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KR102649082B1 - 쿼츠 샌드위치 구조물 - Google Patents

쿼츠 샌드위치 구조물 Download PDF

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KR102649082B1
KR102649082B1 KR1020230107985A KR20230107985A KR102649082B1 KR 102649082 B1 KR102649082 B1 KR 102649082B1 KR 1020230107985 A KR1020230107985 A KR 1020230107985A KR 20230107985 A KR20230107985 A KR 20230107985A KR 102649082 B1 KR102649082 B1 KR 102649082B1
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KR
South Korea
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shielding
quartz
shielding member
sandwich structure
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KR1020230107985A
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Inventor
조현기
Original Assignee
주식회사 금강쿼츠
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Publication date
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Abstract

쿼츠 샌드위치 구조물이 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 한 쌍의 석영 유리 레이어 및 한 쌍의 석영 유리 레이어 사이에 배치되어 광 또는 열의 이동을 방해하는 차폐 유닛을 포함하고, 차폐 유닛은 서로 이격되어 각각 제1 방향을 향하여 나열되는 복수의 제1 차폐 부재 및 복수의 제1 차폐 부재와 평면상 교차되며 서로 이격되어 각각 제2 방향을 향하여 나열되는 복수의 제2 차폐 부재를 포함하는 쿼츠 샌드위치 구조물이 제공된다.

Description

쿼츠 샌드위치 구조물{QUARTZ SANDWICH STRUCTURE}
본 발명은 쿼츠 샌드위치 구조물에 관한 것이다.
반도체 제조 공정은 화학적 및 물리적 공정으로 증착 및 산화 식각을 통해 실리콘 웨이퍼에 미세회로를 형성할 수 있으며, 이러한 공정들은 주로 고온에서 진행이 되며 이물질에 의한 오염에 따른 수율이 저하되는 것을 방지하기 위해 열전달을 최소화하며 오염원이 되지 않는 장비들을 이용하여 수행될 수 있다.
석영(quartz)은 반도체 제조 공정과 관련하여 화학기상증착(chemical vapor deposition, 이하, CVD) 및 물리기상증착(physical vapor deposition, 이하, PVD) 공정에서 프로세스 튜브(Process Tube) 및 웨이퍼 지지용 구조물, 열전달 및 열 차폐용 페데스탈(Pedestal) 소재로 사용되고 있다.
이러한 석영은 낮은 열팽창계수, 높은 자외선 투과율，화학적 안정성 등의 장점을 갖고 있어 반도체 제조 공정에서 사용되는 장비의 소재로 사용될 수 있고, 전달열 및 복사열 차단을 하면서 동시에 식각에 잘 견딜 수 있도록 하기 위해 다양한 석영 제품에 대한 연구가 진행되고 있다.
대한민국 등록특허공보 제10-0976239호(2010.08.17.)
본 발명은 한 쌍의 석영 유리 레이어 사이에 서로 평면상 교차되는 제1 차폐 부재 및 제2 차폐 부재로 이루어진 차폐 유닛을 개재하여 광 또는 열의 이동을 저감시키는 쿼츠 샌드위치 구조물을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 한 쌍의 석영 유리 레이어 및 한 쌍의 석영 유리 레이어 사이에 배치되어 광 또는 열의 이동을 방해하는 차폐 유닛을 포함하고, 차폐 유닛은 서로 이격되어 각각 제1 방향을 향하여 나열되는 복수의 제1 차폐 부재 및 복수의 제1 차폐 부재와 평면상 교차되며 서로 이격되어 각각 제2 방향을 향하여 나열되는 복수의 제2 차폐 부재를 포함하는 쿼츠 샌드위치 구조물이 제공된다.
복수의 제1 차폐 부재 및 복수의 제2 차폐 부재는 입체적으로 교차되어 일체로 형성될 수 있다.
제2 차폐 부재는 복수의 제1 차폐 부재 각각의 상면 또는 하면을 커버하도록 제1 차폐 부재와 입체적으로 교차될 수 있다.
제2 차폐 부재는 이웃하는 복수의 제1 차폐 부재 각각의 상면 및 하면을 번갈아 커버하도록 복수의 제1 차폐 부재와 입체적으로 교차될 수 있다.
제2 차폐 부재는 복수의 제1 차폐 부재의 상면 및 하면 중 어느 하나를 커버하도록 배치되며, 기설정된 제1 차폐 부재의 기준 개수 주기당 한번씩 제1 차폐 부재의 상면 및 하면 중 다른 하나를 커버하도록 교차될 수 있다.
