[go: up one dir, main page]

KR20060056598A - Filter Package and Package Lead Manufacturing Method - Google Patents

Filter Package and Package Lead Manufacturing Method Download PDF

Info

Publication number
KR20060056598A
KR20060056598A KR1020040095748A KR20040095748A KR20060056598A KR 20060056598 A KR20060056598 A KR 20060056598A KR 1020040095748 A KR1020040095748 A KR 1020040095748A KR 20040095748 A KR20040095748 A KR 20040095748A KR 20060056598 A KR20060056598 A KR 20060056598A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lead
filter
film
package
resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
KR1020040095748A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김경석
Original Assignee
엘지이노텍 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지이노텍 주식회사 filed Critical 엘지이노텍 주식회사
Priority to KR1020040095748A priority Critical patent/KR20060056598A/en
Publication of KR20060056598A publication Critical patent/KR20060056598A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/25Constructional features of resonators using surface acoustic waves
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H3/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
    • H03H3/007Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
    • H03H3/02Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H3/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
    • H03H3/007Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
    • H03H3/08Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/17Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
    • H03H9/171Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator implemented with thin-film techniques, i.e. of the film bulk acoustic resonator [FBAR] type
    • H03H9/172Means for mounting on a substrate, i.e. means constituting the material interface confining the waves to a volume
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

본 발명은 균일한 공동(cavity) 형성 및 기밀도를 유지할 수 있는 필터 패키지 및 패키지 리드 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a filter package and a package lead manufacturing method capable of maintaining uniform cavity formation and airtightness.

본 발명에 의한 필터 패키지는 회로기판과, 상기 회로기판 상에 실장된 필터와, 상기 필터 상에 형성된 감광막 댐과, 상기 감광막 댐 상에 접착되어 상기 필터의 패턴부를 밀폐시키는 수지계열의 접착막이 부착된 리드가 포함되어 구성하며, 특히 상기 수지계열의 접착막은 드라이 필름 또는 균일하게 도포된 페이스트 중의 어느 하나를 사용하였다.The filter package according to the present invention includes a circuit board, a filter mounted on the circuit board, a photosensitive film dam formed on the filter, and a resin-based adhesive film adhered to the photosensitive film dam to seal the pattern portion of the filter. The lead is included, and in particular, the resin-based adhesive film is made of either a dry film or a uniformly applied paste.

이에 따라 필터 상에 형성된 감광막 댐과 상기 수지계열의 접착막에 둘러 쌓여 형성되는 쏘우 필터 패키지의 공동의 기밀도가 높아짐으로써 신뢰성이 향상된 쏘우 필터 패키지를 제조할 수 있다.Accordingly, the airtightness of the cavity of the saw filter package formed by surrounding the photosensitive film dam formed on the filter and the adhesive layer of the resin series is increased, thereby making it possible to manufacture a saw filter package having improved reliability.

쏘우 필터, 패키지, 필름, 공동, cavitySaw filter, package, film, cavity

Description

필터 패키지 및 패키지 리드 제조방법{FILTER PACKAGE AND METHOD FOR MANUFACTURING PACKAGE LID} Filter package and package lead manufacturing method {FILTER PACKAGE AND METHOD FOR MANUFACTURING PACKAGE LID}             

도 1은 종래 기술에 따른 쏘우 필터 패키지를 도시한 도면.1 shows a saw filter package according to the prior art;

도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 쏘우 필터 패키지의 구조 및 그 제조방법을 도시한 도면.2a to 2d are views illustrating a structure of a saw filter package and a method of manufacturing the same according to the present invention.

도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 일실시예에 따른 필터 패키지 리드 제조방법을 나타낸 도면3A to 3E illustrate a method of manufacturing a filter package lead according to an embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필터 패키지 리드 제조방법을 나타낸 도면
4A to 4E are views illustrating a method of manufacturing a filter package lead according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

200: 회로 기판 211a, 211b: 풋 패드(foot pad)200: circuit board 211a, 211b: foot pad

212a, 212b: 내부 전극 213: 와이어212a and 212b: internal electrode 213: wire

215: 필터접착제 220: 쏘우 필터(saw filter)215: filter adhesive 220: saw filter

221: 감광막 댐(dam) 230,330,430: 리드(lid)221: photosensitive film dam 230,330,430: lid

240,340,440: 접착층 250: 몰드부240, 340, 440: adhesive layer 250: mold part

본 발명은 균일한 공동(cavity) 형성 및 기밀도를 유지할 수 있는 필터 패키지 및 패키지 리드 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a filter package and a package lead manufacturing method capable of maintaining uniform cavity formation and airtightness.

최근, 이동 통신 시스템의 발전에 따라, 휴대 전화, 휴대형의 정보 단말 등의 이동 통신 기기가 급속히 보급되어, 이들 기기의 소형화 및 고성능화의 요구로부터 이들에 사용되는 부품의 소형화 및 고성능화가 요구되고 있다. 또한, 휴대 전화에 있어서는 아날로그 방식과 디지털 방식의 2개의 종류의 무선 통신 시스템이 이용되고 있고, 무선 통신에 사용하는 주파수도 800MHz ∼ 1GHz 대와, 1.5GHz ∼ 2.0GHz 대로 다방면에 걸쳐 있다.Background Art In recent years, with the development of mobile communication systems, mobile communication devices such as mobile phones and portable information terminals are rapidly spreading, and the demand for miniaturization and high performance of these devices has been required to reduce the size and performance of components used therein. In addition, two types of wireless communication systems, analog and digital, are used in mobile telephones, and the frequencies used for wireless communication are also in the 800 MHz to 1 GHz band and the 1.5 GHz to 2.0 GHz band.

