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KR102426498B1 - 터치 표시장치용 어레이기판 및 그 제조방법 - Google Patents

터치 표시장치용 어레이기판 및 그 제조방법 Download PDF

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KR102426498B1
KR102426498B1 KR1020150186141A KR20150186141A KR102426498B1 KR 102426498 B1 KR102426498 B1 KR 102426498B1 KR 1020150186141 A KR1020150186141 A KR 1020150186141A KR 20150186141 A KR20150186141 A KR 20150186141A KR 102426498 B1 KR102426498 B1 KR 102426498B1
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common
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drain electrode
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김선영
조성필
이성진
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은, 기판과, 상기 기판 상부에 배치되는 차광층 및 데이터배선과, 상기 차광층 상부에 배치되고, 액티브층, 게이트전극, 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 박막트랜지스터와, 상기 소스전극 및 상기 드레인전극과 이격되는 공통배선과, 상기 박막트랜지스터 및 상기 공통배선 상부에 배치되고, 상기 드레인전극에 대응되는 개구부를 갖는 평탄화층과, 상기 평탄화층 상부에 배치되는 공통전극과, 상기 공통전극 상부에 배치되고, 상기 공통배선을 노출하는 제1콘택홀을 포함하는 제1보호층과, 상기 제1보호층 상부에 배치되고, 상기 공통전극에 연결되고, 상기 제1콘택홀을 통하여 상기 공통배선에 연결되는 연결패턴과, 상기 제1보호층 상부에 배치되고, 상기 드레인전극에 연결되는 화소전극을 포함하는 터치 표시장치용 어레이기판을 제공하는데, 데이터배선 및 차광층을 동일층, 동일물질로 동시에 형성하고, 소스전극, 드레인전극 및 공통배선을 동일층, 동일물질로 동시에 형성함으로써, 노광 마스크 수가 감소하여 제조비용 및 제조시간이 절감된다.

Description

터치 표시장치용 어레이기판 및 그 제조방법 {Array Substrate For Touch Display Device And Method Of Fabricating The Same}
본 발명은 터치 표시장치에 관한 것으로, 특히 터치전극 및 배선이 표시패널에 일체화되는 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.
정보화 시대에 발맞추어 디스플레이(display) 분야 또한 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응해서 박형화, 경량화, 저소비전력화 장점을 지닌 평판표시장치(flat panel display device: FPD)로서 액정표시장치(liquid crystal display device: LCD), 플라즈마표시장치(plasma display panel device: PDP), 유기발광다이오드 표시장치(organic light emitting diode display device: OLED), 전계방출표시장치(field emission display device: FED) 등이 소개되어 기존의 브라운관(cathode ray tube: CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
최근에는, 이러한 표시패널(display panel) 상에 터치패널(touch panel)을 부착한 터치 표시장치(또는 터치 스크린)가 각광받고 있다.
터치 표시장치는, 영상을 표시하는 출력수단으로 사용되는 동시에, 표시된 영상의 특정부위를 터치하여 사용자의 명령을 입력 받는 입력수단으로 사용되는 것으로, 터치패널은 위치정보 검출방식에 따라 감압방식, 정전방식, 적외선방식, 초음파방식 등으로 구분될 수 있다.
즉, 사용자가 표시패널에 표시되는 영상을 보면서 터치패널을 터치하면, 터치패널은 해당 부위의 위치정보를 검출하고 검출된 위치정보를 영상의 위치정보와 비교하여 사용자의 명령을 인식할 수 있다.
터치 표시장치는 별도의 터치패널을 표시패널에 부착하는 형태로 제조될 수 있는데, 특히 최근에는 스마트폰, 태블릿 PC 등과 같은 휴대용 단말기의 슬림화를 위해 터치패널을 구성하는 전극 및 배선을 표시패널의 기판에 형성하여 일체화하는 형태의 인셀 타입(in-cell type) 터치 표시장치에 대한 수요가 증가하고 있다.
이러한 인셀 타입 터치 표시장치를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 종래의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판의 단면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 종래의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판은, 기판(20), 박막트랜지스터(T), 공통배선(44), 공통전극(48), 화소전극(52)을 포함한다.
구체적으로, 기판(20) 상부의 각 화소영역에는 차광층(22)이 형성되고, 차광층(22) 상부의 기판(20) 전면에는 버퍼층(24)이 형성된다.
차광층(22)에 대응되는 버퍼층(24) 상부에는 액티브층(26)이 형성되고, 액티브층(26) 상부의 기판(20) 전면에는 게이트절연층(28)이 형성된다.
액티브층(26)에 대응되는 게이트절연층(28) 상부에는 게이트전극(30)이 형성되고, 게이트전극(30) 상부의 기판(20) 전면에는 층간절연층(32)이 형성되는데, 층간절연층(32) 및 게이트절연층(28)은 액티브층(26)의 양단부를 노출하는 콘택홀을 갖는다.
액티브층(26)에 대응되는 층간절연층(32) 상부에는 서로 이격되는 소스전극(34) 및 드레인전극(36)과 데이터배선(35)이 형성되는데, 소스전극(34) 및 드레인전극(36)은 각각 층간절연층(32) 및 게이트절연층(28)의 콘택홀을 통하여 액티브층(26)의 양단부에 연결되고, 데이터배선(35)은 소스전극(34)에 연결된다.
여기서, 액티브층(26), 게이트전극(30), 소스전극(34) 및 드레인전극(36)은 박막트랜지스터(thin film transistor: TFT)(T)를 구성하고, 차광층(22)은 박막트랜지스터(T)의 액티브층(26)으로 입사되는 빛을 차단하는 역할을 한다.
소스전극(34) 및 드레인전극(36) 상부의 기판(20) 전면에는 제1보호층(38)이 형성되고, 제1보호층(38) 상부의 기판(20) 전면에는 평탄화층(40)이 형성되는데, 평탄화층(40)은 드레인전극(36) 상부의 제1보호층(38)을 노출하는 개구부를 갖는다.
평탄화층(40) 상부의 기판(20) 전면에는 제2보호층(42)이 형성되고, 제2보호층(42) 상부에는 공통배선(44)이 형성된다.
공통배선(44) 상부의 기판(20) 전면에는 제3보호층(46)이 형성되는데, 제3보호층(46)은 공통배선(44)을 노출하는 콘택홀을 갖는다.
