KR102570875B1 - 필러·수지 복합체, 필러·수지 복합체의 제조방법, 필러·수지 복합층 및 필러·수지 복합체의 사용방법 - Google Patents
필러·수지 복합체, 필러·수지 복합체의 제조방법, 필러·수지 복합층 및 필러·수지 복합체의 사용방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR102570875B1 KR102570875B1 KR1020197028248A KR20197028248A KR102570875B1 KR 102570875 B1 KR102570875 B1 KR 102570875B1 KR 1020197028248 A KR1020197028248 A KR 1020197028248A KR 20197028248 A KR20197028248 A KR 20197028248A KR 102570875 B1 KR102570875 B1 KR 102570875B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- filler
- resin
- layer
- resin composite
- peeling member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000945 filler Substances 0.000 title claims abstract description 385
- 239000000805 composite resin Substances 0.000 title claims abstract description 172
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 232
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 232
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 67
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims description 56
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims description 56
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 30
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 21
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 18
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 9
- 238000007711 solidification Methods 0.000 claims description 8
- 230000008023 solidification Effects 0.000 claims description 8
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 70
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 15
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 15
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 7
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 7
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 5
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 5
- -1 for example Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 229920002493 poly(chlorotrifluoroethylene) Polymers 0.000 description 3
- 239000005023 polychlorotrifluoroethylene (PCTFE) polymer Substances 0.000 description 3
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 3
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 229920002449 FKM Polymers 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 2
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- QGHDLJAZIIFENW-UHFFFAOYSA-N 4-[1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2-(4-hydroxy-3-prop-2-enylphenyl)propan-2-yl]-2-prop-2-enylphenol Chemical group C1=C(CC=C)C(O)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(O)C(CC=C)=C1 QGHDLJAZIIFENW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009933 burial Methods 0.000 description 1
- 229920005549 butyl rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000002048 multi walled nanotube Substances 0.000 description 1
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002109 single walled nanotube Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004073 vulcanization Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29B—PREPARATION OR PRETREATMENT OF THE MATERIAL TO BE SHAPED; MAKING GRANULES OR PREFORMS; RECOVERY OF PLASTICS OR OTHER CONSTITUENTS OF WASTE MATERIAL CONTAINING PLASTICS
- B29B15/00—Pretreatment of the material to be shaped, not covered by groups B29B7/00 - B29B13/00
- B29B15/08—Pretreatment of the material to be shaped, not covered by groups B29B7/00 - B29B13/00 of reinforcements or fillers
- B29B15/10—Coating or impregnating independently of the moulding or shaping step
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/18—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives
- B32B27/20—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives using fillers, pigments, thixotroping agents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29B—PREPARATION OR PRETREATMENT OF THE MATERIAL TO BE SHAPED; MAKING GRANULES OR PREFORMS; RECOVERY OF PLASTICS OR OTHER CONSTITUENTS OF WASTE MATERIAL CONTAINING PLASTICS
- B29B11/00—Making preforms
- B29B11/14—Making preforms characterised by structure or composition
- B29B11/16—Making preforms characterised by structure or composition comprising fillers or reinforcement
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
- B32B7/04—Interconnection of layers
- B32B7/06—Interconnection of layers permitting easy separation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
- C01B32/158—Carbon nanotubes
- C01B32/168—After-treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08K—Use of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
- C08K3/00—Use of inorganic substances as compounding ingredients
- C08K3/02—Elements
- C08K3/04—Carbon
- C08K3/041—Carbon nanotubes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2264/00—Composition or properties of particles which form a particulate layer or are present as additives
- B32B2264/10—Inorganic particles
- B32B2264/107—Ceramic
- B32B2264/108—Carbon, e.g. graphite particles
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/25—Web or sheet containing structurally defined element or component and including a second component containing structurally defined particles
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Reinforced Plastic Materials (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
본 발명의 필러·수지 복합체는, 필러가 집합한 필러층과, 필러층의 두께방향의 적어도 일단부에 수지가 충전됨과 아울러 필러층의 일단부의 선단이 노출되어 있는 수지층과, 수지층에 적층된 박리부재를 구비하고, 박리부재는 수지층으로부터 박리 가능하다.
Description
본 발명은, 필러·수지 복합체, 필러·수지 복합체의 제조방법, 필러·수지 복합층 및 필러·수지 복합체의 사용방법에 관한 것이다.
종래 필러와 수지의 복합체로서, 수직 배향 카본나노튜브군과 열가소성 수지 필름이 일체(一體)로 이루어진 전사체(轉寫體)가 알려져 있다(하기 특허문헌1 참조).
이 전사체는, 수직 배향 카본나노튜브군을 성장기판으로부터 열가소성 수지 필름에 전사한 것으로서, 성장기판 상의 카본나노튜브군의 선단부(先端部)(성장기판에 접해 있지 않은 단부)를 열가소성 수지 필름에 매몰 또는 관통시킨 후에, 성장기판을 제거하고, 함침물(含浸物)을 카본나노튜브군에 함침함으로써 얻어진다.
그러나 상기한 특허문헌1에 기재되어 있는 바와 같은 필러와 수지의 복합체의 제조방법에서는, 카본나노튜브군의 선단부가 열가소성 수지 필름에 매몰 또는 관통하고 있기 때문에, 카본나노튜브군과 열가소성 수지 필름과 함침물이 일체로 이루어진 복합재료로부터 열가소성 수지 필름만을 박리할 때에, 열가소성 수지 필름 및 열가소성 수지 필름에 매몰 또는 관통하고 있는 카본나노튜브군이 함침체를 파괴할 우려가 있다. 그 때문에, 복합체에 있어서의 카본나노튜브 선단의 노출의 제어가 곤란하다. 또한 복합체에 있어서의 카본나노튜브군은 열가소성 수지 필름에 매몰 또는 관통하고 있기 때문에, 열가소성 수지 필름을 박리할 때에, 열가소성 수지 필름에 카본나노튜브군의 선단이 남아 있는 상태에서 무리하게 잡아당겨짐으로써 카본나노튜브군의 길이가 짧아진다는 결함이 있다.
또한 상기한 특허문헌1에 기재되어 있는 바와 같은 필러와 수지의 복합체는, 얇기 때문에 찢어지기 쉬워, 취급성의 향상이 한층 더 요구되고 있다.
그래서 본 발명의 목적은, 필러층의 일단부의 선단의 노출을 제어하는 것이 용이하고, 취급성의 향상이 도모된 필러·수지 복합체 및 필러·수지 복합체의 제조방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명[1]은, 필러가 집합한 필러층(filler層)과, 상기 필러층의 두께방향의 적어도 일단부(一端部)에 수지가 충전됨과 아울러 상기 필러층의 상기 일단부의 선단(先端)이 노출되어 있는 수지층(樹脂層)과, 상기 수지층에 적층된 박리부재(剝離部材)를 구비하고, 상기 박리부재가 상기 수지층으로부터 박리 가능한 필러·수지 복합체이다.
본 발명[2]는, 상기 수지층이 상기 필러층의 두께방향의 상기 일단부 및 타단부(他端部)로 분리되어 충전되어 있고, 상기 일단부 및 상기 타단부의 상기 수지층에 상기 박리부재가 적층되어 있는 상기 [1]의 필러·수지 복합체이다.
본 발명[3]은, 상기 필러층이 수직 배향 카본나노튜브인 상기 [1] 또는 [2]의 필러·수지 복합체이다.
본 발명[4]는, 필러·수지 복합체를 제조하기 위한 필러·수지 복합체의 제조방법으로서, 필러층을 준비하는 제1준비공정과, 수지가 도포된 박리부재를 준비하는 제2준비공정과, 상기 수지가 상기 필러층의 두께방향의 적어도 일단부에 접촉하도록 상기 박리부재를 상기 필러층에 적층하는 적층공정과, 상기 필러층의 상기 일단부의 선단을 노출시킴과 아울러 상기 수지를 고화시켜 수지층을 형성하는 고화공정을 포함하는 필러·수지 복합체의 제조방법이다.
본 발명[5]는, 필러·수지 복합체를 제조하기 위한 필러·수지 복합체의 제조방법으로서, 필러층을 준비하는 제1준비공정과, 수지가 도포된 박리부재와 수지가 도포된 제2박리부재를 준비하는 제2준비공정과, 상기 박리부재의 상기 수지가 상기 필러층의 두께방향의 일단부에 접촉하도록 상기 박리부재를 상기 필러층에 적층함과 아울러 상기 제2박리부재의 상기 수지가 상기 필러층의 두께방향의 타단부에 접촉하도록 상기 제2박리부재를 상기 필러층에 적층하는 적층공정과, 상기 필러층의 상기 일단부 및 상기 타단부의 각각의 선단을 노출시킴과 아울러 상기 수지를 고화시켜 상기 필러층의 두께방향의 상기 일단부 및 상기 타단부의 각각에 수지층을 형성하는 고화공정을 포함하는 필러·수지 복합체의 제조방법이다.