제1 방향 및 제2 방향은 직교할 수 있다.
차폐 유닛은 복수개로 이루어져 적층될 수 있다.
복수의 차폐 유닛은 각각의 제1 차폐 부재가 동일한 방향으로 배치되도록 적층될 수 있다.
이웃한 복수의 차폐 유닛은 각각의 제1 차폐 부재가 서로 엇길리는 방향으로 배치되도록 적층될 수 있다.
한 쌍의 석영 유리 레이어는 상기 차폐 유닛의 외부 노출을 방지하기 위해 단부가 결합될 수 있다.
본 발명에 따르면 한 쌍의 석영 유리 레이어 사이에 서로 평면상 교차되는 제1 차폐 부재 및 제2 차폐 부재로 이루어진 차폐 유닛을 개재하여 광 또는 열의 이동을 저감시킬 수 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 각 실시예에 따른 쿼츠 샌드위치 구조물을 나타낸 단면도.
도 3 및 도 4는 본 발명의 각 실시예에 따른 쿼츠 샌드위치 구조물의 차폐 유닛을 나타낸 단면도.
도 5는 본 발명의 각 실시예에 따른 쿼츠 샌드위치 구조물의 차폐 유닛의 적층 방향을 나타낸 도면.
도 6은 본 발명의 각 실시예에 따른 쿼츠 샌드위치 구조물의 전반사율을 나타낸 그래프.
도 7은 본 발명의 각 실시예에 따른 쿼츠 샌드위치 구조물의 전투과율을 나타낸 그래프.
도 8은 본 발명의 각 실시예에 따른 쿼츠 샌드위치 구조물의 정투과율을 나타낸 그래프.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 쿼츠 샌드위치 구조물의 시편을 나타낸 사진.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.
이하, 본 발명에 따른 쿼츠 샌드위치 구조물(100)의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 한 쌍의 석영 유리 레이어(110) 및 한 쌍의 석영 유리 레이어(110) 사이에 배치되어 광 또는 열의 이동을 방해하는 차폐 유닛(120)을 포함하고, 차폐 유닛(120)은 서로 이격되어 각각 제1 방향을 향하여 나열되는 복수의 제1 차폐 부재(122) 및 복수의 제1 차폐 부재(122)와 평면상 교차되며 서로 이격되어 각각 제2 방향을 향하여 나열되는 복수의 제2 차폐 부재(124)를 포함하는 쿼츠 샌드위치 구조물(100)이 제공된다.
본 실시예는 한 쌍의 석영 유리 레이어(110) 사이에 서로 평면상 교차되는 제1 차폐 부재(122) 및 제2 차폐 부재(124)로 이루어진 차폐 유닛(120)을 개재하여 광 또는 열의 이동을 저감시킬 수 있다.
보다 구체적으로 본 실시예는 제1 차폐 부재(122) 및 제2 차폐 부재(124)의 교차됨에 따라 공극이 형성된 차폐 유닛(120)이 광 또는 열의 반사율을 높여 광 또는 열의 이동을 저감시킬 수 있다.
이하, 도 1 내지 도 9를 참조하여 본 발명에 따른 쿼츠 샌드위치 구조물(100)의 각 구성에 대해 설명하도록 한다.
도 1, 도 2 및 도 9에 도시된 바와 같이, 석영 유리 레이어(110)는 투명한 석영 유리로 이루어질 수 있으며 한 쌍으로 이루어져 차폐 유닛(120)의 양면을 커버할 수 있다. 이러한 석영 유리 레이어(110)는 광 또는 열의 이동을 저감시키는데 큰 효과를 갖지 않지만 높은 내식성을 가져 반도체 제조 공정 중 식각 공정에서 차폐 유닛(120)이 부식되는 것을 방지할 수 있다.
도 1 내지 도 4 및 도 9에 도시된 바와 같이, 차폐 유닛(120)은 한 쌍의 석영 유리 레이어(110) 사이에 배치되어 광 또는 열의 이동을 방해할 수 있으며, 보다 구체적으로, 차폐 유닛(120)은 서로 이격되어 각각 제1 방향을 향하여 나열되는 복수의 제1 차폐 부재(122) 및 복수의 제1 차폐 부재(122)와 평면상 교차되며 서로 이격되어 각각 제2 방향을 향하여 나열되는 복수의 제2 차폐 부재(124)를 포함할 수 있다.