제3보호층(46) 상부의 각 화소영역에는 공통전극(48)이 형성되는데, 공통전극(48)은 제3보호층(46)의 콘택홀을 통하여 공통배선(44)에 연결된다.
공통전극(48) 상부의 기판(20) 전면에는 제4보호층(50)이 형성되는데, 제4보호층(50), 제3보호층(46), 제2보호층(42) 및 제1보호층(38)은 평탄화층(40)의 개구부 내에 드레인전극(36)을 노출하는 콘택홀을 갖는다.
제4보호층(50) 상부의 각 화소영역에는 화소전극(52)이 형성되는데, 화소전극(52)은 제4보호층(50), 제3보호층(46), 제2보호층(42) 및 제1보호층(38)의 콘택홀을 통하여 드레인전극(36)에 연결된다.
여기서, 공통전극(48)은 특정 개수의 화소영역으로 이루어지는 터치블록 별로 패터닝 될 수 있으며, 각 터치블록의 공통전극(48)은 공통배선(44)을 통하여 구동부에 독립적으로 연결될 수 있다.
그리고, 화소전극(52)은 서로 이격되는 다수의 바 형상을 가질 수 있다.
이러한 어레이기판을 포함하는 종래의 인셀 타입 터치 표시장치는, 1프레임을 표시구간과 터치구간으로 나누어 동작할 수 있는데, 표시구간 동안에는 공통전극(48)에 공통전압을 인가하고 화소전극(52)에 데이터전압을 인가하여 공통전극(48) 및 화소전극(52) 사이에서 생성되는 전기장에 의하여 액정층을 재배열하여 영상을 표시하고, 터치구간 동안에는 공통전극(48)에 터치전압을 인가한 후 터치전압에 따른 공통전극(48)의 정전용량의 변화를 분석하여 터치입력의 위치를 감지할 수 있다.
그런데, 이러한 종래의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판에서는, 동일한 터치블록의 공통배선(44) 및 공통전극(48)은 서로 연결되지만, 상이한 터치블록의 공통배선(44) 및 공통전극(48)은 서로 연결되지 않아야 하므로, 공통배선(44) 및 공통전극(48)을 상이한 층으로 독립적으로 패터닝 하여 형성하여야 한다.
그리고, 상이한 터치블록의 공통배선(44) 및 공통전극(48)이 커플링(coupling) 등에 의하여 영향을 받지 않도록 하기 위하여 공통배선(44) 및 공통전극(48) 사이에 제3보호층(46)을 형성하여야 하고, 상이한 층으로 형성되는 동일한 터치블록의 공통배선(44) 및 공통전극(48)을 연결하기 위하여 제3보호층(46)을 패터닝 하여 콘택홀을 형성하여야 한다.
또한, 해상도 증가에 따라 스토리지 커패시터의 용량을 증가시켜야 하므로, 스토리지 커패시터를 형성하는 공통전극(48)과 화소전극(52) 사이의 유전층의 두께를 최소화 하여야 하며, 이에 따라 단면적으로 하나의 절연층만을 사이에 두고 공통전극(48)과 화소전극(52)을 형성하여야 한다.
이와 같은 제약에 의하여 종래의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판의 제조에 사용되는 노광 마스크 수가 증가하는 문제가 있다.
예를 들어, 종래의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판은 차광층(22)용 제1마스크, 액티브층(26)용 제2마스크, 게이트전극(30)용 제3마스크, 층간절연층(32) 및 게이트절연층(28)의 콘택홀용 제4마스크, 소스전극(34) 및 드레인전극(36)용 제5마스크, 평탄화층(40)의 개구부용 제6마스크, 공통배선(44)용 제7마스크, 제3보호층(46)의 콘택홀용 제8마스크, 공통전극(48)용 제9마스크, 제4보호층(50), 제3보호층(46), 제2보호층(42) 및 제1보호층(38)의 콘택홀용 제10마스크, 화소전극(52)용 제11마스크의 총 11개의 노광 마스크를 사용하여 제조될 수 있으며, 이에 따라 제조단계가 증가하여 제조비용 및 제조시간이 증가하는 문제가 있다.
본 발명은, 이러한 문제점을 해결하기 위하여 제시된 것으로, 데이터배선 및 차광층을 동일층, 동일물질로 동시에 형성하고, 소스전극, 드레인전극 및 공통배선을 동일층, 동일물질로 동시에 형성함으로써, 노광 마스크 수가 감소하여 제조비용 및 제조시간이 절감되는 터치 표시장치용 어레이기판 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
그리고, 본 발명은, 공통전극을 개구부의 일면에 형성하고, 연결패턴으로 공통전극 및 공통배선을 연결함으로써, 노광 마스크 수가 감소하여 제조비용 및 제조시간이 절감되고, 콘택홀 수가 감소하여 개구율이 향상되는 터치 표시장치용 어레이기판 및 그 제조방법을 제공하는 것을 다른 목적으로 한다.
위와 같은 과제의 해결을 위해, 본 발명은, 기판과, 상기 기판 상부에 배치되는 차광층 및 데이터배선과, 상기 차광층 상부에 배치되고, 액티브층, 게이트전극, 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 박막트랜지스터와, 상기 소스전극 및 상기 드레인전극과 이격되는 공통배선과, 상기 박막트랜지스터 및 상기 공통배선 상부에 배치되고, 상기 드레인전극에 대응되는 개구부를 갖는 평탄화층과, 상기 평탄화층 상부에 배치되는 공통전극과, 상기 공통전극 상부에 배치되고, 상기 공통배선을 노출하는 제1콘택홀을 포함하는 제1보호층과, 상기 제1보호층 상부에 배치되고, 상기 공통전극에 연결되고, 상기 제1콘택홀을 통하여 상기 공통배선에 연결되는 연결패턴과, 상기 제1보호층 상부에 배치되고, 상기 드레인전극에 연결되는 화소전극을 포함하는 터치 표시장치용 어레이기판을 제공한다.
그리고, 상기 연결패턴과 상기 화소전극은 동일층, 동일물질로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 제1보호층은 상기 공통전극을 노출하는 제2콘택홀을 더 포함하고, 상기 연결패턴은 상기 제2콘택홀을 통하여 상기 공통전극에 연결될 수 있다.
