DE19831573A1

DE19831573A1 - Testing arrangement for integrated circuits

Info

Publication number: DE19831573A1
Application number: DE19831573A
Authority: DE
Inventors: Hiroki Ikeda
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 1997-07-14
Filing date: 1998-07-14
Publication date: 1999-01-21
Also published as: KR19990013599A; SG78307A1; TW373076B

Abstract

The arrangement (100) has a display device (112) for indicating predetermined display contents. The arrangement also has an auxiliary data set memory for storing auxiliary data containing at least detailed information corresponding to points of the display contents displayed by the display device. An auxiliary function conducting device for the auxiliary data is provided, which indicates the detailed information. The display device has a display unit with a predetermined display surface and a processing unit for generating image data for the display contents to be indicated on the display surface.

Description

Die Erfindung betrifft einen Prüfförderer für integrierte Schaltungen, mit dem verschiedene integrierte Schaltungen wie z. B. Halbleiterspeicher transportiert werden, wenn Prüfungen daran durchgeführt werden.The invention relates to a test conveyor for integrated circuits, with which various integrated circuits such. B. transported semiconductor memory when tests are carried out on it.

Um mit einem Halbleiterprüfsystem integrierte Schaltungen wie z. B. Halbleiterspeicher zu prüfen, müssen eine Vielzahl von zu prüfenden integrierten Schaltungen in vorbestimmte Prüfpositionen gebracht werden. Für diese Plazierungsarbeit verwendet man einen geeigneten Prüfförderer.To integrated circuits with a semiconductor test system such. B. Semiconductor memories to be tested need a variety of integrated to be tested Circuits are brought into predetermined test positions. For this Placement work uses a suitable test conveyor.

Ein Prüfförderer für integrierte Schaltungen enthält einen Mechanikteil, der den Transport und die Neuanordnung der integrierten Schaltungen durchführt, ver schiedene Sensoren, die den Aktionsstatus oder Anomalien erfassen, einen Steuerteil, der die Aktionen des Mechanikteils auf der Basis der Ausgangssignale der Sensoren steuert, einen Bedienungsteil, mit dem der Bediener verschiedene Ein stelldaten und Aktionsbefehle eingibt, und ein Anzeigefeld, das verschiedene Einstelloberflächen oder Alarme im Zeitpunkt des Auftretens von Anomalien anzeigt.A test conveyor for integrated circuits contains a mechanical part that performs the transport and rearrangement of the integrated circuits, ver Different sensors that detect the action status or anomalies, one Control part, which the actions of the mechanical part on the basis of the output signals controls the sensors, an operating part with which the operator can switch various inputs inputs control data and action commands, and a display field that various Setting surfaces or alarms at the time anomalies occur.

Durch Eingabe von Bauartnummern und Ausstattungsdaten der integrierten Schaltungen über den Bedienungsteil können Prüfungen an mehreren verschiedenen Typen von integrierten Schaltungen durchgeführt werden. Anwendertabletts zum Gebrauch bei Zufuhr und Entnahme der integrierten Schaltungen haben vielfältige Geometrien, da sie vom Anwender des Prüfförderers hergestellt werden. Werden verschiedene vom Anwender hergestellte Typen von Anwendertabletts verwendet, müssen daher im voraus Daten zu Geometriedetails usw. der Anwendertabletts eingegeben werden.By entering the type numbers and equipment data of the Integrated circuits via the control section can perform tests on several different types of integrated circuits can be performed. User tablets for use when feeding and removing the integrated Circuits have diverse geometries because they are from the user of the test conveyor getting produced. Are different types of User tablets used must therefore have geometry details in advance etc. of the user tablets can be entered.

Der Steuerteil erfaßt z. B. den Transportstatus der zugeführten integrierten Schaltungen, indem er die Ausgangssignale der verschiedenen Sensoren überwacht. Ist beim Transportvorgang eine Anomalie aufgetreten, etwa ein Herunterfallen von integrierten Schaltungen während des Transports, stoppt der Steuerteil die Transportaktion sofort und läßt eine rote Lampe oder eine Alarmanzeige blinken. Zum Beispiel erfolgt beim Auftreten einer Anomalie wie einer heruntergefallenen integrierten Schaltung eine Alarmanzeige, indem verschiedene mehrstellige Alarmcodes, die man vorher entsprechend dem Typ der aufgetretenen Anomalie aufgestellt hat, auf einem Anzeigefeld auf dem Prüfförderer angezeigt werden.The control part detects z. B. the transport status of the supplied integrated Circuits by taking the output signals of various sensors supervised. If an anomaly occurred during the transport process, for example a If integrated circuits fall down during transport, the stops Controls the transport action immediately and leaves a red lamp or one The alarm indicator flashes. For example, if an anomaly such as one occurs dropped integrated circuit an alarm indicator by different Multi-digit alarm codes, which one previously according to the type of occurred Anomaly has been displayed on a display panel on the test conveyor become.

Bei dem oben beschriebenen Prüfförderer für integrierte Schaltungen führt der Anwender die Eingabe von verschiedenen Daten oder von verschiedenen Aktionsbefehlen durch, während er die Bedienungsoberfläche des Anzeigefeldes betrachtet. Die Anzeige enthält jedoch sehr viele für den Prüfförderer spezifische Punkte, so daß der Bediener möglicherweise nicht erfahren genug ist, um die Details zu verstehen. Aus diesem Grunde gibt es Handbücher, die die verschiedenen Einstellpunkte und Aktionsbefehle erklären. Mit Hilfe der Handbücher kann der Bediener die Bedeutung der in Frage stehenden Einstellpunkte oder dergleichen verstehen.In the test conveyor for integrated circuits described above leads the user entering different data or from different Action commands while moving the user interface of the display panel considered. However, the display contains a great many that are specific to the test conveyor Points so that the operator may not be experienced enough to get the details to understand. Because of this, there are manuals that cover the various Explain setpoints and action commands. With the help of the manuals the Operator the meaning of the set points in question or the like understand.

Die Alarmanzeige bei Auftritt einer Anomalie im Prüfförderer erfolgt durch Anzeige von vorbestimmten Alarmcodes auf dem Anzeigefeld, weshalb es für den Anwender möglicherweise schwierig ist, nur durch Betrachten der Alarmcodes deren Bedeutung zu verstehen. Gewöhnlich gibt es Handbücher, die z. B. die Ursache der den verschiedenen Alarmcodes entsprechenden Ereignisse und die Methode zur Aufhebung des Alarms beschreiben. Mit Hilfe der Handbücher kann der Bediener Detailinformationen zu dem erzeugten Alarm erlangen.The alarm is displayed when an anomaly occurs in the test conveyor Display of predetermined alarm codes on the display panel, which is why it is for the Users may be difficult just by looking at their alarm codes Understand meaning. There are usually manuals that, for. B. the cause of the events corresponding to the various alarm codes and the method for Describe the cancellation of the alarm. The operator can use the manuals Obtain detailed information on the alarm generated.

Es gibt jedoch mannigfaltige Einstellpunkte und Aktionsbefehle und außerdem mannigfaltige Ursachen für das Erscheinen von Alarmen (zum Beispiel gibt es Alarme für Stau, Fehler, Status, Hinweis etc.). Ein ungeübter Bediener hat es daher schwer, mit Hilfe der Handbücher die in Frage stehenden Einstellpunkte usw. oder die Ursache des Ereignisses zu finden. Da die Handbücher häufig für den in der Bedienung des Prüfförderers erfahrenen Fachmann geschrieben sind, enthalten die Erläuterungen zu den darin beschriebenen verschiedenen Einstellpunkten oder zu den verschiedenen Alarmen normalerweise technische Kurzausdrücke, die ein ungeübter Bediener nicht ohne weiteres versteht. Eine Erläuterung, die für jeder mann verständliche Ausdrücke und keine Fachausdrücke verwendet, wäre anderer seits für den erfahrenen Bediener schwer verständlich.However, there are various setting points and action commands and also various causes for the appearance of alarms (for example there are alarms for traffic jams, errors, status, information etc.). An inexperienced operator has it therefore difficult with the help of the manuals the set points in question etc. or to find the cause of the event. Since the manuals are often for the in experienced experts are written to operate the test conveyor the explanations for the various setting points described therein or for the various alarms usually technical short expressions, the one inexperienced operator does not understand easily. An explanation for everyone to use understandable terms and not technical terms would be different difficult for the experienced operator to understand.

Die Lebensdauer des Prüfförderers selbst liegt bei 10 bis 15 Jahren. Wenn sich in diesem Zeitraum aufgrund von Hinzufügungen oder Änderungen der zu prüfenden integrierten Schaltungen die Software ändert, muß jedesmal das Handbuch ganz oder teilweise überarbeitet werden. Wird diese Überarbeitung nicht rechtzeitig durchgeführt, stehen die angezeigten Aktionsbefehle und so weiter nicht mit dem Inhalt des Handbuchs im Zusammenhang, so daß es dem Anwender erschwert wird, die in Frage stehenden Punkte oder die Ursache von Alarmen oder die Methode zu deren Aufhebung nachzusehen. Sind zum Beispiel die überarbeiteten Seiten des Handbuchs gegen Gebühr erhältlich und hat der Anwender diese nicht angefordert, oder sind die überarbeiteten Seiten zwar vorhanden, wurden aber nicht ausgetauscht, so stehen die tatsächlich angezeigten Aktionsbefehle etc. und die Alarmcodes nicht mit dem Inhalt des Handbuchs im Zusammenhang.The service life of the test conveyor itself is 10 to 15 years. If during this period due to additions or changes to the the integrated circuits to be tested changes the software, the Manual will be revised in whole or in part. This revision won't The action commands displayed and so on are not available in good time related to the content of the manual so that it is up to the user the issues in question or the cause of alarms or to look at the method of lifting them. For example, they are revised pages of the manual are available for a fee and has the Users have not requested this, or are the revised pages available, but have not been replaced, so the actually displayed Action commands etc. and the alarm codes do not match the content of the manual in the Context.

