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KR102297838B1 - Method for continuously inspecting electric properties of electronic chip component - Google Patents

Method for continuously inspecting electric properties of electronic chip component Download PDF

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KR102297838B1
KR102297838B1 KR1020170124225A KR20170124225A KR102297838B1 KR 102297838 B1 KR102297838 B1 KR 102297838B1 KR 1020170124225 A KR1020170124225 A KR 1020170124225A KR 20170124225 A KR20170124225 A KR 20170124225A KR 102297838 B1 KR102297838 B1 KR 102297838B1
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chip electronic
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히로토 하야시
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가부시키가이샤 휴모 라보라토리
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Abstract

[과제] 반송 플레이트의 투공에, 칩 전자 부품을, 말단 전극의 일방이 정상부에, 타방이 바닥부에 위치하도록 임시 수용하고, 반송 플레이트를 그 플레이트 평면을 따라 전기 특성 측정 위치에 이동시키고, 칩 전자 부품의 양 전극에, 롤러 전극 단자를 포함하는 전기 특성 측정용 단자를 접촉시켜 전압을 인가하여, 칩 전자 부품의 전기 특성을 측정하고, 그리고 반송 플레이트를 추가로 이동시킴으로써, 칩 전자 부품을 전기 특성 측정 위치로부터 떨어뜨리는 것을 포함하는 복수의 공정에 의해 칩 전자 부품의 전기 특성을 측정할 때에 발생하는 전극 표면의 마찰 흠집을 저감시키고, 동시에 전기 특성 측정의 신뢰성을 향상시킨다.
[해결 수단] 칩 전자 부품이 이동하여 롤러 전극 단자와 접촉할 때에는, 롤러 전극 단자를, 칩 전자 부품의 정상부 전극의 일방의 코너부와 접촉하도록 위치시키고, 전기 특성의 측정 후에는, 칩 전자 부품의 정상부 전극의 타방의 코너부와 접촉하지 않도록, 롤러 전극 단자를 반송 플레이트의 표면으로부터 떨어지는 방향으로 이동시킨다.
[Problem] A chip electronic component is temporarily accommodated in a hole in the carrier plate so that one end electrode is positioned at the top and the other at the bottom, and the carrier plate is moved along the plate plane to a position for measuring electrical properties, and the chip A voltage is applied to both electrodes of the electronic component by contacting a terminal for measuring electrical characteristics including a roller electrode terminal to measure the electrical characteristics of the chip electronic component, and by further moving a conveying plate, the chip electronic component is electrically By a plurality of steps including separation from the characteristic measurement position, friction scratches on the electrode surface that occur when measuring electrical characteristics of chip electronic components are reduced, and at the same time, reliability of electrical characteristic measurement is improved.
[Solutions] When the chip electronic component moves and comes into contact with the roller electrode terminal, the roller electrode terminal is positioned so as to be in contact with one corner portion of the top electrode of the chip electronic component, and after measuring the electrical properties, the chip electronic component Move the roller electrode terminal in a direction away from the surface of the conveying plate so that the top of the electrode does not come into contact with the other corner of the electrode.

Description

칩 전자 부품의 전기 특성의 연속적인 검사 방법{METHOD FOR CONTINUOUSLY INSPECTING ELECTRIC PROPERTIES OF ELECTRONIC CHIP COMPONENT}METHOD FOR CONTINUOUSLY INSPECTING ELECTRIC PROPERTIES OF ELECTRONIC CHIP COMPONENT

본 발명은, 자동화된 칩 전자 부품 검사 선별 장치를 사용하여 대량의 칩 전자 부품의 전기 특성을 고속으로 연속적으로 검사하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for continuously inspecting electrical characteristics of a large number of chip electronic components at high speed using an automated chip electronic component inspection and sorting device.

휴대전화, 스마트 폰, 액정 TV, 전자 게임기 등의 소형 전자기기의 생산량의 증가에 수반하여, 이와 같은 전자기기에 삽입되는 미소한 칩 전자 부품의 생산량이 현저하게 증가하고 있다. 칩 전자 부품의 대부분은, 본체부와 본체부의 대향하는 양 단면의 각각에 구비되어 있는 전극으로 형성되어 있다. 이와 같은 구성의 칩 전자 부품의 예로는, 칩 커패시터 (칩 콘덴서라고도 불린다), 칩 저항기 (칩 배리스터를 포함한다), 및 칩 인덕터를 들 수 있다.With the increase in production of small electronic devices such as mobile phones, smart phones, liquid crystal TVs, and electronic game machines, the production of micro-chip electronic components inserted into such electronic devices is remarkably increased. Most of the chip electronic components are formed of a main body portion and an electrode provided on each of opposite end surfaces of the main body portion. Examples of the chip electronic component having such a configuration include a chip capacitor (also called a chip capacitor), a chip resistor (including a chip varistor), and a chip inductor.

최근, 칩 전자 부품이 삽입되는 전자기기의 추가적인 소형화 그리고 전자기기에 삽입되는 칩 전자 부품의 수의 증가에 따라, 칩 전자 부품은 극도로 작아져 있다. 예를 들어, 칩 커패시터에 대해서는 최근, 매우 작은 사이즈 (예, 0402 칩으로 불리는, 0.2 ㎜ × 0.2 ㎜ × 0.4 ㎜ 의 사이즈) 의 칩 커패시터가 사용되게 되었고, 이와 같은 미소한 칩 전자 부품은, 대량 생산에 의해, 1 로트가 수만 ∼ 수십만개라는 단위로 생산되고 있다.Recently, with the further miniaturization of electronic devices into which chip electronic components are inserted and the increase in the number of chip electronic components inserted into electronic devices, chip electronic components have become extremely small. For example, for chip capacitors, chip capacitors with a very small size (eg, a size of 0.2 mm × 0.2 mm × 0.4 mm, called 0402 chips) have come to be used in recent years. By production, one lot is produced in units of tens of thousands to hundreds of thousands of pieces.

칩 전자 부품이 삽입되는 전자기기에서는, 삽입하는 칩 전자 부품의 결함에서 기인되는 전자기기의 불량품률을 낮추기 위하여, 대량 생산되는 칩 전자 부품에 대해 전수 검사가 실시되는 것이 일반적이다. 예를 들어, 제품으로서 사용되는 칩 커패시터에 대해서는, 그 전수에 대해, 정전 용량이나 누설 전류 등의 전기 특성의 검사가 실시된다.In an electronic device into which a chip electronic component is inserted, in order to reduce the defect rate of the electronic device resulting from a defect in the chip electronic component to be inserted, it is common to perform a complete inspection on a chip electronic component mass-produced. For example, with respect to a chip capacitor used as a product, electrical characteristics, such as electrostatic capacity and leakage current, are inspected for the total number.

대량의 칩 전자 부품의 전기 특성의 검사는 고속으로 실시할 필요가 있고, 그 고속의 검사를 자동적으로 실시하기 위한 장치로서, 최근에는 다수의 투공 (透孔) 이 형성된 칩 전자 부품 반송 원반 (원반상 칩 전자 부품 반송 플레이트) 을 구비한 칩 전자 부품의 전기 특성의 검사를 위한 자동화 장치 (즉, 칩 전자 부품 검사 장치) 가 일반적으로 사용되고 있다. 칩 전자 부품 반송 원반 (이후, 간단히 반송 원반이라고 하는 경우가 있다) 에는, 통상적으로 검사 대상의 칩 전자 부품을 일시적으로 수용 유지하는 다수의 투공이 원주를 따라 3 열 이상의 복수열로 나열된 상태로 형성되어 있다. 그리고, 이 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 사용시에는, 간헐적인 회전하에 있는 반송 원반의 투공에 칩 전자 부품을 일시적으로 수용 유지시킨 후, 그 반송 원반에 유지되어 있는 칩 전자 부품에, 반송 원반의 회전 경로를 따라 부설되어 있는 1 쌍의 전극 단자 (검사용 접촉자) 를 칩 전자 부품의 각 전극에 접촉시켜 소정의 전압을 인가하고, 그 칩 전자 부품의 전기 특성을 측정하는 작업이 실시된다.Inspection of the electrical characteristics of a large number of chip electronic components needs to be performed at high speed, and as a device for automatically performing the high-speed inspection, in recent years, a chip electronic component conveyance disk (original BACKGROUND ART An automated apparatus (ie, chip electronic component inspection apparatus) for inspection of electrical characteristics of chip electronic components provided with a semi-shaped chip electronic component conveying plate) is generally used. In a chip electronic component conveyance disk (hereinafter, sometimes simply referred to as a conveying disk), a plurality of perforations for temporarily receiving and holding the chip electronic component to be inspected are usually formed in a state in which three or more rows are arranged along the circumference. has been And, when using this chip electronic component inspection and sorting apparatus, after temporarily receiving and holding a chip electronic component in the hole of the conveyance disk under intermittent rotation, rotation of the conveyance disk to the chip electronic component hold|maintained by the conveyance disk. A pair of electrode terminals (inspection contact) laid along the path is brought into contact with each electrode of the chip electronic component, a predetermined voltage is applied, and the operation of measuring the electrical characteristics of the chip electronic component is performed.

예를 들어, 칩 커패시터의 정전 용량의 검사를 실시하는 경우에는, 전기 특성 검사부에서, 칩 전자 부품 검사 선별 장치에 구비된 검사기 (전기 특성 측정 장치) 로부터 검사용 전극 단자를 통하여, 칩 커패시터에 소정의 주파수를 갖는 검사용 전압을 인가한다. 그리고, 이 검사용 전압의 인가에 의해 칩 커패시터에서 발생하는 전류의 전류치를 검사기로 검출하고, 이 검출 전류치와 검사용 전압의 전압치에 기초하여, 검사 대상의 칩 커패시터의 정전 용량의 측정이 실시된다.For example, in the case of testing the capacitance of the chip capacitor, in the electrical characteristic inspection unit, the predetermined value is applied to the chip capacitor from the inspection machine (electrical characteristic measuring device) provided in the chip electronic component inspection and sorting device through the electrode terminal for inspection. Apply a test voltage having a frequency of Then, the current value of the current generated in the chip capacitor by the application of the test voltage is detected by the tester, and the capacitance of the chip capacitor to be inspected is measured based on the detected current value and the voltage value of the test voltage. do.

