KR20100080531A

KR20100080531A - 유체기기 유닛 구조

Info

Publication number: KR20100080531A
Application number: KR1020107007697A
Authority: KR
Inventors: 히로키 이가라시
Original assignee: 사파스고교 가부시키가이샤
Priority date: 2007-10-11
Filing date: 2008-10-03
Publication date: 2010-07-08
Anticipated expiration: 2028-10-03
Also published as: JP5096864B2; JP2009092191A; WO2009048020A1; US8707997B2; EP2196711A1; KR101527392B1; US20100252134A1; EP2196711A4; EP2196711B1

Abstract

액체 메인 유로의 밸브와 리턴 유로의 분기부와의 사이에 형성되는 약액 체류부를 최소한으로 하고, 약액의 응고가 발생되기 어려운 유체기기 유닛 구조를 제공한다. 유로를 통해 접속되는 복수의 유체기기류를 베이스 부재(10)에 집적하여 일체화시키고, 베이스 부재(10)에 형성된 유체 메인 유로(11) 및 리턴 유로(12)에 각각 유로 전환용의 제 1 밸브(20) 및 제 2 밸브(40)가 설치되어 있는 유체기기 유닛 구조에 있어서, 리턴 유로(12)가 유체 메인 유로(11)로부터 분기되는 분기 입구(12a)를 제1 밸브(20)의 상류측 근방으로 하였다.

Description

유체기기 유닛 구조{FLUID DEVICE UNIT STRUCTURE}

본 발명은, 밸브나 압력 스위치 등의 유체기기류를 일체화시킨 유체기기 유닛 구조에 관한 것이다.

종래, 약품 등의 유체(약액;藥液)를 취급하는 장치에서는, 구성 요소가 되는 각종 유체기기류(밸브류, 레귤레이터, 압력센서 등의 각종 센서류 및 압력 스위치 등의 각종 스위치류 등)를 배관으로 접속하여 일체화시킨 유체기기 유닛 구조(집적 구조)가 있다. 이러한 유체기기 유닛 구조에서는, 슬러리 상태의 약액 공급을 행하는 유체 메인 유로(主流路)와 유체 메인 유로로부터 분기시킨 리턴 유로를 구비하고, 각각의 유로에 밸브를 설치하여 유로를 전환하는 용도의 것이 있다.

또한, 예를 들면 반도체 제조장치와 같이 복수의 약액용 유체기기를 사용할 경우, 배관을 이용하지 않고 약액용 유체기기끼리의 연결을 가능하게 하는 집적 구조가 제안되고 있고, 배관이 불필요하기 때문에 장치 전체의 컴팩트화가 가능해진다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

특허문헌1 : 특개2000-120903호 공보(도 1 참조)

그런데, 유체 메인 유로의 밸브를 개방(開)으로 하고 또한 리턴 유로의 밸브를 폐쇄(閉)로 하여 약액(슬러리) 공급을 행할 경우와, 유체 메인 유로의 밸브를 폐쇄로 하고 또한 리턴 유로의 밸브를 개방으로 하여 약액을 리턴시킬 경우의 유로 전환이 가능한 유체기기 유닛 구조에 있어서는, 약액을 리턴시킬 경우에 약액 체류부가 형성되는 문제가 생긴다. 즉, 액체 메인 유로에 설치된 완전 개방의 밸브로부터 리턴 유로의 분기부까지의 사이는 약액의 흐름이 거의 없는 액체 저장조를 발생시키는 약액 체류부(滯留部)가 되기 때문에, 이 약액 체류부에 체류한 약액이 응고되는 결점이 지적되고 있다.

예컨대, 반도체 제조 공정의 웨이퍼 연마 공정(CMP 공정)에 이용되는 이산화 실리콘 분산 수용액(연마액) 등과 같이 응고되기 쉬운 슬러리 상태의 약액을 취급하는 유체기기 유닛 구조의 경우, 상술한 약액 체류부 내에서 약액이 응고되면 액체 메인 유로를 막아서 약액 공급이 불가능해지거나 유로 단면적의 감소에 의해 약액 공급량이 감소하므로, 반도체 제조 공정에 악영향을 끼치게 된다. 이러한 배경에 의해, 액체 메인 유로의 밸브와 리턴 유로의 분기부와의 사이에 형성되는 약액 체류부를 최소한으로 하고, 약액의 응고가 발생되기 어려운 유체기기 유닛 구조의 개발이 요망된다.

