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KR101908492B1 - 터치 패널 일체형 표시 장치 - Google Patents

터치 패널 일체형 표시 장치 Download PDF

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KR101908492B1
KR101908492B1 KR1020110033832A KR20110033832A KR101908492B1 KR 101908492 B1 KR101908492 B1 KR 101908492B1 KR 1020110033832 A KR1020110033832 A KR 1020110033832A KR 20110033832 A KR20110033832 A KR 20110033832A KR 101908492 B1 KR101908492 B1 KR 101908492B1
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sensor
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sensor electrodes
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 공정 수를 줄일 수 있는 터치 패널 일체형 표시 장치에 관한 것으로, 화상을 표시하는 표시 패널 상에 제1 방향으로 복수개가 나란하게 형성되어 제1 방향의 위치를 감지하는 제1 센서 전극들과, 제1 센서 전극들 상에 형성되며, 컨택홀들을 포함하는 제1 절연층과, 상기 제1 절연층 상에 형성되며, 상기 컨택홀을 통해 노출된 인접한 제1 센서 전극들을 연결해주는 브리지와, 상기 브리지와 동일 패턴을 상기 브리지의 측면을 제외한 상부에 형성되는 제2 절연층이 구비된 제1 센서 전극 패턴부와; 상기 표시 패널 상에 제1 방향과 교차하도록 제2 방향으로 복수개가 나란하게 형성된 제2 방향의 위치를 감지하는 제2 센서 전극들과, 상기 인접한 제2 센서 전극들을 연결해주며, 상기 제2 센서 전극들과 동일층에 형성되는 연결부가 구비된 제2 센서 전극 패턴부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

터치 패널 일체형 표시 장치 {DISPLAY DEVICE ASSOCIATED WITH TOUCH PANEL}
본 발명은 터치 패널 일체형 표시 장치에 관한 것으로, 특히 공정 수를 줄일 수 있는 터치 패널 일체형 표시 장치에 관한 것이다.
화상을 표시하는 표시 장치(Display)는 음극선관, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel Device; PDP), 전기 발광 표시 장치(Electro Luminescence Display Device; ELD), 유기 발광 전계 표시 장치 등과 같이 종류가 다양하다.
여기서, 액정 표시 장치는 전계를 이용하여 액정의 광 투과율을 조절함으로써 화상을 표시하게 된다. 이를 위하여, 액정 표시 장치는 액정 셀을 가지는 액정 패널과, 액정 패널에 광을 조사하는 백라이트 유닛과, 백라이트 유닛과 액정 셀을 구동하기 위한 구동 회로부를 포함한다.
이러한, 액정 패널 상에 포인터(사용자의 손가락)를 통해 표면을 가압하면 그 위치에 대응하는 정보를 입력시키는 터치 패널을 탑재하여 입력 장치로 이용하는 표시 장치에 대한 수요가 급증하고 있다. 터치 패널은 터치 감지 방식에 따라 저항 방식, 정전 용량 방식, 적외선 감지 방식 등으로 나누며, 제조 방법의 편이성 및 센싱력 등을 감안하여 최근 정전 용량 방식이 주목을 받고 있다. 이러한, 터치 패널은 정전 용량 방식으로 감지하는 전극이 형성된 센서 글래스와, 센서 글래스와 마주보도록 형성된 커버 글래스를 포함한다. 여기서, 센서 글래스에는 X축 방향의 정전용량을 감지하는 제1 센서 전극들과, Y축 방향의 정전용량을 감지하는 제2 센서 전극들과, 제1 센서 전극들로 신호를 공급하는 제1 라우팅 라인과 제2 센서 전극들로 신호를 공급하는 제2 라우팅 라인을 포함하는 라우팅부와, 제1 및 제2 라우팅 라인으로 신호를 공급하는 패드부를 포함한다.
이러한 구성을 가지는 터치 패널의 제조 방법은 적어도 5개의 마스크 공정이 필요하다. 즉, 센서 글래스 상에 금속 재질로 패드 및 이와 접속된 제1 및 제2 라우팅 라인을 제1 마스크를 통해 형성--> 제2 마스크를 통해 제1 센서 전극 형성--> 절연층 형성 및 제3 마스크를 통해 컨택홀 형성--> 제4 마스크를 통해 제2 센서 전극 형성--> 제2 센서 전극 상에 절연층 형성하고, 제5 마스크를 통해 패드 영역과 대응되는 영역에 절연층을 제거 공정을 포함하는 것과 같이 공정 수가 많이 필요하며, 그에 따른 공정 비용과 시간이 증가된다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 공정 수를 감소시키며 공정 비용을 감소시킬 수 있는 터치 패널 일체형 표시 장치를 제공하는 것이다.
