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KR102047231B1 - Electrophoretic display device and method of fabricating thereof - Google Patents

Electrophoretic display device and method of fabricating thereof Download PDF

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KR102047231B1
KR102047231B1 KR1020120143119A KR20120143119A KR102047231B1 KR 102047231 B1 KR102047231 B1 KR 102047231B1 KR 1020120143119 A KR1020120143119 A KR 1020120143119A KR 20120143119 A KR20120143119 A KR 20120143119A KR 102047231 B1 KR102047231 B1 KR 102047231B1
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Abstract

본 발명은 전기영동층의 특정저하를 방지할 수 있는 전기영동 표시소자에 관한 것으로, 복수의 화소를 포함하는 화상표시부 및 화상비표시부를 포함하는 제1기판 및 제2기판: 상기 제1기판 위에 형성된 박막트랜지스터; 상기 박막트랜지스터가 형성된 기판상에 보호층; 상기 보호층 위의 화상비표시부에 형성되어 화소를 정의하는 격벽; 상기 보호층 위의 화상표시부에 형성된 화소전극; 격벽 사이의 화소에 형성된 전기영동층; 제2기판에 형성된 공통전극; 및 상기 제1기판 및 제2기판의 적어도 한 기판에 형성되어 전기영동층과 접촉하는 표면개질층으로 구성된다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrophoretic display device capable of preventing a specific deterioration of an electrophoretic layer, comprising: a first substrate and a second substrate including an image display unit and a non-display unit including a plurality of pixels: on the first substrate. A formed thin film transistor; A protective layer on the substrate on which the thin film transistor is formed; Barrier ribs formed on the non-image display unit on the passivation layer to define pixels; A pixel electrode formed on the image display unit on the protective layer; An electrophoretic layer formed on the pixels between the partition walls; A common electrode formed on the second substrate; And a surface modification layer formed on at least one substrate of the first substrate and the second substrate and in contact with the electrophoretic layer.

Description

전기영동 표시소자 및 그 제조방법{ELECTROPHORETIC DISPLAY DEVICE AND METHOD OF FABRICATING THEREOF}Electrophoretic display device and its manufacturing method {ELECTROPHORETIC DISPLAY DEVICE AND METHOD OF FABRICATING THEREOF}

본 발명은 전기영동 표시소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 제조공정이 단순화되고 제조비용이 절감된 전기영동 표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrophoretic display device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an electrophoretic display device having a simplified manufacturing process and a reduced manufacturing cost.

일반적으로 전기영동 표시소자는 전압이 인가되는 한쌍의 전극을 콜로이드용액에 담그면 콜로이드 입자가 어느 한쪽의 극성으로 이동하는 현상을 이용한 화상표시장치로서, 백라이트를 사용하지 않으면서 넓은 시야각, 높은 반사율, 저소비전력 등의 특성을 갖기 때문에, 전기종이(electric paper) 등의 전자기기로서 각광받고 있다.In general, an electrophoretic display device is an image display device using a phenomenon in which colloidal particles move to either polarity when a pair of electrodes to which voltage is applied is immersed in a colloidal solution. Since it has characteristics, such as an electric power, it is attracting attention as an electronic device, such as an electric paper.

이러한 전기영동 표시소자는 2개의 기판 사이에 전기영동층이 개재된 구조를 가지며, 2개의 기판중 하나는 투명한 기판으로 이루어지고 다른 하나는 구동소자가 형성된 어레이기판으로 구성됨으로써 입력되는 광을 반사하는 반사형 모드로 화상을 표시할 수 있다. The electrophoretic display device has a structure in which an electrophoretic layer is interposed between two substrates, one of the two substrates is made of a transparent substrate, and the other is composed of an array substrate on which a driving element is formed, thereby reflecting input light. The image can be displayed in the reflective mode.

도 1은 종래 전기영동 표시소자(1)의 구조를 나타내는 도면이다.1 is a view showing the structure of a conventional electrophoretic display device (1).

도 1에 도시된 바와 같이, 전기영동 표시소자(1)는 복수의 화소영역을 포함하는 제1기판(20) 및 제2기판(40)과, 상기 제1기판(20)의 화상표시부에 형성된 화소전극(18)과, 상기 제2기판(40)에 형성된 공통전극(42)과, 상기 제2기판(40)의 화소와 화소영역 사이의 화상비표시부에 형성되어 각각의 화소를 구획하는 격벽(80)과, 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40) 사이에 형성된 전기영동층(60)으로 이루어진다.As shown in FIG. 1, the electrophoretic display device 1 may include a first substrate 20 and a second substrate 40 including a plurality of pixel regions, and an image display portion of the first substrate 20. A partition wall formed between the pixel electrode 18, the common electrode 42 formed on the second substrate 40, and an image non-display portion between the pixel and the pixel area of the second substrate 40 to partition each pixel. 80 and an electrophoretic layer 60 formed between the first substrate 20 and the second substrate 40.

도면에는 도시하지 않았지만, 각각의 화소영역에는 박막트랜지스터가 형성되어 화소전극(18)에 전압을 인가함에 따라 상기 화소전극(18)과 공통전극(42) 사이에 전계가 형성되며, 상기 전기영동층(60)을 포함하는 제2기판(40)은 접착층에 의해 제1기판(20)에 합착된다. 전기영동층(60)은 분산매질내(62)에 양전하 및 음전하 특성을 각각 갖는 화이트입자(64) 및 블랙입자(65)가 산포된 전기영동물질로 이루어진다. Although not shown in the drawing, a thin film transistor is formed in each pixel region, and an electric field is formed between the pixel electrode 18 and the common electrode 42 as a voltage is applied to the pixel electrode 18. The second substrate 40 including the 60 is bonded to the first substrate 20 by an adhesive layer. The electrophoretic layer 60 is composed of an electrophoretic material in which white particles 64 and black particles 65 having positive and negative charge characteristics, respectively, are dispersed in a dispersion medium 62.

이러한 구조의 전기영동 표시소자에서는 화이트입자(164)가 양전하 특성을 갖고 있기 때문에, 외부로부터 화소전극(18)에 (+)전압이 인가되면 공통전극(42)은 상대적으로 (-)전위를 가지게 되므로 (+)전하를 띄는 화이트입자(64)는 공통전극(42)쪽으로 이동하게 된다. 따라서, 외부, 즉 제2기판(40)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 화이트입자(64)에 의해 대부분 반사되므로 전기영동 표시소자에는 화이트가 구현된다.In the electrophoretic display device having such a structure, since the white particles 164 have positive charge characteristics, when the positive voltage is applied to the pixel electrode 18 from the outside, the common electrode 42 has a relatively negative potential. Therefore, the white particles 64 having a positive charge move toward the common electrode 42. Therefore, when light is input from the outside, that is, the upper portion of the second substrate 40, the input light is mostly reflected by the white particles 64, so that white is implemented in the electrophoretic display device.

반대로, 상기 화소전극(18)에 (-)전압이 인가되면, 공통전극(42)은 (+)전위를 가지게 되어, (+)전하를 띄는 화이트입자(64)는 제1기판(20)으로 이동하게 되어 외부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 거의 반사되지 않게 되므로, 블랙을 구현하게 된다.On the contrary, when a negative voltage is applied to the pixel electrode 18, the common electrode 42 has a (+) potential, and the white particles 64 having a (+) charge are transferred to the first substrate 20. When the light is input from the outside, the input light is hardly reflected, thereby realizing black.

상기와 같은 구조의 종래 전기영동 표시소자(1)의 제조방법을 개략적으로 나타내면 다음과 같다.A manufacturing method of the conventional electrophoretic display device 1 having the above structure is schematically described as follows.

도 2는 종래 전기영동 표시소자(1)의 제조방법을 개략적으로 나타내는 플로우챠트이다.2 is a flowchart schematically showing a method of manufacturing a conventional electrophoretic display device 1.

도 2에 도시된 바와 같이, 우선 제1기판(20)상에 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인(gate Line) 및 데이터라인(gate Line)을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한다(S101). 이어서, 박막트랜지스터가 형성된 제1기판(20) 상에 화소전극(18)을 형성한다(S102).As shown in FIG. 2, first, a plurality of gate lines and data lines defining pixel regions are formed on a first substrate 20, and the gate lines and data are formed in each of the pixel regions. A thin film transistor which is a driving element connected to the line is formed (S101). Subsequently, the pixel electrode 18 is formed on the first substrate 20 on which the thin film transistor is formed (S102).

