KR101652481B1 - 이중 슬릿 노즐를 이용한 약액 도포 장치 - Google Patents

Abstract

약액 도포 장치는 베이스 플레이트 상에 위치하여 세정액을 전달할 수 있는 세정액 전달 부재; 상기 세정액 전달 부재의 하부에 설치된 세정액 분사 노즐; 상기 베이스 플레이트의 하부 및 양측부에 설치되어 상기 세정액 분사 노즐을 커버하는 커버 부재; 및 상기 세정액 전달 부재의 전단부에서 상기 베이스 플레이트와 연결 부재를 통하여 연결되고 세정액 및 약액을 토출할 수 있는 이중 슬릿 노즐을 포함한다. 상기 이중 슬릿 노즐은 슬릿 토출구로 약액을 인도하는 약액 토출 유로를 가지며, 약액을 외부로 토출하는 약액 슬릿 노즐부; 상기 약액 슬릿 노즐부의 일측에 위치하고 상기 슬릿 토출구의 내부로 세정액을 인도하는 세정액 토출 유로를 가지며, 상기 슬릿 토출구의 내부를 세정하는 세정액 슬릿 노즐부; 및 상기 약액 슬릿 노즐부 및 세정액 슬릿 노즐부를 체결하는 슬릿 노즐 체결부를 포함한다.

Description

이중 슬릿 노즐를 이용한 약액 도포 장치{chemical coating apparatus using double slit nozzle}

본 발명은 약액 도포 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 약액 도포에 이용되는 이중 슬릿 노즐을 이용한 약액 도포 장치에 관한 것이다.

전자 소자의 제조에 있어서 액정용 유리 기판, 반도체 기판, 필름 액정용 플렉시블 기판, 포토 마스크용 기판, 컬러 필터용 기판, 태양 전지용 기판, 유기 EL용 기판 등(이하, 피처리 기판이라고 한다)의 표면에 약액(또는 슬러리), 예컨대 포토레지스트나 접착제 등을 도포하는 공정이 필요하다.

약액을 도포하는 약액 도포 장치는 약액을 도포하는 슬릿 노즐을 포함한다. 슬릿 노즐은 슬릿 형상의 슬릿 토출구로 약액을 토출한다. 그런데, 슬릿 노즐의 하부에 위치하는 슬릿 토출구는 도포 공정을 진행함에 따라서 약액의 점도로 인하여 슬릿 토출구에 약액이 적층 및 부착되어 구경이 작아지거나 심지어는 슬릿 토출구가 막힐 수 있다.

본 발명이 해결하려는 과제는 슬릿 토출구의 구경이 작아지거나 막히는 현상을 방지할 수 있는 이중 슬릿 노즐을 이용한 약액 도포 장치를 제공하는 데 있다.

삭제

상술한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치는 베이스 플레이트 상에 위치하여 세정액을 전달할 수 있는 세정액 전달 부재; 상기 세정액 전달 부재의 하부에 설치된 세정액 분사 노즐; 상기 베이스 플레이트의 하부 및 양측부에 설치되어 상기 세정액 분사 노즐을 커버하는 커버 부재; 및 상기 세정액 전달 부재의 전단부에서 상기 베이스 플레이트와 연결 부재를 통하여 연결되고 세정액 및 약액을 토출할 수 있는 이중 슬릿 노즐을 포함한다.
상기 이중 슬릿 노즐은, 이중 슬릿 노즐은 슬릿 토출구로 약액을 인도하는 약액 토출 유로를 가지며, 약액을 외부로 토출하는 약액 슬릿 노즐부; 상기 약액 슬릿 노즐부의 일측에 위치하고 상기 슬릿 토출구의 내부로 세정액을 인도하는 세정액 토출 유로를 가지며, 상기 슬릿 토출구의 내부를 세정하는 세정액 슬릿 노즐부; 및 상기 약액 슬릿 노즐부 및 세정액 슬릿 노즐부를 체결하는 슬릿 노즐 체결부를 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 약액 토출 유로는 약액 유입구와 연결되어 있고, 상기 약액 토출 유로는 약액 슬릿 노즐부의 내부에 설치된 제1 공간 영역을 포함할 수 있다. 상기 약액 토출 유로를 구성하는 제1 공간 영역은 상기 약액 유입구로부터 상기 슬릿 토출구 방향으로 다단의 계단 형태로 경사지게 구성되어 있을 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 세정액 슬릿 노즐부는,

