KR20020043440A - 여과장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 보울(bowl) 설치용 ○링을 필요로 하지 않는 내구성이 뛰어난 실부(sealing portion)를 갖는 여과장치를 제공하는 것으로서, 하우징 헤드(10)와, 하우징 헤드에 착탈자유롭게 장착되며, 카트리지필터(1)를 주위에서 둘러싸 유로벽을 형성하는 하우징 보울(11)과, 하우징 헤드와 하우징 보울을 밀착되도록 부가하여 체결하는 체결수단(12)을 구비하고, 하우징 헤드는, 하우징 보울에 면하는 부분에 하우징 헤드 실부를 구비하며, 하우징 보울은, 체결수단의 부가력에 의해서 하우징 헤드 실부(32, 42)에 직접 맞닿아 접촉함으로써 실부(33, 34)를 형성하는 하우징 보울 실부(31, 41)를 구비하고 있다.

Description

여과장치{FILTRATION APPARATUS}

본 발명은 반도체, 식품, 약품 등의 각 분야에 이용되고 있는 여과장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 정밀여과 목적을 확실히 달성한 상태에서 하우징 보울 설치용 실부에 이용되는 ○링을 생략한 고 내구성의 여과장치에 관한 것이다.

(종래의 기술)

전자부품, 식품, 약품, 순수(純水) 등을 제조하는 각 분야에서는, 정밀여과를 목적으로 하는 여과장치가 광범위하게 이용되고 있다. 전자부품의 세정에는 고순도의 약액이 이용되고 있다. 예를 들면, 이와 같은 약액에 불순물, 특히, 금속가루 등이 혼입되면 미세한 반도체 집적회로의 배선사이에 단락 등을 발생시켜 정상적인 기능을 기대할 수 없다. 한편, 예를 들면, 반도체 제조때의 세정에 이용되는 약액은, 반복하여 사용하는 것이 가능하고, 자원보호, 환경대책, 또한, 반도체장치의 제조 가격저감의 관점에서 세정액을 순환시켜 사용하고 있다. 이 순환 사용에 있어서, 상기한바와 같이, 세정-약액회수의 과정에서 금속입자 등이 혼입하기 때문에 혼입물을 필터로 제거하는 것이 행하여진다. 사용초기에는 청정이었던 필터도, 사용기간이 오래되면 여과 찌꺼기가 잔류하여 더러워지며, 이윽고 막히게 되어 여과가 충분하게 행해지지 않는다. 이 때문에 상기 여과장치의 필터는 여과능력이 소정 레벨까지 저하하는 기간을 설정하여 정기적으로 교환된다. 이와 같이 교환할 때마다 여과장치는 실(seal)을 파손하여 개방되고 카트리지 필터의 교환이 이루어 진다.

도 12는 종래의 여과장치를 설명하기 위한 도면이다. 본 여과장치는,입구(114)와 출구(115)를 구비하는 하우징 헤드(110)와, 그 하우징의 헤드에 착탈 자유롭게 장착되는 카트리지(101)와, 그 카트리지를 둘러쌓아 유로벽을 구성하는 하우징 보울(111)을 구비하고 있다. 하우징 헤드(110)와 하우징 보울(111)에 의해, 하우징(113)이 구성된다. 카트리지필터(101)는, 장착부(108)에 결합된 ○링(121)을 하우징 헤드에 마련된 필터장착부(125)에 밀어 넣어 결합시킴으로서, 실을 형성하면서 착탈자유로이 장착을 실현하고 있다. 하우징 보울(111)의 상단부에 마련된 ○링홈(131)에 수납된 ○링(122)을, 하우징 헤드로부터 아래쪽으로 돌출되어 있는 플랜지부(132)에 닿아, 자루 너트(112)를 나사결합시켜 체결한다. 이 나사결합에 의해, ○링과 플랜지 선단과는 서로 상대를 밀어 붙여 결합되어 실부가 형성된다. 즉, ○링(122)과 하우징 헤드의 플랜지부(132)와의 사이에서 실이 형성된다. 하우징 헤드에는 공기 배출구 및 압력계 접속구(116, 117, 118)가 마련되고, 또한 하우징 보울(111)에는 배액구(119)가 마련되고 있다.

