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KR102217049B1 - 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 - Google Patents

메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR102217049B1
KR102217049B1 KR1020197006910A KR20197006910A KR102217049B1 KR 102217049 B1 KR102217049 B1 KR 102217049B1 KR 1020197006910 A KR1020197006910 A KR 1020197006910A KR 20197006910 A KR20197006910 A KR 20197006910A KR 102217049 B1 KR102217049 B1 KR 102217049B1
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아키히로 오모리
유우이치 하다노
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히다찌긴조꾸가부시끼가이사
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Abstract

본 발명은, 산화물계 비금속 개재물이 미세하며, 개수도 매우 적은 우수한 에칭 가공성을 발휘하는 것이 가능한 메탈 마스크용 소재를 제공하는 것을 목적으로 한다. 질량%로, C:0.01% 이하, Si:0.5% 이하, Mn:1.0% 이하, Ni:30∼50%를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불가피적 불순물로 이루어지는 조성을 갖는 메탈 마스크용 소재로서, 상기 메탈 마스크용 소재 1g당에 있어서의 직경 10.0㎛를 초과하는 산화물계 비금속 개재물이 2.0개 이하이며, 직경이 6.0∼10.0㎛인 산화물계 비금속 개재물의 개수가 20.0개 이하이며, 판두께 0.25mm 이하의 박판형상인 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법.

Description

메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법
본 발명은 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
예를 들면 유기 EL 디스플레이의 제작에 있어서, 기판으로 증착해 컬러 패터닝을 생성하기 위해서 메탈 마스크가 사용된다. 이러한 메탈 마스크는 개공부를 제작하는 방법의 하나로서, 메탈 마스크용 소재에 에칭 가공을 행하는 방법이 알려져 있다. 이 메탈 마스크용 소재로서는 Fe-Ni 합금의 박판 등이 사용되지만, 이 Fe-Ni 합금의 박판에 비금속 개재물이나 Ni 등의 편석이 많이 존재하면, 에칭의 진행이 불균일해져 에칭 정밀도가 손상되는 원인이 된다. 그 때문에 비금속 개재물의 저감은 에칭 가공성의 향상에 유효한 것이 알려져 있으며, 여러가지 제안이 이루어지고 있다. 예를 들면 특허문헌 1에는 에칭성 및 프레스 성형성을 향상시키기 위해서, 예비정련에 의해 탈C된 용강의 상면을 가열해서 슬래그 정련한 후, 주조해서 소모 전극으로 하고, 상기 소모 전극을 진공 아크 재용해한 후, 상기 강괴를 열간 가공 및 냉간 가공에 의해 박판으로 하는 Fe-Ni계 박판의 제조 방법이 개시되어 있다. 또 특허문헌 2에는 재료 중의 개재물이나 핀홀의 문제를 개선하기 위해서, 진공용해 또는 진공정련한 Fe-Ni계 합금의 용탕을 주괴로 한 후, 열간 가공 후, 냉간 가공을 실시해서 박판으로 하고, 상기 박판을 에칭에 의해 격벽의 형상으로 가공하는 화상표시장치용 금속 격벽의 제조 방법이 개시되어 있다.
일본 특허공개 2002-069543호 공보 일본 특허공개 2000-090824호 공보
보다 고세밀한 제품을 제작하기 위해서, 사용하는 마스크에 대해서 보다 고정밀도의 패턴 형성이 요구된다. 그 요구에 따르기 위해서, 메탈 마스크용 소재에도 보다 나은 에칭성의 향상이 요구되어지고 있다. 상술한 특허문헌 2에 기재된 발명은 비금속 개재물의 미세화에 유효한 발명이지만, 특허문헌 2의 구성을 만족시키는 경우라도 보다 고정밀도의 에칭에는 불충분할 경우가 있었다. 본 발명의 목적은, 에칭 가공성을 대폭 향상시키는 것이 가능한 메탈 마스크용 소재와, 상술한 메탈 마스크용 소재를 얻을 수 있는 제조 방법에 관한 것이다.