상기 약액 슬릿 노즐부의 내측과 체결되고 상기 슬릿 토출구의 내부로 세정액을 인도하는 제1 세정액 토출 유로를 가지는 세정액 슬릿 노즐 본체부와, 상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 내측과 체결되고, 상기 제1 세정액 토출 유로와 연결되어 상기 세정액을 상기 슬릿 토출구의 내부로 인도하는 제2 세정액 토출 유로를 한정하는 슬릿 노즐 덮개부를 포함할 수 있다. 상기 제1 세정액 토출 유로는 세정액 유입구와 연결되어 있고, 상기 제1 세정액 토출 유로는 상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 내부에 설치된 제2 공간 영역을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 내측 하부는 상기 슬릿 토출구 방향으로 경사진 본체 경사부를 포함하고, 상기 슬릿 노즐 덮개부의 내측 하부는 상기 본체 경사부와 대응하여 덮개 경사부를 포함하고, 상기 제2 세정액 토출 유로는 상기 본체 경사부와 상기 덮개 경사부의 경계면일 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치는 베이스 플레이트 상에 위치하여 세정액을 전달할 수 있는 세정액 전달 부재; 상기 세정액 전달 부재의 하부에 설치된 세정액 분사 노즐; 상기 베이스 플레이트의 하부 및 양측부에 설치되어 상기 세정액 분사 노즐을 커버하는 커버 부재; 및 상기 세정액 전달 부재의 전단부에서 상기 베이스 플레이트와 연결 부재를 통하여 연결되고 세정액 및 약액을 토출할 수 있는 이중 슬릿 노즐을 포함한다.
상기 이중 슬릿 노즐은 하부에 길이 방향으로 토출 길이를 가지고 폭 방향으로 토출 폭을 가지는 슬릿 토출구로 상부의 약액 유입구로부터 약액을 인도하고 상기 토출 길이 방향으로 약액 토출 유로를 가지며, 약액을 외부로 토출하는 약액 슬릿 노즐부; 상기 약액 슬릿 노즐부와 체결되고 상기 슬릿 토출구의 내부로 세정액을 인도하는 세정액 토출 유로를 가지며, 상기 슬릿 토출구의 내부를 세정하는 세정액 슬릿 노즐부; 상기 약액 슬릿 노즐부 및 세정액 슬릿 노즐부를 체결하는 슬릿 노즐 체결부를 포함한다.
상기 세정액 슬릿 노즐부는, 상기 약액 슬릿 노즐부의 내측과 체결되고, 상부의 세정액 유입구로부터 상기 하부의 슬릿 토출구의 내부로 세정액을 인도하고 상기 토출 길이 방향으로 제1 세정액 토출 유로를 가지는 세정액 슬릿 노즐 본체부와, 상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 내측과 체결되고, 상기 제1 세정액 토출 유로의 하단부와 연결되어 상기 세정액을 상기 슬릿 토출구의 내부로 인도하고 상기 토출 길이 방향으로 제2 세정액 토출 유로를 한정하는 슬릿 노즐 덮개부를 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 약액 슬릿 노즐부의 내측에 상기 약액 토출 유로를 형성하고, 상기 약액 토출 유로는 상기 약액 슬릿 노즐부의 내부에 제1 공간 영역을 포함하고, 상기 제1 공간 영역은 상기 약액 유입구로부터 상기 슬릿 토출구 방향으로 다단의 계단 형태로 경사지게 구성되어 있을 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 외측은 상기 약액 슬릿 노즐부의 약액 토출 유로와 접하고, 상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 내측은 상기 세정액이 통과하는 제2 공간 영역이 설치되어 있을 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 슬릿 노즐 덮개부의 내측은 상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 제2 공간 영역과 접하고, 상기 슬릿 노즐 덮개부의 내측은 상기 제2 세정액 토출 유로를 한정할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치는 베이스 플레이트 상에 위치하여 세정액을 전달할 수 있는 세정액 전달 부재와, 상기 세정액 전달 부재의 하부에 설치된 세정액 분사 노즐과, 상기 베이스 플레이트의 하부 및 양측부에 설치되어 상기 세정액 분사 노즐을 커버하는 커버 부재와, 상기 세정액 전달 부재의 전단부에서 상기 베이스 플레이트와 연결 부재를 통하여 연결되고 세정액 및 약액을 토출할 수 있는 이중 슬릿 노즐을 포함한다.
상기 이중 슬릿 노즐은, 슬릿 토출구로 약액을 인도하는 약액 토출 유로를 가지며, 약액을 외부로 토출하는 약액 슬릿 노즐부; 상기 약액 슬릿 노즐부의 일측에 위치하고 상기 슬릿 토출구의 내부로 세정액을 인도하는 세정액 토출 유로를 가지며, 상기 슬릿 토출구의 내부를 세정하는 세정액 슬릿 노즐부; 및 상기 약액 슬릿 노즐부 및 세정액 슬릿 노즐부를 체결하는 슬릿 노즐 체결부를 포함한다. 상기 세정액 전달 부재에는 노즐 세정액 공급 라인이 연결되어 있고, 상기 노즐 세정액 공급 라인은 상기 이중 슬릿 노즐의 세정액 유입구와 연결되고, 상기 세정액 유입구에는 약액의 역류를 방지하는 체크 밸브가 설치되어 있다.

