KR20090085741A

KR20090085741A - 로딩 핸드

Info

Publication number: KR20090085741A
Application number: KR1020080011501A
Authority: KR
Inventors: 김남형; 유원조; 유상진
Original assignee: 에버테크노 주식회사
Priority date: 2008-02-05
Filing date: 2008-02-05
Publication date: 2009-08-10
Also published as: KR100958273B1

Abstract

본 발명의 로딩핸드는 그 양측에 LM 레일(10)이 소정 간격을 두고 설치되는 지지부재(20)와; 상기 지지부재(20)에 연결되고, 그 후면에 복수개의 LM 가이드(30)가 설치되고, 그 전면에 복수개의 캠홈(102)이 형성된 가이드 플레이트(100)와; 상기 가이드 플레이트(100)에 형성된 캠홈(102)을 따라 이동가능하게 설치되며, 반도체 소자를 픽 앤 플레이스하는 복수개의 픽커모듈(200)과; 그 일측이 상기 픽커모듈(200)의 상부 일측에 연결되고, 상기 픽커모듈(200)과 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)을 연결하는 연결부재(250)와; 상기 픽커모듈(200)과 연결되고, 복수개의 에어 포트(294)가 형성되는 헤드부(300)와; 상기 가이드 플레이트(100)를 소정 위치로 이송시키는 구동부(400)로 구성되는 점에 있다.

핸들러, 로딩핸드, 폭 조절

Description

로딩 핸드{Loading-Hand}

본 발명은 로딩 핸드에 관한 것으로, 특히 반도체 디바이스를 테스트 트레이에 로딩하는 로딩 핸드에 관한 것이다.

종래, 핸들러는 로딩부의 고객트레이(customer tray)에 담겨진 반도체 소자들을 소자 반송장치를 이용하여 테스트 트레이(test tray)에 재치한 후, 테스트 트레이를 테스트 사이트(test site)로 반송하여 테스트를 수행하고, 다시 소자 반송장치를 이용하여 테스트 트레이의 테스트 완료된 반도체 소자들을 언로딩부의 고객트레이에 테스트 결과별로 재수납시키는 동작을 수행하게 된다.

상기 고객 트레이에 정렬된 각 반도체 소자간의 피치(pitch)는 테스트 트레이에 정렬되는 반도체 소자 간의 피치와 다르기 때문에 소자 반송장치가 고객 트레이의 반도체 소자를 테스트 트레이로 옮겨서 장착시키기 위해서는 반도체 소자를 흡착하는 각 픽커간의 간격이 가변되어야 한다. 즉, 소자 반송장치는 각 픽커 간의 간격이 고객 트레이의 반도체 소자의 피치와 테스트 트레이의 반도체 소자 간의 피치로 각각 가변되어야 한다.

한편, 링크를 사용하지 않고 픽커 간격을 조절하는 것으로 국내 등록특허공 보 10-0248704호에 복수개의 캠홈이 경사지게 형성된 캠축 또는 캠판에 설치하고, 상기 캠축 또는 캠판의 각 캠홈에 각각의 픽커의 일부분을 상대 이동 가능하게 결합시킨 반도체 소자 검사기의 소자 간격조절장치(로딩 핸드)가 공지되어 있다.

상기 소자 간격조절장치는 픽커의 끝단부가 캠축 또는 캠판의 캠홈의 일단부에 위치했을 때는 픽커의 간격이 최소로 되고, 회전실린더 또는 공압실린더에 의해 캠축이 회전하거나 캠판이 직선 운동하여 픽커의 끝단부가 캠홈의 타단부로 이동했을 때는 픽커 간격이 최대로 되면서 픽커 간 피치 조절이 2단계로 이루어지게 된다.

그러나, 상기와 같이 이루어진 구성의 종래의 소자 간격조절장치는 픽커 간의 간격 조절이 최소와 최대의 2단계로만 이루어지기 때문에 테스트 하는 반도체 소자의 종류 또는 크기가 변경되면 캠축 또는 캠판을 해당 반도체 소자에 유효한 것으로 교체해 주어야 하는 단점을 가지고 있다.

또한, 종래의 소자 간격조절장치는 Y축의 간격을 조절할 수 없고 X축의 간격만을 조정하는 문제점도 내포하고 있다.

본 발명은 이러한 종래기술의 문제점을 감안하여 안출된 것으로, 그 목적은 로딩핸드의 구조를 모듈화하고 로딩핸드를 X-Y방향으로 한번에 이동하여 그 X축 및 Y축의 간격을 간단하게 조절할 수 있는 로딩핸드를 제공함에 있다.

