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KR19990013599A - Mr. I. Test handler - Google Patents

Mr. I. Test handler Download PDF

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KR19990013599A
KR19990013599A KR1019980026857A KR19980026857A KR19990013599A KR 19990013599 A KR19990013599 A KR 19990013599A KR 1019980026857 A KR1019980026857 A KR 1019980026857A KR 19980026857 A KR19980026857 A KR 19980026857A KR 19990013599 A KR19990013599 A KR 19990013599A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
alarm
display
test handler
screen
help
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
KR1019980026857A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이케다히로키
Original Assignee
오노히로시게
가부시키가이샤어드반테스트
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP9203843A external-priority patent/JPH1138083A/en
Priority claimed from JP20384497A external-priority patent/JPH1138084A/en
Application filed by 오노히로시게, 가부시키가이샤어드반테스트 filed Critical 오노히로시게
Publication of KR19990013599A publication Critical patent/KR19990013599A/en
Ceased legal-status Critical Current

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Abstract

본 발명은 각종 통지 내용을 화면 표시하는 IC 테스트 핸들러를 개시한다. IC 테스트 핸들러의 조작 순서를 나타낸 조작 화면이나 이상 발생시 알람 등의 통지 내용에 대한 상세 정보를 헬프 파일로 만들어 격납시켜 두었다가, 이들 통지 내용을 표시할 때 헬프 파일을 실행하여 통지 내용에 대한 상세 정보를 표시한다.The present invention discloses an IC test handler for screen displaying various notification contents. The help screen contains the operation screen showing the operation sequence of the IC test handler and the notification contents such as an alarm when an abnormality occurs, and is stored as a help file. When the notification contents are displayed, the help file is executed to display detailed information on the notification contents. Display.

Description

아이.씨. 테스트 핸들러Mr. I. Test handler

본 발명은 반도체 메모리 등의 각종 IC 디바이스를 시험할 때에 그 반송(搬送) 등을 행하는 아이. 씨. 테스트 핸들러(I.C. test handler; 이하 IC 테스트 핸들러라 칭함)에 관한 것이다.The present invention carries out the transfer and the like when testing various IC devices such as semiconductor memories. Seed. Test handlers (hereinafter referred to as IC test handlers).

반도체 시험 장치를 이용하여 반도체 메모리 등의 IC 디바이스의 각종 시험을 실시하는 경우에, 시험 대상이 되는 복수개의 IC 디바이스를 소정의 시험위치에 설치할 필요가 있다. 이와 같은 IC 디바이스의 설치작업을 효율적으로 하기 위해 IC 테스트 핸들러가 사용된다.When performing various tests of IC devices, such as a semiconductor memory, using a semiconductor test apparatus, it is necessary to provide the some IC device used as a test object in a predetermined test position. An IC test handler is used to efficiently install such an IC device.

IC 테스트 핸들러는 IC 디바이스를 반송하거나 배열을 바꾸는 일 등을 하는 기구부와, 동작상태나 이상을 검출하는 각종 센서와, 이들 센서의 출력에 따라 기구부에 따른 각 동작을 제어하는 제어부와, 오퍼레이터(operater)가 각종 설정이나 동작지시를 입력하는 조작부와, 각종 설정화면 표시나 이상 발생시 알람(alarm) 표시를 행하는 패널 디스플레이(panel display)를 포함하여 구성되어 있다.The IC test handler includes a mechanism unit for carrying an IC device or changing an arrangement, various sensors for detecting an operation state or an abnormality, a controller for controlling each operation according to the mechanism unit according to the output of these sensors, and an operator. ) Includes an operation unit for inputting various settings and operation instructions, and a panel display for displaying various setting screens or displaying alarms when an abnormality occurs.

상술한 조작부로부터 각 IC 디바이스의 모델 번호나 특징 데이터를 입력함으로써, 타입이 다른 여러 종류의 IC 디바이스를 시험할 수 있도록 되어 있다. 또한, IC 디바이스의 공급이나 회수에 사용되는 커스터머 트레이(customer tray)는 IC 테스트 핸들러의 사용자가 준비하기 때문에, 여러 가지 형상을 갖고 있으며, 사용자에 의해 준비된 여러 종류의 커스터머 트레이를 사용하는 경우에는 미리 조작부로부터 커스터머 트레이의 상세 형상 등에 관한 데이터를 입력할 필요가 있다.By inputting the model number and the characteristic data of each IC device from the above-mentioned operation part, various types of IC devices of different types can be tested. In addition, the customer tray used for supplying or retrieving the IC device has various shapes because the user of the IC test handler prepares, and in the case of using various types of customer trays prepared by the user in advance, It is necessary to input data regarding the detailed shape of the customer tray and the like from the operation unit.

또, 상술한 제어부는 각종 센서의 출력을 감시함으로써 공급된 IC 디바이스의 반송 상태 등을 검출하고 있으며, 반송 도중에 IC 디바이스의 낙하 등의 이상이 발생한 경우에는 바로 반송 동작을 정지시키고, 적색등(赤色燈)의 점멸이나 알람 표시를 하도록 되어 있다. 예를 들면, IC 디바이스의 낙하 등의 이상 발생시의 알람 통지는 IC 테스트 핸들러에 갖추어져 있는 패널 디스플레이에 발생한 이상 종류에 따라 미리 준비되어 있는 수십 자리수의 각종 알람 코드를 표시함으로써 행해진다.In addition, the above-described control unit detects the conveyance state of the supplied IC device by monitoring the outputs of various sensors, and when an abnormality such as dropping of the IC device occurs during the conveyance, stops the conveyance operation immediately and displays a red light.燈) blinks or alarm is displayed. For example, the alarm notification at the time of an abnormal occurrence, such as the fall of an IC device, is performed by displaying various alarm codes of several tens of digits previously prepared according to the kind of abnormality which occurred on the panel display with which the IC test handler is equipped.

그런데, 상술한 IC 테스트 핸들러에 있어서, 각종 데이터 입력이나 각종 동작지시 입력은 패널 디스플레이의 조작 화면을 보면서 행해지는데, 그 표시에는 IC 테스트 핸들러 특유의 용어가 많이 사용되기 때문에, 어느 정도 숙련되지 않은 오퍼레이터는 상세한 내용을 파악하기 어렵다는 문제가 있다. 그 때문에, 각종 설정 항목이나 동작 지시에 대해 해설한 매뉴얼(manual) 책이 마련되어 있으며, 오퍼레이터는 이 매뉴얼 책을 살펴봄으로써 해당하는 설정 항목 등이 의미하는 내용을 알 수 있다.By the way, in the above-described IC test handler, various data inputs and various operation instruction inputs are performed while looking at the operation screen of the panel display, and since the terminology specific to the IC test handler is used for the display, an operator inexperienced to some extent is used. There is a problem that it is difficult to grasp the details. For this reason, manual books have been provided that explain various setting items and operation instructions, and the operator can know what the corresponding setting items mean by looking at the manual book.

또, 상술한 IC 테스트 핸들러에서 이상이 발생했을 때의 알람 표시는 패널 디스플레이에 소정의 알람 코드를 표시함으로써 행해지기 때문에, 이 알람 코드를 보는 것만으로는 그 내용을 파악하기 어렵다는 문제가 있다. 일반적으로는 각종 알람 코드에 따라 그 발생 원인이나 알람 해제 방법 등이 기재된 매뉴얼 책이 준비되어 있어 오퍼레이터는 이 매뉴얼 책을 조사함으로써 발생한 알람에 대한 상세한 정보를 얻을 수 있다.In addition, since the alarm display when an abnormality occurs in the above-described IC test handler is performed by displaying a predetermined alarm code on the panel display, it is difficult to grasp the contents only by looking at the alarm code. In general, a manual book is provided which describes the cause of the alarm, a method of releasing the alarm, etc. according to various alarm codes, and the operator can obtain detailed information on the generated alarm by examining the manual book.

그런데, 각종 설정항목, 동작지시 등이나 알람의 발생 원인(예를 들면 알람에는 잼, 에러, 스테이터스(status), 가이드 등이 있다)은 여러 갈래에 걸쳐있기 때문에 익숙하지 않은 오퍼레이터가 매뉴얼 책을 조사하여 해당하는 설정항목 등이나 알람의 발생 원인을 찾는 일을 용이하지 않다. 통상, 매뉴얼 책에 기재되어 있는 각종 설정항목 등에 관한 설명이나 각종 알람에 관한 설명은, IC 테스트 핸들러를 조작한 경험이 있는 숙련자를 대상으로 쓰여져 있는 것이 많으며, 기술 용어에 의한 짧은 표현이 사용되고 있다. 따라서, 반드시 익숙하지 않은 오퍼레이터가 이해하기 쉽다고는 할 수 없다. 반대로, 누구나 이해할 수 있을 것 같은 표현을 사용하여 상세하게 설명하는 것도 생각해 볼 수 있는데, 기술용어를 사용하지 않는 설명에서는 숙련된 오퍼레이터가 이해하기 어려워진다.By the way, various setting items, operation instructions, etc., and the cause of alarms (for example, alarms have jams, errors, statuses, guides, etc.) can be divided into several branches. It is not easy to find the corresponding setting item or cause of alarm. In general, descriptions of various setting items and the like described in the manual book and descriptions of various alarms are often written for a skilled person who has experience in operating an IC test handler, and a short expression using technical terms is used. Therefore, it is not necessarily easy for an operator who is unfamiliar to understand. On the contrary, it can be considered to describe in detail using expressions that can be understood by anyone, and it is difficult for an experienced operator to understand in descriptions without using technical terms.