Daher kann die Bedeutung der verschiedenen Einstellpunkte, Aktionsbefehle etc. auf der Bedienungsoberfläche auch mit Hilfe der Handbücher nicht von jedermann leicht verstanden werden. Wünschenswert wäre eine Methode, die es jedermann ermöglicht, die Bedeutung der Einstellpunkte und so weiter unabhängig von seiner Erfahrung leicht zu verstehen. Anhand der Handbücher versteht außerdem nicht jedermann ohne weiteres, mit einem aufgetretenen Alarm bis hin zu dessen Aufhebung umzugehen. Wünschenswert wäre eine Methode, die es jedermann ermöglicht, die Bedeutung von Alarmen und die Methode zu deren Aufhebung unabhängig vom Maß seiner Erfahrung leicht zu verstehen. Therefore, the meaning of the different set points, Action commands etc. on the user interface also with the help of the manuals not easily understood by everyone. A method would be desirable which enables everyone to understand the meaning of the set points and so on easy to understand regardless of his experience. Using the manuals Furthermore, not everyone understands easily with an alarm that has occurred to deal with until its cancellation. A method that would be desirable it enables everyone to understand the meaning of alarms and the method for their Cancellation easy to understand regardless of the level of his experience.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Prüfförderer für integrierte Schaltungen zu schaffen, der einen leichten Erwerb von Detailinformationen zum Inhalt von verschiedenen Punkten auf der Bedienungsoberfläche und von erzeugten Alarmen sicherstellt.The invention has for its object a test conveyor for to create integrated circuits that are easy to acquire Detailed information on the content of various points on the User interface and generated alarms.

Ein erfindungsgemäßer Prüfförderer für integrierte Schaltungen enthält eine Anzeigeeinrichtung zum Anzeigen von vorbestimmten Anzeigeinhalten, eine Hilfedatei-Speichereinrichtung zum Speichern von Hilfedateien, die zumindest Detail informationen zu Punkten der von der Anzeigeeinrichtung angezeigten Anzeige inhalte enthalten, und eine Hilfefunktion-Ausführungseinrichtung zum Ausführen der Hilfedateien, um die Detailinformationen anzuzeigen.An inventive test conveyor for integrated circuits contains a display device for displaying predetermined display contents, a Help file storage device for storing help files that are at least detail information on points of the display displayed by the display device content, and help function execution means for executing the Help files to display the detailed information.

In den Hilfedateien, die von der Hilfefunktion-Ausführungseinrichtung ausgeführt werden, sind Detailinformationen zu verschiedenen Anzeigeinhalten des Prüfförderers gespeichert, die auf einer Bildschirmanzeige oder Anzeigeoberfläche der verschiedenen Anzeigeinhalte angezeigt werden können. Aufgrund des Vorhan denseins der Hilfedateien, die Punkten in den Anzeigeinhalten entsprechen, kann man leicht Detailinformationen zu diesen Punkten erhalten. Haben sich die Anzeige inhalte aufgrund einer Änderung der im Prüfförderer benutzten Software geändert, wird der Inhalt der Hilfedateien gleichzeitig mit der Softwareänderung aktualisiert, so daß die Punkte in den Anzeigeinhalten korrekt mit den Detailinformationen darüber verknüpft sind.In the help files created by the help function execution facility are detailed information on the various display contents of the Inspection conveyor stored on a screen or display surface of the various display contents can be displayed. Due to the existing help files that correspond to items in the display contents you can easily get detailed information on these points. Got the ad content changed due to a change in the software used in the test conveyor, the content of the help files is updated at the same time as the software change, so that the points in the display content are correct with the detailed information about it are linked.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform und aus der Zeichnung, auf die Bezug genommen wird. Darin zeigen:Further features and advantages of the invention result from the following description of a preferred embodiment and from the Drawing to which reference is made. In it show:

Fig. 1 eine Außenansicht eines Prüfförderers für integrierte Schaltungen gemäß eines Ausführungsbeispiels der vorliegenden Erfindung, Fig. 1 is an external view of an inspection conveyor for integrated circuits according to an embodiment of the present invention,

Fig. 2 eine schematische Skizze des Aufbaus eines Mechanikteils des Prüfförderers, Fig. 2 is a schematic outline of the constitution of a mechanism portion of the inspection conveyor,

Fig. 3 ein schematisches Blockdiagramm eines Steuermechanismus zur Steuerung von Aktionen des Prüfförderers, Fig. 3 is a schematic block diagram of a control mechanism for controlling actions of the inspection conveyor,

Fig. 4 ein Flußdiagramm des Ablaufs von Aktionen einer Hilfeoberfläche, die gleichzeitig mit einer Systembedienungsoberfläche angezeigt wird, Fig. 4 is a flowchart of the procedure of actions of a Help surface, which is displayed simultaneously with a system user interface,

Fig. 5 eine Skizze eines Beispiels für eine Anwendertablett- Einstelloberfläche als eine von mehreren Systemanzeigeoberflächen, Fig. 5 is a diagram of an example of a Anwendertablett- adjustment surface as one of several system display surfaces,

Fig. 6 eine Skizze eines speziellen Beispiels für eine Hilfeoberfläche, die durch Ausführung einer Hilfedatei angezeigt wird, Fig. 6 is a diagram of a specific example of a Help surface that is displayed by execution of a help file,

Fig. 7 eine Skizze eines weiteren Beispiels für eine Hilfeoberfläche, Fig. 7 is a sketch of another example of a Help surface,

Fig. 8 eine Skizze noch eines Beispiels für eine Hilfeoberfläche, Fig. 8 is a sketch of yet an example of a Help surface,

Fig. 9 ein Flußdiagramm des Ablaufs von Aktionen, die durchgeführt werden, wenn eine integrierte Schaltung von einem Anwendertablett auf ein Prüftablett umgesetzt wird, Fig is a flowchart of the sequence of actions to be performed when an integrated circuit is implemented by a user tray on a Prüftablett. 9,

Fig. 10 ein Flußdiagramm des Ablaufs von Aktionen des Prüfförderers, falls während einer üblichen Aktion eine Anomalie aufgetreten ist, Fig. 10 is a flowchart of the procedure of actions of the inspection conveyor, if during a usual operation an abnormality has occurred,

Fig. 11 ein Flußdiagramm des Ablaufs von Aktionen einer Alarmanzeige, die von einer Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit durchgeführt werden, Fig. 11 is a flowchart of the sequence of actions an alarm display, which are performed by an input / output processing unit,

Fig. 12 eine Skizze einer Alarmmeldungs-Anzeigeoberfläche, Fig. 12 is a diagram of an alarm message display surface,

Fig. 13 eine Skizze einer Anzeigeoberfläche, die erscheint, wenn eine Hinweisanzeige-Schaltfläche angeklickt wird,, Fig. 13 is a diagram of a display surface that appears when advice display button is clicked,

Fig. 14 eine Skizze einer Anzeigeoberfläche, wobei auf einem Teil der Anzeigeoberfläche ein Pop-up-Fenster angezeigt wird, und Fig. 14 is a diagram of a display surface, wherein a pop-up window is displayed on a part of the display surface, and

Fig. 15 eine Skizze einer Anzeigeoberfläche, die erscheint, wenn eine Detailhinweis-Schaltfläche angeklickt wird.When detail hint button is clicked Fig. 15 is a diagram of a display surface appears.

Fig. 1 ist eine Außenansicht eines Prüfförderers für integrierte Schaltungen und zeigt als Beispiel eine Vorderansicht eines Prüfförderers vom Typ mit Horizontaltransport. Der in Fig. 1 gezeigte Prüfförderer 100 enthält eine Tür 110, die geöffnet oder geschlossen wird, um eine Vielzahl von Anwendertabletts zuzuführen und zu entnehmen, eine LCD (Flüssigkristallanzeige) 112, die als eine Anzeigeeinheit dient, die eine für die verschiedenen Einstellungen benötigte Bedienungsoberflächen-Anzeige und im Zeitpunkt des Auftretens einer Anomalie eine vorbestimmte Alarmanzeige erzeugt, eine Tastatur 114, die als eine Bedienungseinheit dient, über die verschiedene Einstellwerte, Aktionsbefehle etc. in bezug auf die zu prüfenden integrierten Schaltungen und die Anwendertabletts, die die integrierten Schaltungen tragen, eingegeben werden, und einen Signalturm 116 mit verschiedenfarbigen Leuchten, die je nach Aktionsstatus eingeschaltet oder blinken gelassen werden. Fig. 1 is an external view of a test conveyor for integrated circuits and shows, as an example, a front view of a test conveyor of the horizontal transport type. The inspection conveyor 100 shown in Fig. 1 includes a door 110 that is opened or closed to feed and take out a plurality of user trays, an LCD (liquid crystal display) 112 that serves as a display unit that has a user interface required for the various settings Display and at the time of the occurrence of an anomaly generates a predetermined alarm display, a keyboard 114 , which serves as an operating unit, via which various setting values, action commands etc. relating to the integrated circuits to be tested and the user tablets which carry the integrated circuits, be entered, and a signal tower 116 with differently colored lights, which are switched on or flashed depending on the action status.

Fig. 2 ist eine schematische Skizze des Aufbaus eines Mechanikteils des Prüfförderers 100 mit dem in Fig. 1 gezeigten äußeren Erscheinungsbild. Wie in Fig. 2 gezeigt, umfaßt der Prüfförderer 100 den Mechanikteil, der eine Lagervorrichtung 122, einen Saugkopf 126, eine Ladevorrichtung 128, eine Temperierkammer 130, eine Prüfkammer 132, eine Enttemperierkammer 136 und eine Entladevorrichtung 138 enthält. Der Mechanikteil dient dazu, die zugeführten integrierten Schaltungen aufzuheizen, sie in eine vorbestimmte Position zu transportieren und sie nach Been digung der Prüfung zur Entnahme abzukühlen. FIG. 2 is a schematic diagram of the construction of a mechanical part of the test conveyor 100 with the external appearance shown in FIG. 1. As shown in FIG. 2, the test conveyor 100 comprises the mechanical part, which includes a bearing device 122 , a suction head 126 , a charging device 128 , a temperature control chamber 130 , a test chamber 132 , a temperature control chamber 136 and an unloading device 138 . The mechanical part is used to heat up the supplied integrated circuits, to transport them to a predetermined position and to cool them down for removal after the test has ended.