본 발명은 상기의 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는 액체 메인 유로의 밸브와 리턴 유로의 분기부와의 사이에 형성되는 약액 체류부를 최소한으로 하고, 약액의 응고가 발생되기 어려운 유체기기 유닛 구조를 제공하는 데 있다.

본 발명은 상기의 과제를 해결하기 위해서 하기의 수단을 채용하였다.

본 발명의 유체기기 유닛 구조는, 유로를 통해 접속되는 복수의 유체기기류를 베이스 부재에 집적하여 일체화시키고, 상기 베이스 부재에 형성된 유체 메인 유로 및 리턴 유로에 각각 유로 전환용의 제1 밸브 및 제2 밸브가 설치되어 있는 유체기기 유닛 구조에 있어서, 상기 리턴 유로가 상기 유체 메인 유로로부터 분기되는 위치를 상기 제1 밸브의 상류측 근방으로 한 것을 특징으로 하는 것이다.

이러한 본 발명에 따르면, 리턴 유로가 유체 메인 유로로부터 분기되는 위치를 제1 밸브의 상류측 근방으로 하였기 때문에, 리턴 유로의 분기부에서 제1 밸브의 상류측까지의 사이에 형성되어 약액 등의 액체가 체류하는 공간 용적(약액 체류부)을 최소화할 수 있다.

상기 발명에 있어서, 상기 리턴 유로가 상기 유체 메인 유로로부터 분기되는 상기 제1 밸브의 상류측 근방은 상기 제1 밸브가 플러그형 밸브체를 상하로 이동시켜서 상기 유체 메인 유로의 상향 개구 부분을 개폐하는 타입이 되고, 상기 제1 밸브의 밸브 시트(valve seat)가 되는 상기 베이스 부재(base member)의 두께로 밸브 시트 강성(剛性)을 확보한 위치인 것이 바람직하며, 이것에 의해 밸브체가 밸브 시트에 눌려지는 완전 폐쇄 상태에서 제1 밸브에 충분한 밀봉성을 확보하면서 약액 체류부를 최소화할 수 있다.

상기 발명에 있어서, 상기 제2 밸브는 다이어프램(diaphram)에 액체 압력을 받는 동시에 개폐 조작 기구에 의해 플러그형의 밸브체를 상하로 이동시켜서 상기 리턴 유로를 개폐하고, 상기 밸브체의 선단부(先端部)측 직경에 대해 근원(根源)측 직경을 작게 하는 것이 바람직하며, 이것에 의해 고배압(高背壓) 대응형의 제2 밸브가 된다. 즉, 밸브체의 근원측 직경과 함께 다이어프램 직경을 작게 함으로써, 완전 폐쇄 시에 밸브체를 개방하는 방향(상향)으로 작용하는 액체의 압력(배압)을 작게 할 수 있으므로, 밸브체를 폐쇄하는 방향으로 눌려지는 힘의 저감이 가능해진다. 한편, 이 경우의 개폐 조작 기구로서는 공기압에 의한 조작이나 전자석에 의한 조작 등이 있다.

상술한 본 발명의 유체기기 유닛 구조에 따르면, 액체 메인 유로의 밸브와 리턴 유로의 분기부와의 사이에 형성되는 약액 체류부를 최소한으로 하고, 약액의 응고가 발생되기 어려운 유체기기 유닛 구조의 제공이 가능해진다. 따라서, 취급하는 액체가 응고되기 쉬운 슬러리 상태의 약액 등이어도, 액체 메인 유로를 막아서 약액 공급이 불가능해지거나, 혹은, 유로 단면적의 감소에 의해 약액 공급량이 감소 하는 일도 없으므로 반도체 제조 공정의 신뢰성 향상에 큰 효과를 발휘한다.