한편, 제2기판(40)상에 공통전극(42)을 형성한다(S103). 이어서, 상기 제2기판(40)에 격벽을 형성하여 각각의 화소영역을 구획한 후, 격벽에 의해 구획된 화소영역에 전기영동물질을 충진하여 전기영동층(60)을 형성한다(S105). 그 후, 전기영동층(60)이 형성된 제2기판(40) 위에 보호필름을 부착한다(S105,S106). 이때, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 공통전극(42) 상에는 접착층이 형성되어 보호필름은 접착층에 부착된다. 상기 보호필름은 제2기판(40)을 제1기판(20)과 합착하기 위해 제2기판(40)을 합착공정으로 이송할 때 접착층의 접착력이 저하되거나 접착층에 이물질이 달라붙는 것을 방지하기 위해 부착되는 것이다.Meanwhile, the common electrode 42 is formed on the second substrate 40 (S103). Subsequently, a partition wall is formed on the second substrate 40 to partition each pixel area, and then an electrophoretic material is filled in the pixel area partitioned by the partition wall to form an electrophoretic layer 60 (S105). Thereafter, a protective film is attached onto the second substrate 40 on which the electrophoretic layer 60 is formed (S105 and S106). At this time, although not shown in the figure, an adhesive layer is formed on the common electrode 42 so that the protective film is attached to the adhesive layer. In order to prevent the adhesion of the adhesive layer from deteriorating or the adhesion of the foreign matter to the adhesive layer when the second substrate 40 is transferred to the bonding process in order to bond the second substrate 40 to the first substrate 20. To be attached.

통상적으로, 전기영동 표시소자 제조업체에서는 전기영동층(60)이 형성된 제2기판(40)을 공급받아 이를 제1기판(20)에 합착하여 제작한다. 즉, 외부로부터 전기영동 표시소자 형성라인으로 전기영동층(60)이 형성된 제2기판(40)을 이송한 후, 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 합착하여 전기영동 표시소자를 완성하는 것이다.Typically, an electrophoretic display device manufacturer receives a second substrate 40 on which an electrophoretic layer 60 is formed, and attaches the second substrate 40 to the first substrate 20. That is, the second substrate 40 having the electrophoretic layer 60 formed thereon is transferred from the outside to the electrophoretic display element forming line, and then the first substrate 20 and the second substrate 40 are bonded to each other to form the electrophoretic display element. To complete.

따라서, 전기영동층(60)이 형성된 제2기판(40)은 차량과 같은 이송수단에 의해 먼거리를 이송되어야만 하기 때문에, 이송도중에 접착층의 접착력이 저하되어 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 합착할 때 불량이 발생할 수 있는데, 보호필름은 접착층의 접착력이 약화되는 것을 방지하여 불량을 방지하기 위한 것이다.Therefore, since the second substrate 40 on which the electrophoretic layer 60 is formed has to be transported a long distance by a conveying means such as a vehicle, the adhesive force of the adhesive layer decreases during the conveying process, so that the first substrate 20 and the second substrate ( When bonding the 40) may cause a defect, the protective film is to prevent the defect by preventing the adhesive force of the adhesive layer is weakened.

전기영동 표시소자 제조업체의 제조라인으로 이송된 제2기판(40)은 부착된 보호필름이 박리되고, 이어서 제1기판(20)과 정렬된 후 합착되어 전기영동 표시소자가 완성된다(S109).The second substrate 40 transferred to the manufacturing line of the electrophoretic display device manufacturer is peeled off, and then the protective film attached is aligned with the first substrate 20 and then bonded to complete the electrophoretic display device (S109).

그러나, 상기와 같은 방법에 의해 제작된 종래 전기영동 표시소자(1)에서는 다음과 같은 문제가 발생한다.However, the following problem occurs in the conventional electrophoretic display device 1 manufactured by the above method.

종래 전기영동 표시소자(1)에서는 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 별도로 제작한 후, 접착층에 의해 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40)을 합착함으로써 완성된다. In the conventional electrophoretic display device 1, the first substrate 20 and the second substrate 40 are separately manufactured, and then the first and second substrates 20 and 40 are bonded to each other by an adhesive layer. .

그런데, 전기영동표시소자의 단위 화소는 가로 및 세로의 크기가 150㎛ 이내의 작은 크기로 형성되기 때문에, 이 크기에 정확히 맞도록 전기영동층을 화소와 정렬시키는 것은 매우 어렵게 된다. 전기영동층과 박막트랜지스터가 형성되어 있는 제1기판이 정확히 정렬되지 못하면 전계가 전기영동입자에 정확히 전달되지 못해 구동에러의 원인이 된다.However, since the unit pixels of the electrophoretic display element are formed to have a small size of less than 150 μm in width and length, it is very difficult to align the electrophoretic layer with the pixels so as to exactly fit this size. If the first substrate on which the electrophoretic layer and the thin film transistor are formed is not aligned correctly, the electric field may not be correctly transferred to the electrophoretic particles, which may cause a driving error.

또한, 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40)은 각각 다른 공정상에서 제작된 후, 이송수단에 의해 이송되어 합착공정에서 서로 합착해야 되므로, 인라인으로 제조공정을 형성할 수가 없게 되므로, 제조공정이 지연되고 제조비용이 증가하게 된다.In addition, since the first substrate 20 and the second substrate 40 are each manufactured in different processes, they are transported by a conveying means and then bonded to each other in the bonding process, so that the manufacturing process cannot be formed inline. The manufacturing process is delayed and the manufacturing cost increases.

한편, 제2기판(40)상에는 공통전극(42)을 형성하고 전기영동층(60)을 도포한 후 접착층을 도포하며, 상기 제2기판(40)을 합착공정으로 이송하여 제1기판(20)과 합착하기 위해서는 상기 접착층의 접착력이 저하되거나 접착층에 이물질이 부착되는 것을 방지하기 위해, 상기 접착층에 보호필름을 부착한 상태에서 이송해야만 하며, 동시에 이송된 제2기판(40)을 제1기판(20)에 부착하기 위해서는 제2기판(40)으로부터 보호필름을 박리해야만 하는데, 보호필름의 박리과정에서 정전기가 발생하게 되며, 이 발생된 정전기는 전기영동입자의 초기 배열에 오정렬을 유발시키게 되어 전기영동표시소자의 동작시 빗살무늬모양의 모아레가 발생하는 원인이 되었다.Meanwhile, the common electrode 42 is formed on the second substrate 40, the electrophoretic layer 60 is applied, and an adhesive layer is applied. Then, the second substrate 40 is transferred to a bonding process to transfer the first substrate 20. ) In order to prevent the adhesion of the adhesive layer from deteriorating or adhered to the adhesive layer, the adhesive film must be transported with the protective film attached to the adhesive layer, and the second substrate 40 transferred at the same time is transferred to the first substrate. In order to attach to the 20, the protective film must be peeled from the second substrate 40. Static electricity is generated during the peeling of the protective film, and the generated static electricity causes misalignment in the initial arrangement of the electrophoretic particles. During operation of the electrophoretic display element, a moire in the shape of a comb-pattern was caused.

이와 같이, 종래 전기영동 표시소자에서는 상기 제1기판(20) 및 제2기판(40)은 각각 다른 공정에서 제작되기 때문에, 전기영동층의 접착시 제1기판(20)과 제2기판(40) 사이에 오정렬이 발생하거나 공정이 복잡해지고, 접착층의 박리시 정전기가 발생하여 화질이 불량으로 된다는 문제 등이 있었다.As described above, in the conventional electrophoretic display device, since the first substrate 20 and the second substrate 40 are manufactured in different processes, the first substrate 20 and the second substrate 40 when the electrophoretic layer is bonded. There is a problem that misalignment occurs or the process becomes complicated, and static electricity is generated when the adhesive layer is peeled off, resulting in poor image quality.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 전기영동층을 박막트랜지스터가 형성되는 기판에 직접 형성함으로써 제조비용을 절감하고 제조공정을 단순화할 수 있는 전기영동 표시소자 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention is to solve the above problems, to provide an electrophoretic display device and a method for manufacturing the electrophoretic layer that can reduce the manufacturing cost and simplify the manufacturing process by directly forming the electrophoretic layer on the substrate on which the thin film transistor is formed The purpose.

본 발명의 다른 목적은 전기영동물질과 접촉하는 면의 표면에 표면개질층을 형성하여 전기영동물질과 접촉했을 때 전기영동물질의 특성이 저하되는 것을 방지할 수 있는 전기영동 표시소자 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to form a surface modification layer on the surface of the surface in contact with the electrophoretic material electrophoretic display device and method for manufacturing the electrophoretic material which can prevent the characteristics of the electrophoretic material from deteriorating when contacted with the electrophoretic material To provide.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자는 복수의 화소를 포함하는 화상표시부 및 화상비표시부를 포함하는 제1기판 및 제2기판: 상기 제1기판 위에 형성된 박막트랜지스터; 상기 박막트랜지스터가 형성된 기판상에 보호층; 상기 보호층 위의 화상비표시부에 형성되어 화소를 정의하는 격벽; 상기 보호층 위의 화상표시부에 형성된 화소전극; 격벽 사이의 화소에 형성된 전기영동층; 제2기판에 형성된 공통전극; 및 상기 제1기판 및 제2기판의 적어도 한 기판에 형성되어 전기영동층과 접촉하는 표면개질층으로 구성된다.In order to achieve the above object, an electrophoretic display device according to the present invention includes a first substrate and a second substrate including an image display unit and a non-image display unit including a plurality of pixels: a thin film transistor formed on the first substrate; A protective layer on the substrate on which the thin film transistor is formed; Barrier ribs formed on the non-image display unit on the passivation layer to define pixels; A pixel electrode formed on the image display unit on the protective layer; An electrophoretic layer formed on the pixels between the partition walls; A common electrode formed on the second substrate; And a surface modification layer formed on at least one substrate of the first substrate and the second substrate and in contact with the electrophoretic layer.

