KR101679560B1 - Imprinting Apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 몰드를 기판에 합착 및 분리할 때 순차적으로 가압 및 분리시켜 몰드와 기판 사이에 발생되는 버블bubble)현상을 최소화시킬 수 있는 임프린트장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 임프린트 장치는, 기판의 위치를 정렬하는 스테이지(120)와; 상기 스테이지(120)의 상부에 장착되는 기판 플레이트(130)와; 상기 기판 플레이트(130)의 상부에 장착되는 기판(140)과; 소정형상의 패턴이 양각 또는 음각으로 형성된 몰드(150)와; 상기 몰드(150)를 상기 기판(140)에 붙이거나 떼기 위하여 상하방향으로 구동시키는 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)와; 상기 몰드(150)가 상기 기판(140)에 근접한 상태에서 상기 몰드(150)의 일측에서 타측으로 소정 압력으로 가압하는 가압롤(170)과; 상기 가압롤(170)을 상하방향으로 이송시키도록 구동력을 제공하는 에어실린더(180)와; 상기 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)의 구동에 따라 상하방향으로 이동되는 텐션유닛(190)과; 상기 기판(140)에 UV를 조사하는 UV램프(200)로 구성된다. The present invention relates to an imprint apparatus capable of minimizing a bubble bubble phenomenon occurring between a mold and a substrate by sequentially pressing and separating the mold upon adhering and separating the mold onto a substrate, A stage 120 for aligning the positions; A substrate plate 130 mounted on top of the stage 120; A substrate 140 mounted on top of the substrate plate 130; A mold 150 in which a pattern of a predetermined shape is formed in a convex or concave shape; First and second mold driving units 160a and 160b for vertically driving the mold 150 to attach or detach the mold 150 to the substrate 140; A pressing roll 170 which presses the mold 150 at a predetermined pressure from one side of the mold 150 to the other side while the mold 150 is in proximity to the substrate 140; An air cylinder 180 for providing a driving force to vertically transmit the pressing roll 170; A tension unit 190 which is moved up and down according to the driving of the first and second mold driving units 160a and 160b; And a UV lamp 200 for irradiating the substrate 140 with UV light.
Description
본 발명은 임프린트장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 패턴의 품질을 향상시킬 수 있는 임프린트장치에 관한 것이다.The present invention relates to an imprint apparatus, and more particularly, to an imprint apparatus capable of improving the quality of a pattern.
일반적으로 임프린트 기술은 기판 위에 열가소성 수지나 광경화성 수지를 도포한 후 e빔을 이용해 사전에 제작된 특정 형상의 몰드로 가압 경화시켜 패턴을 전사하는 것으로 반도체·FPD·바이오 등에 폭넓게 사용되고 있다. In general, imprint technology is widely used for semiconductors, FPD, bio, etc. by applying thermoplastic resin or photo-curable resin on a substrate and then transferring the pattern by press-curing to a mold of a specific shape previously prepared by using e-beam.
이와 같은 임프린트 기술은 크게 몰딩(molding) 방식, 포토리소그래피(photolithography) 방식 및 스탬프(stamp) 방식으로 구분할 수 있다. 몰딩 방식은 패턴이 형성된 틀 속에 유동성 물질을 넣고 경화시키는 방식이고, 포토리소그래피 방식은 포토레지스트(photoresist) 박막이 입혀진 기판에 미세한 패턴이 형성된 마스크를 통하여 F2레이저, 극자외선, X-선 등을 노광시켜 패턴을 형성하는 방식이며, 스탬프 방식은 패턴이 형성된 스탬프로 폴리머(polymer)가 입혀진 기판을 가압하는 방식이다.Such an imprint technique can be largely divided into a molding method, a photolithography method and a stamp method. The molding method is a method in which a fluid material is injected into a mold having a pattern and cured. The photolithography method exposes a F2 laser, extreme ultraviolet ray, X-ray, or the like through a mask having a fine pattern formed on a substrate coated with a photoresist thin film The stamping method is a method of pressing a substrate on which a polymer is stuck with a patterned stamp.