본 발명[6]은, 필러·수지 복합체를 제조하기 위한 필러·수지 복합체의 제조방법으로서, 기판(基板) 상에 필러층을 준비하는 준비공정과, 수지가 도포된 제1박리부재를 상기 수지가 상기 필러층의 두께방향의 일단부에 접촉하도록 상기 필러층에 대하여 상기 기판의 반대측에 적층하는 제1적층공정과, 상기 필러층의 상기 일단부의 선단을 노출시킴과 아울러 상기 수지를 고화시켜 상기 필러층의 두께방향의 상기 일단부에 수지층을 형성하는 제1고화공정과, 상기 기판을 제거하는 기판제거공정을 포함하는 필러·수지 복합체의 제조방법이다.
본 발명[7]은, 수지가 도포된 제2박리부재를 상기 수지가 상기 필러층의 두께방향의 타단부에 접촉하도록 상기 필러층에 대하여 상기 제1박리부재의 반대측에 적층하는 제2적층공정과, 상기 필러층의 상기 타단부의 선단을 노출시킴과 아울러 상기 수지를 고화시켜 상기 필러층의 두께방향의 상기 타단부에 수지층을 형성하는 제2고화공정을 포함하는 상기 [6]의 필러·수지 복합체의 제조방법이다.
본 발명[8]은, 필러층과, 상기 필러층의 두께방향의 적어도 일단부에 수지가 충전됨과 아울러 상기 필러층의 상기 일단부의 선단이 노출되어 있는 제1수지층을 구비하고, 상기 필러층의 상기 일단부의 선단이 상기 제1수지층의 계면과 동일면인 필러·수지 복합층이다.
본 발명[9]는, 상기 필러층의 두께방향의 타단부에 수지가 충전됨과 아울러 상기 필러층의 상기 타단부의 선단이 노출되어 있는 제2수지층을 더 구비하고, 상기 필러층의 상기 타단부의 선단이 상기 제2수지층의 계면과 동일면이고, 상기 제1수지층과 제2수지층이 상기 필러층의 두께방향의 상기 일단부 및 타단부로 분리되어 있는 상기 [8]의 필러·수지 복합층이다.
본 발명[10]은, 상기 [1]에 기재된 필러·수지 복합체의 사용방법으로서, 상기 박리부재를 상기 수지층으로부터 박리하는 박리공정과, 박리 후의 점착성을 구비하는 상기 수지층을 부재에 접촉시켜 첩부(貼付)하는 첩부공정을 포함하는 필러·수지 복합체의 사용방법이다.
본 발명의 필러·수지 복합체는, 박리부재에 의하여 보호됨으로써, 필러·수지 복합층의 외부로부터의 오염이나 파손을 방지할 수 있어, 필러·수지 복합층의 취급성의 향상을 도모할 수 있다.
또한 필러·수지 복합체를 제조하기 위한 필러·수지 복합체의 제조방법은, 필러층의 일단부의 선단을 수지로부터 용이하게 노출시킬 수 있다.
도1은, 본 발명의 제1실시형태의 필러·수지 복합체를 나타내는 단면도이다.
도2a∼도2c는, 도1에 나타내는 필러·수지 복합체의 사용방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도2a는 필러·수지 복합체를 준비하는 공정을 나타내고, 도2b는 도2a에 이어서 필러·수지 복합층으로부터 제1박리부재를 박리하는 공정을 나타내고, 도2c는 도2b에 이어서 필러·수지 복합층의 두께방향의 일방면을 히트싱크에 접촉시키는 공정을 나타낸다.
도3a 및 도3b는, 도2c에 이어서 필러·수지 복합체의 사용방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도3a는 도2c에 이어서 필러·수지 복합층으로부터 제2박리부재를 박리하는 공정을 나타내고, 도3b는 도3a에 이어서 필러·수지 복합층의 두께방향의 타방면에 발열체를 접촉시키는 공정을 나타낸다.
도4a∼도4c는, 도1에 나타내는 필러·수지 복합체의 제조방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도4a는 제1준비공정을 나타내고, 도4b는 도4a에 이어서 제2준비공정을 나타내고, 도4c는 도4b에 이어서 적층공정을 나타낸다.
도5a 및 도5b는, 도4c에 이어서 필러·수지 복합체의 제조방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도5a는 경화공정에 있어서 B스테이지 상태의 열경화성 수지가 용융되고, 필러층의 두께방향의 일단부 및 타단부에 용융된 열경화성 수지가 함침됨과 아울러 필러층의 두께방향의 일단부가 제1박리부재에 접촉하고, 필러층의 두께방향의 타단부가 제2박리부재에 접촉한 상태를 나타내고, 도5b는 경화공정에 있어서 열경화성 수지가 경화되어, 제1수지층 및 제2수지층이 형성된 상태를 나타낸다.
도6은, 필러·수지 복합체의 변형예를 나타내는 단면도이다.
도7a 및 도7b는, 도6에 나타내는 필러·수지 복합체의 제조방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도7a는 적층공정을 나타내고, 도7b는 경화공정을 나타낸다.
도8은, 제2실시형태의 필러·수지 복합체를 나타내는 단면도이다.
도9a∼도9d는, 도8에 나타내는 필러·수지 복합체의 제조방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도9a는 준비공정을 나타내고, 도9b는 도9a에 이어서 제1적층공정을 나타내고, 도9c는 도9b에 이어서 제1경화공정을 나타내고, 도9d는 도9c에 이어서 기판제거공정을 나타낸다.
도10a 및 도10b는, 도9d에 나타내는 필러·수지 복합체의 제조방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도10a는 도9d에 이어서 제2적층공정을 나타내고, 도10b는 도10a에 이어서 제2경화공정을 나타낸다.
도11은, 제2실시형태의 변형예를 설명하기 위한 설명도이다.
도12는, 실시예1에서 얻은 필러·수지 복합체의 필러·수지 복합층의 주사형 전자현미경 사진이다.
도13은, 비교예, 실시예1 및 실시예2의 열저항과 압력의 관계를 나타내는 상관도이다.
도2a∼도2c는, 도1에 나타내는 필러·수지 복합체의 사용방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도2a는 필러·수지 복합체를 준비하는 공정을 나타내고, 도2b는 도2a에 이어서 필러·수지 복합층으로부터 제1박리부재를 박리하는 공정을 나타내고, 도2c는 도2b에 이어서 필러·수지 복합층의 두께방향의 일방면을 히트싱크에 접촉시키는 공정을 나타낸다.
도3a 및 도3b는, 도2c에 이어서 필러·수지 복합체의 사용방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도3a는 도2c에 이어서 필러·수지 복합층으로부터 제2박리부재를 박리하는 공정을 나타내고, 도3b는 도3a에 이어서 필러·수지 복합층의 두께방향의 타방면에 발열체를 접촉시키는 공정을 나타낸다.
도4a∼도4c는, 도1에 나타내는 필러·수지 복합체의 제조방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도4a는 제1준비공정을 나타내고, 도4b는 도4a에 이어서 제2준비공정을 나타내고, 도4c는 도4b에 이어서 적층공정을 나타낸다.
도5a 및 도5b는, 도4c에 이어서 필러·수지 복합체의 제조방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도5a는 경화공정에 있어서 B스테이지 상태의 열경화성 수지가 용융되고, 필러층의 두께방향의 일단부 및 타단부에 용융된 열경화성 수지가 함침됨과 아울러 필러층의 두께방향의 일단부가 제1박리부재에 접촉하고, 필러층의 두께방향의 타단부가 제2박리부재에 접촉한 상태를 나타내고, 도5b는 경화공정에 있어서 열경화성 수지가 경화되어, 제1수지층 및 제2수지층이 형성된 상태를 나타낸다.
도6은, 필러·수지 복합체의 변형예를 나타내는 단면도이다.
도7a 및 도7b는, 도6에 나타내는 필러·수지 복합체의 제조방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도7a는 적층공정을 나타내고, 도7b는 경화공정을 나타낸다.
도8은, 제2실시형태의 필러·수지 복합체를 나타내는 단면도이다.
도9a∼도9d는, 도8에 나타내는 필러·수지 복합체의 제조방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도9a는 준비공정을 나타내고, 도9b는 도9a에 이어서 제1적층공정을 나타내고, 도9c는 도9b에 이어서 제1경화공정을 나타내고, 도9d는 도9c에 이어서 기판제거공정을 나타낸다.
도10a 및 도10b는, 도9d에 나타내는 필러·수지 복합체의 제조방법을 설명하기 위한 설명도로서, 도10a는 도9d에 이어서 제2적층공정을 나타내고, 도10b는 도10a에 이어서 제2경화공정을 나타낸다.
도11은, 제2실시형태의 변형예를 설명하기 위한 설명도이다.
도12는, 실시예1에서 얻은 필러·수지 복합체의 필러·수지 복합층의 주사형 전자현미경 사진이다.
도13은, 비교예, 실시예1 및 실시예2의 열저항과 압력의 관계를 나타내는 상관도이다.
