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KR102223593B1 - Apparatus for controlling slope of stage and apparatus for dividing substrate using the same - Google Patents

Apparatus for controlling slope of stage and apparatus for dividing substrate using the same Download PDF

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KR102223593B1
KR102223593B1 KR1020190045809A KR20190045809A KR102223593B1 KR 102223593 B1 KR102223593 B1 KR 102223593B1 KR 1020190045809 A KR1020190045809 A KR 1020190045809A KR 20190045809 A KR20190045809 A KR 20190045809A KR 102223593 B1 KR102223593 B1 KR 102223593B1
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South Korea
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stage
substrate
unit
ball screw
fixing plate
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임두환
전민석
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한국미쯔보시다이아몬드공업(주)
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Priority to CN202010302646.0A priority patent/CN111834256A/en
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Abstract

본 발명에 따른 스테이지 경사 조절 장치는, 지지부, 상기 지지부의 상면에 설치되며 기판을 고정하는 스테이지 및 상기 지지부의 일측에 설치되며 구동 유닛과 회전 유닛을 각각 구비하는 경사 조절부를 포함하고, 상기 구동 유닛의 작동에 따라 상기 회전 유닛이 회전하여 상기 스테이지의 경사 각도를 조절하는 스테이지 경사 조절 장치이다.
본 발명에 따른 스테이지 경사 조절 장치에 의하면, 구동 유닛과 회전 유닛을 별개로 구성함으로써, 간단한 구성으로도 스테이지의 경사 각도를 용이하게 조절할 수 있다. 또한, 회전 유닛에 가해지는 부하를 현저히 줄일 수 있어, 장치의 안정성과 기판의 분단 품질을 높일 수 있다.The stage inclination adjusting device according to the present invention includes a support part, a stage installed on an upper surface of the support part and fixing a substrate, and a tilt adjusting part provided on one side of the support part and each having a drive unit and a rotation unit, and the drive unit It is a stage inclination adjustment device that adjusts the inclination angle of the stage by rotating the rotation unit according to the operation of.
According to the stage tilt adjustment apparatus according to the present invention, by separately configuring the drive unit and the rotation unit, the tilt angle of the stage can be easily adjusted even with a simple configuration. In addition, the load applied to the rotating unit can be significantly reduced, so that the stability of the device and the quality of division of the substrate can be improved.

Figure R1020190045809
Figure R1020190045809

Description

스테이지 경사 조절 장치 및 이를 이용하는 기판 분단 장치{APPARATUS FOR CONTROLLING SLOPE OF STAGE AND APPARATUS FOR DIVIDING SUBSTRATE USING THE SAME}A stage tilt control device and a substrate dividing device using the same TECHNICAL FIELD {APPARATUS FOR CONTROLLING SLOPE OF STAGE AND APPARATUS FOR DIVIDING SUBSTRATE USING THE SAME}

본 발명은 스테이지 경사 조절 장치 및 이를 이용하는 기판 분단 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 회전 유닛과 구동 유닛을 포함하는 경사 조절부를 구비함으로써, 스테이지의 경사 각도를 간단하고 안정적으로 조절하여, 기판의 분단 품질을 향상시킬 수 있는 스테이지 경사 조절 장치 및 이를 이용하는 기판 분단 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a stage tilt adjusting device and a substrate dividing device using the same, and more particularly, by providing a tilt adjusting unit including a rotation unit and a driving unit, by simply and stably adjusting the tilt angle of the stage, The present invention relates to a stage inclination adjusting apparatus capable of improving the division quality, and a substrate division apparatus using the same.

일반적으로 디스플레이란 전자 기기와 인간과의 인터페이스로서, 각종 전자 기기로부터 출력되는 전기적 정보 신호를 광 정보 신호로 변환하여, 인간이 시각을 통해서 인식할 수 있도록 하는 정보 표시 장치이다. In general, a display is an interface between an electronic device and a human being, and is an information display device that converts electrical information signals output from various electronic devices into optical information signals so that humans can recognize them through vision.

최근에 들어서는 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면 디스플레이가 등장하기 시작하였으며, 그 종류로는 LCD(Liquid Crystal Display, 액정 디스플레이), PDP(Plasma Display Panel, 플라즈마 디스플레이 패널), FED(Field Emission Display, 전계방출 표시장치), OLED(Organic Light Emitting Diode, 유기 LED) 등이 있다.In recent years, as the electronic display industry has rapidly developed among the semiconductor industries, flat displays have begun to appear, and the types include LCD (Liquid Crystal Display), PDP (Plasma Display Panel, Plasma Display Panel), and FED (Field). Emission Display, field emission display), OLED (Organic Light Emitting Diode, organic LED), etc.

이들 평면 디스플레이의 패널로 이용되는 PDP, LCD, FED, OLED 등은, 유리와 같은 취성의 마더 기판(mother substrate)을 소정의 크기로 분단함으로써 얻어지므로, 기판의 제조 공정은 큰 면적의 마더 기판을 수 내지 수십 개의 단위 기판들로 분단하는 분단 공정을 수반하게 된다.PDPs, LCDs, FEDs, OLEDs, etc., which are used as panels of these flat panel displays, are obtained by dividing a brittle mother substrate such as glass into a predetermined size. It involves a dividing process of dividing into several to tens of unit substrates.

마더 기판의 분단 공정은, 마더 기판보다 경도가 높은 다이아몬드 등으로 이루어진 공구(스크라이브 휠)를 이용하여 마더 기판의 표면에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 공정과, 마더 기판의 표면에 형성된 스크라이브 라인을 가압하여 휨 모멘트를 가하거나 스크라이브 라인의 크랙 주위를 가열 또는 냉각시켜 분단하는 브레이크 공정을 포함한다.In the dividing process of the mother substrate, a scribe process is formed in which a scribe line is formed on the surface of the mother substrate using a tool (scribe wheel) made of diamond or the like having a higher hardness than the mother substrate, and the scribe line formed on the surface of the mother substrate is pressed. It includes a brake process that applies a bending moment or heats or cools the cracks around the scribe line to separate them.

브레이크 공정에서는, 스크라이브 공정을 거쳐 스크라이브 라인이 형성되어 있는 마더 기판을 복수의 단위 기판으로 분단하는데, 브레이크 공정의 수율은 최종적인 기판 제조 비용에 큰 영향을 미치므로, 브레이크 공정을 적합하게 처리하여 기판의 수율을 높일 필요가 있다.In the brake process, the mother substrate on which the scribe line is formed through the scribe process is divided into a plurality of unit substrates.Since the yield of the brake process greatly affects the final substrate manufacturing cost, the brake process is appropriately treated to There is a need to increase the yield of.

도 7과 도 8을 참조하여, 브레이크 공정에 이용되는 종래의 기판 분단 장치에 대해 설명한다.With reference to Figs. 7 and 8, a description will be given of a conventional substrate dividing apparatus used in a brake process.

도 7은 종래의 기판 분단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 사시도로서, 도 7에 나타낸 기판 분단 장치는 국내 등록특허공보 제10-0660796호에 종래 기술로 개시되어 있는 기판 분단 장치이다.7 is a perspective view schematically showing the main configuration of a conventional substrate dividing apparatus, and the substrate dividing apparatus shown in FIG. 7 is a substrate dividing apparatus disclosed in the prior art in Korean Patent Publication No. 10-0660796.

도 7에 나타낸 기판 분단 장치는, 기판(3)이 로딩되는 테이블(2)과, 테이블(2) 위에 로딩된 기판(3)상에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이버(4)와, 스크라이버(4)로부터 소정 거리 이격되어 테이블(2)상에 설치되며 스크라이브 라인이 형성된 기판(3)을 분단하는 브레이커(5)로 구성되어 있다.The substrate dividing apparatus shown in Fig. 7 includes a table 2 on which a substrate 3 is loaded, a scriber 4 for forming a scribe line on the substrate 3 loaded on the table 2, and a scriber ( It is installed on the table 2 by a predetermined distance from 4) and consists of a breaker 5 that divides the substrate 3 on which the scribe line is formed.