즉, 상기의 칩 전자 부품의 전기 특성의 검사 장치는, 적어도 3 열의 투공의 열이 동심원상으로 표면에 형성된 칩 전자 부품 반송 원반, 그 반송 원반을 그 간헐적인 회전이 가능하도록 동심원상의 투공의 열의 중심에서 축지지하는 기대, 그리고 그 반송 원반의 표면을 따른 위치에 각각 배치된 칩 전자 부품 공급 수용부 및 롤러 전극 단자와 고정 전극 단자를 포함하는 전극 단자 세트를 구비한 전기 특성 검사부를 포함하는 칩 전자 부품 전기 특성 검사 장치라고 할 수 있다.That is, the apparatus for inspecting electrical properties of chip electronic components described above includes a chip electronic component conveyance disk having at least three rows of perforations formed on the surface in concentric circles, and a row of concentric perforations so that the conveying disk can be intermittently rotated. A chip comprising: a base supported by the center; and an electrical characteristic inspection unit having a chip electronic component supply receiving unit each disposed at positions along the surface of the conveying disc, and an electrode terminal set including roller electrode terminals and fixed electrode terminals; It can be said that it is an electronic component electrical property inspection device.

반송 원반에 유지되어 있는 칩 전자 부품의 검사가 끝나면, 그 검사 결과에 기초하여, 칩 전자 부품을 반송 원반의 투공으로부터 배출시켜 소정의 용기에 수용되도록 선별 (혹은 분류) 하는 작업이 실시된다. 이 때문에, 통상적인 칩 전자 부품 검사 장치에는, 추가로 검사 후의 칩 전자 부품의 선별 (혹은 분류) 을 실시하기 위한 칩 전자 부품 분류부 (분류역) 가 부설되어 있어, 칩 전자 부품 전기 특성 검사 선별 장치로서 제품화되고 있는 경우가 많다.When the inspection of the chip electronic component held on the conveyance disk is finished, based on the inspection result, the chip electronic component is discharged from the through hole of the conveyance disk, and the operation of sorting (or sorting) so that it is accommodated in a predetermined container is performed. For this reason, in a normal chip electronic component inspection apparatus, the chip electronic component classification part (sorting area) for further performing selection (or classification) of the chip electronic component after an examination is attached, and the chip electronic component electrical property test selection It is often commercialized as a device.

상기의 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 예로는, 특허문헌 1 에 기재되어 있는 장치를 들 수 있다. 즉, 특허문헌 1 에는, 상기 서술한 구성의 칩 전자 부품 검사 선별 장치를 사용하여, 각각 소정의 동일한 전기 특성을 나타내도록 동일한 규격에 기초하여 제조된 검사 대상의 칩 전자 부품을 서로 근접 배치한 상태에서 반송 원반의 투공에 수용 유지 (임시 수용) 시키고, 이어서 칩 전자 부품의 전극에 검사기를 전기적으로 접속하고, 그리고 검사기로부터 각각의 칩 전자 부품에 검사용 전압을 인가하여, 각 칩 전자 부품에서 발생하는 전류치를 검사기에 의해 검출하는 공정을 포함하는 칩 전자 부품의 전기 특성을 연속적으로 검사하는 방법의 개량 방법이 기재되어 있다.The apparatus described in patent document 1 is mentioned as an example of said chip electronic component test|selection apparatus. That is, in Patent Document 1, using the chip electronic component inspection and sorting device having the above-described configuration, the chip electronic components to be inspected, manufactured based on the same standard, each exhibiting predetermined and identical electrical characteristics are arranged adjacent to each other. is accommodated and held (temporarily accommodated) in the hole of the conveying disk, then the tester is electrically connected to the electrode of the chip electronic component, and a voltage for inspection is applied from the tester to each chip electronic component, and generated in each chip electronic component A method of improving a method of continuously inspecting electrical characteristics of a chip electronic component including a step of detecting a current value to be applied by an inspection device is disclosed.

상기의 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 칩 전자 부품 전기 특성 검사부에는 통상적으로, 반송 원반의 이측 (혹은 하측) 에 배치되어 있는 고정 프로브 전극 (통상적으로, 간단히 고정 전극으로 불린다) 과 반송 원반의 표측 (혹은 상측) 에 배치되어 있는 가동 프로브 전극 (통상적으로, 간단히 가동 전극으로 불린다) 을 조합하여 구성한 전기 특성 검사구가 반송 원반의 반경 방향을 따라 복수 세트 구비되어 있다.In the chip electronic component electrical property inspection unit of the above-described chip electronic component inspection and sorting device, a fixed probe electrode (generally simply referred to as a fixed electrode) disposed on the back (or lower side) of the transfer disk and the front side of the transfer disk ( Alternatively, a plurality of sets of electrical property inspection tools configured by combining movable probe electrodes (generally, simply referred to as movable electrodes) disposed on the upper side) are provided along the radial direction of the conveyance disk.

상기의 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 칩 전자 부품 전기 특성 검사부에 구비되는 가동 프로브로는 종래부터 그 프로브 선단부 (칩 전자 부품의 전극면에 접촉하는 부분) 를 봉상으로 가공하거나 브러시상으로 가공하거나, 혹은 프로브 선단부에 회전 가능한 롤러를 부설하거나 하여, 프로브 선단부와 칩 전자 부품의 전극의 확실한 접촉을 실현하기 위한 연구가 이루어져 왔지만, 최근에는, 프로브 선단부의 마모나 결손이 적고, 또 접촉하는 칩 전자 부품의 전극의 손상이 적은 롤러 전극 단자 (즉 선단부에 롤러를 부설한 전극 단자) 의 사용이 일반적으로 되어 있다.As a movable probe provided in the electronic component electrical property inspection unit of the chip electronic component inspection and sorting device, the tip of the probe (the portion in contact with the electrode surface of the chip electronic component) is conventionally processed into a rod shape or a brush shape, Or by installing a rotatable roller at the tip of the probe, research has been made to ensure reliable contact between the tip of the probe and the electrode of the chip electronic component. It is common to use a roller electrode terminal with little damage to the electrode (that is, an electrode terminal with a roller installed at the tip).

칩 전자 부품 검사 선별 장치의 전자 부품 전기 특성 검사부에 구비되는 롤러 전극 단자의 예에 대해서는, 특허문헌 2 ∼ 6 에 구성도의 예시와 함께 상세한 설명이 기재되어 있다.About the example of the roller electrode terminal with which the electronic component electrical property inspection part of a chip electronic component inspection and sorting apparatus is equipped, the detailed description is described with the example of a block diagram in patent documents 2-6.

상기의 특허문헌 2 ∼ 6 중, 특허문헌 2 에는, 칩 전자 부품 검사 선별 장치에 구비되어 있는 공지된 롤러 전극 단자의 구성예가 개시되어 있고, 또한 양단부에 전극을 구비한 칩 전자 부품의 전기 특성의 검사를, 롤러 전극 단자를 이용하여 실시할 때에, 칩 전자 부품의 전극의 부분적인 손상 (접촉 흠집) 이 발생한다는 문제점이 기재되어 있다. 그리고, 특허문헌 2 에는, 이 칩 전자 부품의 전극의 접촉 흠집은, 칩 전자 부품의 전극과 롤러 전극 단자와의 접촉시 및 접촉 해제시에 발생한다는 설명이 있다. 또, 특허문헌 2 에는, 이 롤러 전극 단자와의 접촉에 의해 칩 전자 부품의 전극에 발생하는 접촉 흠집을 억제하기 위한 수단으로서, 롤러 전극의 선단 롤러부에 대한 링상의 탄성체의 부설이 제안되어 있다.Among the above Patent Documents 2 to 6, Patent Document 2 discloses a configuration example of a known roller electrode terminal provided in a chip electronic component inspection and sorting device, and furthermore, the electrical characteristics of a chip electronic component having electrodes at both ends. The problem that partial damage (contact flaw) of the electrode of a chip electronic component occurs when a test|inspection is performed using a roller electrode terminal is described. And patent document 2 has explanation that the contact flaw of the electrode of this chip electronic component arises at the time of the contact between the electrode of a chip electronic component, and a roller electrode terminal, and at the time of contact release. Moreover, in patent document 2, as a means for suppressing the contact flaw which generate|occur|produces in the electrode of a chip electronic component by contact with this roller electrode terminal, laying of the ring-shaped elastic body with respect to the front-end|tip roller part of a roller electrode is proposed. .