본 발명의 그 양측에 LM 레일(10)이 소정 간격을 두고 설치되는 지지부재(20)와; 지지부재(20)에 연결되고, 그 후면에 복수개의 LM 가이드(30)가 설치되고, 그 전면에 복수개의 캠홈(102)이 형성된 가이드 플레이트(100)와; 가이드 플레이트(100)에 형성된 캠홈(102)을 따라 이동가능하게 설치되며, 반도체 소자를 픽 앤 플레이스하는 복수개의 픽커모듈(200)와; 그 일측이 상기 픽커모듈(200)의 상부 일측에 연결되고, 상기 픽커모듈(200)과 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)를 연결하는 연결부재(250)와; 픽커모듈(200)과 연결되고, 복수개의 에어 포트(294)가 형성되는 헤드부(300)와; 가이드 플레이트(100)를 소정 위치로 이송시키는 구동부(400)로 구성되는 점에 있다.

본 발명의 로딩핸드는 종래의 로딩핸드에 비하여 구성이 간단하고, 한번에 X-Y방향으로 가변피치를 조절 가능하므로 작업이 용이한 이점이 있다.

그리고, 본 발명의 로딩핸드는 헤드부와 픽커모듈을 원터치로 해제할 수 있게 구성되므로 로딩핸드의 불량으로 인한 교체작업이 용이한 이점이 있다.

(실시예)

본 발명의 로딩핸드의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 로딩핸드는 도1 및 도2에 도시된 바와 같이, 그 양측에 LM 레일(10)이 소정 간격을 두고 설치되는 지지부재(20)와; 지지부재(20)에 연결되고, 그 후면에 복수개의 LM 가이드(30)가 설치되고, 그 전면에 복수개의 캠홈(102)이 형성된 가이드 플레이트(100)와; 가이드 플레이트(100)에 형성된 캠홈(102)을 따라 이동가능하게 설치되며, 반도체 소자를 픽 앤 플레이스하는 복수개의 픽커모듈(200)과; 그 일측이 상기 픽커모듈(200)의 상부 일측에 연결되고, 픽커모듈(200)과 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)을 연결하는 연결부재(250)와; 픽커모듈(200)과 연결되고, 복수개의 에어 포트(294)가 형성되는 헤드부(300)와; 가이드 플레이트(100)를 소정 위치로 이송시키는 구동부(400)로 구성된다.

상기 지지부재(20)는 그 후면이 로봇(도시되지 않음)의 브라켓(40)에 연결되고, 그 전면은 LM 레일(10)이 소정 간격을 두고 양측에 설치된다. 그리고, 상기 지지부재(20)의 전방에는 복수개의 LM 가이드(30)를 구비한 가이드 플레이트(100)가 설치되고, 상기 가이드 플레이트(100)의 LM 가이드(30)는 지지부재(20)의 LM 레일(10)과 상호 연결되어 소정방향으로 이동가능하게 되어 있다.

상기 픽커모듈(200)의 상부에는 헤드부(300)가 설치되고, 상기 헤드부(300)의 상부가 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)(도 2참조)에 연결부재(250)에 의해 연결된다. 상기 헤드부(300)와 픽커모듈(200)은 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)을 따라 구동부(400)의 동작에 따라 이동하면서 X방향으로 폭조절이 가능하게 구성된다. 상기 헤드부(300)의 상부의 일측에는 보조 지지부재(254)가 설치되고, 상기 보조 지지부재(254)에는 복수개의 에어포트(256)가 설치된다. 또한, 헤드부(300)는 그 내측에 복수개의 에어포트(294)가 설치된다.

상기 구동부(400)는 고정판(410)의 일측에 고정되며 로드(414)를 갖는 실린 더(412)와, 도시되지 않은 구동모터로 이루어진다. 그리고, 상기 로드(414)는 가이드 플레이트(100)의 상부 일측에 설치된 연결판(422)과 연결부재(420)에 의해 상호 연결된다.

한편, 픽커모듈(200)은 브라켓(202)과, 상기 브라켓(202)의 내측에 설치되며, 가이드 샤프트(220)에 끼워지게 되는 복수개의 실린더(230)와, 상기 실린더(230)에 각기 연결되는 픽커(240)와, 상기 실린더(230)의 연결부(232)와 브라켓(202)의 내측에 각기 형성된 복수개의 포트(234,204)로 이루어지며, 가이드 샤프트에 끼워진 실린더들의 폭을 조절할 수 있다.