도 1은 본 발명에 따른 유체기기 유닛 구조의 일 실시형태로서, 베이스 부재에 형성된 유로를 나타내는 주요부의 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 유체기기 유닛 구조의 일 실시형태로서, 외관을 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 1의 유체기기 유닛 내에 형성된 유로 구성예를 나타내는 계통도이다.
도 4는 제2 밸브의 밸브체 형상예를 나타내는 주요부의 단면도이다.

이하, 본 발명에 따른 유체기기 유닛 구조의 일 실시형태를 도면에 근거하여 설명한다.

도 1에서 도 3에 나타내는 유체기기 유닛 구조는, 유로를 통해 접속되는 복수의 유체기기류를 베이스 부재(10)에 집적하여 일체화시킨 것이다. 도시한 구성 예에서는, 유체로서 약액을 흘려보내는 것이기 때문에 유체기기 유닛 FU의 주요부(접액부 등)가 내약품성(耐藥品性)의 불소수지제가 된다. 그리고, 이 유체기기 유닛 FU는, 유체기기류로서 두개의 공기압 조작 밸브(20,40)를 사용하고 이들 유체기기류를 베이스 부재(10)에 집적하여 일체화시킨 것이다.

이하의 설명에서는, 베이스 부재(10)에 형성된 유체 메인 유로(11)의 공기압 조작 밸브를 제1 밸브(20)라고 하고, 마찬가지로 베이스 부재(10)에 형성된 리턴 유로(12)의 공기압 조작 밸브를 제2 밸브(40)라고 하는데, 제1 밸브(20) 및 제2 밸브(40)가 공기압 조작 밸브로 한정되는 것은 아니다. 한편, 도면 중의 부호 13은 베이스 고정판이다.

도 3은 유체기기 유닛 FU의 유로(회로) 구성예를 나타내고 있다. 이 유로 구성예에서는, 약액 공급원에 연결되는 입구 접속구(11a)로부터 약액 공급처에 연결되는 출구 접속구(11b)에 이르는 유체 메인 유로(11)를 형성하고, 이 유체 메인 유로(11)의 도중에 노멀 클로즈 타입(normal close type)의 제1 밸브(20)가 설치되어 있다.

리턴 유로(12)는 유체 메인 유로(11)의 도중에서 분기되어 설치되고, 약액을 유체기기 유닛 FU의 외부(예컨대 약액 공급원)로 되돌리기 위한 유로이다. 이 리턴 유로(12)는 분기 입구(12a)에서 액체 메인 유로(11)로부터 분기되어 리턴 출구 접속구(12b)에 이르고, 그 도중에는 노멀 오픈 타입(normal open type)의 제2 밸브(40)가 설치되어 있다.

상술한 유체기기 유닛 FU의 유로 구성에 있어서, 제1 밸브(20)를 개방으로 하고 또한 제2 밸브(40)를 폐쇄로 한 상태에서는, 약액 공급원으로부터 입구 접속구(11a)에 도입된 약액이 유체 메인 유로(11)를 통해 출구 접속구(11b)로부터 약액 공급처로 유출된다. 이 때, 리턴 유로(12)의 제2 밸브(40)가 폐쇄되어 있으므로, 약액의 전량이 약액 공급처로 흘러 가서 리턴 출구 접속구(12b)측으로부터 유출되는 일은 없다. 이하에서는 이러한 밸브의 개폐 상태를 선택하여 형성된 유로를 「약액 공급 모드」라고 부르기로 한다.

한편, 제2 밸브(40)를 개방으로 하고 또한 제1 밸브(20)를 폐쇄로 한 상태에서는, 약액 공급원으로부터 입구 접속구(11a)에 도입된 약액이 유체 메인 유로(11)를 통해 제1 밸브(20)의 상류측에서 리턴 유로(12)로 유입됨으로써, 리턴 출구 접속구(12b)로부터 약액 공급원으로 되돌려진다. 이 때, 유체 메인 유로(11)의 제1 밸브(20)가 폐쇄되어 있으므로, 약액의 전량이 약액 공급원으로 흘러 가서 출구 접속구(11b)측으로부터 유출되는 일은 없다. 이하에서는 이러한 밸브의 개폐 상태를 선택하여 형성된 유로를 「약액 리턴 모드」라고 부르기로 한다.