특히, 통신 장치 및 다른 전자 장치에서, 대역 통과 필터로서 SAW(Surface Acoustic Wave) 필터가 널리 사용되고 있다. SAW 필터로는, 압전 기판 상에 소정 거리로 배열된 두 개의 인터디지털 트랜스듀서(IDT)를 가지는 횡형 SAW 필터와, 압전 기판 상에 공진자를 구성하는 SAW 공진자 필터가 있다.In particular, surface acoustic wave (SAW) filters are widely used as band pass filters in communication devices and other electronic devices. SAW filters include a lateral SAW filter having two interdigital transducers (IDTs) arranged at a predetermined distance on a piezoelectric substrate, and a SAW resonator filter constituting a resonator on a piezoelectric substrate.

SAW 공진자 필터로서, 러브파, BGS(Bluestein-Gulyaev-Shimuzu)파 및 SH (Shear Horizontal) 표면탄성파를 이용하는 단면 반사형 SAW 공진자 필터가 알려져 있다.As SAW resonator filters, a single-sided reflection SAW resonator filter using love waves, BGS (Bluestein-Gulyaev-Shimuzu) waves, and SH (Shear Horizontal) surface acoustic waves is known.

최근에는 통신 기기에서 신호를 송신할 때 일정 주파수 대역의 신호만 필터링하여 송신하거나, 수신할 때 일정한 다른 주파수 대역의 신호만을 수신할 수 있 도록 하는 듀플렉서를 칩으로 제조하여 사용하고 있다.Recently, a duplexer has been manufactured and used as a chip so that only a signal of a certain frequency band can be filtered or transmitted when a signal is transmitted from a communication device or only a signal of a certain frequency band is received when a signal is transmitted.

아울러, 이동통신부품인 필름형최적탄성공진기(FBAR:Film Bulk Acoustic Resonator)가 개발되었는데, 상기 FBAR필터는 1∼15㎓의 고주파를 수신하는 과정에 특정 주파수만을 추출, 잡음을 제거하고 음질을 높이는 기능을 하는 핵심부품으로 반도체의 스퍼터링 공정을 이용, 박막화함으로써 기존 SAW 필터 및 세라믹필터에 비해 크기가 10분의 1∼100분의 1 이상으로 작고 가벼운 차세대 필터다. 이는 상보성금속산화막반도체(CMOS) 공정으로 무선통신 RF단의 단일칩 고주파집적회로(MMIC:Microwave Monolithic IC)가 가능한 기술로 평가받고 있다.In addition, a film type bulk acoustic resonator (FBAR), which is a mobile communication component, has been developed. The FBAR filter extracts only a specific frequency, removes noise, and improves sound quality while receiving a high frequency of 1 to 15 kHz. It is a next-generation filter that is smaller and lighter than 1 / 10th of a size and smaller than existing SAW filter and ceramic filter by thinning by sputtering process of semiconductor as a core component that functions. This is a complementary metal oxide semiconductor (CMOS) process is evaluated as a technology capable of a single-chip high-frequency integrated circuit (MMIC: Microwave Monolithic IC) of the RF stage of wireless communication.

상기에서, 설명한 쏘우-듀플렉서는 텔레비젼에서 화상의 중간주파수 필터용, 및 신호의 시간지연용 등으로 사용되는데, 그 구성은 수정 또는 LiTaO3, LiNbO3 등과 같은 압전체상에 전기적인 입력신호를 기계적인 진동을 변환시키는 입력변환기와, 이와 대립 형성되어 있으며 기계적인 진동을 전기적인 신호로 변환하여 부하로 출력시키는 출력변환기가 형성되어 있고, 상기 입력변환기와 출력변환기에는 빗살형태의 알루미늄전극이 서로 소정거리 이격 형성되어 있다.In the above, described Saw-duplexer is used as such for the time delay for the intermediate-frequency filter of an image on a television, and a signal, the arrangement of the electrical input signal to the piezoelectric body, such as modified or LiTaO 3, LiNbO 3 machine An input converter for converting vibration and an output converter configured to oppose and converting mechanical vibration into an electrical signal and outputting the load to the load are formed. Spaced apart.

이와 같은 구조를 갖는 쏘우 듀플렉서는 두개의 분리된 쏘우 필터들과 스트립선으로 구성된 위상 천이기가 결합되어 하나의 패키지(Package)에 봉해져 있다.The saw duplexer having such a structure is sealed in one package by combining two separate saw filters and a phase shifter composed of strip lines.

도 1은 종래 기술에 따른 쏘우 필터 패키지를 도시한 도면이다.1 illustrates a saw filter package according to the prior art.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래 기술에 따른 쏘우 필터 패키지는 쏘우 필터 및 이동통신부품인 필름형최적탄성공진기(FBAR: Film Bulk Acoustic Resonator) 필 터 등을 실장하기 위한 기판 패키지(110)가 구비된다.As shown in FIG. 1, the saw filter package according to the related art includes a substrate package 110 for mounting a saw filter and a film bulk acoustic resonator (FBAR) filter that is a mobile communication component. do.

상기 기판 패키지(110)는 다층 세라믹 기판으로 이루어져 있고, 상기 쏘우 필터를 실장하기 위하여 신호 배선들이 형성되어 있다.The substrate package 110 is formed of a multilayer ceramic substrate, and signal wires are formed to mount the saw filter.

