KR102272149B1 - 3차원 굴절률 텐서의 측정 방법 및 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 일 실시예에 따른 3차원 굴절률 텐서의 측정 장치를 나타내는 블록도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 3차원 굴절률 텐서의 측정 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 평면파의 입사광을 각도와 편광으로 제어하는 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 5는 일 실시예에 따른 3차원 굴절률 텐서를 측정한 결과를 나타낸다.
Claims (10)
- 평면파의 입사광을 적어도 하나 이상의 각도와 편광으로 제어하는 단계; 및
적어도 하나 이상의 각도와 편광으로 입사된 상기 입사광에 대한 시편의 2차원 회절광을 편광 의존적으로 측정하는 단계
를 포함하고,
복굴절이 포함된 상기 시편에서 복굴절률 값과 분자들의 정렬 방향의 3차원 구조를 측정하며,
상기 입사광에 대한 시편의 2차원 회절광을 편광 의존적으로 측정하는 단계는,
마흐-젠더 간섭계(Mach-Zehnder interferometry), 위상 이동 간섭계(phase shifting interferometry) 및 정량 위상 이미지 촬영 기구(Quantitative phase imaging unit) 중 적어도 어느 하나 이상을 포함한 시간적(temporal) 및 공간적(spatial) 세기 변조 간섭계(intensity modulation interferometry)를 이용하거나, 세기 전달 공식(transport of intensity equation) 및 푸리에 타이코그래피(Fourier ptychography) 중 적어도 어느 하나를 이용한 2차원 회절광을 측정하는 방법을 이용하고,
복굴절률의 텐서(tensor) 특성은 복굴절이 포함된 상기 시편의 공간적 회전에 의한 것임을 이용하여, 측정된 굴절률 텐서를 대각화함에 따라 복굴절이 포함된 상기 시편에서 복굴절률 값 및 분자들의 정렬 방향을 3차원으로 단층복원 하는 것
을 특징으로 하는, 3차원 굴절률 텐서의 측정 방법. - 제1항에 있어서,
상기 평면파의 입사광을 적어도 하나 이상의 각도와 편광으로 제어하는 단계는,
상기 입사광의 각도를 제어하는 단계
를 포함하는, 3차원 굴절률 텐서의 측정 방법. - 제2항에 있어서,
상기 입사광의 각도를 제어하는 단계는,
이중 거울, 갈바노메트릭 거울(galvanometric mirror), 가변형 거울(deformable mirror), 디지털 마이크로미러 소자(digital micromirror device), 액정 공간 광 변조기(Liquid-crystal spatial light modulator) 및 2차원 멤스 거울(Micro Electro Mechanical System mirror, MEMS mirror) 중 적어도 어느 하나 이상을 이용하여 상기 입사광의 각도를 제어하는 것
을 특징으로 하는, 3차원 굴절률 텐서의 측정 방법. - 제1항에 있어서,
상기 평면파의 입사광을 적어도 하나 이상의 각도와 편광으로 제어하는 단계는,
상기 입사광의 편광을 제어하는 단계
를 포함하는, 3차원 굴절률 텐서의 측정 방법. - 제4항에 있어서,
상기 입사광의 편광을 제어하는 단계는,
편광 광 분리기(polarization beam splitter), 광 섬유 편광 제어기(optical fiber polarization controller), 회전하는 편광판, 액정 지연기(liquid-crystal retarder) 및 메타 평면(meta surface) 중 적어도 어느 하나 이상을 이용하여 상기 입사광의 편광을 제어하는 것
을 특징으로 하는, 3차원 굴절률 텐서의 측정 방법. - 삭제
- 삭제
- 평면파의 입사광을 적어도 하나 이상의 각도와 편광으로 제어하는 입사광 제어부; 및
적어도 하나 이상의 각도와 편광으로 입사된 상기 입사광에 대한 시편의 2차원 회절광을 편광 의존적으로 측정하는 회절광 측정부
를 포함하고,
복굴절이 포함된 상기 시편에서 복굴절률 값과 분자들의 정렬 방향의 3차원 구조를 측정하며,
상기 회절광 측정부는,
마흐-젠더 간섭계(Mach-Zehnder interferometry), 위상 이동 간섭계(phase shifting interferometry) 및 정량 위상 이미지 촬영 기구(Quantitative phase imaging unit) 중 적어도 어느 하나 이상을 포함한 시간적(temporal) 및 공간적(spatial) 세기 변조 간섭계(intensity modulation interferometry)를 이용하거나, 세기 전달 공식(transport of intensity equation) 및 푸리에 타이코그래피(Fourier ptychography) 중 적어도 어느 하나를 이용한 2차원 회절광을 측정하는 방법을 이용하고,
복굴절률의 텐서(tensor) 특성은 복굴절이 포함된 상기 시편의 공간적 회전에 의한 것임을 이용하여, 측정된 굴절률 텐서를 대각화함에 따라 복굴절이 포함된 상기 시편에서 복굴절률 값 및 분자들의 정렬 방향을 3차원으로 단층복원 하는 것
을 특징으로 하는, 3차원 굴절률 텐서의 측정 장치. - 제8항에 있어서,
상기 입사광 제어부는,
상기 입사광의 각도를 제어하는 각도 제어부; 및
상기 입사광의 편광을 제어하는 편광 제어부
를 포함하는, 3차원 굴절률 텐서의 측정 장치. - 삭제
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