Das Anwendertablett 120 ist ein Behälter zur Aufnahme einer Vielzahl von integrierten Schaltungen 118. Je nach Typ und Geometrie der integrierten Schal tungen 118 werden verschiedene Anwendertabletts benutzt. Diese Anwendertabletts werden vom Anwender des Prüfförderers 100 mit einiger Freiheit bei der geometrischen Gestaltung hergestellt bzw. vorbereitet. Die Größe und verschiedene andere Daten müssen daher im voraus eingestellt werden.User tray 120 is a container for holding a plurality of integrated circuits 118 . Depending on the type and geometry of the integrated circuits 118 , different user tablets are used. These user trays are manufactured or prepared by the user of the test conveyor 100 with some freedom in the geometric design. The size and various other data must therefore be set in advance.

Die Lagervorrichtung 122 dient zur Unterbringung von Anwendertabletts 120, die ungeprüfte integrierte Schaltungen 118 tragen, und von Anwendertabletts 120, die integrierte Schaltungen 118 tragen, die auf der Basis von Prüfungsergebnissen nach der Prüfung in Kategorien eingeteilt wurden. In der Lagervorrichtung 122 befinden sich mehrere Stapel, die jeweils aus vielen übereinander angeordneten Anwendertabletts 120 bestehen. Im Falle der Zufuhr der integrierten Schaltungen 118 zur Ladevorrichtung 128 hin werden integrierte Schaltungen 118 auf dem obersten Anwendertablett 120 des Stapels aufgenommen und auf einem Prüftablett 124 plaziert, das anschließend zur Ladevorrichtung 128 überführt wird. Wenn das oberste Anwendertablett 120 des Stapels leer wird, wird das leere Tablett in die unterste Position bewegt, und danach hebt eine (nicht gezeigte) Hebevorrichtung das zweitoberste Anwendertablett 120 in die oberste Position, so daß die Zufuhr der integrierten Schaltungen 118 fortgesetzt wird. Im Falle der Entnahme der integrierten Schaltungen 118 aus der Entladevorrichtung 138 werden integrierte Schaltungen 118 auf dem Prüftablett 124 auf ein leeres Anwendertablett 120 ganz oben auf dem Stapel umgesetzt, und das Anwendertablett 120, das eine vorbestimmte Anzahl von integrierten Schaltungen 118 trägt, wird aufeinanderfolgend zur Entnahme abgesenkt.The storage device 122 is used to house user trays 120 that carry untested integrated circuits 118 and user trays 120 that carry integrated circuits 118 that have been categorized based on test results after the test. There are several stacks in the storage device 122 , each of which consists of a plurality of user trays 120 arranged one above the other. If the integrated circuits 118 are fed to the loading device 128 , integrated circuits 118 are received on the uppermost user tray 120 of the stack and placed on a test tray 124 , which is then transferred to the loading device 128 . When the top user tray 120 of the stack becomes empty, the empty tray is moved to the bottom position, and then a lifter (not shown) lifts the second top user tray 120 to the top position so that the supply of the integrated circuits 118 continues. In the case of removal of the integrated circuits 118 of the unloader 138 integrated circuits to be implemented 118 on the Prüftablett 124 to an empty user tray 120 on top of the stack, and the user tray 120 which carries a predetermined number of integrated circuits 118 is sequentially for Lowered removal.

Die oben beschriebene Lagervorrichtung 122 befindet sich in einer Position, in der die Tür 110 von Fig. 1 offen ist. Für übliche Prüfaktionen führt der Bediener sowohl die Bedienung zum Zuführen der Anwendertabletts 120 in eine vorbestimmte Position in der Lagervorrichtung 122 als auch die Bedienung zur Entnahme der Anwendertabletts 120 mit den geprüften integrierten Schaltungen 118 darauf aus der Lagervorrichtung 122 durch.The storage device 122 described above is in a position in which the door 110 of FIG. 1 is open. For normal test actions, the operator performs both the operation for feeding the user trays 120 into a predetermined position in the storage device 122 and the operation for removing the user trays 120 with the tested integrated circuits 118 from the storage device 122 thereon.

Der Saugkopf 126 dient zum Umsetzen der integrierten Schaltungen 118 vom Anwendertablett 120 auf das Prüftablett 124 und zum Umsetzen der integrierten Schaltungen 118 vom Prüftablett 124 auf das Anwendertablett 120. Der Saugkopf 126 nimmt eine integrierte Schaltung 118 auf, indem er einen Unterdruck erzeugt, und läßt die aufgenommene integrierte Schaltung 118 los, indem er den Unterdruck löst.The suction head 126 serves to convert the integrated circuits 118 from the user tablet 120 to the test tablet 124 and to convert the integrated circuits 118 from the test tablet 124 to the user tablet 120 . Suction head 126 receives integrated circuit 118 by creating a vacuum and releases the integrated circuit 118 by releasing the vacuum.

Nachdem die integrierten Schaltungen 118 auf dem Anwendertablett 120 ganz oben auf irgendeinem Stapel in der Lagervorrichtung 122 aufgenommen und mit Hilfe des Saugkopfes 126 auf dem Prüftablett 124 plaziert worden sind, trans portiert die Ladevorrichtung 128 das Prüftablett 124 zur Temperierkammer 130.After the integrated circuits 118 on the user tray 120 have been picked up on top of any stack in the storage device 122 and placed on the test tray 124 by means of the suction head 126 , the loading device 128 transports the test tray 124 to the temperature chamber 130 .

Die Temperierkammer 130 ist ein Konstantwärmebad, das eine Vielzahl von Prüftabletts 124 aufnimmt, um ungeprüfte integrierte Schaltungen 118 zu erwär men oder abzukühlen, um sie auf einer vorbestimmten Temperatur zu halten. Das von der Ladevorrichtung 128 transportierte Prüftablett 124 wird auf der obersten Stufe der Temperierkammer 130 positioniert und danach schrittweise abgesenkt. Die Absenkzeit wird auf einen vorbestimmten Wert eingestellt, so daß die integrierten Schaltungen 118 erwärmt oder abgekühlt werden, bis sie die gewünschte Temperatur erreichen. Wenn das Prüftablett 124 an der untersten Stufe der Temperierkammer 130 ankommt, wird es ausgegeben und in die Prüfkammer 132 transportiert.Temperature control chamber 130 is a constant heat bath that houses a plurality of test trays 124 to heat or cool untested integrated circuits 118 to maintain them at a predetermined temperature. The test tray 124 transported by the loading device 128 is positioned on the top step of the temperature chamber 130 and then gradually lowered. The lowering time is set to a predetermined value so that the integrated circuits 118 are heated or cooled until they reach the desired temperature. When the test tray 124 arrives at the lowest stage of the temperature chamber 130 , it is dispensed and transported into the test chamber 132 .

Die Prüfkammer 132 ist ein Konstantwärmebad zur Durchführung von verschiedenen Funktionsprüfungen an den auf einer vorbestimmten Temperatur gehaltenen integrierten Schaltungen 118. In der Prüfkammer 132 werden die von der Temperierkammer 130 ausgegebenen integrierten Schaltungen 118 auf dem Prüftablett 124 einzeln aufgenommen und zu einer Kontakteinheit 134 bewegt. Die integrierten Schaltungen 118 werden dann verschiedenen Funktionsprüfungen unterzogen und nach Beendigung der Prüfung auf das ursprüngliche Prüftablett 124 zurückgelegt. Die Kontakteinheit 134 enthält eine Vielzahl von (nicht gezeigten) IC- Sockeln. Die integrierten Schaltungen 118 werden einzeln in die IC-Sockel gesteckt, wonach ein (nicht gezeigter) Prüfkopf mit den Anschlüssen der integrierten Schaltungen 118 in Kontakt gebracht wird, um eine elektrische Verbindung der integrierten Schaltungen 118 mit einer Halbleiter-Prüfvorrichtung 200 herzustellen. Wenn die elektrische Verbindung auf diese Weise hergestellt ist, führt die Halbleiter- Prüfvorrichtung 200 die Funktionsprüfungen an den integrierten Schaltungen 118 durch. Nachdem die Prüfung sämtlicher integrierten Schaltungen 118, die auf dem Prüftablett 124 ruhen, beendet ist, wird dieses Prüftablett 124 in die Enttem perierkammer 136 transportiert.The test chamber 132 is a constant heat bath for performing various functional tests on the integrated circuits 118 kept at a predetermined temperature. In the test chamber 132 , the integrated circuits 118 output by the temperature control chamber 130 are individually received on the test tray 124 and moved to a contact unit 134 . The integrated circuits 118 are then subjected to various functional tests and put back on the original test tray 124 after the test has ended. Contact unit 134 includes a plurality of IC sockets (not shown). The integrated circuits 118 are individually inserted into the IC sockets, after which a test head (not shown) is brought into contact with the connections of the integrated circuits 118 in order to establish an electrical connection of the integrated circuits 118 with a semiconductor test device 200 . When the electrical connection is made in this manner, the semiconductor tester 200 performs the functional tests on the integrated circuits 118 . After the test of all integrated circuits 118 , which rest on the test tablet 124 , has been completed, this test tablet 124 is transported into the Enttem chamber 136 .

Die Enttemperierkammer 136 ist ein Konstantwärmebad, um die integrierten Schaltungen 118, die sich während der Prüfung in einem Zustand hoher oder niedriger Temperatur befinden, sanft abzukühlen oder zu erwärmen, um die Temperatur der integrierten Schaltungen 118 auf Normaltemperatur zurückzubringen, damit sie keinen plötzlichen Temperaturspannungen und keiner Taukondensation ausgesetzt werden. Nachdem das Prüftablett 124, das die geprüften integrierten Schaltungen 118 trägt, auf der untersten Stufe der Enttemperierkammer 136 positioniert worden ist, wird es schrittweise angehoben, so daß die Temperatur der integrierten Schaltungen 118 auf die Normaltemperatur zurückgekehrt ist, wenn sie die oberste Stufe erreichen. Das Prüftablett 124 auf der obersten Stufe wird aus der Enttemperierkammer 136 ausgegeben und zur Entladevorrichtung 138 transportiert.The temperature control chamber 136 is a constant heat bath to gently cool or heat the integrated circuits 118 which are in a high or low temperature state during the test in order to bring the temperature of the integrated circuits 118 back to normal temperature so that they do not experience sudden temperature voltages and not be exposed to dew condensation. After the test tray 124 , which carries the tested integrated circuits 118 , has been positioned on the lowest level of the temperature control chamber 136 , it is gradually raised so that the temperature of the integrated circuits 118 has returned to the normal temperature when they reach the upper level. The test tray 124 on the top stage is output from the temperature control chamber 136 and transported to the unloading device 138 .