상기 신호 배선들은 비아홀을 통하여 상기 기판 패키지(110) 내측에 형성되어 있는 내부 전극(112a, 112b)과 상기 기판 패키지(110) 외측에 형성된 풋 패드(111a, 111b)와 전기적으로 연결되어 있다.The signal wires are electrically connected to internal electrodes 112a and 112b formed inside the substrate package 110 and foot pads 111a and 111b formed outside the substrate package 110 through via holes.

상기와 같이 내부 전극(112a, 112b)과 풋 패드(111a, 111b)가 형성된 기판 패키지(110) 상에 쏘우 필터(120)가 실장되고, 상기 쏘우 필터(120)와 상기 기판 패키지(110)가 전기적으로 연결되도록 와이어(113)가 본딩되어 있다.The saw filter 120 is mounted on the substrate package 110 on which the internal electrodes 112a and 112b and the foot pads 111a and 111b are formed, and the saw filter 120 and the substrate package 110 are mounted. The wire 113 is bonded so as to be electrically connected.

상기 기판 패키지(110) 측면에 댐(dam)이 형성되어 있고, 상단에 리드(lid: 130)가 덮개를 이룸으로써 쏘우 필터 패키지를 형성한다.A dam is formed at the side of the substrate package 110, and a lid 130 forms a cover at the top to form a saw filter package.

상기 리드(130)는 상기 기판 패키지(110)의 내측으로 이물질이 들어오지 않도록 하여, 상기 쏘우 필터(120)가 손상되는 것을 방지하기 위해서 덮는다.The lid 130 is covered to prevent foreign matter from entering the inside of the substrate package 110 and to prevent the saw filter 120 from being damaged.

상기 쏘우 필터(120)는 표면탄성파를 이용하는 필터이기 때문에 상기 리드(130)와 상기 기판 패키지(110) 내측 사이에는 공기층(air cavity)을 형성시킨다.Since the saw filter 120 is a filter using surface acoustic waves, an air cavity is formed between the lead 130 and the inside of the substrate package 110.

그러나, 상기와 같은 구조를 갖는 쏘우 필터 패키지는 상기 리드(130)를 상기 기판 패키지(110)에 부착하는 형태로 형성하기 때문에 쏘우 필터 패키지 내측의 기밀도(hermetic) 유지가 어려운 단점이 있다.However, since the saw filter package having the structure as described above is formed in a form in which the lead 130 is attached to the substrate package 110, it is difficult to maintain hermetic inside the saw filter package.

특히, 상기 쏘우 필터(120)와 리드(130) 사이에 개재된 공기층이 기밀을 유지하지 않게 된다면, 쏘우 필터 패키지의 신뢰성을 유지하기 어렵게 된다.
In particular, if the air layer interposed between the saw filter 120 and the lead 130 does not maintain hermeticity, it becomes difficult to maintain the reliability of the saw filter package.

본 발명은 필터상에 댐(dam)이 구비되고 상기 댐에 접착력이 강한 리드가 부착되어 구성되는 기밀도가 향상된 필터 패키지를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a filter package having improved airtightness, in which a dam is provided on a filter and a lead having strong adhesion to the dam is attached.

본 발명은 상기 필터 패키지 공동의 기밀도를 향상시키는데 사용되는 필터 패키지의 리드 제조방법을 제공함에 또 다른 목적이 있다.
It is another object of the present invention to provide a method for producing a lead of a filter package used to improve the airtightness of the filter package cavity.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 필터 패키지는, 회로기판과, 상기 회로기판 상에 실장된 필터와, 상기 필터 상에 형성된 감광막 댐과, 상기 감광막 댐 상에 접착되어 상기 필터의 패턴부를 밀폐시키는 수지계열의 접착막이 부착된 리드가 포함되어 구성되는 것을 특징으로 한다.The filter package according to the present invention for achieving the above object, the circuit board, the filter mounted on the circuit board, the photosensitive film dam formed on the filter, the photosensitive film dam is bonded to the pattern portion of the filter It is characterized in that it comprises a lead with a resin-based adhesive film is sealed.

상기 수지계열의 접착막은 드라이 필름 또는 균일하게 도포된 페이스트 중의 어느 하나인 것을 특징으로 한다.The resin-based adhesive film is any one of a dry film or a uniformly applied paste.

한편, 상기의 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 필터 패키지 리드 제조방법은, 분리판상에 구비된 드라이 필름에 리드를 접착시키는 단계와, 상기 드라이 필름이 접착된 상기 리드를 분리판으로부터 분리시키는 단계와, 상기 드라이 필름이 접착된 상기 리드를 자외선 테이프에 부착시키는 단계와, 상기 자외선 테이프에 접합된 상기 드라이 필름이 접착된 상기 리드를 복수개의 리드 조각으로 다이싱하는 단계 및 상기 다이싱된 상기 복수개의 리드편을 상기 자외선 테이프로 부터 분리시키는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.On the other hand, the filter package lead manufacturing method according to the present invention for achieving the above another object, the step of adhering the lead to a dry film provided on the separator, and separating the lead to which the dry film is bonded from the separator Attaching the lead to which the dry film is adhered to an ultraviolet tape, dicing the lead to which the dry film adhered to the ultraviolet tape is bonded into a plurality of pieces of lead and the dicing the And separating the plurality of lead pieces from the ultraviolet tape.

