KR200197283Y1 - 가변핸드 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 디바이스간의 간격을 가변시키며, 1회에 16개의 반도체 디바이스를 픽앤플래이스할 수 있는 가변핸드를 개시하고 있다. 개시된 본 고안은 핸드프레임과, 핸드프레임에 고정된 제 1 안내봉과, 제 1 안내봉에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업블록과, 핸드프레임에 대하여 승강됨으로서 제 1 안내봉에 대하여 복수의 픽업블록의 간격을 변화시키는 제 1 간격가변수단과, 핸드프레임에 설치된 폭간격조정수단과, 폭간격조정수단에 고정된 제 2 안내봉과, 제 2 안내봉에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업블록과, 핸드프레임에 대하여 승강됨으로서 제 2 안내봉에 대하여 복수의 픽업블록의 간격을 변화시키는 제 2 간격가변수단을 포함한다.

Description

가변핸드{Hand of variable pitch}

본 고안은 다수의 반도체 디바이스를 픽앤플래이스(pick ＆ place)하는 핸드에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 다수의 반도체 디바이스를 픽앤플래이스하는 도중에 반도체 디바이스간의 간격을 변화시킬 수 있는 가변핸드에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 디바이스를 테스트하기 위한 장치인 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 경우, 반도체 디바이스를 공급하는 사용자 트레이와 반도체 디바이스 테스트용 트레이의 반도체 디바이스 안착부간의 간격이 상이하기 때문에 픽앤플래이스 도중에 다수의 반도체 디바이스 상호간의 간격을 조정하는 것이 요구되며, 또한 테스트의 효율을 높이기 위하여 1회의 픽앤플래이스 동작에 다수의 반도체 디바이스를 흡착하는 것이 필요하다.

이를 위하여, 종래에는 사용자 트레이와 테스트용 트레이의 반도체 디바이스 안착부의 간격 차이를 보정하기 위하여 프리사이저(pre-sizer)라는 피치조정장치를 별도로 사용하거나, 또는 핸드자체에 픽앤플래이스용 실린더의 간격을 조정할 수 있는 링크타입의 간격조정수단을 부가하였다.

또한, 테스트 효율을 올리기 위해 통상 8개의 픽앤플래이스용 실린더와 진공패드를 조합한 핸드를 사용하였다.

그러나, 상기와 같은 종래의 방법에 의하면, 프리사이저에 의한 경우는 반도체 디바이스의 픽앤플래이스 동작 효율이 좋지 않고, 링크타입의 간격조정수단에 의해 실린더 간격을 조정하는 경우에는 링크에 누적오차가 발생하여 정확한 픽앤플래이스 동작이 이루어지지 않는 문제가 있다.

또한, 반도체 디바이스의 테스트 시간이 반도체 디바이스를 픽앤플래이스하는 시간보다 짧은 경우는 고가의 테스트 장비가 노는 시간이 발생하게 되는 문제도 있다.

본 고안은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 실린더간의 간격조정시 누적오차가 발생하지 않으며, 1회의 픽앤플래이스 동작에 의해 다수의 반도체 디바이스를 핸들링하여 픽앤플래이스 시간을 줄 일 수 있는 반도체 디바이스 테스트용 핸들러 시스템의 가변핸드를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1은 본 고안의 일 실시예에 의한 가변핸드를 나타낸 사시도.

도 2a은 제 1도에 의한 가변핸드의 실린더 간의 간격이 근접한 상태를 나타낸 도면이고, 도 2b는 가변핸드의 실린더 간의 간격이 떨어진 상태를 나타낸 도면.