상기와 같은 종래의 기판 분단 장치에 있어서, 브레이커(5)는 기판의 폭 방향으로 기판(3)보다 길게 형성된 브레이크 바(5a)를 포함하고 있으며, 브레이크 바(5a)는 기판(3)과 접촉하는 부분이 고무와 같은 탄성소재를 이용하여 쐐기 형태로 형성되어 있다. 또한, 브레이커(5)는 에어 실린더 등과 같은 액추에이터(5b)로 브레이크 바(5a)를 승강시켜 기판(3)상의 스크라이브 라인을 타격함으로써 기판(3)을 분단한다. In the conventional substrate dividing apparatus as described above, the breaker 5 includes a brake bar 5a formed longer than the substrate 3 in the width direction of the substrate, and the brake bar 5a contacts the substrate 3 The part is formed in a wedge shape using an elastic material such as rubber. Further, the breaker 5 divides the substrate 3 by raising and lowering the brake bar 5a with an actuator 5b such as an air cylinder and hitting a scribe line on the substrate 3.

도 8은 종래의 다른 기판 분단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 측면도로서, 당해 기판 분단 장치는, 프레임(6)과, 프레임(6)상에 설치되며 기판(9)을 고정하는 스테이지(7)와, 프레임(6)의 일측에 설치되는 회전축(8)으로 구성되어 있다. 상기 기판 분단 장치는, 도 7에 나타낸 기판 분단 장치처럼 기판을 직접적으로 타격하여 분단하는 방식이 아니라, 기판(9)을 스테이지(7)상에 고정한 상태에서, 회전축(8)을 회전시켜 스테이지(7)의 경사 각도를 조절함으로써, 그의 일부가 도시하지 않은 고정 스테이지상에 고정되어 있는 기판(9)을, 스크라이브 라인을 중심으로 분단한다.FIG. 8 is a side view schematically showing the main configuration of another conventional substrate dividing apparatus. The substrate dividing apparatus includes a frame 6 and a stage 7 installed on the frame 6 and fixing the substrate 9 And, it is composed of a rotating shaft (8) installed on one side of the frame (6). The substrate dividing apparatus is not a method of directly striking and dividing the substrate like the substrate dividing apparatus shown in FIG. 7, but by rotating the rotation shaft 8 while the substrate 9 is fixed on the stage 7 to rotate the stage ( By adjusting the inclination angle of 7), the substrate 9 whose part is fixed on a fixed stage (not shown) is divided around the scribe line.

국내 등록특허공보 제10-0660796호Korean Patent Publication No. 10-0660796

그러나, 도 7에 나타낸 기판 분단 장치의 경우, 브레이크 바(5a)의 선단부가 고무와 같은 탄성소재로 이루어져 있다고 하더라도, 브레이크 바(5a)가 기판(3)을 타격하여 분단하는 구조이기 때문에, 기판(3)에 가해지는 충격이 문제될 수 있으며, 경우에 따라서는 기판(3) 자체에 손상이 발생할 수 있다. 또한, 이와 같은 바 형태의 브레이커(5)를 이용하여 기판(3)을 분단할 때에는, 브레이크 바(5a)의 선단부 전체가 기판(3)에 동시에 접촉되어야 기판(3)이 스크라이브 라인을 따라 제대로 분단되는데, 브레이크 바(5a)의 선단부 전체를 동시에 기판(3)에 닿게 하는 것은 현실적으로 어렵다. 따라서, 브레이크 바(5a)의 선단부 중 일부가 기판(3)과 먼저 접촉하여 가압력이 불균일하게 기판(3)으로 전달됨에 따라, 기판(3)의 분단면이 불균일해지는 문제점이 있다.However, in the case of the substrate dividing apparatus shown in FIG. 7, even though the tip of the brake bar 5a is made of an elastic material such as rubber, the brake bar 5a has a structure in which the brake bar 5a strikes the substrate 3 and divides the substrate. The impact applied to (3) may be a problem, and in some cases, damage to the substrate 3 itself may occur. In addition, when dividing the substrate 3 using such a bar-shaped breaker 5, the entire tip of the brake bar 5a must be in contact with the substrate 3 at the same time so that the substrate 3 is properly along the scribe line. Although it is divided, it is practically difficult to bring the entire tip of the brake bar 5a into contact with the substrate 3 at the same time. Accordingly, there is a problem in that a part of the front end of the brake bar 5a first contacts the substrate 3 and the pressing force is non-uniformly transmitted to the substrate 3, so that the divided surface of the substrate 3 becomes non-uniform.

또한, 도 8에 나타낸 다른 형태의 기판 분단 장치의 경우, 회전축(8) 자체가, 스테이지(7)의 경사를 조절하기 위한 구동부가 된다. 따라서, 기판(9)을 분단하는데 필요한 소정의 경사 각도를 확보하기 위해, 회전축(8)은 스테이지(7)의 일단측에 형성될 수밖에 없고, 이에 따라, 기판(9)을 분단하는 과정에서 발생하는 흔들림 등 구조적인 불안정성이 불가피하게 수반된다.Further, in the case of the other type of substrate dividing apparatus shown in FIG. 8, the rotation shaft 8 itself serves as a driving unit for adjusting the inclination of the stage 7. Therefore, in order to secure a predetermined inclination angle required for dividing the substrate 9, the rotation shaft 8 has to be formed at one end of the stage 7, and accordingly, occurs in the process of dividing the substrate 9 Structural instability such as shaking is inevitably accompanied.

또한, 상기 기판 분단 장치에서는, 상기한 구조적인 불안정성을 저감하기 위해 고용량의 모터가 필요하게 되어 비용이 상승할 뿐만 아니라, 이러한 고용량의 모터를 사용하더라도 스테이지(7)의 경사를 조절하는 동작에서 발생하는 떨림을 완전히 억제할 수 없기 때문에, 분단된 기판(9)의 품질에 문제가 발생하게 된다.In addition, in the substrate dividing apparatus, a high-capacity motor is required to reduce the structural instability described above, which increases the cost, and also occurs in the operation of adjusting the inclination of the stage 7 even when such a high-capacity motor is used. Since such vibration cannot be completely suppressed, a problem arises in the quality of the divided substrate 9.

이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로서, 그 목적은 회전 유닛과 구동 유닛을 포함하는 경사 조절부를 구비함으로써, 스테이지의 경사 각도를 간단하고 안정적으로 조절하여, 기판의 분단 품질을 향상시킬 수 있는 스테이지 경사 조절 장치 및 이를 이용하는 기판 분단 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, the present invention has been proposed to solve the above-described problems, and the object thereof is to simply and stably adjust the inclination angle of the stage by providing a tilt adjustment unit including a rotation unit and a driving unit, thereby reducing the quality of division of the substrate. It is to provide a stage inclination adjusting device and a substrate dividing device using the same that can improve.

상기 본 발명의 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치는, 지지부, 상기 지지부의 상면에 설치되며 기판을 고정하는 스테이지 및 상기 지지부의 일측에 설치되며 구동 유닛과 회전 유닛을 각각 구비하는 경사 조절부를 포함하고, 상기 구동 유닛의 작동에 따라 상기 회전 유닛이 회전하여 상기 스테이지의 경사 각도를 조절한다.In order to achieve the object of the present invention, a stage tilt adjustment device according to an embodiment of the present invention includes a support, a stage installed on an upper surface of the support and fixing a substrate, and is installed on one side of the support and rotates with the driving unit. It includes a tilt adjustment unit each having a unit, the rotation unit rotates according to the operation of the driving unit to adjust the tilt angle of the stage.

또한, 본 발명에 따른 스테이지 경사 조절 장치에 있어서, 상기 경사 조절부는, 상기 구동 유닛과 상기 회전 유닛이 각각 설치되는 제1 고정 플레이트, 상기 지지부와 상기 회전 유닛의 사이에 설치되는 제2 고정 플레이트 및 상기 제2 고정 플레이트의 일측에 설치되며 상기 구동 유닛과 맞닿는 경사면을 갖는 경사 블럭을 포함할 수 있다.In addition, in the stage inclination adjusting device according to the present invention, the inclination adjusting part includes a first fixing plate on which the driving unit and the rotation unit are respectively installed, a second fixing plate installed between the support part and the rotation unit, and It may include an inclined block installed on one side of the second fixing plate and having an inclined surface in contact with the driving unit.