삭제

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 이중 슬릿 노즐에는 약액 유입구가 설치되어 있고, 상기 약액 유입구에는 약액을 공급하는 약액 공급 라인이 연결되어 있을 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 이중 슬릿 노즐은 연결 부재에 설치된 가이드홈을 통하여 수평 방향 및 회전 방향으로 이동할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치에 이용되는 이중 슬릿 노즐은 슬릿 토출구로 약액을 인도하는 약액 토출 유로를 가지는 약액 슬릿 노즐부와, 슬릿 토출구로 세정액을 인도하는 세정액 토출 유로를 가지는 세정액 슬릿 노즐부를 포함한다.

본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치에 이용되는 이중 슬릿 노즐은 세정액 슬릿 노즐부를 포함함으로써 슬릿 토출구에 약액이 적층되어 슬릿 토출구의 직경이 줄어들거나 막히더라도 세정액 슬릿 노즐부를 통하여 세정액을 유입하여 세정할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치는 세정액 전달 부재의 전단부에서 이중 슬릿 노즐을 연결하고, 노즐 세정액 공급 라인(626)에 체크 밸브(C/V)를 설치하여 노즐 세정액 공급 라인으로 역류하는 약액을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치의 이중 슬릿 노즐을 설명하기 위한 일부 단면도이다.
도 2는 도 1의 이중 슬릿 노즐의 분해 사시도이다.
도 3a 내지 도 3c는 도 2의 이중 슬릿 노즐을 구성하는 약액 슬릿 노즐부 및 세정액 슬릿 노즐부를 도시한 사시도들이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치의 이중 슬릿 노즐의 약액 및 세정액의 흐름을 설명하기 위하여 도시한 단면도이다.
도 4b는 도 4a와 비교를 위한 비교예의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 이중 슬릿 노즐을 포함하는 약액 도포 장치를 도시한 개략도이다.
도 6a 및 도 6b는 도 5의 이중 슬릿 노즐을 포함하는 약액 도포 장치의 약액 도포 공정 및 세정액 세정 공정을 설명하기 위한 도면이다.
도 7a 내지 7d는 본 발명의 일 실시예에 의한 이중 슬릿 노즐을 포함하는 약액 도포 장치를 도시한 도면들이다.
도 8a 내지 도 8e는 도 7a 내지 도 7d의 구성 부재들을 개별적으로 도시한 도면들이다.
도 9a 및 도 9b는 도 7a 내지 7d에 도시한 약액 도포 장치에 의한 이중 슬릿 노즐의 약액 및 세정액의 흐름을 설명하기 위하여 도시한 단면도이다.
도 10은 도 9a 및 도 9b의 약액 도포 장치의 약액 및 세정액의 흐름을 도시한 배관도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 기술적 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.

명세서 전체에 걸쳐서, 막, 영역 또는 기판 등과 같은 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "상에", "연결되어", 또는 "커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 상기 하나의 구성요소가 직접적으로 다른 구성요소 "상에", "연결되어", 또는 "커플링되어" 접촉하거나, 그 사이에 개재되는 또 다른 구성요소들이 존재할 수 있다고 해석될 수 있다. 반면에, 하나의 구성요소가 다른 구성요소 "직접적으로 상에", "직접 연결되어", 또는 "직접 커플링되어" 위치한다고 언급할 때는, 그 사이에 개재되는 다른 구성요소들이 존재하지 않는다고 해석된다. 동일한 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

본 명세서에서 제1, 제2등의 용어가 다양한 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들 및/또는 부분들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안됨은 자명하다. 이들 용어는 하나의 부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 다른 영역, 층 또는 부분과 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제1부재, 부품, 영역, 층 또는 부분은 본 발명의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제2부재, 부품, 영역, 층 또는 부분을 지칭할 수 있다.

또한, "상의" 또는 "위의" 및 "하의" 또는 "아래의"와 같은 상대적인 용어들은 도면들에서 도해되는 것처럼 다른 요소들에 대한 어떤 요소들의 관계를 기술하기 위해 여기에서 사용될 수 있다. 상대적 용어들은 도면들에서 묘사되는 방향에 추가하여 소자의 다른 방향들을 포함하는 것을 의도한다고 이해될 수 있다. 예를 들어, 도면들에서 소자가 뒤집어 진다면(turned over), 다른 요소들의 상부의 면 상에 존재하는 것으로 묘사되는 요소들은 상기 다른 요소들의 하부의 면 상에 방향을 가지게 된다. 그러므로, 예로써 든 "상의"라는 용어는, 도면의 특정한 방향에 의존하여 "하의" 및 "상의" 방향 모두를 포함할 수 있다. 소자가 다른 방향으로 향한다면(다른 방향에 대하여 90도 회전), 본 명세서에 사용되는 상대적인 설명들은 이에 따라 해석될 수 있다.

본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.

이하의 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다. 이하의 본 발명의 실시예들은 어느 하나로 구현될 수 있으며, 또한, 이하의 실시예들은 하나 이상을 조합하여 구현될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치의 이중 슬릿 노즐을 설명하기 위한 일부 단면도이고, 도 2는 도 1의 이중 슬릿 노즐의 분해 사시도이고, 도 3a 내지 도 3c는 도 2의 이중 슬릿 노즐을 구성하는 약액 슬릿 노즐부 및 세정액 슬릿 노즐부를 도시한 사시도들이다.

