KR102045630B1

KR102045630B1 - Electroforming Device

Info

Publication number: KR102045630B1
Application number: KR1020170160541A
Authority: KR
Inventors: 이동은; 이재곤; 김종권; 정관호
Original assignee: 주식회사 포스코
Priority date: 2017-11-28
Filing date: 2017-11-28
Publication date: 2019-11-15
Anticipated expiration: 2037-11-28
Also published as: TW201925547A; KR20190061799A; WO2019107740A1; TWI666346B

Abstract

본 발명은 전해액을 원활히 공급하는 공급기구를 포함하는 전주 도금 장치를 제공하는 것으로, 일실시예로 금속박을 전착시키는 드럼형상의 회전 음극, 상기 회전 음극의 원주면 형상을 따라서 배치되는 양극, 및 상기 회전 음극 하부에서 전해액을 공급하는 전해액 공급기구를 구비하는 전주 도금 장치로서, 상기 전해액 공급기구는 전해액이 공급되는 공급부 위쪽에 폭방향으로 연장하는 가이드를 구비하며, 상기 가이드는 공급부 중앙에서 상방으로 연장하는 제 1 연장부와 상기 제 1 연장부에 연결되며 상기 회전 음극과 상기 양극 사이의 유통로의 상류측 및 하류측으로 연장하는 제 2 연장부를 포함하는 전주 도금 장치를 제공한다. The present invention provides a electroplating apparatus including a supply mechanism for smoothly supplying an electrolytic solution. In one embodiment, a drum-shaped rotating cathode for electrodepositing a metal foil, an anode disposed along a circumferential surface of the rotating cathode, and the An electroplating apparatus having an electrolyte supply mechanism for supplying an electrolyte solution from a lower portion of a rotating cathode, wherein the electrolyte supply mechanism includes a guide extending in a width direction above the supply portion to which the electrolyte is supplied, and the guide extends upwardly from the center of the supply portion. It provides a electroplating apparatus comprising a first extension portion and a second extension portion connected to the first extension portion and extending upstream and downstream of the flow path between the rotating cathode and the anode.

Description

Electroplating Plating Device {Electroforming Device}

본 발명은 전주 도금 방식으로 금속박판을 연속적으로 제조하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for continuously manufacturing a thin metal plate by electroplating method.

금속박판은 판재상태의 금속을 원하는 두께까지 연속적으로 압연하거나 또는 금속이온을 회전하는 음극 드럼에 전착시키는 방법을 통해 제조된다. 압연을 통해 금속박판을 제조하는 경우, 두께를 더이상 얇게 만들 수 없는 한계가 존재하는 반면, 전주도금 방식은 20μm 이하의 초극박 생산이 가능하므로 금속이온을 음극 드럼에 균일하게 전착시킬 수 있다면 압연 방식으로는 제조가 불가능한 초극박의 금속 시트를 생산할 수 있다.The metal thin plate is produced by continuously rolling a metal in a sheet state to a desired thickness or electrodepositing metal ions on a rotating negative drum. In the case of manufacturing a thin metal sheet by rolling, there is a limit that can not be made thinner anymore, whereas the pre-plating method is capable of producing ultra-thin thickness of 20 μm or less, so if the metal ion can be uniformly electrodeposited on the cathode drum, the rolling method It is possible to produce ultra-thin metal sheets that cannot be manufactured.

도 1은 전주도금 방식으로 금속박판을 연속적으로 제조하는 설비의 개략도인데, 드럼형의 회전 음극(1)과 동심 원호의 양극(2)이 일정 간격으로 배치되고, 전해조(7) 안에서 하나 이상의 금속이온(철, 구리, 니켈, 크롬 등)들이 일정한 비율로 혼합된 도금 전해액이 공급관(3) 및 공급기구(4)를 통해 음극(1)과 양극(2) 사이의 공간으로 공급되면 전해반응에 의해 음극 표면에 금속이온이 전착되어 금속 박판(10)이 형성되며 이렇게 형성된 금속박판은 박리롤(8)에 의해 회전 음극 표면에서 분리된다. 금속이온이 음극 표면에 균일하게 전착되기 위해서는 음극(1)과 양극(2) 사이의 공간인 전해액 유통로(6)에 전해액을 원활하게 공급하여야 한다. 1 is a schematic view of a facility for continuously manufacturing a metal sheet by electroplating, wherein a drum-shaped rotating cathode 1 and a concentric arc anode 2 are arranged at regular intervals, and at least one metal in the electrolytic cell 7 is shown. When a plating electrolyte, in which ions (iron, copper, nickel, chromium, etc.) are mixed in a constant ratio, is supplied into the space between the cathode 1 and the anode 2 through the supply pipe 3 and the supply mechanism 4, the electrolytic reaction is performed. The metal ions are electrodeposited on the surface of the negative electrode to form the metal thin plate 10, and the metal thin plates thus formed are separated from the rotating negative electrode surface by the release roll 8. In order for the metal ions to be uniformly electrodeposited on the surface of the cathode, the electrolyte should be smoothly supplied to the electrolyte flow passage 6, which is a space between the cathode 1 and the anode 2.

