KR102341946B1 - 점성 액체 토출 장치 및 그 제어 방법 - Google Patents
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 title claims abstract description 118
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 84
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 276
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 18
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 4
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
- B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
- B05C11/1005—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to condition of liquid or other fluent material already applied to the surface, e.g. coating thickness, weight or pattern
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
- B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
- B05C11/1002—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves
- B05C11/1007—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to condition of liquid or other fluent material
- B05C11/1013—Means for controlling supply, i.e. flow or pressure, of liquid or other fluent material to the applying apparatus, e.g. valves responsive to condition of liquid or other fluent material responsive to flow or pressure of liquid or other fluent material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/26—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface
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Abstract
Description
도 2는 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 점성 액체 토출 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 점성 액체 토출 장치에 있어서, 스크루 유닛에 점성 액체를 충진하기 위한 제어 상태를 설명하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 제 1 실시예에 따른 점성 액체 토출 장치에 있어서, 스크루 유닛에 점성 액체가 충진되는 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 제 2 실시예에 따른 점성 액체 토출 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 따른 점성 액체 토출 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 제 3 실시예에 다른 점성 액체 토출 장치에 있어서 점성 액체의 토출을 종료하는 과정을 설명하는 도면이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 제 4 실시예에 따른 점성 액체 토출 장치의 구성을 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 점성 액체 토출 제어 방법을 도시한 순서도이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 점성 액체 토출 제어 방법에 있어서 토출 준비 단계를 설명하는 순서도이다.
도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 점성 액체 토출 제어 방법에 있어서 토출 종료 단계를 설명하는 순서도이다.
도 12는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 점성 액체 토출 제어 방법을 설명하는 도면이다.
22 : 스크루 구동부 24 : 실린더
26 : 스크루 수용부 28 : 토출 스크루
30 : 노즐 32 : 점성 액체 공급공
34 : 기체 연통공 36 : 구동 모터
40 : 시린지 42 : 점성 액체 공급라인
44 : 시린지측 기체 압력 공급라인
50 : 압력 센서 52 : 압력 센서 연결라인
60 : 기압 공급부 70 : 보조 기압 공급부
72 : 스크루 수용부 기체 압력 공급라인
80 : 시린지측 밸브 82 : 스크루측 밸브
84 : 스크루측 기체 압력 공급라인
100 : 주제어부 110 : 카메라
Claims (27)
- 실린더와 상기 실린더의 내부에 형성된 스크루 수용부에 구비되는 토출 스크루을 포함하는 스크루 유닛;
상기 토출 스크루를 구동하는 구동 모터;
상기 스크루 유닛에 점성 액체를 공급하는 시린지;
상기 시린지에 기체 압력을 공급하는 기압 공급부; 및
상기 구동 모터와 상기 기압 공급부를 제어하는 주제어부;
를 포함하고,
상기 스크루 수용부에는 상기 시린지로부터 상기 점성 액체를 공급받는 점성 액체 공급공과, 상기 점성 액체 공급공보다 높은 위치에 형성되고 상기 스크루 수용부의 내측 공간과 연통된 기체 연통공이 형성되고,
