KR101939437B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents
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Abstract
기판 처리 장치는, 기판을 하방으로부터 대략 수평으로 유지하는 유지 부재와, 당해 기판의 상면과 간극을 두고 대향하는 본체부와, 본체부의 주연부 중 적어도 일부로부터 유지 부재의 측방으로 연장되는 연장 형성부를 구비한 대향 부재를 구비한다. 연장 형성부의 선단측 부분과 유지 부재의 측면 부분 중 일방의 부분에 돌출부가 형성됨과 함께, 타방의 부분에는, 회전축을 중심으로 하는 둘레 방향에 있어서 돌출부의 전후로부터 돌출부에 대향하여 배치되어 돌출부의 둘레 방향으로의 상대적인 움직임을 규제하는 규제 구조가 형성된다. 유지 부재와 대향 부재는, 둘레 방향으로의 상대적인 움직임이 규제되어 있고, 당해 기판 처리 장치는, 유지 부재와 대향 부재의 적어도 일방을, 회전축을 중심으로 회전시키는 회전 기구와, 기판의 처리면에 처리액을 토출하는 노즐을 추가로 구비하고, 돌출부와 규제 구조는, 유지 부재의 상면보다 하방에 배치되어 있다.
Description
도 2 는, 처리 위치에 배치된 도 1 의 차단판과 스핀 베이스를 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 도 2 의 스핀 베이스를 나타내는 사시도이다.
도 4 는, 도 2 의 차단판을 나타내는 사시도이다.
도 5 는, 도 2 의 스핀 베이스를 나타내는 사시도이다.
도 6 은, 도 2 의 차단판과 스핀 베이스의 주연부를 나타내는 종단면도이다.
도 7 은, 도 2 의 차단판과 스핀 베이스의 주연부를 나타내는 다른 종단면 도이다.
도 8 은, 도 6 의 규제부의 횡단면도이다.
도 9 는, 도 8 의 규제부가 탄성 부재에 의해 덮인 상태를 나타내는 단면도이다.
도 10 은, 실시 형태 1 에 관련된 차단판과 스핀 베이스의 다른 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 11 은, 도 10 의 차단판이 처리 위치에 배치된 상태를 나타내는 사시도이다.
도 12 는, 실시 형태 1 에 관련된 차단판과 스핀 베이스의 다른 구성예의 종단면도이다.
도 13 은, 도 12 의 차단판과 스핀 베이스의 다른 단면을 나타내는 종단면도이다.
도 14 는, 실시 형태 1 에 관련된 규제부의 다른 구성예를 나타내는 횡단면도이다.
도 15 는, 도 14 의 규제부의 다른 상태를 나타내는 횡단면도이다.
도 16 은, 도 14 의 규제부의 다른 상태를 나타내는 횡단면도이다.
도 17 은, 도 14 의 규제부의 다른 상태를 나타내는 횡단면도이다.
도 18 은, 실시 형태 1 에 관련된 규제부의 다른 구성예를 나타내는 단면도이다.
도 19 는, 실시 형태 1 에 관련된 규제부의 다른 구성예를 나타내는 단면도이다.
도 20 은, 실시 형태 2 에 관련된 기판 처리 장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 21 은, 도 20 의 노즐의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 22 는, 실시 형태 2 에 관련된 기판 처리 장치의 동작의 일례를 나타내는 플로우 차트이다.
도 23 은, 실시 형태 3 에 관련된 기판 처리 장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 24 는, 실시 형태 3 에 관련된 기판 처리 장치의 동작의 일례를 나타내는 플로우 차트이다.