또한, 상기의 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 필터 패키지 리드 제조방법은 리드상에 페이스트를 도포하는 단계와, 상기 도포된 페이스트를 일정한 두께로 스크린 프린팅하는 단계와, 상기 도포된 페이스트를 리드와 접착시키는 단계와, 상기 페이스트가 접착된 상기 리드를 자외선 테이프에 부착시키는 단계와, 상기 자외선 테이프에 접합된 상기 페이스트가 접착된 상기 리드를 복수개의 리드편으로 다이싱하는 단계 및 상기 다이싱된 상기 복수개의 리드편을 상기 자외선 테이프로 부터 분리시키는 단계를 포함하여 구성됨을 특징으로 한다.In addition, the method for manufacturing a filter package lead according to another embodiment of the present invention for achieving the above object is the step of applying a paste on the lead, the step of screen printing the applied paste to a constant thickness, and the application Adhering the pasted paste to a lead, adhering the lead to which the paste is adhered to an ultraviolet tape, dicing the lead to which the paste adhered to the ultraviolet tape is bonded into a plurality of lead pieces; and And separating the diced plurality of lead pieces from the ultraviolet tape.

상기 드라이 필름과 상기 도포된 페이스트는 수지계열 재료인 것을 특징으로 한다.The dry film and the applied paste is characterized in that the resin-based material.

이와 같은 본 발명에 의하면, 리드에 부착되는 수지계열의 접착막이 부착된 리드와 패키지의 필터상에 형성된 감광막 댐(dam)에 의하여 실장된 필터 상부의 공기층 기밀도를 더욱 향상시킬 수 있다.According to the present invention as described above, the air layer airtightness of the upper part of the filter mounted by the photosensitive film dam formed on the filter of the lead and the package of the resin-based adhesive film attached to the lead can be further improved.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명에 따른 쏘우 필터 패키지의 구조 및 그 제조방법을 도시한 도면이다.2A to 2D are views illustrating a structure of a saw filter package and a method of manufacturing the same according to the present invention.

도 2a에 도시된 바와 같이, 신호 패턴들이 형성되어 있고, 상기 신호 패턴들과 연결된 내부 전극(212a, 212b)이 형성된 회로 기판(200) 상에 필터접착제(215)를 사용하여 쏘우 필터(220)를 실장한다. As shown in FIG. 2A, the saw filter 220 is formed using a filter adhesive 215 on a circuit board 200 on which signal patterns are formed and internal electrodes 212a and 212b connected to the signal patterns are formed. Implement                     

상기 쏘우 필터(220) 대신에 이동통신부품인 필름형최적탄성공진기(FBAR) 필터 또는 보우(BAW: Bulk Acoustic Wave) 필터 등이 실장될 수도 있다.Instead of the saw filter 220, a film-type optimal elastic resonator (FBAR) filter or a bulk acoustic wave (BAW) filter, which is a mobile communication component, may be mounted.

그리고 상기 회로 기판(200) 외측면에는 외부 단자와 전기적으로 연결시키기 위한 풋 패드(211a, 211b)가 형성되어 있다.In addition, foot pads 211a and 211b are formed on an outer surface of the circuit board 200 to electrically connect with external terminals.

상기 쏘우 필터(220)는 반도체 공정기법에 의해, 상기 쏘우 필터(220) 상에 감광막(photo resistor)을 도포한 다음, 이를 노광 및 현상하여 공기층(cavity) 영역을 형성하기 위한 감광막 댐(dam: 221)을 형성한다.The saw filter 220 is coated with a photo resistor on the saw filter 220 by a semiconductor processing method, and then exposed and developed the photo filter film to form an air layer region. 221 is formed.

상기 감광막 댐(dam: 221)이 형성된 상기 쏘우 필터(220)는, 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 회로 기판(200) 상에 형성된 내부 전극(212a, 212b)과 전기적 연결을 위하여 와이어(213) 본딩 공정을 진행한다.As shown in FIG. 2B, the saw filter 220 in which the photosensitive dam 221 is formed, has a wire 213 for electrical connection with internal electrodes 212a and 212b formed on the circuit board 200. ) The bonding process is performed.

상기와 같이, 쏘우 필터(220)와 내부 전극(212a, 212b)의 와이어(213) 본딩 공정이 끝나면, 도 2c에 도시된 바와 같이, 감광막 댐(213)이 형성된 쏘우 필터(220) 상에 리드(230)를 형성한다.As described above, when the sawing filter 220 and the wire 213 bonding process of the internal electrodes 212a and 212b are completed, as shown in FIG. 2C, a lead is formed on the saw filter 220 in which the photosensitive film dam 213 is formed. To form 230.

상기 리드(230)는 유리계열의 필름 구조로 되어 있다.The lead 230 has a glass-based film structure.

상기 리드(230)를 상기 쏘우 필터(220) 상에 형성하기 위해서는 아교막 또는 수지계열 접착막(240)을 상기 리드(230) 상에 형성한 다음, 상기 쏘우 필터(220) 상의 감광막 댐(221) 상에 부착하는 캡핑 과정(capping process)을 수행한다. 상기 수지계열 접착막을 이용한 리드(230)에 대해서는 후술한다.In order to form the lead 230 on the saw filter 220, a glue film or a resin-based adhesive film 240 is formed on the lead 230, and then the photosensitive film dam 221 on the saw filter 220 is formed. A capping process is attached to the c). The lead 230 using the resin-based adhesive film will be described later.

상기 캡핑 과정에 의해 상기 쏘우 필터(200) 상면과 상기 감광막 댐(220)과 상기 리드(230)가 공기층을 형성하므로써 쏘우 필터(200)가 그 기능을 제대로 발휘 될 수 있게 된다.By the capping process, the top surface of the saw filter 200, the photosensitive film dam 220, and the lead 230 form an air layer, so that the saw filter 200 can properly exhibit its function.

