KR102292037B1 - 반도체 소자 번인 및 테스트용 콘택트 및 소켓장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 종래기술의 소켓장치의 평면도,
도 3은 도 2의 A-A 선의 단면 구성도,
도 4는 도 3의 일부 확대도,
도 5의 (a)(b)(c)는 종래기술의 소켓장치의 개략적인 작동예를 보여주는 도면,
도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 소켓장치의 평면 구성도,
도 7은 도 6의 B-B 선의 단면 구성도,
도 8은 도 6의 C-C 선의 단면 구성도,
도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 콘택트의 사시 구성도,
도 10의 (a)(b)는 각각 본 발명의 제1실시예에 따른 콘택트의 정면도 및 측면도,
도 11의 (a)는 본 발명의 제1실시예에 따른 콘택트의 평면도이며, (b)는 측면도로서 수직으로 작동예를 보여주는 도면,
도 12의 (a)(b)는 각각 본 발명의 제1실시예에 따른 콘택트의 배치 예를 설명하기 위한 평면도 및 측면도,
도 13의 (a)(b)는 본 발명의 제2실시예에 따른 콘택트의 정면도 및 측면도,
도 14는 본 발명의 제3실시예에 따른 콘택트의 사시 구성도,
도 15는 본 발명의 제4실시예에 따른 콘택트의 사시 구성도,
도 16의 (a)(b)는 본 발명의 제5실시예에 따른 콘택트의 정면도와 측면도,
도 17은 본 발명의 제5실시예에 따른 콘택트의 작동예를 보여주는 도면,
도 18은 본 발명의 제1실시예에 따른 소켓장치의 메인 몸체부의 평면 구성도,
도 19는 본 발명의 제1실시예에 따른 소켓장치의 메인 몸체부의 배면 구성도,
도 20은 도 18의 D-D 선의 단면 구성도,
도 21은 도 18의 E-E 선의 단면 구성도,
도 22는 도 18의 F-F 선의 단면 구성도,
도 23은 도 18의 G-G 선의 단면 구성도,
도 24는 도 18의 H-H 선의 단면 구성도,
도 25는 본 발명의 제1실시예에 따른 소켓장치의 하측 플레이트의 평면 구성도,
도 26의 (a)(b)는 각각 도 25의 I-I 선과 J-J 선의 단면 구성도,
도 27의 (a)(b)는 각각 도 25의 K-K 선의 단면 구성도와 배면 구성도,
도 28은 본 발명의 제1실시예에 따른 소켓장치의 플로팅 플레이트의 평면 구성도,
도 29는 도 28의 L-L 선의 단면 구성도,
도 30은 도 28의 M-M 선의 단면 구성도,
도 31은 도 28의 N-N 선의 단면 구성도,
도 32는 도 28의 O-O 선의 단면 구성도,
도 33은 도 28의 P-P 선의 단면 구성도,
도 34는 도 28의 Q-Q 선의 단면 구성도,
도 35는 본 발명의 제1실시예에 따른 소켓장치의 IC 홀딩부의 평면 구성도,
도 36의 (a)(b)는 각각 도 35의 R-R 선과 S-S 선의 단면 구성도,
도 37의 (a)(b)는 각각 도 35의 T-T 선의 단면 구성도와 측면 구성도,
도 38 내지 도 40은 본 발명의 제1실시예에 따른 소켓장치의 작동예를 설명하기 위한 도면,
도 41은 본 발명의 제2실시예에 따른 소켓장치의 평면 구성도,
도 42는 도 41의 U-U 선의 단면 구성도,
도 43은 도 41의 X-X 선의 단면 구성도,
도 44는 본 발명의 제3실시예에 따른 소켓장치의 평면 구성도,
도 45는 도 44의 Y-Y 선의 단면 구성도,
도 46의 (a)(b)는 각각 도 44의 Z-Z선과 AA-AA 선의 단면 구성도,
도 47은 본 발명의 제3실시예에 따른 소켓장치의 작동예를 보여주는 단면 구성도,
도 48은 본 발명의 제4실시예에 따른 소켓장치의 측면 구성도,
도 49는 본 발명의 제4실시예에 따른 소켓장치의 몸체부 유닛의 평면 구성도,
도 50은 도 49의 BB-BB 선의 단면 구성도,
도 51은 도 49의 CC-CC 선의 단면 구성도,
도 52는 본 발명의 제4실시예에 따른 소켓장치의 소켓 리드 유닛의 평면 구성도,
도 53은 도 52의 DD-DD 선의 단면 구성도,
도 54는 도 52의 EE-EE 선의 단면 구성도.