구체적으로, 이중 슬릿 노즐(100)은 약액, 예컨대 포토레지스트나 접착제를 토출하는 약액 슬릿 노즐부(110), 슬릿 토출구(106)에 접착되거나 적층된 약액을 세정하도록 세정액, 예컨대 유기 용매를 토출할 수 있는 세정액 슬릿 노즐부(150), 및 약액 슬릿 노즐부(110) 및 세정액 슬릿 노즐부(150)를 체결하는 슬릿 노즐 체결부(160)를 포함할 수 있다.

본 실시예에서, 이중 슬릿 노즐(100)은 두개의 슬릿 노즐부, 즉 약액을 토출하는 약액 슬릿 노즐부(110)와 세정액을 토출할 수 있는 세정액 슬릿 노즐부(150)를 별도로 구성되어 있는 것을 의미할 수 있다.

도 1에서, X축 방향은 약액이나 세정액을 토출하는 토출 길이 방향이고, Y축 방향은 약액이나 세정액을 토출하는 토출 폭 방향이고, Z축 방향은 약액이나 세정액이 상부에서 하부로 흐르는 방향일 수 있다. 슬릿 토출구(106)는 하부에 길이 방향으로 토출 길이를 가지고 폭 방향으로 토출 폭을 가질 수 있다.

약액 슬릿 노즐부(110)는 약액을 약액 공급부로부터 공급받아 슬릿 토출구(106)로 약액을 인도하는 약액 토출 유로(104)를 가질 수 있다. 약액 토출 유로(104)는 토출 길이 방향(X축 방향)으로 설치될 수 있다. 도 3a는 약액 슬릿 노즐부(110)를 도시한 것이다. 약액 토출 유로(104)는 약액 유입구(102)와 연결되어 있을 수 있다. 약액 유입구(102)는 약액을 공급받는 부분일 수 있다.

약액 토출 유로(104)는 약액 슬릿 노즐부(110)의 내측(도 2 및 도 3a의 107)에 설치될 수 있다. 약액 토출 유로(104)는 약액 슬릿 노즐부(110)의 내부에 설치된 제1 공간 영역(1S)을 포함할 수 있다. 약액 토출 유로(104)를 구성하는 제1 공간 영역(1S)은 약액 유입구(102)의 단면적보다 크게 구성할 수 있다. 제1 공간 영역(1S)의 단면적을 약액 유입구(102)의 단면적보다 크게 구성하여 약액을 원활하게 슬릿 토출구(106)로 이송하여 토출할 수 있다.

약액 토출 유로(104)를 구성하는 제1 공간 영역(1S)은 약액 유입구(102)로부터 슬릿 토출구(106) 방향으로 다단의 계단 형태로 경사지게 구성될 수 있다. 약액 토출 유로(104)를 구성하는 제1 공간 영역(1S)을 다단의 계단 형태로 구성할 경우 약액을 원활하게 슬릿 토출구(106)로 이송하여 토출할 수 있다.

세정액 슬릿 노즐부(150)는 약액 슬릿 노즐부(110)의 일측에 위치하고 슬릿 토출구(106)로 세정액을 인도하는 세정액 토출 유로(124, 126)를 가질 수 있다. 세정액 토출 유로(124, 126)는 토출 길이 방향(X축 방향)으로 설치될 수 있다. 세정액 슬릿 노즐부(150)는 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)와 슬릿 노즐 덮개부(140)를 포함할 수 있다. 도 3b는 세정액 슬릿 노즐부(150)를 구성하는 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)를 도시한 것이고, 도 3c는 세정액 슬릿 노즐부(150)를 구성하는 슬릿 노즐 덮개부(140)를 도시한 것이다.

세정액 슬릿 노즐 본체부(130)는 약액 슬릿 노즐부(110)의 내측(도 2 및 도 3a의 107)과 체결되고 슬릿 토출구(106)로 세정액을 인도하는 제1 세정액 토출 유로(124)를 포함할 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이 제1 세정액 토출 유로(124)는 토출 길이 방향(X축 방향)으로 설치될 수 있다. 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)의 외측(도 2 및 도 3b의 125)은 약액 슬릿 노즐부(110)의 내측(도 2 및 도 3a의 107)과 접하여 체결될 수 있다. 세정액 슬릿 노즐 본체부의 내측(도 2 및 도 3b의 127) 하부는 슬릿 토출구(106) 방향으로 경사진 본체 경사부(도 2 및 도 3b의 129)를 포함할 수 있다. 본 실시예에서, 약액 슬릿 노즐부(110)의 내측(도 2 및 도 3a의 107)은 약액이 통과하는 부분에 대응하여 설명한 것이다. 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)의 내측은 세정액이 통과하는 부분에 대응하여 설명한 것이다.

