KR20080078642A

KR20080078642A - 시트 첩부 장치 및 첩부 방법

Info

Publication number: KR20080078642A
Application number: KR1020087011403A
Authority: KR
Inventors: 히데아키 노나카; 켄지 고바야시
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2005-11-24
Filing date: 2006-10-25
Publication date: 2008-08-27
Anticipated expiration: 2026-10-25
Also published as: CN101313400A; DE112006003158T5; WO2007060803A1; KR101298494B1; CN101313400B; TW200729322A; US7814954B2; TWI381434B; JP2007149764A; JP4880293B2; US20090229735A1

Abstract

반도체 웨이퍼(W)의 면에 면하는 위치에 접착시트(S)를 풀러내는 시트 풀어내기 유닛(12)과, 접착시트(S)를 가압하여 당해 접착시트(S)를 웨이퍼(W)에 첩부하는 가압 롤러(14)를 구비하여 시트 첩부 장치(10)가 구성되어 있다. 시트 풀어내기 유닛(12)은 당해 시트 풀어내기 유닛(12)과 가압 롤러(14) 사이의 접착시트(S)의 장력을 측정하는 장력 측정 수단(35)과 첩부각도(θ)를 유지하는 풀어내기 헤드(49)를 구비한 첩부각도 유지 수단(37)을 포함한다. 접착시트(S)의 첩부 직전에 장력을 측정하여 조정한 후, 가압 롤러(14)의 이동량에 비례하도록 풀어내기 헤드(49)를 하강시킴으로써 첩부각도(θ)가 유지되어 장력이 일정하게 유지된다.

반도체 웨이퍼, 시트 첩부 장치, 가압 롤러, 장력 측정 수단, 첩부각도

Description

시트 첩부 장치 및 첩부 방법{SHEET ADHERING APPARATUS AND SHEET ADHERING METHOD}

본 발명은 시트 첩부 장치 및 첩부 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 웨이퍼 등의 판 형상 부재에 시트를 첩부할 때에, 판 형상 부재의 소정 위치에 시트를 정밀하게 첩부할 수 있는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법에 관한 것이다.

종래부터, 반도체 웨이퍼(이하, 간단히 「웨이퍼」라고 칭함)에는, 그 회로면을 보호하기 위한 보호 시트를 첩부하거나, 이면에 다이본딩용의 접착시트를 첩부하거나 하는 것이 행해지고 있다.

이러한 시트의 첩부 방법으로서는, 띠 형상의 박리시트에 띠 형상의 접착시트가 임시 부착된 원재료 시트를 사용하고, 상기 박리시트로부터 접착시트를 박리하여 웨이퍼에 첩부한 후에, 웨이퍼 외주를 따라 자르는 첩부 방법이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).

특허문헌 1: 일본 특개 2004-47976호 공보

그렇지만, 특허문헌 1에 개시된 시트 첩부 장치에서는, 웨이퍼에 접착시트를 첩부하는 동작 중에 있어서의 장력을 일정하게 유지하는 구성을 적극적으로는 채용하고 있지 않다.

그 때문에, 접착시트에 장력 부족이 생긴 상태에서 당해 접착시트가 웨이퍼에 첩부된 경우에는, 접착시트에 주름을 발생시켜 버리거나, 또는 접착시트와 웨이퍼 사이에 기포를 혼입시켜버린다고 하는 문제를 초래한다. 한편, 접착시트의 장력이 과대한 경우에는, 당해 접착시트의 첩부 후에 있어서, 웨이퍼에 휨 변형을 초래해 버린다고 하는 문제가 있다.

또, 특허문헌 1에서의 시트 첩부 장치는 웨이퍼의 면에 면하는 위치에 시트를 풀어내기 위한 가이드 롤러(28)군이 배치되어 있고, 당해 가이드 롤러(28)군은 접착시트의 첩부 동작부터, 절단 동작, 박리 동작 동안에, 항상 접착시트를 끼우고 있기 때문에, 접착시트의 접착제층에 줄무늬 모양의 오목부를 형성해 버리는 구성으로 되어 있다. 그 때문에, 웨이퍼와 같이 수십 미크론까지 극히 얇게 연마되는 판 형상 부재에서는, 오목부 자국이 남는 시트를 사용하면 두께가 불균일하게 되거나, 연마시에 웨이퍼가 깨지거나 하기 때문에, 오목부 영역은 웨이퍼에 대한 첩부 영역에 사용할 수는 없다. 그래서, 그 오목부 영역이 포함되지 않도록 시트 이송을 행하면 되지만, 그러면 시트를 불필요하게 소비해버린다고 하는 문제가 생긴다.