또한, 본 발명에 따른 스테이지 경사 조절 장치에 있어서, 상기 회전 유닛은, 상기 제1 고정 플레이트의 상면에 설치되는 한 쌍의 고정 브래킷, 상기 고정 브래킷에 삽입되는 회전축 및 상기 제2 고정 플레이트의 하면에 설치되며, 상기 한 쌍의 고정 브래킷의 사이에 삽입되어 상기 회전축에 회전 가능하게 지지되는 회전 브래킷을 포함할 수 있다.In addition, in the stage tilt adjustment apparatus according to the present invention, the rotation unit includes a pair of fixing brackets installed on an upper surface of the first fixing plate, a rotation shaft inserted into the fixing bracket, and a lower surface of the second fixing plate. It is installed, and inserted between the pair of fixing brackets may include a rotation bracket rotatably supported on the rotation shaft.

또한, 본 발명에 따른 스테이지 경사 조절 장치에 있어서, 상기 구동 유닛은, 모터, 일측이 상기 모터와 연결되는 볼 스크류, 상기 제1 고정 플레이트의 상면에 설치되며, 상기 볼 스크류가 삽입되는 볼 스크류 하우징, 상기 볼 스크류 하우징의 상면에 설치되며, 상기 경사 블럭의 경사면과 맞닿는 롤러, 상기 볼 스크류 하우징의 하면에 설치되는 이동 레일, 상기 제1 고정 플레이트의 상면에 설치되며, 상기 이동 레일이 끼워지는 고정 레일 및 상기 볼 스크류 하우징으로부터 소정 거리 이격되어 상기 제1 고정 플레이트의 상면에 설치되는 스토퍼를 포함하고, 상기 롤러의 이동에 따라 상기 회전 유닛이 회전이 회전할 수 있다.In addition, in the stage inclination adjusting apparatus according to the present invention, the driving unit includes a motor, a ball screw having one side connected to the motor, and a ball screw housing installed on an upper surface of the first fixing plate, and into which the ball screw is inserted. , A roller installed on the upper surface of the ball screw housing and in contact with the inclined surface of the inclined block, a movable rail installed on the lower surface of the ball screw housing, a fixing installed on the upper surface of the first fixing plate, and into which the movable rail is fitted A rail and a stopper spaced a predetermined distance from the ball screw housing and installed on an upper surface of the first fixing plate, and the rotation unit may rotate according to the movement of the roller.

또한, 본 발명에 따른 스테이지 경사 조절 장치에 있어서, 상기 기판을 이송하기 위한 이송 레일 및 상기 이송 레일의 하면을 지지하는 보강 지주를 구비하는 이송부를 더 포함할 수 있다.In addition, in the stage inclination adjusting apparatus according to the present invention, it may further include a transfer unit having a transfer rail for transferring the substrate and a reinforcing post supporting a lower surface of the transfer rail.

또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 분단 장치는, 상기 스테이지 경사 조절 장치의 위치를 제1 방향으로 조절하는 제1 위치 조절부 및 상기 제1 위치 조절부의 일측에 설치되어 상기 스테이지 경사 조절 장치의 위치를 제2 방향으로 조절하는 제2 위치 조절부를 포함할 수 있다.In addition, the substrate dividing apparatus according to an embodiment of the present invention includes a first position adjusting unit configured to adjust the position of the stage tilt adjusting device in a first direction, and a first position adjusting unit installed at one side of the stage tilt adjusting device. It may include a second position control unit for adjusting the position of the second direction.

본 발명에 의하면, 구동 유닛과 회전 유닛을 별개로 구성함으로써, 간단한 구성으로도 스테이지의 경사 각도를 용이하게 조절할 수 있다. 또한, 회전 유닛에 가해지는 부하를 현저히 줄일 수 있어, 장치의 안정성과 기판의 분단 품질을 높일 수 있다.According to the present invention, by separately configuring the drive unit and the rotation unit, the inclination angle of the stage can be easily adjusted even with a simple configuration. In addition, the load applied to the rotating unit can be significantly reduced, so that the stability of the device and the quality of division of the substrate can be improved.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치의 주요 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치의 주요 구성을 나타내는 측면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치의 경사 조절부의 주요 구성을 나타내는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치의 작동 상태를 개략적으로 나타내는 도면으로, 도 4(a)는 기판이 스테이지상에 로딩된 상태이고, 도 4(b)는 볼 스크류 및 볼 스크류 하우징이 전방으로 이동한 상태이고, 도 4(c)는 볼 스크류 및 볼 스크류 하우징이 후방으로 이동한 상태이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치의 주요 구성을 나타내는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 분단 장치의 주요 구성을 나타내는 사시도이다.
도 7은 종래의 기판 분단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 8은 종래의 다른 기판 분단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 측면도이다.1 is a perspective view showing a main configuration of a stage inclination adjusting device according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a side view showing a main configuration of a stage inclination adjusting device according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view showing a main configuration of a tilt adjusting unit of the stage tilt adjusting device according to an embodiment of the present invention.
4 is a diagram schematically showing an operating state of the stage inclination adjusting device according to an embodiment of the present invention, FIG. 4(a) is a state in which a substrate is loaded on the stage, and FIG. The ball screw housing has moved forward, and FIG. 4(c) shows the ball screw and the ball screw housing moved rearward.
5 is a perspective view showing a main configuration of a stage inclination adjusting device according to another embodiment of the present invention.
6 is a perspective view showing a main configuration of a substrate dividing apparatus according to an embodiment of the present invention.
7 is a perspective view schematically showing the main configuration of a conventional substrate dividing apparatus.
8 is a side view schematically showing the main configuration of another conventional substrate dividing apparatus.

이하, 본 발명의 실시예에 대해 관련 도면들을 참조하여 상세히 설명하기로 한다. 참고로, 본 명세서에서, 기판(20)의 길이 방향과, 기판(20)의 폭 방향과, 기판(20)의 두께 방향은, 전후 방향과, 좌우 방향과, 상하 방향에 각각 대응된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the related drawings. For reference, in the present specification, the length direction of the substrate 20, the width direction of the substrate 20, and the thickness direction of the substrate 20 correspond to the front-rear direction, the left-right direction, and the vertical direction, respectively.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치의 주요 구성을 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing a main configuration of a stage inclination adjusting device according to an embodiment of the present invention.

스테이지 경사 조절 장치(10)는 지지부(100)와, 스테이지(200)와, 경사 조절부(300)를 포함한다.The stage tilt adjusting device 10 includes a support part 100, a stage 200, and a tilt adjusting part 300.

지지부(100)는 스테이지 경사 조절 장치(10)의 골격을 이루는 부재로서, 기판(20)과 후술하는 스테이지(200)를 지지한다.The support part 100 is a member constituting the skeleton of the stage tilt adjustment device 10 and supports the substrate 20 and the stage 200 to be described later.

스테이지(200)는 지지부(100)의 상면에 설치되며, 스크라이브 장치(미도시)에 의해 스크라이브 라인이 형성된 기판(20)의 일부가 스테이지(200)의 상면에 고정된다. 본 실시 형태에서의 스테이지(200)는 기판 가공 장치에 이용되는 일반적인 흡착 테이블로서, 금속판에 다수의 흡착용의 관통 구멍을 형성하여 흡착면으로 한 타입의 테이블이나, 세라믹 등의 다공질판을 흡착면으로 한 타입의 테이블 등이 이용될 수 있다. 본 실시 형태에서의 스테이지(200)는 지지부(100)의 상면에 복수 개 형성되어 있으나, 이에 한정하지는 않고, 기판(20)의 폭에 대응되는 폭을 가지면 충분하며, 하나의 스테이지(200)로 형성할 수도 있다.The stage 200 is installed on the upper surface of the support part 100, and a part of the substrate 20 on which the scribe line is formed by a scribe device (not shown) is fixed to the upper surface of the stage 200. The stage 200 in this embodiment is a general adsorption table used in a substrate processing apparatus, and a type of table or a porous plate such as ceramics as an adsorption surface by forming a plurality of through holes for adsorption in a metal plate. As such, one type of table can be used. In the present embodiment, a plurality of stages 200 are formed on the upper surface of the support part 100, but the present invention is not limited thereto, and it is sufficient to have a width corresponding to the width of the substrate 20, and one stage 200 is used. It can also be formed.