입구(114)로부터 도입된 여과대상의 액체는, 카트리지 필터(101)를 통과할 때 여과되어 필터장착부(125)를 거쳐 출구(115)로부터 나온다.

그렇지만, 상기 여과장치에 있어서, 카트리지필터(101)를 교환할 때, 입자 혼입방지를 철저하게 하기 위해서, 종래는 실을 형성하는 ○링(122)도 교환하였었다. 예를 들면, 불소고무 단체로 구성되는 ○링(122)은 매우 고가 이며, 또한, 안쪽이 고무로, 바깥쪽이 불소 수지제의 ○링 이라도 상당한 가격이 된다. 비싼 ○링을 카트리지 필터 교환시 마다 교환하는 것은, 가격 경쟁력이 저하되어 바람직하지 못하다. 또한, 폐기물 증대로 이어지기 때문에 환경의 관점으로부터도 바람직하지못하다. 또한, 불소고무를 사용하지 않는 ○링이 조립되는 경우에는, ○링 자체로부터 입자 등의 이물질이 혼입되는 우려가 있다. 이것 때문에, 하우징 헤드와 하우징 보울과의 사이에 실을 구성하는 ○링의 교환 빈도가 잦으며, 또한 교환을 불필요로 하는 실 구조를 갖는 여과장치의 개발이 요망되어 왔다.

본 발명은 하우징 보울 설치용 실을 형성하는 ○링을 필요로 하지 않으며, 더구나 카트리지 필터교환의 경우, 또는 그 밖의 기회에 입자 등이 혼입되는 우려가 적은 내구성이 뛰어난 실부를 갖는 여과장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

(과제를 해결하기 위한 수단)

본 발명의 여과장치는, 입구와 출구가 마련된 하우징 헤드와, 하우징 헤드에 착탈 자유롭게 장착되며, 카트리지 필터를 둘러싸서 유로벽을 형성하는 하우징 보울과, 하우징 헤드와 하우징 보울을 눌러 붙이도록 부가하여 체결하는 체결수단을 구비한다. 하우징 헤드는, 하우징 보울에 면하는 부분에 설치된 하우징 헤드 실부를 구비한다. 또한, 하우징 보울은 체결수단의 부가력에 의해 하우징 헤드 실부에 직접 맞닿아 접촉함으로서 실부를 형성하는 하우징 보울 실부를 구비하고 있다.

하우징 헤드 실부와 하우징 보울 실부가, 직접 맞닿아 접촉되어 실부를 형성하기 때문에, ○링을 사용하지 않으면서 간소한 구조에 의해 실부를 형성할 수 있다. 이때문에, ○링으로부터 불순물의 혼입을 방지할 수 있으며, 또한, ○링을 사용하지 않더라도 부재 가격을 줄일 수 있다.

상기 본 발명의 여과장치에서는, 하우징 헤드 실부 및 하우징 보울 실부는 링형상으로 연재되어 한쪽이 돌출된 볼록 형상부이며, 다른 쪽이 그 볼록 형상부와 맞닿는 오목형상의 홈부이고, 실부는, 적어도 2개의 원 형상 실부로 하는 것이 가능하다.

적어도 2개의 원 형상 실부를 형성함으로서, 안정성이 높은 실을 형성할 수 있다. 예를 들면, 여과대상을 열황산 등으로 한 경우에도, 안심하여 여과를 행할 수 있게 된다. 여기에서, 상기 2개의 원 형상 실이란, 원 형상적인 부분이라는 정도의 의미로서 그 선의 단면은 크기를 갖고 있는 것으로서, 엄밀한 의미로서의 선은 아니다. 즉, 어떠한 재료도 대소는 있지만 탄성변형이 가능하며, 상기 부가력에 의해 실부에서는 탄성변형이 발생되어 크기가 있는 실부가 형성되어 있다.

상기의 구성에 의해, ○링을 이용하지 않고, 확실한 실을 실현할 수 있으며, 비싼 ○링을 교환할 필요성이 없게 된다. 또한, ○링으로부터 불순물이 혼입될 가능성이 없게 된다. 이 결과, 저렴하고 초정밀 여과에 알맞은 하우징 보울 설치용 실부를 구비한 여과장치를 제공하는 것이 가능하게 된다. 또한, 이들 볼록 형상부 및 오목 형상 홈은 형재를 제작해 두면 압출 성형등에 의해 용이하게 제조할 수 있다. 즉, 종래의 ○링 홈과 같은 정도의 가공 가격으로 제조할 수 있다. 또한, 카트리지 필터 교환시에 개방 및 조립 조작도 매우 용이하다. 이 결과, ○링을 사용하지 않고 확실한 실부를 구성하는 것이 가능하게 된다.