또, IC 테스트 핸들러 자체의 제품 수명은 10년에서 15년 정도이며, 사용 기간 내에 시험대상이 되는 IC 디바이스의 추가나 변경 등으로 인해 소프트웨어가 변경된 경우에는 그 때마다 매뉴얼 책 전체 또는 그 일부를 바꿀 필요가 있는데, 이 갱신작업이 적절한 타이밍으로 행해지지 않으면 표시된 동작지시 등이나 알람 코드와 매뉴얼 책의 기재 내용을 서로 대응시킬 수 없어, 해당하는 항목 또는 알람 원인이나 해제 방법을 조사하는 것은 곤란해진다. 예를 들면, 매뉴얼 책의 갱신 페이지의 배포를 이용자의 신청에 따라 유료로 행하는 경우로서 이 신청이 실시되지 않고 있는 경우나, 갱신 페이지는 있는데 매뉴얼 책의 해당 페이지의 갱신 작업이 이루어지지 않고 있는 경우 등에서는 실제로 표시되는 동작 지시 등이나 알람 코드와 매뉴얼 책에 기재된 내용을 서로 대응시킬 수 없게 된다.In addition, the product life of the IC test handler itself is about 10 to 15 years, and if the software is changed due to the addition or change of the IC device under test within the period of use, it is necessary to change the entire manual book or part thereof. However, if this update operation is not performed at an appropriate timing, the displayed operation instruction or the like and the alarm code and the contents of the manual book cannot be corresponded to each other, and it becomes difficult to investigate the corresponding item or the cause or release method of the alarm. For example, when the user does not pay the distribution of the update page of the manual book according to the user's application, and the application is not carried out. The operation instructions and the like displayed on the screen and the alarm code and the contents described in the manual book cannot be correlated with each other.

이와 같이, 조작 화면상에 표시된 각종 설정 항목이나 동작 지시 등의 내용을 매뉴얼 책을 조사함으로써 누구나가 이해한다는 것은 어려우며, 숙련도 등에 상관없이 누구나 간단하게 설정 항목의 내용 등을 이해할 수 있는 방법이 요망되고 있다. 또, 알람 발생에서 알람 해제까지의 일련의 대처방법을 매뉴얼 책을 조사함으로써 누구나가 이해하는 것은 용이한 일이 아니며, 숙련도에 관계없이 누구나 간단하게 알람 내용이나 해제 방법을 이해할 수 있는 방법이 요망되고 있다.In this way, it is difficult for anyone to understand the contents of various setting items and operation instructions displayed on the operation screen by examining the manual book, and a method for anyone to easily understand the contents of setting items is desired regardless of skill level. have. In addition, it is not easy for anyone to understand the series of actions from alarm generation to alarm release by examining the manual book. have.

본 발명의 목적은 조작 화면에 포함되는 각종 항목이나 발생한 알람 등의 각종 통지 내용의 상세 정보를 용이하게 얻을 수 있는 IC 테스트 핸들러를 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide an IC test handler which can easily obtain detailed information of various notification contents such as various items included in an operation screen, an alarm generated, and the like.

바람직한 일 실시 형태에서, 본 발명의 IC 테스트 핸들러는 소정의 통지 내용을 표시하는 표시수단과, 이 표시수단에 의해 표시된 상기 통지 내용에 대한 상세 정보를 적어도 포함하는 헬프 파일(help file)을 격납시키는 헬프 파일 격납수단과, 이 헬프 파일을 실행함으로써 상기 상세 정보를 표시하는 헬프 기능 실행수단을 구비한다.In a preferred embodiment, the IC test handler of the present invention stores display means for displaying predetermined notification contents and a help file including at least detailed information on the notification contents displayed by the displaying means. Help file storage means and help function execution means for displaying the detailed information by executing the help file.

IC 테스트 핸들러의 각종 통지 내용에 대한 상세 정보가 헬프 파일에 격납되어 있어 헬프 기능 실행 수단에 의해 이 헬프 파일을 실행함으로써, 각종 통지 내용을 화면 표시할 때에 이 통지 내용에 대한 상세 정보를 표시할 수 있다. 통지 내용에 포함되는 각 사항에 대응하는 헬프 파일을 구비함으로서, 이들 각 항목에 관한 상세 정보를 용이하게 얻을 수 있다. 또, IC 테스트 핸들러에서 사용되는 소프트웨어를 변경하였기 때문에 통지 내용이 변경된 경우일지라도 이 소프트웨어의 변경과 동시에 헬프 파일의 내용 갱신을 행함으로써, 통지 내용에 포함되는 각 항목과 이들 각 항목에 관한 상세 정보를 대응시킬 수 있다.Detailed information on various notification contents of the IC test handler is stored in the help file, and by executing the help file by the help function execution means, detailed information on the notification contents can be displayed when the various notification contents are displayed on the screen. have. By providing a help file corresponding to each item included in the notification contents, detailed information on each of these items can be easily obtained. In addition, even if the contents of the notification are changed because the software used in the IC test handler is changed, the contents of the help file are updated at the same time as the change of the software, so that each item included in the contents of the notification and detailed information on each of these items are displayed. Can match.

도 1은 일실시 형태에 따른 IC 테스트 핸들러의 외관도.1 is an external view of an IC test handler according to one embodiment.

도2는 IC 테스트 핸들러 기구부의 개략적인 구성을 나타낸 도면,2 shows a schematic configuration of an IC test handler mechanism;

도 3은 IC 테스트 핸들러의 동작을 제어하는 제어기구의 개략적인 구성을 나타낸 블럭도.3 is a block diagram showing a schematic configuration of a control mechanism for controlling the operation of the IC test handler.

도 4는 시스템 조작 화면표시와 병행하여 행해지는 헬프 화면 표시의 동작 순서를 나타낸 흐름도.4 is a flowchart showing an operation procedure of a help screen display performed in parallel with the system operation screen display.

도 5는 시스템 조작 화면의 하나인 커스터머 트레이(customer tray) 설정화면의 표시예를 나타낸 도면.Fig. 5 is a diagram showing a display example of a customer tray setting screen which is one of the system operation screens.

도 6은 헬프 파일을 실행함으로써 표시되는 헬프 화면의 구체예를 나타낸 도면.Fig. 6 is a diagram showing a specific example of the help screen displayed by executing a help file.

도 7은 헬프 화면의 다른 예를 나타낸 도면.7 is a diagram illustrating another example of the help screen.

도 8은 헬프 화면의 또다른 예를 나타낸 도면.8 shows another example of a help screen.

도 9는 커스터머 트레이로부터 테스트 트레이로 바꿔 놓는 경우의 동작 순서를 나타낸 흐름도.Fig. 9 is a flowchart showing an operation procedure when changing from a customer tray to a test tray.

도 10은 통상적인 동작 중에 이상이 발생한 경우의 IC 테스트 핸들러의 동작 순서를 나타낸 흐름도.Fig. 10 is a flowchart showing the operation procedure of the IC test handler when an abnormality occurs during normal operation.

도 11은 입출력 처리부에 의해 행해지는 알람 표시의 동작 순서를 나타낸 흐름도.Fig. 11 is a flowchart showing an operation procedure of alarm display performed by the input / output processing unit.

도 12는 알람 메시지의 표시 화면을 나타낸 도면.12 is a view showing a display screen of an alarm message.

도 13은 가이드 표시 버튼을 클릭했을 때의 표시 화면을 나타낸 도면.Fig. 13 is a diagram showing a display screen when a guide display button is clicked.

도 14는 팝 업 윈도우를 일부에 표시시킨 표시 화면을 나타낸 도면.Fig. 14 is a diagram showing a display screen in which a popup window is partially displayed;

도 15는 상세 표시 버튼을 클릭했을 때의 표시 화면을 나타낸 도면.15 shows a display screen when a detail display button is clicked.

이하, 일실시 형태의 IC 테스트 핸들러에 대해 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the IC test handler of one Embodiment is demonstrated in detail with reference to drawings.

도 1은 일실시 형태의 IC 테스트 핸들러의 외관도로, 일 예로서 수평 반송 방식 IC 테스트 핸들러의 정면도가 도시되어 있다. 도 1에 도시한 IC 테스트 핸들러(100)는 복수의 커스터머 트레이를 공급 및 회수하기 위해 개폐되는 개폐문(110)과, 각종 설정을 하는데 필요한 조작 화면 표시나 이상 발생시에 소정의 알람 표시를 하는 표시부인 LCD(액정 표시 장치; 112)와, 시험대상이 되는 IC 디바이스나 이를 올려놓은 커스터머 트레이에 관한 각종 설정 값이나 동작지시 등을 입력하는 조작부인 키보드(114)와, 동작 상태에 따라 다른 색의 조명을 점등 또는 점멸시키는 시그널 타워(signal tower; 116)를 구비하고 있다.1 is an external view of an IC test handler of one embodiment, and a front view of a horizontal transfer type IC test handler is shown as an example. The IC test handler 100 shown in FIG. 1 is an opening / closing door 110 that opens and closes to supply and retrieve a plurality of customer trays, and a display unit that displays a predetermined alarm display when an operation screen display or abnormality necessary for various settings is made. LCD (liquid crystal display device) 112, a keyboard 114 which is an operation unit for inputting various setting values and operation instructions for the IC device to be tested and the customer tray on which it is placed, and illumination of different colors depending on the operation state It has a signal tower (116) for turning on or blinking.

도 2는 도 1에 외관을 도시한 IC 테스트 핸들러(100)의 기구부의 개략 구성을 나타낸 도면이다. 도 2에 도시한 바와 같이, IC 테스트 핸들러(100)는 공급된 IC 디바이스를 가열한 후에 소정의 위치까지 반송하고, 시험 종료 후에 냉각하여 취출하기 위한 기구부로서, 스톡커(stocker; 122), 흡착 헤드(suction head 126), 로더(loader; 128), 소크 챔버(soak chamber; 130), 테스트 챔버(test chamber; 132), 언소크 챔버(unsoak chamber; 136), 언로더(unloader ;138)를 구비하고 있다.FIG. 2 is a diagram showing a schematic configuration of a mechanism part of the IC test handler 100 shown in FIG. 1. As shown in Fig. 2, the IC test handler 100 is a mechanism part for conveying the supplied IC device to a predetermined position after heating it, and cooling and taking it out after the end of the test. A suction head 126, a loader 128, a soak chamber 130, a test chamber 132, an unsoak chamber 136, an unloader 138 Equipped.