여기서 제1 방향 및 제2 방향은 직교하여, 복수의 제1 차폐 부재(122)와 복수의 제2 차폐 부재(124)는 평면상으로 서로 직교하여 배치될 수 있다.
또한, 복수의 제1 차폐 부재(122) 및 복수의 제2 차폐 부재(124)는 입체적으로 교차되어 서로를 지지하여 일체로 형성될 수 있으며, 보다 구체적으로 제2 차폐 부재(124)는 복수의 제1 차폐 부재(122) 각각의 상면 또는 하면을 커버하도록 제1 차폐 부재(122)와 입체적으로 교차될 수 있다.
이러한 입체적으로 교차된 복수의 제1 차폐 부재(122) 및 복수의 제2 차폐 부재(124)의 구조는 제1 차폐 부재(122)가 복수의 제2 차폐 부재(124)의 간격을 지지하고 제2 차폐 부재(124)가 복수의 제1 차폐 부재(122)의 간격을 지지하여 전체적으로 일체로 형성되도록 할 수 있다.
또한, 복수의 제1 차폐 부재(122)와 복수의 제2 차폐 부재(124)의 입체 구조는 각각의 제1 차폐 부재(122) 및 제2 차폐 부재(124) 사이에 공극을 형성하여 광 또는 열의 난반사를 유도하여 광 또는 열의 이동을 저감시킬 수 있다.
한편, 도 3에 도시된 바와 같이 제2 차폐 부재(124)는 이웃하는 복수의 제1 차폐 부재(122) 각각의 상면 및 하면을 번갈아 커버하도록 복수의 제1 차폐 부재(122)와 입체적으로 교차될 수 있으며, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 차폐 부재(124)는 복수의 제1 차폐 부재(122)의 상면 및 하면 중 어느 하나를 커버하도록 배치되며, 기설정된 제1 차폐 부재(122)의 기준 개수 주기당 한번씩 제1 차폐 부재(122)의 상면 및 하면 중 다른 하나를 커버하도록 교차될 수도 있다.
이러한 제1 차폐 부재(122)와 제2 차폐 부재(124)의 배치 구조에 따라서 광 또는 열의 반사율 및 투과율이 상이하게 나타날 수 있으며, 구체적인 내용을 후술하도록 한다.
한편, 제1 차폐 부재(122)와 제2 차폐 부재(124)는 SiO2를 포함하는 재질로 이루어질 수 있으며, 제1 차폐 부재(122) 및 제2 차폐 부재(124)가 서로 입체적으로 교차할 수 있을 정도의 연성이 있어야 하며, 플레이트, 와이어 등으로 이루어져 그 형상이나 두께, 폭에 대한 제한은 없다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 석영 유리 레이어(110)는 차폐 유닛(120)의 외부 노출을 방지하기 위해 단부가 결합될 수 있으며, 예를 들어, 한 쌍의 석영 유리 레이어(110)는 열에 의해 단부가 접합되거나 별도의 접착제를 이용하여 결합될 수 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 석영 유리 레이어(110)는 단부가 열용융에 의해서 일체로 결합될 수 있으며, 모재를 이용한 용접 또는 압접을 통해 수행될 수 있다. 보다 구체적으로, 한 쌍의 석영 유리 레이어(110)는 산수소 화염, 복사열 또는 레이저에 의해 발생하는 열을 이용하여 결합이 수행될 수 있다.
이러한 열용융을 통한 한 쌍의 석영 유리 레이어(110) 결합 방법은 별도의 이물이 부가되지 않고, 석영 유리 레이어(110)와 동일한 소재의 모재를 이용하여 품질 저하를 방지할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 석영 유리 레이어(110)를 결합시키는 방법으로, 실링재(130)는 한 쌍의 석영 유리 레이어(110) 사이에서 차폐 유닛(120)의 외주면을 커버할 수 있으며, 실링재(130)는 한 쌍의 석영 유리 레이어(110)을 서로 지지하여 본 실시예의 쿼츠 샌드위치 구조물(100)을 일체화시킬 수 있으며, 한 쌍의 석영 유리 레이어(110)와 함께 차폐 유닛(120)을 커버하여 반도체 제조 공정에서 식각액에 의해 차폐 유닛(120)이 부식되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 석영 유리 레이어(110)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 판 형상으로 이루어지고, 판 형상의 차폐 유닛(120)과 함께 판 형상의 쿼츠 샌드위치 구조물(100)을 구성할 수 있다.