상기 본 발명의 여과장치에서는 오목형상의 홈부는, 볼록 형상부에 밀어 붙여 결합됨으로서 그 폭을 탄성적으로 넓혀, 그 복원력에 의해 볼록 형상부와 실부를 형성하는 것이 가능하다.

볼록 형상부를 홈부에 체결수단에 의해 밀어 넣음으로서 오목 형상부는 탄성변형되어 그 폭을 넓히고, 그 복원력에 의해 볼록 형상부와의 사이에 2개의 확실한 실부를 형성할 수 있다. 상기의 구성에 의해, 여과장치의 제조 및 여과장치의 조립과 개방 조작이 매우 간단하게 된다.

본 발명의 여과장치에서는, 하우징 헤드 실부 및 하우징 보울 실부는 한쪽이 돌출된 볼록 형상부이며, 다른 쪽이 그 볼록 형상부가 밀착되어져 탄성 변형되어 볼록 형상부와 실부를 형성하는 받아들임 면으로 된다.

볼록 형상부와 받아들임 면이 밀어붙여 결합되고, 받아들임 면이 그 밀어붙이는 힘에 의해, 휘도록(warp) 탄성적으로 굽으며, 그 복원력에 의해 볼록 형상부와 밀폐부를 형성한다. 이 밀폐부도 완전한 선 형상은 아니며, 맞닿는 부분의 탄성 변형에 의해 띠 형상으로 실부가 형성된다. 이 띠 형상 부분에서는 높은 밀어 붙임력에 의해 그 반력이 발생하며, 그 결과, 마찰력이 실면에 따라 발생된다. 이 때문에, 볼록 형상부와 받아들임 면과의 사이에는 미끄럼 등은 발생하지 않는다. 이 때문에, 볼록 형상부와 받아들임 면과는 안정된 상대 위치관계를 안정하게 유지할 수 있다. 이 때문에, 하우징 헤드와 하우징 보울과의 사이의 실에 ○링을 사용하는 일 없이 확실한 실부를 형성할 수 있다. 이 때문에 실부의 구조가 간단하고 명확하게 되며, 실부 관련부재의 가공 가격이 저렴하게 된다. 또한, 카트리지 필터교환에 따르는 부품 교환비용이 저렴하게 되며, 또한, ○링 홈 등에 부착되어 혼입되는 입자 등의 이물질의 혼입을 방지할 수 있다. 폐기물 양을 줄일수 있다는 환경적 입장으로도 바람직한 것이다.

상기 본 발명의 여과장치에서는 실부를 형성하는 받아들임 면은, 오목 형상의 면으로 된다.

받아들임 면을 오목형상으로 함으로서, 볼록 형상부와 받아들임 면이 닿아,탄성변형을 시작할 때의 상기 마찰력이 작은 단계에서, 미끄럼 등의 불안정성을 배제할 수 있다. 또한, 볼록 형상부의 선단을 받아들임 면의 오목형상에 적합시킴으로서, 탄성 변형후의 실 형성부 띠의 형상을 상기 교차하는 단면에서 호(arc) 형상으로서 실질적인 폭 길이, 즉 호의 길이를 크게할 수 있다. 이 결과, 확실한 실을 안정되게 얻는 것이 가능하게 된다.

상기 본 발명의 여과장치에서는, 하우징 헤드, 카트리지 필터 및 하우징 보울 중 어느 것이 불소수지로 형성될 수 있다.

상기 구성에 의해, 여과장치로부터의 불순물 혼입은 적극적으로 피할 수 있으며, 그 결과, 초 고순도의 여과를 수행할 수 있다. 종래의 여과장치에서는, ○링에 불소고무를 사용하고 있었기 때문에 그 가격은 매우 높은 것이었다. 따라서, 상기 본 발명의 여과장치는, 통상의 종래 여과장치에 비교하여 낮은 제조가격으로 이루어 졌지만, 상기 초 고순도의 여과장치의 경우, 최대의 가격저감을 얻을 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태 1의 여과장치를 도시하는 도.