경사 조절부(300)는 지지부(100) 및 스테이지(200)의 경사 각도를 조절하는 부재로서, 지지부(100)의 아래에, 기판(20)의 폭 방향으로 양단에 각각 설치된다. 경사 조절부(300)는 지지부(100) 및 스테이지(200)를 지지하면서 다른 장치와 결합된다.The inclination adjustment part 300 is a member that adjusts the inclination angles of the support part 100 and the stage 200, and is installed under the support part 100 and at both ends in the width direction of the substrate 20. The tilt adjustment unit 300 is coupled to other devices while supporting the support unit 100 and the stage 200.

도 2를 참조하여 본 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치의 구성에 대해 보다 상세하게 설명한다.The configuration of the stage inclination adjusting device according to the present embodiment will be described in more detail with reference to FIG. 2.

도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치의 주요 구성을 나타내는 측면도이다.Fig. 2 is a side view showing a main configuration of a stage inclination adjusting device according to an embodiment of the present invention.

지지부(100)는 지지 프레임(110)과, 지지 플레이트(120)를 포함한다.The support part 100 includes a support frame 110 and a support plate 120.

지지 프레임(110)은 스테이지(200)와 경사 조절부(300)의 사이에 설치되어, 스테이지 경사 조절 장치(10)의 골격을 이루는 직사각형 형상의 부재이다. 지지 프레임(110)을 이루는 네 모서리 중 기판(20)의 폭 방향으로 평행한 두 모서리 사이에는 복수의 강재 바가 형성되어 있다. 지지 프레임(110)은 기판(20)의 폭보다 다소 넓은 폭을 갖고 있다.The support frame 110 is a rectangular member that is installed between the stage 200 and the tilt adjustment unit 300 and forms the skeleton of the stage tilt adjustment device 10. Among the four corners of the support frame 110, a plurality of steel bars are formed between two corners parallel to the width direction of the substrate 20. The support frame 110 has a slightly wider width than the width of the substrate 20.

지지 플레이트(120)는 스테이지(200)를 직접 지지하는 부재로서, 일부는 지지 프레임(110)상에 지지되고, 나머지는 지지 프레임(110)으로부터 외부로 돌출되어 있다. 지지 플레이트(120)는, 지지 프레임(110)의 폭에 대응되는 폭을 갖는 직사각형 형상의 넓은 면과, 그로부터 전방으로 연장되는 복수의 좁은 면을 갖는다. 지지 플레이트(120)의 넓은 면은 지지 프레임(110)의 상면에 의해 지지되며, 지지 플레이트(120)의 좁은 면은 스테이지(200)의 하면을 지지한다. 다만, 지지 플레이트(120)의 형상은 이에 한정되지 않고, 하나의 직사각형 형상으로 할 수도 있다.The support plate 120 is a member that directly supports the stage 200, some of which are supported on the support frame 110, and the rest protrude from the support frame 110 to the outside. The support plate 120 has a rectangular wide surface having a width corresponding to the width of the support frame 110 and a plurality of narrow surfaces extending forward therefrom. The wide surface of the support plate 120 is supported by the upper surface of the support frame 110, and the narrow surface of the support plate 120 supports the lower surface of the stage 200. However, the shape of the support plate 120 is not limited thereto, and may be a single rectangular shape.

경사 조절부(300)는 제1 고정 플레이트(310)와, 회전 유닛(320)과, 구동 유닛(330)과, 제2 고정 플레이트(340)와, 경사 블럭(350)을 포함한다.The tilt adjustment unit 300 includes a first fixing plate 310, a rotation unit 320, a driving unit 330, a second fixing plate 340, and a slope block 350.

제1 고정 플레이트(310)는 지지부(100)의 아래에, 기판(20)의 폭 방향으로 양단에 각각 설치되며, 기판(20)의 길이 방향으로 지지 프레임(110)보다 다소 큰 치수를 갖고, 상하면이 평평한 형상이다. 제1 고정 플레이트(310)는 스테이지 경사 조절 장치(10)를 다른 장치에 고정시키고, 후술하는 회전 유닛(320)과 구동 유닛(330)이 각각 설치되는 부재이다.The first fixing plate 310 is installed under the support part 100 at both ends in the width direction of the substrate 20, and has a slightly larger dimension than the support frame 110 in the length direction of the substrate 20, The top and bottom are flat. The first fixing plate 310 is a member to which the stage tilt adjustment device 10 is fixed to another device, and a rotation unit 320 and a driving unit 330 described later are respectively installed.

회전 유닛(320)과 구동 유닛(330)은 지지부(100)와 스테이지(200)를 안정적으로 지지하기 위해, 제1 고정 플레이트(310)의 상면에 있어서 전후 방향으로 양단에 각각 설치되며, 구동 유닛(330)의 작동에 따라, 회전 유닛(320)이 회전하면서 지지부(100)와 스테이지(200)가 소정의 각도로 회전하게 된다. 구동 유닛(330)의 작동에 따른 회전 유닛(320) 및 스테이지(200)의 회전 동작 관계의 상세에 대해서는 후술한다.The rotation unit 320 and the driving unit 330 are installed at both ends in the front and rear directions on the upper surface of the first fixing plate 310 in order to stably support the support 100 and the stage 200, and the driving unit According to the operation of 330, the support part 100 and the stage 200 rotate at a predetermined angle while the rotation unit 320 rotates. Details of the rotational operation relationship of the rotation unit 320 and the stage 200 according to the operation of the driving unit 330 will be described later.

제2 고정 플레이트(340)는 제1 고정 플레이트(310)와 마찬가지로 기판(20)의 폭 방향으로 양단에, 그리고, 지지 프레임(110)의 하면과 회전 유닛(320)의 상면 사이에 각각 설치된다.Like the first fixing plate 310, the second fixing plate 340 is installed at both ends in the width direction of the substrate 20, and between the lower surface of the support frame 110 and the upper surface of the rotating unit 320. .

경사 블럭(350)은 후술하는 구동 유닛(330)의 롤러(334)와 맞닿도록 제2 고정 플레이트(340)의 하면의 일측에 설치된다. 경사 블럭(350)은 지면에 대해 소정의 각도로 경사를 이루고 있는 경사면을 갖는다. 경사 블럭(350)의 경사면의 각도나 방향은 특별히 한정하지 않으며, 분단 대상이 되는 기판(20)의 종류나 특성, 치수 등을 고려하여 적절한 각도를 선택할 수 있다.The inclined block 350 is installed on one side of the lower surface of the second fixing plate 340 so as to contact the roller 334 of the driving unit 330 to be described later. The inclined block 350 has an inclined surface that is inclined at a predetermined angle with respect to the ground. The angle or direction of the inclined surface of the inclined block 350 is not particularly limited, and an appropriate angle may be selected in consideration of the type, characteristics, and dimensions of the substrate 20 to be divided.

본 실시 형태에 따른 회전 유닛(320)과 구동 유닛(330)의 구성에 대해, 도 3을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.The configurations of the rotation unit 320 and the drive unit 330 according to the present embodiment will be described in more detail with reference to FIG. 3.

도 3은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치의 경사 조절부의 주요 구성을 나타내는 사시도이다.3 is a perspective view showing a main configuration of a tilt adjusting unit of the stage tilt adjusting device according to an embodiment of the present invention.

회전 유닛(320)은 고정 브래킷(321)과, 회전 브래킷(322)과, 회전축(323)을 포함한다.The rotation unit 320 includes a fixing bracket 321, a rotation bracket 322, and a rotation shaft 323.

고정 브래킷(321)은 제1 고정 플레이트(310)의 상면의 일측에 있어서 좌우 양단에 각각 설치되고, 회전 브래킷(322)은 각각의 고정 브래킷(321)의 사이에 삽입되도록 제2 고정 플레이트(340)의 하면에 설치된다. 고정 브래킷(321)과 회전 브래킷(322)에는 회전축(323)이 삽입될 수 있도록 관통공이 형성되어 있다. 이에 따라, 후술하는 구동 유닛(330)이 작동하면, 고정 브래킷(321)이 고정된 상태에서 회전 브래킷(322)이 회전축(323)을 중심으로 소정의 각도(경사 블럭(350)의 경사면이 지면과 이루는 각도 및 롤러(334)의 이동 거리에 상응하는 각도)로 회전한다. 그리고, 회전 브래킷(322)과 결합된 제2 고정 플레이트(340)가 회전함에 따라 지지부(100)와 스테이지(200)도 마찬가지로 회전하게 된다.The fixing brackets 321 are installed at both left and right ends on one side of the upper surface of the first fixing plate 310, and the rotation bracket 322 is inserted between the fixing brackets 321 so that the second fixing plate 340 It is installed on the lower side of ). A through hole is formed in the fixing bracket 321 and the rotation bracket 322 so that the rotation shaft 323 can be inserted. Accordingly, when the driving unit 330 to be described later operates, the rotation bracket 322 is rotated around the rotation shaft 323 while the fixing bracket 321 is fixed at a predetermined angle (the inclined surface of the inclined block 350 is ground). And an angle corresponding to the moving distance of the roller 334). In addition, as the second fixing plate 340 coupled with the rotation bracket 322 rotates, the support part 100 and the stage 200 rotate in the same manner.