(필러·수지 복합체)
도1은, 본 발명의 제1실시형태에 관한 필러·수지 복합체(1)의 구성을 나타내는 도면이다. 필러·수지 복합체(1)는, 필러·수지 복합층(2)과, 박리부재의 일례로서의 제1박리부재(3)와, 박리부재의 일례로서의 제2박리부재(4)를 구비한다.
필러·수지 복합층(2)은, 필러층(5)과, 수지층의 일례로서의 제1수지층(6)과, 수지층의 일례로서의 제2수지층(7)을 구비한다.
필러층(5)은, 복수의 필러가 조밀하게 집합한 층이다. 필러층(5)에 있어서, 하나의 필러는 필러층(5)의 두께방향의 일단면(一端面)에서부터 타단면(他端面)에 걸쳐서 복수의 필러와 접촉하고 있고, 예를 들면 두께방향에 있어서, 필러층(5)의 일단면에서 타단면으로 열을 전달할 수 있다. 또한 필러층(5)은, 필러의 성질에 의거하여 필러·수지 복합층(2)에 원하는 성질을 부여할 수 있다. 필러의 성질로서는, 예를 들면 강성, 도전성, 열전도성, 전자파 흡수성 등을 들 수 있다. 필러는, 바람직하게는 열전도성을 갖는다. 또한 필러는, 복수의 성질을 겸비하고 있어도 좋다.
구체적으로 필러로서는, 예를 들면 카본나노튜브, 탄소섬유, 그래파이트 등의 탄소계 필러, 예를 들면 실리카, 산화알루미늄(알루미나), 산화아연, 육방정 질화붕소, 질화알루미늄 등의 세라믹스계 필러, 예를 들면 금속의 분말, 예를 들면 유리섬유 등을 들 수 있다.
필러로서는, 바람직하게는 탄소계 필러를 들 수 있고, 더 바람직하게는 카본나노튜브를 들 수 있다.
또한 카본나노튜브는, 단층 카본나노튜브 또는 다층 카본나노튜브 중의 어느 것이어도 좋다.
또한 필러의 형상은, 구상(球狀), 인편상(鱗片狀) 또는 섬유상(纖維狀) 중의 어느 것이어도 좋다.
필러는, 바람직하게는 필러층(5)의 두께방향으로 연장되는 섬유상이다. 예를 들면 필러층(5)은, 두께방향으로 연장되는 복수의 카본나노튜브(필러)가 두께방향과 직교하는 방향으로 배열된 수직 배향 카본나노튜브이다. 수직 배향 카본나노튜브는, 복수의 카본나노튜브가 반데르발스 힘에 의하여 조밀하게 집합하여 층을 이루고 있다. 또한 필러층(5)은, 서로 분리되어 도트상(dot狀)으로 배열된 복수의 필러 집합체를 포함한다. 특히 필러층(5)은, 서로 분리되어 도트상으로 배열된 복수의 수직 배향 카본나노튜브를 포함한다. 수직 배향 카본나노튜브는, 금속박막으로 코팅되어 있어도 좋다. 수직 배향 카본나노튜브를 금속박막으로 코팅함으로써, 수직 배향 카본나노튜브의 강도(및 도전성)를 향상시킬 수 있다. 수직 배향 카본나노튜브를 금속박막으로 코팅하는 방법으로서는, 공지의 증착 등의 방법을 들 수 있다.
필러층(5)의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 10㎛ 이상, 300㎛ 이하인 것이 바람직하다. 즉 필러층(5)이 수직 배향 카본나노튜브인 경우에, 필러층(5)을 구성하는 카본나노튜브의 두께방향의 길이는 10㎛ 이상인 것이 바람직하다. 필러층(5)을 구성하는 카본나노튜브의 두께방향의 길이가 상기 하한값 이상이면, 필러·수지 복합층은 취급성이 뛰어나다. 또한 필러층(5)을 구성하는 카본나노튜브의 두께방향의 길이는 300㎛ 이하인 것이 바람직하다. 필러층(5)을 구성하는 카본나노튜브의 두께방향의 길이가 상기 상한값 이하이면, 카본나노튜브의 제조비용이 과도하게 높아지는 것을 억제할 수 있다.
제1수지층(6)은, 복수의 필러 상호 간을 결착시킴으로써 복수의 필러를 구속한다. 제1수지층(6)은, 필러층(5)의 적어도 두께방향의 일단부에 충전된다. 상세하게는 제1수지층(6)은, 필러층(5)의 적어도 두께방향의 일단부에 있어서, 필러 상호 간의 간극(間隙)에 충전된다. 필러층(5)의 두께방향의 일단부의 선단(先端)은, 제1수지층(6)으로부터 노출되어 있고, 바람직하게는 동일면이다(동일 평면 상에 있다). 환언하면 필러층(5)의 두께방향의 일단부의 선단은, 제1수지층(6)과 제1박리부재(3)의 계면과 일치하고 있다.
제1수지층(6)의 두께는 필러층(5)의 두께 이하로서, 예를 들면 5㎛ 이상인 것이 바람직하다. 제1수지층(6)의 두께가 상기 하한값 이상이면, 필러·수지 복합층(2)의 기계적 강도를 확보할 수 있다.
또한 제1수지층(6)은, 바람직하게는 점착성(粘着性)을 구비한다. 제1수지층(6)이 점착성을 구비함으로써, 제1박리부재(3)를 필러·수지 복합층(2)의 두께방향의 일방면(一方面)에 부착시킬 수 있다. 또한 제1수지층(6)의 점착성은, 제1박리부재(3)가 필러·수지 복합층(2)으로부터 박리되는 것에 지장이 없는 정도이다. 또한 제1수지층(6)이 점착성을 구비함으로써, 필러·수지 복합층(2)을 후술하는 히트싱크(H)(도3b 참조) 등의 설치대상에 용이하게 부착할 수 있다.
제1수지층(6)은, 고화(固化)되어 있는 수지이면 어느 것이라도 좋고, 예를 들면 열가소성 수지의 고화물, 바람직하게는 열경화성 수지의 경화물(고화물)이다. 열경화성 수지는, 바람직하게는 제1박리부재(3)의 융점보다도 낮은 온도에서 경화가 가능하다. 열경화성 수지가 제1박리부재(3)의 융점보다도 낮은 온도에서 경화 가능한 것으로부터, 필러·수지 복합체(1)를 제조할 때에 가열에 의하여 제1박리부재(3)가 용융되어 열경화성 수지와 일체화되는 것을 방지할 수 있어, 적층한 상태(도4c 참조)에서 열경화성 수지를 경화시킬 수 있다.
구체적으로 열경화성 수지의 경화온도는, 예를 들면 300℃ 이하가 바람직하고, 250℃ 이하가 더 바람직하다. 또한 열경화성 수지의 경화온도는, 예를 들면 100℃ 이상이 바람직하다. 열경화성 수지의 경화온도가 상기 하한값 이상이고 상기 상한값 이하이면, 제1박리부재(3)의 융점보다도 낮은 온도에서 열경화성 수지를 경화시킬 수 있어, 제1박리부재(3)가 용융되어 열경화성 수지와 일체화되는 것을 방지하면서 열경화성 수지를 경화시킬 수 있다.
열경화성 수지로서는, 예를 들면 불소계 고무, 실리콘 고무, 우레탄 고무, 부틸 고무, 아크릴 고무 등의 열경화성 엘라스토머, 예를 들면 에폭시 수지, 예를 들면 폴리이미드 수지, 예를 들면 페놀 수지, 예를 들면 요소수지, 예를 들면 멜라민 수지, 예를 들면 불포화 폴리에스테르 수지 등을 들 수 있다. 열경화성 수지는, 바람직하게는 열경화성 엘라스토머, 더 바람직하게는 불소계 고무이다.
제2수지층(7)은, 필러층(5)의 두께방향의 타단부에 충전된다. 바람직하게는 필러층(5)의 두께방향의 타단부는, 제2수지층(7)으로부터 노출되어 있고, 바람직하게는 동일면이다(동일 평면 상에 있다). 환언하면 필러층(5)의 두께방향의 타단부는, 제2수지층(7)과 제2박리부재(4)의 계면과 일치한다. 제2수지층(7)은, 제1수지층(6)과 동일한 기능을 구비한다. 필러·수지 복합층(2)이 제1수지층(6)과 제2수지층(7)의 양방(兩方)을 구비함으로써, 필러를 더 확실하게 구속할 수 있다. 제2수지층(7)은, 제1수지층(6)과 동일한 열경화성 수지의 경화물로서, 제1수지층(6)에 근사한 두께를 구비한다. 제2수지층(7)은, 두께방향에 있어서 제1수지층(6)과 간격을 두고 있어도(분리되어 있어도) 좋고, 제1수지층(6)과 제2수지층(7)은 일체(一體)여도 좋다.
제1수지층(6)과 제2수지층(7)을 일체로 하는 경우에는, 감압 또는 진공상태에서 필러층(5)을 수지에 가압함으로써, 필러층(5)의 내부에 포함되어 있는 공기의 저항 없이 필러층(5)의 내부에 수지를 충전할 수 있다.
