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KR102410789B1 - Semiconductor package - Google Patents

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KR102410789B1
KR102410789B1 KR1020170116970A KR20170116970A KR102410789B1 KR 102410789 B1 KR102410789 B1 KR 102410789B1 KR 1020170116970 A KR1020170116970 A KR 1020170116970A KR 20170116970 A KR20170116970 A KR 20170116970A KR 102410789 B1 KR102410789 B1 KR 102410789B1
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semiconductor device
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recess
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송준오
김원중
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쑤저우 레킨 세미컨덕터 컴퍼니 리미티드
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Abstract

본 발명에 따른 반도체소자패키지는 평평한 하면, 상기 하면과 평행한 상면 및 상기 상면과 하면을 관통하는 제1개구부 및 제2개구부를 포함하는 몸체;
상기 몸체 상에 배치되는 반도체소자; 상기 몸체 및 반도체소자 사이에 배치되는 접착제; 및 상기 반도체소자를 감싸며 배치되는 몰딩부재; 를 포함하고,
상기 반도체소자는 상기 제1 및 제2개구부 상에 각각 배치되는 제1 및 제2본딩부를 포함하고, 상기 몰딩부재의 외측면은 상기 몸체의 외측면과 동일 평면 상에 배치될 수 있다.
본 발명을 통해 반도체소자패키지의 신뢰성과 광변환효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명을 통해 반도체소자패키지의 공정 수율을 개선할 수 있다.
A semiconductor device package according to the present invention includes a body including a flat lower surface, an upper surface parallel to the lower surface, and first and second openings penetrating the upper and lower surfaces;
a semiconductor device disposed on the body; an adhesive disposed between the body and the semiconductor device; and a molding member disposed to surround the semiconductor device. including,
The semiconductor device may include first and second bonding portions respectively disposed on the first and second openings, and an outer surface of the molding member may be disposed on the same plane as an outer surface of the body.
Through the present invention, it is possible to improve the reliability and light conversion efficiency of the semiconductor device package.
In addition, the process yield of the semiconductor device package can be improved through the present invention.

Figure 112017088817352-pat00002
Figure 112017088817352-pat00002

Description

반도체소자패키지 {Semiconductor package} Semiconductor package {Semiconductor package}

본 발명은 반도체소자패키지 및 반도체소자패키지 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor device package and a method for manufacturing the semiconductor device package.

GaN, AlGaN, InGaN, InAlGaN, GaAs, AlGaAs, InGaAs, GaP, AlGaInP, InP 등의 화합물을 포함하는 반도체 소자는 넓고 조정이 용이한 밴드 갭 에너지를 가지는 등의 많은 장점이 있기 때문에 발광소자, 수광소자 및 각종 다이오드 등으로 다양하게 사용되고 있다.A semiconductor device containing a compound such as GaN, AlGaN, InGaN, InAlGaN, GaAs, AlGaAs, InGaAs, GaP, AlGaInP, InP, etc. has many advantages such as wide and easily adjustable band gap energy. and various diodes.

특히 반도체의 3-5족 또는 2-6족 등의 화합물 반도체 물질을 이용한 발광다이오드(Light Emitting Diode)나 레이저 다이오드(Laser Diode)와 같은 발광소자는 박막 성장 기술 및 소자 재료의 개발로 적색, 녹색, 청색 및 자외선 등 다양한 색을 구현할 수 있으며, 형광 물질을 이용하거나 색을 조절함으로써 효율이 좋은 백색 광선도 구현이 가능하며, 형광등, 백열등 등 기존의 광원에 비해 저소비전력, 반영구적인 수명, 빠른 응답속도, 안정성, 환경 친화성의 장점을 가진다.In particular, light emitting devices such as light emitting diodes or laser diodes using compound semiconductor materials such as group 3-5 or group 2-6 of semiconductors are red and green due to the development of thin film growth technology and device materials. Various colors such as , blue and ultraviolet light can be realized, and white light with good efficiency can be realized by using fluorescent materials or adjusting the color. It has the advantages of speed, stability, and environmental friendliness.

뿐만 아니라, 광 검출기나 태양 전지와 같은 수광 소자도 반도체의 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 물질을 이용하여 제작하는 경우 소자 재료의 개발로 다양한 파장 영역의 빛을 흡수하여 광 전류를 생성함으로써 감마선부터 라디오 파장 영역까지 다양한 파장 영역의 빛을 흡수하여 감마선부터 라디오 파장 영역까지 다양한 파장 영역의 빛을 이용할 수 있다. 또한 빠른 응답속도, 안정성, 환경친화성 및 소자 재료의 용이한 조절의 장점을 가지므로 전력 제어 또는 초고조파 회로나 통신용 모듈에서 용이하게 이용할 수 있다.In addition, when a light receiving device such as a photodetector or a solar cell is manufactured using a semiconductor group 3-5 or group 2-6 compound semiconductor material, a photocurrent is generated by absorbing light in various wavelength ranges through the development of the device material. By doing so, it is possible to absorb light in a range of wavelengths from gamma rays to a radio wavelength range and use light in a range of wavelengths from gamma rays to a radio wavelength range. In addition, since it has advantages of fast response speed, stability, environmental friendliness and easy adjustment of device materials, it can be easily used in power control or ultra-harmonic circuits or communication modules.

따라서, 반도체 소자는 광 통신 수단의 송신 모듈, LCD(Liquid Crystal Display) 표시 장치의 백라이트를 구성하는 냉음극관(CCFL: Cold cathcode Fluorescence Lamp)을 대체하는 발광 다이오드 백라이트, 형광등이나 백열 전구를 대체할 수 있는 백색 발광 다이오드 조명 장치, 자동차 헤드 라이트 및 신호등 및 Gas 나 화재를 감지하는 센서, 의료용 기기 등 응용이 확대되고 있다. 또한, 반도체소자는 고주파 응용회로나 기타 전력제어장치, 통신용 모듈에까지 응용이 확대될 수 있다.Therefore, the semiconductor device can replace a light emitting diode backlight, a fluorescent lamp or an incandescent light bulb that replaces a cold cathode tube (CCFL) constituting a transmission module of an optical communication means and a backlight of a liquid crystal display (LCD) display device. Applications such as white light emitting diode lighting devices, automobile headlights and traffic lights, sensors that detect gas or fire, and medical devices are expanding. In addition, the application of the semiconductor device can be extended to high-frequency application circuits, other power control devices, and communication modules.

최근에는 반도체소자의 광속, 광추출효율 등을 개선하기 위한 반도체소자 패키지의 구조에 대한 다양한 개발이 이루어지고 있다.In recent years, various developments have been made on the structure of the semiconductor device package to improve the luminous flux and light extraction efficiency of the semiconductor device.

본 발명은 광 변환 효율 및 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 반도체소자패키지 및 반도체소자패키지 제조방법을 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide a semiconductor device package and a semiconductor device package manufacturing method capable of improving light conversion efficiency and electrical characteristics.

본 발명은 새로운 패키지 구조를 제시하여 공정 효율을 향상시키는 반도체소자패키지 및 반도체 소자 패키지 제조방법을 제공하고자 한다.An object of the present invention is to provide a semiconductor device package and a semiconductor device package manufacturing method that improve process efficiency by suggesting a new package structure.

본 발명에 따른 반도체소자패키지는 평평한 하면, 상기 하면과 평행한 상면 및 상기 상면과 하면을 관통하는 제1개구부 및 제2개구부를 포함하는 몸체; 상기 몸체 상에 배치되는 반도체소자; 상기 몸체 및 반도체소자 사이에 배치되는 접착제; 및 상기 반도체소자를 감싸며 배치되는 몰딩부재; 를 포함하고, 상기 반도체소자는 상기 제1 및 제2개구부 상에 각각 배치되는 제1 및 제2본딩부를 포함하고, 상기 몰딩부재의 외측면은 상기 몸체의 외측면과 동일 평면 상에 배치될 수 있다.A semiconductor device package according to the present invention includes a body including a flat lower surface, an upper surface parallel to the lower surface, and first and second openings penetrating the upper and lower surfaces; a semiconductor device disposed on the body; an adhesive disposed between the body and the semiconductor device; and a molding member disposed to surround the semiconductor device. The semiconductor device may include first and second bonding portions disposed on the first and second openings, respectively, and the outer surface of the molding member may be disposed on the same plane as the outer surface of the body. have.

또한, 상기 제1개구부 및 제2개구부 사이에 배치되며, 상기 몸체의 상면에서 하면 방향으로 오목하게 배치되는 리세스를 더 포함하고, 상기 접착제는 상기 리세스 내에 배치될 수 있다In addition, it is disposed between the first opening and the second opening, further comprising a recess arranged concavely in the direction from the upper surface to the lower surface of the body, the adhesive may be disposed in the recess

또한, 상기 리세스의 두께는 상기 제1개구부 및 제2개구부 두께보다 작을 수 있다.In addition, a thickness of the recess may be smaller than a thickness of the first opening and the second opening.

또한, 상기 리세스의 두께는 상기 제1개구부 및 제2개구부의 두께 대비 0 초과 내지 5/6 이하일 수 있다.In addition, the thickness of the recess may be greater than 0 to 5/6 or less compared to the thickness of the first and second openings.

또한, 상기 리세스의 수평방향 폭은 상기 제1본딩부 및 제2본딩부 사이의 수평방향 폭 대비 1:0.2 이상 내지 1:1 미만일 수 있다.In addition, the horizontal width of the recess may be 1:0.2 or more and less than 1:1 compared to the horizontal width between the first bonding part and the second bonding part.

또한, 상기 리세스 외측면 끝단과 상기 제1개구부 및 제2개구부 내측면 사이의 수평방향의 거리는 50um 이상 내지 150um 이하일 수 있다.In addition, a horizontal distance between the outer end of the recess and the inner surface of the first and second openings may be 50 μm or more to 150 μm or less.

상기 제1개구부 및 제2개구부는 상기 제1개구부 및 제2개구부 하면에 대하여 내측면사이의 제1각(θ1), 외측면사이의 제2각(θ2)을 포함할 수 있다.The first opening and the second opening may include a first angle θ1 between inner surfaces and a second angle θ2 between the outer surfaces with respect to lower surfaces of the first and second openings.

또한, 상기 제1각 및 제2각은 0도 이상 내지 90도 이하의 각도를 포함하고,In addition, the first angle and the second angle include an angle of 0 degrees or more and 90 degrees or less,

상기 제1각은 제2각보다 같거나 작을 수 있다.The first angle may be equal to or smaller than the second angle.

또한, 상기 제1 및 제2개구부 하면의 폭은 상기 제1 및 제2개구부 상면의 폭보다 클 수 있다.In addition, widths of lower surfaces of the first and second openings may be greater than widths of upper surfaces of the first and second openings.

또한, 제1개구부 및 제2개구부 상부의 수평방향 폭은 상기 제1본딩부 및 제2본딩부의 수평방향 폭 대비 70% 이상 내지 95%이하일 수 있다.In addition, the horizontal width of the upper portions of the first opening and the second opening may be 70% or more and 95% or less of the horizontal width of the first bonding portion and the second bonding portion.

또한, 제1개구부 및 제2개구부 외측면의 하부 끝단과 몸체 외측면 사이의 수평방향 거리는 150um 이상 내지 200um 이하일 수 있다.In addition, a horizontal distance between the lower ends of the outer surfaces of the first opening and the second opening and the outer surface of the body may be 150 μm or more and 200 μm or less.

또한, 상기 반도체소자 측면과 상기 몰딩부재 측면 사이의 수평방향 거리는 50um 이상 내지 200um 이하일 수 있다.In addition, a horizontal distance between the side surface of the semiconductor device and the side surface of the molding member may be 50 μm or more and 200 μm or less.

또한, 상기 몰딩부재는 파장변환물질을 포함할 수 있다.In addition, the molding member may include a wavelength conversion material.

또한, 상기 몰딩부재는 복수의 층으로 구성될 수 있다.In addition, the molding member may be composed of a plurality of layers.

상기 몰딩부재는 파장변환물질을 포함하는 제1층 및 제1층하부에서 반도체소자측면에 배치되는 제2층을 포함하고, 상기 제2층은 투명 수지로 구성되며, 상기 반도체소자의 굴절률과 다른 굴절률을 가질 수 있다.The molding member includes a first layer including a wavelength conversion material and a second layer disposed on the side of the semiconductor device under the first layer, the second layer being made of a transparent resin, and having a refractive index different from the refractive index of the semiconductor device It may have a refractive index.

또한, 상기 몰딩부재는 제2층을 감싸며 배치되는 제3층을 더 포함하고, In addition, the molding member further includes a third layer disposed surrounding the second layer,

상기 제3층은 반사물질을 포함하는 수지로 구성될 수 있다.The third layer may be made of a resin including a reflective material.

또한, 제1본딩부 및 제1개구부 사이에 배치되는 제1접촉층 및 상기 제2전극 및 제2개구부 사이에 배치되는 제2접촉층을 더 포함하고, 상기 제1개구부 및 제2개구부 상부의 수평방향 폭은 상기 제1본딩부 및 제2본딩부의 수평방향 폭에 비해 클 수 있다.In addition, it further includes a first contact layer disposed between the first bonding portion and the first opening and a second contact layer disposed between the second electrode and the second opening, wherein the upper portion of the first opening and the second opening is formed. A horizontal width may be greater than a horizontal width of the first bonding unit and the second bonding unit.

또한, 상기 제1접촉층의 수평방향 폭은 제1본딩부의 수평방향 폭보다 크고, 제1개구부의 상부의 수평방향 폭보다 클 수 있다.In addition, a horizontal width of the first contact layer may be greater than a horizontal width of the first bonding portion and greater than a horizontal width of an upper portion of the first opening.

또한, 상기 제2접촉층의 수평방향 폭은 제2본딩부의 수평방향 폭보다 크고, 제2개구부의 상부의 수평방향 폭보다 클 수 있다.In addition, a horizontal width of the second contact layer may be greater than a horizontal width of the second bonding portion and greater than a horizontal width of an upper portion of the second opening.

본 발명을 통해 반도체소자패키지의 신뢰성과 광변환효율을 향상시킬 수 있다.Through the present invention, it is possible to improve the reliability and light conversion efficiency of the semiconductor device package.

본 발명을 통해 반도체소자패키지의 공정 수율을 개선할 수 있다.Through the present invention, it is possible to improve the process yield of a semiconductor device package.

