KR20150057382A - eFuse OTP Memory device with Differnetial Paired - Google Patents
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Abstract
본 발명은 차동 쌍 구조의 이퓨즈 OTP 메모리 장치에 관한 것이다. 본 발명은 하나 이상의 OTP 메모리 셀로 이루어진 셀 어레이; 및 읽기 모드에서 읽기 신호에 따라 상기 OTP 메모리 셀에 제공된 프로그램 데이터가 출력될 때, 상기 읽기 신호에 글리치 펄스(glitch pulse)가 발생하면 이후 읽기 모드는 미 수행되게 하는 IRD 제어 회로를 포함하며, 이때 IRD 제어회로는 읽기 신호가 하이 상태가 되면 현재 수행되는 읽기 모드가 계속 수행되게 하여 글리치 펄스 등의 잡음에 강인한 파워 IC 칩을 제공할 수 있도록 한다. 또한, 본 발명은 이-퓨즈 OTP 메모리 장치에서 비트라인 BL에 대한 센싱 동작이 완료될 때, 읽기 모드용으로 제공되는 제2 NMOS와 제4 NMOS가 오프(off) 되게 함으로써, 이퓨즈 링크가 EM 현상에 의해 블로우잉(blowing) 되는 것을 방지한다. The present invention relates to a differential pair structure eFuse OTP memory device. The present invention provides a cell array comprising at least one OTP memory cell; And an IRD control circuit for, when a program pulse supplied to the OTP memory cell is output in accordance with a read signal in a read mode, a glitch pulse is generated in the read signal, The IRD control circuit enables the currently performed read mode to be continuously performed when the read signal is in a high state, thereby providing a power IC chip resistant to noise such as a glitch pulse. Further, when the sensing operation for the bit line BL is completed in the e-fuse OTP memory device, the second NMOS and the fourth NMOS provided for the read mode are turned off, Thereby preventing blowing by the development.
Description
본 발명은 OTP 메모리 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 파워 IC 칩의 파워 온(on) 시간 동안 읽기 신호(RD) 포트에서 발생하는 글리치 펄스(glitch pulse)에 대한 잡음 면역성을 강하시키고, 아울러 이퓨즈 링크가 일렉트로 마이그레이션(EM; Electro Migration) 현상에 의해 블로우잉(blowing) 되는 것을 방지하도록 한 차동 쌍 구조의 이-퓨즈 OTP 메모리 장치에 관한 것이다. . The present invention relates to an OTP memory device, and more particularly, to an OTP memory device that reduces a noise immunity to a glitch pulse generated in a read signal (RD) port during a power on time of a power IC chip, Fuse OTP memory device in which a fuse link is prevented from being blown by electromigration (EM) phenomenon. .
파워 IC 칩은 아날로그 트리밍 기능을 수행하기 위해 소용량의 비휘발성 메모리를 필요로 한다. 비휘발성 메모리는 이피롬(EPROM), 이이피롬(EEPROM), 플래시 메모리와 같은 소자가 있다. 그러나 이들 비휘발성 메모리는 긴 공정 시간(Turn-Around Time:TAT), 복잡도의 증가, 낮은 신뢰성 및 높은 제조 비용을 유발하는 부가적인 공정을 필요로 한다. The power IC chip requires a small amount of nonvolatile memory to perform the analog trimming function. Non-volatile memories include devices such as EPROM, EEPROM, and flash memory. However, these non-volatile memories require additional processes that result in longer turn-around times (TAT), increased complexity, lower reliability and higher manufacturing costs.
따라서 추가 공정이 필요 없는 이퓨즈(eFuse)나 안티퓨즈(anti-Fuse) 방식의 로직 공정 기반 설계가 가능한 OTP (One-Time Programmable) 메모리 장치가 많이 사용되고 있다. 근래에는 그 중 이퓨즈 방식의 OTP 메모리 장치가 많이 사용된다. Therefore, OTP (One-Time Programmable) memory devices capable of designing an eFuse or an anti-Fuse logic process that does not require an additional process are widely used. Recently, an e-fuse type OTP memory device is widely used.
이퓨즈 OTP 메모리 장치의 메모리 용량은 수십 비트 이하가 요구된다. 그리고 프로그램은 이퓨즈에 10mA ~ 20mA 정도의 과전류를 흘려 일렉트로 마이그레이션(EM) 현상과 열적 파열(thermal rupture)과 같은 방식으로 이퓨즈 링크를 블로잉(blowing) 하여 수행하고 있다. 이때 이퓨즈는 프로그램 이전 저항이 50 ~ 100Ω 정도이고, 이퓨즈 링크를 통해 프로그램 과전류가 흐르면서 데이터가 프로그램될 경우 이퓨즈는 수십 ㏀이상이 된다. The memory capacity of the fuse OTP memory device is required to be several tens of bits or less. The program is performed by blowing the fuse link in the same manner as the electromigration (EM) phenomenon and the thermal rupture by flowing an overcurrent of about 10 mA to 20 mA to the fuse. In this case, the fuse has a pre-program resistance of about 50 to 100 Ω, and when the data is programmed with program overcurrent flowing through the fuse link, the fuse is more than several tens of kΩ.
한편, 상기한 이퓨즈 OTP 메모리 장치가 장착된 파워 IC 칩은 파워- 업(Power-up) 동작시 외부 전원전압이 소정 이상(예컨대, 약 1.7V 이상)이 되면 리셋(RST : Reset) 신호를 하이 상태에서 로우 상태로 스위칭하게 된다. 그렇게 되면 상기 파워 IC 칩은 이퓨즈 OTP 메모리 장치에 저장된 프로그램 데이터를 읽어내어 아날로그 회로에 대한 트리밍(trimming) 동작을 수행한다. Meanwhile, when the external power supply voltage is higher than a predetermined level (for example, about 1.7 V or more) during a power-up operation, the power IC chip on which the eFuse memory device is mounted has a reset (RST) The high state is switched to the low state. Then, the power IC chip reads the program data stored in the eFuse memory device and performs a trimming operation on the analog circuit.
하지만, 일반적인 이퓨즈 OTP 메모리 장치가 장착된 파워 IC 칩은 다음과 같은 문제점이 있다. However, a power IC chip equipped with a common e-fuse OTP memory device has the following problems.
먼저, 파워 IC 칩은 큰 스위칭 전류로 인하여 파워(power)나 그라운드 잡음 등의 이유로 인하여 읽기(RD) 신호에 원하지 않은 글리치 펄스(glitch pulse)가 불필요하게 발생하고 있다. 상기 글리치 펄스가 발생하면, 파워 IC 칩은 읽기 모드를 정상적으로 수행할 수 없는 문제가 초래된다. 이는 파워 IC 칩이 이퓨즈 OTP 메모리 장치의 메모리 셀에 저장된 프로그램 데이터를 정상적으로 읽어내지 못하게 됨을 의미한다. 따라서 파워 IC 칩은 불량 데이터(failed data)를 출력할 수밖에 없고, 아날로그 회로에 대하여 목적하는 트리밍 동작을 수행할 수 없게 된다. 그렇기 때문에 파워 IC 칩의 동작 신뢰성을 향상시키기 위해 글리치 펄스와 같은 잡음 면역성이 강한 이퓨즈 OTP 메모리 장치가 필요하였다. First, due to a large switching current, a power IC chip generates unnecessary glitch pulses in a read signal (RD) due to reasons such as power or ground noise. When the glitch pulse is generated, the power IC chip can not normally perform the read mode. This means that the power IC chip can not normally read the program data stored in the memory cell of the eFuse memory device. Therefore, the power IC chip is forced to output the failed data, and the desired trimming operation can not be performed on the analog circuit. Therefore, in order to improve the operation reliability of the power IC chip, a high noise immunity-sensitive eFuse OTP memory device such as a glitch pulse was required.
또한 이퓨즈 OTP 메모리 장치에 제공된 읽기 모드용 트랜지스터의 경우, 종종 수십 ㎂의 DC 전류가 흐름으로써 EM 현상에 의해 이퓨즈 링크가 원하지 않게 끊어지는 문제가 발생한다. 이렇게 되면 출력 데이터의 오류를 초래한다.Also, in the case of a transistor for a read mode provided in the fuse OTP memory device, a DC current of several tens of microamperes often flows, which causes undesirable breakdown of the fuse link by EM phenomenon. This results in errors in the output data.