커스터머 트레이(120)는 복수개의 IC 디바이스(118)를 수용하는 용기로, IC 디바이스(118)의 품종이나 형상에 따라 다른 것이 사용된다. 이 커스터머 트레이(120)는 IC 테스트 핸들러(100)의 사용자에 의해 준비되고, 형상에 어느 정도의 자유도가 허용되기 때문에, 미리 사이즈 등의 각종 데이터를 설정할 필요가 있다.The customer tray 120 is a container for accommodating the plurality of IC devices 118, and different ones are used depending on the type and shape of the IC device 118. Since the customer tray 120 is prepared by the user of the IC test handler 100 and a certain degree of freedom is allowed in the shape, it is necessary to set various data such as size in advance.

스톡커(122)는 시험전의 IC 디바이스(118)를 올려놓은 커스터머 트레이(120)나, 시험 종료 후에 시험 결과에 따라 카테고리 별로 분류한 각 IC 디바이스(118)를 올려놓은 커스터머 트레이(120)를 수용하기 위한 것이다. 스톡커(122)는 커스터머 트레이(120)를 다수단 적층시킨 적층부를 갖고 있으며, 이것이 복수 배치되어 있다. IC 디바이스(118)를 로더(128)쪽으로 공급하는 경우에는, 이 적층부 최상단의 커스터머 트레이(120)에 놓여있는 IC 디바이스(118)를 픽업하여 테스트 트레이(124)에 올려놓은 후, 로더(128)쪽으로 이송한다. 적층부 최상단의 커스터머 트레이(120)가 비게 되면, 이 빈 트레이를 최하단으로 이동시킨 후, 엘리베이터(도시되지 않음)가 상승하여 2단째의 커스터머 트레이(120)를 최상단으로 밀어 올리고, IC 디바이스(118)의 공급이 계속된다. 또, 언로더(138)측으로부터 IC 디바이스(118)를 수납하는 경우에는 테스트 트레이(124)상의 IC 디바이스(118)를 적층부의 최상단에 있는 빈 커스터머 트레이(120)상으로 이송하고, 소정수의 IC 디바이스(118)를 올려놓은 커스터머 트레이(120)를 순차적으로 강하시킴으로써 수용이 이루어진다.The stocker 122 accommodates the customer tray 120 on which the IC device 118 is placed before the test, or the customer tray 120 on which each IC device 118 classified by category is placed after the test. It is to. The stocker 122 has a lamination part in which a plurality of customer trays 120 are laminated, and a plurality of these are arranged. When supplying the IC device 118 to the loader 128, the IC device 118 placed on the customer tray 120 at the top of the stacked portion is picked up and placed on the test tray 124, and then the loader 128 To the) side. When the customer tray 120 at the top of the stack becomes empty, the empty tray is moved to the bottom, and then an elevator (not shown) rises to push up the second customer tray 120 to the top, and the IC device 118 ) Supply is continued. In the case of storing the IC device 118 from the unloader 138 side, the IC device 118 on the test tray 124 is transferred onto the empty customer tray 120 at the uppermost end of the stacking part, Acceptance is achieved by sequentially lowering the customer tray 120 on which the IC device 118 is placed.

상술한 스톡커(122)는 도 1에 도시한 개폐문(110)을 개방시킨 위치에 있으며, 오퍼레이터는 통상적인 시험 동작에서는 이 스톡커(122)의 소정 위치에 커스터머 트레이(120)를 공급하는 작업과, 스톡커(122)에서 시험 종료후의 IC 디바이스(118)가 놓인 커스터머 트레이(120)를 회수하는 작업을 실시한다.The above-mentioned stocker 122 is in the position which opened the opening-closing door 110 shown in FIG. 1, and an operator supplies the customer tray 120 to the predetermined position of this stocker 122 in normal test operation. And the stocker 122 performs the operation | work which collect | recovers the customer tray 120 in which the IC device 118 after completion | finish of testing was put.

상술한 커스터머 트레이(120)로부터 테스트 트레이(124)로 IC 디바이스(118)를 바꿔 놓거나, 또는 테스트 트레이(124)로부터 커스터머 트레이(120)로 IC 디바이스(118)를 바꿔 놓는 것은 흡착 헤드(126)에 의해 행해진다. 흡착 헤드(126)는 헤드 내부를 부압(negative pressure)상태로 함으로써 IC 디바이스(118)를 픽업함과 함께 부압상태를 해제함으로써, 지지하고 있던 IC 디바이스(118)를 해방한다.Replacing the IC device 118 from the customer tray 120 to the test tray 124 or replacing the IC device 118 from the test tray 124 to the customer tray 120 is the adsorption head 126. Is done by. The suction head 126 picks up the IC device 118 by making the inside of the head negative, and releases the negative pressure, thereby releasing the supported IC device 118.

로더(128)는 스톡커(122) 중 어느 한 적층부의 최상단에 있는 커스터머 트레이(120)상의 IC 디바이스(118)를 흡착헤드(126)에 의해 픽업하여 테스트 트레이(124)에 올려놓은 후, 이 테스트 트레이(124)를 소크 챔버(130)를 향해 반송한다.The loader 128 picks up the IC device 118 on the customer tray 120 at the top of any stacker of the stocker 122 by the suction head 126 and places it on the test tray 124. The test tray 124 is conveyed toward the soak chamber 130.

소크 챔버(130)는 시험전의 IC 디바이스(118)를 가열 또는 냉각하여 소정의 온도로 유지하는 항온조(恒溫槽)이며, 복수의 테스트 트레이(124)를 수납한다. 로더(128)에 의해 반송된 테스트 트레이(124)는 소크 챔버(130)의 최상단에 세팅된 후, 순차적으로 1단씩 강하한다. 이 강하 시간을 소정 값으로 설정함으로써, 원하는 도달 온도에 달할 때까지 IC 디바이스(118)의 가열 또는 냉각이 실시된다. 테스트 트레이(124)는 소크 챔버(130)의 최하단에 도달한 후 배출되어 테스트 챔버(132)로 반송된다.The soak chamber 130 is a thermostat which heats or cools the IC device 118 before a test, and maintains it at predetermined temperature, and accommodates the some test tray 124. As shown in FIG. The test tray 124 conveyed by the loader 128 is set at the top of the soak chamber 130 and then descends one by one in sequence. By setting this fall time to a predetermined value, heating or cooling of the IC device 118 is performed until the desired achieved temperature is reached. The test tray 124 is discharged after reaching the lowest end of the soak chamber 130 and is conveyed to the test chamber 132.

테스트 챔버(132)는 소정의 온도로 유지된 IC 디바이스(118)에 대해 각종 기능 시험을 실시하기 위한 항온조(constant temperature bath)이다. 테스트 챔버(132)에서는 소크 챔버(130)에서 배출된 테스트 트레이(124)상의 각 IC 디바이스(118)를 개별적으로 픽업하여 콘택부(134)로 이동시켜 각 IC 디바이스(118)에 대한 각종 기능 시험이 실시되고, 시험 종료 후에 이 IC 디바이스(118)가 원래의 테스트 트레이(124)에 수용된다. 콘택부(134)에는 복수개의 IC 소켓(도시되지 않음)이 구비되어 있으며, 이들 각각에 IC 디바이스(118)를 장착한 후에 IC 디바이스(118)의 각 단자에 테스트 헤드(도시되지 않음)를 접촉시킴으로써 IC 디바이스(118)와 반도체 시험장치(200)를 전기적으로 접속시킨다. 이렇게 전기적인 접속이 완료된 후, 반도체 시험장치(200)는 IC 디바이스(118)에 대한 기능시험을 실시한다. 테스트 트레이(124)상의 모든 IC 디바이스(118)에 대한 시험이 종료되면, 이 테스트 트레이(124)는 언소크 챔버(126) 쪽으로 반송된다.The test chamber 132 is a constant temperature bath for conducting various functional tests on the IC device 118 maintained at a predetermined temperature. In the test chamber 132, each IC device 118 on the test tray 124 discharged from the soak chamber 130 is individually picked up and moved to the contact unit 134 to test various functional tests on each IC device 118. This IC device 118 is received in the original test tray 124 after the test is completed. The contact portion 134 is provided with a plurality of IC sockets (not shown), and after attaching the IC device 118 to each of them, a test head (not shown) is brought into contact with each terminal of the IC device 118. By doing so, the IC device 118 and the semiconductor test apparatus 200 are electrically connected. After the electrical connection is completed, the semiconductor test apparatus 200 performs a functional test on the IC device 118. When the tests for all the IC devices 118 on the test tray 124 are finished, the test tray 124 is conveyed toward the unsoak chamber 126.

언소크 챔버(136)는 급격한 온도 스트레스의 인가나 결로(結露)를 방지하기 위해, 시험시에 고온 또는 저온 상태에 있는 IC 디바이스(118)를 완만하게 냉각 또는 가열하여 상온으로 되돌아가게 하는 항온조이다. IC 디바이스(118)의 시험이 종료된 테스트 트레이(124)가 언소크 챔버(136)의 최하단에 수용된 후, 순차적으로 1단씩 상승하여 최상단에 도달할 때까지 IC 디바이스(118)의 온도가 상온으로 되돌아가게 된다. 최상단에 있는 테스트 트레이(124)는 언소크 챔버(136)에서 배출되어 언로더(138)를 향해 반송된다.The unsoak chamber 136 is a thermostat that gently cools or heats the IC device 118 in a high or low temperature state during testing to return to normal temperature in order to prevent sudden application of temperature stress or condensation. . After the test tray 124 in which the testing of the IC device 118 is finished is received at the bottom of the unsock chamber 136, the temperature of the IC device 118 is returned to room temperature until it sequentially rises one by one to reach the top. Go back. The test tray 124 at the top is discharged from the unsoak chamber 136 and conveyed toward the unloader 138.

