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KR102701743B1 - 반송 시스템 및 보관부 - Google Patents

반송 시스템 및 보관부 Download PDF

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KR102701743B1
KR102701743B1 KR1020227008948A KR20227008948A KR102701743B1 KR 102701743 B1 KR102701743 B1 KR 102701743B1 KR 1020227008948 A KR1020227008948 A KR 1020227008948A KR 20227008948 A KR20227008948 A KR 20227008948A KR 102701743 B1 KR102701743 B1 KR 102701743B1
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킨야 마스다
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

[과제] 격자형상 궤도로부터 수하(垂下)하여 설치되는 물품의 보관부에 있어서, 작업자가 천장 반송차(搬送車), 격자형상 궤도, 및 물품 등에 용이하게 도달하여 유지관리(maintenance)할 수 있는 반송 시스템을 제공하는 것이다.
[해결 수단] 반송 시스템은, 제1 방향으로 연장되어 있는 복수의 제1 궤도와, 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 연장되어 있고 제1 궤도와 교차하는 복수의 제2 궤도를 가지며, 복수의 제1 궤도와 복수의 제2 궤도에 의해 복수의 칸을 형성하는 격자형상 궤도와, 격자형상 궤도를 따라 주행하는 천장 반송차와, 격자형상 궤도에 매달리는 서스펜딩 부재와, 평면 뷰(平面視)에 있어서 칸을 1개 둘러싸며, 서스펜딩 부재의 하부에 설치되는 프레임을 구비하고, 프레임에 있어서의 칸의 하방에는, 천장 반송차에 의해 물품이 놓이는 재치부(載置部)와, 작업자가 보행 가능한 통로가 되는 발판부(足場部)가 설치된다.

Description

반송 시스템 및 보관부
[0001] 본 발명은, 반송(搬送) 시스템 및 보관부에 관한 것이다.
[0002] 반도체 제조 공장 등의 제조 공장에서는, 예컨대, 반도체 웨이퍼 또는 레티클을 수용하는 반송 용기(FOUP, 레티클 Pod) 등의 물품을 주행차에 의해 반송하는 반송 시스템이 이용되고 있다. 이 반송 시스템으로서, 물품을 지지하는 주행차가, 천장에 부설된 궤도를 따라 주행하는 시스템이 알려져 있다. 주행차의 주행 경로를 다양화하기 위해, 궤도를 격자형상으로 배치하여 주행차를 종횡으로 주행시키는 구성이 제안되어 있다.
[0003] 주행차를 종횡으로 주행시키는 반송 시스템에 있어서, 주행차의 본체부가 궤도의 상방에 배치되며, 물품을 수용하는 수용부가 본체부에 설치되는 구성에서는, 궤도의 하방의 소정 위치에 대해 물품을 주고받는 경우, 궤도가 없는 곳 또는 궤도와 궤도 사이를 통과시켜 물품을 승강(昇降)시킬 필요가 있기 때문에, 물품을 주고받는 위치가 제한되어 버린다. 따라서, 주행차가, 물품을 궤도의 하측에서 지지한 상태로, 격자형상의 궤도를 따라 종횡으로 주행 가능한 반송 시스템이 제안되어 있다(특허문헌 1 참조).
[0004] 특허문헌 1의 반송 시스템과 같이, 주행차가 물품을 궤도의 하측에서 지지한 상태로 주행하는 시스템에서는, 주행 차륜은 궤도의 상방에 배치되는 한편, 물품의 수용부 및 주행차의 본체부는 궤도의 하방에 배치된다. 따라서, 주행 차륜과 수용부(또는 본체부)를 연결하는 연결 부재가 궤도의 상하에 걸쳐 설치되는 구성이 된다. 이 구성을 격자형상의 궤도에 있어서 실현하는 경우, 궤도의 교차부에서 연결 부재의 통과를 허용하기 위한 틈새(슬릿)가 필요해진다. 특허문헌 1의 반송 시스템에서는, 궤도의 교차부에 틈새를 형성하고, 교차부의 궤도를 틈새에 의해 분단(分斷)한 접속 궤도를 갖고 있다.
국제 공개 제2018/037762호
[0006] 상기와 같은 본체부 등이 격자형상 궤도로부터 수하(垂下)된 주행차를 유지관리(maintenance)하기 위해서는, 고소 작업차 등을 이용할 필요가 있다. 상기의 반송 시스템에 있어서는, 반송 효율을 향상시키는 등의 목적으로, 복수의 물품을 올려놓아 보관할 수 있는 보관부가 설치되는 경우가 있다. 보관부는, 예컨대, 공간(space)을 유효하게 활용하기 위해, 격자형상 궤도로부터 수하하여 높은 곳(高所)에 설치되어 있다. 높은 곳에 설치된 보관부의 내측의 영역에 위치하는 주행차, 궤도 등의 유지관리가 필요한 경우, 보관부를 구성하는 프레임 등의 구조가 있기 때문에, 고소 작업차를 반입할 수 없다. 상기의 보관부에 고소 작업차를 반입하기 위해서는, 프레임을 떼어내는 등의 작업이 필요해져, 수고와 시간을 요한다. 고소 작업차를 반입할 때마다 프레임을 떼어내는 것은 번잡하다.
[0007] 본 발명은, 격자형상 궤도로부터 수하하여 설치되는 물품의 보관부에 있어서, 작업자가 천장 반송차, 격자형상 궤도, 및 물품 등에 용이하게 도달하여 유지관리할 수 있는 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[0008] 본 발명의 양태에 따른 반송 시스템은, 제1 방향으로 연장되어 있는 복수의 제1 궤도와, 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 연장되어 있고 제1 궤도와 교차하는 복수의 제2 궤도를 가지며, 복수의 제1 궤도와 복수의 제2 궤도에 의해 복수의 칸을 형성하는 격자형상 궤도와, 격자형상 궤도를 따라 주행하는 천장 반송차와, 격자형상 궤도에 매달리는 서스펜딩 부재와, 평면 뷰(平面視)에 있어서 칸을 적어도 1개 둘러싸며, 서스펜딩 부재의 하부에 설치되는 프레임을 구비하고, 프레임에 있어서의 칸의 하방에는, 천장 반송차에 의해 물품이 놓이는 재치부(載置部)와, 작업자가 보행 가능한 통로가 되는 발판부(足場部)가 설치된다.
[0009] 또한, 프레임이, 평면 뷰에 있어서 복수의 칸을 둘러싸도록 형성되고, 발판부는, 평면 뷰에 있어서 복수의 칸을 걸치도록 프레임의 내측에 형성되는 구성이어도 된다. 또한, 천장 반송차가, 본체부가 격자형상 궤도로부터 수하된 상태로 주행하고, 서스펜딩 부재가, 격자형상 궤도에 있어서의, 제1 궤도와 제2 궤도의 교차부로부터 수하하여 설치되는 구성이어도 된다. 또한, 발판부의 양측에는, 재치부가 설치되는 구성이어도 된다. 또한, 발판부가, 평면 뷰에 있어서 복수의 칸을 걸치도록 종횡으로 형성되는 구성이어도 된다. 또한, 발판부는, 평면 뷰에 있어서 프레임의 외측 가장자리(外緣)에서 프레임의 중앙부에 걸쳐 설치되는 구성이어도 된다. 또한, 프레임이, 서로 인접하여 복수 배치되는 프레임 단일체(單體)의 집합체이고, 서로 이웃하는 프레임 단일체끼리의 발판부가, 서로 인접하도록 형성되는 구성이어도 된다. 또한, 재치부가 프레임 단일체에 복수 구비되고, 해당 복수의 재치부의 수는, 평면 뷰에 있어서 프레임 단일체가 둘러싸는 칸의 수보다 많은 구성이어도 된다. 또한, 복수의 재치부가, 평면 뷰에 있어서 프레임 단일체에 있어서의 소정 영역에 한데 모여 설치되고, 발판부는, 프레임 단일체에 있어서의 소정 영역 이외의 영역에 설치되는 구성이어도 된다.
[0010] 또한, 프레임 단일체가, 발판부로서, 수평 방향 중 제1 방향을 기다란 형상(長手狀)으로 한 제1 발판부와, 제2 방향을 기다란 형상으로 한 제2 발판부를 구비하는 구성이어도 된다. 또한, 제1 발판부의 통로폭은, 재치부의 제2 방향의 길이보다 짧고, 제2 발판부의 통로폭은, 재치부의 제1 방향의 길이보다 짧은 구성이어도 된다. 또한, 제1 발판부 및 제2 발판부는, 각각, 양 단부(端部)가 프레임의 외측 가장자리 근방까지 연장되어 설치되어 있는 구성이어도 된다.
[0011] 본 발명의 양태에 따른 보관부는, 제1 방향으로 연장되어 있는 복수의 제1 궤도와, 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 연장되어 있고 제1 궤도와 교차하는 복수의 제2 궤도를 가지며, 복수의 제1 궤도와 복수의 제2 궤도에 의해 복수의 칸을 형성하는 격자형상 궤도와, 격자형상 궤도를 따라 주행하는 천장 반송차를 구비하는 반송 시스템에 있어서, 물품의 보관에 이용되는 보관부로서, 격자형상 궤도에 매달리는 서스펜딩 부재와, 평면 뷰에 있어서 칸을 적어도 1개 둘러싸며, 서스펜딩 부재의 하부에 설치되는 프레임을 구비하고, 프레임에 있어서의 칸의 하방에는, 천장 반송차에 의해 물품이 놓이는 재치부와, 작업자가 보행 가능한 통로가 되는 발판부가 설치된다.
[0012] 상기의 양태에 따른 반송 시스템 및 보관부에 의하면, 격자형상 궤도로부터 수하하여 설치되는 물품의 보관부에 있어서, 작업자가 천장 반송차, 격자형상 궤도, 및 물품 등에 용이하게 도달하여 유지관리할 수 있다.
[0013] 또한, 프레임이, 평면 뷰에 있어서 복수의 칸을 둘러싸도록 형성되고, 발판부가, 평면 뷰에 있어서 복수의 칸을 걸치도록 프레임의 내측에 형성되는 구성에서는, 천장 반송차에 의해 물품이 놓이는 보관부의 공간을 보다 넓게 할 수 있고, 또한, 프레임의 내측의 영역에 작업자가 도달할 수 있다. 또한, 천장 반송차가, 본체부가 격자형상 궤도로부터 수하된 상태로 주행하고, 서스펜딩 부재가, 격자형상 궤도에 있어서의, 제1 궤도와 제2 궤도의 교차부로부터 수하하여 설치되는 구성에서는, 천장 반송차의 주행을 방해하는 일 없이 서스펜딩 부재를 배치하여, 프레임을 설치할 수 있다. 또한, 발판부의 양측에는, 재치부가 설치되는 구성에서는, 작업자는 발판부를 통해 재치부를 용이하게 유지관리할 수 있다. 또한, 발판부가, 평면 뷰에 있어서 복수의 칸을 걸치도록 종횡으로 형성되는 구성에서는, 작업자는 발판부를 이용하여 격자형상 궤도의 각부(各部)에 용이하게 도달할 수 있다. 또한, 발판부는, 평면 뷰에 있어서 프레임의 외측 가장자리에서 프레임의 중앙부에 걸쳐 설치되는 구성에서는, 작업자는 발판부를 이용하여 프레임의 중앙부까지 용이하게 도달할 수 있다. 또한, 프레임이, 서로 인접하여 복수 배치되는 프레임 단일체의 집합체이고, 서로 이웃하는 프레임 단일체끼리의 발판부가, 서로 인접하도록 형성되는 구성에서는, 프레임이 복수의 프레임 단일체의 집합체로서 형성되므로 프레임의 강성(剛性)을 확보할 수 있다. 또한, 복수의 프레임 단일체가 서로 인접하여 배치되므로, 프레임 단일체를 고밀도로 설치할 수 있다. 또한, 프레임 단일체끼리의 발판부가 서로 인접하도록 형성되므로, 작업자는, 서로 이웃하는 프레임 단일체에 있어서의 발판부로 용이하게 옮겨탈 수 있다. 또한, 재치부가, 프레임 단일체의 내측에 복수 구비되고, 해당 복수의 재치부의 수가, 평면 뷰에 있어서 프레임 단일체가 둘러싸는 칸의 수보다 많은 구성에서는, 재치부를 고밀도로 설치할 수 있다. 또한, 복수의 재치부가, 평면 뷰에 있어서 프레임 단일체의 내측에 있어서의 소정 영역에 한데 모여 설치되고, 발판부는, 프레임의 내측에 있어서의 소정 영역 이외의 영역에 설치되는 구성에서는, 재치부를 고밀도로 설치할 수 있고, 또한, 발판부를 설치하기 위한 한데 모인 영역을 확보할 수 있다.