구동 유닛(330)은 모터(331)와, 볼 스크류(332)와, 볼 스크류 하우징(333)과, 롤러(334)와, 이동 레일(335)과, 고정 레일(336)과, 스토퍼(337)를 포함한다.The drive unit 330 includes a motor 331, a ball screw 332, a ball screw housing 333, a roller 334, a moving rail 335, a fixed rail 336, and a stopper 337. ).

모터(331)는 외부로부터 전력 등을 공급받아 구동 유닛(330)을 작동시키는 부재이다. 모터(331)는 브래킷(도면 부호 미도시) 등을 통해 구동 유닛(330)과 결합된다. 모터(331)의 종류는 특별히 한정하지 않으며, 스텝 모터나 서보 모터 등이 사용될 수 있다.The motor 331 is a member that receives electric power from the outside and operates the driving unit 330. The motor 331 is coupled to the driving unit 330 through a bracket (not shown) or the like. The type of the motor 331 is not particularly limited, and a step motor, a servo motor, or the like may be used.

볼 스크류(332)는 제1 고정 플레이트(310)의 상면에 설치되며, 일단이 모터(331)와 연결되어 있으며, 모터(331)가 회전하면 볼 스크류(332)는 전후 방향으로 직진 운동을 한다.The ball screw 332 is installed on the upper surface of the first fixing plate 310, has one end connected to the motor 331, and when the motor 331 rotates, the ball screw 332 moves straight forward and backward. .

볼 스크류 하우징(333)은 볼 스크류(332)가 삽입되는 부재로서, 제1 고정 플레이트(310)의 상면에 설치된다. 볼 스크류 하우징(333)은 정면에서 봤을 때(전방에서 봤을 때) T자 형상이며, 전후 방향으로 연장되어 있다. 볼 스크류 하우징(333)의 상면은 평평하며, 볼 스크류(332)가 삽입되도록 전후 방향으로 관통공이 형성되어 있다. 볼 스크류 하우징(333)은 볼 스크류(332)의 전후진에 따라 마찬가지로 전후진하도록 볼 스크류(332)와 결합되어 있다.The ball screw housing 333 is a member into which the ball screw 332 is inserted, and is installed on the upper surface of the first fixing plate 310. The ball screw housing 333 has a T-shape when viewed from the front (viewed from the front) and extends in the front-rear direction. The top surface of the ball screw housing 333 is flat, and through holes are formed in the front and rear directions so that the ball screw 332 is inserted. The ball screw housing 333 is coupled with the ball screw 332 so as to move forward and backward according to the forward and backward movement of the ball screw 332.

롤러(334)는 경사 블럭(350)과 맞닿도록 볼 스크류 하우징(333)의 상면에 회전 가능하게 설치된다. 이에 따라, 모터(331) 및 볼 스크류(332)의 작동에 따라 볼 스크류 하우징(333)이 전후 방향으로 움직이면, 롤러(334)는 경사 블럭(350)과 맞닿으면서 구름 운동을 하게 된다. 롤러(334)의 개수는 특별히 한정하지 않으며, 경사 블럭(350)의 경사 각도 및 면적 등을 고려하여 적절한 개수로 설치할 수 있다. 모터(331)와 볼 스크류(332)와 롤러(334)는 롤러 이동 기구를 구성한다.The roller 334 is rotatably installed on the upper surface of the ball screw housing 333 so as to contact the inclined block 350. Accordingly, when the ball screw housing 333 moves in the front-rear direction according to the operation of the motor 331 and the ball screw 332, the roller 334 makes a rolling motion while in contact with the inclined block 350. The number of rollers 334 is not particularly limited, and may be installed in an appropriate number in consideration of the inclined angle and area of the inclined block 350. The motor 331, the ball screw 332, and the roller 334 constitute a roller moving mechanism.

이동 레일(335)은 볼 스크류 하우징(333)의 하면의 좌우 양단에 각각 설치되고, 고정 레일(336)은 이동 레일(335)에 대응되도록 제1 고정 플레이트(310)의 상면의 좌우 양단에 각각 설치된다. 고정 레일(336)의 양측면에는 전후 방향으로 길게 홈이 형성되어 있으며, 이동 레일(335)의 양측면에는 이동 레일(335)이 고정 레일(336)의 홈에 끼워진 상태에서 전후 방향으로 이동할 수 있도록 돌출부가 형성되어 있다. 이에 따라, 볼 스크류 하우징(333)이 전후 방향으로 움직이는 도중에 고정 레일(336)로부터 이탈되지 않는다.The moving rails 335 are respectively installed on the left and right ends of the lower surface of the ball screw housing 333, and the fixed rails 336 are respectively installed at the left and right ends of the upper surface of the first fixing plate 310 so as to correspond to the moving rail 335. Is installed. Both sides of the fixed rail 336 are formed with grooves long in the front-rear direction, and protrusions on both sides of the moving rail 335 so that the moving rail 335 can move in the front-rear direction while being inserted into the groove of the fixed rail 336 Is formed. Accordingly, the ball screw housing 333 is not separated from the fixed rail 336 while it is moving in the front-rear direction.

스토퍼(337)는 볼 스크류 하우징(333)의 전후 방향의 움직임을 제한하는 부재이다. 도 3에는 하나의 스토퍼(337)만이 도시되어 있으나, 스토퍼(337)는 볼 스크류 하우징(333)의 전후 방향으로 하나씩 설치될 수 있다. 이에 따라, 볼 스크류 하우징(333)이 전후 방향으로 움직이는 과정에서, 소정의 이동 거리에 도달하게 되면, 볼 스크류 하우징(333)의 전면 또는 후면이 스토퍼(337)와 맞닿아, 볼 스크류 하우징(333)의 움직임이 제한된다.The stopper 337 is a member that restricts movement of the ball screw housing 333 in the front-rear direction. Although only one stopper 337 is shown in FIG. 3, the stoppers 337 may be installed one by one in the front and rear directions of the ball screw housing 333. Accordingly, in the process of moving the ball screw housing 333 in the front and rear direction, when a predetermined moving distance is reached, the front or rear surface of the ball screw housing 333 abuts the stopper 337, and the ball screw housing 333 ) Movement is restricted.

도 4를 참조하여 본 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치의 작동 상태를 설명한다. 참고로, 도 4에 나타낸 스테이지 경사 조절 장치의 구성은 도 1 내지 3을 참조하여 설명한 스테이지 경사 조절 장치의 구성과 동일하며, 도 4에 있어서 중복되는 일부 도면 부호는 기재하지 않는다.An operating state of the stage inclination adjusting device according to the present embodiment will be described with reference to FIG. 4. For reference, the configuration of the stage inclination adjustment device shown in FIG. 4 is the same as that of the stage inclination adjustment device described with reference to FIGS. 1 to 3, and some reference numerals overlapping in FIG. 4 are not described.

도 4는 본 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치의 작동 상태를 나타내는 도면으로서, 도 4(a)는 기판이 스테이지 경사 조절 장치에 로딩된 상태이고, 도 4(b)는 볼 스크류 및 볼 스크류 하우징이 전방으로 이동한 상태이고, 도 4(c)는 볼 스크류 및 볼 스크류 하우징이 후방으로 이동한 상태이다.FIG. 4 is a view showing an operating state of the stage inclination adjusting device according to the present embodiment, in which FIG. 4(a) is a state in which the substrate is loaded in the stage inclination adjusting device, and FIG. 4(b) is a ball screw and a ball screw housing. This is a state that has moved forward, and Fig. 4(c) shows a state in which the ball screw and the ball screw housing have moved backward.