상기 전기영동물질은 전하특성을 갖는 화이트입자 및 블랙입자를 포함하거나 전하특성을 갖는 컬러입자를 포함하며, 분산매질을 더 포함한다.The electrophoretic material includes white particles and black particles having charge characteristics or includes color particles having charge characteristics, and further includes a dispersion medium.

상기 표면개질층은 화소전극, 격벽의 측벽, 공통전극 중 적어도 하나의 표면 위에 형성되는데, 이때 상기 표면개질제를 COOH기를 포함하는 물질로 이루어진다.The surface modification layer is formed on at least one surface of the pixel electrode, the side wall of the partition wall, and the common electrode, wherein the surface modifier is formed of a material including a COOH group.

또한, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자 제조방법은 복수의 화소를 포함하는 화상표시부 및 화상비표시부를 포함하는 제1기판 및 제2기판을 제공하는 단계; 제1기판상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계; 상기 박막트랜지스터가 형성된 제1기판상에 보호층을 형성하는 단계; 상기 보호층 위의 화상비표시부에 격벽을 형성하는 단계; 상기 보호층 위의 화상표시부에 화소전극을 형성하는 단계; 상기 격벽의 측벽 및 화소전극 위에 표면개질제를 형성하는 단계; 상기 보호층 상부의 격벽 사이의 화소내에 전기영동물질을 충진하여 전기영동층을 형성하는 단계; 상기 제2기판에 공통전극을 형성하는 단계; 및 제1기판 및 제2기판을 합착하는 단계로 구성된다.In addition, the electrophoretic display device manufacturing method according to the present invention comprises the steps of providing a first substrate and a second substrate including an image display unit and a non-image display unit including a plurality of pixels; Forming a thin film transistor on the first substrate; Forming a protective layer on the first substrate on which the thin film transistor is formed; Forming a partition on the non-image display unit on the protective layer; Forming a pixel electrode on the image display unit on the protective layer; Forming a surface modifier on the sidewalls of the partition and the pixel electrode; Forming an electrophoretic layer by filling an electrophoretic material in pixels between the barrier ribs above the protective layer; Forming a common electrode on the second substrate; And bonding the first substrate and the second substrate to each other.

상기 표면개질층은 스프레이법에 의해 격벽의 측벽 및 화소전극의 표면에 COOH기를 포함하는 물질을 적층함으로써 형성된다.The surface modification layer is formed by laminating a material containing a COOH group on the sidewall of the partition and the surface of the pixel electrode by a spray method.

본 발명에서는 전기영동층이 박막트랜지스터가 형성되는 어레이 기판에 직접 형성되므로, 전기영동층을 어레이 기판에 합착하기 위해 사용되는 접착층이나 접착층을 보호하기 위한 보호필름이 필요없게 되어 제조비용을 절감할 수 있다. 뿐만 아니라 박막트랜지스터를 형성하는 어레이 기판의 제조라인상에서 전기영동층을 인라인으로 형성할 수 있기 때문에 제조공정을 단순화할 수 있게 된다.In the present invention, since the electrophoretic layer is directly formed on the array substrate on which the thin film transistor is formed, the electrophoretic layer can be used to bond the electrophoretic layer to the array substrate, and a protective film for protecting the adhesive layer is not required, thereby reducing manufacturing costs. have. In addition, since the electrophoretic layer may be formed inline on the manufacturing line of the array substrate forming the thin film transistor, the manufacturing process may be simplified.

또한, 본 발명에서는 표면개질층에 의해 전기영동층과 접촉하는 표면을 표면처리하므로, 전기영동층의 특성저하에 의한 불량을 효과적으로 방지할 수 있게 된다.In addition, in the present invention, the surface in contact with the electrophoretic layer by the surface modification layer surface treatment, it is possible to effectively prevent defects due to deterioration of the characteristics of the electrophoretic layer.

도 1은 종래 전기영동 표시소자를 나타내는 도면.
도 2는 종래 전기영동 표시소자의 제조방법을 간략하게 나타내는 플로우챠트.
도 3은 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 제조방법을 간략하게 나타내는 플로우챠트.
도 4a-도 4g는 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 제조방법을 나타내는 도면.
도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 전기영동층을 형성하는 방법을 나타내는 도면.
1 is a view showing a conventional electrophoretic display device.
2 is a flow chart briefly showing a method of manufacturing a conventional electrophoretic display device.
3 is a flow chart briefly showing a method of manufacturing an electrophoretic display device according to the present invention.
4A-4G illustrate a method of manufacturing an electrophoretic display device according to the present invention.
5A and 5B are diagrams each illustrating a method of forming an electrophoretic layer of an electrophoretic display device according to the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 전기영동 표시소자 및 그 제방법에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, an electrophoretic display device and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명에 따른 전기영동 표시소자의 제조공정을 대략적으로 나타내는 플로우챠트이다.3 is a flowchart schematically illustrating a manufacturing process of an electrophoretic display device according to the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 우선 제1기판상에 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인 및 데이터라인을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한다(S201). 이어서, 박막트랜지스터가 형성된 제1기판 상의 화상비표시부에 격벽을 형성한 후 화상표시부에 화소전극을 형성한다(S202,S203).As shown in FIG. 3, first, a plurality of gate lines and data lines defining pixel regions are formed on a first substrate, and thin film transistors, which are driving elements connected to the gate lines and data lines, are formed in each of the pixel regions. (S201). Subsequently, barrier ribs are formed in the image non-display portion on the first substrate on which the thin film transistor is formed, and then pixel electrodes are formed in the image display portion (S202 and S203).

이때, 상기 격벽과 화소전극은 동일한 포토공정에 의해 진행된다. 통상적으로 전기영동 표시소자의 제조공정의 금속패턴의 형성이나 절연층의 패터닝은 포토마스크(photo-mask)를 이용한 포토공정(photolithography)에 의해 형성되는데, 본 발명에서는 격벽과 화소전극을 동일한 포토마스크에 의해 동일한 공정상에서 형성하는 것이다. 또한, 상기 화소전극은 별도의 포토공정없이 형성될 수도 있다. 즉, 금속층을 식각하기 위해 적층되는 포토레지스트층을 포토마스크의 사용없이 패터닝하여 이 패터닝된 포토레지스트층에 의해 금속층을 식각함으로써 화소전극을 형성하는 것이다.In this case, the barrier rib and the pixel electrode are processed by the same photo process. In general, the formation of a metal pattern or patterning of an insulating layer in a manufacturing process of an electrophoretic display device is performed by photolithography using a photo-mask. In the present invention, the barrier ribs and the pixel electrodes are formed in the same photomask. By the same process. In addition, the pixel electrode may be formed without a separate photo process. That is, a photoresist layer laminated to etch the metal layer is patterned without using a photomask, and the pixel layer is formed by etching the metal layer by the patterned photoresist layer.

이어서, 제1기판의 격벽에 의해 구획된 화소영역, 즉 화상표시부에 전기영동물질을 도포하여 전기영동층을 형성한다(S204).Subsequently, an electrophoretic material is applied to the pixel region partitioned by the partition wall of the first substrate, that is, the image display unit to form an electrophoretic layer (S204).

한편, 제2기판에는 공통전극이 형성되며(S205), 이 공통전극이 형성된 제2기판을 제1기판과 정렬한 후 합착하여 전기영동 표시소자를 완성한다(S206,S207).On the other hand, a common electrode is formed on the second substrate (S205), the second substrate on which the common electrode is formed is aligned with the first substrate, and then bonded to complete the electrophoretic display device (S206, S207).

상기 공통전극은 투명한 도전물질을 제2기판에 증착 등의 방법으로 적층함으로써 형성하는 것으로서, 제1기판에 형성된 박막트랜지스터나 화소전극과 동일한 제조라인에 의해 형성된다. 다시 말해서, 본 발명에서는 제2기판의 공정을 제1기판의 공정과 동일한 제조라인에서 실행할 수 있기 때문에, 종래 전기영동 표시소자에서 다른 공장에서 제2기판을 제작한 후 이송하여 제1기판 및 제2기판을 합착하는데 비해, 인라인으로 제1기판 및 제2기판을 제작하고 이들 제1기판 및 제2기판을 합착할 수 있게 된다.The common electrode is formed by laminating a transparent conductive material on a second substrate by deposition or the like, and is formed by the same manufacturing line as a thin film transistor or a pixel electrode formed on the first substrate. In other words, in the present invention, since the process of the second substrate can be carried out in the same manufacturing line as the process of the first substrate, the first substrate and the first substrate and the first substrate are manufactured by manufacturing and transferring the second substrate in another factory in the conventional electrophoretic display device. Compared to the bonding of the two substrates, the first substrate and the second substrate can be manufactured inline, and the first substrate and the second substrate can be bonded together.