[0014] 또한, 프레임 단일체가, 발판부로서, 수평 방향 중 제1 방향을 기다란 형상으로 한 제1 발판부와, 제1 방향에 직교하는 수평 방향 중 제2 방향을 기다란 형상으로 한 제2 발판부를 구비하는 구성에서는, 발판부가 한 방향으로만 형성되는 구성과 비교하여, 발판부가 두 방향으로 형성되므로, 프레임의 내측에 발판부를 효과적으로 형성할 수 있다. 또한, 제1 발판부의 통로폭이, 재치부의 제2 방향의 길이보다 짧고, 제2 발판부의 통로폭은, 재치부의 제1 방향의 길이보다 짧은 구성에서는, 프레임의 내측에 있어서, 재치부를 설치할 수 없는 기다란 형상의 공간을, 발판부로서 활용할 수 있다. 또한, 제1 발판부 및 제2 발판부는, 각각, 양 단부가 프레임의 외측 가장자리 근방까지 연장되어 설치되어 있는 구성에서는, 프레임의 외부로부터 프레임의 내부의 발판부로 용이하게 도달할 수 있다.
[0015] 도 1은, 제1 실시형태에 따른 반송 시스템의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2는, 천장 반송차의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 3은, 천장 반송차의 일례를 나타내는 측면도이다.
도 4는, 보관부의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 5는, 보관부의 일례를 나타내는 상면도이다.
도 6은, 격자형상 궤도와 서스펜딩 부재의 접속 부분을 나타내는 측면도이다.
도 7은, 서스펜딩 부재와 프레임의 접속 부분을 나타내는 사시도이다.
도 8은, 연결 부재(62)의 일례를 나타내는 측면도이다.
도 9의 (A) 및 (B)는, 연결 부재와 서스펜딩 부재의 접속 부분을 나타내는 사시도이다.
도 10은, 제2 실시형태에 따른 반송 시스템의 일례를 나타내는 상면도이다.
도 11은, 제2 실시형태에 따른 반송 시스템의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 12는, 보관부의 다른 예를 나타내는 상면도이다.
도 13은, 보관부의 다른 예를 나타내는 상면도이다.
도 14는, 보관부의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 15는, 보관부의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
도 16은, 보관부의 다른 예를 나타내는 사시도이다.
[0016] 이하에서는, 본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 단, 본 발명은 이하에 설명하는 형태에 한정되지 않는다. 또한, 도면에 있어서는 실시형태를 설명하기 위해, 일부분을 크게 또는 강조하여 기재하는 등 적절히 축척을 변경하여 표현하고 있다. 이하의 각 도면에 있어서, XYZ 좌표계를 이용하여 도면 중의 방향을 설명한다. 이 XYZ 좌표계에 있어서는, 수평면에 평행한 평면을 XY 평면으로 한다. 이 XY 평면을 따른 일 방향을 X방향으로 표기하고, X방향에 직교하는 방향을 Y방향으로 표기한다. 또한, 천장 반송차(100)의 주행 방향은, 이하의 도면에 나타난 상태로부터 다른 방향으로 변화 가능하며, 예컨대 곡선 방향으로 주행하는 경우도 있다. 또한, XY 평면에 수직인 방향은 Z방향으로 표기한다. X방향, Y방향 및 Z방향 각각은, 도면 중의 화살표가 가리키는 방향이 +방향이고, 화살표가 가리키는 방향과 반대인 방향이 -방향인 것으로 하여 설명한다. 또한, 수직축 둘레 또는 Z축 둘레의 선회 방향을 θZ방향으로 표기한다.
[0017] [제1 실시형태]
도 1은, 제1 실시형태에 따른 반송 시스템(SYS)의 일례를 나타내는 측면도이다. 또한, 도 1에 있어서 화살표로 나타낸 도면은, 교차부(R3)를 확대한 도면이다. 도 2는, 도 1에 나타낸 반송 시스템(SYS)에서 이용되는 천장 반송차(100)의 사시도이다. 도 3은, 본 실시형태에 따른 천장 반송차(100)의 일례를 나타내는 측면도이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 천장 반송차(100)는, 반송 시스템(SYS)의 궤도(R)를 따라 이동하며, 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP, 또는 레티클을 수용하는 레티클 Pod 등의 물품(M)을 반송한다.
[0018] 반송 시스템(SYS)은, 예컨대 반도체 제조 공장의 클린 룸에 있어서, 물품(M)을 천장 반송차(100)에 의해 반송하기 위한 시스템이다. 반송 시스템(SYS)에 있어서, 천장 반송차(100)는, 예컨대 복수 대(臺) 이용되어도 된다. 복수의 천장 반송차(100)에 의해 물품(M)을 반송함으로써, 고밀도의 반송이 가능해져, 물품(M)의 반송 효율을 향상시키는 것이 가능해진다.
[0019] 궤도(R)는, 궤도의 한 형태이다. 궤도(R)는, 클린 룸 등의 건물의 천장 또는 천장 부근에 부설되어 있다. 궤도(R)는, 복수의 제1 궤도(R1)와, 복수의 제2 궤도(R2)와, 복수의 교차부(R3)를 갖는 격자형상 궤도이다. 이하, 궤도(R)를 격자형상 궤도(R)라고 칭한다. 복수의 제1 궤도(R1)는, 각각, X방향(제1 방향(D1))을 따라 연장되어 있다. 복수의 제1 궤도(R1)는, 각각, Y방향(제2 방향(D2))에 있어서의 제1 궤도(R1)끼리의 간격 GA1(궤간)이 거의 일정해지도록 배치된다. 복수의 제2 궤도(R2)는, 각각, 제1 방향(D1)과는 다른 제2 방향(D2)을 따라 연장되어 있다. 복수의 제2 궤도(R2)는, 각각, X방향(제1 방향(D1))에 있어서의 제2 궤도(R2)끼리의 간격 GA2(궤간)가 거의 일정해지도록 배치된다. 복수의 제2 궤도(R2)는, 각각, 제1 궤도(R1)와 교차한다. 격자형상 궤도(R)는, 복수의 제1 궤도(R1)와 복수의 제2 궤도(R2)에 의해, 평면 뷰에 있어서 격자형상으로 형성되어 있다. 격자형상 궤도(R)는, 복수의 제1 궤도(R1)와 복수의 제2 궤도(R2)에 의해 복수의 칸(C)을 형성한다. 본 실시형태에서는, 제1 방향(D1)과 제2 방향(D2)이 직교하고 있고, 복수의 제1 궤도(R1)와 복수의 제2 궤도(R2)는, 서로 직교하는 방향을 따라 설치되지만, 서로 직접 교차하지 않도록 설치되어 있다. 교차부(R3)는, 제1 궤도(R1)와 제2 궤도(R2)의 교차 부분에 배치된다. 교차부(R3)는, 제1 궤도(R1)에 대해 제1 방향(D1)으로 서로 이웃하는 동시에 제2 궤도(R2)에 대해 제2 방향(D2)으로 서로 이웃하고 있다. 교차부(R3)는, 제1 궤도(R1)와 제2 궤도(R2)의 접속, 제1 궤도(R1)끼리의 접속, 제2 궤도(R2)끼리의 접속을 하는 접속 궤도이다. 교차부(R3)는, 천장 반송차(100)가 제1 궤도(R1)를 따라 주행할 때와, 천장 반송차(100)가 제2 궤도(R2)를 따라 주행할 때와, 천장 반송차(100)가 제1 궤도(R1)로부터 제2 궤도(R2)로 주행할 때와, 제2 궤도(R2)로부터 제1 궤도(R1)로 주행할 때 중 어느 때에나 이용되는 궤도이다. 교차부(R3)는, +Z방향에서 보았을 때(평면 뷰에 있어서), 직사각형상의 판형상(板狀)의 부재에 의해 형성되어 있고, 직사각형상의 판형상의 부재에 있어서의 4개의 모서리부(角部)(코너부) 각각으로 설정되어 있다(도 1에 나타낸 해칭 부분). 격자형상 궤도(R)는, 복수의 제1 궤도(R1)와 복수의 제2 궤도(R2)가 직교하는 방향으로 설치됨으로써, 평면 뷰에서 복수의 칸(C)(그리드 셀, 셀)이 서로 이웃하는 상태로 되어 있다. 1개의 칸(C)은, 도 1에 나타낸 바와 같이, 평면 뷰에서, 제2 방향(D2)에 있어서 서로 이웃한 2개의 제1 궤도(R1)와, 제1 방향(D1)에 있어서 서로 이웃한 2개의 제2 궤도(R2)로 둘러싸인 부분이다. 또한, 도 1에서는 격자형상 궤도(R)의 일부에 대해 나타내고 있고, 격자형상 궤도(R)는, 도시하고 있는 구성으로부터 제1 방향(D1)(X방향) 및 제2 방향(D2)(Y방향)으로 동일한 구성이 연속적으로 형성되어 있다.
[0020] 제1 궤도(R1), 제2 궤도(R2), 및 교차부(R3)는, 행잉 부재(H)(도 1 참조)에 의해 미도시된 천장에 매달려 있다. 행잉 부재(H)는, 제1 궤도(R1)를 매달기 위한 제1 부분(H1)과, 제2 궤도(R2)를 매달기 위한 제2 부분(H2)과, 교차부(R3)를 매달기 위한 제3 부분(H3)을 갖는다. 제1 부분(H1) 및 제2 부분(H2)은, 각각 제3 부분(H3)을 사이에 둔 두 군데에 설치되어 있다.
[0021] 제1 궤도(R1), 제2 궤도(R2), 및 교차부(R3)는, 각각, 천장 반송차(100)의 후술하는 주행 차륜(21)이 주행하는 주행면(R1a, R2a, R3a)을 갖는다. 1개의 제1 궤도(R1)에는, 제1 방향(D1)을 따른 주행면(R1a)이 제2 방향(D2)으로 나란히 2개 설치되어 있다. 1개의 제2 궤도(R2)에는, 제2 방향(D2)을 따른 주행면(R2a)이 제1 방향(D1)으로 나란히 2개 설치되어 있다. 천장 반송차(100)가 제1 방향(D1)으로 주행할 때, 주행 차륜(21)은, 제2 방향(D2)에 있어서 인접하여 배치되는 한 쌍의 제1 궤도(R1)의 주행면(R1a)을 주행한다. 천장 반송차(100)가 제2 방향(D2)으로 주행할 때, 주행 차륜(21)은, 제1 방향(D1)에 있어서 인접하여 배치되는 한 쌍의 제2 궤도(R2)의 주행면(R2a)을 주행한다. 인접하여 배치되는 한 쌍의 제1 궤도(R1)의 궤간 GA1, 및, 인접하여 배치되는 한 쌍의 제2 궤도(R2)의 궤간 GA2는, 거의 동일하게 설정된다. 제1 궤도(R1)와 교차부(R3) 사이에는, 제1 틈새(GP1)가 형성된다. 또한, 제2 궤도(R2)와 교차부(R3) 사이에는, 제2 틈새(GP2)가 형성된다. 제1 틈새(GP1)는, 천장 반송차(100)가 제2 궤도(R2)를 주행하다가 제1 궤도(R1)를 가로지를 때, 천장 반송차(100)의 일부인 후술하는 연결부(30)가 통과하는 부분이다. 제2 틈새(GP2)는, 천장 반송차(100)가 제1 궤도(R1)를 주행하다가 제2 궤도(R2)를 가로지를 때 천장 반송차(100)의 연결부(30)가 통과하는 부분이다. 따라서, 제1 틈새(GP1) 및 제2 틈새(GP2)(틈새(GP)로 총칭함)는, 각각, 천장 반송차(100)의 연결부(30)가 통과 가능한 폭으로 형성되어 있다. 제1 궤도(R1), 제2 궤도(R2), 및 교차부(R3)는, 동일 또는 거의 동일한 수평면을 따라 설치된다. 본 실시형태에 있어서, 제1 궤도(R1), 제2 궤도(R2), 및 교차부(R3)는, 주행면(R1a, R2a, R3a)이 동일 또는 거의 동일한 수평면 상에 배치된다.