제1 세정액 토출 유로(124)는 세정액 유입구(122)와 연결되어 있을 수 있다. 세정액 유입구(122)는 세정액을 공급받는 부분일 수 있다. 제1 세정액 토출 유로(124)는 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)의 내부에 설치된 제2 공간 영역(2S)을 포함할 수 있다. 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)의 내측(도 2 및 도 3b의 127)은 세정액이 통과하는 제2 공간 영역(2S)이 설치되어 있을 수 있다.

제1 세정액 토출 유로(124)를 구성하는 제2 공간 영역(2S)은 세정액 유입구(122)의 단면적보다 크게 구성할 수 있다. 제2 공간 영역(2S)의 단면적을 세정액 유입구(122)의 단면적보다 크게 구성하여 세정액을 원활하게 슬릿 토출구(106)로 이송하여 토출할 수 있다.

슬릿 노즐 덮개부(140)는 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)의 내측(도 2 및 도 3b의 127)과 체결되고, 제1 세정액 토출 유로(124)와 연결되어 세정액을 슬릿 토출구(106)로 인도하는 제2 세정액 토출 유로(126)를 한정할 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이 제2 세정액 토출 유로(126)는 토출 길이 방향(X축 방향)으로 설치될 수 있다.

슬릿 노즐 덮개부(140)의 내측(도 2 및 도 3c의 144)은 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)의 내측(도 2 및 도 3b의 127)과 접하여 체결될 수 있다. 슬릿 노즐 덮개부(140)의 내측(도 2 및 도 3c의 144)은 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)의 제2 공간 영역(2S)과 접하고, 슬릿 노즐 덮개부(140)의 내측(도 2 및 도 3c의 144)은 제2 세정액 토출 유로(126)를 한정할 수 있다. 슬릿 노즐 덮개부(140)의 하단부는 약액 슬릿 노즐부(110)와 접하여 슬릿 토출구(106)를 한정할 수 있다.

슬릿 노즐 덮개부(140)의 내측(도 2 및 도 3c의 144) 하부는 세정액 슬릿 노즐 본체부의 본체 경사부(도 2 및 도 3b의 129)와 대응하여 덮개 경사부(도 2 및 도 3c의 142)를 포함할 수 있다. 제2 세정액 토출 유로(126)는 세정액 슬릿 노즐 본체부의 본체 경사부(도 2 및 도 3b의 129)와 덮개 경사부(도 2 및 도 3c의 142) 경계면일 수 있다. 본 실시예에서, 슬릿 노즐 덮개부(140)의 내측(도 2 및 도 3c의 144)은 세정액이 통과하는 부분에 대응하여 설명한 것이다.

슬릿 노즐 체결부(160)는 약액 슬릿 노즐부(110) 및 세정액 슬릿 노즐부(150)를 체결하는 부재일 수 있다. 슬릿 노즐 체결부(160)는 약액 슬릿 노즐부(110) 및 세정액 슬릿 노즐부(150)에 형성된 체결구(162)에 형성된 체결 수단일 수 있다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치의 이중 슬릿 노즐의 약액 및 세정액의 흐름을 설명하기 위하여 도시한 단면도이다.

구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치의 이중 슬릿 노즐(100)에서는 약액 공급부(170)로부터 약액 슬릿 노즐부(110)의 약액 유입구(102)로 약액(506)이 유입될 수 있다. 유입된 약액(506)은 약액 토출 유로(104)를 거쳐 슬릿 토출구(106)를 통하여 외부로 배출될 수 있다. 약액 토출 유로(104)는 앞서 설명한 바와 같이 약액 슬릿 노즐부(110)의 내부에 설치된 제1 공간 영역(1S)일 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치의 이중 슬릿 노즐(100)에서는 세정액 공급부(180)로부터 세정액 슬릿 노즐부(150)의 세정액 유입구(122)로 세정액(507)이 유입될 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이 세정액 슬릿 노즐부(150)는 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)와 슬릿 노즐 덮개부(140)를 포함할 수 있다.

유입된 세정액(507)은 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)와 슬릿 노즐 덮개부(140)에 의하여 한정된 제1 및 제2 세정액 토출 유로(124, 126)를 거쳐 슬릿 토출구(106)를 통하여 외부로 배출될 수 있다. 제1 세정액 토출 유로(124)는 앞서 설명한 바와 같이 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)의 내부에 설치된 제2 공간 영역(2S)일 수 있다.

이와 같이 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치의 이중 슬릿 노즐(100)에서는 슬릿 토출구(106)로 약액(506)을 인도하는 약액 토출 유로(104)를 가지는 약액 슬릿 노즐부(110)뿐만 아니라 슬릿 토출구(106)로 세정액(507)을 인도하는 세정액 토출 유로(124, 126)를 가지는 세정액 슬릿 노즐부(150)를 포함할 수 있다.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치의 이중 슬릿 노즐은 약액(506)의 점도로 인하여 슬릿 토출구(106)에 약액(506)이 적층 및 부착되어 슬릿 토출구(106)의 직경이 줄어들거나 막히더라도 세정액 슬릿 노즐부(150)를 통하여 세정액(507)을 유입하여 세정할 수 있다. 결과적으로, 본 발명의 일실시예에 의한 이중 슬릿 노즐(100)은 슬릿 토출구(106)의 직경이 줄어들거나 막히는 문제점을 해결할 수 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 이중 슬릿 노즐을 포함하는 약액 도포 장치를 도시한 개략도이고, 도 6a 및 도 6b는 도 5의 이중 슬릿 노즐을 포함하는 약액 도포 장치의 약액 도포 공정 및 세정액 세정 공정을 설명하기 위한 도면이다.

