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KR102485863B1 - Transpatent substrate having multilayer thin film coating - Google Patents

Transpatent substrate having multilayer thin film coating Download PDF

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KR102485863B1
KR102485863B1 KR1020200105686A KR20200105686A KR102485863B1 KR 102485863 B1 KR102485863 B1 KR 102485863B1 KR 1020200105686 A KR1020200105686 A KR 1020200105686A KR 20200105686 A KR20200105686 A KR 20200105686A KR 102485863 B1 KR102485863 B1 KR 102485863B1
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따르면, 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 다층 박막 코팅은 투명 기재로부터 멀어지는 방향으로 제1 유전체층, 반사층 및 제2 유전체층을 포함하고, 반사층은 금속 기반의 고굴절률층으로 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, a transparent substrate provided with a multilayer thin film coating is provided. According to one embodiment of the present invention, the multilayer thin film coating includes a first dielectric layer, a reflective layer, and a second dielectric layer in a direction away from the transparent substrate, and the reflective layer may be formed of a metal-based high refractive index layer.

Description

다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재{TRANSPATENT SUBSTRATE HAVING MULTILAYER THIN FILM COATING}Transparent substrate with multi-layer thin film coating {TRANSPATENT SUBSTRATE HAVING MULTILAYER THIN FILM COATING}

본 발명은 개선된 색상 및 내부식성을 갖는 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다층 박막 코팅 내에 고굴절률의 반사층을 형성해 원하는 색상을 선명하게 구현하면서 반사층의 상하면에 적절한 보호층을 위치시켜 내부식성을 보완하도록 구성된 투명 기재에 관한 것이다.The present invention relates to a transparent substrate equipped with a multilayer thin film coating having improved color and corrosion resistance, and more particularly, by forming a high refractive index reflective layer in the multilayer thin film coating to realize a desired color clearly and appropriately protecting the upper and lower surfaces of the reflective layer It relates to a transparent substrate configured to supplement corrosion resistance by positioning a layer.

반사 유리는 가시광선 투과율을 낮추고 반사율을 증가시켜 투명도를 감소시킨 반투명 유리로, 반투명 유리에 구현되는 색상을 통해 심미감을 제공할 수 있어 전자제품의 유리 커버 등에 많이 이용되고 있다.Reflective glass is a translucent glass that reduces transparency by lowering visible light transmittance and increasing reflectance, and is widely used in glass covers of electronic products because it can provide aesthetic sense through colors implemented in translucent glass.

이러한 반사 유리는 다른 유리 제품에 비해 심미감이 중요한 요소로 고려되기 때문에, 투과율이나 반사율을 조절해 유리에 원하는 색상을 정확하게 구현하는 기술이 매우 중요하다.Since aesthetics is considered an important factor in reflective glass compared to other glass products, it is very important to accurately implement a desired color on glass by adjusting transmittance or reflectance.

반사 유리에서 색상을 구현하는 대표적 방법으로는 투명 기재 상에 은(Ag)이나 알루미늄(Al)과 같은 반사성 금속 물질을 포함하는 박막층을 형성하는 방법을 생각할 수 있다.As a representative method of implementing color in reflective glass, a method of forming a thin film layer including a reflective metal material such as silver (Ag) or aluminum (Al) on a transparent substrate may be considered.

그러나, 이와 같이 반사성 금속 물질로 형성된 박막층은 외부의 수분이나 화학물질 등에 의한 부식에 취약해 별도의 보호막 형성이 필수적으로 요구되며, 부식 방지를 위해 보호막을 형성한다고 하더라도 보호막의 에지 부분으로부터 침투되는 부식을 근본적으로 차단하기는 어려운 문제가 있다.However, a thin film layer formed of a reflective metal material is vulnerable to corrosion by external moisture or chemicals, so a separate protective film is essential. There is a difficult problem to fundamentally block.

이러한 문제를 해소하기 위한 방안으로, 전술한 반사성 금속 박막층 대신 질화 규소(SiNx) 박막층을 증착시켜 유리에 반사 및 반투명 특성을 부여하는 방안이 제안되어 있다.As a method to solve this problem, a method of depositing a silicon nitride (SiNx) thin film layer instead of the above-described reflective metal thin film layer to impart reflective and translucent characteristics to glass has been proposed.

그러나, 질화 규소는 증착시 챔버 내에 투입되는 질소 가스의 주입량에 따라 투과 색상이 민감하게 변화하는 특성이 있어 유리에 원하는 색상을 정확히 구현하는데 어려움이 있으며, 반사 효율이 가장 높은 영역에서 투과색이 진한 황색으로 편이되는 경향이 강해 청동색 또는 황색 제품의 구현에는 용이하지만 전자제품의 유리 도어 등에 선호되는 그레이 색상 등을 구현하기에는 부적합한 문제가 있다.However, since silicon nitride has a characteristic in which the transmitted color changes sensitively according to the amount of nitrogen gas injected into the chamber during deposition, it is difficult to accurately implement the desired color on the glass, and the transmitted color is dark in the region of the highest reflection efficiency. It has a strong tendency to shift to yellow, so it is easy to implement bronze or yellow products, but there is a problem that it is not suitable for implementing gray colors, etc., which are preferred for glass doors of electronic products.

본 발명은 전술한 종래의 문제점을 해소하기 위한 것으로, 원하는 색상을 선명하게 구현하면서 동시에 내부식성 저하를 방지할 수 있도록 구성된 투명 기재를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, and to provide a transparent substrate configured to prevent degradation of corrosion resistance while clearly implementing a desired color.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 대표적인 구성은 다음과 같다.Representative configurations of the present invention for achieving the above object are as follows.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재가 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 다층 박막 코팅은 투명 기재로부터 멀어지는 방향으로 제1 유전체층, 반사층 및 제2 유전체층을 포함하고, 반사층은 금속 기반의 고굴절률층으로 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, a transparent substrate provided with a multilayer thin film coating is provided. According to one embodiment of the present invention, the multilayer thin film coating includes a first dielectric layer, a reflective layer, and a second dielectric layer in a direction away from the transparent substrate, and the reflective layer may be formed of a metal-based high refractive index layer.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층은 비정질 실리콘(Si), 지르코늄(Zr) 또는 이들의 합금을 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the reflective layer may include amorphous silicon (Si), zirconium (Zr), or an alloy thereof.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층은 알루미늄(Al)으로 도핑될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the reflective layer may be doped with aluminum (Al).

본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층은 서로 다른 복소 굴절률 패턴을 갖는 적어도 2개의 반사층을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the reflective layer may include at least two reflective layers having different complex refractive index patterns.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층은 제1 반사층 및 제2 반사층을 포함하고, 제1 반사층과 제2 반사층 중 하나 이상은 실리콘-지르코늄 합금을 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the reflective layer includes a first reflective layer and a second reflective layer, and at least one of the first reflective layer and the second reflective layer may include a silicon-zirconium alloy.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 반사층과 제2 반사층 중 어느 하나는 비정질 실리콘(Si)을 포함하고, 제1 반사층과 제2 반사층 중 다른 하나는 실리콘-지르코늄(SiZr) 합금을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, one of the first reflective layer and the second reflective layer may include amorphous silicon (Si), and the other of the first reflective layer and the second reflective layer may include a silicon-zirconium (SiZr) alloy. can

본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 반사층 및 제2 반사층은 알루미늄(Al)으로 도핑될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first reflective layer and the second reflective layer may be doped with aluminum (Al).

