[go: up one dir, main page]

KR102413873B1 - 결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 세퍼레이터 권회체의 제조 방법 - Google Patents

결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 세퍼레이터 권회체의 제조 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR102413873B1
KR102413873B1 KR1020170159160A KR20170159160A KR102413873B1 KR 102413873 B1 KR102413873 B1 KR 102413873B1 KR 1020170159160 A KR1020170159160 A KR 1020170159160A KR 20170159160 A KR20170159160 A KR 20170159160A KR 102413873 B1 KR102413873 B1 KR 102413873B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
separator
separator winding
defect inspection
winding body
inspection apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
KR1020170159160A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20180062374A (ko
Inventor
요시타카 시노미야
고지 가슈
야스유키 곤도
Original Assignee
스미또모 가가꾸 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 filed Critical 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤
Publication of KR20180062374A publication Critical patent/KR20180062374A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102413873B1 publication Critical patent/KR102413873B1/ko
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
    • B65B25/00—Packaging other articles presenting special problems
    • B65B25/14—Packaging paper or like sheets, envelopes, or newspapers, in flat, folded, or rolled form
    • B65B25/146—Packaging paper or like sheets, envelopes, or newspapers, in flat, folded, or rolled form packaging rolled-up articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H18/00—Winding webs
    • B65H18/08—Web-winding mechanisms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H18/00—Winding webs
    • B65H18/28—Wound package of webs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H21/00—Apparatus for splicing webs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H26/00—Warning or safety devices, e.g. automatic fault detectors, stop-motions, for web-advancing mechanisms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H26/00—Warning or safety devices, e.g. automatic fault detectors, stop-motions, for web-advancing mechanisms
    • B65H26/02—Warning or safety devices, e.g. automatic fault detectors, stop-motions, for web-advancing mechanisms responsive to presence of irregularities in running webs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H43/00—Use of control, checking, or safety devices, e.g. automatic devices comprising an element for sensing a variable
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/083—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
    • G01N23/18—Investigating the presence of flaws defects or foreign matter
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
    • H01M10/05—Accumulators with non-aqueous electrolyte
    • H01M10/052—Li-accumulators
    • H01M10/0525—Rocking-chair batteries, i.e. batteries with lithium insertion or intercalation in both electrodes; Lithium-ion batteries
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M50/00—Constructional details or processes of manufacture of the non-active parts of electrochemical cells other than fuel cells, e.g. hybrid cells
    • H01M50/40—Separators; Membranes; Diaphragms; Spacing elements inside cells
    • H01M50/403—Manufacturing processes of separators, membranes or diaphragms
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M50/00—Constructional details or processes of manufacture of the non-active parts of electrochemical cells other than fuel cells, e.g. hybrid cells
    • H01M50/40—Separators; Membranes; Diaphragms; Spacing elements inside cells
    • H01M50/403—Manufacturing processes of separators, membranes or diaphragms
    • H01M50/406—Moulding; Embossing; Cutting
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M50/00—Constructional details or processes of manufacture of the non-active parts of electrochemical cells other than fuel cells, e.g. hybrid cells
    • H01M50/40—Separators; Membranes; Diaphragms; Spacing elements inside cells
    • H01M50/463—Separators, membranes or diaphragms characterised by their shape
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2301/00—Handling processes for sheets or webs
    • B65H2301/50—Auxiliary process performed during handling process
    • B65H2301/54—Auxiliary process performed during handling process for managing processing of handled material
    • B65H2301/542—Quality control
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2515/00—Physical entities not provided for in groups B65H2511/00 or B65H2513/00
    • B65H2515/84—Quality; Condition, e.g. degree of wear
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2553/00—Sensing or detecting means
    • B65H2553/20—Sensing or detecting means using electric elements
    • B65H2553/22—Magnetic detectors, e.g. Hall detectors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H2553/00—Sensing or detecting means
    • B65H2553/40—Sensing or detecting means using optical, e.g. photographic, elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N2021/1765—Method using an image detector and processing of image signal
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/03—Investigating materials by wave or particle radiation by transmission
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/10—Different kinds of radiation or particles
    • G01N2223/101—Different kinds of radiation or particles electromagnetic radiation
    • G01N2223/1013—Different kinds of radiation or particles electromagnetic radiation gamma
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/10—Different kinds of radiation or particles
    • G01N2223/101—Different kinds of radiation or particles electromagnetic radiation
    • G01N2223/1016—X-ray
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
    • G01N2223/33—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts
    • G01N2223/3303—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts object fixed; source and detector move
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
    • G01N2223/33—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts
    • G01N2223/3306—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts object rotates
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
    • G01N2223/33—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts
    • G01N2223/3307—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts source and detector fixed; object moves
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/60—Specific applications or type of materials
    • G01N2223/61—Specific applications or type of materials thin films, coatings
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/60—Specific applications or type of materials
    • G01N2223/646—Specific applications or type of materials flaws, defects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/60—Specific applications or type of materials
    • G01N2223/652—Specific applications or type of materials impurities, foreign matter, trace amounts
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/10—Energy storage using batteries

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Cell Separators (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

[과제] 광범위하며 또한 정확한 결함 검사를 실현한다.
[해결수단] 결함 검사 장치(1)는, 세퍼레이터 권회체(10)에 대하여 전자파(4)를 조사하는 선원부(2)와, 선원부(2)로부터 세퍼레이터 권회체(10)에 조사된 전자파(4)를 검출하는 센서부(3)를 갖고, 센서부(3)는 세퍼레이터 권회체(10)에 대하여, 상대적으로 이동하기 전후에 전자파(4)를 검출한다.