상기한 바와 같이, 본 발명에서는 제1기판 및 제2기판의 제조공정이 인라인으로 이루어지므로, 제2기판의 이송이나 전기영동층이 형성된 기판을 박막트랜지스터 기판에 부착하기 위한 접착층이나 상기 접착층을 보호하기 위한 보호필름이 필요없게 되고, 2개의 기판을 정렬하는 공정, 전기영동층이 형성된 기판의 접착층을 보호하는 보호필름을 박리하는 공정 등이 필요없게 되므로 제조공정을 단순화할 수 있게 된다.As described above, in the present invention, since the manufacturing process of the first substrate and the second substrate is performed inline, the adhesive layer or the adhesive layer for attaching the substrate on which the transfer of the second substrate or the electrophoretic layer is formed to the thin film transistor substrate is protected. To avoid the need for a protective film, the process of aligning the two substrates, the process of peeling off the protective film for protecting the adhesive layer of the substrate on which the electrophoretic layer is formed, etc., it is possible to simplify the manufacturing process.

더욱이, 본 발명에서는 하나의 포토마스트에 의해 격벽과 화소전극을 형성할 수 있게 되므로, 제조공정을 더욱 단순화시킬 수 있으며 제조비용을 대폭 감소시킬 수 있게 된다.Furthermore, in the present invention, since the partition wall and the pixel electrode can be formed by one photomask, the manufacturing process can be further simplified and the manufacturing cost can be greatly reduced.

이하에서는 본 발명의 일실시예에 따른 전기영동 표시소자의 실제 제조방법을 도 4a-도 4i를 참조하여 상세히 설명한다. 이때, 전기영동 표시소자는 실질적으로 복수의 단위 화소로 이루어져 있지만, 설명의 편의를 위해 도면에서는 하나의 화소만을 도시하였다.Hereinafter, a method of manufacturing an electrophoretic display device according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 4A to 4I. In this case, although the electrophoretic display device is substantially composed of a plurality of unit pixels, only one pixel is shown in the drawing for convenience of description.

우선, 도 4a에 도시된 바와 같이, 화상표시부와 화상비표시부로 이루어지고 유리나 플라스틱과 같이 투명한 물질로 이루어진 제1기판(120) 위에 Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al 또는 Al합금과 같이 도전성이 좋은 불투명 금속을 스퍼터링법(sputtering process)에 의해 적층한 후 사진식각방법(photolithography process)에 의해 식각하여 게이트전극(111)을 형성한 후, 상기 게이트전극(111)이 형성된 기판(120) 전체에 걸쳐 CVD(Chemicla Vapor Deposition)법에 의해 SiO2나 SiNx 등과 같은 무기절연물질을 적층하여 게이트절연층(122)을 형성한다.First, as shown in FIG. 4A, a Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al, or Al alloy is formed on a first substrate 120 including an image display unit and an image non-display unit and made of a transparent material such as glass or plastic. After laminating a highly conductive opaque metal by a sputtering process and etching by a photolithography process to form a gate electrode 111, the substrate 120 having the gate electrode 111 formed thereon. The gate insulating layer 122 is formed by stacking an inorganic insulating material such as SiO 2 or SiNx by CVD (Chemicla Vapor Deposition).

이어서, 도 4b에 도시된 바와 같이, 제1기판(120) 전체에 걸쳐 비정질실리콘(a-Si)과 같은 반도체물질을 CVD법에 의해 적층한 후 식각하여 반도체층(113)을 형성한다. 또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 반도체층(113)의 일부에 불순물을 도핑하거나 불순물이 첨가된 비정질실리콘을 적층하여 이후 형성되는 소스전극 및 드레인전극을 반도체층(113)과 오믹접합시키는 오믹컨택층(ohmic contact layer)을 형성한다.Subsequently, as illustrated in FIG. 4B, a semiconductor material such as amorphous silicon (a-Si) is deposited on the entire first substrate 120 by CVD and then etched to form a semiconductor layer 113. In addition, although not shown in the drawing, an ohmic contact that ohmic-contacts the source electrode and the drain electrode to be subsequently formed with a semiconductor layer 113 by doping impurities or stacking amorphous silicon added with impurities to a part of the semiconductor layer 113. To form an ohmic contact layer.

그 후, 도 4c에 도시된 바와 같이, 제1기판(120) 상에 Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al 또는 Al합금과 같이 도전성이 좋은 불투명 금속을 스퍼터링법에 의해 적층한 후 식각하여 반도체층(113) 위, 엄밀하게 말해서 오믹컨택층 위에 소스전극(115) 및 드레인전극(116)을 형성하고, 이어서 상기 소스전극(115) 및 드레인전극(116)이 형성된 제1기판(120) 전체에 걸쳐 BCB(Benzo Cyclo Butene)이나 포토아크릴(photo acryl)과 같은 유기절연물질을 적층하여 보호층(124)을 형성한다.Thereafter, as shown in FIG. 4C, an electrically conductive opaque metal such as Cr, Mo, Ta, Cu, Ti, Al, or Al alloy is laminated on the first substrate 120 by sputtering and then etched. The first substrate 120 on which the source electrode 115 and the drain electrode 116 are formed on the semiconductor layer 113 and, strictly speaking, on the ohmic contact layer, is formed on the source electrode 115 and the drain electrode 116. A protective layer 124 is formed by stacking an organic insulating material such as BCB (Benzo Cyclo Butene) or photo acryl.

또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 보호층(124)은 복수의 층으로 형성될 수 있다. 예를 들면, 보호층(124)은 BCB이나 포토아크릴과 같은 유기절연물질로 이루어진 유기절연층 및 SiO2나 SiNx 등과 같은 무기절연물질로 이루어진 무기절연층의 이중의 층으로 형성될 수도 있고, 무기절연층과 유기절연층 및 무기절연층으로 형성할 수도 있을 것이다. 유기절연층을 형성함에 따라 보호층(124)의 표면이 평탄하게 형성되며, 무기절연층을 적용함에 따라 보호층(124)과의 계면특성이 향상된다.In addition, although not shown, the protective layer 124 may be formed of a plurality of layers. For example, the protective layer 124 may be formed of a double layer of an organic insulating layer made of an organic insulating material such as BCB or photoacryl and an inorganic insulating layer made of an inorganic insulating material such as SiO 2 or SiNx. It may be formed of an insulating layer, an organic insulating layer and an inorganic insulating layer. As the organic insulating layer is formed, the surface of the protective layer 124 is formed to be flat, and the interface property with the protective layer 124 is improved by applying the inorganic insulating layer.

상기 보호층(124)은 그 일부가 제거되어 드레인전극(116)이 외부로 노출되는 컨택홀(117)이 형성된다.A portion of the protective layer 124 is removed to form a contact hole 117 through which the drain electrode 116 is exposed to the outside.

이어서, 도 4d에 도시된 바와 같이, 제1기판(120) 전체에 걸쳐 감광성 유기물질을 적층하고 식각하여 보호층(124) 위의 화상비표시부에 유기절연물질로 이루어진 격벽(180)을 형성한다. 이때, 도면에서는 상기 격벽(180)은 음성 감광성 유기물질 또는 양성 감광성 유기물질로 형성할 수 있다.Subsequently, as shown in FIG. 4D, the photosensitive organic material is stacked and etched over the entire first substrate 120 to form a barrier 180 made of an organic insulating material on the non-display portion on the protective layer 124. . In this case, the partition wall 180 may be formed of a negative photosensitive organic material or a positive photosensitive organic material.

도면에는 도시하지 않았지만, 상기 격벽(180)은 제1기판(120) 상에 매트릭스형상으로 배열되는 화소의 경계영역을 따라 형성되므로, 상기 격벽(180) 역시 제1기판(120) 상에 매트릭스형상으로 형성된다.Although not illustrated in the drawing, the partition wall 180 is formed along a boundary area of pixels arranged in a matrix shape on the first substrate 120, so that the partition wall 180 also has a matrix shape on the first substrate 120. Is formed.

그 후, 도 4e에 도시된 바와 같이, 격벽(180)이 형성된 제1기판(120) 전체에 걸쳐서 ITO(Indium Tin Oxide)나 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 투명도전물질, Mo, AlNd와 같은 금속을 적층하고 식각하여 컨택홀(117)을 통해 드레인전극(116)과 전기적으로 접속되는 화소전극(118)을 형성한다. 이때, 상기 화소전극(118a)은 복수의 금속층으로 형성될 수도 있다. 즉, Cu와 MoTi와 같은 복수의 금속층을 연속 적층한 후 식각하여 형성할 수 있다. 또한, 상기 화소전극(118)은 카본나노튜브나 수용성 도전고분자를 사용하여 형성할 수도 있다.Thereafter, as illustrated in FIG. 4E, a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), Mo, AlNd, or the like is formed over the entire first substrate 120 on which the partition wall 180 is formed. Metals are stacked and etched to form pixel electrodes 118 electrically connected to the drain electrodes 116 through the contact holes 117. In this case, the pixel electrode 118a may be formed of a plurality of metal layers. That is, a plurality of metal layers such as Cu and MoTi may be sequentially stacked and then etched. In addition, the pixel electrode 118 may be formed using carbon nanotubes or water-soluble conductive polymers.