본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 반사층은 550nm 파장에서 3.5 내지 4.5의 굴절률을 갖고, 제2 반사층은 550nm 파장에서 3.2 내지 4.2의 굴절률을 가질 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the first reflective layer may have a refractive index of 3.5 to 4.5 at a wavelength of 550 nm, and the second reflective layer may have a refractive index of 3.2 to 4.2 at a wavelength of 550 nm.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층의 물리적 두께의 총합은 6nm 내지 30nm일 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the total physical thickness of the reflective layer may be 6 nm to 30 nm.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층의 상부면과 하부면 중 하나 이상에는 반사층을 보호하는 보호층이 구비될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, a protective layer for protecting the reflective layer may be provided on at least one of the upper and lower surfaces of the reflective layer.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층의 하부면에는 하부 보호층이 접촉되어 형성되고, 반사층의 상부면에는 상부 보호층이 접촉되어 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a lower protective layer may be formed in contact with a lower surface of the reflective layer, and an upper protective layer may be formed in contact with an upper surface of the reflective layer.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 하부 보호층 및 상부 보호층은 각각 1nm 내지 5nm의 물리적 두께로 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the lower passivation layer and the upper passivation layer may be formed to have a physical thickness of 1 nm to 5 nm, respectively.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 하부 보호층 및 상부 보호층은 니켈(Ni), 크롬(Cr), 티타늄(Ti) 및 니오븀(Nb) 중 1종 이상의 금속 또는 이들의 합금을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the lower protective layer and the upper protective layer may include one or more metals or alloys of nickel (Ni), chromium (Cr), titanium (Ti), and niobium (Nb). .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 하부 보호층 및 상부 보호층은 니켈-크롬(NiCr) 합금을 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the lower protective layer and the upper protective layer may include a nickel-chromium (NiCr) alloy.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 유전체층 및 제2 유전체층은 금속 질화물을 포함하고, 금속 질화물에 포함되는 금속은 실리콘(Si), 알루미늄(Al), 티타늄(Ti) 및 지르코늄(Zr) 중 1종 이상 또는 이들의 합금일 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the first dielectric layer and the second dielectric layer include a metal nitride, and the metal included in the metal nitride is silicon (Si), aluminum (Al), titanium (Ti), and zirconium (Zr). It may be one or more types or alloys thereof.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1 유전체층은 5nm 내지 30nm의 물리적 두께로 형성되고, 제2 유전체층은 15nm 내지 40nm의 물리적 두께로 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the first dielectric layer may be formed to a physical thickness of 5 nm to 30 nm, and the second dielectric layer may be formed to a physical thickness of 15 nm to 40 nm.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 다층 박막 코팅에는 특정 파장의 빛을 흡수하는 광흡수층이 더 포함될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the multilayer thin film coating may further include a light absorbing layer that absorbs light of a specific wavelength.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 광흡수층은 질화 니오븀(NbN)을 포함할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the light absorption layer may include niobium nitride (NbN).

본 발명의 일 실시예에 따르면, 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 비코팅면 광흡수율은 30% 내지 60%일 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the light absorption rate of the non-coated surface of the transparent substrate provided with the multilayer thin film coating may be 30% to 60%.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 비코팅면 반사율은 20% 이상일 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the reflectance of the non-coated surface of the transparent substrate provided with the multilayer thin film coating may be 20% or more.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 투과율은 50% 이하일 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the transmittance of the transparent substrate provided with the multilayer thin film coating may be 50% or less.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 투과색은 CIE L*a*b* 색공간에서 a*가 -5 내지 +5이고 b*가 -5 내지 +10일 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the transmission color of the transparent substrate provided with the multilayer thin film coating may be -5 to +5 in a* and -5 to +10 in b* in the CIE L*a*b* color space. there is.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 비코팅면 반사색은 CIE L*a*b* 색공간에서 a*가 -5 내지 +5이고 b*가 -10 내지 +10일 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the reflection color of the non-coated surface of the transparent substrate provided with the multilayer thin film coating is a* of -5 to +5 and b* is -10 to +5 in the CIE L*a*b* color space. may be 10

이 외에도, 본 발명에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재에는 본 발명의 기술적 사상을 해치지 않는 범위에서 다른 부가적인 구성이 더 포함될 수 있다.In addition to this, the transparent substrate provided with the multilayer thin film coating according to the present invention may further include other additional configurations within a range that does not impair the technical spirit of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재는 다층 박막 코팅 내에 금속 기반의 고굴절률층으로 형성된 반사층을 구비하고 있어, 고굴절률 반사층을 통해 투명 기재에 원하는 색상을 선명하게 구현할 수 있게 된다.A transparent substrate with a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention includes a reflective layer formed of a metal-based high refractive index layer within the multilayer thin film coating, so that a desired color can be clearly implemented on the transparent substrate through the high refractive index reflective layer. there will be

구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재는 가시광선 영역에서 상대적으로 고른 흡수 파장대를 나타내며 상대적으로 높은 굴절률을 갖는 비정질 실리콘 및/또는 실리콘 지르코늄을 포함하도록 반사층을 형성해 투명 기재에 반사 및 반투명 특성을 부여하도록 구성되어 있기 때문에, 황색편이 현상 등의 발생을 효과적으로 억제하면서 투명 기재에 원하는 색상을 보다 선명하게 형성할 수 있게 된다.Specifically, the transparent substrate having a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention shows a relatively even absorption wavelength band in the visible ray region and forms a reflective layer to include amorphous silicon and/or silicon zirconium having a relatively high refractive index. Since it is configured to impart reflective and translucent properties to the transparent substrate, it is possible to more clearly form a desired color on the transparent substrate while effectively suppressing the occurrence of yellow shift.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재는 반사층의 상하부면에 보호층이 형성되도록 구성되어 있어, 박막층 증착시나 열처리 강화시에 반사층의 특성이 변화되는 것을 방지할 수 있고, 이로 인해 투명 기재에 구현된 색상이 변화되거나 내구성이 저하되는 것을 방지할 수 있게 된다.In addition, the transparent substrate having a multi-layer thin film coating according to an embodiment of the present invention is configured such that protective layers are formed on the upper and lower surfaces of the reflective layer, so that the characteristics of the reflective layer can be prevented from being changed during deposition of the thin film layer or during strengthening of heat treatment. As a result, it is possible to prevent a change in color implemented on the transparent substrate or a decrease in durability.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재는 색상 구현의 핵심이 되는 반사층이나 이를 보호하는 보호층의 두께를 소정의 범위로 제어함으로써 투명 기재에 원하는 색상을 더욱 정확하게 구현하고 투명 기재 및 다층 박막 코팅의 기계적·화학적 특성을 한층 더 향상시킬 수 있게 된다.In addition, the transparent substrate equipped with a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention more accurately implements the desired color on the transparent substrate by controlling the thickness of the reflective layer, which is the core of color implementation, or the protective layer protecting it within a predetermined range. And it is possible to further improve the mechanical and chemical properties of the transparent substrate and the multilayer thin film coating.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 단면 구조를 예시적으로 도시한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 단면 구조를 예시적으로 도시한다. (반사층의 상하부에 보호층이 구비된 실시형태)
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 단면 구조를 예시적으로 도시한다. (반사층이 복수의 반사층으로 형성된 실시형태)
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 단면 구조를 예시적으로 도시한다. (다층 박막 코팅 내에 광흡수층이 추가로 구비된 실시형태)
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재에서 반사층에 포함될 수 있는 비정질 실리콘과 실리콘 지르코늄의 광학 특성을 예시적으로 도시한다. [도 5에서 (a)는 비정질 실리콘의 광학 특성을 도시하고 (b)는 실리콘 지르코늄의 광학 특성을 도시함]
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재에서 반사층에 포함될 수 있는 비정질 실리콘과 실리콘 지르코늄의 투과 및 반사 특성을 예시적으로 도시한다.
1 illustratively shows a cross-sectional structure of a transparent substrate provided with a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention.
2 illustratively shows a cross-sectional structure of a transparent substrate provided with a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention. (Embodiment in which protective layers are provided above and below the reflective layer)
3 illustratively illustrates a cross-sectional structure of a transparent substrate provided with a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention. (Embodiment in which the reflective layer is formed of a plurality of reflective layers)
4 illustratively illustrates a cross-sectional structure of a transparent substrate provided with a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention. (Embodiment in which a light absorption layer is additionally provided in the multilayer thin film coating)
5 illustratively illustrates optical properties of amorphous silicon and silicon zirconium that may be included in a reflective layer in a transparent substrate having a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention. [In FIG. 5, (a) shows the optical properties of amorphous silicon and (b) shows the optical properties of silicon zirconium]
6 illustratively illustrates transmission and reflection characteristics of amorphous silicon and silicon zirconium that may be included in a reflective layer in a transparent substrate having a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention.

