KR101779475B1 - Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 제 2 전극의 전압 강하를 방지하는 동시에, 공정의 효율성을 향상시킨 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 특징은 뱅크 상부 또는 서로 이웃하는 뱅크 사이에 보조전극을 더욱 형성함으로써, 보조전극을 통해 제 2 전극의 전압강하가 발생하는 것을 방지하는 것이다.
또한, 본 발명은 유기발광층을 형성하는 과정에서, 유기발광층을 기판의 전면에 도포 또는 증착한 후, 보조전극을 통해 유기발광층을 각 화소영역 별로 분리되도록 함으로써, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same, and more particularly, to an organic electroluminescent device and a method of manufacturing the same that prevent voltage drop of a second electrode and improve process efficiency.
A feature of the present invention is to further prevent an occurrence of a voltage drop of the second electrode through the auxiliary electrode by further forming an auxiliary electrode between the upper side of the bank and the neighboring banks.
In addition, in the process of forming the organic light emitting layer, the organic light emitting layer may be coated or deposited on the entire surface of the substrate, and then the organic light emitting layer may be separated for each pixel region through the auxiliary electrode, thereby improving the efficiency of the process.
Description
본 발명은 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 제 2 전극의 전압 강하를 방지하는 동시에, 공정의 효율성을 향상시킨 유기전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE
최근까지 CRT(cathode ray tube)가 표시장치로서 주로 사용되었다. 그러나, 최근에 CRT를 대신할 수 있는, 플라즈마표시장치(plasma display panel : PDP), 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 유기전계발광소자(organic luminescence emitting device : OLED)와 같은 평판표시장치가 널리 연구되며 사용되고 있는 추세이다. Until recently, CRT (cathode ray tube) was mainly used as a display device. However, in recent years, flat panel displays such as a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display device (LCD), and an organic luminescence emitting device (OLED) Devices have been widely studied and used.
위와 같은 평판표시장치 중에서, 유기전계발광소자(이하, OLED라 함)는 자발광소자로서, 비발광소자인 액정표시장치에 사용되는 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량 박형이 가능하다. Of the above flat panel display devices, an organic electroluminescent element (hereinafter referred to as OLED) is a self-luminous element and can be lightweight and thin because it does not require a backlight used in a liquid crystal display device which is a non-light emitting element.
그리고, 액정표시장치에 비해 시야각 및 대비비가 우수하며, 소비전력 측면에서도 유리하며, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답속도가 빠르며, 내부 구성요소가 고체이기 때문에 외부충격에 강하고, 사용 온도범위도 넓은 장점을 가지고 있다. In addition, it has a better viewing angle and contrast ratio than liquid crystal display devices, is advantageous in terms of power consumption, can be driven by DC low voltage, has a fast response speed, is resistant to external impacts due to its solid internal components, It has advantages.
특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다. Particularly, since the manufacturing process is simple, it is advantageous in that the production cost can be saved more than the conventional liquid crystal display device.
도 1은 일반적인 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면이며, OLED는 상부 발광방식이다. FIG. 1 schematically shows a cross section of a general OLED, wherein the OLED is a top emission type.
도시한 바와 같이, OLED(10)는 제 1 기판(1)과, 제 1 기판(1)과 마주하는 제 2 기판(2)으로 구성되며, 제 1 및 제 2 기판(1, 2)은 서로 이격되어 이의 가장자리가 실패턴(seal pattern : 20)을 통해 봉지되어 합착된다. As shown, the OLED 10 comprises a
이를 좀더 자세히 살펴보면, 제 1 기판(1)의 상부에는 각 화소영역(P) 별로 구동 박막트랜지스터(DTr)가 형성되어 있고, 각각의 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결되는 제 1 전극(11)과 제 1 전극(11)의 상부에 특정한 색의 빛을 발광하는 유기발광층(13)과, 유기발광층(13)의 상부에는 제 2 전극(15)이 구성된다. In more detail, a driving thin film transistor DTr is formed for each pixel region P on the
이들 제 1 및 제 2 전극(11, 15)과 그 사이에 형성된 유기발광층(13)은 유기전계 발광다이오드(E)를 이루게 된다. The first and
여기서, 제 1 전극(11)은 일함수 값이 비교적 큰 도전성 물질로 이루어져 애노드(anode)전극 역할을 하며, 제 2 전극(15)은 제 1 전극(11)에 비해 일함수 값이 작은 도전성 물질로 이루어져 캐소드(cathode)전극 역할을 한다. Here, the
이때, 유기전계 발광다이오드(E)를 통해 발광된 빛의 투과방향에 따라 상부 발광방식(top emission type)과 하부 발광방식(bottom emission type)으로 나뉘게 되는데, 하부 발광방식은 개구율이 저하되는 문제가 발생하므로 최근에는 상부 발광방식이 주로 이용되고 있다. In this case, the top emission type and the bottom emission type are divided according to the transmission direction of the light emitted through the organic electroluminescent diode E, The upper light emitting method is mainly used.
따라서, 상부 발광방식의 경우 유기발광층(13)으로부터 발광된 빛이 제 2 전극(15)을 투과해야 하나, 제 2 전극(15)은 일함수 값이 낮은 금속물질로 이루어짐에 따라 불투명한 특성을 갖게 된다. Accordingly, in the case of the upper emission type, light emitted from the organic
이에 따라, 제 2 전극(15)을 일함수가 낮은 금속 물질을 얇게 증착한 반투명 금속막 상에 투명한 도전성 물질을 두껍게 증착하여 사용하는데, 이러한 제 2 전극(15)은 유기발광층(13)의 손상을 최소화하기 위하여 저온 증착에 의해 형성하게 된다. The
이렇게, 제 2 전극(15)을 저온 증착에 의해 형성할 경우, 제 2 전극(15)은 막질이 나빠, 각 화소영역(P)의 위치별로 동일한 음극 전압이 인가되지 않고, 전압강하(IR drop)에 의해 전압이 입력되는 부위에서 가까운 영역과 먼 영역에서 전압 차이가 발생하게 된다. In this case, when the
또한, 제 2 전극(15)은 비저항이 높아지게 되는데, 이렇게 비저항이 높아지게 되면 전압강하가 더욱 심화되며, 이는, 결국 휘도나 화상 특성의 불균일을 발생시키게 되며, OLED(10)의 소비전력을 상승시키는 문제점을 야기하게 된다.
In addition, the
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 전압강하를 방지할 수 있는 유기전계발광소자를 제공하고자 하는 것을 제 1 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION It is a first object of the present invention to provide an organic electroluminescent device capable of preventing a voltage drop.
이를 통해, 균일한 신호를 제공함으로써, 휘도 및 화상 특성을 향상시키고자 하는 것을 제 2 목적으로 한다.
It is a second object of the present invention to provide a uniform signal to improve luminance and image characteristics.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 화소영역 별로 구동 박막트랜지스터가 형성된 제 1 기판과; 상기 각 구동 박막트랜지스터와 전기적으로 연결되며, 제 1 및 제 2 전극과 제 1 및 제 2 전극 사이에 구비된 유기발광층으로 이루어지는 유기전계발광 다이오드와; 상기 유기발광층을 상기 각 화소영역 별로 패터닝하며, 상기 제 2 전극과 전기적으로 접촉하는 보조전극을 포함하는 유기전계발광소자를 제공한다. According to an aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal display comprising: a first substrate on which a driving thin film transistor is formed for each pixel region; An organic light emitting diode electrically connected to each of the driving thin film transistors, the organic light emitting diode comprising first and second electrodes and an organic light emitting layer provided between the first and second electrodes; And an auxiliary electrode electrically patterning the organic light emitting layer for each pixel region and electrically contacting the second electrode.