도 25 는, 도 24 의 플로우 차트에 나타내는 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 26 은, 도 24 의 플로우 차트에 있어서의 일부의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
21 : 스핀 베이스 (유지 부재)
23 : 회전 구동부
231 : 회전 기구
26 : 돌출부
44 : 구동부 (이동부)
50, 50A : 노즐
83 : 처리액 공급부
83A : 처리액 토출부
84, 85 : 린스액 공급부
84A, 85A : 린스액 토출부
86, 87 : 린스액 토출구
90 : 차단판 (대향 부재)
91 : 본체부
92 : 연장 형성부
94 : 규제 구조
312 : 내부재 (가드)
313 : 외부재 (외측 가드)
Claims (33)
- 기판 처리 장치로서,
기판을 하방으로부터 수평으로 유지하고, 상기 기판의 하면과 간극을 두고 대향하는 상면을 구비하여 소정의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 형성된 유지 부재와,
상기 유지 부재에 유지된 상기 기판의 상면과 간극을 두고 대향하는 본체부와, 상기 본체부의 주연부 중 적어도 일부로부터 상기 유지 부재의 측방으로 연장되는 연장 형성부를 구비하여 상기 회전축을 중심으로 회전 가능하게 형성된 대향 부재
를 구비하고,
상기 연장 형성부의 선단측 부분과 상기 유지 부재의 측면 부분 중 일방의 부분에 돌출부가 형성됨과 함께, 타방의 부분에는, 상기 회전축을 중심으로 하는 둘레 방향에 있어서 상기 돌출부의 전후로부터 상기 돌출부에 대향하여 배치되어 상기 돌출부의 상기 둘레 방향으로의 상대적인 움직임을 규제하는 규제 구조가 형성되고,
상기 유지 부재와 상기 대향 부재는, 상기 회전축을 중심으로 하는 둘레 방향으로의 상대적인 움직임을 상기 돌출부와 상기 규제 구조를 통하여 서로 규제되어 있고,
당해 기판 처리 장치는,
상기 유지 부재와 상기 대향 부재의 적어도 일방을, 상기 회전축을 중심으로 회전시키는 회전 기구와,
상기 유지 부재에 유지되어 회전하고 있는 상기 기판의 처리면에 처리액을 토출하는 노즐
을 추가로 구비하고,
상기 돌출부와 상기 규제 구조는, 상기 유지 부재의 상면보다 하방에 배치되어 있는, 기판 처리 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 돌출부와 상기 규제 구조 중 적어도 일방은, 타방과 대향하는 부분을 구비하고 있고, 당해 부분은 탄성 부재에 덮여 있는, 기판 처리 장치. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 대향 부재를 제 1 위치와, 상기 제 1 위치보다 상방의 제 2 위치와의 사이에서 상기 회전축 방향을 따라 상기 유지 부재에 대해 상대적으로 이동시키는 이동부를 추가로 구비하고,
상기 규제 구조는, 상기 돌출부가 상기 이동부에 의해 상기 규제 구조에 대해 상대적으로 이동되는 이동 경로를 제외하고 배치되어 있고,