상기에서와 같이, 쏘우 필터(220) 상에 형성된 감광막 댐(221) 상에 리드(230)가 형성되면, 상기 회로 기판(200) 및 상기 리드(230) 등을 에워싸도록 에폭시 수지 등을 이용하여 몰딩부(250)를 형성한다.As described above, when the lead 230 is formed on the photosensitive film dam 221 formed on the saw filter 220, an epoxy resin or the like is used to surround the circuit board 200 and the lead 230, and the like. To form the molding part 250.

상기 몰딩부(250)는 상기 회로 기판(200) 상에 실장된 쏘우 필터(220)와 리드(230) 전체를 덮게되므로, 감광막 댐(221)에 의하여 형성된 공기층(cavity)의 기밀도가 더욱 향상된다.Since the molding part 250 covers the saw filter 220 and the entire lead 230 mounted on the circuit board 200, the airtightness of the air layer formed by the photosensitive film dam 221 is further improved. do.

이상과 같은 과정에 의하여 도 2d 에 도시된 바와 같은 본 발명에 따른 필터패키지가 제조 된다.By the above process, the filter package according to the present invention as shown in Figure 2d is manufactured.

한편, SAW 필터 또는 BAW 필터 등은 표면탄성파의 원리를 이용하기 때문에 공진기 표면에 공기층이 형성되며, 이러한 공기층 구조는 신뢰성 측면에서 JEDEC(Joint Electron Device Engineering Council: 세계 반도체 표준협회) 규격에 따른 기밀성 테스트(Pressure Cooker Test: PCT)를 통과하여야 한다.On the other hand, SAW filter or BAW filter uses the principle of surface acoustic wave, so an air layer is formed on the surface of the resonator, and this air layer structure is tested for airtightness according to the Joint Electron Device Engineering Council (JEDEC) standard in terms of reliability. Pass the Pressure Cooker Test (PCT).

상기와 같은 제조방법에 따라 제조된 본 발명에 따른 완성된 필터패키지에 대하여, 위에서 설명한 바와 같이 리드(230)에 아교막과 수지계열 접착막(240)을 상기 리드(230)에 부착시켜 상기 감광막 댐(221) 상에 접착시켜 완성된 필터패키지에 대하여 PCT의 일종인 오토클레이브 테스트(autoclave test)를 실시하였다.With respect to the completed filter package according to the present invention manufactured according to the above manufacturing method, as described above, the glue 230 and the resin-based adhesive film 240 is attached to the lead 230 to the photosensitive film The autoclave test, a kind of PCT, was performed on the filter package attached to the dam 221.

본 테스트에서는 PCT 조건은 121℃, 99.8 %, 48 시간으로 하였다. 합격판정 기준을 Peak IL 변화량이 150 % 이내인 경우로 하였을 경우의 PCT 결과는 상기 리드(230)에 부착되는 접착막에 따라 상당한 차이가 나타났다. In this test, PCT conditions were 121 degreeC, 99.8%, and 48 hours. The PCT result when the pass criterion was set to be within 150% of the peak IL variation was significantly different depending on the adhesive film attached to the lead 230.                     

상기 리드(230)에 아교막을 부착시켜 감광막 댐(221) 상에 접착시킨 경우에 60 % 가 합격으로 판정되었다.When the glue film was attached to the lead 230 and adhered onto the photosensitive film dam 221, 60% was determined as pass.

상기 리드(230)에 수지계열 접착막을 부착시켜 감광막 댐(221) 상에 접착시킨 경우에 100 % 전체가 합격으로 판정되었다.When the resin-based adhesive film was attached to the lead 230 and adhered onto the photosensitive film dam 221, 100% of the total was determined to pass.

이와 같이, 만족할 만한 효과를 나타내는 본 발명에 따른 필터 패키지 리드 제조방법에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.As described above, a method of manufacturing a filter package lead according to the present invention having a satisfactory effect will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3a 내지 도 3e는 본 발명의 일실시예에 따른 필터 패키지 리드 제조방법을 나타낸 도면이다.3A to 3E are views illustrating a method of manufacturing a filter package lead according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일실시예에 따른 필터 패키지 리드를 제조함에 있어서는, 도 3a에 도시된 바와 같이, 먼저 분리판(300)상에 접착막으로 사용될 드라이 필름(340)을 준비시킨다. 상기 드라이 필름(340)은 수지 계열의 필름으로써, 그 두께가 20 ~ 70 ㎛ 의 범위를 갖는 것이 바람직하다.In manufacturing the filter package lead according to an embodiment of the present invention, as shown in Figure 3a, first to prepare a dry film 340 to be used as an adhesive film on the separator 300. The dry film 340 is a resin-based film, it is preferable that the thickness has a range of 20 ~ 70 ㎛.

이후, 도 3b와 같이 상기 드라이 필름(340)에 리드(330)를 접착시킨다. 이러한 드라이 필름(340)에 리드(330)를 접착 시키는 단계는 상호 접착력을 증대시키기 위하여 가열기(380) 및 가압기(370)을 이용하여, 75 ~ 95 ℃ 의 온도에서, 0.2 ~ 0.5 ㎫ 의 압력으로 3 ~ 5 초 동안 프리 히팅을 실시한다. 바람직하게는 상기 온도 조건은 80 ~ 90 ℃ 에서 실시한다. Thereafter, the lead 330 is attached to the dry film 340 as shown in FIG. 3B. The step of adhering the lead 330 to the dry film 340 is using a heater 380 and the pressurizer 370 to increase the mutual adhesion, at a pressure of 0.2 ~ 0.5 MPa at a temperature of 75 ~ 95 ℃ Preheat for 3 to 5 seconds. Preferably the temperature conditions are carried out at 80 ~ 90 ℃.