이때, 상기 보조전극은 상기 제 1 전극의 가장자리와 중첩하며, 상기 각 화소영역의 경계에 형성되는 뱅크의 상부 또는 서로 이웃하는 뱅크 사이에 위치하며, 상기 보조전극은 전류가 흐를 수 있는 도체로 이루어진다. At this time, the auxiliary electrode overlaps the edge of the first electrode, and is positioned between the upper or adjacent banks formed at the boundary of each pixel region, and the auxiliary electrode is made of a conductor through which a current can flow .
그리고, 상기 보조전극은 2중 층으로 이루어지며, 상기 제 2 전극과 접촉하는 제 1 층은 은(Ag), 알루미늄(Al), 금(Au), 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 하나로 이루어지며, 상기 제 1 층의 하부에 위치하는 제 2 층은 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 크롬(Cr) 중 하나이며, 상기 보조전극은 격자 구조의 매트릭스 타입으로 형성되거나, 각 화소영역의 행 방향 또는 열 방향을 따라 선형(linear) 구조로 형성된다. The auxiliary electrode is made of a double layer and the first layer in contact with the second electrode is made of Ag, Al, Au, indium-tin-oxide (ITO) (IZO), and the second layer located under the first layer is one of molybdenum (Mo), tungsten (W), and chromium (Cr), and the auxiliary electrode is a matrix of a lattice structure Type, or formed in a linear structure along the row direction or the column direction of each pixel region.
또한, 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판을 더욱 포함한다. The first substrate may further include a second substrate facing the first substrate.
또한, 본 발명은 화소영역이 정의된 제 1 기판에 구동 박막트랜지스터를 형성하는 단계와; 상기 구동 박막트랜지스터와 접촉하는 제 1 전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1 전극 상부의 상기 화소영역의 경계에 보조전극을 형성하는 단계와; 상기 보조전극을 포함하는 상기 제 1 기판의 전면에 유기발광물질층을 형성하는 단계와; 상기 보조전극에 전류를 가해, 상기 보조전극 상부에 위치하는 유기발광물질층을 가열 승화시켜 제거하여, 각 화소영역 별로 유기발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기발광층을 포함하는 상기 제 1 기판의 전면에 형성되며, 상기 보조전극과 접촉하도록 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기전계발광소자 제조방법을 제공한다. According to another aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a liquid crystal display, comprising: forming a driving thin film transistor on a first substrate on which a pixel region is defined; Forming a first electrode in contact with the driving thin film transistor; Forming an auxiliary electrode on the boundary of the pixel region above the first electrode; Forming an organic light emitting material layer on the entire surface of the first substrate including the auxiliary electrode; Applying an electric current to the auxiliary electrode to remove the organic light emitting material layer located above the auxiliary electrode by heating to form an organic light emitting layer for each pixel region; And forming a second electrode on the entire surface of the first substrate including the organic light emitting layer, the second electrode being in contact with the auxiliary electrode.
이때, 상기 제 1 전극을 형성한 후, 상기 제 1 전극의 가장자리와 중첩하도록 상기 화소영역의 경계에 뱅크를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 보조전극은 상기 뱅크 상부에 형성된다. Forming a bank at a boundary of the pixel region so as to overlap the edge of the first electrode after the first electrode is formed, and the auxiliary electrode is formed on the bank.
그리고, 상기 보조전극을 형성한 후, 상기 화소영역 각각의 가장자리를 두르며, 상기 보조전극이 노출되도록 뱅크를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 보조전극은 100 ~ 1000℃ 이상으로 가열된다. And forming a bank so that the auxiliary electrode is exposed after the auxiliary electrode is formed and the edge of each of the pixel regions is formed, and the auxiliary electrode is heated to 100 to 1000 ° C. or more.
또한, 상기 보조전극은 전류가 흐를 수 있는 도체로 이루어지며, 상기 보조전극은 2중 층으로 이루어지며, 상기 제 2 전극과 접촉하는 제 1 층은 은(Ag), 알루미늄(Al), 금(Au), 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 하나로 이루어지며, 상기 제 1 층의 하부에 위치하는 제 2 층은 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 크롬(Cr) 중 하나이다. The auxiliary electrode is made of a conductor through which a current can flow, the auxiliary electrode is made of a double layer, and the first layer in contact with the second electrode is made of silver (Ag), aluminum (Al) (Mo), tungsten (W), chromium (W), or the like. The first layer is formed of one of indium, tin, indium-tin- Cr).
이때, 상기 보조전극은 격자 구조의 매트릭스 타입으로 형성되거나, 각 화소영역의 행 방향 또는 열 방향을 따라 선형(linear) 구조로 형성되며, 상기 보조전극은 상기 제 1 전극과 동일 물질로 이루어진다. The auxiliary electrode may be formed in a matrix structure of a lattice structure or may have a linear structure along a row direction or a column direction of each pixel region, and the auxiliary electrode may be formed of the same material as the first electrode.
또한, 상기 보조전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 하나로 이루어지며, 상기 제 2 전극을 형성한 후에는 상기 제 1 기판과 가장자리부에 씰패턴을 사이에 두고 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함한다.
The auxiliary electrode is made of one of indium-tin-oxide (ITO) and indium-zinc-oxide (IZO), and after the second electrode is formed, And attaching the second substrate.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 뱅크 상부 또는 서로 이웃하는 뱅크 사이에 보조전극을 더욱 형성함으로써, 보조전극을 통해 제 2 전극의 전압강하가 발생하는 것을 방지하는 것이다. As described above, according to the present invention, the auxiliary electrode is further formed between the upper side of the bank and the neighboring banks, thereby preventing the voltage drop of the second electrode from occurring through the auxiliary electrode.
이에 유기전계발광소자에 균일한 신호를 인가할 수 있어, 휘도 및 화상 특성을 균일하게 할 수 있는 효과가 있다. Therefore, a uniform signal can be applied to the organic electroluminescent device, and the brightness and image characteristics can be made uniform.
또한, 본 발명은 유기발광층을 형성하는 과정에서, 유기발광층을 기판의 전면에 도포 또는 증착한 후, 보조전극을 통해 유기발광층을 각 화소영역 별로 분리되도록 함으로써, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
In addition, in the process of forming the organic light emitting layer, the organic light emitting layer may be applied or deposited on the entire surface of the substrate, and then the organic light emitting layer may be separated for each pixel region through the auxiliary electrode, .
도 1은 일반적인 OLED의 단면을 개략적으로 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 OLED를 개략적으로 도시한 단면도.
도 3a ~ 3g는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 OLED의 제 1 기판의 제조 단계별 단면도.
도 4a ~ 4c는 보조전극이 형성된 모습을 개략적으로 도시한 평면도.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 OLED를 개략적으로 도시한 단면도.
도 6a ~ 6f는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 OLED의 제 1 기판의 제조 단계별 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 schematically shows a cross section of a typical OLED. FIG.