이하에서 기술되는 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이에 대한 구체적 설명으로 제한되는 것은 아니다.The embodiments described below are exemplified for the purpose of explaining the technical idea of the present invention, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments or specific description thereof presented below.

본 명세서에서 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은 달리 정의되지 않는 한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 가지며, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어들은 본 발명을 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것으로서 본 발명의 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.All technical terms and scientific terms used in this specification have meanings commonly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs, unless defined otherwise, and all terms used in this specification represent the present invention. It is selected for the purpose of more clearly explaining, and is not selected to limit the scope of the present invention.

본 명세서에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.Expressions such as "comprising," "including," "having," and the like used herein are open-ended terms that imply the possibility of including other embodiments unless otherwise stated in the phrase or sentence in which the expression is included. -ended terms).

본 명세서에 기재된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.Singular expressions described in this specification may include plural meanings unless otherwise stated, and this applies equally to singular expressions written in the claims.

본 명세서에서 어떤 구성요소가 다른 구성요소의 일측에 "위치되어" 있다거나 "형성되어" 있다고 언급되는 경우, 이는 어떤 구성요소가 다른 구성요소의 일측에 직접 접촉된 상태로 위치되거나 형성되는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 중간에 개재한 상태로 위치하거나 형성될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.In this specification, when a component is referred to as being "located" or "formed" on one side of another component, this means that a component is positioned or formed in direct contact with one side of another component, Or it should be understood that it can be positioned or formed with other new components interposed therebetween.

본 명세서에서 사용되는 "하방", "하부" 등의 방향 지시어는 첨부된 도면에서 투명 기재를 향하는 방향을 의미하고, "상방", "상부" 등의 방향 지시어는 그 반대 방향(즉, 투명 기재로부터 멀어지는 방향)을 의미한다.As used herein, direction indicators such as "downward" and "lower" mean a direction toward the transparent substrate in the accompanying drawings, and direction indicators such as "upper" and "upper" indicate the opposite direction (ie, the transparent substrate). direction away from ).

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명한다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소는 동일한 참조부호를 통해 지시되어 있으며, 이하의 실시예들의 설명에 있어서 동일하거나 대응하는 구성요소는 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 다만, 아래의 설명에서 특정 구성요소에 관한 기술이 생략되어 있더라도, 이는 그러한 구성요소가 해당 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail so that those skilled in the art can easily practice it. In the accompanying drawings, identical or corresponding components are indicated by the same reference numerals, and overlapping description of identical or corresponding components in the description of the following embodiments may be omitted. However, even if a description of a specific component is omitted in the description below, this does not mean that the component is not included in the embodiment.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 단면 적층 구조가 예시적으로 도시되어 있다. 후술하는 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재는 다층 박막 코팅에 소정의 굴절률 특성을 갖는 하나 이상의 반사층을 위치시켜 투명 기재에 원하는 색상을 부여하고 반사층의 상하부에는 보호층을 형성해 반사층의 특성이 변질되거나 코팅층의 내구성이 저하되는 것을 방지하도록 구성된 것을 특징으로 한다.Referring to FIGS. 1 to 4 , a cross-section laminated structure of a transparent substrate provided with a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention is illustrated as an example. As will be described later, the transparent substrate provided with a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention provides a desired color to the transparent substrate by placing one or more reflective layers having predetermined refractive index characteristics on the multilayer thin film coating, and upper and lower portions of the reflective layer It is characterized in that it is configured to form a protective layer to prevent the characteristics of the reflective layer from being altered or the durability of the coating layer from being lowered.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 투명 기재(100)는 경질의 무기물 또는 중합체 유기물 등으로 형성될 수 있으며, 예컨대 소다라임유리 등과 같은 통상의 유리 기판으로 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the transparent substrate 100 may be formed of a hard inorganic material or polymer organic material, for example, it may be formed of a normal glass substrate such as soda lime glass.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 다층 박막 코팅(200)은 투명 기재(100) 상에 복수의 박막층이 적층된 구조로 형성되어 투명 기재에 요구되는 다양한 광학적·화학적 특성을 부여하는 기능을 수행할 수 있다. 예컨대, 이러한 다층 박막 코팅(200)은 스퍼터링 공정과 같은 물리적 기상증착(Physical Vapor Deposition; PVD) 공정을 이용해 투명 기재(100) 상에 증착되어 형성되도록 구성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the multilayer thin film coating 200 is formed in a structure in which a plurality of thin film layers are stacked on the transparent substrate 100 to perform a function of imparting various optical and chemical properties required for the transparent substrate. can For example, the multilayer thin film coating 200 may be configured to be deposited and formed on the transparent substrate 100 using a physical vapor deposition (PVD) process such as a sputtering process.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 박막 다층 코팅(200)은 도면에 도시된 바와 같이 투명 기재(100)로부터 멀어지는 방향으로 제1 유전체층(210), 반사층(230), 제2 유전체층(250)을 포함하도록 구성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the thin film multilayer coating 200, as shown in the drawing, the first dielectric layer 210, the reflective layer 230, the second dielectric layer 250 in a direction away from the transparent substrate 100 can be configured to include

본 발명의 일 실시예에 따르면, 유전체층[도면에 도시된 실시형태의 경우, 제1 유전체층(210) 및 제2 유전체층(250)]은 가시광선 영역의 파장을 갖는 빛의 반사를 방지해 반사광에 의한 간섭이나 산란을 제거하고 수분이나 이물질로부터 코팅층을 보호하는 기능을 수행할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the dielectric layer (in the case of the embodiment shown in the drawing, the first dielectric layer 210 and the second dielectric layer 250) prevents the reflection of light having a wavelength in the visible ray region and affects the reflected light. It can perform the function of removing interference or scattering by the coating layer and protecting the coating layer from moisture or foreign substances.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 각각의 유전체층[도면에 도시된 실시형태의 경우, 제1 유전체층(210) 및 제2 유전체층(250)]은 하나 이상의 박막층으로 형성되거나 복수의 박막층이 적층된 구조로 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, each dielectric layer (in the case of the embodiment shown in the drawing, the first dielectric layer 210 and the second dielectric layer 250) is formed of one or more thin film layers or a structure in which a plurality of thin film layers are stacked. can be formed as

본 발명의 일 실시예에 따르면, 유전체층[도면에 도시된 실시형태의 경우, 제1 유전체층(210) 및 제2 유전체층(250)]은 금속 산화물, 금속 질화물 또는 금속 산질화물 등을 포함할 수 있으며, 유전체층에 포함되는 금속은 실리콘(Si), 알루미늄(Al), 티타늄(Ti) 및 지르코늄(Zr) 중 1종 이상 또는 이들의 합금이 될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the dielectric layer (in the case of the embodiment shown in the drawing, the first dielectric layer 210 and the second dielectric layer 250) may include a metal oxide, a metal nitride, a metal oxynitride, or the like, , The metal included in the dielectric layer may be one or more of silicon (Si), aluminum (Al), titanium (Ti), and zirconium (Zr) or an alloy thereof.

예컨대, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 유전체층[제1 유전체층(210) 및 제2 유전체층(250)]은 금속 질화물, 특히 실리콘 질화물(예컨대, Si3N4)을 포함하도록 형성될 수 있으며, 이러한 유전체층은 지르코늄(Zr) 및/또는 알루미늄(Al)이 도핑된 상태로 형성될 수 있다.For example, according to a preferred embodiment of the present invention, the dielectric layers (first dielectric layer 210 and second dielectric layer 250) may be formed to include metal nitride, particularly silicon nitride (eg, Si 3 N 4 ), The dielectric layer may be formed in a doped state with zirconium (Zr) and/or aluminum (Al).