도 2는 도 1의 A부 확대도.

도 3은 실시 형태 1의 여과장치의 하우징 헤드에 카트리지 필터를 장착하고자하는 상태를 도시하는 도.

도 4는 도 3의 단계에서 계속하여 하우징 헤드에 하우징 보울을 장착시키는 상태를 도시하는 도면.

도 5의 a 및 도 5의 b는 본 발명의 실시 형태 2에 있어서 여과장치의 실부의 구조를 도시하는 도면이며, 도 5의 a는, 하우징 보울 상단부와 하우징 헤드 프레임부가 이격된 상태를 도시하는 도이며, 도 5의 b는, 하우징 보울 상단부와 실부가 실부를 형성한 상태를 도시하는 도.

도 6은 본 발명의 실시 형태 3에 있어서 여과장치의 실부 구조를 도시하는 도.

도 7은 본 발명의 실시 형태 4에 있어서 여과장치의 실부 구조를 도시하는 도.

도 8은 본 발명의 실시 형태 5에 있어서 여과장치의 실부 구조를 도시하는도.

도 9는 본 발명의 실시 형태 6에 있어서 여과장치의 실부 구조를 도시하는 도.

도 10은 본 발명의 실시 형태7에 있어서 여과장치의 실부 구조를 도시하는 도.

도 11의 a는 본 발명의 실시 형태 7에 있어서 여과장치의 실부의 변형 구조를 도시하는 도(실부가 구면 형상의 경우).

도 11의 b는 본 발명의 실시 형태 7에 있어서 여과장치의 실부의 또 다른 변형 구조를 도시하는 도(실부가 경사면의 경우).

도 12는 종래의 여과장치의 실부 구조를 도시하는 도.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)

1 : 카트리지 필터 8, 25 : 장착부

10 : 하우징 헤드 11 : 하우징 보울

12 : 자루 너트 13 : 하우징

14 : 입구 15 : 출구

21 : 카트리지 필터장착부 ○링 28 : 하우징 보울 상단부

28a : 하우징 보울 상단부의 돌기부 29 : 플렌지부

이어서, 도면을 이용하여 본 발명의 실시 형태에 관하여 설명한다.

(실시 형태 1)

도 1에 있어서, 이 여과장치는 입구(14)와 출구(15)를 갖는 하우징 헤드(10)와, 입구에서 출구에 이르는 유로에 개재되어 여과하는 카트리지 필터(1)와, 카트리지 필터를 둘러싸 유로의 외벽을 형성하는 하우징 보울(11)을 구비하고 있다. 하우징 헤드(10)와 하우징 보울(11)에 의해, 하우징(13)이 구성된다. 하우징 보울(11)은, 자루 너트(12)에 결합되며, 자루 너트를 나사 결합시켜 체결될 때, 하우징 보울의 상단부(28)는 하우징 헤드의 돌출부인 플랜지부(29)에 밀려 접촉되어 실부를 형성한다. 하우징 헤드 실부인 플랜지부의 볼록 형상부(32)는, 하우징 보울 실부이다, 상단부(28)의 오목 형상의 홈(31)에 결합되어 있다. 상기 자루너트(12)는, 상기의 실부를 형성하기 위한 부가력을 발현하는 체결수단이며, 또한, 하우징 보울(11)을 하우징 헤드(10)에 장착 고정하는 역할을 갖는다.

상기의 하우징 헤드, 하우징 보울, 카트리지 필터의 상하 캡이나 통은 PFA로 이루어지고, 플리츠 형상 필터는 PTFE로부터, 또한 자루 너트는 PVDF로부터 구성되어 있다. 또한, 카트리지 필터에 결합되어 있는 ○링(21)은, 2개 모두 불소고무에 의해 형성되어 있다. 상기 재료는 전부 불소계수지 또는 불소고무이며, 내식성에 있어서 가장 뛰어난 재료구성의 하나로 되어 있다.

