KR20150032654A

KR20150032654A - 판상체의 휨 검사 장치 및 그 휨 검사 방법

Info

Publication number: KR20150032654A
Application number: KR20147018767A
Authority: KR
Inventors: 타다시 타카하시
Original assignee: 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤
Priority date: 2012-07-24
Filing date: 2013-07-22
Publication date: 2015-03-27
Anticipated expiration: 2033-07-22
Also published as: US9273953B2; US20150085300A1; CN104081154A; KR101989840B1; JP5907429B2; TW201409018A; CN104081154B; JP2014025710A; TWI586958B; WO2014017420A1

Abstract

유리 기판(2)을 대략 수평 자세로 반송하는 반송 장치(3)와, 유리 기판(2)의 표면까지의 거리를 측정하는 비접촉식 변위계(4)를 구비하고, 반송 장치(3)의 특성에 따라서 구해지는 유리 기판(2)의 표면 형상 변위의 반송 방향에 대한 이상적인 파형(X0)을 기준으로 해서 상한 파형(X1) 및 하한 파형(X2)을 미리 설정해 두고, 변위계(4)로 측정된 거리에 의거하여 얻어지는 반송 중에 있어서의 유리 기판(2)의 표면 형상 변위의 반송 방향(A)에 대한 실제 파형(X3, X4)이 상한 파형(X1)과 하한 파형(X2) 사이에 들어가 있는지의 여부를 판정한다.

Description

판상체의 휨 검사 장치 및 그 휨 검사 방법{APPARATUS FOR INSPECTING WARPAGE OF BOARD-LIKE BODY AND METHOD FOR INSPECTING WARPAGE OF BOARD-LIKE BODY}

본 발명은 판상체의 휨 검사 장치 및 그 휨 검사 방법에 관한 것이고, 자세하게는 대략 수평 자세로 유지된 판상체의 표면 형상 변위를 검사하기 위한 기술에 관한 것이다.

주지와 같이 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 필드 에미션 디스플레이(서페이스 에미션 디스플레이를 포함한다), 일렉트로 루미네선스 디스플레이, 및 유기 EL 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(이하, FPD라고 한다)에 사용되는 판유리나, 터치패널에 사용되는 강화 유리 등으로 대표되는 판상체는 표면 형상 변위(휨)에 대한 품질 요구가 엄격해지고 있는 것이 실정이다.

이 종의 판상체에 있어서의 휨의 측정은 종래에 있어서는 상기 판상체를 정지시킨 상태로 행해지는 것이 통례이고, 그러한 정지 상태에서의 측정 방법으로서는 여러 가지의 것이 제안되거나 또는 실용화가 도모되고 있다.

구체적으로는 특허문헌 1에 의하면, FPD용 유리 기판 등의 피측정 부재를 측정 스테이지(측정 베이스 석정반) 상에 적재하여 유지함과 아울러 피측정 부재의 표면 형상 변위를 비접촉으로 측정하는 복수의 에어 스캐너를 소정의 간격으로 설치하고, 이들 에어 스캐너를 XY축 방향으로 이동시키는 구동 기구를 구비한 구성이 개시되어 있다.

또한, 특허문헌 2에 의하면, 롤러 컨베이어 상을 반송되는 판상물을 상기 롤러 컨베이어의 소정 위치에서 정지시켜서 일정 시간 유지하는 유지 수단과, 그 소정 위치에서 판상물의 하방에 배치되어 승강할 수 있는 프레임과, 상기 프레임에 배치되어서 판상물의 복수 포인트의 높이 위치를 측정하는 다이얼 게이지 등의 높이 측정 수단을 구비한 구성이 개시되어 있다.

일본 특허 공개 2008-139268호 공보 일본 특허 공개 2003-28632호 공보

그렇지만, 상술한 특허문헌 1에 개시된 방법은 피측정 부재를 1매씩 측정 스테이지 상에 적재한 상태로 복수의 에어 스캐너에 의해 피측정 부재의 표면 형상 변위를 측정해야 한다. 그 때문에, 피측정 부재를 1매씩 측정 스테이지 상에 적재하기 위한 작업이 매우 번잡하고 또한 번거로워짐과 아울러 그 적재 작업을 행하기 위한 장치를 별도 구비할 필요가 있어 장치의 복잡화가 우려된다. 게다가, 이러한 방법으로 생산 후에 있어서의 모든 유리판 등의 피측정 부재를 측정하고 있던 것은 측정에 필요한 시간에 낭비가 발생하여 대폭적인 생산 효율의 저하를 초래한다.