언로더(138)는 언소크 챔버(136)에서 배출된 시험종료후의 IC 디바이스(118)를 양호한지 불량한지 또는 특성별로 분류하여, 대응하는 커스터머 트레이(120)로 이송한다. 어느 분류에 속하는 IC 디바이스(118)를 어느 커스터머 트레이(120)에 분배할지는 미리 설정되어 있다.The unloader 138 classifies the IC device 118 after the end of the test discharged from the unsoak chamber 136 by good or bad or by characteristics, and transfers the IC device 118 to the corresponding customer tray 120. Which customer tray 120 to distribute the IC device 118 belonging to which classification is set in advance.

상술한 커스터머 트레이(120)나 테스트 트레이(124)의 반송 제어, 소크 챔버(130)이나 언소크 챔버(136)에서의 가열 냉각 제어, IC 디바이스(118)의 식별 관리 제어 등의 일련의 제어가 시퀀스 제어부(sequence control unit; 후술함)에 의해 행해진다.A series of controls such as transfer control of the customer tray 120 and the test tray 124 described above, heating and cooling control in the soak chamber 130 and the unsoak chamber 136, and identification management control of the IC device 118 are performed. This is done by a sequence control unit (to be described later).

도 3은 본 실시형태의 IC 테스트 핸들러(100)의 동작을 제어하는 제어기구를 개략적으로 나타낸 블럭도이다. 도 3에 도시한 바와 같이, 본 실시형태의 IC 테스트 핸들러(100)는 도 2에 도시한 기구부의 동작을 제어하여 반도체 시험장치(200)에 의한 기능시험을 실시하기 위해 필요한 구성을 구비하는 시퀀스 제어 보드(140)와, 오퍼레이터가 각종 설정 데이터 및 동작 지시를 입력하거나 오퍼레이터에 대해 알람 표시나 조작 화면 표시 등을 하기 위해 필요한 구성을 구비하는 사용자 인터페이스(interface; I/F) 보드(160)와, 로더(128)나 언로더(138)를 이동시키는 펄스 모터(pulse motor)나 서보 모터(servo motor; 미도시)를 회전구동하는 모터 콘트롤러(MC; 170, 172)와, IC 디바이스(118)를 픽업하거나 해방(解放)하고 그 지지상태를 검출하기 위해 각 흡착 헤드(126)마다 형성되는 전자 밸브(solenoid valve; 174) 및 흡착 센서(176)를 포함하여 구성되어 있다.3 is a block diagram schematically showing a control mechanism for controlling the operation of the IC test handler 100 of the present embodiment. As shown in FIG. 3, the IC test handler 100 of this embodiment controls the operation of the mechanism part shown in FIG. 2, and has the sequence which has a structure which is necessary for performing the functional test by the semiconductor test apparatus 200. FIG. A control interface 140 and a user interface (I / F) board 160 having a configuration required for an operator to input various setting data and operation instructions or to display an alarm or operation screen for the operator; And a motor controller (MC) 170, 172 for rotationally driving a pulse motor or a servo motor (not shown) for moving the loader 128 or the unloader 138, and the IC device 118. And a solenoid valve 174 and an adsorption sensor 176 formed at each adsorption head 126 to pick up or release the device and detect the support state thereof.

시퀀스 제어 보드(140)는 시퀀스 제어부(142), 입출력 제어부(144), 온도 제어부(146), 사용자 인터페이스(I/F) 변환부(148), 테스터 인터페이스(I/F)부(150)를 포함하여 구성되어 있다. 시퀀스 제어부(142)는 프로세서와 메모리를 포함하고 있으며, 복수의 타스크(tasks)를 병렬 처리할 수 있는 전용 오퍼레이팅 시스템(OS)을 사용하여 소정의 프로그램을 실행함으로서 실현된다. 입출력 제어부(144)는 시퀀스 제어부(142)의 지시에 따라, 도 2에 도시한 기구부의 동작을 제어하기 위한 것으로, 모터 콘트롤러(170, 172)나 전자 밸브(174)에 대해 동작 지시를 보낸다. 또한, 입출력 제어부(144)는 흡착 센서(176)의 출력을 검출하여 IC 디바이스(118)의 유무를 시퀀스 제어부(142)에 알린다. 온도 제어부(146)는 소크 챔버(130), 언소크 챔버(136) 및 테스트 챔버(132)의 온도를 제어한다. 사용자 인터페이스 변환부(148)는 시퀀스 제어 보드(140)와 사용자 인터페이스 보드(160) 간의 데이터 입출력을 제어하기 위한 것이다.The sequence control board 140 may include a sequence control unit 142, an input / output control unit 144, a temperature control unit 146, a user interface (I / F) conversion unit 148, and a tester interface (I / F) unit 150. It is configured to include. The sequence control unit 142 includes a processor and a memory, and is realized by executing a predetermined program using a dedicated operating system (OS) capable of parallel processing a plurality of tasks. The input / output control unit 144 controls the operation of the mechanism shown in FIG. 2 according to the instructions of the sequence control unit 142, and sends an operation instruction to the motor controllers 170 and 172 and the solenoid valve 174. In addition, the input / output controller 144 detects the output of the adsorption sensor 176 and notifies the sequence controller 142 of the presence or absence of the IC device 118. The temperature controller 146 controls the temperatures of the soak chamber 130, the unsoak chamber 136, and the test chamber 132. The user interface converter 148 is for controlling data input / output between the sequence control board 140 and the user interface board 160.

사용자 인터페이스 보드(160)는 입출력 처리부(162) 및 입출력 인터페이스(I/F)부(164)를 포함하여 구성되어 있다. 입출력 처리부(162)는 프로세서와 메모리를 포함한 퍼스널 컴퓨터 본체이며, 일반적인 퍼스널 컴퓨터에서 범용되고 있는 오퍼레이팅 시스템(예를 들면 마이크로 소프트사의 Windows(등록 상표))를 사용하여, 각종 데이터나 동작 지시 등의 입력 처리, 표시 처리 및 알람 발생시 또는 조작 화면 표시와 병행하여 소정의 헬프 화면의 표시 처리를 실시한다. 입출력 인터페이스부(164)는 입출력 처리부(162)와 LCD(112), 키보드(114), 마우스(180), 하드 디스크 장치(HDD; 182), 스피커(184)와를 접속하기 위한 것으로, 접속할 기기에 따른 소정의 규격에 적합한 컨넥터 형상을 갖는다. 또한, 하드 디스크 장치(182)에는 상술한 헬프 화면 표시에 필요한 헬프 파일이 격납되어 있다. 또한, 포인팅 디바이스의 일예로서 마우스(180)를 사용하였지만, 조이 스틱(joystick) 등 다른 포인팅 디바이스를 사용하도록 하여도 좋다.The user interface board 160 includes an input / output processing unit 162 and an input / output interface (I / F) unit 164. The input / output processing unit 162 is a main body of a personal computer including a processor and a memory, and inputs various data and operation instructions using an operating system (for example, Windows (registered trademark) of Microsoft Corporation) that is used in general personal computers. The predetermined help screen display processing is performed in parallel with the processing, display processing, alarm occurrence, or operation screen display. The input / output interface unit 164 connects the input / output processing unit 162, the LCD 112, the keyboard 114, the mouse 180, the hard disk device (HDD) 182, and the speaker 184, and connects to the device to be connected. It has a connector shape suitable for a predetermined standard according to. In addition, the hard disk device 182 stores a help file for displaying the help screen described above. In addition, although the mouse 180 was used as an example of a pointing device, you may make it use other pointing devices, such as a joystick.

[조작 화면을 이용한 각종 설정 데이터나 동작 지시의 입력동작][Input operation of various setting data and operation instruction using operation screen]

이하, 통상 동작에 앞서 소정의 조작화면을 표시하여 각종 설정 데이터나 동작 지시를 입력하는 경우의 동작을 설명한다. 도 4는 시스템 조작 화면 표시와 평행으로 이루어지는 헬프 화면 표시의 동작 순서를 나타낸 도면이다. 예를 들면, IC 테스트 핸들러(100)의 사용자에 의해 준비된 커스터머 트레이(120)에 관한 각종 설정 데이터를 입력할 경우의 입력 조작 화면을 생각해보기로 한다.The operation in the case of inputting various setting data or operation instructions by displaying a predetermined operation screen prior to the normal operation will be described below. 4 is a diagram illustrating an operation procedure of a help screen display in parallel with the system operation screen display. For example, consider an input operation screen for inputting various setting data regarding the customer tray 120 prepared by the user of the IC test handler 100.

IC 테스트 핸들러(100)의 통상적인 동작에 앞서, 입출력 처리부(162)는 IC 테스트 핸들러(100)의 통상적인 동작에 필요한 각종 설정 데이터나 동작 지시를 입력하기 위한 시스템 조작 화면을 LCD(112)에 표시하고(단계 301), 이 시스템 조작 화면에 포함되는 각 항목의 보충 설명을 하기 위해 미리 준비되어 있는 헬프 파일을 기동한다(단계 302).Prior to the normal operation of the IC test handler 100, the input / output processing unit 162 displays, on the LCD 112, a system operation screen for inputting various setting data or operation instructions necessary for the normal operation of the IC test handler 100. (Step 301), a help file prepared in advance for supplementary explanation of each item included in this system operation screen is started (step 302).

도 5는 시스템 조작 화면을 나타낸 도면으로, 일예로서 사용자마다 준비된 커스터머 트레이(120)에 관한 각종 설정을 하는 커스터머 트레이 설정 화면의 상세가 나타나 있다. 동도에 도시한 커스터머 트레이 설정 화면에서, 커스터머 트레이(120)의 「X피치」,「Y피치」,「Z피치」나「X 선단까지의 거리」등의 각종 설정 값을 로더(LD; 128)용과 언로더(UL; 138)용으로 따로 따로 입력할 수 있도록 되어 있다. 또, 이 커스터머 트레이 설정 화면의 우측영역에는 그들 각 설정 항목이 커스터머 트레이(120)의 어느 부분에 대응되어 있는지를 나타내는 도면이 포함되어 있으며, 각 항목의 데이터를 입력하는 오퍼레이터의 이해를 돕도록 고안되어 있다.FIG. 5 is a diagram illustrating a system operation screen. As an example, details of the customer tray setting screen for making various settings regarding the customer tray 120 prepared for each user are shown. On the customer tray setting screen shown in the figure, various setting values such as "X pitch", "Y pitch", "Z pitch", and "distance to X tip" of the customer tray 120 are loaded. It can be input separately for Dragon and Unloader (UL) 138. In addition, the right area of the customer tray setting screen includes a diagram showing which part of each setting item corresponds to the customer tray 120, and is designed to help an operator to input data of each item. It is.