한편, 본 발명에서 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.On the other hand, the effects obtainable in the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs from the description below. will be able

도 1은 실시예에 따른 반도체소자패키지의 사시도이다.
도 2 도1에서 A-A'방향으로 자른 제1실시예에 따른 반도체소자패키지의 단면을 도시한 것이다.
도 3은 제1실시예에 따른 반도체소자패키지가 포함하는 제1각 및 제2각에 대해 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 제1실시예에 따른 반도체소자패키지제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 도 1에서 A-A'방향으로 자른 제2실시예에 따른 반도체소자패키지의 단면을 도시한 것이다.
도 6은 제2실시예에 따른 반도체소자패키지가 포함하는 제1각 및 제2각에 대해 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 제2실시예에 따른 반도체소자패키지제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
1 is a perspective view of a semiconductor device package according to an embodiment.
FIG. 2 shows a cross-section of the semiconductor device package according to the first embodiment taken in the direction A-A' in FIG. 1 .
3 is a view for explaining the first and second angles included in the semiconductor device package according to the first embodiment.
4 is a view for explaining a method of manufacturing a semiconductor device package according to the first embodiment.
FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating a semiconductor device package according to the second embodiment taken in the direction A-A' in FIG. 1 .
6 is a view for explaining the first and second angles included in the semiconductor device package according to the second embodiment.
7 is a view for explaining a method of manufacturing a semiconductor device package according to the second embodiment.

본 발명의 전술한 목적과 기술적 구성 및 그에 따른 작용 효과에 관한 자세한 사항은 이하의 상세한 설명에 의해 보다 명확하게 이해될 것이다.The above-described object and technical configuration of the present invention and details regarding the operational effects thereof will be more clearly understood by the following detailed description.

본 발명의 설명에 있어서, 이하 사용되는 제1, 제2 등과 같은 용어는 동일 또는 상응하는 구성 요소들을 구별하기 위한 식별 기호에 불과하며, 동일 또는 상응하는 구성요소들이 제1, 제2등의 용어에 의하여 한정되는 것은 아니다.In the description of the present invention, terms such as first, second, etc. used below are merely identification symbols for distinguishing the same or corresponding components, and the same or corresponding components are first, second, etc. terms is not limited by

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 표현하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. "포함한다" 또는 "가진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함으로 지정하기 위한 것으로, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들이 부가될 수 있는 것으로 해석될 수 있다.The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. Terms such as “comprising” or “having” are intended to designate that a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described in the specification exists, and includes one or more other features, number, or step. , operations, components, parts, or combinations thereof may be construed as being added.

이하 사용되는 "포함한다(Comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.As used hereinafter, “comprises” and/or “comprising” refers to the presence or absence of one or more other components, steps, operations and/or elements mentioned addition is not excluded.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체소자패키지에 대해 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, a semiconductor device package according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 반도체소자패키지의 사시도이고, 도 2는 도 1를 A-A'방향으로 자른 제1실시예에 따른 반도체소자패키지의 단면을 도시한 것이다.1 is a perspective view of a semiconductor device package according to the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the semiconductor device package according to the first embodiment taken in the direction A-A' of FIG. 1 .

제1실시예에 따른 상기 반도체소자(20)는 발광소자일 수 있다.The semiconductor device 20 according to the first embodiment may be a light emitting device.

실시예에 따른 반도체소자(20)는 지지부, 발광구조물, 본딩부를 포함할 수 있다.The semiconductor device 20 according to the embodiment may include a support part, a light emitting structure, and a bonding part.

상기 지지부는 사파이어 기판(Al2O3), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, Ge을 포함하는 그룹 중에서 선택될 수 있다. The support part may be selected from a group including a sapphire substrate (Al 2 O 3 ), SiC, GaAs, GaN, ZnO, Si, GaP, InP, and Ge.

상기 발광구조물은 제1 도전형 반도체층, 제2 도전형 반도체층, 제1 도전형 반도체층과 제2 도전형 반도체층 사이에 배치된 활성층을 포함할 수 있다.The light emitting structure may include a first conductivity type semiconductor layer, a second conductivity type semiconductor layer, and an active layer disposed between the first conductivity type semiconductor layer and the second conductivity type semiconductor layer.

상기 발광구조물은 화합물 반도체로 제공될 수 있다. 상기 발광구조물은 예로서 2족-6족 또는 3족-5족 화합물 반도체로 제공될 수 있다. 예로서, 상기 발광구조물은 알루미늄(Al), 갈륨(Ga), 인듐(In), 인(P), 비소(As), 질소(N)로부터 선택된 적어도 두 개 이상의 원소를 포함하여 제공될 수 있다.The light emitting structure may be provided as a compound semiconductor. The light emitting structure may be provided as, for example, a group 2-6 or group 3-5 compound semiconductor. For example, the light emitting structure may include at least two or more elements selected from aluminum (Al), gallium (Ga), indium (In), phosphorus (P), arsenic (As), and nitrogen (N). .

상기 발광구조물은 제1 도전형 반도체층, 활성층, 제2 도전형 반도체층을 포함할 수 있다.The light emitting structure may include a first conductivity type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity type semiconductor layer.

상기 제1 및 제2 도전형 반도체층은 3족-5족 또는 2족-6족의 화합물 반도체 중에서 적어도 하나로 구현될 수 있다. 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층은 예컨대 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 제1 및 제2 도전형 반도체층은 GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP 등을 포함하는 그룹 중에서 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다. 상기 제1 도전형 반도체층은 Si, Ge, Sn, Se, Te 등의 n형 도펀트가 도핑된 n형 반도체층일 수 있다. 상기 제2 도전형 반도체층은 Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등의 p형 도펀트가 도핑된 p형 반도체층일 수 있다. The first and second conductivity-type semiconductor layers may be implemented with at least one of a group 3-5 or group 2-6 compound semiconductor. The first and second conductivity type semiconductor layers are formed of, for example, a semiconductor material having a compositional formula of In x Al y Ga 1-xy N (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1) can be For example, the first and second conductivity-type semiconductor layers may include at least one selected from the group consisting of GaN, AlN, AlGaN, InGaN, InN, InAlGaN, AlInN, AlGaAs, GaP, GaAs, GaAsP, AlGaInP, and the like. . The first conductivity-type semiconductor layer may be an n-type semiconductor layer doped with an n-type dopant such as Si, Ge, Sn, Se, or Te. The second conductivity-type semiconductor layer may be a p-type semiconductor layer doped with a p-type dopant such as Mg, Zn, Ca, Sr, or Ba.

상기 활성층은 화합물 반도체로 구현될 수 있다. 상기 활성층은 예로서 3족-5족 또는 2족-6족의 화합물 반도체 중에서 적어도 하나로 구현될 수 있다. 상기 활성층이 다중 우물 구조로 구현된 경우, 상기 활성층은 교대로 배치된 복수의 우물층과 복수의 장벽층을 포함할 수 있고, InxAlyGa1 -x- yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)의 조성식을 갖는 반도체 재료로 배치될 수 있다. 예컨대, 상기 활성층은 InGaN/GaN, GaN/AlGaN, AlGaN/AlGaN, InGaN/AlGaN, InGaN/InGaN, AlGaAs/GaAs, InGaAs/GaAs, InGaP/GaP, AlInGaP/InGaP, InP/GaAs을 포함하는 그룹 중에서 선택된 적어도 하나를 포함할 수 있다.The active layer may be implemented with a compound semiconductor. The active layer may be embodied as, for example, at least one of a group 3-5 or group 2-6 compound semiconductor. When the active layer is implemented as a multi-well structure, the active layer may include a plurality of well layers and a plurality of barrier layers that are alternately disposed, and In x Al y Ga 1 -x- y N (0≤x≤1 , 0≤y≤1, 0≤x+y≤1). For example, the active layer may be selected from the group consisting of InGaN/GaN, GaN/AlGaN, AlGaN/AlGaN, InGaN/AlGaN, InGaN/InGaN, AlGaAs/GaAs, InGaAs/GaAs, InGaP/GaP, AlInGaP/InGaP, InP/GaAs. It may include at least one.

상기 본딩부는 제1 본딩부(22)와 제2 본딩부(24)를 포함할 수 있다. 상기 제1 본딩부(22)와 상기 제2 본딩부(24)는 상기 발광소자의 하부 면에서 서로 이격되어 배치될 수 있다. 상기 제1 본딩부(22)는 상기 제1 전극패턴 상에 배치될 수 있다. 상기 제2 본딩부(24)는 상기 제2 전극패턴 상에 배치될 수 있다. The bonding unit may include a first bonding unit 22 and a second bonding unit 24 . The first bonding portion 22 and the second bonding portion 24 may be disposed to be spaced apart from each other on the lower surface of the light emitting device. The first bonding part 22 may be disposed on the first electrode pattern. The second bonding part 24 may be disposed on the second electrode pattern.

상기 본딩부는 Ti, Al, In, Ir, Ta, Pd, Co, Cr, Mg, Zn, Ni, Si, Ge, Ag, Ag alloy, Au, Hf, Pt, Ru, Rh, ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, Ni/IrOx/Au/ITO를 포함하는 그룹 중에서 선택된 하나 이상의 물질 또는 합금을 이용하여 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다.The bonding portion is Ti, Al, In, Ir, Ta, Pd, Co, Cr, Mg, Zn, Ni, Si, Ge, Ag, Ag alloy, Au, Hf, Pt, Ru, Rh, ZnO, IrOx, RuOx, One or more materials or alloys selected from the group including NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, and Ni/IrOx/Au/ITO may be used to form a single layer or multiple layers.

상기 반도체소자(20)는 몸체(10) 상에 배치될 수 있다.The semiconductor device 20 may be disposed on the body 10 .

상기 반도체소자(20)는 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24)를 포함할 수 있다.The semiconductor device 20 may include a first bonding unit 22 and a second bonding unit 24 .

상기 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24)는 상기 반도체소자(20)의 일면에 배치될 수 있다.The first bonding unit 22 and the second bonding unit 24 may be disposed on one surface of the semiconductor device 20 .

상기 제1본딩부(22)는 상기 제1개구부(32) 상에 배치될 수 있다. 상기 제2본딩부(24)는 상기 제2개구부(34) 상에 배치될 수 있다.The first bonding portion 22 may be disposed on the first opening 32 . The second bonding part 24 may be disposed on the second opening 34 .

상기 반도체소자(20)는 제1 및 제2패드전극(미도시)을 포함할 수 있으며, 각 패드전극은 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24)와 접촉될 수 있다.The semiconductor device 20 may include first and second pad electrodes (not shown), and each pad electrode may contact the first bonding unit 22 and the second bonding unit 24 .

상기 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24)를 통해 반도체소자(20)로 전류가 흐를 수 있다.A current may flow to the semiconductor device 20 through the first bonding unit 22 and the second bonding unit 24 .

상기 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24)는 전기적인 접촉이 우수한 물질로 형성될 수 있다.The first bonding portion 22 and the second bonding portion 24 may be formed of a material having excellent electrical contact.

상기 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24)는 Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf, Be, Ge, ITO(indium tin oxide), IZO(indium zinc oxide), IZTO(indium zinc tin oxide), IAZO(indium aluminum zinc oxide), IGZO(indium gallium zinc oxide), IGTO(indium gallium tin oxide), AZO(aluminum zinc oxide), ATO(Antimony tin oxide), GZO(gallium zinc oxide), IZON(IZO Nitride), AGZO(Al-Ga ZnO), IGZO(In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, 및 Ni/IrOx/Au/ITO 중 적어도 하나를 포함할 수 있으나 이에 한정하지는 않는다. The first bonding portion 22 and the second bonding portion 24 are Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Rh, Pd, Ir, Ru, Mg, Zn, Pt, Au, Hf, Be, Ge, ITO. (indium tin oxide), IZO (indium zinc oxide), IZTO (indium zinc tin oxide), IAZO (indium aluminum zinc oxide), IGZO (indium gallium zinc oxide), IGTO (indium gallium tin oxide), AZO (aluminum zinc oxide) ), ATO (Antimony tin oxide), GZO (gallium zinc oxide), IZON (IZO Nitride), AGZO (Al-Ga ZnO), IGZO (In-Ga ZnO), ZnO, IrOx, RuOx, NiO, RuOx/ITO, Ni/IrOx/Au, and at least one of Ni/IrOx/Au/ITO, but is not limited thereto.

또한, 상기 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24)는 단층 또는 다층으로 구성될 수 있다.In addition, the first bonding unit 22 and the second bonding unit 24 may be formed of a single layer or multiple layers.

상기 몸체(10) 상에 제1개구부(32), 제2개구부(34), 제1도전층(42), 제2도전층(44) 및 리세스(50)가 배치될 수 있다.A first opening 32 , a second opening 34 , a first conductive layer 42 , a second conductive layer 44 , and a recess 50 may be disposed on the body 10 .

상기 몸체(10)는 폴리프탈아미드(PPA:Polyphthalamide), PCT(Polychloro Tri phenyl), LCP(Liquid Crystal Polymer), PA9T(Polyamide9T), 실리콘, 에폭시 몰딩 컴파운드(EMC : Epoxy molding compound),실리콘 몰딩 컴파운드(SMC), 세라믹 PSG(photo sensitive glass), 사파이어(Al2O3) 등 중 적어도 하나이상으로 구성될 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The body 10 includes polyphthalamide (PPA), polychloro triphenyl (PCT), liquid crystal polymer (LCP), polyamide9T (PA9T), silicone, epoxy molding compound (EMC), and a silicone molding compound. (SMC), ceramic photo sensitive glass (PSG), sapphire (Al2O3), etc. may be composed of at least one or more, but is not limited thereto.

상기 몸체(10) 내에 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)가 배치될 수 있다. A first opening 32 and a second opening 34 may be disposed in the body 10 .

상기 몸체(10)는 상기 몸체(10)의 상면에서 하면을 관통하는 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)를 포함할 수 있다.The body 10 may include a first opening 32 and a second opening 34 passing through the lower surface from the upper surface of the body 10 .

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)는 반도체소자패키지의 방열기능을 수행할 수 있다.The first opening 32 and the second opening 34 may perform a heat dissipation function of the semiconductor device package.

상기 제1개구부(32)는 상기 반도체소자(20)의 제1본딩부(22) 일면에 배치될 수 있다. 상기 제1개구부(32)는 상기 반도체소자(20)의 제1본딩부(22)와 중첩되어 배치될 수 있다.The first opening 32 may be disposed on one surface of the first bonding part 22 of the semiconductor device 20 . The first opening 32 may be disposed to overlap the first bonding portion 22 of the semiconductor device 20 .

상기 제2개구부(34)는 상기 반도체소자(20)의 제2본딩부(24) 일면에 배치될 수 있다. 상기 제2개구부(34)는 상기 반도체소자(20)의 제2본딩부(24)과 중첩되어 배치될 수 있다.The second opening 34 may be disposed on one surface of the second bonding part 24 of the semiconductor device 20 . The second opening 34 may be disposed to overlap the second bonding portion 24 of the semiconductor device 20 .