여기서, 몰딩 방식은 유동성 물질을 틀 속에 주입하고 경화시키기 위한 공정 시간이 많이 걸리는 단점이 있다. 그리고 포토리소그래피 방식은 미세한 패턴을 형성하는 마스크의 가격이 높고, 패턴이 미세화됨에 따라 파장이 더욱 짧은 광을 노광시켜야 하는 어려움이 있다.Here, the molding method is disadvantageous in that it requires a long process time for injecting and hardening the fluid material into the mold. In the photolithography method, the cost of a mask for forming a fine pattern is high, and as the pattern is miniaturized, it is difficult to expose light having a shorter wavelength.
반면에 스탬프 방식은 스탬프로 기판 전체를 한번 찍음으로써 임프린트(imprint)할 수 있어서 공정 시간을 줄일 수 있고, 하나의 스탬프로 다수의 기판을 임프린트할 수 있어서 생산성을 높일 수 있다. 특히, 스탬프 방식은 대형 기판에 미세 패턴을 형성할 때 더욱 유리하여, 스탬프 방식으로 대형 기판에 미세한 패턴을 임프린트하는 장치가 개발되고 있다. 이러한 스탬프 방식은 미세패턴이 각인된 스탬프를, 스핀코팅 된 고분자 소재의 광경화성 수지가 형성된 기판에 가압하는 방식이다.On the other hand, the stamping method can imprint the entire substrate with a stamp, thereby reducing the processing time and imprinting a plurality of substrates with a single stamp, thereby increasing the productivity. Particularly, the stamping method is more advantageous when a fine pattern is formed on a large substrate, and an apparatus for imprinting a fine pattern on a large substrate in a stamping manner has been developed. Such a stamping method is a method of pressing a stamp imprinted with a fine pattern onto a substrate on which a photocurable resin of a spin-coated polymer material is formed.
한편, 대한민국 등록특허공보 제10-0950746호에는 스탬프와 기판을 가압하는 가압력을 균일하게 적용시켜, 기판에 형성되는 미세패턴의 안정성을 확보하며, 작업효율을 증대시킬 수 있는 임프린트 장치 및 방법이 기재되어 있다.On the other hand, Korean Patent Registration No. 10-0950746 discloses an imprint apparatus and method capable of uniformly applying a pressing force to press a stamp and a substrate, ensuring stability of a fine pattern formed on a substrate, and increasing work efficiency .
그러나, 이와 같은 첫 번째 선행기술은 상부 및 하부챔버를 이용하여 밀폐공간을 형성한 후 가스를 주입하여 스탬프를 균일하게 가압하는 구조이기 때문에 범용성에 한계가 있을 수 밖에 없었다.However, such a first prior art has a limitation in versatility because it forms a closed space by using the upper and lower chambers and then pressurizes the stamp uniformly by injecting gas.
또한, 대한민국 등록특허공보 제10-1415570호에는 몰드 부재와 기판을 액상의 패턴 형성 소재에 잠긴 상태에서 서로 합착시켜, 몰드 부재와 기판이 합착될 때 트랩(trap)되는 공기와 패턴 형성 소재에서 발생된 가스로 인한 버블 현상의 발생을 방지할 수 있는 임프린트 장치 및 이를 이용한 임프린트 방법이 기재되어 있다.Also, in Korean Patent Registration No. 10-1415570, a mold member and a substrate are bonded to each other in a state of being immersed in a liquid patterning material, so that air trapped when the mold member and the substrate are bonded together, An imprint apparatus capable of preventing the occurrence of a bubble phenomenon caused by a gas and an imprint method using the same.
그러나, 이와 같은 두 번째 선행기술은 공기를 빼내기 위해 용액이 담겨진 상태에서 가압하는 방식으로서, 사용상 용액이 많이 소진될 뿐만 아니라 전체적인 작업성이 좋지 못한 한계를 갖고 있다.However, such a second prior art is a method in which the solution is pressurized in a state in which the solution is contained in order to extract the air. As a result, not only the solution is consumed but also the overall workability is poor.