또한 석영 유리 레이어(110)는 곡선형으로 이루어지며 단부가 서로 접하여 튜브 형상으로 이루어질 수 있으며, 석영 유리 레이어(110)의 형상에 따라 본 실시예의 쿼츠 샌드위치 구조물(100)은 튜브 형상으로 이루어질 수 있다.
도 1 및 도 2의 (b) 및 (c)에 도시된 바와 같이 차폐 유닛(120)은 복수개로 이루어져 적층될 수 있으며, 이러한 복수의 차폐 유닛(120)이 적층된 구조를 가진 쿼츠 샌드위치 구조물(100)은 단층으로 이루어진 차폐 유닛(120)이 포함된 쿼츠 샌드위치 구조물(100)보다 광 또는 열의 이동을 저감시킬 수 있다.
또한, 도 1 및 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이 복수의 차폐 유닛(120)은 각각의 제1 차폐 부재(122)가 동일한 방향으로 배치되도록 적층될 수 있으며, 도 1 및 도 2의 (c)에 도시된 바와 같이 이웃한 복수의 차폐 유닛(120)은 각각의 제1 차폐 부재(122)가 직교하는 방향으로 배치되도록 적층될 수도 있다.
더 나아가, 이웃한 복수의 차폐 유닛(120)은 각각의 제1 차폐 부재(122)의 방향이 서로 엇갈리는 방향으로 배치되어 적층될 수 있으며, 도 5의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 서로 45°각도로 엇갈려서 적층될 수도 있다.
본 실시예의 쿼츠 샌드위치 구조물(100)은 상술한 제1 차폐 부재(122) 및 제2 차폐 부재(124)의 입체 구조에 따라서 광 또는 열의 투과율이 상이하게 이루어질 수 있으며, 단일의 차폐 유닛(120) 및 복수의 차폐 유닛(120)의 적층 구조에 따라서 광 또는 열의 투과율이 상이하게 이루어질 수 있으며, 도 6 내지 도 8에 나타난 본 발명의 쿼츠 샌드위치 구조물(100)의 각 실시예의 근적외선 영역(NIR)에서 전반사율, 전투과율 및 정투과율을 기초로 설명하도록 한다.
도 6 내지 도 8에서 (a-1)은 도 3의 구조의 차폐 유닛(120)이 단일층으로 이루어진 실시예이며, (a-2)는 도 3의 구조의 차폐 유닛(120)이 2층으로 이루어져 각각의 제1 차폐 부재(122)가 동일한 방향으로 배치되도록 적층된 실시예이며, (a-3)는 도 3의 구조의 차폐 유닛(120)이 2층으로 이루어져 각각의 제1 차폐 부재(122)가 직교하는 방향으로 배치되도록 적층된 실시예이다.
또한, 도 6 내지 도 8에서 (b-1)은 도 4의 구조의 차폐 유닛(120)이 단일층으로 이루어진 실시예이며, (b-2)는 도 4의 구조의 차폐 유닛(120)이 2층으로 이루어져 각각의 제1 차폐 부재(122)가 동일한 방향으로 배치되도록 적층된 실시예이며, (b-3)는 도 4의 구조의 차폐 유닛(120)이 2층으로 이루어져 각각의 제1 차폐 부재(122)가 직교하는 방향으로 배치되도록 적층된 실시예이다.
도 6는 각 실시예의 쿼츠 샌드위치 구조물(100)의 전반사율을 나타낸 것으로, (b-2)이 가장 높았으며, (b-3), (b-1), (a-2), (a-3) 및 (a-1)의 순서로 낮게 측정되었다.
도 7는 각 실시예의 쿼츠 샌드위치 구조물(100)의 전투과율을 나타낸 것으로, (b-2)이 가장 낮았으며, (b-3), (b-1), (a-2), (a-3) 및 (a-1)의 순서로 높게 측정되었다.
도 6은 각 실시예의 쿼츠 샌드위치 구조물(100)의 정투과율을 나타낸 것으로, (b-3)이 가장 낮았으며, (b-2), (b-1), (a-3), (a-2) 및 (a-1)의 순서로 높게 측정되었다.반사율 측면에서 도 3의 구조의 차폐 유닛(120)은 서로 인접한 각각의 제1 차폐 부재(122) 및 제2 차폐 부재(124)가 규칙적으로 위아래로 번갈아 배열되어 겹쳐진 부분 사이에 공극이 형성되어 투과율이 높아 질 수 있다.