상술한 유체 메인 유로(11) 및 리턴 유로(12)는 예컨대 도 1에 도시하는 바와 같이 베이스 부재(10)를 관통하여 설치되어 있다.

유체 메인 유로(11)는, 베이스 부재(10)의 측면에 설치된 입구 접속구(11a)로부터 수평 유로부(11c)가 횡방향으로 연장되고, 또한, 수평 유로부(11c)의 단부로부터 연직(鉛直) 유로부(11d)가 연직 방향으로 상측으로 연장되어 있다. 연직 유로부(11d)의 상단부에는 제1 밸브(20)의 밸브체(21)가 설치되어 상하 방향으로 개폐 동작하는 밸브실(22)을 형성한다. 이 밸브실(22)은, 저면에 액체 저장조를 발생시키지 않도록 하기 위해서 연직 유로부(11)가 개구하는 저면 중심 부분을 가장 낮게 한 사발(bowl) 형상이 된다.

또한, 상술한 유체 메인 유로(11)는, 밸브실(22)로부터 하향으로 경사지게 설치되어 있는 경사 유로부(11e)를 거쳐서 출구 접속구(11b)가 개구하는 수평 유로부(11f)에 연통하고 있다. 즉, 유체 메인 유로(11)는 입구 접속구(11a)로부터 출구 접속구(11b)로 향하여 연속되는 수평 유로부(11c), 연직 유로부(11d), 경사 유로부(11e) 및 수평 유로부(11f)에 의해 구성되고, 그 도중에 설치되어 있는 제1 밸브(20)의 밸브실(22)을 통과하게 된다. 바꿔 말하면, 유체 메인 유로(11)는 연직 유로부(11d) 및 경사 유로부(11e) 사이에 설치된 제1 밸브(20)를 구비한 유로가 된다.

리턴 유로(12)는, 유체 메인 유로(11)를 구성하는 연직 유로부(11d)와 교차하도록 연통되는 경사 유로부(12c)를 구비하고 있다. 이 경사 유로부(12c)는 연직 유로부(11d)에 개구하는 분기 입구(12a)로부터 비스듬하게 상향으로 분기되는 유로이며, 제2 밸브(40)의 밸브체(41)가 설치되어 상하 방향으로 개폐 동작하는 밸브실(42)에 연통하고 있다. 그리고, 밸브실(42)의 하면 중앙에는 연직 방향으로 아래쪽으로 연직 유로부(12d)가 연장되고, 또한, 그 하단부로부터 수평방향으로 연장되어 리턴 출구 접속구(12b)가 개구하는 수평 유로부(12e)에 연통하고 있다. 즉, 리턴 유로(12)는 분기 입구(12a)로부터 리턴 출구 접속구(12b)로 향하여 연속되는 경사 유로부(12c), 연직 유로부(12d) 및 수평 유로부(12e)에 의해 구성되고, 그 도중에 설치되어 있는 제2 밸브(40)의 밸브실(42)을 통과하게 된다. 바꿔 말하면, 리턴 유로(12)는 경사 유로부(12c) 및 연직 유로부(12d) 사이에 설치된 제2 밸브(40)를 구비한 유로가 된다.

이와 같이, 유체 메인 유로(11) 및 리턴 유로(12)를 통해 접속되고, 유체 메인 유로(11) 및 리턴 유로(12)에 설치되어 유로의 선택 전환을 행하는 제1 밸브(20) 및 제2 밸브(40)가 베이스 부재(10)에 집적하여 일체화된 유체기기 유닛 FU에 있어서, 리턴 유로(12)를 유체 메인 유로(11)로부터 분기시키는 위치는 제1 밸브(20)의 상류측 근방이 되는 분기 입구(12a)가 된다. 이 분기 입구(12a)는 제1 밸브(20)의 밸브실(22)에 가능한 한 가까운 위치에 설치함으로써, 약액 리턴 모드의 밸브 개폐 상태 및 유로가 선택된 경우, 분기 입구(12a)에서 밸브실(22)까지의 연직 유로부(11d)를 최단 거리로 하고 있다. 즉, 리턴 유로(12)가 유체 메인 유로(11)로부터 분기되는 위치를 제1 밸브(20)의 상류측 근방으로 함으로써, 리턴 유로(12)의 분기 입구(12a)에서 제1 밸브(20)까지의 사이에 형성되어, 약액이 체류하는 공간 용적(약액 체류부)이 되는 연직 유로부(11d)의 길이를 최소로 할 수 있다.