[0022] 격자형상 궤도(R)는, 제1 가이드면(G1)과, 제2 가이드면(G2)을 갖는다. 제1 가이드면(G1)은, 제1 궤도(R1)를 따라 설치된다. 본 실시형태에 있어서, 제1 가이드면(G1)은, 제1 궤도(R1)의 측면에 설치된다. 제2 가이드면(G2)은, 제2 궤도를 따라 설치된다. 본 실시형태에 있어서, 제2 가이드면(G2)은, 제2 궤도(R2)의 측면에 설치된다.
[0023] 또한, 교차부(R3)는, 제1 접속 가이드면(G3a)과, 제2 접속 가이드면(G3b)과, 연속면(G3c)을 갖는다. 본 실시형태에 있어서, 제1 접속 가이드면(G3a)은, 제1 가이드면(G1)과 동일한 높이(거의 동일한 높이를 포함함.) 그리고 동일 방향(거의 동일 방향을 포함함.)으로 설치된다. 즉, 제1 접속 가이드면(G3a)과 제1 가이드면(G1)은, 동일한 평면에 포함된다. 제2 접속 가이드면(G3b)은, 제2 가이드면(G2)과 동일한 높이(거의 동일한 높이를 포함함.) 그리고 동일 방향(거의 동일 방향을 포함함.)으로 설치된다. 즉, 제2 접속 가이드면(G3b)과 제2 가이드면(G2)은, 동일한 평면에 포함된다. 연속면(G3c)은, 제1 접속 가이드면(G3a)과 제2 접속 가이드면(G3b)을 연속하도록 형성된다. 연속면(G3c)은, 제1 접속 가이드면(G3a)과 제2 접속 가이드면(G3b)을 매끄럽게 접속하는 곡면이다.
[0024] 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 천장 반송차(100)는, 본체부(10)와, 주행부(20)와, 연결부(30)와, 제어부(50)(도 3 참조)를 갖는다. 제어부(50)는, 천장 반송차(100)의 각부의 동작을 통괄적으로 제어한다. 제어부(50)는, 본체부(10)에 설치되지만, 본체부(10)의 외부에 설치되어도 된다. 본체부(10)는, 격자형상 궤도(R)의 하방(-Z측)에 배치된다. 천장 반송차(100)는, 본체부(10)가 격자형상 궤도(R)로부터 수하된 상태로 주행한다. 본체부(10)는, 평면 뷰에서 예컨대 직사각형상으로 형성된다. 본체부(10)는, 평면 뷰에서 격자형상 궤도(R)에 있어서의 1개의 칸(C)(도 1 참조)에 수용되는 사이즈로 형성된다. 이 때문에, 서로 이웃하는 제1 궤도(R1) 또는 제2 궤도(R2)를 주행하는 다른 천장 반송차(100)와 스쳐 지나가는 공간이 확보된다. 본체부(10)는, 상부 유닛(17)과, 이재(移載; 옮겨 싣기) 장치(18)를 구비한다. 상부 유닛(17)은, 연결부(30)를 통해 주행부(20)에 매달린다. 상부 유닛(17)은, 예컨대 평면 뷰에서 직사각형상이며, 상면(17a)에 4개의 코너부를 갖는다.
[0025] 본체부(10)는, 4개의 코너부 각각에 주행 차륜(21), 연결부(30), 방향 전환 기구(機構)(34)를 갖는다. 이 구성에 있어서, 본체부(10)의 4개의 코너부에 배치된 주행 차륜(21)에 의해, 본체부(10)를 안정적으로 매달 수 있고, 또한, 본체부(10)를 안정적으로 주행시킬 수 있다.
[0026] 이재 장치(18)는, 상부 유닛(17)의 하방에 설치된다. 이재 장치(18)는, Z방향(연직 방향)의 회전축(AX1) 둘레로 회전 가능하다. 이재 장치(18)는, 물품(M)을 지지하는 물품 지지부(保持部)(13)와, 물품 지지부(13)를 연직 방향으로 승강시키는 승강 구동부(14)와, 승강 구동부(14)를 수평 방향으로 슬라이드 이동시키는 횡방향 인출(橫出) 기구(11)와, 횡방향 인출 기구(11)를 지지하는 회동부(回動部)(12)를 갖는다. 물품 지지부(13)는, 물품(M)의 플랜지부(Ma)를 파지함으로써, 물품(M)을 매달아 지지한다. 물품 지지부(13)는, 예컨대, 수평 방향으로 이동 가능한 클로부(claw部)(13a)를 갖는 척(chuck)이며, 클로부(13a)를 물품(M)의 플랜지부(Ma)의 하방으로 진입시켜, 물품 지지부(13)를 상승시킴으로써, 물품(M)을 지지한다. 물품 지지부(13)는, 와이어 또는 벨트 등의 행잉 부재(13b)에 접속되어 있다.
[0027] 승강 구동부(14)는, 예컨대 호이스트(hoist)이며, 행잉 부재(13b)를 풀어냄으로써 물품 지지부(13)를 하강시키고, 행잉 부재(13b)를 감음으로써 물품 지지부(13)를 상승시킨다. 승강 구동부(14)는, 제어부(50)에 의해 제어되어, 소정의 속도로 물품 지지부(13)를 하강 또는 상승시킨다. 또한, 승강 구동부(14)는, 제어부(50)에 의해 제어되어, 물품 지지부(13)를 목표 높이로 유지한다.
[0028] 횡방향 인출 기구(11)는, 예컨대 Z방향으로 겹쳐 배치된 복수의 가동판(可動板)을 갖는다. 가동판은, X방향으로 상대적으로 이동 가능하다. 최하층의 가동판에는, 승강 구동부(14)가 부착되어 있다. 횡방향 인출 기구(11)는, 미도시된 구동 장치에 의해 가동판을 이동시키고, 최하층의 가동판에 부착된 승강 구동부(14) 및 물품 지지부(13)를 예컨대, 천장 반송차(100)의 주행 방향에 대해 직교하는 수평 방향으로 횡방향으로 내보내게 하는(슬라이드 이동시키는) 것이 가능하다.
[0029] 회동부(12)는, 횡방향 인출 기구(11)와 상부 유닛(17) 사이에 설치된다. 회동부(12)는, 회동 부재(12a)와, 회동 구동부(12b)를 갖는다. 회동 부재(12a)는, 연직 방향의 축 둘레 방향으로 회동 가능하게 설치된다. 회동 부재(12a)는, 횡방향 인출 기구(11)를 지지한다. 회동 구동부(12b)는, 예컨대 전동 모터 등이 이용되며, 회동 부재(12a)를 회전축(AX1)의 축 둘레 방향으로 회동시킨다. 회동부(12)는, 회동 구동부(12b)로부터의 구동력에 의해 회동 부재(12a)를 회동시켜, 횡방향 인출 기구(11)(승강 구동부(14) 및 물품 지지부(13))를 회전축(AX1)의 축 둘레 방향으로 회전시킬 수 있다.
[0030] 또한, 도 2에 나타낸 바와 같이, 이재 장치(18) 및 이재 장치(18)로 지지하고 있는 물품(M)을 둘러싸도록 커버(W)가 설치되어도 된다. 커버(W)는, 하단(下端)을 개방한 통형상이며, 또한, 횡방향 인출 기구(11)의 가동판이 돌출되는 부분을 잘라낸 형상을 갖고 있다. 커버(W)는, 상단(上端)이 회동부(12)의 회동 부재(12a)에 부착되어 있고, 회동 부재(12a)의 회동에 따라 회전축(AX1)의 축 둘레로 회동한다.
[0031] 주행부(20)는, 주행 차륜(21)과, 보조 차륜(22)을 갖는다. 주행 차륜(21)은, 상부 유닛(17)(본체부(10))의 상면(17a)의 4개의 코너부에 각각 배치된다. 주행 차륜(21) 각각은, 연결부(30)에 설치된 차축에 부착되어 있다. 차축은, XY 평면을 따라 평행 또는 대략 평행하게 설치되어 있다. 주행 차륜(21) 각각은, 후술하는 주행 구동부(33)의 구동력에 의해 회전 구동한다. 주행 차륜(21) 각각은, 궤도(R)에 있어서, 제1 궤도(R1), 제2 궤도(R2), 및 교차부(R3)의 주행면(R1a, R2a, R3a)을 굴러서 이동(轉動)하며, 천장 반송차(100)를 주행시킨다. 또한, 4개의 주행 차륜(21) 모두가 주행 구동부(33)의 구동력에 의해 회전 구동하는 것에 한정되지 않고, 4개의 주행 차륜(21) 중 일부에 대해 회전 구동시키는 구성이어도 된다.
[0032] 주행 차륜(21)은, 선회축(AX2)을 중심으로 하여 θZ방향으로 선회 가능하게 설치된다. 천장 반송차(100)는, 후술하는 방향 전환 기구(34)에 의해 θZ방향으로 주행 차륜(21)을 선회시켜, 주행 방향을 변경할 수 있다. 보조 차륜(22)은, 주행 차륜(21)의 주행 방향의 앞뒤로 각각 1개씩 배치된다. 보조 차륜(22) 각각은, 주행 차륜(21)과 마찬가지로, XY 평면을 따라 평행 또는 대략 평행한 차축의 축 둘레로 회전 가능하게 되어 있다. 보조 차륜(22)의 하단은, 주행 차륜(21)의 하단보다 높아지도록 설정되어 있다. 따라서, 주행 차륜(21)이 주행면(R1a, R2a, R3a)을 주행하고 있을 때는, 보조 차륜(22)은, 주행면(R1a, R2a, R3a)에 접촉하지 않는다. 또한, 주행 차륜(21)이 틈새(GP)(도 1 참조)를 통과할 때에는, 보조 차륜(22)이 주행면(R1a, R2a, R3a)에 접촉하여, 주행 차륜(21)이 빠지는 것을 억제하고 있다. 또한, 1개의 주행 차륜(21)에 2개의 보조 차륜(22)을 설치하는 것에 한정되지 않고, 예컨대, 1개의 주행 차륜(21)에 1개의 보조 차륜(22)이 설치되어도 되고, 보조 차륜(22)이 설치되지 않아도 된다.
[0033] 도 3에 나타낸 바와 같이, 연결부(30)는, 본체부(10)의 상부 유닛(17)과 주행부(20)를 연결한다. 연결부(30)는, 상부 유닛(17)(본체부(10))의 상면(17a)의 4개의 코너부에 각각 설치된다. 이 연결부(30)에 의해 본체부(10)는, 주행부(20)에 매달린 상태가 되어, 격자형상 궤도(R)보다 하방에 배치된다. 연결부(30)는, 지지 부재(31)와, 접속 부재(32)를 갖는다. 지지 부재(31)는, 주행 차륜(21)의 회전축 및 보조 차륜(22)의 회전축을 회전 가능하게 지지한다. 지지 부재(31)에 의해, 주행 차륜(21)과 보조 차륜(22) 간의 상대 위치를 유지한다. 지지 부재(31)는, 예컨대 판형상으로 형성되며, 틈새(GP)(도 1 참조)를 통과할 수 있는 두께로 형성된다.