제1박리부재(3)는, 필러·수지 복합층(2)의 취급성을 향상시키기 위하여 마련된다. 제1박리부재(3)는, 필러·수지 복합층(2)의 제1수지층(6)에 적층된다. 또한 제1박리부재(3)는, 필러·수지 복합체(1)를 사용할 때에 있어서 적당한 타이밍에 필러·수지 복합층(2)의 제1수지층(6)으로부터 박리가 가능하다. 또한 제1박리부재(3)는, 카본나노튜브의 성장용 기판을 포함하지 않는다.
제1박리부재(3)는, 필러·수지 복합층(2)에 적층된 상태로 필러·수지 복합층(2)의 두께방향의 일방면에 접촉한다. 제1박리부재(3)는, 제1수지층(6)이 점착성을 구비하는 경우에, 제1수지층(6)의 점착성에 의하여 필러·수지 복합층(2)에 부착된다.
제1박리부재(3)는, 필러·수지 복합층(2)에 적층된 상태로 필러층(5)의 두께방향의 일단부 및 제1수지층(6)을 덮는다. 바람직하게는 제1박리부재(3)는, 필러층(5)의 두께방향의 일단부 및 제1수지층(6)을 전부 덮는다. 이에 따라 제1박리부재(3)는, 필러·수지 복합층(2)에 적층된 상태로 필러층(5)의 두께방향의 일단부 및 제1수지층(6)을 보호한다.
또한 제1박리부재(3)는, 필러·수지 복합층(2)에 적층된 상태로 필러·수지 복합층(2)에 주름이 생기지 않도록 필러·수지 복합층(2)을 지지한다.
제1박리부재(3)는, 상기한 열경화성 수지의 경화온도보다도 높은 융점을 갖는 것이 바람직하다. 구체적으로 제1박리부재(3)의 재료로서는, 예를 들면 테트라플루오로에틸렌·퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체(PFA), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 테트라플루오로에틸렌·헥사플루오로프로필렌 공중합체(FEP), 폴리클로로트리플루오로에틸렌(PCTFE) 등의 불소수지, 예를 들면 실리콘 수지를 들 수 있다. 제1박리부재(3)의 재료로서 열경화성 수지의 경화온도보다도 높은 융점을 갖는 재료를 사용함으로써, 필러·수지 복합체(1)를 제조할 때에 가열에 의하여 제1박리부재(3)가 용융되어 열경화성 수지와 일체화되는 것을 방지할 수 있다.
제1박리부재(3)의 형상은, 필러층(5)의 두께방향과 직교하는 방향으로 연장되는 시트이다. 제1박리부재(3)의 두께는, 필러·수지 복합층(2)에 적층된 상태로 필러·수지 복합층(2)을 지지할 수 있는 강성과, 제1박리부재(3)를 필러·수지 복합층(2)으로부터 박리할 때의 취급성을 고려하여, 적당히 설정할 수 있다.
구체적으로 제1박리부재(3)의 두께는, 예를 들면 20㎛ 이상, 1000㎛ 이하인 것이 바람직하다. 제1박리부재(3)의 두께가 상기 하한값 이상이고 상기 상한값 이하이면, 제1박리부재(3)의 취급성을 향상시킬 수 있다.
제2박리부재(4)는, 필러·수지 복합층(2)의 제2수지층(7)에 적층된다. 제2박리부재(4)는, 제1박리부재(3)와 동일한 기능을 구비한다. 제2박리부재(4)는, 필러층(5)의 두께방향의 타단부 및 제2수지층(7)을 덮는다. 제2박리부재(4)는 제1박리부재(3)와 마찬가지로, 필러·수지 복합체(1)를 사용할 때에 있어서 적당한 타이밍에 필러·수지 복합층(2)의 제2수지층(7)으로부터 박리가 가능하다. 제2박리부재(4)도 제1박리부재(3)와 마찬가지로, 카본나노튜브의 성장용 기판을 포함하지 않는다. 또한 제2박리부재(4)의 재료 및 형상은, 제1박리부재(3)와 동일하다.
(필러·수지 복합체의 사용방법)
다음에 필러·수지 복합체(1)의 사용방법에 대하여 설명한다.
도2a에 나타내는 필러·수지 복합체(1)의 필러·수지 복합층(2)은, 두께방향으로 열전도성을 갖는 경우에 열전도성 시트로서 사용된다.
이 경우에 먼저 도2b에 나타내는 바와 같이, 작업자는 필러·수지 복합층(2)으로부터 제1박리부재(3)를 박리한다(박리공정). 즉 필러·수지 복합층(2)으로부터 제1박리부재(3)를 상온에서 박리할 수 있다. 이에 따라 필러층(5)의 두께방향의 일단부와 제1수지층(6)이 드러난다. 이때에 필러·수지 복합층(2)의 두께방향의 타방면(他方面)에는, 제2박리부재(4)가 남아 있다. 그 때문에 작업자는 제2박리부재(4)에 의하여 지지된 필러·수지 복합층(2)을 취급할 수 있어, 필러·수지 복합층(2)만을 취급하는 경우에 비하여 필러·수지 복합층(2)을 원활하게 취급할 수 있다.
다음에 도2c에 나타내는 바와 같이, 필러·수지 복합층(2)의 두께방향의 일방면을 히트싱크(H)에 접촉시킨다. 이때에 제1수지층(6)의 점착성에 의하여, 필러·수지 복합층(2)은 히트싱크(H)(부재)에 부착된다(첩부공정). 또한 이때에 필러층(5)의 두께방향의 일단부에 있어서 필러가 제1수지층(6)에 의하여 구속되어 있기 때문에, 필러를 히트싱크(H)에 대하여 확실하게 접촉할 수 있다.
특히 수직 배향 카본나노튜브의 선단부는, 외력에 의하여 구부러지는 경우가 있다. 한편 본 발명에 있어서의 필러·수지 복합층(2)은, 수직 배향 카본나노튜브(필러층(5))의 두께방향의 일단부에 있어서 카본나노튜브의 선단이 제1수지층(6)에 의하여 구속되어 있기 때문에, 외력에 의하여 구부러지지 않고 히트싱크(H)에 대하여 확실하게 접촉할 수 있다.
다음에 도3a에 나타내는 바와 같이, 작업자는 필러·수지 복합층(2)으로부터 제2박리부재(4)를 박리한다(박리공정). 즉 필러·수지 복합층(2)으로부터 제2박리부재(4)를 상온에서 박리할 수 있다. 이에 따라 필러층(5)의 두께방향의 타단부와 제2수지층(7)이 드러난다.
이어서 도3b에 나타내는 바와 같이, 작업자는 전자소자 등의 발열체(E)(부재)를 필러·수지 복합층(2)의 두께방향의 타방면에 접촉시킨다. 이때에 제2수지층(7)의 점착성에 의하여, 발열체(E)는 필러·수지 복합층(2)에 부착된다(첩부수단). 또한 이때에 필러층(5)의 두께방향의 타단부에 있어서 필러가 제2수지층(7)에 의하여 구속되어 있기 때문에, 필러를 발열체(E)에 대하여 확실하게 접촉할 수 있다.
필러를 히트싱크(H) 및 발열체(E)에 대하여 확실하게 접촉함으로써, 필러·수지 복합층(2)은 발열체(E)로부터의 열을 히트싱크(H)에 효율적으로 전도할 수 있다.
(필러·수지 복합체의 작용효과)
이 필러·수지 복합체(1)에 의하면, 도1에 나타내는 바와 같이, 필러층(5)과, 필러층(5)의 두께방향의 일단부에 충전된 제1수지층(6)과, 필러층(5)의 두께방향의 타단부에 충전된 제2수지층(7)을 구비하는 필러·수지 복합층(2)에, 필러층(5)의 두께방향의 일단부 및 제1수지층(6)을 덮고 필러·수지 복합층(2)으로부터 박리할 수 있는 제1박리부재(3)와, 필러층(5)의 두께방향의 타단부 및 제2수지층(7)을 덮고 필러·수지 복합층(2)으로부터 박리할 수 있는 제2박리부재(4)가 적층되어 있다.
그 때문에 필러·수지 복합층(2)을 사용하기 전에 있어서, 제1박리부재(3) 및 제2박리부재(4)에 의하여, 필러·수지 복합층(2)을 지지함과 아울러 필러층(5)의 두께방향의 일단부, 제1수지층(6), 필러층(5)의 두께방향의 타단부 및 제2수지층(7)을 보호할 수 있다.
이에 따라 필러·수지 복합층(2)을 사용하기 전에 있어서, 제1박리부재(3) 및 제2박리부재(4)에 의하여 필러·수지 복합층(2)이 보호됨으로써, 필러·수지 복합층(2)의 외부로부터의 오염이나 파손을 방지할 수 있어, 사용 전에 있어서의 필러·수지 복합층(2)의 취급성의 향상, 특히 운반성능의 향상을 도모할 수 있다.