먼저, 스크라이브 장치(미도시)에 의해 스크라이브 라인이 형성된 기판(20)이, 이송 장치(미도시)에 의해 스테이지 경사 조절 장치(10)로 이송된다. 스테이지(200)상에 기판(20)이 로딩되면, 스테이지(200)에 형성되어 있는 흡착공을 통해 기판(20)을 흡착하여 스테이지(200)상에 고정시킨다(도 4(a)). 이때, 스크라이브 라인을 중심으로, 기판(20)의 일측은 본 발명에 따른 스테이지 경사 조절 장치(10)의 스테이지(200)에 로딩된 상태이고, 타측은 도시하지 않은 고정 스테이지에 로딩된 상태이다. 또한, 롤러(334)는 경사 블럭(350)의 경사면의 중간 부분에 위치해있다.First, the substrate 20 on which the scribe line is formed by a scribe device (not shown) is transferred to the stage tilt adjustment device 10 by a transfer device (not shown). When the substrate 20 is loaded on the stage 200, the substrate 20 is adsorbed through the adsorption hole formed in the stage 200 and fixed on the stage 200 (FIG. 4(a)). At this time, centering on the scribe line, one side of the substrate 20 is loaded onto the stage 200 of the stage tilt adjustment apparatus 10 according to the present invention, and the other side is loaded onto a fixed stage (not shown). Further, the roller 334 is located in the middle of the inclined surface of the inclined block 350.

다음, 스크라이브 라인을 따라 기판(20)을 분단하기 위해 구동 유닛(330)을 작동하면, 회전 유닛(320)이 그에 따라 회전하게 된다. 구동 유닛(330)의 작동 방향, 즉, 회전 유닛(320)의 회전 방향은 상황에 따라 시계 방향(도 4(b)) 또는 반시계 방향(도 4(c))으로 선택할 수 있다. 특히, 기판의 종류나 크기 등에 따라서는, 기판의 분단 방향이 기판의 분단 품질에 영향을 주는 경우가 있는데, 본 발명에 따른 스테이지 경사 조절 장치에 의하면, 기판의 적절한 분단 방향을 간단하게 설정할 수 있다.Next, when the driving unit 330 is operated to divide the substrate 20 along the scribe line, the rotation unit 320 rotates accordingly. The operating direction of the driving unit 330, that is, the rotation direction of the rotation unit 320 may be selected in a clockwise direction (FIG. 4(b)) or a counterclockwise direction (FIG. 4(c)) depending on the situation. Particularly, depending on the type or size of the substrate, the dividing direction of the substrate may affect the dividing quality of the substrate. However, according to the stage tilt adjustment apparatus according to the present invention, an appropriate dividing direction of the substrate can be easily set. .

구체적으로, 기판(20)을 시계 방향으로 회전시켜 분단하는 경우, 모터(331)의 작동에 따라 볼 스크류(332) 및 볼 스크류 하우징(333)이 전방으로 이동한다. 이에 따라, 볼 스크류 하우징(333)의 상면에 형성되어 있는 롤러(334)가 경사 블럭(350)의 경사면과 맞닿으면서 전방으로 이동하게 되는데, 경사 블럭(350)의 경사면은 전방으로 상향하고 있으므로, 회전 브래킷(322)이 회전축(323)을 중심으로 시계 방향으로 회전한다. 그리고, 회전 브래킷(322)과 결합되어 있는 지지 프레임(110)이 회전함에 따라, 스테이지(200) 및 그의 상면에 흡착되어 있는 기판(20)도 마찬가지로 회전하게 된다. 이에 따라, 스테이지(200)상에 흡착되어 있는 기판(20)은 아래로 꺾이게 되어, 기판(20)이 스크라이브 라인을 중심으로 분단된다(도 4(b)).Specifically, when the substrate 20 is rotated in a clockwise direction and divided, the ball screw 332 and the ball screw housing 333 move forward according to the operation of the motor 331. Accordingly, the roller 334 formed on the upper surface of the ball screw housing 333 moves forward while in contact with the inclined surface of the inclined block 350, and the inclined surface of the inclined block 350 is upwardly forward. , The rotation bracket 322 rotates clockwise around the rotation shaft 323. In addition, as the support frame 110 coupled with the rotation bracket 322 rotates, the stage 200 and the substrate 20 adsorbed on the upper surface thereof rotate in the same manner. Accordingly, the substrate 20 adsorbed on the stage 200 is bent downward, and the substrate 20 is divided around the scribe line (Fig. 4(b)).

반대로, 기판(20)을 반시계 방향으로 회전시켜 분단하는 경우, 모터(331)의 작동에 따라 볼 스크류(332) 및 볼 스크류 하우징(333)이 후방으로 이동한다. 이에 따라, 볼 스크류 하우징(333)의 상면에 형성되어 있는 롤러(334)가 경사 블럭(350)의 경사면과 맞닿으면서 후방으로 이동하게 되는데, 경사 블럭(350)의 경사면은 전방으로 상향하고 있으므로, 회전 브래킷(322)이 회전축(323)을 중심으로 반시계 방향으로 회전한다. 그리고, 회전 브래킷(322)과 결합되어 있는 지지 프레임(110)이 회전함에 따라, 스테이지(200) 및 그의 상면에 흡착되어 있는 기판(20)도 마찬가지로 회전하게 된다. 이에 따라, 스테이지(200)상에 흡착되어 있는 기판(20)은 위로 꺾이게 되어, 기판(20)이 스크라이브 라인을 중심으로 분단된다(도 4(c)).Conversely, when the substrate 20 is rotated counterclockwise and divided, the ball screw 332 and the ball screw housing 333 move backward according to the operation of the motor 331. Accordingly, the roller 334 formed on the upper surface of the ball screw housing 333 moves backward while contacting the inclined surface of the inclined block 350, and the inclined surface of the inclined block 350 is upwardly forward. , The rotation bracket 322 rotates in a counterclockwise direction around the rotation shaft 323. In addition, as the support frame 110 coupled with the rotation bracket 322 rotates, the stage 200 and the substrate 20 adsorbed on the upper surface thereof rotate in the same manner. Accordingly, the substrate 20 adsorbed on the stage 200 is bent upward, and the substrate 20 is divided around the scribe line (Fig. 4(c)).

전술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치(10)는, 스테이지(200)의 경사를 조절하는 경사 조절부(300)에 있어서, 회전 유닛(320)과 구동 유닛(330)을 별개로 하여, 지지부(100)의 양단에 형성하였다. 따라서, 회전부와 구동부가 하나로 이루어진 종래의 경사 조절 장치에 비해 회전 유닛(320)에 가해지는 부하를 현저히 감소시킬 수 있을뿐만 아니라, 장치 전체의 구조적인 안정성을 높일 수 있다.As described above, the stage inclination adjusting device 10 according to the embodiment of the present invention includes the rotating unit 320 and the driving unit 330 in the inclination adjusting unit 300 for adjusting the inclination of the stage 200. ) As a separate, formed on both ends of the support (100). Accordingly, compared to a conventional tilt control device including a rotating unit and a driving unit, a load applied to the rotating unit 320 may be significantly reduced, as well as structural stability of the entire device may be improved.

또한, 모터(331)와 볼 스크류(332) 및 롤러(334)로 이루어진 간단한 구성의 롤러 이동 기구(경사 조절부(300))를 이용하여, 스테이지(200)의 경사를 용이하게 조절할 수 있다. 특히, 롤러(334)를 전후 방향으로 이동시키는 것만으로도 스테이지(200)의 회전 방향을 적절하게 선택할 수 있어, 상황에 따라 기판(20)의 적절한 분단 방향을 선택할 수 있기 때문에, 기판(20)의 분단 품질을 향상시킬 수 있다.In addition, the inclination of the stage 200 can be easily adjusted by using a roller moving mechanism (inclination adjustment unit 300) having a simple configuration consisting of a motor 331, a ball screw 332, and a roller 334. In particular, the rotation direction of the stage 200 can be appropriately selected simply by moving the roller 334 in the front-rear direction, so that an appropriate dividing direction of the substrate 20 can be selected according to the situation, so that the substrate 20 The quality of the division can be improved.

도 5를 참조하여, 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치에 대해 설명한다. 참고로, 전술한 본 발명의 일 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치와 동일한 도면 부호에 대해서는 설명을 생략한다.Referring to Fig. 5, a stage inclination adjusting device according to another embodiment of the present invention will be described. For reference, descriptions of the same reference numerals as those of the stage tilt adjustment device according to the embodiment of the present invention will be omitted.