본 발명의 일 실시예에 따르면, 유전체층은 도면에 도시된 바와 같이 반사층(230)의 하부 및 상부에 모두 구비되도록 구성되는 것이 바람직할 수 있으며, 유전체층의 두께는 반사층에 대한 보호 기능을 수행하면서 반사색을 의도에 따라 조절할 수 있는 적절한 범위로 설정될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, as shown in the drawing, it may be preferable that the dielectric layer is provided on both the lower and upper portions of the reflective layer 230, and the thickness of the dielectric layer is half the thickness of the reflective layer while performing a protective function for the reflective layer. Contemplation can be set to an appropriate range that can be adjusted according to intention.

예컨대, 유전체층의 두께를 조절하면 두께 변화에 따른 경로차로 인해 가시광선 영역의 각 파장에서 위상차가 발생하게 되고, 이에 따라 파장마다 보강 간섭 또는 상쇄 간섭이 발생하게 되므로, 유전체층의 물리적 두께는 중간에 개재되는 반사층에 대한 보호 및/또는 구현하고자 하는 색상을 고려해 적절히 설정될 수 있다.For example, when the thickness of the dielectric layer is adjusted, a phase difference occurs at each wavelength in the visible ray region due to a path difference due to a change in thickness, and constructive interference or destructive interference occurs for each wavelength accordingly, so the physical thickness of the dielectric layer is intervened. It may be appropriately set in consideration of protection for the reflective layer and/or color to be implemented.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층(230)의 하부에 위치하는 제1 유전체층(210)은 5nm 내지 30nm의 물리적 두께로 형성되고, 반사층(230)의 상부에 위치하는 상부 유전체층(270)은 15nm 내지 40nm의 물리적 두께로 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the first dielectric layer 210 located below the reflective layer 230 is formed to have a physical thickness of 5 nm to 30 nm, and the upper dielectric layer 270 located above the reflective layer 230 is It may be formed with a physical thickness of 15 nm to 40 nm.

만일, 제1 유전체층(210)의 물리적 두께가 5nm 미만으로 형성되면 제1 유전체층(210)과 투명 기재(100) 사이에 충분한 부착성이 확보되기 어렵고 제1 유전체층(210)의 물리적 두께가 30nm를 초과해서 형성되면 비코팅면 반사율 특성이 저하되는 문제가 발생할 수 있으며, 제2 유전체층(250)의 물리적 두께가 15nm 미만으로 형성되면 하부에 위치하는 반사층을 충실히 보호하기 힘들고 제2 유전체층(250)의 물리적 두께가 40nm를 초과해서 형성되면 응력 집중으로 열처리 과정에서 표면 박리 등이 발생할 위험이 있으므로, 유전체층의 물리적 두께는 위와 같이 제어된 범위로 형성되는 것이 바람직할 수 있다.If the physical thickness of the first dielectric layer 210 is less than 5 nm, it is difficult to ensure sufficient adhesion between the first dielectric layer 210 and the transparent substrate 100, and the physical thickness of the first dielectric layer 210 is less than 30 nm. If it is formed in excess, a problem of deterioration of the reflectance characteristics of the non-coated surface may occur, and if the physical thickness of the second dielectric layer 250 is formed to be less than 15 nm, it is difficult to faithfully protect the reflective layer located below, and the second dielectric layer 250 If the physical thickness exceeds 40 nm, there is a risk of surface peeling or the like occurring during the heat treatment process due to stress concentration. Therefore, it may be preferable that the physical thickness of the dielectric layer is formed within a controlled range as described above.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층(230)은 투명 기재에 원하는 색상을 부여하는 기능을 수행하며, 투명 기재에 적절한 반사 및 반투명 특성을 부여할 수는 고굴절률층으로 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the reflective layer 230 performs a function of imparting a desired color to the transparent substrate, and may be formed of a high refractive index layer capable of imparting appropriate reflective and translucent characteristics to the transparent substrate.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층[230; 도면에 도시된 실시형태의 경우, 제1 반사층(232) 및 제2 반사층(234)]은 550nm 파장에서 미리 결정된 굴절률 특성을 갖는 금속층으로 형성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the reflective layer [230; In the case of the embodiment shown in the drawing, the first reflective layer 232 and the second reflective layer 234] may be formed of a metal layer having a predetermined refractive index characteristic at a wavelength of 550 nm.

구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층(230)은 비정질 실리콘(Si), 지르코늄(Zr) 또는 이들의 합금을 포함하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 반사층(230)은 비정질 실리콘(Si) 및/또는 실리콘 지르코늄(SiZr)을 포함하도록 구성될 수 있다.Specifically, according to one embodiment of the present invention, the reflective layer 230 may be configured to include amorphous silicon (Si), zirconium (Zr), or an alloy thereof. For example, according to a preferred embodiment of the present invention, the reflective layer 230 may include amorphous silicon (Si) and/or silicon zirconium (SiZr).

이와 관련해, 도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재에서 반사층(230)에 포함될 수 있는 비정질 실리콘(Si)과 실리콘 지르코늄(SiZr)의 광학 특성이 예시적으로 도시되어 있다.In this regard, referring to FIGS. 5 and 6 , the optics of amorphous silicon (Si) and silicon zirconium (SiZr) that may be included in the reflective layer 230 in a transparent substrate having a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention. Characteristics are shown by way of example.

도 5에 도시된 바와 같이, 비정질 실리콘(Si)과 실리콘 지르코늄(SiZr)은 가시광선 영역에서 상대적으로 높은 굴절률을 나타내기 때문에[예컨대, 550nm의 파장에서 비정질 실리콘(Si)과 실리콘 지르코늄(SiZr)은 각각 4.1과 3.8 정도의 굴절률을 나타냄], 본 발명의 일 실시예에 따른 투명 기재와 같이 비정질 실리콘(Si) 및/또는 실리콘 지르코늄(SiZr)을 이용해 반사층을 형성하게 되면 반사 효율이 높은 반사층을 형성하는 것이 가능해 질 수 있다.As shown in FIG. 5, since amorphous silicon (Si) and silicon zirconium (SiZr) exhibit relatively high refractive indices in the visible light region (e.g., amorphous silicon (Si) and silicon zirconium (SiZr) at a wavelength of 550 nm) represents a refractive index of about 4.1 and 3.8, respectively], when the reflective layer is formed using amorphous silicon (Si) and/or silicon zirconium (SiZr) like the transparent substrate according to an embodiment of the present invention, a reflective layer with high reflective efficiency is obtained. formation can be possible.

다만, 도 5에 도시된 바와 같이, 비정질 실리콘(Si)은 흡수 영역이 주로 청색에 집중되어 있는 반면, 실리콘 지르코늄(SiZr)은 가시광선 파장대 전체 영역에 걸쳐 흡수 영역이 고르게 분포되어 있어 보다 뉴트럴한 흡수성을 나타낼 수 있기 때문에, 실리콘 지르코늄(SiZr)을 반사층에 포함시키게 되면 비정질 실리콘(Si)에 비해 원하는 색상, 특히 뉴트럴 색상 또는 그레이 색상을 형성하는데 보다 유리할 수 있다.However, as shown in FIG. 5, amorphous silicon (Si) has an absorption region mainly concentrated in blue, whereas silicon zirconium (SiZr) has a more neutral absorption region evenly distributed over the entire visible ray wavelength range. Since silicon zirconium (SiZr) can exhibit absorptive properties, inclusion of silicon zirconium (SiZr) in the reflective layer may be more advantageous in forming a desired color, particularly a neutral color or gray color, compared to amorphous silicon (Si).