이를 위하여, 본 발명에 따른 터치 패널 일체형 표시 장치는 화상을 표시하는 표시 패널 상에 제1 방향으로 복수개가 나란하게 형성되어 제1 방향의 위치를 감지하는 제1 센서 전극들과, 제1 센서 전극들 상에 형성되며, 컨택홀들을 포함하는 제1 절연층과, 상기 제1 절연층 상에 형성되며, 상기 컨택홀을 통해 노출된 인접한 제1 센서 전극들을 연결해주는 브리지가 구비된 제1 센서 전극 패턴부와, 상기 표시 패널 상에 제1 방향과 교차하도록 제2 방향으로 복수개가 나란하게 형성된 제2 방향의 위치를 감지하는 제2 센서 전극들과, 상기 인접한 제2 센서 전극들을 연결해주며, 상기 제2 센서 전극들과 동일층에 형성되는 연결부가 구비된 제2 센서 전극 패턴부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제2 센서 전극들은 상기 제1 센서 전극들과 동일층에 동일 재질로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 브리지 상부에 제2 절연층을 더 포함하며, 상기 제2 절연층은 상기 브리지와 동일 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 브리지는 제2 절연층과 동일 공정에서 동일 마스크로 형성되며, 상기 브리지는 투명 전극으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
삭제
여기서, 상기 센서 전극 패턴군이 컨택홀을 포함하는 제1 절연층을 형성하는 단계에서 상기 제1 및 제2 패드 전극들이 형성된 패드부 영역이 오픈된 형태로 형성되도록 상기 패드부 영역에 형성된 제1 절연층을 제거하는 것을 특징으로 하는 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 브리지는 투명 전극으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
삭제
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 터치 패널 일체형 표시장치는 브리지와 제2 절연층을 동일 마스크로 동일 공정에서 패터닝하여 형성함으로써 마스크를 줄일 수 있으므로 그에 따른 공정 수가 감소될 수 있다.
또한, 본 발명은 브리지를 투명 전극을 형성함으로써 브리지가 사용자 눈에 보이지 않아 표시 품질이 향상되며, 브리지 상에 제2 절연층이 형성되어 스크래치 방지 및 정전기 방지를 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 터치 패널 일체형 표시 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 터치 패널의 평면도를 도시하고 있다.
도 3은 도 2에 도시된 터치 패널의 단면도를 나타내고 있다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 실시 예에 따른 터치 패널의 제조 방법 중 제1 마스크 공정을 설명하기 위한 평면도 및 단면도이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시 예에 따른 터치 패널의 제조 방법 중 제2 마스크 공정을 설명하기 위한 평면도 및 단면도이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 실시 예에 따른 터치 패널의 제조 방법 중 제3 마스크 공정을 설명하기 위한 평면도 및 단면도이다.
도 7a 및 도 7b는 본 발명의 실시 예에 따른 터치 패널의 제조 방법 중 제4 마스크 공정을 설명하기 위한 평면도 및 단면도이다.
도 8a 내지 도 8d는 도 7a 및 도 7b에 도시된 제4 마스크 공정을 구체적으로 설명하기 위한 단면도들이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시 예를 상세하게 설명한다. 본 발명의 구성 및 그에 따른 작용 효과는 이하의 상세한 설명을 통해 명확하게 이해될 것이다. 본 발명의 상세한 설명에 앞서, 동일한 구성 요소에 대해서는 다른 도면 상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호로 표시하며, 공지된 구성에 대해서는 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 구체적인 설명은 생략하기로 함에 유의한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도 1 내지 도 10b를 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 터치 패널 일체형 표시 장치를 나타내는 사시도이다. 그리고, 도 2는 도 1에 도시된 터치 패널의 평면도를 도시하고 있으며, 도 3은 도 2에 도시된 터치 패널의 단면도를 나타내고 있다.
도 1에 도시된 터치 패널 일체형 표시 장치는 액정 패널(110)과, 액정 패널(110) 상에 탑재된 터치 패널를 포함한다. 이때, 터치 패널 일체형 표시 장치는 액정 패널 외에 평판 표시 장치라면 가능하다.