또한, 파워 IC 칩은 패키징(packaging) 된 이후에 내부 회로에서 전기적인 특성 변화가 발생할 수도 있다. 이 경우 파워 IC 칩은 성능 저하나 정상적인 동작이 어렵게 된다. 그렇기 때문에 파워 IC 칩이 패키징 된 이후에도 데이터를 프로그램할 수 있어야 한다. Further, after the power IC chip is packaged, an electrical characteristic change may occur in an internal circuit. In this case, the performance of the power IC chip becomes poor, and normal operation becomes difficult. Therefore, the data must be programmable even after the power IC chip is packaged.
따라서 본 발명의 목적은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 파워 IC 칩의 읽기 모드시 읽기 신호에서 발생하는 글리치 펄스에 대한 잡음 면역성이 강한 차동 쌍 구조의 이퓨즈 OTP 메모리 장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a differential pair type eFuse memory device having a strong noise immunity to a glitch pulse generated in a read signal in a read mode of a power IC chip.
본 발명의 다른 목적은 이퓨즈 링크가 EM 현상에 의해 블로우잉되는 것을 방지하기 위한 것이다. Another object of the present invention is to prevent the fuse link from being blown by the EM phenomenon.
본 발명의 다른 목적은 파워 IC 칩이 패키징 된 상태에서도 데이터를 프로그램할 수 있도록 하는 것이다.Another object of the present invention is to enable data to be programmed even when the power IC chip is packaged.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 하나 이상의 OTP 메모리 셀로 이루어진 셀 어레이; 및 읽기 모드에서 읽기 신호에 따라 상기 OTP 메모리 셀에 제공된 프로그램 데이터가 출력될 때, 상기 읽기 신호에 글리치 펄스(glitch pulse)가 발생하면 이후 읽기 모드는 미 수행되게 하는 IRD 제어 회로를 포함하는 차동 쌍 구조의 이퓨즈 OTP 메모리 장치를 제공한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a semiconductor memory device including: a cell array including at least one OTP memory cell; And an IRD control circuit for, when a program pulse supplied to the OTP memory cell is output in accordance with a read signal in a read mode, a read mode is not performed when a glitch pulse is generated in the read signal, Lt; RTI ID = 0.0 > OTP < / RTI > memory device.
상기 IRD 제어회로는, 상기 읽기 신호가 하이 상태가 되면 현재 수행되는 읽기 모드가 계속 수행되도록 IRD 신호를 출력한다.The IRD control circuit outputs an IRD signal so that the current read mode is continuously performed when the read signal is in a high state.
상기 읽기 신호가 로우 상태가 되더라도 상기 IRD 신호는 하이 상태를 계속 유지하여 상기 읽기 신호에 의해 출력되는 데이터가 그대로 유지되게 한다. Even if the read signal goes low, the IRD signal keeps the high state so that the data output by the read signal remains unchanged.
상기 IRD 신호가 로우 상태에서 하이 상태가 되면 상기 읽기 모드가 수행되고, 상기 읽기 모드는 IC 칩의 파워(power)가 다운될 때까지 계속 수행된다.When the IRD signal changes from a low state to a high state, the read mode is performed, and the read mode continues until the power of the IC chip is down.
상기 IC 칩은 상기 이퓨즈 OTP 메모리 장치를 포함한다. The IC chip includes the eFuse OTP memory device.
상기 IRD 제어회로는, 읽기(RD) 신호를 인가받는 제1 인버터; 상기 제1 인버터의 출력과 제1 NAND의 출력을 인가받는 제2 NAND; 상기 제2 NAND의 출력과 IRSTb 신호를 인가받는 제3 NAND; 상기 제3 NAND의 출력과 제2 인버터를 통해 반전된 읽기(RD) 신호를 인가받고 IRD 신호를 출력하는 제4 NAND;를 포함하고, 상기 제1 NAND 게이트는 상기 IRSTb 신호와 상기 제2 NAND 게이트의 출력을 인가받고 논리 연산된 신호를 상기 제2 NAND 게이트의 입력 신호로 인가하도록 구성된다. The IRD control circuit includes: a first inverter receiving a read (RD) signal; A second NAND receiving an output of the first inverter and an output of the first NAND; A third NAND receiving an output of the second NAND and an IRSTb signal; And a fourth NAND for receiving an output of the third NAND and a read (RD) signal inverted through a second inverter and outputting an IRD signal, wherein the first NAND gate receives the IRSTb signal and the second NAND gate And apply a logic-computed signal to the input signal of the second NAND gate.
본 발명의 이퓨즈 OTP 메모리 장치는, 직렬로 연결되는 제1 NMOS 및 제2 NMOS; 상기 제1 NMOS와 제2 NMOS의 접속 노드에 연결된 제1 이퓨즈; 직렬로 연결되는 제3 NMOS 및 제4 NMOS; 상기 제3 NMOS와 제4 NMOS의 접속 노드에 연결된 제2 이퓨즈; 상기 제2 NMOS 및 제4 NMOS의 게이트에 연결되는 읽기 워드 라인(RWL); 및 가변 풀-업 부하 회로에 의하여 비트라인(BL)(BLb)의 전압이 풀-업 된 경우 상기 비트라인 BL과 BLb의 차동 전압을 센싱하는 감지 증폭기를 더 포함하고, 상기 비트라인 BL에 대한 센싱 동작이 완료될 때, 상기 제2 NMOS와 제4 NMOS는 오프(off) 됨을 특징으로 한다. The eFuse memory device of the present invention includes a first NMOS and a second NMOS connected in series; A first eFuse connected to the connection node of the first NMOS and the second NMOS; A third NMOS and a fourth NMOS connected in series; A second eFuse connected to the connection node of the third NMOS and the fourth NMOS; A read word line (RWL) coupled to the gates of the second NMOS and the fourth NMOS; And a sense amplifier sensing a differential voltage between the bit line BL and the bit line BLb when the voltage of the bit line BL (BLb) is pulled up by the variable pull-up load circuit, When the sensing operation is completed, the second NMOS and the fourth NMOS are turned off.
상기 제2 NMOS와 상기 제4 NMOS가 오프(off) 되면, DC 전류가 차단된다. When the second NMOS and the fourth NMOS are turned off, the DC current is cut off.
상기 DC 전류 차단은 워드 라인(WL)에 펄스를 인가하는 구동방식이 이용된다.In the DC current cutoff, a driving method of applying a pulse to the word line WL is used.
상기 가변 풀-업 부하 회로는 센싱 마진 테스트를 수행하며, 프로그램 검증 읽기 모드와 읽기 모드에서 사용되는 비트라인(Bit Line) 프리차지 회로의 풀-업 부하의 임피던스를 가변시킨다.The variable pull-up load circuit performs a sensing margin test and varies the impedance of the full-up load of the bit line pre-charge circuit used in the program verify read mode and the read mode.
이와 같은 본 발명의 차동 쌍 구조의 이퓨즈 OTP 메모리 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다. According to the eIFT memory device of the differential pair structure of the present invention, the following effects can be obtained.
먼저 이퓨즈 OTP 메모리 장치에 글리치 펄스 등과 같은 잡음에 강한 IRD 제어회로를 제공하고 있다. IRD 제어회로는 읽기 모드에서 읽기 신호에 글리치 펄스가 발생할 경우 읽기 모드로 다시 진입하지 못하도록 막아주는 역할을 수행함으로써 한번 읽은 데이터는 그대로 유지되게 하는바, 글리치 펄스 등의 잡음에 강인한 파워 IC 칩을 제공할 수 있다. First, the fuse OTP memory device provides a noise-resistant IRD control circuit such as a glitch pulse. The IRD control circuit prevents the read mode from entering again when a glitch pulse is generated in the read signal in the read mode. Thus, the read data remains unchanged, and a power IC chip resistant to noise such as a glitch pulse is provided can do.
또한 이퓨즈 링크가 EM 현상에 의해 블로우잉 되는 것을 방지할 수 있어 이퓨즈 OTP 메모리 장치의 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.Further, it is possible to prevent the fuse link from being blown by the EM phenomenon, thereby improving the reliability of the fuse OTP memory device.