본 발명은 이상에서 설명한 종래기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출한 것으로서, 본 발명의 목적은 몰드를 기판에 합착 및 분리할 때 순차적으로 가압 및 분리시켜 몰드와 기판 사이에 발생되는 버블bubble)현상을 최소화시킬 수 있는 임프린트장치를 제공하기 위한 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve the above-described problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a mold, which comprises: sequentially pressing and separating a mold on a substrate, And to provide an imprint apparatus capable of being minimized.
이와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 임프린트 장치는, 소정형상의 베이스 플레이트(110)와; 상기 베이스 플레이트(110)의 상부에 설치되어, 기판의 위치를 정렬하는 스테이지(120)와; 상기 스테이지(120)의 상부에 장착되는 기판 플레이트(130)와; 상기 기판 플레이트(130)의 상부에 장착되는 기판(140)과; 상기 기판(140)의 상부에 설치되며, 소정형상의 패턴이 양각 또는 음각으로 형성된 몰드(150)와; 상기 몰드(150)의 양측면에 설치되어, 상기 몰드(150)를 상기 기판(140)에 붙이거나 떼기 위하여 상하방향으로 구동시키는 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)와; 상기 몰드(150)가 상기 기판(140)에 근접한 상태에서 상기 몰드(150)의 일측에서 타측으로 소정 압력으로 가압하는 가압롤(170)과; 상기 가압롤(170)의 일측에 설치되어 상기 가압롤(170)을 상하방향으로 이송시키도록 구동력을 제공하는 에어실린더(180)와; 상기 몰드(150)의 양측면에 설치된 제1 및 제2 몰드 클램프(151,152)에 고정되며, 상기 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)의 구동에 따라 상하방향으로 이동되는 텐션유닛(190)과; 상기 베이스 플레이트(110)의 밑면에 설치되어, 상기 기판(140)에 UV를 조사하는 UV램프(200)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.To achieve the above object, an imprint apparatus according to the present invention includes: a
이상에서 설명한 본 발명에 따른 임프린트장치에 따르면, 몰드를 기판에 합착 및 분리할 때 순차적으로 가압 및 분리시켜 몰드와 기판 사이에 트랩(trap)되는 공기와 패턴 형성 소재에서 발생된 가스로 인한 버블bubble)현상을 최소화시킬 수 있어, 기판의 상부에 형성되는 패턴의 파손을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 더 나아가 전체적인 생산성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.According to the imprint apparatus of the present invention described above, when the mold is attached to and detached from the substrate, the air is trapped between the mold and the substrate by sequentially pressing and separating them, and the bubble bubble ) Phenomenon can be minimized, so that breakage of the pattern formed on the substrate can be minimized, and further, the overall productivity can be improved.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 임프린트장치의 사시도이며;
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 임프린트장치의 평면도이며;
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 임프린트장치의 단면도이며;
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 임프린트장치의 동작을 설명하기 위한 단면도이며;
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 임프린트장치에 구비된 텐션유닛의 사이도이며;
도 6은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 임프린트장치의 동작을 설명하기 위한 도면이다.1 is a perspective view of an imprint apparatus according to a preferred embodiment of the present invention;
2 is a plan view of an imprint apparatus according to a preferred embodiment of the present invention;
3 is a cross-sectional view of an imprint apparatus according to a preferred embodiment of the present invention;
4 is a cross-sectional view illustrating the operation of the imprint apparatus according to the preferred embodiment of the present invention;
5 is a cross-sectional view of a tension unit included in an imprint apparatus according to a preferred embodiment of the present invention;
6 is a view for explaining the operation of the imprint apparatus according to the preferred embodiment of the present invention.