액정 패널(110)은 게이트 라인 및 데이터 라인과 접속된 박막 트랜지스터가 형성된 상부 기판(112)과, 칼러 구현을 위한 칼러 필터가 형성된 하부 기판(114)과, 박막 트랜지스터와 접속되는 화소 전극과, 화소 전극과 수직 전계 또는 수평 전계를 형성하는 공통 전극과, 상부 기판(112)의 전면에 부착된 상부 편광판(118)과, 하부 기판(114)의 배면에 부착된 하부 편광판(116)을 포함한다.
칼러 필터는 블랙 매트릭스를 기준으로 색이 구분되도록 상부 기판(112) 상에 형성된다. 이 칼러 필터는 R, G, B 별로 형성되어 R, G, B 색상을 구현한다.
공통 전극은 상부 기판(112)의 배면 상에 투명 도전막으로 형성되어 화소 전극과 수직 전계를 이룰 수 있으며, 하부 기판(114) 상에 투명 도전막으로 형성되어 화소 전극과 수평 전계를 이룰 수 있다. 이러한 공통 전극에는 액정 구동을 위한 기준 전압, 즉 공통 전압이 공급된다.
박막 트랜지스터는 하부 기판(114) 상에 형성되며 게이트 라인으로부터의 게이트 신호에 응답하여 데이터 라인으로부터의 데이터신호를 선택적으로 화소 전극에 공급한다. 이를 위해, 박막 트랜지스터는 게이트 라인과 접속된 게이트 전극, 데이터 라인과 접속된 소스 전극, 화소 전극과 접속된 드레인 전극, 게이트 전극과 게이트 절연막을 사이에 두고 중첩되면서 소스 전극과 드레인 전극 사이에 채널을 형성하는 활성층, 그 활성층과 소스 전극 및 드레인 전극과의 오믹 접촉을 위한 오믹 접촉층을 구비한다.
화소 전극은 각 화소 영역에서 칼라 필터(R, G, B)와 중첩되도록 독립적으로 형성되고, 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 접속된다. 또한, 화소 전극은 액정층을 사이에 두고 공통 전극과 중첩되어 수직 전계를 형성하거나, 동일 기판에 형성되어 수평 전계를 형성한다. 이러한, 화소 전극은 박막 트랜지스터를 통해 데이터 신호가 공급되면, 공통 전압이 공급된 공통 전극과 수직 전계 또는 수평 전계를 형성하여 수직 방향으로 배열된 액정 분자들이 유전율 이방성에 의해 회전하게 된다. 그리고, 액정 분자들의 회전 정도에 따라 화소 영역을 투과하는 광 투과율이 달라지게 됨으로써 계조를 구현하게 된다.
이와 같이, 액정 패널(110)은 두 기판에 각각 전극을 설치하고 액정 방향자가 90°트위스트 되도록 배열한 다음, 전극에 전압을 가하여 액정 방향자를 구동하는 트위스트 네마틱(Twisted-Nemaitc; TN) 방식, 하나의 기판 상에 두 개의 전극을 형성하고 두 전극 사이에서 발생하는 수평 전계로 액정의 방향자를 조절하는 IPS(In-Plane Swiching) 모드, 두 개의 전극을 투명 전도체로 형성하면서 두 개의 전극 사이의 간격을 좁게 형성하여 두 전극 사이에 형성되는 프린지 필드에 의해 액정 분자를 동작시키는 FFS(Fringe Field Swiching) 모드 방식 등의 방식을 이용할 수 있으며, 이에 한정하지 않는다.
상부 편광판(118)은 액정 패널(110)의 상부 기판(112)의 상부에 형성된다. 상부 편광판(118)은 액정 패널(110)로부터 입사되는 광에 대해 투과 광량 및 편광 상태를 제어한다.
하부 편광판(116)은 액정 패널(110)의 하부 기판(12)의 배면에 형성된다. 하부 편광판(116)은 백라이트 유닛으로부터 입사되는 광에 대한 투과 광량 및 편광 상태를 제어한다.
터치 패널은 위치 감지 전극으로서 기능을 하는 제1 및 제2 전극 패턴부(156,166)가 형성된 센서 기판(101)과, 센서 기판(101)과 대향하도록 형성된 커버 기판(132)과, 액정 패널(110)의 상부 편광판(118) 상에 형성된 제1 점착층(120)과, 센서 기판(101) 상에 형성된 제2 점착층(122)을 포함한다. 점착층(22)은 광 투과율이 높은 투명성 접착재료로 구현되며, 예를 들어 SVR(Super View Resin) 또는 OCA(Optical Cleared Adhesive) 필름 등으로 이루어질 수 있다. 또한, 센서 기판(101)과 커버 기판(132)은 투명 글래스로 형성될 수 있으며, 센서 기판(101)의 배면에는 바텀 절연층이 형성될 수 있다.