또한, 상술한 특허문헌 2에 개시되어 있는 방법은 반송 중의 판상물을 소정 위치에서 정지시키고, 다이얼 게이지 등을 프레임에 의해 상승시킨 후가 아니면 그 판상물의 표면 형상 변위를 측정할 수 없다. 그 때문에, 프레임을 소정의 타이밍으로 상승시키는 기구 등이 필요하게 되어 장치의 복잡화를 부득이하게 하게 된다. 게다가, 이러한 방법에 따라서 해도, 상기와 마찬가지로 생산 후에 있어서의 모든 유리판 등의 피측정 부재를 측정하려고 하면, 측정을 위해 낭비되는 시간을 필요로 하게 되어 대폭적인 생산 효율의 저하를 초래한다.

본 발명은 상기 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 판상체의 휨 검사를 행할 경우에 있어서의 표면 형상 변위의 측정에 필요한 장치의 간략화 및 그것에 필요한 시간의 단축을 도모하고, 생산 효율을 대폭 향상시키는 것을 기술적 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 의한 판상체의 검사 장치는 판상체를 대략 수평 자세로 반송하는 반송 장치와, 상기 판상체의 표면까지의 거리를 측정하는 비접촉식 변위계를 구비하고, 상기 반송 장치의 특성에 따라서 구해지는 판상체의 표면 형상 변위의 반송 방향에 대한 이상적인 파형을 기준으로 해서 상한 파형 및 하한 파형을 미리 설정해 두고, 상기 변위계로 측정된 거리에 의거하여 얻어지는 반송 중에 있어서의 판상체의 표면 형상 변위의 반송 방향에 대한 실제 파형이 상기 상한 파형과 하한 파형 사이에 들어가 있는지의 여부를 판정하도록 구성한 것을 특징으로 한다. 여기에서, 상기 「대략 수평 자세」란 수평면에 완전히 부합하는 자세를 포함시키고, 수평면에 대하여 예를 들면 10°이내로 경사진 자세도 포함한다(이하, 마찬가지임). 또한, 상기 「파형」이란 연속한 곡선으로 이루어지는 파형에 한정되는 것은 아니고, 플롯한 점의 집합으로 이루어지는 파형도 포함한다(이하, 마찬가지임).

이러한 구성에 의하면, 반송 장치에 의해 판상체가 반송되어 있을 시에 비접촉식 변위계에 의해 상기 판상체의 표면 형상 변위가 측정되는 것이 되므로 판상체를 정반상에 적재하거나, 또는 판상체를 반송 도중에 정지시켜서 변위계를 승강시키게 하거나 할 필요가 없어진다. 이에 의해, 판상체의 표면 형상 변위의 측정에 필요한 장치의 간략화가 도모됨과 아울러 그 측정에 필요한 시간이 단축되어서 시간적 낭비가 없어지고, 생산 효율을 대폭 향상시키는 것이 가능해진다. 게다가, 판상체의 표면 형상 변위가 양부(良否) 판정에 사용되는 상한 파형 및 하한 파형은 반송 장치의 특성에 따라서 요구되는 판상체의 표면 형상 변위의 이상적인 파형에 의거하여 설정된 것이기 때문에 반송 장치의 특성을 가미한 후에 판상체의 표면 형상 변위의 측정 및 양부 판정이 행해진다. 상세하게 설명하면, 판상체가 반송되고 있는 동안에는 반송 장치의 구성 요소와 판상체의 중량과의 관계 등에 의해 상기 판상체에 변형이 발생하지만, 이러한 반송 장치의 특성에 기인하는 판상체의 변형을 가미한 후에 판상체의 표면 형상 변위의 이상적인 파형 및 상한 파형 및 하한 파형이 결정되고, 이 파형에 의거하여 판상체의 표면 형상 변위의 측정이나 그 양부 판정이 행해지게 된다. 따라서, 반송 장치의 특성에 기인하는 반송시에 있어서의 판상체의 변형을 실질적으로 무시한 상태로 상기 측정이나 양부 판정이 행해지게 되고, 그들의 정확성을 정확하게 확보하는 것이 가능해진다.