도 2 에는 종래의 전해액 공급기구(4)가 도시되어 있다. 공급기구(4)에 공급되는 전해액이 유통로(6)로 공급된다. 공급기구(4)의 상부판과 양 측판 사이에서 수직 방향에 대하여 소정의 분사각도(θ)를 가지는 간극(20,21)을 통해 전해액을 유통로(6)의 상류측과 하류측 출구까지 지속적으로 공급한다. 하지만, 양쪽 간극(20,21)을 통해 분출되는 전해액이 음극재 표면에 각각 충돌하는 지점(a,b) 사이의 영역(D)에서는 지속적으로 새로운 전해액이 공급되지 못하고 유동이 정체되는 구간이 존재하게 되어 이 영역에서 전착되는 금속이온은 이외의 영역과는 농도가 달라져서 최종 생산된 금속박판의 두께방향 중심부에서는 금속 성분이 불균일한 문제점을 갖게 된다. 금속박판 내부에서 성분이 불균일한 영역을 최소화하기 위해서는 전해액 분사각도(θ)를 줄여야 하는데, 분사각도가 작아질수록 음극재 표면에 충돌하는 압력이 증가하여 유통로(6)를 따라 전해액의 원활한 공급이 이루어지지 않게 된다. 2 shows a conventional electrolyte supply mechanism 4. The electrolyte solution supplied to the supply mechanism 4 is supplied to the distribution path 6. The electrolyte is continued to the upstream and downstream outlets of the flow passage 6 through gaps 20 and 21 having a predetermined spraying angle θ with respect to the vertical direction between the upper plate and both side plates of the supply mechanism 4. To supply. However, in the region D between the points a and b where the electrolyte ejected through the gaps 20 and 21 collides with the surface of the negative electrode material, there is a section in which the new electrolyte is not continuously supplied and the flow is stagnant. As a result, the metal ions electrodeposited in this region have a different concentration than the other regions, so that the metal component is uneven at the center of the thickness direction of the final thin metal sheet. In order to minimize the area of non-uniform components inside the metal sheet, the electrolyte injection angle θ should be reduced. As the injection angle decreases, the pressure impinging on the surface of the negative electrode material increases, so that the electrolyte is smoothly supplied along the flow path 6. This will not be done.

한편, 도 3 과 같은 종래의 공급기구(4)도 개시된 바 있다. 도 3 의 공급기구(4) 상부에 분사구(22)를 만들고 전해액을 음극재에 수직으로 분사하는 경우에 도 2 와 같은 유동정체구간이 존재하지 않는 반면에 전해액이 음극재와 강하게 충돌한 후 수직방향으로 떨어지기 때문에 분출된 전해액이 유통로 상류 및 하류 방향으로 균일하게 흘러가기 어렵다는 문제가 있다. On the other hand, the conventional supply mechanism 4 as shown in Fig. 3 has also been disclosed. In the case where the injection hole 22 is made in the upper part of the supply mechanism 4 of FIG. 3 and the electrolyte is vertically injected into the negative electrode material, the flow stagnation section as shown in FIG. 2 does not exist, while the electrolyte collides strongly with the negative electrode material and then vertically. Because of falling in the direction, there is a problem that the ejected electrolyte is difficult to flow uniformly in the upstream and downstream directions of the flow path.

(특허문헌 1) JP2008-121033 A (Patent Document 1) JP2008-121033 A

본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 전해액을 원활히 공급하는 공급기구를 포함하는 전주 도금 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. The present invention is to solve the above problems, it is an object of the present invention to provide an electroplating apparatus including a supply mechanism for supplying the electrolyte smoothly.

본 발명은 위와 같은 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 전주 도금 장치를 제공한다. The present invention provides the following electroplating apparatus in order to achieve the above object.