그리고, 상기 공통전극은 상기 평탄화층의 상면으로부터 상기 개구부의 일 측면으로 연장되어 상기 제1콘택홀을 통하여 노출되고, 상기 연결패턴은 상기 제1콘택홀을 통하여 상기 공통전극에 연결될 수 있다.
또한, 상기 제1보호층은 상기 드레인전극을 노출하는 제3콘택홀을 더 포함하고, 상기 화소전극은 상기 제3콘택홀을 통하여 상기 드레인전극에 연결될 수 있다.
그리고, 상기 소스전극 및 상기 드레인전극과 상기 공통배선은 동일층, 동일물질로 이루어지고, 상기 차광층 및 상기 데이터배선은 동일층, 동일물질로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 소스전극 및 상기 드레인전극은 상기 액티브층의 양단부에 측면 접촉하고, 상기 소스전극은 상기 데이터배선에 연결될 수 있다.
한편, 본 발명은, 기판 상부에 차광층 및 데이터배선을 형성하는 단계와, 상기 차광층 상부에 액티브층, 게이트전극, 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 박막트랜지스터와, 상기 소스전극 및 상기 드레인전극과 이격되는 공통배선을 형성하는 단계와, 상기 박막트랜지스터 및 상기 공통배선 상부에 상기 드레인전극에 대응되는 개구부를 갖는 평탄화층을 형성하는 단계와, 상기 평탄화층 상부에 공통전극을 형성하는 단계와, 상기 공통전극 상부에 상기 공통배선을 노출하는 제1콘택홀을 포함하는 제1보호층을 형성하는 단계와, 상기 제1보호층 상부에 상기 드레인전극에 연결되는 화소전극과, 상기 공통전극에 연결되고 상기 제1콘택홀을 통하여 상기 공통배선에 연결되는 연결패턴을 형성하는 단계를 포함하는 터치 표시장치용 어레이기판의 제조방법을 제공한다.
그리고, 상기 제1보호층은 상기 공통전극을 노출하는 제2콘택홀을 더 포함하고, 상기 연결패턴은 상기 제2콘택홀을 통하여 상기 공통전극에 연결될 수 있다.
또한, 상기 공통전극은 상기 평탄화층의 상면으로부터 상기 개구부의 일 측면으로 연장되어 상기 제1콘택홀을 통하여 노출되고, 상기 연결패턴은 상기 제1콘택홀을 통하여 상기 공통전극에 연결될 수 있다.
본 발명은, 데이터배선 및 차광층을 동일층, 동일물질로 동시에 형성하고, 소스전극, 드레인전극 및 공통배선을 동일층, 동일물질로 동시에 형성함으로써, 노광 마스크 수가 감소하여 제조비용 및 제조시간이 절감되는 효과를 갖는다.
그리고, 본 발명은, 공통전극을 개구부의 일면에 형성하고, 연결패턴으로 공통전극 및 공통배선을 연결함으로써, 노광 마스크 수가 감소하여 제조비용 및 제조시간이 절감되고, 콘택홀 수가 감소하여 개구율이 향상되는 효과를 갖는다.
도 1은 종래의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판의 단면도.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 자기정전용량(self-capacitance) 방식의 인셀 타입 터치 표시장치의 평면도.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판의 단면도.
도 4a 내지 도 4i는 본 발명의 제1실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판의 제조방법을 설명하기 위한 단면도.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판의 단면도.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 제2실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판의 제조방법을 설명하기 위한 단면도.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판 및 그 제조방법을 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 자기정전용량(self-capacitance) 방식의 인셀 타입 터치 표시장치의 평면도이고, 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판의 단면도이다.
도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치는 터치표시패널(110)과 구동부(180)를 포함한다.
터치표시패널(110)은, 기판(도 3의 120) 상부의 각 터치블록에 배치되는 다수의 공통전극(146)과, 다수의 공통전극(146)과 구동부(180)를 각각 연결하는 다수의 공통배선(140)을 포함하는데, 각 터치블록의 공통전극(146)은 각각 사각형 형상을 가질 수 있다.
도시하지는 않았지만, 터치표시패널(110)은 서로 마주보며 이격되는 2개의 기판과, 2개의 기판 사이의 액정층을 포함하는 액정패널일 수 있으며, 다수의 공통전극(146)은 각각 2개의 기판 중 하나의 다수의 화소에 대응되어 터치블록 별로 분리되어 형성될 수 있으며, 이때 터치표시패널(110)은 공통전압을 이용하여 표시동작을 수행하거나, 터치전압을 이용하여 터치동작을 수행할 수 있다.
구동부(180)는, 1프레임 중 표시구간 동안 터치표시패널(110)의 다수의 공통전극(146)에 공통전압을 인가하고 공통전극(146)과 화소전극(도 3의 150) 사이에 생성되는 전기장으로 액정층의 액정분자를 재배열하여 영상을 표시하거나, 1프레임 중 터치구간 동안 터치표시패널(110)의 다수의 공통전극(146)에 터치전압을 인가하고 인가된 터치전압에 따른 다수의 공통전극(146)의 정전용량의 변화를 분석하여 터치입력의 위치를 감지한다.
이러한 구동부(180)는 표시동작을 위하여 터치표시패널(110)에 게이트전압 및 데이터전압을 더 공급할 수도 있다.
도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판은, 기판(120), 박막트랜지스터(T), 공통배선(140), 공통전극(146), 화소전극(150)을 포함하는데, 기판(120)은 액정패널을 구성하는 2개의 기판 중 하나일 수 있다.
구체적으로, 기판(120) 상부의 각 화소영역에는 차광층(122) 및 데이터배선(124)이 형성되고, 차광층(122) 및 데이터배선(124) 상부의 기판(120) 전면에는 버퍼층(126)이 형성된다.
차광층(122)은 박막트랜지스터(T)의 액티브층(126)으로 입사되는 빛을 차단하기 위한 것으로, 예를 들어, 불투명한 금속물질로 이루어질 수 있다.
데이터배선(124)은 박막트랜지스터(T)로 데이터전압을 전달하기 위한 것으로, 게이트배선(미도시)와 교차하여 화소영역을 정의한다.
차광층(122) 및 데이터배선(124)은 하나의 노광 마스크를 이용하여 형성되며, 동일층, 동일물질로 이루어질 수 있다.