본 발명은 이러한 문제에 착안하여 안출된 것으로, 그 목적은, 판 형상 부재에 시트를 첩부하기 직전에 당해 시트의 장력를 측정하고, 소정의 설정 장력으로 시트의 첩부를 행할 수 있는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법을 제공하는 것에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 판 형상 부재의 크기에 대응한 길이의 시트 풀어내기에 의해 시트의 불필요한 소비를 대폭 억제할 수 있는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 판 형상 부재의 면에 면하는 위치에 시트를 풀러내는 시트 풀어내기 유닛과, 상기 시트에 압력을 부여하여 판 형상 부재의 일단으로부터 타단을 향하여 시트를 첩부하는 가압 롤러를 구비한 시트 첩부 장치에 있어서, 상기 시트 풀어내기 유닛은, 당해 시트 풀어내기 유닛과 상기 가압 롤러 사이의 시트의 장력을 측정하는 장력 측정 수단과, 상기 판 형상 부재에 대하여 시트의 첩부각도를 일정하게 유지하는 방향으로 이동하는 풀어내기 헤드를 포함하는 첩부각도 유지 수단을 구비하고, 상기 장력 측정 수단은 상기 가압 롤러에 의해 판 형상 부재에 시트가 첩부되기 직전의 장력을 측정하는 한편, 상기 첩부각도 유지 수단의 풀어내기 헤드는 상기 판 형상 부재에 대한 가압 롤러의 상대 이동량에 비례하여 이동함으로써 첩부각도를 대략 일정하게 유지하여 시트의 장력이 대략 일정하게 유지된다고 하는 구성을 채용하고 있다.

본 발명에서, 상기 장력 측정 수단은 소정의 설정 장력에 대하여 과부족을 검출했을 때에, 상기 풀어내기 헤드의 위치를 변위시켜 상기 시트를 설정 장력으로 조정한다고 하는 구성을 채용하고 있다.

또, 상기 시트 풀어내기 유닛은 필링 플레이트를 포함하고, 당해 필링 플레이트의 선단으로부터 가압 롤러까지의 사이에 풀려나오는 시트 길이는 상기 판 형상 부재의 일단으로부터 타단까지의 길이보다도 약간 길게 설정된다고 하는 구성을 채용하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명은 시트 풀어내기 유닛으로부터 시트를 풀러냄과 아울러, 가압 롤러로 시트를 가압하여 당해 시트를 판 형상 부재에 첩부하는 시트 첩부 방법에 있어서, 장력 측정 수단에 의해 상기 가압 롤러가 시트를 가압하여 당해 시트를 첩부하기 직전의 장력을 측정한 후, 상기 판 형상 부재에 대한 시트 첩부각도를 일정하게 유지하도록 판 형상 부재와 가압 롤러를 상대이동시켜 판 형상 부재에 시트를 첩부한다고 하는 방법을 채용하고 있다.

상기 방법에서, 상기 첩부 직전에 측정된 장력이 소정의 설정 장력에 대하여 과부족이 검출되었을 때에, 상기 시트를 설정 장력으로 되도록 조정하여 첩부한다고 하는 방법을 채용하고 있다.