특허문헌 3 및 특허문헌 3 의 대응 국제공개공보인 특허문헌 4, 또 특허문헌 5 및 특허문헌 5 의 대응 국제공개공보인 특허문헌 6 에도, 칩 전자 부품 검사 선별 장치에 구비되는 롤러 전극 단자의 다른 구성예가 개시되어 있다. 그리고, 상기 서술한 칩 전자 부품의 전기 특성의 검사시에 발생하는 전극의 손상을 방지하기 위한 종래법이 기재되어 있다. 이 종래법에서는, 반송 원반의 회전시에는, 롤러 전극 단자를 반송 원반의 표면으로부터 떨어진 위치에 배치하여, 롤러 전극 단자가 반송 원반의 투공에 수용되어 반송되어 오는 칩 전자 부품의 전극과 접촉하지 않게 해 두고, 이어서 반송 원반의 회전에 의해 투공 내의 칩 전자 부품이 전기 특성 검사부에 반송되어 회전이 정지했을 때에, 롤러 전극 단자를 이동 (하강) 시킴으로써 칩 전자 부품의 전극에 접촉시켜 전기 특성을 검사하고, 그 후의 검사의 종료 후에, 이번에는, 롤러 전극 단자를 칩 전자 부품의 전극으로부터 떨어지도록 이동 (상승) 시키고, 이어서, 반송 원반의 회전을 실시하는 방법이 설명되어 있다. 단, 이들의 특허문헌에는, 이 방법에서는, 롤러 전극 단자의 승강 조작이 가해짐으로써 검사 작업의 생산성이 저하된다 (검사 작업에 필요한 시간이 길어진다) 는 문제의 발생이 지적되고 있다.In Patent Document 3 and Patent Document 4, which is an international publication corresponding to Patent Document 3, and Patent Document 6, which is an international publication corresponding to Patent Document 5 and Patent Document 5, there is another A configuration example is disclosed. And, the conventional method for preventing the damage of the electrode which arises at the time of the test|inspection of the electrical characteristic of the chip electronic component mentioned above is described. In this conventional method, when the conveying disk is rotated, the roller electrode terminals are arranged at a position away from the surface of the conveying disk so that the roller electrode terminals are accommodated in the through holes of the conveying disk and do not contact the electrodes of the conveyed chip electronic component. Then, by the rotation of the conveying disk, when the chip electronic component in the hole is conveyed to the electrical property inspection unit and rotation is stopped, the roller electrode terminal is moved (lowered) to contact the electrode of the chip electronic component, and the electrical property is inspected. , after completion of the subsequent inspection, this time, a method of moving (raised) the roller electrode terminal away from the electrode of the chip electronic component, followed by rotation of the conveying disk, is described. However, in these patent documents, generation|occurrence|production of the problem that productivity of an inspection work falls (time required for an inspection work becomes long) is pointed out by this method that the raising/lowering operation of a roller electrode terminal is applied.

일본 공개특허공보 2015-213121호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2015-213121 일본 공개특허공보 2008-224418호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2008-224418 일본 공표특허공보 2010-511865호Japanese Patent Publication No. 2010-511865 WO2008/067129 A2WO2008/067129 A2 일본 공표특허공보 2010-517058호Japanese Patent Publication No. 2010-517058 WO2008/094831 A1WO2008/094831 A1

본 발명의 발명자는, 검사용 접촉자의 가동 프로브 전극으로서 특허문헌 2 에 종래 기술로서 예시되어 있는 롤러 전극 단자를 구비한 칩 전자 부품 검사 선별 장치를 사용하여 칩 전자 부품의 연속적인 전기 특성의 검사 시험을 실시하였다. 그 결과, 특허문헌 2 에서 종래 기술로서 기재되어 있는 양단부에 전극을 구비한 칩 전자 부품의 전기 특성의 검사를, 롤러 전극 단자를 이용하여 실시한 경우에, 인용문헌 2 의 기재와 같이, 칩 전자 부품의 전극에 접촉 흠집이 발생하는 것이 확인되었다. 또한, 이와 같은 전기 특성의 검사 후에 관찰되는 칩 전자 부품의 전극에 있어서의 접촉 흠집의 존재는, 검사가 완료된 칩 전자 부품을 땜납을 사용하여 프린트 배선판에 삽입할 (실장할) 때에 필요한 칩 전자 부품의 전극으로의 땜납이 젖음이 불균일해지기 쉬워, 칩 전자 부품의 실장시의 트러블의 원인이 된다. 따라서, 전기 특성의 검사를 거친 칩 전자 부품의 전극면의 접촉 흠집은 가능한 한 작게 하는 것이 바람직하다.The inventor of the present invention uses a chip electronic component inspection and sorting apparatus provided with a roller electrode terminal exemplified as a prior art in Patent Document 2 as a movable probe electrode of a contactor for inspection, and conducts an inspection test of continuous electrical properties of chip electronic components. was carried out. As a result, when the inspection of the electrical characteristics of the chip electronic component provided with electrodes at both ends described as a prior art in patent document 2 is performed using a roller electrode terminal, like the description of referenced document 2, a chip electronic component It was confirmed that contact scratches occurred on the electrodes of In addition, the presence of a contact flaw in the electrode of the chip electronic component observed after the inspection of such electrical characteristics is a necessary chip electronic component when inserting (mounting) the inspected chip electronic component into a printed wiring board using solder. Wetting of the solder to the electrode of the electrode tends to be non-uniform, which causes trouble at the time of mounting the chip electronic component. Therefore, it is desirable to make the contact flaw of the electrode surface of the chip electronic component that has been inspected for the electrical characteristics as small as possible.

본 발명의 발명자는, 추가로 특허문헌 3 ∼ 6 에 기재된 공지 방법, 즉, 투공에 칩 전자 부품이 수용된 반송 원반의 간헐적인 회전에 동기시켜 롤러 전극 단자의 후퇴 (반송 원반 표면으로부터 떨어지는 이동) 와 전진 (반송 원반의 투공에 수용된 칩 전자 부품의 전극면으로의 접촉을 위한 이동) 을 반복하는 방법에 의해, 검사가 완료된 칩 전자 부품의 전극에 대한 접촉 흠집의 발생을 억제할 수 있는 것도 확인하였다. 단, 본 발명의 발명자의 검토에 의하면, 상기 방법에 의한 칩 전자 부품의 전기 특성의 검사 작업을 실시한 경우, 칩 전자 부품의 전기 특성의 검사 결과에 재현성이 부족한 경향 (즉, 모두 양품 (합격품) 이어야 할 터인 칩 전자 부품의 전기 특성을 측정한 경우에는, 본래는 근소한 오차 범위 내에서 측정치가 고르게 될 터임에도 불구하고, 그 측정치에 적지 않은 오차가 발생하는 경향) 이 있는 것이 판명되었다. 본래 일정한 오차 범위 내에서 측정치가 고르게 될 터인 합격품의 칩 전자 부품의 전기 특성의 측정 결과에 이와 같은 오차가 발생하면, 측정치의 신뢰성이 보증되지 않는 결과가 되어, 그 오차의 레벨에 따라서는, 칩 전자 부품의 전기 특성의 측정 방법으로서의 적격성이 문제가 된다.The inventor of the present invention further relates to the known method described in Patent Documents 3 to 6, i.e., the retraction of the roller electrode terminals (movement away from the surface of the conveying disk) in synchronization with the intermittent rotation of the conveying disk in which the chip electronic component is accommodated in the through hole; It was also confirmed that the occurrence of contact scratches on the electrode of the chip electronic component that has been inspected can be suppressed by the method of repeating the advance (movement for contact with the electrode surface of the chip electronic component accommodated in the hole of the conveying disk). . However, according to the examination by the inventor of the present invention, when the inspection operation of the electrical characteristics of the chip electronic component by the above method is performed, the test result of the electrical characteristic of the chip electronic component tends to have insufficient reproducibility (that is, both are good products (passed products) In the case of measuring the electrical characteristics of a chip electronic component, which should have been, it has been found that there is a tendency for a considerable error to occur in the measured value, although the measured value would be even within a narrow error range. If such an error occurs in the measurement result of the electrical characteristics of the electronic component of the chip of the accepted product, where the measurement value is supposed to be even within a certain error range, the reliability of the measurement value is not guaranteed, and depending on the level of the error, the chip The suitability as a method for measuring the electrical properties of electronic components is a problem.

즉, 본 발명의 발명자의 지금까지의 검토에 의해, 반송 원반을 사용하는 공지된 칩 전자 부품 검사 장치에서는, 검사가 완료된 칩 전자 부품의 전극의 접촉 흠집의 발생 억제 그리고 검사 결과의 판정에 필요한 전기 특성의 측정치의 신뢰성 유지라는 모두 중요한 요구의 양립을 만족할 수 있는 레벨로 실현하는 것은 곤란한 것이 판명되었다.That is, according to the studies made by the inventor of the present invention, in a known chip electronic component inspection apparatus using a conveyance disk, the generation of a contact flaw of the electrode of the chip electronic component that has been inspected is suppressed and the electricity required for determination of the inspection result It turned out that it is difficult to implement|achieve the coexistence of all important requirements of maintaining the reliability of the measured value of a characteristic at the level which can satisfy|fill.

또한, 본 명세서의 지금까지의 설명에서는, 반송 원반을 사용하는 칩 전자 부품 검사 장치를 이용한 칩 전자 부품의 연속적인 검사 방법을 설명해 왔지만, 칩 전자 부품의 연속적인 검사 방법은, 원반 형상이 아닌 다른 형상의 칩 전자 부품 반송 플레이트 (이후, 간단히 반송 플레이트라고 하는 경우가 있다) 를 사용하는 여러 가지 방법이 알려져 있다.In addition, in the description so far in this specification, the continuous inspection method of a chip electronic component using the chip electronic component inspection apparatus using a conveyance disk has been demonstrated, but the continuous inspection method of a chip electronic component is other than a disk shape. Various methods using the chip electronic component conveyance plate (Hereinafter, it may simply be called a conveyance plate) of a shape are known.

즉, 일반적인 칩 전자 부품의 연속적인 검사 방법은, 그것들의 공지된 검사 방법을 포함하는 하기의 칩 전자 부품의 전기 특성의 측정 방법이라고 할 수 있다.That is, it can be said that the general continuous inspection method of a chip electronic component is the measuring method of the electrical characteristic of the following chip electronic component including those well-known inspection methods.