상술한 약액 체류부는 약액 리턴 모드의 경우에 형성되는 것이고, 약액 공급원으로부터 도입되어 입구 접속구(11a)로부터 유체 메인 유로(11)로 유입되는 약액이 연직 유로부(11d)의 도중에 개구하는 분기 입구(12a)로부터 리턴 유로(12)로 유로를 변경함으로써, 약액의 주류(主流)로부터 벗어나는 오목부가 되어 거의 흐름이 발생하지 않는 부분이다. 그러나, 분기 입구(12a)에서 밸브실(22)까지의 연직 유로부(11d)를 최단 거리로 하고 약액 체류부의 공간 용적을 최소로 하였으므로, 약액 리턴 모드에서 체류하는 약액량도 최소가 된다. 이 때문에, 주류의 영향을 받기 쉬워지고 약액 체류부 내에서의 응고가 발생되기 어려워진다. 따라서, 약액 공급 모드를 선택하여 전환했을 때, 약액 체류부에서 응고된 약액이 액체 메인 유로(11)를 막아서 약액 공급을 방해하거나, 혹은, 유체 메인 유로(11)의 유로 단면적을 감소시켜서 약액 공급량을 소정값보다 저감시키는 경우도 없다.

그런데, 리턴 유로(12)가 유체 메인 유로(11)로부터 분기되는 분기 입구(12a)의 위치에 대해서는, 하기의 이유에 의해 제1 밸브(20)의 상류측 근방이 바람직하다. 즉, 분기 입구(12a)의 위치는 분기 입구(12a)에서 밸브실(22)까지 연직 유로부(11d)의 길이가 전혀 없는 것이 이상적이지만, 현실적으로는 유로를 형성하는 베이스 부재(10)에 제1 밸브(20)의 밸브 시트(23)가 되는 두께를 확보할 필요가 있고, 제1 밸브(20)의 밸브체(21)에 충분한 밀봉성을 얻기 위해서는 밸브 시트(23)의 강성이 중요하다.

여기에서 제1 밸브(20)의 구성을 설명한다. 이 제1 밸브(20)는 도시 생략된 가동 수단(코일 스프링 등)에 의해 하향의 누르는 힘을 받아서 닫혀지는 노멀 클로즈 타입이다. 이 제1 밸브(20)는 공기압 조작부(26)에 공급하는 공기압을 ON·OFF하여 플러그형의 밸브체(21)를 밸브실(22) 내에서 상하 이동시켜서 액체 메인 유로(11)를 개폐한다. 플러그형의 밸브체(21)는 연직 유로부(11d)의 상단 개구부를 막아서 유체 메인 유로(11)를 폐쇄하기 때문에, 유체 메인 유로(11d)의 상단 개구부 주변에 밸브체(21)를 눌러서 밀봉하는 밸브 시트(23)가 필요해진다.

또한, 상술한 밸브실(22)의 내부는 약액이 흐르는 유로 부분이 다이어프램(24)에 의해 분리되어 있다. 또한, 밸브실(22)의 저면을 사발 형상으로 했으므로 밸브실(22) 내에 액체 저장조가 발생되지 않기 때문에 약액의 치환성은 양호하다. 또한, 도면 중의 부호 25는 밸브체(21)와 일체화된 축부(軸部)이며, 공기압 조작부(26)나 가동 수단의 누르는 힘에 의해 밸브체(21)를 상하 이동시킨다.