본 발명은 일실시예로, 금속박을 전착시키는 드럼형상의 회전 음극, 상기 회전 음극의 원주면 형상을 따라서 배치되는 양극, 및 상기 회전 음극 하부에서 전해액을 공급하는 전해액 공급기구를 구비하는 전주 도금 장치로서, 상기 전해액 공급기구는 전해액이 공급되는 공급부 위쪽에 폭방향으로 연장하는 가이드를 구비하며, 상기 가이드는 공급부 중앙에서 상방으로 연장하는 제 1 연장부와 상기 제 1 연장부에 연결되며 상기 회전 음극과 상기 양극 사이의 유통로의 상류측 및 하류측으로 연장하는 제 2 연장부를 포함하는 전주 도금 장치를 제공한다. The present invention, in one embodiment, electroplating apparatus having a drum-shaped rotating cathode for electrodepositing a metal foil, an anode disposed along the circumferential surface of the rotating cathode, and an electrolyte supply mechanism for supplying an electrolyte solution under the rotating cathode As the electrolyte supply mechanism has a guide extending in the width direction above the supply portion to which the electrolyte is supplied, the guide is connected to the first extension and the first extension extending upward from the center of the supply and the rotating cathode And a second extension part extending upstream and downstream of the flow path between the anode and the anode.

본 발명의 일실시예에서 상기 제 1 연장부는 상기 제 2 연장부의 중앙에 연결되어 상기 가이드는 전체적으로 T형상을 가질 수 있다. In an embodiment of the present invention, the first extension part may be connected to the center of the second extension part, and the guide may have a T shape as a whole.

일실시예에서 상기 제 2 연장부의 하면은 상기 제 1 연장부와 연결되는 중앙부보다 단부 방향이 회전음극에 가깝도록 경사져 있을 수 있으며, 상기 제 2 연장부는 상면은 수평한 상태에서 상기 중앙부에서 상기 단부로 갈수록 두께가 얇아질 수 있다. In one embodiment, the lower surface of the second extension portion may be inclined so that an end direction is closer to the rotary cathode than the central portion connected to the first extension portion, and the second extension portion may be disposed at the end portion at the center portion while the upper surface thereof is horizontal. The thickness can be thinner.

본 발명의 일실시예에서 상기 공급부는 상기 유통로의 상류측 및 하류측의 상기 제 2 연장부의 하면을 향하여 전해액을 공급하도록 전방 및 후방 관통부가 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the supply portion may be formed in the front and rear through-holes to supply the electrolyte toward the lower surface of the second extension of the upstream and downstream of the flow path.

본 발명의 일실시예에서 상기 제 2 연장부는 상기 공급부 인접부의 상기 회전음극과 상기 양극 사이의 거리의 반보다 작게 상기 회전음극으로부터 떨어져 있을 수 있다. In one embodiment of the present invention, the second extension portion may be separated from the rotary cathode less than half of the distance between the rotary cathode and the anode in the vicinity of the supply part.

일실시예에서 상기 전방 및 후방 관통부는 중심의 연장선이 교차할 수 있다.In one embodiment, the front and rear penetrating portions may cross a center extension line.

또한, 상기 공급부는 상기 회전 음극의 폭방향을 따라서 연장하는 원형의 공급파이프를 포함하며, 상기 공급파이프의 단면 상에서 상기 전방 및 후방 관통부의 중심의 연장선은 파이프의 중심과 교차할 수 있다.In addition, the supply unit includes a circular supply pipe extending along the width direction of the rotating cathode, the extension line of the center of the front and rear through portion on the cross section of the supply pipe may cross the center of the pipe.

본 발명의 일실시예에서 상기 하면은 상기 가이드에 대향하는 상기 회전음극의 접선방향에 대하여 예각으로 경사질 수 있다. In one embodiment of the present invention, the lower surface may be inclined at an acute angle with respect to the tangential direction of the rotary cathode facing the guide.

본 발명의 일실시예에서 상기 공급부는 상기 회전 음극의 폭방향을 따라서 연장하는 사각형의 공급파이프를 포함하며, 상기 전방 및 후방 관통부는 평행할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the supply unit includes a rectangular supply pipe extending in the width direction of the rotating cathode, the front and rear through portion may be parallel.

본 발명의 일실시예에서 상기 전방 및 후방 관통부는 슬릿 또는 복수의 관통공으로 구성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the front and rear through portion may be composed of a slit or a plurality of through holes.

본 발명의 일실시예에서 상기 공급부는 공급파이프를 포함하되, 상기 공급파이프 내부에는 복수의 관통홀이 형성된 중간판이 배치될 수 있다. In an embodiment of the present invention, the supply part includes a supply pipe, and an intermediate plate having a plurality of through holes may be disposed in the supply pipe.

