 다운홀더를 단면도로 도시한다. 압축 가스를 공급받을 수 있는 압력 챔버는 실린더(5, 6)와 멤브레인(18, 19) 사이에 형성된다. 멤브레인(18, 19)은 플레이트(1)에 의해 형성되는 평면에 대해 수직 방향으로 탄성적으로 변형가능하다. 이 실시 형태에서, 실린더(5, 6)는 또한 플레이트(1)의 일체형 구성요소로서 함몰부(depression)로서 형성될 수 있으며, 이러한 함몰부는 이어서 압력 챔버를 형성한다.Figure 6 shows in cross-section a down holder of an embodiment with membranes 18, 19 as the driving element. A pressure chamber capable of being supplied with compressed gas is formed between the cylinder (5, 6) and the membrane (18, 19). The membranes 18, 19 are resiliently deformable in a direction perpendicular to the plane defined by the plate 1. In this embodiment, the cylinders 5, 6 can also be formed as a depression as an integral component of the plate 1, which then forms a pressure chamber.

공압 구동 장치의 구동 요소, 즉 피스톤(7, 8)과 멤브레인(18, 19)은 구형 돌출부(17)를 포함하거나, 또는 구형 돌출부(17)를 갖춘 구성요소가 멤브레인(18, 19)에 부착된다. 제1 공압 구동 장치의 피스톤(7) 또는 멤브레인(18)의 구형 돌출부(17)는 다운홀더 플레이트(10)의 구형 요홈(15) 내에 맞물린다. 제1 공압 구동 장치의 피스톤(7) 또는 멤브레인(18)의 구형 돌출부(17)와 다운홀더 플레이트의 구형 요홈(15)은 동일한 반경을 갖는다. 이러한 구성으로 인해, 다운홀더 플레이트(10)는 플레이트(1)에 대해 임의의 방향으로 경사질 수 있지만 변위될 수 없다. 제2 공압 구동 장치의 피스톤(8) 또는 멤브레인(19)의 구형 돌출부(17)는 다운홀더 플레이트(10)의 긴 요홈(16) 내에 맞물린다. 제2 공압 구동 장치의 피스톤(8) 또는 멤브레인(19)의 구형 돌출부(17)의 반경은 다운홀더 플레이트(10)의 긴 요홈(16)의 중간 섹션의 원형 단면의 반경과 동일하다. 관절식 베어링의 이러한 구성은 플레이트(1)에 대한 다운홀더 플레이트(10)의 변위를 허용하고, 다운홀더의 설치 중에 기판의 기판 장소에 대한 다운홀더 웨브(12)의 정확한 정렬과 조절을 허용하며, 실장 작업 중에 임의의 방향으로의 다운홀더 플레이트(10)의 경사와 따라서 기판에 대한 다운홀더 플레이트(10)의 조절을 허용하고, 여기에서 플레이트(1)에 대한 다운홀더 플레이트(10)의 구형 요홈(15)의 위치는 제1 공압 구동 장치의 피스톤(7) 또는 멤브레인(18)의 구형 돌출부(17)의 위치에 의해 사전결정되는 반면, 제2 공압 구동 장치의 피스톤(8) 또는 멤브레인(19)의 구형 돌출부(17)는 긴 요홈(16) 내에서 변위될 수 있으며, 따라서 플레이트(1)와 다운홀더 플레이트(10)의 열 유발 팽창을 보상할 수 있다.The driving elements of the pneumatic drive, namely the pistons 7, 8 and the membranes 18, 19 comprise spherical protrusions 17, or components with spherical protrusions 17 are attached to the membranes 18, 19 do. The piston 7 of the first pneumatic actuation device or the spherical protrusion 17 of the membrane 18 is engaged in the spherical recess 15 of the downholder plate 10. The piston 7 of the first pneumatic drive or the spherical protrusion 17 of the membrane 18 and the spherical recess 15 of the downholder plate have the same radius. With this arrangement, the down-holder plate 10 can be inclined in any direction with respect to the plate 1, but can not be displaced. The piston 8 of the second pneumatic drive or the spherical protrusion 17 of the membrane 19 engages in the long groove 16 of the downholder plate 10. The radius of the piston 8 of the second pneumatic drive or of the spherical protrusion 17 of the membrane 19 is equal to the radius of the circular section of the middle section of the long groove 16 of the downholder plate 10. This configuration of the articulated bearing allows displacement of the downholder plate 10 relative to the plate 1 and allows precise alignment and adjustment of the downholder web 12 relative to the substrate location of the substrate during installation of the downholder , Permitting the adjustment of the downholder plate (10) relative to the substrate and hence the inclination of the downholder plate (10) in any direction during the mounting operation, wherein the sphere of the downholder plate (10) relative to the plate The position of the groove 15 is predetermined by the position of the piston 7 of the first pneumatic drive or the position of the spherical protrusion 17 of the membrane 18 while the position of the piston 8 or membrane 19 can be displaced in the long groove 16 and thus can compensate for the heat-induced expansion of the plate 1 and the down-holder plate 10.