이러한 구성에 있어서, 상기 반송 장치는 판상체의 반송 방향과 직교하는 방향의 적어도 양단부에 배치되고, 또한 상기 판상체에 반송 방향의 이송을 부여하는 이송 부여 수단과, 이들 이송 부여 수단의 상호 간에 배치되고, 또한 판상물을 비접촉으로 부상시키는 유체 부상 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 이송 부여 수단에 의해 판상체를 이송하면서 유체 부상 수단에 의해 안정된 상태로 판상체의 표면 형상 변위의 측정을 행하는 것이 가능해진다. 즉, 이송 부여 수단이 판상체를 이송하고 있는 동안에는 유체 부상 수단이 판상체를 부상시키고 있기 때문에 판상체에는 스크래치 등이 나지 않고 고품질을 유지할 수 있음과 아울러 반송시의 판상체에 불규칙적인 변형이 발생하기 어려워지는 것으로부터 유래되어서 정밀도 좋게 측정 및 양부 판정을 행하는 것이 가능해진다. 그리고, 이 이송 부여 수단과 유체 부상 수단의 특성에 따라서 상한 파형 및 하한 파형이 설정되는 것이기 때문에 기술과 같이 판상체의 표면 형상 변위의 측정이나 그 양부 판정이 정확하게 행해진다.

이상의 구성에 있어서, 상기 이상적인 파형은 표면이 이상적인 평면 또는 이에 준하는 평면을 이루는 판상체를 상기 반송 장치에 의해 반송하면서 상기 변위계에 의해 상기 판상체의 표면까지의 거리를 측정해서 구해지는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 이상적인 파형은 본래 표면이 이상적인 평면 또는 이에 준하는 평면을 이루는 판상체에 대해서 반송 장치의 특성에 의해 곡선 등 발생한 파형으로서 얻어지기 때문에 이 이상적인 파형을 기준으로 해서 설정된 상한 파형 및 하한 파형은 판상체의 양부 판정을 행함에 있어서 매우 바람직한 파형이 된다. 또한, 상기 표면이 이상적인 평면 또는 이에 준하는 평면을 이루는 판상체의 선정은 정밀 정반 등의 위에 판상체를 적재해서 전용 센서 등에 의해 상기 판상체의 평면도를 측정하고, 그 결과로서 최선의 평면도를 갖는 판상체(휨이 전혀 없거나 또는 문제가 되지 않을 정도의 매우 작은 휨이 존재하는 것에 불과한 판상체)를 발견해냄으로써 행해진다.

이상의 구성에 있어서, 상기 비접촉식 변위계가 상기 판상체의 반송 방향과 직교하는 방향을 따라 복수 배치되고, 이들 변위계의 위치에 대응해서 상기 이상적인 파형이 각각 미리 작성되고, 이들 이상적인 파형을 기준으로 해서 각각 상기 상한 파형 및 하한 파형이 미리 설정되는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 판상체의 반송 방향과 직교하는 방향(판상체의 폭 방향)을 따라 복수 배치된 각 변위계에 대해서 각각 이상적인 파형을 기준으로 하는 상한 파형 및 하한 파형이 미리 설정되어 있기 때문에 판상체의 폭 방향의 복수개소에서 각 변위계에 의한 판상체의 표면 형상 변위의 측정이 행해진다. 이에 의해, 판상체의 넓은 영역에 걸쳐서 표면 형상 변위의 측정이 행해지게 되고, 그 측정 정밀도가 보다 한층 높아진다.

이상의 구성에 있어서, 상기 각 변위계는 판상체의 반송 경로의 상방에 정치 설치되어 있는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 각 변위계를 이동시키는 기구를 별도 구비할 필요가 없어지고, 판상체를 반송시키는 것만으로 상기 소정의 측정이 행해지는 것이 되기 때문에 장치의 간략화가 보다 한층 촉진된다.

이상의 구성에 있어서, 상기 실제 파형이 상기 상한 파형과 하한 파형 사이에 들어가 있을 시에 상기 판상체를 양품으로 판정하고, 그외의 시에 상기 판상체를 불량품으로 판정하는 것이 바람직하다.