2 is a cross-sectional view schematically illustrating an OLED according to a first embodiment of the present invention.
FIGS. 3A to 3G are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing a first substrate of an OLED according to a first embodiment of the present invention;
4A to 4C are plan views schematically showing a state in which auxiliary electrodes are formed;
5 is a cross-sectional view schematically illustrating an OLED according to a second embodiment of the present invention.
6A to 6F are cross-sectional views of a first substrate of an OLED according to a second embodiment of the present invention.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
- 제 1 실시예 - First Embodiment
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 OLED를 개략적으로 도시한 단면도이다. 2 is a cross-sectional view schematically showing an OLED according to a first embodiment of the present invention.
도시한 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 OLED(100)는 구동 박막트랜지스터(DTr)와 유기전계 발광다이오드(E)가 형성된 제 1 기판(101)과, 인캡슐레이션을 위한 제 2 기판(102)으로 구성되며, 제 1 및 제 2 기판(101, 102)은 서로 이격되어 있고, 이의 가장자리부는 씰패턴(seal pattern : 120)을 통해 봉지되어 합착된다. The OLED 100 according to the first embodiment of the present invention includes a
여기서, 제 1 기판(101) 상의 화소영역(P)에는 반도체층(201)이 형성되는데, 반도체층(201)은 실리콘으로 이루어지며, 그 중앙부는 채널을 이루는 액티브영역(201a)을 이루며, 액티브영역(201a)의 양측면으로 고농도의 불순물이 도핑된 소스 및 드레인영역(201b, 201c)으로 구성된다. A
이러한 반도체층(201) 상부로는 게이트절연막(203)이 형성되어 있다. A
게이트절연막(203) 상부로는 액티브영역(201a)에 대응하여 게이트전극(205)과 도면에 나타내지 않았지만 일방향으로 연장하는 게이트배선이 형성되어 있다. The
또한, 게이트전극(205)과 게이트배선(미도시)의 상부 전면에 제 1 층간절연막(207a)이 형성되어 있으며, 이때 제 1 층간절연막(207a)과 그 하부의 게이트절연막(203)은 액티브영역(201a) 양측면에 위치한 소스 및 드레인영역(201b, 201c)을 각각 노출시키는 제 1, 2 반도체층 콘택홀(209a, 209b)을 구비한다. A first interlayer
다음으로, 제 1, 2 반도체층 콘택홀(209a, 209b)을 포함하는 제 1 층간절연막(207a) 상부로는 서로 이격하며 제 1, 2 반도체층 콘택홀(209a, 209b)을 통해 노출된 소스 및 드레인영역(201b, 201c)과 각각 접촉하는 소스 및 드레인 전극(211, 213)이 형성되어 있다. Next, upper portions of the first
그리고, 소스 및 드레인전극(211, 213)과 두 전극(211, 213) 사이로 노출된 제 1 층간절연막(207a) 상부로 제 2 층간절연막(207b)이 형성되는데, 제 2 층간절연막(207b)은 드레인전극(213)을 노출시키는 드레인콘택홀(215)을 갖는다. A second interlayer
이때, 소스 및 드레인 전극(211, 213)과 이들 전극(211, 213)과 접촉하는 소스 및 드레인영역(201b, 201c)을 포함하는 반도체층(201)과 반도체층(201) 상부에 형성된 게이트절연막(203) 및 게이트전극(205)은 구동 박막트랜지스터(DTr)를 이루게 된다. At this time, the
한편, 도면에 나타나지 않았지만, 게이트배선(미도시)과 교차하여 화소영역(P)을 정의하는 데이터배선(미도시)이 형성되어 있다. 그리고, 스위칭 박막트랜지스터(미도시)는 구동 박막트랜지스터(DTr)와 동일한 구조로, 구동 박막트랜지스터(DTr)와 연결된다. On the other hand, although not shown in the drawing, data lines (not shown) are formed which cross the gate wiring (not shown) and define the pixel region P. The switching thin film transistor (not shown) has the same structure as the driving thin film transistor DTr and is connected to the driving thin film transistor DTr.
그리고, 스위칭 박막트랜지스터(미도시) 및 구동 박막트랜지스터(DTr)는 도면에서는 반도체층(201)이 폴리실리콘 반도체층으로 이루어진 탑 게이트(top gate) 타입을 예로써 보이고 있으며, 이의 변형예로써 순수 및 불순물의 비정질질실리콘으로 이루어진 보텀 케이트(bottom gate) 타입으로 형성될 수도 있다. In the drawing, the switching thin film transistor (not shown) and the driving thin film transistor DTr are shown as a top gate type in which the
또한, 제 2 층간절연막(207b) 상부의 실질적으로 화상을 표시하는 영역에는 유기전계발광 다이오드(E)를 구성하는 제 1 전극(111)과 유기발광층(113) 그리고 제 2 전극(115)이 순차적으로 형성되어 있다. The
여기서, 제 1 전극(111)과 유기발광층(113)은 각 화소영역(P) 별로 형성되며, 제 2 전극(115)은 유기발광층(113)을 포함하는 제 1 기판(101)의 전면에 형성되어 있다. Here, the
각 화소영역(P) 별로 형성된 제 1 전극(111)과 유기발광층(113) 사이의 비화소영역(미도시)에는 뱅크(bank : 119)가 위치한다. A
즉, 뱅크(119)는 제 1 기판(101) 전체적으로 격자 구조의 매트릭스 타입으로 형성되어, 뱅크(119)를 각 화소영역(P) 별 경계부로 하여 제 1 전극(111)이 화소영역(P) 별로 분리된 구조로 형성되어 있다. That is, the
이때, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 OLED(100)는 뱅크(119)의 상부에 보조전극(200)을 더욱 형성하는 것을 특징으로 하는데, 보조전극(200)은 제 2 전극(115)의 전압강하를 방지하는 역할을 한다. The
그리고, 이러한 보조전극(200)에 의해 유기발광층(113)은 각 화소영역(P) 별로 분리되어 형성된다. 이로 인하여, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 OLED(100)는 유기발광층(113) 형성과정에서 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. 이에 대해 차후 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다. The organic
제 1 전극(111)은 제 2 층간절연막(207b)의 드레인콘택홀(215)을 통해 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(213)과 연결된다. The
이와 같은 경우에, 제 1 전극(111)은 애노드(anode) 전극의 역할을 하도록 일함수 값이 비교적 높은 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO)로 형성하며, 제 2 전극(115)은 캐소드(cathode)의 역할을 하기 위해 비교적 일함수 값이 낮은 금속물질로 이루어진다. In this case, the
그리고, 유기발광층(113)에서 발광된 빛은 제 2 전극(115)을 향해 방출되는 상부 발광방식으로 구동된다. The light emitted from the organic