플레이트(1)와 두 실린더(5, 6)는 일체형 구성을 가질 수 있거나, 또는 그것들은 실린더(5, 6)가 플레이트(1)에 변위가능하게 고정될 수 있도록 배치될 수 있다. 두 번째 경우에, 개구(3, 4)의 직경은 피스톤(7, 8)이 개구(3 또는 4)와 접촉함이 없이 실린더(5, 6)가 특정 범위 내에서 변위될 수 있을 정도로 크게 치수지어진다. 플레이트(1)에 대한 실린더(5, 6)의 고정은 예를 들어 각각 2개의 스크류(20)(도 1)에 의해 일어나며, 여기에서 실린더(5, 6)는 스크류(20)에 대해 변위가능하다. 이 실시 형태는 두 공압 구동 장치의 위치와 정렬이 간단한 방식으로 조절될 수 있는 이점을 제공한다.The plate 1 and the two cylinders 5 and 6 may have an integral configuration or they may be arranged such that the cylinders 5 and 6 are displaceably fixed to the plate 1. [ In the second case the diameter of the openings 3 and 4 is so large that the cylinders 5 and 6 can be displaced within a certain range without the pistons 7 and 8 contacting the openings 3 or 4 It is built. The fixation of the cylinders 5 and 6 to the plate 1 takes place for example by means of two screws 20 (Fig. 1), in which the cylinders 5 and 6 are displaceable relative to the screw 20 Do. This embodiment provides the advantage that the position and alignment of the two pneumatic drive devices can be adjusted in a simple manner.

멤브레인(18, 19)을 갖춘 실시 형태에서 공압 구동 장치의 압력 챔버가 압축 가스를 공급받으면, 멤브레인(18, 19)이 탄성적으로 변형되며, 따라서 돌출부(17)가 편향된다(하향으로). 압력 챔버가 배기되면, 리턴 스프링(14)에 의해 플레이트(1)의 저면을 향해 끌어당겨지는 다운홀더 플레이트(10)가 돌출부(17)에 가압되며, 따라서 멤브레인(18, 19)이 반대 방향으로 변형된다. 이 경우에 실린더(5, 6)의 높이는 유리하게는 멤브레인(18, 19)이 실린더 커버 상에 놓이도록 치수지어진다.In the embodiment with the membranes 18 and 19, when the pressure chamber of the pneumatic actuator is supplied with compressed gas, the membranes 18 and 19 are elastically deformed and thus the protrusions 17 are deflected (downward). When the pressure chamber is evacuated, the downholder plate 10 pulled by the return spring 14 toward the bottom of the plate 1 is pressed against the projection 17, so that the membranes 18, . In this case, the height of the cylinders 5, 6 is advantageously dimensioned such that the membranes 18, 19 rest on the cylinder cover.

