KR102347860B1 - Treated copper foil having high chroma, copper-clad laminate using the treated copper foil and manufacturing method of the treated copper foil - Google Patents
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Abstract
(과제) 전송 손실이 적고, 정상 상태 및 가열 후나 약품 침지 후에 있어서도 높은 박리 강도를 유지할 수 있고, 또, 에칭부의 HAZE 값이 낮으며, 에칭부와 배선 패턴부의 경계가 명확한 고속·고주파 전송 대응의 프린트 배선판에 바람직하게 사용할 수 있는 처리 동박을 제공한다.
(해결 수단) 미처리 동박 표면의 적어도 일방의 면 상에 산화 방지 처리층을 구비하고, 처리면의 10 점 평균 조도 RzJIS94 가 1.2 ㎛ 이하 (단 0 ㎛ 는 포함하지 않는다) 인 처리 동박으로서, 상기 산화 방지 처리층은 코발트와 몰리브덴을 함유하고, 상기 산화 방지 처리를 실시한 처리면의 JIS Z 8701 에 정의되는 표색계 XYZ(Yxy) 는 Y 가 10 ∼ 30, x 가 0.24 ∼ 0.31, y 가 0.29 ∼ 0.33 인 구리 피복 적층판용 처리 동박. (Problem) Low transmission loss, high peel strength can be maintained in steady state and after heating or chemical immersion, and the HAZE value of the etched part is low, and the boundary between the etched part and the wiring pattern part is clear. The processed copper foil which can be used suitably for a printed wiring board is provided.
(Solution) A treated copper foil comprising an anti-oxidation treatment layer on at least one surface of an untreated copper foil surface, and a 10-point average roughness RzJIS94 of the treated surface of 1.2 µm or less (however, 0 µm is not included), wherein the oxidation The prevention-treated layer contains cobalt and molybdenum, and the colorimetric system XYZ(Yxy) defined in JIS Z 8701 of the treated surface to which the oxidation-preventing treatment is given is 10 to 30 in Y, 0.24 to 0.31 in x, 0.29 to 0.33 in y. Treated copper foil for copper clad laminates.
Description
본 발명은 고속·고주파 전송 대응의 프린트 배선판에 바람직하게 사용할 수 있는 처리 동박으로서, 그 처리 동박 처리면의 색은 고채도이고, 그 처리 동박을 구비한 구리 피복 적층판을 에칭 처리하여 제조한 프린트 배선판은 처리 동박과 수지 기재의 밀착성 및 고주파 전송 특성이 우수함과 함께, 에칭에 의해 노출된 수지 기재의 HAZE 값이 낮고, CCD 카메라를 통해 에칭부와 배선 패턴부의 경계를 정확하게 시인할 수 있기 때문에, 실장시의 위치 맞춤이나 광학식 외관 자동 검사 장치에 의한 검사를 정확하게 실시할 수 있는 구리 피복 적층판을 제조할 수 있는 처리 동박에 관한 것이다.The present invention is a processed copper foil that can be preferably used for a printed wiring board compatible with high-speed and high-frequency transmission, the color of the treated copper foil-treated surface is highly saturated, and a printed wiring board manufactured by etching a copper-clad laminate with the treated copper foil, The adhesion between the treated copper foil and the resin substrate and high-frequency transmission characteristics are excellent, and the HAZE value of the resin substrate exposed by etching is low, and the boundary between the etching part and the wiring pattern part can be accurately recognized through the CCD camera. It is related with the processed copper foil which can manufacture the copper clad laminated board which can perform accurately the alignment of the positioning and the inspection by an optical appearance automatic inspection apparatus.
정보 통신 기기 등에 사용되는 프린트 배선판은, 수지 기재 상에 도전성이 있는 배선 패턴을 형성한 것으로, 수지 기재와 동박을 가열, 가압함으로써 구리 피복 적층판을 제조한 후, 배선 패턴을 형성하기 위해서 동박의 불필요한 부분을 에칭에 의해 제거함으로써 제조할 수 있다. Printed wiring boards used in information and communication equipment are those in which conductive wiring patterns are formed on a resin substrate, and after a copper clad laminate is manufactured by heating and pressurizing a resin substrate and copper foil, unnecessary copper foil is removed to form a wiring pattern. It can be manufactured by removing the part by etching.
프린트 배선판에 사용하는 수지 기재로는, 유리 천이나 종이 등의 보강재에 절연성이 있는 페놀 수지나 에폭시 수지, 폴리페닐렌에테르 수지, 비스말레이미드트리아진 수지 등을 함침시킨 리지드 프린트 배선판용, 폴리이미드 수지나 시클로올레핀 폴리머 수지 등으로 구성되는 플렉시블 프린트 배선판용을 들 수 있다.As a resin substrate used for a printed wiring board, a rigid printed wiring board in which a reinforcing material such as glass cloth or paper is impregnated with insulating phenol resin, epoxy resin, polyphenylene ether resin, bismaleimide triazine resin, etc., polyimide The objects for flexible printed wiring boards comprised from resin, cycloolefin polymer resin, etc. are mentioned.
도전성이 있는 배선 패턴의 재료로는 일반적으로 동박이 사용되고 있다.Copper foil is generally used as a material for a conductive wiring pattern.
동박은, 그 제법에 의해 전해 동박과 압연 동박의 2 종류로 크게 나뉘고, 각각의 특징으로부터 용도에 맞추어 구별하여 사용하고 있다.Copper foil is roughly divided into two types of electrolytic copper foil and rolled copper foil by the manufacturing method, and is used according to a use by distinguishing it from each characteristic.
어느 동박도 그대로 사용되는 경우는 거의 없고, 조화 처리층을 비롯하여 내열 처리층, 방청 처리층 등의 각종 처리층을 형성한 것이 사용되고 있다 (이하, 각종 처리층을 구비한 동박을 「처리 동박」이라고 한다).There is hardly any case where any copper foil is used as it is, and what formed various processing layers, such as a roughening process layer, a heat-resistant process layer, and a rust prevention process layer, is used (Hereinafter, copper foil provided with various process layers is called "processed copper foil". do).
프린트 배선판을 실용상 문제없이 사용하기 위한 중요한 특성의 하나로서, 수지 기재와 동박의 밀착성, 즉, 박리 강도를 들 수 있다.As one of the important characteristics for using a printed wiring board without a problem practically, the adhesiveness of a resin base material and copper foil, ie, peeling strength, is mentioned.
박리 강도는, 정상 상태에 있어서는 물론이거니와, 가열 후나 약품 침지 후에 있어서도 열화되지 않고, 높은 박리 강도를 유지할 필요가 있다.The peel strength needs to maintain high peel strength without being deteriorated not only in a normal state, but also after heating or chemical|medical agent immersion.
정상 상태, 가열 후 및 약품 침지 후의 박리 강도를 향상시키는 유효한 수단의 하나로서, 동박 상에 조화 처리층을 형성하는 것이 자주 실시된다.As one of the effective means for improving the peeling strength after a steady state, heating, and chemical|medical agent immersion, it is often performed to form a roughening process layer on copper foil.
최근에는, 고속·고주파 전송 대응 프린트 배선판의 수요가 높아지고 있고, 고속·고주파 전송 대응의 프린트 배선판에서는 밀착성에 더하여 전송 손실로 대표되는 전송 특성도 중요한 특성의 하나가 된다.In recent years, the demand for printed wiring boards compatible with high-speed and high-frequency transmission is increasing, and in a printed wiring board supporting high-speed and high-frequency transmission, in addition to adhesion, transmission characteristics represented by transmission loss are one of the important characteristics.
전송 손실이란, 프린트 배선판을 흐르는 전류가 거리 등에 따라 감쇠하는 정도를 나타내는 것으로, 일반적으로 주파수가 높아짐에 따라 전송 손실은 커지는 경향이 있다. 전송 손실이 크면, 소정 전류의 일부밖에 부하측에 전해지지 않기 때문에, 실용상 문제없이 사용하기 위해서는, 전송 손실은 보다 낮게 억제할 필요가 있다. The transmission loss indicates the degree to which the current flowing through the printed wiring board is attenuated according to the distance or the like, and in general, the transmission loss tends to increase as the frequency increases. If the transmission loss is large, since only a part of the predetermined current is transmitted to the load side, in order to use it practically without problems, it is necessary to suppress the transmission loss to a lower level.
프린트 배선판의 전송 손실은, 유전체 손실과 도체 손실을 모두 더한 것이다. 유전체 손실은 수지 기재에서 유래되는 것으로, 유전율과 유전정접에서 기인된다.The transmission loss of a printed wiring board is the sum of both a dielectric loss and a conductor loss. Dielectric loss is derived from the resin substrate, and is caused by dielectric constant and dielectric loss tangent.
한편, 도체 손실은 도전체, 즉, 동박에서 유래되는 것으로, 도체 저항에서 기인된다.On the other hand, the conductor loss is derived from the conductor, that is, the copper foil, and is caused by the conductor resistance.
따라서, 전송 손실을 낮추기 위해서는, 수지 기재의 유전율이나 유전정접을 작게 하고, 또한, 동박의 도체 저항을 작게 할 필요가 있다.Therefore, in order to lower a transmission loss, it is necessary to make small the dielectric constant and dielectric loss tangent of a resin base material, and also to make small the conductor resistance of copper foil.
전류의 주파수가 높아짐에 따라 전송 손실은 커진다는 경향은, 도체 손실, 즉, 도체 저항이 높아지기 때문으로, 「표피 효과」와「처리 동박의 표면 형상」이 관계된다.The tendency that the transmission loss increases as the frequency of the current increases is because the conductor loss, ie, the conductor resistance, increases, and the “skin effect” and “the surface shape of the treated copper foil” are related.
표피 효과란, 도전체를 흐르는 전류는 주파수가 높아짐에 따라 도전체의 표면 근처를 흐르는 효과를 말한다. 그리고 도전체 표면의 전류에 대해 1/e 배의 전류가 되는 점까지의 거리로 정의되는 표피 깊이 δ 는, 식 (1) 로 나타낸다.The skin effect refers to the effect that the current flowing through the conductor flows near the surface of the conductor as the frequency increases. And the skin depth δ, which is defined as the distance to the point where the current becomes 1/e times the current on the surface of the conductor, is expressed by Equation (1).
δ = (2/(ωσμ))1/2 (1)δ = (2/(ωσμ)) 1/2 (1)
단, ω 는 각주파수, σ 는 도전율, μ 는 투자율이다. However, ω is the angular frequency, σ is the conductivity, and μ is the magnetic permeability.
구리의 경우, 그 도전율과 비투자율로부터, 식 (1) 은 다음과 같이 된다.In the case of copper, from the electrical conductivity and relative magnetic permeability, Formula (1) becomes as follows.
δ = 0.066/f1/2 (2)δ = 0.066/f 1/2 (2)
단, f 는 주파수이다.However, f is the frequency.
식 (2) 로부터, 전류는 주파수가 높아짐에 따라 도전체의 표면에 보다 가까운 곳을 흐르는 것을 알 수 있고, 예를 들어, 주파수 10 ㎒ 일 때의 표피 깊이는 약 20 ㎛ 인데 반해, 주파수 40 ㎓ 일 때에는 약 1 ㎛ 가 되어, 거의 표면만을 흐르고 있는 것이 된다.From Equation (2), it can be seen that the current flows closer to the surface of the conductor as the frequency increases. When , it is about 1 µm, and almost only the surface flows.