구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 의한 이중 슬릿 노즐(100)을 포함하는 약액 도포 장치(500)를 설명한다. 도 5에서, X축 방향은 약액이나 세정액을 토출하는 토출 길이 방향이고, Y축 방향은 약액이나 세정액을 토출하는 토출 폭 방향이고, Z축 방향은 약액이나 세정액이 상부에서 하부로 흐르는 방향일 수 있다. 슬릿 토출구(106)는 하부에 길이 방향으로 토출 길이를 가지고 폭 방향으로 토출 폭을 가질 수 있다.

약액 도포 장치(500)는 다양한 구성을 가질 수 있다. 약액 도포 장치(500)는 도 5에 도시한 바와 같이 이동 수단(518)을 이용하여 이중 슬릿 노즐(100)을 피처리 기판(504) 상에서 이동시키면서 피처리 기판(504) 상에 약액(506)의 도포 및 세정액(507)의 세정 공정을 수행할 수 있다. 물론, 이중 슬릿 노즐(100)이 고정된 상태에서 피처리 기판(504)이 탑재된 스테이지(502)를 이동시키면서 피처리 기판(504) 상에 약액(506)의 도포 및 세정액(507)의 세정 공정을 수행할 수도 있다.

약액 도포 장치(500)는 피처리 기판(504)을 지지하는 스테이지(502)를 포함할 수 있다. 피처리 기판(504) 상에는 피처리 기판(504)의 길이(또는 폭)만큼 길게 형성되고 피처리 기판(504)의 표면에 약액(506)을 일정 두께로 도포하는 슬릿 노즐(100)과, 슬릿 노즐(100)에 약액(506)을 공급하는 약액 공급부(170)를 포함할 수 있다.

약액 공급부(170)에서 공급되는 약액(506)은 약액 공급 라인(508, 512, 516)을 통하여 슬릿 노즐(100)의 약액 유입구(102)로 유입될 수 있다. 약액 공급부(170)로부터 유입된 약액(506)은 버퍼 탱크(510) 및 펌프(514)를 통하여 슬릿 노즐(100)의 약액 유입구(102)로 유입될 수 있다.

도 6a에 도시된 바와 같이 약액 공급 라인(508, 512, 516)에는 약액 온오프 밸브(526)가 설치될 수 있고, 도 6a에서는 약액 공급 라인(508, 512, 516)중 최종 약액 공급 라인(516)만을 편의상 도시한다. 약액 유입구(102)로 유입된 약액(506)은 약액 토출 유로(104, 1S)를 통하여 슬릿 토출구(106)를 거쳐 피처리 기판(504) 상에 도포될 수 있다.

약액 도포 장치(500)는 슬릿 노즐(100)에 세정액(507)을 공급하는 세정액 공급부(180)를 포함할 수 있다. 세정액 공급부(180)에서 공급되는 세정액(507)은 세정액 공급 라인(520, 522, 524)을 통하여 슬릿 노즐(100)의 세정액 유입구(122)로 유입될 수 있다. 세정액 공급부(180)로부터 유입된 세정액(507)은 버퍼 탱크(510) 및 펌프(514)를 통하여 슬릿 노즐(100)의 세정액 유입구(122)로 유입될 수 있다.

도 6b에 도시된 바와 같이 세정액 공급 라인(520, 522, 524)에는 세정액 온오프 밸브(528)가 설치될 수 있고, 도 6b에서는 세정액 공급 라인(520, 522, 524)중 최종 세정액 공급 라인(524)만을 편의상 도시한다. 세정액 유입구(122)로 유입된 세정액(507)은 세정액 토출 유로(204, 2S)를 통하여 슬릿 토출구(106)를 거쳐 외부로 배출될 수 있다.

본 발명의 일실시예에 의한 이중 슬릿 노즐(100)을 갖는 약액 도포 장치(500)는 앞서 설명한 바와 같이 슬릿 토출구(106)에 약액(506)이 적층 및 부착되어 슬릿 토출구(106)의 직경이 줄어들거나 막히더라도 세정액(507)을 유입하여 세정할 수 있다. 결과적으로, 본 발명의 일실시예에 의한 이중 슬릿 노즐(100)을 갖는 약액 도포 장치(500)는 슬릿 토출구(106)의 직경이 줄어들거나 막히는 문제점을 해결할 수 있다.