또, 상기 방법에서, 상기 시트 풀어내기 유닛으로부터 가압 롤러까지 풀려나온 시트의 길이는 상기 판 형상 부재의 일단으로부터 타단까지의 길이보다도 약간 길게 유지된 상태에서 시트 첩부가 행해진다는 방법을 채용하는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 시트를 판 형상 부재에 첩부하기 직전에 장력 측정 수단으로 시트의 장력을 측정하는 구성을 채용하고 있기 때문에, 이 측정에 의해 설정 장력에 대하여 과부족이 발생했는지 아닌지를 검출할 수 있으며, 당해 과부족이 생긴 경우에, 설정 장력으로 되도록 풀어내기 헤드의 위치를 조정함으로써 장력을 설정 장력으로 조정할 수 있고, 이것에 의해, 첩부각도도 동시에 결정한다. 따라서, 이후, 상기 판 형상 부재에 대한 가압 롤러의 상대 이동량에 비례하여 풀어내기 헤드를 이동시킴으로써 첩부각도가 일정하게 유지되는 결과, 시트의 장력도 일정하게 유지되어 당해 시트의 첩부를 행할 수 있으므로, 첩부 시에 시트의 느슨함을 생기게 하지 않음과 아울러, 과대하게 장력을 부여하지도 않아, 주름의 발생이나 공기의 혼입, 판 형상 부재의 휨 변형을 회피할 수 있다.

또, 상기 판 형상 부재에 대한 가압 롤러의 상대 이동량에 비례하여 첩부각도 유지 수단의 풀어내기 헤드가 이동하므로, 첩부 전에 조정된 장력이 그 후에도 일정하게 유지되게 되고, 이것에 의해, 정밀하게 시트의 첩부를 행할 수 있다.

또한, 필링 플레이트의 선단으로부터 가압 롤러까지의 사이에 풀려나오는 시트 길이가 판 형상 부재의 일단으로부터 타단까지의 길이보다도 약간 길게 설정된 상태에서 첩부되므로, 판 형상 부재의 상기 타단 근방에 이어지는 시트 영역을 다음 판 형상 부재에 첩부하는 영역으로서 이용하는 것이 가능하게 되어, 각 판 형상 부재에 첩부되는 시트 영역 간의 여백 혹은 마진을 최단화하여 시트의 불필요한 소비를 해소할 수 있다.

도 1 은 본 발명의 실시형태에 따른 시트 첩부 장치의 개략 정면도.

도 2 는 상기 시트 첩부 장치의 개략 사시도.

도 3 은 테이블의 개략 단면도.

도 4 는 접착시트의 첩부 동작 설명도.

도 5 는 박리 장치에 의한 불필요 접착시트의 박리 동작 설명도.

(부호의 설명)

10 시트 첩부 장치 12 시트 풀어내기 유닛

14 가압 롤러 35 장력 측정 수단

39 로드 셀 40 장력 측정 롤러

37 첩부각도 유지 수단 S 접착시트

W 웨이퍼(판 형상 부재) θ 첩부각도

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1에는 본 실시형태에 따른 시트 첩부 장치의 개략 정면도가 도시되어 있고, 도 2에는 그 개략 사시도가 도시되어 있다. 이들 도면에서, 시트 첩부 장치(10)는 베이스(11)의 상부에 배치된 시트 풀어내기 유닛(12)과, 판 형상 부재로서의 웨이퍼(W)를 지지하는 테이블(13)과, 웨이퍼(W)의 상면측에 풀려나온 접착시트(S)에 가압력을 부여하여 당해 접착시트(S)를 웨이퍼(W)에 첩부하는 가압 롤러(14)와, 웨이퍼(W)에 접착시트(S)를 첩부한 후에 당해 웨이퍼(W)의 외측 가장자리를 따라 접착시트(S)를 절단하는 커터(15)와, 웨이퍼(W)의 외측의 불필요 접착시트(S1)를 테이블(13)의 상면으로부터 박리하는 박리 장치(16)와, 불필요 접착시트(S1)를 권취하는 권취 장치(17)를 구비하여 구성되어 있다.