입출력 처리부(162)는 상술한 커스터머 트레이 설정화면을 표시한 후에, 각 설정 항목에 관한 데이터의 입력 여부(단계 303), 데이터 입력작업의 종료 여부(단계 304)를 감시한다. 어느 설정 항목에 대응하는 데이터의 입력이 이루어진 경우에는 입력 데이터를 그 항목에 대한 새로운 설정 값으로 한 후에(단계 305), 다시 단계 303의 데이터 입력의 감시 상태로 되돌아간다.After displaying the above-mentioned customer tray setting screen, the input / output processing unit 162 monitors whether data relating to each setting item is input (step 303) and whether data input operation is finished (step 304). If data corresponding to a certain setting item is input, after setting the input data as a new setting value for the item (step 305), the control returns to the monitoring state of the data input of step 303 again.

또한, 상술한 바와 같이, 커스터머 트레이 설정 화면의 내용은 숙련되지 않은 오퍼레이터도 이해하기 쉽도록 고안되어 있지는 않지만, 설정 화면의 표시 내용만으로 모든 설정 항목이 의미하는 것을 이해할 수 있다고는 할 수 없다. 예를 들어, 숙련되지 않은 오퍼레이터는 「트레이 설정 모드」나「디바이스 억세스 방법」 등의 각 항목이 의미하는 바를 충분히 이해하고 있지 않은 경우도 있다.As described above, the contents of the customer tray setting screen are not designed to be easily understood by an inexperienced operator, but the display content of the setting screen does not necessarily mean that all the setting items mean. For example, an inexperienced operator may not fully understand what each item, such as a "tray setting mode" or a "device access method", means.

입출력 처리부(162)는 상술한 커스터머 트레이 설정 화면의 표시 동작과 병행하여, 각 설정 항목에 대응하는 헬프 화면의 표시 동작이 요구되고 있는지 아닌지를 감시하고 있고(단계 306), 헬프 화면의 표시 동작이 요구되고 있는 경우에는 해당하는 설정 항목의 내용 해설을 포함하는 헬프 화면을 표시한다(단계 307). 예를 들면, 입출력 처리부(162)에 의해, 범용 OS인 Windows(등록상표) 상에서 헬프 파일을 실행함으로써 소정의 헬프 화면 표시가 가능해진다.In parallel with the above-described display operation of the customer tray setting screen, the input / output processing unit 162 monitors whether the display operation of the help screen corresponding to each setting item is requested or not (step 306), and the display operation of the help screen is performed. If so, a help screen including a description of the contents of the corresponding setting item is displayed (step 307). For example, a predetermined help screen display is enabled by the input / output processing unit 162 by executing a help file on Windows (registered trademark) which is a general purpose OS.

도 6은 헬프 파일을 실행함으로써 표시되는 헬프 화면을 나타낸 도면이다. 도 5에 도시한 커스터머 트레이 설정화면의 우측상단의 「?」마크를 마우스(180)에 의해 클릭한 후, 용어의 의미를 알고 싶은 사항에 마우스(180)의 포인터를 이동시켜 클릭함으로써, 도 6에 도시한 바와 같이, 그 부분에 대한 용어의 의미 등이 포함되는 팝-업(pop-up) 윈도우를 헬프 화면으로서 표시시킬 수 있다.6 is a diagram illustrating a help screen displayed by executing a help file. By clicking the "?" Mark on the upper right side of the customer tray setting screen shown in FIG. 5 with the mouse 180, the pointer of the mouse 180 is moved and clicked on a matter to know the meaning of the term. As shown in FIG. 2, a pop-up window including a meaning of a term and the like for the portion may be displayed as a help screen.

일반적으로, Windows(등록 상표)의 헬프 파일은 하나의 정보가 할당된 토픽(topic)을 복수개 모은 것으로, 키워드를 지정하여 원하는 토픽을 검색하는 기능을 갖고 있다. 또, 각 토픽 사이에 연결을 갖게 함으로써, 관련된 정보를 조사하기 쉽게 되어 있다.In general, a help file of Windows (registered trademark) is a collection of a plurality of topics to which one information is assigned, and has a function of searching for a desired topic by specifying a keyword. In addition, it is easy to check related information by having a connection between topics.

도 7은 키워드를 지정하여 토픽을 검색하는 토픽 검색 화면을 나타낸 도면이다. 도 7에 도시한 토픽 검색 화면에서, 원하는 토픽에 관한 키워드(예를 들면「커스터머 트레이」)를 지정함으로써, 이 키워드에 관련된 복수의 토픽이 표시된다. 이 표시된 복수의 토픽 중에서 어느 하나를 선택함으로써 그 토픽의 구체적 내용이 도 8에 도시한 새로운 헬프 화면으로서 표시된다. 또한, 도 8에는 토픽「커스터머 트레이·사이즈」가 선택되어, 그 구체적 내용이 포함되는 헬프 화면이 표시된 상태가 도시되어 있다.7 is a diagram illustrating a topic search screen for searching a topic by specifying a keyword. In the topic search screen shown in FIG. 7, a plurality of topics related to the keyword are displayed by designating a keyword (for example, "customer tray") relating to the desired topic. By selecting any one of the displayed plurality of topics, the specific contents of the topic are displayed as a new help screen shown in FIG. 8 shows a state in which a topic "Customer tray size" is selected and a help screen including the specific contents is displayed.

또한, 토픽이 선택되어 표시되는 헬프 화면에는 필요에 따라 문장, 도면, 표, 정지화상, 동화상, 애니메이션 등이 포함되는데, 이들 문장중이나 도면, 표, 정지화상 중에 핫 스폿(hot spot)이라 칭해지는 부분이 있으며, 이 핫 스폿을 마우스(180)로 클릭함으로써 그 부분에 대한 용어의 의미나 관련 사항이 포함되는 팝 업 윈도우를 표시시키거나, 다른 토픽을 표시시킬 수 있다. 따라서, 최초로 표시시킨 헬프 화면에 포함되는 내용(예를 들면 문장이나 도면)으로 충분히 내용을 이해할 수 없는 경우에는 오퍼레이터의 선택에 따라 더 상세한 내용(예를 들면 정지화상이나 동화상)을 포함하는 다른 헬프 화면을 단계적으로 표시시킬 수도 있다. 또, 입출력 처리부(162)는 필요에 따라 상술한 여러 헬프 화면의 표시 동작과 병행하여 스피커(184)로부터 내용 가이던스 음성(guidance voice)을 출력할 수도 있다.In addition, a help screen in which a topic is selected and displayed includes sentences, drawings, tables, still images, moving images, animations, and the like, if necessary, which are referred to as hot spots in these sentences, drawings, tables, and still images. There is a part, and by clicking on the hot spot with the mouse 180, a pop-up window containing the meaning or related matter of the term for the part can be displayed, or another topic can be displayed. Therefore, if the contents (for example, sentences or drawings) contained in the first displayed help screen cannot be sufficiently understood, other help including more detailed contents (for example, still images or moving images) according to the operator's selection. You can also display the screen in stages. In addition, the input / output processing unit 162 may output a guidance voice from the speaker 184 in parallel with the above-described display operation of the various help screens.

이와 같이, 본 실시형태의 IC 테스트 핸들러(100)에서는 시스템 조작 화면을 표시하여 입력 대기 상태에 있을 때, 오퍼레이터의 요구에 따라 조작 화면의 각 항목에 관한 헬프 화면을 표시하고 있으며, 필요에 따라 더 상세한 설명문이나 도면, 화상 등을 단계적으로 표시시킬 수 있다. 따라서, 각 오퍼레이터는 숙련도에 따라 표시내용을 지정함으로써 표시된 조작화면의 각 항목의 내용을 상세하게 알 수 있다.As described above, in the IC test handler 100 of the present embodiment, when the system operation screen is displayed and in the input standby state, help screens relating to the respective items of the operation screen are displayed at the request of the operator. Detailed descriptions, drawings, images and the like can be displayed step by step. Therefore, each operator can know the contents of each item of the displayed operation screen in detail by designating the display contents according to the skill level.

또한, 시험대상이 되는 IC 디바이스의 추가나 갱신 등에 따른 소프트웨어의 변경이 발생한 경우에도, 이 변경된 소프트웨어에 대응하는 헬프 파일을 동시에 변경함으로써, 표시된 조작 화면의 각 항목과 그 해설 내용 등을 서로 대응시킬 수 없게 되는 결함이 없어진다.In addition, even when a software change occurs due to the addition or update of an IC device to be tested, the help file corresponding to the changed software is simultaneously changed so that each item of the displayed operation screen and the explanation contents can be associated with each other. The defect that disappears disappears.

[이상 발생시에 알람 표시를 행하는 경우의 동작][Operation when Alarm is Displayed When an Error Occurs]

이하, 통상적인 동작에서 어떤 이상이 발생하여 알람 표시를 하는 경우의 동작을 설명한다. 예를 들면, 통상적인 동작으로서 커스터머 트레이(120)로부터 테스트 트레이(124)로 IC 디바이스(118)를 바꿔 놓는 동작을 고려하여, 그 도중에 IC 디바이스(118)가 낙하하는 것으로 한다.Hereinafter, an operation in which an alarm is displayed due to an abnormality occurring in the normal operation will be described. For example, considering the operation of replacing the IC device 118 from the customer tray 120 to the test tray 124 as a normal operation, the IC device 118 will fall in the middle.