이와 같이 하면, 판상체가 양품인지 불량품인지의 판별이 정확하고 또한 치밀하게 행해지게 되어 고성능인 판상체의 휨 검사 장치가 실현된다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해서 창안된 본 발명에 의한 판상체의 검사 방법은 판상체를 대략 수평 자세로 반송하는 반송 장치와, 상기 판상체의 표면까지의 거리를 측정하는 비접촉식 변위계를 구비하고, 상기 반송 장치의 특성에 따라서 판상체의 표면 형상 변위의 반송 방향에 대한 이상적인 파형을 미리 작성함과 아울러 그 이상적인 파형을 기준으로 해서 상한 파형 및 하한 파형을 미리 설정해 두고, 상기 변위계로 측정된 거리에 의거하여 얻어지는 반송 중에 있어서의 판상체의 표면 형상 변위의 반송 방향에 대한 실제 파형이 상기 상한 파형과 하한 파형 사이에 들어가 있는지의 여부를 판정하는 것을 특징으로 한다.

이 방법은 각 구성 요건이 서두에 서술한 본 발명에 의한 장치와 실질적으로 동일하므로 이 장치와 실질적으로 동일한 작용 효과를 나타낸다.

(발명의 효과)

이상과 같이 본 발명에 의하면, 판상체의 휨 검사를 행할 경우에 있어서의 표면 형상 변위의 측정에 필요한 장치의 간략화 및 그에 필요한 시간의 단축화가 도모되어 생산 효율이 대폭 향상된다. 게다가, 반송 장치의 특성을 가미한 후에 판상체의 표면 형상 변위의 측정 및 양부 판정이 행해지기 때문에 반송 장치에 의한 반송시에 있어서의 판상체의 변형을 실질적으로 무시한 상태로 상기 측정이나 양부 판정을 행할 수 있게 되고, 그들의 정확성을 적절하게 확보하는 것이 가능해진다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 판상체의 휨 검사 장치의 개략 요부 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시형태에 의한 판상체의 휨 검사 장치의 개략 요부 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시형태에 의한 판상체의 휨 검사 장치의 개략 요부 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 의한 판상체의 휨 검사 장치에 있어서의 이상적인 파형과 상한 파형 및 하한 파형을 나타내는 개략도이다.
도 5는 본 발명의 실시형태에 의한 판상체의 휨 검사 장치에 있어서의 상한 파형 및 하한 파형과 실제 파형을 나타내는 개략도이다.
도 6은 본 발명의 실시형태에 의한 판상체의 휨 검사 장치에 있어서의 상한 파형 및 하한 파형과 실제 파형을 나타내는 개략도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 의한 판상체의 휨 검사 장치(이하, 간단히 검사 장치라고 한다)에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다. 또한, 본 실시형태에서는 판상체로서 FPD용 유리 기판, 특히 액정 모니터용 유리 기판을 사용한 경우의 검사 장치에 대해서 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 검사 장치(1)의 개략 구성을 예시하고 있다. 동 도면에 나타내는 바와 같이, 검사 장치(1)는 유리 기판(2)을 화살표(A) 방향으로 반송하는 반송 장치(3)와, 유리 기판(2)의 반송 경로의 상방에 이간해서 설치되고, 또한 유리 기판(2)의 반송 방향(A)과 직교하는 방향(이하, 폭 방향이라고 한다)을 따라 배치된 복수개(도면 예에서는 4개)의 레이저 변위계(4)를 구비한다.

이들 레이저 변위계(4)는 각각 유리 기판(2)의 표면까지의 거리를 측정하는 것이며, 유리 기판(2)의 표면에 직교하는 방향을 지향해서 일정 위치에 고정 설치되어 있다. 레이저 변위계(4)에는 확산 방식이나 정반사 방식이 있지만, 유리 기판(2)이 투명체인 것을 감안하면 정반사 방식의 레이저 변위계를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 레이저 변위계(4)를 대신하여 광이나 초음파 등을 매체로 한 비접촉식 변위계(변위 센서)를 사용하는 것도 가능하다. 또한, 이 검사 장치(1)에 의해 검사되는 유리 기판(2)은 반송 방향(A)의 치수가 300~3500㎜, 폭 방향의 치수가 300~3500㎜, 판 두께가 0.1~1.1㎜이다.

