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KR200492544Y1 - A sealing device applied to a vacuum gate valve - Google Patents

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KR200492544Y1
KR200492544Y1 KR2020190001473U KR20190001473U KR200492544Y1 KR 200492544 Y1 KR200492544 Y1 KR 200492544Y1 KR 2020190001473 U KR2020190001473 U KR 2020190001473U KR 20190001473 U KR20190001473 U KR 20190001473U KR 200492544 Y1 KR200492544 Y1 KR 200492544Y1
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gate valve
vacuum gate
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서민규
김민혁
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주식회사 테라텍
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Abstract

진공 게이트 밸브에 적용되는 기밀유지장치가 개시된다. 실시예에 따르면, 유입구와 유출구가 형성된 밸브 몸체; 유입구와 유출구 사이의 유로와 수직방향으로 전·후진 이동하며 통로를 개폐하는 차단판; 밸브 몸체의 내부에 위치하여 차단판을 구동시키는 실린더;를 포함하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 것으로, 밸브 몸체의 유입구 또는 유출구에 각기 결합되며 양측이 개구된 제1연결부와 제2연결부; 제1연결부와 제2연결부와 밸브 몸체 사이에 기밀성을 갖도록 형성되는 수밀부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따르면, 반도체를 제조하는 시설에서 사용되는 진공 게이트 밸브의 유입구 또는 유출구에 제1연결부 또는 제2연결부를 각기 결합시키되 기밀성을 유지할 수 있도록 하여 급격한 압력 변동에도 파우더의 누설이 방지될 수 있어 기기의 수명이 보호될 수 있고, 작업장이 안전하게 유지될 수 있는 효과가 있다. An airtight holding device applied to a vacuum gate valve is disclosed. According to an embodiment, a valve body having an inlet port and an outlet port; A blocking plate moving forward and backward in a vertical direction with a flow path between the inlet and the outlet and opening and closing the passage; It is applied to a vacuum gate valve including a cylinder positioned inside the valve body to drive the blocking plate, the first connection part and the second connection part respectively coupled to the inlet or outlet of the valve body and open on both sides; It characterized in that it comprises a; watertight portion formed to have airtightness between the first connection portion and the second connection portion and the valve body.
According to this, leakage of powder can be prevented even with sudden pressure fluctuations by coupling the first connection or the second connection to the inlet or outlet of the vacuum gate valve used in the semiconductor manufacturing facility, but maintaining airtightness. There is an effect that the lifespan can be protected and the workplace can be kept safe.

Description

진공 게이트 밸브에 적용되는 기밀유지장치{A sealing device applied to a vacuum gate valve}Airtight holding device applied to a vacuum gate valve {A sealing device applied to a vacuum gate valve}

본 개시내용은 게이트 밸브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체를 제조하는 시설에서 사용되는 진공 게이트 밸브의 유입구 또는 유출구를 구성하는 관체와 밸브 몸체 간의 기밀한 결합구조를 갖도록 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 기밀유지장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to a gate valve, and more particularly, applied to a vacuum gate valve to have an airtight coupling structure between the valve body and the pipe constituting the inlet or outlet of the vacuum gate valve used in a semiconductor manufacturing facility. It relates to a confidentiality device.

반도체 소자를 제조하는 공정은 크게 패턴형성을 위한 노광 및 현상공정(Lithography), 얇은 막을 쌓는 증착공정(Deposition), 쌓은 막을 패턴대로 식각하는 에칭공정의 3가지로 분류된다. The process of manufacturing a semiconductor device is largely classified into three types: exposure and development process for pattern formation (Lithography), deposition process of depositing a thin film, and etching process of etching the deposited film in a pattern.

이중에서, 증착공정은 많은 유해가스를 사용하며 또한 배기라인 내부에 많은 부산물이 발생한다. Among them, the deposition process uses a lot of harmful gases, and many by-products are generated inside the exhaust line.

증착공정은 주로 실리콘옥사이드(SiO2), 실리콘나이트라이드(Si3N4) 등의 절연막과 금속(Metal)배선 공정에 해당한다. The deposition process mainly corresponds to an insulating film such as silicon oxide (SiO2) and silicon nitride (Si3N4) and a metal wiring process.