본 명세서에서 사용되는 용어는 본 발명에서의 기능을 고려하면서 가능한 현재 널리 사용되는 일반적인 용어를 선택하였으나, 이는 당 분야에 종사하는 기술자의 의도 또는 관례 또는 새로운 기술의 출현 등에 따라 달라질 수 있다. 또한, 특정한 경우는 출원인이 임의로 선정한 용어도 있으며, 이 경우 해당되는 발명의 설명 부분에서 그 의미를 기재할 것이다. 따라서 본 명세서에서 사용되는 용어는, 단순한 용어의 명칭이 아닌 그 용어가 가지는 실질적인 의미와 본 명세서의 전반에 걸친 내용을 토대로 해석되어야 함을 밝혀두고자 한다.As used herein, terms used in the present invention are selected from general terms that are widely used in the present invention while taking into account the functions of the present invention, but these may vary depending on the intention or custom of a person skilled in the art or the emergence of new technologies. In addition, in certain cases, there may be a term arbitrarily selected by the applicant, in which case the meaning thereof will be described in the description of the corresponding invention. Therefore, it is intended that the terminology used herein should be interpreted based on the meaning of the term rather than on the name of the term, and on the entire contents of the specification.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 임프린트장치의 사시도이며; 도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 임프린트장치의 평면도이며; 도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 임프린트장치의 단면도이며; 도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 임프린트장치의 동작을 설명하기 위한 단면도이다. 1 is a perspective view of an imprint apparatus according to a preferred embodiment of the present invention; 2 is a plan view of an imprint apparatus according to a preferred embodiment of the present invention; 3 is a cross-sectional view of an imprint apparatus according to a preferred embodiment of the present invention; 4 is a cross-sectional view illustrating the operation of the imprint apparatus according to the preferred embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 임프린트장치는, 베이스 플레이트(110), 스테이지(120), 기판 플레이트(130), 기판(140), 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b), 가압롤(170), 에어실린더(180), 텐션유닛(190), UV램프(200)로 구성된다.1 to 4, an imprint apparatus according to the present invention includes a
여기서, 베이스 플레이트(110)는 스테이지(120)의 하부를 지지하는 플레이트이며, 스테이지(120)는 베이스 플레이트(110)의 상부에 설치되어, 기판(140)의 x,y,z 방향으로 회전시 구동축을 역할을 하며, 기판(140)의 위치를 정렬한다.Here, the
또한, 기판 플레이트(130)는 기판(140)을 올려놓기 위한 판으로써, 스테이지(120)의 상부에 장착되며, 기판 플레이트(130)에는 기판(140)을 고정시키기 위해 다수개의 진공홀(미도시)이 형성되며, 기판(140)은 진공흡착방식으로 기판 플레이트(130)에 고정된다.The
한편, 기판(140)은 기판 플레이트(130)의 상부에 장착되며, 본 발명의 바람직한 실시 예에서는 글라스나 플라스틱필름이 사용되는 것이 바람직하며, 기판(140)의 상부에는 수지(resin)가 일정 두께로 도포된다. The
또한, 몰드(150)는 스템프라고도 하며, 기판(140)의 상부에 설치되며, 소정형상의 패턴이 양각으로 돌출되도록 형성된다.Also, the
또한, 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)는 몰드(150)의 양측면에 설치되어, 몰드(150)를 기판(140)에 합착하거나 분리하기 위하여 상하방향으로 구동시킨다. 여기서, 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)는, 베이스 플레이트(110)에 설치되어, 구동력을 발생시키는 서보 모터(161)와, 서보 모터(161)의 구동력에 의해 스테이지(120)를 직선방향으로 이송시키도록 가이드하는 리니어 가이드(163)와, 리니어 가이드(163)의 외측면에 설치되어, 서보 모터(161)의 회전운동을 직선운동으로 바꾸어주는 볼 스크류(Ball screw)(165)로 구성된다. The first and second