한편, 도 6을 참조하면, 비정질 실리콘(Si)을 포함하는 박막층과 실리콘 지르코늄(SiZr)을 포함하는 박막층을 각각 5.0nm의 두께로 증착한 다음 이들의 투과 및 반사 특성을 시험한 결과가 도시되어 있다.On the other hand, referring to FIG. 6, the results of depositing a thin film layer containing amorphous silicon (Si) and a thin film layer containing silicon zirconium (SiZr) to a thickness of 5.0 nm, respectively, and then testing their transmission and reflection characteristics are shown. there is.

구체적으로, 도 6 및 아래의 [표 1]에 개시되어 있는 바와 같이, 투명 기재에 비정질 실리콘(Si)을 포함하는 박막층을 형성한 경우와 실리콘 지르코늄(SiZr)을 포함하는 박막층을 형성한 경우 모두 유사한 비코팅면(유리면) 반사색을 나타내게 됨을 알 수 있으며, 비정질 실리콘(Si)을 포함하는 박막층에 비해 실리콘 지르코늄(SiZr)을 포함하는 박막층의 경우가 황색편이가 덜하고 보다 뉴트럴한 색상을 나타냄을 확인할 수 있다.Specifically, as disclosed in FIG. 6 and [Table 1] below, both the case of forming a thin film layer containing amorphous silicon (Si) and the case of forming a thin film layer containing silicon zirconium (SiZr) on a transparent substrate. It can be seen that the non-coated surface (glass surface) shows a similar reflective color, and the thin film layer containing silicon zirconium (SiZr) shows less yellow shift and more neutral color than the thin film layer containing amorphous silicon (Si) can confirm.

두께 (nm)thickness (nm) 투과permeation 비코팅면 반사non-coated surface reflection %% a*a* b*b* %% a*a* b*b* Si 박막층Si thin layer 5.05.0 5353 2.52.5 15.815.8 1717 -2-2 -1-One SiZr 박막층SiZr thin layer 5.05.0 4343 0.80.8 3.23.2 1414 -1-One -2-2

본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층(230)은 서로 다른 복소 굴절률 패턴을 갖는 복수의 박막층이 적층되어 형성되도록 구성될 수 있다. 예컨대, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층(230)은 예컨대 도 3에 도시된 바와 같이 비정질 실리콘(Si)을 포함하는 제1 반사층(232)과 실리콘 지르코늄(SiZr)을 포함하는 제2 반사층(234)이 적층되어 형성되도록 구성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the reflective layer 230 may be formed by stacking a plurality of thin film layers having different complex refractive index patterns. For example, according to one embodiment of the present invention, the reflective layer 230 includes, for example, a first reflective layer 232 including amorphous silicon (Si) and a second reflective layer including silicon zirconium (SiZr), as shown in FIG. 3 . 234 may be configured to be formed by stacking.

다만, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재에서 반사층(230)은 도 3에 도시된 바와 같이 2개의 박막층이 적층된 구조로 형성되어야만 하는 것은 아니고, 하나의 박막층으로 형성되거나 3개 이상의 박막층이 적층된 구조로 형성될 수도 있다.However, in the transparent substrate provided with a multi-layer thin film coating according to an embodiment of the present invention, the reflective layer 230 does not have to be formed in a structure in which two thin film layers are stacked as shown in FIG. 3, but formed as a single thin film layer. Or it may be formed in a structure in which three or more thin film layers are stacked.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 반사층(230)은 물리적 두께의 총합이 6nm 내지 30nm로 형성되는 것이 바람직할 수 있으며, 알루미늄(Al)이 도핑된 상태로 형성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the reflective layer 230 may preferably have a total physical thickness of 6 nm to 30 nm, and may be formed in an aluminum (Al) doped state.

만일, 반사층(230)의 물리적 두께가 6nm 미만으로 형성되게 되면 비코팅면 반사율 특성이 저하되는 문제가 나타날 수 있으며, 반사층(230)의 물리적 두께가 30nm를 초과하여 형성되게 되면 투과색이 CIE L*a*b 색공간에서 10을 초과하는 b* 값을 갖게 될 수 있으므로, 반사층(230)의 물리적 두께는 전술한 범위로 형성되는 것이 바람직할 수 있다.If the physical thickness of the reflective layer 230 is formed to be less than 6 nm, the non-coated surface reflectance characteristics may deteriorate, and if the physical thickness of the reflective layer 230 is formed to exceed 30 nm, the transmitted color is CIE L Since it may have a b* value exceeding 10 in the *a*b color space, it may be preferable that the physical thickness of the reflective layer 230 is within the aforementioned range.

또한, 전술한 바와 같이 반사층(230)을 비정질 실리콘(Si)을 포함하는 제1 반사층(232)과 실리콘 지르코늄(SiZr)을 포함하는 제2 반사층(234)이 적층된 구조로 형성할 경우, 제1 반사층의 물리적 두께(t1)와 제2 반사층의 물리적 두께(t2) 사이의 비율(t1/t2)은 0.5 내지 1.5의 범위로 형성되는 것이 바람직할 수 있다.In addition, as described above, when the reflective layer 230 is formed in a structure in which the first reflective layer 232 containing amorphous silicon (Si) and the second reflective layer 234 containing silicon zirconium (SiZr) are stacked, A ratio (t1/t2) between the physical thickness t1 of the first reflective layer and the physical thickness t2 of the second reflective layer may be in the range of 0.5 to 1.5.

만일, 제1 반사층의 물리적 두께(t1)를 제2 반사층의 물리적 두께(t2)에 비해 두껍게 형성하면 반사율을 높이는데 유리할 수 있으나 제1 반사층의 물리적 두께(t1)를 제2 반사층의 물리적 두께(t2)에 비해 너무 두껍게 형성할 경우에는 투과색에 황색편이가 나타날 우려가 있고, 제2 반사층의 물리적 두께(t2)를 제1 반사층의 물리적 두께(t1)에 비해 두껍게 형성하면 뉴트럴한 색상 구현에 유리할 수 있으나 제2 반사층의 물리적 두께(t2)를 제1 반사층의 물리적 두께(t1)에 비해 너무 두껍게 형성할 경우에는 전체적인 반사율이 감소할 우려가 있으므로, 제1 반사층의 물리적 두께(t1)와 제2 반사층의 물리적 두께(t2)는 전술한 소정의 비율을 갖도록 형성되는 것이 바람직할 수 있다.If the physical thickness t1 of the first reflective layer is formed to be thicker than the physical thickness t2 of the second reflective layer, it may be advantageous to increase the reflectance. If it is formed too thick compared to t2), there is a risk of yellow shift in the transmitted color, and if the physical thickness (t2) of the second reflective layer is formed thicker than the physical thickness (t1) of the first reflective layer, neutral color can be realized. However, if the physical thickness t2 of the second reflective layer is too thick compared to the physical thickness t1 of the first reflective layer, the overall reflectance may decrease. The physical thickness t2 of the two reflective layers may be preferably formed to have the above-described predetermined ratio.

한편, 전술한 반사층(230)은 금속 질화물이나 금속 산화물 등으로 형성되는 유전체층에 직접 접촉하여 형성될 경우, 증착 공정이나 열처리 공정을 수행하는 과정에서 반사층에 질화 또는 산화가 발생해 반사층(230)의 특성이 변질될 우려가 있으며, 이에 따라 반사층(230)에 의해 원하는 투과율, 반사율, 투과색, 반사색 등이 정확하게 구현되지 못할 수 있다.On the other hand, when the aforementioned reflective layer 230 is formed by directly contacting a dielectric layer formed of metal nitride or metal oxide, the reflective layer 230 is nitrided or oxidized during a deposition process or a heat treatment process. There is a concern that the characteristics may be altered, and accordingly, the desired transmittance, reflectance, transmitted color, and reflected color may not be accurately implemented by the reflective layer 230 .

이러한 문제를 방지하기 위해, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재는 반사층(230)의 상부 및/또는 하부에 보호층을 구비하도록 구성될 수 있다.In order to prevent this problem, the transparent substrate having a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention may be configured to include a protective layer on top and/or bottom of the reflective layer 230 .