상기 기체 연통공은, 상기 스크루 수용부 내부 압력을 센싱하는 압력 센서, 및 상기 스크루 수용부 내부로 기체 압력을 전달하는 압력 전달 요소 중 적어도 하나와 연결되고,
상기 주제어부는 상기 압력 센서의 센싱 정보를 입력받고, 상기 압력 센서의 센싱 정보에 따라 상기 기압 공급부 또는 상기 구동 모터를 제어하는 것을 특징으로 하는 점성 액체 공급 장치. - 삭제
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,
상기 시린지에서 상기 스크루 수용부로 점성 액체를 공급하여 충진하는 과정에서, 상기 주제어부는 상기 시린지에서 상기 스크루 수용부로 점성 액체를 1차 공급하여 상기 스크루 수용부 내부의 기체 압력이 상승된 것으로 판단되면 상기 시린지로의 점성 액체 공급을 일시 중단하고, 다시 상기 시린지에서 상기 스크루 수용부로 점성 액체를 2차 공급하면서 상기 구동 모터가 회전하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 점성 액체 공급 장치. - 제 4 항에 있어서,
상기 시린지에서 상기 스크루 수용부로 상기 점성 액체를 2차 공급하는 경우, 상기 점성 액체의 2차 공급 속도 및 상기 구동모터의 회전속도는 통상적인 점성 액체 토출시보다 느린 것을 특징으로 하는 점성 액체 공급 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 스크루 유닛의 노즐로부터의 점성 액체 토출 상태를 획득하는 카메라를 더 포함하고,
상기 주제어부는 상기 카메라로부터 획득된 영상으로부터 상기 노즐로부터의 점성 액체 토출 상태를 판단하는 것을 특징으로 하는 점성 액체 공급 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 주제어부는 상기 압력 센서의 센싱 정보에 따라 상기 스크루 유닛의 점성 액체 토출 불량 여부, 상기 시린지에서 상기 스크루 유닛으로의 점성 액체 공급 불량 여부, 또는 상기 스크루 유닛의 노즐의 막힘 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 점성 액체 공급 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 압력 전달 요소는 상기 기체 연통공에 연결되어 상기 기체 연통공에 기체 압력을 공급하는 보조 기압 공급부인 것을 특징으로 하는 점성 액체 공급 장치. - 제 8 항에 있어서,
상기 스크루 유닛에서의 점성 액체 토출을 종료하는 과정에서, 상기 주제어부는 상기 보조 기압 공급부에서 상기 스크루 수용부로 부압이 공급되도록 상기 보조 기압 공급부를 제어하는 것을 특징으로 하는 점성 액체 공급 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 기압 공급부는, 시린지측 기체 압력 공급라인을 통해 시린지와 연결되고, 스크루측 기체 압력 공급라인을 통해 상기 기체 연통공과 연결되는 것을 특징으로 하는 점성 액체 공급 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 스크루측 기체 압력 공급라인은 상기 시린지측 기체 압력 공급라인으로부터 분기된 것을 특징으로 하는 점성 액체 공급 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 스크루측 기체 압력 공급라인에는 스크루측 밸브가 구비되어 상기 기압 공급부로부터 상기 스크루 수용부로의 기체 압력 전달을 개폐하는 것을 특징으로 하는 점성 액체 공급 장치. - 제 12 항에 있어서,
상기 스크루 유닛에서의 점성 액체 토출을 종료하는 과정에서, 상기 주제어부는 상기 기압 공급부에서 상기 스크루 수용부로 부압이 공급되도록 상기 기압 공급부 및 상기 스크루측 밸브 중 적어도 하나를 제어하는 것을 특징으로 하는 점성 액체 공급 장치. - 제 12 항에 있어서,
상기 시린지측 기체 공급라인에는 시린지측 밸브가 구비되어 상기 기압 공급부로부터 상기 시린지로의 기체 압력 전달을 개폐하는 것을 특징으로 하는 점성 액체 공급 장치. - 제 10 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기체 연통공을 통해 상기 스크루 수용부 내부 기체 압력을 센싱하는 압력 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 점성 액체 공급 장치. - (a) 스크루 유닛의 실린더 내부에 형성된 스크루 수용부에 점성 액체를 충진하는 토출 준비 단계;
(b) 상기 스크루 유닛으로부터 상기 점성 액체를 토출시키는 토출 단계; 및
(c) 상기 스크루 유닛의 상기 점성 액체의 토출을 중단하는 토출 종료 단계;를 포함하고,
상기 (a) 단계는 상기 스크루 수용부의 내부 기체 압력을 모니터링하며 수행되는 것을 특징으로 하는 점성 액체 토출 제어 방법. - 제 16 항에 있어서,
상기 (a) 단계는,
(a1) 상기 점성 액체를 수용하는 시린지에 제 1 압력을 공급하여 상기 점성 액체를 상기 스크루 수용부로 공급하는 단계,
(a2) 상기 스크루 수용부의 내부 기체 압력이 제 1 기준 압력에 도달하면 상기 시린지에 공급되는 기체 압력을 감소시켜 상기 점성 액체가 상기 스크루 수용부로 공급되는 것을 차단하는 단계, 및
(a3) 상기 시린지에 제 2 압력을 공급하고 상기 스크루 유닛의 토출 스크루를 구동하는 단계,
를 포함하는 것을 특징으로 하는 점성 액체 토출 제어 방법. - 제 17 항에 있어서,
상기 제 2 압력은 상기 제 1 압력보다 작은 것을 특징으로 하는 점성 액체 토출 제어 방법. - 제 17 항 또는 제 18 항에 있어서,
상기 (a3) 단계에서 상기 토출 스크루의 회전 속도는 상기 (b) 단계에서의 상기 토출 스크루의 회전 속도보다 작게 설정되는 것을 특징으로 하는 점성 액체 토출 제어 방법. - 제 16 항에 있어서,
상기 (a3) 단계는, 상기 (a2) 단계 후 소정 시간을 대기하거나 상기 스크루 수용부의 내부 기체 압력이 제 1 기준 압력으로부터 제 2 기준 압력으로 떨어지면 수행되는 것을 특징으로 하는 점성 액체 토출 제어 방법. - 제 17 항에 있어서,