Description

결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 세퍼레이터 권회체의 제조 방법 {DEFECT INSPECTION DEVICE, DEFECT INSPECTION METHOD, AND METHOD FOR PRODUCING SEPARATOR ROLL}
본 발명은, 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 장치, 결함 검사 방법, 및 세퍼레이터 권회체의 제조 방법에 관한 것이다.
리튬 이온 이차 전지의 내부에 있어서, 정극 및 부극은, 다공질의 세퍼레이터에 의해 분리된다. 리튬 이온 이차 전지의 제조에는 이 세퍼레이터를 원통 형상의 코어에 권회한 것인 세퍼레이터 권회체가 사용된다. 세퍼레이터를 제조할 때, 이물도 함께 말려 들어가버리는 등 결함이 발생하는 경우가 있기 때문에, 결함의 유무를 검사할 필요가 있다. 특히, 결함이 금속 등의 도전성 이물인 경우에는, 리튬 이온 이차 전지 내부에서 단락의 원인이 될 우려가 있다.
특허문헌 1에는, 반송되는 시트 형상물의 표면에 가시광과 적외광을 조사하고, 각각의 반사광의 수광량에 따른 촬상 데이터에 기초하여, 상기 시트 형상물의 표면 결함의 종류가 금속인지의 여부를 판정하는 결함 검사 장치가 개시되어 있다.
일본 특허 제5673621호 공보
특허문헌 1의 결함 검사 장치는, 반송되고 있는 시트 형상물의 표면에 부착되어 있는 결함의 검사를 행하고 있다. 그러나, 당해 결함도 시트 형상물과 함께 이동해 가기 때문에, 정확하게 결함의 유무를 판정할 수 없다.
또한, 특허문헌 1의 결함 검사 장치에 의하면, 결함 검사를 하는 대상물이 검출기보다도 면적이 큰 경우, 당해 대상물에 있어서의 충분한 범위의 결함 검사를 행할 수 없다. 이로 인해, 검사 누락이 발생할 가능성이 있다.
본 발명은 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것이고, 그 목적은, 광범위하며 또한 정확한 결함 검사를 실현하는 데 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일 형태에 관한 결함 검사 장치는, 전지에 사용되는 세퍼레이터가 통 형상의 코어에 권회된 세퍼레이터 권회체를 유지하는 유지 기구와, 상기 세퍼레이터 권회체에 대하여 전자파를 조사하는 선원부와, 상기 선원부로부터 상기 세퍼레이터 권회체에 조사된 상기 전자파를 검출하는 센서부를 갖고, 상기 세퍼레이터 권회체는, 상기 선원부에 대하여 상대적으로 이동하고, 상기 센서부는, 상기 세퍼레이터 권회체에 대하여, 상기 상대적으로 이동하기 전후에 상기 전자파를 검출한다.
상기의 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일 형태에 관한 결함 검사 방법은, 전지에 사용되는 세퍼레이터가 통 형상의 코어에 권회된 세퍼레이터 권회체에 대하여 선원부로부터 전자파를 조사하는 조사 스텝과, 상기 세퍼레이터 권회체에 조사된 상기 전자파를 검출하는 검출 스텝을 포함하고, 상기 검출 스텝에서는, 상기 선원부에 대하여 상대적으로 이동되는 상기 세퍼레이터 권회체의 이동 전후에 상기 전자파를 검출한다.
본 발명의 일 형태에 의하면, 광범위하며 또한 정확한 결함 검사를 실현할 수 있다는 효과를 발휘한다.
도 1은, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 슬릿 장치의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 2는, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 세퍼레이터 권회체의 구성을 도시하는 모식도이며, (a)는 코어로부터 세퍼레이터가 권출되기 전의 상태를 나타내고, (b)는 코어로부터 세퍼레이터가 권출된 상태를 나타내고, (c)는 세퍼레이터가 권출되어, 제거된 후의 코어의 상태를 나타내고, (d)는 (b)의 상태를 다른 각도로 나타낸다.
도 3은, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 결함 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 4는, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 결함 검사 장치의 유지 기구에 유지되어 있는 세퍼레이터 권회체가 촬영된 촬영 화상을 도시하는 도면이다.
도 5는, 도 4에 도시하는 세퍼레이터 권회체를 θ 방향으로 소정 각도만큼 회전시킨 모습을 도시하는 도면이다.
도 6은, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다.
도 7은, 본 발명의 실시 형태 2에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다.
도 8은, 본 발명의 실시 형태 3에 관한 결함 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 9는, 본 발명의 실시 형태 3에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다.
도 10은, 본 발명의 실시 형태 4에 관한 결함 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 11은, 본 발명의 실시 형태 4에 관한 결함 검사 장치의 유지 기구에 유지되어 있는 세퍼레이터 권회체가 촬영된 촬영 화상을 도시하는 도면이다.
도 12는, 도 11에 도시하는 세퍼레이터 권회체를 YZ 축 방향으로 소정 거리만큼 이동시킨 모습을 도시하는 도면이다.
도 13은, 본 발명의 실시 형태 4에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다.
도 14는, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 선원부(2)의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 15는, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 결함 검사 장치를 고배율로 측정했을 때와 저배율로 측정했을 때의 모습을 도시하는 도면이다.
도 16은, 본 발명의 실시 형태 5에 관한 결함 검사 장치(1E)의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 17은, 본 발명의 실시 형태 6에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다.
도 18은, 본 발명의 실시 형태 7에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다.
도 19는, 본 발명의 실시 형태 8에 관한 결함 검사 장치의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 20은, 본 발명의 실시 형태 8에 관한 유지 기구에 유지되어 있는 세퍼레이터 권회체가 촬영된 촬영 화상을 도시하는 도면이다.
도 21은, 도 20의 상태로부터 각도 3θ분 세퍼레이터 권회체를 회전시킨 모습을 도시하는 도면이다.
도 22는, 본 발명의 실시 형태 9에 관한 결함 검사 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 23은, 본 발명의 실시 형태 9의 변형예에 관한 결함 검사 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
도 24는, 본 발명의 실시 형태 9에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다.
도 25는, 본 발명의 실시 형태 1의 변형예에 관한 결함 검사 장치의 구성을 도시하는 도면이다.
〔실시 형태 1〕
(세퍼레이터 권회체의 제조 공정)
도 1을 사용하여, 먼저, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 세퍼레이터 권회체의 제조 공정에 대해서 설명한다.
도 1은, 세퍼레이터를 슬릿하는 슬릿 장치(6)의 구성을 도시하는 모식도이며, (a)는 전체의 구성을 나타내고, (b)는 원단을 슬릿하기 전후의 구성을 나타낸다.
세퍼레이터(12)는, 리튬 이온 이차 전지 등의 정극인 캐소드와 애노드 사이를 분리하면서, 이들 사이에 있어서의 리튬 이온의 이동을 가능하게 하는 다공질 필름이다. 세퍼레이터(12)는, 그 재료로서, 예를 들어 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀을 포함한다.
세퍼레이터(12)는, 다공질 필름과, 당해 다공질 필름의 표면에 설치된 내열층을 가짐으로써 내열성을 갖고 있어도 된다. 당해 내열층은 그 재료로서, 예를 들어 전체 방향족 폴리아미드(아라미드 수지)를 포함해도 된다.
세퍼레이터(12)는, 폴리올레핀을 포함하는 다공질 필름과, 접착층 또는 내열층 등의 기능층을 구비하는 적층 다공질 필름이어도 된다. 기능층은 수지를 포함한다. 당해 수지로서는 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀; 폴리불화비닐리덴(PVDF), 폴리테트라플루오로에틸렌, 불화비닐리덴-헥사플루오로프로필렌의 공중합체 등의 불소 함유 고분자; 방향족 폴리아미드; 스티렌-부타디엔 공중합체 및 그의 수소화물, 메타크릴산에스테르 공중합체, 아크릴로니트릴-아크릴산에스테르 공중합체, 스티렌-아크릴산에스테르 공중합체 등의 고무류; 융점 또는 유리 전이 온도가 180℃ 이상인 고분자; 폴리비닐알코올, 폴리에틸렌글리콜, 셀룰로오스에테르, 알긴산나트륨, 폴리아크릴산, 폴리아크릴아미드, 폴리메타크릴산 등의 수용성 고분자; 등을 들 수 있다. 또한, 기능층은, 유기물 또는 무기물을 포함하는 필러를 포함해도 된다. 무기 필러로서는 실리카, 산화마그네슘, 알루미나, 수산화알루미늄, 베마이트 등의 무기 산화물 등을 들 수 있다. 당해 알루미나에는 α, β, γ, θ 등의 결정형이 존재하지만, 모두 사용할 수 있다. 상기의 수지 및 필러는 1종만을 사용해도 되고, 2종 이상을 조합해도 된다. 상기 기능층이 필러를 포함하는 경우, 필러의 함유량은 기능층의 1부피％ 이상 99부피％ 이하로 할 수 있다.
또한, 세퍼레이터(12)는, 후술하는 결함 검사에 끼치는 영향을 적게 하기 위해서, 세퍼레이터(12)에 포함되는 수분은 적은 편이 좋다. 후술하는 결함 검사 공정에 있어서의 결함 검사에서는, X선 등의 전자파를, 세퍼레이터(12)를 투과시킴으로써, 코어에 권회된 세퍼레이터(12) 내에 혼입된 이물 등의 유무를 검사한다. 그러나, 수분은 X선 등의 전자파의 투과율을 낮추기 때문에, 세퍼레이터(12)에 많은 수분이 포함되어 있으면, 결함 검사의 정밀도가 낮아지기 때문에 바람직하지 않다.
세퍼레이터(12)에 포함되는 수분은 2000ppm 이하 정도인 것이 바람직하다. 이에 의해, 후술하는 결함 검사 공정에 있어서, X선 등의 전자파의 투과율 저하를 억제하면서, 고정밀도로, 코어에 권회된 세퍼레이터 내의 결함을 검사할 수 있다.
세퍼레이터(12)는, 리튬 이온 이차 전지 등의 응용 제품에 적합한 폭(이하 「제품 폭」)인 것이 바람직하다. 그러나, 생산성을 높이기 위해서, 먼저 세퍼레이터는, 그 폭이 제품 폭 이상이 되도록 제조된다. 그리고, 일단 제조된 후, 세퍼레이터는 제품 폭으로 절단(슬릿)된다.
또한, 「세퍼레이터의 폭」이란, 세퍼레이터의 길이 방향과 두께 방향에 대하여 대략 수직인 방향의, 세퍼레이터의 길이를 의미한다. 이하에서는, 슬릿되기 전의 폭이 넓은 세퍼레이터를 「원단」이라고 칭한다. 또한, 슬릿이란, 세퍼레이터를 길이 방향(제조에 있어서의 필름의 흐름 방향(반송 방향), MD: Machine direction)에 따라 절단하는 것을 의미하고, 커트란, 세퍼레이터를 횡단 방향(TD: transverse direction)에 따라 절단하는 것을 의미한다. 횡단 방향(TD)이란, 세퍼레이터의 길이 방향(MD)과 두께 방향에 대하여 대략 수직인 방향을 의미한다.
슬릿 장치(6)는 원단을 슬릿하는 장치이다. 슬릿 장치(6)는 회전 가능하게 지지된 원기둥 형상의, 권출 롤러(61)와, 롤러(62 내지 69)와, 복수의 권취 롤러(70U·70L)를 구비한다.
슬릿 장치(6)에서는, 원단을 둘러 감은 원통 형상의 코어(c)가, 권출 롤러(61)에 끼워져 있다.
그리고, 원단은 코어(c)로부터 경로 U 또는 L로 권출된다. 권출된 원단은, 롤러(62 내지 67)를 경유하여, 롤러(68)에 반송된다. 롤러(67)로부터 롤러(68)에 반송되는 공정에 있어서 원단은, 복수의 세퍼레이터로 슬릿된다(슬릿 공정). 또한, 롤러(68) 근방에는, 원단을 복수의 세퍼레이터로 슬릿하는 절단 장치(도시하지 않음)가 배치되어 있다.
슬릿 공정 후, 원단으로부터 복수로 슬릿된 세퍼레이터의 일부는, 각각 권취 롤러(70U)에 끼워진 원통 형상의 각 코어(u)(보빈)에 권취되고, 다른 일부는, 각각 권취 롤러(70L)에 끼워진 원통 형상의 각 코어(l)(보빈)에 권취된다(세퍼레이터 권회 공정).
또한, 원단으로부터 슬릿된 후의 세퍼레이터가, 코어(보빈)에 롤 형상으로 권취된 물(物)을 「세퍼레이터 권회체」라고 칭한다. 본 실시 형태에서는, 이 세퍼레이터 권회 공정에서 세퍼레이터 권회체가 제조된 후, 후술하는 결함 검사 공정에서, 코어에 권회된 세퍼레이터 내에 이물이 혼입되어 있지 않은지 여부를 검사한다. 상술한 슬릿 공정에서는, 예를 들어 금속을 포함하는 슬릿 날의 일부가 이지러져 슬릿된 세퍼레이터의 표면에 부착되는 등, 이물이 발생하기 쉽다. 이로 인해, 결함 검사 공정은, 슬릿 공정 후에 마련하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 이물이 발생하기 쉬운 슬릿 공정에서 발생한 이물을, 결함 검사 공정에 의해 효율적으로 검사할 수 있다.
그리고, 결함 검사 공정에서 양품으로 판정된 세퍼레이터 권회체는, 그 후, 포장 공정에서 복수개 모아 포장되어 보관된다.
여기서, 슬릿 공정에서 슬릿되어, 코어에 권회된 세퍼레이터(12)의 폭(TD의 길이)은, 예를 들어 30mm 이상, 100mm 이하 정도인 것이 바람직하다. 세퍼레이터(12)의 폭이 너무 커지면, 후술하는 결함 검사 공정에 있어서의 결함 검사에서, X선 등의 전자파가 세퍼레이터(12)를 투과하기 어려워져, 결함 검사의 정밀도가 낮아진다. 그래서, 세퍼레이터(12)의 폭을 100mm 이하 정도로 함으로써, 후술하는 결함 검사 공정에 있어서, X선 등의 전자파의 투과율 저하를 억제하면서, 고정밀도로, 코어에 권회된 세퍼레이터 내의 결함을 검사할 수 있다.
(세퍼레이터 권회체의 구성)
도 2는, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 세퍼레이터 권회체(10)의 구성을 도시하는 모식도이며, (a)는 코어(8)로부터 세퍼레이터(12)가 권출되기 전의 상태를 나타내고, (b)는 코어(8)로부터 세퍼레이터(12)가 권출된 상태를 나타내고, (c)는 세퍼레이터(12)가 권출되어, 제거된 후의 코어(8)의 상태를 나타내고, (d)는 (b)의 상태를 다른 각도로 나타낸다.
도 2에 도시한 바와 같이, 세퍼레이터 권회체(10)는 세퍼레이터(12)를 감은 코어(8)를 구비한다. 이 세퍼레이터(12)는, 상술한 바와 같이 원단으로부터 슬릿되어 있다. 세퍼레이터 권회체(10) 중, 롤 형상으로 감아진 세퍼레이터(12)의 외주면을 외주면(S1)이라고 칭한다.
코어(8)는 외측 원통부(81)와, 내측 원통부(82)와, 복수의 리브(83)를 구비하고, 상술한 코어(u·l)와 같다.
외측 원통부(81)는, 그의 외주면(S2)에 세퍼레이터(12)를 감기 위한 원통 부재이다. 내측 원통부(82)는, 그의 내주면에 권취 롤러 등을 끼우기 위한 중심 구멍(8a)이 형성된 원통 부재이다. 리브(83)는, 외측 원통부(81)의 내주면과, 내측 원통부(82)의 외주면 사이에 연장되어, 외측 원통부(81)를 내주면에서 지지하는 지지 부재이다.
코어(8)의 재료는, ABS 수지를 포함한다. 단, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 코어(8)의 재료는 이것에 한정되지 않는다. 코어(8)의 재료로서, ABS 수지 이외에, 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리스티렌 수지 및 염화비닐 수지 등의 수지를 포함해도 된다. 코어(8)의 재료는 금속, 종이, 불소 수지가 아닌 것이 바람직하다.
도 2의 (b), (d)에 도시한 바와 같이, 세퍼레이터(12)의 일단부는, 접착 테이프(130)에 의해 코어(8)와 부착되어 있다. 구체적으로는, 세퍼레이터(12)의 일단부는, 접착제를 구비한 접착 테이프(130)에 의해, 코어(8)의 외주면(S2)에 고정되어 있다. 세퍼레이터(12)의 일단부를 외주면(S2)에 고정하는 수단은, 접착 테이프(130) 외에, 접착제를 세퍼레이터(12)의 일단부에 직접 도포하여 고정하는 것, 또는 클립으로 고정하는 것 등이어도 된다.
(결함 검사 장치(1)의 구성)
도 3은, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 결함 검사 장치(1)의 개략 구성을 도시하는 도면이다. 결함 검사 장치(1)는 결함 검사 공정에서, 세퍼레이터 권회체(10)에 결함이 발생하고 있지 않은지의 여부를 검사하기 위한 장치이다. 본 실시 형태에서는, 결함 검사 장치(1)는 권회된 세퍼레이터(12) 내에 이물이 혼입되어 있지 않은지의 여부를 검사하는 장치인 것으로서 설명한다.
결함 검사 장치(1)는 전자파(4)를 조사하는 선원부(2)와, 선원부(2)가 조사한 전자파(4)를 검출하는 센서부(3)와, 세퍼레이터 권회체(10)를 유지하는 유지 기구(20)를 구비하고 있다. 또한, 결함 검사 장치(1)는, 선원부(2), 센서부(3), 유지 기구(20) 각각의 구동 제어를 포함하여 결함 검사 장치(1) 전체의 구동을 제어하는 제어부(30)를 구비하고 있다.
제어부(30)는, 선원부(2)의 구동을 제어하는 선원 제어부(31)와, 유지 기구(20)의 구동을 제어하는 유지 기구 제어부(32)와, 센서부(3)의 구동을 제어하거나, 센서부(3)로부터의 검출 정보에 기초하는 촬상 화상을 얻거나 하는 센서 제어부(촬영 화상 생성부)(33)를 구비하고 있다.
또한, 도 3에는 도시하지 않지만, 결함 검사 장치(1)는, 취급하는 전자파가 외부에 누설되지 않도록, 적어도, 선원부(2)와, 유지 기구(20)와, 센서부(3)를 포함하는 주위는, 납 등이 포함되는 전자파가 투과하기 어려운 벽으로 덮여 있다. 당해 벽은, 적어도 선원부(2), 센서부(3) 및 유지 기구(20)를 둘러싸는 구성이면 된다.
본 실시 형태에서는, 선원부(2)의 전자파(4)의 조사 방향을 X축 방향(지면 좌우 방향)으로 하고, X축에 수직으로 교차하는 연직 방향(지면 상하 방향)을 Z축 방향으로 한다.
유지 기구(20)는, 검사 대상인 세퍼레이터 권회체(10)를, X축 방향 및 Z축 방향으로 이동 가능하게 유지한다. 즉, 유지 기구(20)는 선원부(2)에 대하여 세퍼레이터 권회체(10)를 상대적으로 이동시킨다. 또한, 유지 기구(20)는 X축 방향 및 Z축 방향에 수직으로 교차하는 Y축 방향(지면 앞뒤 방향)으로도 이동 가능해도 된다.
유지 기구(20)는 X축 방향으로 연신한 형상이고, 선단부가, 세퍼레이터 권회체(10)의 중심 구멍(8a)에 삽입되어서 당해 세퍼레이터 권회체(10)를 유지한다. 이에 의해, 세퍼레이터 권회체(10)는 결함 검사 장치(1)에 있어서, 선원부(2)와, 센서부(3) 사이에, 코어(8)에 권회된 세퍼레이터(12)의 일부가 적어도 개재하도록 세팅된다.
또한, 유지 기구(20)는, 금속 이물의 발생 방지 관점에서, 적어도 미끄럼 이동부는 수지로 구성되어 있는 것이 바람직하다. 수지의 종류에 제한은 없고, 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리스티렌 수지, 염화비닐 수지, 아크릴 수지, ABS, 폴리에스테르 등의 범용 수지, 폴리아세탈, 폴리아미드, 폴리카르보네이트, 변성 폴리페닐렌에테르 등의 엔지니어링 플라스틱, 폴리아릴레이트, 폴리술폰, 폴리에테르술폰, 폴리페닐렌술피드, 폴리에테르에테르케톤, 폴리이미드, 폴리에테르이미드 등의 슈퍼 엔지니어링 플라스틱 등이 사용된다. 그 중에서도 미끄럼 이동부에 사용하는 점에서 마모에 강한 슈퍼 엔지니어링 플라스틱이 바람직하고, 폴리에테르에테르케톤이 보다 바람직하다. 또한, 후술하는 본원 실시 형태 3에서는, 유지 기구(20)는 모두 수지를 포함하는 것이 바람직하다.