Die Entladevorrichtung 138 sortiert die aus der Enttemperierkammer 136 ausgegebenen geprüften integrierten Schaltungen 118 nach Eigenschaften wie z. B. defekt oder nicht defekt und setzt sie auf die entsprechenden Anwendertabletts 120 um. Die Verteilung der integrierten Schaltungen 118 bei einer gegebenen Sortierung auf die Anwendertabletts 120 ist voreingestellt. The unloading device 138 sorts the tested integrated circuits 118 output from the temperature control chamber 136 according to properties such as, for. B. defective or not defective and converts them to the corresponding user tablets 120 . The distribution of the integrated circuits 118 for a given sorting on the user tablets 120 is preset.

Eine (später beschriebene) Ablaufsteuereinheit erzeugt eine Reihe von Steuerungen wie die Transportsteuerung für das Anwendertablett 120 und das Prüftablett 124, die Heiz- und Kühlsteuerung in der Temperierkammer 130 und der Enttemperierkammer 136 und die Identifizierungsmanagement-Steuerung für die integrierten Schaltungen 118.A sequence control unit (described later) generates a number of controls such as the transport control for the user tray 120 and the test tray 124 , the heating and cooling control in the temperature control chamber 130 and the temperature control chamber 136 and the identification management control for the integrated circuits 118 .

Fig. 3 ist ein schematisch es Blockdiagramm eines Steuermechanismus zur Steuerung der Aktionen des Prüfförderers 100. Wie in Fig. 3 dargestellt, enthält der Prüfförderer 100 eine Ablaufsteuerungsplatine 140, die so gestaltet ist, daß die Aktionen des in Fig. 2 gezeigten Mechanikteils für die Durchführung der Funktions prüfungen mittel der Halbleiter-Prüfvorrichtung 200 gesteuert werden können, eine Benutzerschnittstellenplatine 160, die so gestaltet ist, daß der Bediener verschie dene Einstelldaten oder Aktionsbefehle eingeben kann und daß sie dem Bediener einen Alarm, eine Bedienungsoberfläche etc. anzeigen kann, mehrere Motor- Controller (MC) 170 und 172, die einen Schrittmotor oder einen Servomotor (nicht gezeigt) zum Bewegen der Ladevorrichtung 128 und der Entladevorrichtung 138 ansteuern, und ein Magnetventil 174 und einen Saugsensor 176 an jedem Saugkopf 126, zum Aufnehmen und Loslassen der integrierten Schaltung 118 und zum Erfassen ihres Aufnahmezustandes. Fig. 3 is a schematic block diagram of a control it mechanism for controlling the actions of the inspection conveyor 100th As shown in FIG. 3, the test conveyor 100 contains a sequence control board 140 , which is designed in such a way that the actions of the mechanical part shown in FIG. 2 for performing the functional tests can be controlled by means of the semiconductor test device 200 , a user interface board 160 , which is designed so that the operator can enter various setting data or action commands and that it can display an alarm, a user interface etc. to the operator, a plurality of motor controllers (MC) 170 and 172 which are a stepping motor or a servomotor (not shown) ) for moving the loading device 128 and the unloading device 138 , and a solenoid valve 174 and a suction sensor 176 on each suction head 126 , for picking up and releasing the integrated circuit 118 and for detecting its pick-up state.

Die Ablaufsteuerungsplatine 140 enthält eine Ablaufsteuereinheit 142, eine Eingabe/Ausgabe-Steuereinheit 144, eine Temperatursteuereinheit 146, eine Benutzerschnittstellen-Wandlereinheit 148 und eine Prüfvorrichtungs-Schnittstellen einheit 150. Die Ablaufsteuereinheit 142 enthält einen Prozessor und einen Speicher und wird realisiert durch Ausführung eines vorbestimmten Programms unter Verwen dung eines kundenspezifischen Betriebssystems (OS), das es ermöglicht, mehrere Aufträge parallel zu verarbeiten. Die Eingabe/Ausgabe-Steuereinheit 144 dient zur Steuerung der Aktionen des in Fig. 2 gezeigten Mechanikteils als Antwort auf einen Befehl von der Ablaufsteuereinheit 142 und sendet Aktionsbefehle an die Motor- Controller 170 und 172 und an die Magnetventile 174. Die Eingabe/Ausgabe- Steuereinheit 144 erfaßt die Ausgangssignale der Saugsensoren 176, um der Ablaufsteuereinheit 142 das Vorhandensein oder Fehlen der integrierten Schaltungen 118 zu signalisieren. Die Temperatursteuereinheit 146 liefert eine Steuerung der Temperatur der Temperierkammer 130, der Enttemperierkammer 136 und der Prüfkammer 132. Die Benutzerschnittstellen-Wandlereinheit 148 dient zur Steuerung der Dateneingabe/-ausgabe zwischen der Ablaufsteuerungsplatine 140 und der Benutzerschnittstellenplatine 160.The sequencer board 140 includes a sequencer 142 , an input / output controller 144 , a temperature controller 146 , a user interface converter unit 148, and a tester interface unit 150 . The sequence control unit 142 contains a processor and a memory and is realized by executing a predetermined program using a customer-specific operating system (OS), which makes it possible to process several jobs in parallel. The input / output control unit 144 serves to control the actions of the mechanical part shown in FIG. 2 in response to a command from the sequence control unit 142 and sends action commands to the motor controllers 170 and 172 and to the solenoid valves 174 . The input / output control unit 144 detects the output signals of the suction sensors 176 in order to signal the sequence control unit 142 the presence or absence of the integrated circuits 118 . The temperature control unit 146 provides control of the temperature of the temperature control chamber 130 , the temperature control chamber 136 and the test chamber 132 . The user interface converter unit 148 serves to control the data input / output between the flow control board 140 and the user interface board 160 .

Die Benutzerschnittstellenplatine 160 enthält eine Eingabe/Ausgabe- Verarbeitungseinheit 162 und eine Eingabe/Ausgabe-Schnittstelleneinheit 164. Die Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162 ist ein Rumpf-Personalcomputer mit einem Prozessor und einem Speicher. Unter Verwendung eines verbreiteten Betriebssystems für Personalcomputer (z. B. Windows (eingetragene Marke) von der Fa. Microsoft) führt die Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162 beim Auftreten eines Alarms oder gleichzeitig mit der Anzeige einer Bedienungsoberfläche eine Eingabeverarbeitung von verschiedenen Daten oder Aktionsbefehlen, eine Anzeige verarbeitung und eine vorbestimmte Hilfeoberflächen-Anzeigeverarbeitung durch. Die Eingabe/Ausgabe-Schnittstelleneinheit 164 dient zur Schaffung einer Verbindung der Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162 mit der LCD 112, der Tastatur 114, einer Maus 180, einem Festplattenlaufwerk (HDD) 182 und einem Lautsprecher 184. Die Eingabe/Ausgabe-Schnittstelleneinheit 164 hat die Form eines Standard-Steckverbinders für die zu verbindenden Geräte. Das Festplatten laufwerk 182 speichert eine Hilfedatei, die für die Hilfeoberfläche benötigt wird. Als Zeigegerät wird zwar die Maus 180 verwendet, andere Zeigegeräte wie ein Joystick sind aber ebenfalls verwendbar.The user interface board 160 includes an input / output processing unit 162 and an input / output interface unit 164 . The input / output processing unit 162 is a trunk personal computer with a processor and a memory. Using a common operating system for personal computers (e.g. Windows (registered trademark) from Microsoft), the input / output processing unit 162 carries out input processing of various data or action commands when an alarm occurs or at the same time as the display of a user interface. display processing and predetermined help surface display processing. The input / output interface unit 164 serves to connect the input / output processing unit 162 to the LCD 112 , the keyboard 114 , a mouse 180 , a hard disk drive (HDD) 182 and a loudspeaker 184 . The input / output interface unit 164 is in the form of a standard connector for the devices to be connected. The hard disk drive 182 stores a help file that is required for the help surface. Although the mouse 180 is used as the pointing device, other pointing devices such as a joystick can also be used.

Input actions of various setting data and action commands using a user interface

Nachfolgend wird eine Aktion beschrieben, die durchgeführt wird, wenn vor einer üblichen Aktion zur Eingabe von verschiedenen Daten oder Aktionsbefehlen eine vorbestimmte Bedienungsoberfläche angezeigt wird. Fig. 4 ist ein Flußdiagramm eines Aktionsablaufs einer Hilfeoberfläche, die gleichzeitig mit einer Systembedienungsoberfläche angezeigt wird. Zum Beispiel betrachte man eine Eingabe-Bedienungsoberfläche bei der Eingabe von verschiedenen Einstelldaten zu dem vom Anwender des Prüfförderers 100 hergestellten Anwendertablett 120.An action is described below which is carried out when a predetermined user interface is displayed before a customary action for entering various data or action commands. Fig. 4 is a flowchart of an action flow of a help surface displayed concurrently with a system control surface. For example, consider an input user interface when entering various setting data for the user tray 120 manufactured by the user of the test conveyor 100 .

Vor der üblichen Aktion des Prüfförderers 100 zeigt die Eingabe/Ausgabe- Verarbeitungseinheit 162 auf der LCD 112 eine Systembedienungsoberfläche für die Eingabe von verschiedenen Einstelldaten oder Aktionsbefehlen an, die für die übliche Aktion des Prüfförderers 100 benötigt werden (Schrift 100), und aktiviert eine im voraus hergestellte Hilfedatei, um einige ergänzende Erläuterungen zu Punkten auf der Systembedienungsoberfläche zu geben (Schritt 302).Before the usual action of the test conveyor 100 , the input / output processing unit 162 displays on the LCD 112 a system user interface for the input of various setting data or action commands that are required for the usual action of the test conveyor 100 (font 100 ), and activates one in pre-made help file to provide some additional explanations of items on the system user interface (step 302 ).