상기 브라켓(202)은 사각형 형태이고, 그 내부가 2개의 작은 사각형으로 구분되어 있다. 그리고, 상기 브라켓(202)의 상부에는 원터치 결합부(260)가 형성되고, 상기 원터치 결합부(260)에는 복수개의 에어 관통홀(262)이 형성되며, 이들은 밀봉수단(도시되지 않음)에 의해 밀봉된다. 그리고, 상기 에어 관통홀(262)의 주변에는 원주방향으로 O-링부재 안착부(261)가 형성되고, 상기 O-링부재 안착부(261)에는 밀봉을 확실하게 하기 위해 O-링부재(263)가 설치된다.

상기 헤드부(300)는 픽커모듈(200)에 이상 유무가 발견되거나 픽커(240)를 교환하고자 할 경우, 로딩핸드의 전체를 교환하는 것이 아니고, 원터치 결합부(260)를 해제함으로써 간단히 픽커모듈(200)이나 픽커(240)를 교환할 수 있다.

한편, 브라켓(202)의 내측에는 복수개의 가이드 샤프트(220)가 설치되고, 상기 가이드 샤프트(220)에는 복수개의 실린더(230)가 끼워지게 된다. 상기 실린더(230)의 하부에는 복수개의 픽커(240)가 설치되고, 실린더(230)의 상부에는 연결 부(232)가 형성되고, 상기 연결부(232)에는 복수개의 포트(234)가 형성된다. 상기 연결부(232)의 복수개의 포트(234)는 각기 원터치 결합부(260)의 하부에 형성된 포트(204)와 상호 연결되어 에어를 공급할 수 있게 구성된다.

상기 실린더(230)들은 가이드 샤프트(220)에 의해 연결되므로 제어부(도시되지 않음)의 제어신호에 따라 실린더(230)의 폭을 조절할 수 있다. 즉, 실린더(230)의 일측에 각기 설치된 고정부(255)에 설치된 센서(244)에 의해 그들 사이의 Y축 방향의 간격을 조절 할 수 있다. 여기서, 상기 실린더(230)는 픽커모듈(200)내에서 Y축 방향의 간격을 정확하게 조절할 수 있다.

상기 가이드 플레이트(100)에 대하여 수직되는 방향으로 Y프레임(500)이 설치되고, 상기 Y프레임(500)의 일측에는 픽커(240)가 전자부품(도시되지 않음)의 픽 앤드 플레이스(PICK AND PLACE)동작을 정확하게 하는지를 확인하기 위한 비젼 카메라(510)가 설치된다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 로딩핸드의 실시예의 동작관계를 설명하면 다음과 같다.

도1 및 도2에 도시된 바와 같이, 복수개의 픽커(240)가 설치된 픽커모듈(200)에 연결된 헤드부(300)가 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)의 상단의 설정위치(A1)에 위치되며, 각 픽커(240)들은 소정 간격을 유지하게 된다.

로딩핸드가 이동하는 동안 핸들러의 제어부에 의해 도시되지 않은 모터가 구동하게 되면 구동부(400)의 실린더(412)가 동작하게 된다. 상기 실린더(412)의 로드(414)가 가이드 플레이트(100)를 밀게 되면 가이드 플레이트(100)의 LM 가이 드(30)가 지지부재(20)의 LM 레일(10)을 따라 아래 방향으로 이동하게 된다. 즉, 픽커모듈(200)과 연결된 헤드부(300)가 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)의 궤적을 따라 X방향 폭을 조절하면서 이동하게 된다. 이때, 픽커모듈(200)의 실린더(230)도 핸들러의 제어부에 의해 제어신호가 입력되면 센서(244)에 의해 실린더(230)가 소정 간격으로 Y축 폭조절을 하게 된다.

이와 같이 픽커(240)가 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)을 따라 이동하면서 X축 폭을 조절할 수 있고, 픽커모듈(200)의 실린더(230)의 동작에 의해 픽커(240)의 Y축 폭을 동시에 조절할 수 있게 된다.

상기 헤드부(300)가 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)의 하단의 설정위치(A2)에 위치하게 되면 X축 방향의 폭 조절의 최대 한계범위에 도달하게 된 것이다. 픽커(240)의 X축 및 Y축 폭을 조절한 상태에서 로딩핸드는 픽커(240)에 흡착된 반도체 소자를 테스트 트레이(도시되지 않음)로 옮겨서 장착하게 된다.

상기와 같이 로딩핸드가 테스트 트레이 위치에서 고객 트레이 위치로 이동할 경우에는 구동부(400)의 동작을 반대로 하게 되면 가이드 플레이트(100)가 다시 A2위치에서 A1의 위치로 승강하면서 캠홈(102)을 따라서 이동하므로 헤드부(300) 및 픽커모듈(200)이 오므라들게 된다.