도 2는 도 1의 A부 확대도이다. 하우징 보울의 상단부(28)에, 하우징 보울 실부인 오목 형상의 홈(31)이 마련되고, 이 오목 형상의 홈(31)에 하우징 헤드 실부인 볼록 형상부(32)가 끼어 결합되어 있다. 도 2에 있어서, 이 볼록 형상부(32)의 폭, 즉, 상기 실선에 교차하는 단면에 있어서의 두께는, 오목 형상의 홈(31),즉, 상기 단면에 있어서의 홈의 폭보다도 조금 두껍게 구성되어 있다. 이 때문에, 볼록 형상부(32)를 홈(31)에 밀어 넣으면 오목 형상의 홈(31)은 약간 탄성변형하여 그 상단부를 넓혀 복원력을 발생하여, 도 2에 도시한 내측의 실점(33) 및 외측의 실점(34)이 형성되어 있다. 또한, 실점은 2점이 아니더라도 좋으며, 예를 들면, 더욱 볼록 형상부 선단과 홈의 가장 깊은부가 맞닿아 실점을 형성하여, 합계 3점의 실점으로하여도 좋다.

도 3은, 하우징 헤드에 카트리지 필터를 장착하고자하는 상태의 도면이다. 카트리지 필터의 장착부(8)에는 ○링(21)이 2개 끼어 결합되어 있다. 이 ○링을 하우징 헤드(10)의 필터장착부(25)에 넣는 것에 의해 카트리지 필터(1)는 여과장치에 착탈자유롭게 조립된다. 도 4는 카트리지필터(1)가, 상기한바와 같이 장착된 후에, 하우징 보울(11)을 하우징 헤드(10)에 장착하고자 하는 상태의 도면이다. 자루 너트(12)는 하우징 보울(11)의 상단부(28)와 결합되어 있다. 이 자루너트를 하우징 헤드(10)의 플랜지부(29)의 나사로 나사 결합시켜 체결함으로서, 플랜지부 선단의 볼록 형상부(32)를, 상단부(28)에 마련한 오목 형상의 홈(31)에 끼어 결합한다. 이 끼어 결합시키는 것에 의해 형성되는 실부가 도 2에 있어서의 실점(33, 34)이다.

상기 구조에 의해, 적어도 2점에서 실점을 형성함으로서, 확실한 실부를 안정되게 얻을 수 있다. 이 때문에, 비싼 불소고무제의 ○링을 사용하는 일 없이, 간단하고 명확한 구조로 실을 형성할 수 있다. 이 결과, 부재가격, 가공가격을 절감할 수 있고, 또한, ○링 등으로부터의 불순물의 혼입을 방지할 수 있다. 또한, 폐기물을 적게할 수 있기 때문에, 환경적 입장에서 보더라도 바람직하다.

(실시 형태 2)

본 발명의 실시 형태 2에 있어서 도시한 실부 구조는, 하우징 보울 상단부(28)에 마련한 오목 형상의 홈(하우징 보울 실부)의 폭보다도, 플랜지부(29)의 볼록 형상부(32)(하우징 헤드 실부)의 두께가, 실시 형태 1의 경우보다도 크다. 도 5의 a에서는, 하우징 보울 상단부(28)와 플랜지부(29)가 격리되어 있는 상태를 도시하며, 또한, 도 5의 (b)에서는, 하우징 보울 상단부(28)와 플랜지부(29)가 눌려 장착되며, 2개의 실부(33, 34)를 형성하고 있다. 이 2점(33, 34)은 볼록 형상부의 두께가 매우 두껍기 때문에 홈의 상단점에서 접촉되며, 그 상단점에 형성되어 있다.

도 5의 a, b에 있어서, 안쪽실점(33)의 측벽이 깍여져 있는 부분(35)은 액 고임 방지를 위해 깍여져 있다. 안쪽 벽을 깎으면, 강성이 줄어 탄성적으로 부드럽게 되어 상기 볼록 형상부(32)의 밀어 넣음에도 비교적 작은 힘으로 탄성변형되고, 복원력이 발생하여 실점(33, 34)의 형성이 용이하게 된다.

상기의 실부 구조에 의해서도, ○링을 사용하는 일없이, 확실한 실을 얻을 수 있다. 또한, 부재가격, 가공가격의 절감, 불순물의 혼입방지, 환경적 적합성 등, 실시 형태 1과 같은 효과를 얻을 수 있다.