즉, 본 발명의 일양태는, 질량%로, C:0.01% 이하, Si:0.5% 이하, Mn:1.0% 이하, Ni:30∼50%를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불가피적 불순물로 이루어지는 조성을 갖는 메탈 마스크용 소재로서,
상기 메탈 마스크용 소재 1g당에 있어서의,
직경이 10.0㎛를 초과하는 산화물계 비금속 개재물이 2.0개 이하이며,
직경이 6.0∼10.0㎛인 산화물계 비금속 개재물의 개수가 20.0개 이하이며,
판두께 0.25mm 이하의 박판형상인 것을 특징으로 하는 메탈 마스크용 소재이다.
본 발명의 다른 일양태는, 질량%로, C:0.01% 이하, Si:0.5% 이하, Mn:1.0% 이하, Ni:30∼50%를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불가피적 불순물로 이루어지는 조성을 갖는 메탈 마스크용 소재의 제조 방법으로서,
진공용해에 의해 재용해용 제 1 소모 전극을 제조하는 소모 전극 제조 공정과,
상기 제 1 소모 전극을 주형내에서 재용해해서 제 2 재용해용의 제 2 재용해용 소모 전극을 제조하는 제 1 재용해 공정과,
상기 제 2 재용해용 소모 전극을 주형내에서 재용해해서 강괴로 하는 제 2 재용해 공정을 구비하고,
상기 제 2 재용해용 소모 전극의 직경 D1의 상기 제 2 재용해에서 사용하는 주형의 내경 D2에 대한 비 D1/D2는 0.80∼0.95이며,
상기 제 2 재용해 공정 후의 강괴에 열간 압연, 냉간 압연을 행하여 판두께 0.25mm 이하의 박판형상 소재를 얻는 것을 특징으로 하는 메탈 마스크용 소재의 제조 방법이다.
바람직하게는, 상기 냉간 압연 후의 소재 1g당에 있어서의 직경이 10.0㎛를 초과하는 산화물계 비금속 개재물이 2.0개 이하이며, 직경이 6.0∼10.0㎛인 산화물계 비금속 개재물의 개수가 20.0개 이하이다.
바람직하게는, 상기 냉간 압연시의 총압하율은 90% 이상이다.
바람직하게는, 상기 제 1 재용해 공정 및 제 2 재용해 공정을 진공 아크 재용해로 행한다.
(발명의 효과)
본 발명에 의하면, 고정밀도의 에칭 가공이 가능한 메탈 마스크용 소재를 얻을 수 있다. 또한 메탈 마스크용 소재 중의 산화물계 비금속 개재물을 비약적으로 미세화할 수 있고, 개재물 개수도 대폭 줄일 수 있다.
이하, 본 발명을 상세하게 설명한다. 단, 본 발명은 여기에서 연급한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 그 발명의 기술적 사상을 일탈하지 않는 범위에서 적당하게 조합이나 개량이 가능하다. 또 본 발명의 메탈 마스크용 소재란 코일상으로 권회되어 있는 강대나, 그 강대를 절단해서 제작된 직사각형상의 박판도 포함한다. 본 발명의 메탈 마스크용 소재의 판두께는 0.25㎛ 이하이며, 바람직한 판두께는 0.15mm 이하, 보다 바람직한 판두께는 0.1mm 이하, 더욱 바람직한 판두께는 0.05mm 이하이다. 본 발명의 메탈 마스크용 소재는, 질량%로, C:0.01% 이하, Si:0.5% 이하, Mn:1.0% 이하, Ni:30∼50%를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불가피적 불순물인 화학조성의 Fe-Ni 합금으로 한다. 이유는 이하와 같다.
[C:0.01질량% 이하]
C는 에칭성에 영향을 미치는 원소이다. C가 과도하게 많이 포함되면 에칭성을 저해하므로, C의 상한을 0.01%로 했다. C는 0%이어도 좋지만, 제조 공정상 적지 않게 포함되는 것이기 때문에, 하한은 특별히 한정하지 않는다.
[Si:0.5질량% 이하, Mn:1.0질량% 이하]
Si, Mn은, 통상 탈산의 목적으로 사용되고, Fe-Ni 합금에 미량 함유되어 있지만, 과잉으로 함유하면 편석을 일으키기 쉬워지므로, Si:0.5% 이하, Mn:1.0% 이하로 했다. 바람직한 Si량과 Mn량은 Si:0.1% 이하, Mn:0.5% 이하이다. Si와 Mn의 하한은, 예를 들면 Si는 0.01%, Mn은 0.05%로 설정할 수 있다.