여기서, 유기발광층(113)은 발광물질로 이루어진 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입막(hole injection layer), 정공수송막(hole transporting layer), 발광물질막(emitting material layer), 전자수송막(electron transporting layer) 및 전자주입막(electron injection layer)의 다중층으로 구성될 수도 있다. Here, the organic
이러한 OLED(100)는 선택된 색 신호에 따라 제 1 전극(111)과 제 2 전극(115)으로 소정의 전압이 인가되면, 제 1 전극(111)으로부터 제공된 전공과 제 2 전극(115)으로부터 주입된 전자가 유기발광층(113)으로 수송되어 엑시톤(exciton)을 이루고, 이러한 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 천이 될 때 빛이 발생되어 가시광선의 형태로 방출된다.When a predetermined voltage is applied to the
이때, 발광된 빛은 투명한 제 2 전극(115)을 통과하여 외부로 나가게 되므로, OLED(100)는 임의의 화상을 구현하게 된다.At this time, the emitted light passes through the transparent
한편, 유기발광층(113)으로부터 발광된 빛이 제 2 전극(115)을 통과해야 하므로, 제 2 전극(115)은 투명한 도전성 물질로 이루어져야 하는데, 투명한 도전성 물질은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)와 같은 물질을 사용하지만, 이러한 투명 도전성 물질은 일함수가 높아 제 2 전극(115)으로 사용하기 어렵다. Since the light emitted from the organic
따라서, 제 2 전극(115)을 일함수가 낮은 금속 물질을 얇게 증착한 반투명 금속막 상에 투명한 도전성 물질을 두껍게 증착하여 사용하는데, 이러한 제 2 전극(115)은 열이나 플라즈마에 의한 유기발광층(113)의 손상을 최소화하기 위하여 저온 증착에 의해 형성됨으로써, 막질이 나쁘고 비저항이 높아지게 된다. Therefore, the
이렇게, 제 2 전극(115)의 막질이 나쁘고 비저항이 높아짐에 따라, 각 화소영역(P)의 위치 별로 동일한 음극 전압이 인가되는 것이 아니라 전압강하(IR drop)에 의해 전압이 입력되는 부위에서 가까운 영역과 먼 영역에서 전압 차이가 발생하게 되고, 이는 휘도나 화상 특성의 불균일을 발생시키게 되며, OLED(100)의 소비전력을 상승시키는 문제점을 야기하게 된다. In this way, as the film quality of the
이에 본 발명의 제 1 실시예에 따른 OLED(100)는 뱅크(119) 상부에 보조전극(200)을 더욱 형성하고, 보조전극(200)을 통해 제 2 전극(115)의 전압강하를 방지함으로써, 이와 같은 문제점을 방지하게 되는 것이다. The
이때, 보조전극(200)의 두께가 두꺼울수록 제 2 전극(115)의 전압강하를 보다 효과적으로 방지할 수 있다. At this time, as the thickness of the
특히, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 OLED(100)는 뱅크(119) 상부에 보조전극(200)을 더욱 형성함으로써, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. Particularly, the
이에 대해 본 발명의 제 1 실시예에 따른 OLED(도 2의 100)의 제조방법을 통해 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다. 여기서, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 OLED(100)는 유기전계발광 다이오드(E)가 형성된 제 1 기판(101)에 구조적 특징이 있으므로, 제 1 기판(101)의 제조방법에 대해서만 설명하도록 하겠다. Hereinafter, the manufacturing method of the OLED (100 of FIG. 2) according to the first embodiment of the present invention will be described in more detail. The
도 3a ~ 3g는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 OLED의 제 1 기판의 제조 단계별 단면도이다. 3A to 3G are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing a first substrate of an OLED according to a first embodiment of the present invention.
도 3a에 도시한 바와 같이, 기판(101) 상에 구동 박막트랜지스터(DTr)를 형성하는데, 구동 박막트랜지스터(DTr)는 반도체층(201)과 반도체층(201) 상부에 형성된 게이트절연막(203) 및 게이트전극(205) 그리고 게이트전극(205) 상부에 형성된 제 1 층간절연막(207a) 및 소스 및 드레인전극(211, 213)으로 이루어진다. 3A, a driving thin film transistor DTr is formed on a
그리고, 소스 및 드레인전극(211, 213) 상부로, 제 2 층간절연막(207b)이 형성되어 있다. A second
도면상에 도시하지는 않았지만 이의 형성방법에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 비정질실리콘을 증착한 후, 포토레지스트의 도포, 마스크를 통한 노광, 노광된 포토레지스트의 현상 및 현상후 남아 있는 포토레지스트 외부로 노출된 비정질실리콘층의 식각 및 남아 있는 포토레지스트의 애싱(ashing) 또는 스트립(strip) 등의 마스크 공정을 통한 패터닝이라 칭하는 일련의 공정을 진행하여 반도체층(201)을 형성한다. Although not shown in the drawing, a method of forming the amorphous silicon layer will be described in more detail. After deposition of the amorphous silicon layer, the photoresist layer may be formed by applying a photoresist, exposing through a mask, developing the exposed photoresist, A series of processes called patterning through a mask process such as etching of the silicon layer and ashing or strip of the remaining photoresist is performed to form the
이때, 반도체층(201)의 탈수소 과정을 거쳐 열처리에 의해 폴리실리콘으로 결정화하는 공정을 더욱 포함한다. At this time, the
다음으로 반도체층(201)이 형성된 기판(101) 상에 제 1 절연물질을 증착하여 게이트절연막(203)을 형성한 후, 게이트절연막(203) 상부에 제 1 금속층을 증착한 후, 앞서 설명한 바와 같이 마스크 공정을 통해 반도체층(201)의 중앙부에 제 1 금속층을 게이트전극(205)으로 형성한다. Next, a first insulating material is deposited on the
여기서, 제 1 절연물질은 무기절연물질인 질화실리콘(SiNx) 또는 산화실리콘(Si02) 중 어느 하나인 것이 바람직하다. Here, the first insulating material is preferably any one of silicon nitride (SiNx) and silicon oxide (SiO2), which are inorganic insulating materials.
그리고, 제 1 금속층은 알루미늄(Al) 또는 알루미늄 합금(AlNd), 몰리브덴(Mo), 니켈(Ni), 텅스텐(W) 등의 금속 물질 중에서 선택되는 하나 또는 둘 이상의 물질을 증착하여 단일층 또는 이중층으로 하는 것이 바람직하다. The first metal layer may be formed by depositing one or more materials selected from metal materials such as aluminum (Al) or an aluminum alloy (AlNd), molybdenum (Mo), nickel (Ni), tungsten .