도면에서는 상기 화소전극(118)이 보호층(124) 위에만 형성되지만, 상기 화소전극(118)을 격벽(180)의 측벽까지 연장하여 형성할 수도 있을 것이다.In the drawing, the pixel electrode 118 is formed only on the passivation layer 124, but the pixel electrode 118 may be formed to extend to the sidewall of the partition wall 180.

이어서, 도 4f에 도시된 바와 같이, 화소전극(118)의 상부 및 격벽(180)의 측벽에 표면개질층(184)을 형성한 후, 격벽(180) 사이의 화소전극(118) 위에 전기영동물질을 충진하여 전기영동층(160)을 형성한다. 상기 전기영동물질은 양전하 및 음전하 특성을 갖는 입자로 이루어진다. 이때, 상기 입자는 화이트입자(164)와 블랙입자(165)일 수도 있고, 시안(cyan), 마젠타(Magenta), 옐로우(yellow)와 같은 컬러입자 또는 R(Red), G(Green), B(Blue)와 같은 컬러입자일 수도 있다.Subsequently, as shown in FIG. 4F, after the surface modification layer 184 is formed on the upper side of the pixel electrode 118 and the sidewalls of the partition wall 180, the electrophoresis is performed on the pixel electrode 118 between the partition walls 180. The electrophoretic layer 160 is formed by filling the material. The electrophoretic material is composed of particles having positive and negative charge characteristics. In this case, the particles may be white particles 164 and black particles 165, color particles such as cyan, magenta, yellow, or R (Red), G (Green), B It may be a color particle such as (Blue).

화이트입자(164)의 경우 TiO2와 같은 반사율이 좋은 입자를 사용하며, 블랙입자(165)의 경우 카본블랙(canbon black) 등과 같은 블랙특성을 갖는 입자를 사용한다. 이때, 화이트입자(164)가 음전하특성을 갖고 블랙입자(165)가 양전하특성을 가질 수도 있고 화이트입자(164)가 양전하특성을 갖고 블랙입자(165)가 음양전하특성을 가질 수도 있을 것이다.In the case of the white particles 164, particles having good reflectance such as TiO 2 are used, and in the case of the black particles 165, particles having black characteristics, such as carbon black, are used. In this case, the white particles 164 may have negative charge characteristics, the black particles 165 may have positive charge characteristics, the white particles 164 may have positive charge characteristics, and the black particles 165 may have negative charge characteristics.

또한, 컬러입자의 경우 전하특성을 갖는 색소로서, 이때 컬러입자는 음전하를 가질 수도 있고 음전하를 가질 수도 있을 것이다.In addition, in the case of color particles as a dye having a charge characteristic, the color particles may have a negative charge or may have a negative charge.

상기 전기영동물질에는 액상폴리머와 같은 분산매질이 포함될 수 있다. 이 분산매질은 블랙입자나 화이트입자, 컬러입자가 분포되는 것으로, 액상 폴리머와 같은 액체일 수도 있고 공기 자체일 수도 있다. 상기와 같이 분산매질이 공기 자체라는 것은 분산매질이 없어도 전압이 인가됨에 따라 입자가 공기중에서 움직인다는 것을 의미한다.The electrophoretic material may include a dispersion medium such as a liquid polymer. The dispersion medium is a black particle, a white particle, and a color particle are distributed, and may be a liquid such as a liquid polymer or air itself. As described above, that the dispersion medium is air itself means that the particles move in the air as voltage is applied even without the dispersion medium.

상기 분산매질로서 액상폴리머를 사용하는 경우, 상기 분산매질로서 블랙 분산매질이나 컬러 분산매질을 사용할 수 있다. 블랙 분산매질을 사용하는 경우 외부로부터 입사되는 광을 흡수하기 때문에, 블랙구현시 선명한 블랙을 표시하게 되어 콘트라스트를 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 컬러 분산매질은 전기영동물질에 의해 컬러를 구현하는 경우 사용되는데, 각각의 컬러화소에는 대응하는 컬러의 분산매질이 포함되므로, 컬러구현시 더욱 선명한 컬러를 표현할 수 있게 되는 것이다.When a liquid polymer is used as the dispersion medium, a black dispersion medium or a color dispersion medium may be used as the dispersion medium. When using a black dispersion medium absorbs light incident from the outside, it is possible to improve the contrast by displaying a clear black when implementing black. In addition, the color dispersion medium is used when the color is implemented by the electrophoretic material, each color pixel includes a dispersion medium of the corresponding color, it is possible to express a more vivid color when implementing the color.

또한, 상기 전기영동물질은 폴리머중합체(polymer binder)에 전자잉크를 충진한 캡슐을 분포시킨 물질일 수도 있다. 이때, 상기 캡슐내에 분포하는 전자잉크는 화이트입자(또는 화이트잉크)와 블랙입자(또는 블랙잉크)로 이루어져 있다. 이때, 상기 화이트입자와 블랙입자는 각각 양전하와 음전하 특성을 가진다.In addition, the electrophoretic material may be a material in which a capsule filled with an electron ink is distributed in a polymer binder. At this time, the electron ink distributed in the capsule is composed of white particles (or white ink) and black particles (or black ink). In this case, the white particles and the black particles have positive and negative charge characteristics, respectively.

한편, 화이트입자나 블랙입자, 그리고 컬러입자는 특정한 물질만 사용되는 것이 아니라 현재 알려진 모든 입자가 사용될 수 있을 것이다.On the other hand, white particles, black particles, and color particles may be used not only a specific material but all currently known particles.

격벽(180) 내로의 상기 전기영동물질의 충전은 다양한 방법에 의해 이루어질 수 있는데, 이러한 전기영동물질의 충전방법을 설명하면 다음과 같다.The filling of the electrophoretic material into the partition wall 180 may be performed by various methods, which will be described below.

도 5a 및 도 5b는 기판(120)에 형성된 격벽(180) 내부로 전기영동물질을 충진하여 전기영동층(160)을 형성하는 방법을 나타내는 도면이다.5A and 5B illustrate a method of forming the electrophoretic layer 160 by filling an electrophoretic material into the partition wall 180 formed on the substrate 120.

도 5a에 도시된 방법은 잉크젯방식 또는 노즐방식에 관한 것으로, 도 5a에 도시된 바와 같이 실린지(또는 노즐)(185) 내부에 전기영동물질(160a)을 충진한 후, 상기 기판(120) 상부에 상기 실린지(185)를 위치시킨다. 이후, 외부의 공기공급장치(도면표시하지 않음)에 의해 실린지(185)에 압력을 인가한 상태에서 상기 실린지(185)를 기판(120) 상에서 이동시킴에 따라 상기 격벽(180) 내부에 전기영동물질(160a)이 적하되어 기판(120) 상에 전기영동층(160)이 형성된다.The method illustrated in FIG. 5A relates to an inkjet method or a nozzle method. As shown in FIG. 5A, an electrophoretic material 160a is filled in a syringe (or nozzle) 185 and then the substrate 120 is filled. Position the syringe 185 on the top. Subsequently, the syringe 185 is moved on the substrate 120 in a state where a pressure is applied to the syringe 185 by an external air supply device (not shown). The electrophoretic material 160a is dropped to form the electrophoretic layer 160 on the substrate 120.

도 5b에 도시된 방법은 스퀴즈방법에 관한 것으로, 도 5b에 도시된 바와 같이 복수의 격벽(180)이 형성된 기판(120) 상부에 전기영동물질(160a)을 도포한 후, 스퀴즈바(187)에 의해 기판(120) 상에서 이동시킴으로써 스퀴즈바(187)의 압력에 의해 전기영동물질(160a)이 단위 화소내의 격벽(180) 내부로 충진되어 전기영동층(160)이 형성되는 것이다.The method illustrated in FIG. 5B relates to a squeeze method, and as shown in FIG. 5B, after the electrophoretic material 160a is coated on the substrate 120 on which the plurality of partition walls 180 are formed, the squeeze bar 187 is provided. By moving on the substrate 120 by the pressure of the squeeze bar 187 is filled with the electrophoretic material 160a into the partition 180 in the unit pixel to form the electrophoretic layer 160.