차광층(122)에 대응되는 버퍼층(126) 상부에는 액티브층(128)이 형성되고, 액티브층(128) 상부의 기판(120) 전면에는 게이트절연층(130)이 형성된다.
액티브층(128)은 비정질 실리콘(amorphous silicon), 다결정 실리콘(polycrystalline silicon)과 같은 실리콘이나, 인듐 갈륨 징크 옥사이드(indium gallium zinc oxide: IGZO), 징크 틴 옥사이드(zinc tin oxide: ZTO), 징크 인듐 옥사이드(zinc indium oxide: ZIO)와 같은 산화물 반도체물질로 이루어질 수 있다.
액티브층(128)에 대응되는 게이트절연층(130) 상부에는 게이트전극(132)이 형성되고, 게이트전극(132) 상부의 기판(120) 전면에는 층간절연층(134)이 형성되는데, 층간절연층(134), 게이트절연층(130), 액티브층(128) 및 버퍼층(126)은 데이터배선(124)과 버퍼층(126) 내부를 노출하는 콘택홀을 갖는다.
액티브층(128)에 대응되는 층간절연층(134) 상부에는 서로 이격되는 소스전극(136) 및 드레인전극(138)이 형성되고, 액티브층(128)과 이격되는 영역의 층간절연층(134) 상부에는 소스전극(136) 및 드레인전극(138)과 이격되는 공통배선(140)이 형성되는데, 소스전극(136)은 층간절연층(134), 게이트절연층(130), 액티브층(128) 및 버퍼층(126)의 콘택홀을 통하여 데이터배선(124)에 연결된다.
이때, 소스전극(136) 및 드레인전극(138)은 각각 층간절연층(134), 게이트절연층(130), 액티브층(128) 및 버퍼층(126)의 콘택홀을 통하여 액티브층(128)의 양단부에 측면접촉(side contact) 된다.
그리고, 소스전극(136), 드레인전극(138) 및 공통배선(140)은 동일층, 동일물질로 이루어질 수 있으며, 예를 들어 알루미늄(Al), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 네오디뮴(Nd)과 같은 금속도전물질의 단일층 또는 다중층으로 이루어질 수 있다.
여기서, 액티브층(128), 게이트전극(132), 소스전극(136) 및 드레인전극(138)은 박막트랜지스터(thin film transistor: TFT)(T)를 구성한다.
소스전극(136), 드레인전극(138) 및 공통배선(140) 상부의 기판(120) 전면에는 제1보호층(142)이 형성되고, 제1보호층(142) 상부의 기판(120) 전면에는 평탄화층(144)이 형성되는데, 평탄화층(144)은 드레인전극(138) 및 공통배선(140) 상부의 제1보호층(142)을 노출하는 개구부를 갖는다.
제1보호층(142)은 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)과 같은 무기절연물질로 이루어질 수 있으며, 평탄화층(144)은 포토아크릴(photo acryl)과 같은 유기절연물질로 이루어질 수 있다.
제1보호층(142)은 유기절연물질의 평탄화층(144)과 금속물질의 소스전극(136), 드레인전극(138) 및 공통배선(140)의 접촉특성을 향상시키기 위하여 사용되는데, 이러한 접촉특성이 문제되지 않는 다른 실시예에서는 제1보호층(142)을 생략할 수도 있다.
평탄화층(144) 상부에는 공통전극(146)이 형성되고, 공통전극(146) 상부의 기판(120) 전면에는 제2보호층(148)이 형성되는데, 제2보호층(148)은 공통전극(146)을 노출하는 콘택홀을 갖고, 제2보호층(148) 및 제1보호층(142)은 드레인전극(138) 및 공통배선(140)을 노출하는 콘택홀을 갖는다.
공통전극(146)은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide: ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(indium-zinc-oxide: IZO)와 같은 투명도전물질로 이루어지고, 제2보호층(148)은 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)과 같은 무기절연물질로 이루어질 수 있다.
드레인전극(138)에 대응되는 제2보호층(148) 상부에는 화소전극(150)이 형성되고, 공통전극(146) 및 공통배선(140)에 대응되는 제2보호층(148) 상부에는 연결패턴(152)이 형성되는데, 화소전극(150)은 제2보호층(148) 및 제1보호층(142)의 콘택홀을 통하여 드레인전극(138)에 연결되고, 연결패턴(152)은 제2보호층(148)의 콘택홀을 통하여 공통전극(146)에 연결되고 제2보호층(148) 및 제1보호층(142)의 콘택홀을 통하여 공통배선(140)에 연결된다.
즉, 공통배선(140)과 공통전극(146)은 연결패턴(152)을 통하여 서로 전기적으로 연결된다.
화소전극(150) 및 연결패턴(152)은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide: ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(indium-zinc-oxide: IZO)와 같은 투명도전물질로 이루어질 수 있다.
여기서, 공통전극(146)은 특정 개수의 화소영역으로 이루어지는 터치블록 별로 패터닝 될 수 있으며, 각 터치블록의 공통전극(146)은 공통배선(140)을 통하여 구동부(도 2의 180)에 독립적으로 연결될 수 있다.
그리고, 화소전극(150)은 서로 이격되는 다수의 바 형상을 가질 수 있으며, 공통전압 및 데이터전압에 의하여 공통전극(146) 및 화소전극(150) 사이에는 수평전기장이 생성될 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판에서는, 차광층(122)과 데이터배선(124)을 하나의 노광 마스크로 동시에 형성하고, 소스전극(136) 및 드레인전극(138)과 공통배선(140)을 하나의 노광 마스크로 동시에 형성하고, 화소전극(150)과 드레인전극(138)의 연결을 위한 콘택홀과 연결패턴(152)과 공통전극(146) 및 공통배선(140)의 연결을 위한 콘택홀을 하나의 노광 마스크로 동시에 형성함으로써, 제조공정에 이용되는 총 노광 마스크 수를 감소시킬 수 있는데, 이를 도면을 참조하여 설명한다.
도 4a 내지 도 4i는 본 발명의 제1실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판의 제조방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 4a에 도시한 바와 같이, 불투명한 금속물질을 이용하여 기판(120) 상부에 차광물질층(미도시)을 형성하고, 포토레지스트층의 노광, 현상과 차광물질층의 식각을 포함하는 제1마스크를 이용한 사진식각공정(photolithographic process)을 통하여 기판(120) 상부에 차광층(122) 및 데이터배선(124)을 형성한다.