피스톤(7, 8)과 멤브레인(18, 19)은 두 위치, 즉 압력 챔버가 압축 가스를 공급받지 않을 때의 후퇴 위치(retracted position)와 압력 챔버가 압축 가스를 공급받을 때의 신장 위치(extended position)를 취할 수 있다.The pistons 7 and 8 and the membranes 18 and 19 have two positions: a retracted position when the pressure chamber is not supplied with compressed gas and a retracted position when the pressure chamber is supplied with compressed gas position.

압축 가스의 공급이 종료될 때 피스톤(7, 8) 또는 멤브레인(18, 19)이 그것들의 후퇴 위치로 복귀되는지를 검사하기 위해, 두 공압 구동 장치와 센서(미도시)로 이어지는 제2 압력 라인(21)이 제공된다. 작동 중에, 가스가 저압으로 제2 압력 라인(21)에 영구적으로 또는 압력 챔버에 대한 압축 가스의 공급의 종료시 공급된다. 일단 피스톤(7, 8) 또는 멤브레인(18, 19)이 후퇴 위치로 복귀되면, 피스톤(7, 8) 또는 멤브레인(18, 19)이 관련 제2 압력 라인(21)의 단부를 폐쇄하며, 따라서 압력 라인(21) 내의 압력이 상승하고, 가스 유동이 중단된다. 피스톤(7, 8) 또는 멤브레인(18, 19)이 그것들의 후퇴 위치로 복구되지 않으면, 압력 라인(21)을 통해 공급된 가스가 제1 압력 라인(9)을 통해 그리고/또는 선택적으로 피스톤(7, 8)과 관련 실린더(5 또는 6) 사이의 갭을 통해 유동하고, 압력이 상승하지 않는다. 센서는 예를 들어 압력 라인(21) 내의 압력을 모니터하는 압력 센서, 또는 가스 유동을 모니터하는 유량 센서이다.In order to check whether the piston 7, 8 or the membranes 18, 19 return to their retracted position when the supply of compressed gas is terminated, a second pressure line (not shown) (21) is provided. During operation, the gas is supplied to the second pressure line 21 at low pressure permanently or at the end of the supply of compressed gas to the pressure chamber. Once the pistons 7, 8 or the membranes 18, 19 are returned to the retracted position, the pistons 7, 8 or the membranes 18, 19 close the ends of the associated second pressure lines 21, The pressure in the pressure line 21 rises, and gas flow is stopped. If the pistons 7, 8 or the membranes 18, 19 are not restored to their retracted position, the gas supplied via the pressure line 21 flows through the first pressure line 9 and / 7, 8 and the associated cylinder 5 or 6, and the pressure does not rise. The sensor is, for example, a pressure sensor for monitoring the pressure in the pressure line 21, or a flow sensor for monitoring the gas flow.

본 발명의 실시 형태 및 응용이 도시되고 기술되었지만, 본 명세서의 발명의 개념으로부터 벗어남이 없이 위에 언급된 것보다 많은 변경이 가능함이 본 개시의 이익을 취하는 당업자에게 명백할 것이다. 따라서, 본 발명은 첨부 특허청구범위 및 그 등가물의 사상을 제외하고는 제한되도록 의도되지 않는다.While the embodiments and applications of the present invention have been shown and described, it will be apparent to those skilled in the art that many more modifications than mentioned above may be made without departing from the concept of the present invention. Accordingly, the invention is not intended to be limited except as by the appended claims and their equivalents.