그리고 파워 IC 칩이 패키징 된 상태에서도 데이터의 프로그램이 가능하기 때문에, 파워 IC 칩의 전기적인 특성 변화에 대한 대처가 가능한 효과도 기대할 수 있다.Since the data can be programmed even in the state where the power IC chip is packaged, the effect of coping with the change in the electrical characteristics of the power IC chip can be expected.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 이퓨즈(eFuse) OTP 메모리 장치의 블록 구성도
도 2는 도 1의 셀 어레이(140)를 구성하는 단위 메모리 셀인 차동 쌍 이퓨즈 셀을 보인 회로 구성도
도 3은 도 1의 셀 어레이를 구성하는 1행×8열의 셀 어레이 회로도
도 4a 및 도 4b는 도 1의 이퓨즈 OTP 메모리 장치가 프로그램 모드 및 읽기 모드에서 동작하는 타이밍 다이어그램
도 5는 도 1에 도시된 셀 어레이에서 프로그램된 이퓨즈 저항의 변동을 고려하여 센싱 마진 테스트를 수행하기 위한 가변 풀-업 부하 회로 구성도
도 6a 및 도 6b는 비트라인 BL과 BLb의 차동 전압을 감지하여 출력하는 회로 구성도
도 7은 도 1에 도시된 비교부의 회로 구성도
도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 이퓨즈 OTP 메모리 장치가 프로그램 검증 읽기 모드로 동작할 때의 타이밍 다이어그램
도 9는 본 발명의 실시 예에 따라 이퓨즈 OTP 메모리 장치에 제공된 IRD 제어회로 구성도
도 10은 본 발명의 이퓨즈 OTP 메모리 장치의 제어 타이밍 다이어그램
도 11은 본 발명의 이퓨즈 OTP 메모리 장치에 제공된 SL 스위칭 회로 구성도
도 12는 본 발명의 실시 예에 따른 프로그램 검증 읽기 모드의 실험 결과로서, (a)는 '1'로 프로그램된 경우, (b)는 '0'으로 프로그램된 경우의 실험 결과 그래프
도 13은 본 발명에 따라 8비트 이퓨즈 OTP 메모리장치의 레이아웃을 보인 이미지 도면1 is a block diagram of an eFuse OTP memory device according to an embodiment of the present invention;
Fig. 2 is a circuit diagram showing a fuse cell in which a differential pair, which is a unit memory cell constituting the
Fig. 3 is a circuit diagram of a cell array of 1 row x 8 columns constituting the cell array of Fig. 1
Figures 4A and 4B are timing diagrams in which the eFuse OTP memory device of Figure 1 operates in a program mode and a read mode
FIG. 5 is a diagram showing a variable pull-up load circuit configuration for performing a sensing margin test in consideration of fluctuations of the eFuse resistance programmed in the cell array shown in FIG.
6A and 6B are circuit diagrams for sensing and outputting a differential voltage between the bit lines BL and BLb
Fig. 7 is a circuit diagram of the comparator shown in Fig.
8 is a timing diagram when the eFuse OTP memory device according to the embodiment of the present invention operates in the program verification read mode
9 is an IRD control circuit configuration diagram provided in an eFuse OTP memory device in accordance with an embodiment of the present invention.
10 is a control timing diagram of the eFuse OTP memory device of the present invention
11 is a block diagram of the SL switching circuit provided in the eFuse memory device of the present invention
12 is an experimental result of the program verification read mode according to the embodiment of the present invention. In FIG. 12, (a) shows a case where the program is programmed as '1'
Figure 13 is an image plot showing the layout of an 8-bit eFuse OTP memory device in accordance with the present invention;
이하 본 발명에 의한 차동 쌍 구조의 이-퓨즈 OTP 메모리 장치의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of an e-fuse OTP memory device of a differential pair structure according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 차동 쌍 구조의 이퓨즈 OTP 메모리 장치(이하, '이퓨즈 OTP 메모리 장치'라 함)는 TSMC 0.18㎛ 공정을 이용하여 설계한 8-비트 이퓨즈 OTP 메모리 장치를 말하며, 이러한 이퓨즈 OTP 메모리 장치의 전체 구성도는 도 1을 참조한다. The e-fuse OTP memory device (hereinafter referred to as e-fuse OTP memory device) of the differential pair structure of the present invention refers to an 8-bit fuse OTP memory device designed using a TSMC 0.18 mu m process, The overall configuration of the memory device is shown in Fig.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 이퓨즈 OTP 메모리 장치의 블록 구성도이다. 1 is a block diagram of an eFuse memory device according to an embodiment of the present invention.
도 1에 도시된 바와 같이 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)는 제어신호에 따른 동작 모드에 적합한 내부 제어신호(control signal)를 공급하는 제어 로직부(110)를 구비한다. 여기서, 상기 동작 모드는 읽기 모드, 프로그램 모드, 프로그램 검증 읽기 모드, 및 리셋 모드로 구분할 수 있다. 그리고 상기 제어신호는 읽기(RD: read) 신호, 프로그램 (PGM: Program) 신호, 프로그램 검증 읽기 인에이블(PVR_EN : Program-verify-read_Enable) 신호, 및 리셋(RST) 신호로 구분된다. 동작모드와 제어신호는 각각 대응된다. 한편, 상기 PVR_EN 신호는 프로그램 검증 읽기 (program-verify-read) 모드와 읽기(read) 모드를 구분하는 역할을 한다. 프로그램 검증 읽기 모드는 프로그램된 이퓨즈의 저항 변동을 고려하여 가변 풀-업 부하를 이용한 센싱 마진 테스트를 수행하는 동작과, 프로그램된 데이터와 이퓨즈 OTP 메모리 셀에 저장된 데이터를 비교하는 동작을 함께 수행한다. 읽기 모드는 프로그램을 리드하는 노말(normal) 리드 모드를 말한다.As shown in FIG. 1, the fuse
이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)는 어드레스 신호(ADD[2:0])를 디코딩하여 프로그램되는 열(column)을 선택하는 프로그램 컬럼 선택부(PGM_COL_SEL)(120)와, 프로그램 컬럼 선택부(120)에 의해 선택된 메모리 셀에 프로그램된 데이터를 저장하는 프로그램 데이터 래치부(PD latch)(130)를 구비한다. 프로그램 데이터 래치부(130)는 프로그램 모드에서 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)를 프로그램하는데 사용하는 프로그램 입력 데이터(DIN)를 래치하는 역할을 한다. The fuse
또한 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)에는 상기 동작 모드에 따라 이퓨즈를 프로그램하거나 프로그램된 데이터를 읽는 동작을 수행하도록 OTP 셀 어레이(이하, '셀 어레이'라고 하기도 함)(140)가 구비된다. 실시 예에서는 셀 어레이(140)는 1행 × 8열로 구성되며, 이퓨즈 링크의 센싱 저항이 작은 차동 쌍 이퓨즈 OTP 셀(differential paired eFuse OTP cell: 이하, '메모리 셀'이라고 하기도 함)을 사용하였다. 그리고 이퓨즈에 사용되는 링크(즉, 이퓨즈 링크)는 'n-poly silicon' 또는 'Co-silicide'을 사용한다. 이와 같은 셀 어레이(140)를 구성하는 메모리 셀에 대해서는 도 2를 참조하여 아래에서 상세하게 설명할 것이다. Also, the fuse
또한 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)에는 제어 로직부(110)의 제어동작에 따라 셀 어레이(140)로부터 데이터를 제공받는 데이터 출력 버퍼부(160)가 구비된다. 그리고 데이터 출력 버퍼부(160)는 데이터를 출력 포트([7:0])(DOUT/DOUTb)를 통해 출력하거나 프로그램 검증 읽기 모드를 위해 사용된다. The fuse