복수의 칩 전자 부품 임시 수용공을 구비한 반송 플레이트의 칩 전자 부품 임시 수용공에, 서로 대향하는 양 말단의 각각에 전극을 구비한 칩 전자 부품을, 일방의 말단의 전극이 정상부에, 그리고 타방의 말단의 전극이 바닥부에 위치하도록 임시 수용하는 공정 ; 반송 플레이트를 그 표면의 평면을 따라 전기 특성 측정 위치에 이동시키는 공정 ; 칩 전자 부품의 정상부의 전극과 바닥부의 전극의 각각에 전기 특성 측정용 단자를 접촉시켜 전압을 인가함으로써, 칩 전자 부품의 전기 특성을 측정하는 공정 ; 그리고 칩 전자 부품 반송 플레이트를 그 표면의 평면을 따라 추가로 이동시킴으로써, 전기 특성 측정이 종료된 칩 전자 부품을 전기 특성 측정 위치로부터 이탈시키는 공정을 포함하는 칩 전자 부품의 전기 특성의 측정 방법. In the chip electronic component temporary accommodation hole of the carrier plate having a plurality of chip electronic component temporary accommodation holes, a chip electronic component having electrodes at opposite ends thereof is placed, an electrode of one end is at the top, and the other end is provided with electrodes. a process of temporarily accommodating the distal end of the electrode so that it is located at the bottom; moving the conveying plate along the plane of its surface to an electrical characteristic measurement position; A process of measuring the electrical characteristic of a chip electronic component by making the terminal for electrical characteristic measurement contact each of the electrode of the top part and the electrode of a bottom part of a chip electronic component, and applying a voltage; and a step of moving the chip electronic component carrying plate further along the plane of the surface thereof to separate the chip electronic component whose electrical characteristic measurement has been completed from the electrical characteristic measurement position.

따라서, 본 발명의 과제는, 복수의 칩 전자 부품 임시 수용공을 구비한 반송 플레이트를 사용하고, 또한 일방의 전기 특성 측정용 단자로서 롤러 전극 단자를 사용하는 칩 전자 부품 검사 장치의 사용시에 발생하기 쉬운, 검사가 완료된 칩 전자 부품의 전극의 접촉 흠집의 발생을 억제하고, 그리고 검사 결과의 판정에 필요한 전기 특성의 측정치의 신뢰성을 유지한다는 중요한 요구를 모두 실현할 수 있는 칩 전자 부품의 검사 방법을 제공하는 것에 있다.Therefore, the subject of the present invention is to occur when using a chip electronic component inspection apparatus using a carrier plate provided with a plurality of temporary accommodating holes for chip electronic components and using a roller electrode terminal as one terminal for measuring electrical characteristics. To provide an inspection method for chip electronic components capable of realizing all of the important requirements of suppressing the occurrence of contact scratches between electrodes of chip electronic components that have been easily inspected, and maintaining the reliability of measured values of electrical characteristics required for determination of inspection results. is in doing

본 발명의 발명자는, 상기의 과제를 해결하기 위하여 검토를 거듭한 결과, 반송 원반을 사용하고, 칩 전자 부품 전기 특성 검사부에 구비되는 가동 프로브로서 롤러 전극 단자를 사용하는 칩 전자 부품 검사 장치에 의한 검사 방법에 있어서, 반송 원반의 간헐적인 회전에 동기시켜, 그 롤러 전극 단자를, 반송 원반의 회전시에는, 반송 원반의 표면에 접촉하는 위치 혹은 반송 원반의 표면의 근방에 있는 위치로서, 반송 원반의 투공에 수용된 칩 전자 부품이 반송 원반의 회전에 의해 전기 특성 검사부로 이동했을 때에 칩 전자 부품의 전극과 롤러 전극 단자가 접촉하는 위치에 배치하고, 반송 원반에 수용된 칩 전자 부품이 전기 특성 검사부로 이동한 후 반송 원반의 회전이 정지하고, 칩 전자 부품의 전극에 롤러 전극 단자가 접촉한 상태에서 전기 특성의 측정이 실시된 후로서, 반송 원반이 정지 상태에 있는 동안에 롤러 전극 단자를 칩 전자 부품의 전극으로부터 떼어놓고, 이어서, 반송 원반의 회전에 의해 칩 전자 부품이 전기 특성 검사부의 밖으로 이동한 후에, 롤러 전극 단자를 다시 반송 원반과의 접촉 위치 혹은 반송 원반의 표면의 근방 위치로 되돌리도록 이동시킴으로써, 상기의 과제를 실용 레벨에 있어서 만족할 수 있을 정도로 해결할 수 있는 것을 알아냈다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of repeating examination in order to solve the said subject, the inventor of this invention uses a conveyance disk, and uses a chip electronic component inspection apparatus using a roller electrode terminal as a movable probe provided in a chip electronic component electrical property inspection part. In the inspection method, in synchronization with the intermittent rotation of the conveyance disk, the roller electrode terminals are positioned at a position in contact with the surface of the conveying disk or in the vicinity of the surface of the conveying disk when the conveying disk is rotated. When the chip electronic component accommodated in the through hole of the transfer disk moves to the electrical property inspection unit by rotation of the conveyance disk, it is placed at the position where the electrode of the chip electronic component and the roller electrode terminal contact, and the chip electronic component accommodated in the conveying disk is transferred to the electrical property inspection unit After moving, the rotation of the conveying disk is stopped, and the measurement of the electrical properties is carried out in a state where the roller electrode terminal is in contact with the electrode of the chip electronic component. After the electronic component is moved out of the electrical property inspection unit by rotation of the conveying disk, the roller electrode terminal is moved back to the position in contact with the conveying disk or to a position near the surface of the conveying disk. By doing it, it discovered that the said subject could be solved to the extent that it could be satisfied in a practical use level.

따라서, 본 발명은, 하기의 칩 전자 부품의 전기 특성의 연속적인 검사 방법에 있다.Accordingly, the present invention resides in the following continuous inspection method for electrical characteristics of chip electronic components.

복수의 칩 전자 부품 임시 수용공을 구비한 반송 플레이트의 칩 전자 부품 임시 수용공에, 서로 대향하는 양 말단의 각각에 전극을 구비한 칩 전자 부품을, 일방의 말단의 전극이 정상부에, 그리고 타방의 말단의 전극이 바닥부에 위치하도록 임시 수용하는 공정 ;In the chip electronic component temporary accommodation hole of the carrier plate having a plurality of chip electronic component temporary accommodation holes, a chip electronic component having electrodes at opposite ends thereof is placed, an electrode of one end is at the top, and the other end is provided with electrodes. a process of temporarily accommodating the distal end of the electrode so that it is located at the bottom;

반송 플레이트를 그 표면의 평면을 따라 전기 특성 측정 위치에 이동시키는 공정 ;moving the conveying plate along the plane of its surface to an electrical characteristic measurement position;

칩 전자 부품의 정상부 전극과 바닥부 전극의 각각에, 전기 특성 측정용 단자를 접촉시켜 전압을 인가하는, 단 정상부 전극에 접촉시키는 전기 특성 측정용 단자는 롤러 전극 단자인, 것에 의해 칩 전자 부품의 전기 특성을 측정하는 공정 ;A terminal for measuring electrical characteristics is applied to each of the top electrode and the bottom electrode of the chip electronic component by contacting the terminal for measuring electrical characteristics, provided that the terminal for measuring electrical characteristics brought into contact with the top electrode is a roller electrode terminal, whereby process of measuring electrical properties;

그리고and

반송 플레이트를 그 플레이트 평면을 따라 추가로 이동시킴으로써, 전기 특성 측정이 종료된 칩 전자 부품을 전기 특성 측정 위치로부터 이탈시키는 공정 ;a step of moving the conveying plate further along the plate plane, whereby the chip electronic component whose electrical property measurement has been completed is separated from the electrical property measurement position;

을 포함하는 칩 전자 부품의 전기 특성의 측정 방법으로서,A method of measuring electrical properties of a chip electronic component comprising:

칩 전자 부품이 이동하고, 그 정상부 전극이 롤러 전극 단자와의 접촉을 개시할 때까지는, 롤러 전극 단자를, 정상부 전극의 일방의 코너부와 접촉하는 위치에 배치해 두고, 이어서 전기 특성 측정 후에는, 정상부 전극의 타방의 코너부와는 접촉하지 않도록, 롤러 전극 단자를 칩 반송 플레이트의 표면으로부터 떨어지는 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 칩 전자 부품의 전기 특성 측정 방법.Until the chip electronic component moves and the top electrode starts contacting the roller electrode terminal, the roller electrode terminal is placed at a position in contact with one corner of the top electrode, and then, after measuring the electrical properties, , A method for measuring electrical properties of a chip electronic component, characterized in that the roller electrode terminal is moved in a direction away from the surface of the chip carrying plate so as not to come into contact with the other corner portion of the top electrode.

또한, 본 발명은, 반송 플레이트가 중심을 축으로 하여 간헐적인 회전을 실시하는 칩 전자 부품 반송 원반인 칩 전자 부품의 전기 특성의 측정시에 특히 유리하게 이용할 수 있다.In addition, the present invention can be particularly advantageously used in the measurement of electrical characteristics of a chip electronic component conveying disk in which the conveying plate rotates intermittently about the center.

본 발명의 칩 전자 부품의 전기 특성의 연속적인 검사 방법을 사용함으로써, 반송 원반과 롤러 전극 단자를 사용하는 칩 전자 부품 검사 장치를 사용하여, 검사가 완료된 칩 전자 부품의 전극의 접촉 흠집의 발생 억제 그리고 검사 결과의 판정에 필요한 전기 특성의 측정치의 높은 신뢰성 유지라는 모두 중요한 요구의 양립을 실현할 수 있다.By using the continuous inspection method of the electrical properties of the chip electronic component of the present invention, the occurrence of a contact flaw of the electrode of the chip electronic component that has been inspected is suppressed using a chip electronic component inspection apparatus using a conveying disk and a roller electrode terminal And it is possible to realize both important requirements of maintaining high reliability of measured values of electrical characteristics necessary for judgment of inspection results.