한편, 픽커(240)의 종류를 교체하거나 픽커(240)에 이상 유무가 발생되었을 경우에는 종래에는 소자 반송장치(로딩핸드) 전체를 교환해야 하지만, 본 발명에서는 헤드부(300)와 픽커모듈(200)을 도 2에 도시된 바와 같이 분리할 수 있다. 즉, 원터치 결합부(260)를 분리할 수 있으므로 픽커(240)의 교체나 이상 유무의 처리를 손쉽게 할 수 있다.

따라서, 본 발명의 로딩핸드는 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)을 따라 내려오면서 X축 방향의 폭을 조절할 수 있고, 복수개의 실린더(230)가 가이드 샤프트(220)를 따라 이동하면서 Y축 방향의 폭을 조절할 수 있다. 그래서, 본 발명의 로딩핸드는 한번에 X축 및 Y축 방향의 폭을 조절할 수 있다.

본 발명의 로딩핸드는 전자부품을 전기적으로 신속하게 테스트 할 수 있는 테스트 핸들러 및 전자부품을 픽 앤 플레이스할 수 있는 반도체 장비분야에 적용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 로딩핸드를 나타낸 사시도,

도 2는 본 발명의 로딩핸드의 요부인 픽커모듈이 분리된 상태를 나타낸 사시도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *

100: 가이드 플레이트 200: 픽커 모듈

220: 가이드 샤프트 240: 픽커

250: 연결부재 260: 원터치 결합부

300: 헤드부 400: 구동부

Claims

그 양측에 LM 레일(10)이 소정 간격을 두고 설치되는 지지부재(20)와;

상기 지지부재(20)에 연결되고, 그 후면에 복수개의 LM 가이드(30)가 설치되고, 그 전면에 복수개의 캠홈(102)이 형성된 가이드 플레이트(100)와;

상기 가이드 플레이트(100)에 형성된 캠홈(102)을 따라 이동가능하게 설치되며, 반도체 소자를 픽 앤 플레이스하는 복수개의 픽커모듈(200)과;

그 일측이 상기 픽커모듈(200)의 상부 일측에 연결되고, 상기 픽커모듈(200)과 헤드부(300)가 가이드 플레이트(100)의 캠홈(102)에 연결되는 연결부재(250)와;

상기 픽커모듈(200)과 연결되고, 복수개의 에어 포트(294)가 형성되는 헤드부(300)와;

상기 가이드 플레이트(100)를 상,하방향의 위치로 이송시키는 구동부(400)와;

상기 가이드 플레이트(100)에 대하여 수직되는 방향으로 비젼 카메라(510)를 구비한 Y프레임(500)으로 구성되고,

상기 픽커모듈(200)은 브라켓(202)과, 상기 브라켓(202)의 내측에 설치되며, 가이드 샤프트(220)에 끼워지게 되는 복수개의 실린더(230)와, 상기 실린더(230)에 각기 연결되는 픽커(240)와, 상기 실린더(230)의 연결부(232)와 브라켓(202)의 내측에 각기 형성된 복수개의 포트(234,204)로 이루어지며, 가이드 샤프트에 끼워진 실린더들의 폭을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 로딩핸드.
제1항에 있어서, 상기 헤드부(300)는 픽커모듈(200)과 원터치 결합부(260)에 의해 밀봉 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 로딩핸드.
제2항에 있어서, 상기 원터치 결합부(260)는 복수개의 에어 관통홀(262)과, 상기 에어 관통홀(262)의 주위에 설치된 O-링부재 안착부(261)과, 상기 O-링부재 안착부(261)에 삽설되어 밀봉을 하는 O-링부재(263)를 구비하는 것을 특징으로 하는 로딩핸드.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 헤드부(300)는 그 일측에 복수개의 에어 포트가 설치되는 보조 지지부재(254)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로딩핸드.
제1항에 있어서, 상기 픽커모듈(200)의 실린더(230)는 그 일측에 실린더간의 거리를 감지하기 위한 센서(244)가 설치되는 것을 특징으로 하는 로딩핸드.
제1항에 있어서, 상기 구동부(400)는 고정판(410)의 일측에 고정되며 로드(414)를 갖는 실린더(412)와, 구동모터로 이루어지며, 상기 로드(414)는 가이드 플레이트(100)의 상부 일측에 설치된 연결판(422)과 연결부재(420)에 의해 상호 연결되는 것을 특징으로 하는 로딩핸드.