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)는 서로 이격되어 배치될 수 있다. 상기 제1개구부(32) 및 상기 제2개구부(34)는 상기 반도체소자(20)의 일면에서 서로 이격되어 배치될 수 있다. The first opening 32 and the second opening 34 may be disposed to be spaced apart from each other. The first opening 32 and the second opening 34 may be disposed to be spaced apart from each other on one surface of the semiconductor device 20 .

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 하부의 수평방향 폭은 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 상부의 수평방향 폭보다 더 클 수 있다.Horizontal widths of lower portions of the first and second openings 32 and 34 may be greater than horizontal widths of upper portions of the first and second openings 32 and 34 .

상기 제1개구부(32) 상부의 수평방향 폭(W1)은 상기 제1본딩부(22) 수평방향 폭(W2)에 비해 작을 수 있다.A horizontal width W1 of an upper portion of the first opening 32 may be smaller than a horizontal width W2 of the first bonding portion 22 .

상기 제2개구부(34) 상부의 수평방향 폭(W1)은 상기 제2본딩부(24)의 수평방향 폭(W2)에 비해 작을 수 있다.A horizontal width W1 of an upper portion of the second opening 34 may be smaller than a horizontal width W2 of the second bonding portion 24 .

예를 들어, 상기 SMT를 구현하기 위해 반도체소자(20)와 몸체(10)사이의 공차를 감안하여, 상기 개구부(30) 상부의 수평방향 폭(W1)은 상기 전극의 수평방향 폭(W2)에 비해 작게 배치될 수 있다.For example, in consideration of the tolerance between the semiconductor device 20 and the body 10 to implement the SMT, the horizontal width W1 of the upper portion of the opening 30 is the horizontal width W2 of the electrode. It can be arranged smaller than

*개구부(30)는 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)를 포함하고, 본딩부는 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24)를 포함하여 지칭하는 말이다.* The opening 30 includes the first opening 32 and the second opening 34 , and the bonding part includes the first bonding part 22 and the second bonding part 24 .

따라서, 상기 개구부(30) 상부의 수평방향 폭(W1)은 상기 본딩부의 수평방향 폭(W2)에 비하여 작게 배치됨으로써, 상기 반도체소자(20)와 몸체(10)가 견고하게 부착될 수 있다.Accordingly, the horizontal width W1 of the upper portion of the opening 30 is arranged to be smaller than the horizontal width W2 of the bonding portion, so that the semiconductor device 20 and the body 10 can be firmly attached.

개구부(30) 상부의 수평방향 폭(W1)은 35um 이상 내지 855um 이하일 수 있다.The horizontal width W1 of the upper portion of the opening 30 may be 35 μm or more and 855 μm or less.

제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24)의 수평방향 폭(W2)은 50um 이상 내지 900um 이하일 수 있다.The horizontal width W2 of the first bonding unit 22 and the second bonding unit 24 may be 50 μm or more and 900 μm or less.

상기 본딩부의 수평방향 폭(W2) 대비 개구부(30) 상부의 수평방향 폭(W1)은 70% 이상 내지 95%이하일 수 있다. The horizontal width W1 of the upper portion of the opening 30 compared to the horizontal width W2 of the bonding portion may be 70% or more to 95% or less.

상기 본딩부의 수평방향 폭(W2) 대비 개구부(30) 상부의 수평방향 폭(W1)이 70%이상인 경우, 상기 반도체소자패키지의 신뢰성을 확보할 수 있다.When the horizontal width W1 of the upper portion of the opening 30 compared to the horizontal width W2 of the bonding portion is 70% or more, the reliability of the semiconductor device package may be secured.

상기 본딩부의 수평방향 폭(W2) 대비 개구부(30) 상부의 수평방향 폭(W1)이 95%이하인 경우, 상기 반도체소자(20)로 주입되는 전류가 원활하게 되어 상기 반도체소자패키지의 전류특성을 확보할 수 있다.When the horizontal width W1 of the upper portion of the opening 30 is 95% or less compared to the horizontal width W2 of the bonding portion, the current injected into the semiconductor device 20 becomes smooth, so that the current characteristics of the semiconductor device package are improved. can be obtained

예를 들어, 상기 본딩부의 수평방향 폭 (W2)이 50um 일 때, 상기 개구부(30) 상부의 수평방향 폭(W1)은 35um 이상 내지 47.5um 이하일 수 있다.For example, when the horizontal width W2 of the bonding portion is 50 μm, the horizontal width W1 of the upper portion of the opening 30 may be 35 μm or more and 47.5 μm or less.

또는, 상기 본딩부의 수평방향 폭(W2)이 900um일 때, 상기 개구부(30) 상부의 수평방향 폭(W1)은 630um 이상 내지 855um이하일 수 있다. Alternatively, when the horizontal width W2 of the bonding portion is 900 μm, the horizontal width W1 of the upper portion of the opening 30 may be 630 μm or more and 855 μm or less.

한편, 제1실시예에 따른 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)는 하부에서 상부로 가면서 폭이 점차적으로 작아지는 경사진 형태를 포함할 수 있으나 이에 한정하지는 않는다. Meanwhile, the first opening 32 and the second opening 34 according to the first embodiment may include, but are not limited to, an inclined shape in which the width gradually decreases from the lower part to the upper part.

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)는 다양한 형상을 포함할 수 있다.The first opening 32 and the second opening 34 may have various shapes.

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)는 상부와 하부가 동일한 폭으로 배치될 수 있다.The upper and lower portions of the first opening 32 and the second opening 34 may be disposed to have the same width.

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)는 상부에서 하부 방향으로 폭이 다른 형상으로 배치될 수 있다.The first opening 32 and the second opening 34 may have different widths in the upper to lower direction.

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)은 상부에서 하부방향으로 곡률을 갖는 형상으로 배치될 수 있다.The first opening 32 and the second opening 34 may be disposed in a shape having a curvature from the top to the bottom.

또한, 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)의 상부와 하부 사이의 경사면은 기울기가 서로 다른 복수의 경사면을 가질 수 있다.Also, the inclined surfaces between the upper and lower portions of the first opening 32 and the second opening 34 may have a plurality of inclined surfaces having different inclinations from each other.

또한, 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)는 다단구조로 배치될 수 있다.In addition, the first opening 32 and the second opening 34 may be arranged in a multi-stage structure.

상기 몸체(10) 하면에서 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 사이의 수평방향 폭(W3)은 200um 이상 내지 250um 이하일 수 있다.The horizontal width W3 between the first opening 32 and the second opening 34 on the lower surface of the body 10 may be 200 μm or more and 250 μm or less.

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 사이의 수평방향 폭(W3)은 상기 몸체(10) 하면과 접하고 있는 상기 제1개구부(32)의 내측면과 상기 제2개구부(34)의 내측면 사이의 폭(W3)을 뜻한다.The horizontal width W3 between the first opening 32 and the second opening 34 is the inner surface of the first opening 32 in contact with the lower surface of the body 10 and the second opening 34 . means the width (W3) between the inner surfaces of

상기 몸체(10) 하면에서 상기 제1개구부(32) 내측면과 제2개구부(34)의 내측면 사이의 폭(W3)이 200um 이상인 경우, 실시예에 따른 반도체소자패키지가 회로기판 등에 실장되는 경우에 본딩되는 영역 간에 단락(short)이 발생하는 것을 방지할 수 있다.When the width W3 between the inner surface of the first opening 32 and the inner surface of the second opening 34 on the lower surface of the body 10 is 200 μm or more, the semiconductor device package according to the embodiment is mounted on a circuit board, etc. In this case, it is possible to prevent a short from occurring between regions to be bonded.

상기 몸체(10) 하면에서 상기 제1개구부(32)의 내측면과 제2개구부(34)의 내측면 사이의 수평방향 폭(W3)이 250um 이하인 경우, 반도체소자패키지의 공정 및 제조수율을 확보할 수 있다.When the horizontal width W3 between the inner surface of the first opening 32 and the inner surface of the second opening 34 in the lower surface of the body 10 is 250 μm or less, the process and manufacturing yield of the semiconductor device package are secured can do.

개구부(30) 외측면의 하부 끝단과 몸체(10) 외측면 사이의 수평방향 거리(W9)는 150um 이상 내지 200um 이하일 수 있다.The horizontal distance W9 between the lower end of the outer surface of the opening 30 and the outer surface of the body 10 may be 150 μm or more and 200 μm or less.

상기 개구부(30) 외측면의 하부 끝단과 몸체(10) 외측면 사이의 수평방향 거리(W9)가 150um 이상인 경우, 몸체(10)의 손상(Crack)을 방지할 수 있다.When the horizontal distance W9 between the lower end of the outer surface of the opening 30 and the outer surface of the body 10 is 150 μm or more, cracking of the body 10 can be prevented.

상기 개구부(30) 외측면의 하부 끝단과 몸체(10) 외측면 사이의 수평방향 거리(W9)가 200um 이하인 경우, 반도체소자패키지의 제조수율을 확보할 수 있다.When the horizontal distance W9 between the lower end of the outer surface of the opening 30 and the outer surface of the body 10 is 200 μm or less, the manufacturing yield of the semiconductor device package can be secured.

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)은 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 하면에 대하여 내측면에 대한 각도와 외측면에 대한 각도를 포함할 수 있다.The first opening 32 and the second opening 34 may include an angle with respect to an inner surface and an angle with respect to an outer surface of the lower surfaces of the first opening 32 and the second opening 34 .

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 하면에 대하여 내측면 사이의 각도를 제1각(θ1), 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 하면에 대하여 외측면 사이의 각도를 제2각(θ2)이라고 했을 때, 상기 제1각(θ1)은 제2각(θ2)과 같거나 작을 수 있다.The angle between the inner surfaces with respect to the lower surfaces of the first and second openings 32 and 34 is the first angle θ1, and between the outer surfaces with respect to the lower surfaces of the first and second openings 32 and 34. Assuming that the angle θ2 is the second angle θ2 , the first angle θ1 may be equal to or smaller than the second angle θ2 .

상기 제1각(θ1) 및 제2각(θ2)은 0도 이상 내지 90도 이하일 수 있다.The first angle θ1 and the second angle θ2 may be 0 degrees or more and 90 degrees or less.

상기 제1각(θ1) 및 제2각(θ2)에 대한 자세한 설명은 도 3를 참조하여 후술한다.A detailed description of the first angle θ1 and the second angle θ2 will be described later with reference to FIG. 3 .

실시예에 따른 반도체소자패키지는 상기 제1도전층(42) 및 제2도전층(44)을 포함할 수 있다.The semiconductor device package according to the embodiment may include the first conductive layer 42 and the second conductive layer 44 .

상기 제1도전층(42)은 상기 제1개구부(32) 내에 배치될 수 있다. 상기 제1도전층(42)은 상기 제1본딩부(22) 하부 면에 직접 접촉되어 배치될 수 있다. 상기 제1도전층(42)은 상기 제1본딩부(22)과 수직방향으로 서로 중첩될 수 있다.The first conductive layer 42 may be disposed in the first opening 32 . The first conductive layer 42 may be disposed in direct contact with the lower surface of the first bonding part 22 . The first conductive layer 42 may overlap the first bonding portion 22 in a vertical direction.

또한, 상기 제1도전층(42) 상면의 수평방향 폭은 상기 제1개구부(32) 상면의 수평방향 폭(W1)과 동일할 수 있다.In addition, the horizontal width of the upper surface of the first conductive layer 42 may be the same as the horizontal width W1 of the upper surface of the first opening 32 .

따라서, 상기 제1도전층(42) 상면의 수평방향 폭은 상기 제1본딩부(22) 수평방향 폭과 대비하여 작을 수 있다.Accordingly, the horizontal width of the upper surface of the first conductive layer 42 may be smaller than the horizontal width of the first bonding portion 22 .

또한, 상기 제1도전층(42) 상면은 상기 몸체(10)의 상면과 동일 평면에 배치될 수 있다. Also, the upper surface of the first conductive layer 42 may be disposed on the same plane as the upper surface of the body 10 .

상기 제1도전층(42) 하면은 상기 몸체(10)의 하면과 동일 평면에 배치될 수 있다.A lower surface of the first conductive layer 42 may be disposed on the same plane as a lower surface of the body 10 .

상기 제2도전층(44)은 상기 제2개구부(34) 내에 배치될 수 있다. 상기 제2도전층(44)은 상기 제2본딩부(24)의 하부 면에 직접 접촉되어 배치될 수 있다. 상기 제2도전층(44)은 상기 제2본딩부(24)와 수직방향으로 서로 중첩될 수 있다.The second conductive layer 44 may be disposed in the second opening 34 . The second conductive layer 44 may be disposed in direct contact with the lower surface of the second bonding part 24 . The second conductive layer 44 may overlap the second bonding part 24 in a vertical direction.

또한, 상기 제2도전층(44) 상면의 수평방향 폭은 상기 제2개구부(34) 상면의 수평방향 폭과 동일할 수 있다.In addition, the horizontal width of the upper surface of the second conductive layer 44 may be the same as the horizontal width of the upper surface of the second opening 34 .

따라서, 상기 제2도전층(44) 상면의 수평방향 폭은 상기 제1본딩부(22) 수평방향 폭(W2)에 대비하여 작을 수 있다.Accordingly, the horizontal width of the upper surface of the second conductive layer 44 may be smaller than the horizontal width W2 of the first bonding portion 22 .

또한, 상기 제2도전층(44) 상면은 상기 몸체(10)의 상면과 동일 평면에 배치될 수 있다. In addition, an upper surface of the second conductive layer 44 may be disposed on the same plane as the upper surface of the body 10 .

상기 제2도전층(44) 하면은 상기 몸체(10)의 하면과 동일 평면에 배치될 수 있다.A lower surface of the second conductive layer 44 may be disposed on the same plane as a lower surface of the body 10 .

상기 제1도전층(42) 및 제2도전층(44)은 상기 제1개구부(32)와 상기 제2개구부(34) 내에 배치되어 상기 반도체소자(20)로 주입되는 전류를 원활하게 하고, 상기 반도체소자패키지를 회로 기판 등에 실장하는 기능을 할 수 있다.The first conductive layer 42 and the second conductive layer 44 are disposed in the first opening 32 and the second opening 34 to smooth the current injected into the semiconductor device 20, It may serve to mount the semiconductor device package on a circuit board or the like.

상기 제1도전층(42) 및 제2도전층(44)은 Ag, Au, Pt 등을 적어도 하나 이상의 물질을 포함할 수 있다. 다만 이에 한정하지 않고, 전도성 기능을 확보할 수 있는 물질을 포함할 수 있다.The first conductive layer 42 and the second conductive layer 44 may include at least one material such as Ag, Au, Pt, or the like. However, the present invention is not limited thereto, and may include a material capable of securing a conductive function.

상기 제1도전층(42) 및 제2도전층(44)은 도전성 페이스트로 구성될 수 있다.The first conductive layer 42 and the second conductive layer 44 may be formed of a conductive paste.

