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KR102612181B1 - 기판 처리 장치 및 탱크 유닛 - Google Patents

기판 처리 장치 및 탱크 유닛 Download PDF

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KR102612181B1 KR1020160098107A KR20160098107A KR102612181B1 KR 102612181 B1 KR102612181 B1 KR 102612181B1 KR 1020160098107 A KR1020160098107 A KR 1020160098107A KR 20160098107 A KR20160098107 A KR 20160098107A KR 102612181 B1 KR102612181 B1 KR 102612181B1
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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치 및 탱크 유닛에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 액을 이용하여 기판을 처리 하는 액 처리 부재; 및 상기 액 처리 부재로 상기 액을 공급하는 액 공급 유닛을 포함하되, 상기 액 공급 유닛은, 내부에 액 수용 공간을 형성하는 탱크; 상기 하우징에 인접하게 위치되고 연결관으로 연결되는 복수의 보조 탱크들; 상기 탱크에 연결되어 상기 액 수용 공간으로 상기 액을 공급하는 액 보충라인; 및 상기 복수의 보조 탱크들 가운데 하나와 상기 액 처리 부재를 연결하는 공급 라인을 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 탱크 유닛{Substrate treating apparatus and tank unit}
본 발명은 기판 처리 장치 및 탱크 유닛에 관한 것이다.
반도체 소자 또는 액정 디스플레이를 제조하기 위해서, 기판에 포토리소그라피, 식각, 애싱, 이온주입, 박막 증착, 그리고 세정 등의 다양한 공정들이 수행된다. 이 중 사진 공정은 기판 상에 원하는 회로 패턴을 형성하기 위한 공정으로, 도포 공정, 노광 공정, 그리고 현상 공정가 순차적으로 진행된다. 도포 공정에는 기판 상에 포토 레지스트와 같은 감광액을 도포하고, 노광 공정에는 감광막이 형성된 기판 상에 회로 패턴을 노광 하며, 현상 공정에는 기판 상에 노광 처리된 영역을 선택적으로 현상 처리한다.
일반적으로 현상 공정은 크게 케미칼 처리 단계 및 린스 처리 단계가 순차적으로 수행된다. 케미칼 처리 단계에는 감광막이 형성된 기판 상에 현상액을 공급하고, 린스 처리 단계에는 기판 상에 순수와 같은 린스액을 공급한다. 린스액은 기판 상에 잔류된 현상액 및 공정 부산물을 세정 처리한다.
본 발명은 기판을 효율적으로 처리 할 수 있는 기판 처리 장치 및 탱크 유닛을 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명은 복수의 액 처리 부재로 액을 효율적으로 공급할 수 있는 기판 처리 장치 및 탱크 유닛을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 액을 이용하여 기판을 처리 하는 액 처리 부재; 및 상기 액 처리 부재로 상기 액을 공급하는 액 공급 유닛을 포함하되, 상기 액 공급 유닛은, 내부에 액 수용 공간을 형성하는 탱크; 상기 하우징에 인접하게 위치되고 연결관으로 연결되는 복수의 보조 탱크들; 상기 탱크에 연결되어 상기 액 수용 공간으로 상기 액을 공급하는 액 보충라인; 및 상기 복수의 보조 탱크들 가운데 하나와 상기 액 처리 부재를 연결하는 공급 라인을 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 복수의 보조 탱크들 각각에는 상기 액을 증기 또는 미세한 알갱이 형태로 변화하기 위한 가스를 공급하는 가스 주입 라인이 연결될 수 있다.
또한, 상기 보조 탱크들의 내측에는 내측 공간을 상하로 구획하고 홀들이 형성된 플레이트가 위치될 수 있다.
또한, 상기 연결관은 상기 액이 이동 방향을 가로지는 방향에 대해 설정 면적을 갖는 다수의 유로의 복합체로 제공될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 내부에 액 수용 공간을 형성하는 탱크; 상기 하우징에 인접하게 위치되고 연결관으로 연결되는 복수의 보조 탱크들; 상기 복수의 보조 탱크들 각각에 연결되고 불활성 가스가 유입되는 가스 포트들; 상기 복수의 보조 탱크들 각각에 연결되고 액이 배출되는 공급 포트들; 상기 액 수용 공간에 연결되고, 상기 액이 유입되는 액 보충 포트를 포함하는 탱크 유닛이 제공될 수 있다.
또한, 상기 보조 탱크들의 내측에는 내측 공간을 상하로 구획하고 홀들이 형성된 플레이트가 위치될 수 있다.
또한, 상기 연결관은 상기 액이 이동 방향을 가로지는 방향에 대해 설정 면적을 갖는 다수의 유로의 복합체로 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판을 효율적으로 처리 할 수 있는 기판 처리 장치 및 탱크 유닛이 제공될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 복수의 액 처리 부재로 액을 효율적으로 공급할 수 있는 기판 처리 장치 및 탱크 유닛이 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 액 공급 유닛을 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2의 탱크 유닛의 사시도이다.