물론, 본 발명이 상술한 바와 같은 방법에만 한정되는 것은 아니다. 상술한 방법은 본 발명에서 사용될 수 있는 전기영동층(160)의 형성공정의 일례를 나타내는 것으로서, 본 발명이 이러한 특정 공정에만 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 캐스팅인쇄법, 바코팅인쇄법, 스크린인쇄법, 몰드인쇄법과 같은 다양한 전기영동층(160) 형성공정이 본 발명에 적용될 수 있을 것이다.Of course, the present invention is not limited to the method as described above. The method described above shows an example of the process of forming the electrophoretic layer 160 that can be used in the present invention, and the present invention is not limited to this specific process. For example, various electrophoretic layer 160 forming processes such as casting printing, bar coating printing, screen printing, and mold printing may be applied to the present invention.

표면개질층(184)은 충진된 전기영동층(160)이 화소전극(118) 및 격벽(180)과 접촉할 때 전기영동층의 특성이 저하되는 것을 방지하기 위한 것으로, 상기 표면개질층(184)을 형성하는 이유를 구체적으로 설명하면 다음과 같다.The surface modification layer 184 is to prevent the electrophoretic layer from deteriorating when the filled electrophoretic layer 160 contacts the pixel electrode 118 and the partition wall 180. The reason for forming) is described in detail as follows.

상술한 바와 같이, 전기영동층(160)은 블랙입자나 화이트입자, 컬러입자가 분포된 액상폴리머와 같은 분산매질로 이루어진다. 전기영동층(160)은 화소전극(118)과 같은 금속 또는 금속산화물, 격벽(180)과 같은 유기물질과 접촉하게 되는데, 전기영동층(160)의 형성시 액상폴리머가 금속산화물이나 유기물질과 결합하게 된다. 이러한 액상폴리머의 결합은 전기영동물질의 특성을 저하를 야기하며, 그 결과 전기영동표시소자를 제작했을 때 특성이 저하되는 중요한 원인이 된다.As described above, the electrophoretic layer 160 is composed of a dispersion medium such as a liquid polymer in which black particles, white particles, and color particles are distributed. The electrophoretic layer 160 is in contact with a metal or metal oxide such as the pixel electrode 118, or an organic material such as the partition wall 180. When the electrophoretic layer 160 is formed, the liquid polymer is formed of a metal oxide or organic material. Will be combined. The combination of the liquid polymer causes deterioration of the properties of the electrophoretic material, and as a result, it is an important cause of deterioration of the properties when the electrophoretic display device is manufactured.

반면에, 본 발명에서는 표면개질층(184)을 형성하므로, 전기영동물질이 직접 격벽(180)과 화소전극(118)과 접촉하지 않게 되므로, 전기영동물질이 유기물질과 금속산화물 등과 결합하여 발생하는 문제를 해결할 수 있다.On the other hand, in the present invention, since the surface modification layer 184 is formed, the electrophoretic material does not directly contact the barrier 180 and the pixel electrode 118, so that the electrophoretic material is generated by combining with an organic material and a metal oxide. Can solve the problem.

이때, 상기 표면개질층(184)은 스프레이(spray)법에 의해 격벽(180)의 측벽과 화소전극(118) 상부에 도포하여 형성된다. 상기 표면개질층(184)으로는 다양한 물질이 사용되지만, -COOH기를 포함하는 물질을 사용하는 것이 바람직하다. 본 발명에 의하면, -COOH기를 포함하는 폴리에스테르와 양성 포토레지스트를 사용하는 경우 전기영동층(160)에 포함된 입자의 전기적 쌍안정성이 향상됨을 알 수 있었다.In this case, the surface modification layer 184 is formed by spraying on the sidewalls of the barrier 180 and the upper portion of the pixel electrode 118 by a spray method. Various materials are used as the surface modification layer 184, but it is preferable to use a material including a -COOH group. According to the present invention, it can be seen that when the polyester and the positive photoresist including the -COOH group are used, the electrical bistable stability of the particles included in the electrophoretic layer 160 is improved.

도면에서는 상기 표면개질층(184)이 격벽(180)의 측벽에만 형성되어 있지만 상기 표면개질층(184)의 격벽(180)의 상면에도 형성될 수 있을 것이다. 그러나, 상기 격벽(180)의 상면은 실질적으로 전기영동층(160)과 접촉하지 않으므로, 표면개질층(184)을 형성하지 않아도 된다. 다시 말해서, 본 발명에서는 전극이나 격벽(180) 이외에도 전기영동층(160)과 접촉하는 모든 구성물에는 표면개질층(184)을 형성하는 것이 바람직하다.Although the surface modification layer 184 is formed only on the sidewall of the barrier 180, the surface modification layer 184 may be formed on an upper surface of the barrier 180 of the surface modification layer 184. However, since the upper surface of the partition wall 180 does not substantially contact the electrophoretic layer 160, the surface modification layer 184 may not be formed. In other words, in the present invention, it is preferable to form the surface modification layer 184 on all the components in contact with the electrophoretic layer 160 in addition to the electrode or the partition 180.

이어서, 도 4g에 도시된 바와 같이, 상기와 같이 제2기판(140)에 ITO(Indium Tin Oixde)나 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 투명한 금속산화물로 이루어진 공통전극(142)을 형성하고 상기 공통전극(142) 위에 표면개질층(184)을 형성한 후, 제1기판(120)과 제2기판(140)을 합착하여 전기영동 표시소자를 완성한다. 이때에도, 상기 공통전극(142) 위에는 표면개질층(184)이 형성되어 전기영동물질이 공통전극(142)과 직접 접촉함으로써 발생하는 불량을 방지할 수 있게 된다.Subsequently, as shown in FIG. 4G, a common electrode 142 made of a transparent metal oxide such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO) is formed on the second substrate 140 as described above. After the surface modification layer 184 is formed on the electrode 142, the first substrate 120 and the second substrate 140 are bonded together to complete the electrophoretic display device. In this case, a surface modification layer 184 may be formed on the common electrode 142 to prevent defects caused by the electrophoretic material directly contacting the common electrode 142.

상기 방법에 의해 제작된 전기영동 표시소자의 구조를 도 4g를 참조하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.The structure of the electrophoretic display device manufactured by the above method will be described in detail with reference to FIG. 4G.

도 4g에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자는 제1기판(120)의 화상비표시부에 게이트전극(111), 반도체층(113), 소스전극(115) 및 드레인전극(116)으로 이루어진 박막트랜지스터가 형성되어 있고 그 위에 보호층(124)이 형성된다. 상기 보호층(124) 위의 화상비표시부에는 격벽(180)이 형성되고 전기영동층(160)이 역시 제1기판(120)의 화상표시부, 즉 격벽(180) 사이의 화소전극(118) 위에 배치되어 상기 전기영동층(160)이 상기 화소전극(118)과 직접 접촉한다. As shown in FIG. 4G, the electrophoretic display device according to the present invention includes a gate electrode 111, a semiconductor layer 113, a source electrode 115, and a drain electrode 116 in an image non-display portion of the first substrate 120. A thin film transistor is formed and a protective layer 124 is formed thereon. A partition wall 180 is formed in the image non-display portion on the passivation layer 124, and the electrophoretic layer 160 is also disposed on the image display portion of the first substrate 120, that is, the pixel electrode 118 between the partition walls 180. The electrophoretic layer 160 is in direct contact with the pixel electrode 118.

또한, 본 발명에서는 전기영동층(160)이 형성되는 층, 즉 전기영동층(160)이 형성되는 모든 공간에 표면개질층(184)이 형성되므로, 전기영동층(160)의 전기영동물질은 표면개질층(184)과만 접촉하고 다른 구조물과는 접촉하지 않으므로, 유기물질 또는 금속산화물과의 접촉에 의한 특성 저하를 방지할 수 있게 된다.In addition, in the present invention, since the surface modification layer 184 is formed in all the spaces in which the electrophoretic layer 160 is formed, that is, the electrophoretic layer 160 is formed, the electrophoretic material of the electrophoretic layer 160 is Since only the surface modification layer 184 is in contact with other structures, the surface modification layer 184 may be prevented from deteriorating characteristics due to contact with organic materials or metal oxides.

이러한 구조의 전기영동 표시소자 구동을 살펴보면 다음과 같다. 전기영동물질(160)이 화이트입자(164)와 블랙입자(165)로 이루어진 경우, 화이트입자(164)가 양전하 또는 음전하 특성을 가지기 때문에, 외부로부터 신호가 입력되어 제1기판(120)에 형성된 박막트랜지스터를 거쳐 화소전극(118)에 신호가 인가되면, 화소전극(118)과 공통전극(142) 사이에 발생하는 전계에 의해 화이트입자(164)와 전기영동층(160) 내에서 이동하게 된다.Looking at the driving of the electrophoretic display device of such a structure is as follows. When the electrophoretic material 160 is formed of the white particles 164 and the black particles 165, since the white particles 164 have a positive charge or negative charge characteristics, a signal is input from the outside and formed on the first substrate 120. When a signal is applied to the pixel electrode 118 through the thin film transistor, the white particles 164 and the electrophoretic layer 160 are moved by an electric field generated between the pixel electrode 118 and the common electrode 142. .