또한, 가압롤(170)은 몰드(150)가 기판(140)에 근접한 상태에서 몰드(150)의 일측에서 타측방향으로 소정 압력으로 가압한다. 이때, 베이스 플레이트(110)의 상부에 장착된 스테이지(120)가 리니어 가이드(163) 방향으로 서보모터(161)의 구동에 의해 전진하며, 그때 기판(140)의 이송속도와 같은 속도로 가압롤(170)이 회전 및 이송하면서 기판(140)의 상부에 도포된 수지를 일측에서 타측방향으로 순자적으로 가압한다. 이때, 베이스 플레이트(110)의 하부에 설되된 UV 램프(200)가 조사되면서 레진을 경화시킬 수 있다. The
또한, 에어실린더(180)는 가압롤(170)의 일측에 설치되어 가압롤(170)을 상하방향으로 이송시키기 위한 구동력을 제공한다.The
한편, 텐션유닛(190)은 몰드(150)의 양측면에 설치된 제1 및 제2 몰드 클램프(151,152)에 고정되며, 기판(140)의 상부에 형성된 패턴의 파손을 최소화하면서 몰드(150)를 분리하기위해 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)의 구동에 따라 상하방향으로 이동된다.The
여기서, 텐션유닛(190)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)의 하부에 각각 고정된 상태로 일정 거리 연장되도록 설치되는 제1 및 제2 하부 슬라이드 플레이트(191,193)와, 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)의 상부에 각각 고정된 상태로 일정 거리 연장되도록 설치되며, 끝단부에 소정 직경의 제1 및 제2 관통공(192a,194a)이 각각 형성된 제1 및 제2 상부 슬라이드 플레이트(192,194)와, 제1 및 제2 하부 슬라이드 플레이트(191,193)가 각각 연장된 끝상단에 수직방향으로 각각 고정되며, 제1 및 제2 상부 슬라이드 플레이트(192,194)가 상하방향으로 이동이 가능하도록 제1 및 제2 관통공(192a,194a)에 각각 삽입 관통된 제1 및 제2 슬라이드 가이드(195,196)와, 제1 및 제2 상부 슬라이드 플레이트(192,194)의 하부에 위치하며, 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)와 제1 및 제2 슬라이드 가이드(195,196) 사이에 각각 고정되며, 제1 및 제2 몰드 클램프(151,152)에 각각 고정되는 제1 및 제2 텐션롤(197,198)로 구성된다. As shown in FIG. 5, the
또한, UV램프(200)는 베이스 플레이트(110)의 밑면에 설치되어, 기판(140)에 UV를 조사하여 기판(140)의 상부에 도포된 레진을 경화시킨다. The
이하에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 임프린트장치의 동작을 설명한다.Hereinafter, the operation of the imprint apparatus according to the preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
작업자는 먼저 기판(140)을 기판 플레이트(130)에 올려놓은 상태에서 공기를 흡입하는 방식으로 기판(140)을 흡착시켜 위치를 고정한다.The operator first fixes the position by sucking the
이어, 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)가 구동되면서 서보모터(161)는 몰드(150)의 하강위치를 제어하여 몰드(150)를 기판(140)에 합착되도록 하강시킨다.Subsequently, while the first and second
이 상태에서 에어실린더(180)가 가압롤(170)을 하강시키면서 몰드(150)의 상부면에 소정 압력을 인가할 수 있는데, 본 발명의 바람직한 실시 예에서는 0.1~5kg/cm2 범위내에서 압력이 인가된다.In this state, while the
이때, 도 6에 도시된 바와 같이, 스테이지(120)가 전,후방향으로 이송되는 동시에 가압롤(170) 또한 몰드(150)의 상부면의 일측에서 타측방향으로 회전하면서 순차적으로 가압한다. At this time, as shown in FIG. 6, the
이때, UV 램프(200)가 스테이지(120)의 하부에 고정되어 있어서, 스테이지(120)가 전후방향으로 이송되는 경우 UV 램프(200)도 같이 이송될 수 있으며, UV 램프(200)는 가압롤(170)이 접촉되는 레진부위만 경화시킨다. At this time, the
이와 같이 가압롤(170)을 이용한 몰드(150)의 가압동작이 완료되면, UV 램프(200)는 꺼지고, 에어실린더(180)의 구동력에 따라 가압롤(170)이 상부방향으로 상승한다.When the pressing operation of the
이어, 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b) 또한 상부방향으로 상승하는데, 도 6에 도시된 바와 같이, 텐션유닛(190)은 가압롤(170)의 동작 순서에 따라 해당 몰드 클램프(151,152)를 상하방향으로 이동시킨다. 6, the first and second
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형실시들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해돼서는 안 될 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the scope of the invention as defined by the appended claims. It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the present invention.