[Ni:30∼50질량%]
Ni는 열팽창계수를 조정하는 작용을 갖고, 저열팽창 특성에 큰 영향을 미치는 원소이다. 함유량이 30%보다 적거나, 또는 50%를 초과하는 것에서는 열팽창계수를 낮추는 효과가 없어지므로, Ni의 범위는 30∼50%로 한다. 바람직한 Ni량은 32∼45%이다.
상기 이외를 구성하는 것은 Fe 및 불가피적 불순물이다.
본 발명의 메탈 마스크용 소재는 메탈 마스크용 소재 1g당에 있어서, 직경 10.0㎛를 초과하는 산화물계 비금속 개재물이 2.0개 이하인 것이 특징이다. 이렇게 직경이 10.0㎛를 초과하는 산화물계 비금속 개재물이 2.0개 이하임으로써, 보다 고세밀하고 또한 미소한 에칭 패턴을 균일하게 형성하는 것이 가능해진다. 직경 10.0㎛를 초과하는 산화물계 비금속 개재물이 2.0개를 초과할 경우, 에칭의 불균일한 진행이나, 에칭시의 개재물 탈락에 의한 치수오차가 발생할 가능성이 높아진다. 보다 바람직하게는 직경이 10.0㎛를 초과하는 산화물계 비금속 개재물이 1.0개 미만이다.
본 발명의 메탈 마스크용 소재는 메탈 마스크용 소재 1g당에 있어서, 직경이 6.0∼10.0㎛인 산화물계 비금속 개재물의 개수가 20.0개 이하인 것도 특징의 하나이다. 바람직한 산화물계 비금속 개재물의 개수는 15.0개 이하이며, 보다 바람직하게는 10.0개 이하이다. 이렇게 종래의 메탈 마스크용 소재와 비교해서 비약적으로 산화물계 비금속 개재물의 개수를 줄임으로써 에칭 가공의 불균일한 진행을 크게 억제하여 고정밀도의 에칭 가공이 가능해진다. 1g당에 있어서의 직경이 6.0∼10.0㎛인 산화물계 비금속 개재물의 개수가 20.0개를 초과할 경우, 에칭의 불균일한 진행이나, 에칭시의 개재물 탈락에 의한 치수오차가 발생하는 가능성이 높아진다. 상술한 사이즈나 개수를 확인하기 위해서는, 예를 들면 제작한 소재로부터 1g의 시료를 채취하고, 혼산용액 등으로 용해 후, 필터로 여과하고, 필터 위의 여과액이 통과한 부분에 있어서의 산화물로 이루어지는 잔사를 주사형 전자현미경(SEM)으로 관찰함으로써, 측정할 수 있다. 주사형 전자현미경 관찰상에 있어서의 각 산화물계 비금속 개재물의 외형으로부터 원 상당 직경을 산출하고, 이러한 원 상당 직경을 본 발명에 있어서의 「직경」으로 한다. 원 상당 직경이란 관찰된 산화물계 비금속 개재물의 면적과 동일한 원면적을 갖는 원의 직경(면적원 상당 직경)을 나타낸다. 또 측정시에 1g을 초과하는 (예를 들면 2∼3g)의 소재를 용해 후, 여과해서 얻어진 산화물계 비금속 개재물의 개수로부터 1g당 산화물계 비금속 개재물을 산출해도 좋다. 그 때, 개수에 소수부가 붙는 경우도 있다. 또, 본 발명에 있어서 직경이 6.0㎛ 미만인 것에 대해서 개수의 규정은 없다. 이것은 6.0㎛ 미만의 사이즈의 개재물은 미세하므로, 에칭 가공성에 큰 영향을 주기 어렵기 때문이다.
본 발명에 있어서의 산화물계 비금속 개재물은 Al-Mg-O계(MgO·Al2O3계)의 스피넬계가 주체인 것이 바람직하다. 이 스피넬계는 알루미나계(Al2O3) 등의 산화물계 비금속 개재물과 비교해서 연질이기 때문에, 압연 공정 등에 의해 소재에 소성 변형을 가함으로써, 파쇄·분단에 의한 미세화를 촉진시키는 것이 가능하다고 생각되기 때문이다. 구체적으로는 산화물계 비금속 개재물 중 개수비율로 스피넬계가 50% 이상인 것이 바람직하다. 또 산화물계 비금속 개재물의 조성은 주사형 전자현미경(SEM)이나 전자선 마이크로 애널라이저(EPMA) 등을 이용하여 측정할 수 있다.