도 9는 커스터머 트레이(120)에서 테스트 트레이(124)로 바꿔 놓는 경우의 동작순서를 나타낸 흐름도로, 도 3에 도시한 시퀀스 제어부(142)에 의해 실행되는 동작 타스크(action task)에 의해 일련의 동작이 행해진다.FIG. 9 is a flowchart showing an operation procedure when the customer tray 120 is changed from the customer tray 120 to the test tray 124. A series of actions are executed by the action task executed by the sequence control unit 142 shown in FIG. The operation is performed.

먼저, 시퀀스 제어부(142)에 의해 실행되는 동작 타스크(본 실시형태에서는 통상적인 동작을 하는 여러 타스크를 총괄하여 동작 타스크라 칭하고 설명하는 것으로 한다)는 입출력 제어부(144)를 통해 전자(電磁) 밸브(174)를 구동하고, 흡착 헤드(126)에 의해 커스터머 트레이(120)상의 IC 디바이스(118)를 흡착한다(단계 401). 흡착 동작 종료후, 동작 타스크는 입출력 제어부(144)에 입력되는 흡착 센서(176)의 출력에 따라, 흡착 헤드(126)의 선단에 IC 디바이스(118)가 흡착되어 있는지 아닌지를 확인한다(단계 402).First, an operation task executed by the sequence control unit 142 (in this embodiment, collectively referred to as an operation task and described as a task for general operation) is an electromagnetic valve through the input / output control unit 144. 174 is driven, and the suction device 126 sucks the IC device 118 on the customer tray 120 (step 401). After completion of the adsorption operation, the operation task checks whether or not the IC device 118 is adsorbed to the tip of the adsorption head 126 according to the output of the adsorption sensor 176 input to the input / output control unit 144 (step 402). ).

IC 디바이스(118)가 흡착되어 있는 것을 확인하면, 이어 동작 타스크는 IC 디바이스(118)를 흡착한 상태로 흡착 헤드(126)를 상승시키고(단계 403), 위치 센서(도시되지 않음)에 의해 IC 디바이스(118)가 소정 위치에 도달한 것을 확인하고 상승동작을 정지한다(단계 404). 그 후, 동작 타스크는 흡착 센서(176)의 출력에 따라 상승동작 중에 흡착 헤드(126)로부터 IC 디바이스(118)가 낙하했는지 여부를 확인한다(단계 405).Upon confirming that the IC device 118 is adsorbed, the operation task then raises the adsorption head 126 with the IC device 118 adsorbed (step 403) and the IC by a position sensor (not shown). The device 118 confirms that the predetermined position has been reached and stops the ascending operation (step 404). Thereafter, the operation task checks whether the IC device 118 has fallen from the adsorption head 126 during the ascending operation in accordance with the output of the adsorption sensor 176 (step 405).

IC 디바이스(118)가 낙하하지 않은 것을 확인하면, 이어 동작 타스크는 흡착 헤드(126)가 설치된 아암을 이동시키는 모터(도시되지 않음)를 회전구동하여, 흡착 헤드(126)를 수평방향으로 이동시킴으로써 IC 디바이스를 반송하고(단계 406), 모터의 반송 거리에 의해 정지 상태를 확인하고 반송동작을 종료한다(단계 407). 그 후, 동작 타스크는 흡착 센서(176)의 출력에 따라 반송동작 중에 흡착 헤드(126)로부터 IC 디바이스(118)가 낙하했는지 여부를 확인한다(단계 408).After confirming that the IC device 118 has not fallen, the operation task is then driven by rotating a motor (not shown) for moving the arm provided with the suction head 126, thereby moving the suction head 126 in the horizontal direction. The IC device is conveyed (step 406), the stop state is confirmed by the conveyance distance of the motor, and the conveyance operation is terminated (step 407). Thereafter, the operation task checks whether the IC device 118 has fallen from the adsorption head 126 during the conveyance operation in accordance with the output of the adsorption sensor 176 (step 408).

IC 디바이스(118)가 낙하하지 않은 것을 확인하면, 이어 동작 타스크는 IC 디바이스를 흡착한 상태로 흡착 헤드(126)를 하강시키고(단계 409), 위치 센서에 의해 IC 디바이스(118)가 소정 위치에 도달한 것을 확인하여 하강 동작을 정지한다(단계 410). 그 후, 동작 타스크는 흡착 센서(176)의 출력에 따라, 하강 동작 중에 흡착 헤드(126)로부터 IC 디바이스(118)가 낙하했는지 여부를 확인한다(단계 411).Upon confirming that the IC device 118 has not fallen, the operation task then lowers the adsorption head 126 with the IC device adsorbed (step 409), and the IC device 118 is moved to a predetermined position by the position sensor. It confirms that it has reached and stops the falling operation (step 410). Thereafter, the operation task checks whether the IC device 118 has fallen from the adsorption head 126 during the lowering operation in accordance with the output of the adsorption sensor 176 (step 411).

그런데, 동작 타스크는 상술한 단계 402, 405, 408, 411 각각에서, IC 디바이스(118)가 낙하했는지 여부를 확인하고 있는데, 예를 들면 단계 409의 하강 동작중에 IC 디바이스(118)가 낙하하면, 그 이상 사태를 검출하고(단계 412), 시퀀스 제어부(142)에 의해 실행되는 상태 관리 타스크(이후, 「상태 관리 타스크」라 칭한다)에 대해 알람의 출력을 요청한다(단계 413).By the way, the operation task checks whether the IC device 118 has fallen in each of the above-described steps 402, 405, 408, and 411. For example, if the IC device 118 falls during the falling operation of step 409, The abnormal situation is detected (step 412), and an alarm output is requested to the state management task (hereinafter, referred to as "state management task") executed by the sequence control unit 142 (step 413).

도 10은 통상적인 동작중에 이상이 발생한 경우의 IC 핸들러(100)의 동작순서를 나타낸 흐름도로, 상태 관리 타스크에 의해 행해지는 동작이 도시되어 있다. 동작 타스크로부터 알람의 출력 요청을 받은 상태 관리 타스크는 현재 출력되고 있는 알람과 중복된 알람의 요청이 아닌 것은 확인하고(단계 501), 이 알람의 누적 발생수를 카운트 업(count up)한다(단계 502). 또한 현재 출력되고 있는 알람과 중복된 알람의 출력 요청이 이루어지는 경우란, 발생한 알람의 원인이 되는 이상 사태를 해제하지 않고 동작의 재 스타트가 지시되어 동일한 원인에 의해 알람의 출력 요청이 이루어지는 경우로서, 상술한 누적 발생수의 카운트 업 동작 등은 행해지지 않는다. 또한, 동일한 알람의 누적 발생수가 빈번하게 카운트 업되어 큰 값이 되면, 구조상 맞지 않을 우려가 있기 때문에 이 누적 발생수를 감시함으로써, 조기에 대책을 세울 수 있다.Fig. 10 is a flowchart showing the operation procedure of the IC handler 100 when an abnormality occurs during normal operation, and shows the operation performed by the state management task. The state management task that receives the alarm output request from the operation task confirms that the alarm is not a request for a duplicate alarm with the currently output alarm (step 501), and counts up the cumulative occurrence number of the alarm (step 501). 502). In addition, an alarm output request that is duplicated with an alarm that is currently output is a case where an alarm output request is made by the same cause without restarting the abnormal situation that caused the alarm that occurred, and the same cause is caused. The count up operation of the cumulative number of occurrences described above is not performed. In addition, if the cumulative number of occurrences of the same alarm is frequently counted up and becomes a large value, there is a possibility that the cumulative number of occurrences of the same alarm may be inconsistent, so that countermeasures can be taken early by monitoring the cumulative number of occurrences.

이어, 상태 관리 타스크는 사용자 인터페이스 변환부(148)를 통해, 사용자 인터페이스 보드(160) 내의 입출력 처리부(162)에 대해 알람 메세지 표시를 의뢰하고, 입출력 처리부(162)에 의해 LCD(112) 화면상에 소정의 알람 표시가 행해진다(단계 503). 또, 상태 관리 타스크는 입출력 제어부(144)를 통해 알람 부저(도시되지 않음)로부터 이상 사태를 알리는 경고음을 출력하고(단계 504), 시그널 타워(signal tower; 116)를 적색(赤色) 점멸시킴과 동시에(단계 505), IC 테스트 핸들러(100) 전체의 동작을 정지시킨다(단계 506).Subsequently, the state management task requests the display of an alarm message to the input / output processing unit 162 in the user interface board 160 through the user interface conversion unit 148, and the input / output processing unit 162 displays on the LCD 112 screen. Predetermined alarm display is performed (step 503). In addition, the state management task outputs a warning sound indicating an abnormal situation from an alarm buzzer (not shown) through the input / output control unit 144 (step 504), and flashes the signal tower 116 in red. At the same time (step 505), the operation of the IC test handler 100 as a whole is stopped (step 506).

이와 같이 하여, 상태 관리 타스크에 의해, 이상 사태 발생시 일련의 처리가 행해지고, 오퍼레이터에 의해 통상적인 동작인 재 스타트의 지시가 행해질 때까지, IC 테스트 핸들러(100) 전체의 동작 정지 상태가 유지된다.In this way, the state management task maintains the operation stop state of the entire IC test handler 100 until a series of processes are performed at the time of an abnormal situation, and an instruction of restart which is a normal operation is performed by the operator.

이어, 상술한 상태 관리 타스크로부터 알람의 표시를 의뢰받은 입출력 처리부(162)의 알람 표시 동작에 대해 설명한다. 도 11은 입출력 처리부(162)에 의해 행해지는 알람 표시의 동작순서를 나타낸 흐름도이다. 상태 관리 타스크로부터 알람 표시 의뢰를 받으면, 입출력 처리부(162)는 발생한 이상 사태에 대응하는 소정의 알람 메시지를 표시함과 함께(단계 601), 동시에 이 내용의 보충 설명을 행하기 위해 미리 준비되어 있는 헬프 파일을 기동한다(단계 602).Next, an alarm display operation of the input / output processing unit 162 that has been requested to display an alarm from the above state management task will be described. 11 is a flowchart showing the operation procedure of the alarm display performed by the input / output processing unit 162. Upon receiving an alarm display request from the state management task, the input / output processing unit 162 displays a predetermined alarm message corresponding to the abnormal situation (step 601), and is prepared in advance for supplementary explanation of this content. The help file is activated (step 602).