상기 대향 부재가 상기 제 1 위치에 배치되면, 상기 규제 구조가 상기 둘레 방향에 있어서 상기 돌출부의 전후로부터 상기 돌출부에 대향하여 배치되고, 상기 대향 부재가 상기 제 2 위치에 배치되면, 상기 규제 구조가 상기 회전축 방향을 따라 상기 돌출부로부터 상대적으로 떨어져 배치되는, 기판 처리 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 규제 구조는, 상기 돌출부의 적어도 일부를 수용 가능하도록 상기 타방의 부분에 형성된 함몰부인, 기판 처리 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 타방의 부분은, 상기 회전축을 중심으로 하는 둘레 방향을 따라 환상으로 연장되어 있음과 함께, 상기 둘레 방향에 있어서의 상기 타방의 부분의 전체 둘레에 걸쳐서 연속해서 형성된 복수의 함몰부를 구비하고 있고,
상기 복수의 함몰부의 각각은, 상기 일방의 부분으로부터 돌출하는 상기 돌출부에 상기 회전축 방향을 따라 향한 개구를 갖는 함몰부이며, 당해 함몰부는, 상기 돌출부의 적어도 일부를 수용 가능한 형상으로 형성되어 있고, 당해 함몰부 중 적어도 당해 개구측의 부분의 상기 둘레 방향을 따른 폭은, 당해 개구에 가까워짐에 따라 넓어져 있고,
상기 돌출부 중 적어도 선단 부분은, 상기 회전축 방향을 따라 상기 함몰부에 대향하고 있고, 당해 선단 부분의 상기 둘레 방향을 따른 폭은, 선단에 가까워짐에 따라 좁아져 있는, 기판 처리 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 돌출부와, 상기 규제 구조 중 상기 둘레 방향에 있어서 상기 돌출부의 전후에 배치된 각 부분과의 각 간격을 넓히도록 자기적인 척력을 작용시키는 복수의 자석을 추가로 구비하고, 당해 자기적인 척력에 의해, 상기 규제 구조에 대한 상기 돌출부의 상기 둘레 방향으로의 상대적인 움직임을 규제하는, 기판 처리 장치. - 제 6 항에 있어서,
상기 규제 구조는, 상기 회전축 방향을 따라 상기 돌출부와 대향하여 배치된 대향부를 포함하고,
당해 기판 처리 장치는,
상기 돌출부와 상기 대향부의 간격을 상기 회전축 방향을 따라 넓히도록 자기적인 척력을 작용시키는 복수의 자석을 구비하고, 당해 자기적인 척력에 의해, 상기 대향부에 대해 상기 돌출부가 상기 회전축 방향을 따라 가까워지는 움직임을 규제하는, 기판 처리 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 연장 형성부는, 상기 대향 부재의 주연부를 따라 형성된 통형상 벽부인, 기판 처리 장치. - 제 8 항에 있어서,
상기 연장 형성부의 내주면은, 상기 대향 부재의 하면과 연속됨과 함께, 상기 유지 부재의 상면에 대해 경사 상방 외측으로 팽창하여 만곡하는 만곡면을 포함하고 있는, 기판 처리 장치. - 기판 처리 장치로서,
기판을 하방으로부터 수평으로 유지하고, 상기 기판의 하면과 간극을 두고 대향하는 상면을 구비하여 소정의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 형성된 유지 부재와,
상기 유지 부재에 유지된 상기 기판의 상면과 간극을 두고 대향하는 본체부와, 상기 본체부의 주연부로부터 상기 기판의 단면을 둘러싸고 상기 유지 부재측으로 연장되는 통형상의 연장 형성부를 구비하고, 상기 회전축을 중심으로 회전 가능하게 형성된 대향 부재와,
상기 유지 부재와 상기 대향 부재를, 상기 회전축을 중심으로 서로 동일한 방향으로 회전시키는 회전 기구와,
상기 유지 부재에 유지되어 회전하고 있는 상기 기판의 상면 및 하면 중 어느 일방의 처리면에 처리액을 토출하는 노즐
을 구비하고,
상기 대향 부재는,