[0034] 접속 부재(32)는, 지지 부재(31)로부터 하방으로 연장되어 상부 유닛(17)의 상면(17a)에 연결되어, 상부 유닛(17)을 지지한다. 접속 부재(32)는, 후술하는 주행 구동부(33)의 구동력을 주행 차륜(21)에 전달하는 전달 기구를 내부에 구비한다. 이 전달 기구는, 체인 또는 벨트가 사용되는 구성이어도 되고, 기어열이 사용되는 구성이어도 된다. 접속 부재(32)는, 선회축(AX2)을 중심으로 하여 θZ방향으로 선회 가능하게 설치된다. 이 접속 부재(32)가 선회축(AX2)을 중심으로 하여 선회함으로써, 지지 부재(31)를 통해 주행 차륜(21)을 선회축(AX2) 둘레의 θZ방향으로 선회시킬 수 있다.
[0035] 연결부(30)(도 2 참조)에는, 주행 구동부(33)와, 방향 전환 기구(34)가 설치된다. 주행 구동부(33)는, 접속 부재(32)에 장착된다. 주행 구동부(33)는, 주행 차륜(21)을 구동하는 구동원이며, 예컨대 전동 모터 등이 이용된다. 4개의 주행 차륜(21)은, 각각 주행 구동부(33)에 의해 구동되는 구동륜이다. 4개의 주행 차륜(21)은, 동일 또는 거의 동일한 회전수가 되도록 제어부(50)에 의해 제어된다. 또한, 4개의 주행 차륜(21) 중 어느 것을 구동륜으로서 사용하지 않는 경우, 구동륜으로서 사용하지 않는 주행 차륜(21)의 접속 부재(32)는, 주행 구동부(33)에 장착되지 않는다.
[0036] 방향 전환 기구(34)는, 연결부(30)의 접속 부재(32)를, 선회축(AX2)을 중심으로 하여 선회시킴으로써, 주행 차륜(21)을 선회축(AX2) 둘레의 θZ방향으로 선회시킨다. 주행 차륜(21)을 θZ방향으로 선회시킴으로써, 천장 반송차(100)의 주행 방향을 제1 방향(D1)으로 하는 제1 상태로부터 주행 방향을 제2 방향(D2)으로 하는 제2 상태로, 또는 주행 방향을 제2 방향(D2)으로 하는 제2 상태로부터 주행 방향을 제1 방향(D1)으로 하는 제1 상태로 전환하는 것이 가능하다.
[0037] 방향 전환 기구(34)는, 구동원(35)과, 피니언 기어(36)와, 랙(rack)(37)을 갖는다. 구동원(35)은, 주행 구동부(33)에 있어서 선회축(AX2)에서 떨어진 측면에 부착되어 있다. 구동원(35)은, 예컨대 전기 모터 등이 이용된다. 피니언 기어(36)는, 구동원(35)의 하면측에 부착되어 있고, 구동원(35)에서 발생한 구동력에 의해 θZ방향으로 회전 구동한다. 피니언 기어(36)는, 평면 뷰에서 원형상이며, 외주(外周)의 둘레 방향(周方向)으로 복수의 톱니를 갖는다. 랙(37)은, 상부 유닛(17)의 상면(17a)에 고정된다. 랙(37)은, 상부 유닛(17)의 상면(17a)의 4개의 코너부에 각각 설치되고, 주행 차륜(21)의 선회축(AX2)을 중심으로 한 원호형상(부채꼴형상)으로 설치된다. 랙(37)은, 외주의 둘레 방향으로, 피니언 기어(36)의 톱니와 맞물리는 복수의 톱니를 갖는다.
[0038] 피니언 기어(36) 및 랙(37)은, 서로의 톱니가 맞물린 상태로 배치된다. 피니언 기어(36)가 θZ방향으로 회전함으로써, 랙(37)의 외주를 따르도록 피니언 기어(36)가 선회축(AX2)을 중심으로 하는 원주 방향(圓周方向)으로 이동한다. 이 피니언 기어(36)의 이동에 따라, 접속 부재(32)가 선회하며, 주행 구동부(33) 및 방향 전환 기구(34)가 피니언 기어(36)와 함께 선회축(AX2)을 중심으로 하는 원주 방향으로 선회한다.
[0039] 방향 전환 기구(34)의 선회에 따라, 상면(17a)의 4개의 코너부에 배치된 주행 차륜(21) 및 보조 차륜(22) 각각이 선회축(AX2)을 중심으로 하여 θZ방향으로 90도의 범위에서 선회한다. 방향 전환 기구(34)의 구동은, 제어부(50)에 의해 제어된다. 제어부(50)는, 4개의 주행 차륜(21)의 선회 동작을 동일한 타이밍에 행하도록 지시해도 되고, 다른 타이밍에 행하도록 지시해도 된다. 주행 차륜(21) 및 보조 차륜(22)을 선회시킴으로써, 주행 차륜(21)이 제1 궤도(R1) 및 제2 궤도(R2) 중 한쪽에 접촉한 상태로부터 다른 쪽에 접촉한 상태로 이행된다. 다시 말해, 주행 차륜(21)의 회전축의 방향이 제1 방향(D1) 및 제2 방향(D2) 중 한쪽으로 된 상태로부터 다른 쪽으로 된 상태로 이행된다. 이 때문에, 천장 반송차(100)의 주행 방향을 제1 방향(D1)(X방향)으로 하는 제1 상태와, 주행 방향을 제2 방향(D2)(Y방향)으로 하는 제2 상태 사이에서 전환할 수 있다.
[0040] 도 4는, 제1 실시형태에 따른 보관부(60)의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 5는, 보관부의 일례를 나타내는 상면도이다. 반송 시스템(SYS)은, 물품(M)을 보관하는 보관부(60)를 구비한다. 보관부(60)는, 오버 헤드 버퍼(Over Head Buffer; OHB)이다. 보관부(60)는, 격자형상 궤도(R)의 하방에 설치된다. 본 실시형태에서는, 보관부(60)가, 하나의 단일체인 보관 유닛(60U)인 예를 중심으로 설명한다. 보관 유닛(60U)(보관부(60))은, 서스펜딩 부재(61)와, 연결 부재(62)와, 프레임 단일체(63U)(프레임(63))와, 물품(M)을 올려놓는 재치부(64)(도 5 참조)와, 발판부(65)를 구비한다. 재치부(64) 및 발판부(65)는, 프레임 단일체(63U)(프레임(63))에 있어서의 칸(C)의 하방에 설치된다. 보관 유닛(60U)은, 격자형상 궤도(R)의 하방의 임의의 장소에, 1개 이상 설치할 수 있다. 보관 유닛(60U)은, 격자형상 궤도(R)에 대해 착탈 가능하다.
[0041] 보관 유닛(60U)은, 평면 뷰에 있어서 적어도 1개의 칸(C)을 둘러싸도록 형성되어 있다. 보관 유닛(60U)의 외주의 형상은, 평면 뷰에 있어서, 격자형상 궤도(R)에 있어서의 복수의 칸(C)의 외주의 형상과 거의 일치하도록 설정된다. 이 구성에 의해, 천장 반송차(100)의 주행을 저해하지 않고, 보관 유닛(60U)을 설치하는 것이 가능해진다. 보관 유닛(60U)의 형상 및 크기는, 도시된 구성예에서는, 평면 뷰에 있어서, X방향에 있어서의 칸(C)의 수를 3으로 하고, Y방향에 있어서의 칸(C)의 수를 2로 한 3×2개의 칸(C)에 있어서의 외주의 형상 및 크기와 거의 일치하도록 설정되어 있다. 또한, 보관 유닛(60U)의 형상은 임의이며, 상술한 구성예에 한정되지 않는다. 예컨대, 보관 유닛(60U)은, 평면 뷰에 있어서, X방향에 있어서의 칸(C)의 수가 m(m은 1 이상의 정수(整數)), Y방향에 있어서의 칸(C)의 수가 n(n은 1 이상의 정수)인 m×n의 칸(C)에 있어서의 외주의 형상 및 크기와 거의 일치하도록 설정되어도 된다. 또한, 보관 유닛(60U)의 형상의 다른 예에 대해서는, 뒤에서 설명한다.
[0042] 보관 유닛(60U)은, 복수의 서스펜딩 부재(61)에 의해, 격자형상 궤도(R)에 매달려 설치된다. 각 서스펜딩 부재(61)는, 접속부(61A)와, 막대형상부(61B)와, 고정부(61C)를 구비한다(도 4 참조). 각 서스펜딩 부재(61)는, 동일한 구성이다. 도 6은, 격자형상 궤도(R)와 서스펜딩 부재(61)의 접속 부분을 나타내는 -Y방향에서 본 측면도이다. 도 7은, 서스펜딩 부재(61)와 프레임의 접속 부분을 나타내는 사시도이다. 서스펜딩 부재(61)는, 교차부(R3)로부터 수하하여 설치된다(도 6 참조). 서스펜딩 부재(61)는, 천장 반송차(100)가 주행할 때, 천장 반송차(100)와 간섭하지 않는 위치에 설치된다. 접속부(61A)는, 교차부(R3)의 하방에 설치된 접속 부재(59)에 접속된다. 접속 부재(59)는 평면 뷰에 있어서 교차부(R3)의 중심부에 설치되고, 접속부(61A)는, 평면 뷰에 있어서 교차부(R3)의 중심부에 접속된다. 접속부(61A)와 교차부(R3)는, 볼트 및 너트 등의 기구를 가지며, 착탈 가능하게 구성된다.
[0043] 막대형상부(61B)는, 일직선으로 연장되는 막대형상의 부재이다. 막대형상부(61B)는 연직 방향을 따라 배치된다. 막대형상부(61B)의 상단은, 접속부(61A)의 하단에 접속된다. 접속부(61A)와 막대형상부(61B)는, 볼트 및 너트 등의 기구를 가지며, 착탈 가능하게 구성된다.
[0044] 막대형상부(61B)의 하단에는, 고정부(61C)가 설치된다(도 7 참조). 고정부(61C)는, 프레임 단일체(63U)를 고정한다. 고정부(61C)는, 2개의 판형상 부재(61D)와, 체결 부재(61F)를 갖는다. 고정부(61C)는, 2개의 판형상 부재(61D)에 의해, 개재(介在) 부재(61E)를 사이에 두고 프레임 단일체(63U)를 상하에서 끼워 넣어 체결 부재(61F)에 의해 고정한다. 2개의 판형상 부재(61D)는, 막대형상부(61B)에 고정된다. 1개의 고정부(61C)에는, 4개의 프레임 단일체(63U) 각각에 있어서의 1개의 코너(모서리)부(63A)를 고정할 수 있다. 이 구성에 의하면, 1개의 서스펜딩 부재(61)에 의해 최대 4개의 보관 유닛(60U)의 프레임 단일체(63U)를 부착할 수 있으므로, 복수의 보관 유닛(60U)을 고밀도로 인접하여 설치할 수 있다. 고정부(61C)와 막대형상부(61B)는, 착탈 가능하게 구성된다. 고정부(61C)와 프레임 단일체(63U)는, 착탈 가능하게 구성된다. 서스펜딩 부재(61)는, 상술한 구성에 의해, 프레임 단일체(63U)를 교차부(R3)에 매단 상태로 지지한다. 또한, 서스펜딩 부재(61) 및 프레임 단일체(63U)는, 상술한 구성에 의해, 교차부(R3)에 대해 착탈 가능해진다.
[0045] 상술한 바와 같이, 서스펜딩 부재(61)를 교차부(R3)로부터 수하하여 설치하는 구성인 경우, 서스펜딩 부재(61)가 천장 반송차(100)의 주행을 방해하는 일 없이 서스펜딩 부재(61)를 배치하여, 보관 유닛(60U)을 설치할 수 있다. 본 실시형태에서는, 천장 반송차(100)가 서스펜딩 부재(61)와 서스펜딩 부재(61) 사이를 통과할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 서스펜딩 부재(61)는, 상술한 구성에 한정되지 않고, 다른 구성이어도 된다. 예컨대, 서스펜딩 부재(61)는, 제1 궤도(R1) 또는 제2 궤도(R2)에 접속되는 구성이어도 된다.