도 12는 알람 메시지의 표시 화면을 나타낸 도면이다. 도 12에 도시한 표시 화면에 포함되는 알람 메시지는 수십 자리수 정도의 알람 코드로, 종래부터 행해지고 있는 알람 표시의 내용과 같은 것이다. 따라서, 조작에 숙련되어 있지 않은 오퍼레이터는 그 표시를 보는 것만으로는 발생한 알람의 내용이나 해제 방법을 이해하는 것이 용이하지 않다.12 is a diagram illustrating a display screen of an alarm message. The alarm message included in the display screen shown in FIG. 12 is an alarm code of several tens of digits, which is the same as the contents of the alarm display conventionally performed. Therefore, it is not easy for an operator who is not skilled in the operation to understand the contents and the release method of the generated alarm only by looking at the display.

입출력 처리부(162)는 알람 메시지의 표시 동작과 병행하여, 알람 표시의 내용 해설과 이상 상태의 해제 방법에 대한 가이드 표시가 오퍼레이터에 의해 요구되고 있는지 아닌지를 감시하고 있다(단계 603). 마우스(180)를 이용함으로써, 도 12에 도시한 표시 화면내의 「가이드 표시」 버튼이 오퍼레이터에 의해 클릭되면, 이어 입출력 처리부(162)는 그 때까지 표시하고 있던 알람 메시지에 대응하는 구체적인 내용 해설과 알람의 해제 방법을 표시한다(단계 604).In parallel with the display operation of the alarm message, the input / output processing unit 162 monitors whether or not the explanation of the alarm display and the guide display on how to cancel the abnormal state are requested by the operator (step 603). When the "guide display" button in the display screen shown in FIG. 12 is clicked by the operator by using the mouse 180, the input / output processing unit 162 then provides a detailed description corresponding to the alarm message displayed until then. The alarm release method is displayed (step 604).

도 13은 가이드 표시 버튼을 클릭했을 때의 표시 화면을 나타낸 도면이다. 도 13에 나타낸 바와 같이, 이 표시 화면에는 내용 해설과 해제 방법의 구체적인 내용을 나타낸 문장이 포함되어 있으며, 또한 이들 문장의 이해를 돕기 위한 도면이나 표 혹은 사진 등의 정지 화상이 포함되어 있다. 따라서, 오퍼레이터는 이들 표시 내용을 봄으로써, 알람 메시지가 의미하는 바를 용이하게 이해할 수 있으며, 발생한 알람을 해제하기 위해서는 어떻게 하면 좋은지를 알 수 있다.13 is a view showing a display screen when a guide display button is clicked. As shown in Fig. 13, the display screen includes sentences indicating content explanations and specific contents of the releasing method, and also includes still images such as drawings, tables, and photographs for better understanding of these sentences. Therefore, the operator can easily understand what an alarm message means by looking at these display contents, and can know how to cancel an alarm which occurred.

예를 들면, 도 13에 도시한 표시 화면 및 후술하는 도 14, 도 15에 나타낸 표시 화면은 범용 OS인 Windows(등록상표) 상에서 헬프 파일을 실행함으로써 작성되어 표시된다. 이 헬프 파일은 하나의 정보가 할당된 토픽을 복수개 모아 놓은 것으로, 각 토픽 사이에 연결을 갖게 하여 관련된 정보를 조사하기 쉽게 하고 있는 점에 특징이 있다. 도 13에 나타낸 화면에서는 내용 해설의 문장중이나 해제 방법의 문장중이나 도면, 표, 정지화상 중에 핫 스폿이라 칭해지는 부분이 있으며, 이 핫 스폿을 마우스(180)에 의해 클릭함으로써, 도 14에 도시한 바와 같이 그 부분에 대한 용어의 의미 등이 포함되는 팝-업 윈도우(pop-up window)를 표시하게 할 수 있다. 혹은 화면 우측 상단의 「?」 마크를 클릭한 후에, 용어의 의미 등을 알고 싶은 사항에 마우스(180)의 포인터를 이동시켜 클릭함으로써 상술한 팝 업 윈도우를 표시하게 할 수도 있다.For example, the display screen shown in FIG. 13 and the display screens shown in FIGS. 14 and 15 described later are created and displayed by executing a help file on Windows (registered trademark) which is a general-purpose OS. This help file is a collection of a plurality of topics to which a single information is assigned, which makes it easy to examine related information by having a link between each topic. In the screen shown in FIG. 13, there is a portion called a hot spot in a sentence of a content commentary or in a sentence of a release method, a figure, a table, or a still image. The hot spot is clicked with a mouse 180 to display it in FIG. As shown in the figure, a pop-up window may be displayed that includes a meaning of a term and the like. Alternatively, the pop-up window described above can be displayed by clicking the? Mark on the upper right of the screen and moving the pointer of the mouse 180 to click on a matter to know the meaning of the term or the like.

또한, 도 13에 도시한 표시 화면에는 더 상세한 가이드를 표시시킬 경우를 생각해서 「상세 가이드」 버튼이 준비되어 있다. 또, 도 13에 도시한 내용 해설의 이해가 용이하고, 발생한 알람 해제 방법의 이해도 용이한 경우에는 「상세 가이드」버튼을 마련하지 않아도 좋다.In addition, a "detailed guide" button is prepared on the display screen shown in FIG. 13 in consideration of the case where a more detailed guide is to be displayed. It is not necessary to provide a "detailed guide" button when it is easy to understand the content commentary shown in FIG. 13 and also easy to understand the generated alarm releasing method.

「상세 가이드」버튼이 표시되어 있는 경우에는 입출력 처리부(162)는 상세 가이드의 표시가 오퍼레이터에 의해 요구되고 있는지 아닌지를 감시하고 있으며(단계 605), 오퍼레이터에 의해 「상세 가이드」 버튼이 마우스(180)를 이용하여 클릭되면, 도 13에 도시한 표시 화면중의 내용 해설 또는 해제 방법의 문장이나 도면 또는 정지 화상만으로는 이해하기 어렵다고 생각되는 내용에 대한 상세 가이드를 출력한다.When the "Detail Guide" button is displayed, the input / output processing unit 162 monitors whether or not the display of the detailed guide is requested by the operator (step 605), and the "Detail Guide" button is pressed by the operator. ), A detailed guide on contents that are considered difficult to be understood only by a sentence, a drawing, or a still image of the content explanation or release method in the display screen shown in FIG. 13 is output.

도 15는 상세 표시 버튼을 클랙했을 때의 표시 화면의 구체예를 나타낸 도면이다. 도 15에 나타낸 표시 화면에는 도 13에 도시한 표시 화면에는 포함되지 않았던 보충 설명과 함께 동화상 혹은 애니메이션이 포함되어 있다. 헬프 파일에 비디오 파일을 포함시킴으로써, 헬프 화면에서 동작 표시를 할 수도 있다. 예를 들면, 낙하한 IC 디바이스(118)를 회수하기 위해, 다른 구조를 배제할 필요가 있는 경우에, 그 순서를 동화상(혹은 애니메이션)에 의해 설명할 수 있다면, 이해도 빠르고 조작에 숙련되지 않은 오퍼레이터일지라도 표시에 따라 알람을 해제할 수 있다. 또, 입출력 처리부(162)는 필요에 따라 도 15에 도시한 표시와 병행하여 스피커(184)로부터 조작 가이던스 음성을 출력한다.15 is a diagram showing a specific example of the display screen when the detail display button is clicked. The display screen shown in FIG. 15 includes moving pictures or animations along with supplemental explanations that were not included in the display screen shown in FIG. By including the video file in the help file, the operation display can be performed in the help screen. For example, when it is necessary to exclude other structures in order to recover the fallen IC device 118, if the order can be explained by moving pictures (or animations), it is easy to understand and not skilled in operation. Even the operator can clear the alarm according to the indication. In addition, the input / output processing unit 162 outputs the operation guidance sound from the speaker 184 in parallel with the display shown in FIG. 15 as necessary.

이와 같이 하여 표시 화면을 보면서 오퍼레이터에 의해 알람이 해제된 후, 재 스타트 스위치(도시되지 않음)가 눌려지면, 상태 관리 타스크는 사용자 인터페이스 변환부(148)를 통해 입출력 처리부(162)에 대해 알람 메시지 화면 및 이에 관련된 헬프 화면의 표시를 정지한다는 취지의 지시를 보냄과 동시에 입출력 제어부(144)를 통해 지시를 보내, 시그널 타워(116)를 녹색 점등으로 절환하고 알람 부저에 따른 경고음의 출력을 정지시킨다. 이후, 동작 타스크에 따른 통상적인 동작이 재개된다.When the alarm is released by the operator while viewing the display screen in this manner, and the restart switch (not shown) is pressed, the status management task sends an alarm message to the input / output processing unit 162 through the user interface conversion unit 148. Send an instruction to stop displaying the screen and the related help screen, and send an instruction through the input / output control unit 144 to switch the signal tower 116 to light green and stop the output of the alarm sound according to the alarm buzzer. . Thereafter, normal operation according to the operation task is resumed.

이와 같이, 본 실시형태의 IC 테스트 핸들러(100)에서는 어떤 이상이 발생하여 알람 표시를 행했을 때에, 그 구체적인 내용이나 알람 해제 방법을 오퍼레이터의 요구에 따라 도면이나 정지 화상을 포함하는 헬프 화면으로서 단계적으로 표시하고 있으며, 필요에 따라 다시 용어 해설을 표시시키거나, 동화상을 포함하는 상세 가이드 정보를 표시시킬 수 있다. 따라서, 각 오퍼레이터는 숙련도에 따라 표시 내용을 선택함으로써, 발생한 알람의 내용이나 해제 방법을 상세하게 알 수 있다.As described above, in the IC test handler 100 of the present embodiment, when an abnormality occurs and alarm display is performed, the specific contents and the alarm releasing method are gradually phased as a help screen including a drawing or a still image at the request of the operator. If necessary, the terminology can be displayed again or detailed guide information including a moving picture can be displayed. Therefore, each operator can know in detail the contents and the release method of the alarm which generate | occur | produced by selecting display content according to skill.