도 4b에 도시한 바와 같이, 차광층(122) 및 데이터배선(124) 상부의 기판(120) 전면에 절연물질로 버퍼층(126)을 형성한 후, 실리콘이나 산화물 반도체물질 중 하나를 이용하여 버퍼층(126) 상부에 액티브물질층(미도시)을 형성하고, 포토레지스트층의 노광, 현상과 액티브물질층의 식각을 포함하는 제2마스크를 이용한 사진식각공정을 통하여 차광층(122)에 대응되는 버퍼층(126) 상부에 액티브층(128)을 형성한다.
도 4c에 도시한 바와 같이, 액티브층(128) 상부의 기판(120) 전면에 절연물질로 게이트절연층(130)을 형성한 후, 금속물질을 이용하여 게이트절연층(130) 상부에 게이트물질층(미도시)을 형성하고, 포토레지스트층의 노광, 현상과 게이트물질층의 식각을 포함하는 제3마스크를 이용한 사진식각공정을 통하여 액티브층(128)에 대응되는 게이트절연층(130) 상부에 게이트전극(132)을 형성한다.
도 4d에 도시한 바와 같이, 게이트전극(132) 상부의 기판(120) 전면에 절연물질로 층간절연층(134)을 형성하고, 포토레지스트층의 노광, 현상과 층간절연층(134), 게이트절연층(130), 액티브층(128) 및 버퍼층(126)의 식각을 포함하는 제4마스크를 이용한 사진식각공정을 통하여 층간절연층(134), 게이트절연층(130), 액티브층(128) 및 버퍼층(126)에 데이터배선(124)과 버퍼층(126) 내부를 노출하는 콘택홀을 형성한다.
도 4e에 도시한 바와 같이, 금속물질을 이용하여 층간절연층(134) 상부에 금속물질층(미도시)을 형성하고, 포토레지스트층의 노광, 현상과 금속물질층의 식각을 포함하는 제5마스크를 이용한 사진식각공정을 통하여 액티브층(128)에 대응되는 층간절연층(134) 상부에 서로 이격되는 소스전극(136) 및 드레인전극(138)을 형성하고, 액티브층(128)과 이격되는 영역의 층간절연층(134) 상부에 소스전극(136) 및 드레인전극(138)과 이격되는 공통배선(140)을 형성한다.
이때, 소스전극(136)은 층간절연층(134), 게이트절연층(130), 액티브층(128) 및 버퍼층(126)의 콘택홀을 통하여 데이터배선(124)에 연결되고, 소스전극(136) 및 드레인전극(138)은 각각 층간절연층(134), 게이트절연층(130), 액티브층(128) 및 버퍼층(126)의 콘택홀을 통하여 액티브층(128)의 양단부에 측면접촉(side contact) 된다.
이와 같이, 차광층(122)과 데이터배선(124)을 제1마스크 하나로 동시에 형성하고, 소스전극(136) 및 드레인전극(138)과 공통배선(140)을 제5마스크 하나로 동시에 형성함으로써, 노광 마스크 수를 감소시킬 수 있다.
도 4f에 도시한 바와 같이, 무기절연물질을 이용하여 소스전극(136), 드레인전극(138) 및 공통배선(140) 상부의 기판(120) 전면에 제1보호층(142)을 형성한 후, 유기절연물질을 이용하여 제1보호층(142) 상부의 기판(120) 전면에 평탄화층(144)을 형성하고, 평탄화층(144)의 노광, 현상을 포함하는 제6마스크를 이용한 사진식각공정을 통하여 평탄화층(144)에 드레인전극(138) 및 공통배선(140) 상부의 제1보호층(142)을 노출하는 개구부를 형성한다.
제1실시예에서는 평탄화층(144)이 감광성 유기절연물질로 이루어진 경우를 예로 들었으나, 다른 실시예에서는 감광성이 없는 유기절연물질의 평탄화층(144) 상부에 포토레지스트층을 형성하고, 제6마스크를 이용하여 포토레지스트층을 노광, 현상하고, 평탄화층(144)을 식각하여 개구부를 형성할 수도 있다.
도 4g에 도시한 바와 같이, 투명도전물질을 이용하여 평탄화층(144) 상부에 공통전극물질층(미도시)을 형성하고, 포토레지스트층의 노광, 현상과 차광물질층의 식각을 포함하는 제7마스크를 이용한 사진식각공정을 통하여 평탄화층(144) 상부에 공통전극(146)을 형성한다.
도 4h에 도시한 바와 같이, 무기절연물질을 이용하여 공통전극(146) 상부의 기판(120) 전면에 제2보호층(148)을 형성하고, 포토레지스트층의 노광, 현상과 제2보호층(148)의 식각과 제2보호층(148) 및 제1보호층(142)의 식각을 포함하는 제8마스크를 이용한 사진식각공정을 통하여 제2보호층(148)에 공통전극(146)을 노출하는 콘택홀을 형성하고, 제2보호층(148) 및 제1보호층(142)에 드레인전극(138) 및 공통배선(140)을 노출하는 콘택홀을 형성한다.
도 4i에 도시한 바와 같이, 투명도전물질을 이용하여 제2보호층(148) 상부에 화소전극물질층(미도시)을 형성하고, 포토레지스트층의 노광, 현상과 화소전극물질층의 식각을 포함하는 제9마스크를 이용한 사진식각공정을 통하여 드레인전극(138)에 대응되는 제2보호층(148) 상부에 화소전극(150)을 형성하고, 공통전극(146) 및 공통배선(140)에 대응되는 제2보호층(148) 상부에 연결패턴(152)을 형성한다.
이때, 화소전극(150)은 제2보호층(148) 및 제1보호층(142)의 콘택홀을 통하여 드레인전극(138)에 연결되고, 연결패턴(152)은 제2보호층(148)의 콘택홀을 통하여 공통전극(146)에 연결되고 제2보호층(148) 및 제1보호층(142)의 콘택홀을 통하여 공통배선(140)에 연결된다.
즉, 공통배선(140)과 공통전극(146)은 연결패턴(152)을 통하여 서로 전기적으로 연결된다.