110 : 베이스플레이트 120 : 스테이지
130 : 기판 플레이트 140 : 기판
150 : 몰드 151,152 : 몰드 클램프
160 : 몰드 구동유니트 161 : 서보모터
163 : 리니어가이드 165 : 볼 스크류
170 : 가압롤 180 : 에어실린더
190 : 텐션장치
191,193 : 하부 슬라이드 플레이트
192,194 : 상부 슬라이드 플레이트
195,196 : 슬라이드 가이드
197,198 : 텐션롤 200 : UV 램프110: base plate 120: stage
130: substrate plate 140: substrate
150: Mold 151, 152: Mold clamp
160: Mold drive unit 161: Servo motor
163: Linear guide 165: Ball screw
170: pressure roll 180: air cylinder
190: tension device
191, 193: Lower slide plate
192, 194: upper slide plate
195,196: Slide guide
197,198: Tension roll 200: UV lamp
Claims (5)
상기 스테이지(120)의 상부에 장착되는 기판 플레이트(130)와;
상기 기판 플레이트(130)의 상부에 장착되는 기판(140)과;
상기 기판(140)의 상부에 설치되며, 소정형상의 패턴이 양각 또는 음각으로 형성된 몰드(150)와;
상기 몰드(150)의 양측면에 설치되어, 상기 몰드(150)를 상기 기판(140)에 붙이거나 떼기 위하여 상하방향으로 구동시키는 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)와;
상기 몰드(150)가 상기 기판(140)에 근접한 상태에서 상기 몰드(150)의 일측에서 타측으로 소정 압력으로 가압하는 가압롤(170)과;
상기 가압롤(170)의 일측에 설치되어 상기 가압롤(170)을 상하방향으로 이송시키도록 구동력을 제공하는 에어실린더(180)와;
상기 몰드(150)의 양측면에 설치된 제1 및 제2 몰드 클램프(151,152)에 고정되며, 상기 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)의 구동에 따라 상하방향으로 이동되는 텐션유닛(190)과;
상기 베이스 플레이트(110)의 밑면에 설치되어, 상기 기판(140)에 UV를 조사하는 UV램프(200)를 포함하여 구성되며;
상기 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)는,
상기 베이스 플레이트(110)에 설치되어, 구동력을 발생시키는 서보 모터(161)와;
상기 서보 모터(161)의 구동력에 의해 상기 스테이지(120)를 직선방향으로 이송시키도록 가이드하는 리니어 가이드(163)와;
상기 리니어 가이드(163)의 외측면에 설치되어, 상기 서보 모터(161)의 회전운동을 직선운동으로 바꾸어주는 볼 스크류(Ball screw)(165)로 구성되는 것을 특징으로 하는 임프린트장치.A stage 120 installed on the base plate 110 to align the positions of the substrates;
A substrate plate 130 mounted on top of the stage 120;
A substrate 140 mounted on top of the substrate plate 130;
A mold 150 provided on the substrate 140 and having a predetermined pattern formed at a convex or concave shape;
First and second mold driving units 160a and 160b installed on both sides of the mold 150 to vertically drive the mold 150 to attach or detach the mold 150 to the substrate 140;
A pressing roll 170 which presses the mold 150 at a predetermined pressure from one side of the mold 150 to the other side while the mold 150 is in proximity to the substrate 140;
An air cylinder 180 installed at one side of the pressure roll 170 to provide a driving force to vertically transmit the pressing roll 170;
A tension unit 190 fixed to the first and second mold clamps 151 and 152 provided on both sides of the mold 150 and moved in the vertical direction according to the driving of the first and second mold driving units 160a and 160b, )and;
And a UV lamp (200) installed on a bottom surface of the base plate (110) for irradiating the substrate (140) with UV light;
The first and second mold driving units 160a and 160b,
A servo motor 161 installed on the base plate 110 to generate a driving force;
A linear guide 163 guiding the stage 120 in a linear direction by a driving force of the servo motor 161;
And a ball screw (165) provided on an outer surface of the linear guide (163) for converting a rotational motion of the servo motor (161) into a linear motion.