본 발명은 위와 같은 구성 통하여 전해액을 원활히 공급하는 공급기구를 포함하는 전주 도금 장치를 제공할 수 있다.The present invention can provide an electroplating apparatus including a supply mechanism for smoothly supplying the electrolyte through the above configuration.

도 1 은 종래의 전주 도금 장치의 개략도이다.
도 2 는 도 1 의 전주 도금 장치의 확대도이다.
도 3 은 종래의 전주 도금 장치의 개략도이다.
도 4 는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 전주 도금 장치의 개략도이다.
도 5 는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 전주 도금 장치의 공급 기구의 단면도이다.
도 6 은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 전주 도금 장치의 공급 기구의 사시도이다.
도 7 은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 전주 도금 장치의 공급 기구의 사시도이다.
도 8 은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 전주 도금 장치의 공급 기구의 사시도이다.
도 9 는 본 발명의 제 4 실시예에 따른 전즈 도금 장치의 개략도이다. 1 is a schematic diagram of a conventional electroplating apparatus.
FIG. 2 is an enlarged view of the electroplating apparatus of FIG. 1.
3 is a schematic diagram of a conventional electroplating apparatus.
4 is a schematic diagram of the electroplating apparatus according to the first embodiment of the present invention.
5 is a sectional view of a supply mechanism of the electroplating apparatus according to the first embodiment of the present invention.
6 is a perspective view of a supply mechanism of the electroplating apparatus according to the first embodiment of the present invention.
7 is a perspective view of a supply mechanism of the electroplating apparatus according to the second embodiment of the present invention.
8 is a perspective view of a supply mechanism of the electroplating apparatus according to the third embodiment of the present invention.
9 is a schematic diagram of the electroplating apparatus according to the fourth embodiment of the present invention.

이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 구체적인 실시예를 중심으로 본 발명을 설명하도록 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings to describe the present invention mainly on the specific embodiments of the present invention.

도 4 내지 도 6 에는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 전주 도금 장치의 개략도, 공급 기구의 단면도 및 공급 기구의 사시도가 도시되어 있다. 4 to 6 show a schematic view of the electroplating apparatus according to the first embodiment of the present invention, a sectional view of the supply mechanism, and a perspective view of the supply mechanism.

도 4 에서 보이듯이, 본 발명의 제 1 실시예의 전주 도금 장치는 종래의 전주 도금 장치와 동일하게 금속박을 전착시키는 드럼형상의 회전 음극(1), 상기 회전 음극(1)의 원주면 형상을 따라서 배치되는 양극(2), 및 상기 회전 음극 하부에서 전해액을 공급하는 전해액 공급기구(100)를 포함한다. As shown in Fig. 4, the electroplating apparatus of the first embodiment of the present invention has a drum-shaped rotary cathode 1 for electrodepositing a metal foil in the same manner as the conventional electroplating apparatus, along the circumferential surface shape of the rotary cathode 1; The anode 2 is disposed, and the electrolyte supply mechanism 100 for supplying an electrolyte solution from the lower rotary cathode.

전해액 공급기구(100)는 전해액이 공급되는 공급부(110) 위쪽에 폭방향으로 연장하는 가이드(130)를 구비하며, 상기 가이드(130)는 공급부(110) 중앙에서 상방으로 연장하는 제 1 연장부(131)와 상기 제 1 연장부(131)에 연결되며 상기 회전 음극(1)과 상기 양극(2) 사이의 유통로(6)의 상류측 및 하류측으로 연장하는 제 2 연장부(135)를 포함한다. 이때, 상기 제 1 연장부(131)는 상기 제 2 연장부(135)의 중앙에 연결되어 상기 가이드(130)는 전체적으로 T 형상을 가진다. The electrolyte supply mechanism 100 includes a guide 130 extending in the width direction above the supply unit 110 to which the electrolyte is supplied, and the guide 130 extends upward from the center of the supply unit 110. A second extension 135 connected to the 131 and the first extension 131 and extending upstream and downstream of the flow path 6 between the rotary cathode 1 and the anode 2; Include. In this case, the first extension part 131 is connected to the center of the second extension part 135 so that the guide 130 has an overall T shape.