이와 같이, 공통배선(140)을 소스전극(136) 및 드레인전극(138)과 동일층, 동일물질로 형성하고, 공통전극(146)과 공통배선(140)이 화소전극(150)과 동일층, 동일물질로 이루어지는 연결패턴(152)을 통하여 서로 연결되도록 함으로써, 화소전극(150)과 드레인전극(138)의 연결을 위한 제2보호층(148) 및 제1보호층(142)의 콘택홀과, 연결패턴(152)과 공통전극(146)의 연결을 위한 제2보호층(148)의 콘택홀과, 연결패턴(152)과 공통배선(140)의 연결을 위한 제2보호층(148) 및 제1보호층(142)의 콘택홀을 제7마스크 하나로 동시에 형성할 수 있으며, 그 결과 노광 마스크 수를 더 감소시킬 수 있다.
한편, 이러한 버퍼층(126) 하부의 데이터배선(124)은 터치표시패널(110)에서 차광층(122)을 필요로 하는 부분, 예를 들어 화소영역을 포함하는 표시영역에 적용할 수 있으며, 차광층(122)이 불필요한 부분, 예를 들어 게이트-인-패널(gate-in-panel: GIP) 또는 멀티플렉서(multiplexer: MUX)와 같은 회로부를 포함하는 비표시영역에서는 소스전극(136), 드레인전극(138) 및 공통배선(140)과 동일한 층으로 데이터배선을 구성할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판에서는, 차광층(122)과 데이터배선(124)을 하나의 노광 마스크로 동시에 형성하고, 소스전극(136) 및 드레인전극(138)과 공통배선(140)을 하나의 노광 마스크로 동시에 형성하고, 화소전극(150)과 드레인전극(138)의 연결을 위한 콘택홀과 연결패턴(152)과 공통전극(146) 및 공통배선(140)의 연결을 위한 콘택홀을 하나의 노광 마스크로 동시에 형성함으로써, 제조공정에 이용되는 노광 마스크의 총 개수를 종래의 11개에서 9개로 감소시킬 수 있으며, 그 결과 제조비용 및 제조시간을 절감할 수 있다.
그리고, 데이터배선(124)을 버퍼층(126) 하부에 형성하므로, 공통전극(146)과 데이터배선(124) 사이의 절연층의 두께가 증가하여 공통전극(146)과 데이터배선(124) 사이의 기생용량을 최소화 할 수 있으며, 그 결과 평탄화층(144)의 두께를 감소시키거나 평탄화층(144)을 생략하여 공정을 단순화 하고 제조비용을 절감할 수 있다.
한편, 다른 실시예에서는 공통전극(146)을 평탄화층(144)의 개구부 일 측면에 형성함으로써, 콘택홀의 개수를 감소시키고 개구율을 향상시킬 수 있는데, 이를 도면을 참조하여 설명한다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판의 단면도로서, 차광층(222), 데이터배선(224), 버퍼층(226), 액티브층(228), 게이트절연층(230), 게이트전극(232), 층간절연층(234), 소스전극(236), 드레인전극(238), 공통배선(240), 제1보호층(242) 및 평탄화층(244)의 구성은 제1실시예와 동일하므로, 이에 대한 설명은 생략한다.
도 5에 도시한 바와 같이, 기판(220) 상부에 차광층(222), 데이터배선(224), 박막트랜지스터(T), 공통배선(240), 평탄화층(244) 등이 형성되고, 평탄화층(244) 상부에는 공통전극(246)이 형성되는데, 공통전극(246)은 평탄화층(244) 상면으로부터 개구부 일 측면으로 연장되어 개구부를 통하여 노출되는 제1보호층(242) 상부에도 형성된다.
그리고, 공통전극(246) 상부의 기판(220) 전면에는 제2보호층(248)이 형성되는데, 제2보호층(248) 및 제1보호층(142)은 평탄화층(244)의 개구부의 바닥면의 공통전극(246)과 공통배선(240)을 동시에 노출하는 콘택홀과, 드레인전극(238)을 노출하는 콘택홀을 갖는다.
공통전극(246)은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide: ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(indium-zinc-oxide: IZO)와 같은 투명도전물질로 이루어지고, 제2보호층(248)은 산화실리콘(SiO2) 또는 질화실리콘(SiNx)과 같은 무기절연물질로 이루어질 수 있다.
드레인전극(238)에 대응되는 제2보호층(248) 상부에는 화소전극(250)이 형성되고, 공통배선(240)에 대응되는 제2보호층(248) 상부에는 연결패턴(252)이 형성되는데, 화소전극(250)은 제2보호층(248) 및 제1보호층(242)의 콘택홀을 통하여 드레인전극(238)에 연결되고, 연결패턴(252)은 제2보호층(248) 및 제1보호층(242)의 콘택홀을 통하여 공통전극(246) 및 공통배선(240)에 연결된다.
즉, 공통배선(240)과 공통전극(246)은 연결패턴(252)을 통하여 서로 전기적으로 연결되는데, 연결패턴(252)과 공통전극(246) 및 공통배선(240)을 하나의 콘택홀을 통하여 연결함으로써, 2개의 콘택홀을 통하여 연결패턴(152)과 공통전극(146) 및 공통배선(140)을 연결하는 제1실시예에 비하여 콘택홀의 개수를 감소시킬 수 있으며, 그 결과 개구율을 향상시킬 수 있다.
화소전극(250) 및 연결패턴(252)은 인듐-틴-옥사이드(indium-tin-oxide: ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(indium-zinc-oxide: IZO)와 같은 투명도전물질로 이루어질 수 있다.
여기서, 공통전극(246)은 특정 개수의 화소영역으로 이루어지는 터치블록 별로 패터닝 될 수 있으며, 각 터치블록의 공통전극(246)은 공통배선(240)을 통하여 구동부(도 2의 180)에 독립적으로 연결될 수 있다.
그리고, 화소전극(250)은 서로 이격되는 다수의 바 형상을 가질 수 있으며, 공통전압 및 데이터전압에 의하여 공통전극(246) 및 화소전극(250) 사이에는 수평전기장이 생성될 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판에서는, 차광층(222)과 데이터배선(224)을 하나의 노광 마스크로 동시에 형성하고, 소스전극(236) 및 드레인전극(238)과 공통배선(240)을 하나의 노광 마스크로 동시에 형성하고, 화소전극(250)과 드레인전극(238)의 연결을 위한 콘택홀과 연결패턴(252)과 공통전극(246) 및 공통배선(240)의 연결을 위한 콘택홀을 하나의 노광 마스크로 동시에 형성함으로써, 제조공정에 이용되는 총 노광 마스크 수를 감소시킬 수 있는데, 이를 도면을 참조하여 설명한다.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 제2실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판의 제조방법을 설명하기 위한 단면도로서, 제1 내지 제5마스크를 이용한 차광층(222), 데이터배선(224), 버퍼층(226), 액티브층(228), 게이트절연층(230), 게이트전극(232), 층간절연층(234), 소스전극(236), 드레인전극(238), 공통배선(240), 제1보호층(242) 및 평탄화층(244)의 형성단계는 제1실시예와 동일하므로, 이에 대한 설명은 생략한다.