예를 들어, 상기 제1도전층(42) 및 제2도전층(44)은 솔더 페이스트(solder paste) 또는 실버 페이스트(silver paste) 등으로 구성될 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.For example, the first conductive layer 42 and the second conductive layer 44 may be formed of solder paste or silver paste, but is not limited thereto.

리세스(50)는 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 사이에 배치될 수 있다. The recess 50 may be disposed between the first opening 32 and the second opening 34 .

상기 리세스(50)는 상기 반도체소자(20) 아래에 배치될 수 있다.The recess 50 may be disposed under the semiconductor device 20 .

또한, 상기 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24) 사이에 배치되는 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)의 경사면은 상기 리세스(50)와 수직으로 중첩될 수 있다.In addition, inclined surfaces of the first opening 32 and the second opening 34 disposed between the first bonding unit 22 and the second bonding unit 24 may vertically overlap the recess 50 . can

상기 리세스(50)는 상기 몸체(10)의 상면에서 하면 방향으로 오목하게 배치될 수 있다.The recess 50 may be concavely disposed in a direction from an upper surface to a lower surface of the body 10 .

상기 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24) 사이의 수평방향 거리(W7) 대비 리세스의 수평방향 폭(W4)은 0.2:1 이상 내지 1:1 미만일 수 있다.The horizontal width W4 of the recess relative to the horizontal distance W7 between the first bonding part 22 and the second bonding part 24 may be 0.2:1 or more and less than 1:1.

상기 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24) 사이의 수평방향 거리(W7)를 제1거리(W7)라고 했을 때, 제1거리(W7) 대비 리세스의 수평방향 폭(W4)이 0.2:1 이상인 경우, 반도체소자(20)와 몸체(10)사이의 고정력을 향상시켜, 반도체소자패키지의 신뢰성을 확보할 수 있다.When the horizontal distance W7 between the first bonding part 22 and the second bonding part 24 is the first distance W7, the horizontal width W4 of the recess compared to the first distance W7 ) is 0.2:1 or more, by improving the fixing force between the semiconductor device 20 and the body 10, it is possible to secure the reliability of the semiconductor device package.

수평방향 거리(W7) 대비 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)이 1 : 1 미만인 경우, 반도체소자패키지의 광추출특성을 향상시킬 수 있다.When the horizontal width W4 of the recess 50 is less than 1:1 compared to the horizontal distance W7, the light extraction characteristics of the semiconductor device package may be improved.

상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)은 50um 이상 내지 300um이하일 수 있다. The horizontal width W4 of the recess 50 may be 50 μm or more and 300 μm or less.

상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)이 50um이상인 경우, 반도체소자(20)와 몸체(10)사이의 고정력을 향상시켜, 반도체소자패키지의 신뢰성을 확보할 수 있다.When the horizontal width W4 of the recess 50 is 50 μm or more, the fixing force between the semiconductor device 20 and the body 10 is improved, so that the reliability of the semiconductor device package can be secured.

상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)이 300um이하인 경우, 상기 반도체소자패키지의 공정 수율을 향상시킬 수 있다.When the horizontal width W4 of the recess 50 is 300 μm or less, the process yield of the semiconductor device package may be improved.

상기 리세스(50)의 두께(d1)는 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 두께(d2)에 비해 작게 구성된다.The thickness d1 of the recess 50 is configured to be smaller than the thickness d2 of the first opening 32 and the second opening 34 .

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)의 두께(d2)는 50um 이상 내지 300um일 수 있다.A thickness d2 of the first opening 32 and the second opening 34 may be 50 μm or more to 300 μm.

상기 리세스(50)의 두께(d1)는 0um 초과 내지 250um 이하일 수 있다.The thickness d1 of the recess 50 is greater than 0um to 250 μm or less.

상기 리세스(50)의 두께(d1)가 0um 초과인 경우, 상기 몸체(10)와 반도체소자 (20)사이의 고정력이 향상되어, 상기 반도체소자패키지의 신뢰성을 확보할 수 있다.When the thickness d1 of the recess 50 is greater than 0 μm, the fixing force between the body 10 and the semiconductor device 20 is improved, so that the reliability of the semiconductor device package can be secured.

상기 리세스(50)의 두께(d1)가 250um 이하인 경우, 상기 리세스(50)가 개구부(30)과 닿는 것을 방지하여, 상기 리세스(50)의 손상을 막을 수 있다.When the thickness d1 of the recess 50 is 250 μm or less, the recess 50 is prevented from coming into contact with the opening 30 to prevent damage to the recess 50 .

또한, 상기 리세스(50)의 두께(d1)는 상기 접착제(60)의 접착력을 고려하여 결정될 수 있다.Also, the thickness d1 of the recess 50 may be determined in consideration of the adhesive force of the adhesive 60 .

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)의 두께(d2) 대비 리세스(50)의 두께(d1)는 0 초과 내지 5/6 이하일 수 있다. The thickness d1 of the recess 50 compared to the thickness d2 of the first opening 32 and the second opening 34 may be greater than 0 to 5/6 or less.

상기 리세스(50)의 두께(d1)는 제1두께, 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)의 두께(d2)를 제2두께라고 했을 때, Assuming that the thickness d1 of the recess 50 is a first thickness, and the thickness d2 of the first opening 32 and the second opening 34 is a second thickness,

제2두께(d2) 대비 제1두께(d1)가 0 초과인 경우, 상기 리세스(50)가 배치됨으로써, 반도체소자패키지의 신뢰성을 확보할 수 있다.When the first thickness d1 compared to the second thickness d2 is greater than 0, the recess 50 is disposed to secure the reliability of the semiconductor device package.

제2두께(d2) 대비 제1두께(d1)가 5/6 이하인 경우, 상기 개구부(30)의 방열특성이 향상될 수 있다.When the first thickness d1 compared to the second thickness d2 is 5/6 or less, the heat dissipation characteristic of the opening 30 may be improved.

상기 리세스(50) 내에 접착제(60)가 배치될 수 있다.An adhesive 60 may be disposed in the recess 50 .

상기 접착제(60)는 상기 반도체소자(20) 하면과 상기 몸체(10) 상면 사이에 배치될 수 있다.The adhesive 60 may be disposed between the lower surface of the semiconductor device 20 and the upper surface of the body 10 .

상기 접착제(60)는 상기 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24) 사이에 배치될 수 있다.The adhesive 60 may be disposed between the first bonding unit 22 and the second bonding unit 24 .

상기 접착제(60)는 상기 제1본딩부(22)의 내측면 및 제2본딩부(24)의 내측면과 접촉될 수 있다.The adhesive 60 may be in contact with the inner surface of the first bonding unit 22 and the inner surface of the second bonding unit 24 .

상기 접착제(60)는 상기 몸체(10) 상면에 직접 접촉될 수 있다. The adhesive 60 may be in direct contact with the upper surface of the body 10 .

또한, 상기 접착제(60)는 상기 반도체소자(20)의 일면에 직접 접촉되어 배치될 수 있다.In addition, the adhesive 60 may be disposed in direct contact with one surface of the semiconductor device 20 .

따라서, 상기 접착제(60)는 상기 반도체소자(20)와 몸체(10) 간의 안정적인 고정력을 제공할 수 있다. Accordingly, the adhesive 60 may provide a stable fixing force between the semiconductor device 20 and the body 10 .

상기 반도체소자(20)의 하면으로 광이 방출되는 경우, 상기 접착제(60)는 상기 반도체소자(20)와 상기 몸체(10) 사이에서 광확산 기능을 할 수 있다. When light is emitted to the lower surface of the semiconductor device 20 , the adhesive 60 may function to diffuse light between the semiconductor device 20 and the body 10 .

또한, 상기 접착제(60)는 광 확산 기능을 수행함으로써 상기 반도체소자패키지의 광변환효율을 향상할 수 있다.In addition, the adhesive 60 may improve the light conversion efficiency of the semiconductor device package by performing a light diffusion function.

상기 접착제(60)는 에폭시(epoxy) 계열의 물질, 실리콘(silicone)계열의 물질, 에폭시 계열의 물질, 실리콘 계열의 물질을 포함하는 하이브리드(hybrid) 물질 중에서 적어도 하나 이상을 포함할 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The adhesive 60 may include at least one of an epoxy-based material, a silicone-based material, an epoxy-based material, and a hybrid material including a silicone-based material, but is limited thereto. don't do it

몰딩부재(70)는 반도체소자(20) 상에 배치될 수 있다. 상기 몰딩부재(70)는 상기 몸체(10) 상에 배치될 수 있다.The molding member 70 may be disposed on the semiconductor device 20 . The molding member 70 may be disposed on the body 10 .

상기 몰딩부재(70)의 외측면은 상기 몸체(10)의 외측면과 동일 평면 상에 배치될 수 있다.The outer surface of the molding member 70 may be disposed on the same plane as the outer surface of the body 10 .

상기 반도체소자(20) 측면과 상기 몰딩부재(70) 외측면 사이의 수평방향 거리(W8)는 50um 이상 내지 200um 이하일 수 있다.The horizontal distance W8 between the side surface of the semiconductor device 20 and the outer surface of the molding member 70 may be 50 μm or more and 200 μm or less.

상기 반도체소자(20) 측면과 상기 몰딩부재(70) 외측면 사이의 수평방향 거리(W8)가 50um이상인 경우, 상기 몰딩부재(70)의 손상(Crack)을 방지할 수 있다.When the horizontal distance W8 between the side surface of the semiconductor device 20 and the outer surface of the molding member 70 is 50 μm or more, cracking of the molding member 70 can be prevented.

상기 반도체소자(20) 측면과 상기 몰딩부재(70) 외측면 사이의 수평방향 거리(W8)가 200um 이하인 경우, 상기 반도체소자패키지의 공정수율을 확보할 수 있다.When the horizontal distance W8 between the side surface of the semiconductor device 20 and the outer surface of the molding member 70 is 200 μm or less, the process yield of the semiconductor device package can be secured.

상기 몰딩부재(70)는 반도체소자(20)에서 상기 몰딩부재(70)로 입사된 광이 외부로 방출되는 경우, 상기 몰딩부재(70)에서 외부로 방출되는 광의 파장을 변환할 수 있다. The molding member 70 may convert the wavelength of the light emitted from the molding member 70 to the outside when the light incident on the molding member 70 from the semiconductor device 20 is emitted to the outside.

상기 몰딩부재(70)는 파장변환물질이 함유된 고분자수지로 이루어질 수 있다.The molding member 70 may be made of a polymer resin containing a wavelength conversion material.

상기 고분자 수지는 투과성 에폭시 수지, 실리콘 수지. 폴리이미드 수지, 요소 수지 및 아크릴 수지 중 하나 이상을 포함할 수 있으나 이에 한정하지는 않는다. 상기 파장변환물질은 형광체일 수 있다. 상기 파장변환물질은 황화물계, 산화물계 또는 질화물계 화합물 중 하나 이상을 포함할 수 있으나 이에 한정하지는 않는다. The polymer resin is a permeable epoxy resin, a silicone resin. It may include at least one of polyimide resin, urea resin, and acrylic resin, but is not limited thereto. The wavelength conversion material may be a phosphor. The wavelength conversion material may include at least one of a sulfide-based compound, an oxide-based compound, or a nitride-based compound, but is not limited thereto.

상기 형광체는 사용자가 원하는 색을 구현하기 위해 다양하게 선택될 수 있다.The phosphor may be variously selected to realize a color desired by a user.

예를 들어, 반도체소자(20)가 자외선 파장대의 광을 방출하는 경우 형광체는 녹색 형광체, 청색 형광체 및 적색 형광체가 선정될 수 있다. 반도체소자(20)가 청색 파장 대의 광을 방출하는 경우 형광체는 황색 형광체 또는 적색형광체 및 녹색형광체의 조합 또는 황색형광체, 적색형광체 및 녹색형광체의 조합이 선정될 수 있다.For example, when the semiconductor device 20 emits light in an ultraviolet wavelength band, a green phosphor, a blue phosphor, and a red phosphor may be selected as the phosphor. When the semiconductor device 20 emits light in a blue wavelength band, a yellow phosphor, a combination of a red phosphor and a green phosphor, or a combination of a yellow phosphor, a red phosphor, and a green phosphor may be selected as the phosphor.

상기 몰딩부재(70)는 복수의 층으로 구성될 수 있다.The molding member 70 may be composed of a plurality of layers.

상기 몰딩부재(70)는 파장변환물질을 포함하는 제1층 및 제1층 하부에서 반도체소자 측면에 배치되는 제2층(미도시)을 포함할 수 있다.The molding member 70 may include a first layer including a wavelength conversion material and a second layer (not shown) disposed on the side of the semiconductor device under the first layer.

상기 제2층은 투명수지로 구성될 수 있다.The second layer may be made of a transparent resin.

상기 수지는 에폭시 수지, 실리콘 수지, 폴리이미드 수지, 요소 수지 및 아크릴 수지 중 하나 이상일 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The resin may be one or more of an epoxy resin, a silicone resin, a polyimide resin, a urea resin, and an acrylic resin, but is not limited thereto.

상기 제2층(미도시)은 상기 반도체소자(20)의 굴절률과 다른 굴절률을 가질 수 있고, 상기 제2층의 굴절률은 상기 반도체소자(20)의 굴절률 이하의 굴절률을 가질 수 있다.The second layer (not shown) may have a refractive index different from that of the semiconductor device 20 , and the refractive index of the second layer may have a refractive index equal to or less than that of the semiconductor device 20 .

상기 몰딩부재(70)는 제3층(미도시)을 더 포함할 수 있다.The molding member 70 may further include a third layer (not shown).

상기 제3층(미도시)은 반사물질을 포함한 수지로 구성될 수 있다.The third layer (not shown) may be made of a resin including a reflective material.

상기 반사물질은 TiO2 또는 SiO2 일 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The reflective material may be TiO2 or SiO2, but is not limited thereto.

상기 수지는 에폭시 수지, 실리콘 수지, 폴리이미드 수지, 요소 수지 및 아크릴 수지 중 하나 이상일 수 있으나 이에 한정하지는 않는다. The resin may be one or more of an epoxy resin, a silicone resin, a polyimide resin, a urea resin, and an acrylic resin, but is not limited thereto.

상기 제3층은 제2층을 감싸며 배치될 수 있다.The third layer may be disposed to surround the second layer.

도 3을 참조하여, 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)이 포함하는 제1각(θ1)과 제2각(θ2)에 대해 설명한다.The first angle θ1 and the second angle θ2 included in the first opening 32 and the second opening 34 will be described with reference to FIG. 3 .