상기 시트 풀어내기 유닛(12)은 띠 형상의 박리시트(PS)의 일방의 면에 띠 형상의 접착시트(S)가 임시 부착된 롤 형상의 원재료 시트(L)를 지지하는 지지 롤러(20)와, 이 지지 롤러(20)로부터 풀려나온 원재료 시트(L)를 급격하게 반전하여 접착시트(S)를 박리시트(PS)로부터 박리하는 필링 플레이트(22)와, 박리시트(PS)를 권취하여 회수하는 회수 롤러(23)와, 지지 롤러(20)와 회수 롤러(23) 사이에 배치된 복수의 가이드 롤러(25∼31)와, 가이드 롤러(25, 26) 사이에 배치된 버퍼 롤러(33)와, 가이드 롤러(27, 28) 사이에 배치된 장력 측정 수단(35)과, 상기 가압 롤러(14)와 서로 작용하여 웨이퍼(W)에 대한 접착시트(S)의 첩부각도(θ)를 일정하게 유지하는 첩부각도 유지 수단(37)을 구비하여 구성되어 있다. 또한, 상기 가이드 롤러(27, 29)에는, 브레이크 슈(32, 42)가 병설되어 있고, 이들 브레이크 슈(32, 42)는 접착시트(S)를 웨이퍼(W)에 첩부할 때에, 실린더(38, 48)에 의해 대응하는 가이드 롤러(27, 29)에 대하여 진퇴함으로써 접착시트(S)를 끼워넣어 그 인출을 억제하도록 되어 있다.

상기 장력 측정 수단(35)은 로드 셀(39)과, 당해 로드 셀에 지지되고 상기 필링 플레이트(22)의 기부측에 위치하는 장력 측정 롤러(40)로 구성되어 있다. 장력 측정 롤러(40)는 가이드 롤러(27, 29)와 브레이크 슈(32, 42)로 끼워지고, 후술의 풀어내기 헤드(49)가 승강함으로써 상기 가압 롤러(14)와의 사이에 풀려나온 접착시트(S)에 작용하는 장력을 로드 셀(39)에 전하도록 구성되어 있다.

상기 첩부각도 유지 수단(37)은 가이드 롤러(27, 28, 29), 로드 셀(39), 장력 측정 롤러(40), 브레이크 슈(32, 42), 실린더(38, 48), 필링 플레이트(22) 및 이것들을 유지하는 1쌍의 슬라이드 판(43)에 의해 구성된 풀어내기 헤드(49)와, 당해 풀어내기 헤드(49)를 상하로 안내하는 1쌍의 가이드 레일(45)과, 풀어내기 헤드(49)에 승강력을 부여하는 1쌍의 단축 로봇(46)을 구비하여 구성되어 있다. 가이드 레일(45) 및 단축 로봇(46)은 경사 자세로 배치되어 있고, 이 경사각도를 따라 풀어내기 헤드(49)가 승강 가능하게 되어 있으며, 상기 로드 셀(39)에 의해 접착시트(S)의 첩부 직전의 장력이 측정되고, 미리 설정된 설정 장력에 대하여 과부족이 생긴 경우에, 풀어내기 헤드(49)가 승강함으로써 장력 조정을 행할 수 있게 되어 있다. 또한, 필링 플레이트(22)는 슬라이드 판(43)의 내측에 배치된 실린더(50)에 지지되어 있고, 도 1 중 X 방향으로 진퇴 가능하게 설치되며, 이것에 의해, 웨이퍼(W)의 직경에 따라 필링 플레이트(22)의 선단 위치 조정을 행할 수 있게 되어 있다.

상기 테이블(13)은, 도 3에 도시되는 바와 같이, 평면으로 보아 사각형의 외측 테이블(51)과, 평면으로 보아 대략 원형의 내측 테이블(52)로 구성되어 있다. 외측 테이블(51)은 내측 테이블(52)을 수용할 수 있는 오목 형상으로 설치되어 있음과 아울러, 단축 로봇(54)을 통하여 베이스(11)에 대하여 승강 가능하게 설치되어 있다. 한편, 내측 테이블(52)은 단축 로봇(56)을 통하여 외측 테이블(51)에 대하여 승강 가능하게 설치되어 있다. 따라서, 외측 테이블(51)과 내측 테이블(52)은 일체적으로 승강 가능함과 아울러, 서로 독립하여 승강 가능하게 되며, 이것에 의해, 접착시트(S)의 두께, 웨이퍼(W)의 두께에 따라 소정의 높이 위치로 조정할 수 있게 되어 있다.