다음으로 반도체층(201)이 형성된 기판(101)에 있어서, 게이트전극(205) 및 게이트배선(미도시) 외부로 노출된 게이트절연막(203)을 식각하여 제거한 후, 기판(101) 상에 적정 도즈량을 갖는 이온주입에 의해 n+ 또는 p+ 도핑을 실시한다. Next, the
이때, 반도체층(201)에 있어서 게이트전극(205)에 의해 이온주입이 블록킹된 부분은 액티브층(201a)을 형성하게 되고, 그 외의 이온주입된 액티브 영역은 소스 및 드레인영역(201b, 201c)을 형성하게 된다. At this time, in the
이로써 액티브영역(201a)과 소스 및 드레인영역(201b, 201c)으로 이루어진 반도체층(201)을 완성하게 된다. As a result, the
다음으로 게이트전극(205)을 포함하여 노출된 소스 및 드레인영역(201b, 201c) 상부로 무기절연물질을 증착하고 마스크공정을 진행하여 패터닝함으로써, 게이트전극(205) 양측의 소스 및 드레인영역(201b, 201c) 일부를 각각 노출시키는 제 1, 2 반도체층 콘택홀(209a, 209b)을 갖는 제 1 층간절연막(207a)을 형성한다. Next, the inorganic insulating material is deposited on the exposed source and drain
다음으로, 제 1, 2 반도체층 콘택홀(209a, 209b)을 갖는 제 1 층간절연막(207a)이 형성된 기판(101) 전면에 금속물질을 증착하고 마스크공정을 진행하여 패터닝함으로써 제 1, 2 반도체층 콘택홀(209a, 209b)을 통해 각각 소스 및 드레인영역(201b, 201c)과 접촉하는 소스 및 드레인전극(211, 213)을 형성한다. Next, a metal material is deposited on the entire surface of the
이때, 소스 및 드레인전극(211, 213)은 게이트전극(205)을 사이에 두고 서로 이격하게 위치한다. At this time, the source and drain
다음으로 소스 및 드레인전극(211, 213)이 형성된 기판(101) 전면에 포토아크릴(photo acryl) 또는 벤조사이클로부텐(BCB) 등의 유기절연물질을 도포하여, 기판(101) 전면에 제 2 층간절연막(207b)을 형성한다. Next, an organic insulating material such as photo acryl or benzocyclobutene (BCB) is applied to the entire surface of the
이때, 제 2 층간절연막(207b)은 드레인전극(213)을 노출하는 드레인 콘택홀(215)을 가진다. At this time, the second
다음으로, 도 3b에 도시한 바와 같이, 드레인콘택홀(215)을 갖는 제 2 층간절연막(207b) 위로 일함수 값이 비교적 높은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 수천 Å 정도의 두께를 갖도록 증착하고 패터닝함으로써 각 화소영역(도 2의 P)별로 드레인콘택홀(215)을 통해 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(213)과 접촉하는 제 1 전극(111)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 3B, on the second
다음으로, 도 3c에 도시한 바와 같이, 제 1 전극(111)의 상부에 감광성 유기절연재질 예를 들면 블랙 수지, 그래파이트 파우더(graphite powder), 그라비아 잉크, 블랙 스프레이, 블랙 에나멜 중 하나를 도포하고 이를 패터닝함으로써 제 1 전극(111) 상부로 뱅크(119)를 형성한다. Next, as shown in FIG. 3C, a photosensitive organic insulating material such as black resin, graphite powder, gravure ink, black spray, or black enamel is coated on the
뱅크(119)는 기판(101) 전체적으로 격자 구조의 매트릭스 타입으로 형성되어 각 화소영역(도 2의 P) 간을 구분하게 된다. The
다음으로 도 3d에 도시한 바와 같이, 뱅크(119) 상부에 저저항 금속물질 예를 들면 은(Ag), 알루미늄(Al), 금(Au), 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)물질과 같은 금속물질 중에서 선택되는 하나의 물질을 증착하여 보조전극(200)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 3D, a low resistance metal material such as Ag, Al, Au, Indium-Tin-oxide (ITO) -Oxide (IZO) material is deposited to form the
이때, 보조전극(200)은 전술한 저저항 금속물질로 이루어진 단일층 구조가 될 수도 있으며, 또는 도면에 도시하지는 않았지만 이중충 구조를 이룰 수도 있다. At this time, the
보조전극(200)이 이중층으로 이루어질 경우, 뱅크(119)와 접촉하는 제 1 층(미도시)은 뱅크(119)와의 접합력이 우수한 금속물질인 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 크롬(Cr), 티타늄(Ti) 중에서 선택되는 어느 하나로 이루어지며, 제 1 층(미도시)을 덮으며 형성되는 제 2 층(미도시)은 전술한 저저항 금속물질로 이루어질 수 있다.When the
또한, 보조전극(200)은 전류가 흐를 수 있는 도체는 어떠한 물질도 가능하다. In addition, the
다음으로, 도 3e에 도시한 바와 같이 보조전극(200)을 포함하는 기판(101)의 전면에 유기발광물질을 도포 또는 증착하여 유기발광물질층(113a)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 3E, an organic light emitting
유기발광물질층(113a)은 노즐코팅 장치(미도시), 디스펜싱 장치(미도시) 또는 잉크젯 장치(미도시)를 이용하여 코팅 또는 분사함으로써, 기판(101)의 전면에 유기발광물질층(113a)을 형성할 수도 있으며, 또는 진공열증착방법을 통해 유기발광물질층(113a)을 형성할 수도 있다. The organic
이때, 진공열증착방법은 진공챔버(미도시) 내부에서 유기발광물질층 형성을 위한 유기발광물질이 분말상태로 담겨져 있는 도가니(미도시)에 열을 가해, 유기발광물질을 가열 승화시켜 증착하게 된다.In this case, in the vacuum thermal deposition method, heat is applied to a crucible (not shown) in which an organic light emitting material for forming an organic light emitting material layer is contained in a powder state in a vacuum chamber (not shown) do.
이때 도면에 나타나지 않았지만, 유기발광물질층(113a)은 발광물질로 이루어진 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입층(hole injection layer), 정공수송층(hole transporting layer), 발광층(emitting material layer), 전자수송층(electron transporting layer) 및 전자주입층(electron injection layer)의 다중층으로 구성할 수도 있다.Although not shown in the figure, the organic light emitting
다음으로 도 3f에 도시한 바와 같이, 보조전극(200)에 전류를 인가하여 발생하는 열에 의해 보조전극(200) 상부에 위치하는 유기발광물질층(도 3e의 113a)을 제거함으로써, 각 화소영역(도 2의 P) 별로 각각 분리된 유기발광층(113)을 형성하게 된다. Next, as shown in FIG. 3F, by removing the organic light emitting material layer (113a in FIG. 3E) located above the
이는 줄 히팅(joule's heating) 방법으로써, 금속물질로 이루어진 보조전극(200)에 전류를 가하면 열이 발생하게 된다. 이렇게 발생된 열은 보조전극(200) 상부에 위치하는 유기발광물질층(도 3e의 113a)을 가열하게 되는데, 이때 가열되는 유기발광물질층(도 3e의 113a)은 보조전극(200)과 접촉된 영역만이 가열된다. 이에 따라, 보조전극과 접촉되는 유기발광물질층(도 3e의 113a)은 가열 승화되어 보조전극(200) 상에서 제거되는 것이다. This is a joule heating method in which heat is generated when an electric current is applied to the
이를 통해, 보조전극(200)은 노출되며, 유기발광물질층(도 3e의 113a)은 각 화소영역(도 2의 P) 별로 분리된 구조를 갖게 된다. As a result, the
이러한 줄 히팅 방법은 줄의 법칙(Joule's law)에 의해 기인한 것이며, 보조전극(200)에 발생하는 열량은 인가되는 전류 또는 전압의 세기의 제곱과 보조전극(200)의 저항에 비례한다.Such a row heating method is caused by the Joule's law, and the amount of heat generated in the
이때, 보조전극(200)은 유기발광물질이 가열 승화될 수 있는 350 ~ 500℃ 로 가열되는 것이 바람직하다. At this time, it is preferable that the
다음으로 3g에 도시한 바와 같이, 보조전극(200)에 의해 각 화소영역(도 2의 P) 별로 분리되어 형성된 유기발광층(113) 위로 비교적 일함수 값이 작은 금속물질 예를 들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금, 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au) 중 하나를 열증착 또는 이온 빔 증착을 실시함으로써 기판(101)의 전면에 5Å 내지 50Å 정도의 비교적 얇은 두께를 갖도록 제 2 전극(115)을 형성한다. Next, as shown in 3g, a metal material having a relatively low work function value such as aluminum (Al) is deposited on the organic