[0046] 서스펜딩 부재(61)의 위치 및 수는, 프레임 단일체(63U), 재치부(64) 등의 보관 유닛(60U)의 각부의 형상, 크기, 중량 등의 구성에 따라, 적절히 설정된다. 도시된 구성예에서는, 서스펜딩 부재(61)는, 프레임 단일체(63U)를 균등하게 지지하도록 설치된다. 서스펜딩 부재(61)는, 평면 뷰에 있어서, 보관 유닛(60U)의 외주를 형성하는 부분 등에 복수 설치된다. 서스펜딩 부재(61)는, 평면 뷰에 있어서, 보관 유닛(60U)의 외주 부분에 상당하는 직사각형상의 각각의 모서리부 등에 설치되어 있고, 또한, 평면 뷰에 있어서, 보관 유닛(60U)의 중심에 대해 회전 대칭으로 배치되어 있다. 또한, 서스펜딩 부재(61)의 위치는, 상술한 예에 한정되지 않고, 예컨대, 평면 뷰에 있어서 보관 유닛(60U)의 내측의 부분에 설치되어도 된다.
[0047] 도 8은, 연결 부재(62)의 일례를 나타낸 도면이다. 도 8은, 연결 부재(62)를 -Y측에서 보았을 때의 도면이다. 연결 부재(62)는, 서로 이웃하는 서스펜딩 부재(61)끼리 연결한다. 서로 이웃하는 서스펜딩 부재(61)끼리 연결함으로써, 서스펜딩 부재(61)의 이동을 규제할 수 있어, 보관 유닛(60U)의 흔들림을 억제할 수 있다. 연결 부재(62)의 형상은, 도시된 구성예에서는, 복수의 윈도우부(窓部)(62A)를 갖는 직사각형 판 형상이다. 이 구성인 경우, 연결 부재(62)의 강도를 유지하면서 중량을 억제할 수 있고, 또한, 윈도우부(62A)에 의해, 연결 부재(62)의 차폐로 인한 시인성(視認性)의 악화를 억제할 수 있다. 또한, 천장 반송차(100)는, 연결 부재(62)를 통과하는 것은 불가능하지만, 연결 부재(62)에 인접한 각 칸(C)으로는 이동 가능하다.
[0048] 연결 부재(62)는, 서스펜딩 부재(61)의 막대형상부(61B)에 대해 착탈 가능하게 구성된다. 연결 부재(62)는, 막대형상부(61B)와 접속되는 접속부(62B)를 갖고 있다. 도시된 구성예에서는, 접속부(62B)는, 연결 부재(62)의 네 모서리에 설치된다.
[0049] 도 9의 (A) 및 (B)는, 연결 부재(62)와 서스펜딩 부재(61)의 접속 부분을 나타내는 사시도이다. 도 9의 (A)는 -Y측에서 보았을 때의 사시도이고, 도 9의 (B)는 +Y측에서 보았을 때의 사시도이다. 도 9의 (A) 및 (B)에서는, 도 8에 나타낸 연결 부재(62)의 4개의 접속부(62B) 중 +Z측이자 +X측에 배치되는 1개를 확대하여, 2개의 방향에서 본 도면을 나타내고 있다.
[0050] 접속부(62B)는, 서스펜딩 부재(61)의 막대형상부(61B)의 일부분에 접속된다. 접속부(62B)는, 막대형상부(61B)의 외주부를 둘러싸도록, 막대형상부(61B)에 접속된다. 접속부(62B)는, 또한, 막대형상부(61B)에서 분리할 수 있다. 접속부(62B)는 볼트 등의 고정 부재(62C)에 의해 상하에서 나사로 고정됨으로써 막대형상부(61B)에 고정되고, 연결 부재(62)의 상하 방향의 위치는 고정된다. 상술한 연결 부재(62)의 구성에 의하면, 용이하게 연결 부재(62)를 설치할 수 있다.
[0051] 또한, 연결 부재(62)의 구성은, 서스펜딩 부재(61)끼리 연결할 수 있는 구성이면, 상술한 구성에 한정되지 않는다. 또한, 연결 부재(62)는 임의의 구성으로, 없어도 된다.
[0052] 프레임 단일체(63U)는, 프레임(63)이다. 프레임 단일체(63U)는, 1개의 보관 유닛(60U)의 구성에 사용되는 프레임이다. 프레임 단일체(63U)는, 보관 유닛(60U)에 있어서의 하방의 위치에 배치된다(도 4 참조). 프레임 단일체(63U)는, 서스펜딩 부재(61)에 의해, 격자형상 궤도(R)에 매달려 설치된다. 프레임 단일체(63U)는, 상술한 바와 같이, 복수의 서스펜딩 부재(61)에 의해 매달려 있다. 프레임 단일체(63U)는, 서스펜딩 부재(61)의 하부에 설치된다. 프레임 단일체(63U)는, 주행 시의 천장 반송차(100)의 위치(도 3에 나타낸 실선의 위치)보다 하방에 배치된다. 프레임 단일체(63U)는, 보관 유닛(60U)의 각부를 지지하는 베이스가 된다. 프레임 단일체(63U)는, 수평을 따른 방향으로 배치된다. 프레임 단일체(63U)는, 복수의 부재에 의해 구성된다.
[0053] 프레임 단일체(63U)는, 평면 뷰에 있어서 적어도 1개의 칸(C)을 둘러싸도록 형성되어 있다. 프레임 단일체(63U)는, 평면 뷰에 있어서 복수의 칸(C)을 둘러싸도록 형성된다. 본 실시형태의 프레임 단일체(63U)에서는, 평면 뷰에 있어서, X방향에 있어서의 칸(C)의 수를 3으로 하고, Y방향에 있어서의 칸(C)의 수를 2로 한 3×2의 합계 6개의 칸(C)을 둘러싼다. 프레임 단일체(63U)의 외주는, 평면 뷰에 있어서 복수의 칸(C)(본 실시형태에서는 6개)에 있어서의 외주와 거의 일치하도록 설정되어 있다. 이 구성에 의해, 천장 반송차(100)의 주행을 저해하지 않고, 보관 유닛(60U)을 설치하는 것이 가능해진다.
[0054] 프레임 단일체(63U)는, 평면 뷰에 있어서, 적어도, 보관 유닛(60U)의 외주를 형성하는 부분에 배치된다. 도시된 구성예에서는, 프레임 단일체(63U)는, 평면 뷰에 있어서, 적어도, 보관 유닛(60U)의 외주를 형성하는 직사각형상의 4변의 부분에 배치된다. 또한, 프레임 단일체(63U)의 구성은, 상술한 구성예에 한정되지 않는다. 예컨대, 프레임 단일체(63U)의 외주는, 평면 뷰에 있어서 직사각형상이 아니어도 된다.
[0055] 재치부(64)(도 4, 도 5 참조)에 대해 설명한다. 보관 유닛(60U)은, 1개의 물품(M)을 올려놓을 수 있는 재치부(64)를 복수 구비하고 있다. 각 재치부(64)에는, 천장 반송차(100)에 의해 물품(M)이 놓인다. 각 재치부(64)는, 프레임 단일체(63U)의 내측에 설치된다. 프레임 단일체(63U)의 내측은, 평면 뷰에 있어서의 프레임 단일체(63U)의 내측의 영역이다. 1개의 재치부(64)는, 평면 뷰에 있어서, 물품(M)의 외주와 동일한 크기로 설정된다.
[0056] 복수의 재치부(64)는, 도 5의 구성예에서는, 수평으로 배치되며 또한 서로 평행한 위치 관계로 배치된 복수의 막대형상 부재(64A) 등에 의해 형성된다. 각 막대형상 부재(64A)는, 프레임 단일체(63U)에 고정된다. 막대형상 부재(64A)는, 프레임 단일체(63U)의 보(beam)로서도 기능한다. 각 막대형상 부재(64A)의 상면은, 평면형상이며, 물품(M)을 올려놓는 재치면이 된다. 1개의 물품(M)은, 2개의 막대형상 부재(64A)에 의해 하방으로부터 지지된다. 각 물품(M)은, 각 물품(M)에 있어서의 중심으로부터 +Y방향으로 벗어난 부분 및 -Y방향으로 벗어난 부분이 2개의 막대형상 부재(64A)에 의해 하방으로부터 지지됨으로써, 재치부(64)에 놓인다. 2개의 막대형상 부재(64A)는, 도시된 구성예에서는, X방향을 따라, 서로 평행한 위치에 배치된다. 재치부(64)가 상기의 막대형상 부재(64A)에 의해 구성되는 경우, 판형상의 부재에 물품(M)을 올려놓는 구성과 비교하여, 보관 유닛(60U)의 중량을 억제할 수 있고, 또한, 클린 룸 등에 이용되는 수직층류(다운플로(downflow))의 흐름이 차단되는 것을 억제할 수 있다.
[0057] 각 막대형상 부재(64A)의 상면에는, 물품(M)을 위치결정할 수 있는 키네마틱 핀(kinematic pin) 등의 위치결정 기구(미도시)가 설치되어 있다. 위치결정 기구는, 1개의 재치부(64)마다 설치되어 있다. 각 재치부(64)는, 위치결정 기구에 의해 물품(M)을 위치결정하여 올려놓을 수 있다.
[0058] 재치부(64)는, 평면 뷰에 있어서 프레임 단일체(63U)가 둘러싸는(내측에 수용되는) 복수의 칸(C)의 수보다 많이 설치되어 있다. 도시된 구성예에서는, 재치부(64)의 수는, X방향으로 4열, Y방향으로 3열인 4×3의 합계 12이다. 도시된 구성예에서는, 복수의 재치부(64)는 프레임 단일체(63U)의 내측의 영역에 있어서 설치 가능한 최대수가 설치되어 있다. 이 구성인 경우, 재치부(64)를 고밀도로 설치할 수 있다.
[0059] 서로 이웃하는 재치부(64) 상호 간에는, 소정의 간격이 형성되어 있다. 이 간격은, 천장 반송차(100)에 의해 물품(M)을 재치부(64)로 반송할 때, 물품(M)이 충돌하지 않도록 형성되는 간격이다. 복수의 재치부(64)는, 평면 뷰에 있어서 프레임 단일체(63U)의 내측에 있어서의 소정의 영역 AR1에 한데 모여 설치되어 있다. 영역 AR1은, 하나의 연속된 영역이다. 영역 AR1은, 본 실시형태의 구성예에서는, 평면 뷰에 있어서 직사각형상으로 설정된다. 복수의 재치부(64)가 소정의 영역 AR1에 한데 모여 설치되는 구성인 경우, 재치부(64)를 고밀도로 설치할 수 있고, 또한, 발판부(65)를 설치하기 위한 한데 모인 영역을 확보할 수 있다. 본 실시형태의 구성예에서는, 영역 AR1은, 평면 뷰에 있어서, 프레임 단일체(63U)의 외주를 따른 코너 부분에 배치되어 있다. 이 구성인 경우, 프레임 단일체(63U)의 내측의 공간을 재치부(64) 및 발판부(65)에 대해 효과적으로 이용할 수 있다.
[0060] 재치부(64)의 평면 뷰에서의 크기는 물품(M)의 형상에 따라 설정되고, 복수의 재치부(64)의 영역 AR1은 최대수의 재치부(64)가 포함되도록 한데 모여 설치되어 있다. 또한, 평면 뷰에 있어서, 천장 반송차(100)가 격자형상 궤도(R)의 1개의 칸(C) 내에 수용되도록 구성되어 있다. 또한, 평면 뷰에 있어서의 1개의 재치부(64)의 중심과 칸(C)의 중심이 어긋나게 배치되는 경우에 있어서도, 각 재치부(64)에는, 천장 반송차(100)의 횡방향 인출 기구(11)에 의해 물품(M)을 올려놓을 수 있다. 이와 같이, 본 실시형태의 복수의 재치부(64)는, 격자형상 궤도(R)의 칸(C)에 관계없이, 고밀도로 배치된다.