도 1 은 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 전체 구성의 예를 나타내는 정면도이다.
도 2 는 반송 원반의 투공에 수용된 칩 전자 부품의 전기 특성을 검사부에서 검사하는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 3 은 특허문헌 2 에 기재된 롤러 전극 단자의 구조를 나타내는 도면이다.
도 4 는 특허문헌 2 에 개시되어 있는 반송 원반에 수용된 칩 전자 부품과 롤러 전극 단자의 롤러 부분의 전기 특성 검사의 전후에 있어서의 접촉 상태를 나타내는 도면이다.
도 5 는 본 발명의 칩 전자 부품의 전기 특성의 연속적인 검사 방법에 있어서의 반송 원반에 수용된 칩 전자 부품과 롤러 전극 단자의 롤러 부분의 전기 특성 검사의 전후에 있어서의 접촉 상태를 나타내는 도면이다.
도 6 은 본 발명의 칩 전자 부품의 전기 특성의 연속적인 검사 방법에서 사용하는 롤러 전극 단자의 승강 기구 (롤러가 반송 원반의 표면에 접촉하고 있는 상태로부터 전기 특성 검사 후에 롤러가 칩 전자 부품의 전극면으로부터 떨어지기 위하여 이동시키는 기구) 의 예를 설명하는 도면이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a front view which shows the example of the whole structure of a chip electronic component inspection and sorting apparatus.
2 is a cross-sectional view showing a state in which the inspection unit inspects the electrical characteristics of the chip electronic component accommodated in the through hole of the conveyance disk.
It is a figure which shows the structure of the roller electrode terminal described in patent document 2.
It is a figure which shows the contact state in the electric characteristic test|inspection of the chip electronic component accommodated in the conveyance disk disclosed by patent document 2, and the roller part of a roller electrode terminal before and behind.
It is a figure which shows the contact state in the electrical characteristic test before and behind the chip electronic component accommodated in the conveyance master in the continuous inspection method of the electrical characteristic of the chip electronic component of this invention, and the roller part of a roller electrode terminal.
6 is a view showing the elevating mechanism of the roller electrode terminal used in the continuous inspection method of the electrical characteristics of the chip electronic component of the present invention (the roller is the electrode of the chip electronic component after the electric characteristic inspection from the state in which the roller is in contact with the surface of the conveying disk) It is a diagram explaining an example of a mechanism to move away from the surface).

최초로, 본 발명의 칩 전자 부품의 전기 특성의 연속적인 검사 방법의 실시에 유리하게 사용되는 반송 플레이트로서 반송 원반을 사용하는 칩 전자 부품 검사 선별 장치 (즉, 칩 전자 부품 선별 수단이 구비된 칩 전자 부품 검사 장치) 의 구성예에 대해, 첨부 도면의 도 1 과 도 2 를 참조하면서 설명한다.First, a chip electronic component inspection and sorting apparatus using a conveying disc as a conveying plate advantageously used in the implementation of the continuous inspection method of the electrical characteristics of chip electronic components of the present invention (that is, a chip electronic component having a chip electronic component sorting means) A structural example of a parts inspection apparatus) is demonstrated, referring FIG. 1 and FIG. 2 of an accompanying drawing.

검사 대상의 칩 전자 부품의 대표예의 칩 커패시터는, 유전체로 이루어지는 커패시터 본체와, 그 양단에 대향하여 형성된 1 쌍의 전극 (혹은 전극면) 으로 구성되어 있다. 통상적인 칩 커패시터는, 유전체로서 세라믹을 사용한 칩 세라믹 커패시터이다. 또한, 현재 일반적으로 사용되고 있는 칩 전자 부품의 전극은 주석으로 형성되어 있고, 그 표면에는, 칩 전자 부품의 각종 기판으로의 실장을 위한 땜납층이 형성되어 있다.A chip capacitor of a typical example of a chip electronic component to be inspected includes a capacitor body made of a dielectric and a pair of electrodes (or electrode surfaces) formed to face both ends. A typical chip capacitor is a chip ceramic capacitor using ceramic as a dielectric. Moreover, the electrode of the chip electronic component currently used generally is formed of tin, and the solder layer for mounting on the board|substrate of the chip electronic component to the various board|substrates is formed on the surface.

검사 대상의 칩 전자 부품은, 동일한 제조 로트의 것인 경우가 많지만, 이와 같은 동일한 제조 로트의 칩 전자 부품에, 다른 로트의 칩 전자 부품이 혼합된 것이어도 된다. 단, 양자의 제조 로트의 칩 전자 부품은, 서로 동일한 전기 특성을 나타내도록 동일한 규격에 따라 제조된 것 (통상적으로는, 서로 동일한 제품으로서 판매하는 것을 목적으로 하여 제조된 것) 인 것이 일반적이다.Although the chip electronic component to be inspected is of the same production lot in many cases, the chip electronic component of another lot may be mixed with the chip electronic component of such a same production lot. However, it is common that the chip electronic components of both production lots are manufactured according to the same standard so as to exhibit the same electrical characteristics as each other (generally, those manufactured for the purpose of being sold as mutually identical products).

도 1 은, 반송 원반을 사용하는 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 구성예를 나타내는 정면도이다. 도 1 에 나타내는 칩 전자 부품 검사 선별 장치 (10) 에서는, 반송 원반 (원반상 반송 플레이트) 의 표면 상에 칩 전자 부품을 일시적으로 수용할 수 있는 복수의 투공 (11a) 이 원주를 따라 나열된 배치로 형성된 칩 전자 부품 반송 원반 (이하, 간단히 반송 원반이라고 하는 경우가 있다) (11) 이 원반의 평면을 따른 회전이 가능하도록, 기대 (41) 에 축지지되어 있다. 반송 원반 (11) 의 회전 경로에는, 칩 전자 부품의 공급 수용부 (공급 수용역) (101), 칩 전자 부품 전기 특성의 검사부 (검사역) (102), 그리고 칩 전자 부품의 분류부 (분류역) (103) 가 설정되어 있다. 검사부 (102) 에서는, 반송 원반 (11) 의 각 열의 각 투공 (11a) 의 양 개구부에 근접한 위치에 전기 특성 측정용 전극 단자 (전기 특성 측정용 단자) 가 구비되어 있다. 전극 단자에는, 검사기 (14a, 14b) 가 전기적으로 접속되고, 그리고 검사기에 검사 처리에 관한 신호를 공급하도록 검사기에 전기적으로 접속되어 있는 제어기 (15) 가 구비되어 있다. 또한, 검사 대상의 칩 전자 부품은 호퍼 (47) 에 넣어지고, 칩 전자 부품 공급구 (31) 로부터 버킷을 통하여, 반송 원반 (11) 의 투공에 공급된다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a front view which shows the structural example of the chip electronic component inspection and sorting apparatus using a conveyance master. In the chip electronic component inspection and sorting apparatus 10 shown in FIG. 1, a plurality of through holes 11a capable of temporarily accommodating chip electronic components on the surface of a conveyance disk (disk-shaped conveying plate) are arranged along the circumference. The formed chip electronic component conveyance disk (hereinafter, simply referred to as a conveyance disk) 11 is axially supported by the base 41 so that rotation along the plane of the disk is possible. In the rotation path of the conveyance disk 11, the supply receiving part (supply receiving area) 101 of a chip electronic component, the inspection part (inspection area) 102 of the chip electronic component electrical characteristic, and the sorting part (sorting area) of a chip electronic component. ) (103) is set. In the inspection part 102, the electrode terminal for electrical characteristic measurement (terminal for electrical characteristic measurement) is provided in the position adjacent to both openings of each through hole 11a of each row of the conveyance master 11. The electrode terminal is provided with a controller 15 to which the testers 14a and 14b are electrically connected, and which is electrically connected to the tester so as to supply a signal related to the inspection process to the tester. In addition, the chip electronic component to be inspected is put in the hopper 47 and is supplied from the chip electronic component supply port 31 to the through hole of the conveyance master 11 through a bucket.

반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 은 통상적으로, 반송 원반의 표면에 복수의 동심원 상에서, 이 동심원을 등분할한 위치에 배치된다.The through-hole 11a of the conveyance disk 11 is normally arrange|positioned on the surface of the conveyance disk on the several concentric circles, and it arrange|positions at the position which divided this concentric circle into equal parts.

첨부 도면에 나타내고 있는 칩 전자 부품 검사 선별 장치 (10) 에서는, 반송 원반 (11) 의 중심과 둘레 가장자리 사이에서 직경 방향으로 나열되는 합계로 6 개의 투공이 형성되어 있고, 각각의 투공에 수용된 합계 6 개의 칩 전자 부품마다, 칩 전자 부품의 전기 특성의 검사가 실시된다. 반송 원반 (11) 의 중심과 둘레 가장자리 사이에서 직경 방향으로 나열되는 투공의 수는, 3 ∼ 20 개의 범위 내에 있는 것이 바람직하고, 3 ∼ 12 개의 범위 내에 있는 것이 더욱 바람직하다.In the chip electronic component inspection and sorting apparatus 10 shown in the accompanying drawings, six perforations are formed in total arranged in a radial direction between the center and the peripheral edge of the conveyance master 11, and a total of 6 accommodated in each perforation For every chip electronic component, the inspection of the electrical characteristic of a chip electronic component is performed. It is preferable to exist in the range of 3-20, and, as for the number of the through-holes arranged in a radial direction between the center of the conveyance master 11 and the peripheral edge, it is more preferable to exist in the range of 3-12.

반송 원반 (11) 은, 기대 (41) 에, 예를 들어 베이스판 (기준대), 그리고 중심축 (42) 을 통하여 회전 가능하게 설치 (고정) 되어 있고, 그 배면측에 배치 형성된 회전 구동 장치 (43) 를 작동시킴으로써, 중심축 (42) 의 주위를 간헐적으로 회전한다.The conveyance disk 11 is rotatably installed (fixed) on the base 41 via, for example, a base plate (a reference stand) and a central shaft 42, and is a rotational drive device arranged and formed on the rear surface side. By operating (43), the periphery of the central axis (42) is intermittently rotated.