상기 기판의 상면 및 단면을 둘러싸는 내측면 중 일부에 형성된 환상의 함몰부를 포함하고, 당해 일부는, 상기 연장 형성부의 선단측 부분과 상기 내측면 중 상기 기판에 대향하는 대향면과의 사이의 부분에 형성되어 있고, 상기 환상의 함몰부는 상기 대향면의 주연부보다 상방으로 움푹 패어 있는, 기판 처리 장치. - 제 10 항에 있어서,
상기 회전 기구는, 상기 유지 부재와 상기 대향 부재를, 상기 회전축을 중심으로 동일한 방향으로 동일한 속도로 회전시키는, 기판 처리 장치. - 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
상기 대향 부재는,
상기 내측면 중 상기 환상의 함몰부보다 직경 방향 외측의 부분에, 상기 유지 부재의 상면에 대해 경사 상방 외측으로 팽창하여 만곡하는 만곡면을 구비하고 있는, 기판 처리 장치. - 기판을 하방으로부터 수평으로 유지하고, 상기 기판의 하면과 간극을 두고 대향하는 상면을 구비하여 소정의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 형성된 유지 부재를, 상기 기판과 함께 상기 회전축을 중심으로 회전시키는 회전 스텝과,
상기 유지 부재에 유지되어 회전하고 있는 상기 기판의 하면의 중앙부의 하방으로부터 당해 중앙부를 향하여 처리액을 토출하는 처리액 토출 스텝과,
상기 유지 부재에 유지되어 회전하고 있는 상기 기판의 중앙부와 상기 유지 부재의 중앙부와의 사이로부터 상기 유지 부재의 직경 방향 외측을 향하는 방향이고, 또한, 상기 유지 부재의 상면을 따른 방향을 향하여 세정액을 토출하는 세정액 토출 스텝
을 구비하는, 기판 처리 방법. - 제 13 항에 있어서,
상기 처리액 토출 스텝과 상기 세정액 토출 스텝을 병행하여 실시하는, 기판 처리 방법. - 제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,
처리액 토출 스텝은,
상기 기판의 하면의 중앙부와, 상기 유지 부재의 상면과의 쌍방과 간극을 두고 대향하는 판상 부재를 구비하는 노즐의 상기 판상 부재의 상면에 형성된 처리액 토출구로부터 상기 하면의 중앙부를 향하여 처리액을 토출하는 스텝이며,
상기 세정액 토출 스텝은,
상기 노즐의 상기 판상 부재의 상면 또는 하면에 형성된 세정액 토출구로부터 상기 판상 부재의 상면 또는 하면과, 상기 유지 부재의 상면과의 쌍방의 면을 따라, 상기 유지 부재의 직경 방향 외측을 향하여 세정액을 토출하는 스텝인, 기판 처리 방법. - 제 13 항에 있어서,
처리액 토출 스텝은,
상기 기판의 하면의 중앙부와, 상기 유지 부재의 상면과의 쌍방과 간극을 두고 대향하는 판상 부재를 구비하는 노즐의 상기 판상 부재의 상면에 형성된 처리액 토출구로부터 상기 기판의 하면의 중앙부를 향하여 처리액을 토출하는 스텝이며,
상기 세정액 토출 스텝은,
상기 노즐의 상기 판상 부재의 측면에 형성된 세정액 토출구로부터 상기 유지 부재의 상면을 따라 상기 유지 부재의 직경 방향 외측을 향하여 세정액을 토출하는 스텝인, 기판 처리 방법. - 기판을 하방으로부터 수평으로 유지하고, 상기 기판의 하면과 간극을 두고 대향하는 상면을 구비하여 소정의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 형성된 유지 부재와,
상기 유지 부재를, 상기 회전축을 중심으로 회전시키는 회전 기구와,