제1개구부(32) 및 제2개구부(34)는 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 하면에 대하여 내측면 사이의 제1각(θ1)과 외측면 사이에 제2각(θ2)을 포함하며, 상기 제1각(θ1) 및 제2각(θ2)을 통해 상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)을 조절할 수 있다.The first opening 32 and the second opening 34 have a first angle θ1 between the inner surface and a second angle θ1 between the outer surface with respect to the lower surfaces of the first opening 32 and the second opening 34. θ2), and the horizontal width W4 of the recess 50 may be adjusted through the first angle θ1 and the second angle θ2.

상기 제1각(θ1)이 제2각(θ2)보다 더 작은 각도를 포함하는 경우, 상기 제1각(θ1)이 제2각(θ2)과 같은 각도를 포함하는 경우보다 상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)은 증가될 수 있다.When the first angle θ1 includes an angle smaller than the second angle θ2, the recess 50 is greater than when the first angle θ1 includes the same angle as the second angle θ2. ), the horizontal width W4 may be increased.

상기 몸체(10)와 반도체소자(20)를 고정하기 위한 접착제(60)가 배치되는 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)을 확보하기 위해 제1각(θ1)은 제2각(θ2)보다 같거나 작은 각도일 수 있다.In order to secure the horizontal width W4 of the recess 50 in which the adhesive 60 for fixing the body 10 and the semiconductor device 20 is disposed, the first angle θ1 is the second angle θ2 ) can be equal to or smaller than the angle.

상기 제1각(θ1)이 제2각(θ2)보다 더 작은 각도를 포함하는 경우, 상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)은 상기 제1각(θ1)이 제2각(θ2)과 같은 각도일 때보다 증가할 수 있다.When the first angle θ1 includes an angle smaller than the second angle θ2, the horizontal width W4 of the recess 50 is determined such that the first angle θ1 is the second angle θ2 ) can be increased compared to the case of the same angle.

상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)이 증가함에 따라 상기 리세스(50) 내에 배치되는 접착제(60)가 배치되는 공간이 증가하게 되므로, 상기 몸체(10)와 반도체소자(20) 사이의 고정력이 향상될 수 있다.As the horizontal width W4 of the recess 50 increases, the space in which the adhesive 60 disposed in the recess 50 is disposed increases, so that the body 10 and the semiconductor device 20 The fixing force between them may be improved.

또한, 상기 제1각(θ1) 및 제2각(θ2)을 통해, 상기 리세스(50)의 두께(d1)를 조절할 수 있다.Also, the thickness d1 of the recess 50 may be adjusted through the first angle θ1 and the second angle θ2 .

상기 제1각(θ1)이 제2각(θ2)보다 더 작은 각도를 포함하는 경우, 상기 리세스(50)는 상기 리세스(50) 내에 배치되는 접착제(60)를 통해 상기 반도체소자(20)의 하면에서 방출되는 빛이 충분히 반사될 수 있는 두께를 확보할 수 있다.When the first angle θ1 includes an angle smaller than the second angle θ2 , the recess 50 is connected to the semiconductor device 20 through the adhesive 60 disposed in the recess 50 . ), it is possible to secure a thickness that can sufficiently reflect the light emitted from the lower surface.

또한, 상기 반사율을 확보할 수 있는 리세스(50)의 두께(d1)를 확보함에 따라, 상기 리세스(50) 내에 배치되는 접착제(60)가 상기 반도체소자(20) 하면에서 방출되는 빛을 변환시킬 수 있는 광 변환율을 확보할 수 있다. In addition, as the thickness d1 of the recess 50 that can ensure the reflectivity is secured, the adhesive 60 disposed in the recess 50 absorbs light emitted from the lower surface of the semiconductor device 20 . A light conversion rate that can be converted can be secured.

따라서, 상기 리세스(50)는 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)의 제1각(θ1) 및 제2각(θ2)에 의해 상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)과 두께(d1)가 조절될 수 있다.Accordingly, the recess 50 has a horizontal width W4 of the recess 50 by the first angle θ1 and the second angle θ2 of the first opening 32 and the second opening 34 . ) and the thickness d1 can be adjusted.

상기 리세스(50)의 두께(d1)와 수평방향의 폭(W4)은 접착제(60)를 통해 상기 몸체(10)와 상기 반도체소자(20)의 고정력을 확보할 수 있는 범위 내에서 고려될 수 있다.The thickness d1 of the recess 50 and the width W4 in the horizontal direction may be considered within a range capable of securing the fixing force between the body 10 and the semiconductor device 20 through the adhesive 60 . can

한편, 상기 리세스(50)의 외측면 끝단과 상기 제1개구부(32)의 내측면 및 제2개구부(34)의 내측면 사이의 수평방향의 거리(W6)는 50um 이상 내지 150um 이하일 수 있다.Meanwhile, the horizontal distance W6 between the outer end of the recess 50 and the inner surface of the first opening 32 and the inner surface of the second opening 34 may be 50 μm or more and 150 μm or less. .

상기 리세스(50)의 외측면과 상기 제1개구부(32)의 내측면 및 제2개구부(34)의 내측면 사이의 수평방향의 거리(W6)이 50um이상일 경우, 상기 리세스(50)와 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)와의 접촉을 방지하여, 상기 리세스(50)의 손상을 막을 수 있다.When the horizontal distance W6 between the outer surface of the recess 50 and the inner surface of the first opening 32 and the inner surface of the second opening 34 is 50 μm or more, the recess 50 and the first opening 32 and the second opening 34 are prevented from coming into contact with each other, thereby preventing damage to the recess 50 .

상기 리세스(50)의 외측면과 상기 제1개구부(32)의 내측면 및 제2개구부(34)의 내측면 사이의 수평방향의 거리(W6)가 150um 이하일 경우, 상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)을 일정거리 이상을 확보하게 되어, 상기 리세스(50) 내에 배치되는 접착제(60)를 통해 몸체(10)와 반도체소자(20)를 단단히 고정할 수 있다.When the horizontal distance W6 between the outer surface of the recess 50 and the inner surface of the first opening 32 and the inner surface of the second opening 34 is 150 μm or less, the recess 50 By securing a horizontal width W4 of a certain distance or more, the body 10 and the semiconductor device 20 can be firmly fixed through the adhesive 60 disposed in the recess 50 .

상기 수평방향의 거리 범위 내에서 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)의 제1각(θ1) 및 제2각(θ2)을 조절할 수 있다. The first angle θ1 and the second angle θ2 of the first opening 32 and the second opening 34 may be adjusted within the horizontal distance range.

도 4를 참조하여, 제1실시예에 따른 반도체소자패키지제조방법을 설명하고자 한다.A method of manufacturing a semiconductor device package according to the first embodiment will be described with reference to FIG. 4 .

제1실시예에 따른 반도체소자패키지 제조방법을 설명하는 데 있어서, 도 1 내지 도 3를 참조하여 설명된 내용과 중복되는 구성에 대해서는 상세한 설명은 생략한다.In describing the method of manufacturing the semiconductor device package according to the first embodiment, detailed descriptions of the components overlapping those described with reference to FIGS. 1 to 3 will be omitted.

제1실시예에 따른 반도체소자패키지제조방법은 칩 스케일 패키지(chip scale package) 공정이 적용된다.The semiconductor device package manufacturing method according to the first embodiment is applied to a chip scale package (chip scale package) process.

먼저 도 4(a)를 참조하면, 기판 상에 몸체(10)가 배치될 수 있다.First, referring to FIG. 4A , the body 10 may be disposed on a substrate.

상기 기판 상에 몸체(10)가 하나만 제공되는 것을 예로서 설명하나, 이에 한정하지 않고, 복수 개의 몸체(10)가 배치될 수 있다.It is described as an example that only one body 10 is provided on the substrate, but the present invention is not limited thereto, and a plurality of bodies 10 may be disposed.

하나 또는 하나 이상의 몸체(10)는 사출 공정 등을 통하여 기판 상에 배치될 수 있다.One or more bodies 10 may be disposed on the substrate through an injection process or the like.

상기 기판은 폴리이미드 계열 수지, 유리, 아크릴 계열 수지, 에폭시 계열 수지, 실리콘 계열 수지 등 적어도 하나 이상을 포함할 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The substrate may include at least one or more of a polyimide-based resin, glass, an acrylic-based resin, an epoxy-based resin, and a silicone-based resin, but is not limited thereto.

기판은 사파이어 기판, 인쇄회로기판, 세라믹 기판 및 반도체 기판 중 하나일 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The substrate may be one of a sapphire substrate, a printed circuit board, a ceramic substrate, and a semiconductor substrate, but is not limited thereto.

상기 몸체(10)는 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 몸체(10)는 리세스(50)를 포함할 수 있다.The body 10 may include a first opening 32 and a second opening 34 . Also, the body 10 may include a recess 50 .

상기 제1개구부(32)는 상기 몸체(10)를 관통하여 배치할 수 있다. 상기 제1개구부(32)는 상기 몸체(10)의 상면과 하면을 관통하여 배치될 수 있다.The first opening 32 may be disposed through the body 10 . The first opening 32 may be disposed through the upper and lower surfaces of the body 10 .

상기 제2개구부(34)는 상기 몸체(10)를 관통하여 배치될 수 있다. 상기 제2개구부(34)는 상기 몸체(10)의 상면과 하면을 관통하여 배치될 수 있다.The second opening 34 may be disposed through the body 10 . The second opening 34 may be disposed to penetrate through the upper and lower surfaces of the body 10 .

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)는 상기 몸체(10) 내에서 서로 이격되어 배치될 수 있다.The first opening 32 and the second opening 34 may be disposed to be spaced apart from each other in the body 10 .

상기 리세스(50)는 상기 몸체(10)에 배치될 수 있다. 상기 리세스(50)는 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 사이에 배치될 수 있다.The recess 50 may be disposed in the body 10 . The recess 50 may be disposed between the first opening 32 and the second opening 34 .

상기 리세스(50)는 상기 몸체(10)의 상면에서 하면 방향으로 오목하게 배치될 수 있다.The recess 50 may be concavely disposed in a direction from an upper surface to a lower surface of the body 10 .

도 4(b)를 참조하면, 상기 리세스(50) 내에 접착제(60)가 배치된다.Referring to FIG. 4B , an adhesive 60 is disposed in the recess 50 .

상기 접착제(60)는 상기 리세스(50) 내에 도팅(doting) 방식 등을 통하여 배치될 수 있다.The adhesive 60 may be disposed in the recess 50 through a doting method or the like.

상기 접착제(60)는 상기 리세스(50) 내에 일정량 배치될 수 있으며, 상기 리세스(50)를 벗어나 넘치도록 배치될 수 있다.The adhesive 60 may be disposed in a predetermined amount in the recess 50 , and may be disposed to overflow out of the recess 50 .

상기 리세스(50) 내에 도포된 상기 접착제(60)는 모세관 현상 등을 통하여 상기 반도체소자(20)의 하부영역으로 이동될 수 있다.The adhesive 60 applied in the recess 50 may be moved to the lower region of the semiconductor device 20 through a capillary phenomenon or the like.

상기 반도체소자(20)의 하부영역은 제1본딩부(32) 및 제2본딩부(34) 사이의 영역일 수 있다.The lower region of the semiconductor device 20 may be a region between the first bonding portion 32 and the second bonding portion 34 .

도 4(c)를 참조하면, 상기 몸체(10) 상에 반도체소자(20)가 배치될 수 있다.Referring to FIG. 4C , a semiconductor device 20 may be disposed on the body 10 .

상기 몸체(10) 상에 배치되는 공정에서 상기 리세스(50)는 일종의 정렬키(align key) 역할을 수행할 수 있다.In the process of being disposed on the body 10 , the recess 50 may serve as a kind of align key.

상기 반도체소자(20)는 상기 접착제(60)에 의하여 몸체(10)에 고정될 수 있다.The semiconductor device 20 may be fixed to the body 10 by the adhesive 60 .

상기 제1개구부(32)는 상기 반도체소자(20)의 제1본딩부(22) 일면에 배치될 수 있다. The first opening 32 may be disposed on one surface of the first bonding part 22 of the semiconductor device 20 .

상기 제1개구부(32)는 상기 반도체소자(20)의 제1본딩부(22)과 수직방향으로 중첩되어 배치될 수 있다. The first opening 32 may be vertically overlapped with the first bonding portion 22 of the semiconductor device 20 .

제2개구부(34)는 상기 반도체소자(20)의 제2본딩부(24) 일면에 배치될 수 있다. 상기 제2개구부(34)는 상기 반도체소자(20)의 제2본딩부(24)과 수직방향으로 중첩되어 배치될 수 있다.The second opening 34 may be disposed on one surface of the second bonding part 24 of the semiconductor device 20 . The second opening 34 may be vertically overlapped with the second bonding portion 24 of the semiconductor device 20 .

상기 제1개구부(32)를 통하여 상기 제1본딩부(22)의 일면이 노출될 수 있다. 또한, 상기 제2개구부(34)를 통하여 상기 제2본딩부(24)의 일면이 노출될 수 있다.One surface of the first bonding part 22 may be exposed through the first opening 32 . In addition, one surface of the second bonding part 24 may be exposed through the second opening 34 .

도 4(d)를 참조하면, 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)에 도전물질을 배치하여 상기 제1도전층(42) 및 제2도전층(44)이 배치될 수 있다.Referring to FIG. 4D , the first conductive layer 42 and the second conductive layer 44 may be disposed by disposing a conductive material in the first opening 32 and the second opening 34 . .

상기 제1도전층(42) 및 제2도전층(44)를 배치하기 위해, 기판은 제거될 수 있다.In order to dispose the first conductive layer 42 and the second conductive layer 44 , the substrate may be removed.

상기 제1도전층(42) 및 제2도전층(44)를 배치하기 위해, 상기 반도체소자(20)가 배치된 몸체(10)를 뒤집어서 공정을 진행할 수 있다.In order to arrange the first conductive layer 42 and the second conductive layer 44 , the process may be performed by turning the body 10 on which the semiconductor device 20 is disposed.

상기 제1도전층(42) 및 제2도전층(44)은 도전성 페이스트로 구성될 수 있다. 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 내에 도전성 페이스트가 도포될 수 있다.The first conductive layer 42 and the second conductive layer 44 may be formed of a conductive paste. A conductive paste may be applied in the first opening 32 and the second opening 34 .

상기 도전성 페이스트는 Ag, Au,, Pt 등 적어도 하나의 물질 또는 합금을 포함할 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The conductive paste may include at least one material or alloy such as Ag, Au, and Pt, but is not limited thereto.

도 4(e)를 참조하면, 상기 반도체소자(20) 상에 몰딩부재(70)가 배치될 수 있다.Referring to FIG. 4E , a molding member 70 may be disposed on the semiconductor device 20 .

파장변환물질을 포함한 수지물질을 디스펜서(dispenser)를 통해 반도체소자(20) 및 몸체(10) 상에 몰딩부재(70)가 배치될 수 있다.The molding member 70 may be disposed on the semiconductor device 20 and the body 10 through a dispenser of a resin material including a wavelength conversion material.