이때, 제 2 전극(115)은 유기발광층(113)의 손상을 최소화하기 위하여 저온에서 형성하는 것이 바람직하다. At this time, it is preferable that the
그리고 도면에 나타나지 않았지만, 비교적 얇은 두께를 갖는 제 2 전극(115)의 보호와 유기발광층(113)으로 수분이 침투하는 것을 방지하기 위하여, 제 2 전극(115) 위로는 투명 도전성 물질 예를 들면 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)로써 500Å 내지 2000Å 정도의 두께를 갖는 보조 제 2 전극(미도시)을 더욱 형성할 수도 있다. Although not shown in the drawing, in order to protect the
이때, 제 2 전극(115)은 노출된 보조전극(200)과 접촉하게 되고, 이를 통해, 제 2 전극(115)은 내부 저항에 의한 전압강하 현상은 거의 발생하지 않게 되며, 따라서 이에 의한 표시영역 내의 휘도 불균일 현상을 방지할 수 있게 된다. At this time, the
또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 OLED(도 2의 100)는 유기발광층(113)을 형성하는 과정에서, 각 화소영역(도 2의 P) 별로 별도로 구성되지 않고, 기판(101)의 전면에 도포 또는 증착하여 형성함에 따라, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. The
즉, 유기발광물질을 노즐코팅 장치(미도시), 디스펜싱 장치(미도시) 또는 잉크젯 장치(미도시)를 이용하여 각 화소영역(도 2의 P) 별로 코팅 또는 분사하여 형성할 경우, 각 화소영역(도 2의 P) 에 코팅 또는 분사하는 유기발광물질의 정량과 코팅 또는 분사하는 위치 등을 고려해야 하므로 이의 공정이 매우 까다로움을 알 수 있다. That is, when the organic light emitting material is formed by coating or spraying each pixel region (P in FIG. 2) using a nozzle coating apparatus (not shown), a dispensing apparatus (not shown), or an inkjet apparatus It is necessary to consider the quantification of the organic luminescent material to be coated or injected into the pixel region (P in FIG. 2), the position of coating or injection, and the like, so that the process is very difficult.
또한, 유기발광물질을 진공열증착방법을 통해 각 화소영역(도 2의 P) 별로 증착할 경우, 각 화소영역(도 2의 P) 별로 개구부를 갖는 쉐도우마스크(미도시)를 필요로 하게 되므로 공정비용이 향상되게 되고, 쉐도우마스크(미도시)와 기판(101)의 얼라인(align)공정 등의 추가공정 또한 필요로 하게 됨에 따라 공정 시간 또한 증가하게 되는 문제점을 야기하게 된다. In addition, when the organic light emitting materials are deposited for each pixel region (P in FIG. 2) through a vacuum thermal deposition method, a shadow mask (not shown) having openings is required for each pixel region (P in FIG. 2) The process cost is increased and the additional process such as the alignment process of the shadow mask (not shown) and the
이에 반해, 본 발명은 유기발광물질을 각 화소영역(도 2의 P) 별로 형성하지 않고, 기판(101)의 전면에 도포 또는 증착하여 형성한 후, 보조전극(200)을 통해 유기발광층(113)이 각 화소영역(도 2의 P) 별로 분리되도록 함으로써, 위와 같은 문제점이 발생하는 것을 방지할 수 있는 동시에 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 것이다. In contrast, according to the present invention, the organic luminescent material is formed on the entire surface of the
도 4a ~ 4c는 보조전극이 형성된 모습을 개략적으로 도시한 평면도이다. 4A to 4C are plan views schematically showing a state in which auxiliary electrodes are formed.
도 4a에 도시한 바와 같이, 보조전극(200)은 각 화소영역(P)의 가장자리를 두르는 뱅크(119) 상부에 격자 구조의 매트릭스 타입으로 형성될 수도 있으며, 도 4b와 도 4c에 도시한 바와 같이, 각 화소영역(P)의 행 방향 또는 열 방향을 따라 선형(linear) 구조로 형성될 수도 있다.As shown in FIG. 4A, the
이때 기판(101)의 일측에는 보조전극(200)으로 전압 또는 전류를 인가하기 위한 보조전극배선(200a, 200b)이 더욱 구비되는 것이 바람직하다. At this time,
전술한 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 OLED(도 2의 100)는 뱅크(119) 상부에 보조전극(200)을 더욱 형성함으로써, 보조전극(200)을 통해 제 2 전극(115)의 전압강하가 발생하는 것을 방지할 수 있으며, 유기발광층(113)을 형성하는 과정에서, 유기발광층(113)을 기판(101)의 전면에 도포 또는 증착한 후, 보조전극(200)을 통해 유기발광층(113)을 각 화소영역(P) 별로 분리되도록 함으로써, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.
As described above, the OLED according to the first embodiment of the present invention (100 in FIG. 2) further includes the
- 제 2 실시예 -
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 OLED를 개략적으로 도시한 단면도이다. 5 is a cross-sectional view schematically showing an OLED according to a second embodiment of the present invention.
설명에 앞서, 앞서 전술한 제 1 실시예와의 중복된 설명을 피하기 위해 앞서의 설명과 동일한 역할을 하는 동일 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하며, 특징적인 내용만을 살펴보도록 하겠다. Prior to the description, the same reference numerals are assigned to the same parts as those in the previous description in order to avoid redundant description with the first embodiment described above, and only the characteristic contents will be described.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 OLED(100)는 뱅크(119)가 각 화소영역(P) 별로 각 화소영역(P)의 가장자리를 두르며 형성되는 것이 특징이며, 이때, 보조전극(200)은 서로 이웃하는 뱅크(119) 사이에 형성되는 것이 특징이다. The
따라서, 기판(101)의 전면에 형성되는 제 2 전극(115)은 서로 이웃하는 뱅크(119) 사이에 형성된 보조전극(200)과 접촉하게 되고, 이를 통해, 제 2 전극(115)은 내부 저항에 의한 전압강하 현상은 거의 발생하지 않게 되며, 따라서 이에 의한 표시영역 내의 휘도 불균일 현상을 방지할 수 있게 된다. The
또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 OLED(100) 또한 유기발광층(113)을 기판(101)의 전면에 도포 또는 증착한 후, 서로 이웃하는 뱅크(119) 사이에 형성된 보조전극(200)을 통해 각 화소영역(P) 별로 분리되도록 함으로써, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. The
특히, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 OLED(100)는 보조전극(200)을 유기전계발광 다이오드(E)의 제 1 전극(111)과 동일물질로 동일한 공정에서 형성할 수 있어, 보다 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. In particular, the
이에 대해 본 발명의 제 2 실시예에 따른 OLED(100)의 제조방법을 통해 좀더 자세히 살펴보도록 하겠다. 여기서, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 OLED(100)는 유기전계발광 다이오드(E)가 형성된 제 1 기판(101)에 구조적 특징이 있으므로, 제 1 기판(101)의 제조방법에 대해서만 설명하도록 하겠다. Hereinafter, a manufacturing method of the
도 6a ~ 6f는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 OLED의 제 1 기판의 제조 단계별 단면도이다. 6A to 6F are cross-sectional views illustrating steps of manufacturing a first substrate of an OLED according to a second embodiment of the present invention.