1: 플레이트 2: 중심 개구
3, 4: 추가 개구 5, 6: 실린더
7, 8: 피스톤 9: 제1 압력 라인
10: 다운홀더 플레이트 11: 개구
12: 다운홀더 웨브 13: 스크류
14: 리턴 스프링 15: 구형 요홈
16: 긴 요홈 17: 구형 돌출부
18, 19: 멤브레인 21: 제2 압력 라인1: Plate 2: Center opening
3, 4: additional opening 5, 6: cylinder
7, 8: Piston 9: First pressure line
10: down holder plate 11: opening
12: down holder web 13: screw
14: return spring 15: spherical groove
16: long groove 17: spherical protrusion
18, 19: Membrane 21: Second pressure line

Claims (9)

기판의 기판 장소를 누르기 위한 다운홀더로서,
중심 개구(2)와 중심 개구(2)에 인접하여 양측에 배치되는 2개의 추가 개구(3, 4)를 갖춘 플레이트(1);
개구(11)와 개구(11)에서 저면 상에 배치되는 다운홀더 웨브(12)를 갖춘 다운홀더 플레이트(10)로서, 다운홀더 플레이트(10)는 관절식으로 그리고 플레이트(1)의 저면 상에서 다운홀더 플레이트(10)의 개구(11)가 플레이트(1)의 중심 개구(2)와 정렬되도록 장착되는, 상기 다운홀더 플레이트(10);
제1 및 제2 공압 구동 장치로서, 제1 및 제2 공압 구동 장치 각각은 실린더(5, 6)와 구동 요소를 포함하고, 상기 실린더(5, 6)와 구동 요소 사이에 압력 챔버가 형성되며, 제1 구동 장치의 실린더(5)는 제1 추가 개구(3) 위에서 플레이트(1)의 상면 상에 고정되고, 제2 구동 장치의 실린더(6)는 제2 추가 개구(4) 위에서 플레이트(1)의 상면 상에 고정되는, 상기 제1 및 제2 공압 구동 장치; 및
두 공압 구동 장치의 압력 챔버에 압축 가스를 공급하기 위한 제1 압력 라인(9)
을 포함하는 것을 특징으로 하는 다운홀더.A down holder for pressing a substrate location of a substrate,
A plate (1) with a central opening (2) and two additional openings (3, 4) arranged on both sides adjacent to the central opening (2);
Holder plate 10 with downholder web 12 disposed on the bottom surface at opening 11 and opening 11 has a downward holder plate 10 articulated and down on the bottom surface of plate 1 The down holder plate (10) being mounted such that the opening (11) of the holder plate (10) is aligned with the central opening (2) of the plate (1);
In the first and second pneumatic actuation devices, each of the first and second pneumatic actuation devices includes a cylinder (5, 6) and a drive element, and a pressure chamber is formed between the cylinder (5, 6) and the drive element The cylinder 5 of the first driving device is fixed on the upper surface of the plate 1 above the first additional opening 3 and the cylinder 6 of the second driving device is fixed on the plate 5 1), the first and second pneumatic drive devices being fixed on an upper surface of the first pneumatic drive device; And
A first pressure line (9) for supplying compressed gas to the pressure chambers of the two pneumatic actuators,
And a lower holder. 제1항에 있어서,
제1 공압 구동 장치의 구동 요소는 다운홀더 플레이트(10)의 구형 요홈(15) 내에 맞물리는 구형 돌출부(17)를 포함하고, 제2 공압 구동 장치의 구동 요소는 원형 단면을 갖는 중간 섹션을 포함하는, 다운홀더 플레이트(10)의 긴 요홈(16) 내에 맞물리는 구형 돌출부(17)를 포함하며, 제1 공압 구동 장치의 구동 요소의 구형 돌출부(17)와 다운홀더 플레이트(10)의 구형 요홈(15)은 동일한 반경을 갖고, 제2 공압 구동 장치의 구동 요소의 구형 돌출부(17)의 반경은 다운홀더 플레이트(10)의 긴 요홈(16)의 중간 섹션의 단면의 반경과 동일한 것을 특징으로 하는 다운홀더.The method according to claim 1,
The drive element of the first pneumatic drive device comprises a spherical protrusion (17) engaging in the spherical recess (15) of the downholder plate (10), and the drive element of the second pneumatic drive device comprises an intermediate section The spherical protrusion 17 of the driving element of the first pneumatic driving device and the spherical protrusion 17 of the downholder plate 10, (15) has the same radius and the radius of the spherical projection (17) of the driving element of the second pneumatic driving device is equal to the radius of the cross section of the middle section of the long groove (16) of the downholder plate Down holders. 제1항에 있어서,