유지 기구(20)에, 세퍼레이터 권회체(10)를 설치하는 방법으로서는, 결함 검사 전의 세퍼레이터 권회체(10)를 적재하고 있는 스토커 또는 벨트 컨베이어 등의 장소로부터, 로봇 아암 또는 인력에 의해 세퍼레이터 권회체(10)를 이동시켜, 세퍼레이터 권회체(10)를 유지 기구(20)에 삽입함으로써 설치하는 방법을 들 수 있다.
또한, 세퍼레이터 권회체(10)를 유지하고 있는 유지 기구(20)로부터, 세퍼레이터 권회체(10)를 제거하는 방법으로서는, 결함 검사 후의 세퍼레이터 권회체(10)를 로봇 아암 또는 인력에 의해 제거하는 방법을 들 수 있다. 유지 기구(20)로부터 제거된 세퍼레이터 권회체(10)는 스토커 또는 벨트 컨베이어 등의 장소에 적재된다.
또한, 로봇 아암이 유지 기구(20)로서의 기능을 가져도 된다. 이 로봇 아암이 유지 기구(20)로서의 기능을 갖는 구성에 대해서는, 도 25를 사용하여 후술한다.
유지 기구(20)에 세퍼레이터 권회체(10)가 세팅되면, 결함 검사 장치(1)에 있어서, 선원부(2), 세퍼레이터 권회체(10) 및 센서부(3)가 X축 방향으로, 이 순서대로 배열하여 배치되게 된다. 유지 기구(20)에 세팅된 세퍼레이터 권회체(10)의 양 측면 중, 한쪽의 측면은 선원부(2)의 조사면(2a)과 대향하고, 다른 쪽의 측면은 센서부(3)의 검출면(3a)과 대향한다. 세퍼레이터 권회체(10)의 양 측면 중, 선원부(2)에 가까운 측을 제1 측면(A1)이라고 칭하고, 센서부(3)에 가까운 측을 제2 측면(A2)이라고 칭한다.
본 실시 형태에 따른 결함 검사 장치(1)는, 유지 기구(20)가 유지하는 세퍼레이터 권회체(10)를 소정 각도만큼 θ 방향으로 회전시켜서 촬영하고, 또한 세퍼레이터 권회체(10)를 소정 각도만큼 θ 방향으로 회전시켜서 촬영하는 것을 반복하여, 코어(8)에 권회된 원환 형상의 세퍼레이터(12) 전체를 촬영한다. 또한, 이 구체적인 촬영 방법에 대해서는, 도 4 등을 사용하여 후술한다.
도 3에 도시한 바와 같이, 센서부(3)는 선원부(2)가 조사한 전자파를 검출면(3a)에서 검출 가능한 검출기이다. 센서부(3)는 선원부(2)가 조사한 전자파를 검출하면, 검출한 전자파의 강도에 따른 전기 신호를 센서 제어부(33)에 출력한다. 센서 제어부(33)는 센서부(3)로부터 상기 전기 신호를 취득하면, 당해 전기 신호에 기초하여 촬영 화상을 생성한다.
센서부(3)는, 선원부(2)가 조사하는 파장대의 전자파를 검출 가능한 검출기이면 된다. 예를 들어, 센서부(3)는 선원부(2)가 X선을 조사하는 경우에는 X선을 검출 가능한 검출기이면 되고, 선원부(2)가 γ선을 조사하는 경우에는 γ선을 검출 가능한 검출기이면 되고, 선원부(2)가 가시광을 조사하는 경우에는 가시광을 검출 가능한 검출기이면 된다.
본 실시 형태에서는, 센서부(3)는 X선의 검출이 가능하고, 화소가 매트릭스 형상으로 배치된 플랫 패널 디텍터(FPD)인 것으로 한다. 센서부(3)는 종횡 1500×1500 화소나 2000×2000 화소 등의 FPD이고, 검출 대상인 이물의 사이즈에 따라, 1 화소 20㎛ 내지 2000㎛ 등, 최적 크기의 화소의 것을 선택한다.
또한, 센서부(3)의 검출면(3a)의 면적은, 세퍼레이터 권회체(10)의 측면 면적보다 작아도 된다. 이것은, 세퍼레이터 권회체(10)를 회전시켜서 코어(8) 상의 원환 형상으로 적층된 세퍼레이터(12)를 일부씩 촬영해 가, 그것들로부터 필요한 영역을 추출하여 서로 연결함으로써 전체의 촬영 화상을 얻기 때문이다.
선원부(2)는, 본 실시 형태에서는 세퍼레이터 권회체(10)에 있어서, 폭 W의 세퍼레이터(12)를 횡단 방향(TD)으로 투과하는 전자파(4)를 조사하는 것으로 한다. 이러한 전자파(4)로서는, 파장이 1pm 내지 10nm의 전자파를 들 수 있다.
이 중에서도, 선원부(2)가 조사하는 전자파(4)로서는, X선이 바람직하다. 이에 의해, 비용을 증대시키지 않고, 취급하기 쉬운 결함 검사 장치를 얻을 수 있다.
선원부(2)가 조사하는 전자파(4)의 강도는 1W 이상인 것이 바람직하다. 이에 의해, 전자파(4)로서 γ선을 사용하는 경우에 비하여, 확실하게, 전자파(4)를 세퍼레이터(12)의 횡단 방향(TD)으로 투과시킬 수 있다. 여기서, 전자파(4) 강도의 강도가 작으면, 노광 시간이 길게 필요해진다. 그래서, 선원부(2)가 조사하는 전자파(4)의 강도는 10W 이상인 것이 더욱 바람직하다. 이에 의해, 노광 시간을 짧게 할 수 있다.
또한, 전자파(4)의 강도가 너무 강하면, 선원부(2)의 수명이 짧아질 가능성이 있다. 그래서, 선원부(2)가 조사하는 전자파(4)의 강도는 100W 이하인 것이 바람직하다. 이에 의해, 선원부(2)의 수명이 짧아지는 것을 억제할 수 있다.
또한, 세퍼레이터 권회체(10)의 내부 결함이 아니라, 세퍼레이터(12)의 권취 어긋남 등, 권회된 세퍼레이터(12)의 측면 표면을 검사하는 경우에는, 선원부(2)가 조사하는 전자파는 적외선, 가시광 또는 자외선 등이어도 된다.
이 경우, 센서부(3)도 적외선, 가시광 또는 자외선의 검출이 가능한 것을 사용하고, 또한 세퍼레이터 권회체(10)의 양 측면 중, 센서부(3)를, 선원부(2)가 배치되어 있는 측과 같은 측에 배치할 필요가 있다. 이에 의해, 선원부(2)가 조사한 적외선, 가시광 또는 자외선이 세퍼레이터 권회체(10)의 측면에서 반사되어, 센서부(3)는 당해 반사광을 검출한다. 이에 의해, 세퍼레이터 권회체(10)의 측면의 결함 검사 화상을 얻을 수 있다.
선원부(2) 중 전자파(4)의 조사면(2a)은, 결함 검사 장치(1)에 세팅된 세퍼레이터 권회체(10)를 개재하여, 센서부(3)의 검출면(3a)과 대향하도록 배치되어 있다.
본 실시 형태에 있어서의 전자파(4)가, 파장이 1pm 내지 10nm의 전자파인 경우, 선원부(2) 중, 전자파(4)를 방사상으로 조사하는 점원을 특히 초점(2c)이라고 하는 경우가 있다. 초점(2c)의 중심(2d)은 조사면(2a)의 중심(2b)과 겹치도록 배치되어 있는 것으로 한다.
도 14는 본 발명의 실시 형태 1에 관한 선원부(2)의 개략 구성을 도시하는 도면이다. 이 초점(2c)은, 점 광원인 것이 이상적이지만, 통상, 초점(2c)의 직경(2ca)은 1 내지 20㎛ 정도의 크기를 갖는다.
여기서, 도 3 및 도 15에 도시한 바와 같이, 세퍼레이터 권회체(10)의 양 측면에 있어서의, 선원부(2)측의 면을 제1면(A1)으로 하고, 센서부(3)측의 면을 제2면(A2)으로 한다. 그리고, 초점(2c)으로부터 세퍼레이터 권회체(10)의 제2면(A2)까지의 거리를 D1로 하고, 초점(2c)으로부터 센서부(3)의 검출면(3a)까지의 거리를 D2로 한다.
도 15에 도시한 바와 같이, 결함 검사 장치(1)에 있어서, 측정을 고배율로 실시하는 경우에는, 초점(2a)의 크기에 기인하는 어긋남의 영향이 커진다. 이 측정을 고배율로 실시하는 경우란, D1에 대한 D2(D2/D1)를 크게 한 경우에서의 측정이고, 측정을 저배율로 실시하는 경우란, D1에 대한 D2(D2/D1)를 작게 한 경우에서의 측정이다.
도 3에 도시한 바와 같이, 선원부(2)는 전자파(4)를 세퍼레이터 권회체(10)의 측면을 향하여 조사한다. 세퍼레이터 권회체(10)의 세퍼레이터(12)의 횡단 방향(TD)의 길이를 폭 W로 하면, 선원부(2)는 선원 제어부(31)로부터의 지시에 의해, 세퍼레이터(12)의 폭 W를 통과하는 강도의 전자파(4)를 조사한다.
그리고, 센서부(3)는 선원부(2)가 조사하고, 세퍼레이터 권회체(10)를 투과한 전자파(4)를 검출한다. 이에 의해, 세퍼레이터 권회체(10) 내에 혼입된 이물 등, 세퍼레이터 권회체(10) 내에서 결함이 발생하고 있는지의 여부를 검사할 수 있다.
이와 같이, 결함 검사 장치(1)에 의하면, 세퍼레이터 권회체(10)가 제조된 후(즉, 코어에 세퍼레이터 권회체(12)가 권회된 후), 코어에 권회된 세퍼레이터(12) 내의 결함 유무를 검사할 수 있다. 이로 인해, 슬릿 공정에서 원단으로부터 복수로 슬릿된 시트 형상의 세퍼레이터마다, 결함의 유무를 검사하는 장치를 배치할 필요가 없다. 이로 인해, 결함 검사 장치의 대수가 증대해버리는 것을 방지할 수 있다.
또한, 선원부(2)는 유지 기구(20)가 유지하고 있는 세퍼레이터 권회체(10)에 대하여 전자파(4)를 조사하고, 센서부(3)는 그 전자파(4)를 검출하고 있다. 이로 인해, 반송 중의 세퍼레이터(12)를 촬영할 필요는 없고, 정지하고 있는 상태에서의 세퍼레이터 권회체(10)를 촬영할 수 있다. 이에 의해, 충분히 노광 시간을 확보할 수 있기 때문에, 선명한 촬영 화상을 얻을 수 있고, 정확하게 결함 검사를 행할 수 있다.
또한, 시그널-노이즈 비(SN 비)를 개선하기 위해서는 노광 시간을 길게 취하는 것이 바람직하지만, 노광은 연속 노광이어도 되고, 단시간의 노광을 반복하는 복수 노광이어도 된다. 단시간의 노광을 반복하는 복수 노광으로 촬영한 경우에는, 그 후 화상을 겹치게 한다. 연속 노광에 비해 복수 노광 쪽이 노이즈의 영향을 보다 저감할 수 있기 때문에 바람직하다.
또한, 결함 검사 장치(1)는, 반송 중의 세퍼레이터(12)를 전체 길이에 걸쳐 촬영할 필요가 없고, 권취된 덩어리인 세퍼레이터 권회체(10)로서 검사할 수 있기 때문에 단시간에 결함 검사를 행할 수 있다.
또한, X선 또는 γ선 등의 에너지가 높은 전자파를 취급하는 경우, 인체에 대한 영향을 피하기 위해서, 선원 및 센서의 주위를 납 등이 포함되는 벽으로 둘러쌀 필요가 있다. 이로 인해, 반송 중의 세퍼레이터 또는 세퍼레이터 권회체에 대하여 X선을 조사하여 결함 검사를 행하기 위해서는, 주위에 설치되는 벽도 커져, 대규모의 장치가 되어버린다.
한편, 결함 검사 장치(1)에 의하면, 전자파(4)로서 X선 또는 γ선을 사용했다고 해도, 유지 기구(20)가 유지하고 있는 세퍼레이터 권회체(10)의 촬영을 행하기 때문에, 선원부(2) 및 센서부(3)의 주위를 둘러싸는 벽은, 비교적 작게 끝낼 수 있어, 장치 전체로서 비교적 작은 장치로서 구성할 수 있다.
선원부(2)는 세퍼레이터 권회체(10)에 대하여, 측면측으로부터 전자파(4)를 조사한다. 이에 의해, 세퍼레이터 권회체(10) 중, 코어(8)에 권회되어 있는 세퍼레이터(12)만을 투과한 전자파(4)에 기초하는 촬영 화상을 얻을 수 있다. 이로 인해, 특히, 코어(8)에 권회된 세퍼레이터(12) 내를 촬영한 선명한 촬영 화상을 얻을 수 있다.
선원부(2)는, 코어(8)에 권회된 세퍼레이터(12)뿐만 아니라, 코어(8)에도 조사되도록 전자파(4)를 세퍼레이터 권회체(10)에 조사한다. 그리고, 센서부(3)가 전자파(4a)를 검출함으로써 촬영한 촬영 화상에는, 세퍼레이터(12)의 상에 더하여, 코어(8)의 상도 포함되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이, 세퍼레이터 권회체(10)에 있어서의 넓은 범위의 촬영 화상을 얻을 수 있다. 이에 의해, 촬영 횟수를 저감시킬 수 있음과 함께, 세퍼레이터 권회체(10)에 있어서, 누락 없이 전체적으로 결함 검사를 행할 수 있다.
여기서, 전자파(4)로서 X선 또는 γ선을 사용한 경우, 선원부(2)의 초점(2c)으로부터 조사된 전자파(4)는 방사 각도(B0)를 갖고 방사상으로 조사된다. 이로 인해, 선원부(2)의 조사면(2a) 중 중심(2b)으로부터 조사된 전자파(4), 즉, 초점(2c)으로부터 조사된 전자파(4) 중, 조사면(2a)에 대하여 수직으로 조사된 전자파(4)는 코어(8)에 권회되어 있는 세퍼레이터(12)의 막면과 평행하게 세퍼레이터 권회체(10) 내를 진행하고, 센서부(3)의 검출면(3a)에 수직으로 입사한다. 한편, 선원부(2)의 조사면(2a) 중 중심(2b)으로부터 이격됨에 따라, 즉, 초점(2c)으로부터 조사된 전자파(4) 중, 조사면(2a)에 대하여 수직으로 조사된 전자파(4)로부터 경사져 감에 따라, 선원부(2)의 조사면에서 조사된 전자파(4)는 코어(8)에 권회되어 있는 세퍼레이터(12)의 막면에 대하여 비스듬히 세퍼레이터 권회체(10) 내를 진행하고, 센서부(3)의 검출면(3a)에 비스듬히 입사한다.
권회된 세퍼레이터(12)의 촬영 화상 중, 권회된 세퍼레이터(12)의 막면에 대하여 비스듬히 세퍼레이터(12) 내를 진행한 전자파(4)에 의해 얻어진 영역과 비교하여, 권회된 세퍼레이터(12)의 막면에 대하여 평행하게 세퍼레이터(12) 내를 진행한 전자파(4)에 의해 얻어진 영역에는, 휘선이 비쳐버리는 경우가 있다. 이 휘선이 비치면, 권회된 세퍼레이터(12) 내의 이물 등의 결함의 상을 보기 어려워져, 결함의 검출 누락 발생의 원인이 되는 경우가 있다. 촬영 화상에 휘선이 비쳤을 때는, 선원부(2)와 세퍼레이터(12)의 위치 관계를 바꾸어서 다시 상기 휘선이 관찰된 부위의 화상을 촬영함으로써 결함의 검출 누락의 발생을 방지할 수 있다.
구체적으로는, 세퍼레이터(12)의 외주측의 영역을 촬영한 후에, 상기 외주측의 휘선이 발생한 영역이 중복되도록 내주측의 영역을 다시 촬영함으로써, 외주측의 영역에 휘선이 발생한 경우여도 결함의 검출을 누락 없이 검사할 수 있다. 또한, 이와 같이 선원부(2)와 세퍼레이터(12)의 위치 관계를 바꾸어서 영역이 중복되도록 복수회 촬영함으로써, 외접구의 직경이 100㎛ 이상인 이물 중에서도 편평 형상과 같은 얇은 형상의 이물의 검출 누락을 방지할 수 있다.
또한, 휘선의 비침을 방지하는 관점에서는, 선원부(2)는 조사면(2a)의 중심(2b)이, 유지 기구(20)에 유지되고 있는 세퍼레이터 권회체(10)의 측면 중, 권회되어 있는 세퍼레이터(12)와는 대향하지 않는 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하고, 권회되어 있는 세퍼레이터(12)에 의해 구성되어 있는 원환 부분보다도 중심측인 코어(8)의 측면과 대향하도록 배치되어 있는 것이 보다 바람직하다.
이에 의해, 조사면(2a)의 중심(2b)으로부터 조사된 전자파(4)는, 세퍼레이터 권회체(10) 중, 세퍼레이터(12)가 아닌, 코어(8) 내를 진행하고, 센서부(3)의 검출면(3a)에 입사한다. 이로 인해, 세퍼레이터(12)의 촬영 화상에 휘선이 발생하는 일이 없다.
또한, X선은, 초점(2c)의 중심(2d)을 중심으로 하여 방사상으로 조사되기 때문에, 권회되어 있는 세퍼레이터(12) 내를 진행한 전자파(4)는, 세퍼레이터(12)의 막면에 대하여 경사지도록, 세퍼레이터(12) 내를 진행하고, 센서부(3)의 검출면(3a)에 입사한다. 이로 인해, 촬영 화상 중, 권회되어 있는 세퍼레이터(12)의 상 부분에 휘선이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이에 의해, 촬영 횟수를 증가시키지 않고 결함의 검출 누락 발생을 방지할 수 있다.
또한, 휘선의 비침을 방지하는 관점에서는, 선원부(2)는 초점(2c)이, 유지 기구(20)에 유지되어 있는 세퍼레이터 권회체(10) 중, 권회되어 있는 세퍼레이터(12)와는 대향하지 않는 위치에 배치되어 있는 것이 바람직하고, 권회되어 있는 세퍼레이터(12)에 의해 구성되어 있는 원환 부분보다도 중심측인 코어(8)의 측면과 대향하도록 배치되어 있는 것이 보다 바람직하다. 이것에 의하면, 보다 확실하게, 세퍼레이터(12)의 촬영 화상에 휘선이 발생하는 일이 없다.
결함 검사 장치(1)에 있어서는, 선원부(2)와 유지 기구(20)가 유지하는 세퍼레이터 권회체(10) 사이 및 유지 기구(20)가 유지하는 세퍼레이터 권회체(10)와 센서부(3)의 검출면(3a) 사이에는, 구조물이 배치되어 있지 않고, 존재하는 것은 공기뿐이다.
이에 의해, 세퍼레이터 권회체와, 센서부의 수광면 사이에, 구조물이 배치되어 있는 경우에 비하여, 결함 검사 장치(1)에 의하면, 보다 선명한 세퍼레이터 권회체(10)의 촬영 화상을 얻을 수 있다. 이로 인해, 고정밀도로, 세퍼레이터 권회체(10) 내의 결함 유무 검사를 행할 수 있다.
일례로서, 결함 검사 장치(1)에서는, X축 방향으로 연신하는 유지 기구(20)의 선단부를 세퍼레이터 권회체(10)의 코어의 중심 구멍(8a)에 통과시킴으로써 유지 기구(20)가 세퍼레이터 권회체(10)의 중심부를 유지하고, 세퍼레이터 권회체(10)를 개재시켜서, 선원부(2)와, 센서부(3)가 대향 배치된 구성이다.
이에 의해, 선원부(2)와 센서부(3) 사이에, 검사 대상인 세퍼레이터 권회체(10)만이 배치된 구성으로 할 수 있다. 이것에 의하면, 세퍼레이터 권회체(10) 이외의 구성이 촬영 화상에 비치지 않기 때문에, 결함 검사를 하기 쉬운 촬영 화상을 얻을 수 있다.
또한, 결함 검사 장치(1)를 사용한 세퍼레이터 권회체(10) 내의 결함 유무 검사는, 결함 검사 장치(1)를 클린룸에 배치하는 것 등에 의해, 깨끗한 환경에서 행하는 것이 바람직하다. 깨끗한 환경으로서는, 예를 들어 클래스 10만 이하가 바람직하다. 이러한 환경하에서 행함으로써, 검사 중 및 검사 후에 이물이 새롭게 부착될 가능성을 저감할 수 있다. 또한, 결함 검사 장치(1)의 장치 내 또는 장치 외이며, 납 등의 벽으로 둘러싸인 영역도 이러한, 깨끗한 환경인 것이 바람직하다. 이에 의해, 결함 검사 장치(1)를 사용하여, 고정밀도로, 코어에 권회된 세퍼레이터(12) 내의 결함 유무 검사를 행할 수 있다.
또한, 세퍼레이터 권회체(10)와, 센서부(3)의 검출면(3a) 사이에는, 구조물이 배치되어 있지 않은 것이 바람직하지만, 상기 깨끗한 환경에서 세퍼레이터 권회체(12)를 포장한 것을 검사해도 된다.
상술한 바와 같이, 초점(2c)으로부터 세퍼레이터 권회체(10)의 제2면(A2)까지의 거리를 D1로 하고, 초점(2c)으로부터 센서부(3)의 검출면(3a)까지의 거리를 D2로 했을 때, D2/D1을 측정 배율이라고 정의한다.
본원의 목적의 하나는, 검사 대상의 전체 영역에서 해상도가 높은 X선 상을 단시간에 얻는 것이다. 세퍼레이터 권회체(10)의 검사에 필요한 시간은 하기 식에서 부여되고, 이 시간이 최소가 되는 D2를 설정할 필요가 있다.
(노광 시간+이동 시간)×촬영 횟수 (식 1)
D2/D1을 고정한 조건에 두고, 초점(2c)과 세퍼레이터 권회체(10)의 거리, 즉 D1이 X배가 되면, 검출면(3a)에 있어서의 (시간·면적)당의 선량이 1/(X2)이 된다. 즉, D1이 X배인 조건하에서는, 검출면(3a)에 있어서 동일한 선량을 얻고자 했을 경우, 노광 시간은 X의 2승에 비례시킬 필요가 있다. 따라서, 노광 시간에 대해서는 D1이 작을수록 유리하다. 한편으로, D1을 작게 하면, 세퍼레이터 권회체(10)의 촬영 범위는 좁아진다. 이로 인해, 노광 시간을 짧게 할 수는 있지만, 전체 영역을 촬영하기 위한 촬영 횟수가 증가하여 촬영 간의 이동이 증가하기 때문에 결함 검사의 시간이 증대하게 된다.
또한, D2를 작게 하면, 그만큼 세퍼레이터 권회체(10)의 촬영 화상의 해상도가 향상되기는 하지만, 측정 배율이 저하되기 때문에 분해능이 높은 센서부(3), 즉, 화소 사이즈가 작은 센서부(FPD)가 필요해진다. 한편으로, D2를 크게 하면, 센서부(3)의 화소 사이즈의 제약은 적어지지만, 센서부 자체의 사이즈가 커지거나, 결함 검사 장치의 사이즈가 커지기 때문에 공간 비용이 높아진다. 또한, 파장이 1pm 내지 10nm인 전자파는 선원으로부터 방사상으로 조사되기 때문에, 검출 대상인 이물의 실제 사이즈에 대하여 센서부(3)에 투영되는 이물의 사이즈는 항상 커진다. 센서부(3)의 화소 사이즈는, 검출 대상인 이물을 어떤 화소에서 검출할지를 고려한 다음 결정하면 된다. 예를 들어, 크기가 100㎛인 이물을 3화소 이상에서 검출하는 경우, 화소 사이즈는 100㎛÷3≒33㎛를 하한으로서 선택하면 된다.
이들 사정을 고려하면, D1은 폭 W의 1.5배 이상 4배 이하인 것이 바람직하고, D2는 0.3m 이상 10m 이하인 것이 바람직하고, D2/D1은 1보다 크고 40 이하인 것이 바람직하다. 또한, 센서부(FPD)의 화소 사이즈는 20㎛ 이상 2000㎛ 이하인 것이 바람직하다. 이에 의해, 세퍼레이터 권회체(10)의 결함 검사에 요하는 시간을 단축하면서, 보다 고정밀도로 결함 검사를 행할 수 있다.