도 4는 보조 탱크의 횡단면도이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 도면이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 액 처리 부재(10) 및 액 공급 유닛(20)을 포함한다.
액 처리 부재(10)는 액을 이용하여 기판을 처리 한다. 예를 들어, 액 처리 부재(10)는 기판에 기판의 표면을 소수성으로 변환하기 위한 액상의 화합물을 도포하는 공정을 수행할 수 있다. 또한, 액 처리 부재(10)는 기판을 세정, 린스 처리 하기 위한 약액, 린스액을 기판에 도포하는 공정을 수행할 수 있다.
액 공급 유닛(20)은 액 처리 부재(10)에서 기판의 처리에 사용되는 액을 공급한다. 액 공급 유닛(20)은 2개 이상의 액 처리 부재(10)에 연결되어 하나의 액 처리 부재(10)에 액을 공급하거나, 2개 이상의 액 처리 부재(10)에 동시에 액을 공급한다.
도 2는 액 공급 유닛을 나타내는 도면이고, 도 3은 도 2의 탱크 유닛의 사시도이고, 도 4는 보조 탱크의 횡단면도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 액 공급 유닛(20)은 탱크 유닛(100), 액 보충라인(210), 드레인 라인(220), 순환라인(230), 공급 라인(240) 및 가스 주입 라인(250)을 포함한다.
탱크 유닛(100)은 설정량의 액을 수용한 상태에서 액을 배출한다. 탱크 유닛(100)은 탱크(110) 및 보조 탱크(150)들을 포함한다.
탱크(110)는 내부에 설정 체적의 액 수용 공간을 갖는다. 일 예로, 탱크(110)는 상하부가 차폐된 원통, 다각형 통 형상 등으로 제공될 수 있다.
액 보충라인(210)은 탱크 유닛(100)에 액을 공급한다. 액 보충라인(210)은 액 수용 공간과 연결되도록 탱크(110)의 외면 일측에 제공되는 액 보충 포트(111)에 연결된다. 일 예로, 액 보충 포트(111)는 탱크(110)의 상면, 측면 또는 하면에 위치될 수 있다.
드레인 라인(220)은 탱크 유닛(100)에 수용된 액을 배출한다. 드레인 라인(220)은 액 수용 공간과 연결되도록 탱크(110)의 외면 일측에 제공되는 드레인 포트(112)에 연결된다. 일 예로, 드레인 포트(112)는 탱크(110)의 상면, 하면 또는 측면에 위치될 수 있다.
순환라인(230)은 탱크 유닛(100)에 수용된 액을 순환시킨다. 순환라인(230)의 양단은 액 수용 공간과 연결되도록 탱크(110)의 외면에 제공되는 제1순환 포트(113) 및 제2순환 포트(114)에 연결된다. 일 예로, 제1순환 포트(113) 및 제2순환 포트(114)는 탱크(110)의 상면, 하면 또는 측면에 위치될 수 있다. 또한, 제1순환 포트(113) 및 제2순환 포트(114)는 탱크(110)에서 서로 동일한 면 또는 상이한 면에 위치될 수 있다. 일 예로, 제1순환 포트(113) 및 제2순환 포트(114)는 탱크(110)에서 서로 마주보도록 탱크(110)의 하면 및 상면에 위치될 수 있다.
보조 탱크(150)들은 탱크(110)와 인접하게 위치된다. 일 예로, 보조 탱크(150)들은 탱크(110)의 측면 둘레에 위치될 수 있다. 도면에는 8개의 보조 탱크(150)들이 탱크(110)의 측면 둘레에 배열된 경우가 예로 도시되었다.
보조 탱크(150)의 하우징(151) 내측에는 액 배출 공간이 형성된다. 액 배출 공간은 연결관(152)을 통해 탱크(110)와 연결된다. 연결관(152)은 이동하는 액에 오리피스 기능을 부여 할 수 있도록 액이 이동 방향을 가로지는 방향에 대해 설정 면적을 갖는 다수의 유로의 복합체로 제공될 수 있다. 따라서, 보조 탱크(150)가 액 처리 부재(10)에 액을 공급하는 과정에서 복수의 보조 탱크(150)들 가운데 하나 또는 일부의 압력 변화가 탱크(110) 및 나머지 보조 탱크(150)의 압력에 미치는 영향이 차단되거나 감소될 수 있다. 따라서, 탱크(110)는 복수의 액 처리 부재(10)에 원하는 유량 및 압력으로 액을 공급할 수 있다.
또한, 액 배출 공간에는 홀(156)들이 형성된 플레이트(155)가 위치되어 액 배출 공간을 상하로 구획할 수 있다. 그리고, 연결관(152)은 플레이트(155)의 아래쪽에 형성된 공간에 연결될 수 있다.