[0061] 또한, 재치부(64)의 구성은, 물품(M)을 올려놓는 것이 가능하면, 상술한 구성예에 한정되지 않는다. 예컨대, 영역 AR의 크기 및 형상은, 각각, 임의이다. 또한, 재치부(64)는, 막대형상 부재(64A)에 의해 구성되는 구성에 한정되지 않고, 예컨대, 판형상의 부재에 의해 구성되어도 된다. 재치부(64)의 다른 구성에 대해서는 뒤에서 설명한다.
[0062] 발판부(65)(도 4, 도 5 참조)에 대해 설명한다. 발판부(65)는, 프레임 단일체(63U)의 내측에 설치된다. 발판부(65)는, 평면 뷰에 있어서 복수의 칸(C)을 걸치도록 형성되어 있다. 발판부(65)는, 작업자(U)가 보행 가능한 통로이다. 또한, 발판부(65)는, 작업자(U)의 발판으로서 이용된다. 발판부(65)는, 예컨대, 작업자(U)에 의한 반송 시스템(SYS)의 메인터넌스 작업의 발판으로서 이용된다. 반송 시스템(SYS)의 메인터넌스는, 예컨대 천장 반송차(100)의 메인터넌스, 격자형상 궤도(R)의 메인터넌스, 보관 유닛(60U) 자체의 메인터넌스 등이다. 발판부(65)는, 작업자(U)를 지지할 수 있도록 구성된다. 발판부(65)의 내하중은, 적어도 인간의 중량 이상이다. 발판부(65)는, 예컨대, 그레이팅(grating), 펀칭 메탈 등과 같은 복수의 구멍을 갖는 부재이다. 발판부(65)는, 프레임 단일체(63U) 및 막대형상 부재(64A)에 고정된다. 발판부(65)가 상기의 복수의 구멍을 갖는 부재인 경우, 판형상 부재와 비교하여, 중량을 억제할 수 있고, 또한, 클린 룸 등에 이용되는 수직층류(다운플로)의 흐름이 차단되는 것을 억제할 수 있다.
[0063] 발판부(65)는, 복수의 재치부(64)의 영역 AR1 이외의 영역에 설치된다. 발판부(65)는, 작업자(U)가 발판부(65)에 있어서, 프레임 단일체(63U)의 내측의 천장 반송차(100), 격자형상 궤도(R), 및 복수의 재치부(64) 등에 도달하는 것이 가능한 위치에 배치된다. 본 실시형태의 보관 유닛(60U)은, 발판부(65)에 있어서, 작업자(U)가 프레임 단일체(63U)의 내측의 천장 반송차(100), 격자형상 궤도(R), 및, 복수의 재치부(64) 등에 손이 닿도록, 형성되어 있다. 발판부(65)는, 제1 발판부(65A)와, 제2 발판부(65B)를 구비한다(도 5 참조). 제1 발판부(65A)는, 수평 방향 중 제1 방향(D1)(X방향)을 기다란 형상으로 하고 있다. 제2 발판부(65B)는, 제1 방향(D1)에 직교하는 수평 방향 중 제2 방향(D2)(Y방향)을 기다란 형상으로 하고 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 제1 발판부(65A)와 제2 발판부(65B)는, 평면 뷰에 있어서 L자형으로 배치되어 있다. 상술한 바와 같이, 프레임 단일체(63U)(프레임(63))가, 발판부(65)로서, 제1 방향을 기다란 형상으로 한 제1 발판부(65A)와, 제2 방향을 기다란 형상으로 한 제2 발판부(65B)를 구비하는 구성인 경우, 발판부(65)가 두 방향으로 형성되므로, 발판부(65)가 한 방향으로만 형성되는 구성과 비교하여, 프레임 단일체(63U)의 내측에 발판부(65)를 효과적으로 형성할 수 있다.
[0064] 제1 방향(D1)에 있어서, 제2 발판부(65B)의 사이즈 L1(통로폭)은, 1개의 재치부(64)(영역 AR1)의 길이(사이즈) L2보다 작고, 제2 방향(D2)에 있어서, 제1 발판부(65A)의 사이즈 L3(통로폭)은, 1개의 재치부(64)(영역 AR1)의 길이(사이즈) L4보다 작게 설정되어 있다(도 5 참조). 제1 발판부(65A)의 통로폭 L3이, 재치부(64)의 제2 방향(D2)의 길이 L4보다 짧고, 제2 발판부(65B)의 통로폭 L1은, 재치부의 제1 방향(D1)의 길이 L2보다 짧은 구성에서는, 프레임 단일체(63U)의 내측에 있어서, 재치부(64)를 설치할 수 없는 기다란 형상의 공간을, 발판부(65)로서 효과적으로 활용할 수 있다. 본 실시형태에서는, 발판부(65)는, 프레임 단일체(63U)의 내측에 있어서, 상술한 바와 같이 최대수의 복수의 재치부(64)를 설치한 영역 AR1 이외의 영역에 설치되어 있다. 이 구성인 경우, 고밀도로 재치부(64)를 설치하면서, 발판부(65)의 공간을 효과적으로 확보할 수 있다.
[0065] 제1 발판부(65A)와 제2 발판부(65B)는, 서로의 일부가 접속 또는 근접하여 배치되어 있다. 이 구성인 경우, 작업자(U)는, 제1 발판부(65A)와 제2 발판부(65B) 간의 이동을 용이하게 행할 수 있다. 제1 발판부(65A) 및 제2 발판부(65B) 중 한쪽 또는 양쪽 모두는, 단부가 프레임 단일체(63U)의 외측 가장자리 근방까지 연장되어 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 발판부(65A) 및 제2 발판부(65B) 양쪽 모두는, 각각, 양 단부가 프레임 단일체(63U)의 외측 가장자리 근방까지 연장되어 설치되어 있다. 제1 발판부(65A) 및 제2 발판부(65B) 중 한쪽 또는 양쪽 모두의 단부가 프레임 단일체(63U)의 외측 가장자리 근방까지 연장되어 설치되는 구성에서는, 프레임 단일체(63U)의 외부로부터 프레임 단일체(63U)의 내부의 발판부(65)로 용이하게 도달할 수 있다.
[0066] 제1 발판부(65A) 및 제2 발판부(65B) 중 한쪽 또는 양쪽 모두는, 프레임 단일체(63U)를 따라 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 발판부(65A) 및 제2 발판부(65B) 양쪽 모두가, 프레임 단일체(63U)를 따라 설치되어 있다. 제1 발판부(65A) 및 제2 발판부(65B) 중 한쪽 또는 양쪽 모두가, 프레임 단일체(63U)를 따라 설치되는 구성에서는, 프레임 단일체(63U)를 따른 강도가 높은 부분에 발판부(65)가 배치되므로, 발판부(65)의 강도를 확보할 수 있다.
[0067] 본 실시형태에서는, 상술한 바와 같이, 프레임(63)이, 평면 뷰에 있어서 복수의 칸(C)을 둘러싸도록 형성되고, 발판부(65)가, 평면 뷰에 있어서 복수의 칸(C)을 걸치도록 프레임(63)의 내측에 형성된다. 이 구성에서는, 천장 반송차(100)에 의해 물품(M)이 놓이는 보관부(60)의 공간을 보다 넓게 할 수 있고, 또한, 프레임(63)의 내측의 영역에 작업자(U)가 도달할 수 있다.
[0068] 이상의 설명과 같이, 본 실시형태의 반송 시스템(SYS) 및 보관부(60)에 의하면, 보관부(60)가 발판부(65)를 구비하므로, 보관부(60)에 있어서, 작업자(U)가 천장 반송차(100), 격자형상 궤도(R), 및 물품(M) 등에 용이하게 도달하여 유지관리할 수 있다.
[0069] [제2 실시형태]
제2 실시형태에 대해 설명한다. 본 실시형태에 있어서, 상술한 실시형태와 동일한 구성에 대해서는, 동일한 부호를 달아 설명을 적절히 생략 또는 간략화한다. 또한, 본 명세서의 실시형태에서 설명하는 사항 중, 본 실시형태에 적용 가능한 구성은, 적절히 본 실시형태에서도 적용한다.
[0070] 도 10은, 제2 실시형태의 반송 시스템(SYS2)의 일례를 나타내는 +Z측에서 보았을 때의 상면도이다. 도 11은, 제2 실시형태의 반송 시스템(SYS2)의 일례를 나타내는 사시도이다. 도 11에서는, 반송 시스템(SYS2)의 일부를 확대하여 나타내고 있다. 반송 시스템(SYS2)은, 제1 실시형태의 반송 시스템(SYS)의 보관부(60) 대신에, 보관부(60A)를 구비하고 있다. 반송 시스템(SYS2)에 있어서, 제1 실시형태의 보관부(60)(보관 유닛(60U)) 이외의 구성은, 제1 실시형태의 반송 시스템(SYS)과 동일하다. 도 10에 나타낸 부호 「AP」는, 처리 장치이다. 처리 장치(AP)는, 예컨대, 노광 장치, 코터 디벨로퍼(coater developer), 막 제조(製膜) 장치, 에칭 장치 등이며, 주행차(V)가 반송하는 용기 내의 반도체 웨이퍼에 각종 처리를 행한다.
[0071] 보관부(60A)는, 복수의 보관 유닛(60U)을 구비하고 있다. 보관부(60A)는, X방향 및 Y방향 각각에 있어서 복수 배치된 보관 유닛(60U)을 구비하고 있다. 각 보관 유닛(60U)은, 각각, 제1 실시형태의 보관 유닛(60U)과 동일한 구조이다. 보관부(60A)가 동일한 구성의 보관 유닛(60U)을 구비하는 구성인 경우, 동일한 구성의 보관 유닛(60U)을 이용하므로, 구성을 간단히 할 수 있고 또한 제조 비용을 억제할 수 있다. 각 보관 유닛(60U)끼리는, 인접하여 배치된다. 보관부(60A)의 프레임(63)은, 서로 인접하여 배치되는 프레임 단일체(63U)의 집합체이다. 또한, 본 명세서에 있어서, 프레임(63)이란, 보관부(60, 60A)의 프레임 전체를 의미한다. 프레임(63)에 있어서 인접하는 보관 유닛(60U)에서는, 1개의 보관 유닛(60U)이 둘러싸는 X방향×Y방향의 3×2인 복수의 칸(C)도, 인접하도록 설정되어 있다. 복수의 보관 유닛(60U)에 있어서, 인접한 부분의 프레임 단일체(63U)를 매다는 서스펜딩 부재(61)는 공통이다. 보관부(60A)가 인접하여 배치되는 보관 유닛(60U)을 구비하는 구성인 경우, 고밀도로 재치부(64)를 설치하면서, 발판부(65)의 공간을 효과적으로 확보할 수 있다.