도 7a 내지 7d는 본 발명의 일 실시예에 의한 이중 슬릿 노즐을 포함하는 약액 도포 장치를 도시한 도면들이고, 도 8a 내지 도 8e는 도 7a 내지 도 7d의 구성 부재들을 개별적으로 도시한 도면들이다.

구체적으로, 도 7a는 약액 도포 장치(600)의 사시도이고, 도 7b는 약액 도포장치(600)를 아래에서 바라본 배면도이고, 도 7c는 약액 도포 장치(600)를 위에서 바라면 평면도이고, 도 7d는 커버 부재를 제거한 상태를 도시한 약액 도포 장치(600)의 사시도이다.

약액 도포 장치(600)는 베이스 플레이트(602), 세정액 전달 부재(606), 세정액 분사 노즐(608), 커버 부재(610) 및 이중 슬릿 노즐(100)을 포함할 수 있다. 베이스 플레이트(602)는 도 8a에 도시한 바와 같이 판형으로 구성되며, 내부에 복수개의 관통홀들(604)이 설치되어 있다.

베이스 플레이트(602) 상에는 수평 조절 부재(603)를 개재하여 세정액을 전달할 수 있는 세정액 전달 부재(606)가 설치될 수 있다. 세정액 전달 부재(606)는 도 7a, 7d 및 도 8b에 도시한 바와 같이 파이프 형태로 구성될 수 있다. 세정액 전달 부재(606)에는 세정액 공급 라인(644)을 통하여 세정액을 공급하는 세정액 공급부(180)가 연결될 수 있다. 다시 말해, 세정액 공급부(180)는 세정액 전달 부재(606)에 세정액을 공급할 수 있다. 세정액 공급 라인(644)에는 세정액의 공급을 온오프하는 밸브(601)가 설치될 수 있다.

세정액 전달 부재(606)의 하부에는 도 7d 및 도 8b에 도시한 바와 같이 세정액을 외부로 분사할 수 있는 세정액 분사 노즐(608)이 설치될 수 있다. 세정액 분사 노즐(608)은 세정액 전달 부재(606)에 서로 떨어져서 복수개 설치될 수 있다. 세정액 분사 노즐(608)은 세정액 전달 부재(606)의 맨 앞부분에도 설치될 수 있다. 세정액 분사 노즐(608)은 베이스 플레이트(602)의 관통홀(604)에 삽입되어 설치될 수 있다. 도 7d 및 도 8b에서 참조번호 612는 베이스 플레이트(602)에 세정액 분사 노즐을 체결할 수 있는 체결 부재를 나타낸다.

베이스 플레이트(602)의 하부 및 양측부에는 세정액 분사 노즐(608)을 커버하는 커버 부재(610)가 설치될 수 있다. 커버 부재(610)는 도 8d 및 8e에 도시한 바아 같이 양측벽들(614a, 614b) 및 양측벽들(614a, 614b) 상에 위치하는 상부벽(614c)을 포함할 수 있다. 상부벽(614c)에는 관통홀(616)이 형성될 수 있다. 관통홀(616)은 세정액 분사 노즐(608)이 설치되는 부분일 수 있다.

세정액 전달 부재(606)의 전단부에는 베이스 플레이트(602)와 연결 부재(618, 620)를 통하여 연결되고 세정액 및 약액을 토출할 수 있는 이중 슬릿 노즐(100)이 설치될 수 있다. 연결 부재(618, 620)는 도 8c에 도시한 연결 플레이트(618)와 연결핀(620)을 포함할 수 있다.

연결 플레이트(618)에는 도 8c에 도시한 바와 같이 제1 및 제2 가이드홈(622, 624)이 설치될 수 있다. 제1 가이드홈(622)은 복수개 설치될 수 있으며, 베이스 플레이트(602)와의 체결됨에 따라서 수평 방향으로 이중 슬릿 노즐(100)을 이동시킬 수 있다. 제2 가이드홈(624)은 연결핀(620)이 슬라이딩하여 이동함으로써 회전 방향으로 이중 슬릿 노즐(100)을 이동시킬 수 있다.

세정액 전달 부재(606)에는 노즐 세정액 공급 라인(626)이 연결되어 있다. 노즐 세정액 공급 라인(626)은 이중 슬릿 노즐(100)의 세정액 유입구(630)와 연결되고, 세정액 유입구(630)에는 약액의 역류를 방지하는 체크 밸브(C/V)가 설치되어 있다. 체크 밸브(C/V)는 세정액 전달 부재(606)에 세정액이 없을 경우 노즐 세정액 공급 라인(626)으로 역류하는 약액을 방지하기 위하여 설치될 수 있다.

이중 슬릿 노즐(100)에는 약액 유입구(632)가 설치되어 있고, 약액 유입구(632)에는 약액 공급 라인(640)이 연결되어 있고, 약액 공급 라인(640)은 약액 공급부(170)가 연결될 수 있다. 약액 공급부(170)는 약액 공급 라인(640)을 통하여 이중 슬릿 노즐(100)에 약액을 공급할 수 있다.