예컨대, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재는 다층 박막 코팅(200)에서 반사층(230)의 하부면에는 제1 보호층(220)이 접촉되어 형성되고 반사층(230)의 상부면에는 제2 보호층(240)이 접촉되어 형성되도록 구성될 수 있다.For example, in the transparent substrate provided with the multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention, the first protective layer 220 is formed by contacting the lower surface of the reflective layer 230 in the multilayer thin film coating 200, and the reflective layer 230 The upper surface of the second protective layer 240 may be configured to be formed in contact with.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 보호층[도면에 도시된 실시형태의 경우, 제1 보호층(220) 및 제2 보호층(240)]은 반사층(230)에 대한 안정적인 보호 기능을 수행할 수 있도록 니켈(Ni), 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 니오븀(Nb) 중 1종 이상의 금속 또는 이들의 합금을 포함하도록 구성될 수 있으며, 바람직하게는 니켈-크롬(NiCr) 합금을 포함하도록 구성될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the protective layer (in the case of the embodiment shown in the drawing, the first protective layer 220 and the second protective layer 240) may perform a stable protective function for the reflective layer 230. Nickel (Ni), chromium (Cr), titanium (Ti), niobium (Nb), or one or more metals or alloys thereof, preferably including a nickel-chromium (NiCr) alloy. can be configured to

본 발명의 일 실시예에 따르면, 보호층[제1 보호층(220) 및 제2 보호층(240)]은 각각 1nm 내지 5nm의 물리적 두께를 갖도록 형성될 수 있다. 투명 기재(100) 상에 증착된 다층 박막 코팅(200)에서 보호층이 너무 두껍게 형성되면 이는 투명 기재의 광학적 특성을 저하시키는 원인이 될 수 있고 반대로 보호층이 너무 얇게 형성되면 반사층에 대한 보호 기능이 보장될 수 없기 때문에, 보호층의 두께는 전술한 바와 같이 소정의 범위로 적절히 제어되는 것이 바람직할 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the protective layer (first protective layer 220 and second protective layer 240) may be formed to have a physical thickness of 1 nm to 5 nm, respectively. If the protective layer is formed too thick in the multilayer thin film coating 200 deposited on the transparent substrate 100, it may cause deterioration of the optical properties of the transparent substrate, and conversely, if the protective layer is formed too thin, the protective function for the reflective layer Since this cannot be guaranteed, it may be desirable that the thickness of the protective layer is appropriately controlled within a predetermined range as described above.

아래의 [표 2]를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재에서 반사층의 상하부에 위치하는 보호층의 기능을 확인하기 위한 시험 데이터가 예시적으로 개시되어 있다.Referring to [Table 2] below, test data for confirming the function of the protective layer positioned above and below the reflective layer in the transparent substrate provided with the multilayer thin film coating according to one embodiment of the present invention is exemplarily disclosed. .

하부 보호층lower protective layer 상부 보호층upper protective layer 강화전후 색차(△E)Color difference before and after enhancement (ΔE) 내산성acid resistance 내알칼리성alkali resistance 내습성
(△E)
moisture resistance
(ΔE)
투과permeation 반사reflect 비교예 1Comparative Example 1 -- -- 8.58.5 5.45.4 5.15.1 비교예 2Comparative Example 2 -- -- 10.410.4 6.26.2 ×× ×× 9.39.3 실시예 1Example 1 0.50.5 0.50.5 5.35.3 4.54.5 2.52.5 실시예 2Example 2 1One 1One 4.14.1 3.83.8 1.81.8

[표 2]에 개시된 시험 데이터에서, 비교예 1은 실리콘 질화물(Si3N4)을 포함하는 유전체층 사이에 반사층이 위치된 상태로 다층 박막 코팅을 형성하고, 비교예 2는 티타늄 산화물(TiO2)을 포함하는 유전체층 사이에 반사층이 위치된 상태로 다층 박막 코팅을 형성하고, 본 발명의 일 실시예에 따른 실시예 1 및 실시예 2는 실리콘 질화물(Si3N4)을 포함하는 유전체층 사이에 반사층을 위치시키고 유전체층과 반사층 사이에 니켈-크롬(NiCr) 합금을 포함하는 보호층을 개재시킨 상태로 다층 박막 코팅(도 2의 적층 구조 참조)을 형성한 다음, 시험을 수행하였다.In the test data disclosed in [Table 2], Comparative Example 1 formed a multilayer thin film coating with a reflective layer positioned between dielectric layers containing silicon nitride (Si 3 N 4 ), and Comparative Example 2 formed a multilayer thin film coating with titanium oxide (TiO 2 ) Forming a multilayer thin film coating in a state in which a reflective layer is positioned between dielectric layers including, and Examples 1 and 2 according to an embodiment of the present invention are between dielectric layers including silicon nitride (Si 3 N 4 ) After placing the reflective layer and forming a multilayer thin film coating (refer to the laminated structure of FIG. 2) with a protective layer containing a nickel-chromium (NiCr) alloy interposed between the dielectric layer and the reflective layer, a test was performed.

구체적으로, 위와 같이 형성된 비교예와 실시예의 투명 기재를 650℃에서 10분간 열처리한 다음 색상 변화를 관찰해 보면, [표 2]에 개시된 바와 같이 비교예 1에서는 8.5의 투과 색차와 5.4의 반사 색차가 발생하고 비교예 2에서는 10.4의 투과 색차와 6.2의 반사 색차가 발생한데 반해, 실시예 1에서는 5.3의 투과 색차 및 4.5의 반사 색차가 발생하고 실시예 2에서는 4.1의 투과 색차와 3.8의 반사 색차가 발생한 것으로 나타나, 반사층의 상하부에 보호층을 형성하게 되면 열처리 과정에서 색차 발생을 억제할 수 있다는 사실을 확인할 수 있으며, 실시예 1과 실시예 2를 비교해 보면 보호층의 두께가 두꺼워질수록 색차는 감소하는 경향을 나타냄을 확인할 수 있다.Specifically, when the color change was observed after heat treatment of the transparent substrates of Comparative Examples and Examples formed as above at 650 ° C. for 10 minutes, as shown in [Table 2], in Comparative Example 1, a transmission color difference of 8.5 and a reflection color difference of 5.4 were observed. In Comparative Example 2, a transmission color difference of 10.4 and a reflection color difference of 6.2 occurred, whereas in Example 1, a transmission color difference of 5.3 and a reflection color difference of 4.5 occurred, and in Example 2, a transmission color difference of 4.1 and a reflection color difference of 3.8 occurred. It was found that a protective layer was formed on the top and bottom of the reflective layer, and it could be confirmed that the color difference could be suppressed during the heat treatment process. Comparing Example 1 and Example 2, the thicker the protective layer, the color difference. It can be seen that shows a decreasing trend.

또한, 비교예와 실시예의 투명 기재를 상온 조건에서 HCl 5% 용액에 침지시킨 다음 부식을 관찰해 보면, 비교예 2에서는 에지와 표면에서 모두 부식이 관찰되는데 반해, 본 발명의 일 실시예에 따른 실시예 1과 실시예 2에서는 우수한 내산성을 나타냄을 확인할 수 있다.In addition, when the transparent substrates of Comparative Examples and Examples were immersed in a 5% HCl solution at room temperature and then corrosion was observed, in Comparative Example 2, corrosion was observed on both the edge and the surface, whereas according to an embodiment of the present invention In Examples 1 and 2, it can be confirmed that excellent acid resistance is exhibited.