(실시 형태 3)

도 6에 있어서, 플랜지부(29)의 볼록 형상부(32)는, 상기 교차하는 단면에 있어서 나이프 엣지 형상으로 돌출되어 있다. 이 나이프 엣지의 변과 하우징 보울 상단부(28) 홈의 테두리가 눌려 닿아 실부(33, 34)를 형성하고 있다. 이 실부(33,34)도 홈의 상단점에 형성되어 있다. 상기 실구조에 의해 실시 형태 1 및 2의 여과장치와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.

(실시 형태 4)

도 7에 있어서는, 홈(31)의 폭이 플랜지부(29)의 볼록 형상부(32)의 폭보다도 크게 되어 있다. 이와 같은 경우에도, 실점(33, 34)이 형성되며, ○링을 사용하는 일 없이 양호한 실부를 얻을 수 있다. 여기서, 볼록 형상부(32)는 플랜지부의 폭 (판두께)과 동일하지만, 이와 같은 경우에도 볼록 형상부라고 한다. 또, 홈(31)에는 응력 집중완화부(31a)가 마련되며, 응력집중에 의해 파괴되기 어렵게 배려되어 있다.

(실시 형태 5)

도 8에 있어서, 이 실부는, 플랜지부(29)의 단면에 오목 형상의 홈(42)(하우징 헤드 실부)을 마련하고 있다. 반대로 하우징 보울 상단부(28)에 볼록 형상부(41)(하우징 보울 실부)를 마련하고, 상기의 플랜지부에 마련한 오목 형상의 홈(42)에 끼어 결합한다. 이 구성에 의해서도, 2개의 실부(33, 34)를 형성할 수가 있어서 ○링을 사용하지 않고 확실한 실부를 얻을 수 있다.

(실시 형태 6)

도 9에 있어서, 하우징 보울 상단부(28)에 마련되어 있는 받아들임 면(51)에, 플랜지부(29)의 선단 볼록 형상부(52)가 밀려 닿아진다. 하우징 보울 상단부(28)는 휘도록 탄성적으로 굽으며, 그 복원력에 의해 실부가 형성된다. 이 당접부는 탄성 변형되어 있기 때문에 띠 형상의 실부가 형성되어 있다. 이러한, 간편한 구성에 의해서도 양호한 밀폐성을 갖는 실부를 형성할 수 있다. 상기의 실부를 사용함으로서 ○링을 사용하는 일없이 확실한 실을 얻을 수 있다. 또한, 부재가격, 가공가격의 절감, 불순물의 혼입방지, 환경적 적합성 등, 실시 형태 1 내지 5와 같은 효과를 얻을 수 있다.

(실시 형태 7)

도 10에 있어서, 본 실시 형태에서는, 하우징 보울 상단부(28)의 외측에 외측으로 향한 돌기(28a)를 마련하고, 그 돌기부(28a)와 하우징 헤드의 플랜지부(29)가 맞닿아 접촉한다. 이 당접부에서는 플랜지부(29)가 바깥으로 향해 휘도록 탄성적으로 굽으며, 또한, 돌기부(28a)가 중심방향으로 밀려 들어가며, 그 양쪽의 반발력에 의해 실을 강고하게 하고 있다. 이 당접부에서는, 당접부의 탄성변형이 비교적 크기 때문에 맞닿음 접촉면의 면적이 넓게 된다. 이 때문에, 간단하고 명확한 구조이기는 하지만, 강고한 실을 재현성 좋게 얻을 수 있다. 이와 같은 실구조에 의해, ○링을 사용하는 일 없이, 확실한 실을 얻을 수 있다. 또한, 부재가격, 가공가격의 절감, 불순물의 혼입방지, 환경적 적합성 등 상기의 실시 형태 1 내지 6과 같은 효과를 얻을 수 있다.

상기 본 발명의 실시형태 7의 변형예로서, 도 11의 a 및 도 11의 b에 도시하는 실부의 구조가 있다. 도 11의 a의 실부는 플랜지부의 실부 형성부분이 구면형상 또는 오목형상으로 파여져 있으며, 하우징 보울 상단부의 돌기부(28a)가 구면형상으로 돌출되어 있다. 양자를 끼어 맞도록 당접시킴으로서 매우 강고한 실이 형성된다. 또한, 도 11의 b는, 플랜지부(29)의 단부를 전체적으로 파며, 하우징 보울 상단부의 돌기부가 당접하는 개소는 평면적인 경사면으로 되어 있다. 이와같은 평면적인 경사면과 구면적인 돌기부와의 당접 구조는, 손상을 받기 어려우며, 내구성이 높은 실을 형성할 수 있다.