또한 필러·수지 복합층(2)을 사용할 때에는, 도2b에 나타내는 바와 같이 제1박리부재(3)를 필러·수지 복합층(2)으로부터 박리함으로써, 간단히 필러층의 두께방향의 일단부 및 제1수지층(6)이 드러나도록 할 수 있음과 아울러, 도3a에 나타내는 바와 같이 제2박리부재(4)를 필러·수지 복합층(2)으로부터 박리함으로써, 간단히 필러층의 두께방향의 타단부 및 제2수지층(7)이 드러나도록 할 수 있다.
(필러·수지 복합체의 제조방법)
필러·수지 복합체(1)를 제조하기 위한 필러·수지 복합체(1)의 제조방법에 대하여 설명한다.
필러·수지 복합체(1)의 제조방법은, 제1준비공정(도4a 참조)과, 제2준비공정(도4b 참조)과, 적층공정(도4c 참조)과, 고화공정의 일형태로서의 경화공정(도5a 및 도5b 참조)을 포함한다.
도4a에 나타내는 바와 같이, 먼저 제1준비공정에서는 필러층(5)을 준비한다. 필러층(5)이 수직 배향 카본나노튜브인 경우에, 국제공개 2016/136825호 공보의 실시예1에 기재되어 있는 카본나노튜브 집합체와 동일한 방법으로 수직 배향 카본나노튜브를 제작한다. 그리고 수직 배향 카본나노튜브를 제작한 후에, 수직 배향 카본나노튜브로부터 성장용 기판을 제거하여 둔다.
다음에 도4b에 나타내는 바와 같이 제2준비공정에서는, 열경화성 수지(8)(수지의 일례)가 도포된 제1박리부재(3)와, 열경화성 수지(8)가 도포된 제2박리부재(4)를 준비한다.
열경화성 수지(8)의 두께는 적당히 조정할 수 있지만, 예를 들면 5㎛ 이상, 10㎛ 이하가 바람직하다. 열경화성 수지(8)의 두께가 상기 하한값 이상이고 상기 상한값 이하이면, 열경화성 수지(8)의 두께를 필러층(5)의 두께보다도 얇게 하여, 필러층(5)의 선단을 열경화성 수지(8)로부터 용이하게 노출시킬 수 있다.
또한 이때에 열경화성 수지(8)에는, 경화제 또는 가황제(加黃劑)가 배합되어 있다. 또한 열경화성 수지(8)는 B스테이지 상태이며, 고형이다.
이어서 적층공정에서는 도4c에 나타내는 바와 같이, 열경화성 수지(8)가 필러층(5)의 두께방향의 일단부에 접촉하도록 제1박리부재(3)를 필러층(5)에 적층함과 아울러, 열경화성 수지(8)가 필러층(5)의 두께방향의 타단부에 접촉하도록 제2박리부재(4)를 필러층(5)에 적층한다.
다음에 경화공정에서는, 제1박리부재(3)의 융점보다도 낮은 온도에서 열경화성 수지(8)를 경화시켜, 제1수지층(6) 및 제2수지층(7)을 형성한다.
상세하게는 경화공정에서는, 적층공정에서 얻은 적층체(필러층(5), 열경화성 수지(8), 제1박리부재(3) 및 제2박리부재(4)의 적층체)를 두께방향으로 가압하면서, 제1박리부재(3) 및 제2박리부재(4)의 융점보다도 낮고 또한 열경화성 수지(8)의 경화온도 이상에서 가열한다.
적층체를 가압하는 압력은, 예를 들면 0.1MPa 이상, 1.0MPa 이하인 것이 바람직하다. 적층체를 가압하는 압력이 상기 하한값 이상이고 상기 상한값 이하이면, 예를 들면 필러층(5)이 수직 배향 카본나노튜브인 경우에 수직 배향 카본나노튜브를 파괴하지 않고 필러층(5)의 선단을 열경화성 수지(8)로부터 노출시킬 수 있다.
적층체를 가열하는 온도는, 예를 들면 150℃ 이상, 250℃ 이하인 것이 바람직하다. 적층체를 가열하는 온도가 상기 하한값 이상이고 상기 상한값 이하이면, 제1박리부재(3) 및 제2박리부재(4)의 융점보다도 낮은 온도에서 열경화성 수지(8)를 경화시킬 수 있어, 제1박리부재(3) 및 제2박리부재(4)가 가열에 의하여 용융되어 열경화성 수지(8)와 일체화되는 것을 방지할 수 있다.
그러면 도5a에 나타내는 바와 같이, B스테이지 상태의 열경화성 수지(8)가 용융되어 액상(液狀)이 된다.
이때에 액상화된 열경화성 수지(8)는, 필러층(5)의 두께방향의 일단부 및 필러층(5)의 두께방향의 타단부 각각에 침투한다. 이에 따라 필러층(5)의 두께방향의 일단부 및 필러층(5)의 두께방향의 타단부에는, 각각 열경화성 수지(8)가 함침(含浸)된다.
또한 이때에 필러층(5)의 두께방향의 일단부는, 제1박리부재(3)에 접촉한다. 즉 필러층(5)의 두께방향의 일단부는, 열경화성 수지(8)와 제1박리부재(3)의 계면과 일치한다. 또한 필러층(5)의 두께방향의 타단부는, 제2박리부재(4)에 접촉한다. 즉 필러층(5)의 두께방향의 타단부는, 열경화성 수지(8)와 제2박리부재(4)의 계면과 일치한다. 이에 따라 필러층(5)의 두께방향의 일단부에 있어서 필러의 선단은, 열경화성 수지(8)로부터 노출된다.
그리고 필러의 선단이 열경화성 수지(8)로부터 노출된 상태에서, 적층체를 제1박리부재(3) 및 제2박리부재(4)의 융점보다도 낮고 또한 열경화성 수지(8)의 경화온도 이상에서 더 가열하면, 도5b에 나타내는 바와 같이 열경화성 수지(8)가 경화되어 C스테이지 상태가 된다. 이에 따라 제1수지층(6) 및 제2수지층(7)이 형성된다.
이상에 의하여 필러·수지 복합체(1)의 제조가 완료된다. 이 제조방법에 의하면, 필러층의 일단부에 있어서 필러의 선단을 용이하게 수지로부터 노출시킬 수 있다.
(제1실시형태의 변형예)
상기한 제1실시형태에서는 필러·수지 복합층(2)은, 두께방향에 있어서의 양 단에 각각 수지층(제1수지층(6), 제2수지층(7))을 구비한다. 또한 필러·수지 복합체(1)는, 필러·수지 복합층(2)의 두께방향의 일방면을 덮는 제1박리부재(3)와, 필러·수지 복합층(2)의 두께방향의 타방면을 덮는 제2박리부재(4)를 구비한다.
이에 대하여 변형예에서는, 도6에 나타내는 바와 같이 필러·수지 복합층(2)은, 두께방향에 있어서의 한 쪽의 단부(두께방향의 일단부)에 수지층(6)을 구비하고, 다른 한 쪽의 단부(두께방향의 타단부)에는 수지층을 구비하지 않아도 좋다. 이 경우에 필러·수지 복합체(1)는, 필러·수지 복합층(2)의 두께방향의 일방면을 덮는 박리부재(3)를 구비하고, 필러·수지 복합층(2)의 두께방향의 타방면을 덮는 박리부재를 구비하지 않아도 좋다.
이 경우에 제2준비공정에서는, 열경화성 수지(8)가 도포된 박리부재(3)를 1개 준비한다. 그리고 도7a에 나타내는 바와 같이 적층공정에서는, 열경화성 수지(8)가 필러층(5)의 두께방향의 일단부에 접촉하도록 박리부재(3)를 필러층(5)에 적층한다. 그 후에 경화공정에 있어서, 상기한 실시형태와 마찬가지로 적층체(필러층(5), 열경화성 수지(8) 및 박리부재(3)의 적층체)를 두께방향으로 가압하면서, 박리부재(3)의 융점보다도 낮고 또한 열경화성 수지(8)의 경화온도 이상에서 가열하고, 열경화성 수지(8)를 경화시켜, 도7b에 나타내는 바와 같이 수지층(6)을 형성한다.
(제2실시형태)
도8은, 본 발명의 제2실시형태에 관한 필러·수지 복합체(10)의 구성을 나타내는 도면이다. 또한 제2실시형태에 있어서, 상기한 제1실시형태와 동일한 부재에는 동일한 부호를 붙이고, 그 설명을 생략한다.
제2실시형태에서는, 필러·수지 복합체(10)는 필러층(11)을 구비한다.
필러층(11)은, 서로 분리된 복수의 필러 집합체(12)를 포함한다. 필러층(11)은, 복수의 필러 집합체(12)에 의하여 형성되는 소정의 패턴을 구비한다. 소정의 패턴으로서는, 예를 들면 서로 분리된 복수의 필러 집합체(12)가 도트상으로 배열된 패턴 등을 들 수 있다. 필러 집합체(12)는, 복수의 필러가 조밀하게 집합한 집합체이다. 또한 필러로서는, 상기한 제1실시형태와 동일한 필러를 사용할 수 있다. 바람직하게는 필러층(11)은, 소정의 패턴을 구비하는 수직 배향 카본나노튜브이다.