종래와 같이 수지 기재와의 박리 강도를 높이기 위해서 조화 처리층을 형성한 처리 동박에 고주파 전류를 흐르게 하였을 경우, 전류는 조화 처리층의 표면 형상을 따라 흐르게 되어, 주로 중심부를 똑바로 흐르는 경우와 비교하면 전파 거리가 늘어나기 때문에, 도체 저항이 커져, 전송 손실의 증대로 이어진다.When a high-frequency current flows through the treated copper foil on which the roughening treatment layer is formed in order to increase the peeling strength from the resin substrate as in the prior art, the current flows along the surface shape of the roughening treatment layer, compared to the case where it mainly flows straight through the center As the propagation distance increases, conductor resistance increases, leading to an increase in transmission loss.
전송 손실에 주목하면, 조화 처리층을 구성하는 조화 입자의 입자경은 작으면 작을수록 전파 거리가 짧아져, 전송 손실을 억제할 수 있다고 생각되기 때문에, 고속·고주파 전송 대응의 프린트 배선판에 사용하는 처리 동박은 조화 처리를 실시하지 않는 것이 이상적이다.Paying attention to the transmission loss, the smaller the particle diameter of the roughened particles constituting the roughening treatment layer, the shorter the propagation distance and it is thought that transmission loss can be suppressed. Ideally, copper foil should not be subjected to a roughening treatment.
그러나, 밀착성에 주목하면, 조화 처리층을 구비하지 않은 것은 앵커 효과가 작아 수지 기재와의 밀착성이 약하기 때문에, 박리 강도를 확보하기 어렵다. However, when attention is paid to adhesiveness, since an anchor effect is small and adhesiveness with a resin base material is weak what is not equipped with a roughening process layer, it is difficult to ensure peeling strength.
이와 같이, 밀착성의 향상과 전송 손실의 억제는 상반되는 특성이라고 할 수 있다.Thus, it can be said that the improvement of adhesiveness and suppression of a transmission loss are opposite characteristics.
또, 고속·고주파 전송 대응의 프린트 배선판에 한정한 것은 아니지만, 프린트 배선판의 배선 패턴을 형성한 후의 수지 기재 부분의 투명도가 높은 것, 및, 에칭부와 배선 패턴부 (동박 잔존부) 의 경계를 명확하게 인식할 수 있다는 시인성도 중요한 특성의 하나로서 들 수 있다.In addition, although it is not limited to a printed wiring board compatible with high-speed and high-frequency transmission, the transparency of the resin base part after forming the wiring pattern of the printed wiring board is high, and the boundary between the etching part and the wiring pattern part (copper foil remaining part) Visibility that can be recognized clearly is also mentioned as one of the important characteristics.
이것은, 땜납을 사용하지 않는 실장 기술로서 이방성 도전 필름 (이하 「ACF」라고 하는 경우가 있다) 가 사용되게 되어 요구되게 된 특성이다.This is a characteristic which came to be calculated|required as an anisotropic conductive film (it may be referred to as "ACF" hereafter) used as a mounting technique which does not use a solder.
프린트 배선판 (이하 「PCB」라고 하는 경우가 있다) 과 플렉시블 프린트 배선판 (이하 「FPC」라고 하는 경우가 있다) 을 상하로 접속할 때, 그것들 사이에 ACF 를 사이에 끼워 가열, 가압함으로써, 상하 방향에 대한 도통을 얻고 있다.When connecting a printed wiring board (hereinafter sometimes referred to as “PCB”) and a flexible printed wiring board (hereinafter sometimes referred to as “FPC”) up and down, the ACF is sandwiched between them and heated and pressurized in the vertical direction. is gaining momentum.
FPC 와 PCB 의 도통을 취하는 위치를 확실하게 맞추지 않으면, 당연히 상하간의 도통이 취해지지 않기 때문에, 각각에는 위치 결정용 표시가 마킹되어 있고, 그것들을 CCD 카메라를 통해 위치 맞춤을 실시하고 있다.If the positions of the FPC and the PCB are not accurately aligned, the upper and lower conduction will not be achieved. Positioning marks are marked on each, and they are aligned with the CCD camera.
위치 맞춤은, FPC 의 동박이 에칭되어 노출된 수지 기재 너머로 바로 위에서부터 CCD 카메라에 의해 촬영하여 실시되고 있므로, 수지 기재가 불투명하면 투명도가 낮기 때문에, 표시를 인식하기 어려워지므로 정확한 위치 맞춤을 할 수 없다.Positioning is carried out by photographing with a CCD camera from directly above the resin substrate exposed by etching the copper foil of the FPC, so if the resin substrate is opaque, the transparency is low, and the display becomes difficult to recognize, so accurate positioning is possible. can't
따라서, 정확한 위치 맞춤을 위해서는 노출된 수지 기재의 불투명함은 가능한 한 낮고 투명도가 높은 것이 바람직하다.Therefore, for accurate positioning, it is preferable that the exposed resin substrate has as low opacity as possible and high transparency.
또, 최근, 광학식 외관 자동 검사 장치 (이하 「AOI」라고 하는 경우가 있다) 에 의한 프린트 배선판의 완성 검사가 실시되게 된 것도 시인성이 요구되는 한가지 요인이다. AOI 는 프린트 배선판의 배선 패턴을 광학적으로 파악하여, 화상 처리에 의해 좋고 나쁨을 판정하는 장치로, 패턴의 결손이나 가늘어짐, 굵어짐, 핀홀, 흠집 등의 결함을 검출할 수 있다.Moreover, it is also one factor by which visibility is calculated|required that the completion|finish inspection of the printed wiring board by the optical appearance automatic inspection apparatus (it may be hereafter referred to as "AOI") came to be implemented in recent years. AOI is a device that optically grasps a wiring pattern of a printed wiring board and judges good or bad by image processing, and can detect defects such as pattern defects, thinning, thickening, pinholes, and scratches.
프린트 배선판의 동박이 에칭되어 노출된 수지 기재가 불투명하면 투명도가 낮기 때문에, 배선 패턴을 파악할 수 없어 정확한 검사를 할 수 없게 된다.When the copper foil of the printed wiring board is etched and the exposed resin base material is opaque, the transparency is low, so that the wiring pattern cannot be grasped and an accurate inspection cannot be performed.
따라서, 정확한 검사를 위해서도, 노출된 수지 기재의 불투명함은 가능한 한 낮고, 투명도가 높은 것이 바람직하다.Therefore, even for accurate inspection, it is preferable that the opacity of the exposed resin substrate is as low as possible and the transparency is high.
수지 기재의 불투명함은 HAZE 값을 측정함으로써 수치화할 수 있다. 일반적으로는, HAZE 값이 80 % 이하이면 투명도가 높아, 시인되기 쉽다고 여겨지고 있다.The opacity of the resin substrate can be quantified by measuring the HAZE value. Generally, transparency is high that HAZE value is 80 % or less, and it is considered that it is easy to visually recognize.
HAZE 값은 처리 동박의 표면 형상의 영향을 강하게 받아, 조화 처리층을 구성하는 조화 입자의 입자경이나 처리 동박의 표면 조도가 작거나, 혹은, 조화 처리를 실시하지 않으면 HAZE 값은 낮고, 투명도가 높아진다.The HAZE value is strongly influenced by the surface shape of the treated copper foil, and the particle diameter of the roughened particles constituting the roughening treatment layer and the surface roughness of the treated copper foil are small, or if the roughening treatment is not performed, the HAZE value is low and the transparency is increased .
그러나, 조화 입자의 입자경이 작거나, 조화 처리를 실시하지 않거나 하면 앵커 효과가 작고 수지 기재와의 밀착성이 약하기 때문에, 박리 강도를 확보하기 어렵다. However, since the anchor effect is small and adhesiveness with a resin base material is weak when the particle diameter of a roughening particle is small or a roughening process is not performed, it is difficult to ensure peeling strength.
이와 같이, 밀착성과 투명도는 상반되는 특성이라고 할 수 있다.In this way, it can be said that adhesiveness and transparency are opposite characteristics.
전술한 바와 같이, 수지 기재와 동박의 밀착성에 대해, 전송 특성 및 투명도는 상반되는 특성이지만, 고속·고주파 전송에 대응하는 프린트 배선판은 실용상 그것들 전부를 만족시키지 않으면 안된다.As mentioned above, with respect to the adhesiveness of a resin base material and copper foil, although a transmission characteristic and transparency are characteristics that are opposite, a printed wiring board corresponding to high-speed and high-frequency transmission must satisfy all of them practically.
또, 정확한 위치 맞춤 및 검사를 위해서는 에칭에 의해 노출된 수지 기재와 배선 패턴 (동박 잔존부) 의 경계가 명확한 것이 바람직하다.In addition, for accurate positioning and inspection, it is preferable that the boundary between the resin substrate exposed by etching and the wiring pattern (remaining copper foil) is clear.
그래서, 수지 기재와의 박리 강도가 충분히 있고, 또한, 전송 손실이 미처리 동박과 동일한 정도로 우수하고, 동박을 에칭하여 노출된 수지 기재의 HAZE 값이 낮아서 투명도가 높고, 또한, 노출된 수지 기재부와 배선 패턴의 경계가 명확하고 시인성이 우수한 프린트 배선판이 되는 처리 동박의 개발이 요망되고 있다. Therefore, the peeling strength from the resin substrate is sufficient, and the transmission loss is excellent to the same degree as that of the untreated copper foil, the HAZE value of the resin substrate exposed by etching the copper foil is low, the transparency is high, and the exposed resin substrate portion Development of the processed copper foil used as the printed wiring board which the boundary of a wiring pattern is clear and is excellent in visibility is desired.
특허문헌 1 에는, 고주파 전송 대응의 절연 수지와의 접착성을 향상시키기 위해서 조화 처리층 및 내열 처리층을 형성한 처리 동박이 개시되어 있다.In
고주파 전송 대응의 절연 수지는 접착에 기여하는 극성이 높은 관능기가 적어 접착 특성이 낮기 때문에, 특허문헌 1 에 개시되어 있는 처리 동박은 조화 처리층을 구성하는 입자를 크게 함으로써 박리 강도를 확보하고자 하는 것이다.Since the insulating resin for high-frequency transmission has few highly polar functional groups contributing to adhesion and has low adhesion properties, the treated copper foil disclosed in
그러나, 조화 입자가 크면 전류 전파 거리가 길어지기 때문에 전송 손실이 증가한다는 문제가 있다.However, there is a problem in that, when the harmonic particles are large, the transmission loss increases because the electric current propagation distance becomes long.
또, 내열 처리층, 방청 처리층 및 실란 커플링제층에 의해 더욱 전송 손실이 증가하고, 특히 내열 처리층이 니켈을 함유하는 경우에는, 표피 깊이가 얕아지므로, 전류가 동박의 표면 부분에 집중하여 흐르게 되어, 보다 처리층의 요철의 영향을 받아 전송 손실이 더욱 증가한다는 문제가 있다.In addition, the transmission loss is further increased by the heat-resistant treatment layer, the anti-rust treatment layer, and the silane coupling agent layer. In particular, when the heat-resistant treatment layer contains nickel, the skin depth becomes shallow, so that the current is concentrated on the surface portion of the copper foil. flow, and there is a problem that transmission loss is further increased under the influence of the unevenness of the processing layer.
특허문헌 2 에는, 수지와 양호하게 접착되고, 또한, 수지 너머로 관찰했을 때, 우수한 시인성을 실현하는 표면 처리 동박으로서, 저조도의 동박 상에 구리-코발트-니켈로 이루어지는 조화 처리를 실시한 후, 방청 처리로서 코발트-니켈층을 입히고, 추가로 아연 혹은 아연-니켈층을 입히는 방법이 제안되어 있다.In
그러나, 본 방법에서는 에칭 후의 투명도가 낮고, 또, 방청층에 니켈을 사용하고 있기 때문에 전송 손실이 많으며, 또한 내약품성이 낮고, 활성 처리액 침지에 스며듦이 발생한다는 문제가 있는 것이 판명되었다.However, it has been found that in this method, the transparency after etching is low, and since nickel is used for the rust preventive layer, there is a large transmission loss, and also there is a problem that the chemical resistance is low, and there is a problem that permeation occurs in the immersion of the active treatment liquid.