반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 에는, 칩 전자 부품 공급 수용부 (101) 에서, 검사 대상의 칩 전자 부품이, 그 전기 특성을 검사하기 위하여 일시적으로 수용된다.In the through hole 11a of the conveyance master 11, the chip electronic component to be inspected is temporarily accommodated in the chip electronic component supply accommodating part 101 in order to inspect the electrical characteristics thereof.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 검사부 (전기 특성 측정 위치) (102) 에는, 칩 전자 부품 (19a, 19b, 19c, 19d, 19e, 19f) 의 각각의 양단의 전극 (22a, 22b) 을, 검사기에 전기적으로 접속하기 위하여, 반송 원반 (11) 의 투공 (11a) 의 양 개구부에 근접한 위치에, 각각 쌍으로서 구성된 전극 단자 (12a, 13a, 12b, 13b, 12c, 13c, 12d, 13d, 12e, 13e, 12f, 13f) 가 배치되어 있다. 본 발명에서 사용하는 롤러 전극 단자는, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f 로 나타낸 전극 단자에 상당한다.As shown in FIG. 2, in the inspection part (electrical characteristic measurement position) 102, the electrodes 22a, 22b of each both ends of the chip electronic components 19a, 19b, 19c, 19d, 19e, 19f are connected to the inspection machine. In order to electrically connect, the electrode terminals 12a, 13a, 12b, 13b, 12c, 13c, 12d, 13d, 12e, 13e each configured as a pair at positions adjacent to both openings of the through-holes 11a of the conveyance disk 11. , 12f, 13f) are arranged. The roller electrode terminal used by this invention corresponds to the electrode terminal shown by 13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f.

롤러 전극 단자가 아닌 쪽의 전극 단자 (12a 외) 는, 그 주위에 배치 형성된 전기적으로 절연성의 통체를 통하여, 베이스판 (45) 에 고정되어 있다.The electrode terminals 12a other than the roller electrode terminals are being fixed to the base plate 45 through an electrically insulating cylinder disposed and formed around it.

롤러 전극 단자를 지지하는 전극 단자 지지판을 반송 원반 (11) 의 측으로 이동시킴으로써, 그 전극 단자 지지판에 지지된 롤러 전극 단자 (13a 외) 도 또한, 반송 원반 (11) 의 측으로 이동한다. 이 롤러 전극 단자 (13a 외) 의 이동에 의해, 칩 전자 부품은 쌍으로 되어 있는 전극 단자 (12a, 13a 외) 의 사이에 끼워져 접촉 상태가 된다. 이 때문에, 칩 전자 부품의 전극은 고정 전극 단자 (12a 외) 와 롤러 전극 단자 (13a 외) 에 전기적으로 접속된다.By moving the electrode terminal support plate which supports the roller electrode terminal to the side of the conveyance disk 11, the roller electrode terminals 13a supported by the electrode terminal support plate and others also move to the side of the conveyance disk 11 also. By the movement of this roller electrode terminal (13a etc.), a chip electronic component is pinched|interposed between the electrode terminals (12a, 13a etc. made into a pair), and it will be in a contact state. For this reason, the electrode of a chip electronic component is electrically connected to the fixed electrode terminal (12a outside) and the roller electrode terminal (13a outside).

그리고, 검사부 (전기 특성 측정 위치) (102) 에서는, 반송 원반 (11) 의 직경 방향으로 일렬로 나열되도록 수용 배치된 6 개의 칩 전자 부품 (19a, 19b, 19c, 19d, 19e, 19f) 의 각각에 대해 소정의 전기 특성이 검사된다.And in the inspection part (electrical characteristic measurement position) 102, each of the six chip electronic components 19a, 19b, 19c, 19d, 19e, 19f accommodated and arrange|positioned so that it may line up in the radial direction of the conveyance disk 11, respectively. A predetermined electrical characteristic is checked for

전기 특성이 검사된 칩 전자 부품은 계속하여, 반송 원반 (11) 의 간헐적인 회전 이동에 의해, 도 1 에 나타내는 칩 전자 부품의 분류부 (103) 로 이송되고, 검사 결과에 기초하는 칩 전자 부품의 분류 (선별) 가 실시된다.The chip electronic component whose electrical characteristics were inspected is then transferred to the chip electronic component sorting unit 103 shown in FIG. 1 by intermittent rotational movement of the conveyance disk 11, and the chip electronic component is based on the inspection result. classification (screening) of

다음으로, 본 발명의 칩 전자 부품의 전기 특성의 연속적인 검사 방법에 있어서의 특징적인 조작인 롤러 전극 단자의 이동에 대해 상세하게 설명한다.Next, the movement of the roller electrode terminal which is a characteristic operation in the continuous inspection method of the electrical characteristic of a chip electronic component of this invention is demonstrated in detail.

먼저, 도 3 에 나타낸 롤러 전극 단자의 구조를 나타내는 도면을 참조하여 공지된 롤러 전극 단자의 일례를 설명한다. 또한, 도 3 의 (a) 는, 롤러 전극 단자의 정면도이고, 도 3 의 (b) 는 그 롤러 전극 단자의 내부 구조를 나타내는 측면도이다.First, an example of a well-known roller electrode terminal is demonstrated with reference to the figure which shows the structure of the roller electrode terminal shown in FIG. Fig. 3(a) is a front view of the roller electrode terminal, and Fig. 3(b) is a side view showing the internal structure of the roller electrode terminal.

도 3 의 (a) 와 (b) 에 도시된 롤러 전극 단자의 예에서는, 롤러 전극 단자 (13) 는, 케이스 (131), 검사기로의 접속 단자 (132), 롤러 전극 (133), 롤러 전극 회전축 (134), 롤러 전극 홀더 (135), 요동 지지점 (136), 코일 스프링 (137), 접속 케이블 (138) 을 포함한다.In the example of the roller electrode terminal shown in (a) and (b) of FIG. 3, the roller electrode terminal 13 is a case 131, the connection terminal 132 to an inspection machine, the roller electrode 133, and a roller electrode. It includes a rotating shaft 134 , a roller electrode holder 135 , a swing support point 136 , a coil spring 137 , and a connection cable 138 .

도 4 의 (a), (b), (c) 는, 종래 기술을 나타내는 문헌인 특허문헌 2 에 도시된 검사부 (전기 특성 측정 위치) 에 있어서의 칩 전자 부품 (19) 과 롤러 전극 (133) 의 접촉 상태의 변화를 나타내는 도면이다. 즉, 롤러 전극 (133) 은, 반송 원반 (11) 은 도 4 (a) 에 나타낸 화살표의 방향으로의 이동에 의해, 반송 원반 (11) 의 투공에 수용 (임시 수용) 된 칩 전자 부품 (19) 과, 그 정상부의 전극의 일방의 코너부에서 먼저 접촉하고, 이어서, 정상부 전극의 표면에 올라앉은 상태가 된다. 이 시점에서 반송 원반 (11) 은 일시 정지하고, 그 정지 동안에 상측의 롤러 전극 (133) 과 하측의 고정 전극 단자 사이에 전압이 인가되고, 칩 전자 부품 (19) 의 전기 특성이 측정된다. 그리고, 전기 측정이 종료된 후, 반송 원반 (11) 은, 다시 화살표의 방향으로 이동하고, 그 결과, 롤러 전극 (133) 은, 칩 전자 부품의 정상부의 전극의 타방의 코너부에서 접촉하면서, 정상부에서 내려간다. 앞서 설명한, 전기 특성 측정 위치에 있어서의 칩 전자 부품의 정상부 전극의 손상 (접촉 흠집) 은 주로, 도 4 의 (a) 와 (b) 에 나타낸, 롤러 전극과의 접촉 개시 (정상부 전극으로 롤러 전극이 올라앉음) 와 접촉 이탈시에 발생한다.4(a), (b), and (c) are a chip electronic component 19 and a roller electrode 133 in an inspection unit (electrical characteristic measurement position) shown in Patent Document 2, which is a document showing the prior art. It is a diagram showing the change of the contact state of That is, the roller electrode 133 is the chip electronic component 19 accommodated (temporarily accommodated) in the through hole of the conveyance master 11 by the movement of the conveyance master 11 in the direction of the arrow shown in Fig.4 (a). ) and one of the corners of the top electrode are in contact with each other, and then, it is in a state where it sits on the surface of the top electrode. At this point, the conveyance master 11 is temporarily stopped, and a voltage is applied between the upper roller electrode 133 and the lower fixed electrode terminal during the stop, and the electrical characteristics of the chip electronic component 19 are measured. And after the electrical measurement is finished, the conveyance disk 11 moves again in the direction of the arrow, and as a result, the roller electrode 133 is in contact with the other corner part of the electrode of the top part of a chip electronic component, going down from the top The damage (contact flaw) of the top electrode of the chip electronic component at the electrical property measurement position described above is mainly caused by the start of contact with the roller electrode (the roller electrode as the top electrode as shown in FIGS. 4A and 4B ). It rises) and occurs when contact is lost.

도 5 는, 본 발명의 칩 전자 부품의 전기 특성 측정 방법에 있어서의 전기 특성 측정 위치에서의 칩 전자 부품 (19) 과 롤러 전극 (133) 의 접촉 상태의 변화를 나타내는 도면이다.5 : is a figure which shows the change of the contact state of the chip electronic component 19 and the roller electrode 133 in the electrical property measuring position in the electrical property measuring method of a chip electronic component of this invention.

도 5 의 (1) 은, 반송 원반 (11) 에 수용되고, 화살표 방향으로 회전 이동하는 칩 전자 부품 (19) 에 고정 전극 단자 (12) 와 롤러 전극 단자의 롤러 전극 (133) 의 모두가 접촉하고 있지 않은 상태를 나타낸다. 이 상태에서는, 롤러 전극 (133) 은, 반송 원반 (11) 의 표면에 접촉하고 있거나, 혹은 반송 원반 (11) 의 표면에 근접한 위치에 있다.In Fig. 5 (1), both the fixed electrode terminal 12 and the roller electrode 133 of the roller electrode terminal are in contact with the chip electronic component 19 accommodated in the conveyance disk 11 and rotating in the direction of the arrow. Indicates a state that is not being done. In this state, the roller electrode 133 is in contact with the surface of the conveyance master 11, or exists in the position adjacent to the surface of the conveyance master 11.