도 3는 본 고안의 또 다른 일 실시예에 의한 가변핸드를 나타낸 사시도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10;핸드프레임 12;안내봉

14;픽업블록 16;안내돌기

18;간격조정판 18a;안내홈

20;구동수단 22;픽업실린더

30;승강안내수단 32;리니어모션블록

34;리니어모션가이드 100;핸드프레임

102;제 1 안내봉 104;제 2 안내봉

106;제 1 구동수단 108;제 2 구동수단

110;제 1 승강안내수단 120;제 2 승강안내수단

130;폭간격조정수단 132;공압실린더

134;리니어모션블록 136;리니어모션가이드

138;서브프레임 140;제 1 간격조정수단

148;제 1 픽업실린더열 150;제 2 간격조정수단

158;제 2 픽업실린더열

상기와 같은 본 고안의 목적은, 핸드프레임; 상기 핸드프레임에 고정된 안내봉; 상기 안내봉에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업블록; 및 상기 핸드프레임에 대하여 승강되므로서, 상기 안내봉에 대하여 상기 복수의 픽업블록의 간격을 가변시키는 수단을 포함하는 본 고안에 따른 가변핸드를 제공하므로서 달성된다.

또한, 상기와 같은 본 고안의 목적은, 핸드프레임; 상기 핸드프레임에 고정된 제 1 안내봉; 상기 제 1 안내봉에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업블록; 상기 핸드프레임에 대하여 승강됨으로서 상기 제 1 안내봉에 대하여 상기 복수의 픽업블록의 간격을 변화시키는 제 1 간격가변수단; 상기 핸드프레임에 설치된 폭간격조정수단; 상기 폭간격조정수단에 고정된 제 2 안내봉; 상기 제 2 안내봉에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업블록; 및 상기 핸드프레임에 대하여 승강됨으로서 상기 제 2 안내봉에 대하여 상기 복수의 픽업블록의 간격을 변화시키는 제 2 간격가변수단을 포함하는 본 고안에 따른 가변핸드를 제공하므로서 달성될 수 있다.

이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 구체적으로 설명한다.

첨부된 도 1은 본 고안의 일 실시예에 의한 가변핸드를 나타낸 사시도이다. 도 2는 도 1에 나타낸 가변핸드의 픽업실린더 간의 간격이 변화하는 상태를 도시한 도면으로 도 2a는 간격이 근접한 상태를 나타내고, 도 2b는 간격이 벌어진 상태를 나타낸 것이다.

도 1에서 나타낸 바와 같이 본 고안의 일 실시예에 의한 가변핸드는 핸드프레임(10), 2개의 안내봉(12), 복수의 픽업블록(14), 복수의 픽업실린더(22), 픽업실린더 간격조정수단을 포함하고 있다.

안내봉(12)은 2개가 일정한 간격을 유지하며 핸드프레임(10)에 양단이 고정되어 있고, 복수의 픽업블록(14)은 상기 2개의 안내봉(12)에 미끄럼운동을 할 수 있도록 끼워져 있다.

픽업블록 간격조정수단은 상기 복수의 픽업블록(14) 각각에 돌설된 안내돌기(16), 간격조정판(18), 구동수단(20) 및 승강안내수단(30)을 포함하고 있다.

간격조정판(18)은 상기 안내돌기(16)를 각각 수용하는 복수의 안내홈(18a)이 형성되는데, 상기 복수의 안내홈(18a)은 안내돌기(16)가 안내홈(18a)의 일단에 위치하는 경우는 픽업블록(14)이 서로 근접하고, 타단에 위치하는 경우는 상기 픽업블록(14)간의 간격이 벌어지도록 배치되어 있다.

구동수단(20)은 상기 간격조정판(18)을 승강시키는 것으로서, 2개의 공압실린더로 이루어지며 간격조정판(18)의 상단 양측에 공압실린더의 로드가 고정되고 몸체는 핸드프레임(10)에 고정되어 있다.

승강안내수단(30)은 상기 간격조정판(18)이 상기 구동수단(20)에 의해 상하로 승강될 때 그 승강운동을 안내하는 것으로서 리니어모션가이드(34)와 리니어모션블록(32)으로 이루어 진다. 이때, 리니어모션가이드(34)는 핸드프레임(10)의 양단에 설치되고, 리니어모션블록(32)은 간격조정판(18)의 양단에 설치되어 승강직선운동을 안내하게 된다.

또한, 각각의 픽업블록(14)의 측면에는 픽업용 실린더(22)가 장착되어 있어 반도체(도시되지 않음)등을 여러개 흡착하여 운반할 수 있다.

상기 가변핸드의 동작을 상세하게 설명하면 다음과 같다.