공급부(110)는 하방에 공급관(111)이 연결되어 전해액 공급원으로부터 공급부(110)로 전해액이 공급된다. 공급부(110) 내부에는 복수의 관통홀(121)이 형성된 중간판(120)이 배치되어 중간판(120)을 통과한 전해액이 공급부(110) 내부에서 일정한 흐름을 가지도록 한다. The supply unit 110 is connected to the supply pipe 111 under the electrolyte supply from the electrolyte supply source to the supply unit 110. An intermediate plate 120 having a plurality of through holes 121 is disposed in the supply unit 110 such that the electrolyte that has passed through the intermediate plate 120 has a constant flow in the supply unit 110.

제 1 실시예에서, 상기 공급부(110)는 단면이 원형인 공급파이프로 구성되며, 공급부(110)의 상부 중앙에 상기 가이드(130)의 제 1 연장부(131)가 공급부(110)의 길이방향을 따라서 연결된다. In the first embodiment, the supply unit 110 is composed of a supply pipe having a circular cross section, the first extension 131 of the guide 130 in the upper center of the supply unit 110 is the length of the supply unit 110 Connected along the direction.

상기 공급부(110)는 상기 가이드(130)의 제 1 연장부(131)가 연결되는 부분을 중심으로 유통로(6) 상류측 및 하류측으로 각각 관통부(113, 114)가 형성된다. 상기 관통부(113, 114)를 통하여 상기 공급부(110) 내부의 전해액이 공급되며, 상기 관통부(113, 114)를 통과한 전해액은 가이드(130)에 의해서 유통로(6)로 공급된다. The supply unit 110 has through-holes 113 and 114 formed at an upstream side and a downstream side of the distribution path 6, respectively, at a portion at which the first extension part 131 of the guide 130 is connected. The electrolyte solution inside the supply part 110 is supplied through the through parts 113 and 114, and the electrolyte solution passing through the through parts 113 and 114 is supplied to the distribution path 6 by the guide 130.

도 4 및 도 5 를 참고하여 본 발명의 제1실시예의 가이드(130)를 상세히 설명한다. 4 and 5 will be described in detail the guide 130 of the first embodiment of the present invention.

도 4 에서 보이듯이, 본 발명의 제1실시예에서 가이드(130)는 전체적으로 T 형을 가지고 있지만, 상기 제 2 연장부(135)의 상면(134)은 평평하며, 제 2 연장부(135)의 하면(133)은 수평 방향에 대하여 예각을 가지며 경사져 있다. 즉, 상기 하면(133)은 가이드(130)에 대향하는 회전 음극(1)의 일지점의 접선 방향에 대하여 예각을 가지고 경사져 있다. 따라서, 가이드(130)는 공급부(110)를 통과하면서 분기된 전해액이 회전 음극에 강하게 충돌하여 전해액의 흐름이 원활하지 못하게 되는 것을 방지할 수 있다. As shown in FIG. 4, in the first embodiment of the present invention, the guide 130 has a T shape as a whole, but the upper surface 134 of the second extension part 135 is flat and the second extension part 135 is formed. The lower surface 133 is inclined with an acute angle with respect to the horizontal direction. That is, the lower surface 133 is inclined with an acute angle with respect to the tangential direction of one point of the rotating cathode 1 facing the guide 130. Therefore, the guide 130 may prevent the electrolyte, which is branched while passing through the supply unit 110, strongly collides with the rotating cathode, thereby preventing the flow of the electrolyte.

또한, 상기 공급부(110)의 전방 및 후방 관통부(113, 114)는 각각 상류측 제 2 연장부의 하면 및 하류측 제 2 연장부의 하면을 향하도록 구성된다. 즉, 도 4 에서 보이듯이, 상기 전방 및 후방 관통부(113, 114)의 중심의 연장선은 상기 하면(133)에 교차하게 관통부(113, 114)가 구성된다. 상기 전방 및 후방 관통부(113, 114)의 중심의 연장선은 소정의 각을 가지고 교차하며, 상기 중심의 연장선의 교차점은 공급부인 원형의 공급파이프의 중심에 일치할 수 있다. 따라서, 전해액은 공급부(110)를 떠나면서 이미 일정 각도로 경사져 배출될 수 있으며, 이러한 구조가 관통부(113, 114)의 가공에 있어서도 유리하다. Further, the front and rear through portions 113 and 114 of the supply portion 110 are configured to face the bottom surface of the upstream second extension and the bottom surface of the downstream second extension, respectively. That is, as shown in FIG. 4, the extension lines at the centers of the front and rear through portions 113 and 114 have the through portions 113 and 114 intersecting the lower surface 133. The extension lines of the centers of the front and rear through parts 113 and 114 intersect at a predetermined angle, and the intersection point of the extension lines of the center may coincide with the center of the circular supply pipe that is the supply unit. Therefore, the electrolyte may be discharged at a predetermined angle while leaving the supply unit 110, and this structure is also advantageous in the processing of the penetrating units 113 and 114.