또한 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)에는 비교부(170)가 구비된다. 비교부(170)는 프로그램 데이터 래치부(130)의 프로그램 데이터(PD[7:0])와 데이터 출력 버퍼부(160)에 저장된 읽기 데이터(DOUT[7:0])가 서로 일치하는지 비교하는 역할을 한다. 상기 비교 결과, 비교부(170)는 PFb(pass fail bar) 핀을 통해 '1' 또는 '0' 신호를 선택적으로 출력하게 된다. 신호 '1'은 8-비트가 모두 일치하여 정상적으로 프로그램된 경우에 출력되는 신호이고, 신호 '0'은 8- 비트 중 적어도 하나의 비트가 일치하지 않아 정상적으로 프로그램이 되지 않았을 때 출력되는 신호이다. 이와 같은 과정은 프로그램 검증 읽기 모드에서 수행된다. Also, the fuse
이어서는 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)의 특징에 대해 살펴본다.Next, the characteristics of the eFuse
이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)는 1-비트의 프로그램 비트와 8-비트의 읽기 비트를 사용한다. 그리고 메모리 셀(141, 도 2)에 데이터를 프로그램하는 프로그램 시간은 200㎲ 이다. 또한 사용되는 전원전압 VDD은 단일 전원이 사용된다. VDD 전압은 프로그램 모드에서는 이퓨즈 링크에 충분한 프로그램 파워(power)를 공급하기 위하여 3.9V가 사용되고, 읽기 모드에서는 3.0 ~ 3.6V가 사용된다. 또한 3.3V MOS 트랜지스터만 사용하여 제조공정에서의 마스크(Mask) 개수를 줄였다.The fuse
위에서 설명한 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)의 주요 특징을 표 1로 나타내면 다음과 같다. Main features of the
동작모드
Operation mode
(Program -Verify -Read mode)Program verification read mode
(Program-Verify-Read mode)
다음에는 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)에 적용되는 메모리 셀(141)의 구성을 도 2를 참조하여 살펴본다. 도 2는 도 1의 셀 어레이(140)를 구성하는 단위 메모리 셀인 차동 쌍 이퓨즈 셀을 보인 회로 구성도이다. Next, the configuration of the
도 2에 도시된 바와 같이 메모리 셀(141)은 총 4개의 MOS 트랜지스터 및 2개의 이퓨즈 소자로 구성되며 서로 대칭되는 구조이다. As shown in FIG. 2, the
구체적으로 보면 메모리 셀(141)은 프로그램 데이터를 저장하는 제1 데이터저장부(142) 및 상보적(complementary) 프로그램 데이터를 저장하는 제2 데이터저장부(144)로 구분된다. Specifically, the
제1 데이터저장부(142)는 제1 NMOS(MN1)와 제2 NMOS(MN2)가 직렬 연결되는 구성이며, 연결되는 노드 N1에 제1 이퓨즈(eFuse 1)가 연결된다. 제1 NMOS(MN1)는 게이트 단자를 통해 비트라인(BL)의 선택을 위한 'PGM_BL_SEL' 신호를 인가받고 소스 단자에는 접지전압(Vss) 라인이 연결된다. 그리고 제2 NMOS(MN2)는 게이트 단자에 읽기 워드 라인(RWL : read word line)이 연결되고, 드레인 단자에 비트 라인(BL)이 연결된다. The first
제2 데이터저장부(144)는 제1 데이터저장부(142)를 구성하는 동일한 소자가 제공되며 서로 대칭되어 구성된다. 즉 제3 NMOS(MN3)와 제4 NMOS(MN4)는 직렬 연결된다. 그리고 연결되는 노드 N2에 제2 이퓨즈(eFuse 2)가 연결된다. 또한 제3 NMOS(MN3)는 게이트 단자를 통해 프로그램 비트라인(BLb) 선택을 위한 'PGM_BLb_SEL' 신호를 인가받고 소스 단자에는 접지전압(Vss) 라인이 연결된다. 그리고 제4 NMOS(MN4)는 게이트 단자에 읽기 워드 라인(RWL : read word line)이 연결되고, 드레인 단자에 비트 라인(BLb)이 연결된다. The second
여기서, 제1 NMOS(MN1) 및 제3 NMOS(MN3)는 큰 프로그램 전류를 흐를 수 있는 프로그램 트랜지스터로 사용되고, 제2 NMOS 트랜지스터(MN2) 및 제4 NMOS 트랜지스터(MN4)는 읽기 모드 시의 전류를 줄일 수 있는 읽기 전용 트랜지스터로 사용된다. The first NMOS transistor MN1 and the third NMOS transistor MN3 are used as program transistors capable of flowing a large program current and the second NMOS transistor MN2 and the fourth NMOS transistor MN4 are used as a program transistor It is used as a read-only transistor that can be reduced.
또한 제1 이퓨즈(eFuse 1) 및 제2 이퓨즈(eFuse 2)가 연결되는 노드 N3에 선택라인(SL)이 연결된다. 선택라인(니은 동작모드에 따라 서로 다른 전압을 인가하는 스위칭 전원의 역할을 한다. 즉, 프로그램 모드에서는 3.9V의 프로그램 전압을 인가하여 이퓨즈 링크에 과전류를 흘려주고, 읽기 모드, 프로그램 검증 읽기 모드 및 리셋 모드에서는 0V를 인가하게 된다. A selection line SL is connected to a node N3 to which the first eFuse 1 and the
한편, 메모리 셀(141)의 제 1 내지 제 4 NMOS(MN1)(MN2)(MN3)(MN4)는 '0' 또는 '1'의 프로그램 데이터에 따라 서로 다른 상태를 갖는다. Meanwhile, the first to fourth NMOSs MN1, MN2, MN3, and MN4 of the
즉 프로그램 데이터가 '1'인 경우를 먼저 설명한다. 이때는 PGM_BL_SEL 신호 및 PGM_BLb_SEL 신호는 각각 3.9V 및 0V로 인가된다. 따라서 제1 이퓨즈(eFuse 1)와 제1 NMOS(MN1)를 통해 과전류가 흐르면서 제1 이퓨즈(eFuse 1)는 블로잉(blowing) 상태가 된다. 상기 블로잉은 이퓨즈 링크가 오픈(open)된 상태를 말하며, 이 경우 저항은 수십 ㏀이 되어 프로그램을 할 수 없는 상태가 된다.그리고 제3 NMOS(MN3)는 오프(off) 상태이기 때문에 제2 이퓨즈(eFuse 2)는 블로잉(blowing) 되지 않는다. That is, the case where the program data is '1' will be described first. At this time, the PGM_BL_SEL signal and the PGM_BLb_SEL signal are applied at 3.9 V and 0 V, respectively. Accordingly, the first eFuse 1 becomes a blowing state due to the overcurrent flowing through the first eFuse 1 and the first NMOS MN1. Since the third NMOS MN3 is in the off state, the second NMOS transistor MN2 is turned off. Therefore, the second NMOS transistor MN3 is turned off, The
반면, 프로그램 데이터가 '0'인 경우이다. 이때는 반대로 제1 NMOS(MN1)는 오프 상태, 제3 NMOS(MN2)는 온(on) 상태를 갖는다. 따라서 제2 이퓨즈(eFuse 2)만 블로잉(blowing) 상태가 되고, 제1 이퓨즈(eFuse 1)는 블로잉(blowing) 되지 않는다. On the other hand, the program data is '0'. In this case, on the contrary, the first NMOS MN1 has an off state and the third NMOS MN2 has an on state. Therefore, only the
그리고 메모리 셀(141)은 프로그램 모드와 읽기 모드시에 서로 다른 셀 바이어스 조건을 제공한다. 프로그램 모드와 읽기 모드에 따른 셀 바이어스 전압은 [표 2]에 나타내고 있다. And the
도 3은 도 1의 셀 어레이를 구성하는 1행×8열의 셀 어레이 회로도이다. 3 is a circuit diagram of a 1-row by 8-column cell array constituting the cell array of FIG.
이를 보면 도 2에 도시한 메모리 셀이 1행×8열로 배치되어 구성됨을 알 수 있다. 물론 도면에서는 메모리 셀의 일부를 생략한 채, 2개의 메모리 셀만 도시하였다. It can be seen that the memory cells shown in FIG. 2 are arranged in one row by eight columns. Of course, only two memory cells are illustrated with a portion of the memory cell omitted.
그리고 셀 어레이는 읽기 워드 라인(RWL)과 선택 라인(SL)은 행(row) 방향이며, BL[7:0], BLb[7:0], PGM_BL_SEL[7:0]과 PGM_BLb_SEL[7:0]은 열(column) 방향으로 라우팅된다. In the cell array, the read word line RWL and the select line SL are in the row direction, and BL [7: 0], BLb [7: 0], PGM_BL_SEL [7: 0] and PGM_BLb_SEL [7: 0] ] Are routed in the column direction.
이어서는 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)의 동작 타이밍을 살펴보기로 한다. The operation timing of the fuse
도 4a 및 도 4b는 도 1의 이퓨즈 OTP 메모리 장치가 프로그램 모드 및 읽기 모드에서 동작하는 타이밍 다이어그램을 나타낸다. Figures 4A and 4B show timing diagrams in which the eFuse OTP memory device of Figure 1 operates in a program mode and a read mode.