또는, 파장변환물질을 포함한 수지필름이 상기 반도체소자(20) 상에 배치될 수 있다.Alternatively, a resin film including a wavelength conversion material may be disposed on the semiconductor device 20 .

열과 압력공정을 통해 수지필름을 반도체소자(20) 및 몸체(10) 상에 부착시킴으로써, 몰딩부재(70)가 배치될 수 있다.By attaching a resin film to the semiconductor device 20 and the body 10 through a heat and pressure process, the molding member 70 may be disposed.

예를 들어, 상기 몰딩부재(70)는 수지필름(film)을 라미네이션(Lamination) 공정을 통해 반도체소자(20) 및 몸체(10) 상에 배치될 수 있다.For example, the molding member 70 may be disposed on the semiconductor device 20 and the body 10 through a resin film lamination process.

상기 라미네이션 공정을 통해 수지필름(film)을 가열, 가압을 통해 반도체소자(20) 및 몸체(10) 상에 부착될 수 있다.Through the lamination process, a resin film may be attached to the semiconductor device 20 and the body 10 by heating and pressing.

상기 수지필름은 결합기로만 구성되는 실리콘을 포함할 수 있다. The resin film may include silicone composed of only a bonding group.

상기 실리콘은 결합이 되지 못한 성분이 없기 때문에, 수지가 열에 의해 변색되거나 손상이 발생되지 않는다.Since the silicone has no unbonded components, the resin is not discolored or damaged by heat.

온도와 가압압력 및 가압시간을 조절하면 상기 반도체소자(20) 및 몸체(10)와 수지필름(film)사이에 라미네이션이 진행되어, 반도체소자(20)를 둘러싸는 몰딩부재(70)가 배치될 수 있다. When the temperature, pressurization pressure, and pressurization time are adjusted, lamination proceeds between the semiconductor element 20 and the body 10 and the resin film, so that the molding member 70 surrounding the semiconductor element 20 is disposed. can

하나의 반도체소자(20) 상에 수지필름(film)이 라미네이션 되어 몰딩부재(70)가 배치된 반도체소자패키지가 제조될 수 있다.A resin film is laminated on one semiconductor device 20 to manufacture a semiconductor device package in which the molding member 70 is disposed.

또한, 기판 상에 다수의 반도체소자(20) 상에 실리콘 필름이 라미네이션 되어 형성된 몰딩부재(70)로 구성되는 반도체소자어레이가 제조될 수 있다.In addition, a semiconductor device array including a molding member 70 formed by laminating a silicon film on a plurality of semiconductor devices 20 on a substrate may be manufactured.

이후, 반도체소자어레이를 대상으로 절단공정이 수행되어, 반도체소자(20)가 개별적으로 제조될 수 있다. 이와 같이 절단된 개별적인 반도체소자(20)에서 반도체소자(20)의 모서리는 각이 질 수 있다.Thereafter, a cutting process is performed on the semiconductor device array, so that the semiconductor device 20 can be individually manufactured. In the individual semiconductor device 20 cut in this way, the edge of the semiconductor device 20 may be angled.

도 4(f)를 참조하면, 기판이 제거됨으로써 본 발명의 제1실시예에 따른 반도체소자패키지가 제공될 수 있다.Referring to FIG. 4(f) , the semiconductor device package according to the first embodiment of the present invention may be provided by removing the substrate.

도 4를 참조하여 설명된 바와 같이, 실시예에 따른 반도체소자패키지 제조방법에 의하면 반도체소자패키지의 신뢰성이 향상되고, 라미네이션(Lamination) 공정을 적용함에 따라 수지가 변색되고 크랙(Crack) 이 발생되는 문제점을 해결할 수 있다.As described with reference to FIG. 4, according to the method for manufacturing a semiconductor device package according to the embodiment, the reliability of the semiconductor device package is improved, and as a lamination process is applied, the resin is discolored and cracks are generated. problem can be solved.

또한, 반도체소자패키지의 수율이 향상될 수 있다.In addition, the yield of the semiconductor device package may be improved.

도 5를 참조하여 제2실시예에 따른 반도체소자패키지를 설명한다.A semiconductor device package according to a second embodiment will be described with reference to FIG. 5 .

도 5에 도시된 제2실시예에 따른 반도체소자패키지를 설명함에 있어서, 도1 내지 도 3를 참조하여 설명된 내용과 중복되는 구성에 대해서는 설명을 생략한다.In the description of the semiconductor device package according to the second embodiment shown in FIG. 5 , descriptions of configurations overlapping those described with reference to FIGS. 1 to 3 will be omitted.

제2실시예에 따른 반도체소자(20)는 수직형 발광소자일 수 있다.The semiconductor device 20 according to the second embodiment may be a vertical light emitting device.

상기 반도체소자(20)는 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24)를 포함할 수 있다.The semiconductor device 20 may include a first bonding unit 22 and a second bonding unit 24 .

상기 몸체(10) 상에 제1개구부(32), 제2개구부(34), 제1도전층(42), 제2도전층(44), 리세스(50) 및 접촉층(80)이 배치될 수 있다.A first opening 32 , a second opening 34 , a first conductive layer 42 , a second conductive layer 44 , a recess 50 and a contact layer 80 are disposed on the body 10 . can be

상기 몸체(10), 제1개구부(34), 제2개구부(34), 제1도전층(42), 제2도전층(44), 리세스(50), 접착제(60) 및 몰딩부재(70)는 제1실시예에 따른 반도체소자패키지와 같은 구성이므로, 상세한 설명을 생략한다.The body 10, the first opening 34, the second opening 34, the first conductive layer 42, the second conductive layer 44, the recess 50, the adhesive 60, and a molding member ( 70) has the same configuration as the semiconductor device package according to the first embodiment, and thus a detailed description thereof will be omitted.

상기 제1개구부(32) 상부의 수평방향 폭(W1)은 상기 제1본딩부(22)의 수평방향 폭(W2)에 비해 클 수 있다.A horizontal width W1 of an upper portion of the first opening 32 may be greater than a horizontal width W2 of the first bonding portion 22 .

상기 제2개구부(34) 상부의 수평방향 폭(W1)은 상기 제2본딩부(24)의 수평방향 폭(W2)에 비해 클 수 있다.A horizontal width W1 of an upper portion of the second opening 34 may be greater than a horizontal width W2 of the second bonding portion 24 .

접촉층(80)은 제1접촉층(82) 및 제2접촉층(84)을 포함할 수 있다. The contact layer 80 may include a first contact layer 82 and a second contact layer 84 .

제1접촉층(82)은 상기 제1개구부(32) 상부에 배치될 수 있다. 제1접촉층(820)은 상기 제1본딩부(22) 및 제1개구부(32) 사이에 배치될 수 있다. The first contact layer 82 may be disposed on the first opening 32 . The first contact layer 820 may be disposed between the first bonding portion 22 and the first opening 32 .

제2접촉층(84)은 상기 제2개구부(34) 상부에 배치될 수 있다. 제2접촉층(84)은 상기 제2본딩부(24) 및 제2개구부(34) 사이에 배치될 수 있다.The second contact layer 84 may be disposed on the second opening 34 . The second contact layer 84 may be disposed between the second bonding portion 24 and the second opening 34 .

제2실시예에 따른 반도체소자패키지는 상기 제1본딩부(22)의 수평방향 폭(W2)이 제1개구부(32)의 수평방향 폭(W1)보다 더 작기 때문에 제1접촉층(82)을 통해 반도체소자(20)로 주입되는 전류를 더 원활하게 할 수 있다.In the semiconductor device package according to the second embodiment, since the horizontal width W2 of the first bonding portion 22 is smaller than the horizontal width W1 of the first opening 32, the first contact layer 82 Through this, the current injected into the semiconductor device 20 may be more smoothly.

또한, 상기 제2본딩부(24)의 수평방향 폭(W2)이 제2개구부(34)의 수평방향 폭(W1)보다 더 작기 때문에 제2접촉층(84)을 통해 반도체소자(20)로 주입되는 전류를 더 원활하게 할 수 있다.In addition, since the horizontal width W2 of the second bonding portion 24 is smaller than the horizontal width W1 of the second opening 34, the semiconductor device 20 through the second contact layer 84. The injected current can be made more smoothly.

상기 제1접촉층(82) 수평방향의 폭(W5)은 제1본딩부(22)의 수평방향 폭(W2)보다 크고, 제1개구부(32)의 상부의 수평방향 폭(W1)보다 클 수 있다.The horizontal width W5 of the first contact layer 82 is greater than the horizontal width W2 of the first bonding portion 22 and greater than the horizontal width W1 of the upper portion of the first opening 32 . can

상기 제2접촉층(84)의 수평방향 폭(W5)은 제2본딩부(24)의 수평방향 폭(W2)보다 크고, 제2개구부(34)의 상부의 수평방향 폭(W1)보다 클 수 있다.The horizontal width W5 of the second contact layer 84 is greater than the horizontal width W2 of the second bonding portion 24 and greater than the horizontal width W1 of the upper portion of the second opening 34 . can

상기 제1접촉층(82) 및 제2접촉층(84)은 Ag, Au, Pt 등을 적어도 하나 이상의 물질로 구성될 수 있다. The first contact layer 82 and the second contact layer 84 may be formed of at least one material such as Ag, Au, Pt, or the like.

다만 이에 한정하지 않고, 전도성 기능을 확보할 수 있는 물질 중 적어도 하나 이상의 물질을 포함할 수 있다.However, the present invention is not limited thereto, and may include at least one material among materials capable of securing a conductive function.

상기 제1접촉층(82) 및 제2접촉층(84)은 도전성 페이스트로 구성될 수 있다.The first contact layer 82 and the second contact layer 84 may be formed of a conductive paste.

예를 들어, 상기 제1접촉층(82) 및 제2접촉층(84)은 솔더 페이스트(solder paste) 또는 실버 페이스트(silver paste) 등으로 구성될 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.For example, the first contact layer 82 and the second contact layer 84 may be formed of solder paste or silver paste, but is not limited thereto.

상기 제1접촉층(82)은 제1도전층(42)과 같은 물질로 구성될 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The first contact layer 82 may be made of the same material as the first conductive layer 42 , but is not limited thereto.

또한, 상기 제2접촉층(84)은 제2도전층(44)과 같은 물질로 구성될 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.In addition, the second contact layer 84 may be made of the same material as the second conductive layer 44, but is not limited thereto.

상기 접착제(60)는 상기 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24) 사이에 배치될 수 있다.The adhesive 60 may be disposed between the first bonding unit 22 and the second bonding unit 24 .

상기 접착제(60)는 상기 반도체소자(20) 하면과 상기 몸체(10) 상면 사이에 배치될 수 있다.The adhesive 60 may be disposed between the lower surface of the semiconductor device 20 and the upper surface of the body 10 .

상기 접착제(60)는 상기 제1본딩부(22) 및 제2본딩부(24) 사이에 배치될 수 있다.The adhesive 60 may be disposed between the first bonding unit 22 and the second bonding unit 24 .

상기 접착제(60)는 상기 제1본딩부(22)의 측면 및 제2본딩부(24)의 측면과 접촉될 수 있다.The adhesive 60 may be in contact with a side surface of the first bonding unit 22 and a side surface of the second bonding unit 24 .

상기 접착제(60)는 상기 제1접촉층(82) 및 제2접촉층(84) 사이에 배치될 수 있다.The adhesive 60 may be disposed between the first contact layer 82 and the second contact layer 84 .

상기 접착제(60)는 상기 제1접촉층(82)의 내측면 및 제2접촉층(84)의 내측면과 접촉될 수 있다.The adhesive 60 may be in contact with the inner surface of the first contact layer 82 and the inner surface of the second contact layer 84 .

상기 접착제(60)는 상기 몸체(10) 상면에 직접 접촉될 수 있다. The adhesive 60 may be in direct contact with the upper surface of the body 10 .

또한, 상기 접착제(60)는 상기 반도체소자(20)의 일면에 직접 접촉되어 배치될 수 있다.In addition, the adhesive 60 may be disposed in direct contact with one surface of the semiconductor device 20 .

따라서, 상기 접착제(60)는 상기 반도체소자(20)와 몸체(10) 간의 안정적인 고정력을 제공할 수 있다. Accordingly, the adhesive 60 may provide a stable fixing force between the semiconductor device 20 and the body 10 .

상기 반도체소자(20)의 하면으로 광이 방출되는 경우, 상기 접착제(60)는 상기 반도체소자(20)와 상기 몸체(10) 사이에서 광확산 기능을 할 수 있다. When light is emitted to the lower surface of the semiconductor device 20 , the adhesive 60 may function to diffuse light between the semiconductor device 20 and the body 10 .

또한, 상기 접착제(60)는 광 확산 기능을 수행함으로써 상기 반도체소자패키지의 광변환효율을 향상할 수 있다.In addition, the adhesive 60 may improve the light conversion efficiency of the semiconductor device package by performing a light diffusion function.

상기 접착제(60)는 에폭시(epoxy) 계열의 물질, 실리콘(silicone)계열의 물질, 에폭시 계열의 물질, 실리콘 계열의 물질을 포함하는 하이브리드(hybrid) 물질 중에서 적어도 하나 이상을 포함할 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The adhesive 60 may include at least one of an epoxy-based material, a silicone-based material, an epoxy-based material, and a hybrid material including a silicone-based material, but is limited thereto. don't

도 6은 제1개구부(32) 및 제2 개구부(34)가 포함하는 제1각(θ1)과 제2각(θ2)에 대해 설명하기 위한 도면이다.6 is a view for explaining the first angle θ1 and the second angle θ2 included in the first opening 32 and the second opening 34 .

제1개구부(32) 및 제2개구부(34)는 몸체(10)의 하면에 대하여 내측면 사이의 제1각(θ1) 및 외측면 사이에 제2각(θ2)을 포함하며, 상기 제1각(θ1) 및 제2각(θ2)을 통해 상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)을 조절할 수 있다. The first opening 32 and the second opening 34 include a first angle θ1 between the inner surfaces and a second angle θ2 between the outer surfaces with respect to the lower surface of the body 10, wherein the first The horizontal width W4 of the recess 50 may be adjusted through the angle θ1 and the second angle θ2 .

상기 제1각(θ1)이 제2각(θ2)보다 더 작은 각도를 포함하는 경우, 상기 제1각(θ1)이 제2각(θ2)과 같은 각도를 포함하는 경우보다 상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)은 증가될 수 있다.When the first angle θ1 includes an angle smaller than the second angle θ2, the recess 50 compared to the case where the first angle θ1 includes an angle equal to the second angle θ2 ), the horizontal width W4 may be increased.