절연막에 있어서는 실란(SiH4)을 비롯한 실리콘계 가스들 및 암모니아(NH3) 등을 사용하게 되며, 증착되는 막은 반도체 웨이퍼만이 아니라 반응기, 진공배관, 진공펌프 등에 쌓이게 된다. For the insulating film, silicon-based gases including silane (SiH4) and ammonia (NH3) are used, and the deposited film is accumulated in a reactor, a vacuum pipe, and a vacuum pump, as well as a semiconductor wafer.

이러한 증착 공정 중 SiO2 , ZrO2 막을 만드는 공정에서 발생되는 부산물은 가루형태로 진공배관 내부에 쌓이게 되며, 이러한 환경에서 사용되는 진공게이트 밸브는 개,폐 동작을 할 때마다 구동부위로 가루형태의 부산물이 유입되어 동작을 방해하는 요인이 되므로 이를 방지할 기술이 요구되고 있다.Among these deposition processes, by-products generated in the process of making SiO2 and ZrO2 films are accumulated in the vacuum pipe in the form of powder, and the vacuum gate valve used in this environment flows into the driving part whenever the vacuum gate valve is opened or closed. As it becomes a factor that hinders the operation, a technology to prevent this is required.

또 기존의 밸브들은 복잡한 메커니즘 (다관절, 기어, 링크, 이중 실린더, 등) 을 사용하고 있어 수명이 짧고 위에서 말한 파우더가 침투하면 작동이 안되는 경향이 있다.In addition, conventional valves use complex mechanisms (multi-joints, gears, links, double cylinders, etc.), so they have a short lifespan and tend to stop working if the powder mentioned above penetrates.

종래기술로는 본 고안자의 선출원 고안인 대한민국 등록특허공보 제10-0539691호에 개시된 진공 게이트밸브가 있다.As a prior art, there is a vacuum gate valve disclosed in Korean Patent Publication No. 10-0539691, which is a pre-applied design of the present inventor.

종래기술에 따른 진공 게이트밸브는 밸브 내에 형성된 유로의 내측벽에 링을 설치함으로써 밸브가 개방된 상태에 있는 경우 유로를 통한 유체흐름은 그대로 유지한 채 진공배관 내의 파우더가 밸브 몸체의 내부로 인입되는 것을 차단하게 된다.The vacuum gate valve according to the prior art has a ring installed on the inner wall of the flow path formed in the valve, so that when the valve is in an open state, the powder in the vacuum pipe is drawn into the inside of the valve body while maintaining the fluid flow through the flow path. Block things.

밸브 몸체의 상,하부에 각기 유입구와 유출구가 형성되고, 이들 유입구, 유출구에 길이가 짧은 관체로 된 유입관 또는 유출관이 결합되며, 상기 유입관 또는 유출관은 밸브 몸체와 분해 조립이 가능하도록 볼트로 결합된다. Each inlet and outlet are formed at the top and bottom of the valve body, and an inlet or outlet pipe made of a short tube is coupled to the inlet and outlet, and the inlet or outlet pipe is disassembled and assembled with the valve body. It is bolted together.

그러나 유입관 또는 유출관과 밸브 몸체의 결합된 부위에 패킹이 구비되더라도 잦은 압력 변동에 의한 충격으로 패킹이 손상되어 누설될 우려가 있었다. However, even if the packing is provided at the inlet pipe or the combined part of the outlet pipe and the valve body, there is a concern that the packing is damaged due to the impact caused by frequent pressure fluctuations and leaks.

한국등록특허 제 10-0539691호Korean Patent Registration No. 10-0539691

개시되는 내용은 반도체를 제조하는 시설에서 사용되는 진공 게이트 밸브의 유입구 또는 유출구를 구성하는 관체와 밸브 몸체 간의 기밀한 결합구조를 갖도록 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 기밀유지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Disclosed is to provide an airtightness device applied to a vacuum gate valve that has an airtight coupling structure between a valve body and a tube constituting an inlet or outlet of a vacuum gate valve used in a semiconductor manufacturing facility. .

전술한 실시예의 목적은, 유입구와 유출구가 형성된 밸브 몸체; 유입구와 유출구 사이의 유로와 수직방향으로 전·후진 이동하며 통로를 개폐하는 차단판; 밸브 몸체의 내부에 위치하여 차단판을 구동시키는 실린더;를 포함하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 것으로, 밸브 몸체의 유입구 또는 유출구에 각기 결합되며 양측이 개구된 제1연결부와 제2연결부; 제1연결부와 제2연결부와 밸브 몸체 사이에 기밀성을 갖도록 형성되는 수밀부;를 포함하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 기밀유지장치에 의해 달성될 수 있다. An object of the above-described embodiment is a valve body having an inlet and an outlet; A blocking plate moving forward and backward in a vertical direction with a flow path between the inlet and the outlet and opening and closing the passage; It is applied to a vacuum gate valve including a cylinder positioned inside the valve body to drive the blocking plate, the first connection part and the second connection part respectively coupled to the inlet or outlet of the valve body and open on both sides; It can be achieved by an airtight holding device applied to a vacuum gate valve including; a watertight part formed to have airtightness between the first connection part and the second connection part and the valve body.

상기 수밀부는 유입구 또는 유출구에 형성되며 다수개의 고정홀이 형성되는 플랜지; 플랜지의 일면에 안착되고, 상기 고정홀에 대응되는 제1관통홀이 형성되며 외주면과 내주면에서 내측으로 함입되어 홈이 형성되는 오링; 제1관통홀에 대응되는 제2관통홀이 형성되며 상기 오링의 홈에 끼움결합되는 부싱; 고정홀과 제1관통홀 및 제2관통홀을 순차적으로 관통하여 체결되는 볼트;를 포함하는 것을 특징으로 한다. The watertight portion is formed at the inlet or outlet, and a flange having a plurality of fixing holes; An O-ring seated on one surface of the flange, having a first through hole corresponding to the fixing hole, and recessed from the outer circumferential surface and the inner circumferential surface to form a groove; A bushing having a second through hole corresponding to the first through hole and fitted into the groove of the O-ring; It characterized in that it comprises a; bolt which is fastened by sequentially passing through the fixing hole, the first through hole and the second through hole.

실시예에 따르면, 반도체를 제조하는 시설에서 사용되는 진공 게이트 밸브의 유입구 또는 유출구에 제1연결부 또는 제2연결부를 각기 결합시키되 기밀성을 유지할 수 있도록 하여 급격한 압력 변동에도 파우더의 누설이 방지될 수 있어 기기의 수명이 보호될 수 있고, 작업장이 안전하게 유지될 수 있는 효과가 있다. According to the embodiment, leakage of powder can be prevented even with sudden pressure fluctuations by coupling the first connection or the second connection to the inlet or outlet of a vacuum gate valve used in a semiconductor manufacturing facility, but maintaining airtightness. The life of the device can be protected, and there is an effect that the workplace can be kept safe.

도 1은 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 사시도,
도 2는 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 차단판이 개방된 상태를 나타낸 단면도,
도 3 및 도 4는 실시예에 따른 진공 게이트 밸브에 적용되는 기밀유지장치에 대한 분해사시도,
도 5는 실시예에 따른 진공 게이트 밸브에 적용되는 기밀유지장치에 대한 단면도.1 is a perspective view of a vacuum gate valve according to an embodiment,
2 is a cross-sectional view showing a state in which the blocking plate of the vacuum gate valve according to the embodiment is opened;
3 and 4 are an exploded perspective view of an airtight holding device applied to a vacuum gate valve according to an embodiment,
5 is a cross-sectional view of an airtight holding device applied to a vacuum gate valve according to an embodiment.

본 개시내용의 실시예들은 본 개시내용의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이며, 본 개시내용에 따른 권리 범위가 이하에서 개시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.The embodiments of the present disclosure are illustrated for the purpose of describing the technical idea of the present disclosure, and the scope of the rights according to the present disclosure is limited to the embodiments disclosed below or specific descriptions of these embodiments. no.

본 개시내용에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시내용이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 가진다. 본 개시내용에 사용되는 모든 용어들은 본 개시내용을 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며, 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.All technical terms and scientific terms used in the present disclosure, unless otherwise defined, have meanings generally understood by those of ordinary skill in the art to which the present disclosure belongs. All terms used in the present disclosure are selected for the purpose of more clearly explaining the present disclosure, and are not selected to limit the scope of the rights according to the present disclosure.

본 개시내용에서 사용되는 "포함하는", "구성되는", "형성되는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(Open-ended terms)로 이해되어야 한다.Expressions such as "comprising", "consisting of", "formed", "having" and the like used in the present disclosure include other embodiments, unless otherwise stated in the phrase or sentence in which the expression is included. It should be understood as open-ended terms that imply possibilities.

본 개시내용에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.Expressions such as "first" and "second" used in the present disclosure are used to distinguish a plurality of components from each other, and do not limit the order or importance of the components.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여, 본 개시내용의 바람직한 실시예에 따른 슬라이드 방식의 진공 게이트 밸브의 구성, 동작, 및 작용효과에 대해 살펴본다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응되는 구성요소는 편의상 생략되거나 개략적으로 도시될 수 있다. 그러나 구성요소에 관한 기술이 생략되어도 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, looks at the configuration, operation, and effects of the slide type vacuum gate valve according to a preferred embodiment of the present disclosure. In the accompanying drawings, the same or corresponding components may be omitted or schematically illustrated for convenience. However, even if description of a component is omitted, it is not intended that the component is not included in any embodiment.

첨부된 도면 중에서, 도 1은 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 사시도, 도 2는 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 차단판이 개방된 상태를 나타낸 단면도, 도 3 및 도 4는 실시예에 따른 진공 게이트 밸브에 적용되는 기밀유지장치에 대한 분해사시도, 도 5는 실시예에 따른 진공 게이트 밸브에 적용되는 기밀유지장치에 대한 단면도이다.In the accompanying drawings, FIG. 1 is a perspective view of a vacuum gate valve according to an embodiment, FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state in which the blocking plate of the vacuum gate valve according to the embodiment is opened, and FIGS. 3 and 4 are vacuum gates according to the embodiment. An exploded perspective view of an airtight holding device applied to a valve, and FIG. 5 is a cross-sectional view of an airtight holding device applied to a vacuum gate valve according to an embodiment.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 게이트 밸브(100)는 반도체를 제조하는 시설에서 사용되는 장치로서, 유입구(101)와 유출구(102)가 형성되는 밸브 몸체(10)와, 유입구(101)와 유출구(102) 사이의 유로와 수직방향으로 전·후진 이동하며 상기 유로를 개폐하는 차단판(40)과, 밸브 몸체(10)의 내부에 위치하여 상기 차단판을 구동시키는 실린더(50)와, 밸브 몸체(10)의 상하에 결합되는 제1연결부(300a)와 제2연결부(300b)가 구비되어 차단판(40)에 누적된 파우더가 밸브 몸체(10)의 내부로 유입되지 않도록 차단하는 기밀유지장치을 포함하여 구성된다. 1 and 2, the gate valve 100 is a device used in a semiconductor manufacturing facility, and includes a valve body 10 in which an inlet 101 and an outlet 102 are formed, and an inlet 101. ) And the flow path between the outlet 102 and the blocking plate 40 moving forward and backward in a vertical direction to open and close the flow path, and a cylinder 50 located inside the valve body 10 to drive the blocking plate Wow, a first connection part 300a and a second connection part 300b that are coupled to the top and bottom of the valve body 10 are provided to block the powder accumulated in the blocking plate 40 from flowing into the inside of the valve body 10 It is configured to include an airtight maintenance device.

밸브 몸체(10)는 반도체 제조 반응기와 연결된 유입구(101)와, 배기펌프와 연결된 유출구(102)가 각기 형성된다. The valve body 10 has an inlet 101 connected to a semiconductor manufacturing reactor and an outlet 102 connected to an exhaust pump, respectively.

유입구(101)와 유출구(102)는 밸브 몸체(10)의 다양한 위치에 설치될 수 있지만 차단판(40)의 이동을 원활하게 하기 위해 밸브 몸체(10)의 상부와 하부에 대칭적으로 설치하는 것이 바람직하다.The inlet 101 and the outlet 102 may be installed in various positions of the valve body 10, but are symmetrically installed on the upper and lower portions of the valve body 10 to facilitate the movement of the blocking plate 40. It is desirable.

차단판(40)은 유입구(101)와 유출구(102)에 대응되는 개구공(402)이 일측에 형성된 직사각형의 판재로 이루어지며, 밸브 몸체(10)의 내부에 삽입된 후 실린더(50)의 피스톤로드의 전후진작동에 연동되어 전후진 작동함으로써 개구공(402)이 밸브 몸체(10)의 통로와 일치되면 개방상태가 될 수 있고, 불일치되면 폐쇄상태가 된다. The blocking plate 40 is made of a rectangular plate having an opening hole 402 corresponding to the inlet 101 and the outlet 102 formed on one side, and after being inserted into the valve body 10, the cylinder 50 When the opening hole 402 coincides with the passage of the valve body 10 by interlocking with the forward and backward movement of the piston rod, the opening hole 402 may be in an open state, and when it is inconsistent, it is in a closed state.

한편, 유입구(101)와 유출구(102) 사이에는 밸브 몸체(10)의 상, 하부를 관통하는 통로가 형성되어 가스가 통과하게 된다. Meanwhile, a passage through the upper and lower portions of the valve body 10 is formed between the inlet 101 and the outlet 102 so that gas passes.

통로의 수직방향으로는 차단판(40)이 실린더(50)에 의해 전, 후진 직선 이동하며 통로를 개폐하게 된다.In the vertical direction of the passage, the blocking plate 40 moves forward and backward linearly by the cylinder 50 to open and close the passage.

실린더(50)는 밸브 몸체(10) 내부에 위치하여 차단판(40)을 구동하는 부분으로 공압 내지 유압에 의해 전, 후진이 가능하도록 피스톤이 밸브 몸체(10)의 외부 일측에 장착된다.The cylinder 50 is located inside the valve body 10 to drive the blocking plate 40, and a piston is mounted on the outer side of the valve body 10 to enable forward and backward movement by pneumatic or hydraulic pressure.

밸브 몸체(10)의 내부에는 차단판의 상,하면에 접촉하는 기밀유지장치가 포함된다.The inside of the valve body 10 includes an airtight holding device that contacts the upper and lower surfaces of the blocking plate.

기밀유지장치는 차단판(40)이 전, 후진하여 마찰력 등을 받을 경우 내측으로 휘어지거나, 원래의 위치로 복원될 수 있다.The airtight holding device may be bent inward or restored to its original position when the blocking plate 40 is moved forward or backward to receive frictional force or the like.

이를 위해 유연한 재질, 예를 들어 NBR 고무(acrylonitrile-butadiene rubber), 실리콘(Silicon), 불소고무(FKM), 퍼블루오로카본 고무(FFKM), 테프론(teflon) 등으로 이루어짐이 바람직하다. 또한 도시되지는 않았으나 스테인레스 주름관으로 구성될 수 있다.For this purpose, it is desirable to be made of a flexible material, for example, acrylonitrile-butadiene rubber, silicon, fluorine rubber (FKM), perblue aurocarbon rubber (FFKM), Teflon, and the like. Also, although not shown, it may be composed of a stainless corrugated pipe.

밸브 유로 개방 전 차단판(40) 상, 하부의 압력차를 조절하기 위해 밸브 몸체(10)의 일측에 압력변동 충격방지장치(A)가 형성된다. A pressure fluctuation shock prevention device (A) is formed on one side of the valve body 10 to adjust the pressure difference between the upper and lower portions of the blocking plate 40 before opening the valve flow path.

일반적으로 진공으로 된 게이트 밸브(100)를 열기 전 차단판(40) 상부의 유입구(101) 측은 대기압인 760 torr이고, 차단판(40) 하부의 유출구(102) 측은 진공상태에 있다. In general, before opening the gate valve 100 with a vacuum, the inlet 101 side of the upper part of the blocking plate 40 is 760 torr, which is an atmospheric pressure, and the outlet 102 side of the lower part of the blocking plate 40 is in a vacuum state.

따라서 이 상태에서 게이트 밸브(100)를 열게 되면 차단판(40) 상, 하부 압력 차이로 인하여 진공 펌프 등에 손상을 가져올 수 있다.Therefore, if the gate valve 100 is opened in this state, damage to the vacuum pump may be caused due to a difference in pressure above and below the blocking plate 40.

압력변동 충격방지장치(A)는 유입구(101)와 유출구(102) 사이의 기압을 맞춰주는 기능을 하게 된다. The pressure fluctuation shock prevention device (A) functions to match the air pressure between the inlet 101 and the outlet 102.

압력변동 충격방지장치(A)는 밸브 몸체(10)에 결합되는 본체(100), 본체(100)에 형성된 바디(200), 상기 바디(200)에 공압을 선택적으로 주입하는 제1,2피팅구(210)(220), 상기 바디(200)의 내부에서 작동하는 실린더(미도시), 상기 밸브 몸체(10)와 바디(200)에 연결되는 제1,2바이패스관(270)(280)을 포함한다.Pressure fluctuation shock prevention device (A) is the body 100 coupled to the valve body 10, the body 200 formed in the body 100, the first and second fittings selectively injecting pneumatic pressure into the body 200 The spheres 210 and 220, a cylinder (not shown) operating inside the body 200, the first and second bypass pipes 270 and 280 connected to the valve body 10 and the body 200 ).

한편 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 기밀유지장치는, 밸브 몸체(10)의 유입구(101) 또는 유출구(102)에 각기 결합되며 양측이 개구된 제1연결부(300a)와 제2연결부(300b); 제1연결부(300a)와 제2연결부(300b)와 밸브 몸체(10) 사이에 기밀성을 갖도록 제1연결부(300a)와 제2연결부(300b) 각각에 형성되는 수밀부(C);를 포함하여 구성된다. On the other hand, as shown in FIGS. 3 to 5, the airtight holding device is coupled to the inlet 101 or the outlet 102 of the valve body 10, respectively, and the first connection part 300a and the second connection part opened on both sides. (300b); Including a watertight portion (C) formed on each of the first connection portion (300a) and the second connection portion (300b) to have airtightness between the first connection portion (300a) and the second connection portion (300b) and the valve body (10). Is composed.

수밀부(C)는 제1연결부(300a) 또는 제2연결부(300b)에 형성되며 다수개의 고정홀(322)이 형성되는 플랜지(320); 플랜지(320)의 일면에 안착되고, 상기 고정홀(322)에 대응되는 제1관통홀(341)이 형성되며 외주면과 내주면에서 내측으로 함입되어 홈(342)이 형성되는 오링(340); 제1관통홀(341)에 대응되는 제2관통홀(362)이 형성되며 상기 오링(340)의 홈(342)에 끼움결합되는 부싱(360); 고정홀(322), 제1관통홀(341) 및 제2관통홀(362)을 순차적으로 관통하여 체결되는 볼트(370);를 포함하여 구성된다. The watertight portion (C) is formed in the first connecting portion (300a) or the second connecting portion (300b), a flange 320 in which a plurality of fixing holes 322 are formed; An O-ring 340 which is seated on one surface of the flange 320, a first through hole 341 corresponding to the fixing hole 322 is formed, and is recessed from the outer circumferential surface and the inner circumferential surface to form a groove 342; A bushing 360 having a second through hole 362 corresponding to the first through hole 341 and fitted into the groove 342 of the O-ring 340; The fixing hole 322, the first through hole 341, and the bolt 370 which is sequentially passed through and fastened through the second through hole 362; is configured to include.

플랜지(320)는 제1연결부(300a) 또는 제2연결부 각각의 원형 개구부에 각기 형성되므로 원형으로 형성된다. The flange 320 is formed in a circular shape since each of the first connecting portion 300a or the second connecting portion is formed in a circular opening.

플랜지(320)는 오링(340)이 삽입되는 요홈부(324)가 형성되고, 요홈부(324)의 저면에 고정홀(322)이 형성되며, 요홈부(324)의 양측에 단턱(326)이 형성되어 이루어진다. The flange 320 has a groove portion 324 into which the O-ring 340 is inserted, a fixing hole 322 is formed on the bottom surface of the groove portion 324, and stepped 326 on both sides of the groove portion 324 Is formed.

여기서 요홈부(324)의 내측벽은 경사지게 형성됨으로써 요홈부(324)의 단면 형상이 대략 상부는 좁고 하부는 넓은 형상으로 이루어진다.Here, the inner wall of the groove portion 324 is formed to be inclined, so that the cross-sectional shape of the groove portion 324 has a substantially narrow upper portion and a wide lower portion.

따라서 요홈부(324)에 오링(340)이 일단 삽입된 후 볼트(370)로 체결되면 요홈부(324)의 상부가 좁기 때문에 오링(340)이 쉽게 이탈되지 않도록 하는 협지력이 발휘될 수 있다. Therefore, when the O-ring 340 is once inserted into the groove 324 and then fastened with the bolt 370, the upper portion of the concave groove 324 is narrow, so that the O-ring 340 may not be easily separated. .

바람직하게는 오링(340)은 링 형상의 원판이되 도 5에 도시된 바와 같이, 내주면 및 외주면에 절곡가공에 의해 볼록하게 돌출되어 돌출부(345)가 원주방향으로 형성됨으로써 오링(340)의 단면을 보면 평평한 부분의 양측에 'Λ'형상의 돌출부(345)가 각기 형성되어 이루어진다. Preferably, the O-ring 340 is a ring-shaped disk, but as shown in FIG. 5, the cross-section of the O-ring 340 is convexly protruded on the inner and outer circumferential surfaces by bending, so that the protrusion 345 is formed in the circumferential direction. Looking at,'Λ'-shaped protrusions 345 are formed on both sides of the flat portion, respectively.

따라서 돌출부(345)는 내,외면이 경사지게 형성되며, 외측 경사면이 플랜지(320)의 요홈부(324)의 단턱(326)의 내면에 밀착된다. Accordingly, the protrusion 345 is formed to have an inclined inner and outer surface, and the outer inclined surface is in close contact with the inner surface of the stepped 326 of the groove 324 of the flange 320.

따라서 돌출부(345)의 외측 경사면과 단턱(326)의 내면과의 밀착된 상태와 단턱(326)의 내면이 경사지게 형성된 것으로 인해 오링(340)은 요홈부(324)에 삽입된 후에는 견고하게 결합된 상태가 유지될 수 있다. Therefore, the O-ring 340 is firmly coupled after being inserted into the groove 324 due to the state in close contact with the outer inclined surface of the protrusion 345 and the inner surface of the stepped 326 and the inner surface of the stepped 326 inclined. Can be maintained.

실시예에 따른 기밀유지장치의 작용을 설명하면 다음과 같다.The operation of the airtight maintaining device according to the embodiment will be described as follows.

도 5에 도시된 바와 같이, 밸브 몸체(10)의 개구공(402)의 내주면에 형성된 차단판(40)의 상,하면에 접촉되도록 상,하부에 각기 수밀부(C)가 형성된다. As shown in FIG. 5, watertight portions C are formed in the upper and lower portions, respectively, so as to contact the upper and lower surfaces of the blocking plate 40 formed on the inner peripheral surface of the opening hole 402 of the valve body 10.

상부 수밀부(C)는 상부의 제1연결부(300a)에 형성되어 차단판(40)의 상면에 밀착된다.The upper watertight portion (C) is formed in the upper first connection portion (300a) and in close contact with the upper surface of the blocking plate (40).

하부 수밀부(C)는 하부의 제2연결부(300b)에 형성되어 차단판(40)의 하면에 밀착된다. The lower watertight portion C is formed on the lower second connection portion 300b and is in close contact with the lower surface of the blocking plate 40.

따라서 차단판(40)의 개구공(402) 주변의 상,하면에 수밀부(C)가 밀착되므로 차단판(40)의 전후진 작동시 파우더가 밸브 몸체(10)의 내부로 유입되지 않도록 차단하게 된다.Therefore, the watertight portion (C) is in close contact with the upper and lower surfaces around the opening hole 402 of the blocking plate 40, so that the powder does not flow into the inside of the valve body 10 when the blocking plate 40 is operated forward and backward. Is done.

수밀부(C)는 오링(340)의 돌출부(345)가 실질적으로 차단판에 밀착되어 기밀성능을 발휘하게 된다. As for the watertight portion C, the protruding portion 345 of the O-ring 340 is substantially in close contact with the blocking plate to exhibit airtight performance.