도 4a의 프로그램 모드를 보면, 먼저 어드레스 신호 A[2:0]와 입력 데이터(DIN)가 인가되면(a, b 시점), 프로그램 신호가 c 시점에서 하이 상태로 활성화된다. 그러면 제어 로직부(110)는 프로그램 컬럼 선택부(120)에 의해 선택된 메모리 셀에 1 비트의 입력 데이터를 프로그램하게 된다. 4A, when the address signal A [2: 0] and the input data DIN are applied (at time points a and b), the program signal is activated from the point c to the high state. Then, the
프로그램은 프로그램 시간인 tPGM 동안 수행된다. 프로그램이 완료되면, 어드레스 신호 A[2:0]와 입력 데이터(DIN)는 로우 상태가 된다. The program is run during the program time t PGM . When the program is completed, the address signal A [2: 0] and the input data DIN become low.
도 4b는 읽기 모드 시의 타이밍 다이어그램이다. 읽기 모드는 읽기 신호(RD) 신호가 하이 상태로 활성화 되면(a 시점), 제어 로직부(110)는 셀 어레이(140)를 구성하는 8개의 메모리 셀에 저장된 8비트 데이터를 액세스 시간 파라미터인 tAC 시간이 지난 b 시점에 데이터 출력 버퍼부(160)를 통해 출력시킨다. 4B is a timing diagram in the read mode. In the read mode, when the read signal RD is activated to a high state (a time point), the
한편, 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)는 프로그램 검증 읽기 모드와 읽기 모드에서 프로그램된 이퓨즈 링크의 센싱 능력이 있어야 한다. 즉, 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)는 데이터 보존 시간동안 프로그램된 이퓨즈 링크의 저항이 줄어들기 때문에, 이 경우에도 센싱 불량이 발생하지 않도록 해야 한다. 이를 위해서 본 발명은 가변 풀-업 부하를 이용한 센싱 마진 테스트 기능을 제공한다. 이는 도 5를 참조한다. On the other hand, the fuse
도 5는 도 1에 도시된 셀 어레이에서 프로그램된 이퓨즈 저항의 변동을 고려하여 센싱 마진 테스트를 수행하기 위한 가변 풀-업 부하 회로 구성도이다. FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration of a variable pull-up load circuit for performing a sensing margin test in consideration of fluctuations of an eFuse resistance programmed in the cell array shown in FIG.
도 5에 도시된 바와 같이, 가변 풀-업 부하회로(150)는 PMOS 소자로 구성되며 BL_LOADb 신호를 인가받는 읽기 모드용 제1 및 제2 풀-업 부하 트랜지스터(MP1)(MP2)와, PMOS 소자로 구성되며 TM_BL_LOADb 신호를 인가받는 프로그램 검증 읽기용 제3 및 제4 풀-업 부하 트랜지스터(MP3)(MP4)를 포함한다. 그리고 제1 및 제3 풀-업 부하 트랜지스터(MP1)(MP3)는 비트라인(BL)과 연결되며, 제2 및 제4 풀-업 부하트랜지스터(MP2)(MP4)는 비트라인(BLb)과 연결된다. 이와 같은 제1 내지 제4 풀-업 트랜지스터(MP1)(MP2)(MP3)(MP4)는 모두 하이-임피던스(high-impendance)를 유지하도록 설계된다. As shown in FIG. 5, the variable pull-up
또한 가변 풀-업 부하회로(150)에는 BL 프리차지를 위한 BL_PCG 신호를 인가받는 NMOS용 제1 및 제2 트랜지스터(MN1)(MN2)가 포함되고 있다. Also, the variable pull-up
여기서 제1 트랜지스터(MN1)는 제1 및 제3 풀-업 부하 트랜지스터(MP1)(MP3)와 연결되고, 제2 트랜지스터(MN2)는 제2 및 제4 풀-업 부하 트랜지스터(MP2)(MP4)와 연결된다.The first transistor MN1 is connected to the first and third pull-up load transistors MP1 and MP3 and the second transistor MN2 is connected to the second and fourth pull-up load transistors MP2 and MP4 ).
이러한 구성의 가변 풀-업 부하회로(150)는 메모리 셀(141)의 읽기 워드 라인(RWL) 신호가 전원전압(VDD)으로 활성화되면 BL_LOADb 신호가 0V 구간 동안 제1 및 제2 풀-업 부하 트랜지스터(MP1)(MP2)에 의해 비트라인(BL, BLb)는 전원전압(VDD)로 풀-업된다. 이때 제3 및 제4 풀-업 부하 트랜지스터(MP3)(MP4)는 오프 상태가 된다. The variable full-up
그리고 제1 내지 제4 풀-업 트랜지스터(MP1)(MP2)(MP3)(MP4)의 임피던스는 크기 때문에, 프로그램되지 않은 이퓨즈에 연결된 비트라인(BL)은 접지전압(VSS)을 유지하고, 반면 프로그램된 이퓨즈에 연결된 비트라인(BL)은 전원전압(VDD)으로 풀-업 된다. 만약 프로그램되지 않은 메모리 셀(141)을 읽는 경우 비트라인(BL)의 프리차지 전압인 전원전압(VDD)은 도 2에 도시된 제2 NMOS(MN2) 및 제4 NMOS(MN4)와 제1 이퓨즈(eFuse 1) 및 제2 이퓨즈(eFuse 2)를 통해 그라운드(GND)로 방전된다.Since the impedances of the first through fourth pull-up transistors MP1, MP2, MP3 and MP4 are large, the bit line BL connected to the un-programmed eFUSE maintains the ground voltage VSS, On the other hand, the bit line BL connected to the programmed eFuse is pulled up to the power supply voltage VDD. If the
한편 제3 및 제4 풀-업 부하 트랜지스터(MP3)(MP4)는 OTP IP의 테스트 동안에만 사용되며, 이때 제1 및 제2 풀-업 부하 트랜지스터(MP1)(MP2)는 오프 상태이다. On the other hand, the third and fourth pull-up load transistors MP3 (MP4) are used only during the test of the OTP IP, in which the first and second pull-up load transistors MP1 and MP2 are off.
따라서 제3 및 제4 풀-업 부하 트랜지스터(MP3)(MP4)는 제1 및 제2 풀-업 부하 트랜지스터(MP1)(MP2)의 임피던스보다 크다. 이 때문에, 프로그램 검증 읽기 모드에서의 차동 전압은 읽기 모드의 차동 전압보다 줄어들며, 센싱 가능한 이퓨즈 저항은 읽기 모드보다 커야한다. Therefore, the third and fourth pull-up load transistors MP3 (MP4) are larger than the impedances of the first and second pull-up load transistors MP1 and MP2. For this reason, the differential voltage in the program verify read mode is less than the differential voltage in the read mode, and the eFuse resistance that can be sensed must be greater than the read mode.
결국 센싱 가능한 이퓨즈 저항의 차이 값이 생기며, 이러한 저항 차이 값이 데이터 보존 시간 동안의 마진(margin) 저항이 된다. 상기 마진 저항을 통해 프로그램된 이퓨즈 링크의 저항 변동에 대한 마진 테스트를 수행할 수가 있는 것이다.As a result, a difference value of the fuse resistance that can be sensed is generated, and this resistance difference value becomes a margin resistance during the data retention time. The margin test for the resistance variation of the eFuse link programmed through the margin resistor can be performed.
다음에는 비트라인 BL과 BLb의 차동 전압을 감지하여 출력하는 회로를 도 6a 및 도 6b를 참조하여 설명한다. Next, a circuit for sensing and outputting a differential voltage between the bit lines BL and BLb will be described with reference to FIGS. 6A and 6B.
도 6에는 도 5에 도시된 가변 풀-업 부하 회로에 의하여 비트라인(BL)(BLb)의 전압이 풀-업된 경우 그 비트라인인 BL과 BLb의 차동 전압(Differential voltage)을 감지하는 BL 감지 증폭기(BL S/A, BL Sense Amplifier)의 회로 구성도가 도시되어 있다. 6, when the voltage of the bit line BL (BLb) is pulled up by the variable pull-up load circuit shown in FIG. 5, the BL sense amplifier detects differential voltage between the bit lines BL and BLb A circuit diagram of an amplifier (BL S / A, BL Sense Amplifier) is shown.