예를 들어, 화이트입자(164)가 (+)전하를 갖는 경우, 화소전극(118)에 (+)전압이 인가되면 제2기판(140)의 공통전극(142)은 상대적으로 (-)전위를 가지게 되므로 (+)전하를 띄는 화이트입자(164)는 제2기판(140)쪽으로 이동하게 된다. 따라서, 외부, 즉 제2기판(140)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 화이트입자(164)에 의해 대부분 반사되므로 전기영동 표시소자에는 화이트가 구현된다.For example, when the white particles 164 have a positive charge, when a positive voltage is applied to the pixel electrode 118, the common electrode 142 of the second substrate 140 has a relatively negative potential. Since the white particles 164 having a (+) charge is moved toward the second substrate 140. Therefore, when light is input from the outside, that is, the upper portion of the second substrate 140, the input light is mostly reflected by the white particles 164, so that white is implemented in the electrophoretic display device.

이때, 인가되는 화소전극(118)에 인가되는 전압의 세기에 따라 제2기판(140)쪽으로 이동하는 화이트입자(164)의 밀도 또는 제2기판(140)과의 간격이 달라지기 때문에, 외부로부터 입력되어 화이트입자(164)에 의해 반사되는 광의 세기도 달라지게 되므로, 원하는 휘도의 구현할 수 있게 된다.At this time, since the density of the white particles 164 moving toward the second substrate 140 or the distance from the second substrate 140 varies according to the intensity of the voltage applied to the pixel electrode 118 to be applied, Since the intensity of light input and reflected by the white particles 164 is also changed, it is possible to achieve a desired brightness.

반대로, 상기 화소전극(118)에 (-)전압이 인가되면, 제2기판(140)의 공통전극(142)은 (+)전위를 가지게 되어, (+)전하를 띄는 화이트입자(164)는 제1기판(120)으로 이동하게 되어 외부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 거의 반사되지 않게 되므로, 블랙을 구현하게 된다.On the contrary, when a negative voltage is applied to the pixel electrode 118, the common electrode 142 of the second substrate 140 has a (+) potential, so that the white particles 164 having a (+) charge are charged. When the light is input from the outside by moving to the first substrate 120, the input light is hardly reflected, thereby implementing black.

한편, 화이트입자(164)가 (-)전하를 갖는 경우, 화소전극(118)에 (+)전압이 인가되면 제2기판(140)의 공통전극(142)은 상대적으로 (-)전위를 가지게 되므로 (-)전하를 띄는 화이트입자(164)는 제1기판(120)쪽으로 이동하게 된다. 따라서, 외부, 즉 제2기판(140)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 대부분 반사되지 않으므로 전기영동 표시소자에는 블랙이 구현된다.Meanwhile, when the white particles 164 have a negative charge, when a positive voltage is applied to the pixel electrode 118, the common electrode 142 of the second substrate 140 may have a relatively negative potential. Therefore, the white particles 164 having a negative charge are moved toward the first substrate 120. Therefore, when light is input from the outside, that is, the upper portion of the second substrate 140, since most of the input light is not reflected, black is implemented in the electrophoretic display device.

반대로, 상기 화소전극(118)에 (-)전압이 인가되면, 제2기판(140)의 공통전극(142)은 (+)전위를 가지게 되어, (-)전하를 띄는 화이트입자(164)는 제2기판(140)으로 이동하게 되어 외부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 화이트입자(164)에 의해 반사되므로, 화이트를 구현하게 된다.On the contrary, when a negative voltage is applied to the pixel electrode 118, the common electrode 142 of the second substrate 140 has a positive potential, so that the white particles 164 having a negative charge are charged. When the light is input from the outside by moving to the second substrate 140, the input light is reflected by the white particles 164, thereby implementing white.

전기영동물질이 컬러입자로 이루어진 경우, 화소전극(118)에 인가되는 신호에 따라 R,G,B 컬러입자나 시안(cyan), 마젠타(Magenta), 옐로우(yellow)와 같은 컬러입자가 제2기판(140)을 이동하여 해당 컬러 혹은 다른 화소와 혼합된 컬러를 구현할 수 있게 된다.When the electrophoretic material is formed of color particles, color particles such as R, G, B color particles, cyan, magenta, yellow, etc. may be formed according to a signal applied to the pixel electrode 118. The substrate 140 may be moved to implement a color mixed with the corresponding color or other pixels.

전기영동물질이 화이트입자 및 블랙입자가 충진된 캡슐이 분포된 폴리머중합체로 이루어진 경우, 상기 캡슐내에 분포하는 전자잉크에 포함된 화이트입자와 블랙입자가 각각 양전하와 음전하 특성을 가지기 때문에, 외부로부터 신호가 입력되어 화소전극(118)에 신호가 인가되면, 화소전극(118)과 공통전극(142) 사이에 발생하는 전계에 의해 화이트입자와 블랙입자가 캡슐내에서 분리된다. 예를 들어, 화소전극(118)에 (-)전압이 인가되면, 제2기판(140)의 공통전극(142)은 상대적으로 (+)전위를 가지게 되어, (+)전하를 띄는 화이트입자는 제1기판(120)쪽으로 이동하고, (-)전하를 띄는 블랙입자는 제2기판(140)쪽으로 이동하게 된다. 이 상태에서 외부, 즉 제2기판(140)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 블랙입자에 의해 반사되므로, 전기영동 표시소자에는 블랙이 구현된다.When the electrophoretic material is composed of a polymer filled with white particles and a capsule filled with black particles, since the white particles and the black particles included in the electron ink distributed in the capsule have positive and negative charge characteristics, signals from outside When a signal is applied to the pixel electrode 118, the white particles and the black particles are separated in the capsule by an electric field generated between the pixel electrode 118 and the common electrode 142. For example, when a negative voltage is applied to the pixel electrode 118, the common electrode 142 of the second substrate 140 has a relatively positive potential, so that white particles having a positive charge The black particles moving toward the first substrate 120 and having a (-) charge move toward the second substrate 140. In this state, when light is input from the outside, that is, the upper portion of the second substrate 140, the input light is reflected by the black particles, so that black is implemented in the electrophoretic display device.

반대로, 상기 화소전극(118)에 (+)전압이 인가되면, 제2기판(140)의 공통전극(142)은 (-)전위를 가지게 되어, (+)전하를 띄는 화이트입자는 제2기판(140)으로 이동하고, (-)전하를 띄는 블랙입자는 제1기판(140)으로 이동하게 된다.On the contrary, when a positive voltage is applied to the pixel electrode 118, the common electrode 142 of the second substrate 140 has a negative potential, so that white particles having a positive charge are formed on the second substrate. Moving to 140, the black particles having a negative charge is moved to the first substrate 140.

이 상태에서 외부, 즉 제2기판(140)의 상부로부터 광이 입력되면, 입력된 광이 상기 화이트입자에 의해 반사되므로, 화이트가 구현되는 것이다.In this state, when light is input from the outside, that is, the upper portion of the second substrate 140, the input light is reflected by the white particles, thereby implementing white.

이때, 캡슐내의 화이트입자와 블랙입자가 각각 음전하와 양전하 특성을 갖는 경우, 반대의 동작으로 화이트 및 블랙을 구현할 수 있게 된다.In this case, when the white particles and the black particles in the capsule have negative charge and positive charge characteristics, respectively, white and black may be realized in the opposite operation.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 전기영동층(160)이 직접 제1기판(120)에 형성되므로, 전기영동층이 제2기판(140)에 형성되는 종래에 비해 전기영동층(160)을 제2기판(140)에 부착하기 위한 접착층이나 접착층을 보호하기 위한 보호필름 등이 필요없게 된다. 또한, 본 발명에서는 전기영동층(160)을 기존의 박막트랜지스터 형성공정라인, 예를 들면 절연층 형성 등과 같은 공정라인에서 형성할 수 있기 때문에, 별도의 공정라인이 필요없게 되므로 제조비용을 더욱 절감할 수 있게 된다.As described above, in the present invention, since the electrophoretic layer 160 is directly formed on the first substrate 120, the electrophoretic layer 160 may be removed as compared to the conventional art in which the electrophoretic layer is formed on the second substrate 140. The adhesive layer for attaching to the second substrate 140 or the protective film for protecting the adhesive layer is not required. In addition, in the present invention, since the electrophoretic layer 160 may be formed in a conventional thin film transistor forming process line, for example, an insulation layer forming process line, a separate process line is not required, thus further reducing manufacturing costs. You can do it.

또한, 별도의 공장이나 제조업체에서 전기영동층을 제작하여 이를 운송하여 제2기판(140)에 부착하고 이 제2기판(140)을 다시 제1기판(120)과 합착하는 종래에 비해, 본 발명에서는 전기영동층이 형성된 기판의 이송이나 전기영동층의 부착 등과 같은 공정이 필요없게 되므로 제조공정을 단순화할 수 있게 된다.In addition, the present invention compared to the conventional manufacturing and transporting the electrophoretic layer in a separate factory or manufacturer attached to the second substrate 140 and bonding the second substrate 140 and the first substrate 120 again, In the process, such as the transfer of the substrate on which the electrophoretic layer is formed or the attachment of the electrophoretic layer is unnecessary, so that the manufacturing process can be simplified.