이와 같이, 제1 밸브(20)가 플러그형의 밸브체(21)를 상하 이동시켜서 유체 메인 유로(11)의 상향 개구 부분을 개폐하는 타입이므로, 제1 밸브(20)의 밸브 시트(23)가 되는 베이스 부재(10)에는 밸브 시트(23)에 충분한 강성을 주기 위한 두께가 필요해진다. 따라서, 분기 입구(12a)는 밸브 시트(23)의 강성 확보에 필요한 두께를 확보하기 위해서, 연직 유로부(11d)의 분기 입구(12a)에서 밸브실(22)까지 필요최소한의 길이를 갖춘 위치에 개구하고 있다. 즉, 분기 입구(12a)는 밸브체(21)가 밸브 시트(23)에 눌려지는 완전 폐쇄 상태에서, 제1 밸브(20)에 충분한 밀봉성을 확보하면서 약액 체류부를 최소로 하는 위치에 있다.

한편, 상술한 유체기기 유닛 FU의 제2 밸브(40)는 노멀 오픈 타입의 공기압 조작 밸브이고, 공기압 조작부(46)나 가동 수단의 누르는 힘이 작용하는 방향을 반대로 한 것 이외에는 실질적으로 제1 밸브(20)와 동일한 구성이 된다. 또한, 도면 중의 부호 43은 밸브 시트, 44는 다이어프램, 45는 축부이다.

그런데, 상술한 제2 밸브(40)는 밸브체(42)의 선단부측 직경이 축부(45)까지 일정한 거의 원주형상이 된다. 그리고, 제2 밸브(40)를 닫는 약액 공급 모드에서는, 리턴 유로(12)의 경사 유로부(12c)를 통해 액체 메인 유로(11)를 흐르는 약액으로부터 다이어프램(44)에 대하여 밸브 개방 방향이 되는 상향의 압력이 작용한다. 이러한 약액(액체)의 압력은 배압(背壓)이라 하고, 다이어프램(44)의 면적이 클수록 큰 힘이 된다. 이 때문에, 배압에 대항하여 밸브체(42)가 개방이 되는 것을 저지하기 위해서는 밸브체(42)를 폐쇄 상태로 유지하는 공기압 조작부(46)의 공기압도 크게 할 필요가 있다.

상술한 제2 밸브(40)와 같이, 큰 배압에 대응하여 개폐 조작용의 공기압이 커지는 고배압 대응형 밸브에 있어서는, 예컨대 도 4에 나타내는 공기압 조작 밸브(50)와 같이 밸브체(51)의 선단부측 직경(d1)에 대하여 근원측 직경(d2)을 작게 (d1>d2) 설정하는 것이 바람직하다. 한편, 도면 중의 부호 52는 밸브실, 53은 밸브 시트, 54는 다이어프램, 55는 축부, 56은 공기압 조작부이고 약액 흐름 방향이 화살표로 표시되어 있다.

이러한 공기압 조작 밸브(50)는, 밸브체(51)의 근원측 직경(d2)이 작아진 만큼 다이어프램(54)의 직경 최소화가 가능해진다. 이 때문에, 다이어프램(54)이 받는 압력의 면적을 작게 할 수 있고 공기압 조작부(56)의 공기압을 저감할 수 있는 고배압 대응형의 밸브가 된다.

이와 같이, 상술한 고배압 대응형의 공기압 조작 밸브(50)를 제2 밸브(40)에 채용함으로써, 즉 밸브체(51)의 근원측 직경(d2)과 함께 다이어프램(54)의 직경을 작게 함으로써, 완전 폐쇄 시에 밸브체(51)를 개방하는 방향(상향)으로 작용하는 액체의 압력(배압)이 작아지므로, 공기압 조작부(54)에 의해 밸브체(51)를 닫는 방향으로 눌려지는 힘의 저감이 가능해진다. 따라서, 공기압 조작 밸브(50)는 공기압 조작부(56)의 내압을 낮게 억제할 수 있게 되며 소형화나 저가격화에 유리해진다. 또한, 이러한 고배압 대응형의 공기압 조작 밸브(50)를 제2 밸브(40)에 채용하면, 상술한 유체기기 유닛 FU의 소형화나 저가격화에도 공헌할 수 있다.