BL S/A(161)는 BL과 BLb의 차동전압(differential voltage)을 센싱하는 S/A 기반의 D 플립플롭 회로로서 'negative edge triggered D F/F'를 사용하고 있다. 아울러 센싱된 차동 전압을 래치하도록 SR 래치 회로가 함께 구비된다.BL S /
이와 같은 BS S/A(161)는 SAENb가 하이(high) 구간 동안에는 노드 N1과 N2는 접지전압(VSS)를 유지한다. 그리고 SR 래치 회로는 이전 상태의 데이터를 래치한다. 그러다가 상기 SAENb가 로우(low) 상태가 되면 비트라인 BL과 BLb의 차동 전압(differential voltage)을 센싱하고 이를 데이터 출력포트인 DOUT와 DOUTb를 통해 출력하는 역할을 한다. During the high period of SAENb, the BS S /
이때, 도 6a는 리셋 모드에서 DOUT를 '0'으로 리셋하고, 도 6b는 리셋 모드에서 DOUT를 '1'로 리셋한다. At this time, FIG. 6A resets DOUT to '0' in the reset mode, and FIG. 6B resets DOUT to '1' in the reset mode.
이처럼 BL 감지 증폭기(161)는 데이터 출력 버퍼부(160)의 기능을 수행하는 것이다. 즉 데이터 출력 버퍼부(160)가 BL 감지 증폭기(161)의 전부 또는 일부 기능을 수행한다고 할 수 있다. The
한편, 본 발명은 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)의 메모리 셀에 데이터가 정상적으로 프로그램되었는지 여부를 확인할 수 있는 기능도 제공한다. 이는 도 7 및 도 8을 참조하기로 한다. The present invention also provides a function of checking whether or not data is normally programmed in a memory cell of the fuse
도 7은 도 1에 도시된 비교부의 회로 구성도이고, 도 8은 본 발명의 실시 예에 따른 이퓨즈 OTP 메모리 장치가 프로그램 검증 읽기 모드로 동작할 때의 타이밍 다이어그램이다. FIG. 7 is a circuit diagram of the comparison unit shown in FIG. 1, and FIG. 8 is a timing diagram when the eFuse memory device according to the embodiment of the present invention operates in the program verification read mode.
동적 의사 NMOS(Dynamic pseudo NMOS) 로직 회로를 이용하는 비교부(170) 동작은 다음과 같다. The operation of the
프로그램 모드 이후 데이터 비교를 위한 인에이블 신호(COMP_EN)가 하이 상태로 활성화되면 프로그램 검증 읽기 모드가 수행된다. After the program mode, the program verify read mode is performed when the enable signal COMP_EN for data comparison is activated to a high state.
프로그램 검증 읽기 모드에 따라 읽기 신호와 PVR_EN 신호는 모두 하이(high) 상태가 되고, 소정의 액세스 시간(tAC) 동안 비교부(170)는 프로그램 데이터 래치부(130)에 래치된 프로그램 데이터(PD[7:0])와 데이터 출력 버퍼부(160)에 저장된 읽기 데이터(DOUT[7:0])가 서로 일치하는지 비교한다. The read signal and the PVR_EN signal are all in a high state in accordance with the program verify read mode and during a predetermined access time t AC the
그리고, 상기 액세스 시간(tAC)이 지난 이후 PFb 핀을 통해 비교결과를 출력한다. 비교 결과는 프로그램 데이터(PD[7:0])와 읽기 데이터(DOUT[7:0])가 모두 일치한 경우에는 매치(Match) 신호는 전원 전압(VDD)를 유지하면서 PFb 핀을 통해 전원전압(VDD)을 출력한다. 반면 프로그램 데이터(PD[23:0])와 읽기 데이터(DOUT[23:0]) 중 적어도 한 비트 이상이 상이하면 매치 신호는 0V로 방전되고 PFb는 0V를 출력한다. Then, the comparison result is output through the PFb pin after the access time (t AC ) has elapsed. When the program data PD [7: 0] and the read data DOUT [7: 0] match, the match signal maintains the power supply voltage VDD, (VDD). On the other hand, if at least one bit of the program data PD [23: 0] and the read data DOUT [23: 0] is different, the match signal is discharged to 0V and PFb outputs 0V.
따라서 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)는 패키징 된 상태에서도 데이터가 메모리 셀(141)에 정상적으로 프로그램되었는지를 테스트할 수 있다. Therefore, the fuse
한편, 이-퓨즈 OTP 메모리 장치(100)가 제공되는 파워 IC 칩은 큰 스위칭 전류로 인한 파워(power)나 그라운드(ground) 잡음 등으로 인하여 읽기 신호에 불필요한 글리치 펄스가 발생할 수 있고, 이로 인해 아날로그 회로를 정상적으로 트리밍 할 수 없음은 앞서 설명한 바 있다. On the other hand, a power IC chip provided with the e-fuse
따라서 본 발명은 읽기 모드에서 읽은 프로그램 데이터를 계속 유지할 수 있도록 하는 잡음 면역성이 강한 이-퓨즈 OTP 메모리 장치를 제공한다. 이를 위해 이-퓨즈 OTP 메모리 장치(100)에는 IRD(Internal Read Data) 제어회로(180)가 제공된다. Therefore, the present invention provides an e-fuse OTP memory device having a high noise immunity that can keep the program data read in the read mode. To this end, the e-fuse
IRD 제어회로(180)는 도 9를 참조한다.
도 9에 도시된 바와 같이 IRD 제어회로(180)는, 읽기 신호를 인가받는 제1 인버터와, 제1 인버터의 출력과 제1 NAND의 출력을 인가받는 제2 NAND와, 제2 NAND의 출력과 IRSTb 신호를 인가받는 제3 NAND와, 제3 NAND와 제2 인버터를 통해 반전된 읽기 신호를 인가받고 IRD 신호를 출력하는 제4 NAND를 포함한다. 이때, 제1 NAND는 IRSTb 신호와 상기 제2 NAND의 출력을 인가받아 논리 연산하고 그 출력을 상기 제2 NAND의 입력 신호로 인가하게 된다. 9, the
이렇게 구성된 IRD 제어회로(180)는, 읽기 신호에 글리치 펄스(glitch pulse)가 발생하더라도 파워(power)가 다운될 때까지 다시 읽기 모드로 진입하지 못하도록 막아주는 역할을 한다. 즉, IRD 신호는 읽기 신호가 하이 상태에서 로우 상태가 되더라도 계속 하이 상태를 유지함으로써, 다시 읽기 모드가 수행되지 않게 하는 것이다. The
한편, 본 발명은 이퓨즈 링크가 EM(Electro-Migration) 현상에 의해 강제로 블로우잉 되는 것을 방지하여 신뢰성을 개선하고 있다. On the other hand, the present invention prevents forcible blowing of the fuse link by EM (Electro-Migration) phenomenon, thereby improving reliability.
이는 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)의 제어 타이밍 다이어그램을 설명한 도 10을 참조하여 설명한다. This will be described with reference to FIG. 10, which illustrates a control timing diagram of the fuse
도 10을 보면, 읽기 신호가 하이 상태가 되면 IRD 신호도 하이 상태로 스위칭 동작하면서 읽기 모드로 진입한다. 그러면 RWL 신호에 의해 메모리 셀(141)의 데이터는 BL 및 BLb로 전달되고 BL 감지 증폭기(161)의 SAENb 신호에 의해 차동 입력을 센싱하는 동작이 수행된다. Referring to FIG. 10, when the read signal is in the high state, the IRD signal also switches to the high state and enters the read mode. Then, the data of the
그리고 워드 라인(WL)에 펄스를 인가하는 방식(즉, pulsed WL 구동방식)을 이용하여 비트 라인(BL)에 대한 센싱 동작이 완료되는 순간, 도 2에서 읽기 워드 라인(RWL)과 연결된 제2 및 제4 NMOS(MN2)(MN4)를 오프 시킨다. The sensing operation for the bit line BL is completed using a method of applying a pulse to the word line WL (i.e., a pulsed WL driving method) And the fourth NMOS MN2 (MN4) are turned off.