공압 구동 장치의 구동 요소는 피스톤(7, 8)인 것을 특징으로 하는 다운홀더.The method according to claim 1,
Characterized in that the driving element of the pneumatic driving device is a piston (7, 8). 제2항에 있어서,
공압 구동 장치의 구동 요소는 피스톤(7, 8)인 것을 특징으로 하는 다운홀더.3. The method of claim 2,
Characterized in that the driving element of the pneumatic driving device is a piston (7, 8). 제1항에 있어서,
공압 구동 장치의 구동 요소는 멤브레인(18, 19)인 것을 특징으로 하는 다운홀더.The method according to claim 1,
Characterized in that the drive element of the pneumatic drive is a membrane (18, 19). 제2항에 있어서,
공압 구동 장치의 구동 요소는 멤브레인(18, 19)인 것을 특징으로 하는 다운홀더.3. The method of claim 2,
Characterized in that the drive element of the pneumatic drive is a membrane (18, 19). 제4항에 있어서,
작동 중에, 압축 가스의 공급이 종료될 때 각각 피스톤(7, 8) 또는 멤브레인(18, 19)이 후퇴 위치로 복귀되는지를 검사할 수 있도록, 두 공압 구동 장치의 압력 챔버에 가스를 공급하기 위한 제2 압력 라인(21)과 제2 압력 라인(21) 내의 압력 또는 가스 유동을 모니터하기 위한 센서를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 다운홀더.5. The method of claim 4,
In order to be able to inspect whether the pistons 7, 8 or the membranes 18, 19 return to the retracted position, respectively, when the supply of the compressed gas is terminated during operation, Further comprising a sensor for monitoring the pressure or gas flow in the second pressure line (21) and the second pressure line (21). 제6항에 있어서,
작동 중에, 압축 가스의 공급이 종료될 때 각각 피스톤(7, 8) 또는 멤브레인(18, 19)이 후퇴 위치로 복귀되는지를 검사할 수 있도록, 두 공압 구동 장치의 압력 챔버에 가스를 공급하기 위한 제2 압력 라인(21)과 제2 압력 라인(21) 내의 압력 또는 가스 유동을 모니터하기 위한 센서를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 다운홀더.The method according to claim 6,
In order to be able to inspect whether the pistons 7, 8 or the membranes 18, 19 return to the retracted position, respectively, when the supply of the compressed gas is terminated during operation, Further comprising a sensor for monitoring the pressure or gas flow in the second pressure line (21) and the second pressure line (21). 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
플레이트(1)의 상면 상에 배치되는 리턴 스프링(14)을 통해 그리고 플레이트(1) 내의 나사형성되지 않은 보어홀을 통해 안내되고 다운홀더 플레이트(10) 내에 스크류 체결되는 스크류(13)에 의해 플레이트(1)의 저면에 대한 다운홀더 플레이트(10)의 지지가 수행되고, 리턴 스프링(14)은 스크류(13)가 다운홀더 플레이트(10)를 플레이트(1)의 저면을 향해 끌어당기도록 사전인장되는 것을 특징으로 하는 다운홀더.9. The method according to any one of claims 1 to 8,
Is guided through a return spring 14 disposed on the upper surface of the plate 1 and through a non-threaded bore hole in the plate 1 and is screwed into the down holder plate 10, The support of the down holder plate 10 against the bottom surface of the plate 1 is carried out and the return spring 14 is moved in a direction in which the screw 13 pulls the down holder plate 10 towards the bottom of the plate 1, Down holder.
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