반송 장치(3)는 유리 기판(2)의 폭 방향 양단부를 하방으로부터 지지하고, 또한 유리 기판(2)에 이송을 부여하는 이송 부여 수단으로서의 복수의 반송 롤러(5)와, 이들 2열로 배열된 반송 롤러(5)의 폭 방향 상호 간의 중앙 영역에 부설된 유체 부상 수단으로서의 공기 부상 유닛(6)으로 구성된다.

이 경우, 2열의 반송 롤러(5)의 상방에는 레이저 변위계(4)가 존재하고 있지 않다. 이러한 구성으로 하고 있는 이유는 반송 롤러(5)는 다소 편심하고 있기 때문에 유리 기판(2)의 반송 방향(A)에 있어서의 파형이 그 편심의 영향을 받는 것을 방지하기 위해서이다.

또한, 공기 부상 유닛(6)은 금속제 또는 수지제의 상자체에 있어서의 상면부(6a)의 전역에 걸쳐서 형성된 도면 이외의 다수의 관통 구멍으로부터 공기를 상방을 향해서 분사하는 것이며, 공기원으로서는 블로어에 HEPA 필터를 통과시킨 것 또는 CDA가 바람직하다. 이 경우, 유체 부상 수단으로서는 공기 부상 유닛(6)을 대신하여 불활성 가스나 물 등의 액체를 상방을 향해서 분사하는 형식의 것을 사용하는 것도 가능하다.

또한, 공기 부상 유닛(6) 중에는 공기를 유리 기판(2)의 면에 분사함과 동시에 유리 기판(2)의 면에 부압을 작용시킴으로써 유리 기판(2)의 면을 평탄면에 교정하는 특수한 형식의 것이 존재하지만, 이러한 형식의 것은 본 발명에서는 사용되지 않는다. 즉, 본 발명에서는 부압을 사용하지 않고 공기의 분사에 의해 유리 기판(2)을 부상시키는 공기 부상 유닛(6)이 사용된다.

도 1은 상류측으로부터 순차 반송되어 오는 유리 기판(2) 중 1매의 유리 기판(2)에 대해서 레이저 변위계(4)가 그 표면까지의 거리의 측정을 개시하는 시점에서의 상태를 예시하고 있다. 또한, 도 2는 그 1매의 유리 기판(2)이 반송되면서 레이저 변위계(4)에 의해 그 표면까지의 거리가 연속해서 측정되고 있는 상태를 예시하고 있다. 또한, 도 3은 그 1매의 유리 기판(2)에 대해서 레이저 변위계(4)에 의한 측정이 종료된 시점에서의 상태를 예시하고 있다. 그리고, 상류측으로부터 순차 반송되어 오는 유리 기판(2)은 정지하는 일 없이 레이저 변위계(4)에 의한 측정이 행해진다.

이 레이저 변위계(4)에 의한 측정 중에는 유리 기판(2)이 반송 롤러(5)에 의해 이송이 부여되면서 공기 부상 유닛(6)으로부터의 공기압을 받기 때문에 유리 기판(2)에는 변형이 발생하게 되지만, 상류측으로부터 순차 반송되어 오는 유리 기판(2)은 그 모두가 동일한 조건으로 이송의 부여와 공기압을 받는다.

그래서, 우선 표면이 이상적인 평면 또는 이에 준하는 평면을 이루는 최량품인 유리 기판(2)을 선택하여 그 유리 기판(2)을 반송하면서 레이저 변위계(4)로 그 표면까지의 거리를 연속해서 측정한다. 그리고, 이 측정에 의해 레이저 변위계(4)로부터 상기 유리 기판(2)의 표면까지의 거리를 상기 유리 기판(2)의 반송 방향(A)에 대해서 연속해서 채취하고, 이 채취한 데이터에 의거하여 도 4에 나타내는 유리 기판(2)의 반송 방향(A)에 대한 표면 형상의 이상적인 파형(X0)을 구한다.

즉, 이 이상적인 파형(X0)은 반송 롤러(5)와 공기 부상 유닛(6)으로 이루어지는 반송 장치(3)의 특성에 따라서 구해지는 유리 기판(2)의 표면 형상 변위의 반송 방향(A)에 대한 이상적인 파형이다. 또한, 상술한 최량품인 유리 기판(2)의 선택은 정밀 정반 등의 위에 순차 유리 기판을 적재하고, 그들 유리 기판의 표면의 평면도를 측정하여 최량으로 생각될 수 있는 표면 특성을 갖는 유리 기판을 발견하여 그것을 최량품인 유리 기판으로서 선택한 것이다.