상기 가압 롤러(14)는 문형(門型) 프레임(57)을 통하여 지지되어 있다. 문형 프레임(57)의 상면측에는, 실린더(59, 59)가 설치되어 있고, 이들 실린더(59)의 작동에 의해 가압 롤러(14)가 상하로 승강 가능하게 설치되어 있다. 또한, 문형 프레임(57)은, 도 2에 도시되는 바와 같이, 단축 로봇(60) 및 가이드 레일(61)을 통하여 도 1 중 X방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다.

상기 커터(15)는 테이블(13)의 상방 위치에서 도시하지 않은 승강 장치를 통하여 승강 가능하게 설치되어 있다. 이 커터(15)는 회전 중심축(65)에 고정된 회 전 암(66)과, 이 회전 암(66)에 지지된 커터날(67)로 구성되고, 당해 커터날(67)을 회전 중심축(65) 주위로 회전시킴으로써 웨이퍼(W)의 외측 가장자리를 따라 접착시트(S)를 절단할 수 있게 되어 있다.

상기 박리 장치(16)는, 도 1 및 도 4, 도 5에 도시되는 바와 같이, 소직경 롤러(70)와, 대직경 롤러(71)에 의해 구성되어 있다. 이들 소직경 롤러(70) 및 대직경 롤러(71)는 이동 프레임(F)에 지지되어 있다. 이 이동 프레임(F)은 도 2 중 Y방향을 따라 상대 배치된 전방부 프레임(F1)과, 이 전방부 프레임(F1)에 연결 부재(73)를 통하여 연결된 후방부 프레임(F2)으로 이루어지고, 후방부 프레임(F2)은 단축 로봇(75)에 지지되어 있는 한편, 전방부 프레임(F1)은 상기 가이드 레일(61)에 지지되고, 이것에 의해, 이동 프레임(F)은 도 2 중 X방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 대직경 롤러(71)는, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 암 부재(74)에 지지되어 있음과 아울러, 당해 암 부재(74)은 실린더(78)에 의해 대직경 롤러(71)가 소직경 롤러(70)에 대하여 이간, 접근하는 방향으로 변위 가능하게 되어 있다.

상기 권취 장치(17)는 이동 프레임(F)에 지지된 구동 롤러(80)와, 회전 암(84)의 자유단측에 지지되고, 스프링(85)을 통하여 구동 롤러(80)의 외주면에 접하여 불필요 접착시트(S1)를 니핑하는 권취 롤러(81)에 의해 구성되어 있다. 구동 롤러(80)의 축단에는, 구동 모터(M)가 배치되어 있고, 이동 프레임(F)의 이동에 동기하여 당해 모터(M)가 구동함으로써, 구동 롤러(80)가 회전하고, 권취 롤러(81)가 이것에 추종 회전하여 불필요 접착시트(S1)가 권취되게 되어 있다. 또한, 권취 롤러(81)는, 권취량이 증대함에 따라, 스프링(85)의 힘에 저항하여 도 1 중 우측 방 향으로 회전하게 된다.

다음에, 본 실시형태에서의 접착시트(S)의 첩부 방법에 대하여, 도 4 및 도 5를 참조하면서 설명한다.

초기 설정에서, 지지 롤러(20)로부터 풀려나오는 원재료 시트(L)는 필링 플레이트(22)의 선단 위치에서 박리시트(PS)로부터 접착시트(S)가 박리되고, 박리시트(PS)의 리드단은 가이드 롤러(28, 29)를 경유하여 회수 롤러(23)에 고정된다. 한편, 접착시트(S)의 리드단은 가압 롤러(14), 박리 장치(16)를 경유하여 권취 장치(17)의 권취 롤러(81)에 고정된다. 이때, 필링 플레이트(22)는 당해 필링 플레이트(22)와 가압 롤러(14) 사이의 접착시트(S)의 길이가 웨이퍼(W)의 일단으로부터 타단, 즉 도 4 중 우단으로부터 좌단까지의 길이보다도 약간 길어지도록, 실린더(50)를 통하여 선단의 위치 조정이 행해진다.