제2실시형태의 필러·수지 복합체(10)에서도, 제1실시형태의 필러·수지 복합체(1)와 동일한 작용효과를 얻을 수 있다.
다음에 도9a∼도10b를 참조하여, 제2실시형태의 필러·수지 복합체(10)의 제조방법에 대하여 설명한다.
필러·수지 복합체(10)의 제조방법은, 준비공정(도9a 참조)과, 제1적층공정(도9b 참조)과, 제1경화공정(제1고화공정, 도9c 참조)과, 기판제거공정(도9d 참조)과, 제2적층공정(도10a 참조)과, 제2경화공정(제2고화공정, 도10b 참조)을 포함한다.
도9a에 나타내는 바와 같이, 먼저 준비공정에서는 필러층(11)을 준비한다. 예를 들면 필러층(11)이 소정의 패턴을 구비하는 수직 배향 카본나노튜브인 경우에, 기판의 일례로서의 성장용 기판(13) 상에 소정의 패턴을 구비하는 수직 배향 카본나노튜브를 형성한다. 소정의 패턴은, 서로 분리된 복수의 필러 집합체(12)에 의하여 형성된다. 필러층(11)의 두께방향의 일단부는, 필러층(11)의 두께방향의 타단부에 대하여 성장용 기판(13)의 반대측에 배치된다. 필러층(11)의 두께방향의 타단부는, 성장용 기판(13)에 접촉하고 있다. 또한 제1실시형태에서는 수직 배향 카본나노튜브로부터 성장용 기판을 제거하였지만, 제2실시형태에서는 소정의 패턴을 유지하기 위하여 성장용 기판(13)을 제거하지 않는다. 또한 소정의 패턴을 유지하기 위하여, 상기한 바와 같이 수직 배향 카본나노튜브를 금속박막으로 코팅하여, 강도를 향상시킬 수도 있다.
다음에 제1적층공정에서는, 도9b에 나타내는 바와 같이 B스테이지 상태의 열경화성 수지(8)가 도포된 제1박리부재(3)를, 열경화성 수지(8)가 필러층(11)의 두께방향의 일단부와 접촉하도록 필러층(11)에 적층한다. 제1박리부재(3)는, 필러층(11)에 대하여 성장용 기판(13)의 반대측에 적층된다.
이어서 제1경화공정에서는, 제1박리부재(3)의 융점보다도 낮은 온도에서 열경화성 수지(8)를 경화(고화)시켜, 제1수지층(6)을 형성한다.
상세하게는 제1경화공정에서는, 제1적층공정에서 얻은 적층체(성장용 기판(13), 필러층(11), 열경화성 수지(8) 및 제1박리부재(3)의 적층체)를 두께방향으로 가압하면서, 제1박리부재(3)의 융점보다도 낮고 또한 열경화성 수지(8)의 경화온도 이상에서 가열한다.
적층체를 가압하는 압력 및 적층체를 가열하는 온도는, 상기한 제1실시형태와 동일하다.
이때에 B스테이지 상태의 열경화성 수지(8)가 용융되어 액상이 되고, 액상화된 열경화성 수지(8)는 필러층(11)의 두께방향의 일단부에 함침된다.
또한 이때에 필러층(11)의 두께방향의 일단부는, 제1박리부재(3)에 접촉한다. 즉 필러층(11)의 두께방향의 일단부는, 열경화성 수지(8)와 제1박리부재(3)의 계면과 일치한다. 이에 따라 필러층(11)의 두께방향의 일단부에 있어서, 필러의 선단은 열경화성 수지(8)로부터 노출된다.
그리고 필러의 선단이 열경화성 수지(8)로부터 노출된 상태에서, 적층체를 제1박리부재(3) 및 제2박리부재(4)의 융점보다도 낮고 또한 열경화성 수지(8)의 경화온도 이상에서 더 가열함으로써, 열경화성 수지(8)가 경화되어, C스테이지 상태가 된다. 이에 따라 도9c에 나타내는 바와 같이, 필러층(11)의 두께방향의 일단부에 제1수지층(6)이 형성된다.
계속하여 기판제거공정에서는, 도9d에 나타내는 바와 같이 성장용 기판(13)을 제거한다. 예를 들면 커터 칼날을 성장용 기판(13)을 따라 이동시킴으로써, 필러층(11)을 성장용 기판(13)으로부터 분리한다.
다음에 제2적층공정에서는, 도10a에 나타내는 바와 같이 B스테이지 상태의 열경화성 수지(8)가 도포된 제2박리부재(4)를, 열경화성 수지(8)가 필러층(11)의 두께방향의 타단부와 접촉하도록 필러층(11)에 적층한다. 제2박리부재(4)는, 필러층(11)에 대하여 제1박리부재(3)의 반대측에 적층된다.
이어서 제2경화공정에서는, 도10b에 나타내는 바와 같이 제1경화공정과 마찬가지로 하여, 제1박리부재(3) 및 제2박리부재(4)의 융점보다도 낮은 온도에서 열경화성 수지(8)를 경화(고화)시켜, 필러층(11)의 두께방향의 타단부에 제2수지층(7)을 형성한다. 이때에 필러층(11)의 두께방향의 타단부에 있어서, 필러의 선단은 제2수지층(7)으로부터 노출된다.
이상에 의하여 필러·수지 복합체(10)의 제조가 완료된다. 이 제조방법에 의하면, 필러층(11)이 서로 분리된 복수의 필러 집합체(12)를 포함하는 경우이더라도, 필러층(11)의 일단부 및 타단부에 있어서 필러의 선단을 용이하게 수지로부터 노출시킬 수 있다.
(제2실시형태의 변형예)
상기한 제2실시형태에서는, 필러·수지 복합층(2)은 두께방향에 있어서의 양 단에 각각 수지층(제1수지층(6), 제2수지층(7))을 구비한다. 또한 필러·수지 복합체(10)는, 필러·수지 복합층(2)의 두께방향의 일방면을 덮는 제1박리부재(3)와, 필러·수지 복합층(2)의 두께방향의 타방면을 덮는 제2박리부재(4)를 구비한다.
이에 대하여 변형예에서는, 도11에 나타내는 바와 같이 필러·수지 복합층(2)은, 두께방향에 있어서의 한 쪽의 단부(두께방향의 일단부)에 수지층(6)을 구비하고, 다른 한 쪽의 단부(두께방향의 타단부)에는 수지층을 구비하지 않아도 좋다. 이 경우에 필러·수지 복합체(1)는, 필러·수지 복합층(2)의 두께방향의 일방면을 덮는 박리부재(3)를 구비하고, 필러·수지 복합층(2)의 두께방향의 타방면을 덮는 박리부재를 구비하지 않아도 좋다.
(기타 변형예)
또한 상기한 제1실시형태 및 제2실시형태에서는, 고화공정의 일형태로서 열경화성 수지를 사용한 경화공정에 대하여 설명하였지만, 열가소성 수지를 사용하여도 좋다.
(실시예)
다음에 본 발명을 실시예 및 비교예에 의거하여 설명하지만, 본 발명은 하기의 실시예에 의하여 한정되는 것은 아니다. 또한 「부」 및 「％」는, 특별한 언급이 없는 한 질량기준이다. 또한 이하의 기재에 있어서 사용되는 배합비율(함유비율), 물성값, 파라미터 등의 구체적인 수치는, 상기 「발명을 실시하기 위한 구체적인 내용」에 기재되어 있는 배합비율(함유비율), 물성값, 파라미터 등 해당 기재의 상한값(「이하」, 「미만」으로 정의되어 있는 수치) 또는 하한값(「이상」, 「초과」로 정의되어 있는 수치)으로 대체할 수 있다.
(필러·수지 복합체의 제조)
(실시예1)
먼저 국제공개 2016/136825호 공보의 실시예1에 기재되어 있는 카본나노튜브 집합체(가열 전)와 동일한 방법으로, 두께 100㎛의 수직 배향 카본나노튜브(필러층)를 제작하고, 성장용 기판을 제거하였다(제1준비공정).
다음에 제1 및 제2박리부재로서 두께 50㎛의 PFA 시트(융점 : 310℃)를 2매(枚) 준비하고, 각 PFA 시트에 가황제를 배합한 불소계 고무(열경화성 수지, 상품명 : 바이톤(Viton), 듀퐁(DuPont) 제품, 가황온도 : 170-200℃)를 20㎛의 두께로 도포하였다(제2준비공정).
이어서 수직 배향 카본나노튜브의 두께방향의 일단부에 있어서 불소계 고무와 마주 보도록 수직 배향 카본나노튜브에 PFA 시트 1매를 적층함과 아울러, 수직 배향 카본나노튜브의 두께방향의 타단부에 있어서 불소계 고무와 마주 보도록 수직 배향 카본나노튜브에 PFA 시트의 다른 1매를 적층하였다(적층공정).