좁은 간격의 사용자 트레이(도시되지 않음)에 담겨 있는 반도체를 간격이 넓은 테스트 트레이(도시되지 않음)에 옮기는 경우와 같이 간격이 좁은 상태에서 넓은 상태로 변화하는 경우의 가변핸드의 동작을 본다.

가변핸드는 초기에 도 2a에 도시된 바와 같이 픽업블록(14)이 밀착되어 있다. 이때 구동수단(20)인 공압실린더의 로드가 상승하면 로드에 결합된 간격조정판(18)이 리니어모션가이드(34)를 따라 상향으로 움직인다. 따라서, 이 간격조정판(18)에 형성되어 있는 복수의 안내홈(18a)도 상승하기 때문에, 이 안내홈(18a)에 수용되어 있는 안내돌기(16)가 안내홈(18a)의 형상에 따라 움직이게 되어 안내돌기(16) 간의 간격이 벌어지게 된다.

상기 안내돌기(16)는 캠팔로우로 구성되며 복수의 픽업블록(14)에 각각 결합되어 있고, 또한 픽업블럭(14)은 안내봉(12)에 미끄럼운동을 할 수 있도록 결합되어 있기 때문에, 결국 간격조절판(18)이 상승하면 픽업블록(14)이 안내봉(12)을 따라 미끄러지게 되어, 간격조절판(18)의 안내홈(18a) 하단부의 간격과 동일하게 픽업블록(14)간의 간격이 벌어지게 된다.

즉 가변핸드는 도 2b에 도시된 바와 같은 상태가 되어 흡착한 반도체 등을 간격을 넓힌 상태에서 놓을 수 있게 된다.

도 3는 본 고안의 또 다른 실시예를 나타낸 사시도이다.

본 실시예는 도 3에서 나타낸 바와 같이 복수의 픽업실린더가 2열로 설치되어 있어 픽업실린더열 간의 간격도 가변된다.

상기 가변핸드는 크게 핸드프레임(100), 제 1 및 제 2 안내봉(102)(104), 다수의 픽업블록, 제 1 및 제 2 간격가변수단 및 폭간격조정수단(130)으로 이루어진다.

제 1 안내봉(102)은 안내봉 2개가 일정한 간격을 유지하며 핸드프레임(100)에 양단이 고정되어 있고, 복수의 픽업블록(142)은 상기 2개의 안내봉(102)에 미끄럼운동을 할 수 있도록 끼워져 있다.

제 1 간격가변수단은 복수의 픽업블록(142) 각각에 돌설된 안내돌기(144), 제 1 간격조정판(140), 제 1 구동수단(106), 제 1 승강안내수단(110)을 포함한다.

제 1 간격조정판(140)은 상기 안내돌기(144)를 각각 수용하는 복수의 안내홈(140a)이 형성되는데, 상기 복수의 안내홈(140a)은 안내돌기(144)가 안내홈(140a)의 일단에 위치하는 경우는 픽업블록(142)이 서로 근접하고, 타단에 위치하는 경우는 상기 픽업블록(142)간의 간격이 벌어지도록 배치되어 있다.

제 1 구동수단(106)은 상기 제 1 간격조정판(140)을 승강시키는 것으로서, 2개의 공압실린더로 이루어지며 제 1 간격조정판(140)의 상단 양측에 공압실린더의 로드가 고정되고 몸체는 핸드프레임(100)에 고정되어 있다.

제 1 승강안내수단(110)은 상기 제 1 간격조정판(140)이 상기 제 1 구동수단(106)에 의해 승강될 때 그 승강운동을 안내하는 것으로서 리니어모션가이드(114)와 리니어모션블록(112)으로 이루어 진다. 이때, 리니어모션가이드(114)는 핸드프레임(100)의 양단에 설치되고, 리니어모션블록(112)은 제 1 간격조정판(140)의 양단에 설치되어 직선운동을 안내하게 된다.