센서 기판(101)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 제1 센서 전극 패턴부(156), 제2 센서 전극 패턴부(166), 라우팅부, 패드부(172)를 구비한다.
제1 센서 전극 패턴부(156)는 제1 방향으로 나란하게 복수개가 형성되어 제1 방향의 정전용량의 변화를 감지한다. 여기서, 제1 방향은 예로 들어 X축 방향일 수 있다. 제1 센서 전극 패턴부(156)는 마름모 형태 또는 다이아몬드 형태의 제1 센서 전극들(150,154)과, 인접한 제1 센서 전극들(150,154)을 연결시키는 브리지들(152)을 포함한다. 브리지들(152)은 컨택홀(150a,154a)을 통해 노출된 인접한 제1 센서 전극들(150,154)을 연결시킨다. 제1 센서 전극들(150,154)은 제1 라우팅 라인(158)과 전기적으로 접속되어 신호를 공급받는다. 이에 따라, 제1 패드 전극들(159)을 통해 공급된 신호는 제1 라우팅 라인(158)과 접속된 제1 센서 전극들(150,154)로 공급되며, 인접한 제1 센서 전극들(150,154)은 브리지(152)를 통해 신호가 공급된다.
이러한, 제1 센서 전극들(150,154)은 기판(101) 상에 투명 전극으로 형성되며, 브리지들(152)은 제1 절연층(180) 상에 투명 전극으로 형성되며, 투명 전극 재질로는 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide), ATO(Antimony Tin Oxide) 등의 물질로 형성할 수 있다. 이와 같이, 브리지(152)는 투명 전극으로 형성되어 사용자 눈에 보이지 않아 시인성에 장점이 있다. 즉, 종래 브리지는 알루미늄(Al), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo) 등과 같은 불투명한 금속 재질로 형성함으로써 시야각에 따라 보이는 사용자 눈에 보이게 되어 시인성에 단점이 있었으나, 본 발명은 투명 전극으로 형성함으로써 사용자 눈에 보이지 않게 되어 표시 품질이 향상되었다. 또한, 본 발명의 브리지(152)는 외부에 직접적으로 노출되지 않고, 브리지(152) 상에 제2 절연층(182)이 형성되어 스크래치 방지 및 정전기 방지를 할 수 있다.
제2 센서 전극 패턴부(166)는 제1 센서 전극 패턴부(156)와 교차하도록 제2 방향으로 나란하게 복수개가 형성되어 제2 방향의 정전용량의 변화를 감지한다. 여기서, 제2 방향은 예로 들어 Y축 방향일 수 있다. 제2 센서 전극 패턴부(166)는 마름모 형태 또는 다이아몬드 형태의 제2 센서 전극들(160,164)과, 제2 센서 전극들(160,164)과 동일층에 제2 방향으로 형성되어 서로 인접한 제2 센서 전극들(160,164)을 연결해주는 연결부(162)를 포함한다. 연결부(162)는 제2 센서 전극들(160)과 동일층에 동일 재질로 형성되어 인접한 제2 센서 전극들(160,164)을 연결해준다. 제2 센서 전극들(160,164)은 제2 라우팅 라인(168)과 전기적으로 접속되어 신호를 공급받는다. 이에 따라, 제2 패드 전극들(169)을 통해 공급된 신호는 제2 라우팅 라인(168)과 접속된 제2 센서 전극들(160,164)로 공급되며, 인접한 제2 센서 전극들(160,164)은 연결부(162)를 통해 신호가 공급된다.
이러한, 연결부(162)와 제2 센서 전극들(160,164)은 기판(101) 상에 투명 전극으로 형성되며, 투명 전극 재질로는 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), ITZO(Indium Tin Zinc Oxide), ATO(Antimony Tin Oxide) 등의 물질로 형성할 수 있다.
