JP2014135453A - 基板支持装置およびそれを用いたプリント基板検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の大きさが異なっても２つの押さえ部材で平行して基板を挟み込める技術、および、それにより精度よく基板上のはんだ状態を検査できることを目的とする。
【解決手段】固定された支持部材３と、基板１の端面の上側に位置して支持部材に固定された第１の押さえ部材４と、基板１の端面の下側に接触可能に、かつ上下移動可能に設けられた第２の押さえ部材７と、第１の押さえ部材と平行に支持部材３に固定された軸部材８と、第２の押さえ部材の下側に接触可能にされ、軸部材８を中心として回転可能に設けられた回転部材５と、を備え、回転部材５が回転し、第２の押さえ部材を上に移動させ、基板１の端面を第１の押さえ部材に押圧することで固定保持する。
【選択図】図２

Description

本発明は、プリント基板（以下、「基板」と言う。）を安定に保持する基板支持装置、および安定に保持されている基板の印刷されたはんだ状態を検査する印刷はんだ検査装置に関する。特に、大きさの異なる複数種類の基板の面が、大きさが異なっても同じ平面で固定して支持可能にするとともに、大きさが異なっても同じ精度で基板上のはんだ状態を検査できるようにした技術に係る。

従来、搬送されてきた基板を検査するために搬送機構上で停止させ、安定に固定保持して検査する技術がある（特許文献１を参照）。特許文献１の技術は、ベルトで搬送されて所定の検査位置で停止した基板の二つの辺を、搬送中は搬送の邪魔にならないように下げられていた基板の下にある下クランプを搬送停止時に上に駆動力で持ち上げることで基板を上クランプに押し付けて固定するものであった。その固定保持機構部分を基板の横側から見て、モデル的に表したのが図９Ａである。

図９Ａは、制御部２２０が基板を載せたベルトを回転させ（不図示）て搬送し（左から右へ搬送）、所定の検査位置に基板１が来たことを検知して搬送を停止させ、下から駆動力で持ち上げて、基板１を下クランプ３００と上クランプ４００の間に挟み固定している状態である。

このように基板１が固定された状態で、検査部２００を構成する制御部２２０は、光センサ１００を、基板１の面を走査しつつ、基板１の面に送った光の反射光を受けて走査箇所における変位を測定する（いわゆる、三角測量）。そして、評価部２１０は、走査箇所の位置と測定した変位とから、はんだの形状を表すデータを算出し、基準データと比較し、合否判断する。

変位測定時の光センサ１００は、基板１の表面に対して平行に走査する。つまり、光センサ１００が走査のとき移動した箇所を結んだ平面を走査面１００ａとすると、図９Ａに示すように、基板１の表面と平行である。この場合、平行からずれるとその分、変位測定の誤差となる。

一方、検査対象である基板１は、さまざまな大きさのものがある。図９Ａのものは（引用文献１も同じ）は、搬送方向と直交する方向（この方向を幅方向とする）は、基板１の幅に応じて調整可能にされているが、搬送方向（この方向を長さ方向とする）における下３００の長さは、検査対象とする基板１の長さの範囲（「検査対象範囲」と言う。）の最大長に亘る長さにされていて、それより短い長さの基板１に対して長さ調整はされないで、固定された長さにされている。

したがって、図９Ｂのように検査対象範囲の最大長に比べて短い長さの基板１をクランプして固定した場合、下クランプ３００もわずかに斜めになり、基板１も上クランプに対して平行でなくなり、変位測定時に誤差が生じやすい。引用文献１では、下クランプの両サイドに下クランプが真っ直ぐ上下できるようにガイドを設けているが、構造が複雑になること、そして、各構造の公差、基板の長さ、厚さ等の関係から精度良く平行にクランプすることは困難である。

特開２００８−６６６３０号公報

本発明の目的は、基板を上下の２つの押さえ部材（クランプ）で挟んで固定する際、基板の大きさが異なっても、２つの押さえ部材（クランプ）が平行して基板を挟み込める技術、および、それにより精度よく基板上のはんだの形状を検査できる技術を提供することである。