제 1 실시예에서 상기 관통부(113, 114)는 공급부(110)의 길이 방향을 따라서 배치되는 복수 개의 관통홀로 구성되는데, 관통홀을 통과한 전해액의 흐름이 합류함으로써 공급부의 길이 방향을 따라서 균일한 전해액의 흐름을 얻을 수 있다. In the first embodiment, the through parts 113 and 114 are formed of a plurality of through holes arranged along the length direction of the supply part 110. The flow of the electrolyte passing through the through holes is uniformly along the length direction of the supply part. One electrolyte flow can be obtained.

도 4 를 다시 참고하면, 공급부(110)는 양극(2) 사이에 배치되며, 따라서, 가이드(130)는 상기 유통로(6)로 연장된다. 상기 제 2 연장부(135)가 시작되는 부분, 즉, 제 2 연장부(135)가 제 1 연장부(131)에 연결되는 중앙부로부터 회전 음극(1) 사이의 거리(L)가 회전 음극(1)과 양극(2) 사이의 거리(H)의 반보다 작게 떨어지게 된다. 즉, 제 2 연장부(135)는 유통로(6)의 중간 이상에 배치되게 되며, 제 2 연장부(135)에 의해서 가이드되는 전해액이 회전 음극(1)에 부딪히는 지점(a, b) 사이의 거리(D)는 감소되며, 이는 전해액의 정체 영역을 감소시켜 전주 도금 품질을 향상시키게 된다. Referring again to FIG. 4, the supply unit 110 is arranged between the anodes 2, so that the guide 130 extends into the distribution path 6. The distance L between the rotary cathode 1 from the center where the second extension 135 starts, that is, the center where the second extension 135 is connected to the first extension 131 is the rotation cathode ( It is smaller than half of the distance H between 1) and the anode 2. That is, the second extension part 135 is disposed in the middle of the flow path 6 or more, and between the points (a, b) where the electrolyte solution guided by the second extension part 135 hits the rotating cathode 1. The distance D is reduced, which reduces the stagnant area of the electrolyte, thereby improving the electroplating quality.

제 1 실시예에서, 공급관(111)을 통과한 전해액은 관통홀(121)이 형성된 중간판(120) 및 관통부(113, 114)이 형성된 공급부(110)를 통과한 후 가이드(130)에 의해서 전해액이 유통로(6)로 공급된다. 공급되는 전해액은 가이드(130)의 제 1 연장부(131)에 의해서 상류측 및 하류측 전해액이 섞이지 않고 유통로 상류/하류로 공급되게 되며, 제 2 연장부(135)에 의해서 유통로(6)의 방향으로 안내된다. 이때, 제 2 연장부(135)의 하면이 경사짐으로써, 전해액 정체 구간이 감소되며, 전해액의 회전 음극의 충격도 완화된다. 따라서, 전주 도금 장치로 얻어지는 금속 박판 내부의 성분 편차가 개선된다. In the first embodiment, the electrolyte passing through the supply pipe 111 passes through the intermediate plate 120 having the through-hole 121 and the supply unit 110 having the through-holes 113 and 114 formed therein. The electrolytic solution is supplied to the distribution path 6 by this. The supplied electrolyte solution is supplied by the first extension part 131 of the guide 130 to the upstream and downstream flow paths without mixing the upstream and downstream electrolyte solutions, and the flow path 6 by the second extension part 135. Is guided in the direction of. At this time, when the lower surface of the second extension part 135 is inclined, the electrolyte stagnation section is reduced, and the impact of the rotating cathode of the electrolyte is also alleviated. Therefore, the component variation inside the metal thin plate obtained by the electroplating apparatus is improved.

도 7 및 도 8 에는 본 발명의 다른 실시예들이 도시되어 있다. 도 7 에는 본 발명의 제 2 실시예의 공급 기구(100)의 사시도가 도시되어 있으며, 도 8 에는 본 발명의 제 3 실시예의 공급 기구(100)의 사시도가 도시되어 있다. 7 and 8 show other embodiments of the present invention. 7 shows a perspective view of the supply mechanism 100 of the second embodiment of the present invention, and FIG. 8 shows a perspective view of the supply mechanism 100 of the third embodiment of the present invention.