그리고 얻어진 적층체를, 0.5MPa의 압력에 의하여 두께방향으로 가압하면서 200℃에서 10분 동안 가열하였다(경화공정).
이에 따라 불소계 고무를 경화시켜, 필러·수지 복합체를 얻었다. 얻어진 필러·수지 복합체의 필러·수지 복합층(열전도성 시트)의 주사형 전자현미경 사진을 도12에 나타낸다.
(실시예2)
국제공개 2016/136825호 공보의 실시예1에 기재되어 있는 카본나노튜브 고밀도 집합체(가열 후)와 동일한 방법으로 수직 배향 카본나노튜브를 제작한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여, 필러·수지 복합체를 얻었다.
(실시예3)
불소계 고무 대신에 실리콘 고무를 사용한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여, 필러·수지 복합체를 얻었다.
(실시예4)
불소계 고무 대신에 우레탄 고무를 사용한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여, 필러·수지 복합체를 얻었다.
(실시예5)
PFA 시트 대신에 PTFE 시트를 사용한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여, 필러·수지 복합체를 얻었다.
(실시예6)
PFA 시트 대신에 FEP 시트를 사용한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여, 필러·수지 복합체를 얻었다.
(실시예7)
PFA 시트 대신에 PCTFE 시트를 사용한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여, 필러·수지 복합체를 얻었다.
(실시예8)
PFA 시트 대신에 실리콘 수지 시트를 사용한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여, 필러·수지 복합체를 얻었다.
(실시예9)
두께 100㎛의 PFA 시트를 사용한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여, 필러·수지 복합체를 얻었다.
(실시예10)
두께 200㎛의 PFA 시트를 사용한 것 이외에는 실시예1과 동일하게 하여, 필러·수지 복합체를 얻었다.
(취급성)
각 실시예로부터 얻은 필러·수지 복합체에 대하여, 박리부재의 박리성 및 필러·수지 복합층(열전도성 시트)의 취급성을 평가하였다.
어느 실시예에 있어서도, 필러·수지 복합층으로부터 박리부재를 용이하게 박리시킬 수 있었고, 박리부재를 박리한 후에도 수직 배향 카본나노튜브가 풀리는 경우 없이 원활하게 취급할 수 있었다.
(열저항의 측정)
비교예(실시예1의 수직 배향 카본나노튜브만으로 이루어지는 열전도성 시트)와, 실시예1 및 실시예2에서 얻은 필러·수지 복합체의 필러·수지 복합층(열전도성 시트)에 대하여, 열저항 측정장치(상품명 : T3Ster DynTIM Tester, 멘토 그래픽스(Mentor Graphics) 제품)를 사용하여, 각각 복수 장소의 열저항을 두께방향에 있어서의 압력을 변경하면서 측정하였다. 결과를 도13에 나타낸다.
실시예1 및 실시예2는, 비교예보다도 열저항이 작은(즉, 열전도성이 높다) 경향이 있었다. 이는 카본나노튜브의 선단이 제1수지층에 의하여 구속되어 있음으로써, 외력에 의하여 구부러지지 않고 열저항 측정장치에 대하여 확실하게 접촉하고 있기 때문이라고 생각된다.
또한 상기 발명은 본 발명의 예시인 실시형태로서 제공하였지만, 이는 단지 예시에 지나지 않아 한정적으로 해석하여서는 안된다. 당해 기술분야의 당업자에 의하여 명백한 본 발명의 변형예는, 후술하는 청구범위에 포함된다.
본 발명의 필러·수지 복합체는, 예를 들면 열전도성 시트, 상세하게는 발열체로부터의 열을 히트싱크에 전도하기 위한 열전도성 시트로서 이용하는 것이 가능하다.
1 : 필러·수지 복합체
2 : 필러·수지 복합층
3 : 제1박리부재
4 : 제2박리부재
5 : 필러층
6 : 제1수지층
7 : 제2수지층
8 : 열경화성 수지
2 : 필러·수지 복합층
3 : 제1박리부재
4 : 제2박리부재
5 : 필러층
6 : 제1수지층
7 : 제2수지층
8 : 열경화성 수지
Claims (10)
- 필러가 집합한 필러층(filler層)과,
상기 필러층의 두께방향의 일단부(一端部) 및 타단부(他端部)로 분리되어 수지가 충전됨과 아울러 상기 필러층의 상기 일단부의 선단(先端) 및 상기 필러층의 상기 타단부의 선단이 노출되어 있는 수지층(樹脂層)과,
상기 수지층에 적층된 박리부재(剝離部材)를
구비하고,
상기 필러층은, 수직 배향 카본나노튜브이고,
상기 박리부재는, 상기 일단부 및 상기 타단부의 상기 수지층에 적층되고, 작업자에 의하여 상온에서 상기 수지층으로부터 박리 가능한 것을 특징으로 하는 필러·수지 복합체.
- 필러·수지 복합체를 제조하기 위한 필러·수지 복합체의 제조방법으로서,
필러층인 수직 배향 카본나노튜브를 준비하는 제1준비공정과,
수지가 도포된 박리부재를 준비하는 제2준비공정과,
상기 수지가 상기 필러층의 두께방향의 적어도 일단부에 접촉하도록 상기 박리부재를 상기 필러층에 적층하는 적층공정과,
상기 필러층의 상기 일단부의 선단을 노출시킴과 아울러 상기 수지를 고화시켜 수지층을 형성하는 고화공정을
포함하는 것을 특징으로 하는 필러·수지 복합체의 제조방법.
- 필러·수지 복합체를 제조하기 위한 필러·수지 복합체의 제조방법으로서,
필러층인 수직 배향 카본나노튜브를 준비하는 제1준비공정과,
수지가 도포된 박리부재와, 수지가 도포된 제2박리부재를 준비하는 제2준비공정과,
상기 박리부재의 상기 수지가 상기 필러층의 두께방향의 일단부에 접촉하도록 상기 박리부재를 상기 필러층에 적층하고, 상기 제2박리부재의 상기 수지가 상기 필러층의 두께방향의 타단부에 접촉하도록 상기 제2박리부재를 상기 필러층에 적층하는 적층공정과,
상기 필러층의 상기 일단부 및 상기 타단부의 각각의 선단을 노출시킴과 아울러 상기 수지를 고화시켜 상기 필러층의 두께방향의 상기 일단부 및 상기 타단부의 각각에 수지층을 형성하는 고화공정을
포함하는 것을 특징으로 하는 필러·수지 복합체의 제조방법.
- 필러·수지 복합체를 제조하기 위한 필러·수지 복합체의 제조방법으로서,
기판(基板) 상에 필러층인 수직 배향 카본나노튜브를 준비하는 준비공정과,
수지가 도포된 제1박리부재를, 상기 수지가 상기 필러층의 두께방향의 일단부에 접촉하도록 상기 필러층에 대하여 상기 기판의 반대측에 적층하는 제1적층공정과,
상기 필러층의 상기 일단부의 선단을 노출시킴과 아울러 상기 수지를 고화시켜 상기 필러층의 두께방향의 상기 일단부에 수지층을 형성하는 제1고화공정과,
상기 기판을 제거하는 기판제거공정을
포함하는 것을 특징으로 하는 필러·수지 복합체의 제조방법.
- 제4항에 있어서,
수지가 도포된 제2박리부재를, 상기 수지가 상기 필러층의 두께방향의 타단부에 접촉하도록 상기 필러층에 대하여 상기 제1박리부재의 반대측에 적층하는 제2적층공정과,
상기 필러층의 상기 타단부의 선단을 노출시킴과 아울러 상기 수지를 고화시켜 상기 필러층의 두께방향의 상기 타단부에 수지층을 형성하는 제2고화공정을
포함하는 것을 특징으로 하는 필러·수지 복합체의 제조방법.