본 발명자들은, 상기 여러 문제점을 해결하는 것을 기술적 과제로 하여, 시행 착오적인 수많은 시험 제작·실험을 거듭한 결과, 미처리 동박 표면의 적어도 일방의 면 상에 산화 방지 처리층을 구비하고, 처리면의 10 점 평균 조도 RzJIS94 가 1.2 ㎛ 이하인 처리 동박으로서, 상기 산화 방지 처리층은 코발트와 몰리브덴을 함유하고, 상기 산화 방지 처리를 실시한 처리면의 JIS Z 8701 에 정의되는 표색계 XYZ(Yxy) 는 Y 가 10 ∼ 30, x 가 0.24 ∼ 0.31, y 가 0.29 ∼ 0.33 인 처리 동박이면, 조화 처리층을 형성하지 않아도 수지 기재와의 박리 강도를 확보할 수 있음과 함께, 조화 처리층을 형성하지 않기 때문에 전송 특성이 우수하고, 또, 그 처리 동박을 수지 기재와 부착시킨 구리 피복 적층판은 에칭에 의해 노출된 수지 기재의 HAZE 값이 낮고, 또한, 에칭부와 처리 동박 잔존부 (배선 패턴부) 의 경계가 현저하여 시인성이 우수하므로, CCD 카메라를 사용하여 실시하는 AOI 검사나 ACF 를 사용하여 실시하는 접속시의 광학적인 위치 결정을 정확하게 실시할 수 있다는 괄목할만한 지견을 얻어, 상기 기술적 과제를 달성한 것이다. The present inventors made it a technical problem to solve the above-mentioned various problems, and as a result of repeating trial and error numerous trial productions and experiments, an antioxidant treatment layer is provided on at least one surface of the untreated copper foil surface, A treated copper foil having a 10-point average roughness RzJIS94 of 1.2 µm or less, wherein the antioxidant-treated layer contains cobalt and molybdenum, and the colorimetric system XYZ(Yxy) defined in JIS Z8701 of the treated surface subjected to the antioxidant treatment has Y of 10 If to 30, x is 0.24 to 0.31, and y is 0.29 to 0.33 treated copper foil, even if it does not form a roughening process layer, while being able to ensure peeling strength with a resin base material, since a roughening process layer is not formed, transmission characteristic This is excellent, and the copper-clad laminate in which the treated copper foil is adhered to the resin substrate has a low HAZE value of the resin substrate exposed by etching, and the boundary between the etched portion and the treated copper foil remaining portion (wiring pattern portion) is remarkable Therefore, the above-mentioned technical problem was achieved by obtaining the remarkable knowledge that optical positioning at the time of AOI inspection performed using a CCD camera or connection performed using an ACF can be accurately performed because of the excellent visibility.
상기 기술적 과제는 다음과 같이, 본 발명에 의해 해결할 수 있다.The above technical problem can be solved by the present invention as follows.
본 발명은, 미처리 동박 표면의 적어도 일방의 면 상에 산화 방지 처리층을 구비하고, 처리면의 10 점 평균 조도 RzJIS94 가 1.2 ㎛ 이하 (단 0 ㎛ 는 포함하지 않는다) 인 처리 동박으로서, 상기 산화 방지 처리층은 코발트와 몰리브덴을 함유하고, 상기 산화 방지 처리를 실시한 처리면의 JIS Z 8701 에 정의되는 표색계 XYZ(Yxy) 는 Y 가 10 ∼ 30, x 가 0.24 ∼ 0.31, y 가 0.29 ∼ 0.33 인 구리 피복 적층판용 처리 동박이다 (청구항 1).The present invention is a treated copper foil comprising an anti-oxidation treatment layer on at least one surface of the untreated copper foil surface, and a 10-point average roughness RzJIS94 of the treated surface of 1.2 µm or less (however, 0 µm is not included), The preventive treatment layer contains cobalt and molybdenum, and the colorimetric system XYZ(Yxy) defined in JIS Z 8701 of the treated surface to which the oxidation prevention treatment is given is 10 to 30 Y, 0.24 to 0.31 for x, 0.29 to 0.33 for y It is the processed copper foil for copper clad laminated boards (claim 1).
또, 본 발명은, 상기 산화 방지 처리층에 함유되는 몰리브덴의 함유율이 25 ∼ 50 중량% 인 청구항 1 에 기재된 구리 피복 적층판용 처리 동박이다 (청구항 2).Moreover, this invention is the processed copper foil for copper clad laminated boards of
또, 본 발명은, 상기 산화 방지 처리층 상에 크로메이트층 및/또는 실란 커플링제층을 구비한 청구항 1 또는 2 에 기재된 구리 피복 적층판용 처리 동박이다 (청구항 3).Moreover, this invention is the processed copper foil for copper clad laminated boards of
또, 본 발명은, 상기 처리 동박이 절연성 수지 기재의 양면에 부착되어 있는 구리 피복 적층판 중 어느 일방의 면의 전체면에 에칭이 실시되어 있고, 다른 일방의 면은 일부에 에칭이 실시되어 있는 구리 피복 적층판 또는 상기 처리 동박이 절연성 수지 기재의 편면에만 부착되고 그 처리 동박의 일부에 에칭이 실시되어 있는 구리 피복 적층판은, 하기 T 부의 HAZE 값이 60 % 이하이고, 또한, 하기 D 방향으로부터 JIS Z 8781 에 정의되는 표색계 L*·a*·b* 의 L* 가 88 ∼ 100, a* 가 -0.14 ∼ 1.10, b* 가 -0.13 ∼ 15 의 범위인 단일색 상에서 측정한 상기 표색계 L*·a*·b* 의 T 부와 그 처리 동박 잔존부의 색차 E*ab 가 60 이상인 구리 피복 적층판인 청구항 1 내지 3 중 어느 한 항에 기재된 구리 피복 적층판용 처리 동박이다 (청구항 4).Moreover, in this invention, etching is given to the whole surface of any one surface of the copper clad laminated board to which the said process copper foil is affixed on both surfaces of the insulating resin base material, and the other surface is partially etched copper. A clad laminate or a copper clad laminate in which the treated copper foil is adhered only to one side of an insulating resin substrate and a part of the treated copper foil is etched has a HAZE value of 60% or less in the T section below, and JIS Z from the following D direction In the color space L*·a*·b* defined in 8781, the color space L*·a* measured on a single color in which L* is in the range of 88 to 100, a* is -0.14 to 1.10, and b* is -0.13 to 15 It is the treated copper foil for copper clad laminates in any one of Claims 1-3 which is a copper clad laminated board whose color difference E*ab of the T part of b* and the treated copper foil residual part is 60 or more (claim 4).
T 부 : 양면에 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 양면 모두 에칭된 부분, 편면에만 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 에칭된 부분 Part T: a portion etched on both sides of a copper clad laminate having the treated copper foil on both sides, and a portion etched in a copper clad laminate having the treated copper foil on only one side
D 방향 : 양면에 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 전체면에 에칭이 실시된 면의 방향, 편면에만 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 처리 동박을 구비한 면의 반대 방향 D direction: the direction of the surface on which the entire surface is etched for a copper-clad laminate having the treated copper foil on both sides;
또, 본 발명은, 절연성 수지 기재의 적어도 일방의 면에 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 구리 피복 적층판용 처리 동박을 부착시킨 구리 피복 적층판이다 (청구항 5).Moreover, this invention is a copper clad laminated board which made the processed copper foil for copper clad laminated boards in any one of Claims 1-4 adhere to at least one surface of an insulating resin base material (claim 5).
또, 본 발명은, 상기 처리 동박이 절연성 수지 기재의 양면에 부착되어 있는 구리 피복 적층판 중 어느 일방의 면의 전체면에 에칭이 실시되어 있고, 다른 일방의 면은 일부에 에칭이 실시되어 있는 구리 피복 적층판 또는 상기 처리 동박이 절연성 수지 기재의 편면에만 부착되고 그 처리 동박의 일부에 에칭이 실시되어 있는 구리 피복 적층판으로서, 하기 T 부의 HAZE 값이 60 % 이하이고, 또한, 하기 D 방향으로부터 JIS Z 8781 에 정의되는 표색계 L*·a*·b* 의 L* 가 88 ∼ 100, a* 가 -0.14 ∼ 1.10, b* 가 -0.13 ∼ 15 의 범위인 단일색 상에서 측정한 상기 표색계 L*·a*·b* 의 T 부와 그 처리 동박 잔존부의 색차 E*ab 가 60 이상인 청구항 5 에 기재된 구리 피복 적층판이다 (청구항 6). Moreover, in this invention, etching is given to the whole surface of any one surface of the copper clad laminated board to which the said process copper foil is affixed on both surfaces of the insulating resin base material, and the other surface is partially etched copper. A clad laminate or a copper clad laminate in which the treated copper foil is adhered to only one side of an insulating resin substrate and a part of the treated copper foil is etched, wherein the HAZE value of the T part below is 60% or less, and JIS Z from the following D direction In the color space L*·a*·b* defined in 8781, the color space L*·a* measured on a single color in which L* is in the range of 88 to 100, a* is -0.14 to 1.10, and b* is -0.13 to 15 It is the copper clad laminated board of
T 부 : 양면에 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 양면 모두 에칭된 부분, 편면에만 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 에칭된 부분 Part T: a portion etched on both sides of a copper clad laminate having the treated copper foil on both sides, and a portion etched in a copper clad laminate having the treated copper foil on only one side
D 방향 : 양면에 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 전체면에 에칭이 실시된 면의 방향, 편면에만 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 그 처리 동박을 구비한 면의 반대 방향 D direction: the direction of the surface on which the entire surface of a copper-clad laminate having the treated copper foil on both sides is etched, and the direction opposite to the surface of a copper-clad laminate having the treated copper foil on only one side of the copper-clad laminate
또, 본 발명은, 상기 절연성 수지 기재가 폴리이미드 화합물을 함유하는 수지 기재인 청구항 5 또는 6 에 기재된 구리 피복 적층판이다 (청구항 7).Moreover, this invention is the copper clad laminated board of
또, 본 발명은, 상기 산화 방지 처리층을 코발트와 몰리브덴을 함유하는 알칼리성의 전해욕에서 형성시키는 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 구리 피복 적층판용 처리 동박의 제조 방법이다 (청구항 8).Moreover, this invention is a manufacturing method of the processed copper foil for copper clad laminates in any one of Claims 1-4 in which the said antioxidant process layer is formed in the alkaline electrolytic bath containing cobalt and molybdenum (claim 8).
또, 본 발명은, 상기 알칼리성의 전해욕이 피로인산을 함유하는 전해욕인 청구항 8 에 기재된 구리 피복 적층판용 처리 동박의 제조 방법이다 (청구항 9). Moreover, this invention is a manufacturing method of the treated copper foil for copper clad laminated boards of Claim 8 whose said alkaline electrolytic bath is an electrolytic bath containing pyrophosphoric acid (Claim 9).
또, 본 발명은, 구리 피복 적층판용 처리 동박과 절연성 수지 기재를 가열하면서 가압하여 부착시키는 것을 특징으로 하는 청구항 5 내지 7 중 어느 한 항에 기재된 구리 피복 적층판의 제조 방법이다 (청구항 10).Moreover, this invention is the manufacturing method of the copper clad laminated board in any one of Claims 5-7 characterized by the pressurization of the processed copper foil for copper clad laminated boards and an insulating resin base material, and heating it (claim 10).
또, 본 발명은, 청구항 5 내지 7 중 어느 한 항에 기재된 구리 피복 적층판을 사용하여 형성된 프린트 배선판이다 (청구항 11).Moreover, this invention is a printed wiring board formed using the copper clad laminated board in any one of Claims 5-7 (claim 11).