라우팅부는 제1 센서 전극들(150)과 전기적으로 접속되어 신호를 공급하거나 공급받는 제1 라우팅 라인(158)과, 제2 센서 전극들(160)과 전기적으로 접속되어 신호를 공급하거나 공급받는 제2 라우팅 라인(168)을 포함한다. 도 3에 도시된 바와 같이 제1 라우팅 라인(158)과 제2 라우팅 라인(168) 상에 제1 절연층(180)이 형성되며, 제1 및 제2 라우팅 라인(158,168)은 저항 값이 낮은 금속 재질로, 금속 재질로는 알루미늄(Al), 구리(Cu), 은(Ag), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo), 알루미늄 네오듐(AlNd), 몰리브덴티탄(MoTi) 중 적어도 어느 하나의 금속 또는 적어도 어느 하나의 금속을 포함하여 이루어진 적층체일 수 있다. 제1 및 제2 라우팅 라인(158,168) 상에 제1 절연층(180)이 형성되어 있으므로 제1 및 제2 라우팅 라인(158,168)이 외부와 접촉하지 않아 산화되지 않을 수 있다.
패드부(172)는 제1 라우팅 라인(158)과 접속된 제1 패드 전극들(159)과, 제2 라우팅 라인(168)과 접속된 제2 패드 전극들(169)을 구비하며, 제1 및 제2 패드 전극들(159,169)은 FPC(Flexable Printed Circuit; 이하, FPC)와 접속된다. 이에 따라, 제1 패드 전극들(159)은 FPC로 입력되는 터치 제어 신호를 제1 라우팅 라인(158)에 공급하며, 제2 패드 전극들(169)은 FPC로 입력되는 터치 제어 신호를 제2 라우팅 라인(168)에 공급한다.
도 4a 내지 도 7b는 본 발명의 실시 예에 따른 터치 패널의 제조 방법을 나타낸 단면도들 및 그에 따른 평면도들이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 센서 기판(101) 상에 제1 및 제2 라우팅 라인(158,168)과, 이와 연결된 제1 및 제2 패드 전극(159,169)를 포함하는 라우팅 및 패드 패턴군가 형성된다.
구체적으로, 센서 기판(101) 상에 스퍼터링 방법 등의 증착 방법을 통해 제1 도전층이 형성된다. 제1 도전층으로는 Mo, Cu, Al, Cr, Ag 등과 같이 금속 물질이 이용된다. 이어서, 제1 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정 및 식각 공정으로 제1 도전층이 패터닝됨으로써 제1 및 제2 라우팅 라인(158,168)과 제1 라우팅 라인(158)과 연결된 제1 패드 전극(159)와, 제2 라우팅 라인(168)과 연결된 제2 패드 전극(169)을 포함하는 라우팅 및 패드 패턴군이 형성된다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 제1 도전 패턴군이 형성된 센서 기판(101) 상에 제1 및 제2 센서 전극들(150,154,160,164)과, 서로 인접한 제2 센서 전극들(160,164)을 연결시키는 연결부(162)를 포함하는 센서 전극 패턴군이 형성된다.
구체적으로, 센서 기판(101) 상에 스퍼터링 방법 등의 증착 방법을 통해 제2 도전층이 형성된다. 제2 도전층으로는 틴 옥사이드(Tin Oxide : TO), 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide : ITO), 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide : IZO), 인듐 틴 징크 옥사이드(Indium Tin Zind Oxide : ITZO) 등의 투명 도전층이 이용된다. 이어서, 제2 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정 및 식각 공정으로 제2 도전층이 패터닝됨으로써 제1 방향으로 형성된 제1 센서 전극들(150,154)과, 제2 방향으로 형성된 제2 센서 전극들(160,164)과, 인접한 제2 센서 전극들(160,164)을 연결시키는 연결부(162)를 포함하는 센서 전극 패턴군이 형성된다. 이때, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이 제1 센서 전극들(150)은 제1 라우팅 라인(158)과 접속되며, 제2 센서 전극들(160)은 제2 라우팅 라인(168)과 접속된다.
도 6a 및 도 6b를 참조하면, 센서 전극 패턴군이 형성된 센서 기판(101) 상에 컨택홀(150a,154a)을 포함하는 제1 절연층(180)이 형성되고, 제1 및 제2 패드 전극들(159,169)이 형성된 패드부 영역이 오픈된 형태로 제1 절연층(180)이 제거된다.
구체적으로, 센서 기판(101) 상에 SiO2 등의 무기 절연 물질이 전면 도포되며, 이 무기 절연 물질은 제3 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정 및 습식 식각 공정으로 제1 센서 전극들(150,154)을 노출시키는 컨택홀들(150a,154a)이 포함된 제1 절연층(180)이 형성되며, 패드부 영역에는 제1 절연층(180)이 제거된다. 라우팅 영역에 형성된 제1 및 제2 라우팅 라인(158,168) 상에는 제1 절연층은 남아있게 된다.