Fig. 5 ist eine Skizze, die eine Systembedienungsoberfläche darstellt, wobei als Beispiel Details einer Anwendertablett-Einstelloberfläche gezeigt sind, mit der verschiedene Daten zu dem kundenspezifischen Anwendertablett 120 eingestellt werden. Die dargestellte Anwendertablett-Einstelloberfläche erlaubt die Eingabe von verschiedenen Einstellwerten des Anwendertabletts 120 wie "X-Abstand", "Y- Abstand", "Z-Abstand" und "X-Abstand Kopf" getrennt nach Ladevorrichtung (LD) 128 und Entladevorrichtung (UL) 138. Der rechte Bereich der Anwendertablett- Einstelloberfläche enthält eine Skizze, die anzeigt, welche Punkte welchen Teilen des Anwendertabletts 120 entsprechen, um dem Bediener, der Daten zu den Punkten eingibt, das Verständnis zu erleichtern. FIG. 5 is a diagram illustrating a system user interface, showing, as an example, details of a user tablet setting interface that is used to set various data on the custom user tablet 120 . The illustrated user tablet setting interface allows the entry of various setting values of the user tablet 120 such as “X distance”, “Y distance”, “Z distance” and “X distance head” separately according to the loading device (LD) 128 and unloading device (UL) ) 138 . The right area of the user tablet setting interface contains a sketch indicating which points correspond to which parts of the user tablet 120 to facilitate understanding for the operator who is entering data on the points.

Nach der Anzeige der oben beschriebenen Anwendertablett- Einstelloberfläche überwacht die Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162, ob Daten zu den Einstellpunkten eingegeben worden sind oder nicht (Schritt 303) und ob der Dateneingabebetrieb beendet worden ist oder nicht (Schritt 304). Wenn zu irgendeinem Einstellpunkt eine Dateneingabe vorgenommen worden ist, werden die eingegebenen Daten als neuer Einstellwert zu dem Punkt verwendet (Schritt 305), wonach der Vorgang zum Schritt 303 zur Überwachung der Dateneingabe zurückkehrt.After displaying the above-described user tablet setting interface, the input / output processing unit 162 monitors whether or not data on the setting items has been input (step 303 ) and whether or not the data input operation has ended (step 304 ). If data entry has been made for any set point, the entered data is used as the new set value to the point (step 305 ), after which the process returns to step 303 for monitoring the data entry.

Der Inhalt der Anwendertablett-Einstelloberfläche ist zwar so gestaltet, daß ihn auch ein unerfahrener Bediener leicht versteht, allein aus dem Inhalt der auf der Einstelloberfläche erscheinenden Anzeige versteht der unerfahrene Bediener aber möglicherweise nicht die Bedeutungen aller Einstellpunkte. Zum Beispiel versteht ein unerfahrener Bediener die Bedeutungen der Punkte "Tabletteinstellmodus", "Gerätezugriffsmodus" etc. möglicherweise nicht vollständig.The content of the user tablet setting interface is designed that even an inexperienced operator understands him easily from the content of the The inexperienced operator understands the display that appears on the setting surface but possibly not the meanings of all set points. For example an inexperienced operator understands the meaning of the points "Tablet setting mode", "Device access mode" etc. may not be complete.

Gleichzeitig mit der oben beschriebenen Anzeigeaktion der Anwendertablett-Einstelloberfläche überwacht die Eingabe/Ausgabe- Verarbeitungseinheit 162, ob eine Aktion zur Anzeige einer Hilfeoberfläche entsprechend jedem Einstellpunkt angefordert worden ist (Schritt 306). Wenn die Anzeige einer Hilfeoberfläche angefordert worden ist, wird eine Hilfeoberfläche angezeigt, die eine Erläuterung des Inhalts des entsprechenden Einstellpunktes enthält (Schritt 307). Zum Beispiel führt die Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162 eine Hilfedatei unter Windows (eingetragene Marke) aus, einem Allzweck- Betriebssystem, so daß eine vorbestimmte Hilfeoberfläche angezeigt werden kann.Simultaneously with the display action of the user tablet setting surface described above, the input / output processing unit 162 monitors whether an action for displaying a help surface corresponding to each setting point has been requested (step 306 ). If the display of a help surface has been requested, a help surface is displayed which contains an explanation of the content of the corresponding set point (step 307 ). For example, the input / output processing unit 162 executes a help file under Windows (registered trademark), a general-purpose operating system, so that a predetermined help interface can be displayed.

Fig. 6 ist eine Skizze, die eine Hilfeoberfläche darstellt, die durch Ausführung einer Hilfedatei angezeigt wird. Nach Anklicken der Markierung "?" rechts oben auf der in Fig. 5 gezeigten Anwendertablett-Einstelloberfläche mit der Maus 180 wird der Mauszeiger auf einen Punkt bewegt, dessen Bedeutung der Anwender zu erfahren wünscht und der mit der Maus 180 angeklickt wird, wodurch als Hilfeoberfläche das in Fig. 6 gezeigte Pop-up-Fenster angezeigt wird, das die Bedeutung der Begriffe und dergleichen dieses Punktes enthält. FIG. 6 is a sketch illustrating a help interface displayed by executing a help file. After clicking the "?" At the top right of the user tablet setting surface shown in FIG. 5 with the mouse 180 , the mouse pointer is moved to a point, the meaning of which the user wishes to learn and which is clicked with the mouse 180 , as a result of which the pop shown in FIG. 6 is used as a help surface -up window is displayed, which contains the meaning of the terms and the like of this item.

Im allgemeinen enthält die Hilfedatei von Windows (eingetragene Marke) eine Vielzahl von Themen, zu denen jeweils einige Informationen gehören, und erlaubt die Abfrage eines gewünschten Themas durch Angabe eines Suchwortes. In general, the Windows help file contains (registered trademark) a variety of topics, each with some information, and allows you to query a desired topic by entering a search word.

Die Themen sind miteinander verknüpft, um die Abfrage verwandter Informationen zu erleichtern.The topics are linked to each other in order to query related information to facilitate.

Fig. 7 ist eine Skizze, die eine Themenabfrageoberfläche zur Abfrage eines Themas durch Angabe eines Suchwortes darstellt. Auf der in Fig. 7 gezeigten Themenabfrageoberfläche wird ein Suchwort (z. B. "Anwendertablett") zu einem ge wünschten Thema angegeben, um mehrere Themen in bezug auf dieses Suchwort anzuzeigen. Unter den mehreren angezeigten Themen wird eines ausgewählt, so daß der spezielle Inhalt dieses Themas als neue Hilfeoberfläche angezeigt wird, wie in Fig. 8 gezeigt. Übrigens zeigt Fig. 8 einen Zustand, in dem ein Thema "Anwender tablett-Größe" ausgewählt ist, um eine Hilfeoberfläche mit dem entsprechenden Inhalt anzeigen zu lassen. FIG. 7 is a sketch illustrating a topic query interface for querying a topic by specifying a search word. On the topic query interface shown in Fig. 7, a search word (e.g., "user tablet") is given to a desired topic to display multiple topics related to that search word. One of the several displayed topics is selected so that the special content of this topic is displayed as a new help surface, as shown in FIG. 8. Incidentally, FIG. 8 shows a state in which a topic "user tray size" is selected in order to display a help surface with the corresponding content.

Die durch Auswahl eines Themas angezeigte Hilfsoberfläche kann je nach Bedarf z. B. einen Satz, eine Skizze, eine Tabelle, ein ruhendes Bild, ein bewegtes Bild, eine Animation etc. enthalten. In so einem Satz, einem Diagramm, einer Tabelle oder einem ruhenden Bild ist ein "aktiver Fleck" genannter Teil vorgesehen. Der aktive Fleck wird mit der Maus 180 angeklickt, um ein Pop-up- Fenster, das die Bedeutung des Ausdrucks dieses Teils und verwandter Punkte enthält, und weitere Themen anzeigen zu lassen. Falls der Bediener den Inhalt der anfänglich angezeigten Hilfeoberfläche (z. B. einen Satz oder eine Skizze) nicht vollständig versteht, kann er eine schrittweise Anzeige einer weiteren Hilfeoberfläche auswählen, die detailliertere Informationen enthält (z. B. ein ruhendes Bild oder ein bewegtes Bild). Bedarfsweise kann die Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162 gleichzeitig mit den Anzeigeaktionen der verschiedenen oben beschriebenen Hilfeoberflächen Sprachhinweise über den Lautsprecher 184 ausgeben.The help interface displayed by selecting a topic can, for example, B. contain a sentence, a sketch, a table, a still picture, a moving picture, an animation, etc. In such a sentence, a diagram, a table or a still picture, a part called an "active spot" is provided. The active spot is clicked on with the mouse 180 in order to display a pop-up window which contains the meaning of the expression of this part and related points and further topics. If the operator does not fully understand the content of the initially displayed help interface (e.g. a sentence or a sketch), he can select a step-by-step display of another help interface that contains more detailed information (e.g. a still image or a moving image) ). If necessary, the input / output processing unit 162 can output voice prompts through the speaker 184 simultaneously with the display actions of the various help interfaces described above.

Wenn die Systembedienungsoberfläche in dem auf Eingabe wartenden Zustand angezeigt wird, ermöglicht der Prüfförderer 100 die Anzeige einer Hilfeoberfläche zu jedem Punkt auf der Bedienungsoberfläche als Antwort auf eine Anforderung aus der Bedienung heraus, und nötigenfalls ermöglicht es eine schrittweise Anzeige von detaillierteren Erläuterungen, Skizzen, Bildern etc. Daher kann jeder Bediener den Inhalt jedes Punktes auf der angezeigten Bedienungsoberfläche im Detail kennenlernen, indem er den Inhalt der Anzeige entsprechend dem Maß seiner Erfahrung spezifiziert.When the system user interface is displayed in the state awaiting input, the inspection conveyor 100 enables the display of a help interface to any point on the user interface in response to a request from the operator, and if necessary, enables the step-by-step display of more detailed explanations, sketches, images etc. Therefore, each operator can get to know the content of each point on the displayed user interface in detail by specifying the content of the display according to the level of his experience.

Wenn sich bei Hinzufügungen oder Änderungen der zu prüfenden integrierten Schaltungen die begleitende Software ändert, kann die Unzulänglichkeit, daß möglicherweise nicht jeder Punkt auf der angezeigten Bedienungsoberfläche mit der entsprechenden Erläuterung verknüpft ist, abgewendet werden, indem gleich zeitig die Hilfedatei entsprechend der geänderten Software geändert wird.If there are any additions or changes to the items to be checked integrated circuits changes the accompanying software, the inadequacy, that maybe not every point on the displayed user interface with the corresponding explanation is linked, averted by equal the help file is changed according to the changed software.