(실부의 밀폐성 평가(seal abilility))

상기 본 발명의 실시 형태 1 내지 7의 각 여과장치의 실부의 밀폐성을 평가했다.

평가방법 : 하우징 헤드(10)와 하우징 보울(11)을 소정의 힘으로 서로 밀어붙여 결합하여 실부를 형성하여 평가를 했다. 실부의 지름은 110mm로서, 서로 눌러 결합되는 힘은 1200N으로 했다. 하우징 헤드(10)와 하우징 보울(11)을 밀어붙여 결합한 상태를 유지하여, 수조중에 침적하여, 하우징 헤드의 입구(14)로부터 압력0.1MPa의 질소가스를 도입하여, 출구(15)로부터 배출시켰다. 이 때, 각 여과장치의 실부로부터 질소 누설이 있는지 없는지에 의해 평가하였다.

결과 : 상기의 평가를 한 바, 모든 여과장치, 즉, 실시 형태 1 내지 7에 있어서의 어느쪽의 여과장치에 있어서도, 상기 질소가스의 누설이 발생되지 않은 평가를 얻을 수 있었다.

상기에 있어서, 본 발명의 실시 형태에 관하여 설명을 했지만, 상기에 개시된 본 발명의 실시 형태는, 어디까지나 예시이고, 본 발명의 범위는 이들 발명의 실시 형태에 한정되지 않는다. 본 발명의 범위는, 특허 청구 범위의 기재에 의해서 나타나며, 또한, 특허청구 범위의 기재와 균등의 의미 및 범위내에서의 모든 변경을 포함하는 것이다.

본 발명의 여과장치를 사용함으로서, ○링으로부터 불순물의 혼입을 방지할 수 있으며, 또한, ○링을 이용하지 않기 때문에 부재 가격을 삭감할 수 있다.

Claims (6)

1. 입구(14)와 출구(15)가 마련된 하우징 헤드(10)와,

   상기 하우징 헤드에 착탈 자유롭게 장착되며, 카트리지 필터(1)를 둘러싸서 유로벽을 형성하는 하우징 보울(11)과,

   상기 하우징 헤드와 하우징 보울을 밀어 붙이도록 부가하여 체결하는 체결수단(12)을 구비하고,

   상기 하우징 헤드는 하우징 보울에 면하는 부분에 마련된 하우징 헤드 실부(32)를 구비하고,

   상기 하우징 보울은 체결수단의 부가력에 의해 상기 하우징 헤드 실부에 직접 맞닿아 접촉함으로서 실부를 형성하는 하우징 보울 실부(31)를 구비하는 것을 특징으로 하는 여과장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 하우징 헤드 실부 및 상기 하우징 보울 실부는, 링형상으로 연재되어 한쪽이 돌출된 볼록 형상부이며, 다른 쪽이 그 볼록형상부과 맞닿아 접촉하는 오목형상의 홈부이고, 상기 실부는 적어도 2개의 원 형상 실부인 것을 특징으로 하는 여과장치.
3. 제 2항에 있어서,

   상기 오목형상의 홈부는 상기 볼록 형상부로 밀어 붙여 결합됨으로서 그 폭을 탄성적으로 넓혀, 그 복원력에 의해 상기 볼록 형상부와 상기 실부를 형성하고 있는 것을 특징으로 하는 여과장치.
4. 제 1항에 있어서,

   상기 하우징 헤드 실부 및 상기 하우징 보울 실부는 한쪽이 돌출된 볼록 형상부이며, 다른 쪽이 그 볼록 형상부가 밀려 붙여지고, 탄성 변형되어 볼록 형상부와 실부를 형성하는 받아들임 면인 것을 특징으로 하는 여과장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 실부를 형성하는 받아들임 면은 오목 형상의 면인 것을 특징으로 하는 여과장치.
6. 제 1항에 있어서,

   상기 여과장치를 구성하는 하우징 헤드, 카트리지 필터 및 하우징 보울 중 어느 것이 불소수지로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 여과장치.