각각의 공급 라인(240)은 보조 탱크(150)들 가운데 하나와 연결되어, 보조 탱크(150)에서 액 처리 부재(10)로 액을 공급한다. 각각의 보조 탱크(150)에는 액 배출 공간에 연결되는 공급 포트(153)가 제공된다. 일 예로, 공급 포트(153)는 탱크(110)의 상면 또는 측면에 위치될 수 있다. 공급 포트는 플레이트(155)의 위쪽에 형성된 공간에 연결될 수 있다. 그리고 각각의 공급 라인(240)은 공급 포트(153)들 가운데 하나에 연결된다.
각각의 가스 주입 라인(250)은 탱크 유닛(100)에 불활성 가스를 공급한다. 일 예로, 가스 주입 라인(250)은 탱크 유닛(100)에 질소 가스를 공급할 수 있다. 각각의 보조 탱크(150)에는 액 배출 공간과 연결되는 가스 포트(154)가 제공된다. 일 예로, 가스 포트(154)는 보조 탱크(150)의 상면 또는 측면에 위치될 수 있다. 가스 포트(154)는 플레이트(155)의 상부에 형성된 공간에 연결될 수 있다. 그리고 각각의 가스 주입 라인(250)은 가스 포트(154)들 가운데 하나에 연결된다.
가스 주입 라인(250)을 통해 공급된 가스는 액 배출 공간의 액을 증기 또는 미세한 알갱이 형태로 변화된 후 공급 포트(153)를 통해 배출되게 한다. 이때, 각각의 가스 주입 라인(250)은 각각의 액 배출 공간에 개별적으로 가스를 공급함에 따라, 각각의 액 배출 공간에서 배출되는 액의 양, 각각의 액 배출 공간의 압력 등을 다른 액 배출 공간에 영향을 미치지 아니하고 개별적으로 조절할 수 있다. 또한, 플레이트(155)에 의해 구획된 상부 공간에서 액은 효율적으로 증기 또는 미세한 알갱이 형태로 변환될 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
10: 액 처리 부재 20: 액 공급 유닛
100: 탱크 유닛 110: 탱크
150: 보조 탱크 210: 액 보충라인
220: 드레인 라인 230: 순환라인
240: 공급 라인

Claims (7)

  1. 액을 이용하여 기판을 처리하는 액 처리 부재; 및
    상기 액 처리 부재로 상기 액을 공급하는 액 공급 유닛을 포함하되,
    상기 액 공급 유닛은,
    내부에 액 수용 공간을 형성하는 탱크;
    상기 탱크에 인접하게 위치되고 연결관으로 연결되는 복수의 보조 탱크들;
    상기 탱크에 연결되어 상기 액 수용 공간으로 상기 액을 공급하는 액 보충라인; 및
    상기 복수의 보조 탱크들 가운데 하나와 상기 액 처리 부재를 연결하는 복수의 공급 라인을 포함하고,
    상기 복수의 공급 라인들은,
    상기 복수의 보조 탱크들 각각에 연결되고,
    상기 복수의 보조 탱크들은 상기 탱크를 둘러싸도록 배치되고,
    상기 보조 탱크들의 내측에는 내측 공간을 상하로 구획하고 홀들이 형성된 플레이트가 위치되고,
    상기 연결관은,
    상기 액이 이동 방향을 가로지는 방향에 대해 설정 면적을 갖는 다수의 유로의 복합체로 제공되고,
    상기 복수의 보조 탱크들의 일 측면과 상기 탱크를 각각 연결하고, 상기 플레이트보다 아래에 위치되는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 보조 탱크들 각각에는 상기 액을 증기 또는 미세한 알갱이 형태로 변화하기 위한 가스를 공급하는 가스 주입 라인이 연결되는 기판 처리 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 내부에 액 수용 공간을 형성하는 탱크;
    상기 탱크에 인접하게 위치되고 연결관으로 연결되는 복수의 보조 탱크들;
    상기 복수의 보조 탱크들 각각에 연결되고 불활성 가스가 유입되는 가스 포트들;
    상기 복수의 보조 탱크들 각각에 연결되고 액이 배출되는 공급 포트들; 및
    상기 액 수용 공간에 연결되고, 상기 액이 유입되는 액 보충 포트를 포함하고,
    상기 복수의 보조 탱크들은 상기 탱크를 둘러싸도록 배치되고,
    상기 보조 탱크들의 내측에는 내측 공간을 상하로 구획하고 홀들이 형성된 플레이트가 위치되고,
    상기 연결관은,
    상기 액이 이동 방향을 가로지는 방향에 대해 설정 면적을 갖는 다수의 유로의 복합체로 제공되고,
    상기 복수의 보조 탱크들의 일 측면과 상기 탱크를 각각 연결하고, 상기 플레이트보다 아래에 위치되는 탱크 유닛.
  6. 삭제
  7. 삭제
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