(a4) 상기 스크루 유닛의 노즐 끝에서 상기 점성 액체가 확인되면 상기 시린지로부터 상기 스크루 수용부로의 상기 점성 액체 공급을 차단하고 상기 토출 스크루의 구동을 정지하는 단계;
를 추가로 포함하는 점성 액체 토출 제어 방법. - 삭제
- (a) 스크루 유닛의 실린더 내부에 형성된 스크루 수용부에 점성 액체를 충진하는 토출 준비 단계;
(b) 상기 스크루 유닛으로부터 상기 점성 액체를 토출시키는 토출 단계; 및
(c) 상기 스크루 유닛의 상기 점성 액체의 토출을 중단하는 토출 종료 단계;를 포함하고,
상기 (c) 단계는,
(c1) 상기 점성 액체를 수용하는 시린지로부터 상기 스크루 수용부로의 점성 액체 공급을 차단하고, 상기 스크루 유닛의 토출 스크루의 회전을 정지시키는 단계,
(c2) 상기 스크루 수용부에 제 1 부압을 공급하는 단계, 및
(c3) 상기 스크루 수용부에 제 1 부압보다는 압력이 높은 제 2 부압을 공급하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 점성 액체 토출 제어 방법. - (a) 스크루 유닛의 실린더 내부에 형성된 스크루 수용부에 점성 액체를 충진하는 토출 준비 단계;
(b) 상기 스크루 유닛으로부터 상기 점성 액체를 토출시키는 토출 단계; 및
(c) 상기 스크루 유닛의 상기 점성 액체의 토출을 중단하는 토출 종료 단계;를 포함하고,
상기 (c) 단계는, 상기 스크루 수용부의 내부에 부압을 공급하는 과정을 포함하고,
기압 공급부가 상기 점성 액체를 수용하는 시린지와 상기 스크루 수용부로 기체 압력을 공급하고, 상기 기압 공급부와 상기 스크루 수용부를 연결하는 스크루측 기체 압력 공급라인에는 스크루측 밸브가 구비되는 것을 특징으로 하는 점성 액체 토출 제어 방법. - 제 24 항에 있어서,
상기 (c) 단계는,
(c11) 상기 기압 공급부가 상기 시린지에 공급하는 기체 압력을 부압으로 감소시키는 단계,
(c22) 상기 스크루측 밸브를 개방하여 상기 기압 공급부가 상기 시린지와 상기 스크루 수용부에 제 1 공통 부압을 공급하는 단계, 및
(c33) 상기 스크루측 밸브를 폐쇄하여 상기 기압 공급부가 상기 시린지에만 부압을 공급하는 단계,
를 포함하는 것을 특징으로 하는 점성 액체 토출 제어 방법. - 제 25 항에 있어서,
상기 (c22) 단계 후에, 상기 기압 공급부가 상기 시린지와 상기 스크루 수용부에 제 2 공통 부압을 공급하는 단계가 포함되고, 상기 제 2 공통 부압은 상기 제 1 공통 부압보다 압력이 높은 것을 특징으로 하는 점성 액체 토출 제어 방법. - 제 23 항 내지 제 26 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 (a) 단계는 상기 스크루 수용부의 내부 기체 압력을 모니터링하며 수행되는 것을 특징으로 하는 점성 액체 토출 제어 방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170063446A KR102341946B1 (ko) | 2017-05-23 | 2017-05-23 | 점성 액체 토출 장치 및 그 제어 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020170063446A KR102341946B1 (ko) | 2017-05-23 | 2017-05-23 | 점성 액체 토출 장치 및 그 제어 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20180128211A KR20180128211A (ko) | 2018-12-03 |
KR102341946B1 true KR102341946B1 (ko) | 2021-12-22 |
Family
ID=64743294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020170063446A Active KR102341946B1 (ko) | 2017-05-23 | 2017-05-23 | 점성 액체 토출 장치 및 그 제어 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102341946B1 (ko) |
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-
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- 2017-05-23 KR KR1020170063446A patent/KR102341946B1/ko active Active
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---|---|
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20170523 |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20200522 Comment text: Request for Examination of Application Patent event code: PA02011R01I Patent event date: 20170523 Comment text: Patent Application |
|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20210501 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20210917 |
|
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20211217 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20211217 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20241021 Start annual number: 4 End annual number: 4 |