다음에 본 발명의 메탈 마스크용 소재의 제조 방법에 대해서 설명한다.
(소모 전극 제조 공정)
우선 본 발명에서는 진공용해에 의해 재용해용 제 1 소모 전극을 제조한다. 이 때의 용해는, 대기 중의 산소나 질소와 용강의 반응에 의한 제 1 소모 전극 중의 산화물 증가를 억제하기 위해서 진공 유도 용해법(VIM)과 같이 진공분위기 하에서 소모 전극을 제조하는 것이 바람직하다. 또 이 때의 제 1 소모 전극은 후술하는 재용해시에 일반적으로 사용되고 있는 원통형의 주형에 대응하기 위해서 원기둥형상으로 하는 것이 바람직하다.
(제 1 재용해 공정)
계속해서, 얻어진 제 1 소모 전극을 주형내에서 재용해해서 후술하는 제 2 재용해용의 제 2 재용해용 소모 전극을 제조한다. 이 제 1 재용해 공정에 의해 제 1 소모 전극내의 편석을 저감시키고, 비금속 개재물을 어느 정도 제거하는 것이 가능하다. 이 제 1 재용해 공정에는 진공 아크 재용해(VAR) 또는 일렉트로 슬래그 재용해(ESR)를 적용할 수 있지만, 보다 제 1 소모 전극 중의 산소량을 저감시키는 것이 가능한 VAR을 적용하는 것이 바람직하다.
(제 2 재용해 공정)
본 발명에서는 제 1 재용해 공정에 의해 얻어진 제 2 재용해용 소모 전극(이후, 간단히 제 2 소모 전극이라고도 기재한다)을 주형내에서 재용해해서 강괴를 얻는다. 또한, 제 2 재용해 공정시에 있어서, 제 2 소모 전극 직경 D1(제 2 재용해용 소모 전극의 직경)의 주형 내경 D2(제 2 재용해 공정에서 강괴가 주조되는 주형의 내경)에 대한 비 D1/D2를 0.80∼0.95로 조정하는 것이 본 발명의 특징이다. 이 제 2 재용해 공정에 의해, 제 2 소모 전극에 잔존하고 있는 사이즈가 큰 산화물계 비금속 개재물을 제거하고, 수축소나 기공의 발생을 억제함으로써 편석을 보다 저감시키고, 비금속 개재물의 개수도 대폭 감소시킬 수 있다. 또한 D1/D2를 상술한 범위로 조정함으로써 강괴에의 아크 방전에 의한 가열이 균일하게 행해진다. 그 때문에, 용강풀의 외주측으로부터 형성되는 응고쉘의 성장을 억제하고, 응고쉘에 개재물이 응집되어 조대한 개재물로 되는 것을 억제할 수 있다. 바람직한 D1/D2의 하한은 0.85이다. D1/D2가 0.80 미만인 경우, 아크 방전에 의한 강괴의 가열이 불균일해짐으로써, 강괴내의 개재물이 상술한 응고쉘에 부착되어 응집·조대화되어 강괴 중에 잔존되기 쉬워진다. 또한 D1/D2가 0.95를 초과하는 경우, 제 2 소모 전극과 주형벽의 간격이 지나치게 좁아짐으로써, 제 2 소모 전극과 주형벽 사이에 아크 방전이 발생하여 주형이 손상되는 원인이 된다. 이 제 2 재용해 공정에도 진공 아크 재용해(VAR) 또는 일렉트로 슬래그 재용해(ESR)를 적용할 수 있지만, 보다 소모 전극 중의 산소량을 저감시키고, 조대한 산화물계 비금속 개재물 제거와 편석 억제 효과를 기대할 수 있는 VAR을 적용하는 것이 바람직하다. 또 D1 및 D2의 측정 개소는 원기둥형상이면 어느 부위에서 측정해도 좋고, 테이퍼 원기둥형상(상면의 반경과 저면의 반경이 다른 형상)인 경우, 상면의 반경과 저면의 반경의 평균값을 사용할 수 있다.
본 발명의 제 2 재용해 공정에 있어서, 용해로내의 진공도는 5Pa 이하인 것이 바람직하다. 이것에 의해, 강괴내의 질소 등의 가스 성분의 제거 효율을 향상시켜서 편석이나 개재물이 적은 보다 청정한 강괴를 얻는 것이 가능해진다. 바람직한 용해로내의 진공도는 4Pa 이하이다. 또 하한에 대해서는 특별히 한정하지 않지만, 예를 들면 실용적인 관점에서 0.001Pa 정도의 진공도로 할 수 있다.