도 6a에 도시한 바와 같이, 기판(101) 상에 구동 박막트랜지스터(DTr)를 형성하는데, 구동 박막트랜지스터(DTr)는 반도체층(201)과 반도체층(201) 상부에 형성된 게이트절연막(203) 및 게이트전극(205) 그리고 게이트전극(205) 상부에 형성된 제 1 층간절연막(207a) 및 소스 및 드레인전극(211, 213)으로 이루어진다. 6A, a driving thin film transistor DTr is formed on a
그리고, 소스 및 드레인전극(211, 213) 상부로, 제 2 층간절연막(207b)이 형성되어 있다. A second
다음으로, 도 6b에 도시한 바와 같이, 드레인콘택홀(215)을 갖는 제 2 층간절연막(207b) 위로 일함수 값이 비교적 높은 투명 도전성 물질인 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO)를 수천 Å 정도의 두께를 갖도록 증착하고 패터닝함으로써 각 화소영역(도 2의 P)별로 드레인콘택홀(215)을 통해 구동 박막트랜지스터(DTr)의 드레인전극(229)과 접촉하는 제 1 전극(111)과 각 화소영역(도 5의 P)의 경계에 대응하여 보조전극(200)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 6B, an indium-tin-oxide (ITO) or indium-zinc-oxide (ITO) film, which is a transparent conductive material having a relatively high work function value, is formed on the second
보조전극(200)은 기판(101) 전체적으로 격자 구조의 매트릭스 타입으로 형성되어 각 화소영역(도 2의 P) 간을 구분하게 된다.The
다음으로, 도 6c에 도시한 바와 같이, 제 1 전극(111)과 보조전극(200)의 상부에 감광성 유기절연재질 예를 들면 블랙 수지, 그래파이트 파우더(graphite powder), 그라비아 잉크, 블랙 스프레이, 블랙 에나멜 중 하나를 도포하고 이를 패터닝함으로써 뱅크(119)를 형성한다. Next, as shown in FIG. 6C, a photosensitive organic insulating material such as black resin, graphite powder, gravure ink, black spray, black (black), or the like is coated on top of the
뱅크(119)는 각 화소영역(도 5의 P) 별로 가장자리를 두르며 형성되어, 서로 이웃하는 뱅크(119) 사이에는 각 화소영역(도 5의 P)의 경계에 대응하여 형성된 보조전극(200)을 노출하게 된다. 5) formed between the neighboring
다음으로 도 6d에 도시한 바와 같이, 뱅크(119)와 보조전극(200)을 포함하는 기판(101)의 전면에 유기발광물질을 도포 또는 증착하여 유기발광물질층(113a)을 형성한다. 6D, an organic light emitting
이때 도면에 나타나지 않았지만, 유기발광물질층(113a)은 발광물질로 이루어진 단일층으로 구성될 수도 있으며, 발광 효율을 높이기 위해 정공주입층(hole injection layer), 정공수송층(hole transporting layer), 발광층(emitting material layer), 전자수송층(electron transporting layer) 및 전자주입층(electron injection layer)의 다중층으로 구성할 수도 있다.Although not shown in the figure, the organic light emitting
다음으로 도 6e에 도시한 바와 같이, 서로 이웃하는 뱅크(119) 사이에 노출된 보조전극(200)에 전류를 인가하여 발생하는 열에 의해 보조전극(200) 상부에 위치하는 유기발광물질층(도 6d의 113a)을 제거함으로써, 각 화소영역(도 5의 P) 별로 각각 분리된 유기발광층(113)을 형성하게 된다. Next, as shown in FIG. 6E, by the heat generated by applying a current to the
이는 줄 히팅(joule's heating) 방법으로써, 금속물질로 이루어진 보조전극(200)에 전류를 가하면 열이 발생하게 된다. 이렇게 발생된 열은 보조전극(200) 상부에 위치하는 유기발광물질층(도 6d의 113a)을 가열하게 되는데, 이때 가열되는 유기발광물질층(도 6d의 113a)은 보조전극(200)과 접촉된 영역만이 가열된다. 이에 따라, 보조전극(200)과 접촉되는 유기발광물질층(도 6d의 113a)은 가열 승화되어 보조전극(200) 상에서 제거되는 것이다. This is a joule heating method in which heat is generated when an electric current is applied to the
이를 통해, 보조전극(200)은 노출되며, 유기발광물질층(도 6d의 113a)은 각 화소영역(도 5의 P) 별로 분리된 구조를 갖게 된다. As a result, the
이러한 줄 히팅 방법은 줄의 법칙(Joule's law)에 의해 기인한 것이며, 보조전극(200)에 발생하는 열량은 인가되는 전류 또는 전압의 세기의 제곱과 보조전극(200)의 저항에 비례한다.Such a row heating method is caused by the Joule's law, and the amount of heat generated in the
이때, 보조전극(200)은 유기발광물질이 가열 승화될 수 있는 350℃ 이상으로 가열되는 것이 바람직하다. At this time, it is preferable that the
다음으로 6f에 도시한 바와 같이, 보조전극(200)에 의해 각 화소영역(도 2의 P) 별로 분리되어 형성된 유기발광층(113) 위로 비교적 일함수 값이 작은 금속물질 예를들면 알루미늄(Al), 알루미늄 합금, 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au) 중 하나를 열증착 또는 이온 빔 증착을 실시함으로써 기판(101)의 전면에 5Å 내지 50Å 정도의 비교적 얇은 두께를 갖도록 제 2 전극(115)을 형성한다. Next, as shown in FIG. 6F, a metal material having a relatively low work function value, for example, aluminum (Al) is deposited on the organic
이때, 제 2 전극(115)은 노출된 보조전극(200)과 접촉하게 되고, 이를 통해, 제 2 전극(115)은 내부 저항에 의한 전압강하 현상은 거의 발생하지 않게 되며, 따라서 이에 의한 표시영역 내의 휘도 불균일 현상을 방지할 수 있게 된다. At this time, the
또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 OLED(도 5의 100)는 유기발광층(113)을 형성하는 과정에서, 각 화소영역(도 5의 P) 별로 별도로 구성되지 않고, 기판(101)의 전면에 도포 또는 증착하여 형성한 후, 보조전극(200)을 통해 유기발광층(113)이 각 화소영역(도 2의 P) 별로 분리되도록 함으로써, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다.The
특히, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 OLED(도 5의 100)는 보조전극(200)을 유기전계발광 다이오드(E)의 제 1 전극(111)과 동일물질로 동일한 공정에서 형성할 수 있어, 보다 공정의 효율성을 향상시킬 수 있다. In particular, the OLED according to the second embodiment of the present invention (100 in FIG. 5) can form the
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.