도 6a에 도시한 바와 같이, 기판(220) 상부에 차광층(222), 데이터배선(224), 박막트랜지스터(T), 공통배선(240) 등을 형성하고, 무기절연물질을 이용하여 소스전극(236), 드레인전극(238) 및 공통배선(240) 상부의 기판(220) 전면에 제1보호층(242)을 형성한 후, 유기절연물질을 이용하여 제1보호층(242) 상부의 기판(220) 전면에 평탄화층(244)을 형성하고, 평탄화층(244)의 노광, 현상을 포함하는 제6마스크를 이용한 사진식각공정을 통하여 평탄화층(244)에 드레인전극(238) 및 공통배선(240) 상부의 제1보호층(242)을 노출하는 개구부를 형성한다.
제2실시예에서는 평탄화층(244)이 감광성 유기절연물질로 이루어진 경우를 예로 들었으나, 다른 실시예에서는 감광성이 없는 유기절연물질의 평탄화층(244) 상부에 포토레지스트층을 형성하고, 제6마스크를 이용하여 포토레지스트층을 노광, 현상하고, 평탄화층(244)을 식각하여 개구부를 형성할 수도 있다.
도 6b에 도시한 바와 같이, 투명도전물질을 이용하여 평탄화층(244) 상부에 공통전극물질층(미도시)을 형성하고, 포토레지스트층의 노광, 현상과 차광물질층의 식각을 포함하는 제7마스크를 이용한 사진식각공정을 통하여 평탄화층(244) 상부에 공통전극(246)을 형성한다.
여기서, 공통전극(246)은 평탄화층(244) 상면으로부터 개구부 일 측면으로 연장되어 개구부를 통하여 노출되는 제1보호층(242) 상부에도 형성된다.
도 6c에 도시한 바와 같이, 무기절연물질을 이용하여 공통전극(246) 상부의 기판(220) 전면에 제2보호층(248)을 형성하고, 포토레지스트층의 노광, 현상과 제2보호층(248) 및 제1보호층(242)의 식각을 포함하는 제8마스크를 이용한 사진식각공정을 통하여 제2보호층(248) 및 제1보호층(242)에 드레인전극(238)을 노출하는 콘택홀과 공통전극(246) 및 공통배선(240)을 동시에 노출하는 콘택홀을 형성한다.
이때, 투명도전물질의 공통전극(246)은 무기절연물질의 제2보호층(248) 및 제1보호층(242)에 대하여 식각선택비가 상대적으로 높으므로, 제2보호층(248) 및 제1보호층(242)의 콘택홀 형성 시 공통전극(246)에 손상을 주지 않고 제2보호층(248) 및 제1보호층(242)을 식각할 수 있다.
도 6d에 도시한 바와 같이, 투명도전물질을 이용하여 제2보호층(248) 상부에 화소전극물질층(미도시)을 형성하고, 포토레지스트층의 노광, 현상과 화소전극물질층의 식각을 포함하는 제9마스크를 이용한 사진식각공정을 통하여 드레인전극(238)에 대응되는 제2보호층(248) 상부에 화소전극(250)을 형성하고, 공통전극(246) 및 공통배선(240)에 대응되는 제2보호층(248) 상부에 연결패턴(252)을 형성한다.
이때, 화소전극(150)은 제2보호층(248) 및 제1보호층(242)의 콘택홀을 통하여 드레인전극(238)에 연결되고, 연결패턴(252)은 제2보호층(248) 및 제1보호층(242)의 콘택홀을 통하여 공통전극(246) 및 공통배선(240)에 연결된다.
즉, 공통배선(240)과 공통전극(246)은 연결패턴(252)을 통하여 서로 전기적으로 연결되는데, 연결패턴(252)과 공통전극(246) 및 공통배선(240)을 하나의 콘택홀을 통하여 연결함으로써, 2개의 콘택홀을 통하여 연결패턴(152)과 공통전극(146) 및 공통배선(140)을 연결하는 제1실시예에 비하여 콘택홀의 개수를 감소시킬 수 있으며, 그 결과 개구율을 향상시킬 수 있다.
여기서, 공통전극(246)을 평탄화층(244)의 개구부의 측면 전체가 아닌 일 측면에 형성함으로써, 개구부의 제1보호층(242)의 언더컷(undercut)에 의한 연결패턴(252)의 단선을 방지할 수 있다.
즉, 공통전극(246)이 평탄화층(244)의 개구부의 측면 전체에 형성되어 있을 경우, 제2보호층(248) 및 제1보호층(242)의 콘택홀 형성 시 개구부의 공통전극(246) 하부의 제1보호층(242)에 언더컷(undercut)이 발생하면 이후 형성되는 연결패턴(252)이 언더컷 부분에서 절단될 수 있다.
제2실시예에서는, 공통전극(246)을 평탄화층(244)의 개구부의 일 측면에만 형성하므로, 개구부의 일 측면의 공통전극(246) 하부의 제1보호층(242)에 언더컷(undercut)이 발생하더라도 개구부의 나머지 측면의 제2보호층(248) 및 제1보호층(242)에는 언더컷이 발생하지 않으며, 그 결과 연결패턴(252)이 개구부의 나머지 측면 상부에 단선 없이 형성되어 공통전극(246)과 공통배선(240)을 전기적으로 연결할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 자기정전용량 방식의 인셀 타입 터치 표시장치용 어레이기판에서는, 차광층(222)과 데이터배선(224)을 하나의 노광 마스크로 동시에 형성하고, 소스전극(236) 및 드레인전극(238)과 공통배선(240)을 하나의 노광 마스크로 동시에 형성하고, 화소전극(250)과 드레인전극(238)의 연결을 위한 콘택홀과 연결패턴(252)과 공통전극(246) 및 공통배선(240)의 연결을 위한 콘택홀을 하나의 노광 마스크로 동시에 형성함으로써, 제조공정에 이용되는 노광 마스크의 총 개수를 종래의 11개에서 9개로 감소시킬 수 있으며, 그 결과 제조비용 및 제조시간을 절감할 수 있다.