본 발명에 있어서의 T 부란 양면에 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판 (이하 「양면 구리 피복 적층판」이라고 하는 경우가 있다), 편면에만 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판 (이하, 「편면 구리 피복 적층판」이라고 하는 경우가 있다) 모두 처리 동박 잔존부 (1) 이외의 부분을 말한다. T in the present invention is a copper-clad laminate having a treated copper foil on both sides (hereinafter, sometimes referred to as a “double-sided copper-clad laminate”), a copper-clad laminate having a treated copper foil only on one side (hereinafter “single-sided copper-clad laminate”) ') all refer to parts other than the treated copper foil remaining part (1).
본 발명에 있어서의 처리 동박은, 조화 처리층을 구비하지 않고 전류의 전파 거리가 짧기 때문에 표피 효과에 의한 전송 손실이 적고, 고속·고주파 전송 대응의 프린트 배선판에도 바람직하게 사용할 수 있다.Since the processed copper foil in this invention is not provided with a roughening process layer and the propagation distance of an electric current is short, there is little transmission loss by the skin effect, and it can use suitably also for the printed wiring board corresponding to high-speed, high-frequency transmission.
또, 저조도의 미처리 동박 상에 고채도의 색을 나타내는 산화 방지 처리층을 구비하기 때문에, 본 발명에 있어서의 처리 동박을 구비한 구리 피복 적층판은, 에칭부의 HAZE 값은 낮은 데다가, 처리 동박 잔존부 (배선 패턴부) 가 고채도의 색을 나타내기 때문에, CCD 카메라를 통해서도, 에칭부와 배선 패턴부의 경계가 현저하여 시인성이 우수하다.In addition, since the anti-oxidation treatment layer exhibiting a color of high chroma is provided on the untreated copper foil of low illuminance, the copper clad laminate with the treated copper foil in the present invention has a low HAZE value in the etched portion, and the remaining portion of the treated copper foil ( Since the wiring pattern part) shows a highly saturated color, even through a CCD camera, the boundary of an etching part and a wiring pattern part is remarkable, and it is excellent in visibility.
따라서, ACF 의 실장시의 위치 결정이나 AOI 검사를 양호한 정밀도로 실시할 수 있다.Therefore, positioning and AOI inspection at the time of mounting the ACF can be performed with high accuracy.
또한, 본 발명에 있어서의 처리면의 색이 「고채도」란, JIS Z 8701 에 정의되는 표색계 XYZ(Yxy), Y 가 10 ∼ 30, x 가 0.24 ∼ 0.31, y 가 0.29 ∼ 0.33 의 범위인 색을 말하며, 육안으로는 청색계의 색으로 보인다.In addition, in the present invention, the color of the treated surface of "high saturation" means a color in the color space XYZ (Yxy) defined in JIS Z 8701, Y is 10 to 30, x is 0.24 to 0.31, and y is 0.29 to 0.33. , which is seen as a blue color with the naked eye.
본 발명에 있어서의 처리 동박은, 코발트와 몰리브덴을 함유하는 산화 방지 처리층을 구비하기 때문에, 가열 후나 약품 침지 후에 있어서도 박리 강도를 유지 할 수 있고, 또, 약품 침지시의 스며듦도 억제할 수 있다.Since the treated copper foil in the present invention includes an antioxidant treatment layer containing cobalt and molybdenum, peel strength can be maintained even after heating or chemical immersion, and permeation at the time of chemical immersion can also be suppressed. .
그 산화 처리층 상에 크로메이트층 및/또는 실란 커플링층을 형성하면, 가열 후나 약품 침지 후여도 박리 강도를 더욱 유지할 수 있고, 약품 침지시의 스며듦도 더욱 억제할 수 있다.If a chromate layer and/or a silane coupling layer are formed on the oxidation-treated layer, peel strength can be further maintained even after heating or after chemical immersion, and permeation at the time of chemical immersion can be further suppressed.
또, 본 발명에 있어서의 처리 동박은 폴리이미드를 함유하는 절연성 수지 기재와 부착시킨 경우에 특히 강한 박리 강도를 실현할 수 있다.Moreover, when the processed copper foil in this invention is made to adhere to the insulating resin base material containing a polyimide, especially strong peeling strength can be implement|achieved.
또, 본 발명에 있어서의 처리 동박이면, 절연성 수지 기재의 양면에 그 처리 동박을 구비한 구리 피복 적층판의 일방의 면의 전체면에 에칭 처리하고, 다른 일방의 면에는, 에칭 처리로 배선 패턴부를 형성한 경우에도, T 부의 HAZE 값을 60 % 이하로 할 수 있고, 또한, JIS Z 8781 에 정의되는 표색계 L*·a*·b* 의 L* 가 88 ∼ 100, a* 가 -0.14 ∼ 1.10, b* 가 -0.13 ∼ 15 의 범위인 단일색 상에서, 전체면 에칭된 면의 방향으로부터 측정한 T 부와 그 처리 동박 잔존부의 색차 E*ab 를 60 이상으로 할 수 있기 때문에, 에칭부와 배선 패턴부의 경계가 명확하여, CCD 카메라를 사용한 ACF 의 실장시의 위치 결정이나 AOI 검사를 양호한 정밀도로 실시할 수 있다.Moreover, if it is the processed copper foil in this invention, etching process is carried out on the whole surface of one side of the copper clad laminated board provided with the processed copper foil on both surfaces of an insulating resin base material, On the other side, a wiring pattern part is etched. Even when formed, the HAZE value of the T part can be made 60% or less, and L* of the color space L*·a*·b* defined in JIS Z 8781 is 88 to 100, and a* is -0.14 to 1.10 , b* in the range of -0.13 to 15, the color difference E*ab between the T portion measured from the direction of the entire surface etched and the remaining portion of the treated copper foil can be 60 or more, so that the etched portion and the wiring pattern The negative boundary is clear, and positioning and AOI inspection using a CCD camera at the time of mounting the ACF can be performed with high accuracy.
도 1 은 에칭 처리 후의 구리 피복 적층판의 모식도이다.
도 2 는 CCD 카메라를 사용하는 경우의 모식도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram of the copper clad laminated board after an etching process.
It is a schematic diagram in the case of using a CCD camera.
<미처리 동박><Untreated copper foil>
본 발명에 사용하는 각 처리 전의 동박 (이하 「미처리 동박」이라고 한다) 은 특별히 한정되는 것은 아니고, 표리의 구별이 없는 압연 동박, 표리의 구별이 있는 전해 동박 모두 사용할 수 있다.The copper foil before each process used for this invention (henceforth "untreated copper foil") is not specifically limited, Both the rolled copper foil which does not distinguish front and back, and the electrolytic copper foil with distinction of front and back can be used.
압연 동박은 어느 면이어도 되는 것은 물론이거니와, 전해 동박에 있어서도 석출면 또는 광택면 중 어느 면이어도 된다.It goes without saying that the rolled copper foil may have any surface, and either the precipitation surface or the glossy surface may be used in the electrodeposited copper foil.
또한, 압연 동박을 사용할 때에는, 탄화수소계 유기 용제에 침지하여, 압연유를 제거하고 나서 각종 처리를 실시하는 것이 바람직하다.Moreover, when using rolled copper foil, it is preferable to perform various processes, after immersing in a hydrocarbon type organic solvent and removing rolling oil.
본 발명에 있어서의 처리 동박 처리면의 10 점 평균 조도 RzJIS94 는 1.2 ㎛ 이하이기 때문에, 미처리 동박 표면의 10 점 평균 조도도 RzJIS94 는 1.2 ㎛ 이하이다.Since 10-point average roughness RzJIS94 of the processed copper foil process surface in this invention is 1.2 micrometers or less, 10-point average roughness RzJIS94 of the unprocessed copper foil surface is 1.2 micrometers or less.
미처리 동박의 두께는 표면 처리 후에 프린트 배선판에 사용할 수 있는 두께이면 특별히 한정되는 것은 아니지만, 6 ∼ 300 ㎛ 가 바람직하고, 보다 바람직하게는 9 ∼ 300 ㎛ 이다.Although it will not specifically limit if the thickness of untreated copper foil is thickness which can be used for a printed wiring board after surface treatment, 6-300 micrometers is preferable, More preferably, it is 9-300 micrometers.
<산화 방지 처리층><Antioxidant treatment layer>
본 발명에 있어서의 처리 동박은 미처리 동박 상에 코발트와 몰리브덴을 함유하는 산화 방지 처리층을 구비한다.The process copper foil in this invention is equipped with the antioxidant process layer containing cobalt and molybdenum on the unprocessed copper foil.
산화 방지 처리층은, 코발트 함유 화합물 및 몰리브덴 함유 화합물을 함유하고, 또한, 각 농도가 모두 100 g/ℓ 이하로서 알칼리성으로 조정한 전해욕에, 백금 속 산화물 피복 티탄 등의 불용성 전극을 양극으로 하고, 미처리 동박을 음극으로 하여 침지하고, 전류 밀도 0.1 ∼ 20 A/d㎡, 전기량 5 ∼ 50 C/d㎡, 액온 20 ∼ 50 ℃ 의 조건으로 전해시켜 형성시킬 수 있다.The anti-oxidation treatment layer is an electrolytic bath containing a cobalt-containing compound and a molybdenum-containing compound, and each concentration is 100 g/L or less, adjusted to alkali, an insoluble electrode such as platinum oxide-coated titanium is used as an anode, , can be formed by immersing an untreated copper foil as a cathode and electrolyzing under the conditions of a current density of 0.1 to 20 A/
전해욕에 용해시키는 코발트 함유 화합물은 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어, 황산코발트 칠수화물, 황산코발트암모늄, 시트르산코발트, 아세트산코발트 등을 사용할 수 있다.Although the cobalt-containing compound to be dissolved in the electrolytic bath is not particularly limited, for example, cobalt sulfate heptahydrate, cobalt ammonium sulfate, cobalt citrate, cobalt acetate and the like can be used.
전해욕에 용해시키는 몰리브덴 함유 화합물은 한정되지 않지만, 예를 들어, 몰리브덴산이나트륨 이수화물, 몰리브덴산나트륨, 몰리브덴산칼륨, 몰리브덴산암모늄을 들 수 있다.The molybdenum-containing compound dissolved in the electrolytic bath is not limited, and examples thereof include disodium molybdate dihydrate, sodium molybdate, potassium molybdate, and ammonium molybdate.
전해욕은 알칼리성으로 조정한다. 산성의 전해욕이면, 처리면의 색이 JIS Z 8701 에 정의되는 표색계 XYZ(Yxy) 는 Y 가 10 ∼ 30, x 가 0.24 ∼ 0.31, y 가 0.29 ∼ 0.33 의 범위에 속하지 않고, 또, 육안으로는 폴리이미드 수지 기재와 콘트라스트가 취하기 어려운 옅은 갈색계의 색으로 보이므로, CCD 카메라를 통해 보았을 때에는, 에칭부와 처리 동박 잔존부 (배선 패턴부) 의 경계가 판별하기 어려워지기 때문이다.The electrolytic bath is adjusted to alkaline. In the case of an acidic electrolytic bath, the color system XYZ (Yxy) defined in JIS Z 8701 for the color of the treated surface does not belong to the range of Y is 10 to 30, x is 0.24 to 0.31, and y is 0.29 to 0.33. This is because it is difficult to distinguish the boundary between the etched portion and the treated copper foil remaining portion (wiring pattern portion) when viewed through a CCD camera, since it appears as a light brown color that is difficult to contrast with the polyimide resin substrate.
알칼리성으로 조정하기 위해서 첨가하는 물질은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 피로인산염이 바람직하다.Although the substance added in order to adjust to alkalinity is not specifically limited, A pyrophosphate is preferable.