도 5는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치의 주요 구성을 나타내는 사시도이다.5 is a perspective view showing a main configuration of a stage inclination adjusting device according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 다른 실시 형태에 따른 스테이지 경사 조절 장치(10)는 이송부(400)를 추가로 포함한다.The stage tilt adjustment device 10 according to another embodiment of the present invention further includes a transfer unit 400.

이송부(400)는, 도시하지 않은 스크라이브 장치에 의해 스크라이브 라인이 형성된 기판(20)을 스테이지 경사 조절 장치(10)로 반입할 때, 그리고 스크라이브 라인을 따라 분단된 기판(20)을 스테이지 경사 조절 장치(10)로부터 반출할 때, 기판(20)을 보다 용이하게 이송하기 위한 부재이다. 이송부(400)는 이송 레일(410)과 보강 지주(420)를 포함한다.When carrying the substrate 20 on which the scribe line is formed by the scribe line not shown into the stage tilt adjusting device 10, and the substrate 20 divided along the scribe line, the stage tilt adjusting device When carrying out from (10), it is a member for conveying the board|substrate 20 more easily. The transfer unit 400 includes a transfer rail 410 and a reinforcing post 420.

이송 레일(410)은 지지부(100)의 지지 플레이트(120)의 상면에 설치되어, 기판(20)의 길이 방향으로 후방으로 연장 형성된다. 이송 레일(410)은 복수의 롤러를 포함하며, 롤러는 기판(20)의 하면과 맞닿는다. 이송 레일(410)의 개수는 특별히 한정하지 않으며, 기판(20)의 폭이나 무게 등에 따라 적절한 개수로 설치할 수 있다.The transfer rail 410 is installed on the upper surface of the support plate 120 of the support part 100 and extends rearward in the length direction of the substrate 20. The transfer rail 410 includes a plurality of rollers, and the rollers abut the lower surface of the substrate 20. The number of transfer rails 410 is not particularly limited, and may be installed in an appropriate number depending on the width or weight of the substrate 20.

보강 지주(420)는 기판(20)의 이송 과정에서 이송 레일(410)이 흔들리는 것을 방지하기 위해 이송 레일(410)의 하면에 설치된다.The reinforcing post 420 is installed on the lower surface of the transfer rail 410 to prevent the transfer rail 410 from shaking during the transfer process of the substrate 20.

도 6을 참조하여 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 분단 장치를 설명한다. 참고로, 전술한 스테이지 경사 조절 장치와 동일한 도면 부호에 대해서는 설명을 생략한다.A substrate dividing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 6. For reference, descriptions of the same reference numerals as those of the above-described stage tilt adjustment device will be omitted.

도 6은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 분단 장치의 사시도이다.6 is a perspective view of a substrate dividing apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 분단 장치(1)는, 스테이지 경사 조절 장치(10)와, 제1 위치 조절부(30)와, 제2 위치 조절부(40)를 포함한다.A substrate dividing apparatus 1 according to an embodiment of the present invention includes a stage tilt adjustment device 10, a first position adjustment unit 30, and a second position adjustment unit 40.

제1 위치 조절부(30)는 스테이지 경사 조절 장치(10)를 제1 방향(예를 들어, 기판(20)의 길이 방향)으로 이동시키는 부재로서, 다른 장치와의 결합을 위해 하면이 평평하게 형성되어 있다. 제1 위치 조절부(30)는 스테이지 경사 조절 장치(10)의 아래에, 기판(20)의 폭 방향으로 기판 분단 장치(1)의 양측에 각각 설치된다. 제1 위치 조절부(30)의 상면에는 제1 방향으로 이동 가능한 제1 슬라이더(도면 부호 미도시)가 구비되어 있다. 제1 슬라이더의 일부는 내측으로 절곡되어 돌출부를 형성하고 있으며, 당해 돌출부는 제1 위치 조절부(30)에 있어서 제1 방향으로 형성된 홈에 삽입된다. 제1 위치 조절부(30)의 작동 시, 제1 슬라이더는 홈에 끼워진 상태에서 제1 방향으로 이동하고, 이에 따라, 후술하는 바와 같이 제1 슬라이더와 결합된 제2 위치 조절부(40)가 제1 방향으로 이동하게 된다.The first position adjusting unit 30 is a member that moves the stage tilt adjusting device 10 in a first direction (for example, in the length direction of the substrate 20), and has a flat bottom surface for coupling with other devices. Is formed. The first position adjusting parts 30 are provided below the stage tilt adjusting device 10, respectively, on both sides of the substrate dividing device 1 in the width direction of the substrate 20. A first slider (not shown) capable of moving in a first direction is provided on the upper surface of the first position adjusting unit 30. A part of the first slider is bent inward to form a protrusion, and the protrusion is inserted into a groove formed in the first direction in the first position adjustment unit 30. When the first position adjusting part 30 is operated, the first slider moves in the first direction while being inserted into the groove, and accordingly, the second position adjusting part 40 coupled with the first slider, as described later, is It moves in the first direction.

제2 위치 조절부(40)는 스테이지 경사 조절 장치(10)를 제2 방향(예를 들어, 기판(20)의 두께 방향)으로 이동시키는 부재이다. 제2 위치 조절부(40)는 제1 위치 조절부(30)와 스테이지 경사 조절 장치(10)의 사이에 각각 설치되며, 제2 위치 조절부(40)의 일측은 제1 위치 조절부(30)의 제1 슬라이더에 결합된다. 제1 위치 조절부(30)와 마찬가지로, 제2 위치 조절부(40)의 일면에는 제2 방향으로 이동 가능한 제2 슬라이더(도면 부호 미도시)가 구비되어 있다. 제2 슬라이더는 스테이지 경사 조절 장치(10)와 직접 결합되거나, 브래킷 등의 별도의 결합 부재를 통해 경사 조절 장치(10)와 결합된다. 제2 슬라이더의 일부는 내측으로 절곡되어 돌출부를 형성하고 있으며, 당해 돌출부는 제2 위치 조절부(40)에 제2 방향으로 형성된 홈에 삽입된다. 제2 위치 조절부(40)의 작동 시, 제2 슬라이더는 홈에 끼워진 상태에서 제2 방향으로 이동하고, 이에 따라, 제2 슬라이더와 결합된 스테이지 경사 조절 장치(10)가 제2 방향으로 이동하게 된다.The second position adjusting unit 40 is a member that moves the stage tilt adjusting device 10 in a second direction (eg, the thickness direction of the substrate 20 ). The second position adjusting part 40 is installed between the first position adjusting part 30 and the stage tilt adjusting device 10, respectively, and one side of the second position adjusting part 40 is a first position adjusting part 30 ) Is coupled to the first slider. Like the first position adjusting unit 30, a second slider (not shown) is provided on one surface of the second position adjusting unit 40 in a second direction. The second slider is directly coupled to the stage inclination adjusting device 10 or coupled to the inclination adjusting device 10 through a separate coupling member such as a bracket. A part of the second slider is bent inward to form a protrusion, and the protrusion is inserted into a groove formed in the second position adjusting unit 40 in the second direction. When the second position adjustment unit 40 is operated, the second slider moves in the second direction while being inserted into the groove, and accordingly, the stage tilt adjustment device 10 coupled with the second slider moves in the second direction. It is done.

이와 같은 구성을 통해, 본 발명에 따른 기판 분단 장치(1)는, 스테이지(200)상에 고정되는 기판(20)과 스테이지 경사 조절 장치(10)의 최적의 분단 위치를 설정할 수 있어, 기판(20)의 분단 품질을 높일 수 있다.Through this configuration, the substrate dividing apparatus 1 according to the present invention can set the optimum dividing positions of the substrate 20 fixed on the stage 200 and the stage tilt adjustment apparatus 10, and thus the substrate ( The quality of division of 20) can be improved.

본 발명에 따른 스테이지 경사 조절 장치에 있어서, 경사 조절부는 장치의 좌측과 우측 각각에 형성되어 있는 것으로 설명하였으나, 경사 조절부의 위치나 개수는 특별히 한정하지는 않으며, 스테이지의 경사 각도를 조절하기에 적절한 위치에, 적절한 개수로 설치될 수 있다.In the stage inclination adjustment device according to the present invention, it has been described that the inclination adjustment unit is formed on each of the left and right sides of the device, but the position or number of the inclination adjustment unit is not particularly limited, and a position suitable for adjusting the inclination angle of the stage In, it can be installed in an appropriate number.