Action in the event of an alarm notification when an anomaly occurs

Nachfolgend wird eine Aktion im Falle einer Alarmanzeige als Folge des Auftretens irgendeiner Anomalie bei der üblichen Aktion beschrieben. Zum Beispiel sei angenommen, daß die übliche Aktion eine Aktion ist, eine integrierte Schaltung 118 vom Anwendertablett 120 auf das Prüftablett 124 umzusetzen, und daß die inte grierte Schaltung 118 während des Umsetzens heruntergefallen ist.In the following, an action in the case of an alarm indication as a result of the occurrence of any abnormality in the usual action will be described. For example, assume that the usual action is an action to move an integrated circuit 118 from the user tablet 120 to the test tablet 124 , and that the integrated circuit 118 fell off during the move.

Fig. 9 ist ein Flußdiagramm, das einen Aktionsablauf zeigt, wenn eine integrierte Schaltung 118 vom Anwendertablett 120 auf das Prüftablett 124 umgesetzt wird, wobei die in Fig. 3 gezeigte Ablaufsteuereinheit 142 durch einen Aktionsauftrag eine Folge von Aktionen ausführt. FIG. 9 is a flowchart showing an action flow when an integrated circuit 118 is transferred from the user tablet 120 to the test tablet 124 , the flow control unit 142 shown in FIG. 3 executing a sequence of actions through an action job.

Der von der Ablaufsteuereinheit 142 ausgeführte Aktionsauftrag (in dieser Ausführungsform werden verschiedene Aufträge, die die üblichen Aktionen durchführen, zur Erläuterung als Aktionsauftrag bezeichnet) steuert die Magnetventile 174 mittels der Eingabe/Ausgabe-Steuereinheit 144 an und läßt den Saugkopf 126 eine auf dem Anwendertablett 120 ruhende integrierte Schaltung 118 ansaugen (Schritt 401). Nach Beendigung der Ansaugaktion verifiziert der Aktionsauftrag auf der Basis des Ausgangssignals des Saugsensors 176, das der Eingabe/Ausgabe-Steuereinheit 144 zugeführt wird, ob die integrierte Schaltung 118 durch Ansaugen an der Spitze des Saugkopfes 126 haftet oder nicht (Schritt 402).The action order executed by the sequence control unit 142 (in this embodiment, various orders that perform the usual actions are referred to as action orders for explanation) controls the solenoid valves 174 by means of the input / output control unit 144 and leaves the suction head 126 on the user tray 120 Suck idle integrated circuit 118 (step 401 ). Upon completion of the suction action, the action job verifies, based on the suction sensor 176 output signal supplied to the input / output control unit 144 , whether or not the integrated circuit 118 adheres to the tip of the suction head 126 (step 402 ).

Wird das Ansaugen der integrierten Schaltung 118 verifiziert, hebt der Aktionsauftrag den Saugkopf 126 mit der angesaugten integrierten Schaltung 118 an (Schritt 403). Die Anhebeaktion hört auf, wenn ein (nicht gezeigter) Positionssensor nachweist, daß die integrierte Schaltung 118 eine vorbestimmte Position erreicht hat (Schritt 404). Danach verifiziert der Aktionsauftrag, ob die integrierte Schaltung 118 während der Anhebeaktion vom Saugkopf 126 heruntergefallen ist oder nicht (Schritt 405).If the suction of the integrated circuit 118 is verified, the action order lifts the suction head 126 with the sucked-in integrated circuit 118 (step 403 ). The lifting action stops when a position sensor (not shown) detects that the integrated circuit 118 has reached a predetermined position (step 404 ). The action order then verifies whether or not the integrated circuit 118 fell off the suction head 126 during the lifting action (step 405 ).

Wird verifiziert, daß die integrierte Schaltung 118 nicht heruntergefallen ist, steuert der Aktionsauftrag einen (nicht gezeigten) Motor zum Bewegen des Arms mit dem daran angebrachten Saugkopf 126 an, so daß sich der Saugkopf 126 in horizontaler Richtung bewegt, um die integrierte Schaltung 118 zu transportieren (Schritt 406), und er verifiziert die Stillstandsposition anhand des Motortransport weg es, um die Transportaktion zu beenden (Schritt 407). Auf der Basis des Ausgangssignals des Saugsensors 176 verifiziert der Aktionsauftrag anschließend, ob die integrierte Schaltung 118 während der Transportaktion vom Saugkopf 126 heruntergefallen ist oder nicht (Schritt 408).If it is verified that the integrated circuit 118 has not fallen off, the action order drives a motor (not shown) to move the arm with the suction head 126 attached, so that the suction head 126 moves in a horizontal direction to close the integrated circuit 118 transport (step 406 ) and he verifies the standstill position based on the motor transport away to complete the transport action (step 407 ). Based on the output signal of the suction sensor 176, the action order then verifies whether or not the integrated circuit 118 fell off the suction head 126 during the transport action (step 408 ).

Wird verifiziert, daß die integrierte Schaltung 118 nicht heruntergefallen ist, senkt der Aktionsauftrag den Saugkopf 126 mit der angesaugten integrierten Schaltung 118 ab (Schritt 409). Die Absenkaktion kommt zum Stillstand, wenn der Positionssensor nachweist, daß die integrierte Schaltung 118 eine vorbestimmte Position erreicht hat (Schritt 410). Auf der Basis des Ausgangssignals des Saugsensors 176 verifiziert der Aktionsauftrag anschließend, ob die integrierte Schaltung 118 während der Absenkaktion vom Saugkopf 126 heruntergefallen ist oder nicht (Schritt 411). If it is verified that the integrated circuit 118 has not fallen off, the action order lowers the suction head 126 with the integrated integrated circuit 118 (step 409 ). The lowering action stops when the position sensor detects that the integrated circuit 118 has reached a predetermined position (step 410 ). Based on the output signal of the suction sensor 176, the action order then verifies whether or not the integrated circuit 118 fell off the suction head 126 during the lowering action (step 411 ).

Da der Aktionsauftrag verifiziert, ob die integrierte Schaltung 118 in den obigen Schritten 402, 405, 408 und 411 heruntergefallen ist oder nicht, weist er eine anomale Situation nach, in der zum Beispiel die integrierte Schaltung 118 während der Absenkaktion im Schritt 409 heruntergefallen ist (Schritt 412), mit dem Ergebnis einer Anforderung zur Alarmausgabe an einen Statusmanagementauftrag, der von der Ablaufsteuereinheit 142 ausgeführt wird (Schritt 413).Since the action order verifies whether or not the integrated circuit 118 fell in steps 402 , 405 , 408 and 411 above, it detects an abnormal situation in which, for example, the integrated circuit 118 fell during the lowering action in step 409 ( Step 412 ), with the result of a request to issue an alarm to a status management job that is executed by the sequence control unit 142 (step 413 ).

Fig. 10 ist ein Flußdiagramm, das den Ablauf von Aktionen des Prüfförderers 100 für den Fall darstellt, daß während der üblichen Aktion eine Anomalie aufgetreten ist, und zeigt die vom Statusmanagementauftrag durchgeführten Aktionen. Bei Empfang einer Anforderung zur Alarmausgabe vom Aktionsauftrag verifiziert der Statusmanagementauftrag, daß der angeforderte Alarm nicht mit dem momentan ausgegebenen Alarm überlappt (Schritt 501), und es wird die kumulierte Anzahl des Erscheinens dieses Alarms hochgezählt (Schritt 502). Der Fall, daß die Ausgabe eines Alarms angefordert wird, der momentan ausgegeben wird, ist übrigens der Fall, daß ein Neustart der Aktion spezifiziert wird, ohne die anomale Situation aufzuheben, die das Erscheinen des Alarms verursacht, so daß aus dem gleichen Grunde eine Anforderung zur Alarmausgabe erfolgt. In diesem Fall wird die oben beschriebene Hochzählaktion der kumulierten Erscheinungsanzahl nicht durchgeführt. Außerdem besteht die Möglichkeit, daß strukturelle Schwierigkeiten auftreten, wenn die kumulierte Erscheinungsanzahl des gleichen Alarms häufig hochgezählt wird und einen größeren Wert ergibt. Aus diesem Grunde wird die kumulierte Erscheinungsanzahl überwacht, um frühzeitig geeignete Maßnahmen ergreifen zu können. Fig. 10 is a flowchart showing the flow of actions of the check conveyor 100 in the event that an abnormality has occurred during the ordinary action, and shows the actions performed by the status management job. Upon receipt of a request to issue an alarm from the action order, the status management job verifies that the requested alarm does not overlap with the currently issued alarm (step 501 ) and the cumulative number of times that alarm is issued is incremented (step 502 ). Incidentally, if an alarm that is currently being issued is requested to be issued, a restart of the action is specified without canceling the abnormal situation causing the alarm to appear, so a request for the same reason for alarm output. In this case, the count-up action of the cumulative number of appearances described above is not carried out. There is also a possibility that structural difficulties will arise if the cumulative number of occurrences of the same alarm is frequently counted up and gives a larger value. For this reason, the cumulative number of appearances is monitored in order to be able to take suitable measures at an early stage.

Mittels der Benutzerschnittstellen-Wandlereinheit 148 fordert der Statusmanagementauftrag dann die Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162 auf der Benutzerschnittstellenplatine 160 auf, eine Alarmmeldung anzuzeigen, mit der Folge, daß die Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162 eine vorbestimmte Alarmanzeige auf der Oberfläche der LCD 112 erzeugt (Schritt 503). Mittels der Eingabe/Ausgabe-Steuereinheit 144 läßt der Statusmanagementauftrag weiterhin einen (nicht gezeigten) Alarmsummer einen Alarmton zur Information des Benutzers über das Auftreten einer anomalen Situation ausgeben (Schritt 504). Der Statusmanagementauftrag läßt dann den Signalturm 116 rot blinken (Schritt 505) und bringt die Aktion des gesamten Prüfförderers 100 zum Stillstand (Schritt 506).Using the user interface converter unit 148 , the status management job then prompts the input / output processing unit 162 on the user interface board 160 to display an alarm message, with the result that the input / output processing unit 162 generates a predetermined alarm display on the surface of the LCD 112 ( Step 503 ). By means of the input / output control unit 144 , the status management job also has an alarm buzzer (not shown) output an alarm tone to inform the user of the occurrence of an abnormal situation (step 504 ). The status management job then causes the signal tower 116 to flash red (step 505 ) and brings the action of the entire test conveyor 100 to a standstill (step 506 ).