다음으로, 비교예와 실시예의 투명 기재를 상온 조건에서 NaOH 5% 용액에 침지시킨 다음 부식을 관찰해 보면, 비교예 2의 경우에는 내산성과 마찬가지로 에지와 표면에서 모두 부식이 관찰되는데 반해, 본 발명의 일 실시예에 따른 실시예 1과 실시예 2에서는 우수한 내알칼리성을 나타낸다는 사실을 확인할 수 있다.Next, when the transparent substrates of Comparative Examples and Examples were immersed in a 5% NaOH solution at room temperature and then corrosion was observed, in the case of Comparative Example 2, corrosion was observed on both the edge and the surface, similar to acid resistance, whereas the present invention In Example 1 and Example 2 according to one embodiment of the fact that exhibits excellent alkali resistance can be confirmed.

마지막으로, 비교예와 실시예의 투명 기재를 RH 100% 및 40℃ 온도의 챔버 내에 보관한 다음 발생되는 색차를 관찰해 내습성을 확인해 보면, 비교예 1과 비교예 2에서는 각각 5.1과 9.3의 높은 색차가 발생하는데 반해, 본 발명의 일 실시예에 따른 실시예 1과 실시예 2에서는 각각 2.5와 1.8 수준의 낮은 색차가 발생해, 보호층의 유무에 따라 내습성의 차이가 크게 나타남을 확인할 수 있으며, 보호층의 두께가 두꺼워질수록 내습성은 향상되는 경향을 나타냄을 확인할 수 있다. Finally, the transparent substrates of Comparative Examples and Examples were stored in a chamber at RH 100% and 40 ° C., and then the color difference was observed to check the moisture resistance. Comparative Examples 1 and 2 had high values of 5.1 and 9.3 respectively On the other hand, in Example 1 and Example 2 according to an embodiment of the present invention, low color differences of 2.5 and 1.8 levels occurred, respectively, and it can be confirmed that a large difference in moisture resistance appears depending on the presence or absence of the protective layer. It can be seen that the moisture resistance tends to improve as the thickness of the protective layer increases.

즉, [표 2]에 개시된 시험 데이터를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재와 같이 반사층(230)의 상하면에 보호층[하부 보호층(220) 및 상부 보호층(240)]을 형성하게 되면, 열처리를 수행하는 높은 온도나 다습한 환경에서 반사층(230)에 색차가 발생하거나 내구성이 저하되는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 투명 기재에 원하는 색상을 보다 정확하게 구현할 수 있게 됨을 확인할 수 있다.That is, referring to the test data disclosed in [Table 2], protective layers [lower protective layer 220 and upper When the protective layer 240] is formed, it is possible to prevent color difference or decrease in durability of the reflective layer 230 in a high-temperature or high-humidity environment where heat treatment is performed, thereby providing a desired color to the transparent substrate. You can check that it can be implemented correctly.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 투명 기재(100) 상에 증착되는 다층 박막 코팅(200)에는 광흡수층(260)이 추가로 포함될 수 있다(도 4 참조).Meanwhile, according to one embodiment of the present invention, the multilayer thin film coating 200 deposited on the transparent substrate 100 may additionally include a light absorption layer 260 (see FIG. 4 ).

본 발명의 일 실시예에 따르면, 광흡수층(260)은 금속 물질, 금속 물질의 산화물, 금속 물질의 질화물, 금속 물질의 산질화물, 바람직하게는 금속 물질의 질화물을 포함할 수 있으며, 광흡수층(260)에 포함되는 금속은 투명 기재에 구현하고자 하는 색상에 따라 적절히 선택될 수 있다. 예컨대, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 광흡수층(260)은 추가적인 색상 조절을 위하여 질화 니오븀(NbN)을 포함하도록 구성될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the light absorbing layer 260 may include a metal material, an oxide of a metal material, a nitride of a metal material, an oxynitride of a metal material, preferably a nitride of a metal material, and the light absorbing layer ( 260) may be appropriately selected according to a color to be implemented on the transparent substrate. For example, according to one embodiment of the present invention, the light absorption layer 260 may be configured to include niobium nitride (NbN) for additional color control.

다만, 광흡수층(260)은 도 4에 도시된 바와 같이 제2 유전체층과 상부 보호층 사이에 위치하도록 형성되어야 하는 것은 아니고, 다층 박막 코팅(200) 내의 다양한 임의의 위치에 위치하도록 구성될 수 있다.However, the light absorption layer 260 does not have to be formed to be positioned between the second dielectric layer and the upper protective layer, as shown in FIG. 4, and may be positioned at various arbitrary positions within the multilayer thin film coating 200. .

또한, 도면에 도시된 실시형태에는 도시되어 있지 않지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 투명 기재는 표면 특성을 향상시키고 코팅층을 보다 안정적으로 보호하기 위해 상부에 오버코트층 및/또는 도광 페인트층을 추가로 구비할 수 있다.In addition, although not shown in the embodiment shown in the drawings, the transparent substrate according to one embodiment of the present invention has an overcoat layer and/or a light guide paint layer added thereon to improve surface properties and more stably protect the coating layer. can be provided with

이상에서 설명한 구조에 의하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재는 다층 박막 코팅 내에 포함된 반사층, 기능층 및 유전체층 구조에 의해 종래에 비해 향상된 광학적·화학적 특성을 나타낼 수 있게 된다. 예컨대, 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재는 30% 내지 60%의 비코팅면 광흡수율(유리면 광흡수율), 20% 이상의 비코팅면 반사율(유리면 반사율), 50% 이하의 투과율, -5 내지 +5의 a* 및 -5 내지 +10의 b*를 갖는 투과색, -5 내지 +5의 a* 및 -10 내지 +10의 b*를 갖는 비코팅면 반사색(유리면 반사색) 등의 특성을 나타낼 수 있게 된다.According to the structure described above, the transparent substrate provided with the multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention can exhibit improved optical and chemical properties compared to the prior art due to the reflective layer, functional layer, and dielectric layer structure included in the multilayer thin film coating. there will be For example, the transparent substrate provided with a multilayer thin film coating according to an embodiment of the present invention has an uncoated surface light absorption of 30% to 60% (glass surface light absorption), an uncoated surface reflectance of 20% or more (glass surface reflectance), 50% The following transmittance, transmittance color with a* of -5 to +5 and b* of -5 to +10, reflection color of uncoated surface with a* of -5 to +5 and b* of -10 to +10 (Glass surface reflection color).

이상 본 발명을 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예에 의해 설명하였으나, 이들 실시예들은 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형을 꾀할 수 있다.Although the present invention has been described with specific details and limited examples, such as specific components, these examples are provided only to help a more general understanding of the present invention, and the present invention is not limited thereto, and the present invention is not limited thereto. Those skilled in the art can make various modifications and variations from these descriptions.

따라서, 본 발명의 사상은 앞서 설명된 실시예들에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 청구범위뿐만 아니라 이 청구범위에 균등하게 또는 등가적으로 변형된 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.Therefore, the spirit of the present invention should not be limited to the above-described embodiments and should not be determined, and all things equivalent or equivalently modified in the claims as well as the claims described below belong to the scope of the spirit of the present invention. something to do.