상기 드라이 필름(340)에 리드(330)를 접착 시킨 단계 이후에는 상기 접착을 위하여 사용하였던 상기 분리판(300)을 제거하여 상기 드라이 필름(340)이 부착된 리드(330)만 남게 한다. After the step of adhering the lead 330 to the dry film 340, the separation plate 300 used for the adhesion is removed to leave only the lead 330 to which the dry film 340 is attached.                     

상기 분리판(300)의 제거가 완료되어 상기 드라이 필름(340)이 부착된 리드(330)만 남게 되면, 도 3d 와 같이, 상기 드라이 필름(340)이 부착된 리드(330)를 필요한 크기로 절단시키기 위하여 자외선(UV) 필름(360)에 고착시킨다. 이때 상기 드라이 필름(340)면이 상기 자외선 필름(360)에 접촉되도록 고착시킨다.When the removal of the separator 300 is completed and only the lid 330 to which the dry film 340 is attached remains, as shown in FIG. 3D, the lid 330 to which the dry film 340 is attached has a required size. Adhesion to ultraviolet (UV) film 360 for cutting. At this time, the surface of the dry film 340 is fixed to contact with the ultraviolet film (360).

상기 과정에 의하여 드라이 필름(340)이 부착된 리드(330)가 상기 자외선 필름(360)에 고착이 되면, 도 3e 와 같이 다이아몬드 칼 등의 절단장치를 이용하여 패턴닝된 감광막 크기에 알맞도록 절단시킨다.When the lead 330 to which the dry film 340 is attached is fixed to the ultraviolet ray film 360 by the above process, cutting is performed to fit the patterned photoresist film using a cutting device such as a diamond knife as shown in FIG. 3E. Let's do it.

상기 드라이 필름(340)이 부착된 리드(330)의 절단 과정이 완료된 이후에는 상기 절단과정을 위해 사용되었던 상기 자외선 필름(360)을 제거하기 위하여 자외선광을 조사시킨다. 이에 따라 사용 목적에 알맞는 크기의 드라이 필름이 부착된 리드편(330a)을 다수 얻을 수 있게 된다.After the cutting process of the lead 330 to which the dry film 340 is attached is completed, ultraviolet light is irradiated to remove the ultraviolet film 360 used for the cutting process. Thereby, the lead piece 330a with the dry film of the size suitable for a use purpose can be obtained.

위에서는 접착막으로 수지 계열의 드라이 필름(340)을 이용한 실시예를 설명하였다. 그러나 본 발명에 의한 필터 패키지 리드 제조 방법은 이에 한정되지 않는다.In the above, an embodiment using a resin-based dry film 340 as an adhesive film has been described. However, the method for manufacturing a filter package lead according to the present invention is not limited thereto.

도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 다른 실시예에 따른 필터 패키지의 리드 제조 방법을 설명한 도면이다.4A to 4E are diagrams illustrating a method of manufacturing a lead of a filter package according to another exemplary embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 실시예에 따른 필터 패키지 리드 제조 방법은, 도 4a에 도시된 바와 같이, 먼저 리드(430)상에 접착막으로 사용될 수지계열의 접착제(440)를 도포시킨다. 이를 위하여 상기 리드(430)상에 마스크(471)를 설치한 후 상기 수지계열의 접착제(440)를 일정량 투여시킨다. In the method of manufacturing a filter package lead according to another embodiment of the present invention, as shown in FIG. 4A, first, a resin-based adhesive 440 to be used as an adhesive film is coated on the lead 430. To this end, after the mask 471 is installed on the lead 430, the resin-based adhesive 440 is administered in a predetermined amount.                     

상기 수지계열의 접착제(440)를 도포시키는 단계에 의해 도포된 접착제는 도 4a 와 같이 그 표면막의 높이가 전체적으로 일정하지 않게 된다.The adhesive applied by the step of applying the resin-based adhesive 440 is such that the height of the surface film as a whole is not constant.

상기 리드(430)상에 도포되어 불균일한 막 높이를 갖는 상기 수지계열의 접착제(440)를 러버 스틱(Rubber stick)(472) 등을 이용하여 도 4b 와 같이 균일한 높이를 갖는 막이 되게 한다. 이때 상기 막의 두께는 20 ~ 70 ㎛ 의 범위를 갖도록 하는 것이 바람직하다.The resin-based adhesive 440 having a non-uniform film height applied on the lead 430 is made to have a film having a uniform height as shown in FIG. 4B by using a rubber stick 472 or the like. At this time, the thickness of the film is preferably to have a range of 20 ~ 70 ㎛.

상기 리드(430)상에 일정한 두께의 균일한 높이를 갖는 수지계열의 접착막(440)이 형성되고 난 후에는, 상기 리드(430)와 상기 수지계열의 접착막(440)의 양호한 접착을 위하여 도 4c 에서와 같이 접착력 강화 공정을 수행한다. 이를 위하여 가열기(480)을 이용하여 75 ~ 95 ℃ 의 온도에서, 3 ~ 5 초 동안 프리 히팅을 실시함이 바람직하다. 바람직하게는 상기 온도 조건은 80 ~ 90 ℃ 에서 실시한다. After the resin-based adhesive film 440 having a uniform thickness of a predetermined thickness is formed on the lead 430, for good adhesion between the lead 430 and the resin-based adhesive film 440. The adhesion strengthening process is performed as in FIG. 4C. For this purpose, it is preferable to perform preheating for 3 to 5 seconds using a heater 480 at a temperature of 75 to 95 ℃. Preferably the temperature conditions are carried out at 80 ~ 90 ℃.