Auf diese Weise führt der Statusmanagementauftrag bei Auftreten einer anomalen Situation eine Folge von Prozessen durch, und der Stillstandszustand der Aktion des gesamten Prüfförderers 100 bleibt bestehen, bis der Bediener einen Befehl zum Neustart der üblichen Aktion gibt.In this way, the status management job performs a series of processes when an abnormal situation occurs, and the action of the entire inspection conveyor 100 is stopped until the operator issues a command to restart the usual action.

Nachfolgend wird eine Alarmanzeigeaktion der Eingabe/Ausgabe- Verarbeitungseinheit 162 als Antwort auf eine Anforderung zur Alarmanzeige durch den oben beschriebenen Statusmanagementauftrag beschrieben. Fig. 11 ist ein Flußdiagramm, das den Ablauf von Aktionen der Alarmanzeige darstellt, die von der Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162 durchgeführt werden. Bei Empfang einer Anforderung zur Alarmanzeige vom Statusmanagementauftrag zeigt die Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162 eine vorbestimmte Alarmmeldung entsprechend einer aufgetretenen anomalen Situation an (Schritt 601), und um eine ergänzende Erläuterung ihrer Bedeutung zu geben, aktiviert sie eine im voraus aufgestellte Hilfedatei (Schritt 602).An alarm display action of the input / output processing unit 162 in response to an alarm display request by the status management job described above will be described below. FIG. 11 is a flowchart showing the flow of alarm display actions performed by the input / output processing unit 162 . Upon receiving a request to display the alarm from the status management job, the input / output processing unit 162 displays a predetermined alarm message corresponding to an abnormal situation that has occurred (step 601 ), and to give a supplementary explanation of its meaning, it activates a help file prepared in advance (step 602 ).

Fig. 12 stellt eine Alarmmeldungs-Anzeigeoberfläche dar. Eine auf der in Fig. 12 gezeigten Anzeigeoberfläche erscheinende Alarmmeldung besteht aus Alarmcodes vom Umfang einiger zehn Zeilen und hat den gleichen Inhalt wie diejenige der konventionellen Alarmanzeige. Ein unerfahrener Bediener hat es daher schwer, die Bedeutung des erzeugten Alarms und die Methode zu dessen Aufhebung zu verstehen, wenn er lediglich die Anzeige betrachtet. Fig. 12 shows an alarm notification display surface. An alarm notification appearing on the display surface shown in Fig. 12 consists of alarm codes of several tens of lines in length and has the same content as that of the conventional alarm display. An inexperienced operator, therefore, has a hard time understanding the meaning of the alarm generated and how to clear it when he is only looking at the display.

Gleichzeitig mit der Aktion zur Anzeige der Alarmmeldung überwacht die Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162, ob der Bediener nach Hinweisen zur Erläuterung der Bedeutung der Alarmanzeige und außerdem nach einer Methode zur Aufhebung der anomalen Situation verlangt (Schritt 603). Wenn der Bediener mit der Maus 180 eine Schaltfläche "Hinweisanzeige" auf der in Fig. 12 gezeigten Anzeigeoberfläche anklickt, zeigt die Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162 eine spezifische Erläuterung des Inhalts der bisher erschienenen Alarmmeldung und außerdem eine Methode zur Aufhebung des Alarms an (Schritt 604).Simultaneously with the action to display the alarm message, the input / output processing unit 162 monitors whether the operator asks for instructions to explain the meaning of the alarm display and also for a method for overcoming the abnormal situation (step 603 ). When the operator clicks an "indication display" button on the display surface shown in Fig. 12 with the mouse 180 , the input / output processing unit 162 displays a specific explanation of the content of the alarm message previously released and also a method for canceling the alarm (step 604 ).

Fig. 13 ist eine Skizze, die eine Anzeigeoberfläche darstellt, die erscheint, wenn die Schaltfläche "Hinweisanzeige" angeklickt wird. Wie in der Skizze gezeigt, enthält diese Anzeigeoberfläche Sätze, die den spezifischen Inhalt der Erläuterung dazu und die Methode zur Aufhebung anzeigen, und gleichzeitig enthält sie eine Skizze, eine Tabelle oder ein ruhendes Bild zur Erleichterung des Verständnisses dieser Sätze. Durch Betrachten dieser Anzeige kann der Bediener daher leicht die Bedeutung der Alarmmeldung verstehen, und er wird informiert, wie der erzeugte Alarm aufzuheben ist. Fig. 13 is a sketch illustrating a display surface that appears when the "hint display" button is clicked. As shown in the sketch, this display interface contains sentences that indicate the specific content of the explanation and the method of cancellation, and at the same time contains a sketch, a table or a still picture to facilitate the understanding of these sentences. By looking at this display, the operator can therefore easily understand the meaning of the alarm message and is informed how to cancel the alarm generated.

Beispielsweise werden die Anzeigeoberfläche von Fig. 13 und die in Fig. 14 und 15 gezeigten Anzeigeoberflächen durch Ausführung einer Hilfedatei unter einem Allzweck-Betriebssystem wie Windows (eingetragene Marke) einem All zweck-Betriebssystem, erzeugt und angezeigt. Die Hilfedatei enthält eine Vielzahl von Themen, zu denen jeweils einige Informationen gehören, und ist dadurch charakterisiert, daß die Themen miteinander verknüpft sind, um die Abfrage ver wandter Informationen zu erleichtern. Im Falle der in Fig. 13 gezeigten Oberfläche befindet sich in den Sätzen der Inhaltserläuterung, den Sätzen der Methode zur Aufhebung, dem Diagramm bzw. dem ruhenden Bild ein "aktiver Fleck" genannter Teil. Wenn der aktive Fleck mit der Maus 180 angeklickt wird, wird ein "Pop-up"- Fenster angezeigt, das die Bedeutung des Ausdrucks in diesem Teil und so weiter erklärt, wie in Fig. 14 gezeigt. Nach Anklicken der Markierung"?" rechts oben auf der Oberfläche kann der Zeiger der Maus 180 auf einen Ausdruck bewegt werden, dessen Bedeutung der Anwender zu erfahren wünscht, wobei durch Klicken mit der Maus 180 das oben gezeigte Pop-up-Fenster angezeigt wird. For example, the display surface of Fig. 13 and the display surfaces shown in Figs. 14 and 15 are generated and displayed by executing a help file under a general-purpose operating system such as Windows (registered trademark) a general-purpose operating system. The help file contains a variety of topics, each of which includes some information, and is characterized in that the topics are linked to one another in order to facilitate the retrieval of related information. In the case of the surface shown in FIG. 13, there is a part called "active stain" in the sentences of the content explanation, the sentences of the method for canceling, the diagram or the still image. When the active spot is clicked with the mouse 180 , a "pop-up" window is displayed which explains the meaning of the expression in this part and so on, as shown in Fig. 14. After clicking the "?" On the top right of the surface, the pointer of the mouse 180 can be moved to an expression the meaning of which the user wishes to find out, the pop-up window shown above being displayed by clicking the mouse 180 .

Zur Anzeige eines weiteren Detailhinweises enthält die Anzeigeoberfläche von Fig. 13 eine Schaltfläche "Detailhinweis". Man beachte, daß die Schaltfläche "Detailhinweis" in Fällen, in denen die Erläuterung des in Fig. 13 gezeigten Inhalts leicht verständlich ist und in denen auch die Methode zur Aufhebung des erzeugten Alarms leicht verständlich ist, nicht vorhanden zu sein braucht.To display a further detailed information, the display surface of FIG. 13 contains a "detailed information" button. Note that the "Detailed Information" button need not be present in cases where the explanation of the content shown in Fig. 13 is easy to understand and where the method for canceling the generated alarm is easy to understand.

Falls die Schaltfläche "Detailhinweis" vorhanden ist, überwacht die Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162, ob der Bediener eine Anzeige des Detailhinweises verlangt hat (Schritt 605). Wenn der Bediener mit der Maus 180 die Schaltfläche "Detailhinweis" anklickt, gibt die Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162 einen Detailhinweis zu dem Inhalt aus, der mit den Sätzen, Diagrammen oder ruhenden Bildern zur Erläuterung des Inhalts oder der Methode zur Aufhebung auf der in Fig. 13 gezeigten Oberfläche allein für zu schwer verständlich gehalten wird (Schritt 606).If the "Detail Notice" button is present, the input / output processing unit 162 monitors whether the operator has requested the detail notice to be displayed (step 605 ). When the operator clicks the "detail hint" button with the mouse 180 , the input / output processing unit 162 outputs a detail hint about the content, along with the sentences, diagrams, or still images, for explaining the content or the method for canceling on the figure surface as shown Fig. 13 is kept alone understood too heavy (step 606).

Fig. 15 ist eine Skizze, die ein spezielles Beispiel für eine Anzeigeoberfläche darstellt, die erscheint, wenn die Schaltfläche "Detailhinweis" angeklickt wird. Die in Fig. 15 gezeigte Anzeigeoberfläche enthält zusätzlich zu ergänzenden Erläuterungen, die auf der Anzeigeoberfläche von Fig. 13 nicht gefunden werden, ein bewegtes Bild oder eine Animation. Auf einer Hilfeoberfläche ein bewegtes Bild anzuzeigen, ist durch Einbau einer Videodatei in eine Hilfedatei möglich. Wenn zum Beispiel Bauteile entfernt werden müssen, um eine integrierte Schaltung 118 zurückzubekommen, die heruntergefallen ist, kann der Vorgang mittels eines bewegten Bildes (oder einer Animation) erläutert werden, so daß er leicht verständlich ist und selbst ein unerfahrener Bediener den der Anzeige entsprechenden Alarm aufheben kann. Bedarfsweise kann die Eingabe/Ausgabe- Verarbeitungseinheit 162 gleichzeitig mit der in Fig. 15 gezeigten Anzeige Sprachhinweise über den Lautsprecher 184 ausgeben. Fig. 15 is a sketch showing a specific example of a display surface that appears when the "Detail Notice" button is clicked. The display surface shown in FIG. 15 contains, in addition to supplementary explanations that are not found on the display surface of FIG. 13, a moving image or animation. Displaying a moving image on a help surface is possible by incorporating a video file into a help file. For example, if components need to be removed to get an integrated circuit 118 that has fallen off, the process can be explained using a moving picture (or animation) so that it is easy to understand and even an inexperienced operator can use the alarm corresponding to the display can pick up. If necessary, the input / output processing unit 162 can output voice prompts through the speaker 184 simultaneously with the display shown in FIG. 15.