또한, 1회의 촬영 시간은, 세퍼레이터 권회체(10)의 1개당의 검사에 요하는 시간, 센서부(3)의 센서 감도, 처리 검체수(검사하는 세퍼레이터 권회체(10)의 수) 등에 의해 검출해야 할 사이즈의 결함을 촬영할 수 있는 범위 내에서 적절히 조정하면 된다.
또한, 세퍼레이터 권회체(10)의 1개당의 검사에 요하는 시간, 센서부(3)의 센서 감도, 처리 검체수(검사하는 세퍼레이터 권회체(10)의 수) 등에 따라서는, 예를 들어 복수의 세퍼레이터 권회체(10)를 겹쳐서 동시에 촬영하거나, 복수의 세퍼레이터 권회체(10)를 배열하여 동시에 촬영하거나 함으로써, 복수의 세퍼레이터 권회체(10)를 동시에 검사해도 된다.
(결함 검사 방법)
이어서, 도 3, 도 4 내지 도 7을 사용하여, 결함 검사 장치(1)에 의한 결함 검사 방법에 대하여 설명한다.
도 4는, 유지 기구(20)에 유지되어 있는 세퍼레이터 권회체(10)가 촬영된 촬영 화상을 도시하는 도면이다. 또한, 도 4에서는, 세퍼레이터 권회체(10)의 전체가 촬영된 모습을 나타내고 있지만, 세퍼레이터 권회체(10) 중, 후술하는 주목 영역(3b)만, 또는, 주목 영역(3b)을 포함하는 세퍼레이터 권회체(10)의 일부만이 촬영되어 있어도 된다.
센서 제어부(33)는 세퍼레이터 권회체(10)의 촬영 화상 중, 실제로 결함의 유무를 판정하기 위해서, 촬상 화상 중 주목하는 주목 영역(3b)을 설정한다.
여기서, 세퍼레이터 권회체(10)에 대한 전자파(4)의 입사 각도, 선원부(2)의 조사면(2a)으로부터 센서부(3)의 검출면(3a)에 이르는 전자파(4)가 진행한 경로 길이의 차이 등으로부터, 촬영 화상에는, 선명한 상이 비치는 영역과, 비치는 상이 불선명한 영역이 존재한다. 이로 인해, 촬영 화상 중, 선명한 상이 비치고 있는 영역을 사용하여, 결함 검사를 행한 쪽이, 검사 누락이 적고, 고정밀도로 결함 검사를 행할 수 있다.
그래서, 센서 제어부(33)는 촬영 화상에 있어서 선명한 상이 비치는 영역을, 주목 영역(3b)으로서 설정해 둔다.
또한, 촬영 화상의 범위나 위치가 주목 영역(3b)과 같으면, 촬영 화상을 그대로 주목 영역(3b)으로서 사용하면 된다.
본 실시 형태에서는, 센서 제어부(33)는 주목 영역(3b)으로서, 코어(8)의 외주면(S2)의 일부와, 세퍼레이터(12)의 외주면(S1)의 일부를 포함하는 사각형의 영역을 설정한다. 즉, 주목 영역(3b)에는, 코어(8)의 일부와, 권회되어 있는 세퍼레이터(12)의 두께 방향(지면 상하 방향)의 모두가 포함되어 있다.
도 3에 있어서, 선원부(2)의 조사면(2a)의 중심(2b)으로부터 센서부(3)의 검출면(3a)에 수직으로 그은 선을 중심선(CE)으로 한다.
주목 영역(3b)의 상하 방향의 거리는, 전자파(4) 중, 중심선(CE)으로부터, 세퍼레이터 권회체(10)의 제2 측면(A2)에 있어서의 외주면(S1)이 포함되는 정도의 방사 각도(B1)로 방사상으로 조사된 전자파(4a)가 세퍼레이터 권회체(10)를 투과하여 센서부(3)에 입사했을 때의 거리이다.
중심선(CE)은, 세퍼레이터 권회체(10) 중, 세퍼레이터(12)보다도 중심측에 위치하는 코어(8)를 통과한다.
도 4에 도시한 바와 같이, 센서 제어부(33)가 주목 영역(3b)을 설정하면, 결함 검사 장치(1)는 세팅된 세퍼레이터 권회체(10)를 촬영한다.
또한, 촬영한다란, 선원 제어부(31)로부터의 지시에 의해 선원부(2)가 전자파(4)를 조사하고, 센서부(3)가, 선원부(2)가 조사하고 세퍼레이터 권회체(10)를 투과한 전자파(4)를 검출하고, 당해 검출한 전자파(4)의 강도에 따른 전기 신호를 센서 제어부(33)에 출력하여, 센서 제어부(33)가 센서부(3)로부터 상기 전기 신호를 취득하고, 당해 전기 신호에 기초하는 촬영 화상을 생성하는 것이다.
이어서, 센서 제어부(33)는 생성한 촬영 화상으로부터, 주목 영역(3b)에 해당하는 제1 영역(R1)을 추출한다.
도 4에서는, 제1 영역(R1)에, 검출해야 하는 결함으로서 이물(5)이 포함되어 있다. 이물(5)의 재질은, 다양한 것이 생각되지만, 예를 들어 금속 및 카본 등을 들 수 있다. 검출해야 하는 이물(5)의 사이즈로서도, 여러 가지 사이즈를 생각할 수 있지만, 일례로서, 100㎛, 두께가 50㎛ 정도의 사이즈인 것이 생각된다. 본 명세서에 있어서, 이물의 사이즈에 두께나 폭 등의 특정이 없을 때, 즉 간단히 100㎛ 등의 길이만이 기재되어 있을 때에는, 당해 길이는 이물의 외접구의 직경 길이를 의미한다.
검출해야 하는 결함인 이물(5)은, 비중이 큰 편이 작은 사이즈까지 검출할 수 있는 경향이 있다. 검출해야 하는 결함이 금속 이물인 경우, 예를 들어 어떤 검사 조건하에 있어서, 비중이 6 정도인 금속을 100㎛ 정도까지 검출할 수 있을 때에, 비중 2 정도의 금속은 300㎛ 정도까지 검출할 수 있다. 결함 검사 장치(1)에 있어서, 적절히, 검출 대상인 금속 이물의 종류(즉 비중)에 의해, 검출 대상으로 하는 이물(5)의 사이즈를 설정하면 된다.
또한, 결함 검사 장치(1)에 있어서, 노광 시간을 연장하는, 세퍼레이터 권회체(10)에 있어서의 동일한 영역을 복수회 촬영하는 것 등에 의해, 검사에 요하는 시간을 연장시키면, 사이즈가 작은 이물(5)을 검출할 수 있다. 이로 인해, 상기와 같은, 검출 대상으로 하는 금속 이물의 비중과 사이즈와의 관계는, 검사에 요하는 시간을 동일하게 했을 경우의 관계이다.
또한, 대표적인 금속의 비중으로서는 Fe; 7.8 정도, Al; 2.7 정도, Zn; 7.1 정도, SUS 7.7 정도, Cu 8.5 정도, 놋쇠 8.5 정도 등이 예시되지만 꼭 그렇지만은 않다.
도 5는, 도 4에 도시하는 세퍼레이터 권회체(10)를 θ 방향으로 소정 각도만큼 회전시킨 모습을 도시하는 도면이다.
센서 제어부(33)가 촬영 화상으로부터, 주목 영역(3b)에 해당하는 제1 영역(R1)을 추출한 후, 유지 기구 제어부(32)는 도 5에 도시한 바와 같이, 유지 기구(20)를 θ 방향으로 소정 각도 회전시킨다. 이에 의해, 유지 기구(20) 및 세퍼레이터 권회체(10)는 θ 방향으로 소정 각도만큼 회전하고 정지한다. 또한, 센서 제어부(33)가, 촬영마다 촬영 화상으로부터 주목 영역(3b)에 해당하는 추출한 각 영역을 영역 R이라고 칭한다.
유지 기구 제어부(32)가, 유지 기구(20) 및 세퍼레이터 권회체(10)를 θ 방향으로 회전시키는 소정 각도란, 유지 기구(20) 및 세퍼레이터 권회체(10)를 360도 회전시켜서 촬영했을 때에 얻어지는 복수의 영역 R을 겹쳤을 때에, 세퍼레이터 권회체(10)의 제1 측면(A1)에 미촬영 영역이 존재하지 않고, 또한 촬영 매수가 최소가 되는 각도 이하의 각도이다.
이에 의해, 효율적으로, 세퍼레이터 권회체(10)의 전체를 촬영할 수 있다. 또한 이때, 선원부(2)는 조사면(2a)의 중심(2b)이, 센서부(3)와 대향하도록 배치되어 있는 것이 보다 바람직하다. 이러한 배치에 있으면, 세퍼레이터 권회체(10)의 제1 측면(A1)에 미촬영 영역이 존재하지 않을 때에, 동시에, 제2 측면(A2)에도 미촬영 영역이 존재하지 않게 된다. 따라서, 세퍼레이터 권회체(10)의 전체를 보다 적합하게 촬영할 수 있다.
그리고, 유지 기구 제어부(32)가, 유지 기구(20) 및 세퍼레이터 권회체(10)를 θ 방향으로 소정 각도 회전시켜서 정지시키면, 결함 검사 장치(1)는 회전 후의 세퍼레이터 권회체(10)를 촬영한다.
이어서, 센서 제어부(33)는 생성한 촬영 화상으로부터, 주목 영역(3b)에 해당하는 제2 영역(R2)을 추출한다.
제2 영역(R2)과, 회전 후의 제1 영역(R1)은, 간극 없이 겹쳐, 서로의 각도가 상이하다.
이와 같이, 촬영과, 세퍼레이터 권회체(10)의 θ 방향으로의 소정 각도의 회전과, 주목 영역(3b)에 해당하는 회전 후의 영역 추출을 반복해 간다.
도 6은, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다.
도 6에 도시한 바와 같이, 원환 형상의 세퍼레이터(12)의 일주에 걸쳐, 주목 영역(3b)에 해당하는 영역을 추출하여 조합한 제1 영역(R1) 내지 제18 영역(R18)을 포함하는 결함 검사 화상이 생성되어 있다. 원환 형상의 세퍼레이터(12)는, 제1 영역(R1) 내지 제18 영역(R18)(전체 영역 R) 내에 포함되어 있다.
유지 기구(20) 및 세퍼레이터 권회체(10)를 360도 회전시켜서 촬영하여 얻어진 제1 영역(R1) 내지 제18 영역(R18)(전체 영역 R)은 인접하는 영역 R끼리를 겹쳤을 때에, 세퍼레이터 권회체(10)의 제1 측면(A1)에 미촬영 영역이 존재하지 않고, 또한 촬영 매수가 최소가 되는 각도 이하가 되도록, 소정 각도만, 서로의 각도가 상이하다.
이와 같이, 유지 기구(20)가 θ 방향으로 소정 각도씩 회전함으로써, 세퍼레이터 권회체(10)는, 코어(8)에 권회된 세퍼레이터(12) 전체의 상이 얻어지도록, 선원부(2)에 대하여 상대적으로 이동한다. 이에 의해, 세퍼레이터(12)의 전체 결함 검사를 행할 수 있다.
또한, 유지 기구(20)는 움직이지 않고, 선원부(2) 및 센서부(3)가 세퍼레이터 권회체(10)의 중심을 회전 중심으로 하여 θ 방향으로 소정 각도씩 회전함으로써, 세퍼레이터 권회체(10)가 선원부(2)에 대하여 상대적으로 이동하도록 해도 된다.
각 제1 영역(R1) 내지 제18 영역(R18)은, 인접하는 영역과 간극 없이, 또한 겹치는 부분의 면적이 최소가 되도록, 서로의 각도가 상이하다.
이와 같이 하여, 원환 형상의 세퍼레이터(12)의 전체 분을 추출한 화상을 조합한 결함 검사 화상을 생성할 수 있다.
본 실시 형태에서는 촬영과, 촬영 화상에 있어서의 주목 영역(3b)의 추출과, 세퍼레이터 권회체(10)의 θ 방향으로의 소정 각도의 회전이라는 흐름을 18회 반복함으로써, 원환 형상의 세퍼레이터(12)의 전체를 나타내는 결함 검사 화상을 생성하고 있지만, 이 반복 횟수는 임의로 변경하면 된다.
이 후, 결함 검사 장치(1)는 결함 검사 화상을, 도시하지 않은 디스플레이에 표시하도록 해도 된다. 또한, 결함 검사 장치(1)는 이 결함 검사 화상을 화상 처리하는 것 등에 의해, 검출해야 할 결함의 유무를 판정하고, 판정 결과를 작업자에게 통지하도록 해도 된다.
이와 같이, 세퍼레이터 권회체(10)는 선원부(2)에 대하여 상대적으로 이동하고, 선원부(2)는 세퍼레이터 권회체(10)에 대하여 상대적으로 이동하기 전후에 전자파(4)를 조사한다.
이에 의해, 세퍼레이터 권회체(10)가 상대적으로 이동하기 전후에, 세퍼레이터 권회체(10)에 대하여, 상이한 영역에 전자파(4)가 조사되게 된다. 이에 의해, 센서 제어부(33)는 세퍼레이터 권회체(10)가 상대적으로 이동하기 전후에 상이한 영역의 촬영 화상을 얻을 수 있다.
또한, 세퍼레이터 권회체(10)가 선원부(2)에 대하여 상대적으로 이동하기 전후에, 전자파(4)의 조사를 온 오프하는 대신에, 센서부(3)에서의 검출을 온 오프해도 된다. 즉, 전자파(4)를 계속적으로 조사한 상태로 해서, 센서부(3)의 검출을 전환하게 해도 된다. 이에 의해, 전자파(4)를 단편적으로 조사한 경우와 마찬가지로, 센서 제어부(33)는 상이한 영역 R의 촬영 화상을 얻을 수 있다. 또한, 세퍼레이터 권회체(10)가 상대적으로 이동하기 전후에는, 센서부(3)의 검출을 전환하는 편이 바람직하다. X선원을 빈번히 온 오프하면, 조사되는 X선이 안정되지 않거나, X선원의 수명이 짧아지거나 하는 등의 문제가 발생할 우려가 있기 때문이다.
이와 같이, 센서부(3)의 검출면(3b)이 작아도, 센서 제어부(33)는 세퍼레이터 권회체(10)에 있어서의 넓은 면적의 촬영 화상을 얻을 수 있다. 이에 의해, 세퍼레이터 권회체(10)에 있어서의 넓은 범위의 결함 검사를 할 수 있다. 따라서, 결함 검사에 요하는 시간이 증대하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 선원부(2)는 세퍼레이터 권회체(10)에 대하여, 상대적으로 이동하기 전후에 전자파(4)를 조사한다. 이로 인해, 센서 제어부(33)는 세퍼레이터 권회체(10)가 정지하고 있는 상태에서의 촬영 화상을 얻을 수 있다. 이로 인해, 이동 중인 세퍼레이터 권회체를 촬영하는 경우와는 달리, 노광 시간을 길게 취할 수 있고, 밝고 선명한 촬영 화상을 얻을 수 있다. 이것에 의하면, 보다 정확하게 결함 검사를 행할 수 있다.
이와 같이, 결함 검사 장치(1)에 의하면, 결함 검사에 요하는 시간을 억제하면서, 정확하게 결함 검사를 행할 수 있다.
또한, 세퍼레이터 권회체(10)는 선원부(2)에 대하여 상대적으로, 세퍼레이터 권회체(10)의 중심을 회전 중심으로 하는 회전 운동을 한다. 그리고, 센서 제어부(33)는 회전 운동을 하는 세퍼레이터 권회체(10)의 촬영 화상을 생성한다.
그리고, 센서 제어부(33)는, 세퍼레이터 권회체(10)가 상대적으로 이동하기 전에 생성한 촬영 화상과, 세퍼레이터 권회체(10)가 상대적으로 이동한 후에 생성한 촬영 화상을 일부가 겹치도록 합성한다. 이에 의해, 누락 없이, 세퍼레이터 권회체(10)의 넓은 면적의 촬영 화상을 얻을 수 있다. 이로 인해, 효율적이고, 세퍼레이터 권회체(10)의 넓은 영역의 촬영 화상을 얻을 수 있다.
또한, 세퍼레이터 권회체(10)의 촬영 화상끼리의 일부를 겹치는 데 있어서, 세퍼레이터 권회체(10)는 선원부(2)에 대하여 상대적으로 세퍼레이터 권회체(10)의 중심을 회전 중심으로 하는 회전 운동을 하고, 센서 제어부(33)는 회전 운동을 하는 세퍼레이터 권회체(10)의 촬영 화상을 생성하고, 당해 촬영 화상끼리의 일부를 겹치는 것이 바람직하다. 이에 의해, 촬영 화상끼리를 똑같이 겹쳐 갈 수 있기 때문에, 효율이 좋다.
또한, 촬영 화상에는, 코어(8)의 일부가 포함되어 있는 것이 바람직하다. 이에 의해, 세퍼레이터 권회체(10)에 있어서의 코어(8)에 가장 가까운 최내주의 세퍼레이터(12)에 대해서도 누락 없이, 세퍼레이터 권회체(10)의 넓은 면적의 촬영 화상을 얻을 수 있다.
또한, 촬영 화상에는, 외주면(S1)보다도 외측의 공간 영역이 포함되어 있는 것이 바람직하다. 이에 의해, 세퍼레이터 권회체(10)에 있어서의 외주면(S1)을 구성하는 최외주의 세퍼레이터(12)에 대해서도 누락 없이, 세퍼레이터 권회체(10)의 넓은 면적의 촬영 화상을 얻을 수 있다.
또한, 결함 검사 장치(1)는, 선원부(2)가 조사하는 전자파로서 전자파(4)를 사용하고 있다. 이에 의해, 비교적 용이하게, 코어(8)에 권회된 세퍼레이터(12)의 내부 결함 유무를 확인할 수 있다.
또한, 결함 검사 장치(1)는 세퍼레이터 권회체(10)에 있어서의 일회 촬영한 영역을, 선원부(2)와 세퍼레이터 권회체(10)의 상대 위치를 변경하여 복수회 촬영 해도 된다. 선원부(2)와 세퍼레이터 권회체(10)의 각도를 바꾸어, 세퍼레이터 권회체(10)에 있어서의 1회 촬영한 영역을 2회 등, 복수회 촬영함으로써, 세퍼레이터 권회체(10)에 포함되는 이물의 위치(세퍼레이터 권회체(10)에 있어서의 TD의 위치)를 특정하거나, 세퍼레이터 권회체(10)에 포함되는 이물의 전체 형상을 특정하거나, 두께가 얇은 이물이어도 검출하거나 할 수 있다.
세퍼레이터 권회체(10)를 2회째 촬영할 때, 세퍼레이터 권회체(10) 전체를 다시 촬영해도 되지만, 필요한 영역만 촬영해도 된다. 예를 들어, 도 4 내지 도 6을 사용하여 설명한 바와 같이, 또는 실시 형태 2 이후에서 설명하는 바와 같은 방법에 의해, 세퍼레이터 권회체(10)의 전체를 촬영한 후, 촬영 화상으로부터, 세퍼레이터 권회체(10) 중 이물이 포함되어 있는 영역 또는 이물이라고 생각되는 물체가 찍혀 있는 영역을 특정하고, 세퍼레이터 권회체(10) 중 당해 영역만을 다시 촬영해도 된다.
또한, 이물이 상당히 작은(두께가 얇은) 경우에는, 세퍼레이터 권회체(10)를 1회 촬영한 것만으로는, 존재를 확인할 수 없는 경우가 있다. 이로 인해, 검사 대상인 이물이 상당히 작은(두께가 얇은) 경우에는, 선원부(2)와 세퍼레이터 권회체(10)의 각도를 바꾸어, 세퍼레이터 권회체(10) 전체를 복수회 촬영하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 작은(두께가 얇은) 이물이어도 검출할 수 있다.
또한, 결함 검사 장치(1)에 의하면, 세퍼레이터 권회체(10)의 1개당의 검사에 요하는 시간, 센서부(3)의 센서 감도, 처리 검체수(검사하는 세퍼레이터 권회체(10)의 수) 등에 의해, 검출해야 할 이물(5)의 사이즈를 조정할 수 있다.
예를 들어, 결함 검사 장치(1)를, 100㎛ 이상의 이물(5)을 검출하도록 설정하고, 결함 검사 장치(1)에 의해 세퍼레이터 권회체(10)의 결함 검사를 행함으로써, 세퍼레이터 권회체(10)의 제조 공정에서 제조되는, 여러 가지 사이즈의 이물이 포함되는(포함될 가능성이 있는) 여러 가지 세퍼레이터 권회체(10)로부터, 100㎛ 이상의 이물(5)이 포함되는 세퍼레이터 권회체(10)만을 선별할 수 있다.
그리고, 결함 검사 장치(1)에 의해 100㎛ 이상의 이물(5)이 검출된 세퍼레이터 권회체(10)를 제조 공정으로부터 배제함으로써, 여러 가지 사이즈의 이물이 포함되는(포함될 가능성이 있는) 여러 가지 세퍼레이터 권회체(10)로부터, 100㎛ 이상의 이물(5)이 적거나, 100㎛ 이상의 이물(5)이 포함되지 않는 세퍼레이터 권회체(10)를 선별할 수 있다.
환언하면, 세퍼레이터 권회체(10)의 제조 공정에 있어서, 결함 검사 장치(1)를 사용한 결함 검사 공정을 편입함으로써, 여러 가지 사이즈의 이물이 포함되는(포함될 가능성이 있는) 여러 가지 세퍼레이터 권회체(10)로부터, 100㎛ 이상의 이물(5)이 적거나, 100㎛ 이상의 이물(5)이 포함되지 않는 세퍼레이터 권회체(10)를 제조할 수 있다.
특히, 100㎛ 이상의 이물(5)이 적은 세퍼레이터 권회체(10)는, 세퍼레이터(12)에 부착된 이물(5)에 의해 불량이 발생할 가능성을 낮게 할 수 있다.
이와 같이, 세퍼레이터 권회체(10)의 제조 공정에 있어서, 결함 검사 장치(1)를 사용한 결함 검사 공정을 편입함으로써, 이물(5)의 혼입 등 결함이 적은 세퍼레이터 권회체를 제조할 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이, 결함 검사 공정은, 세퍼레이터 권회체(10)의 제조 공정에 있어서, 슬릿 공정 후, 포장 공정 전에 마련하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 슬릿 공정에서 발생한 이물(5)을 효율적으로 검사할 수 있다.
또한, 세퍼레이터 권회체(10)의 제조 공정에 있어서 결함 검사 공정을 마련함으로써, 세퍼레이터 권회체(10)의 포장 공정 이후, 코어(8)에 권회된 세퍼레이터(12)를 사용하여 전지를 조립하는 제조 공정에 있어서, 세퍼레이터(12)에 부착된 이물(5)의 유무를 검사하는 수고를 줄일 수 있다.
또한, 제어부(30)는 1개의 세퍼레이터 권회체(10)의 촬영을 종료하고, 다음 세퍼레이터 권회체(10)의 촬영을 개시하기 전(한 촬영 사이클 종료 후)에, 세퍼레이터 권회체(10)의 촬영을 위하여 이동한 각 부(유지 기구(20) 등)를 초기 상태로 되돌리는 것이 바람직하다. 이에 의해, 검사 누락이나 중복 검사를 방지하거나, 촬영 도중에 다음 촬영에 들어가는 등의 오작동도 방지할 수도 있다. 또한, 이 한 촬영 사이클 종료 후에 각 부를 초기 상태로 되돌리는 것이 바람직한 것은, 실시 형태 2 이후에 설명하는 각 결함 검사 장치에 있어서도 마찬가지이다.
(변형예)
도 25는, 본 발명의 실시 형태 1의 변형예에 관한 결함 검사 장치(1L)의 구성을 도시하는 도면이다.
도 25는, 본 발명의 실시 형태 1의 변형예에 관한 결함 검사 장치(1L)의 개략 구성을 도시하는 상면도이다. 도 25에 도시한 바와 같이, 결함 검사 장치(1L)는, 선원부(2)와, 센서부(3)와, 제어부(30L)와, 벽(47)과, 검사 전 스토커(201)와, 검사 후 스토커(202)와, 로봇 아암(유지 기구)(203)을 구비하고 있다. 또한, 로봇 아암(203)은 유지 기구(20)(도 3 참조)의 기능을 겸하기 때문에, 결함 검사 장치(1L)는 유지 기구(20)를 갖고 있지 않다.