폭간격조정수단(130)은 2개의 공압실린더(132)와, 4개의 리니어모션 가이드 (136)와 리니어모션블록(134), 및 서브프레임(138)으로 이루어진다. 리니어모션가이드(136)는 핸드프레임(100)의 제 1 안내봉(102)이 설치된 면에 안내봉과 직각을 이루는 방향으로 상기 안내봉(102)의 상측과 하측에 각각 1개씩, 핸드프레임(100)의 양측에 설치된다. 상기 리니어모션가이드(136)에는 각각 리니어모션블록(134)이 연결되고, 리니어모션블록(134)에는 서브프레임(138)이 결합되어 있다. 이 서브프레임(138)의 상단 양측에는 2개의 공압실린더(132)의 로드가 각각 연결되어 있고, 이 공압실린더는 핸드프레임(100)에 고정되어 있다.

제 2 안내봉(104)은 안내봉 2개가 일정한 간격을 유지하며 상기 서브프레임(138)에 양단이 고정되어 있으며, 복수의 픽업블록(152)은 상기 2개의 제 2 안내봉(104)에 미끄럼운동을 할 수 있도록 끼워져 있다.

제 2 간격가변수단은, 복수의 픽업블록(152) 각각에 돌설된 안내돌기, 제 2 간격조정판(150), 제 2 구동수단(108), 제 2 승강안내수단(120)을 포함하고 있다.

제 2 간격조정판(150)은 상기 안내돌기를 각각 수용하는 복수의 안내홈이 형성되는데, 상기 복수의 안내홈은 안내돌기가 안내홈의 일단에 위치하는 경우는 픽업블록(152)이 서로 근접하고, 타단에 위치하는 경우는 상기 픽업블록(152)간의 간격이 벌어지도록 배치되어 있다.

제 2 구동수단(108)은 상기 제 2 간격조정판(150)을 승강시키는 것으로서, 2개의 공압실린더로 이루어지며 제 2 간격조정판(150)의 상단 양측에 공압실린더의 로드가 고정되고 몸체는 서브프레임(138)에 고정되어 있다.

제 2 승강안내수단(120)은 제 2 간격조정판(150)이 제 2 구동수단(108)에 의해 승강될 때 그 승강운동을 안내하는 것으로서 리니어모션가이드와 리니어모션블록으로 이루어 진다. 이때, 리니어모션가이드는 서브프레임(138)의 양단에 설치되고, 리니어모션블록은 제 2 간격조정판(150)의 양단에 설치되어 직선운동을 안내하게 된다.

또한, 각각의 픽업블록의 측면에는 픽업실린더(146)(156)가 장착되어 있어 반도체 디바이스 등을 동시에 여러개 흡착하여 운반할 수 있다.

본 실시예에 의한 가변핸드의 동작을 설명한다.

각 열을 이루는 픽업실린더간의 간격을 가변시키는 것은 앞에서 설명한 다른 실시예의 동작과 동일하므로, 제 1 픽업실린더열(148)와 제 2 픽업실린더열(158) 간의 간격을 가변시키는 동작만을 설명한다.

핸드프레임(100)에 고정된 공압실린더(132)의 로드가 전진하면, 이 로드에 결합되어 있는 서브프레임(138)이 리니어모션가이드(136)를 따라 직선운동을 하여 제 1 픽업실린더열(148)과 제 2 픽업실린더열(158)이 벌어지게 된다. 공압실린더(132)의 로드가 후퇴하는 경우는 상기와 반대로 제 1 및 제 2 픽업실린더열 간의 간격이 좁아지게 된다.

상기에서 복수의 픽업실린더는 핸들링하는 시스템의 상태에 따라 임의로 설정할 수 있지만 바람직하게는 1열에 8개 씩 총 16개의 실린더를 사용하는 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 고안에 의하면, 안내돌기의 역할을 하는 캠팔로우가 간격조정판의 각각의 안내홈에 의해 안내되어 각 실린더 간의 간격을 조정하기 때문에 종래와 같은 누적오차가 발생되지 않게 된다.

또한, 1회의 픽앤플래이스 동작으로 16개의 반도체 디바이스를 핸들링할 수 있기 때문에 픽앤플래이스 동작시간을 줄일 수 있으므로, 반도체 테스트장비의 효율향상도 이룰 수 있게 된다.