그리고, 도 4에 있어서는 상기 이상적인 파형(X0)을 상하로 평행 이동해서 상한 파형(X1)과 하한 파형(X2)을 설정하고 있다. 이 상한 파형(X1)과 하한 파형(X2)은 이상적인 파형(X0)과의 관계에 있어서 이 양쪽 파형(X1, X2)의 범위 내에 들어가 있으면 막 형성 등을 행함에 있어서 문제가 발생하지 않는 정도의 유리 기판(2)의 표면 형상 변위로 되어 있는 것과, 반복 실험 등에 의해 발견된 것이다. 또한, 도 4는 세로축이 레이저 변위계(4)의 위치를 제로로 한 경우의 높이를 나타내고, 가로축이 유리 기판(2)의 반송 방향(A)에 있어서의 위치를 나타내고 있다. 이러한 이상적인 파형(X0)을 기준으로 한 상한 파형(X1) 및 하한 파형(X2)은 복수개의 레이저 변위계(4)에 대응해서 각각 복수 설정되어 있다.

이와 같이 해서 유리 기판(2)의 표면 형상 변위의 상한 파형(X1)과 하한 파형(X2)이 설정된 후에 있어서는 반송 장치(3)에 의해 상류측으로부터 순차 반송되어 오는 유리 기판(2)을 1매씩 도 1에 나타내는 상태로부터 도 2에 나타내는 상태를 거쳐서 도 3에 나타내는 상태에 이르기까지 레이저 변위계(4)에 의해 유리 기판(2)의 표면까지의 거리를 연속해서 채취한다.

이에 의해, 도 5에 나타내는 바와 같이 반송 중에 있어서의 유리 기판(2)의 표면 형상 변위의 반송 방향(A)에 대한 실제 파형(X3)이 상한 파형(X1)과 하한 파형(X2) 사이에 들어가 있을 경우에는 그 유리 기판(2)은 양품으로 판정한다. 이 경우, 상한 파형(X1) 및 하한 파형(X2)은 복수개의 레이저 변위계(4)에 대응해서 복수 설정되어 있음과 아울러 실제 파형(X3)도 마찬가지로 복수 얻어진다. 따라서, 모든 실제 파형(X3)이 이들에 대응하는 모든 상한 파형(X1)과 하한 파형(X2) 사이에 들어가 있을 경우에 그 유리 기판(2)을 양품으로 판정하는 것이 행해진다.

한편, 도 6에 나타내는 바와 같이 반송 중에 있어서의 유리 기판(2)의 표면 형상 변위의 반송 방향(A)에 대한 실제 파형(X4)이 상한 파형(X1)과 하한 파형(X2) 사이로부터 일탈하고 있을 경우(도면 예에서는 상한 파형(X1) 및 하한 파형(X2)의 양쪽으로부터 일탈하고 있지만 어느 한쪽만으로부터 일탈하고 있을 경우를 포함한다)에는 그 유리 기판(2)은 불량품으로 판정한다. 이 경우에는 복수 얻어진 실제 파형(X4) 중 어느 하나이어도 그것에 대응하는 상한 파형(X1)과 하한 파형(X2) 사이로부터 일탈하고 있을 경우에는 그 유리 기판(2)은 불량품으로 판정된다.

또한, 이상의 구성에 있어서, 실제 파형(X3, X4)을 얻기 위한 측정 개시 및 측정 종료를 검지하는 센서는 별도 설치하도록 하는 것이 바람직하지만, 레이저 변위계(4)의 신호를 유용해도 좋다. 또한, 복수개의 레이저 변위계(4)에 의해 실제 파형(X3, X4)을 취득하기에는 시퀀서 장치를 경유하거나, 컴퓨터로 직접 취득해도 좋지만, 복수의 레이저 변위계(4)로부터의 데이터를 시간 지연 없이 동기해서 취득하기에는 데이터 레코더 장치를 경유하는 것이 바람직하다.