상기 프리 히팅 과정에 의하여 상기 리드(430)와 상기 수지계열의 접착막(440)이 양호하게 접착이 되고 나면, 상기 수지계열의 접착막(440)이 부착된 리드(430)를 필요한 크기로 절단시키기 위하여 도 4d 와 같이 자외선(UV) 필름(460)에 고착시킨다. 이때 상기 드라이 필름(440)면이 상기 자외선 필름(460)에 접촉되도록 고착시킨다.After the lead 430 and the resin-based adhesive film 440 are properly adhered by the preheating process, the lead 430 to which the resin-based adhesive film 440 is attached is cut to a required size. In order to make it adhere to the ultraviolet (UV) film 460 as shown in Figure 4d. At this time, the surface of the dry film 440 is fixed to contact with the ultraviolet film 460.

상기 과정에 의하여 수지계열의 접착막(440)이 부착된 리드(430)가 상기 자외선 필름(460)에 고착이 되면, 도 4e 와 같이 다이아몬드 칼 등의 절단장치를 이용하여 패턴닝된 감광막 크기에 알맞도록 절단시킨다.When the lead 430 to which the resin-based adhesive film 440 is attached is fixed to the ultraviolet ray film 460 by the above process, as shown in FIG. 4E, the size of the photosensitive film patterned using a cutting device such as a diamond knife is used. Cut appropriately.

상기 수지계열의 접착막(440)이 부착된 리드(430)의 절단 과정이 완료된 이 후에는 상기 절단과정을 위해 사용되었던 상기 자외선 필름(460)을 제거하기 위하여 자외선광을 조사시킨다. 이에 따라 사용 목적에 알맞는 크기의 드라이 필름이 부착된 리드편(430a)을 다수 얻을 수 있게 된다.After the cutting process of the lead 430 to which the resin-based adhesive film 440 is attached is completed, ultraviolet light is irradiated to remove the ultraviolet film 460 used for the cutting process. As a result, a large number of lead pieces 430a having a dry film having a size suitable for the purpose of use can be obtained.

이와 같은 본 발명의 제조 방법에 의해 제조되는 수지 계열의 드라이 필름(340)이 부착된 리드편(330a)과, 수지계열의 접착막(440)이 부착된 리드편(430a)을 사용하여 앞에서 상술한 캡핑공정에서 감광막 댐(221) 상에 접착시킴으로써 JEDEC 규격에서 요구하는 SAW 필터 또는 BAW 필터 등의 공진기 표면에 충분히 밀폐된 공동이 형성되게 된다.
The lead piece 330a to which the resin-based dry film 340 is attached and the lead piece 430a to which the resin-based adhesive film 440 is attached are manufactured as described above. Bonding on the photosensitive film dam 221 in one capping process causes the cavity to be sufficiently sealed to be formed on the surface of a resonator such as a SAW filter or a BAW filter required by the JEDEC standard.

이상에서 자세히 설명된 바와 같이, 본 발명은 수지 계열의 드라이 필름 또는 수지계열의 접착막 등을 부착한 유리계열의 필름으로 되는 리드를 감광막 댐에 접착시켜 사용함으로써 이들에 둘러 쌓여 형성되는 쏘우 필터 패키지의 공동의 기밀도가 높아짐으로써 신뢰성이 향상된 쏘우 필터 패키지를 제조할 수 있게 된다.As described in detail above, the present invention is a saw filter package formed by enclosing a lead made of a resin-based dry film or a glass-based film having a resin-based adhesive film or the like adhered to a photosensitive film dam. The increased tightness of the cavity allows for the manufacture of highly reliable saw filter packages.

본 발명은 상기한 실시 예에 한정되지 않고, 이하 청구 범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능할 것이다.The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention as claimed in the following claims.

Claims (9)