본 발명은, 제 2 재용해 공정에 있어서 얻어진 강괴에 열간 압연 공정 및 냉간 압연 공정을 적용하여 판두께 0.25mm 이하의 박판으로 할 수 있다. 바람직한 판두께는 0.15mm 이하, 보다 바람직한 판두께는 0.1mm 이하, 더욱 바람직한 판두께는 0.05mm 이하이다. 상술한 압연 공정에 의해 강괴내의 비금속 개재물이 분단·파쇄됨으로써 비금속 개재물의 미세화를 보다 진행시키는 것이 가능하다고 생각된다. 필요에 따라, 냉간 압연 전의 단계에서 900∼1300℃ 정도에서 균질화 열처리를 행해도 좋고, 냉간 압연 공정 중에는 냉간 압연재의 경도를 저감하기 위해서 800∼1050℃의 소둔을 1회 이상 행할 수 있다. 이 때의 소둔 시간은 30∼150초의 범위에서 선택할 수 있다. 상기 냉간 압연 공정에서는 표면의 스케일을 제거하는 연마 공정이나, 소재 끝부의 오프 게이지부(판두께가 두꺼운 부분)의 제거 및 압연 가공에서 발생하는 에지 웨이브부를 제거하기 위한 에지 컷 공정을 행해도 좋다. 열처리 공정시에 사용하는 로도 종형로, 횡형로(수평로) 등 기존의 것을 사용해도 좋지만, 통판 중의 꺽임의 방지나, 소재의 급준도를 보다 높이기 위해서, 자중에 의한 처짐이 발생하기 어려운 종형로를 사용하는 것이 바람직하다. 또 마무리 압연 후의 메탈 마스크용 소재에 발생하는 형상불량을 억제하기 위해서, 변형 제거 소둔이나 텐션 레벨러 등에 의한 형상교정을 행해도 좋다.
본 발명의 제조 방법에 있어서, 냉간 압연 공정에 있어서의 총압하율은 90% 이상인 것이 바람직하다. 이것에 의해, 연질인 스피넬계 개재물의 파쇄, 분단에 의한 미세화를 촉진시킬 수 있다. 보다 바람직한 총압하율은 94% 이상이다. 상한은 특별히 한정되지 않고, 예를 들면 99%로 설정할 수 있다.
실시예
이하의 실시예에서 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다.
Fe-Ni 합금원료를 VIM에 의해 용해하여 제 1 소모 전극을 5개 제조했다. 이 중 3개의 제 1 소모 전극에는 VAR로 제 1 재용해를 실시해서 제 2 소모 전극으로 한 후, VAR로 제 2 재용해를 더 행해서 본 발명예(No.1∼No.3)의 강괴를 제작했다. 이 때의 제 2 소모 전극 직경 D1의 주형 내경 D2과의 비 D1/D2는 약 0.91이었다. 나머지 2개의 제 1 소모 전극에는 No.1, 2와 동일한 조건으로 제 1 재용해만을 행하고, 비교예(No.11, No.12)의 강괴를 제작했다. 본 발명예 및 비교예의 강괴의 화학조성을 표 1에 나타낸다. 이 때의 제 1 재용해 및 제 2 재용해시의 로내 진공도는 4Pa 이하였다. 얻어진 본 발명예 및 비교예의 강괴는 열간 단조-열간 압연으로 두께 2∼3mm로 마무리하는 공정 후, 950∼1050℃의 온도에서 2회의 소둔을 포함하는 냉간 압연을 행하고, 두께 0.1mm(약 압하율 95% 이상)의 Fe-Ni 합금 냉간 압연재를 제작했다.