벽(47)은 취급하는 전자파가 외부에 누설되지 않도록, 납 등이 포함되는 전자파가 투과하기 어려운 벽면으로 구성된다. 벽(47)은 도시하지 않은 도어를 개폐시킴으로써, 세퍼레이터 권회체(10)의 반입·반출이 가능하게 되어 있다.
제어부(30L)는, 제어부(30)가 갖고 있었던 유지 기구 제어부(32) 대신에, 로봇 아암 제어부(32L)를 갖는 점에서, 제어부(30)와 상이하다. 제어부(30L)의 다른 구성은 제어부(30)와 마찬가지이다. 로봇 아암 제어부(32L)는, 로봇 아암 제어부(32L)의 구동을 제어한다. 또한, 제어부(30L)는, 벽(47)으로 둘러싸인 영역 내에 배치되어 있어도 되고, 벽(47)으로 둘러싸인 영역 외에 배치되어 있어도 된다.
검사 전 스토커(201)는 결함 검사 장치(1L)에서의 결함 검사 전의 세퍼레이터 권회체(10)를 적재하기 위한 적재부이다. 검사 전 스토커(201)는, 세퍼레이터 권회체(10)의 제1 측면(A1)측으로부터 코어(8)의 중심 구멍(8a)(도 2 참조)에 유지 부재를 삽입하여 세퍼레이터 권회체(10)를 유지한다. 검사 후 스토커(202)는 결함 검사 장치(1L)에서의 결함 검사 후의 세퍼레이터 권회체(10)를 적재하기 위한 적재부이다. 검사 후 스토커(202)는 세퍼레이터 권회체(10)의 제1 측면(A1)측으로부터 코어(8)의 중심 구멍(8a)(도 2 참조)에 유지 부재를 삽입하여 세퍼레이터 권회체(10)를 유지한다.
또한, 스토커는 반드시 검사 전 스토커(201)와, 검사 후 스토커(202)를 따로따로 설치할 필요는 없다. 예를 들어, 1대의 스토커를 상하 2단으로 나누어, 상단측 또는 하단측의 한쪽에 검사 전의 세퍼레이터 권회체(10)를 적재하고, 상단측 또는 하단측의 다른 쪽에 검사 후의 세퍼레이터 권회체(10)를 적재하는 등, 결함 검사 전의 적재부와, 결함 검사 후의 적재부를, 1대의 스토커로 겸용시켜도 된다.
로봇 아암(203)은, 로봇 아암 제어부(32L)로부터의 지시에 의해, 검사 전 스토커(201) 및 검사 후 스토커(202) 사이에서 세퍼레이터 권회체(10)의 수수를 행하는 장치이다. 또한, 본 실시 형태에서는, 로봇 아암(203)은 결함 검사 장치(1L)에서의 결함 검사 중의 세퍼레이터 권회체(10)를 유지하는 유지 기구이기도 하다.
로봇 아암(203)은, 세퍼레이터 권회체(10)를 유지하는 선단부(203a)를 갖는다. 선단부(203a)는 세퍼레이터 권회체(10) 중, 코어(8)를 파지하는 것 등에 의해 세퍼레이터(12)에 접촉하지 않고 세퍼레이터 권회체(10)를 유지하는 것이 가능함과 함께, 유지하는 세퍼레이터 권회체(10)를 소정 각도마다 회전 가능한 구성으로 되어 있다.
로봇 아암(203)은, 검사 전 스토커(201)에 적재된 세퍼레이터 권회체(10)의 제2 측면(A2)측으로부터 코어(8)를 파지하고, 검사 전 스토커(201)로부터 세퍼레이터 권회체(10)를 취출한다. 그리고, 검사 전 스토커(201)로부터 취출된 세퍼레이터 권회체(10)는 제1면(A1)이 선원부(2)와 대향하고, 제2면(A2)이 센서부(3)와 대향하도록, 선원부(2)와 센서부(3) 사이에 배치 및 유지한다. 이때, 로봇 아암(203)은 세퍼레이터 권회체(10) 중 촬영하는 영역에 겹치지 않도록 한다. 그리고, 도 3, 도 4 내지 도 7을 사용하여 설명한 바와 같이 세퍼레이터 권회체(10)의 결함 검사를 행한다.
결함 검사 후, 로봇 아암(203)은 유지하고 있는 세퍼레이터 권회체(10)를 검사 후 스토커(202)에 넘긴다.
검사 후 스토커(202)는, 검사 후의 세퍼레이터 권회체(10)를 로봇 아암(203)으로부터 수취한다. 구체적으로는, 검사 후 스토커(202)는 검사 후의 세퍼레이터 권회체(10)의 제1 측면(A1)측으로부터, 코어(8)의 중심 구멍(8a)(도 2 참조)에 유지 부재(도시하지 않음)를 삽입하여, 검사 후의 세퍼레이터 권회체(10)를 수취한다.
이와 같이 하여, 로봇 아암(203), 검사 전 스토커(201) 및 검사 후 스토커(202)는 세퍼레이터(12)에 직접 접촉하지 않고, 세퍼레이터 권회체(10)의 수수를 행한다.
또한, 로봇 아암(203)은 검사 전 스토커(201) 및 검사 후 스토커(202)와, 세퍼레이터 권회체(10)를 수수함과 함께, 세퍼레이터 권회체(10)의 결함 검사 중에 세퍼레이터 권회체(10)를 유지하는 유지 기구로서의 역할(유지 기구(20)와 같은 역할)도 행한다.
또한, 결함 검사 장치(1L)에 있어서, 벽(47)의 내부에 배치되는, 선원부(2), 센서부(3), 로봇 아암(203), 검사 전 스토커(201) 및 검사 후 스토커(202)를 포함하는 결함 검사 유닛은 1조여도 되고, 2조 이상이어도 된다.
〔실시 형태 2〕
본 발명의 실시 형태 2에 대해서, 주로, 도 6 및 도 7에 기초하여 설명하면, 이하와 같다. 또한, 설명의 편의상, 실시 형태 1에서 설명한 부재와 동일한 기능을 갖는 부재에 대해서는, 동일 부호를 부기하고, 그 설명을 생략한다.
도 7은, 본 발명의 실시 형태 2에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다.
도 7에 나타내는 세퍼레이터 권회체(10A)와 같이, 세퍼레이터 권회체(10)(도 6 참조)보다도 원환 형상의 세퍼레이터(12)의 두께가 두껍고, 주목 영역(3b) 내에 권회된 세퍼레이터(12)의 두께 방향(반경 방향) 모두가 들어가지 않을 경우, 두께 방향(반경 방향)으로 복수회로 나누어서 촬영한다.
이 경우, 먼저, 도 6을 사용하여 설명한 바와 같이, 내주측의 제1 영역(R1) 내지 제18 영역(R18)을 취득한다. 각 제1 영역(R1) 내지 제18 영역(R18)(영역 R)은 코어(8)의 외주면(S2)을 포함하고, 인접하는 영역(R)끼리를 겹쳤을 때에, 세퍼레이터 권회체(10)의 제1 측면(A1)에 미촬영 영역이 존재하지 않고, 또한 촬영 매수가 최소가 되는 각도 이하가 되도록, 소정 각도만, 서로의 각도가 상이하다.
이어서, 유지 기구 제어부(32)는 세퍼레이터 권회체(10)를 유지하고 있는 유지 기구(20)를 마이너스 Z 방향(도 3에 도시하는 지면 하방)으로 소정 거리를 내린다. 유지 기구 제어부(32)가 유지 기구(20)를 내리는 소정 거리란, 주목 영역(3b)에 세퍼레이터(12)의 외주면(S1)이 포함되고, 또한 주목 영역(3b)이 제1 영역(R1) 내지 제18 영역(R18) 중 어느 것과 겹치는 정도의 거리이다.
그리고, 세퍼레이터 권회체(10)의 촬영과, 촬영 화상에 있어서의 주목 영역(3b)의 추출과, 세퍼레이터 권회체(10)의 θ 방향으로의 소정 각도의 회전이라는 흐름을 19회 반복함으로써, 내주측의 제1 영역(R1) 내지 제18 영역(R18)을 얻은 방법과 마찬가지로, 외주측의 제1 영역(R21) 내지 제19 영역(R39)을 얻는다.
각 제1 영역(R21) 내지 제19 영역(R39)(영역 R)은, 세퍼레이터(12)의 외주면(S1)을 포함하고, 인접하는 영역 R끼리를 겹쳤을 때에, 세퍼레이터 권회체(10)의 제1 측면(A1)에 미촬영 영역이 존재하지 않고, 또한 촬영 매수가 최소가 되는 각도 이하가 되도록, 소정 각도만 서로의 각도가 상이하다.
또한, 외주측에 있어서도 반복 횟수는 19회로 한정되지 않고, 임의로 변경하면 된다.
〔실시 형태 3〕
본 발명의 실시 형태 3에 대해서, 주로, 도 8 및 도 9에 기초하여 설명하면, 이하와 같다. 또한, 설명의 편의상, 실시 형태 1, 2에서 설명한 부재와 동일한 기능을 갖는 부재에 대해서는, 동일 부호를 부기하고, 그 설명을 생략한다.
도 8은, 본 발명의 실시 형태 3에 관한 결함 검사 장치(1C)의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
결함 검사 장치(1C)는, 결함 검사 장치(1)(도 3 참조)가 구비하고 있었던 센서부(3), 유지 기구(20) 및 제어부(30) 대신에, 센서부(3C), 유지 기구(20) 및 제어부(30C)를 구비하고 있다.
센서부(3C)는, 센서부(3)보다도 사이즈가 커, 세퍼레이터 권회체(10) 전체의 상이 들어갈 정도의 검출면(3Ca)을 갖고 있다. 센서부(3C)는, 센서부(3)를 복수개 배열하여 구성해도 된다.
유지 기구(20C)는, 유지 기구(20)로부터, θ 방향으로 회전하는 모터(22)를 생략한 구성이다. 유지 기구(20C)는, 유지하는 세퍼레이터 권회체(10)를 θ 방향으로 회전시키지 않는다. 이것은, 센서부(3C)의 검출면(3Ca)이, 세퍼레이터 권회체(10) 전체의 상이 들어갈 정도로 커서, 세퍼레이터 권회체(10)에 있어서의 세퍼레이터(12)의 전체 형상을 얻기 위해서, 세퍼레이터 권회체(10)를 회전 등, 이동시킬 필요가 없기 때문이다.
유지 기구(20C)는, 유지 기구 제어부(32)로부터의 지시에 의해, X축 방향 및 Z축 방향으로 이동할 수 있다. 유지 기구(20C)는, 추가로 X축 방향 및 Z축 방향에 수직인 Y축 방향으로 이동 가능하여도 된다.
선원부(2)는, 조사면(2a)의 중심선(CE)이, 유지 기구(20C)의 중심축과 일치하도록 배치되어 있다. 이에 의해, 선원부(2)가 조사한 전자파(4)는, 세퍼레이터 권회체(10)에 균등하게 조사되고, 세퍼레이터 권회체(10)를 투과한 전자파(4)는 센서부(3C)의 검출면(3Ca)에서 검출된다.
센서 제어부(33C)는, 센서부(3C)가 전자파(4)를 검출함으로써 얻어진 전기 신호에 기초하여, 세퍼레이터 권회체(10)의 전체 촬영 화상을 생성한다.
도 9는, 본 발명의 실시 형태(3)에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다.
도 9에 도시한 바와 같이, 센서 제어부(33C)는, 촬영 화상으로부터, 세퍼레이터 권회체(10) 주위의 불필요한 부분을 제외한 결함 검사 화상(3bC)을 얻는다.
결함 검사 화상(3bC)의 상하 방향의 거리는, 도 8에 도시한 바와 같이, 전자파(4) 중, 중심선(CE)을 중심으로 하여, 세퍼레이터 권회체(10)의 제1 측면(A1)에 있어서의 외주면(S1)이 포함될 정도의 방사 각도(B1C)로 방사상으로 조사된 전자파(4a)가 세퍼레이터 권회체(10)를 투과하여 센서부(3C)의 검출면(3Ca)에 있어서의 일부 영역인 검출면(3Cb)에 입사했을 때의, 검출면(3Cb)의 상하 방향의 거리이다.
〔실시 형태 4〕
본 발명의 실시 형태 4에 대해서, 주로, 도 10 내지 도 13에 기초하여 설명하면, 이하와 같다. 또한, 설명의 편의상, 실시 형태 1 내지 3에서 설명한 부재와 동일한 기능을 갖는 부재에 대해서는, 동일 부호를 부기하고, 그 설명을 생략한다.
도 10은, 본 발명의 실시 형태 4에 관한 결함 검사 장치(1D)의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
결함 검사 장치(1D)는, 결함 검사 장치(1)(도 3 참조)의 유지 기구(20) 및 제어부(30) 대신에, 유지 기구(20D) 및 제어부(30D)를 구비하고 있는 점에서 상이하다. 제어부(30D)는, 제어부(30)의 유지 기구 제어부(32) 대신에, 유지 기구 제어부(32D)를 구비하고 있는 점에서 상이하다. 결함 검사 장치(1D)의 다른 구성은 결함 검사 장치(1)와 마찬가지이다.
유지 기구(20D)는, 유지 기구(20)로부터, θ 방향으로 회전하는 모터(22)를 생략한 구성이다. 유지 기구(20D)는, 유지하는 세퍼레이터 권회체(10)를 θ 방향으로 회전시키지 않는다. 유지 기구(20D)는, 유지 기구 제어부(32D)로부터의 지시에 의해, X축 방향과, Z축 방향과, X축 방향 및 Z축 방향에 수직인 Y축 방향으로 이동 가능하다. 본 실시 형태에서는, 유지 기구(20D)는, 세퍼레이터 권회체(10)를 θ 방향으로 회전시키지 않고, ZY 방향으로 이동시킴으로써, 세퍼레이터 권회체(10)를 선원부(2)에 대하여 상대적으로 이동시킨다.
도 11은, 유지 기구(20D)에 유지되어 있는 세퍼레이터 권회체(10)가 촬영된 촬영 화상을 도시하는 도면이다. 또한, 도 11에서는, 세퍼레이터 권회체(10)의 전체가 촬영된 모습을 나타내고 있지만, 세퍼레이터 권회체(10) 중, 주목 영역(3b)만, 또는, 주목 영역(3b)을 포함하는 세퍼레이터 권회체(10)의 일부만이 촬영되어 있어도 된다.
센서 제어부(33)는 주목 영역(3b)으로서, 코어(8)의 외주면(S2)의 일부와, 세퍼레이터(12)의 외주면(S1)의 일부를 포함하는 사각형의 영역을 설정한다. 즉, 주목 영역(3b)에는, 코어(8)의 일부와, 권회되어 있는 세퍼레이터(12)의 두께 방향(지면 상하 방향)의 모두가 포함되어 있다.
센서 제어부(33)가 주목 영역(3b)을 설정하면, 결함 검사 장치(1)는 세팅된 세퍼레이터 권회체(10)를 촬영한다.
이어서, 센서 제어부(33)는 생성한 촬영 화상으로부터, 주목 영역(3b)에 해당하는 제1 영역(R41)을 추출한다.
도 11에서는, 제1 영역(R41)에, 검출해야 할 결함으로서 이물(5)이 포함되어 있다.
도 12는, 도 11에 도시하는 세퍼레이터 권회체(10)를 YZ 축 방향으로 소정 거리만큼 이동시킨 모습을 도시하는 도면이다.
센서 제어부(33)가 촬영 화상으로부터, 주목 영역(3b)에 해당하는 제1 영역(R41)을 추출한 후, 유지 기구 제어부(32D)는, 도 12에 도시한 바와 같이, 유지 기구(20)를 YZ 축 방향으로 소정 거리 이동시킨다. 이에 의해, 유지 기구(20D) 및 세퍼레이터 권회체(10)는 YZ 축 방향으로 소정 거리만큼 이동하고 정지한다.
유지 기구 제어부(32D)가, 유지 기구(20D) 및 세퍼레이터 권회체(10)를 YZ 축 방향으로 이동시키는 소정 거리란, 유지 기구(20) 및 세퍼레이터 권회체(10)를 θ 방향으로 회전시키지 않고, 원환 형상의 세퍼레이터(12)에 따라 YZ 축 방향으로 이동시켜서 촬영했을 때에 얻어지는 복수의 영역 R을 겹쳤을 때에, 세퍼레이터 권회체(10)의 제1 측면(A1)에 미촬영 영역이 존재하지 않고, 또한 촬영 매수가 최소가 되는 거리 이하의 거리이다. 본 실시 형태에서는, 각 영역 R에는, 외주면(S1·S2)이 포함되어 있다. 이에 의해, 효율적으로, 세퍼레이터 권회체(10)의 전체를 촬영할 수 있다.
그리고, 유지 기구 제어부(32D)가, 유지 기구(20D) 및 세퍼레이터 권회체(10)를 YZ 축 방향으로 소정 거리 이동시키고 정지시키면, 결함 검사 장치(1D)는, 이동 후의 세퍼레이터 권회체(10)를 촬영한다.
이어서, 센서 제어부(33)는 생성한 촬영 화상으로부터, 주목 영역(3b)에 해당하는 제2 영역(R42)을 추출한다.
제2 영역(R42)과, 이동 후의 제1 영역(R41)은 간극 없이 겹쳐, 서로 평행 이동되고 있다.
이와 같이, 촬영과, 세퍼레이터 권회체(10)의 YZ 축 방향으로의 소정 거리의 이동과, 주목 영역(3b)에 해당하는 이동 후의 영역 추출을 반복해 간다.
도 13은, 본 발명의 실시 형태 4에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다.
도 13에 도시한 바와 같이, 원환 형상의 세퍼레이터(12)의 일주에 걸쳐, 주목 영역(3b)에 해당하는 영역을 추출하여 조합한 제1 영역(R41) 내지 제27 영역(R68)을 포함하는 결함 검사 화상이 생성되어 있다. 원환 형상의 세퍼레이터(12)는 제1 영역(R41) 내지 제27 영역(R68) 내에 포함되어 있다.
이와 같이, 유지 기구(20D)가 YZ 축 방향으로 소정 거리씩 이동함으로써, 세퍼레이터 권회체(10)는, 코어(8)에 권회된 세퍼레이터(12) 전체의 상이 얻어지도록, 선원부(2)에 대하여 상대적으로 이동한다. 이에 의해, 세퍼레이터(12)의 전체 결함 검사를 행할 수 있다.
또한, 유지 기구(20D)는 움직이지 않고, 선원부(2)가 YZ 축 방향으로 소정 거리씩 이동함으로써, 세퍼레이터 권회체(10)가 선원부(2)에 대하여 상대적으로 이동하도록 해도 된다.
유지 기구(20) 및 세퍼레이터 권회체(10)를 θ 방향으로 회전시키지 않고, 원환 형상의 세퍼레이터(12)에 따라 YZ 축 방향으로 이동시켜서 촬영하여 얻어진 각 제1 영역(R41) 내지 제27 영역(R68)(각 영역 R)은 인접하는 영역 R끼리를 겹쳤을 때에, 세퍼레이터 권회체(10)의 제1 측면(A1)에 미촬영 영역이 존재하지 않고, 또한 촬영 매수가 최소가 되는 거리 이하가 되도록, 소정 거리만 서로의 위치가 상이하다.
이와 같이 하여, 원환 형상의 세퍼레이터(12)의 전체 분을 추출한 화상을 조합한 결함 검사 화상을 생성할 수 있다.
본 실시 형태에서는 촬영과, 촬영 화상에 있어서의 주목 영역(3b)의 추출과, 세퍼레이터 권회체(10)의 YZ 축 방향으로의 소정 거리의 이동이라는 흐름을 27회 반복함으로써, 원환 형상의 세퍼레이터(12)의 전체를 나타내는 결함 검사 화상을 생성하고 있지만, 이 반복 횟수는 임의로 변경하면 된다.
이 후, 결함 검사 장치(1)는 결함 검사 화상을, 도시하지 않은 디스플레이에 표시하도록 해도 된다. 또한, 결함 검사 장치(1)는 이 결함 검사 화상을 화상 처리하는 것 등에 의해, 검출해야 할 결함의 유무를 판정하고, 판정 결과를 작업자에게 통지하도록 해도 된다.
〔실시 형태 5〕
본 발명의 실시 형태 5에 대해서, 주로, 도 16에 기초하여 설명하면, 이하와 같다. 또한, 설명의 편의상, 실시 형태 1 내지 4에서 설명한 부재와 동일한 기능을 갖는 부재에 대해서는, 동일 부호를 부기하고, 그 설명을 생략한다.
도 16은, 본 발명의 실시 형태 5에 관한 결함 검사 장치(1E)의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 16에 나타내는 결함 검사 장치(1E)는, 결함 검사 장치(1)(도 3 참조)의 구성에, 권회체 검출부(40) 및 권회체 검출 제어부(34)를 구비하고 있다.
결함 검사 장치(1E)가 구비하는 제어부(30E)는, 제어부(30)(도 3 참조)의 구성에, 권회체 검출 제어부(34)를 더한 구성이다.
권회체 검출 제어부(34)로부터의 지시에 의해 권회체 검출부(40)는, 세퍼레이터 권회체(10)의 결함 검사 장치(1E) 내에 있어서의 위치를 검출한다. 그리고 권회체 검출부(40)는 검출한 위치를 나타내는 검출 정보를 권회체 검출 제어부(34)에 출력한다. 권회체 검출 제어부(34)는 권회체 검출부(40)로부터 취득한 검출 정보에 기초하여, 세퍼레이터 권회체(10)가 결함 검사 장치(1E) 내의 소정의 위치에 배치된 것인지의 여부를 판정한다. 예를 들어, 도시하지 않은 디스플레이에, 이 권회체 검출 제어부(34)의 검출 결과를 표시해도 되고, 작업자에게 소리 등으로 검출 결과를 알려도 된다.
이에 의해, 공운전을 방지할 수 있다.
또한, 세퍼레이터 권회체(10)가 결함 검사 장치(1E) 내의 어긋난 위치에 배치된 채 결함 검사가 이루어지면, 미검사 영역이 발생할 가능성이 있지만, 결함 검사 장치(1E)에 의하면, 그것을 방지할 수 있다.
또한, 세퍼레이터 권회체(10)가 결함 검사 장치(1E) 내의 어긋난 위치에 배치된 채 결함 검사가 이루어지면, 가동 부분과 간섭되어 장치를 파손할 우려가 있지만, 결함 검사 장치(1E)에 의하면, 그것도 방지할 수 있다.
〔실시 형태 6〕
본 발명의 실시 형태 6에 대해서, 주로, 도 17에 기초하여 설명하면, 이하와 같다. 또한, 설명의 편의상, 실시 형태 1 내지 5에서 설명한 부재와 동일한 기능을 갖는 부재에 대해서는, 동일 부호를 부기하고, 그 설명을 생략한다.
도 17은, 본 발명의 실시 형태 6에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다. 본 실시 형태에 따른 결함 검사 장치는, 실시 형태 1에서 설명한 결함 검사 장치(1)(도 3 참조)와 동일한 구성이다.
결함 검사 장치(1)에 세팅되는 세퍼레이터 권회체는, 도 17에 나타내는 세퍼레이터 권회체(10F)와 같이, 세퍼레이터 권회체(10F)의 반경(10Fa)이 작은 경우, 즉, 코어(8)에 권회되어 있는 세퍼레이터(12F)의 두께(12Fa)가 주목 영역(3b)에 비하여, 상당히 작은 경우가 있다.
이 경우, 결함 검사 장치(1)는 1회째의 촬영에서 주목 영역(3b)에 대응하는 제1 영역(R71)을 추출한 뒤, 이어서, 세퍼레이터 권회체(10F)를 θ 방향으로 회전시킬 때, 유지 기구(20)는 실시 형태 1에서 설명한 각도보다도 큰 각도 θ1까지 회전시킨다.