상기 몸체(10)와 반도체소자(20)를 고정하기 위한 접착제(60)가 배치되는 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)을 확보하기 위해 제1각(θ1)은 제2각(θ2)보다 같거나 작은 각도일 수 있다.In order to secure the horizontal width W4 of the recess 50 in which the adhesive 60 for fixing the body 10 and the semiconductor device 20 is disposed, the first angle θ1 is the second angle θ2 ) can be equal to or less than the angle.

상기 제1각(θ1)이 제2각(θ2)보다 더 작은 각도를 포함하는 경우, 상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)은 상기 제1각(θ1)이 제2각(θ2)과 같은 각도일 때보다 증가할 수 있다.When the first angle θ1 includes an angle smaller than the second angle θ2, the horizontal width W4 of the recess 50 is determined such that the first angle θ1 is the second angle θ2 ) can be increased compared to the case of the same angle.

상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)이 증가함에 따라 상기 리세스(50) 내에 배치되는 접착제(60)가 배치되는 공간이 증가하게 되므로, 상기 몸체(10)와 반도체소자(20) 사이의 고정력이 향상될 수 있다.As the horizontal width W4 of the recess 50 increases, the space in which the adhesive 60 disposed in the recess 50 is disposed increases, so that the body 10 and the semiconductor device 20 The fixing force between them may be improved.

또한, 상기 제1각(θ1) 및 제2각(θ2)을 통해, 상기 리세스(50)의 두께(d1)를 조절할 수 있다.Also, the thickness d1 of the recess 50 may be adjusted through the first angle θ1 and the second angle θ2 .

상기 제1각(θ1)이 제2각(θ2)보다 더 작은 각도를 포함하는 경우, 상기 리세스(50)는 상기 리세스(50) 내에 배치되는 접착제(60)를 통해 상기 반도체소자(20)의 하면에서 방출되는 빛이 충분히 반사될 수 있는 두께를 확보할 수 있다.When the first angle θ1 includes an angle smaller than the second angle θ2 , the recess 50 is connected to the semiconductor device 20 through the adhesive 60 disposed in the recess 50 . ), it is possible to secure a thickness that can sufficiently reflect the light emitted from the lower surface.

또한, 상기 반사율을 확보할 수 있는 리세스(50)의 두께(d1)를 확보함에 따라, 상기 리세스(50) 내에 배치되는 접착제(60)가 상기 반도체소자(20) 하면에서 방출되는 빛을 변환시킬 수 있는 광 변환율을 확보할 수 있다. In addition, as the thickness d1 of the recess 50 that can ensure the reflectivity is secured, the adhesive 60 disposed in the recess 50 absorbs light emitted from the lower surface of the semiconductor device 20 . A light conversion rate that can be converted can be secured.

따라서, 상기 리세스(50)는 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)의 제1각(θ1) 및 제2각(θ2)에 의해 상기 리세스(50)의 수평방향 폭(W4)과 두께(d1)가 조절될 수 있다.Accordingly, the recess 50 has a horizontal width W4 of the recess 50 by the first angle θ1 and the second angle θ2 of the first opening 32 and the second opening 34 . ) and the thickness d1 can be adjusted.

상기 리세스(50)의 두께(d1)와 수평방향의 폭(W4)은 접착제(60)를 통해 상기 몸체(10)와 상기 반도체소자(20)의 고정력을 확보할 수 있는 범위 내에서 고려될 수 있다.The thickness d1 of the recess 50 and the width W4 in the horizontal direction may be considered within a range capable of securing the fixing force between the body 10 and the semiconductor device 20 through the adhesive 60 . can

한편, 상기 리세스(50)의 외측면 끝단과 상기 제1개구부(32)의 내측면 사이의 수평방향의 거리(W6)는 50um 이상 내지 150um 이하일 수 있다.Meanwhile, the horizontal distance W6 between the end of the outer surface of the recess 50 and the inner surface of the first opening 32 may be 50 μm or more to 150 μm or less.

상기 리세스(50)의 외측면과 상기 제1개구부(32)의 내측면 사이의 수평방향의 폭이 50um이상일 경우, 상기 리세스(50)와 제1개구부(32)과의 접촉을 방지하여, 상기 리세스(50)의 손상을 막을 수 있다.When the width in the horizontal direction between the outer surface of the recess 50 and the inner surface of the first opening 32 is 50 μm or more, contact between the recess 50 and the first opening 32 is prevented, , it is possible to prevent damage to the recess 50 .

상기 리세스(50)의 외측면과 상기 제1개구부(32)의 내측면 사이의 수평방향의 거리가 150um 이하일 경우, 상기 리세스(50) 폭을 일정거리 이상을 확보하게 되어, 상기 리세스(50) 내에 배치되는 접착제(60)를 통해 몸체(10)와 반도체소자(20)를 단단히 고정할 수 있다.When the horizontal distance between the outer surface of the recess 50 and the inner surface of the first opening 32 is 150 μm or less, the width of the recess 50 is secured by a certain distance or more, The body 10 and the semiconductor device 20 may be firmly fixed through the adhesive 60 disposed in the 50 .

상기 수평방향의 거리 범위 내에서 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)의 제1각(θ1) 및 제2각(θ2)을 조절할 수 있다. The first angle θ1 and the second angle θ2 of the first opening 32 and the second opening 34 may be adjusted within the horizontal distance range.

도 7를 참조하여, 제2실시예에 따른 반도체소자패키지제조방법을 설명하고자 한다.A method of manufacturing a semiconductor device package according to a second embodiment will be described with reference to FIG. 7 .

제2실시예에 따른 반도체소자패키지 제조방법을 설명하는 데 있어서, 도 1 내지 도 6를 참조하여 설명된 내용과 중복되는 구성에 대해서는 상세한 설명은 생략한다.In describing the method of manufacturing a semiconductor device package according to the second embodiment, a detailed description of the configuration overlapping with those described with reference to FIGS. 1 to 6 will be omitted.

제2실시예에 따른 반도체소자패키지제조방법은 칩 스케일 패키지(chip scale package) 공정이 적용된다.In the semiconductor device package manufacturing method according to the second embodiment, a chip scale package process is applied.

먼저 도 7(a)를 참조하면, 기판 상에 몸체(10)가 배치될 수 있다.First, referring to FIG. 7A , the body 10 may be disposed on a substrate.

상기 기판 상에 몸체(10)가 하나만 제공되는 것을 예로서 설명하나, 이에 한정하지 않고, 복수 개의 몸체(10)가 배치될 수 있다.It is described as an example that only one body 10 is provided on the substrate, but the present invention is not limited thereto, and a plurality of bodies 10 may be disposed.

하나 또는 하나 이상의 몸체(10)는 사출 공정 등을 통하여 기판 상에 배치될 수 있다.One or more bodies 10 may be disposed on the substrate through an injection process or the like.

상기 기판은 폴리이미드 계열 수지, 유리, 아크릴 계열 수지, 에폭시 계열 수지, 실리콘 계열 수지 등 적어도 하나 이상을 포함할 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The substrate may include at least one or more of a polyimide-based resin, glass, an acrylic-based resin, an epoxy-based resin, and a silicone-based resin, but is not limited thereto.

기판은 사파이어 기판, 인쇄회로기판, 세라믹 기판 및 반도체 기판 중 하나일 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The substrate may be one of a sapphire substrate, a printed circuit board, a ceramic substrate, and a semiconductor substrate, but is not limited thereto.

상기 몸체(10)는 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)을 포함할 수 있다. 또한, 상기 몸체(10)는 리세스(50)를 포함할 수 있다.The body 10 may include a first opening 32 and a second opening 34 . Also, the body 10 may include a recess 50 .

상기 제1개구부(32)은 상기 몸체(10)를 관통하여 배치할 수 있다. 상기 제1개구부(32)은 상기 몸체(10)의 상면과 하면을 관통하여 배치될 수 있다.The first opening 32 may be disposed through the body 10 . The first opening 32 may be disposed to penetrate through the upper and lower surfaces of the body 10 .

상기 제2개구부(34)은 상기 몸체(10)를 관통하여 배치될 수 있다. 상기 제2개구부(34)은 상기 몸체(10)의 상면과 하면을 관통하여 배치될 수 있다.The second opening 34 may be disposed through the body 10 . The second opening 34 may be disposed to penetrate through the upper and lower surfaces of the body 10 .

상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)은 상기 몸체(10) 내에서 서로 이격되어 배치될 수 있다.The first opening 32 and the second opening 34 may be disposed to be spaced apart from each other in the body 10 .

상기 리세스(50)는 상기 몸체(10)에 배치될 수 있다. 상기 리세스(50)는 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 사이에 배치될 수 있다.The recess 50 may be disposed in the body 10 . The recess 50 may be disposed between the first opening 32 and the second opening 34 .

상기 리세스(50)는 상기 몸체(10)의 상면에서 하면 방향으로 오목하게 배치될 수 있다.The recess 50 may be concavely disposed in a direction from an upper surface to a lower surface of the body 10 .

도 7(b)를 참조하면, 제1접촉층(80) 및 제2접촉층(80)은 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 상부에 배치될 수 있다.Referring to FIG. 7B , the first contact layer 80 and the second contact layer 80 may be disposed on the first opening 32 and the second opening 34 .

상기 제1본딩부(22)의 수평방향 폭(W2)은 제1개구부(32)의 수평방향 폭(W1)보다 더 작기 때문에 제1접촉층(80)을 통해 반도체소자(20)로 주입되는 전류를 더 원활하게 할 수 있다.Since the horizontal width W2 of the first bonding portion 22 is smaller than the horizontal width W1 of the first opening 32 , it is injected into the semiconductor device 20 through the first contact layer 80 . The current can be made more smoothly.

또한, 상기 제2본딩부(24)의 수평방향 폭(W2)은 제2개구부(34)의 수평방향 폭(W1)보다 더 작기 때문에 제2접촉층(80)을 통해 반도체소자(20)로 주입되는 전류를 더 원활하게 할 수 있다.In addition, since the horizontal width W2 of the second bonding portion 24 is smaller than the horizontal width W1 of the second opening 34, the second contact layer 80 passes through the semiconductor device 20. The injected current can be made more smoothly.

상기 제1접촉층(80)의 수평방향 폭(W5)은 제1본딩부(22)의 수평방향 폭(W2)보다 크고, 제1개구부(32)의 상부의 수평방향 폭(W1)보다 클 수 있다.The horizontal width W5 of the first contact layer 80 is greater than the horizontal width W2 of the first bonding portion 22 and greater than the horizontal width W1 of the upper portion of the first opening 32 . can

상기 제2접촉층(80)의 수평방향 폭(W5)은 제2본딩부(24)의 수평방향 폭(W2)보다 크고, 제2개구부(34)의 상부의 수평방향 폭(W1)보다 클 수 있다.The horizontal width W5 of the second contact layer 80 is greater than the horizontal width W2 of the second bonding portion 24 and greater than the horizontal width W1 of the upper portion of the second opening 34 . can

상기 제1접촉층(80) 및 제2접촉층(80)은 Ag, Au, Pt 등을 적어도 하나 이상의 물질로 구성될 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The first contact layer 80 and the second contact layer 80 may be made of at least one material such as Ag, Au, Pt, etc., but is not limited thereto.

상기 제1접촉층(80) 및 제2접촉층(80)은 도전성 페이스트로 구성될 수 있다.The first contact layer 80 and the second contact layer 80 may be formed of a conductive paste.

예를 들어, 상기 제1접촉층(80) 및 제2접촉층(80)은 솔더 페이스트(solder paste) 또는 실버 페이스트(silver paste) 등으로 구성될 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.For example, the first contact layer 80 and the second contact layer 80 may be formed of solder paste or silver paste, but is not limited thereto.

도 7(c)를 참조하면, 상기 리세스(50) 내에 접착제(60)가 배치된다.Referring to FIG. 7C , an adhesive 60 is disposed in the recess 50 .

상기 접착제(60)는 상기 리세스(50) 내에 도팅(doting) 방식 등을 통하여 배치될 수 있다.The adhesive 60 may be disposed in the recess 50 through a doting method or the like.

상기 접착제(60)는 상기 리세스(50) 내에 일정량 배치될 수 있으며, 상기 리세스(50)를 벗어나 넘치도록 배치될 수 있다.The adhesive 60 may be disposed in a predetermined amount in the recess 50 , and may be disposed to overflow out of the recess 50 .

상기 리세스(50) 내에 도포된 상기 접착제(60)는 모세관 현상 등을 통하여 상기 반도체소자(20)의 하부영역으로 이동될 수 있다.The adhesive 60 applied in the recess 50 may be moved to the lower region of the semiconductor device 20 through a capillary phenomenon or the like.

상기 반도체소자(20)의 하부영역은 제1본딩부(32) 및 제2본딩부(34) 사이의 영역일 수 있다.The lower region of the semiconductor device 20 may be a region between the first bonding portion 32 and the second bonding portion 34 .

도 7(d)를 참조하면, 상기 몸체(10) 상에 반도체소자(20)가 배치될 수 있다.Referring to FIG. 7D , the semiconductor device 20 may be disposed on the body 10 .

상기 몸체(10) 상에 배치되는 공정에서 상기 리세스(50)는 일종의 정렬키(align key) 역할을 수행할 수 있다.In the process of being disposed on the body 10 , the recess 50 may serve as a kind of align key.

상기 반도체소자(20)는 상기 접착제(60)에 의하여 몸체(10)에 고정될 수 있다.The semiconductor device 20 may be fixed to the body 10 by the adhesive 60 .

상기 제1개구부(32)은 상기 제1접촉층(82)을 통해 상기 반도체소자(20)의 제1본딩부(22)과 수직방향으로 중첩되어 배치될 수 있다. The first opening 32 may be vertically overlapped with the first bonding portion 22 of the semiconductor device 20 through the first contact layer 82 .

상기 제2개구부(34)은 상기 제2접촉층(84)을 통해 상기 반도체소자(20)의 제2본딩부(24)과 수직방향으로 중첩되어 배치될 수 있다.The second opening 34 may be vertically overlapped with the second bonding portion 24 of the semiconductor device 20 through the second contact layer 84 .

도 7(e)를 참조하면, 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34)에 도전물질을 배치하여 상기 제1도전층(42) 및 제2도전층(44)이 배치될 수 있다. Referring to FIG. 7E , the first conductive layer 42 and the second conductive layer 44 may be disposed by disposing a conductive material in the first opening 32 and the second opening 34 . .

상기 제1도전층(42) 및 제2도전층(44)를 배치하기 위해, 기판은 제거될 수 있다.In order to dispose the first conductive layer 42 and the second conductive layer 44 , the substrate may be removed.

상기 제1도전층(42) 및 제2도전층(44)를 배치하기 위해, 상기 반도체소자(20)가 배치된 몸체(10)를 뒤집어서 공정을 진행할 수 있다.In order to arrange the first conductive layer 42 and the second conductive layer 44 , the process may be performed by turning the body 10 on which the semiconductor device 20 is disposed.