상기 기판의 하면의 중앙부의 하방으로부터 당해 중앙부를 향하여 처리액을 토출하는 처리액 토출구와, 상기 기판의 중앙부와 상기 유지 부재의 중앙부와의 사이로부터 상기 유지 부재의 직경 방향 외측을 향하는 방향이고, 또한, 상기 유지 부재의 상면을 따른 방향을 향하여 세정액을 토출하는 세정액 토출구가 각각 형성된 노즐
을 구비하는, 기판 처리 장치. - 제 17 항에 있어서,
상기 노즐은,
기판의 하면의 중앙부와, 상기 유지 부재의 상면과의 쌍방과 간극을 두고 대향하는 판상 부재를 구비하고,
상기 처리액 토출구는, 상기 판상 부재의 상면에 형성되어 상기 기판의 하면의 중앙부를 향하여 처리액을 토출하고,
상기 세정액 토출구는, 상기 판상 부재의 상면 또는 하면에 형성되어 상기 판상 부재의 상면 또는 하면과, 상기 유지 부재의 상면과의 쌍방의 면을 따라 상기 유지 부재의 직경 방향 외측을 향하여 세정액을 토출하는, 기판 처리 장치. - 제 17 항에 있어서,
상기 노즐은,
기판의 하면의 중앙부와, 상기 유지 부재의 상면과의 쌍방과 간극을 두고 대향하는 판상 부재를 구비하고,
상기 처리액 토출구는, 상기 판상 부재의 상면에 형성되어 상기 기판의 하면의 중앙부를 향하여 처리액을 토출하고,
상기 세정액 토출구는, 상기 판상 부재의 측면에 형성되어 상기 유지 부재의 상면을 따라 상기 유지 부재의 직경 방향 외측을 향하여 세정액을 토출하는, 기판 처리 장치. - 기판을 하방으로부터 수평으로 유지하고, 상기 기판의 하면과 간극을 두고 대향하는 상면을 구비하여 소정의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 형성되고, 상기 회전축을 중심축으로 하는 원판상의 기부와, 상기 기부의 주벽부로부터 직경 방향 외측으로 돌출하는 플랜지부를 구비하는 유지 부재와,
상기 유지 부재를, 상기 회전축을 중심으로 회전시키는 회전 구동부와,
상단측 부분이 상기 회전축을 향해 경사 상방으로 연장되는 통형상을 가지고 상기 유지 부재의 주위를 둘러싸고, 승강 가능하게 형성된 가드와,
상기 기판의 처리면에 처리액을 토출 가능한 처리액 토출부와,
상기 유지 부재의 상기 플랜지부의 하방으로부터 상기 플랜지부에 세정액을 토출 가능한 세정액 토출부와,
상기 처리액 토출부로부터 상기 기판에 공급된 후에 상기 기판으로부터 배출되는 상기 처리액을 받는 것이 가능한 상방 위치와, 상기 가드의 상단이 상기 플랜지부의 측방에 위치하는 하방 위치와의 사이에서 상기 가드를 승강시킬 수 있는 승강 구동부와,
상기 승강 구동부와 상기 처리액 토출부와 상기 세정액 토출부를 제어하는 제어부
를 구비하고,
상기 제어부는,
상기 승강 구동부에 상기 가드를 상기 상방 위치에 배치시킨 상태에서 상기 처리액 토출부에 상기 기판의 상기 처리면을 향하여 상기 처리액을 토출시켜 상기 기판을 처리시킨 후에, 상기 승강 구동부에 상기 가드를 상기 하방 위치에 배치시킨 상태에서 상기 세정액 토출부에 상기 기판을 유지하면서 회전하는 상기 유지 부재의 상기 플랜지부를 향하여 상기 세정액을 토출시키는, 기판 처리 장치. - 제 20 항에 있어서,
상기 유지 부재는,
상기 기부의 주벽부의 상단부로부터 상기 유지 부재의 직경 방향 외측을 향하여 상기 플랜지부보다 돌출하는 상측 플랜지부를, 상기 플랜지부의 상측에 추가로 구비하고 있는, 기판 처리 장치. - 제 20 항 또는 제 21 항에 있어서,
상기 유지 부재는,
원호상의 단면 형상을 가지며 상기 유지 부재의 상기 기부의 외주면과, 상기 플랜지부의 하면의 각각에 완만하게 접속하는 곡면부를 상기 플랜지부의 기단 부분에 구비하고 있고,