제 2 실시예와 제 3 실시예 모두 공급 기구(100)를 제외하고는 제 1 실시예와 동일하므로, 설명을 생략하도록 한다. Since both the second embodiment and the third embodiment are the same as the first embodiment except for the supply mechanism 100, description thereof will be omitted.

제 2 실시예의 경우에 제 1 실시예와 공급부(110)의 중간판(120)의 관통홀의 형상 및 가이드(130)의 형상이 상이한 것을 제외하고는 동일하다. 제 2 실시예에서 공급부(110)의 중간판(120)에는 원형의 관통홀(121)이 형성되는 것이 아니라, 길이 방향으로 긴 슬릿형상의 관통홀(121)이 형성된다. 관통홀의 형상은 전해액의 유량에 따라서 선택될 수 있다. In the case of the second embodiment is the same except that the shape of the through-hole and the guide 130 of the intermediate plate 120 of the supply unit 110 is different from the first embodiment. In the second embodiment, a circular through hole 121 is not formed in the intermediate plate 120 of the supply unit 110, but a through hole 121 having a long slit shape in the longitudinal direction is formed. The shape of the through hole may be selected according to the flow rate of the electrolyte.

한편, 제 2 실시예에서, 가이드(130)는 제 1 실시예와 같이 전체적으로 T 자형상을 가지는 것이 아니라, Y 자 형상을 가진다. 본 발명의 제 2 실시예에서도 가이드(130)의 제 2 연장부(135)의 하면(133)은 상기 제 1 연장부(131)와 연결되는 중앙부보다 단부 방향이 회전 음극에 가깝도록 경사져 있으며, 따라서, 관통부(113, 114)를 통하여 공급되는 전해액이 상기 제 2 연장부(135)에 의해서 안내될 수 있다. On the other hand, in the second embodiment, the guide 130 does not have a T-shape as a whole as in the first embodiment, but has a Y-shape. Also in the second embodiment of the present invention, the lower surface 133 of the second extension part 135 of the guide 130 is inclined so that the end direction is closer to the rotating cathode than the center part connected to the first extension part 131, Therefore, the electrolyte supplied through the through parts 113 and 114 may be guided by the second extension part 135.

도 8 의 제 3 실시예는 제 2 실시예와 가이드(130)의 형상은 동일하나, 공급부(120)의 관통부(113, 114)의 형상이 상이하다. 본 발명에서 관통부(113, 114)의 형상은 제 1, 2 실시예와 같이 원형의 관통홀의 형상을 가질 수 있으나, 제 3 실시예와 같이, 슬릿 형상을 가지는 것도 가능하다. 이 경우에도 관통 슬릿(116)의 중심의 연장선은 상기 제 2 연장부(135)의 하면에 교차하도록 구성되어, 관통 슬릿(116)을 통과한 전해액이 상기 가이드(130)에 의해서 안내되게 구성된다. In the third embodiment of FIG. 8, the shape of the guide 130 is the same as that of the second embodiment, but the shapes of the through parts 113 and 114 of the supply part 120 are different. In the present invention, the shape of the through parts 113 and 114 may have the shape of circular through holes as in the first and second embodiments, but as in the third embodiment, the through parts 113 and 114 may have a slit shape. Also in this case, the extension line of the center of the through slit 116 is configured to intersect the lower surface of the second extension part 135, and the electrolyte solution that has passed through the through slit 116 is guided by the guide 130. .

도 9 에는 본 발명의 제 4 실시예가 도시되어 있다. 9 shows a fourth embodiment of the present invention.

도 9 에서도 제 1 내지 제 3 실시예와 동일하게 금속박을 전착시키는 드럼형상의 회전 음극(1), 상기 회전 음극(1)의 원주면 형상을 따라서 배치되는 양극(2), 및 상기 회전 음극 하부에서 전해액을 공급하는 전해액 공급기구(100)를 포함한다. 제 4 실시예에서 공급 기구(100)의 공급부(110')는 제 1 내지 제 3 실시예와는 달리 단면이 사각형인 공급파이프로 구성될 수 있다. In FIG. 9, the drum-shaped rotating cathode 1 electrode-depositing the metal foil as in the first to third embodiments, the anode 2 disposed along the circumferential surface of the rotating cathode 1, and the lower portion of the rotating cathode It includes an electrolyte supply mechanism 100 for supplying an electrolyte solution. In the fourth embodiment, the supply unit 110 ′ of the supply mechanism 100 may be formed of a supply pipe having a rectangular cross section, unlike the first to third embodiments.