회로 기판과;A circuit board; 상기 회로 기판 상에 실장된 필터와;A filter mounted on the circuit board; 상기 필터 상에 형성된 감광막 댐과;A photoresist dam formed on the filter; 상기 감광막 댐 상에 접착된 수지계열의 접착막이 부착된 리드를 포함하는 것을 특징으로 하는 필터 패키지.And a lid having a resin-based adhesive film attached to the photosensitive film dam. 제 1항에 있어서, 상기 수지계열의 접착막은 드라이 필름 또는 균일하게 도포된 페이스트 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 필터 패키지.The filter package according to claim 1, wherein the resin-based adhesive film is any one of a dry film or a uniformly applied paste. 분리판상에 구비된 드라이 필름에 리드를 접착시키는 단계;Adhering a lead to a dry film provided on a separator; 상기 드라이 필름이 접착된 상기 리드를 분리판으로부터 분리시키는 단계;Separating the lead to which the dry film is adhered from the separator; 상기 드라이 필름이 접착된 상기 리드를 자외선 테이프에 부착시키는 단계;Attaching the lead to which the dry film is adhered, to an ultraviolet tape; 상기 자외선 테이프에 접합된 상기 드라이 필름이 접착된 상기 리드를 복수개의 리드 조각으로 다이싱하는 단계; 및Dicing the lead to which the dry film bonded to the ultraviolet tape is bonded into a plurality of lead pieces; And 상기 다이싱된 상기 복수개의 리드편을 상기 자외선 테이프로 부터 분리시키는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 필터 패키지 리드 제조 방법.And separating the diced plurality of lead pieces from the ultraviolet tape. 제 3항에 있어서, 상기 드라이 필름에 리드를 접착시키는 단계는,The method of claim 3, wherein the attaching the lead to the dry film comprises: 75 ~ 95 ℃ 의 온도에서, 0.2 ~ 0.5 ㎫ 의 압력으로, 3 ~ 5 초 동안 프리 히팅을 실시함을 특징으로 하는 필터 패키지 리드 제조 방법.A method of manufacturing a filter package lead, wherein preheating is performed at a temperature of 75 to 95 ° C. for a pressure of 0.2 to 0.5 MPa for 3 to 5 seconds. 제 3항에 있어서, 상기 드라이 필름은 수지계열 재료인 것을 특징으로 하는 필터 패키지 리드 제조 방법.The method of claim 3, wherein the dry film is a resin-based material. 제 3항에 있어서, 상기 드라이 필름은 두께가 20 ~ 70 ㎛인 것을 특징으로 하는 필터 패키지 리드 제조 방법.The method of claim 3, wherein the dry film has a thickness of 20 μm to 70 μm. 리드상에 페이스트를 도포하는 단계;Applying a paste on the lid; 상기 도포된 페이스트를 일정한 두께로 스크린 프린팅하는 단계;Screen printing the applied paste to a constant thickness; 상기 도포된 페이스트를 리드와 접착시키는 단계;Adhering the applied paste to a lead; 상기 페이스트가 접착된 상기 리드를 자외선 테이프에 부착시키는 단계;Attaching the lead to which the paste is attached to an ultraviolet tape; 상기 자외선 테이프에 접합된 상기 페이스트가 접착된 상기 리드를 복수개의 리드편으로 다이싱하는 단계; 및Dicing the lead bonded to the ultraviolet tape to a plurality of lead pieces; And 상기 다이싱된 상기 복수개의 리드편을 상기 자외선 테이프로 부터 분리시키는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 필터 패키지 리드 제조 방법.And separating the diced plurality of lead pieces from the ultraviolet tape. 제 7항에 있어서, 상기 도포된 페이스트는 수지계열 재료인 것을 특징으로 하는 필터 패키지 리드 제조 방법.8. The method of claim 7, wherein the applied paste is a resin-based material. 제 7항에 있어서, 상기 도포된 페이스트는 두께가 20 ~ 70 ㎛인 것을 특징으로 하는 필터 패키지 리드 제조 방법.The method of claim 7, wherein the applied paste has a thickness of 20 to 70 μm.
KR1020040095748A 2004-11-22 2004-11-22 Filter Package and Package Lead Manufacturing Method Withdrawn KR20060056598A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040095748A KR20060056598A (en) 2004-11-22 2004-11-22 Filter Package and Package Lead Manufacturing Method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040095748A KR20060056598A (en) 2004-11-22 2004-11-22 Filter Package and Package Lead Manufacturing Method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20060056598A true KR20060056598A (en) 2006-05-25

Family

ID=37152294

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040095748A Withdrawn KR20060056598A (en) 2004-11-22 2004-11-22 Filter Package and Package Lead Manufacturing Method

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20060056598A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100964719B1 (en) * 2008-08-19 2010-06-21 (주)와이솔 A saw package having a wafer level seal and a method of manufacturing the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100964719B1 (en) * 2008-08-19 2010-06-21 (주)와이솔 A saw package having a wafer level seal and a method of manufacturing the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100866433B1 (en) Elastic wave device and manufacturing method of the same
JP3772702B2 (en) Manufacturing method of surface acoustic wave device
JP5686943B2 (en) Elastic wave device and manufacturing method thereof
CN101232276A (en) Acoustic device
JP2002261582A (en) Surface acoustic wave device, method of manufacturing the same, and circuit module using the same
CN106888001B (en) Acoustic wave device and wafer level packaging method thereof
US9543268B2 (en) Electronic component, method of manufacturing same, composite module including electronic component, and method of manufacturing same
US20080122314A1 (en) Acoustic wave device
JP4145476B2 (en) Manufacturing method of surface acoustic wave device
JP2004153412A (en) Surface acoustic wave device and manufacturing method thereof
JP5038452B2 (en) Surface acoustic wave device and communication device
KR20060056598A (en) Filter Package and Package Lead Manufacturing Method
JP3329175B2 (en) Surface acoustic wave device and method of manufacturing the same
JPH09162690A (en) Device having surface acoustic wave element and its manufacture
JP2023041080A (en) Elastic wave device chip, elastic wave device, module including elastic wave device chip or elastic wave device, and manufacturing method for elastic wave device chip
JP2023041079A (en) Elastic wave device chip, elastic wave device, and module including elastic wave device chip or elastic wave device
JP2003264442A (en) Manufacturing method of surface acoustic wave device and multi-chamfer base board
JP4130314B2 (en) Manufacturing method of surface acoustic wave device
KR20060038749A (en) Filter package and its manufacturing method
WO2020134666A1 (en) Integrated method and integrated structure of control circuit and surface acoustic wave filter
KR100435042B1 (en) Method for duplexer package
JP4493219B2 (en) Method for manufacturing acoustic wave device
JP2002324864A (en) Electronic component equipment
JP2002076828A (en) Surface acoustic wave element
JP2001094392A (en) Surface acoustic wave device and its manufacturing method

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20041122

PG1501 Laying open of application
PC1203 Withdrawal of no request for examination
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid