KR20030059483A - Method for reliefing failures in semiconductor memory device and semiconductor memory device using thereof - Google Patents
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Abstract
포스트 패키지 단계에서 다수 비트의 결함이 특정 셀 블록 영역에 집중하여 발생한 반도체 메모리 장치를 폐기하지 않고 활용하기 위하여,In order to utilize a semiconductor memory device without discarding a plurality of bits in the post-package step due to the concentration of a specific cell block region,
결함이 발생한 셀의 어드레스 경로상에서 프로그래머블 퓨즈를 이용하여 해당 어드레스를 프로그래밍함으로써, 결함 셀을 제외한 나머지 셀들을 활용한다.By programming the address using a programmable fuse on the address path of the defective cell, the remaining cells except the defective cell are utilized.
Description
본 발명은 반도체 메모리장치의 결함구제방법 및 이를 이용한 반도체 메모리장치에 관한 것으로서, 특히 포스트 패키지 단계에서 다수 결함이 발생한 메모리 셀의 어드레스 경로상에서 프로그래머블 퓨즈를 이용하여 해당 메모리 셀이 속한 셀 블록군의 어드레스 비트를 프로그래밍함으로써, 결함 셀이 속한 메모리 셀 블록을 제외한 나머지 메모리 셀들을 활용하는 반도체 메모리장치의 결함구제방법 및 이를 이용한 반도체 메모리장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a defect repair method of a semiconductor memory device and a semiconductor memory device using the same. In particular, an address of a cell block group to which a corresponding memory cell belongs by using a programmable fuse on an address path of a memory cell having a large number of defects in a post-package step. The present invention relates to a defect repair method of a semiconductor memory device utilizing the remaining memory cells except a memory cell block to which a defective cell belongs, and a semiconductor memory device using the same.
종래 기술에 따르면, 반도체 메모리 장치의 메모리 셀에 결함이 발생하면, 256k 셀 어레이마다 스페어 행(spare row)와 열(column)을 미리 설치해 두고, 결함이 발생하여 불량이 된 메모리 셀을 행/열 단위로 스페어 메모리 셀로 치환하는 방식, 소위 리던던시 방식(redundancy)이 사용된다.According to the prior art, when a defect occurs in a memory cell of a semiconductor memory device, spare rows and columns are provided in advance for every 256k cell array, and the defective / defective memory cells are arranged in rows / columns. A method of replacing a spare memory cell with a unit, a so-called redundancy method, is used.
즉, 웨이퍼 공정 종료후 불량 셀을 선별한 후 이에 해당하는 어드레스를 스페어 셀의 어드레스 신호로 변환시켜주는 프로그래밍을 내부 회로에서 행하여, 실제 사용시 불량 라인에 해당하는 어드레스가 입력되는 때에 스페어 라인이 선택되게 한다.That is, after completion of the wafer process, the internal circuit is programmed to select the defective cell and convert the corresponding address into the address signal of the spare cell, so that the spare line is selected when an address corresponding to the defective line is input in actual use. do.
종래 기술에 따르면, 포스트 패키지 단계, 예컨데 번-인(burn-in) 테스트 등에서 리던던시 셀 갯수 이상의 메모리 셀에서 복수의 결함이 발생하는 경우에는, 결함을 구제할 수 없어 전체 메모리 장치를 폐기하여야 하므로 수율을 저하시켰다.According to the prior art, when a plurality of defects occur in a memory cell having a redundancy or larger number of redundancy cells in a post-package step, such as a burn-in test, the defects cannot be repaired and the entire memory device must be discarded. Lowered.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 리던던시 셀의 개수를 증가시킬 수 있으나, 이 또한 칩 사이즈의 크기를 필요 이상으로 증가시키게 되는 문제점이 있다.In order to solve this problem, the number of redundancy cells can be increased, but this also has the problem of increasing the size of the chip size more than necessary.
본 발명의 목적은, 포스트 패키지 단계에서 메모리 셀 블록에 복수의 결함이 발생하는 경우에도, 반도체 메모리장치 전체를 폐기시키지 않고 부분적으로 사용하는 것이다.An object of the present invention is to partially use the semiconductor memory device without discarding even when a plurality of defects occur in the memory cell block in the post-package step.
도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 결함구제방법을 설명하기 위하여 반도체 메모리장치의 일부분을 나타낸 개략 블록도이다.1 is a schematic block diagram illustrating a portion of a semiconductor memory device in order to explain a defect repair method according to an embodiment of the present invention.
도 2 는 본 발명의 다른 실시예에 따른 결함구제방법을 설명하기 위하여 반도체 메모리장치의 일부분을 나타낸 개략 블록도이다.2 is a schematic block diagram illustrating a portion of a semiconductor memory device in order to explain a defect repair method according to another exemplary embodiment of the present invention.
도 3 은 본 발명의 일실시예에 따른 어드레스 비트 프로그래밍부를 나타낸 블록도.3 is a block diagram illustrating an address bit programming unit according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 4 는 도 3 에 도시된 본 발명의 일실시예에 따른 코딩부와 출력선택부를 나타낸 회로도.4 is a circuit diagram illustrating a coding unit and an output selector according to an embodiment of the present invention shown in FIG.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
10 : 행 어드레스 버퍼20 : 프리디코더10: row address buffer 20: predecoder
30 : 메인 디코더50 : 제 1 프로그래머블 퓨즈부30: main decoder 50: first programmable fuse
60 : 제 2 프로그래머블 퓨즈부70 : 코딩부60: second programmable fuse unit 70: coding unit
80 : 출력선택부ADDR[n] : 어드레스 비트80: output selector ADDR [n]: address bit
PADDR[n] : 프로그램된 어드레스 비트PADDR [n]: programmed address bits
본 발명의 일 태양에 따른 반도체 메모리장치는, 0 또는 1 의 프로그램된 비트신호를 외부에서 프로그래밍하여 출력하는 하나 이상의 프로그래머블 퓨즈부; 프로그램된 어드레스 비트로서, 해당 어드레스 비트, 하이레벨 전압, 또는 로우레벨 전압 중 하나를 선택하여 출력하기 위한 출력 선택부; 및 하나 이상의 프로그래머블 퓨즈부로부터 출력되는 하나 이상의 프로그램된 비트신호를 코딩하여, 출력선택부의 출력을 제어하기 위한 복수의 제어신호를 출력하는 코딩부를 구비하는 어드레스 비트 프로그래밍부를 어드레스 경로상에 포함한다.In accordance with an aspect of the present invention, a semiconductor memory device may include: at least one programmable fuse unit configured to externally program a 0 or 1 programmed bit signal; An output selector for selecting and outputting one of a corresponding address bit, a high level voltage, or a low level voltage as a programmed address bit; And a coding unit configured to code one or more programmed bit signals output from the one or more programmable fuse units, and output a plurality of control signals for controlling the output of the output selection unit on the address path.
또한, 하나 이상의 프로그래머블 퓨즈부는 제 1 프로그래머블 퓨즈부 및 제 2 프로그래머블 퓨즈부를 포함할 수 있다.In addition, the one or more programmable fuses may include a first programmable fuse and a second programmable fuse.
또한, 코딩부는 제 1 프로그램된 비트신호와 제 2 프로그램된 비트신호에 기초하여, 하이레벨의 전압을 출력하기 위한 제 1 제어신호, 해당 어드레스 비트를 출력하기 위한 제 2 제어신호, 및 로우레벨의 전압을 출력하기 위한 제 3 제어신호를 출력할 수 있다.The coding unit may further include a first control signal for outputting a high level voltage, a second control signal for outputting a corresponding address bit, and a low level based on a first programmed bit signal and a second programmed bit signal. A third control signal for outputting a voltage may be output.
또한, 상기 코딩부의 제 2 제어신호는, 제 1 프로그램된 비트신호와 제 2 프로그램된 비트신호를 NOR 연산한 신호일 수 있다.The second control signal of the coding unit may be a signal obtained by performing a NOR operation on the first programmed bit signal and the second programmed bit signal.
또한, 출력 선택부는, 제 1 제어신호에 기초하여 하이레벨의 전압을 전달하는 제 1 전달부; 제 2 제어신호에 기초하여 해당 어드레스 비트를 전달하는 제 2 전달부; 및 제 3 제어신호에 기초하여 로우레벨의 전압을 전달하는 제 3 전달부를 포함할 수 있다.The output selector may include a first transfer unit configured to transfer a high level voltage based on the first control signal; A second transfer unit transferring a corresponding address bit based on the second control signal; And a third transfer unit configured to transfer a low level voltage based on the third control signal.
또한, 출력 선택부는, 제 1 내지 제 3 제어신호에 기초하여, 하이레벨 전압, 해당 어드레스 비트, 또는 로우레벨 전압 중 하나를 선택 출력하기 위한 3:1 멀티플렉서일 수 있다.The output selector may be a 3: 1 multiplexer for selectively outputting one of a high level voltage, a corresponding address bit, or a low level voltage based on the first to third control signals.
또한, 어드레스 비트 프로그래밍부가 리프레쉬 어드레스 경로상에 포함될 수 있다.In addition, an address bit programming unit may be included on the refresh address path.
본 발명의 다른 태양에 따른 반도체 메모리장치의 결함구제방법은, 입력되는 어드레스에 따라 메모리 셀 블록을 복수의 군으로 구분하는 단계; 어드레스 경로상에서 행 어드레스의 일부 비트를 프로그래밍함으로써, 복수의 셀 블록군중 일부 군을 활용 불가능하도록 설정하는 단계; 및 복수의 셀 블록군중 나머지 활용가능한 군만을 사용하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a defect repairing method of a semiconductor memory device, the method comprising: dividing a memory cell block into a plurality of groups according to an input address; Programming some bits of the row address on the address path, thereby making some groups of the plurality of cell block groups unavailable; And using only the remaining available group of the plurality of cell block groups.
또한, 어드레스의 일부 비트는 어드레스의 최상위 비트이고, 활용불가능하도록 설정되는 셀 블록군은 전체 셀 블록의 1/2 일 수 있다.Also, some bits of the address are the most significant bits of the address, and the cell block group set to be unavailable may be 1/2 of the entire cell block.
또한, 어드레스의 일부 비트는 어드레스의 최상위 2 비트이고, 활용불가능하도록 설정되는 셀 블록군은 전체 셀 블록의 1/4 일 수 있다.In addition, some bits of the address are the most significant two bits of the address, and the cell block group set to be unavailable may be one quarter of all cell blocks.
또한, 리프레쉬 어드레스 경로상에서 상기 리프레쉬 어드레스의 일부 비트를 프로그래밍함으로써, 활용불가능하도록 설정된 일부 군에 대하여 리프레쉬를 수행하지 않도록 하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, by programming some bits of the refresh address on the refresh address path, the method may further include refraining from performing a refresh on some groups that are not available.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1 은 본 발명의 일실시예에 따른 결함구제방법을 설명하기 위하여 반도체 메모리장치의 일부분을 나타낸 개략 블록도이다.1 is a schematic block diagram illustrating a portion of a semiconductor memory device in order to explain a defect repair method according to an embodiment of the present invention.
외부로부터 입력된 행 어드레스(ADDR)는 행 어드레스 버퍼(10)에서 반도체 메모리장치 내부의 CMOS 레벨의 신호로 변환되어 내부 어드레스(An)로 출력된다. 내부 어드레스(An)는 프리 디코더(20) 및 메인 디코더(30)를 거쳐 디코딩 된 후, 각 셀 블록의 워드라인(Ci, Di, Ei, Fi, 여기서 i 는 1 이상의 정수)의 구동여부를 결정하게 된다.The row address ADDR input from the outside is converted into a CMOS level signal inside the semiconductor memory device in the row address buffer 10 and output to the internal address An. The internal address An is decoded through the predecoder 20 and the main decoder 30 and then determined whether to drive the word lines Ci, Di, Ei, Fi, where i is an integer of 1 or more. Done.
도시된 바와 같이, 메모리 뱅크 내 또는 전체 칩내의 셀 블록들이 행 어드레스 비트(ADDR[n])에 의해 몇 개의 군으로 구분될 수 있다. 도 1 및 도 2 에 도시된 실시예에서는, 셀 블록들이 행 어드레스(ADDR)의 최상위 2 비트를 사용하여 동일한 개수의 4 개의 군으로 나누어진 것을 도시하였다. 예컨대, 256M 셀의 경우, 4 개의 64M 셀 블록군으로 나누어질 수 있다. 행 어드레스(ADDR)의 최상위 2 비트가 00 일때는 제 1 셀블록군(CB1)이, 01 일때는 제 2 셀블록군(CB2)이, 10 일때는 제 3 셀블록군(CB3)이, 11 일때는 제 4 셀블록군(CB4)이 선택될 수 있다.As shown, the cell blocks in the memory bank or in the entire chip may be divided into several groups by the row address bits ADDR [n]. 1 and 2, the cell blocks are divided into four groups of equal numbers using the most significant two bits of the row address ADDR. For example, in the case of 256M cells, it may be divided into four 64M cell block groups. When the most significant two bits of the row address ADDR are 00, the first cell block group CB1 is 01, when the second cell block group CB2 is 10, and when the 10th third cell block group CB3 is 11, In this case, the fourth cell block group CB4 may be selected.
도 1 에 도시된 바와 같이, 결함이 제 3 셀 블록군(CB3)에 집중되어 발생된다고 가정하면, 행 어드레스(ADDR)의 최상위 비트를 예컨대 '0' 으로 프로그램밍함으로써, 제 1 셀 블록군(CB1) 및 제 2 셀 블록군(CB2)은 활용가능하게, 제 3 셀 블록군(CB3) 및 제 4 셀 블록군(CB4)는 활용 불가능하게 설정될 수 있다.As shown in FIG. 1, assuming that defects are generated by concentrating on the third cell block group CB3, the first cell block group CB1 is programmed by programming the most significant bit of the row address ADDR to '0', for example. ) And the second cell block group CB2 may be set to be unavailable, and the third cell block group CB3 and the fourth cell block group CB4 may be set to be unavailable.
프로그래밍 가능한 행 어드레스(ADDR)의 비트 수를 지정함으로써 활용불가능한 셀블록군을 지정하는 해상도가 조정될 수 있다.By specifying the number of bits of the programmable row address ADDR, the resolution specifying the group of unavailable cell blocks can be adjusted.
도 2 에 도시된 바와 같이, 행 어드레스(ADDR)의 최상위 2 비트를 프로그래밍함으로써, 제 1 셀 블록군 (CB1), 제 2 셀블록군(CB2), 제 4 셀 블록군(CB4)이 활용가능하게, 제 3 셀블록군(CB3)이 활용 불가능하게 설정될 수 있다. 행 어드레스(ADDR)의 최상위 3 비트를 프로그래밍함으로써 1/8 단위로 활용불가능한 셀 블록을 지정할 수 있음이 당업자에게 자명할 것이다.As shown in FIG. 2, by programming the most significant two bits of the row address ADDR, the first cell block group CB1, the second cell block group CB2, and the fourth cell block group CB4 are available. For example, the third cell block group CB3 may be set to be unavailable. It will be apparent to those skilled in the art that, by programming the most significant three bits of the row address ADDR, an unavailable cell block can be specified in units of one eighth.
이러한 어드레스 비트(ADDR) 중 일부를 프로그래밍하기 위하여, 도 3 의 어드레스 비트 프로그래밍부(100)가 어드레스 경로상에, 예컨대 행 어드레스 버퍼(10)의 후단의 각 어드레스 비트 출력단에 포함될 수 있다.In order to program some of these address bits ADDR, the address bit programming unit 100 of FIG. 3 may be included in an address path, for example, in each address bit output terminal after the row address buffer 10.
도 3 에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 어드레스 비트 프로그래밍부(100)는, 해당 어드레스 비트(ADDR[n], n 은 1 이상의 정수), 하이레벨 전압(예컨대, Vdd), 또는 로우레벨 전압(예컨대, Vss) 중 하나를 선택하여 출력하기 위한 출력선택부(80); 출력선택부(80)를 제어하기 위한 제어신호(CTRL1 내지 CTRL3)를 출력하는 코딩부(70); 및 상기 코딩부(70)로 '0' 또는 '1'의 비트를 제공하기 위하여 외부에서 프로그래밍이 가능하도록 구성되는 하나 이상의 프로그래머블 퓨즈부(50, 60)를 포함한다.As shown in FIG. 3, the address bit programming unit 100 according to the present invention includes a corresponding address bit (ADDR [n], n is an integer of 1 or more), a high level voltage (eg, Vdd), or a low level voltage. An output selector 80 for selecting and outputting one of (eg, Vss); A coding unit 70 for outputting control signals CTRL1 to CTRL3 for controlling the output selection unit 80; And one or more programmable fuses 50 and 60 configured to be externally programmable to provide a bit of '0' or '1' to the coding unit 70.
프로그래머블 퓨즈부(50, 60)는, 예컨대, 과전류로 퓨즈를 단절시키는 전기퓨즈방식(electrical fuse), 레이저 빔으로 퓨즈를 단절시키는 방식, 레이저 빔으로 정션(junction)을 쇼트(short)시키는 방식, EPROM 메모리 셀로 프로그래밍 하는 방식 등 다양한 방식으로 구성될 수 있으며, 본 발명은 이에 제한되지 않는다.The programmable fuses 50 and 60 may include, for example, an electric fuse for disconnecting the fuse due to overcurrent, a method for disconnecting the fuse with a laser beam, a method for shorting a junction with a laser beam, The present invention may be configured in various ways such as programming with EPROM memory cells, and the present invention is not limited thereto.
프로그래머블 퓨즈부(50, 60)로부터 프로그래밍된 결과(FUS1 및 FUS2)는 코딩부(70)로 입력되고, 코딩부(70)는 출력선택부(80)를 제어하기 위한 제어신호(CTRL1 내지 CTRL3)를 출력한다.The results FUS1 and FUS2 programmed from the programmable fuse units 50 and 60 are input to the coding unit 70, and the coding unit 70 controls the control signals CTRL1 to CTRL3 for controlling the output selector 80. Outputs
출력선택부(80)는, 코딩부(70)로부터의 제어신호(CTRL1 내지 CTRL3)에 의해 해당 어드레스 비트(ADDR[n]), 하이레벨 전압(예컨대, Vdd), 또는 로우레벨 전압(예컨대, Vss) 중 하나를 선택하여 출력하며, 이와 동등한 기능을 하는 예컨대 3:1 멀티플렉서로 구성될 수 있다.The output selector 80 uses a corresponding address bit ADDR [n], a high level voltage (e.g., Vdd), or a low level voltage (e.g., by the control signals CTRL1 to CTRL3 from the coding unit 70). Vss) selects one of the outputs, and may be configured as, for example, a 3: 1 multiplexer.
도 4 는 본 발명의 일실시예에 따른 코딩부(70)와 출력선택부(80)를 나타낸다.4 shows a coding unit 70 and an output selecting unit 80 according to an embodiment of the present invention.
코딩부(70)는 제 1 프로그래머블 퓨즈부로(50)부터의 프로그래밍된 논리 '0' 또는 논리 '1' 의 제 1 프로그램 비트(FUS1)와 제 2 프로그래머블 퓨즈부(60)로부터의 프로그래밍된 논리 '0' 또는 '1' 의 제 2 프로그램 비트(FUS2)에 기초하여 출력선택부(80)를 제어하기 위한 제어신호(CTRL1 내지 CTRL3)를 출력한다. 예컨대, 도 4 에 도시된 바와 같이, 제 1 제어신호(CTRL1)는 제 1 프로그래머블 퓨즈부(50)로부터의 제 1 프로그램 비트(FUS1)이며, 제 2 제어신호(CTRL3)는 제 1 프로그래머블 퓨즈부(50)로부터의 제 1 프로그램된 비트신호(FUS1)와 제 2 프로그래머블 퓨즈부(60)로부터의 제 2 프로그램된 비트신호(FUS2)를 NOR 연산한 신호이며, 제 3 제어신호(CTRL3)는 제 2 프로그래머블 퓨즈부(60)로부터의 제 2 프로그램된 비트신호(FUS2)일 수 있다.The coding section 70 is programmed logic '0' from the first programmable fuse section 50 or the first program bit FUS1 of logic '1' and the programmed logic 'from the second programmable fuse section 60'. The control signals CTRL1 to CTRL3 for controlling the output selector 80 are output based on the second program bit FUS2 of '0' or '1'. For example, as shown in FIG. 4, the first control signal CTRL1 is the first program bit FUS1 from the first programmable fuse unit 50, and the second control signal CTRL3 is the first programmable fuse unit. NOR operation is performed on the first programmed bit signal FUS1 from 50 and the second programmed bit signal FUS2 from the second programmable fuse 60, and the third control signal CTRL3 It may be a second programmed bit signal FUS2 from the two programmable fuses 60.
출력선택부(80)는 제 1 제어신호(CTRL1)에 따라 하이레벨(Vdd) 전압을 출력하는 제 1 트랜스미션 게이트(TG1), 제 2 제어신호(CTRL2)에 따라 해당 어드레스 비트(ADDR[n])를 출력하는 제 2 트랜스미션 게이트(TG2), 및 제 3 제어신호(CTRL3)에 따라 로우레벨 전압(Vss)을 출력하는 제 3 트랜스미션 게이트(TG3)가 병렬로 연결되어 구성된다.The output selector 80 outputs the high level Vdd voltage according to the first control signal CTRL1 and the corresponding address bit ADDR [n] according to the second control signal CTRL2. The second transmission gate (TG2) for outputting a) and the third transmission gate (TG3) for outputting a low level voltage (Vss) in accordance with the third control signal (CTRL3) is connected in parallel.
따라서, 제 1 및 제 2 프로그래머블 퓨즈부(50 및 60)의 프로그래밍에 기초하여, 어드레스 비트 프로그램부(100)로부터 해당 어드레스 비트(ADDR[n]), 하이 레벨 전압(Vdd), 또는 로우레벨 전압(Vss) 중 하나가 프로그램된 어드레스 비트 (PADDR[n])로 출력된다.Therefore, based on the programming of the first and second programmable fuse units 50 and 60, the corresponding address bits ADDR [n], high level voltage Vdd, or low level voltage from the address bit program unit 100. One of (Vss) is output as the programmed address bit (PADDR [n]).
예컨대, 제 1 프로그래머블 퓨즈부(50)에서 0, 제 2 프로그래머블 퓨즈부(60)에서 0 로 프로그래밍 되는 경우, 제 1 트랜스미션 게이트(TG1) 및 제 3 트랜스미션 게이트(TG3)는 디스에이블 되고, 제 2 트랜스미션 게이트(TG2)가 인에이블되어 해당 어드레스 비트(ADDR[n])가 출력된다.For example, when 0 is programmed in the first programmable fuse unit 50 and 0 in the second programmable fuse unit 60, the first transmission gate TG1 and the third transmission gate TG3 are disabled and the second The transmission gate TG2 is enabled and the corresponding address bit ADDR [n] is output.
제 1 프로그래머블 퓨즈부(50)에서 0, 제 2 프로그래머블 퓨즈부(60)에서 1 로 프로그래밍 되는 경우, 제 1 트랜스미션 게이트(TG1) 및 제 2 트랜스미션 게이트(TG2)는 디스에이블 되고, 제 3 트랜스미션 게이트(TG3)가 인에이블되어 로우레벨의 전압(Vss)이 출력된다.When programmed as 0 in the first programmable fuse unit 50 and 1 in the second programmable fuse unit 60, the first transmission gate TG1 and the second transmission gate TG2 are disabled, and the third transmission gate TG3 is enabled to output a low level voltage Vss.
제 1 프로그래머블 퓨즈부(50)에서 1, 제 2 프로그래머블 퓨즈부(60)에서 0로 프로그래밍 되는 경우, 제 2 트랜스미션 게이트(TG2) 및 제 3 트랜스미션 게이트(TG3)는 디스에이블 되고, 제 1 트랜스미션 게이트(TG1)가 인에이블되어 하이레벨 전압(Vdd)이 출력된다.When programmed as 1 in the first programmable fuse unit 50 and 0 in the second programmable fuse unit 60, the second transmission gate TG2 and the third transmission gate TG3 are disabled and the first transmission gate is disabled. TG1 is enabled to output a high level voltage Vdd.
본 발명의 일실시예에 따르면, 전술한 어드레스 비트 프로그래밍부(100)가 행 어드레스(ADDR)의 최상위 비트(ADDR[n])를 프로그래밍 하도록 행 어드레스 버퍼(10)의 행 어드레스 최상위 비트(ADDR[n])의 출력단에 포함될 수 있다. 따라서, 도 1 에 도시된 바와 같이, 전체 메모리 셀 블록중 결함 셀들이 포함된 1/2(CB1, CB2)은 활용가능하고 결함 셀들이 포함되지 않은 1/2(CB3, CB4)은 활용 불가능하게 된다. 예컨대, 256M DRAM 의 경우 128M 의 메모리 셀이 활용가능하게 된다.According to an embodiment of the present invention, the above-described address bit programming unit 100 programs the row address most significant bit ADDR [of the row address buffer 10 so that the most significant bit ADDR [n] of the row address ADDR is programmed. n]). Therefore, as shown in FIG. 1, half (CB1, CB2) including defective cells of the entire memory cell block are available, and half (CB3, CB4) including no defective cells are not available. do. For example, 128M memory cells become available for 256M DRAM.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 전술한 어드레스 비트 프로그래밍부(100)가 행 어드레스 비트(ADDR)의 최상위 2 비트(ADDR[n], ADDR[n-1])를 프로그래밍 하도록 행 어드레스 버퍼의 행 어드레스 비트(ADDR)의 최상위 2 비트(ADDR[n], ADDR[n-1]) 출력단에 각각 포함될 수 있다. 따라서, 도 2 에 도시된 바와 같이, 전체 메모리 셀 블록중 결함 셀이 포함된 1/4(CB3)만이 활용불가능하고, 나머지 3/4 (CB1, CB2, CB4)은 활용가능하도록 설정될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, a row of a row address buffer such that the above-described address bit programming unit 100 programs the most significant two bits ADDR [n] and ADDR [n-1] of the row address bit ADDR. The two most significant bits ADDR [n] and ADDR [n-1] of the address bit ADDR may be included in the output terminal. Therefore, as shown in FIG. 2, only 1/4 (CB3) including defective cells in the entire memory cell block may be unavailable, and the remaining 3/4 (CB1, CB2, CB4) may be set to be available. .
즉, 본 발명의 일실시예에 따른 어드레스 비트 프로그래밍부(100)의 개수가 증가함에 따라 활용불가능 하도록 마스크 되는 셀 블록 군의 개수도 증가하여 더욱 정밀하게 마스킹이 이루어질 수 있다. 따라서, 본 발명의 일실시예에 따른 어드레스 비트 프로그래밍부(100)의 개수는 전체 칩 사이즈와 경제성을 고려하여 적절하게 채용될 수 있다.That is, as the number of address bit programming units 100 according to an embodiment of the present invention increases, the number of cell block groups that are masked to be unusable also increases, so that masking may be performed more precisely. Therefore, the number of address bit programming units 100 according to an embodiment of the present invention may be appropriately adopted in consideration of the overall chip size and economic efficiency.
전술한 어드레스 비트 프로그래밍부(100)는 리프레쉬 카운터(도시 생략)의 출력단에 포함될 수 있다. 즉, 전술한 바와 같이 프로그램된 사용가능한 셀 블록(CB1, CB2, CB4)에만 리프레쉬 동작이 가능하도록 리프레쉬 모드에서는 리프레쉬 어드레스(TCTR[n])가 프로그래밍될 수 있다. 따라서, 리프레쉬 동작 사이클이 줄어들 수 있고, 리프레쉬 전류가 사용불가능하게 프로그래밍된 셀 블록의 개수만큼 줄어들 수 있다.The above-described address bit programming unit 100 may be included in an output terminal of a refresh counter (not shown). That is, the refresh address TCTR [n] may be programmed in the refresh mode to enable the refresh operation only in the usable cell blocks CB1, CB2, and CB4 programmed as described above. Thus, the refresh operation cycle can be reduced, and the refresh current can be reduced by the number of cell blocks that are programmed to be unusable.
본 발명의 어드레스 비트 프로그래밍부(100)는 어드레스 경로상의 어디라도, 예컨대 프리디코더의 출력단에 포함되어, 해당 워드라인의 인에이블/디스에이블을 프로그래밍하도록 구성될 수도 있음이 당업자에게 자명할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that the address bit programming section 100 of the present invention may be configured to program the enable / disable of the word line anywhere on the address path, for example, at the output of the predecoder.
본 발명에 따르면, 어드레스 비트를 프로그래밍하여 다수의 결함이 발생한 셀 블록군을 활용불가능하게 설정함으로써 다수의 결함이 발생한 반도체 메모리장치를 폐기하지 않고 부분적으로 활용할 수 있다. 따라서, 수율을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, by programming the address bits to make the cell block group in which a plurality of defects occur have become unusable, it is possible to partially utilize the semiconductor memory device in which a plurality of defects occur. Therefore, the yield can be improved.
이와 함께, 리프레쉬 어드레스를 프로그래밍함으로써 리프레쉬 사이클과 리프레쉬 소모전류를 줄일 수 있다.In addition, refresh cycles and refresh current consumption can be reduced by programming refresh addresses.
Claims (11)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2001-0088346A KR100450114B1 (en) | 2001-12-29 | 2001-12-29 | Method for reliefing failures in semiconductor memory device and semiconductor memory device using thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2001-0088346A KR100450114B1 (en) | 2001-12-29 | 2001-12-29 | Method for reliefing failures in semiconductor memory device and semiconductor memory device using thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20030059483A true KR20030059483A (en) | 2003-07-10 |
KR100450114B1 KR100450114B1 (en) | 2004-09-30 |
Family
ID=32215917
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2001-0088346A Expired - Fee Related KR100450114B1 (en) | 2001-12-29 | 2001-12-29 | Method for reliefing failures in semiconductor memory device and semiconductor memory device using thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100450114B1 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100713935B1 (en) * | 2006-04-14 | 2007-05-07 | 주식회사 하이닉스반도체 | Electrostatic Discharge Protection Circuit and Electrostatic Discharge Protection Method of Semiconductor Memory Device |
US7965557B2 (en) | 2007-04-16 | 2011-06-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flash memory device and set-up data initialization method |
KR20160141484A (en) * | 2015-06-01 | 2016-12-09 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Semiconductor memory device and test method thereof |
KR20220041367A (en) * | 2020-09-25 | 2022-04-01 | 삼성전자주식회사 | Electrostatic protection circuit, and semiconductor device having the same |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100809683B1 (en) | 2005-07-14 | 2008-03-07 | 삼성전자주식회사 | Semiconductor memory device and multi-row address test method capable of reducing multi-row address test time. |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07105159B2 (en) * | 1989-11-16 | 1995-11-13 | 株式会社東芝 | Redundant circuit of semiconductor memory device |
JPH0991992A (en) * | 1995-09-22 | 1997-04-04 | Hitachi Ltd | Semiconductor memory device |
US6137157A (en) * | 1997-06-02 | 2000-10-24 | Townsend And Townsend And Crew Llp | Semiconductor memory array having shared column redundancy programming |
KR100273247B1 (en) * | 1997-12-12 | 2001-01-15 | 김영환 | Semiconductor memory capable of reproducing for address |
JP2001167595A (en) * | 1999-12-08 | 2001-06-22 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor memory |
-
2001
- 2001-12-29 KR KR10-2001-0088346A patent/KR100450114B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100713935B1 (en) * | 2006-04-14 | 2007-05-07 | 주식회사 하이닉스반도체 | Electrostatic Discharge Protection Circuit and Electrostatic Discharge Protection Method of Semiconductor Memory Device |
US7616415B2 (en) | 2006-04-14 | 2009-11-10 | Hynix Semiconductor Inc. | Electrostatic discharge protection circuit and electrostatic discharge protection method of a semiconductor memory device |
US7965557B2 (en) | 2007-04-16 | 2011-06-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flash memory device and set-up data initialization method |
US8395943B2 (en) | 2007-04-16 | 2013-03-12 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flash memory device and set-up data initialization method |
KR20160141484A (en) * | 2015-06-01 | 2016-12-09 | 에스케이하이닉스 주식회사 | Semiconductor memory device and test method thereof |
KR20220041367A (en) * | 2020-09-25 | 2022-04-01 | 삼성전자주식회사 | Electrostatic protection circuit, and semiconductor device having the same |
US11456595B2 (en) | 2020-09-25 | 2022-09-27 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Electrostatic protection circuit and semiconductor device including the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100450114B1 (en) | 2004-09-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
St.27 status event code: A-0-1-A10-A12-nap-PA0109 |
|
A201 | Request for examination | ||
PA0201 | Request for examination |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D11-exm-PA0201 |
|
PG1501 | Laying open of application |
St.27 status event code: A-1-1-Q10-Q12-nap-PG1501 |
|
D13-X000 | Search requested |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D13-srh-X000 |
|
D14-X000 | Search report completed |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D14-srh-X000 |
|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D21-exm-PE0902 |
|
E13-X000 | Pre-grant limitation requested |
St.27 status event code: A-2-3-E10-E13-lim-X000 |
|
P11-X000 | Amendment of application requested |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P11-nap-X000 |
|
P13-X000 | Application amended |
St.27 status event code: A-2-2-P10-P13-nap-X000 |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
St.27 status event code: A-1-2-D10-D22-exm-PE0701 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
St.27 status event code: A-2-4-F10-F11-exm-PR0701 |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
St.27 status event code: A-2-2-U10-U11-oth-PR1002 Fee payment year number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration |
St.27 status event code: A-4-4-Q10-Q13-nap-PG1601 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20100825 Year of fee payment: 7 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U11-oth-PR1001 Fee payment year number: 7 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee | ||
PC1903 | Unpaid annual fee |
St.27 status event code: A-4-4-U10-U13-oth-PC1903 Not in force date: 20110916 Payment event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE |
|
PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301 St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301 |
|
PC1903 | Unpaid annual fee |
St.27 status event code: N-4-6-H10-H13-oth-PC1903 Ip right cessation event data comment text: Termination Category : DEFAULT_OF_REGISTRATION_FEE Not in force date: 20110916 |
|
PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301 St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301 |
|
PN2301 | Change of applicant |
St.27 status event code: A-5-5-R10-R13-asn-PN2301 St.27 status event code: A-5-5-R10-R11-asn-PN2301 |
|
P22-X000 | Classification modified |
St.27 status event code: A-4-4-P10-P22-nap-X000 |