상기 세정액 토출부는, 상기 플랜지부의 상기 곡면부를 향하여 하방으로부터 상기 세정액을 토출하는, 기판 처리 장치. - 제 20 항에 있어서,
상기 가드의 외측에 형성되고, 상기 유지 부재의 주위를 둘러싸고, 승강 가능한 통형상의 외측 가드를 추가로 구비하고,
상기 승강 구동부는, 상기 외측 가드도 승강시킬 수 있고,
상기 제어부는,
상기 승강 구동부에 상기 가드를 상기 하방 위치에 배치시킴과 함께 상기 외측 가드를 상기 처리액 토출부로부터 상기 기판에 공급된 후에 상기 기판으로부터 배출되는 상기 처리액을 받는 것이 가능한 위치에 배치시킨 상태에서, 상기 처리액 토출부에 상기 기판의 상기 처리면을 향하여 상기 처리액을 토출시킴과 함께, 상기 세정액 토출부로부터 상기 플랜지부의 하면을 향하여 상기 세정액을 토출시키는, 기판 처리 장치. - 제 20 항에 있어서,
상기 유지 부재에 유지된 상기 기판의 상면과 간극을 두고 대향하는 본체부와, 상기 본체부의 주연부로부터 상기 기판의 단면을 둘러싸고 상기 유지 부재측으로 연장되는 통형상의 연장 형성부를 구비하고, 상기 회전축을 중심으로 회전하는 대향 부재를 추가로 구비하는, 기판 처리 장치. - 기판 처리 장치를 사용하는 기판 처리 방법으로서,
상기 기판 처리 장치는,
기판을 하방으로부터 수평으로 유지하고, 상기 기판의 하면과 간극을 두고 대향하는 상면을 구비하여 소정의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 형성되고, 상기 회전축을 중심축으로 하는 원판상의 기부와, 상기 기부의 주벽부로부터 직경 방향 외측으로 돌출하는 플랜지부를 구비하는 유지 부재와,
상기 유지 부재를, 상기 회전축을 중심으로 회전시키는 회전 구동부와,
상단측 부분이 상기 회전축을 향해 경사 상방으로 연장되는 통형상을 가지며 상기 유지 부재의 주위를 둘러싸고, 승강 가능하게 형성된 가드와,
상기 기판의 처리면에 처리액을 토출 가능한 처리액 토출부와,
상기 유지 부재의 상기 플랜지부의 하방으로부터 상기 플랜지부에 세정액을 토출 가능한 세정액 토출부와,
상기 처리액 토출부로부터 상기 기판에 공급된 후에 상기 기판으로부터 배출되는 상기 처리액을 받는 것이 가능한 상방 위치와, 상기 가드의 상단이 상기 플랜지부의 측방에 위치하는 하방 위치와의 사이에서 상기 가드를 승강시킬 수 있는 승강 구동부
를 구비하고,
상기 기판 처리 방법은,
상기 승강 구동부가 상기 가드를 상방 위치에 배치한 상태에서 상기 처리액 토출부가 상기 기판을 향하여 상기 처리액을 토출하여 상기 기판을 처리하는 처리 스텝과,
상기 처리 스텝 후에, 상기 승강 구동부가 상기 가드를 상기 하방 위치에 배치한 상태에서 상기 세정액 토출부가 상기 기판을 유지하면서 회전하는 상기 유지 부재의 상기 플랜지부를 향하여 상기 세정액을 토출하는 세정 스텝
을 구비하는, 기판 처리 방법. - 제 25 항에 있어서,
상기 기판 처리 장치의 상기 유지 부재는,
상기 기부의 주벽부의 상단부로부터 상기 유지 부재의 직경 방향 외측을 향하여 상기 플랜지부보다 돌출하는 상측 플랜지부를, 상기 플랜지부의 상측에 추가로 구비하고 있는, 기판 처리 방법. - 제 25 항 또는 제 26 항에 있어서,
상기 기판 처리 장치의 상기 유지 부재는,
원호상의 단면 형상을 가지며, 상기 유지 부재의 상기 기부의 외주면과, 상기 플랜지부의 하면과의 각각에 완만하게 접속하는 곡면부를 상기 플랜지부의 기단 부분에 구비하고 있고,