上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、一辺の長さが所定範囲内で異なるプリント基板（１）を受けて、固定的に支持する基板支持装置であって、支持部材（３）と、前記一辺に沿う前記所定範囲の最大長に亘る長さの板状の形状を有し、前記一辺と直交する幅方向の一端側が、前記プリント基板の端面の一方の面の上側になるよう、他端側が前記支持部材に固定された第１の押さえ部材（４）と、前記一辺に沿う前記最大長に亘る長さの板状の形状を有し、該第１の押さえ部材に相対する位置で前記端面の裏の面側に接触可能に位置し、かつ前記端面に直交する方向に移動可能に設けられた第２の押さえ部材（７）と、前記一辺に沿って前記第１の押さえ部材と平行に前記支持部材に固定された軸部材（８）と、板状の形状を有し、前記軸部材を中心として回転可能に設けられ、前記回転の中心から離れた遠端側が、前記第２の押さえ部材の前記端面に接触する側とは反対側に接触可能に設けられた回転部材（５）と、を備え、前記回転部材の前記遠端側が前記端面に近い方へ回転することにより、前記第２の押さえ部材を前記端面方向へ移動させてプリント基板の前記端面を前記第１の押さえ部材に押圧することで、前記プリント基板を固定的に保持することを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、搬送路を搬送されてきた、搬送方向の長さが所定範囲内で異なるプリント基板（１）を受けて、該搬送方向と直交する幅方向の両端面を固定的に支持する同一構造の２つの保持機構を有する基板支持装置であって、１つの前記保持機構は、前記搬送路の外側に、固定された支持部材（３）と、前記搬送方向に沿って前記所定範囲の最大長に亘る長さの板状の形状を有し、前記幅方向の一端側が前記端面の上側になるよう、他端側が前記支持部材に固定された第１の押さえ部材（４）と、前記搬送方向に沿って前記所最大長に亘る長さの板状の形状を有し、該第１の押さえ部材に相対する前記端面の下側に接触可能に、かつ上下の移動を可能に設けられた第２の押さえ部材（７）と、前記搬送方向に沿って前記第１の押さえ部材と平行に前記支持部材に固定された軸部材（８）と、板状の形状を有し、前記軸部材を中心として上下方向に回転可能に設けられ、前記回転の中心から離れた遠端側が、前記第２の押さえ部材の前記端面に接触する側とは反対側に接触可能に設けられた回転部材（５）と、を備え、前記回転部材の遠端側が上方向に回転することにより、前記第２の押さえ部材を上に移動させてプリント基板の前記端面を前記第１の押さえ部材に押圧することで、前記プリント基板を固定的に保持することを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記回転部材の幅方向のいずれかの位置で前記軸部材を中心にシーソー動作可能に設けられ、前記遠端側と反対側を下方に駆動されることにより、前記遠端側が上方向に回転することを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、請求項２または３に記載の発明において、前記第２の押さえ部材と前記回転部材とが接するいずれか一方が面を有し、他方が長さ方向の両端側に高さ調整可能な２つの凸部（１１）を有し、該面と該凸部が接触する構造であることを特徴とする。
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか一つに記載の発明において、前記軸部材及び前記回転部材の前記搬送方向のそれぞれの長さは、前記最大長に亘る長さを有することを特徴とする。
請求項６に記載の発明は、プリント基板のはんだ面を上面として保持する前記請求項２に記載の基板支持装置と、該プリント基板の上方に位置に設けられ、該プリント基板を光で走査し、その反射光を受けて変位データを取得する光センサ（１００）と、前記変位データを受けて該プリント基板上のはんだ形状を算出してその検査を行う検査部（２００）と、を備えたプリント基板検査装置である。

本発明によれば、第１の押さえ部材と軸部材とが平行に支持部材に固定され、その軸部材を中心に回転部材が回転することで、検査対象とするプリント基板の最大長に亘って、第２の押さえ部材を第１の押さえ部材に対して平行を維持しつつ、移動させて、プリント基板を第１の押さえ部材に押圧することで、固定維持するので、例え、最大長より短い長さのプリント基板であっても、第１の押さえ部材を平行に押圧し、固定できる。