피로인산염으로는, 피로인산칼륨, 피로인산나트륨, 피로인산칼슘을 예시할 수 있다.As pyrophosphate, potassium pyrophosphate, sodium pyrophosphate, and calcium pyrophosphate can be illustrated.
산화 방지 처리층의 부착량은 150 ∼ 300 ㎎/㎡ 가 바람직하고, 보다 바람직하게는 170 ∼ 270 ㎎/㎡ 이다.As for the adhesion amount of an antioxidant treatment layer, 150-300 mg/m<2> is preferable, More preferably, it is 170-270 mg/m<2>.
부착량이 150 ㎎/㎡ 에 미치지 못하는 경우에는 본 발명에 있어서의 고채도의 색을 나타내지 않고, 한편, 300 ㎎/㎡ 를 초과하는 경우에는, 더 이상 부착시켜도 채도는 변함없기 때문에 경제적이지 않으며, 또한, 전송 특성이 저하 경향이기 때문에 바람직하지 않다.When the adhesion amount is less than 150 mg/m2, the highly saturated color in the present invention is not exhibited. On the other hand, when it exceeds 300 mg/m2, it is not economical because the saturation does not change even if it is further attached, and This is not preferable because the transmission characteristics tend to deteriorate.
산화 방지 처리층에 함유되는 몰리브덴의 함유량은 25 ∼ 50 중량% 가 바람직하고, 보다 바람직하게는 30 ∼ 48 중량% 이다.As for content of the molybdenum contained in an antioxidant process layer, 25 to 50 weight% is preferable, More preferably, it is 30 to 48 weight%.
몰리브덴의 함유량이 25 중량% 보다 적으면, 가열 처리나 약품 침지 처리 후의 박리 강도의 열화율이 커지고, 또, 약품 침지시의 스며듦양도 많아지기 때문에 바람직하지 않다.When content of molybdenum is less than 25 weight%, since the deterioration rate of peeling strength after heat processing or chemical|medical agent immersion treatment becomes large, and the amount of permeation at the time of chemical|medical agent immersion also increases, it is unpreferable.
또, 50 중량% 를 초과하여 함유해도 박리 강도의 열화율 및 스며듦양의 억제 효과의 추가적인 향상은 바랄 수 없기 때문이다.Moreover, even if it contains exceeding 50 weight%, it is because the further improvement of the deterioration rate of peeling strength and the inhibitory effect of the permeation amount is undesirable.
<크로메이트층/실란 커플링제층><Chromate layer/silane coupling agent layer>
본 발명에 있어서의 처리 동박은, 필요에 따라 산화 방지 처리층 상에 크로메이트층 및/또는 실란 커플링제층을 형성할 수 있다.The processed copper foil in this invention can form a chromate layer and/or a silane coupling agent layer on an antioxidant process layer as needed.
크로메이트층은, 전해욕에 백금속 산화물 피복 티탄 등의 불용성 전극을 양극으로 하고, 산화 방지 처리층을 구비한 동박을 음극으로 하여 침지하고, 액온 20 ∼ 50 ℃, 전류 밀도 10 A/d㎡ 이하, 전기량 20 C/d㎡ 이하의 조건으로 전해하거나, 또는, 그 용액에 단순히 침지시킴으로써도 형성시킬 수 있다.The chromate layer is immersed in an electrolytic bath using an insoluble electrode such as platinum oxide-coated titanium as an anode, and copper foil provided with an antioxidant layer as a cathode, a liquid temperature of 20 to 50°C, and a current density of 10 A/
전해욕 또는 침지액은, 크롬산 함유 화합물 3 ∼ 50 g/ℓ 수용액을 pH 2 ∼ 12 로 조제한 것이 바람직하다.It is preferable that the electrolytic bath or immersion liquid prepare 3-50 g/L aqueous solution of a chromic acid containing compound to pH 2-12.
크롬산 함유 화합물로는, 예를 들어, 이크롬산나트륨 이수화물, 무수 크롬 산 등을 들 수 있다.As a chromic acid containing compound, sodium dichromate dihydrate, chromic anhydride, etc. are mentioned, for example.
또한, 크로메이트 전해욕에는 아연을 함유시켜도 된다.Further, zinc may be contained in the chromate electrolytic bath.
크로메이트층 상, 혹은, 산화 방지 처리층 상에 실란 커플링제층을 형성할 수 있다. A silane coupling agent layer can be formed on the chromate layer or on the antioxidant treatment layer.
실란 커플링제층에 사용하는 실란 커플링제는 특별히 한정되는 것은 아니고, 비닐기, 에폭시기, 스티릴기, 메타크릴기, 아크릴기, 아미노기, 우레이드기 및 메르캅토기를 함유하는 실란 커플링제를 사용할 수 있지만, 아미노기, 에폭시기 또는 비닐기 함유의 실란 커플링제는 내흡습성과 방청성의 효과가 매우 높아, 보다 바람직하게 사용할 수 있다.The silane coupling agent used in the silane coupling agent layer is not particularly limited, and a silane coupling agent containing a vinyl group, an epoxy group, a styryl group, a methacryl group, an acryl group, an amino group, a urea group and a mercapto group can be used. However, the silane coupling agent containing an amino group, an epoxy group or a vinyl group has very high hygroscopic resistance and anti-rust effect, and can be used more preferably.
실란 커플링제는 1 종이어도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다.One type may be sufficient as a silane coupling agent, and it may use it in combination of 2 or more type.
액온 20 ∼ 50 ℃ 로 조제한 실란 커플링제 수용액에 침지하거나, 또는 스프레이 등의 방법으로 산포하여 형성할 수 있다.It can form by immersion in the silane coupling agent aqueous solution prepared at the liquid temperature of 20-50 degreeC, or by spreading|spreading by methods, such as spraying.
본 발명에 있어서의 처리 동박 처리면의 10 점 평균 조도 RzJIS94 는 1.2 ㎛ 이하가 바람직하고, 보다 바람직하게는 1.1 ㎛ 이하이다.As for 10-point average roughness RzJIS94 of the processed copper foil process surface in this invention, 1.2 micrometers or less are preferable, More preferably, it is 1.1 micrometers or less.
1.2 ㎛ 보다 크면 구리 피복 적층판으로 한 경우의 에칭부의 HAZE 값이 상승하기 때문이다.It is because the HAZE value of the etching part at the time of setting it as a copper clad laminated board increases when larger than 1.2 micrometers.
처리면의 표색계 XYZ(Yxy) 는 분광 측색계를 사용하여 측정할 수 있다.The colorimetric system XYZ(Yxy) of the treated surface can be measured using a spectrophotometer.
<수지 기재><resin material>
본 발명의 처리 동박을 부착시키는 절연성 수지 기재로는, 폴리이미드 수지, 에폭시 수지, 폴리페닐렌에테르 수지, 비스말레이미드트리아진 수지, 시클로올레핀 폴리머 수지를 함유하는 것을 들 수 있다.Examples of the insulating resin substrate to which the treated copper foil of the present invention is adhered include those containing polyimide resin, epoxy resin, polyphenylene ether resin, bismaleimide triazine resin, and cycloolefin polymer resin.
폴리이미드 수지는 내열성, 내약품성, 가요성이 우수하기 때문에, 플렉시블 기판에 사용되는 경우가 많다.Since polyimide resin is excellent in heat resistance, chemical resistance, and flexibility, it is used for a flexible substrate in many cases.
프린트 배선판의 전송 손실을 보다 억제하기 위해서, 저유전성 수지 기재를 사용할 수도 있다.In order to further suppress the transmission loss of a printed wiring board, a low dielectric resin base material can also be used.
저유전성 수지 기재로는, 액정 폴리머, 폴리불화에틸렌, 이소시아네이트 화합물, 변성 폴리페닐렌에테르를 함유하는 수지를 예시할 수 있다.Examples of the low dielectric resin substrate include a liquid crystal polymer, polyethylene fluoride, an isocyanate compound, and a resin containing modified polyphenylene ether.
<HAZE 값><HAZE value>
양면 구리 피복 적층판 및 편면 구리 피복 적층판의 T 부의 HAZE 값은 JIS K 7136 의 규정에 준거하여 헤이즈미터에 의해 측정할 수 있다.The HAZE value of the T part of the double-sided copper-clad laminate and the single-sided copper-clad laminate can be measured with a haze meter in accordance with JIS K 7136.
<색차 ΔE*ab> <Color difference ΔE*ab>
양면 구리 피복 적층판 및 편면 구리 피복 적층판 T 부의 JIS Z 8781 에 정의되는 표색계 L*a*b* (이하, 「표색계 L*a*b*」라고 한다) 를 D 방향으로부터 측색계에 의해 측정한 값과, 처리 동박 잔존부를 D 방향으로부터 측색계에 의해 측정한 값을 다음 식에 대입함으로써 산출한다.The value measured by the colorimeter from the D direction for the colorimetric system L*a*b* (hereinafter referred to as "colorimetric system L*a*b*") defined in JIS Z 8781 of the double-sided copper-clad laminate and the single-sided copper-clad laminate T part And, it computes by substituting the value measured by the colorimeter from the D direction to a process copper foil residual part to a following formula.
ΔE*ab = ([ΔL*]2 + [Δa*]2 + [Δb*]2)1/2 ΔE*ab = ([ΔL*] 2 + [Δa*] 2 + [Δb*] 2 ) 1/2
에칭부는 측정대의 색이 비쳐 보여, 색차 ΔE*ab 의 값에 영향을 주기 때문에, 본 발명에 있어서는 측정대의 색을 표색계 L*a*b* 의 L* 가 88 ∼ 100, a* 가 -0.14 ∼ 1.10, b* 가 -0.13 ∼ 15 의 범위인 단일색이라고 규정하였다.Since the etched part shows the color of the measuring band through and affects the value of the color difference ΔE*ab, in the present invention, the color of the measuring band is L* of the color space system L*a*b* of 88 to 100, and a* of -0.14 1.10, b* was defined as a single color in the range of -0.13 to 15.
또한, 상기 범위의 측정대의 색이란 육안으로는 백색 내지 크림색으로 보이는 색의 범위에 속하는 단일한 색이다.In addition, the color of the measuring band in the above range is a single color belonging to the range of colors that are visually visible from white to cream.
예로서, 흰 카피 용지, 크림색의 실험대, 색차계 표준판의 표색계 L*a*b* 의 측정값을 표 1 에 나타낸다.As an example, Table 1 shows the measured values of the color space L*a*b* on a white copy paper, a cream-colored test bench, and a colorimeter standard plate.
실시예Example
본 발명의 실시예를 이하에 나타내지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. Although the Example of this invention is shown below, this invention is not limited to this.
(미처리 동박)(Untreated copper foil)
실시예 및 비교예의 미처리 동박으로서, 두께 12 ㎛ 의 전해 동박을 사용하였다.As the unprocessed copper foil of the Example and the comparative example, the 12-micrometer-thick electrolytic copper foil was used.
처리 동박 처리면의 10 점 평균 조도는 JIS B0651-2001 에 규정되는 촉침식 표면 조도계에 적합한 서프코더 SE1700α (주식회사 고사카 연구소 제조) 를 사용하고, 촉침으로서 촉침 선단 반경 2 ㎛ 인 것을 사용하여, 조도 곡선용 컷오프값 0.8 ㎜, 측정 거리 4.0 ㎜ 로 하여 JIS B0601-1994 에 정의되는 10 점 평균 조도 RzJIS94 를 측정하였다.The 10-point average roughness of the treated copper foil treated surface was measured by using a surfcoder SE1700α (manufactured by Kosaka Laboratories, Ltd.) suitable for a stylus type surface roughness meter stipulated in JIS B0651-2001, using a stylus having a tip radius of 2 µm, and a roughness curve 10-point average roughness RzJIS94 defined in JIS B0601-1994 was measured as a cut-off value of 0.8 mm and a measurement distance of 4.0 mm.