도 5 의 (2) 는, 칩 전자 부품의 정상부 전극의 일방의 코너부에 롤러 전극이 접촉하고, 당해 전극의 표면에 올라앉으려 하고 있는 상태를 나타내는 도면이다.Fig. 5 (2) is a diagram showing a state in which the roller electrode is in contact with one corner of the top electrode of the chip electronic component and is about to sit on the surface of the electrode.

도 5 의 (3) 에서는, 칩 전자 부품의 정상부 전극의 표면에 롤러 전극이 올라앉아 있고, 이 상태에서 칩 전자 부품의 전기 특성의 측정이 실시된다. 또한, 롤러 전극이 도 5 의 (2) 의 상태로부터 (3) 의 상태로 이동하는 과정에서, 칩 전자 부품의 정상부 전극의 표면의 코너부 (도면의 우측 코너부) 및 그 주변에 있어서 손상 (마찰 흠집) 이 발생한다. 동시에, 칩 전자 부품의 정상부 전극의 표면에 생성하고 있던 금속 산화막 (예, 전극 재료인 주석의 산화물인 산화주석막) 이 부분적으로 박리되어, 전극 재료 (통상적으로는, 주석) 가 노출된다. 또, 롤러 전극의 칩 전자 부품의 정상부 전극과의 반복적인 접촉에 의해 롤러 전극의 표면에 퇴적된 주석 산화물 등의 금속 산화물 등의 비도전성 오염물도 부분적으로 박리된다. 이 때문에, 칩 전자 부품의 정상부 전극과 롤러 전극의 전기적 접촉이 보다 원활하게 실시된다.In FIG.5(3), the roller electrode sits on the surface of the top electrode of a chip electronic component, and the measurement of the electrical characteristic of a chip electronic component is performed in this state. In addition, in the process of the roller electrode moving from the state of (2) in FIG. 5 to the state of (3), damage ( friction scratches). At the same time, the metal oxide film (eg, the tin oxide film, which is an oxide of tin, which is an electrode material) formed on the surface of the top electrode of the chip electronic component is partially peeled off, and the electrode material (usually tin) is exposed. In addition, non-conductive contaminants such as metal oxide such as tin oxide deposited on the surface of the roller electrode by repeated contact of the roller electrode with the top electrode of the chip electronic component are also partially peeled off. For this reason, the electrical contact of the top electrode of a chip electronic component and a roller electrode is performed more smoothly.

즉, 도 5 의 (2) 의 상태로부터 (3) 의 상태가 되는 과정에 있어서, 칩 전자 부품의 정상부 전극의 일방의 코너부와 그 주변의 영역에서 손상 (마찰 흠집) 이 발생하지만, 동시에 칩 전자 부품의 정상부 전극에 생성되어 있는 비도전성 오염물 및 롤러 전극의 표면에 퇴적하고 있던 비도전성 오염물이 박리 제거되기 때문에, 칩 전자 부품의 정상부 전극과 롤러 전극의 원활한 전기적 접촉이 높은 신뢰성으로 실현된다. 또한, 이 도 5 의 (2) 의 상태로부터 (3) 의 상태가 되는 과정은, 도 4 의 (a) 로부터 (b) 로의 과정과 실질적으로 동일하다.That is, in the process from the state of (2) in Fig. 5 to the state of (3), damage (friction scratch) occurs in one corner portion of the top electrode of the chip electronic component and the region around it, but at the same time, the chip Since the non-conductive contaminants generated on the top electrode of the electronic component and the non-conductive contaminants deposited on the surface of the roller electrode are peeled off and removed, smooth electrical contact between the top electrode of the chip electronic component and the roller electrode is realized with high reliability. Incidentally, the process from the state of (2) in Fig. 5 to the state (3) is substantially the same as the process from (a) to (b) in Fig. 4 .

도 5 의 (3) 의 상태에서 칩 전자 부품의 전기 특성의 측정이 끝난 후, 롤러 전극은, 도 5 의 (4) 에 나타내고 있는 바와 같이, 칩 전자 부품의 정상부 전극 및 반송 원반으로부터 떨어지는 방향 (도면에서는 상방) 으로 이동한다.After the measurement of the electrical characteristics of the chip electronic component in the state of FIG. 5 (3) is finished, the roller electrode is moved away from the top electrode and the conveying disk of the chip electronic component as shown in FIG. 5 (4) ( In the drawing, it moves upward).

롤러 전극이 칩 전자 부품의 정상부 전극으로부터 떨어져, 도 5 의 (4) 의 상태가 된 후, 도 5 의 (5) 에 나타내고 있는 바와 같이, 반송 원반이 다시 회전 이동하고, 칩 전자 부품은 전기 특성 측정 위치로부터 떨어진다. 따라서, 본 발명의 칩 전자 부품의 전기 특성 측정 방법을 이용한 경우에는, 도 4 의 (b) 로부터 (c) 의 상태에서는 관찰되는 칩 전자 부품의 전극 표면의 타방측의 코너부의 손상은 발생하지 않는다.After the roller electrode is separated from the top electrode of the chip electronic component and becomes the state of Fig. 5 (4), as shown in Fig. 5 (5), the conveying disk rotates again, and the chip electronic component has electrical characteristics away from the measurement position. Accordingly, when the method for measuring electrical characteristics of a chip electronic component of the present invention is used, damage to the corner portion on the other side of the electrode surface of the chip electronic component observed in the states of FIG. 4 (b) to (c) does not occur. .

칩 전자 부품이 전기 특성 측정 위치로부터 떨어지면, 롤러 전극은 하강하고, 도 5 의 (6) 에 보이는 바와 같이, 다시 반송 플레이트에 접촉 혹은 근접하는 위치로 되돌아오고, 그 후에는, 도 5 의 (1) 로부터 (6) 으로의 행정이 반복되게 된다.When the chip electronic component moves away from the electrical property measurement position, the roller electrode descends, and as shown in FIG. ) to (6) are repeated.

이상에 있어서 기재한 바와 같이, 본 발명의 방법에 따라 칩 전자 부품의 전기 특성의 측정을 실시함으로써, 전기 특성의 측정 조작의 전후에 있어서 발생하는 칩 전자 부품의 전극의 손상 (접촉 흠집) 을 저감시키는 것이 가능해지고, 또 칩 전자 부품의 전극의 표면에 생성하고 있던 금속 산화물 등의 비도전성 오염물이나 롤러 전극 단자의 롤러 전극에 퇴적하고 있던 비도전성 오염물의 제거가 가능해진다. 그리고, 전기 특성의 측정에 필요로 하는 시간에 대해서도 실질적인 연장은 없다.As described above, by measuring the electrical properties of the chip electronic component according to the method of the present invention, damage to the electrode of the chip electronic component (contact flaw) occurring before and after the measurement operation of the electrical property is reduced This makes it possible to remove non-conductive contaminants such as metal oxides formed on the surface of the electrode of the chip electronic component and non-conductive contaminants accumulated on the roller electrode of the roller electrode terminal. In addition, there is no substantial extension of the time required for the measurement of the electrical characteristics.

도 6 은, 본 발명의 칩 전자 부품의 전기 특성의 연속적인 검사 방법에서 사용하는 롤러 전극 단자의 승강 기구 (롤러가 반송 원반의 표면에 접촉하고 있는 상태로부터 전기 특성 검사 후에 롤러가 칩 전자 부품의 전극면으로부터 떨어지기 위하여 이동시키는 기구) 의 예를 설명하는 도면이다. 도 6 의 (a) 는, 롤러 전극이 하강 위치 (반송 원반 (11) 에 접촉 혹은 근접하는 위치) 에 있는 상태를 나타내고 있고, 도 6 의 (b) 는 롤러 전극이 상승 위치 (칩 전자 부품의 정상부 전극으로부터 떨어진 위치) 에 있는 상태를 나타낸다.Fig. 6 shows the lifting mechanism of the roller electrode terminal used in the continuous inspection method of the electrical characteristics of the chip electronic component of the present invention (the roller is in contact with the surface of the conveying disk, after the electrical characteristic inspection, the roller moves the chip electronic component It is a figure explaining an example of the mechanism which moves in order to separate from an electrode surface). Fig. 6(a) shows a state in which the roller electrode is in a lowered position (a position in contact with or close to the conveying disk 11), and Fig. 6(b) is a state in which the roller electrode is in a raised position (of the chip electronic component). position away from the top electrode).

도 6 에 나타낸 롤러 전극 단자의 승강 기구는, 케이스 (131), 롤러 전극 (133), 롤러 전극 홀더 (135), 코일 스프링 (137), 캠 (139) 을 포함한다. 또한, 접속 케이블이나 검사기로의 접속 단자의 도시는 생략되어 있다. 도 6 의 롤러 전극 단자의 승강 기구를 이용하면, 캠 (139) 을 상하로 요동시킴으로써, 롤러 전극 (133) 의 상승과 하강을 제어할 수 있다.The lifting mechanism of the roller electrode terminal shown in FIG. 6 includes a case 131 , a roller electrode 133 , a roller electrode holder 135 , a coil spring 137 , and a cam 139 . In addition, illustration of the connection terminal to a connection cable and an inspection machine is abbreviate|omitted. If the raising/lowering mechanism of the roller electrode terminal of FIG. 6 is used, the raising and lowering of the roller electrode 133 can be controlled by rocking|fluctuating the cam 139 up and down.