도시하지 않은 옮겨싣기 암을 통하여 테이블(13) 상에 웨이퍼(W)가 세팅된 상태에서 첩부 동작이 개시된다. 그 동작과 전후하여, 가이드 롤러(27, 29)에 브레이크 슈(32, 42)가 맞닿아 접착시트(S)의 풀어내기가 억제되고, 첩부동작 직전의 시트 풀어내기 유닛(12)과 가압 롤러(14) 사이의 접착시트(S)의 장력이 장력 측정 롤러(40)를 통하여 로드 셀(39)에서 측정된다. 그래서, 미리 설정된 장력에 대하여 과부족을 발생하고 있는 경우에는, 풀어내기 헤드(49)의 위치를 승강시켜 설정 장력으로 되도록 조정되고, 설정 장력으로 되었을 때에 첩부각도(θ)가 결정된다(도 4(A) 참조). 그리고, 테이블(13)이 정지한 상태에서, 가압 롤러(14)가 회전하면서 웨이퍼(W) 위를 도 4 중 좌측으로 상대이동한다.

가압 롤러(14)가 웨이퍼(W) 위를 상대이동할 때는, 도 4(A)에 도시되는 바와 같이, 가압 롤러(14)의 최하점의 위치와, 필링 플레이트(22)의 첩부시 초기의 선단 위치를 각각 P1, P2로 하고, 접착시트(S)를 첩부 완료한 시점의 필링 플레이트의 선단 위치를 P3으로 했을 때, 단축 로봇(60)에 의해 가압 롤러(14)가 이동하여 점 P1, P3의 거리가 짧아짐에 따라, 필링 플레이트(22)의 높이 즉, 점 P2, P3 사이의 거리도 짧아지도록 첩부각도 유지 수단(37)을 구성하는 풀어내기 헤드(49)를 가이드 바(45)를 따라 하강시켜, 항상 첩부각도(θ)를 유지하도록 단축 로봇(46, 60)을 동기 제어시킨다.

도 4(D), (E)에 도시되는 바와 같이, 접착시트(S)의 첩부가 완료되면, 커터(15)가 하강하여 웨이퍼(W)의 외주 가장자리를 따라 접착시트(S)의 절단을 행하고, 그 후에 커터(15)가 상승하여 초기 위치(도 1 참조)로 복귀한다. 이때, 필링 플레이트(22)의 선단은 웨이퍼(W)의 좌단 근방에 위치하고, 이것에 의해, 필링 플레이트(22)의 선단 위치로부터 좌측에 존재하는 접착시트 영역을 다음 웨이퍼(W)로의 접착 영역으로 할 수 있어, 접착시트(S)를 불필요하게 소비하지 않게 되어 있다.

이어서, 웨이퍼(W)가 옮겨싣기 장치를 통하여 테이블(13)로부터 제거되면, 도 5에 도시되는 바와 같이, 가압 롤러(14)가 상승하고, 이동 프레임(F)이 단축 로봇(75)의 구동에 의해 도 1 중 좌측으로 이동하게 된다. 이때, 박리 장치(16)의 소직경 롤러(70) 및 대직경 롤러(71)가 불필요 접착시트(S1)를 테이블(13)로부터 박리하면서, 권취 장치(17)의 구동 롤러(80)가 단축 로봇(75)에 동기 구동하여 불 필요 접착시트(S1)를 권취함으로써, 웨이퍼(W) 주위의 불필요 접착시트(S1)를 테이블(13)의 상면으로부터 박리한다.

그리고, 브레이크 슈(32, 42)가 가이드 롤러(27, 29)로부터 떨어져서 원재료 시트(L)의 풀어내기를 가능하게 함과 아울러, 구동 롤러(80)가 로킹된 상태에서 박리 장치(16)와 권취 장치(17)가 초기 위치로 복귀하고, 풀어내기 헤드(49)의 위치를 승강시킴으로써 새로운 접착시트(S)가 당겨져 나오고, 새로운 웨이퍼(W)가 다시 테이블(13) 상에 옮겨실린다(도 5(D) 참조).