각도 θ1은, 제1 영역(R71)에 있어서의 세퍼레이터 권회체(10)의 반경 방향에 평행한 양변(R71a·R71b) 중, 회전 방향 후방측의 변(R71b)과, 다음으로 촬영하는 주목 영역(3b)에 대응하는 제2 영역(R72)에 있어서의 세퍼레이터 권회체(10)의 반경 방향에 평행한 양변(R72a·R72b) 중, 회전 방향 전방측의 변(R72a)과, 세퍼레이터 권회체(10)의 외주면(S1)이 겹치는 각도이다.
이에 의해, 촬영 횟수를 저감시킬 수 있다.
또한, 이 세퍼레이터 권회체(10F)에 있어서의 세퍼레이터(12F)의 두께(12Fa), 즉 세퍼레이터 권회체(10F)의 외경은 수동 또는 자동으로 검출하고, 그 크기에 따라서 최적인 회전 각도(각도 θ1)로 변경하면 된다. 이 세퍼레이터 권회체(10F)의 외경을 자동으로 검출하는 경우, 센서 제어부(33)가 센서부(3)로부터의 촬영 화상에 기초하여 계측해도 되고, 별도, 결함 검사 장치(1)에, 세퍼레이터 권회체(10F)의 외형을 계측하는 계측 기구를 설치해도 된다.
〔실시 형태 7〕
본 발명의 실시 형태 7에 대해서, 주로, 도 18에 기초하여 설명하면, 이하와 같다. 또한, 설명의 편의상, 실시 형태 1 내지 6에서 설명한 부재와 동일한 기능을 갖는 부재에 대해서는, 동일 부호를 부기하고, 그 설명을 생략한다.
도 18은, 본 발명의 실시 형태 7에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다. 본 실시 형태에 따른 결함 검사 장치는, 실시 형태 1에서 설명한 결함 검사 장치(1)(도 3 참조)와 동일한 구성이다.
결함 검사 장치(1)에 세팅되는 세퍼레이터 권회체는, 도 18에 나타내는 세퍼레이터 권회체(10G)와 같이, 세퍼레이터 권회체(10G)의 반경(10Ga)이 큰 경우, 즉, 코어(8)에 권회되어 있는 세퍼레이터(12G)의 두께(12Ga)가 주목 영역(3b)에 비하여, 상당히 큰 경우가 있다.
이러한, 주목 영역(3b) 내에 권회된 세퍼레이터(12G)의 두께 방향(반경 방향) 모두가 들어가지 않을 경우, 두께 방향(반경 방향)으로 복수회로 나누어서 촬영한다.
도 18에서는, 세퍼레이터(12G)의 두께(12Ga)는, 주목 영역(3b)을 반경 방향으로 3개 서로 겹칠 정도로 배열했을 때에, 당해 배열한 주목 영역(3b) 내에 수렴되는 두께이다.
이 경우, 실시 형태 1에서 설명한 바와 같이, 먼저, 센서 제어부(33)는 코어(8)의 외주면(S2)을 포함하고, 인접하는 영역 R끼리를 겹쳤을 때에, 세퍼레이터 권회체(10G)의 제1 측면(A1)에 미촬영 영역이 존재하지 않고, 또한 촬영 매수가 최소가 되는 각도 이하가 되도록, 소정 각도만 서로의 각도가 다른 제1주째의 각 영역(Rn1)(각 영역 R)을 취득한다.
이어서, 유지 기구 제어부(32)는, 세퍼레이터 권회체(10G)를 Z 방향으로 어긋나게 하여, 센서 제어부(33)는 세퍼레이터(12G)만을 포함하고, 인접하는 영역 R끼리를 겹쳤을 때에, 세퍼레이터 권회체(10G)의 제1 측면(A1)에 미촬영 영역이 존재하지 않고, 또한 촬영 매수가 최소가 되는 각도 이하가 되도록, 소정 각도만 서로의 각도가 다른 제2주째의 각 영역(Rn2)(각 영역 R)을 취득한다.
그리고, 이어서, 유지 기구 제어부(32)는 세퍼레이터 권회체(10G)를 추가로, Z 방향으로 어긋나게 하여, 센서 제어부(33)는 세퍼레이터(12G)의 외주면(S1)을 포함하고, 인접하는 영역 R끼리를 겹쳤을 때에, 세퍼레이터 권회체(10G)의 제1 측면(A1)에 미촬영 영역이 존재하지 않고, 또한 촬영 매수가 최소가 되는 각도 이하가 되도록, 소정 각도만 서로의 각도가 다른 제3주째의 각 영역(Rn3)(각 영역 R)을 취득한다.
이에 의해, 세퍼레이터(12G)의 전체 영역을 촬영할 수 있다.
〔실시 형태 8〕
본 발명의 실시 형태 8에 대해서, 주로, 도 19 내지 도 21에 기초하여 설명하면, 이하와 같다. 또한, 설명의 편의상, 실시 형태 1 내지 7에서 설명한 부재와 동일한 기능을 갖는 부재에 대해서는, 동일 부호를 부기하고, 그 설명을 생략한다.
도 19는, 본 발명의 실시 형태 8에 관한 결함 검사 장치(1H)의 개략 구성을 도시하는 도면이다.
도 19에 나타내는 결함 검사 장치(1H)는, 결함 검사 장치(1)(도 3 참조)의 구성에 있어서의 센서부(3) 및 제어부(30) 대신에, 센서부(3H1·3H2) 및 제어부(30H)를 구비한 구성이다. 제어부(30H)는, 제어부(30)의 센서 제어부(33) 대신에 센서 제어부(33H)를 구비한 구성이다. 결함 검사 장치(1H)의 다른 구성은 결함 검사 장치(1)와 마찬가지이다.
센서 제어부(33H)는, 2개의 센서부(3H1·3H2)의 구동을 제어하는 점에서, 센서 제어부(33)와 상이하다.
센서부(3H1·3H2)는, 유지 기구(20)에 유지된 세퍼레이터 권회체(10)의 회전 중심에 대하여 원주 형상으로 횡배열로 배치되어 있다.
도 20은, 본 실시 형태에 따른 유지 기구(20)에 유지되어 있는 세퍼레이터 권회체(10)가 촬영된 촬영 화상을 도시하는 도면이다.
도 20에 도시한 바와 같이, 센서 제어부(33H)가, 센서부(3H1)에 있어서의 주목 영역(3b1)을 설정하고, 센서부(3H2)에 있어서의 주목 영역(3b2)을 설정한다. 그리고, 결함 검사 장치(1H)는, 세팅된 세퍼레이터 권회체(10)를 촬영한다. 그리고, 센서 제어부(33H)는, 생성한 촬영 화상으로부터, 주목 영역(3b1)에 해당하는 영역(R101)을 추출하고, 주목 영역(3b2)에 해당하는 영역(R102)을 추출한다.
그리고, 유지 기구(20)는 소정 각도만큼 세퍼레이터 권회체(10)을 θ 방향으로 회전시킨다. 이때, 유지 기구(20)는 영역(R102)이, 주목 영역(3b1)과, 주목 영역(3b2)에 균등하게 겹치는 각도 1θ로 세퍼레이터 권회체(10)를 회전시킨다.
환언하면, 이 각도 1θ란, 주목 영역(3b1)과 주목 영역(3b2) 중, 회전 방향 후방측의 주목 영역(3b2)에 기초하는 영역 R이, 주목 영역(3b1)과 주목 영역(3b2)에 균등하게 겹치도록 세퍼레이터 권회체(10)를 회전시키는 각도이다.
이어서, 각도 1θ로 회전시킨 세퍼레이터 권회체(10)를 촬영한다. 그리고, 센서 제어부(33H)는 생성한 촬영 화상으로부터, 주목 영역(3b1)에 해당하는 영역(R103)을 추출하고, 주목 영역(3b2)에 해당하는 영역(R104)을 추출한다.
도 21은, 도 20의 상태로부터 각도 3θ분 세퍼레이터 권회체(10)를 회전시킨 모습을 도시하는 도면이다.
이어서, 촬영 횟수를 최소로 하기 위해서, 유지 기구(20)는 각도 3θ만큼 세퍼레이터 권회체(10)를 회전시킨다. 각도 3θ는 각도 1θ의 3배의 각도이다. 그리고, 각도 3θ로 회전시킨 세퍼레이터 권회체(10)를 촬영한다. 그리고, 센서 제어부(33H)는, 생성한 촬영 화상으로부터, 주목 영역(3b1)에 해당하는 영역(R105)을 추출하고, 주목 영역(3b2)에 해당하는 영역(R106)을 추출한다. 영역(R105)은, 인접하는 영역(R104)과 겹쳐 있다.
이와 같이, 세퍼레이터 권회체(10)를 각도 1θ, 3θ, 1θ, 3θ로 순서대로 회전해 가며, 세퍼레이터 권회체(10)에 있어서의 1주분의 세퍼레이터(12)의 전체를 촬영할 수 있다.
결함 검사 장치(1H)에 의하면, 효율적으로, 세퍼레이터(12)의 전체 촬영을 행할 수 있고, 이 결과, 효율적으로 결함 검사를 행할 수 있다.
또한, 결함 검사 장치(1H)가 구비하는 센서부의 개수는 2개로 한정되지 않고, 3개 이상의 센서부가, 유지 기구(20)에 유지된 세퍼레이터 권회체(10)의 회전 중심에 대하여 원주 형상으로 횡배열로 배치되어 있어도 된다. 이에 의해, 더욱 효율적으로 결함 검사를 행할 수 있다.
〔실시 형태 9〕
본 발명의 실시 형태 9에 대해서, 주로, 도 22 내지 도 24에 기초하여 설명하면, 이하와 같다. 또한, 설명의 편의상, 실시 형태 1 내지 8에서 설명한 부재와 동일한 기능을 갖는 부재에 대해서는, 동일 부호를 부기하고, 그 설명을 생략한다.
도 22는, 본 발명의 실시 형태 9에 관한 결함 검사 장치(1J)의 구성을 도시하는 도면이다. 도 22에 도시한 바와 같이, 결함 검사 장치(1J)는, 결함 검사 장치(1C)(도 8 참조)가 구비하고 있었던 센서부(3C) 및 제어부(30C) 대신에, 센서부(3J1·3J2) 및 제어부(30J)를 구비한 구성이다. 제어부(30J)는, 제어부(30C)의 센서 제어부(33C) 대신에 센서 제어부(33J)를 구비하고 있는 점에서 상이하다. 결함 검사 장치(1J)의 다른 구성은 결함 검사 장치(1C)와 마찬가지이다. 센서 제어부(33J)는 2개의 센서부(3J1·3J2)의 구동을 제어한다.
센서부(3J1·3J2)는, 유지 기구(20)에 유지된 세퍼레이터 권회체(10)의 회전 중심을 대상으로 상하로 배치되어 있다.
도 24는, 본 발명의 실시 형태 9에 관한 세퍼레이터 권회체의 결함 검사 화상의 모습을 도시하는 도면이다.
도 24에 도시한 바와 같이, 센서 제어부(33J)가, 센서부(3J1)에 있어서의 주목 영역(3b1)을 설정하고, 센서부(3H2)에 있어서의 주목 영역(3b2)을 설정한다. 그리고, 결함 검사 장치(1J)는, 세팅된 세퍼레이터 권회체(10)를 촬영한다. 그리고, 센서 제어부(33J)는, 생성한 촬영 화상으로부터, 주목 영역(3b1)에 해당하는 영역(R101)(영역 R)을 추출하고, 주목 영역(3b2)에 해당하는 영역(R102)(영역 R)을 추출한다. 이것에 의하면, 1회의 촬영으로 2개의 영역 R을 얻을 수 있기 때문에, 세퍼레이터 권회체(10)를 1주가 아니라, 반주시킴으로써, 세퍼레이터(12)의 전체를 촬영할 수 있다. 이로 인해, 효율적으로 결함 검사를 행할 수 있다.
도 23은, 본 발명의 실시 형태 9의 변형예에 관한 결함 검사 장치(1K)의 구성을 도시하는 도면이다. 결함 검사 장치(1K)는, 결함 검사 장치(1J)에 있어서 선원부를 2개 배치한 구성이다.
결함 검사 장치(1K)는, 결함 검사 장치(1J)에 있어서의 선원부(2), 센서부(3J1·3J2) 및 제어부(30J) 대신에, 선원부(2K1·2K2), 센서부(3K1·3K2) 및 제어부(30K)를 구비하고 있다.
선원부(2K1·2K2)에 있어서의 조사면(2K1a·2K2a), 조사면(2K1a·2K2a)의 중심(2K1b·2K2b), 초점(2K1c·2K2c), 초점(2K1c·2K2c)의 중심(2K1d·2K2d)은, 각각, 선원부(2)에 있어서의 조사면(2a), 조사면(2a)의 중심(2b), 초점(2c), 초점(2c)의 중심(2d)에 대응한다. 센서부(3K1·3K2)는, 센서부(3J1·3J2)에 대응한다. 센서 제어부(33K)는 센서부(3K1·3K2)를 구동 제어한다.
결함 검사 장치(1K)는, 센서부(3K1·3K2)가 유지 기구(20)에 유지된 세퍼레이터 권회체(10)의 회전 중심을 대상으로 상하로 배치되어 있는 것에 더하여, 선원부(2K1·2K2)도, 유지 기구(20)에 유지된 세퍼레이터 권회체(10)의 회전 중심을 대상으로 상하로 배치되어 있다.
결함 검사 장치(1K)에 의해서도, 결함 검사 장치(1J)와 마찬가지로, 도 24에 도시된 바와 같은 촬영 화상을 얻을 수 있다.
결함 검사 장치(1J)(도 22 참조)는, 1개의 선원부(2)에서 결함 검사가 가능하다. 그러나, 내측은 코어(8)를 통과한 전자파(4)로 결함 검사하기 때문에, 촬영 화상의 해상도가 낮아지는 경향이 있다.
한편, 결함 검사 장치(1K)(도 23 참조)는, 2개의 선원부(2K1·2K2)에서, 전자파(4)를 코어(8)를 통과시키지 않고, 결함 검사가 가능하다. 그러나, 상하의 선원부(2K1·2K2)가 간섭하지 않도록, 선원부(2K1·2K2) 사이에 납 등의 구획이 필요하다. 이때, 선원부(2K1·2K2)의 조사면에 인접하여, 의도하지 않는 방향으로의 전자파를 차폐하는 차폐판을 설치하면, 장치 내를 좁게 하지 않고 간섭을 방지할 수 있다.
또한, 결함 검사 장치(1K)가 구비하는 센서부의 개수는 2개로 한정되지 않고, 3개 이상의 센서부가, 유지 기구(20)에 유지된 세퍼레이터 권회체(10)의 회전 중심에 대하여 점대칭으로 배치되어 있으면 좋다.
〔정리〕
본 발명의 형태 1에 관한 결함 검사 장치는, 전지에 사용되는 세퍼레이터가 통 형상의 코어에 권회된 세퍼레이터 권회체를 유지하는 유지 기구와, 상기 세퍼레이터 권회체에 대하여 전자파를 조사하는 선원부와, 상기 선원부로부터 상기 세퍼레이터 권회체에 조사된 상기 전자파를 검출하는 센서부를 갖고, 상기 세퍼레이터 권회체는, 상기 선원부에 대하여 상대적으로 이동하고, 상기 센서부는, 상기 세퍼레이터 권회체에 대하여, 상기 상대적으로 이동하기 전후에 상기 전자파를 검출한다.
상기 구성에 의하면, 상기 세퍼레이터 권회체가 상대적으로 이동하기 전후에, 당해 세퍼레이터 권회체에 대하여, 상이한 영역에 상기 전자파가 조사되게 된다. 이에 의해, 상기 세퍼레이터 권회체가 상대적으로 이동하기 전후에 상이한 영역의 촬영 화상을 얻을 수 있다. 이로 인해, 상기 센서부의 상기 전자파를 검출하는 검출면이 작아도, 상기 세퍼레이터 권회체에 있어서의 넓은 면적의 촬영 화상을 얻을 수 있다. 이로 인해, 상기 세퍼레이터 권회체에 있어서의 넓은 범위의 결함 검사를 할 수 있기 때문에, 정확하게 결함 검사를 행할 수 있다.
또한, 상기 센서부는, 상기 세퍼레이터 권회체에 대하여, 상기 상대적으로 이동하기 전후에 상기 전자파를 검출한다. 이로 인해, 상기 세퍼레이터 권회체가 정지하고 있는 상태에서의 촬영 화상을 얻을 수 있다. 이로 인해, 반송 중의 세퍼레이터 권회체를 촬영하는 경우와는 달리, 노광 시간을 길게 취할 수 있고, 밝고 선명한 촬영 화상을 얻을 수 있다. 이것에 의하면, 보다 정확하게 결함 검사를 행할 수 있다.
이와 같이, 상기 구성에 의하면, 결함 검사에 요하는 시간을 억제하면서, 정확하게 결함 검사를 행할 수 있다.
본 발명의 형태 2에 관한 결함 검사 장치는, 상기 형태 1에 있어서, 상기 세퍼레이터 권회체는, 상기 코어에 권회된 상기 세퍼레이터의 상기 선원부에 가까운 측의 면의 상이 얻어지도록, 상기 선원부에 대하여 상대적으로 이동하는 것이 바람직하다. 상기 구성에 의하면, 상기 세퍼레이터 권회체 중 세퍼레이터 전체의 결함 검사를 행할 수 있다.
본 발명의 형태 3에 관한 결함 검사 장치는, 상기 형태 1 또는 2에 있어서, 상기 세퍼레이터 권회체는, 상기 선원부에 대하여 상대적으로, 당해 세퍼레이터 권회체의 중심을 회전 중심으로 하는 회전 운동을 하는 것이 바람직하다. 상기 구성에 의해, 효율적으로, 상기 세퍼레이터 권회체의 넓은 영역의 촬영 화상을 얻을 수 있다.
본 발명의 형태 4에 관한 결함 검사 장치는, 상기 형태 1 내지 3에 있어서, 상기 선원부의 조사면으로부터, 상기 세퍼레이터 권회체의 양 측면 중 상기 센서부측의 제2 측면까지의 거리를 D1로 하고, 상기 선원부의 조사면으로부터 상기 센서부의 검출면까지의 거리를 D2로 하면, D2/D1은 1보다 크고 40 이하인 것이 바람직하다.
상기 구성에 의하면, 세퍼레이터 권회체의 결함 검사에 요하는 시간을 단축하면서, 보다 고정밀도로 결함 검사를 행할 수 있다.
본 발명의 형태 5에 관한 결함 검사 장치는, 상기 형태 1 내지 4에 있어서, 상기 센서부가 검출한 전자파에 기초하는 촬영 화상을 생성하는 촬영 화상 생성부를 갖고, 상기 촬영 화상 생성부는, 상기 세퍼레이터 권회체가 상대적으로 이동하기 전에 생성한 촬영 화상과, 상기 세퍼레이터 권회체가 상대적으로 이동한 후에 생성한 촬영 화상을 일부가 겹치도록 합성하는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의하면, 누락 없이, 상기 세퍼레이터 권회체의 넓은 면적의 촬영 화상을 얻을 수 있다.
본 발명의 형태 6에 관한 결함 검사 장치는, 상기 형태 4에 있어서, 상기 촬영 화상의 적어도 일부에는, 상기 코어의 일부, 또는 상기 세퍼레이터의 외주면의 일부가 포함되어 있는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의해, 누락 없이, 상기 세퍼레이터 권회체의 넓은 면적의 촬영 화상을 얻을 수 있다.
본 발명의 형태 7에 관한 결함 검사 장치는, 상기 형태 1 내지 6에 있어서, 상기 전자파는 X선인 것이 바람직하다. 상기 구성에 의해, 비교적 용이하게, 상기 코어에 권회된 세퍼레이터의 내부 결함 유무를 확인할 수 있다.
본 발명의 형태 8에 관한 결함 검사 장치는, 상기 형태 5 또는 6에 있어서, 상기 촬영 화상에 기초하여 검출해야 하는 결함은 금속 이물인 것이 바람직하다. 상기 구성에 의해, 금속 이물의 유무를 검사할 수 있다.
본 발명의 형태 9에 관한 결함 검사 방법은, 전지에 사용되는 세퍼레이터가 통 형상의 코어에 권회된 세퍼레이터 권회체에 대하여 선원부로부터 전자파를 조사하는 조사 스텝과, 상기 세퍼레이터 권회체에 조사된 상기 전자파를 검출하는 검출 스텝을 포함하고, 상기 검출 스텝에서는, 상기 선원부에 대하여 상대적으로 이동되는 상기 세퍼레이터 권회체의 이동 전후에 상기 전자파를 조사한다. 상기 구성에 의하면, 결함 검사에 요하는 시간을 억제하면서, 정확하게 결함 검사를 행할 수 있다.
본 발명의 형태 10에 관한 세퍼레이터 권회체의 제조 방법은, 상기 형태 9의 결함 검사 방법에 의해 세퍼레이터 권회체의, 코어에 권회된 세퍼레이터 내의 결함을 검사하는 결함 검사 공정을 포함하는 것이 바람직하다. 상기 구성에 의해, 세퍼레이터 권회체의, 코어에 권회된 세퍼레이터 내에, 이물의 혼입 등, 결함이 적은 세퍼레이터 권회체를 제조할 수 있다.
본 발명의 형태 11에 관한 세퍼레이터 권회체의 제조 방법은, 상기 형태 10에 있어서, 상기 세퍼레이터보다도 폭이 넓은 원단으로부터 상기 세퍼레이터를 슬릿하는 슬릿 공정과, 상기 슬릿 공정에서 슬릿된 상기 세퍼레이터를, 상기 코어에 권회함으로써 상기 세퍼레이터 권회체를 제조하는 세퍼레이터 권회 공정과, 상기 세퍼레이터 권회 공정에서 제조된 상기 세퍼레이터 권회체를 포장하는 포장 공정을 갖고, 상기 결함 검사 공정은, 상기 슬릿 공정 후, 상기 포장 공정 전에 마련되어 있는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의하면, 이물이 발생하기 쉬운 슬릿 공정에서 발생한 이물을, 상기 결함 검사 공정에 의해 효율적으로 검사할 수 있다. 또한, 세퍼레이터 권회체를 포장한 후속 공정에서, 상기 세퍼레이터에 부착된 이물을 검사하는 수고를 줄일 수 있다.
본 발명의 형태 12에 관한 세퍼레이터 권회체의 제조 방법은, 상기 형태 10 또는 11에 있어서, 상기 결함 검사 공정에서는, 100㎛ 이상의 이물 유무를 검사하는 것이 바람직하다.
상기 구성에 의해, 100㎛ 이상의 이물이 적거나, 100㎛ 이상의 이물이 포함되지 않은 세퍼레이터 권회체를 제조할 수 있다.
본 발명의 형태 13에 관한 세퍼레이터 권회체는, 상기 형태 9 내지 12의 세퍼레이터 권회체의 제조 방법에 의해 제조되어도 된다. 이에 의해, 이물의 혼입 등, 결함이 적은 세퍼레이터 권회체를 얻을 수 있다.
본 발명의 형태 14에 관한 세퍼레이터 권회체는, 전지에 사용되는 세퍼레이터가 통 형상의 코어에 권회된 세퍼레이터 권회체이며, 당해 코어에 권회된 세퍼레이터 내에, 100㎛ 이상의 이물이 포함되어 있지 않은 것을 특징으로 한다. 이에 의해, 세퍼레이터에 부착된 이물에 의해 불량이 발생할 가능성이 낮은 세퍼레이터 권회체를 얻을 수 있다.
본 발명은 상술한 각 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 청구항에 나타낸 범위에서 다양한 변경이 가능하고, 다른 실시 형태에 각각 개시된 기술적 수단을 적절히 조합하여 얻어지는 실시 형태에 대해서도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.
1·1C·1D·1E·1H·1J 내지 1L: 결함 검사 장치
2: 선원부
2a: 조사면
2b: 중심
3·3C·3H1·3H2·3J1·3J2·3K1·3K2: 센서부
3b·3b1·3b2: 주목 영역
3bC: 결함 검사 화상
4·4a: 전자파
5: 이물
6: 슬릿 장치
8: 코어
8a: 중심 구멍
10·10A·10F·10G: 세퍼레이터 권회체
12·12F·12G: 세퍼레이터
20·20C·20D: 유지 기구
30, 30C 내지 30E, 30H, 30J 내지 30L: 제어부
31: 선원 제어부
32·32D: 유지 기구 제어부
33·33C·33H·33J: 센서 제어부
203: 로봇 아암(유지 기구)

Claims (12)

  1. 전지에 사용되는 세퍼레이터가 통 형상의 코어에 권회된 세퍼레이터 권회체를 유지하는 유지 기구와,
    상기 세퍼레이터 권회체에 대하여 전자파를 조사하는 선원부와,
    상기 선원부로부터 상기 세퍼레이터 권회체에 조사된 상기 전자파를 검출하는 센서부를 갖고,
    상기 세퍼레이터 권회체는, 상기 선원부에 대하여 상대적으로 이동하고,
    상기 센서부는, 상기 세퍼레이터 권회체에 대하여, 상기 상대적으로 이동하기 전후에 상기 전자파를 검출하는, 결함 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 세퍼레이터 권회체는, 상기 코어에 권회된 상기 세퍼레이터의 상기 선원부에 가까운 측의 면의 상이 얻어지도록, 상기 선원부에 대하여 상대적으로 이동하는, 결함 검사 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 세퍼레이터 권회체는, 상기 선원부에 대하여 상대적으로, 당해 세퍼레이터 권회체의 중심을 회전 중심으로 하는 회전 운동을 하는, 결함 검사 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 선원부의 조사면으로부터, 상기 세퍼레이터 권회체의 양 측면 중 상기 센서부측의 제2 측면까지의 거리를 D1로 하고, 상기 선원부의 조사면으로부터 상기 센서부의 검출면까지의 거리를 D2로 하면, D2/D1은 1보다 크고 40 이하인, 결함 검사 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 센서부가 검출한 전자파에 기초하는 촬영 화상을 생성하는 촬영 화상 생성부를 갖고,
    상기 촬영 화상 생성부는, 상기 세퍼레이터 권회체가 상대적으로 이동하기 전에 생성한 촬영 화상과, 상기 세퍼레이터 권회체가 상대적으로 이동한 후에 생성한 촬영 화상을 일부가 겹치도록 합성하는, 결함 검사 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 촬영 화상의 적어도 일부에는, 상기 코어의 일부, 또는 상기 세퍼레이터의 외주면의 일부가 포함되어 있는, 결함 검사 장치.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 전자파는 X선인, 결함 검사 장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 촬영 화상에 기초하여 검출해야 하는 결함은 금속 이물인, 결함 검사 장치.
  9. 전지에 사용되는 세퍼레이터가 통 형상의 코어에 권회된 세퍼레이터 권회체에 대하여 선원부로부터 전자파를 조사하는 조사 스텝과,
    상기 세퍼레이터 권회체에 조사된 상기 전자파를 검출하는 검출 스텝을 포함하고,
    상기 검출 스텝에서는, 상기 선원부에 대하여 상대적으로 이동되는 상기 세퍼레이터 권회체의 이동 전후에 상기 전자파를 검출하는, 결함 검사 방법.
  10. 제9항에 기재된 결함 검사 방법에 의해 상기 세퍼레이터 권회체의, 코어에 권회된 세퍼레이터 내의 결함을 검사하는 결함 검사 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 세퍼레이터 권회체의 제조 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 세퍼레이터보다도 폭이 넓은 원단으로부터 상기 세퍼레이터를 슬릿하는 슬릿 공정과,
    상기 슬릿 공정에서 슬릿된 상기 세퍼레이터를, 상기 코어에 권회함으로써 상기 세퍼레이터 권회체를 제조하는 세퍼레이터 권회 공정과,
    상기 세퍼레이터 권회 공정에서 제조된 상기 세퍼레이터 권회체를 포장하는 포장 공정을 갖고,
    상기 결함 검사 공정은, 상기 슬릿 공정 후, 상기 포장 공정 전에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 세퍼레이터 권회체의 제조 방법.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 결함 검사 공정에서는, 100㎛ 이상의 이물 유무를 검사하는 것을 특징으로 하는 세퍼레이터 권회체의 제조 방법.
KR1020170159160A 2016-11-30 2017-11-27 결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 세퍼레이터 권회체의 제조 방법 Active KR102413873B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2016-233579 2016-11-30
JP2016233579 2016-11-30
JP2017129781A JP6865646B2 (ja) 2016-11-30 2017-06-30 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及びセパレータ捲回体の製造方法
JPJP-P-2017-129781 2017-06-30