도 7a 및 도 7b를 참조하면, 컨택홀(150a,154a)이 포함된 제1 절연층(180)이 형성된 센서 기판(101) 상에 브리지(152) 및 제2 절연층(182)이 형성되고, 패드부 영역에는 제1 및 제2 패드 전극들(159,169)만 형성된다. 이는, 도 8a 내지 도 8d를 참조하여 설명하기로 한다.
도 8a를 참조하면, 제1 절연층(180)이 형성된 센서 기판 상에 스퍼터링 방법 등의 증착 방법을 통해 제3 도전층(250)이 형성되고, 도 8b에 도시된 바와 같이 제3 도전층(250) 상에 SiO2 등의 무기 절연 물질으로 형성된 제2 절연층(252)이 전면 도포된다. 제3 도전층(250)으로는 틴 옥사이드(Tin Oxide : TO), 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide : ITO), 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide : IZO), 인듐 틴 징크 옥사이드(Indium Tin Zind Oxide : ITZO) 등의 투명 도전층이 이용된다.
이어서, 도 8c에 도시된 바와 같이 제4 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정 및 건식 식각 공정으로 브리지(152)가 형성될 영역을 제외하고 제2 절연층(252)이 패터닝된다. 이에 따라, 브리지(152)가 형성될 영역에만 제2 절연층(182)이 형성되고, 나머지 영역에는 제2 절연층(182)이 형성되지 않게 된다.
이 후, 도 8d에 도시된 바와 같이 상기 제4 마스크를 통한 습식 식각 공정으로 제3 도전층(250)을 패터닝함으로써 브리지(152)가 형성된다. 이와 같이, 제2 절연층(182)은 제3 도전층(250)과 동일 마스크를 통해 패터닝함으로써 브리지(152)와 동일 패턴으로 형성되며, 제4 마스크를 통해 브리지(152)가 형성될 영역 외에 제2 절연층(182)과 제3 도전층(250)을 패터닝함으로써 패드 영역도 동시에 제거할 수 있으므로 패드 영역에 추가 마스크 없이 제2 절연층(182)과 제3 도전층(250)을 제거할 수 있다. 즉, 하나의 마스크를 이용하여 제2 절연층(182)과 제3 도전층(252)을 패터닝함으로써 공정 수를 감소시킬 수 있는 향상된 효과를 가진다.
이상의 설명은 본 발명을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명의 명세서에 개시된 실시 예들은 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 본 발명의 범위는 아래의 특허청구범위에 의해 해석되어야 하며, 그와 균등한 범위 내에 있는 모든 기술도 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석해야 할 것이다.
110 : 액정 패널 112 : 상부 기판
114 : 하부 기판 116 : 하부 편광판
118 : 상부 편광판 120, 122 : 제1 및 제2 점착층
132 : 커버 기판 150, 154 : 제1 센서 전극들
152 : 브리지 156 : 제1 센서 전극 패턴부
158 : 제1 라우팅 라인 160, 164 : 제2 센서 전극들
162 : 연결부 166 : 제2 센서 전극 패턴부
168 : 제2 라우팅 라인

Claims (8)

  1. 화상을 표시하는 표시 패널 상에 제1 방향으로 복수개가 나란하게 형성되어 제1 방향의 위치를 감지하는 제1 센서 전극들과, 제1 센서 전극들 상에 형성되며, 컨택홀들을 포함하는 제1 절연층과, 상기 제1 절연층 상에 형성되며, 상기 컨택홀을 통해 노출된 인접한 제1 센서 전극들을 연결해주는 브리지와, 상기 브리지 형성시와 동일한 마스크를 사용하여 형성되어 상기 브리지와 동일 패턴을 가지고 상기 브리지의 측면을 제외한 상부에만 형성되는 제2 절연층이 구비된 제1 센서 전극 패턴부와;
    상기 표시 패널 상에 제1 방향과 교차하도록 제2 방향으로 복수개가 나란하게 형성된 제2 방향의 위치를 감지하는 제2 센서 전극들과, 상기 인접한 제2 센서 전극들을 연결해주며, 상기 제2 센서 전극들과 동일층에 형성되는 연결부가 구비된 제2 센서 전극 패턴부를 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 패널 일체형 표시 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 브리지는 투명 전극으로 형성되는 것을 특징으로 하는 터치 패널 일체형 표시 장치.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
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