따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 웨이퍼(W)에 대한 가압 롤러(14)의 상대 이동량에 비례하여 첩부각도 유지 수단(37)의 풀어내기 헤드(49)가 하강하여 첩부각도(θ)를 일정하게 유지할 수 있고, 접착시트(S)의 첩부를 시작하기 직전에 장력을 측정하여 설정 장력으로 조정해 두면, 당해 설정 장력을 유지한 채 웨이퍼(W)에 접착시트(S)를 첩부할 수 있다고 하는 효과를 얻는다.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은 상기 기재에서 개시되어 있는데, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

즉, 본 발명은 주로 특정 실시형태에 관하여 특별히 도시, 설명되어 있는데, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에서 설명한 실시형태에 대하여, 형상, 위치 혹은 배치 등에 관하여, 필요에 따라 당업자가 여러 변경을 가할 수 있는 것이다.

예를 들면, 상기 실시형태에서는, 테이블(13)이 정지한 상태에서, 가압 롤러(14)가 이동함으로써 접착시트(S)가 첩부되는 경우를 도시하여, 설명했는데, 테 이블(13)을 이동시키는 구성을 채용하는 것이어도 된다. 또, 첩부각도(θ)는 특별히 한정되는 것은 아니다.

또, 상기 실시형태에서는, 판 형상 부재로서 웨이퍼(W)를 대상으로 했는데, 본 발명에서의 판 형상 부재는 반도체 웨이퍼(W)에 한정되는 것은 아니며, 유리, 강판, 또는, 수지판 등, 그 밖의 판 형상 부재도 대상으로 할 수 있고, 반도체 웨이퍼는 실리콘 웨이퍼나 화합물 웨이퍼이어도 된다. 또 판 형상 부재는 원형의 것에 한하지 않고, 다각 형상이어도 된다.

Claims

판 형상 부재의 면에 면하는 위치에 시트를 풀러내는 시트 풀어내기 유닛과, 상기 시트에 압력을 부여하여 판 형상 부재의 일단으로부터 타단을 향하여 시트를 첩부하는 가압 롤러를 구비한 시트 첩부 장치에 있어서,

상기 시트 풀어내기 유닛은 당해 시트 풀어내기 유닛과 상기 가압 롤러 사이의 시트의 장력을 측정하는 장력 측정 수단과, 상기 판 형상 부재에 대하여 시트의 첩부각도를 일정하게 유지하는 방향으로 이동하는 풀어내기 헤드를 포함하는 첩부각도 유지 수단을 구비하고,

상기 장력 측정 수단은 상기 가압 롤러에 의해 판 형상 부재에 시트가 첩부되기 직전의 장력을 측정하는 한편, 상기 첩부각도 유지 수단의 풀어내기 헤드는 상기 판 형상 부재에 대한 가압 롤러의 상대 이동량에 비례하여 이동함으로써 첩부각도를 대략 일정하게 유지하여 시트의 장력이 대략 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 장력 측정 수단은 소정의 설정 장력에 대하여 과부족을 검출했을 때에, 상기 풀어내기 헤드의 위치를 변위시켜 상기 시트를 설정 장력으로 조정하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 시트 풀어내기 유닛은 필링 플레이트 를 포함하고, 당해 필링 플레이트의 선단으로부터 가압 롤러까지의 사이에 풀려나오는 시트 길이는 상기 판 형상 부재의 일단으로부터 타단까지의 길이보다도 약간 길게 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
시트 풀어내기 유닛으로부터 시트를 풀러냄과 아울러, 가압 롤러로 시트를 가압하여 당해 시트를 판 형상 부재에 첩부하는 시트 첩부 방법에 있어서,

장력 측정 수단에 의해 상기 가압 롤러가 시트를 첩부하기 직전의 당해 시트의 장력을 측정한 후,

상기 판 형상 부재에 대한 시트 첩부각도를 일정하게 유지하도록 판 형상 부재와 가압 롤러를 상대이동시켜 판 형상 부재에 시트를 첩부하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 방법.
제 4 항에 있어서, 상기 첩부 직전에 측정된 장력이 소정의 설정 장력에 대하여 과부족이 검출되었을 때에, 상기 시트를 설정 장력이 되도록 조정하여 첩부하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 방법.
제 4 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 시트 풀어내기 유닛으로부터 가압 롤러까지 풀려나온 시트의 길이는 상기 판 형상 부재의 일단으로부터 타단까지의 길이보다도 약간 길게 유지된 상태에서 시트 첩부가 행해지는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 방법.