111 : 상측 단자부 112 : 하측 단자부
113 : 탄성부
200, 300, 400, 500 : 소켓장치
210, 310, 410, 510 : 메인 몸체부
220, 320, 420, 520 : 하측 플레이트
230, 330, 430, 530 : 플로팅 플레이트
240 : 플로팅 스프링 250 : IC 홀딩부
260 : 리벳 핀 270 : IC 로딩/언로딩 장치
Claims (24)
- 상측 단부에 상측 첨단부가 마련되는 상측 단자부와, 하측 단부에 하측 첨단부가 마련되어 상기 상측 단자부와 동일 축 상에 구비되는 하측 단자부와, 상기 상측 단자부와 상기 하측 단자부를 탄성 지지하는 탄성부를 포함하되, 소정의 폭(w)과 두께(t)를 갖는 하나의 스트립 판재(t < w)로 이루어진 콘택트에 있어서,
상기 상측 단자부와 상기 하측 단자부는 각각 폭 방향으로 돌출 형성된 어깨부를 포함하며,
상기 상측 단자부의 제1폭(w1)과, 상기 하측 단자부의 제2폭(w2) 보다는 상기 탄성부의 제3폭(w3)이 더 크며(w1,w2 < w3), 상기 탄성부는 좌우 중앙의 중심축(z축)을 따라서 상하로 제4폭(w4)의 슬롯에 의해 형성된 제1스트립과 제2스트립으로 구성되며, 상기 제1스트립과 상기 제2스트립은 서로 동일한 제5폭(w5)을 갖고 서로 반대의 두께 방향으로 만곡 형성되되, 제5폭(w5)은 스트립 판재의 두께(t)와 같거나 크고 제4폭(w4)과 같거나 작은 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 콘택트. - 상측 단부에 상측 첨단부가 마련되는 상측 단자부와, 하측 단부에 하측 첨단부가 마련되어 상기 상측 단자부와 동일 축 상에 구비되는 하측 단자부와, 상기 상측 단자부와 상기 하측 단자부를 탄성 지지하는 탄성부를 포함하되, 소정의 폭(w)과 두께(t)를 갖는 하나의 스트립 판재(t < w)로 이루어진 콘택트에 있어서,
상기 상측 단자부와 상기 하측 단자부는 각각 폭 방향으로 돌출 형성된 어깨부를 포함하며,
상기 상측 단자부의 제1폭(w1)과, 상기 하측 단자부의 제2폭(w2) 보다는 상기 탄성부의 제3폭(w3)이 더 크며(w1,w2 < w3), 상기 탄성부는 좌우 중앙의 중심축(z축)을 따라서 상하로 제4폭(w4)의 슬롯에 의해 형성된 제1스트립과 제2스트립으로 구성되며, 상기 제1스트립과 상기 제2스트립은 서로 동일한 제5폭(w5)을 갖고 서로 동일한 두께 방향으로 만곡 형성되되, 제5폭(w5)은 스트립 판재의 두께(t)와 같거나 크고 제4폭(w4)과 같거나 작은 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 콘택트. - 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 상측 첨단부 또는 상기 하측 첨단부는 적어도 하나 이상의 뾰족한 접점인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 콘택트.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 상측 단자부 또는 상기 하측 단자부는 판재를 롤링하여 벤딩 성형된 중공의 원통 형상이며, 상기 상측 첨단부 또는 상기 하측 첨단부는 해당 하측 단자부 또는 상측 단자부의 원통의 단부 둘레를 따라서 뾰족하게 돌출 형성된 복수 개의 접점인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 콘택트.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 하측 첨단부는 상기 상측 첨단부 보다 길이가 더 긴 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 콘택트.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 하측 단자부는 관통 형성된 핸들링용 홀이 형성됨을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 콘택트.