또한, 공급부(110')의 상면 중앙에는 가이드(130)의 제 1 연장부(131)가 연결되며, 상기 제 1 연장부(131)를 중심으로 유통로 상류측/하류측에는 관통부(113, 114)가 각각 배치된다. 이때, 관통부(113, 114)는 복수의 원형 관통홀 혹은 관통 슬릿으로 구성될 수 있으며, 관통부(113, 114)는 제 2 연장부(135)의 아래에서 상기 공급부의 상면에 수직한 방향으로 형성된다. In addition, the first extension portion 131 of the guide 130 is connected to the center of the upper surface of the supply unit 110 ′, and the through portion 113 is formed on the upstream / downstream side of the flow passage around the first extension portion 131. 114 are respectively disposed. In this case, the through parts 113 and 114 may be composed of a plurality of circular through holes or through slits, and the through parts 113 and 114 are perpendicular to the upper surface of the supply part under the second extension part 135. Is formed.

이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 본 발명에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 다양하게 변형되어 실시될 수 있음은 물론이다. In the above described the present invention with reference to the embodiment of the present invention, of course, the present invention may be variously modified.

본 발명에서 가이드(130)의 경우에 유동의 흐름을 방해하지 않도록 제 1 연장부(131)와 제 2 연장부(135)의 연결면 혹은 모서리가 곡면으로 처리될 수 있으며, 이는 가이드(130)와 공급부(110)의 연결부에서도 동일하다. In the present invention, in the case of the guide 130, the connection surface or the edge of the first extension portion 131 and the second extension portion 135 may be treated as a curved surface so as not to disturb the flow of the flow, which is the guide 130 The same also applies to the connecting portion of the supply unit and 110.

또한, 본 발명에서 관통홀/관통부의 형상은 필요에 따라서 변경될 수 있음은 물론이며, 중간판(121)의 관통홀 형상도 동일하다. In addition, in the present invention, the shape of the through hole / through part may be changed as necessary, and the shape of the through hole of the intermediate plate 121 is also the same.

1: 회전 음극 2: 양극
100: 공급 기구 110: 공급부
120: 중간판 130: 가이드
131: 제 1 연장부 133: 하면
134: 상면 135: 제 2 연장부1: rotating cathode 2: anode
100: supply mechanism 110: supply unit
120: middle plate 130: guide
131: first extension portion 133: lower surface
134: upper surface 135: second extension portion

Claims

An electroplating apparatus comprising a drum-shaped rotating cathode for electrodepositing a metal foil, an anode disposed along a circumferential surface of the rotating cathode, and an electrolyte supply mechanism for supplying an electrolyte solution from the lower portion of the rotating cathode.
The electrolyte supply mechanism has a guide extending in the width direction above the supply portion to which the electrolyte is supplied,
The guide includes a first extension extending upward from a supply center and a second extension connected to the first extension and extending upstream and downstream of a flow path between the rotating cathode and the anode,
The lower surface of the second extension portion is inclined so that an end direction is closer to the rotary cathode than the center portion connected to the first extension portion.
And the supply part is provided with front and rear through-holes so as to supply electrolyte toward the lower surface of the second extension part on the upstream side and the downstream side of the flow path.

The method of claim 1,
And the first extension part is connected to the center of the second extension part, and the guide has a T shape as a whole.

delete

The method of claim 1,
And the second extension portion is thinner from the center portion to the end portion in a state where the upper surface thereof is horizontal.

delete

The method of claim 1,
And the second extension portion is spaced apart from the rotary cathode by less than half of the distance between the rotary cathode and the anode in the vicinity of the supply portion.

The method of claim 1,
The front and rear through portion is the electroplating apparatus, characterized in that the extension line of the center cross.

The method of claim 1,
The supply portion includes a circular supply pipe extending along the width direction of the rotating cathode, the extension line of the center of the front and rear through portion on the cross section of the supply pipe intersects the center of the pipe .

The method according to claim 1 or 4,
And the lower surface is inclined at an acute angle with respect to the tangential direction of the rotatable cathode facing the guide.

The method of claim 1,
And the supply part comprises a rectangular supply pipe extending along the width direction of the rotating cathode, wherein the front and rear through parts are parallel to each other.

The method of claim 1,
The electroplating apparatus, characterized in that the front and rear through portion is composed of a slit or a plurality of through holes.

The method of claim 11,
The supply unit includes a supply pipe, the electroplating apparatus, characterized in that the intermediate plate is formed with a plurality of through holes formed in the supply pipe.