(실시예 1 ∼ 10)(Examples 1 to 10)
실시예 1 ∼ 10 에는 다음과 같이, 산화 방지 처리층, 크로메이트층 및 실란 커플링제층을 형성하였다.In Examples 1 to 10, an antioxidant treatment layer, a chromate layer, and a silane coupling agent layer were formed as follows.
<산화 방지 처리층><Antioxidant treatment layer>
표 2 와 같이, 황산코발트(Ⅱ) 칠수화물, 몰리브덴(Ⅵ)산나트륨 이수화물, 피로인산칼륨을 함유하고, pH, 액온을 조정한 전해욕에 양극으로서 백금속 산화물로 표면을 피복한 티탄, 음극에 미처리 동박을 사용하여, 동일하게 표 2 에 기재된 전해 조건으로 미처리 동박 상에 코발트와 몰리브덴을 함유하는 산화 방지 처리층을 형성하였다.As shown in Table 2, titanium coated with a platinum oxide as an anode in an electrolytic bath containing cobalt(II) sulfate heptahydrate, sodium molybdenum(VI) dihydrate, and potassium pyrophosphate, pH and liquid temperature adjusted; Using an untreated copper foil for the negative electrode, an antioxidant treatment layer containing cobalt and molybdenum was formed on the untreated copper foil under the electrolytic conditions shown in Table 2 in the same manner.
<크로메이트층> <chromate layer>
이크롬산나트륨 이수화물 40 g/ℓ 수용액을 액온 35 ℃, pH 4.0 으로 조제한 크로메이트 수용액에, 양극에 백금을 사용하고, 음극에 산화 방지 처리층을 구비한 각 처리 동박을 사용하여, 전류 밀도 0.5 A/d㎡, 전기량 1 C/d㎡ 의 전해 조건으로 산화 방지 처리층 상에 크로메이트층을 형성하였다.In an aqueous chromate solution prepared by preparing an aqueous solution of 40 g/L sodium dichromate dihydrate at a liquid temperature of 35° C. and pH 4.0, platinum was used for the anode and each treated copper foil provided with an antioxidant treatment layer for the cathode was used, and a current density of 0.5 A was used. A chromate layer was formed on the anti-oxidation treatment layer under electrolysis conditions of /
<실란 커플링제층> <Silane coupling agent layer>
액온 30 ℃ 의 γ-아미노프로필트리에톡시실란 5 ㎖/ℓ 를 함유하는 수용액에 크로메이트층을 구비한 각 처리 동박을 10 초간 침지하여, 실란 커플링제층을 형성하였다.Each treated copper foil provided with a chromate layer was immersed for 10 second in the aqueous solution containing 5 ml/L of (gamma)-aminopropyltriethoxysilane with a liquid temperature of 30 degreeC, and the silane coupling agent layer was formed.
실란 커플링제층을 형성한 후, 상온 (약 25 ℃) 에서 자연 건조시키고, 실시예 1 ∼ 10 의 처리 동박으로 하여 각종 측정을 실시하였다.After forming the silane coupling agent layer, it was air-dried at normal temperature (about 25 degreeC), and various measurements were performed as the processed copper foil of Examples 1-10.
(비교예 1)(Comparative Example 1)
비교예 1 은 산화 방지 처리층을 형성하지 않았다. 크로메이트층 및 실란 커플링제층은 실시예와 동일한 방법으로 형성하였다.Comparative Example 1 did not form an anti-oxidation treatment layer. The chromate layer and the silane coupling agent layer were formed in the same manner as in Examples.
(비교예 2 ∼ 4) (Comparative Examples 2 to 4)
표 2 와 같이 조정한 전해욕에, 동일하게 표 2 에 기재된 조건으로 미처리 동박 상에 처리층을 형성하였다.In the electrolytic bath adjusted as shown in Table 2, a treatment layer was formed on the untreated copper foil under the conditions shown in Table 2 similarly.
또한, 비교예 2 는 피로인산칼륨 대신에 시트르산나트륨을 사용하였다.In Comparative Example 2, sodium citrate was used instead of potassium pyrophosphate.
크로메이트층 및 실란 커플링제층은 실시예와 동일한 방법으로 형성하였다. The chromate layer and the silane coupling agent layer were formed in the same manner as in Examples.
(비교예 5)(Comparative Example 5)
황산구리 오수화물 15 g/ℓ, 황산코발트 칠수화물 8.5 g/ℓ, 황산니켈 육수화물 8.6, pH 2.5, 액온 38 ℃ 로 조정한 액에, 양극으로서 백금속 산화물로 표면을 피복한 티탄을 사용하고, 음극으로서 RzJIS94 가 0.75 ㎛ 인 12 ㎛ 의 미처리 전해 동박을 사용하여, 45 A/d㎡ 로 1 초간 음극 전해를 실시하여 구리-코발트-니켈로 이루어지는 조화 처리층을 형성하였다.Copper sulfate pentahydrate 15 g/L, cobalt sulfate heptahydrate 8.5 g/L, nickel sulfate hexahydrate 8.6, pH 2.5, and a solution adjusted to a liquid temperature of 38 ° C., using titanium coated on the surface with a platinum oxide as an anode, Cathodic electrolysis was performed for 1 second at 45 A/dm<2> using the 12 micrometers untreated electrolytic copper foil whose RzJIS94 is 0.75 micrometers as a cathode, and the roughening process layer which consists of copper- cobalt- nickel was formed.
이어서, 황산코발트 칠수화물 10 g/ℓ, 황산니켈 육수화물 10 g/ℓ, pH 3.0, 액온 30 ℃ 로 조정한 액을 사용하고, 양극으로서 백금속 산화물로 표면을 피복한 티탄을 사용함과 함께, 음극으로서 구리-코발트-니켈로 이루어지는 조화 처리층을 형성한 전해 동박을 사용하여 2 A/d㎡ 로 5 초간 음극 전해를 실시하여 조화 처리층 상에 코발트-니켈 합금층을 형성하였다.Next, using a solution adjusted to 10 g/L of cobalt sulfate heptahydrate, 10 g/L of nickel sulfate hexahydrate, pH 3.0, and a solution temperature of 30° C., titanium coated on the surface with a platinum oxide as an anode is used; Cathodic electrolysis was performed for 5 seconds at 2 A/dm<2> using the electrolytic copper foil in which the roughening process layer which consists of copper- cobalt- nickel was formed as a cathode, and the cobalt- nickel alloy layer was formed on the roughening process layer.
그 후, 황산아연 칠수화물 150 g/ℓ, pH 3.0, 액온 50 도로 조정한 액에, 양극으로서 백금속 산화물로 표면을 피복한 티탄, 음극으로서 조화 처리층 상에 코발트-니켈 합금층을 형성한 동박을 사용하여, 0.5 A/d㎡ 로 5 초간 음극 전해를 실시하여 아연층을 형성하였다.After that, in a solution adjusted to 150 g/L of zinc sulfate heptahydrate, pH 3.0, and a liquid temperature of 50 degrees, a cobalt-nickel alloy layer was formed on titanium coated with a platinum oxide as an anode and a roughened layer as a cathode. Using the copper foil, cathode electrolysis was performed at 0.5 A/
크로메이트층 및 실란 커플링제층은 실시예와 동일한 방법으로 형성하였다. 모든 표면 처리를 실시한 후에, 조도 RzJIS94 를 측정하면 1.32 ㎛ 였다.The chromate layer and the silane coupling agent layer were formed in the same manner as in Examples. When roughness RzJIS94 was measured after performing all surface treatment, it was 1.32 micrometers.
각 처리 동박에 대해, 이하의 측정을 실시하였다.About each processed copper foil, the following measurements were performed.
<표색계 XYZ(Yxy)><Color system XYZ (Yxy)>
각 처리층이 형성된 면에 대해, 분광 측색계 CM-600d (코니카 미놀타 주식회사 제조) 를 사용하여, JIS Z8701 에 정의되는 표색계 XYZ(Yxy) 를 측정하였다.With respect to the surface on which each treatment layer was formed, the colorimetric system XYZ(Yxy) defined in JIS Z8701 was measured using a spectrophotometer CM-600d (manufactured by Konica Minolta Co., Ltd.).
<산화 방지 처리층의 부착량> <Amount of adhesion of antioxidant treatment layer>
리가쿠 전기 주식회사 제조의 RIX2000 을 사용하여, 산화 방지 처리층의 코발트 및 몰리브덴의 각 원소의 석출 부착량을 측정하고, 양 원소의 합을 부착량으로 하였다.Using RIX2000 manufactured by Rigaku Electric Co., Ltd., the amount of deposition and deposition of each element of cobalt and molybdenum in the antioxidant treatment layer was measured, and the sum of both elements was defined as the deposition amount.
<몰리브덴의 함유율> <The content of molybdenum>
산화 방지 처리층의 석출 부착량으로부터 얻어진 코발트와 몰리브덴 각 원소의 석출 부착량을 사용하여, 각 원소의 함유율 (wt%) 을 하기 식에 대입하여 산출하였다.Using the precipitation and adhesion amounts of each element of cobalt and molybdenum obtained from the precipitation adhesion amount of the antioxidant treatment layer, the content rate (wt%) of each element was substituted into the following formula, and it computed.
Mo 함유율 (wt%) = Mo content (wt%) =
{(Mo 석출 부착량)/(Co 석출 부착량 + Mo 석출 부착량)}× 100{(Mo precipitation adhesion amount)/(Co precipitation adhesion amount + Mo precipitation adhesion amount) x 100
각 처리 동박을 절연성 수지 기재에 부착시켜 구리 피복 적층판을 제조하고, 각 측정을 실시하였다.Each treated copper foil was affixed to an insulating resin base material, a copper-clad laminate was manufactured, and each measurement was performed.
<구리 피복 적층판 A> <Copper clad laminate A>
각 처리 동박의 처리층이 형성된 면을 피접착면으로 하여, 진공 열프레스기 KVHC-Ⅱ (키타가와 정기 주식회사 제조) 를 사용하여 폴리이미드 수지 기재 (품명 : FRS-142, 두께 25 ㎛, 주식회사 가네카 제조) 를 진공하 (7 torr), 온도 260 ℃ 로 15 분간 예열한 후, 진공하 (7 torr), 온도 300 ℃, 압력 4 ㎫ 로 10 분간, 가열 가압 성형을 실시하였다.A polyimide resin substrate (product name: FRS-142, thickness 25 µm, manufactured by Kaneka Corporation) using a vacuum hot press machine KVHC-II (manufactured by Kitagawa Seiki Co., Ltd.) with the side on which the treated layer of each treated copper foil was formed as the side to be adhered. ) under vacuum (7 torr) and at a temperature of 260°C for 15 minutes, then under vacuum (7 torr), at a temperature of 300°C, and at a pressure of 4 MPa for 10 minutes, followed by hot-press molding.
그 후, 폴리이미드 수지 기재의 다른 일방의 면에 동일하게 하여 실시예 및 비교예의 각 처리 동박을 붙여, 각 처리 동박을 양면에 부착시킨 실시예 및 비교예의 구리 피복 적층판을 제조하였다.Then, in the same manner on the other surface of the polyimide resin substrate, each treated copper foil of Examples and Comparative Examples was pasted, and copper-clad laminates of Examples and Comparative Examples in which each treated copper foil was adhered to both surfaces were produced.
수지 기재가 폴리이미드 수지 기재의 구리 피복 적층판을 구리 피복 적층판 A 라고 한다.The copper-clad laminate in which the resin substrate is a polyimide resin substrate is referred to as a copper-clad laminate A.