本発明に係る基板支持装置の構成を示す図で、上から見た図である。 本発明に係る基板支持装置の構成を示す図で、図１の矢視Ａから見た図で、基板１が固定されていない状態の図である。 本発明に係る基板支持装置の構成を示す図で、図１の矢視Ａから見た図で、基板１が固定されている状態の図である。 本発明に係る基板支持装置の構成を示す図で、図３の矢視Ｂから見た図である。 高さ調整部を備えた構造を示す図である 回転部材と駆動力の与え方の変形例を示す図である。 回転部材と駆動力の与え方の変形例を示す図である。 本発明による作用効果説明をする図である。 回転部材と軸部材の変形例を示す図である。 従来技術を説明するための図である。 従来技術を説明するための図である。

以下、基板支持装置について第１の実施形態で説明し、プリント基板検査装置について第２の実施形態で説明する。

［第１の実施の形態］
この実施形態における本発明に係る基板支持装置は、プリント基板検査装置の検査対象であるプリント基板を所定の検査位置まで搬送するとともに、その検査位置で固定支持する装置として説明する。言い換えれば、基板搬送装置でもある。

図１〜図８を基に、プリント板（以下、「基板」と言う）に塗布されたはんだの状態を検査するプリント板検査装置を例に、それに用いられる基板支持装置の実施形態について説明する。

図１は、その基板支持装置の上から見た図である。基板１は、モータ（不図示）で駆動されるベルト２により右側へ搬送され（以下、この搬送する方向を「搬送方向」、或いは基板１の「長さ方向」と言う）、基板１が検査すべき位置に来て、センサ（不図示）がその基板１を検知した時、図１で言えば、上クランプ４（第１の押さえ部材）の在る位置にきたときベルトが停止する。このとき、基板１の搬送方向と直交する方向（以下、この方向を基板１の「幅方向」と言う）の両端の辺を２つのベルト２に乗せて、その幅の両端側に在る２つの支持部材３に沿って搬送される。この２つの支持部材３は、基台（不図示）に搭載され、間接的にベルト２を保持し、幅方向に相対的に移動可能にされている。そしてこの間隔は、検査対象である基板１の幅に合わせて調整され、横支柱９で間隔が固定される。この状態で、支持部材３は、基台に固定されている。なお、支持部材３を図１〜３では、壁状の形態で説明しているが、骨部材で組まれていたものでもよい。

図１における基板１は、上クランプ４のところで停止した状態を示す。この基板１の搬送方向における長さは、ほぼ上クランプ４の長さと同じものを例にしている。図１の矢視Ａの方向から基板支持装置を見た図であって、支持部材３の一方側を記載した図（基板支持装置を構成する一対の保持機構のうち一方の保持機構を示す図）が、図２である（基板支持装置を構成する他方の保持機構も同じ構造なので省略する。）。以下の説明では、一方の保持機構を中心に説明するが、他方も同じ機能・動作を行う。

図１及び図２において、上クランプ４は、支持部材３に対して直交する方向（水平方向）に平面を有する板状の形状を有し、かつ搬送方向に検査対象とする基板１の長さの範囲のほぼ最大長を有する。そして、図２に示すように幅方向の一端を支持部材３に固定され、他端が基板１の上面の幅方向の端面に張り出している。

下クランプ７（第２の押さえ部材）は、支持部材３に対して平行方向（垂直方向）に平面を有する板状の形状を有し、その上辺は基板１を挟んで上クランプ４と相対する位置に配され、かつ支持部材３に固定されているクランプガイド１１により、上下移動可能にガイドされ、支持されている。下クランプ７は、幅方向に、基板１の下から基板１の下の端面に接触して押圧するに足る厚さであって、無端ベルトである上下のベルト２を通す溝を有するに十分な厚さを有する。また、下クランプ７は、搬送方向の位置、及び長さは、上クランプと同様の位置、長さを有する。

図２及び図１において、棒状の軸部材８が上クランプ４と平行に搬送方向に沿って軸支持部６によって支持部材３に取り付けられている。軸部材８には、軸部材８を中心にシーソー回転可能に板状の回転部材５が設けられている。これら軸部材８、回転部材５の搬送方向の長さは、上クランプ４の長さと同じか長いこと、つまり検査対象とする基板１の長さ範囲の最大長と同じかそれ以上が好ましい。