[0072] 복수의 보관 유닛(60U)에 있어서, 서로 이웃하는 보관 유닛(60U)(프레임 단일체(63U))의 발판부(65)끼리는, 작업자(U)에 의한 옮겨타기가 가능하게 근접하도록 배치된다. 이 구성인 경우, 작업자(U)는, 서로 이웃하는 보관 유닛(60U)(프레임 단일체(63U))에 있어서의 발판부(65)로 용이하게 옮겨탈 수 있다. 보관부(60A)에 있어서, 발판부(65)의 양측(수평 방향에 있어서의 발판부(65)의 양측)에는, 복수의 재치부(64)가 설치되어 있다. 발판부(65)의 양측에 재치부(64)가 설치되는 구성에서는, 작업자(U)는 발판부(65)를 통해 재치부(64)를 용이하게 유지관리할 수 있다. 보관부(60A)에 있어서, 발판부(65)는, 평면 뷰에서 고루 배치된다. 보관부(60A)에 있어서, 발판부(65)는, 평면 뷰에서 격자형상 궤도(R)의 외측 가장자리에서 격자형상 궤도(R)의 중앙부에 걸쳐 설치된다. 이 구성인 경우, 작업자(U)는 발판부(65)를 이용하여 격자형상 궤도(R)의 중앙부까지 용이하게 도달할 수 있다. 또한, 보관부(60A)에 있어서, 발판부(65)는, 평면 뷰에서 복수의 칸(C)을 걸치도록 종횡으로 형성된다. 이 구성인 경우, 작업자(U)는 발판부(65)를 이용하여 격자형상 궤도(R)의 각부에 용이하게 도달할 수 있다. 본 실시형태에 있어서는, 보관부(60A)에서는, 복수의 제1 발판부(65A)가 X방향(제1 방향(D1))을 따라 배치되고, 복수의 제2 발판부(65B)가 Y방향(제2 방향(D2))을 따라 배치된다. 보관부(60A)에서는, 서로 이웃하는 보관 유닛(60U)에 배치되며, 제1 방향(D1)에 있어서 인접하여 배치되는 제1 발판부(65A)끼리, 및, 서로 이웃하는 보관 유닛(60U)에 배치되며, 제2 방향(D2)에 있어서 인접하여 배치되는 제2 발판부(65B)끼리는, 각각, 대체로 직선 상에 배치된다. 복수의 제1 발판부(65A)는, 제1 방향(D1)에 있어서, 프레임(63)의 단부에서 대향측의 단부까지 연장되어 있다. 복수의 제2 발판부(65B)는, 제2 방향(D2)에 있어서, 프레임(63)의 단부에서 대향측의 단부까지 연장되어 있다. 또한, 복수의 제1 발판부(65A) 및 복수의 제2 발판부(65B)는, 각각, X방향(제1 방향(D1)) 및 Y방향(제2 방향(D2))에 있어서, 소정의 간격으로 배치되어 있다. 보관부(60A)에 있어서, 발판부(65)(복수의 제1 발판부(65A), 복수의 제2 발판부(65B))는, 평면 뷰에 있어서 격자형상으로 배치되는 구성을 포함한다. 상기와 같이, 발판부(65)가 평면 뷰에 있어서 격자형상으로 배치되는 구성에서는, 작업자(U)는 용이하게 통로 위(발판부(65) 위)를 이동할 수 있어, 프레임(63)의 내측의 영역의 각부(평면 뷰에 있어서의 격자형상 궤도의 중앙 영역의 각부)까지 용이하게 도달할 수 있다.
[0073] 본 실시형태의 반송 시스템(SYS2)에서는, 각 보관 유닛(60U)이 작업자(U)가 발판부(65)에 있어서, 프레임 단일체(63U)의 내측의 천장 반송차(100) 및 복수의 재치부(64)에 도달하는 것이 가능하도록 구성되어 있다. 이 구성인 경우, 보관부(60A)의 내부에서 메인터넌스 작업이 필요한 경우에 있어서도, 작업자(U)는, 보관부(60A)의 프레임을 떼어내는 등의 작업을 필요로 하지 않아, 도 11에 나타낸 바와 같이, 보관부(60A)의 내측의 영역에 위치하는 천장 반송차(100) 및 복수의 재치부(64)에 용이하게 도달할 수 있다.
[0074] 또한, 보관부(60A)에 있어서, 발판부(65)는, 보관부(60A)의 외측 가장자리 근방까지 연장되어 배치된다. 이 구성인 경우, 작업자(U)는, 보관부(60A)의 외부에서, 보관부(60A)의 내부로 용이하게 들어갈 수 있다.
[0075] 또한, 본 실시형태에서는, 상술한 바와 같이, 프레임(63)이, 서로 인접하여 복수 배치되는 프레임 단일체(63U)의 집합체이고, 서로 이웃하는 프레임 단일체(63U)끼리의 발판부(65)가, 서로 인접하도록 형성된다. 이 구성에서는, 프레임(63)이 복수의 프레임 단일체(63U)의 집합체로서 형성되므로 프레임의 강성을 확보할 수 있다. 또한, 복수의 프레임 단일체(63U)가 서로 인접하여 배치되므로, 프레임 단일체(63U)를 고밀도로 설치할 수 있다. 또한, 프레임 단일체(63U)끼리의 발판부(65)가 서로 인접하도록 형성되므로, 작업자(U)는, 서로 이웃하는 프레임 단일체(63U)에 있어서의 발판부(65)로 용이하게 옮겨탈 수 있다.
[0076] 이상의 설명과 같이, 본 실시형태의 반송 시스템(SYS2)은, 서로 인접하여 배치되는 복수의 보관 유닛(60U)을 구비한다. 이 구성에 의하면, 천장 반송차(100)의 주행을 방해하는 일 없이, 재치부(64)를 고밀도로 설치하고, 또한, 격자형상 궤도(R)로부터 수하하여 설치되는 물품(M)의 보관부(60A)에 있어서, 보관부(60A)의 내부에 위치하는 천장 반송차(100), 격자형상 궤도(R), 및 물품(M) 등에, 작업자(U)가 용이하게 도달할 수 있다.
[0077] 이상의 설명과 같이, 본 발명의 양태의 반송 시스템(SYS, SYS2)은, 제1 방향(D1)으로 연장되어 있는 복수의 제1 궤도(R1)와, 제1 방향(D1)과는 다른 제2 방향(D2)으로 연장되어 있는 복수의 제2 궤도(R2)를 가지며, 복수의 제1 궤도(R1)와 복수의 제2 궤도(R2)에 의해 복수의 칸(C)을 형성하는 격자형상 궤도(R)와, 격자형상 궤도(R)를 따라 주행하는 천장 반송차(100)와, 격자형상 궤도(R)로부터 수하하여 설치되는 서스펜딩 부재(61)와, 평면 뷰에 있어서 칸(C)을 적어도 1개 둘러싸며, 서스펜딩 부재(61)의 하부에 설치되는 프레임(63)과, 프레임(63)의 내측에 설치되며, 천장 반송차(100)에 의해 물품(M)이 놓이는 재치부(64)와, 프레임(63)의 내측에 설치되며, 작업자(U)가 보행 가능한 통로가 되는 발판부(65)를 구비한다. 상기의 구성에 의하면, 격자형상 궤도(R)로부터 수하하여 설치되는 물품(M)의 보관부(60, 60A)에 있어서, 발판부(65)가 설치되므로, 작업자(U)가 천장 반송차(100), 격자형상 궤도(R), 및 물품(M) 등에 용이하게 도달하여 유지관리할 수 있다. 또한, 반송 시스템(SYS, SYS2)에 있어서, 상기 이외의 구성은 임의의 구성이며, 상기 이외의 구성은 있어도 되고, 없어도 된다.
[0078] 또한, 본 실시형태의 보관부(60, 60A)는, 상기의 반송 시스템(SYS, SYS2)에 있어서, 물품(M)의 보관에 이용되는 보관부(60, 60A)로서, 격자형상 궤도(R)에 매달리는 서스펜딩 부재(61)와, 평면 뷰에 있어서 칸을 적어도 1개 둘러싸며, 서스펜딩 부재(61)의 하부에 설치되는 프레임(63)과, 프레임(63)의 내측에 설치되며, 천장 반송차(100)에 의해 물품(M)이 놓이는 재치부(64)와, 프레임(63)의 내측에 설치되며, 작업자(U)가 보행 가능한 통로가 되는 발판부(65)를 구비한다. 상기의 구성에 의하면, 격자형상 궤도(R)로부터 수하하여 설치되는 물품(M)의 보관부(60, 60A)에 있어서, 발판부(65)가 설치되므로, 작업자(U)가 천장 반송차(100), 격자형상 궤도(R), 및 물품(M) 등에 용이하게 도달하여 유지관리할 수 있다. 또한, 보관부(60, 60A)에 있어서, 상기 이외의 구성은 임의의 구성이며, 상기 이외의 구성은 있어도 되고, 없어도 된다.
[0079] 또한, 본 발명의 기술 범위는, 상술한 실시형태 등에서 설명한 양태에 한정되지 않는다. 상술한 실시형태 등에서 설명한 요건 중 하나 이상은, 생략되는 경우가 있다. 또한, 상술한 실시형태 등에서 설명한 요건은, 적절히 조합할 수 있다. 또한, 법령에서 허용되는 한도 내에서, 일본 특허출원인 특허출원 제2019-169526호, 및 상술한 실시형태 등에서 인용한 모든 문헌의 개시를 원용하여 본문의 기재의 일부로 한다.
[0080] 예컨대, 1개의 보관 유닛(60U)에 있어서의 복수의 재치부(64) 및 발판부(65)(제1 발판부(65A), 제2 발판부(65B))의 상술한 구성에 한정되지 않는다. 도 12 및 도 13은, 재치부(64) 및 발판부(65)의 다른 예를 나타낸 도면이다. 또한, 도 12 및 도 13에서는, 프레임(63) 등을 생략하고, 간략화하여 도시하고 있다. 예컨대, 도 12에 나타낸 바와 같이, 보관 유닛(60U)에 있어서, 복수의 재치부(64)는, 2개의 영역 AR3, AR4에 배치되어도 된다. 또한, 발판부(65)(제1 발판부(65A), 제2 발판부(65B))는, 평면 뷰에 있어서, T자형으로 설치되어도 된다. 영역 AR3, AR4는, X방향으로 2열, Y방향으로 3열인 2×3의 6개의 재치부(64)를 포함한다. 영역 AR3은, 평면 뷰에 있어서 프레임 단일체(63U)의 -X측이자 +Y측에 설치된다. 영역 AR4는, 평면 뷰에 있어서 프레임 단일체(63U)의 +X측이자 +Y측에 설치된다. 제1 발판부(65A), 제2 발판부(65B)는, 각각, 단부가 프레임 단일체(63U)의 외측 가장자리 근방까지 연장되어 설치되어 있다. 제1 발판부(65A)는, 프레임 단일체(63U)를 따라 설치되어 있다. 제2 발판부(65B)는, 프레임 단일체(63U)의 X방향에 있어서의 중앙부에 설치되어 있다. 제1 발판부(65A)와 제2 발판부(65B)는, 서로의 일부가 접속 또는 근접하여 배치되어 있다. 2개의 보관 유닛(60U)에 있어서, 제1 발판부(65A)끼리는, 작업자(U)에 의한 옮겨타기가 가능하게 근접해 있다.
[0081] 또한, 도 13에 나타낸 바와 같이, 보관 유닛(60U)에 있어서, 복수의 재치부(64)는, 4개의 영역 AR5, AR6, AR7, AR8에 배치되어도 된다. 또한, 발판부(65)(제1 발판부(65A), 제2 발판부(65B))는, 평면 뷰에 있어서, 십자형으로 설치되어도 된다. 영역 AR5, AR6은, X방향으로 2열, Y방향으로 2열인 2×2의 4개의 재치부(64)를 포함한다. 영역 AR7, AR8은, X방향으로 2열, Y방향으로 1열인 2×1의 2개의 재치부(64)를 포함한다. 영역 AR5는, 평면 뷰에 있어서 프레임 단일체(63U)의 -X측이자 +Y측에 설치된다. 영역 AR6은, 평면 뷰에 있어서 프레임 단일체(63U)의 +X측이자 +Y측에 설치된다. 영역 AR7은, 평면 뷰에 있어서 프레임 단일체(63U)의 -X측이자 -Y측에 설치된다. 영역 AR8은, 평면 뷰에 있어서 프레임 단일체(63U)의 +X측이자 -Y측에 설치된다. 제1 발판부(65A), 제2 발판부(65B)는, 각각, 단부가 프레임 단일체(63U)의 외측 가장자리 근방까지 연장되어 설치되어 있다. 제1 발판부(65A)는, 프레임 단일체(63U)를 따라 설치되어 있다. 제2 발판부(65B)는, 프레임 단일체(63U)의 X방향에 있어서의 중앙부에 설치되어 있다. 제1 발판부(65A)는, 프레임 단일체(63U)의 Y방향으로 내측 부분에 설치되어 있다. 제1 발판부(65A)와 제2 발판부(65B)는, 서로의 일부가 접속 또는 근접하여 배치되어 있다. 2개의 보관 유닛(60U)에 있어서, 제1 발판부(65A)끼리는, 작업자(U)에 의한 옮겨타기가 가능하게 근접해 있다.