구리 피복 적층판 A 는 일방의 면을 전체면 에칭 처리하고, 다른 일방의 면은 일부만 에칭 처리하고, 잔부는 각종 처리 동박이 잔존되어 있는 상태에서 각 측정을 실시하였다.As for the copper clad laminated board A, the whole surface etched one surface, the other surface etched only a part, and each measurement was performed in the state in which various processed copper foils remain|survived for remainder.
<HAZE 값> <HAZE value>
JIS K 7136 에 준거하여, 헤이즈미터 NDH7000 (니혼 전색 공업 주식회사 제조) 을 사용하여 구리 피복 적층판 A 의 T 부의 HAZE 값을 측정하였다.Based on JISK7136, the HAZE value of the T part of the copper clad laminated board A was measured using hazemeter NDH7000 (made by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.).
<색차 ΔE*ab> <Color difference ΔE*ab>
JIS Z 8730 에 준하여 실시하였다. 구리 피복 적층판 A 의 T 부와 처리 동박 잔존부 (1) 의 각 표색계를 분광 측색계 CM-600d 를 사용하여, D 방향으로부터 표색계 L*a*b* 를 측정한 후, 다음 식에 산입하여 ΔE*ab 의 값으로 하였다.It implemented according to JIS Z 8730. Using a spectrophotometer CM-600d for each color system of the T portion of the copper clad laminate A and the treated copper
ΔE*ab = ([ΔL*]2 + [Δa*]2 + [Δb*]2)1/2 ΔE*ab = ([ΔL*] 2 + [Δa*] 2 + [Δb*] 2 ) 1/2
색차의 측정은 표 4 의 「측정대」 란에 나타내는 바와 같이, 흰 카피 용지 (L* = 92.25, a* = 0.38, b* = 2.31) 상, 크림색의 실험대 (L* = 88.64, a* = 1.06, b* = 13.49) 상, 색차계 표준판 (L* = 99.47, a* = -0.14, b* = -0.13) 상 중 어느 것으로 실시하였다.The color difference was measured on a white copy paper (L* = 92.25, a* = 0.38, b* = 2.31), as shown in the "Measurement table" column of Table 4, on a cream-colored test bench (L* = 88.64, a* = 1.06, b*=13.49) and color difference standard plate (L*=99.47, a*=-0.14, b*=-0.13).
또, 실시예 3, 7, 10 의 각 처리 동박을 사용하여 제조한 각 구리 피복 적층판 A 를 카피 용지, 크림색의 실험대 및 색차계 표준판 상에서 각각 측정하고, 색차 ΔE*ab 비교하였다.Moreover, each copper clad laminated board A manufactured using each treated copper foil of Examples 3, 7, and 10 was measured on copy paper, a cream-colored test bench, and a color difference meter standard plate, respectively, and color difference ΔE*ab was compared.
<정상 상태의 박리 강도><Normal state peel strength>
에칭 머신 SPE-40 (주식회사 니노미야 시스템 제조) 을 사용하여, 에칭에 의해 폭 1 ㎜ 의 구리 회로 샘플을 제조하였다. JIS C6481 에 준거하여, 만능 시험기를 사용하여 박리 강도를 측정하였다.A copper circuit sample having a width of 1 mm was prepared by etching using an etching machine SPE-40 (manufactured by Ninomiya Systems Co., Ltd.). In accordance with JIS C6481, the peel strength was measured using a universal tester.
정상 상태 박리 강도는 표 4 의 「필」란에 나타낸다.The steady-state peel strength is shown in the "Peel" column of Table 4.
<가열 처리 후의 박리 강도의 열화율><Deterioration rate of peel strength after heat treatment>
정상 상태의 박리 강도를 측정한 샘플을, 대기 오븐을 사용하여 온도 150 ℃, 240 시간의 조건으로 가열 처리를 실시한 후, 상온으로 되돌린 후, 박리 강도를 측정하였다. 열화율은 하기 식으로 산출하였다.The peel strength was measured after returning to normal temperature after heat-processing the sample which measured the peeling strength of the steady state on the conditions of the temperature of 150 degreeC and 240 hours using atmospheric oven. The deterioration rate was computed by the following formula.
또한, 식 중 α 는 가열 처리 전 (정상 상태) 의 박리 강도의 값, β 는 가열 처리 후의 박리 강도의 값을 나타낸다.In the formula, α represents the value of the peel strength before the heat treatment (steady state), and β represents the value of the peel strength after the heat treatment.
열화율 (%) = (α - β)/α × 100Degradation rate (%) = (α - β)/α × 100
가열 처리 후의 박리 강도의 열화율은, 표 4 「열화율」란에 나타낸다.The deterioration rate of peeling strength after heat processing is shown in Table 4 "degradation rate" column.
<스며듦양><Permeation amount>
상기 1 ㎜ 폭의 구리의 회로 샘플을, 5 wt% 황산 수용액에 액온 65±3 ℃ 의 조건으로 30 분간 침지 처리를 실시하였다. 이어서 수세하고 건조시킨 후, 구리의 회로를 구리 피복 적층판으로부터 박리하였다.The copper circuit sample of the said 1 mm width was immersed in 5 wt% sulfuric acid aqueous solution on the conditions of 65±3 degreeC of liquid temperatures for 30 minutes. Then, after washing with water and drying, the circuit of copper was peeled from the copper clad laminated board.
황산 수용액이 스며든 부분은 색조차가 발생하기 때문에, 박리 처리 동박면을 광학 현미경으로 관찰하고, 색조 차에 의해 황산 수용액의 스며듦양 (㎛) 을 판독하였다.Since a color difference occurred in the portion where the aqueous sulfuric acid solution permeated, the peeling-treated copper foil surface was observed with an optical microscope, and the amount of permeation (µm) of the aqueous sulfuric acid solution was read from the color difference.
<시인성><Visibility>
구리 피복 적층판 A 의 어느 일방의 면의 처리 동박을 완전하게 에칭 처리를 실시하고, 다른 일방의 면에는 에칭에 의해 각 처리 동박으로 이루어지는 50 ㎛ × 50 ㎛ 의 사각형 (1) 을 형성하였다.The processed copper foil of either surface of the copper clad laminated board A was completely etched, and the 50 micrometers x 50 micrometers rectangle 1 which consists of each processed copper foil by etching was formed in the other surface.
각 구리 피복 적층판 A 를 백색의 카피 용지, 크림색의 실험대 또는 색차계 표준판 중 어느 것 상에 사각형 (1) 을 아래로 하여 놓고, CCD 라인 센서 카메라 PIE-550 (모노크롬 라인센서, 5150 화소 (40 ㎒)/이케가미 통신기 주식회사 제조) 을 구리 피복 적층판 A 의 전체면에 에칭 처리측에 70 ㎜ 떨어뜨려 설치하고, 5 m/min 으로 상기 CCD 라인 센서 카메라 (6) 아래를 10 회 통과시키고, 50 ㎛ × 50 ㎛ 의 사각형 (1) 을 CCD 라인 센서 카메라가 9 회 이상 검출할 수 있던 것을 ◎, 7 ∼ 8 회 검출할 수 있던 것을 ○, 6 회 검출할 수 있던 것을 △, 5 회 이하밖에 검출할 수 없었던 것을 × 로 하여 평가를 실시하였다. 또한, 조명에는 메탈 할라이드 조명을 사용하였다.Each copper-clad laminate A was placed with a square (1) face down on either white copy paper, a cream-colored test bench, or a colorimeter standard plate, and a CCD line sensor camera PIE-550 (monochrome line sensor, 5150 pixels (40 MHz) )/Ikegami Communications Co., Ltd.) was placed on the entire surface of the copper clad laminate A at a distance of 70 mm from the etching treatment side, and passed 10 times under the CCD
<전송 손실 : 구리 피복 적층판 A> <Transmission loss: copper clad laminate A>
에칭 머신을 사용하여, 에칭에 의해 싱글 엔드의 마이크로 스트립 라인을 형성하였다. 또한, 본 기판의 회로폭은 특성 임피던스가 50 Ω 이 되도록 폭 50 ㎛ 로 하였다. 제조된 회로 기판을 네트워크 애널라이저 (아지렌트·테크놀로지 주식회사 제조 N5247A) 를 사용하여 주파수 160 ㎒ ∼ 20 ㎓ 의 S 파라미터 (S21) 를 측정하였다.Using an etching machine, single-ended micro strip lines were formed by etching. In addition, the circuit width of this board|substrate was made into 50 micrometers in width so that the characteristic impedance might be set to 50 ohms. The S-parameter (S21) of the frequency of 160 MHz - 20 GHz was measured for the manufactured circuit board using the network analyzer (N5247A by Azirent Technology Co., Ltd.).
<구리 피복 적층판 B> <Copper-clad laminate B>
액정 폴리머 수지 기재 (품명 : CT-Z, 두께 50 ㎛, 주식회사 쿠라레 제조) 의 편면에, 실시예 및 비교예의 처리 동박의 각 처리층이 형성된 면을 피접착면으로서 맞추고, 또, 다른 일방의 면에는 그라운드용 동박 (70 ㎛) 을 맞춘 것을, 진공 열프레스기 KVHC-Ⅱ 를 사용하여 진공하 (7 torr), 온도 260 ℃ 에서 15 분간 예열한 후, 진공하 (7 torr), 온도 300 ℃, 압력 4 ㎫ 에서 10 분간, 가열 가압 성형을 실시하여, 구리 피복 적층판을 얻었다.On one side of a liquid crystal polymer resin base material (product name: CT-Z, thickness 50 μm, manufactured by Kuraray Co., Ltd.), the side on which each treatment layer of the treated copper foils of Examples and Comparative Examples is formed is aligned as a to-be-adhesive surface, and the other side A copper foil for ground (70 μm) was applied to the surface, and preheated for 15 minutes at a temperature of 260° C. under vacuum (7 torr) using a vacuum hot press machine KVHC-II, and then under vacuum (7 torr), a temperature of 300° C., At a pressure of 4 MPa, heat press molding was performed for 10 minutes to obtain a copper-clad laminate.
수지 기재가 액정 폴리머 수지 기재인 구리 피복 적층판을 구리 피복 적층판 B 라고 한다.A copper-clad laminate in which the resin substrate is a liquid crystal polymer resin substrate is referred to as a copper-clad laminate B.
<전송 손실 : 구리 피복 적층판 B> <Transmission loss: copper clad laminate B>
에칭 머신을 사용하여, 에칭에 의해 싱글 엔드의 마이크로 스트립 라인을 형성하였다. 또한, 본 기판의 회로폭은 특성 임피던스가 50 Ω 이 되도록, 액정 폴리머 수지 기재 (주식회사 쿠라레 제조, 품명 : CT-Z, 두께 50 ㎛) 인 경우에는 폭 110 ㎛, 폴리이미드 수지 기재 (주식회사 카네카 제조, 품명 : FRS-142, 두께 25 ㎛) 인 경우에는 폭 50 ㎛ 로 하였다. 제조된 회로 기판을 네트워크 애널라이저를 사용하여 주파수 160 ㎒ ∼ 40 ㎓ 의 S 파라미터 (S21) 를 측정하였다.Using an etching machine, single-ended micro strip lines were formed by etching. In addition, the circuit width of this board is 110 µm in width and a polyimide resin substrate (Kane Corporation, Inc. Car made, product name: FRS-142, thickness 25 µm), the width was set to 50 µm. The S-parameter (S21) of the frequency of 160 MHz - 40 GHz was measured for the manufactured circuit board using a network analyzer.
각 측정을 실시한 구리 피복 적층판의 종류는 표 4 의 「측정한 적층판」란에 나타내었다.The type of the copper-clad laminate on which each measurement was performed is shown in the "Measured laminated plate" column of Table 4.