- 제1항 또는 제2항에 따른 콘택트를 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치에 관한 것으로서,
상기 상측 첨단부가 관통 삽입하여 돌출 위치하고 상기 콘택트를 하측으로 압축 유동하게 되는 제1수용홀이 형성된 메인 몸체부와;
상기 메인 몸체부의 하단에 조립되며, 상기 제1수용홀과 대응되는 위치에 형성되어 상기 하측 첨단부가 하측으로 돌출되어 구속되는 제2수용홀이 형성된 하측 플레이트를 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치. - 제1항 또는 제2항에 따른 콘택트를 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치에 관한 것으로서,
상기 상측 첨단부가 관통 삽입하여 돌출 위치하고 상기 콘택트를 하측으로 압축 유동하게 되는 제1수용홀이 형성되며, PCB에 고정되는 복수의 마운팅부가 구비되는 메인 몸체부와;
상기 메인 몸체부의 하단에 조립되며, 상기 제1수용홀과 대응되는 위치에 형성되어 상기 하측 첨단부가 하측으로 돌출되어 구속되는 제2수용홀이 형성된 하측 플레이트와;
상기 제1수용홀과 대응되는 위치에 상기 상측 단자부가 위치하게 되는 콘택트 홀이 형성되어 상기 메인 몸체부의 상단에 이격되어 위치하게 되는 플로팅 플레이트와;
상기 메인 몸체부와 상기 플로팅 플레이트를 탄성 지지하게 되는 복수 개의 플로팅 스프링을 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치. - 상측 단부에 상측 첨단부가 마련되는 상측 단자부와, 하측 단부에 하측 첨단부가 마련되어 상기 상측 단자부와 길이 방향으로 교차하여 조립되는 하측 단자부와, 상기 상측 단자부와 상기 하측 단자부 사이에 삽입되어 상기 상측 단자부와 상기 하측 단자부를 탄성 지지하는 스프링을 포함하는 콘택트와;
상기 상측 첨단부가 관통 삽입하여 돌출 위치하고 상기 콘택트를 하측으로 압축 유동하게 되는 제1수용홀이 형성되며, PCB에 고정되는 복수의 마운팅부가 구비되는 메인 몸체부와;
상기 메인 몸체부의 하단에 조립되며, 상기 제1수용홀과 대응되는 위치에 형성되어 상기 하측 첨단부가 하측으로 돌출되어 구속되는 제2수용홀이 형성된 하측 플레이트와;
상기 제1수용홀과 대응되는 위치에 상기 상측 단자부가 위치하게 되는 콘택트 홀이 형성되어 상기 메인 몸체부의 상단에 이격되어 위치하게 되는 플로팅 플레이트와;
상기 메인 몸체부와 상기 플로팅 플레이트를 탄성 지지하게 되는 복수 개의 플로팅 스프링를 포함하며,
상기 마운팅부는 상기 메인 몸체부의 하부에서 연장되어 돌출 형성된 기둥 형상으로, 관통 형성된 관통홀이 형성되고 하측 단부에 절개 형성된 요홈이 형성되며, 외주면에 빠짐 방지돌기가 돌출 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치. - 제8항에 있어서, 상기 플로팅 플레이트의 상측의 양단에 각각 횡방향으로 탄성적으로 슬라이딩이 가능하게 마련되어 상기 플로팅 플레이트에 로딩되어 안착된 반도체 소자의 양단을 탄성적으로 지지하게 되는 IC 홀딩부를 더 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치.
- 제8항에 있어서, 상기 마운팅부는 상기 메인 몸체부의 하부에서 연장되어 돌출 형성된 기둥 형상인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치.
- 제11항에 있어서, 상기 마운팅부는 관통 형성된 관통홀이 형성되고 하측 단부에 절개 형성된 요홈이 형성되며, 외주면에 빠짐 방지돌기가 돌출 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치.
- 제12항에 있어서, 상기 관통홀에 삽입되는 리벳 핀을 더 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치.
- 제8항에 있어서,
상기 메인 몸체부의 상부에 탄성 지지되어 상하 유동 가능한 커버부와;
상기 메인 몸체부에 대해 좌우 대칭되게 한 쌍으로 구비되어 상기 커버부의 상하 이동과 연동하여 IC를 가압하기 위한 가압수단을 포함하며,
상기 가압수단은,
상기 플로팅 플레이트에 안착된 IC의 상면을 면접촉하여 가압하기 위한 푸셔와;
일단이 상기 메인 몸체부와 제1힌지축(H1)에 의해 회동 가능하게 조립되고, 타단이 상기 푸셔와 제2힌지축(H2)에 의해 회동 가능하게 조립되는 링크와;
일단이 상기 커버부와 제3힌지축(H3)에 의해 회동 가능하게 조립되고, 타단이 상기 제2힌지축(H2)과 공통된 힌지축에 의해 회동 가능하고 상기 제2힌지축(H2)과 이격되어 상기 푸셔와 제4힌지축(H4)에 의해 회동 가능하게 조립되는 래치를 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치. - 제14항에 있어서, 상기 푸셔는 상면에 방열을 위한 방열부를 더 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치.
