KR102221652B1 - 전기도금 결합기구 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 본 발명의 전기도금 결합기구에 관한 비교적 좋은 실시 예의 분해도이다.
도 3은 본 발명의 전기도금 결합기구에 관한 다른 하나의 비교적 좋은 실시 예의 분해도이다.
Claims (8)
- 복수의 소형부품을 전기도금 하는데 사용하는 전기도금 결합기구에 있어서,
상기 전기도금 결합기구는,
소형부품을 저장하는 전기도금 롤러를 포함하며,
상기 전기도금 롤러는,
환 모양 롤러;
회전축 - 상기 회전축의 하나의 제1 Port는 상기 환 모양 롤러에 설치 -;
상기 환 모양 롤러의 한 밑부분에 설치되어 구동기에 의하여 회전하는 클램핑부; 및
상기 환 모양 롤러의 밑부분에 설치된 복수의 Blade vortex;를 포함하고,
상기 롤러는 플레이트, Round Wall, Cover 및 캐소드 링으로 구성, 상기 플레이트와 Round Wall이 서로 결합하고 상기 Cover가 Round Wall 상부를 뒤덮어 하나의 내부공간을 형성하고 상기 회전축은 플레이트와 Cover를 연결하여 외부로 확장하며 상기 캐소드 링을 Round Wall 내에 설치하며,
상기 전기도금 롤러는 전력선 가이드 링을 더 포함하고 상기 환 모양 롤러 내에 설치되며 Round Wall과 서로 떨어져 있는 것을 특징으로 하는 전기도금 결합기구.
- 제 1 항에 있어서,
상기 전기도금 결합기구는 이동프레임을 더 포함하며, 상기 전기도금 롤러는 상기 이동프레임에 결합되고,
상기 이동프레임은,
고정판;
상기 고정판의 두 측에 결합되는 두 개의 측판;
두 개의 보조 Bar - 상기 두 개의 측판 사이에 설치되어 상기 환 모양 롤러가 상기 보조 Bar 위에 위치하도록 함 -; 및
로터리 조인트 - 고정판에 회전할 수 있도록 연결하여 상기 회전축의 하나의 제2 Port와 함께 결합하는데 사용 -;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기도금 결합기구.
- 제 2 항에 있어서,
상기 이동프레임은,
두 개의 캐소드 링을 더 포함하고 상기 고정판의 한 밑부분의 두 측에 설치하여 하나의 캐소드 링과 전기적 접속을 하는데 사용하는 특징을 갖는 전기도금 결합기구.
- 제 3 항에 있어서,
상기 이동프레임은,
캐소드 도선을 포함하고 상기 두 캐소드 링을 연결하여 상기 캐소드 링과 전기적 접속을 하는데 사용하는 특징을 갖는 전기도금 결합기구.
- 제 1 항에 있어서,
상기 전기도금 롤러는 전류전송층을 더 포함하고 전류전송층은 상기 환 모양 롤러의 플레이트에 설치되는 특징을 갖는 전기도금 결합기구.
- 제 5 항에 있어서,
상기 환 모양 롤러는 복수의 캐소드 웨이퍼 및 복수의 흐름차단용 가이드를 포함하고 상기 캐소드 웨이퍼 및 흐름차단용 가이드는 Alternate Interval 형식으로 상기 전류전송층에 설치되고, 또한 캐소드 웨이퍼는 서로 인접한 두 개의 흐름차단용 가이드 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기도금 결합기구. - 삭제
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Citations (1)
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EP0220419B1 (de) * | 1985-09-17 | 1989-01-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Einrichtung für die Massengalvanisierung von schüttfähigem Gut |
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JP4458056B2 (ja) * | 2005-07-28 | 2010-04-28 | Tdk株式会社 | めっき装置 |
JP4832970B2 (ja) * | 2006-07-06 | 2011-12-07 | 上村工業株式会社 | 小物の表面処理装置 |
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