100 : OLED, 101 : 제 1 기판, 102 : 제 2 기판
111 : 제 1 전극, 113 : 유기발광층, 115 : 제 2 전극
119 : 뱅크, 120 : 씰패턴, 200 : 보조전극
201 : 반도체층(201a : 액티브영역, 201b, 201c : 소스 및 드레인영역)
203 : 게이트절연막, 205 : 게이트전극, 207a, 207b : 제 1 및 제 2 층간절연막
209a, 209b : 제 1, 2 반도체층, 211 : 소스전극, 213 : 드레인전극
215 : 드레인콘택홀100: OLED, 101: first substrate, 102: second substrate
111: first electrode, 113: organic light emitting layer, 115: second electrode
119: bank, 120: seal pattern, 200: auxiliary electrode
201: semiconductor layer (201a: active region, 201b, 201c: source and drain regions)
203: gate insulating film, 205: gate electrode, 207a, 207b: first and second interlayer insulating films
209a, 209b: first and second semiconductor layers, 211: source electrode, 213: drain electrode
215: drain contact hole
Claims (17)
상기 구동 박막트랜지스터 각각에 전기적으로 연결되며, 제 1 및 제 2 전극과 제 1 및 제 2 전극 사이에 구비된 유기발광층으로 이루어지는 유기전계발광 다이오드와;
상기 유기발광층을 패터닝하며, 상기 화소영역의 경계에 위치하여 상기 제 2 전극과 전기적으로 접촉하는 보조전극과;
상기 화소영역 각각의 가장자리를 두르며, 상기 보조전극을 노출시키는 뱅크
를 포함하고,
상기 보조전극은 상기 제 1 전극과 동일층 및 동일 물질로 이루어지는 격자 구조의 매트릭스 타입이거나, 각 화소영역의 행 방향 또는 열 방향을 따라 선형(linear) 구조인 유기전계발광소자.
A first substrate provided with a driving thin film transistor for each pixel region;
An organic light emitting diode electrically connected to each of the driving thin film transistors, the organic light emitting diode comprising first and second electrodes and an organic light emitting layer provided between the first and second electrodes;
An auxiliary electrode disposed on a boundary of the pixel region and in electrical contact with the second electrode;
A plurality of pixel electrodes arranged on the substrate,
Lt; / RTI >
Wherein the auxiliary electrode is a matrix type having a lattice structure made of the same layer and the same material as the first electrode or a linear structure along a row direction or a column direction of each pixel region.
상기 보조전극은 전류가 흐를 수 있는 도체로 이루어지는 유기전계발광소자.
The method according to claim 1,
Wherein the auxiliary electrode comprises a conductor through which a current can flow.
상기 보조전극은 2중 층으로 이루어지며, 상기 제 2 전극과 접촉하는 제 1 층은 은(Ag), 알루미늄(Al), 금(Au), 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 하나로 이루어지며, 상기 제 1 층의 하부에 위치하는 제 2 층은 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 크롬(Cr) 중 하나인 유기전계발광소자.
The method according to claim 1,
The auxiliary electrode is made of a double layer and the first layer in contact with the second electrode is made of Ag, Al, Au, Indium-Tin-Oxide (ITO) Oxide (IZO), and the second layer located under the first layer is one of molybdenum (Mo), tungsten (W), and chromium (Cr).
상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판을 더욱 포함하는 유기전계발광소자. The method according to claim 1,
And a second substrate facing the first substrate.
상기 화소영역에 상기 구동 박막트랜지스터와 접촉하는 제 1 전극을 형성하는 단계와;
상기 화소영역의 경계에 보조전극을 형성하는 단계와;
상기 보조전극을 포함하는 상기 제 1 기판의 전면에 유기발광물질층을 형성하는 단계와;
상기 보조전극에 전류를 가해, 상기 보조전극 상부에 위치하는 유기발광물질층을 가열 승화시켜 제거하여 유기발광층을 형성하는 단계와;
상기 유기발광층을 포함하는 상기 제 1 기판의 전면에 상기 보조전극과 접촉하는 제 2 전극을 형성하는 단계
를 포함하며,
상기 보조전극은 격자 구조의 매트릭스 타입으로 형성되거나, 각 화소영역의 행 방향 또는 열 방향을 따라 선형(linear) 구조로 형성되는 유기전계발광소자 제조방법.
Forming a driving thin film transistor on a first substrate on which a pixel region is defined;
Forming a first electrode in the pixel region in contact with the driving thin film transistor;
Forming auxiliary electrodes at the boundaries of the pixel regions;
Forming an organic light emitting material layer on the entire surface of the first substrate including the auxiliary electrode;
Applying an electric current to the auxiliary electrode to form an organic light emitting layer by removing the organic light emitting material layer located above the auxiliary electrode by heating;
Forming a second electrode in contact with the auxiliary electrode on the entire surface of the first substrate including the organic light emitting layer
/ RTI >
Wherein the auxiliary electrode is formed in a matrix structure of a lattice structure or in a linear structure along a row direction or a column direction of each pixel region.
상기 제 1 전극을 형성한 후, 상기 제 1 전극의 가장자리와 중첩하도록 상기 화소영역의 경계에 뱅크를 형성하는 단계를 포함하는 유기전계발광소자 제조방법.
8. The method of claim 7,
And forming a bank at a boundary of the pixel region so as to overlap the edge of the first electrode after the first electrode is formed.
상기 보조전극은 상기 뱅크 상부에 형성되는 유기전계발광소자 제조방법.
9. The method of claim 8,
Wherein the auxiliary electrode is formed on the bank.
상기 보조전극을 형성한 후, 상기 화소영역 각각의 가장자리를 두르며, 상기 보조전극이 노출되도록 뱅크를 형성하는 단계를 포함하는 유기전계발광소자 제조방법.
8. The method of claim 7,
And forming a bank so that the auxiliary electrode is exposed after the auxiliary electrode is formed, the edge of each of the pixel regions being formed, and the bank being formed to expose the auxiliary electrode.
상기 보조전극은 100 ~ 1000℃로 가열되는 유기전계발광소자 제조방법.
8. The method of claim 7,
Wherein the auxiliary electrode is heated to 100 to 1000 캜.
상기 보조전극은 전류가 흐를 수 있는 도체로 이루어지는 유기전계발광소자 제조방법.
8. The method of claim 7,
Wherein the auxiliary electrode comprises a conductor through which a current can flow.
상기 보조전극은 2중 층으로 이루어지며, 상기 제 2 전극과 접촉하는 제 1 층은 은(Ag), 알루미늄(Al), 금(Au), 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 하나로 이루어지며, 상기 제 1 층의 하부에 위치하는 제 2 층은 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W), 크롬(Cr) 중 하나인 유기전계발광소자 제조방법.
8. The method of claim 7,
The auxiliary electrode is made of a double layer and the first layer in contact with the second electrode is made of Ag, Al, Au, Indium-Tin-Oxide (ITO) Wherein the second layer is one of molybdenum (Mo), tungsten (W), and chromium (Cr).
상기 보조전극은 상기 제 1 전극과 동일 물질로 이루어지는 유기전계발광소자 제조방법.
8. The method of claim 7,
Wherein the auxiliary electrode is formed of the same material as the first electrode.
상기 보조전극은 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(IZO) 중 하나로 이루어지는 유기전계발광소자 제조방법.
16. The method of claim 15,
Wherein the auxiliary electrode comprises one of indium-tin-oxide (ITO) and indium-zinc-oxide (IZO).
상기 제 2 전극을 형성한 후에는 상기 제 1 기판과 가장자리부에 씰패턴을 사이에 두고 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 유기전계발광소자 제조방법. 8. The method of claim 7,
And bonding the second substrate to the first substrate and the edge portion with the seal pattern interposed therebetween after the second electrode is formed.
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