표 4 에 나타내는 바와 같이, 본 발명에 있어서의 처리 동박을 구비한 구리 피복 적층판은, 정상 상태 및 가열 후에 있어서도 높은 박리 강도를 유지하고, 또, 약품의 스며듦이 없고, 또한, 에칭부의 HAZE 값이 낮으며, 또, 표 3 에 나타내는 바와 같이, 본 발명에 있어서의 처리 동박의 처리면은 고채도의 색을 나타내기 때문에, 에칭부와 처리 동박 잔존부의 색차 ΔE*ab 가 60 이상으로 매우 시인성이 우수하기 때문에 CCD 라인 센서 카메라에 의한 검출이 이루어지기 쉽고, 또한, 전송 손실이 적어 구리 피복 적층판이 되는 것이 나타났다. As shown in Table 4, the copper clad laminated board provided with the treated copper foil in the present invention maintains high peel strength even in a steady state and after heating, there is no permeation of chemicals, and the HAZE value of the etched part is low, and as shown in Table 3, since the treated surface of the treated copper foil in the present invention exhibits a color of high chroma, the color difference ΔE*ab between the etched portion and the treated copper foil remaining portion is 60 or more, and very excellent visibility Therefore, it was shown that the detection by a CCD line sensor camera is easy to make, and there is little transmission loss and it becomes a copper clad laminated board.
또, 표 5 에 나타내는 바와 같이, 동일 샘플을 카피 용지, 크림색의 실험대 또는 색차계 표준판 상에서 측정하여 산출한 ΔE*ab 는 모두 60 이상을 나타내는 것을 확인할 수 있었다. Moreover, as shown in Table 5, it was confirmed that all ΔE*ab calculated by measuring the same sample on copy paper, a cream-colored test bench, or a color-difference meter standard plate showed 60 or more.
본 발명에 있어서의 처리 동박을 구비한 구리 피복 적층판은, 정상 상태는 물론이거니와, 가열 후나 약품 침지 후에 있어서도 높은 박리 강도를 확보함과 함께, 전송 손실이 적기 때문에, 고속·고주파 전송 대응의 프린트 배선판에 바람직하게 사용할 수 있고, 또, 에칭부의 HAZE 값이 낮고, 에칭부와 배선 패턴부의 경계가 명확하여 시인성이 우수하기 때문에, CCD 카메라를 사용한 위치 맞춤이나, AOI 검사를 정확하게 실시할 수 있는 구리 피복 적층판이 된다. The copper clad laminated board provided with the processed copper foil in this invention secures high peeling strength after heating and chemical|medical immersion not only in a steady state, but also has little transmission loss. In addition, since the HAZE value of the etched part is low and the boundary between the etched part and the wiring pattern part is clear and the visibility is excellent, the copper coating that can accurately perform positioning and AOI inspection using a CCD camera becomes a laminate.
따라서, 본 발명은 산업상 이용가능성이 높은 발명이다.Accordingly, the present invention is an invention with high industrial applicability.
1 : 처리 동박 잔존부 (배선 패턴부)
2 : 절연성 수지 기재
3a : 전체면 에칭부
3b : 에칭부
4 : 구리 피복 적층판
5 : 대
6 : CCD 카메라 1: Processed copper foil remaining part (wiring pattern part)
2: Insulative resin base material
3a: whole surface etched part
3b: etching part
4: Copper clad laminate
5: large
6: CCD camera
Claims (11)
상기 산화 방지 처리층에 함유되는 몰리브덴의 함유율이 25 ∼ 50 중량% 인 구리 피복 적층판용 처리 동박.The method of claim 1,
The processed copper foil for copper clad laminates whose content rate of the molybdenum contained in the said antioxidant process layer is 25 to 50 weight%.
상기 산화 방지 처리층 상에 크로메이트층, 실란 커플링제층, 또는 크로메이트층 및 실란 커플링제층을 구비한 구리 피복 적층판용 처리 동박.The method of claim 1,
The processed copper foil for copper clad laminates provided with a chromate layer, a silane coupling agent layer, or a chromate layer and a silane coupling agent layer on the said antioxidant process layer.
상기 처리 동박이 절연성 수지 기재의 양면에 부착되어 있는 구리 피복 적층판 중 어느 일방의 면의 전체면에 에칭이 실시되어 있고, 다른 일방의 면은 일부에 에칭이 실시되어 있는 구리 피복 적층판 또는 상기 처리 동박이 절연성 수지 기재의 편면에만 부착되고 그 처리 동박의 일부에 에칭이 실시되어 있는 구리 피복 적층판은, 하기 T 부의 HAZE 값이 60 % 이하이고, 또한, 하기 D 방향으로부터 JIS Z 8781 에 정의되는 표색계 L*·a*·b* 의 L* 가 88 ∼ 100, a* 가 -0.14 ∼ 1.10, b* 가 -0.13 ∼ 15 의 범위인 단일색 상에서 측정한 상기 표색계 L*·a*·b* 의 T 부와 그 처리 동박 잔존부의 색차 E*ab 가 60 이상인 구리 피복 적층판인 구리 피복 적층판용 처리 동박.
T 부 : 양면에 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 양면 모두 에칭된 부분, 편면에만 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 에칭된 부분
D 방향 : 양면에 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 전체면에 에칭이 실시된 면의 방향, 편면에만 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 처리 동박을 구비한 면의 반대 방향The method of claim 1,
The copper-clad laminate or the treated copper foil in which the entire surface of one of the copper-clad laminates to which the treated copper foil is adhered to both surfaces of the insulating resin substrate is etched, and the other surface is partially etched. The copper clad laminated board adhered to only one side of the insulating resin substrate and etched on a part of the treated copper foil has a HAZE value of 60% or less in the T section below, and a color system L defined in JIS Z 8781 from the D direction below. The T portion of the colorimetric system L*·a*·b* measured on a single color in which L* of *·a*·b* is in the range of 88 to 100, a* is in the range of -0.14 to 1.10, and b* is in the range of -0.13 to 15. And the treated copper foil for copper clad laminates which is a copper clad laminated board whose color difference E*ab of the processing copper foil residual part is 60 or more.
Part T: a portion etched on both sides of a copper-clad laminate having the treated copper foil on both sides, and a portion etched in a copper-clad laminate having the treated copper foil on only one side
D-direction: the direction of the side etched on the entire surface of a copper-clad laminate having the treated copper foil on both sides, and the opposite direction of the copper-clad laminate having the treated copper foil on only one side of the surface with the treated copper foil
상기 처리 동박이 절연성 수지 기재의 양면에 부착되어 있는 구리 피복 적층판 중 어느 일방의 면의 전체면에 에칭이 실시되어 있고, 다른 일방의 면은 일부에 에칭이 실시되어 있는 구리 피복 적층판 또는 상기 처리 동박이 절연성 수지 기재의 편면에만 부착되고 그 처리 동박의 일부에 에칭이 실시되어 있는 구리 피복 적층판으로서, 하기의 T 부의 HAZE 값이 60 % 이하이고, 또한, 하기 D 방향으로부터 JIS Z 8781 에 정의되는 표색계 L*·a*·b* 의 L* 가 88 ∼ 100, a* 가 -0.14 ∼ 1.10, b* 가 -0.13 ∼ 15 의 범위인 단일색 상에서 측정한 상기 표색계 L*·a*·b* 의 T 부와 그 처리 동박 잔존부의 색차 E*ab 가 60 이상인 구리 피복 적층판.
T 부 : 양면에 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 양면 모두 에칭된 부분, 편면에만 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 에칭된 부분
D 방향 : 양면에 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 전체면에 에칭이 실시된 면의 방향, 편면에만 그 처리 동박을 구비하는 구리 피복 적층판은 그 처리 동박을 구비한 면의 반대 방향6. The method of claim 5,
The copper-clad laminate or the treated copper foil in which the entire surface of one of the copper-clad laminates to which the treated copper foil is adhered to both surfaces of the insulating resin substrate is etched, and the other surface is partially etched. It is a copper clad laminated board adhered to only one side of this insulating resin base material and etched on a part of the treated copper foil, wherein the HAZE value of the T part below is 60% or less, and the colorimetric system defined in JIS Z 8781 from the following D direction T of the colorimetric system L*·a*·b* measured on a single color in which L* of L*·a*·b* is in the range of 88 to 100, a* is -0.14 to 1.10, and b* is -0.13 to 15. A copper clad laminate having a color difference E*ab of 60 or more of the portion and the remaining portion of the treated copper foil.
Part T: a portion etched on both sides of a copper-clad laminate having the treated copper foil on both sides, and a portion etched in a copper-clad laminate having the treated copper foil on only one side
D direction: the direction of the surface on which the entire surface of a copper-clad laminate having the treated copper foil is provided on both sides, and the direction opposite to the surface of the copper-clad laminate having the treated copper foil on only one side of the copper-clad laminate
상기 절연성 수지 기재가 폴리이미드 화합물을 함유하는 수지 기재인 구리 피복 적층판.6. The method of claim 5,
The copper clad laminated board whose said insulating resin base material is a resin base material containing a polyimide compound.
상기 알칼리성의 전해욕이 피로인산을 함유하는 전해욕인 구리 피복 적층판용 처리 동박의 제조 방법. 9. The method of claim 8,
The manufacturing method of the treated copper foil for copper clad laminates whose said alkaline electrolytic bath is an electrolytic bath containing pyrophosphoric acid.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JPJP-P-2016-022807 | 2016-02-09 | ||
JP2016022807A JP6687409B2 (en) | 2016-02-09 | 2016-02-09 | High chroma treated copper foil, copper clad laminate using the treated copper foil, and method for producing the treated copper foil |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20170094485A KR20170094485A (en) | 2017-08-18 |
KR102347860B1 true KR102347860B1 (en) | 2022-01-05 |
Family
ID=59543275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020160166488A Active KR102347860B1 (en) | 2016-02-09 | 2016-12-08 | Treated copper foil having high chroma, copper-clad laminate using the treated copper foil and manufacturing method of the treated copper foil |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6687409B2 (en) |
KR (1) | KR102347860B1 (en) |
CN (1) | CN107046767B (en) |
TW (1) | TWI728012B (en) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109137013A (en) * | 2018-07-13 | 2019-01-04 | 铜陵市华创新材料有限公司 | A kind of electrolytic copper foil surface electro-deposition ZN-NI-P-LA alloying technology |
JP7230932B2 (en) | 2019-01-30 | 2023-03-01 | Agc株式会社 | Laminate and its manufacturing method, composite laminate manufacturing method, and polymer film manufacturing method |
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CN112349684B (en) * | 2020-09-28 | 2022-10-21 | 中国电子科技集团公司第二十九研究所 | An LCP package substrate, manufacturing method and multi-chip system-in-package structure |
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-
2016
- 2016-02-09 JP JP2016022807A patent/JP6687409B2/en active Active
- 2016-12-05 TW TW105140071A patent/TWI728012B/en active
- 2016-12-08 KR KR1020160166488A patent/KR102347860B1/en active Active
- 2016-12-27 CN CN201611224956.5A patent/CN107046767B/en active Active
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---|---|
TWI728012B (en) | 2021-05-21 |
CN107046767B (en) | 2021-05-07 |
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KR20170094485A (en) | 2017-08-18 |
TW201800621A (en) | 2018-01-01 |
JP6687409B2 (en) | 2020-04-22 |
JP2017141489A (en) | 2017-08-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20161208 |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
A201 | Request for examination | ||
PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20210714 Comment text: Request for Examination of Application Patent event code: PA02011R01I Patent event date: 20161208 Comment text: Patent Application |
|
PA0302 | Request for accelerated examination |
Patent event date: 20210714 Patent event code: PA03022R01D Comment text: Request for Accelerated Examination Patent event date: 20161208 Patent event code: PA03021R01I Comment text: Patent Application |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20211124 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20220103 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20220103 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20241230 Start annual number: 4 End annual number: 4 |