Wenn der Bediener, der den Bildschirm betrachtet, nach Aufhebung des Alarms einen (nicht gezeigten) Neustart-Schalter betätigt, sendet der Satatusmanagementauftrag einen Befehl, die Anzeige der Alarmmeldungs- Oberfläche und der dazugehörigen Hilfeoberfläche einzustellen, über die Benutzerschnittstellen-Wandlereinheit 148 an die Eingabe/Ausgabe- Verarbeitungseinheit 162, während er gleichzeitig über die Eingabe/Ausgabe- Steuereinheit 144 einen Befehl sendet, den Signalturm 116 auf grünes Licht umzuschalten und die Ausgabe des Alarmtons durch den Alarmsummer einzustellen. Anschließend fährt der Aktionsauftrag mit der üblichen Aktion fort.When the operator viewing the screen actuates a restart switch (not shown) after the alarm is cleared, the Satatus management job sends a command to stop displaying the alarm notification interface and associated help interface via the user interface converter unit 148 / Output processing unit 162 , while at the same time sending a command via the input / output control unit 144 to switch the signal tower 116 to green light and to set the output of the alarm tone by the alarm buzzer. The action order then continues with the usual action.

Auf diese Weise gestattet der Prüfförderer 100 auf Verlangen des Bedieners eine schrittweise Anzeige des spezifischen Inhalts und der Methode zur Aufhebung des Alarms in Form einer Hilfeoberfläche, die eine Skizze oder ein ruhendes Bild enthält, wenn als Folge des Auftretens irgendeiner Anomalie eine Alarmanzeige erfolgt, und nach Bedarf gestattet er weiterhin eine Anzeige einer Begriffserläuterung und außerdem eine Anzeige von Detailhinweisen, die ein bewegtes Bild enthalten. Durch Auswahl des Anzeigeinhalts in Übereinstimmung mit dem Maß seiner Erfahrung kann der Bediener die Bedeutung des erzeugten Alarms und die Methode zu dessen Aufhebung im Detail kennenlernen.In this way, the test conveyor 100 allows the operator to request the specific content and method of canceling the alarm step by step in the form of a help surface that includes a sketch or a still image when an alarm is displayed as a result of the occurrence of any anomaly, and if necessary, it also allows a description of the term to be displayed and also detailed information that contains a moving image. By selecting the display content in accordance with the level of his experience, the operator can get to know in detail the meaning of the alarm generated and the method for its cancellation.

Wenn sich bei Hinzufügungen oder Änderungen der zu prüfenden integrierten Schaltungen die begleitende Software ändert, kann die Unzulänglichkeit, daß die der Inhalt des angezeigten Alarms möglicherweise nicht dem Inhalt von dessen Erläuterung und so weiter entspricht, abgewendet werden, indem gleichzeitig eine Hilfedatei entsprechend der geänderten Software geändert wird.If there are any additions or changes to the items to be checked integrated circuits changes the accompanying software, the inadequacy, that the content of the alarm displayed may not be the content of whose explanation corresponds and so on, be averted by simultaneously a help file is changed according to the changed software.

Man beachte, daß die Erfindung nicht auf die obige Ausführungsform beschränkt ist und daß verschiedene Modifizierungen möglich sind, ohne den Schutzbereich der Erfindung zu verlassen. Zum Beispiel wurde in der obigen Ausführungsform der Fall beschrieben, daß als Systembedienungsoberfläche eine Anwendertablett-Einstelloberfläche zur Durchführung von verschiedenen Einstellungen für das Anwendertablett 120 angezeigt wird. Dieses Konzept gilt auch für den Fall, daß als Systembedienungsoberfläche eine andere Einstelloberfläche oder die Aktionsbefehl-Oberfläche verwendet wird. Falls zum Beispiel der Anwender nicht weiß, was ein auf der Systembedienungsoberfläche angezeigter Aktionsbefehl bedeutet oder wann ein Aktionsbefehl zu geben ist, kann eine Hilfeoberfläche angezeigt werden, um eine spezifische Erläuterung in Form von Sätzen, einer Skizze, einem bewegten Bild, einer Animation etc. zu erhalten, wodurch dem Anwender ein leichtes Verständnis der Bedeutung der Anzeigepunkte ermöglicht wird, ohne ein Handbuch zu Rate ziehen zu müssen. In der obigen Ausführungsform wurde zwar bei Eingabe von verschiedenen Einstelldaten oder Aktionsbefehlen auf der angezeigten Systembedienungsoberfläche eine einzige Hilfeoberfläche angezeigt, eine für die Hilfeoberfläche hergestellte Hilfedatei kann aber auch verschiedene Arten von Handbüchern umfassen (ein Hardware-Handbuch, allgemeine Spezifikationen, einen Bedienungsleitfaden, ein Wartungshandbuch, ein Programmierungshandbuch etc.).Note that the invention is not limited to the above embodiment and that various modifications are possible without departing from the scope of the invention. For example, in the above embodiment, the case where a user tablet setting interface for making various settings for the user tablet 120 is displayed as the system user interface has been described. This concept also applies in the event that another setting interface or the action command interface is used as the system user interface. For example, if the user does not know what an action command displayed on the system user interface means or when an action command is to be issued, a help interface can be displayed to provide a specific explanation in the form of sentences, a sketch, a moving image, an animation, etc. which enables the user to easily understand the meaning of the display points without having to consult a manual. In the above embodiment, although a single help interface was displayed when various setting data or action commands were entered on the displayed system user interface, a help file produced for the help interface can also comprise various types of manuals (a hardware manual, general specifications, an operating guide, a maintenance manual) , a programming manual etc.).

In der obigen Ausführungsform wurde ein Alarm ins Auge gefaßt, der auftritt, wenn die integrierte Schaltung 118 während des Transports heruntergefallen ist. Das gleiche Konzept gilt aber auch für Alarme, die anderen anomalen Situationen entsprechen.In the above embodiment, an alarm was contemplated that occurs when the integrated circuit 118 falls down during transportation. The same concept also applies to alarms that correspond to other abnormal situations.

Als Betriebssystem der Eingabe/Ausgabe-Verarbeitungseinheit 162 wurde zwar Windows (eingetragene Marke) ins Auge gefaßt, andere Betriebssysteme mit äquivalenten Funktionen sind aber ebenfalls verwendbar. In der obigen Ausführungsform sollte die Benutzerschnittstellenplatine 160 wie ein Personalcomputer arbeiten. Es kann aber auch ein vom Prüfförderer 100 getrennter Personalcomputer vorgesehen werden, so daß die oben beschriebene Aktion zur Hilfeanzeige auf einem Bildschirm dieses Personalcomputers durchgeführt wird.Although Windows (registered trademark) has been considered as the operating system of the input / output processing unit 162 , other operating systems with equivalent functions can also be used. In the above embodiment, the user interface board 160 should operate like a personal computer. However, a personal computer separate from the test conveyor 100 can also be provided, so that the above-described action for displaying help is carried out on a screen of this personal computer.

In der obigen Ausführungsform wurde zwar ein Prüfförderer vom Typ mit Horizontaltransport beschrieben, es kann aber auch ein Prüfförderer vom Typ mit automatischem Fall oder eine Kombination aus diesen Typen verwendet werden. In diesen Fällen kann die Online-Handbuchanzeige erfolgen, indem der angezeigten Systembedienungsoberfläche eine Hilfeoberfläche überlagert wird. Alternativ können solche Prüfförderer eine Online-Handbuchanzeige bei Erscheinen eines Alarms ermöglichen.In the above embodiment, although a test conveyor was of the type Horizontal transport is described, but a test conveyor of the type can also be used automatic case or a combination of these types can be used. In In these cases, the online manual display can be done by the displayed A user interface is superimposed on the system user interface. Alternatively, you can such test sponsors an online manual display when an alarm appears enable.

Claims

1. Test conveyor for integrated circuits, characterized by

a display device for displaying predetermined display contents,
a help file storage device for storing help files which contain at least detailed information on points of the display content displayed by the display device, and
a help function execution device for executing the help files to display the detailed information.

2. Test conveyor according to claim 1, characterized in that the Display device a display unit having a predetermined display surface has, and a processing unit for generating image data to those on the Content to be displayed.

3. Test conveyor according to claim 1 or 2, characterized in that the help file storage device includes a storage unit for storing the Help files in the form of digital data on a predetermined storage medium is.

4. Test conveyor according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the help function execution means is processing unit for executing the help files using a predetermined one Operating system.

5. Test conveyor according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the display contents are a user interface that a Operation, and that the detailed information contained in the help files mations Information to explain the content of points on the Are user interface.

6. Test conveyor according to claim 5, characterized in that the User interface is a user tablet setting interface.

7. Test conveyor according to one of the preceding claims, characterized characterized that the display content alarms occurred accordingly Anomalies are and that the detailed information contained in the help files Information about the content explanation and a method for lifting the Are alarms.

8. Test conveyor according to one of the preceding claims, characterized characterized in that he continued to use an anomaly detection facility Evidence of the occurrence of an anomaly includes that the display contents alarms corresponding anomalies occurred and that are in the help files contained detailed information Information on the content explanation and a Method of canceling the alarms are.

9. Test conveyor according to claim 8, characterized in that the Anomaly detection facility detects an anomaly that occurs during an action to implement an integrated circuit between a user tablet and a test tablet occurs.

10. Test conveyor according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the help function execution means the content of the detail information toggles gradually when a particular position on a display surface is selected and specified.

11. Test conveyor according to one of the preceding claims, characterized characterized in that it has a pointing device for pointing to any location on a display surface of the display device and that a display of the detailed information by the help function execution device to one Point occurs under several points of the display content on the display surface, pointed to by the pointing device.