상기 세정 스텝은, 상기 세정액 토출부가 상기 플랜지부의 상기 곡면부를 향하여 하방으로부터 상기 세정액을 토출하는 스텝인, 기판 처리 방법. - 제 25 항에 있어서,
상기 기판 처리 장치는,
상기 가드의 외측에 형성되고, 상기 유지 부재의 주위를 둘러싸고, 승강 가능한 통형상의 외측 가드를 추가로 구비하고,
상기 승강 구동부는, 상기 외측 가드도 승강시킬 수 있고,
상기 기판 처리 방법의 상기 세정 스텝은,
상기 승강 구동부에 상기 가드를 상기 하방 위치에 배치시킴과 함께 상기 외측 가드를 상기 처리액 토출부로부터 상기 기판에 공급된 후에 상기 기판으로부터 배출되는 상기 처리액을 받는 것이 가능한 위치에 배치시킨 상태에서, 상기 처리액 토출부에 상기 기판의 상기 처리면을 향하여 상기 처리액을 토출시킴과 함께, 상기 세정액 토출부로부터 상기 플랜지부의 하면을 향하여 상기 세정액을 토출시키는 스텝을 포함하는, 기판 처리 방법. - 제 25 항에 있어서,
상기 기판 처리 장치는,
상기 유지 부재에 유지된 상기 기판의 상면과 간극을 두고 대향하는 본체부와, 상기 본체부의 주연부로부터 상기 기판의 단면을 둘러싸고 상기 유지 부재측으로 연장되는 통형상의 연장 형성부를 구비하여 상기 회전축을 중심으로 회전하는 대향 부재를 추가로 구비하는, 기판 처리 방법. - 제 13 항에 있어서,
상기 세정액 토출 스텝은, 상기 기판의 하면과 상기 유지 부재의 상면 중, 상기 유지 부재의 상면에만 세정액이 접촉하고, 회전하고 있는 상기 유지 부재의 상면을 그 주연측으로 넓어지도록, 세정액을 토출하는 스텝인, 기판 처리 방법. - 제 17 항에 있어서,
상기 세정액 토출구는, 상기 기판의 하면과 상기 유지 부재의 상면 중, 상기 유지 부재의 상면에만 세정액이 접촉하고, 회전하고 있는 상기 유지 부재의 상면을 그 주연측으로 넓어지도록, 세정액을 토출하는, 기판 처리 장치. - 기판을 하방으로부터 수평으로 유지하고, 상기 기판의 하면과 간극을 두고 대향하는 상면을 구비하여 소정의 회전축을 중심으로 회전 가능하게 형성되고, 상기 회전축을 중심축으로 하는 원판상의 기부와, 상기 기부의 주벽부로부터 직경 방향 외측으로 돌출하는 플랜지부를 구비하는 유지 부재와,
상기 유지 부재를, 상기 회전축을 중심으로 회전시키는 회전 구동부와,
상단측 부분이 상기 회전축을 향해 경사 상방으로 연장되는 통형상을 가지고 상기 유지 부재의 주위를 둘러싸고, 승강 가능하게 형성된 가드와,
상기 기판의 처리면에 처리액을 토출 가능한 처리액 토출부와,
상기 유지 부재의 상기 플랜지부의 하방으로부터 상기 플랜지부에 세정액을 토출 가능한 세정액 토출부와,
상기 처리액 토출부로부터 상기 기판에 공급된 후에 상기 기판으로부터 배출되는 상기 처리액을 받는 것이 가능한 상방 위치와, 상기 가드의 상단이 상기 플랜지부의 측방에 위치하는 하방 위치와의 사이에서 상기 가드를 승강시킬 수 있는 승강 구동부와,
상기 승강 구동부와 상기 처리액 토출부와 상기 세정액 토출부를 제어하는 제어부를 구비하고,
상기 제어부는,
상기 승강 구동부에 상기 가드를 상기 하방 위치에 배치시킨 상태에서 상기 세정액 토출부에 상기 기판을 유지하면서 회전하는 상기 유지 부재의 상기 플랜지부를 향하여 상기 세정액을 토출시키는, 기판 처리 장치. - 삭제
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