반면에 도 4의 구조의 차폐 유닛(120)은 제1 차폐 부재(122)와 제2 차폐 부재(124)가 기설정된 개수 주기당 교차되어 일 영역이 플로팅될 수 있으며, 이러한 구조는 도 3의 구조의 차폐 유닛(120)보다 상대적으로 공극이 적어 광 투과가 최소화될 수 있다.
이러한 도 4의 구조의 차폐 유닛(120)은 광원이 차폐 유닛에 다양한 각도로 입사 또는 반사되어 더 많은 산란 반사가 일어날 수 있으며, 이에 따라 전반사율이 높아질 수 있고, 더 나아가 이러한 구조는 광원 및 열에너지가 차폐 유닛(120)을 통과하지 못하고 장시간 체류하도록 하므로 흡수율과 단열성도 비례적으로 상승할 수 있다.
한편, 본 발명의 쿼츠 샌드위치 구조물(100)의 각 실시예는 단일 또는 2층의 차폐 유닛(120)을 가진 것으로 나타났으나, 선택적으로 보다 많은 수의 차폐 유닛(120)이 적층된 쿼츠 샌드위치 구조물(100)이 제공될 수도 있다.
또한, 본 실시예의 쿼츠 샌드위치 구조물(100)은 차폐 유닛(120)의 적층 개수가 증가함에 따라 반사율, 흡수율 및 보온성이 높아지고, 투과율이 낮아질 수 있다.
이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.
100: 쿼츠 샌드위치 구조물
110: 석영 유리 레이어
120: 차폐 유닛
122: 제1 차폐 부재
124: 제2 차폐 부재
130: 실링재

Claims (10)

  1. 한 쌍의 석영 유리 레이어; 및
    상기 한 쌍의 석영 유리 레이어 사이에 배치되어 광 또는 열의 이동을 방해하는 차폐 유닛을 포함하고,
    상기 차폐 유닛은 서로 이격되어 각각 제1 방향을 향하여 나열되는 복수의 제1 차폐 부재 및 복수의 상기 제1 차폐 부재와 평면상 교차되며, 각각이 서로 이격되어 제2 방향을 향하여 나열되는 복수의 제2 차폐 부재를 포함하고,
    상기 제2 차폐 부재는 상기 제1 차폐 부재와 평면상 교차됨과 동시에 복수의 상기 제1 차폐 부재 각각의 상면 또는 하면을 커버하도록 상기 제1 차폐 부재와 입체적으로 교차되고,
    상기 제1 차폐 부재 및 상기 제2 차폐 부재는 평면상 교차되면서 입체적으로도 교차되는 구조를 통하여 광 또는 열의 전반사율을 높이고, 서로 교차됨에 따라 형성되는 공극을 통하여 광 또는 열의 난반사를 유도하여 광 또는 열의 이동을 저감시키고,
    상기 한 쌍의 석영 유리 레이어는 상기 차폐 유닛의 외부 노출을 방지하기 위해 단부가 결합되어 상기 차폐 유닛의 부식을 방지하는, 쿼츠 샌드위치 구조물.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 차폐 부재는 상기 제1 차폐 부재와 평면상 교차됨과 동시에 이웃하는 복수의 상기 제1 차폐 부재 각각의 상면 및 하면을 번갈아 커버하도록 복수의 상기 제1 차폐 부재와 입체적으로 교차되는, 쿼츠 샌드위치 구조물.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2 차폐 부재는 상기 제1 차폐 부재와 평면상 교차됨과 동시에 복수의 상기 제1 차폐 부재의 상면 및 하면 중 어느 하나를 커버하도록 배치되며, 기설정된 상기 제1 차폐 부재의 기준 개수 주기당 한번씩 상기 제1 차폐 부재의 상면 및 하면 중 다른 하나를 커버하도록 교차되는, 쿼츠 샌드위치 구조물.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 방향 및 상기 제2 방향은 직교하는, 쿼츠 샌드위치 구조물.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 차폐 유닛은 복수개로 이루어져 적층되는, 쿼츠 샌드위치 구조물.
  8. 제7항에 있어서,
    복수의 상기 차폐 유닛은 각각의 상기 제1 차폐 부재가 동일한 방향으로 배치되도록 적층되는, 쿼츠 샌드위치 구조물.
  9. 제7항에 있어서,
    이웃한 복수의 상기 차폐 유닛은 각각의 상기 제1 차폐 부재가 서로 엇갈리는 방향으로 배치되도록 적층되는, 쿼츠 샌드위치 구조물.
  10. 삭제
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