이상에서는 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고, 또한 설명하였으나, 본 고안은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 이하 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형실시가 가능할 것이다.

Claims (12)

1. 핸드프레임;

   상기 핸드프레임에 고정된 안내봉;

   상기 안내봉에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업블록; 및

   상기 핸드프레임에 대하여 승강되므로서, 상기 안내봉에 대하여 상기 복수의 픽업블록의 간격을 가변시키는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변핸드.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 픽업블록 간격가변수단은,

   상기 복수의 픽업블록 각각에 돌설된 안내돌기;

   상기 안내돌기를 각각 수용하는 복수의 안내홈이 형성되며, 상기 안내돌기가 상기 안내홈의 일단에 위치하는 경우는 상기 픽업블록이 서로 근접하고, 타단에 위치하는 경우는 상기 픽업블록간의 간격이 벌어지도록 상기 복수의 안내홈이 배치된 간격조정판;

   상기 간격조정판을 승강시키는 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변핸드.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 안내돌기는 캠팔로우인 것을 특징으로 하는 가변핸 드.
4. 제 2 항에 있어서, 상기 구동수단은 공압실린더인 것을 특징으로 하는 가변핸드.
5. 제 2 항에 있어서, 상기 픽업블록 간격가변수단은,

   상기 핸드프레임에 설치되어, 상기 간격조정판의 승강을 안내하는 승강안내수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변핸드.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 승강안내수단은 상기 핸드프레임에 고정된 리니어모션가이드(LM guide) 및 상기 간격조정판에 고정된 리니어모션블록(LM block)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가변핸드.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 픽업블록에는 픽업실린더가 부착되는 것을 특징으로 하는 가변핸드.
8. 핸드프레임;

   상기 핸드프레임에 고정된 제 1 안내봉;

   상기 제 1 안내봉에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업블록;

   상기 핸드프레임에 대하여 승강됨으로서 상기 제 1 안내봉에 대하여 상기 복수의 픽업블록의 간격을 변화시키는 제 1 간격가변수단;

   상기 핸드프레임에 설치된 폭간격조정수단;

   상기 폭간격조정수단에 고정된 제 2 안내봉;

   상기 제 2 안내봉에 끼워져 미끄럼운동을 하는 복수의 픽업블록; 및

   상기 핸드프레임에 대하여 승강됨으로서 상기 제 2 안내봉에 대하여 상기 복수의 픽업블록의 간격을 변화시키는 제 2 간격가변수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변핸드.
9. 제 8 항에 있어서, 제 1 및 제 2 간격가변수단은,

   상기 복수의 픽업블록 각각에 돌설된 안내돌기;

   상기 안내돌기를 각각 수용하는 복수의 안내홈이 형성되며, 상기 안내돌기가 상기 안내홈의 일단에 위치하는 경우는 상기 픽업블록이 서로 근접하고, 타단에 위치하는 경우는 상기 픽업블록간의 간격이 벌어지도록 상기 복수의 안내홈이 배치된 제 1 간격조정판 및 제 2 간격조정판; 및

   상기 제 1 및 제 2 간격조정판을 승강시키는 제 1 및 제 2 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변핸드.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 제 1 간격가변수단은,

    상기 핸드프레임에 설치되어, 상기 제 1 간격조정판의 승강을 안내하는 제 1 승강안내수단을 포함하고;

    상기 제 2 간격가변수단은,

    상기 폭간격조정수단에 설치되어, 상기 제 2 간격조정판의 승강을 안내하는 제 2 승강안내수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 가변핸드.
11. 제 9 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 구동수단은 공압실린더인 것을 특징으로 하는 가변핸드.
12. 제 8 항에 있어서, 상기 폭간격조정수단은,

    상기 핸드프레임에 고정된 공압실린더;

    상기 공압실린더 로드의 단부에 결합된 폭간격조정 브라켓;

    상기 폭간격조종 브라켓에 장착된 복수의 리니어모션블록; 및

    상기 핸드프레임에 제 1 안내봉과 직각방향으로 장착되어 상기 리니어모션블록을 안내하는 복수의 리니어모션가이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 가변핸드.