상기 제1도전층(42) 및 제2도전층(44)은 도전성 페이스트로 구성될 수 있다. 상기 제1개구부(32) 및 제2개구부(34) 내에 도전성 페이스트가 도포될 수 있다.The first conductive layer 42 and the second conductive layer 44 may be formed of a conductive paste. A conductive paste may be applied in the first opening 32 and the second opening 34 .

상기 도전성 페이스트는 Ag, Au,, Pt 등 적어도 하나의 물질 또는 합금을 포함할 수 있으나 이에 한정하지는 않는다.The conductive paste may include at least one material or alloy such as Ag, Au, and Pt, but is not limited thereto.

도 7(f)를 참조하면, 상기 반도체소자(20) 상에 몰딩부재(70)가 배치될 수 있다.Referring to FIG. 7(f) , a molding member 70 may be disposed on the semiconductor device 20 .

파장변환물질을 포함한 수지물질을 디스펜서(dispenser)를 통해 반도체소자(20) 및 몸체(10) 상에 몰딩부재(70)가 배치될 수 있다.The molding member 70 may be disposed on the semiconductor device 20 and the body 10 through a dispenser of a resin material including a wavelength conversion material.

또는, 파장변환물질을 포함한 수지필름이 상기 반도체소자(20) 상에 배치될 수 있다.Alternatively, a resin film including a wavelength conversion material may be disposed on the semiconductor device 20 .

열과 압력공정을 통해 수지필름을 반도체소자(20) 및 몸체(10) 상에 부착시킴으로써, 몰딩부재(70)가 배치될 수 있다.By attaching a resin film to the semiconductor device 20 and the body 10 through a heat and pressure process, the molding member 70 may be disposed.

예를 들어, 상기 몰딩부재(70)는 수지필름(film)을 라미네이션(Lamination) 공정을 통해 반도체소자(20) 및 몸체(10) 상에 배치될 수 있다.For example, the molding member 70 may be disposed on the semiconductor device 20 and the body 10 through a resin film lamination process.

상기 라미네이션 공정을 통해 수지필름(film)을 가열, 가압을 통해 반도체소자(20) 및 몸체(10) 상에 부착될 수 있다.Through the lamination process, a resin film may be attached to the semiconductor device 20 and the body 10 by heating and pressing.

상기 수지필름은 결합기로만 구성되는 실리콘을 포함할 수 있다. The resin film may include silicone composed of only a bonding group.

상기 실리콘은 결합이 되지 못한 성분이 없기 때문에, 수지가 열에 의해 변색되거나 손상이 발생되지 않는다.Since the silicone has no unbonded components, the resin is not discolored or damaged by heat.

온도와 가압압력 및 가압시간을 조절하면 상기 반도체소자(20) 및 몸체(10)와 수지필름(film)사이에 라미네이션이 진행되어, 반도체소자(20)를 둘러싸는 몰딩부재(70)가 배치될 수 있다. When the temperature, pressurization pressure, and pressurization time are adjusted, lamination proceeds between the semiconductor element 20 and the body 10 and the resin film, so that the molding member 70 surrounding the semiconductor element 20 is disposed. can

하나의 반도체소자(20) 상에 수지필름(film)이 라미네이션 되어 몰딩부재(70)가 배치된 반도체소자패키지가 제조될 수 있다.A resin film is laminated on one semiconductor device 20 to manufacture a semiconductor device package in which the molding member 70 is disposed.

이후, 반도체소자(20) 어레이를 대상으로 절단공정이 수행되어, 반도체소자(20)가 개별적으로 제조될 수 있다. 이와 같이 절단된 개별적인 반도체소자(20)에서 반도체소자(20)의 모서리는 각이 질 수 있다.Thereafter, a cutting process is performed on the array of semiconductor devices 20 so that the semiconductor devices 20 can be individually manufactured. In the individual semiconductor device 20 cut in this way, the edge of the semiconductor device 20 may be angled.

도 7를 참조하여 설명된 바와 같이, 실시예에 따른 반도체소자패키지 제조방법에 의하면 반도체소자패키지의 신뢰성이 향상되고, 라미네이션(Lamination) 공정을 적용함에 따라 수지가 변색되고 크랙(Crack) 이 발생되는 문제점을 해결할 수 있다.As described with reference to FIG. 7, according to the method for manufacturing a semiconductor device package according to the embodiment, the reliability of the semiconductor device package is improved, and as a lamination process is applied, the resin is discolored and cracks are generated. problem can be solved.

또한, 반도체소자패키지의 제조수율이 향상될 수 있다.In addition, the manufacturing yield of the semiconductor device package may be improved.

한편, 이상에서 설명된 본 발명에 따른 반도체소자 패키지는 복수 개가 기판 상에 어레이될 수 있고, 반도체소자 패키지의 광 경로 상에 광학 부재인 도광판, 프리즘 시트, 확산 시트 등이 배치될 수 있다. Meanwhile, a plurality of semiconductor device packages according to the present invention described above may be arrayed on a substrate, and optical members such as a light guide plate, a prism sheet, and a diffusion sheet may be disposed on a light path of the semiconductor device package.

또한, 본 발명에 따른 반도체소자 패키지를 포함하는 광원 장치로 구현될 수 있다.In addition, it may be implemented as a light source device including the semiconductor device package according to the present invention.

또한, 광원 장치는 기판과 본 발명에 따른 반도체소자 패키지를 포함하는 광원 모듈, 광원 모듈의 열을 발산시키는 방열체, 및 외부로부터 제공받은 전기적 신호를 처리 또는 변환하여 광원 모듈로 제공하는 전원 제공부를 포함할 수 있다. 예를 들어, 광원 장치는, 램프, 헤드 램프, 또는 가로등을 포함할 수 있다. 또한, 실시 예에 따른 광원 장치는 출력되는 광이 필요한 제품에 다양하게 적용될 수 있다.In addition, the light source device includes a light source module including a substrate and a semiconductor device package according to the present invention, a heat sink for dissipating heat from the light source module, and a power supply unit that processes or converts an electrical signal received from the outside and provides it to the light source module may include For example, the light source device may include a lamp, a head lamp, or a street lamp. In addition, the light source device according to the embodiment may be variously applied to products requiring output light.

또한, 광원 장치는 바텀 커버와, 바텀 커버 위에 배치되는 반사판과, 광을 방출하며 반도체 소자를 포함하는 발광 모듈과, 반사판의 전방에 배치되며 발광 모듈에서 발산되는 빛을 전방으로 안내하는 도광판과, 도광판의 전방에 배치되는 프리즘 시트들을 포함하는 광학 시트와, 광학 시트 전방에 배치되는 디스플레이 패널과, 디스플레이 패널과 연결되고 디스플레이 패널에 화상 신호를 공급하는 화상 신호 출력 회로와, 디스플레이 패널의 전방에 배치되는 컬러 필터를 포함할 수 있다. 여기서 바텀 커버, 반사판, 발광 모듈, 도광판, 및 광학 시트는 백라이트 유닛(Backlight Unit)을 이룰 수 있다.In addition, the light source device includes a bottom cover, a reflecting plate disposed on the bottom cover, a light emitting module that emits light and includes a semiconductor element, and a light guide plate disposed in front of the reflecting plate and guiding light emitted from the light emitting module to the front; An optical sheet including prism sheets disposed in front of the light guide plate, a display panel disposed in front of the optical sheet, an image signal output circuit connected to the display panel and supplying an image signal to the display panel, disposed in front of the display panel A color filter may be included. Here, the bottom cover, the reflector, the light emitting module, the light guide plate, and the optical sheet may form a backlight unit.

광원 장치의 또 다른 예로, 헤드 램프는 기판 상에 배치되는 발광 소자 패키지를 포함하는 발광 모듈, 발광 모듈로부터 조사되는 빛을 일정 방향, 예컨대, 전방으로 반사시키는 리플렉터(reflector), 리플렉터에 의하여 반사되는 빛을 전방으로 굴절시키는 렌즈, 및 리플렉터에 의하여 반사되어 렌즈로 향하는 빛의 일부분을 차단 또는 반사하여 설계자가 원하는 배광 패턴을 이루도록 하는 쉐이드(shade)를 포함할 수 있다.As another example of the light source device, the head lamp is a light emitting module including a light emitting device package disposed on a substrate, a reflector that reflects light irradiated from the light emitting module in a predetermined direction, for example, forward, and is reflected by the reflector It may include a lens that refracts light forward, and a shade that blocks or reflects a portion of light reflected by the reflector and directed to the lens to form a light distribution pattern desired by a designer.

이상과 같이 본 발명을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 본 발명의 기술적 사상과 필수적 특징을 유지한 채로 다른 형태로도 실시될 수 있음을 인지할 수 있을 것이다.Although the present invention has been described as above, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will recognize that the present invention may be implemented in other forms while maintaining the technical spirit and essential features of the present invention .

본 발명의 범위는 특허청구범위에 의하여 규정되어질 것이지만, 특허청구범위 기재사항으로부터 직접적으로 도출되는 구성은 물론 그 외 등가인 구성으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태 또한 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention will be defined by the claims, but all changes or modifications derived from the configuration directly derived from the claims as well as other equivalent configurations are also included in the scope of the present invention. should be interpreted as

10 : 몸체
20 : 반도체소자
22 : 제1본딩부
24 : 제2본딩부
30 : 개구부
32 : 제1개구부
34 : 제2개구부
50 : 리세스
60 : 접착제
70 : 몰딩부재
80 : 접촉층
82 : 제1접촉층
84 : 제2접촉층
10: body
20: semiconductor device
22: first bonding unit
24: second bonding unit
30: opening
32: first opening
34: second opening
50: recess
60: adhesive
70: molding member
80: contact layer
82: first contact layer
84: second contact layer

Claims (19)

평평한 하면, 상기 하면과 평행한 상면 및 상기 상면과 하면을 관통하는 제1개구부 및 제2개구부를 포함하는 몸체;
상기 몸체 상에 배치되는 반도체소자;
상기 몸체와 반도체소자 사이에 배치되는 접착제;
상기 반도체소자를 감싸며 배치되는 몰딩부재; 및
상기 제1개구부와 상기 제2개구부 사이에 배치되며, 상기 몸체의 상면에서 하면 방향으로 오목하게 배치되는 리세스;를 포함하고,
상기 반도체소자는 상기 제1 및 제2개구부 상에 각각 배치되는 제1 및 제2본딩부를 포함하며,
상기 몰딩부재의 외측면은 상기 몸체의 외측면과 동일 평면 상에 배치되고,
상기 제1본딩부와 상기 제1개구부 사이에는 제1접촉층, 상기 제2본딩부와 상기 제2개구부 사이에는 제2접촉층이 각각 배치되고,
상기 접착제는, 상기 몸체의 상면, 상기 반도체 소자의 하면, 상기 제1 및 제2본딩부의 내측면, 상기 제1 및 제2접촉층의 내측면과 접촉하고,
상기 리세스의 두께와 상기 제1 및 제2개구부의 두께의 비율은, 0 초과 5/6 이하이고,
상기 접착제는, 상기 리세스 내에 배치된, 반도체소자 패키지.
a body having a flat lower surface, an upper surface parallel to the lower surface, and first and second openings penetrating the upper and lower surfaces;
a semiconductor device disposed on the body;
an adhesive disposed between the body and the semiconductor device;
a molding member disposed to surround the semiconductor device; and
a recess disposed between the first opening and the second opening and concavely disposed in a direction from an upper surface to a lower surface of the body; and
The semiconductor device includes first and second bonding portions respectively disposed on the first and second openings,
The outer surface of the molding member is disposed on the same plane as the outer surface of the body,
A first contact layer is disposed between the first bonding portion and the first opening, and a second contact layer is disposed between the second bonding portion and the second opening, respectively;
The adhesive is in contact with the upper surface of the body, the lower surface of the semiconductor device, inner surfaces of the first and second bonding portions, and inner surfaces of the first and second contact layers,
A ratio of the thickness of the recess to the thickness of the first and second openings is greater than 0 and less than or equal to 5/6;
The adhesive is disposed in the recess, the semiconductor device package.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1개구부 및 제2개구부는, 상기 제1개구부 및 제2개구부 하면에 대하여 내측면사이의 제1각(θ1)과, 외측면 사이의 제2각(θ2)을 포함하고,
상기 제1각과 제2각은 0도 이상 내지 90도 이하의 범위이며,
상기 제1각은 상기 제2각보다 같거나 작은, 반도체소자 패키지.
The method of claim 1,
The first opening and the second opening include a first angle θ1 between the inner surfaces and a second angle θ2 between the outer surfaces with respect to the lower surfaces of the first opening and the second opening,
The first angle and the second angle are in the range of 0 degrees or more to 90 degrees or less,
The first angle is equal to or smaller than the second angle, the semiconductor device package.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1 및 제2개구부 하면의 폭은 상기 제1 및 제2개구부 상면의 폭보다 큰 반도체소자패키지.
The method of claim 1,
A width of lower surfaces of the first and second openings is greater than a width of upper surfaces of the first and second openings.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 몰딩부재는 파장변환물질을 포함하는 제1층과, 제1층 하부에서 반도체소자 측면에 배치되는 제2층과, 제2층을 감싸며 배치되는 제3층을 을 포함하고,
상기 제2층은 상기 반도체소자의 굴절률과 다른 굴절률을 갖는 투명 수지로 구성되며,
상기 제3층은 반사물질을 포함하는 수지로 구성되는, 반도체소자 패키지.
The method of claim 1,
The molding member includes a first layer including a wavelength conversion material, a second layer disposed on the side of the semiconductor device under the first layer, and a third layer disposed to surround the second layer,
The second layer is composed of a transparent resin having a refractive index different from that of the semiconductor device,
The third layer is composed of a resin including a reflective material, a semiconductor device package.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1개구부 및 제2개구부 상부의 수평방향 폭은 상기 제1본딩부 및 제2본딩부의 수평방향 폭보다 크며,
상기 제1접촉층의 수평방향 폭은 상기 제1본딩부의 수평방향 폭보다 크고 상기 제1개구부의 상부의 수평방향 폭보다 크며,
상기 제2접촉층의 수평방향 폭은 상기 제2본딩부의 수평방향 폭보다 크고 상기 제2개구부의 상부의 수평방향 폭보다 큰, 반도체소자패키지.
The method of claim 1,
The horizontal widths of the upper portions of the first opening and the second opening are greater than the horizontal widths of the first bonding portion and the second bonding portion,
A horizontal width of the first contact layer is greater than a horizontal width of the first bonding portion and greater than a horizontal width of an upper portion of the first opening,
A horizontal width of the second contact layer is greater than a horizontal width of the second bonding portion and greater than a horizontal width of an upper portion of the second opening.
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