또한, 본 명세서에서는, 칩 전자 부품 검사 선별 장치의 구성의 설명, 그리고 본 발명의 작용 효과를 칩 전자 부품 반송 원반이 수직 방향으로 배치되어 작동하는 칩 전자 부품 검사 선별 장치를 예로 하여 설명했지만, 본 발명의 칩 전자 부품의 전기 특성 측정 방법에서 사용되는 칩 전자 부품 검사 선별 장치는, 칩 전자 부품 반송 원반이 기대에 경사진 상태로 축지지되어 있는 장치여도 된다. 또 상기 서술한 바와 같이, 회전 이동하는 반송 원반 대신에, 직진에 의해 이동하는 반송 플레이트를 사용한 칩 전자 부품 검사 선별 장치여도 지장없다.In addition, in this specification, the description of the configuration of the chip electronic component inspection and sorting apparatus and the effects of the present invention have been described by taking as an example a chip electronic component inspection and sorting apparatus in which the chip electronic component conveyance disk is arranged in the vertical direction and operates. The chip electronic component inspection and sorting apparatus used by the electrical property measuring method of a chip electronic component of this invention may be the apparatus by which the chip electronic component conveyance disk is axially supported in the state inclined to a base. Moreover, as mentioned above, instead of the conveyance disk which moves rotationally, even if it is a chip electronic component inspection and sorting apparatus using the conveyance plate which moves by going straight, it does not interfere.

10 : 칩 전자 부품 검사 선별 장치
11 : 칩 전자 부품 반송 원반 (반송 원반)
11a : 투공
12, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f : 고정 전극 단자
13 : 롤러 전극 단자
13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f : 가동 전극 단자
14a, 14b : 검사기 (용량계)
15 : 제어기
19 : 칩 전자 부품
19a, 19b, 19c, 19d, 19e, 19f : 칩 전자 부품
22a, 22b : 전극
31 : 칩 전자 부품 공급구
41 : 기대
42 : 중심축
43 : 회전 구동 장치
45 : 베이스판 (기준대)
133 : 롤러 전극
10: chip electronic component inspection and sorting device
11: Chip electronic component conveyance disk (transfer disk)
11a: hole
12, 12a, 12b, 12c, 12d, 12e, 12f: fixed electrode terminals
13: roller electrode terminal
13a, 13b, 13c, 13d, 13e, 13f: movable electrode terminals
14a, 14b: checker (capacity meter)
15: controller
19: chip electronic components
19a, 19b, 19c, 19d, 19e, 19f: Chip Electronic Components
22a, 22b: electrode
31: chip electronic component supply port
41 : Expectation
42: central axis
43: rotary drive device
45: base plate (standard stand)
133: roller electrode

Claims (2)

복수의 칩 전자 부품 임시 수용공을 구비한 반송 플레이트의 칩 전자 부품 임시 수용공에, 서로 대향하는 양 말단의 각각에 전극을 구비한 칩 전자 부품을, 일방의 말단의 전극이 정상부에, 그리고 타방의 말단의 전극이 바닥부에 위치하도록 임시 수용하는 공정 ;
반송 플레이트를 그 표면의 평면을 따라 전기 특성 측정 위치에 이동시키는 공정 ;
칩 전자 부품의 정상부 전극과 바닥부 전극의 각각에, 전기 특성 측정용 단자를 접촉시켜 전압을 인가하는, 단 정상부 전극에 접촉시키는 전기 특성 측정용 단자는 롤러 전극 단자인, 것에 의해 칩 전자 부품의 전기 특성을 측정하는 공정 ;
그리고
반송 플레이트를 그 플레이트 평면을 따라 추가로 이동시킴으로써, 전기 특성 측정이 종료된 칩 전자 부품을 전기 특성 측정 위치로부터 이탈시키는 공정 ;
을 포함하는 칩 전자 부품의 전기 특성의 측정 방법으로서,
칩 전자 부품이 이동하고, 그 정상부 전극이 롤러 전극 단자와의 접촉을 개시할 때까지는, 롤러 전극 단자를, 정상부 전극의 일방의 코너부와 접촉하는 위치에 배치해 두고, 이어서 전기 특성 측정 후에는, 정상부 전극의 타방의 코너부와는 접촉하지 않도록, 롤러 전극 단자를 칩 반송 플레이트의 표면으로부터 떨어지는 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 칩 전자 부품의 전기 특성 측정 방법.
In the chip electronic component temporary accommodation hole of the carrier plate having a plurality of chip electronic component temporary accommodation holes, a chip electronic component having electrodes at opposite ends thereof is placed, an electrode of one end is at the top, and the other end is provided with electrodes. a process of temporarily accommodating the distal end of the electrode so that it is located at the bottom;
moving the conveying plate along the plane of its surface to an electrical characteristic measurement position;
A terminal for measuring electrical characteristics is applied to each of the top electrode and the bottom electrode of the chip electronic component by contacting the terminal for measuring electrical characteristics, provided that the terminal for measuring electrical characteristics brought into contact with the top electrode is a roller electrode terminal, whereby process of measuring electrical properties;
and
a step of moving the conveying plate further along the plate plane, whereby the chip electronic component whose electrical characteristic measurement has been completed is separated from the electrical characteristic measurement position;
A method of measuring electrical properties of a chip electronic component comprising:
Until the chip electronic component moves and the top electrode starts contacting the roller electrode terminal, the roller electrode terminal is placed at a position in contact with one corner of the top electrode, and then, after measuring the electrical properties, , A method for measuring electrical properties of a chip electronic component, characterized in that the roller electrode terminal is moved in a direction away from the surface of the chip carrying plate so as not to come into contact with the other corner portion of the top electrode.
제 1 항에 있어서,
반송 플레이트가 중심을 축으로 하여 간헐적인 회전을 실시하는 칩 전자 부품 반송 원반인, 칩 전자 부품의 전기 특성 측정 방법.
The method of claim 1,
A method for measuring electrical properties of a chip electronic component, wherein the conveying plate is a chip electronic component conveying disk that intermittently rotates about a center.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7157580B2 (en) * 2018-07-19 2022-10-20 東京エレクトロン株式会社 Board inspection method and board inspection apparatus
CN110967592B (en) * 2018-09-27 2022-05-13 湖南嘉业达电子有限公司 Measure crystal oscillator element DLD's device
JP7281620B2 (en) * 2018-10-15 2023-05-26 パナソニックIpマネジメント株式会社 Characteristic measuring device, component mounting device, characteristic measuring method, and component mounting method
JP7075139B2 (en) * 2020-06-02 2022-05-25 株式会社ヒューモラボラトリー Chip electronic component transfer disk for chip electronic component inspection and sorting equipment
JP7107589B2 (en) * 2020-08-28 2022-07-27 株式会社ヒューモラボラトリー Equipment with roller electrode contacts for chip electronic component inspection
KR102247261B1 (en) * 2020-12-15 2021-04-30 김상길 Contact roller having improved wear resistance and lubricity, probe assembly and inspection device for electronic part including the same
TWI800405B (en) * 2022-06-14 2023-04-21 國巨股份有限公司 Test probe and fixing device thereof
JP7661958B2 (en) 2022-11-11 2025-04-15 株式会社村田製作所 Electronic component power supply device

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3287744B2 (en) * 1995-08-12 2002-06-04 ティーディーケイ株式会社 Method and apparatus for measuring characteristics of electronic components
SG98373A1 (en) * 1998-11-25 2003-09-19 Advantest Corp Device testing apparatus
JP2000340620A (en) * 1999-05-26 2000-12-08 Nikon Corp Probe device
JP4161761B2 (en) * 2002-04-25 2008-10-08 株式会社村田製作所 Electronic component characteristic measuring device
US7256055B2 (en) * 2003-08-25 2007-08-14 Tau-Metrix, Inc. System and apparatus for using test structures inside of a chip during the fabrication of the chip
TWI286606B (en) * 2004-03-16 2007-09-11 Gunsei Kimoto Electric signal connecting device, and probe assembly and prober device using it
JP2008116226A (en) * 2006-11-01 2008-05-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electronic component characteristic measuring method and characteristic measuring apparatus used therefor
US7443179B2 (en) * 2006-11-30 2008-10-28 Electro Scientific Industries, Inc. Zero motion contact actuation
US7839138B2 (en) 2007-01-29 2010-11-23 Electro Scientific Industries, Inc. Adjustable force electrical contactor
JP5030624B2 (en) * 2007-03-13 2012-09-19 株式会社ヒューモラボラトリー Rotary electrode device
JP5294195B2 (en) * 2008-05-01 2013-09-18 株式会社 東京ウエルズ Work characteristic measuring apparatus and work characteristic measuring method
JP2009300170A (en) * 2008-06-11 2009-12-24 Japan Electronic Materials Corp Probe and probe card
JP2011059021A (en) * 2009-09-11 2011-03-24 Tokyo Electron Ltd Substrate inspection apparatus and alignment method for the same
JP2013053936A (en) * 2011-09-05 2013-03-21 Tokyo Weld Co Ltd Work measuring apparatus, work carrier table, work measuring method, and method for manufacturing electronic component
KR101451499B1 (en) * 2013-02-07 2014-10-17 삼성전기주식회사 Electronic part inspection apparatus
JP6312200B2 (en) * 2014-02-07 2018-04-18 株式会社ヒューモラボラトリー Chip capacitor inspection and sorting equipment
JP6496151B2 (en) * 2014-02-19 2019-04-03 株式会社ヒューモラボラトリー Chip electronic component inspection and sorting device with three or more electrodes
JP6370599B2 (en) * 2014-05-02 2018-08-08 株式会社ヒューモラボラトリー Continuous inspection method for electrical characteristics of chip electronic components
JP6333112B2 (en) * 2014-08-20 2018-05-30 東京エレクトロン株式会社 Wafer inspection equipment
JP6506552B2 (en) * 2014-12-26 2019-04-24 株式会社ヒューモラボラトリー Chip electronic parts inspection and sorting device

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