이 경우, 얻어진 실제 파형(X3, X4) 중 시단과 종단에는 레이저 변위계(4)의 측정 위치의 어긋남의 영향, 유리 기판(2)의 반송 방향(A)의 단면의 영향, 공기 부상 유닛(6)의 영향 등에 의해 무효인 데이터가 포함될 경우가 있다. 그래서, 사전에 설정한 범위 또는 개수의 데이터를 삭제할거나, 또는 실제 파형의 상승이나 하강을 컴퓨터 등으로 자동으로 삭제해서 배제하는 것이 바람직하다.

또한, 이상의 실시형태에서는 이송 부여 수단을 복수의 반송 롤러(5)로 구성했지만, 이를 대신하여 반송 벨트 등으로 이송 부여 수단을 구성해도 좋다. 또한, 상기 실시형태에서는 FPD용 유리 기판(특히, 액정 모니터용 유리 기판)(2)을 측정 대상으로 했지만, 이외의 용도에 사용되는 유리판 등의 판상체나 강화 유리판 등을 측정 대상으로 해도 좋다.

1: 판상체의 휨 검사 장치 2: 유리 기판(판상체)
3: 반송 장치 4: 레이저 변위계 (비접촉식 변위계)
5: 반송 롤러(이송 부여 수단) 6: 공기 부상 유닛(유체 부상 유닛)
X0: 이상적인 파형 X1: 상한 파형
X2: 하한 파형 X3: 실제 파형
X4: 실제 파형

Claims

판상체를 대략 수평 자세로 반송하는 반송 장치와, 그 판상체의 표면까지의 거리를 측정하는 비접촉식 변위계를 구비하고, 상기 반송 장치의 특성에 따라서 구해지는 판상체의 표면 형상 변위의 반송 방향에 대한 이상적인 파형을 기준으로 해서 상한 파형 및 하한 파형을 미리 설정해 두고, 상기 변위계로 측정된 거리에 의거하여 얻어지는 반송 중에 있어서의 판상체의 표면 형상 변위의 반송 방향에 대한 실제 파형이 상기 상한 파형과 하한 파형 사이에 들어가 있는지의 여부를 판정하도록 구성한 것을 특징으로 하는 판상체의 휨 검사 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 반송 장치는 판상체의 반송 방향과 직교하는 방향의 적어도 양단부에 배치되고, 또한 그 판상체에 반송 방향의 이송을 부여하는 이송 부여 수단과, 이들 이송 부여 수단의 상호 간에 배치되고, 또한 판상물을 비접촉으로 부상시키는 유체 부상 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 판상체의 휨 검사 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 이상적인 파형은 표면이 이상적인 평면 또는 이에 준하는 평면을 이루는 판상체를 상기 반송 장치에 의해 반송하면서 상기 변위계에 의해 그 판상체의 표면까지의 거리를 측정해서 구해지는 것을 특징으로 하는 판상체의 휨 검사 장치.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 비접촉식 변위계는 상기 판상체의 반송 방향과 직교하는 방향으로 복수 배치되고, 이들 변위계의 위치에 대응해서 상기 이상적인 파형이 각각 미리 구해지고, 이들 이상적인 파형을 기준으로 해서 각각 상기 상한 파형 및 하한 파형이 미리 설정되는 것을 특징으로 하는 판상체의 휨 검사 장치.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 각 변위계는 판상체의 반송 경로의 상방에 일정한 곳에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 판상체의 휨 검사 장치.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 실제 파형이 상기 상한 파형과 하한 파형 사이에 들어가 있을 시에 상기 판상체를 양품으로 판정하고, 그 이외 시에 상기 판상체를 불량품으로 판정하는 것을 특징으로 하는 판상체의 휨 검사 장치.
판상체를 대략 수평 자세로 반송하는 반송 장치와, 그 판상체의 표면까지의 거리를 측정하는 비접촉식 변위계를 구비하고, 상기 반송 장치의 특성에 따라서 구해지는 판상체의 표면 형상 변위의 반송 방향에 대한 이상적인 파형을 기준으로 해서 상한 파형 및 하한 파형을 미리 설정해 두고, 상기 변위계로 측정된 거리에 의거하여 얻어지는 반송 중에 있어서의 판상체의 표면 형상 변위의 반송 방향에 대한 실제 파형이 상기 상한 파형과 하한 파형 사이에 들어가 있는지의 여부를 판정하는 것을 특징으로 하는 판상체의 휨 검사 방법.