- 제14항에 있어서, 상기 메인 몸체부는 PCB에 마운팅을 위한 인서트 너트를 더 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치.
- 제14항에 있어서, 상기 플로팅 플레이트는, IC의 안착 위치를 안내하기 위한 가이드 면을 갖는 IC 안착 가이드부를 더 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치.
- 제8항에 있어서,
일단에 힌지부가 구비되고 타단에 래치 걸림턱을 갖고 상기 메인 몸체부에 고정되는 베이스와;
상기 힌지부에 회동 가능하게 조립되어 상기 래치 걸림턱에 고정되는 래치가 회동 가능하게 구비되는 소켓 리드와;
상기 소켓 리드에 구비되어 반도체 소자의 상면을 가압하게 되는 푸셔를 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치. - 제18항에 있어서, 상기 푸셔는 상면에 방열을 위한 방열부를 더 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치.
- 제18항에 있어서, 상기 소켓 리드와 상기 푸셔 사이에 마련되어 상기 푸셔의 가압력을 인가하게 되는 복수 개의 푸쉬 스프링을 더 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치.
- 제18항에 있어서, 상기 베이스는 PCB에 마운팅을 위한 인서트 너트를 더 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치.
- 제18항에 있어서, 상기 플로팅 플레이트는, IC의 안착 위치를 안내하기 위한 가이드 면을 갖는 IC 안착 가이드부를 더 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치.
- 제18항에 있어서, 상기 메인 몸체부와 상기 베이스는 일체인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치.
- 제8항에 있어서,
상기 플로팅 플레이트는, 상기 콘택트 홀에서 상방으로 확장 형성되어 반도체 소자의 단자가 위치하게 되는 볼단자 수용홀을 더 포함하는 반도체 소자 테스트용 소켓장치.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023149913A1 (en) * | 2022-02-02 | 2023-08-10 | Western Digital Technologies, Inc. | Localized onboard socket heating elements for burn-in test boards |
KR20250056094A (ko) | 2023-10-18 | 2025-04-25 | (주)피티앤케이 | 프로브 핀과 그 제조방법 |
WO2024172294A3 (ko) * | 2023-02-13 | 2025-06-19 | 주식회사 피엠티 | 반도체소자 테스트 소켓 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2024044659A (ja) * | 2022-09-21 | 2024-04-02 | キオクシア株式会社 | ソケットボード、及び半導体装置の製造方法 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004055406A (ja) * | 2002-07-22 | 2004-02-19 | Yamaichi Electronics Co Ltd | Icソケット |
JP2007139711A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Nhk Spring Co Ltd | 導電性接触子ユニットおよび導電性接触子 |
KR20080005738A (ko) * | 2006-07-10 | 2008-01-15 | 삼성전자주식회사 | 다양한 크기의 반도체 칩 패키지를 검사할 수 있는 반도체칩 패키지 검사용 소켓 |
KR20080016959A (ko) * | 2005-07-08 | 2008-02-22 | 제이.에스.티. 코포레이션 | 프레스 끼움 핀 |
JP2009002845A (ja) * | 2007-06-22 | 2009-01-08 | Micronics Japan Co Ltd | 接触子及び接続装置 |
KR20110051668A (ko) | 2009-11-11 | 2011-05-18 | 황동원 | 스프링 콘택트 및 스프링 콘택트 내장 소켓 |
KR20140078835A (ko) * | 2012-12-18 | 2014-06-26 | 솔브레인멤시스(주) | 프로브 카드 조립체 |
KR20150002981A (ko) * | 2013-06-28 | 2015-01-08 | 황동원 | 반도체 소자 테스트용 소켓장치 |
KR20150124092A (ko) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | 황동원 | 반도체 소자 테스트용 소켓장치 |
KR20160092366A (ko) * | 2015-01-27 | 2016-08-04 | 유니퀘스트 주식회사 | 핀블록 및 이를 구비하는 검사 장치 |
KR20160110717A (ko) * | 2015-03-11 | 2016-09-22 | 주식회사 듀링플러스 | 탄성 시그널 핀 |
KR20200069973A (ko) * | 2018-12-07 | 2020-06-17 | 제엠제코(주) | 프레스핏 핀, 프레스핏 핀을 포함하는 반도체 패키지 및 프레스핏 핀의 제조방법 |