상기 기판 플레이트(130)에는 상기 기판(140)을 고정시키기 위해 다수개의 진공홀이 형성되며, 상기 기판(140)은 진공흡착방식으로 고정되는 것을 특징으로 하는 임프린트장치.The method according to claim 1,
Wherein a plurality of vacuum holes are formed in the substrate plate for fixing the substrate, and the substrate is fixed by a vacuum adsorption method.
상기 텐션유닛(190)은,
상기 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)의 하부에 각각 고정된 상태로 일정 거리 연장되도록 설치되는 제1 및 제2 하부 슬라이드 플레이트(191,193)와;
상기 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)의 상부에 각각 고정된 상태로 일정 거리 연장되도록 설치되며, 끝단부에 소정 직경의 제1 및 제2 관통공(192a,194a)이 각각 형성된 제1 및 제2 상부 슬라이드 플레이트(192,194)와;
상기 제1 및 제2 하부 슬라이드 플레이트(191,193)가 각각 연장된 끝상단에 수직방향으로 각각 고정되며, 상기 제1 및 제2 상부 슬라이드 플레이트(192,194)가 상하방향으로 이동이 가능하도록 제1 및 제2 관통공(192a,194a)에 각각 삽입 관통된 제1 및 제2 슬라이드 가이드(195,196)와;
상기 제1 및 제2 상부 슬라이드 플레이트(192,194)의 하부에 위치하며, 상기 제1 및 제2 몰드 구동유니트(160a,160b)와 상기 제1 및 제2 슬라이드 가이드(195,196) 사이에 각각 고정되며, 상기 제1 및 제2 몰드 클램프(151,152)에 각각 고정되는 제1 및 제2 텐션롤(197,198)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 임프린트장치.The method according to claim 1,
The tension unit (190)
First and second lower slide plates 191 and 193 that are fixedly installed at a lower portion of the first and second mold driving units 160a and 160b and extend to a predetermined distance;
First and second through holes 192a and 194a having a predetermined diameter are formed at the ends of the first and second mold driving units 160a and 160b, First and second upper slide plates (192, 194);
The first and second lower slide plates 191 and 193 are fixed to the upper ends of the extended ends of the first and second lower slide plates 191 and 193, respectively. The first and second upper slide plates 192 and 194 are vertically movable. First and second slide guides (195, 196) inserted into the two through holes (192a, 194a), respectively;
The first and second upper slide plates 192 and 194 are fixed to the first and second mold driving units 160a and 160b and the first and second slide guides 195 and 196, And first and second tension rolls (197, 198) fixed to the first and second mold clamps (151, 152), respectively.
상기 가압롤(170)은 상기 몰드(150)의 상부면을 가압하는 경우, 상기 몰드(150)의 상부의 일측에서 타측 수평방향으로 순차적으로 가압을 실행하며, 상기 UV 램프(200)는 상기 가압롤(170)을 따라 이송되면서 상기 가압롤(170)과 접촉되는 기판(140)을 경화시키며; 상기 텐션유닛(190)은 상기 가압롤(170)의 동작 순서에 따라 해당 몰드 클램프(151,152)를 상하방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 임프린트장치.The method according to claim 1,
When the upper surface of the mold 150 is pressed, the pressure roll 170 sequentially pressurizes the mold 150 from one side of the upper side of the mold 150 to the other side in the horizontal direction, Curing the substrate 140 in contact with the pressing roll 170 while being conveyed along the roll 170; Wherein the tension unit (190) moves the mold clamps (151, 152) in the vertical direction according to the operation sequence of the pressing roll (170).
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