비록 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 고안의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.Although it has been described in connection with the preferred embodiment, it will be easily recognized by those skilled in the art that various modifications and variations are possible without departing from the gist and scope of the design, and all such changes and modifications fall within the scope of the appended claims. Is self-explanatory.

10 : 밸브 몸체 40 : 차단판
50 : 실린더 100 : 게이트 밸브
101 : 유입구 102 : 유출구
B : 기밀유지장치 300a : 제1연결부
300b : 제2연결부 320 : 플랜지
324 : 요홈부 326 : 단턱부
340 : 오링 345 : 돌출부
360 : 부싱 370 : 볼트 10 valve body 40 shutoff plate
50: cylinder 100: gate valve
101: inlet 102: outlet
B: airtight holding device 300a: first connection
300b: second connection 320: flange
324: concave portion 326: stepped portion
340: O-ring 345: protrusion
360: bushing 370: bolt

Claims (4)

유입구와 유출구가 형성되는 밸브 몸체;
상기 밸브 몸체의 내부에서 전·후진 이동하며 유입구와 유출구와 통하는 통로를 개폐하는 차단판;
상기 밸브 몸체의 내부에 위치하여 상기 차단판을 구동시키는 실린더; 및
상기 밸브 몸체의 유입구 또는 유출구에 각기 결합되며 양측이 개구된 제1연결부와 제2연결부;
상기 제1연결부와 제2연결부와 밸브 몸체 사이에 기밀성을 갖도록 형성되는 수밀부;를 포함하고,
상기 수밀부는
유입구 또는 유출구에 형성되며 다수개의 고정홀이 형성되는 플랜지;
상기 플랜지의 일면에 안착되고, 상기 고정홀에 대응되는 제1관통홀이 형성되며 외주면과 내주면에서 내측으로 함입되어 홈이 형성되는 오링;
상기 제1관통홀에 대응되는 제2관통홀이 형성되며 상기 오링의 홈에 끼움결합되는 부싱;
상기 고정홀과 제1관통홀 및 제2관통홀을 순차적으로 관통하여 체결되는 볼트;를 포함하며,
상기 플랜지는
상기 오링이 삽입되는 요홈부가 형성되고, 상기 요홈부의 저면에 상기 고정홀이 형성되며, 상기 요홈부의 양측에 단턱이 형성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 기밀유지장치. A valve body in which an inlet port and an outlet port are formed;
A blocking plate moving forward and backward in the valve body and opening and closing a passage communicating with an inlet and an outlet;
A cylinder located inside the valve body to drive the blocking plate; And
A first connecting portion and a second connecting portion respectively coupled to the inlet or outlet of the valve body and open on both sides;
Including; a watertight portion formed to have airtightness between the first connecting portion and the second connecting portion and the valve body,
The watertight part
A flange formed at the inlet or outlet and having a plurality of fixing holes;
An O-ring which is seated on one surface of the flange, a first through hole corresponding to the fixing hole is formed, and is recessed from an outer circumferential surface and an inner circumferential surface to form a groove;
A bushing having a second through hole corresponding to the first through hole and fitted into the groove of the O-ring;
Includes; a bolt which is fastened through the fixing hole, the first through hole and the second through hole sequentially,
The flange
An airtight holding device applied to a vacuum gate valve, characterized in that a concave portion into which the O-ring is inserted is formed, the fixing hole is formed on a bottom surface of the concave portion, and stepped portions are formed on both sides of the concave portion. 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 오링은
내주면 및 외주면에 볼록하게 돌출되어 돌출부가 형성되고,
상기 돌출부는 내,외면이 경사지게 형성되어 'Λ'형상의 단면을 갖도록 하며,
상기 요홈부의 내측벽은 경사지게 형성되어 상부는 좁고 하부는 넓은 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브에 적용되는 기밀유지장치.
The method of claim 1,
The O-ring
Protruding convexly on the inner and outer circumferential surfaces to form a protrusion,
The protrusion has an inclined inner and outer surface to have a'Λ'-shaped cross-section,
An airtight holding device applied to a vacuum gate valve, characterized in that the inner wall of the groove portion is formed to be inclined so that the upper portion is narrow and the lower portion has a wide shape.
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