더욱이, 본 발명에서는 전기영동층(160)이 접촉하는 대부분의 영역(가능하면 모든 영역)을 표면처리하여 표면개질층(184)을 형성하므로, 전기영동층(160)이 표면개질층(184) 이외의 다른 영역과는 접촉하는 것을 최소화하므로, 전기영동층(160)의 특성저하에 의한 불량을 방지할 수 있게 된다.Furthermore, in the present invention, the surface-modified layer 184 is formed by surface-treating most of the regions (possibly all regions) in which the electrophoretic layer 160 contacts, so that the electrophoretic layer 160 is the surface-modified layer 184. Since contact with other areas is minimized, defects due to deterioration of the characteristics of the electrophoretic layer 160 may be prevented.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 전기영동 표시소자 제조방법에서는 격벽이 제1기판상에 직접 형성되고 전기영동층이 역시 제1기판의 격벽 사이에 직접 충진되어 상기 전기영동층이 직접적으로 화소전극 위에 형성되므로 종래 전기영동 표시장치와는 달리 전기영동층과 화소전극 및 보호층 사이에 전기영동층을 부착하기 위한 별도의 접착층이 필요없게 된다. 따라서, 이 실시예의 전기영동 표시소자에서는 제조공정을 단순화할 수 있으며, 그에 따른 제조비용을 절감할 수 있게 되는 것이다.As described above, in the method of manufacturing the electrophoretic display device according to the present invention, the partition wall is directly formed on the first substrate and the electrophoretic layer is also directly filled between the partition walls of the first substrate so that the electrophoretic layer is directly pixel electrode. Unlike the conventional electrophoretic display, a separate adhesive layer for attaching the electrophoretic layer is not required between the electrophoretic layer, the pixel electrode, and the protective layer. Therefore, the electrophoretic display device of this embodiment can simplify the manufacturing process, thereby reducing the manufacturing cost.

또한, 본 발명에서는 표면개질층에 의해 전기영동층과 접촉하는 표면을 표면처리하므로, 전기영동층의 특성저하에 의한 불량을 효과적으로 방지할 수 있게 된다.In addition, in the present invention, the surface in contact with the electrophoretic layer by the surface modification layer surface treatment, it is possible to effectively prevent defects due to deterioration of the characteristics of the electrophoretic layer.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, those skilled in the art will understand that various modifications and equivalent other embodiments are possible therefrom.

120,140 : 기판 111 : 게이트전극
113 : 반도체층 115 : 소스전극
116 : 드레인전극 118 : 화소전극
124 : 보호층 142 : 공통전극
160 : 전기영동층 164 : 화이트입자
165 : 블랙입자 180 : 격벽
184 : 표면개질층
120,140 substrate 111 gate electrode
113: semiconductor layer 115: source electrode
116: drain electrode 118: pixel electrode
124: protective layer 142: common electrode
160: electrophoretic layer 164: white particles
165 black particles 180 bulkhead
184: surface modification layer

Claims (12)

복수의 화소를 포함하는 화상표시부 및 화상비표시부를 포함하는 제1기판 및 제2기판:
상기 제1기판 위에 형성된 박막트랜지스터;
상기 박막트랜지스터가 형성된 기판상에 보호층;
상기 보호층 위의 화상비표시부에 형성되어 화소를 정의하는 격벽;
상기 보호층 위의 화상표시부에 형성된 화소전극;
상기 격벽 사이의 화소에 형성된 전기영동층;
상기 제2기판에 형성된 공통전극; 및
COOH기를 포함하는 물질로 이루어지며, 상기 화소전극의 표면, 상기 격벽의 측벽, 상기 공통전극의 표면에 형성된 표면개질층을 포함하며,
상기 전기영동층은 상기 표면개질층과 접촉되며 상기 표면개질층에 의해 상기 전기영동층은 상기 화소전극, 상기 격벽 및 상기 공통전극에 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.
First and second substrates including an image display unit and a non-image display unit including a plurality of pixels:
A thin film transistor formed on the first substrate;
A protective layer on the substrate on which the thin film transistor is formed;
Barrier ribs formed on the non-image display unit on the passivation layer to define pixels;
A pixel electrode formed on the image display unit on the protective layer;
An electrophoretic layer formed on the pixels between the partition walls;
A common electrode formed on the second substrate; And
A surface modification layer formed on a surface of the pixel electrode, a sidewall of the partition wall, and a surface of the common electrode;
And the electrophoretic layer is in contact with the surface modification layer, and the electrophoretic layer is not in contact with the pixel electrode, the partition wall, and the common electrode by the surface modification layer.
제1항에 있어서, 상기 박막트랜지스터는,
기판 위에 형성된 게이트전극;
상기 게이트전극 위에 형성된 반도체층; 및
상기 반도체층 위에 형성된 소스전극 및 드레인전극으로 이루어진 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.
The method of claim 1, wherein the thin film transistor,
A gate electrode formed on the substrate;
A semiconductor layer formed on the gate electrode; And
An electrophoretic display device comprising a source electrode and a drain electrode formed on the semiconductor layer.
제1항에 있어서, 상기 전기영동층은 전하특성을 갖는 화이트입자 및 블랙입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.The electrophoretic display device of claim 1, wherein the electrophoretic layer comprises white particles and black particles having charge characteristics. 제1항에 있어서, 상기 전기영동층은 전하특성을 갖는 컬러입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.The electrophoretic display device of claim 1, wherein the electrophoretic layer comprises color particles having charge characteristics. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 전기영동층은 분산매질을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자. The electrophoretic display device of claim 3 or 4, wherein the electrophoretic layer further comprises a dispersion medium. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 표면개질층은 폴리에스테르 또는 양성 포토레지스트인 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자.The electrophoretic display device of claim 1, wherein the surface modification layer is polyester or a positive photoresist. 복수의 화소를 포함하는 화상표시부 및 화상비표시부를 포함하는 제1기판 및 제2기판을 제공하는 단계;
제1기판상에 박막트랜지스터를 형성하는 단계;
상기 박막트랜지스터가 형성된 제1기판상에 보호층을 형성하는 단계;
상기 보호층 위의 화상비표시부에 격벽을 형성하는 단계;
상기 보호층 위의 화상표시부에 화소전극을 형성하는 단계;
상기 격벽의 측벽과 화소전극 위에 표면개질층을 형성하는 단계;
상기 표면개질층이 형성된 상기 보호층 상부의 격벽 사이의 화소내에 전기영동물질을 충진하여 전기영동층을 형성하는 단계;
상기 제2기판에 공통전극을 형성하는 단계;
상기 공통전극 위에 COOH기를 포함하는 물질로 이루어진 표면개질층을 형성하는 단계; 및
제1기판 및 제2기판을 합착하는 단계로 구성되며,
상기 전기영동층은 상기 표면개질층과 접촉되며 상기 표면개질층에 의해 상기 전기영동층은 상기 화소전극, 상기 격벽 및 상기 공통전극에 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.
Providing a first substrate and a second substrate including an image display unit including a plurality of pixels and an image non-display unit;
Forming a thin film transistor on the first substrate;
Forming a protective layer on the first substrate on which the thin film transistor is formed;
Forming a partition on the non-image display unit on the protective layer;
Forming a pixel electrode on the image display unit on the protective layer;
Forming a surface modification layer on the sidewalls of the partition and the pixel electrode;
Forming an electrophoretic layer by filling an electrophoretic material in a pixel between the barrier ribs on the protective layer on which the surface modification layer is formed;
Forming a common electrode on the second substrate;
Forming a surface modification layer formed of a material including a COOH group on the common electrode; And
Comprising the step of bonding the first substrate and the second substrate,
And the electrophoretic layer is in contact with the surface modification layer and the electrophoretic layer is not in contact with the pixel electrode, the partition wall and the common electrode by the surface modification layer.
제9항에 있어서, 상기 전기영동층을 형성하는 단계는 적하법, 스퀴즈법, 캐스팅인쇄법, 바코팅인쇄법, 스크린인쇄법, 몰드인쇄법중 하나의 방법을 이용하여 격벽 내부에 전기영동물질을 충진하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.10. The method of claim 9, wherein the step of forming the electrophoretic layer is electrophoretic material inside the partition wall using one of dropping method, squeeze method, casting printing method, bar coating printing method, screen printing method, mold printing method. Electrophoretic display device manufacturing method comprising the step of filling. 삭제delete 제9항에 있어서, 상기 표면개질층을 형성하는 단계는 스프레이법에 의해 격벽의 측벽 및 화소전극의 표면에 표면개질층을 적층하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시소자 제조방법.The method of claim 9, wherein the forming of the surface modification layer comprises stacking the surface modification layer on the sidewalls of the barrier ribs and the surface of the pixel electrode by a spray method.
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