回転部材５の幅方向の一端側（回転中心から離れた遠端側、図２において軸部材８の右側）は、下クランプ７の下側、つまり、下クランプ７の基板１を押圧する側の上辺とは反対側の下辺を接触して支えている。そして、軸部材８を挟んだ回転部材５の幅方向の他端側（図２において軸部材８の左側）は、駆動手段１０により上下に駆動される。図２は、回転部材５の幅方向の他端側が上げられて回転部材５が時計回りに回転することで、下クランプ７が下がり、上クランプ４と基板１の上端面とが離れている状態を示す。この場合、駆動手段１０は、例えば、エアーシリンダで構成でき、そのシリンダで回転部材５の幅方向の他端側（図２において軸部材８の左側）を、直進運動で上下に駆動することができる。

駆動手段１０は、基板１の搬送時、及び基板１が検査位置で停止したばかりのときは、図２のように回転部材５を左上がり右下がりの状態に駆動することで、基板１の搬送を容易にしている。そして、基板１が検査位置で停止したとき、図３に示すように、軸部材８が、軸部材８を挟んだ回転部材５の幅方向の他端側（図２において軸部材８の左側）を下方へ押すことにより、図３のように回転部材５を左下がり右上がりの状態にするとで、下クランプ７をクランプガイド１１に沿って上に持ち上げることで、下クランプ７の上辺で基板１の下側の端面を押圧させ、かつ基板１を上クランプ４に押圧させて、固定する。

図４は、図３の矢視Ｂから見た図である。図４に示すように、上クランプ４に平行な軸部材８を中心に軸部材８に対して、面を平行に維持しつつ回転する回転部材５で、下クランプ７を上方に駆動することから、下クランプもまた軸部材８（或いは上クランプ４）に対して平行を維持しつつ上方に移動し、基板１を上クランプ４を押圧し、固定する。

したがって、例えば図７に示すように、基板１の搬送方向の長さが、検査対象とする基板１の長さの範囲の最大長より短い場合であっても、下クランプ７は、上クランプ４に対して平行を維持しつつ移動して押圧する。つまり、図９Ｂのように、斜めに押圧することがない。

なお、上クランプ４が基板１と接する面、下クランプ７が基板１と接する面（上辺）、下クランプ７が回転部材５と接する面（下辺）、及び軸部材８を搬送方向と直交する方向（幅方向）から見たとき、これら全部が平行である。

［回転部材と軸部材についての変形例１］
これまで、図１や図４に示されるように回転部材５や軸部材８の搬送方向の長さが上クランプ４と同様に、検査対象である基板１の長さの範囲で、最大長とほぼ同じ、或いはそれ以上の長さを有することで説明してきた。それは、長い方が、下クランプ７を平行に維持しつつ移動させるのに有利であるからである。例えば、軸部材８の径と、回転部材５が軸部材８を受け入れる孔の径との間に径の違いによるガタが生じ、その分、平行度が崩れ傾斜が生じたとしても、同じガタの程度であるなら、双方が長いほど、傾斜角度が小さくなるから有利である。

逆に言えば、図８に示すように、軸部材８ａの径と、回転部材５ｃが軸部材８ａを受け入れる孔の径との間に径の違いによるガタが生じなければ、軸部材８ａの長さ、回転部材５ｃの軸受部分（孔のある部分）の長さを短くすることもできる。ただし、回転部材５ｃの下クランプ７と接する平面の長さは、最大長とほぼ同じ、或いはそれ以上の長さを有することが望ましい。下クランプ７の下辺全体に均一な力を与えて平行を維持しつつ移動させたいためである。

［回転部材と軸部材についての変形例２］
軸部材８と回転部材５とは、バラバラに回転し、一緒に軸支持部材６に設けられた孔を中心に回転し、或いは軸部材５は不回転の固定で回転部材５が回転する、のいずれでもよい。ただ、軸部材８が不回転で固定され回転部材５が回転する方が、軸が安定するので良い。

駆動手段１０についても、エア−シリンダで説明したが、モータまたはそれらとギヤ等で直接に軸部材５或いは回転部材５を回転することで、下クランプ７を上下させてもよい。ただ、エア−シリンダは、瞬時に必要な駆動力を提供できる。

そして、図１、図２の構造では、エア−シリンダ等で一点に駆動力を集中させても、軸部材８及び回転部材５により、その駆動力を分散し、下クランプ７を平行に駆動させる力に変換できる構造でもある。