그러면 상기 제2 및 제4 NMOS(MN2)(MN4)를 통해 흐르는 DC 전류가 차단되기 때문에 이-퓨즈 OTP 메모리 장치(100)의 고신뢰성을 확보할 수 있게 된다. Since the DC current flowing through the second and fourth NMOSs MN2 and MN4 is interrupted, the reliability of the e-fuse
이렇게 함으로써, 종래 EM(Electro-Migration) 현상으로 인하여 이퓨즈 링크가 원하지 않게 끊어지게 되는 문제를 방지할 수 있게 된다. 즉 종래에는 읽기 워드 라인(RWL) 신호가 계속 하이 상태를 유지할 경우, 도 2에 도시한 상기 제2 및 제4 NMOS(MN2)(MN4)와, 도 5에 도시한 제1 및 제3 풀-업 부하 트랜지스터(MP1)(MP3)가 항상 온(on) 상태를 유지하기 때문에 이퓨즈 링크를 통해 수십 ㎂의 DC 전류가 계속 흘러 이퓨즈 링크가 원하지 않게 끊어졌고, 이처럼 이퓨즈 링크가 EM 현상으로 끊어지면, 이는 결국 'Low'로 읽혀져야 할 정보가 'High'로 읽혀지는 오류가 발생했던 것이다. 이때, 이퓨즈 링크가 프로그램되어 끊어진 상태를 'High', 그렇지 않은 상태를 'Low'로 한다.By doing so, it is possible to prevent the problem that the fuse link is unintentionally disconnected due to the conventional EM (Electro-Migration) phenomenon. That is, when the read word line (RWL) signal is kept in a high state in the past, the second and fourth NMOSs MN2 and MN4 shown in FIG. 2 and the first and third pull- Since the up-load transistor (MP1) (MP3) is always on, the DC link of several tens of microamperes continues to flow through the fuse link and the e-fuse link is undesirably broken, If it is broken, it is an error that the information to be read as 'Low' is read as 'High'. At this time, the fuse link is programmed to be in the disconnected state as 'High', and the state not to be disconnected as 'Low'.
한편 본 발명은 파워 IC 칩이 패키징 된 상태에서 전기적인 특성 변화가 발생할 수도 있다. 그래서 파워 IC 칩이 패키징 상태에서도 메모리 셀에 데이터를 프로그램할 수 있는 기능도 제공한다.Meanwhile, the present invention may cause a change in electrical characteristics in a state where the power IC chip is packaged. Thus, the power IC chip also provides the ability to program data into the memory cell even in the packaging state.
데이터 프로그램은, 단일전원인 VDD를 사용하며 프로그램 모드에서 수행된다. 즉 프로그램 모드가 수행되면, 프로그램 데이터는 도 2의 제1 및 제3 NMOS (MN1)(MN3)의 게이트 단자에 공급되고 스위칭 전원인 선택 라인(SL)를 통해 프로그램 전압(즉 3.9v)이 공급된다. 물론, 프로그램 모드가 아니고 읽기 모드가 되면 상기 선택라인(SL)의 스위칭 전압은 0v를 유지할 것이다. The data program uses VDD, which is a single power source, and is performed in the program mode. That is, when the program mode is performed, the program data is supplied to the gate terminals of the first and third NMOSs MN1 and MN3 of FIG. 2 and the program voltage (i.e., 3.9v) is supplied through the selection line SL, do. Of course, when the mode is not a program mode but a read mode, the switching voltage of the selection line SL will maintain 0V.
이처럼 프로그램 전압이 공급되면 이퓨즈 링크는 블로우잉되며, 그 결과 이퓨즈 링크에 데이터를 다시 프로그램하는 것이 가능해진다. When the program voltage is supplied in this way, the fuse link is blown, and as a result, it becomes possible to reprogram the data to the fuse link.
여기서, 상기 프로그램 모드가 수행될 때 전원전압(VDD)과 접지전압(VSS) 상호 간의 스위칭 전류로 인하여 발생하는 전압 강하를 줄이기 위한 요구가 필요하다. 그래서 도 11에 도시한 SL 스위칭회로를 사용할 수 있다. Here, there is a need to reduce the voltage drop caused by the switching current between the power supply voltage (VDD) and the ground voltage (VSS) when the program mode is performed. Thus, the SL switching circuit shown in Fig. 11 can be used.
도 11에 도시한 SL 스위칭 회로(190)의 구성을 살펴보면, 우선 전원전압(VDD)과 접지전원(VSS) 사이에 PMOS와 NMOS가 직렬 연결된다. 그리고 PMOS와 NMOS 사이의 노드는 선택라인(SL)에 연결된다. Referring to the configuration of the
또한 PMOS의 게이트에는 제1 NAND 및 제1 내지 제6 인버터가 직렬 연결되고, NMOS의 게이트에는 제2 NAND 및 제1-1 내지 제5-1 인버터가 직렬 연결된다. 여기서, 제1 NAND는 제1 신호와 상기 제4-1 인버터의 출력신호를 입력으로 받고, 제2 NAND는 제2 신호와 제4 인버터의 출력신호를 입력으로 받는다. 제2 신호는 제1 신호가 인버터를 통해 출력되는 신호이다. The first NAND and the first to sixth inverters are connected in series to the gate of the PMOS, and the second NAND and the 1-1 to 5-1 inverters are serially connected to the gate of the NMOS. Here, the first NAND receives the first signal and the output signal of the fourth inverter, and the second NAND receives the second signal and the output signal of the fourth inverter as inputs. The second signal is the signal through which the first signal is output via the inverter.
이렇게 하면, 전원전압(VDD)과 접지전압(VSS) 사이에서 발생하는 전압강하를 줄일 수 있다. By doing so, the voltage drop occurring between the power supply voltage VDD and the ground voltage VSS can be reduced.
이어서는 본 실시 예인 이퓨즈 OTP 메모리 장치에서 프로그램된 이퓨즈 링크의 센싱 저항에 대한 실험 결과를 알아보기로 한다. Next, an experimental result of the sensing resistance of the eFuse link programmed in the eFuse OTP memory device of the present embodiment will be described.
실험에 사용된 본 발명의 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)는 TSMC 0.18㎛ 공정을 이용하여 8 비트로 설계하였다. 그리고 모의 실험 조건은 전원전압(VDD)= 3.6V, FF 모델 파라미터, -40℃이다.The fuse
실험 결과는 다음의 표 3 및 표 4에 나타냈다. 표 3은 읽기 모드에서 프로그램된 이퓨즈 링크의 센싱 저항에 대한 실험 결과이고, 표 4는 프로그램 검증 읽기 모드에서 프로그램된 이퓨즈 링크의 센싱 저항에 대한 실험 결과이다.The experimental results are shown in Tables 3 and 4 below. Table 3 shows the experimental results of the sensing resistance of the eFuse link programmed in the read mode. Table 4 shows the experimental results of the sensing resistance of the eFuse link programmed in the program verify reading mode.
3.0v
3.0v
3.3v
3.3v
3.6v
3.6v
3.0v
3.0v
3.3v
3.3v
3.6v
3.6v
이를 보면, 읽기 모드의 센싱 저항은 2㏀이고, 프로그램 검증 읽기 모드의 센싱 저항은 15㏀로 나타났다. 이를 통해 본 발명의 이퓨즈 OTP 메모리 장치(100)는 프로그램된 이퓨즈 저항이 13㏀로 이하로 떨어지지 않는 이상 정상적으로 센싱이 가능함을 확인할 수 있었다.In this case, the sensing resistance of the read mode is 2 k ?, and the sensing resistance of the program verify reading mode is 15 k ?. As a result, it can be confirmed that the
도 12는 본 발명의 실시 예에 따른 프로그램 검증 읽기 모드의 실험 결과로서, 도 12a는 '1'로 프로그램된 경우, 도 12b는 '0'으로 프로그램된 경우이다.FIG. 12 shows experimental results of the program verification read mode according to the embodiment of the present invention. FIG. 12A shows a case where the program is programmed with '1' and FIG. 12B shows a case where the program is programmed with '0'.
이를 보면, 읽기 신호가 활성화되면 소정의 액세스 시간이 지난 후 출력 데이터가 출력된다.In this case, when the read signal is activated, output data is output after a predetermined access time.
그리고 이후에 비교를 위한 인에이블 신호가 활성화되면 비교부(170)의 PFb는 프로그램 데이터(PD[7:0])와 읽기 데이터(DOUT[7:0])를 비교하고 그 결과를 출력하고 있다. 비교 결과, 프로그램 데이터(PD[7:0])와 읽기 데이터(DOUT[7:0])가 일치하면 'PASS'를 출력하고 있고 반대로 일치하지 않는 경우에는 'FAIL'를 출력하고 있다. Then, when the enable signal for comparison is activated, the PFb of the
도 13은 본 발명에 따라 8비트 이퓨즈 OTP 메모리장치의 레이아웃을 보인 이미지 도면이다. 13 is an image diagram showing the layout of an 8-bit eFuse OTP memory device in accordance with the present invention.