Figure 112019024032173-pct00001
계속해서 얻어진 시료에 있어서의 산화물계 비금속 개재물의 조성, 사이즈와 개수를 측정했다. No.1, 2, 3, 11, 12의 냉간 압연재로부터 1g의 시료를 채취하고, 혼산 용액 등으로 용해 후, 필터로 여과하고, 필터 위의 남는 산화물계 비금속 개재물을 SEM으로 관찰하고, 산화물계 비금속 개재물의 조성, 사이즈, 개수를 측정했다. 또 이들 산화물계 비금속 개재물의 사이즈는 관찰된 산화물계 비금속 개재물의 면적과 동일한 원면적을 갖는 원의 직경(면적원 상당 직경)으로 측정했다. 이 결과를 표 2에 나타낸다. 산화물계 비금속 개재물의 조성은 SEM의 반사 전자상으로부터 특정했다. 또 산화물계 비금속 개재물의 개수는 사이즈가 6.0㎛ 이상인 비금속 개재물에 대해서 조사했다. 이것은 6.0㎛ 미만의 사이즈의 개재물은 미세하기 때문에, 에칭 가공성에 큰 영향을 주기 어렵기 때문이다.
Figure 112019024032173-pct00002
측정에 의해, 본 발명예인 No.1∼No.3의 시료, 및 비교예인 No.11, No.12의 시료에 있어서의 산화물계 비금속 개재물은 Al-Mg-O계(MgO·Al2O3계)의 스피넬계가 전체의 50% 이상이었다. 또 표 2의 결과로부터 본 발명예의 시료는 No.1, No.2에 있어서는 10.0㎛를 초과하는 큰 산화물계 비금속 개재물이 존재하지 않고, No.3에 있어서도 10.0㎛를 조금 초과한 개재물이 1개 관찰될 뿐이었다. 또 본 발명예에 있어서의 산화물계 비금속 개재물의 사이즈는 비교예보다 미세화되어 있는 것을 확인할 수 있었다. 6.0㎛ 이상의 산화물계 비금속 개재물의 개수에 대해서도 본 발명예의 시료는 비교예의 시료의 약 7% 이하의 값까지 산화물계 비금속 개재물 개수가 감소되어 있는 것을 확인할 수 있었다.

Claims (5)

  1. 질량%로, C:0.01% 이하, Si:0.5% 이하, Mn:1.0% 이하, Ni:30∼50%를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불가피적 불순물로 이루어지는 조성을 갖는 메탈 마스크용 소재로서,
    상기 메탈 마스크용 소재 1g당에 있어서,
    면적원 상당 직경이 10.0㎛를 초과하는 산화물계 비금속 개재물의 개수가 2.0개 이하이며,
    면적원 상당 직경이 6.0∼10.0㎛인 산화물계 비금속 개재물의 개수가 20.0개 이하이며,
    상기 메탈 마스크용 소재는 판두께 0.25mm 이하의 박판형상인 것을 특징으로 하는 메탈 마스크용 소재.
  2. 질량%로, C:0.01% 이하, Si:0.5% 이하, Mn:1.0% 이하, Ni:30∼50%를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불가피적 불순물로 이루어지는 조성을 갖는 메탈 마스크용 소재의 제조 방법으로서,
    진공용해에 의해 재용해용 제 1 소모 전극을 제조하는 소모 전극 제조 공정과,
    상기 제 1 소모 전극을 주형내에서 재용해해서 제 2 재용해용의 제 2 재용해용 소모 전극을 제조하는 제 1 재용해 공정과,
    상기 제 2 재용해용 소모 전극을 주형내에서 재용해해서 강괴로 하는 제 2 재용해 공정을 구비하고,
    상기 제 2 재용해용 소모 전극의 직경 D1의 상기 제 2 재용해에서 사용하는 주형의 내경 D2에 대한 비 D1/D2는 0.80∼0.95이며,
    상기 제 2 재용해 공정 후의 강괴에 열간 압연, 냉간 압연을 행하여 판두께 0.25mm 이하의 박판형상 소재를 얻는 것을 특징으로 하는 메탈 마스크용 소재의 제조 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 냉간 압연 후의 소재 1g당에 있어서의 면적원 상당 직경이 10.0㎛를 초과하는 산화물계 비금속 개재물이 2.0개 이하이며, 면적원 상당 직경이 6.0∼10.0㎛인 산화물계 비금속 개재물의 개수가 20.0개 이하인 것을 특징으로 하는 메탈 마스크용 소재의 제조 방법.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 냉간 압연시의 총압하율은 90% 이상인 것을 특징으로 하는 메탈 마스크용 소재의 제조 방법.
  5. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 재용해 공정 및 제 2 재용해 공정을 진공 아크 재용해로 행하는 것을 특징으로 하는 메탈 마스크용 소재의 제조 방법.
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