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180062374A KR20180062374A (ko) 2018-06-08
KR102413873B1 true KR102413873B1 (ko) 2022-06-28

Family

ID=62566275

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170159160A Active KR102413873B1 (ko) 2016-11-30 2017-11-27 결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 세퍼레이터 권회체의 제조 방법

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11322795B2 (ko)
JP (1) JP6865646B2 (ko)
KR (1) KR102413873B1 (ko)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11639904B2 (en) * 2017-04-26 2023-05-02 Nikon Corporation Inspection device, inspection method, and method for producing object to be inspected
EP3767284A4 (en) * 2018-03-15 2021-12-01 Toray Industries, Inc. FOREIGN BODY INSPECTION METHOD, INSPECTION DEVICE, ROLL OF FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING A ROLL OF FILM
US20210181125A1 (en) * 2018-06-27 2021-06-17 Toray Industries, Inc. Radiation transmission inspection method and device, and method of manufacturing microporous film
JP2020068178A (ja) * 2018-10-26 2020-04-30 旭化成株式会社 微細パタンを有するセパレータ、巻回体および非水電解質電池
KR102709673B1 (ko) 2020-07-14 2024-09-26 주식회사 엘지에너지솔루션 테이프 부착 장치
US20220276185A1 (en) * 2021-02-26 2022-09-01 Honeywell Limited BOEHMITE DETECTION AND WARNING SYSTEM, AND CONCENTRATION INDICATOR FOR LiB SEPARATOR SHEET MANUFACTURING
CN113669184B (zh) * 2021-08-24 2022-08-26 青岛大黄蜂新能源科技有限公司 基于锂离子电池的启动方法及组装工艺
CN118249039B (zh) * 2024-05-20 2024-08-06 湖南博盛新能源技术有限公司 一种锂电池隔膜切割卷绕设备

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5673621B2 (ja) 2012-07-18 2015-02-18 オムロン株式会社 欠陥検査方法及び欠陥検査装置

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5336573A (en) * 1993-07-20 1994-08-09 W. R. Grace & Co.-Conn. Battery separator
US6977375B2 (en) 2000-02-19 2005-12-20 Multibeam Systems, Inc. Multi-beam multi-column electron beam inspection system
EP1271605A4 (en) 2000-11-02 2009-09-02 Ebara Corp ELECTRON BEAM APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE COMPRISING SAID APPARATUS
KR100745586B1 (ko) * 2001-05-07 2007-08-02 삼성전자주식회사 전지 검사장치
JP2004200012A (ja) 2002-12-19 2004-07-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電解液漏洩検査方法、検査装置、および電池
US7138629B2 (en) 2003-04-22 2006-11-21 Ebara Corporation Testing apparatus using charged particles and device manufacturing method using the testing apparatus
US7687176B2 (en) 2004-12-10 2010-03-30 3M Innovative Properties Company Fuel cell
JP4895569B2 (ja) 2005-01-26 2012-03-14 株式会社日立ハイテクノロジーズ 帯電制御装置及び帯電制御装置を備えた計測装置
KR101377106B1 (ko) 2005-02-17 2014-03-25 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 전자선장치
JP4869053B2 (ja) * 2006-01-11 2012-02-01 日東電工株式会社 積層フィルムの製造方法、積層フィルムの欠陥検出方法、積層フィルムの欠陥検出装置、積層フィルム、及び画像表示装置
US20090050802A1 (en) 2006-01-25 2009-02-26 Ebara Corporation Method and apparatus for inspecting sample surface
CN100590428C (zh) 2006-12-28 2010-02-17 华南理工大学 基于图像理解的轮毂铸造缺陷自动检测方法及装置
US7662510B2 (en) * 2007-09-20 2010-02-16 Celgard Llc X-ray sensitive battery separator and a method for detecting the position of a separator in a battery
US7550737B1 (en) * 2008-05-16 2009-06-23 The Gillette Company Battery
JP5438368B2 (ja) 2009-04-28 2014-03-12 Ｃｋｄ株式会社 積層電池の製造過程に用いられる検査装置
JP2010287442A (ja) * 2009-06-11 2010-12-24 Toyota Motor Corp 電池の検査方法及び電池の検査装置
JP2011249095A (ja) * 2010-05-26 2011-12-08 Toyota Motor Corp 積層電極体型電池とその製造方法および異物検査方法
WO2013063278A1 (en) 2011-10-25 2013-05-02 Purdue Research Foundation Thermography for battery component quality assurance
DE102013108308A1 (de) 2013-08-01 2015-02-19 Schott Ag Verfahren und Vorrichtung zur Detektion in Bandrollen aus sprödhartem oder sprödbrechendem, zumindest teiltransparentem Material, sowie deren Verwendung
CN104135613A (zh) 2014-07-15 2014-11-05 密良燕 一种影像的拍摄方法及系统
JP6246684B2 (ja) * 2014-09-08 2017-12-13 Ckd株式会社 検査装置及び捲回装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5673621B2 (ja) 2012-07-18 2015-02-18 オムロン株式会社 欠陥検査方法及び欠陥検査装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP6865646B2 (ja) 2021-04-28
US20200227710A1 (en) 2020-07-16
US11322795B2 (en) 2022-05-03
JP2018092890A (ja) 2018-06-14
KR20180062374A (ko) 2018-06-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102413873B1 (ko) 결함 검사 장치, 결함 검사 방법 및 세퍼레이터 권회체의 제조 방법
KR102489513B1 (ko) 결함 검사 장치, 결함 검사 방법, 세퍼레이터 권회체의 제조 방법 및 세퍼레이터 권회체
US10811652B2 (en) Defect inspection device
CN108693199B (zh) 检查装置、检查方法及膜卷绕体的制造方法
US10732125B2 (en) Defect inspection device, defect inspection method, method for producing separator roll, and separator roll
KR102096925B1 (ko) 전극 탭 정렬 기구 및 이를 구비한 원통형 이차 전지용 엑스레이 검사 장치
WO2017183493A1 (ja) 膜電極接合体の連続非破壊検査方法および連続非破壊検査装置
CN103376268B (zh) 检查装置
JP2016058179A (ja) 検査装置及び捲回装置
CN111684269A (zh) 异物的检查方法、检查装置、薄膜辊以及薄膜辊的制造方法
US20210181125A1 (en) Radiation transmission inspection method and device, and method of manufacturing microporous film
WO2011018840A1 (ja) 異物検出装置及び異物検出方法
JP6933514B2 (ja) 検査装置、検査方法およびフィルム捲回体の製造方法
JP7106323B2 (ja) 異物検査装置および異物検査方法
US20180281203A1 (en) Robot arm and transfer system
KR102484165B1 (ko) 반송 시스템 및 반송 방법
KR20190124157A (ko) 검사 시스템 및 검사 시스템의 구동 방법
JP6940319B2 (ja) 搬送システムおよび搬送方法
JP6932569B2 (ja) ロボットアームおよび搬送システム
JP7647551B2 (ja) フィルム製品リールの放射線透過検査装置およびこれを用いたフィルム製品リールの製造方法、ならびにフィルム製品リールの放射線透過方法
JP7466362B2 (ja) 非破壊検査装置
KR20200036837A (ko) 전극 탭 정렬 기구 및 이를 구비한 원통형 이차 전지용 엑스레이 검사 장치
JP2021179393A (ja) 非破壊検査装置
CN117148461A (zh) X射线检查装置以及x射线检查方法

Legal Events

Date Code Title Description
PA0109 Patent application

Patent event code: PA01091R01D

Comment text: Patent Application

Patent event date: 20171127

PG1501 Laying open of application
A201 Request for examination
PA0201 Request for examination

Patent event code: PA02012R01D

Patent event date: 20201019

Comment text: Request for Examination of Application

Patent event code: PA02011R01I

Patent event date: 20171127

Comment text: Patent Application

E902 Notification of reason for refusal
PE0902 Notice of grounds for rejection

Comment text: Notification of reason for refusal

Patent event date: 20211222

Patent event code: PE09021S01D

E701 Decision to grant or registration of patent right
PE0701 Decision of registration

Patent event code: PE07011S01D

Comment text: Decision to Grant Registration

Patent event date: 20220516

GRNT Written decision to grant
PR0701 Registration of establishment

Comment text: Registration of Establishment

Patent event date: 20220623

Patent event code: PR07011E01D

PR1002 Payment of registration fee

Payment date: 20220624

End annual number: 3

Start annual number: 1

PG1601 Publication of registration