［回転部材と軸部材についての変形例３］
第１の実施形態では、回転部材５として、図２示すように、軸部材８を中心として左右対称の板状部材で説明したが、図６Ａの回転部材５ａのように下クランプ７に接触する右辺だけ在って軸部材８を中心に回転する構造で、下から駆動手段１０のエア−シリンダで駆動するようにしてもよい。図６Ａからすると、回転部材５ａを無くして直接駆動手段で駆動させてもよいのでないかという疑問も生じかねないが、上記したように、軸部材８及び回転部材５ａは、その駆動手段１０からの駆動力を分散し、下クランプ７を平行に駆動させる力に変換できる構造である。

また、図６Ｂのように回転部材５ｂをＬ型の構造にしてもよい。回転部材をどのような形状にするかは、駆動手段１０の位置や駆動方向により適切なものを採用することが望ましい。ただ、図２におけるシーソー構造はテコの原理からしても有利である。

［回転部材と下クランプ接点の変形例］
上記したように、上クランプ４が基板１と接する面、下クランプ７が基板１と接する面、下クランプ７が回転部材５と接する面、及び軸部材８を搬送方向と直交する方向（幅方向）から見たとき、これら全部が平行であることが望まれる。しかし、各部品の公差、或いは経年変化における摩耗、歪等をからして、これらの平行度がずれてくることも考えられる。このような場合、図５に示すように下クランプ７、或いは回転部材５の位置に対して対称な位置に突（凸）状の高さ調整部１２を設け、それらを介して互いに接する構造とするとよい。高さ調整部１２は、ねじ式で回すと高さを変更でき、変更後はロックできるものである。高さ調整部１２は、回転部材５側、下クランク７側のいずれの側に設けてもよい。そのとき高さ調整部１２と接触する他の方は平面とする。

なお、上記実施形態として、下クランプ７を上下方向に動作させるための軸部材８、回転部材５、駆動手段１０及び軸支持部材６を、対抗する一対の支持部材３間（つまり、支持部材３の内側）に配置した構成としているが、これに限らず一対の支持部材３の外側に配置してもよい。

［第２の実施の形態］
第２の実施形態は、第１の実施形態における基板支持装置に図９Ａにおける光センサ１００及び検査部２００を用いたプリント基板検査装置について説明する。本実施形態は、図９、図１〜図８を用いて、特に、光センサ１００及び検査部２００を図１及び図に適用した形態で説明する。この説明で用いる図記号で、これまで説明してきた図記号と同一の要部は同一の機能である。

説明は、搬送・検査の動作の流れに従って説明する。
なお、光センサ１００は、上クランプ４に対して平行に走査可能になっている。

ステップ１；検査部２００における制御部２２０は、駆動手段１０に対して回転部材５を上げるようにシーソー回転させることで、下クランプガイドを下げさせる（図２の状態）。
ステップ２；その状態で基板１が図１の左側で搬入されたととき、制御部２２０は、モータ（不図示）を制御してベルト２を回転させ、基板１を図１の右方向へ搬送させる。
ステップ３；そして、基板１が所定の検査位置にきたこと（図１のように上クランプの位置にきたこと）をセンサ（不図示）が検出したとき、制御部２２０は、モータを停止させ、搬送を停止させる。

ステップ４；制御部２２０は、駆動手段１０に対して回転部材５を下げるように駆動させることで、回転部材５は軸部材８を中心にシーソー回転することで下クランプガイド７を上げさせて、基板１を上クランプ４へ押圧させて固定する（図３の状態）。

ステップ５；ステップ４の状態を維持しつつ、制御部４は、光センサ１００を制御して、その基板１のレイアウトにしたがって走査しつつ、基板１の走査した位置における変位を測定する。そして、評価部２１０は、走査箇所の位置と測定した変位とから、はんだの形状を表すデータを算出し、予め記憶していた基準データと比較し、合否判断する。

この走査のとき、基板１は、例え長さが検査対象とする基板の最大長より短くとも、上クランプ４と平行な軸部材８を中心に加点する回転部材５とそれにより平行に移動する下クランプ７で、図７のように上クランプ４に対して平行に押圧されているので、固定時の態様により生ずる誤差の影響を軽減して測定できる。