[0082] 또한, 상술한 설명에서는, 보관부(60A)에 있어서, 각 보관 유닛(60U)에 있어서의 복수의 재치부(64) 및 발판부(65)(제1 발판부(65A), 제2 발판부(65B))가, 동일한 구성인 예를 나타내었으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 예컨대, 보관부(60A)에 있어서, 각 보관 유닛(60U)에 있어서의 복수의 재치부(64) 및 발판부(65)(제1 발판부(65A), 제2 발판부(65B))는, 상이해도 된다.
[0083] 또한, 상술한 설명에서는, 보관부(60A)가 도 10에 나타낸 바와 같이 복수의 보관 유닛(60U)을 구비하는 예를 나타내었으나, 이 예로 보관부(60A)의 구성은 한정되지 않는다. 도 14 내지 도 16은, 보관부(60A)의 다른 구성예를 나타내는 사시도이다. 또한, 도 14 내지 도 16에서는, 재치부(64) 및 발판부(65) 등을 생략하고, 간략화하여 도시하고 있다. 예컨대, 보관부(60A)에 있어서, 복수의 보관 유닛(60U)이, 도 12 및 도 13에 나타낸 바와 같이, X방향에 있어서 2개 인접하여 배치되어도 되고, 도 14에 나타낸 바와 같이 평면 뷰에 있어서 C자형(ㄷ자형)으로 인접하여 배치되어도 되고, 도 15에 나타낸 바와 같이 평면 뷰에 있어서 L자형으로 인접하여 배치되어도 되고, 도 16에 나타낸 바와 같이 X방향에 있어서 2열, Y방향에 있어서 3열인 2×3의 합계 6개가 인접하여 배치되어도 된다.
[0084] 또한, 제1 실시형태의 설명에서는, 보관 유닛(60U)이 연결 부재(62)를 구비하는 예를 나타내었으나, 이 구성예에 한정되지 않고, 연결 부재(62)는 구비되지 않아도 된다. 예컨대, 도 10 내지 도 16에 나타낸 바와 같이, 보관부(60A)가 복수의 보관 유닛(60U)을 구비하는 경우, 각 보관 유닛(60U) 모두에 연결 부재(62)가 구비되지 않고, 일부의 보관 유닛(60U)에 설치되어도 된다. 예컨대, 연결 부재(62)는, 보관부(60A)의 모서리부에 설치되어도 된다. 이 구성인 경우, 복수의 보관 유닛(60U) 전체의 흔들림을 효과적으로 억제할 수 있다.
[0085] 또한, 보관부(60, 60A)(보관 유닛(60U))에는, FOUP 등의 물품(M)에 있어서의 물품의 내부의 가스를 치환하는 퍼지 장치가 설치되어도 된다.
[0086] 또한, 상기의 실시형태에서는, 제1 궤도(R1)(제1 방향(D1))와 제2 궤도(R2)(제2 방향(D2))가 직교하는 격자형상 궤도(R)를 예로 들어 설명하고 있지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예컨대, 궤도(R)는, 제1 궤도(R1)와 제2 궤도(R2)가 직교하지 않는 형태여도 된다. 또한, 제1 궤도(R1)와 제2 궤도(R2)가 교차하는 격자형상 궤도(R)인 형태에 한정되지 않고, 궤도(R)로서는, 예컨대, 제1 궤도(R1)의 단부에서 절곡된 상태로 제2 궤도(R2)가 배치되는 형태여도 된다.
[0087] 또한, 상술한 실시형태에서는, 격자형상 궤도(R)의 하측에 물품(M)을 지지하여 주행하는 천장 반송차(100)의 예를 설명하였으나, 천장 반송차(100)의 구성은 상술한 구성에 한정되지 않는다. 예컨대, 본 실시형태의 반송 시스템(SYS, SYS2), 및 보관부(60, 60A)(보관 유닛(60U))는, 격자형상 궤도(R)의 상측에 물품(M)을 지지하여 주행하는 천장 반송차(100)를 구비하는 시스템에도 적용할 수 있다.
[0088] 또한, 상술한 반송 시스템(SYS, SYS2)에 있어서, 보관부(60, 60A)의 구성은 일례이며, 보관부(60, 60A)의 구성은, 상술한 구성에 한정되지 않는다. 예컨대, 반송 시스템(SYS, SYS2)의 구성은, 격자형상 궤도(R)에 매달리는 서스펜딩 부재와, 평면 뷰에 있어서 칸(C)을 적어도 1개 둘러싸며, 서스펜딩 부재의 하부에 설치되는 프레임(63)과, 프레임(63)의 내측에 설치되며, 천장 반송차(100)에 의해 물품(M)이 놓이는 재치부(64)와, 프레임(63)의 내측에 설치되며, 작업자(U)가 보행 가능한 통로가 되는 발판부(65)를 구비하는 구성이면 되고, 상술한 실시형태의 구성예에 한정되지 않는다. 예컨대, 보관부(60, 60A)는, 보관 유닛(60U)에 의해 구성되지 않아도 된다.
[0089] 또한, 상기한 실시형태에서는, 천장 반송차(100)가 한 쌍의 제1 궤도(R1) 또는 한 쌍의 제2 궤도(R2)를 주행하는 격자형상 궤도(R)의 예를 나타내었으나, 격자형상 궤도(R)는 이 구성에 한정되지 않는다. 예컨대, 격자형상 궤도(R)(제1 궤도(R1), 제2 궤도(R2))는, 천장 반송차(100)(주행차)가 하나의 궤도로 주행하는 모노 레일 형식의 궤도여도 된다.
[0090] SYS, SYS2…반송 시스템
10…본체부
11…횡방향 인출 기구
12…회동부
12a…회동 부재
12b…회동 구동부
13…물품 지지부
13a…클로부
13b…행잉 부재
14…승강 구동부
17…상부 유닛
17a…상면
18…이재 장치
20…주행부
21…주행 차륜
22…보조 차륜
30…연결부
31…지지 부재
32…접속 부재
33…주행 구동부
34…방향 전환 기구
35…구동원
36…피니언 기어
37…랙
50…제어부
60, 60A…보관부
60U…보관 유닛
61…서스펜딩 부재
61A…접속부
61B…막대형상부
61C…고정부
62…연결 부재
62A…윈도우부
62B…접속부
63…프레임
63U…프레임 단일체
64…재치부
64A…막대형상 부재
65…발판부
65A…제1 발판부
65B…제2 발판부
100…천장 반송차
AR1~AR8…영역
C…칸
GP…틈새
D1…제1 방향
D2…제2 방향
R…격자형상 궤도
R1…제1 궤도
R2…제2 궤도
R3…교차부
G1…제1 가이드면
G2…제2 가이드면
G3a…제1 접속 가이드면
G3b…제2 접속 가이드면
G3c…연속면
U…작업자

Claims (13)

  1. 제1 방향으로 연장되어 있는 복수의 제1 궤도와, 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 연장되어 있고 상기 제1 궤도와 교차하는 복수의 제2 궤도를 가지며, 상기 복수의 제1 궤도와 상기 복수의 제2 궤도에 의해 복수의 칸을 형성하는 격자형상 궤도와,
    상기 격자형상 궤도를 따라 주행하는 천장 반송차(搬送車)와,
    상기 격자형상 궤도에 매달리는 서스펜딩 부재와,
    평면 뷰(平面視)에 있어서 상기 칸을 적어도 1개 둘러싸며, 상기 서스펜딩 부재의 하부에 설치되는 프레임을 구비하고,
    상기 프레임에 있어서의 상기 칸의 하방에는, 상기 천장 반송차에 의해 물품이 놓이는 재치부(載置部)와, 작업자가 보행 가능한 통로가 되는 발판부(足場部)가 설치되고,
    평면 뷰에 있어서 상기 프레임이 상기 복수의 칸을 둘러싸고, 상기 재치부의 수가 평면 뷰에 있어서 상기 프레임이 둘러싸는 상기 칸의 수보다 많은, 반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프레임은, 평면 뷰에 있어서 상기 복수의 칸을 둘러싸도록 형성되고,
    상기 발판부는, 평면 뷰에 있어서 상기 복수의 칸을 걸치도록 형성되는, 반송 시스템.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 천장 반송차는, 물품을 지지하는 본체부가 상기 격자형상 궤도로부터 수하(垂下)된 상태로 주행하고,
    상기 서스펜딩 부재는, 상기 격자형상 궤도에 있어서의, 상기 제1 궤도와 상기 제2 궤도의 교차부로부터 수하하여 설치되는, 반송 시스템.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 발판부의 양측에는, 상기 재치부가 설치되는, 반송 시스템.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 발판부는, 평면 뷰에 있어서 상기 복수의 칸을 걸치도록 종횡으로 형성되는, 반송 시스템.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 발판부는, 평면 뷰에 있어서 상기 프레임의 외측 가장자리(外緣)에서 상기 프레임의 중앙부에 걸쳐 설치되는, 반송 시스템.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 프레임은, 서로 인접하여 복수 배치되는 프레임 단일체(單體)의 집합체이고,
    서로 이웃하는 상기 프레임 단일체끼리의 상기 발판부는, 서로 인접하도록 형성되는, 반송 시스템.
  8. 삭제
  9. 제7항에 있어서,
    상기 복수의 재치부는, 평면 뷰에 있어서 상기 프레임 단일체에 있어서의 소정 영역에 한데 모여 설치되고,
    상기 발판부는, 상기 프레임 단일체에 있어서의 상기 소정 영역 이외의 영역에 설치되는, 반송 시스템.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 프레임 단일체는, 상기 발판부로서, 수평 방향 중 상기 제1 방향을 기다란 형상(長手狀)으로 한 제1 발판부와, 상기 제1 방향에 직교하는 수평 방향 중 상기 제2 방향을 기다란 형상으로 한 제2 발판부를 구비하는, 반송 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1 발판부의 통로폭은, 상기 재치부의 상기 제2 방향의 길이보다 짧고,
    상기 제2 발판부의 통로폭은, 상기 재치부의 상기 제1 방향의 길이보다 짧은, 반송 시스템.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제1 발판부 및 상기 제2 발판부는, 각각, 양 단부(端部)가 상기 프레임의 외측 가장자리 근방까지 연장되어 설치되어 있는, 반송 시스템.
  13. 제1 방향으로 연장되어 있는 복수의 제1 궤도와, 상기 제1 방향과는 다른 제2 방향으로 연장되어 있고 상기 제1 궤도와 교차하는 복수의 제2 궤도를 가지며, 상기 복수의 제1 궤도와 상기 복수의 제2 궤도에 의해 복수의 칸을 형성하는 격자형상 궤도와, 상기 격자형상 궤도를 따라 주행하는 천장 반송차를 구비하는 반송 시스템에 있어서, 물품의 보관에 이용되는 보관부로서,
    상기 격자형상 궤도에 매달리는 서스펜딩 부재와,
    평면 뷰에 있어서 상기 칸을 적어도 1개 둘러싸며, 상기 서스펜딩 부재의 하부에 설치되는 프레임을 구비하고,
    상기 프레임에 있어서의 상기 칸의 하방에는, 상기 천장 반송차에 의해 물품이 놓이는 재치부와, 작업자가 보행 가능한 통로가 되는 발판부가 설치되고,
    평면 뷰에 있어서 상기 프레임이 상기 복수의 칸을 둘러싸고, 상기 재치부의 수가 평면 뷰에 있어서 상기 프레임이 둘러싸는 상기 칸의 수보다 많은, 보관부.
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