본 발명에 따른 스테이지 경사 조절 장치에 있어서, 스테이지상에 형성된 흡착공을 이용해 기판을 스테이지상에 고정하는 것으로 설명하였으나, 기판을 고정하는 방식은 흡착 고정 방식에 한정하지 않는다. 예를 들어, 별도의 클램프 유닛 등을 이용한 기구적인 고정 방식을 통해 기판을 스테이지상에 고정할 수도 있다.In the stage tilt adjustment apparatus according to the present invention, it has been described that the substrate is fixed on the stage using the suction hole formed on the stage, but the method of fixing the substrate is not limited to the suction fixing method. For example, the substrate may be fixed on the stage through a mechanical fixing method using a separate clamp unit or the like.

본 발명에 따른 스테이지 경사 조절 장치 및 기판 분단 장치는, 스크라이브 라인이 형성된 기판을 분단하는 공정에 사용되는 것으로 설명하였으나, 이에 한정하지 않고, 예를 들어, 분단된 기판의 단재를 제거하는 공정에도 사용될 수 있다.The stage inclination adjusting device and the substrate dividing apparatus according to the present invention have been described as being used in a process of dividing a substrate on which a scribe line is formed, but is not limited thereto, and may be used in, for example, a process of removing an end material of a divided substrate. I can.

본 발명에 따른 스테이지 경사 조절 장치는 보강 리브를 추가로 포함할 수 있다. 예를 들어, 지지부와 스테이지의 사이에 보강 리브가 설치될 수 있으며, 지지부와 이송부 사이에도 보강 리브가 설치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 스테이지 경사 조절 장치는 작동 시의 구조적인 안정성을 확보할 수 있다.The stage inclination adjusting device according to the present invention may further include a reinforcing rib. For example, a reinforcing rib may be installed between the support part and the stage, and a reinforcing rib may be installed between the support part and the transfer part. Accordingly, the stage tilt adjustment device according to the present invention can secure structural stability during operation.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to make various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention. Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain the technical idea, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

1: 기판 분단 장치 10: 스테이지 경사 조절 장치
20: 기판 30: 제1 위치 조절부
40: 제2 위치 조절부 100: 지지부
110: 지지 프레임 120: 지지 플레이트
200: 스테이지 300: 경사 조절부
310: 제1 고정 플레이트 320: 회전 유닛
321: 고정 브래킷 322: 회전 브래킷
323: 회전축 330: 구동 유닛
331: 모터 332: 볼 스크류
333: 볼 스크류 하우징 334: 롤러
335: 고정 레일 336: 이동 레일
337: 스토퍼 340: 제2 고정 플레이트
400: 이송부 410: 이송 레일
420: 보강 지주 1: substrate dividing device 10: stage tilt adjustment device
20: substrate 30: first position control unit
40: second position adjustment unit 100: support
110: support frame 120: support plate
200: stage 300: tilt adjustment unit
310: first fixing plate 320: rotating unit
321: fixing bracket 322: rotating bracket
323: rotation shaft 330: drive unit
331: motor 332: ball screw
333: ball screw housing 334: roller
335: fixed rail 336: moving rail
337: stopper 340: second fixing plate
400: transfer unit 410: transfer rail
420: reinforcement post

Claims (6)

지지부;
상기 지지부의 상면에 설치되며 기판을 고정하는 스테이지; 및
상기 지지부의 일측에 설치되며 구동 유닛과 회전 유닛을 각각 구비하는 경사 조절부를 포함하고,
상기 경사 조절부는,
상기 구동 유닛과 상기 회전 유닛이 각각 설치되는 제1 고정 플레이트;
상기 지지부와 상기 회전 유닛의 사이에 설치되는 제2 고정 플레이트; 및
상기 제2 고정 플레이트의 일측에 설치되며 상기 구동 유닛과 맞닿는 경사면을 갖는 경사 블럭을 포함하며,
상기 구동 유닛의 작동에 따라 상기 회전 유닛이 회전하여 상기 스테이지의 경사 각도를 조절하는 스테이지 경사 조절 장치.Support;
A stage installed on the upper surface of the support and fixing the substrate; And
It is installed on one side of the support and includes a tilt adjustment unit each having a drive unit and a rotation unit,
The tilt adjustment unit,
A first fixing plate on which the driving unit and the rotation unit are respectively installed;
A second fixing plate installed between the support and the rotation unit; And
It is installed on one side of the second fixing plate and includes an inclined block having an inclined surface in contact with the driving unit,
Stage tilt adjustment device for adjusting the tilt angle of the stage by rotating the rotation unit according to the operation of the driving unit. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 회전 유닛은,
상기 제1 고정 플레이트의 상면에 설치되는 한 쌍의 고정 브래킷;
상기 고정 브래킷에 삽입되는 회전축; 및
상기 제2 고정 플레이트의 하면에 설치되며, 상기 한 쌍의 고정 브래킷의 사이에 삽입되어 상기 회전축에 회전 가능하게 지지되는 회전 브래킷을 포함하는 스테이지 경사 조절 장치.The method of claim 1,
The rotation unit,
A pair of fixing brackets installed on the upper surface of the first fixing plate;
A rotating shaft inserted into the fixing bracket; And
A stage inclination adjustment device comprising a rotation bracket installed on a lower surface of the second fixing plate and inserted between the pair of fixing brackets and rotatably supported on the rotation shaft. 제1항에 있어서,
상기 구동 유닛은,
모터;
일측이 상기 모터와 연결되는 볼 스크류;
상기 제1 고정 플레이트의 상면에 설치되며, 상기 볼 스크류가 삽입되는 볼 스크류 하우징;
상기 볼 스크류 하우징의 상면에 설치되며, 상기 경사 블럭의 경사면과 맞닿는 롤러;
상기 볼 스크류 하우징의 하면에 설치되는 이동 레일;
상기 제1 고정 플레이트의 상면에 설치되며, 상기 이동 레일이 끼워지는 고정 레일; 및
상기 볼 스크류 하우징으로부터 소정 거리 이격되어 상기 제1 고정 플레이트의 상면에 설치되는 스토퍼를 포함하고,
상기 롤러의 이동에 따라 상기 회전 유닛이 회전하는 스테이지 경사 조절 장치.The method of claim 1,
The drive unit,
motor;
A ball screw having one side connected to the motor;
A ball screw housing installed on an upper surface of the first fixing plate and into which the ball screw is inserted;
A roller installed on an upper surface of the ball screw housing and abutting against an inclined surface of the inclined block;
A moving rail installed on a lower surface of the ball screw housing;
A fixed rail installed on an upper surface of the first fixed plate and into which the moving rail is fitted; And
And a stopper that is spaced apart from the ball screw housing by a predetermined distance and installed on the upper surface of the first fixing plate,
Stage inclination adjustment device in which the rotation unit rotates according to the movement of the roller. 제1항에 있어서,
상기 기판을 이송하기 위한 이송 레일 및
상기 이송 레일의 하면을 지지하는 보강 지주를 구비하는 이송부를 더 포함하는 스테이지 경사 조절 장치.The method of claim 1,
A transfer rail for transferring the substrate, and
Stage inclination adjustment device further comprising a transfer unit having a reinforcing post for supporting the lower surface of the transfer rail. 제1항, 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 스테이지 경사 조절 장치를 이용하는 기판 분단 장치로서,
상기 스테이지 경사 조절 장치의 위치를 상기 기판의 길이 방향으로 조절하는 제1 위치 조절부 및
상기 제1 위치 조절부의 일측에 설치되어 상기 스테이지 경사 조절 장치의 위치를 상기 기판의 두께 방향으로 조절하는 제2 위치 조절부를 포함하는 기판 분단 장치.A substrate dividing apparatus using the stage tilt adjustment apparatus according to any one of claims 1, 3 to 5,
A first position adjusting part for adjusting the position of the stage tilt adjusting device in the length direction of the substrate, and
A substrate dividing apparatus comprising a second position adjusting part installed on one side of the first position adjusting part to adjust a position of the stage tilt adjusting device in a thickness direction of the substrate.
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