KR102172785B1 (ko) * | 2019-04-26 | 2020-11-02 | 주식회사 오킨스전자 | 랜싱 프레스를 이용한 번-인 테스트 소켓용 랜스 콘택 핀 및 그 제조 방법 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20050087300A (ko) * | 2004-02-26 | 2005-08-31 | (주)티에스이 | 반도체 패키지용 테스트 소켓 |
KR100584225B1 (ko) * | 2004-10-06 | 2006-05-29 | 황동원 | 전자장치용 콘택트 |
US9702904B2 (en) * | 2011-03-21 | 2017-07-11 | Formfactor, Inc. | Non-linear vertical leaf spring |
WO2014087906A1 (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | 日本電子材料株式会社 | 電気的接触子 |
DE102017209510A1 (de) * | 2017-06-06 | 2018-12-06 | Feinmetall Gmbh | Kontaktelementsystem |
KR101926387B1 (ko) * | 2018-10-10 | 2018-12-10 | 황동원 | 반도체 소자 테스트용 소켓장치 |
KR102088305B1 (ko) * | 2018-11-22 | 2020-03-13 | 주식회사 아이에스시 | 피검사 디바이스 검사용 테스트 소켓 |
KR102080832B1 (ko) * | 2019-10-02 | 2020-02-24 | 황동원 | 스프링 콘택트 및 스프링 콘택트 내장형 테스트 소켓 |
-
2020
- 2020-12-18 KR KR1020200178794A patent/KR102292037B1/ko active Active
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-
2021
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- 2021-12-14 US US17/551,007 patent/US11668744B2/en active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004055406A (ja) * | 2002-07-22 | 2004-02-19 | Yamaichi Electronics Co Ltd | Icソケット |
KR20080016959A (ko) * | 2005-07-08 | 2008-02-22 | 제이.에스.티. 코포레이션 | 프레스 끼움 핀 |
JP2007139711A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Nhk Spring Co Ltd | 導電性接触子ユニットおよび導電性接触子 |
KR20080005738A (ko) * | 2006-07-10 | 2008-01-15 | 삼성전자주식회사 | 다양한 크기의 반도체 칩 패키지를 검사할 수 있는 반도체칩 패키지 검사용 소켓 |
JP2009002845A (ja) * | 2007-06-22 | 2009-01-08 | Micronics Japan Co Ltd | 接触子及び接続装置 |
KR20110051668A (ko) | 2009-11-11 | 2011-05-18 | 황동원 | 스프링 콘택트 및 스프링 콘택트 내장 소켓 |
KR20140078835A (ko) * | 2012-12-18 | 2014-06-26 | 솔브레인멤시스(주) | 프로브 카드 조립체 |
KR20150002981A (ko) * | 2013-06-28 | 2015-01-08 | 황동원 | 반도체 소자 테스트용 소켓장치 |
KR20150124092A (ko) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | 황동원 | 반도체 소자 테스트용 소켓장치 |
KR20160092366A (ko) * | 2015-01-27 | 2016-08-04 | 유니퀘스트 주식회사 | 핀블록 및 이를 구비하는 검사 장치 |
KR20160110717A (ko) * | 2015-03-11 | 2016-09-22 | 주식회사 듀링플러스 | 탄성 시그널 핀 |
KR20200069973A (ko) * | 2018-12-07 | 2020-06-17 | 제엠제코(주) | 프레스핏 핀, 프레스핏 핀을 포함하는 반도체 패키지 및 프레스핏 핀의 제조방법 |
KR102172785B1 (ko) * | 2019-04-26 | 2020-11-02 | 주식회사 오킨스전자 | 랜싱 프레스를 이용한 번-인 테스트 소켓용 랜스 콘택 핀 및 그 제조 방법 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023149913A1 (en) * | 2022-02-02 | 2023-08-10 | Western Digital Technologies, Inc. | Localized onboard socket heating elements for burn-in test boards |
WO2024172294A3 (ko) * | 2023-02-13 | 2025-06-19 | 주식회사 피엠티 | 반도체소자 테스트 소켓 |
KR20250056094A (ko) | 2023-10-18 | 2025-04-25 | (주)피티앤케이 | 프로브 핀과 그 제조방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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WO2022131429A1 (ko) | 2022-06-23 |
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