레이 아웃 면적은 189.625㎛ × 138.850㎛으로, 0.0263㎟이다. The layout area is 189.625 占 퐉 占 138.850 占 퐉 and 0.0263 mm2.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 글리치 펄스 등의 잡음에 강인하고, 이퓨즈 링크가 EM 현상에 의해 강제적으로 블로우잉 되는 것을 방지하는 이퓨즈 OTP 메모리 장치를 제공하는 것을 기본적인 기술적 요지로 하고 있음을 알 수 있다. As described above, the present invention provides a fuse OTP memory device that is robust against noise such as a glitch pulse and prevents the fuse link from forcibly blowing due to EM phenomenon. .
이상과 같이 본 발명의 도시된 실시 예를 참고하여 설명하고 있으나, 이는 예시적인 것들에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진자라면 본 발명의 요지 및 범위에 벗어나지 않으면서도 다양한 변형, 변경 및 균등한 타 실시 예들이 가능하다는 것을 명백하게 알 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적인 사상에 의해 정해져야 할 것이다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It will be apparent that modifications, variations and equivalents of other embodiments are possible. Therefore, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.
100 : 이퓨즈 OTP 메모리 장치 110 : 제어 로직부
120 : 프로그램 컬럼 선택부 130 : 프로그램 데이터 래치부
140 : OTP 셀 어레이 141 : 메모리 셀
150 : 가변 풀-업 부하회로 160 : 데이터 출력 버퍼부
161 : BL 감지 증폭기 170 : 비교부
180 : IRD 제어회로 190 : SL 스위칭 회로100: E-fuse OTP memory device 110: Control logic part
120: program column selection unit 130: program data latch unit
140: OTP cell array 141: memory cell
150: variable pull-up load circuit 160: data output buffer unit
161: BL sense amplifier 170:
180: IRD control circuit 190: SL switching circuit
Claims (9)
읽기 모드에서 읽기 신호에 따라 상기 OTP 메모리 셀에 제공된 프로그램 데이터가 출력될 때, 상기 읽기 신호에 글리치 펄스(glitch pulse)가 발생하면 이후 읽기 모드는 미 수행되게 하는 IRD 제어 회로를 포함하는 차동 쌍 구조의 이퓨즈 OTP 메모리 장치. A cell array comprised of one or more OTP memory cells; And
A differential pair structure including an IRD control circuit for performing a read mode when a glitch pulse is generated in the read signal when the program data provided to the OTP memory cell is output in accordance with a read signal in a read mode, This fuse is an OTP memory device.
상기 IRD 제어회로는,
상기 읽기 신호가 하이 상태가 되면 현재 수행되는 읽기 모드가 계속 수행되도록 IRD 신호를 출력하는 차동 쌍 구조의 이퓨즈 OTP 메모리 장치. The method according to claim 1,
The IRD control circuit includes:
And outputs an IRD signal so that the current read mode is continuously performed when the read signal is in a high state.
상기 읽기 신호가 로우 상태가 되더라도 상기 IRD 신호는 하이 상태를 계속 유지하여 상기 읽기 신호에 의해 출력되는 데이터가 그대로 유지되게 하는 차동 쌍 구조의 이-퓨즈 OTP 메모리 장치.3. The method of claim 2,
Fuse OTP memory device having a differential pair structure in which the IRD signal maintains a high state even when the read signal goes to a low state, so that data output by the read signal remains intact.
상기 IRD 신호가 로우 상태에서 하이 상태가 되면 상기 읽기 모드가 수행되고, 상기 읽기 모드는 IC 칩의 파워(power)가 다운될 때까지 계속 수행되는 차동 쌍 구조의 이-퓨즈 OTP 메모리 장치.3. The method of claim 2,
Wherein the read mode is performed when the IRD signal goes high from a low state and the read mode is continuously performed until a power of the IC chip is down.
상기 IRD 제어회로는,
읽기(RD) 신호를 인가받는 제1 인버터;
상기 제1 인버터의 출력과 제1 NAND의 출력을 인가받는 제2 NAND;
상기 제2 NAND의 출력과 IRSTb 신호를 인가받는 제3 NAND;
상기 제3 NAND의 출력과 제2 인버터를 통해 반전된 읽기(RD) 신호를 인가받고 IRD 신호를 출력하는 제4 NAND;를 포함하고,
상기 제1 NAND 게이트는 상기 IRSTb 신호와 상기 제2 NAND 게이트의 출력을 인가받고 논리 연산된 신호를 상기 제2 NAND 게이트의 입력 신호로 인가하도록 구성되는 차동 쌍 구조의 이-퓨즈 OTP 메모리 장치.The method according to claim 1,
The IRD control circuit includes:
A first inverter receiving a read (RD) signal;
A second NAND receiving an output of the first inverter and an output of the first NAND;
A third NAND receiving an output of the second NAND and an IRSTb signal;
And a fourth NAND for receiving an output of the third NAND and a read (RD) signal inverted through the second inverter and outputting an IRD signal,
Wherein the first NAND gate is configured to receive the IRSTb signal and the output of the second NAND gate and to apply a logically computed signal to the input signal of the second NAND gate.
직렬로 연결되는 제1 NMOS 및 제2 NMOS;
상기 제1 NMOS와 제2 NMOS의 접속 노드에 연결된 제1 이퓨즈;
직렬로 연결되는 제3 NMOS 및 제4 NMOS;
상기 제3 NMOS와 제4 NMOS의 접속 노드에 연결된 제2 이퓨즈;
상기 제2 NMOS 및 제4 NMOS의 게이트에 연결되는 읽기 워드 라인(RWL); 및
가변 풀-업 부하 회로에 의하여 비트라인(BL)(BLb)의 전압이 풀-업 된 경우 상기 비트라인 BL과 BLb의 차동 전압을 센싱하는 감지 증폭기를 더 포함하고,
상기 비트라인 BL에 대한 센싱 동작이 완료될 때, 상기 제2 NMOS와 제4 NMOS는 오프(off) 되는 차동 쌍 구조의 이-퓨즈 OTP 메모리 장치.The method according to claim 1,
A first NMOS and a second NMOS connected in series;
A first eFuse connected to the connection node of the first NMOS and the second NMOS;
A third NMOS and a fourth NMOS connected in series;
A second eFuse connected to the connection node of the third NMOS and the fourth NMOS;
A read word line (RWL) coupled to the gates of the second NMOS and the fourth NMOS; And
Further comprising a sense amplifier sensing a differential voltage between the bit line BL and the bit line BLb when the voltage of the bit line BL (BLb) is pulled up by the variable pull-up load circuit,
And the second NMOS and the fourth NMOS are turned off when the sensing operation for the bit line BL is completed.
상기 제2 NMOS와 상기 제4 NMOS가 오프(off) 되면, DC 전류가 차단되는 차동 쌍 구조의 이-퓨즈 OTP 메모리 장치.The method according to claim 6,
Fuse OTP memory device having a differential pair structure in which a DC current is shut off when the second NMOS and the fourth NMOS are turned off.
상기 DC 전류 차단은 워드 라인(WL)에 펄스를 인가하는 구동방식이 이용되는 차동 쌍 구조의 이-퓨즈 OTP 메모리 장치.8. The method of claim 7,
Fuse OTP memory device of the differential pair structure in which the driving method of applying the pulse to the word line (WL) is used.
상기 가변 풀-업 부하 회로는 센싱 마진 테스트를 수행하며, 프로그램 검증 읽기 모드와 읽기 모드에서 사용되는 비트라인(Bit Line) 프리차지 회로의 풀-업 부하의 임피던스를 가변시키는 차동 쌍 구조의 이-퓨즈 OTP 메모리 장치.
The method according to claim 6,
The variable pull-up load circuit performs a sensing margin test, and the variable pull-up load circuit includes a differential pair structure in which a impedance of a full-up load of a bit line pre-charge circuit used in a program verify read mode and a read mode is varied, Fuse OTP memory device.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1020130140699A KR20150057382A (en) | 2013-11-19 | 2013-11-19 | eFuse OTP Memory device with Differnetial Paired |
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| KR20230171114A (en) * | 2022-06-13 | 2023-12-20 | 주식회사 키파운드리 | non-volatile memory device having a fuse type memory cell array |
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2013
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| US12230337B2 (en) | 2022-06-13 | 2025-02-18 | Sk Keyfoundry Inc. | Non-volatile memory device having a fuse type memory cell array |
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