또, 시험 대상이 되는 IC 디바이스의 추가나 변경 등에 따른 소프트웨어의 변경이 발생한 경우라도, 이 변경된 소프트웨어에 대응하는 헬프 파일을 동시에 변경함으로써, 표시된 알람 내용과 그 해설 내용 등을 서로 대응시킬 수 없게 되는 결함이 없어진다.In addition, even when a software change occurs due to the addition or change of an IC device to be tested, a defect in which the displayed alarm contents and the explanation contents cannot be corresponded to each other by simultaneously changing the help file corresponding to the changed software. This disappears.

또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 요지범위 내에서 여러 실시 변형 실시가 가능하다. 예를 들면, 상술한 실시형태에서는 커스터머 트레이(120)에 관한 각종 설정을 하는 커스터머 트레이 설정 화면을 시스템 조작 화면으로서 표시하는 경우에 대해 설명하였는데, 다른 설정 화면이나 동작지시 화면을 시스템 조작 화면으로서 표시하는 경우에 대해서도 마찬가지로 생각할 수 있다. 예를 들면, 동작 지시를 행하는 시스템 조작 화면에서, 표시되어 있는 동작 지시가 의미는 바나, 그 동작 지시를 행하는 타이밍 등을 알 수 없는 경우에, 헬프 화면을 표시시켜 문장, 도면, 동화상, 애니메이션 등으로 그들에 관한 구체적인 해설을 함으로써, 매뉴얼 책을 보지 않고도 그 표시 항목이 의미하는 바를 용이하게 이해할 수 있다. 또, 상술한 실시형태에서는 시스템 설정 화면을 표시시켜 각종 설정 데이터나 동작 지시를 입력할 때에 헬프 화면을 표시하도록 하였는데, 이 헬프 화면을 표시하기 위해 준비되는 헬프 파일에는 각종 매뉴얼 책(하드웨어 개설서, 일반 사양서, 조작 가이드, 메인티넌스(maintenance) 해설서, 프로그래밍 해설서 등)을 포함하도록 하여도 좋다.In addition, this invention is not limited to the said embodiment, A various implementation change can be implemented within the summary of this invention. For example, in the above-described embodiment, the case where the customer tray setting screen for setting various settings regarding the customer tray 120 is displayed as the system operation screen has been described. However, another setting screen or an operation instruction screen is displayed as the system operation screen. The same can be said for the case. For example, in a system operation screen for performing an operation instruction, if the displayed operation instruction is meaningful, but the timing for performing the operation instruction is unknown, a help screen is displayed to display sentences, drawings, moving images, animations, and the like. By giving specific explanations about them, it is possible to easily understand what the display items mean without looking at the manual book. In the above-described embodiment, the system setting screen is displayed so that a help screen is displayed when various setting data or operation instructions are input. In the help file prepared for displaying the help screen, various manual books (hardware introduction book, general Specifications, operation guides, maintenance instructions, programming instructions, etc.) may be included.

또, 상술한 실시 형태에서는 IC 디바이스(118)가 도중에 낙하했을 때에 발생하는 알람에 대해 생각해 봤는데, 그 이외의 이상 사태에 대응하는 알람에 대해서도 마찬가지로 생각할 수 있다.In addition, although the above-mentioned embodiment considered about the alarm which generate | occur | produces when the IC device 118 falls in the middle, it can also think about the alarm corresponding to the other abnormal situation similarly.

또한, 입출력 처리부(162)가 사용하는 OS로서 Windows(등록상표)를 고려해 봤지만, 동등한 기능을 갖는 OS를 이용하도록 하여도 좋다. 또 상술한 실시 형태에서는 사용자 인터페이스 보드(160)에 퍼스널 컴퓨터로서의 기능을 갖게 하도록 하였는데, IC 테스트 핸들러(100)와는 별도로 퍼스널 컴퓨터를 접속하고, 이 접속된 퍼스널 컴퓨터 화면상에서 상술한 온 라인 헬프의 표시동작을 행하도록 하여도 좋다.In addition, although Windows (registered trademark) has been considered as an OS used by the input / output processing unit 162, an OS having an equivalent function may be used. In the above-described embodiment, the user interface board 160 has a function as a personal computer, but a personal computer is connected to the IC test handler 100 and the above-described online help is displayed on the connected personal computer screen. The operation may be performed.

게다가, 상술한 실시형태에서는 수평반송식의 IC 테스트 핸들러(100)에 대해 설명하였지만, 자동 낙하방식 또는 이들 2개의 방식을 조합시킨 IC 테스트 핸들러에서, 시스템 조작 화면 표시를 할 때 이것에 헬프 화면을 겹치게 함으로써 온라인 매뉴얼 표시를 할 수 있다. 또는 이들 IC 테스트 핸들러에서, 알람 발생시의 온라인 매뉴얼 표시를 하도록 하여도 좋다.In addition, although the above-mentioned embodiment demonstrated the horizontal transfer type IC test handler 100, in the automatic test method or the IC test handler which combined these two methods, when a system operation screen is displayed, it overlaps a help screen. The online manual can be displayed by doing this. Alternatively, these IC test handlers may display an online manual when an alarm occurs.

Claims (11)

소정의 통지 내용을 표시하는 표시 수단과,Display means for displaying predetermined notification contents; 상기 표시 수단에 의해 표시된 상기 통지 내용의 각 항목에 대한 상세 정보를 적어도 포함하는 헬프 파일을 격납하는 헬프 파일 격납수단과,Help file storage means for storing a help file including at least detailed information on each item of the notification contents displayed by the display means; 상기 헬프 파일을 실행함으로써 상기 상세 정보를 표시하는 헬프 기능 실행 수단을 구비하는 IC 테스트 핸들러.And a help function execution means for displaying the detailed information by executing the help file. 상기 표시 수단은 소정의 표시 화면을 갖는 표시 장치와, 상기 표시 화면에 표시하는 상기 통지 내용에 대한 화상 데이터를 작성하는 처리 장치에 의해 구성된 청구항 1의 IC 테스트 핸들러.The IC test handler according to claim 1, wherein the display means is constituted by a display device having a predetermined display screen and a processing device that creates image data on the notification contents displayed on the display screen. 상기 헬프 파일 격납 수단은 소정의 기억 매체에 상기 헬프 파일을 디지털 데이터로서 격납하는 기억 장치인 청구항 1의 IC 테스트 핸들러.The IC test handler according to claim 1, wherein the help file storing means is a storage device for storing the help file as digital data in a predetermined storage medium. 상기 헬프 기능 실행 수단은 소정의 오퍼레이팅 시스템에 의해 상기 헬프 파일을 실행하는 처리 장치인 청구항 1의 IC 테스트 핸들러.The IC test handler of claim 1, wherein the help function execution means is a processing device that executes the help file by a predetermined operating system. 상기 통지 내용은 조작 순서를 나타낸 조작 화면이며,The notification content is an operation screen showing an operation procedure, 상기 헬프 파일에 포함되는 상기 상세 정보는 상기 조작 화면에 포함되는 항목의 내용 해설에 관한 정보인 청구항 1의 IC 테스트 핸들러.The IC test handler of claim 1, wherein the detailed information included in the help file is information about content description of an item included in the operation screen. 상기 조작화면은 커스터머 트레이 설정화면인 청구항 5의 IC 테스트 핸들러.The IC test handler of claim 5, wherein the operation screen is a customer tray setting screen. 상기 통지 내용은 발생된 이상에 대응하는 알람이며,The notification content is an alarm corresponding to the generated abnormality, 상기 헬프 파일에 포함되는 상기 상세 정보는 상기 알람의 내용 해설과 해제 방법에 관한 정보인 청구항 1의 IC 테스트 핸들러.The IC test handler of claim 1, wherein the detailed information included in the help file is information about a description of the alarm and a method of releasing the alarm. 이상의 발생을 검출하는 이상 검출 수단을 추가로 구비하고,Further provided with abnormality detection means for detecting the occurrence of the abnormality, 상기 통지 내용은 발생한 이상에 대응하는 알람이며,The notification is an alarm corresponding to the abnormality, 상기 헬프 파일에 포함되는 상기 상세 정보는 상기 알람의 내용 해설과 해제 방법에 관한 정보인 청구항 1의 IC 테스트 핸들러.The IC test handler of claim 1, wherein the detailed information included in the help file is information about a description of the alarm and a method of releasing the alarm. 상기 이상 검출 수단은 커스터머 트레이와 테스트 트레이 사이에서 IC 디바이스를 바꿔 올려놓는 동작중에 발생하는 이상을 검출하는 청구항 8의 IC 테스트 핸들러.The IC test handler of claim 8, wherein the abnormality detecting means detects an abnormality occurring during an operation of replacing the IC device between the customer tray and the test tray. 상기 헬프 기능 실행수단은 표시화면의 특정 개소가 선택 지시되었을 때에 표시할 상기 상세정보의 내용을 단계적으로 절환하는 청구항 1의 IC 테스트 핸들러.The IC test handler according to claim 1, wherein the help function executing means switches step by step the contents of the detailed information to be displayed when a specific portion of the display screen is instructed to be selected. 상기 표시 수단의 표시 화면의 임의 위치를 지시하는 포인팅 디바이스를 추가로 구비하며,And a pointing device for indicating an arbitrary position of the display screen of the display means. 상기 표시 화면에 포함되는 상기 통지 내용의 각 항목 중에서 상기 포인팅 디바이스에 의해 지시된 것에 대해 상기 헬프 기능 실행 수단에 따른 상기 상세 정보의 표시를 행하는 청구항 1의 IC 테스트 핸들러.The IC test handler of Claim 1 which displays the said detailed information according to the said help function execution means with respect to what was indicated by the said pointing device among each item of the said notification content contained in the said display screen.
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