그리고, 하나의 콘택홀을 연결패턴(252)과 공통전극(246) 및 공통배선(240)을 연결함으로써, 콘택홀의 개수를 감소시키고, 개구율을 향상시킬 수 있다.
또한, 데이터배선(224)을 버퍼층(226) 하부에 형성하므로, 공통전극(246)과 데이터배선(224) 사이의 절연층의 두께가 증가하여 공통전극(246)과 데이터배선(224) 사이의 기생용량을 최소화 할 수 있으며, 그 결과 평탄화층(244)의 두께를 감소시켜 공정을 단순화 할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110: 터치표시패널 120: 기판
T: 박막트랜지스터 140: 공통배선
144: 평탄화층 146: 공통전극
150: 화소전극

Claims (13)

  1. 기판과;
    상기 기판 상부에 배치되는 차광층 및 데이터배선과;
    상기 차광층 상부에 배치되고, 액티브층, 게이트전극, 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 박막트랜지스터와;
    상기 소스전극 및 상기 드레인전극과 이격되는 공통배선과;
    상기 박막트랜지스터 및 상기 공통배선 상부에 배치되고, 상기 드레인전극에 대응되는 개구부를 갖는 평탄화층과;
    상기 평탄화층 상부에 배치되는 공통전극과;
    상기 공통전극 상부에 배치되고, 상기 공통배선을 노출하는 제1콘택홀을 포함하는 제1보호층과;
    상기 제1보호층 상부에 배치되고, 상기 공통전극에 연결되고, 상기 제1콘택홀을 통하여 상기 공통배선에 연결되는 연결패턴과;
    상기 제1보호층 상부에 배치되고, 상기 드레인전극에 연결되는 화소전극
    을 포함하고,
    상기 차광층은 상기 액티브층 하부에 배치되는 터치 표시장치용 어레이기판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 연결패턴과 상기 화소전극은 동일층, 동일물질로 이루어지는 터치 표시장치용 어레이기판.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1보호층은 상기 공통전극을 노출하는 제2콘택홀을 더 포함하고,
    상기 연결패턴은 상기 제2콘택홀을 통하여 상기 공통전극에 연결되는 터치 표시장치용 어레이기판.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 공통전극은 상기 평탄화층의 상면으로부터 상기 개구부의 일 측면으로 연장되어 상기 제1콘택홀을 통하여 노출되고,
    상기 연결패턴은 상기 제1콘택홀을 통하여 상기 공통전극에 연결되는 터치 표시장치용 어레이기판.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1보호층은 상기 드레인전극을 노출하는 제3콘택홀을 더 포함하고,
    상기 화소전극은 상기 제3콘택홀을 통하여 상기 드레인전극에 연결되는 터치 표시장치용 어레이기판.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 소스전극 및 상기 드레인전극과 상기 공통배선은 동일층, 동일물질로 이루어지고,
    상기 차광층 및 상기 데이터배선은 동일층, 동일물질로 이루어지는 터치 표시장치용 어레이기판.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 소스전극 및 상기 드레인전극은 상기 액티브층의 양단부에 측면 접촉하고,
    상기 소스전극은 상기 데이터배선에 연결되는 터치 표시장치용 어레이기판.
  8. 기판 상부에 차광층 및 데이터배선을 형성하는 단계와;
    상기 차광층 상부에 액티브층, 게이트전극, 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 박막트랜지스터와, 상기 소스전극 및 상기 드레인전극과 이격되는 공통배선을 형성하는 단계와;
    상기 박막트랜지스터 및 상기 공통배선 상부에 상기 드레인전극에 대응되는 개구부를 갖는 평탄화층을 형성하는 단계와;
    상기 평탄화층 상부에 공통전극을 형성하는 단계와;
    상기 공통전극 상부에 상기 공통배선을 노출하는 제1콘택홀을 포함하는 제1보호층을 형성하는 단계와;
    상기 제1보호층 상부에 상기 드레인전극에 연결되는 화소전극과, 상기 공통전극에 연결되고 상기 제1콘택홀을 통하여 상기 공통배선에 연결되는 연결패턴을 형성하는 단계
    를 포함하고,
    상기 차광층은 상기 액티브층 하부에 배치되는 터치 표시장치용 어레이기판의 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1보호층은 상기 공통전극을 노출하는 제2콘택홀을 더 포함하고,
    상기 연결패턴은 상기 제2콘택홀을 통하여 상기 공통전극에 연결되는 터치 표시장치용 어레이기판의 제조방법.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 공통전극은 상기 평탄화층의 상면으로부터 상기 개구부의 일 측면으로 연장되어 상기 제1콘택홀을 통하여 노출되고,
    상기 연결패턴은 상기 제1콘택홀을 통하여 상기 공통전극에 연결되는 터치 표시장치용 어레이기판의 제조방법.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 데이터배선은 상기 액티브층 하부에 배치되고,
    상기 소스전극은, 상기 액티브층의 일단부의 측면에 접촉되고, 상기 액티브층의 일단부를 통과하여 상기 데이터배선의 상면에 접촉되는 터치 표시장치용 어레이기판.
  12. 제 1 항에 있어서,
    상기 차광층 및 상기 데이터배선과 상기 액티브층 사이에 배치되는 버퍼층과;
    상기 액티브층과 상기 게이트전극 사이에 배치되는 게이트절연층과;
    상기 게이트전극과 상기 소스전극 및 상기 드레인전극 사이에 배치되는 층간절연층
    을 더 포함하는 터치 표시장치용 어레이기판.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 소스전극은 상기 층간절연층, 상기 게이트절연층, 상기 액티브층 및 상기 버퍼층의 콘택홀을 통하여 상기 데이터배선에 연결되고,
    상기 소스전극 및 상기 드레인전극은 각각, 상기 층간절연층, 상기 게이트절연층, 상기 액티브층 및 상기 버퍼층의 콘택홀을 통하여 상기 액티브층의 양단부에 측면접촉 되는 터치 표시장치용 어레이기판.
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