- 필러층인 수직 배향 카본나노튜브와,
상기 필러층의 두께방향의 적어도 일단부에 수지가 충전됨과 아울러 상기 필러층의 상기 일단부의 선단이 노출되어 있는 제1수지층과,
상기 필러층의 두께방향의 타단부에 수지가 충전됨과 아울러 상기 필러층의 상기 타단부의 선단이 노출되어 있는 제2수지층을
구비하고,
상기 필러층의 상기 일단부의 선단이, 상기 제1수지층의 계면과 동일면이고,
상기 필러층의 상기 타단부의 선단이, 상기 제2수지층의 계면과 동일면이고,
상기 제1수지층과 제2수지층이, 상기 필러층의 두께방향의 상기 일단부 및 타단부로 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 필러·수지 복합층. - 삭제
- 삭제
- 삭제
- 삭제
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017072258A JP6901896B2 (ja) | 2017-03-31 | 2017-03-31 | フィラー・樹脂複合体、フィラー・樹脂複合体の製造方法、フィラー・樹脂複合層、および、フィラー・樹脂複合体の使用方法 |
| JPJP-P-2017-072258 | 2017-03-31 | ||
| PCT/JP2018/000344 WO2018179668A1 (ja) | 2017-03-31 | 2018-01-10 | フィラー・樹脂複合体、フィラー・樹脂複合体の製造方法、フィラー・樹脂複合層、および、フィラー・樹脂複合体の使用方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20190135481A KR20190135481A (ko) | 2019-12-06 |
| KR102570875B1 true KR102570875B1 (ko) | 2023-08-24 |
Family
ID=63674802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020197028248A Active KR102570875B1 (ko) | 2017-03-31 | 2018-01-10 | 필러·수지 복합체, 필러·수지 복합체의 제조방법, 필러·수지 복합층 및 필러·수지 복합체의 사용방법 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20200047436A1 (ko) |
| JP (1) | JP6901896B2 (ko) |
| KR (1) | KR102570875B1 (ko) |
| CN (1) | CN110461558B (ko) |
| WO (1) | WO2018179668A1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7348515B2 (ja) | 2019-12-05 | 2023-09-21 | 富士通株式会社 | 放熱シート及び放熱シートの製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006265550A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 熱伝導材料及びその製造方法 |
| JP2014060252A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Fujitsu Ltd | 放熱材料の製造方法 |
| JP2016004937A (ja) * | 2014-06-18 | 2016-01-12 | 富士通株式会社 | 接続部材の製造方法及び電子機器の製造方法 |
| JP2016100491A (ja) * | 2014-11-21 | 2016-05-30 | 株式会社日本触媒 | 放熱シートおよびその製造方法 |
Family Cites Families (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5953862B2 (ja) * | 1977-02-04 | 1984-12-27 | エヌオーケー株式会社 | 複合体の製造方法 |
| JP2005007861A (ja) * | 2003-05-27 | 2005-01-13 | Mitsubishi Gas Chem Co Inc | 三層構造の配向性カーボンナノチューブ膜複合シート、および該配向性カーボンナノチューブ膜の固定化方法 |
| CN100404242C (zh) * | 2005-04-14 | 2008-07-23 | 清华大学 | 热界面材料及其制造方法 |
| CN100454526C (zh) * | 2005-06-30 | 2009-01-21 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 热界面材料制造方法 |
| WO2009107229A1 (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | 富士通株式会社 | シート状構造体、半導体装置及び炭素構造体の成長方法 |
| JP5146256B2 (ja) * | 2008-03-18 | 2013-02-20 | 富士通株式会社 | シート状構造体及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法 |
| CN101671442A (zh) * | 2008-09-12 | 2010-03-17 | 清华大学 | 碳纳米管阵列复合材料的制备方法 |
| WO2010032525A1 (ja) * | 2008-09-18 | 2010-03-25 | 日東電工株式会社 | カーボンナノチューブ集合体 |
| JP5239768B2 (ja) * | 2008-11-14 | 2013-07-17 | 富士通株式会社 | 放熱材料並びに電子機器及びその製造方法 |
| CN101768427B (zh) * | 2009-01-07 | 2012-06-20 | 清华大学 | 热界面材料及其制备方法 |
| JP2012007093A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Nitto Denko Corp | 導電性粘着テープ |
| JP6132768B2 (ja) * | 2011-09-26 | 2017-05-24 | 富士通株式会社 | 放熱材料及びその製造方法 |
| JP6123154B2 (ja) * | 2012-01-25 | 2017-05-10 | 富士通株式会社 | 放熱材料の製造方法 |
| CN103665772A (zh) * | 2012-09-12 | 2014-03-26 | 南京理工大学 | 复合环氧树脂的碳纳米管阵列柔性热界面材料的制备方法 |
| JP6270731B2 (ja) * | 2012-11-05 | 2018-01-31 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブ複合成形体の製造方法 |
| WO2014136606A1 (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-12 | 住友電気工業株式会社 | 接着シート及び接着シートの製造方法 |
| CN103325754B (zh) * | 2013-05-22 | 2016-02-10 | 上海交通大学 | 基于碳纳米管增强的聚合物复合材料转接板及其制备方法 |
| JP6398627B2 (ja) * | 2014-11-10 | 2018-10-03 | 富士通株式会社 | 放熱シート、放熱シートの製造方法、及び電子装置の製造方法 |
| US10710333B2 (en) * | 2014-12-25 | 2020-07-14 | Kaneka Corporation | Heat transport structure and manufacturing method thereof |
| KR20180036954A (ko) * | 2015-06-12 | 2018-04-10 | 린텍 가부시키가이샤 | 탄소 나노튜브 포리스트 라미네이트 바디 및 탄소 나노튜브 포리스트 라미네이트 바디를 생성하는 방법 |
-
2017
- 2017-03-31 JP JP2017072258A patent/JP6901896B2/ja active Active
-
2018
- 2018-01-10 KR KR1020197028248A patent/KR102570875B1/ko active Active
- 2018-01-10 CN CN201880021643.0A patent/CN110461558B/zh active Active
- 2018-01-10 US US16/498,287 patent/US20200047436A1/en not_active Abandoned
- 2018-01-10 WO PCT/JP2018/000344 patent/WO2018179668A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006265550A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Kofukin Seimitsu Kogyo (Shenzhen) Yugenkoshi | 熱伝導材料及びその製造方法 |
| JP2014060252A (ja) * | 2012-09-18 | 2014-04-03 | Fujitsu Ltd | 放熱材料の製造方法 |
| JP2016004937A (ja) * | 2014-06-18 | 2016-01-12 | 富士通株式会社 | 接続部材の製造方法及び電子機器の製造方法 |
| JP2016100491A (ja) * | 2014-11-21 | 2016-05-30 | 株式会社日本触媒 | 放熱シートおよびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2018179668A1 (ja) | 2018-10-04 |
| KR20190135481A (ko) | 2019-12-06 |
| JP6901896B2 (ja) | 2021-07-14 |
| JP2018171809A (ja) | 2018-11-08 |
| CN110461558A (zh) | 2019-11-15 |
| CN110461558B (zh) | 2021-12-31 |
| US20200047436A1 (en) | 2020-02-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9961809B1 (en) | Heat radiation sheet and method for manufacturing of the same | |
| JP2007012911A (ja) | 放熱部品及びその製造方法 | |
| US20180014431A1 (en) | Thermal Pad and Electronic Device | |
| EP1139703A1 (en) | Substrate of circuit board | |
| CN101277601B (zh) | 积层体 | |
| CA3049185C (en) | Integrated surface protection system, composite structure, and method for protecting the same | |
| EP2469590A3 (en) | Fiber-containing resin substrate, sealed substrate having semiconductor device mounted thereon, sealed wafer having semiconductor device formed thereon, a semiconductor apparatus, and method for manufacturing semiconductor apparatus | |
| US10336034B2 (en) | Carrier-attached metal foil | |
| CN110662347A (zh) | 电磁波屏蔽膜、柔性印刷布线板以及它们的制造方法 | |
| WO2011086895A1 (ja) | コア材および回路基板の製造方法 | |
| JP2010194749A (ja) | 樹脂基複合材の製造方法 | |
| CN110744833B (zh) | 碳纳米管薄膜／复合材料成型方法及制成的闪电防护结构 | |
| CN104797420A (zh) | 层叠膜和屏蔽印刷布线板 | |
| KR20190110535A (ko) | 방열 시트 | |
| KR102570875B1 (ko) | 필러·수지 복합체, 필러·수지 복합체의 제조방법, 필러·수지 복합층 및 필러·수지 복합체의 사용방법 | |
| JP2015189884A (ja) | 熱硬化性樹脂組成物、樹脂シート、プリプレグ及び積層板 | |
| EP3866191B1 (en) | Electrically-insulative heat-dissipating sheet equipped with release sheet | |
| JP4383173B2 (ja) | 電気導電率を有する搬送部材およびその製造方法 | |
| JP5953126B2 (ja) | 型および型の製造方法 | |
| JP2010126685A (ja) | プリプレグシート | |
| US9627420B2 (en) | Method for forming an electronic device on a flexible substrate supported by a detachable carrier | |
| JP4900396B2 (ja) | 導電性シート材料及び電気的接続構造 | |
| US20230313003A1 (en) | Adhesive sheet, semiconductor module, and method for producing adhesive sheet | |
| WO2021256220A1 (ja) | 熱伝導体及び熱伝導体の製造方法 | |
| TWI300802B (en) | Thermal interface material and semiconductor device |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0105 | International application |
Patent event date: 20190926 Patent event code: PA01051R01D Comment text: International Patent Application |
|
| PG1501 | Laying open of application | ||
| A201 | Request for examination | ||
| PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20201230 Comment text: Request for Examination of Application |
|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20221220 Patent event code: PE09021S01D |
|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20230627 |
|
| GRNT | Written decision to grant | ||
| PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20230822 Patent event code: PR07011E01D |
|
| PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20230822 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
| PG1601 | Publication of registration |