100: 투명 기재
200: 다층 박막 코팅
210: 제1 유전체층
220: 하부 보호층
230: 반사층
232: 제1 반사층
234: 제2 반사층
240: 상부 보호층
250: 제2 유전체층
260: 광흡수층
100: transparent substrate
200: multi-layer thin film coating
210: first dielectric layer
220: lower protective layer
230: reflective layer
232: first reflective layer
234: second reflective layer
240: upper protective layer
250: second dielectric layer
260: light absorption layer

Claims (24)

다층 박막 코팅(200)이 구비된 투명 기재(100)이며,
상기 다층 박막 코팅(200)은 투명 기재(100)로부터 멀어지는 방향으로 제1 유전체층(210), 반사층(230) 및 제2 유전체층(250)을 포함하고,
상기 반사층(230)은 금속 기반의 고굴절률층으로 형성되며,
상기 반사층(230)은 서로 다른 복소 굴절률 패턴을 갖는 제1 반사층(232) 및 제2 반사층(234)을 포함하고,
상기 제1 반사층(232)과 제2 반사층(234) 중 하나 이상은 실리콘-지르코늄(SiZr) 합금을 포함하는,
투명 기재.
A transparent substrate 100 equipped with a multilayer thin film coating 200,
The multilayer thin film coating 200 includes a first dielectric layer 210, a reflective layer 230 and a second dielectric layer 250 in a direction away from the transparent substrate 100,
The reflective layer 230 is formed of a metal-based high refractive index layer,
The reflective layer 230 includes a first reflective layer 232 and a second reflective layer 234 having different complex refractive index patterns,
At least one of the first reflective layer 232 and the second reflective layer 234 includes a silicon-zirconium (SiZr) alloy,
transparent substrate.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 반사층(232)과 상기 제2 반사층(234) 중 어느 하나는 비정질 실리콘(Si)을 포함하고,
상기 제1 반사층(232)과 상기 제2 반사층(234) 중 다른 하나는 실리콘-지르코늄(SiZr) 합금을 포함하는,
투명 기재.
According to claim 1,
One of the first reflective layer 232 and the second reflective layer 234 includes amorphous silicon (Si),
The other one of the first reflective layer 232 and the second reflective layer 234 includes a silicon-zirconium (SiZr) alloy,
transparent substrate.
제6항에 있어서,
상기 제1 반사층(232) 및 상기 제2 반사층(234)은 알루미늄(Al)으로 도핑된,
투명 기재.
According to claim 6,
The first reflective layer 232 and the second reflective layer 234 are doped with aluminum (Al),
transparent substrate.
제6항에 있어서,
상기 제1 반사층(232)은 550nm 파장에서 3.5 내지 4.5의 굴절률을 갖고,
상기 제2 반사층(234)은 550nm 파장에서 3.2 내지 4.2의 굴절률을 갖는,
투명 기재.
According to claim 6,
The first reflection layer 232 has a refractive index of 3.5 to 4.5 at a wavelength of 550 nm,
The second reflective layer 234 has a refractive index of 3.2 to 4.2 at a wavelength of 550 nm,
transparent substrate.
제8항에 있어서,
상기 제1 반사층(232)의 물리적 두께(t1)와 상기 제2 반사층(234)의 물리적 두께(t2) 사이의 비율(t1/t2)은 0.5 내지 1.5인,
투명 기재.
According to claim 8,
The ratio (t1 / t2) between the physical thickness (t1) of the first reflective layer 232 and the physical thickness (t2) of the second reflective layer 234 is 0.5 to 1.5,
transparent substrate.
제1항에 있어서,
상기 반사층(230)의 물리적 두께의 총합은 6nm 내지 30nm인,
투명 기재.
According to claim 1,
The total physical thickness of the reflective layer 230 is 6 nm to 30 nm,
transparent substrate.
제1항에 있어서,
상기 반사층(230)의 상부면과 하부면 중 하나 이상에는 상기 반사층(230)을 보호하는 보호층이 구비되는,
투명 기재.
According to claim 1,
At least one of the upper and lower surfaces of the reflective layer 230 is provided with a protective layer for protecting the reflective layer 230,
transparent substrate.
제11항에 있어서,
상기 반사층(230)의 하부면에는 하부 보호층(220)이 접촉되어 형성되고,
상기 반사층(230)의 상부면에는 상부 보호층(240)이 접촉되어 형성되는,
투명 기재.
According to claim 11,
A lower protective layer 220 is formed in contact with the lower surface of the reflective layer 230,
An upper protective layer 240 is formed in contact with the upper surface of the reflective layer 230,
transparent substrate.
제12항에 있어서,
상기 하부 보호층(220) 및 상기 상부 보호층(240)은 각각 1nm 내지 5nm의 물리적 두께로 형성되는,
투명 기재.
According to claim 12,
The lower protective layer 220 and the upper protective layer 240 are formed to a physical thickness of 1 nm to 5 nm, respectively.
transparent substrate.
제13항에 있어서,
상기 하부 보호층(220) 및 상기 상부 보호층(240)은 니켈(Ni), 크롬(Cr), 티타늄(Ti) 및 니오븀(Nb) 중 1종 이상의 금속 또는 이들의 합금을 포함하는,
투명 기재.
According to claim 13,
The lower protective layer 220 and the upper protective layer 240 include one or more metals or alloys of nickel (Ni), chromium (Cr), titanium (Ti), and niobium (Nb),
transparent substrate.
제14항에 있어서,
상기 하부 보호층(220) 및 상기 상부 보호층(240)은 니켈-크롬(NiCr) 합금을 포함하는,
투명 기재.
According to claim 14,
The lower protective layer 220 and the upper protective layer 240 include a nickel-chromium (NiCr) alloy,
transparent substrate.
제15항에 있어서,
상기 제1 유전체층(210) 및 상기 제2 유전체층(250)은 금속 질화물을 포함하고,
상기 금속 질화물에 포함되는 금속은 실리콘(Si), 알루미늄(Al), 티타늄(Ti) 및 지르코늄(Zr) 중 1종 이상 또는 이들의 합금인,
투명 기재.
According to claim 15,
The first dielectric layer 210 and the second dielectric layer 250 include a metal nitride,
The metal included in the metal nitride is one or more of silicon (Si), aluminum (Al), titanium (Ti) and zirconium (Zr) or an alloy thereof,
transparent substrate.
제16항에 있어서,
상기 제1 유전체층(210)은 5nm 내지 30nm의 물리적 두께로 형성되고,
상기 제2 유전체층(250)은 15nm 내지 40nm의 물리적 두께로 형성되는,
투명 기재.
According to claim 16,
The first dielectric layer 210 is formed to a physical thickness of 5 nm to 30 nm,
The second dielectric layer 250 is formed to a physical thickness of 15 nm to 40 nm,
transparent substrate.
제12항에 있어서,
상기 다층 박막 코팅(200)에는 특정 파장대의 빛을 흡수하는 광흡수층(260)이 더 포함되는,
투명 기재.
According to claim 12,
The multilayer thin film coating 200 further includes a light absorbing layer 260 that absorbs light in a specific wavelength range.
transparent substrate.
제18항에 있어서,
상기 광흡수층(260)은 질화 니오븀(NbN)을 포함하는,
투명 기재.
According to claim 18,
The light absorption layer 260 includes niobium nitride (NbN),
transparent substrate.
제1항 및 제6항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 비코팅면 광흡수율은 30% 내지 60%인,
투명 기재.
The method of any one of claims 1 and 6 to 19,
The light absorption rate of the non-coated surface of the transparent substrate provided with the multilayer thin film coating is 30% to 60%,
transparent substrate.
제1항 및 제6항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 비코팅면 반사율은 20% 이상인,
투명 기재.
The method of any one of claims 1 and 6 to 19,
The non-coated surface reflectance of the transparent substrate equipped with a multilayer thin film coating is 20% or more,
transparent substrate.
제1항 및 제6항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 투과율은 50% 이하인,
투명 기재.
The method of any one of claims 1 and 6 to 19,
The transmittance of the transparent substrate provided with the multilayer thin film coating is 50% or less,
transparent substrate.
제1항 및 제6항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 투과색은 CIE L*a*b 색공간에서 a*가 -5 내지 +5이고 b*가 -5 내지 +10인,
투명 기재.
The method of any one of claims 1 and 6 to 19,
The transmission color of the transparent substrate provided with the multilayer thin film coating is a* is -5 to +5 and b* is -5 to +10 in the CIE L*a*b color space,
transparent substrate.
제1항 및 제6항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서,
다층 박막 코팅이 구비된 투명 기재의 비코팅면 반사색은 CIE L*a*b 색공간에서 a*가 -5 내지 +5이고 b*가 -10 내지 +10인,
투명 기재.
The method of any one of claims 1 and 6 to 19,
The reflection color of the non-coated surface of the transparent substrate equipped with a multilayer thin film coating has a* of -5 to +5 and b* of -10 to +10 in the CIE L*a*b color space,
transparent substrate.
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