制御部２２０は、光センサ１００が走査（測定終了）、かつ評価部２１０が検査終了したのを受けてしたのを再び、ステップ１の状態にして、搬送を再開させる。

１ 基板（プリント基板）
２ ベルト
３ 支持部材
４ 上クランプ（第１の押さえ部材）
５、５ａ、５ｂ 回転部材
６ 軸支持部
７ 下クランプ（第２の押さえ部材）
８ 軸部材
９ 横支柱
１０ 駆動手段
１１ クランプガイド
１２ 高さ調整部
１００ 光センサ
２００ 検査部
２１０ 評価部
２２０ 制御部
３００ 下クランプ
４００ 上クランプ

Claims (6)

1. 一辺の長さが所定範囲内で異なるプリント基板（１）を受けて、固定的に支持する基板支持装置であって、
   支持部材（３）と、
   前記一辺に沿う前記所定範囲の最大長に亘る長さの板状の形状を有し、前記一辺と直交する幅方向の一端側が、前記プリント基板の端面の一方の面の上側になるよう、他端側が前記支持部材に固定された第１の押さえ部材（４）と、
   前記一辺に沿う前記最大長に亘る長さの板状の形状を有し、該第１の押さえ部材に相対する位置で前記端面の裏の面側に接触可能に位置し、かつ前記端面に直交する方向に移動可能に設けられた第２の押さえ部材（７）と、
   前記一辺に沿って前記第１の押さえ部材と平行に前記支持部材に固定された軸部材（８）と、
   板状の形状を有し、前記軸部材を中心として回転可能に設けられ、前記回転の中心から離れた遠端側が、前記第２の押さえ部材の前記端面に接触する側とは反対側に接触可能に設けられた回転部材（５）と、を備え、
   前記回転部材の前記遠端側が前記端面に近い方へ回転することにより、前記第２の押さえ部材を前記端面方向へ移動させてプリント基板の前記端面を前記第１の押さえ部材に押圧することで、前記プリント基板を固定的に保持することを特徴とする基板支持装置。
2. 搬送路を搬送されてきた、搬送方向の長さが所定範囲内で異なるプリント基板（１）を受けて、該搬送方向と直交する幅方向の両端面を固定的に支持する同一構造の２つの保持機構を有する基板支持装置であって、
   １つの前記保持機構は、
   前記搬送路の外側に、固定された支持部材（３）と、
   前記搬送方向に沿って前記所定範囲の最大長に亘る長さの板状の形状を有し、前記幅方向の一端側が前記端面の上側になるよう、他端側が前記支持部材に固定された第１の押さえ部材（４）と、
   前記搬送方向に沿って前記所最大長に亘る長さの板状の形状を有し、該第１の押さえ部材に相対する前記端面の下側に接触可能に、かつ上下の移動を可能に設けられた第２の押さえ部材（７）と、
   前記搬送方向に沿って前記第１の押さえ部材と平行に前記支持部材に固定された軸部材（８）と、
   板状の形状を有し、前記軸部材を中心として上下方向に回転可能に設けられ、前記回転の中心から離れた遠端側が、前記第２の押さえ部材の前記端面に接触する側とは反対側に接触可能に設けられた回転部材（５）と、を備え、
   前記回転部材の遠端側が上方向に回転することにより、前記第２の押さえ部材を上に移動させてプリント基板の前記端面を前記第１の押さえ部材に押圧することで、前記プリント基板を固定的に保持することを特徴とする基板支持装置。
3. 前記回転部材の幅方向のいずれかの位置で前記軸部材を中心にシーソー動作可能に設けられ、前記遠端側と反対側を下方に駆動されることにより、前記遠端側が上方向に回転することを特徴とする請求項２に記載の基板支持装置。
4. 前記第２の押さえ部材と前記回転部材とが接するいずれか一方が面を有し、他方が長さ方向の両端側に高さ調整可能な２つの凸部（１１）を有し、該面と該凸部が接触する構造であることを特徴とする請求項２または３に記載の基板支持装置。
5. 前記軸部材及び前記回転部材の前記搬送方向のそれぞれの長さは、前記最大長に亘る長さを有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の基板支持装置。
6. プリント基板のはんだ面を上面として保持する前記請求項２に記載の基板支持装置と、
   該プリント基板の上方に位置に設けられ、該プリント基板を光で走査し、その反射光を受けて変位データを取得する光センサ（１００）と、
   前記変位データを受けて該プリント基板上のはんだ形状を算出してその検査を行う検査部（２００）と、を備えたプリント基板検査装置。

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