또한, 공기압 조작 밸브(50)의 외형 크기를 거의 같게 하면, 다이어프램(54)을 직경 최소화한 만큼 케이싱 부분의 두께를 증대시킬 수 있으므로, 유량 특성에 영향을 주는 밸브 시트 포트 직경(연직 유로부(12d)의 입구 직경)을 유지하면서, 사용 압력(밸브의 내압)을 높이는 것도 가능해진다.

한편, 상술한 설명에서는 공기압 조작부(56)에 의해 밸브체(51)를 닫는 노멀 오픈형의 고압 대응형 밸브로 하였지만, 밸브체(51)의 직경을 변화시키는 구조는 공기압 조작부(56) 대신에 전자석 등의 개폐 조작 기구를 채용한 것에도 적용가능하다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 유체기기 유닛 FU에 따르면, 액체 메인 유로(11)의 제1 밸브(20)와 리턴 유로(12)의 분기 입구(분기부)(12a)와의 사이에 형성되는 약액 체류부를 최소한으로 하고, 약액의 응고가 발생되기 어려워진다. 따라서, 취급하는 액체가 응고되기 쉬운 슬러리 상태의 약액 등이어도, 액체 메인 유로(11)를 막아서 약액 공급을 할 수 없게 되거나, 혹은, 유로 단면적의 감소에 의해 약액 공급량이 감소하는 일도 없으므로, 이것을 반도체 제조 공정에 채용하면 장치의 신뢰성을 크게 향상시킬 수 있다.

그런데, 상술한 실시형태에서는, 2개의 공기압 조작 밸브(20,40)를 베이스 부재(10)에 설치한 구성으로 하였지만, 본 발명의 유체기기 유닛 FU는 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 유량 조정 밸브나 압력센서 등과 같이 공기압 조작 밸브(20,40)의 전후에 유닛화하는 다른 유체기기류를 구비하여도 된다. 또한, 유체 메인 유로(11)나 리턴 유로(12)에 설치되는 공기압 조작 밸브(20,40)에 대해서도, 예를 들면 전자 밸브로 변경하는 등, 상술한 실시형태에 한정되지 않고 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 적절히 변경할 수 있다.

FU : 유체기기 유닛
10 : 베이스 부재
11 : 유체 메인 유로
11d : 연직 유로부
12 : 리턴 유로
12c : 분기 입구
20 : 제1 밸브(공기압 조작 밸브)
21,41,51 : 밸브체
22,42,52 : 밸브실
23,43,53 : 밸브 시트
24,44,54 : 다이어프램
40 : 제2 밸브(공기압 조작 밸브)
50 : 공기압 조작 밸브(고배압 대응형 밸브)

Claims

유로를 통해 접속되는 복수의 유체기기류를 베이스 부재에 집적하여 일체화되며, 상기 베이스 부재에 형성된 유체 메인 유로 및 리턴 유로에 각각 유로 전환용의 제1 밸브 및 제2 밸브가 설치되어 있는 유체기기 유닛 구조에 있어서,
상기 리턴 유로가 상기 유체 메인 유로로부터 분기되는 위치를 상기 제1 밸브의 상류측 근방으로 한 것을 특징으로 하는 유체기기 유닛 구조.
제 1 항에 있어서,
상기 리턴 유로가 상기 유체 메인 유로로부터 분기되는 상기 제1 밸브의 상류측 근방은, 상기 제1 밸브가 플러그형의 밸브체를 상하 이동시켜서 상기 유체 메인 유로의 상향 개구 부분을 개폐하는 타입이 되고, 상기 제1 밸브의 밸브 시트가 되는 상기 베이스 부재의 두께에 밸브 시트 강성을 확보한 위치인 것을 특징으로 하는 유체기기 유닛 구조.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제2 밸브는, 다이어프램에 액체 압력을 받는 동시에 개폐 조작 기구에 의해 플러그형의 밸브체를 상하 이동시켜서 상기 리턴 유로를 개폐하고, 상기 밸브체의 선단부측 직경에 대하여 근원측 직경을 작게 한 것을 특징으로 하는 유체기기 유닛 구조.