도 9a 및 도 9b는 도 7a 내지 7d에 도시한 약액 도포 장치에 의한 이중 슬릿 노즐의 약액 및 세정액의 흐름을 설명하기 위하여 도시한 단면도이고, 도 10은 도 9a 및 도 9b의 약액 도포 장치의 약액 및 세정액의 흐름을 도시한 배관도이다.

구체적으로, 도 9a 및 도 9b에서 도 4와 동일한 참조번호는 동일한 부재를 나타낸다. 도 9a 및 도 9b에서 도 4에서 설명한 내용은 간략히 설명하거나 생략한다. 이중 슬릿 노즐(100)에서는 약액 공급부(170)로부터 약액 공급 라인(640)을 통하여 슬릿 노즐부(110)의 약액 유입구(632)로 약액(506)이 유입될 수 있다. 필요에 따라서 약액 공급부(170)로부터 유입된 약액중 일부는 약액 배출 라인(642)를 통하여 약액 배출부(175)로 배출될 수 있다. 도 10에서, A/V는 약액의 흐름을 온오프하는 에어 밸브일 수 있다.

유입된 약액(506)은 약액 토출 유로(104)를 거쳐 슬릿 토출구(106)를 통하여 외부로 배출될 수 있다. 약액 토출 유로(104)는 약액 슬릿 노즐부(110)의 내부에 설치된 제1 공간 영역(1S)일 수 있다.

이중 슬릿 노즐(100)에서는 세정액 공급부(180)로부터 노즐 세정액 공급 라인(626)을 통하여 세정액 슬릿 노즐부(150)의 세정액 유입구(630)로 세정액(507)이 유입될 수 있다. 세정액 슬릿 노즐부(150)는 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)와 슬릿 노즐 덮개부(140)를 포함할 수 있다.

유입된 세정액(507)은 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)와 슬릿 노즐 덮개부(140)에 의하여 한정된 제1 및 제2 세정액 토출 유로(124, 126)를 거쳐 슬릿 토출구(106)를 통하여 외부로 배출될 수 있다. 제1 세정액 토출 유로(124)는 세정액 슬릿 노즐 본체부(130)의 내부에 설치된 제2 공간 영역(2S)일 수 있다.

노즐 세정액 공급 라인(626)에는 약액의 역류를 방지하는 체크 밸브(C/V)가 설치되어 있다. 체크 밸브(C/V)는 노즐 세정액 공급 라인(626)에 설치되거나, 필요에 따라서 이중 슬릿 노즐(100)에 바로 설치될 수도 있다. 체크 밸브(C/V)는 세정액 전달 부재(606)에 세정액이 없을 경우 노즐 세정액 공급 라인(626)으로 역류하는 약액을 방지하기 위하여 설치될 수 있다.

이와 같이 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치(600)는 이중 슬릿 노즐(100)을 포함하여 슬릿 토출구(106)에 약액(506)이 적층 및 부착되어 슬릿 토출구(106)의 직경이 줄어들거나 막히더라도 세정액 슬릿 노즐부(150)를 통하여 세정액(507)을 유입하여 세정할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 의한 약액 도포 장치(600)는 노즐 세정액 공급 라인(626)에 체크 밸브(C/V)를 설치하여 노즐 세정액 공급 라인(626)으로 역류하는 약액을 방지할 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 개략적으로 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.

본 발명을 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형, 치환 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해하여야 한다. 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

100: 이중 슬릿 노즐, 102: 약액 유입구, 104: 약액 토출 유로, 106: 슬릿 토출구, 110: 약액 슬릿 노즐부, 122: 세정액 유입구, 124, 126: 세정액 토출 유로, 130: 세정액 슬릿 노즐 본체부, 140: 슬릿 덮개부, 150: 세정액 슬릿 노즐부, 160: 슬릿 노즐 체결부

Claims (14)

1. 베이스 플레이트 상에 위치하여 세정액을 전달할 수 있는 세정액 전달 부재;
   상기 세정액 전달 부재의 하부에 설치된 세정액 분사 노즐;
   상기 베이스 플레이트의 하부 및 양측부에 설치되어 상기 세정액 분사 노즐을 커버하는 커버 부재; 및
   상기 세정액 전달 부재의 전단부에서 상기 베이스 플레이트와 연결 부재를 통하여 연결되고 세정액 및 약액을 토출할 수 있는 이중 슬릿 노즐을 포함하되,
   상기 이중 슬릿 노즐은,
   슬릿 토출구로 약액을 인도하는 약액 토출 유로를 가지며, 약액을 외부로 토출하는 약액 슬릿 노즐부;
   상기 약액 슬릿 노즐부의 일측에 위치하고 상기 슬릿 토출구의 내부로 세정액을 인도하는 세정액 토출 유로를 가지며, 상기 슬릿 토출구의 내부를 세정하는 세정액 슬릿 노즐부; 및
   상기 약액 슬릿 노즐부 및 세정액 슬릿 노즐부를 체결하는 슬릿 노즐 체결부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 약액 토출 유로는 약액 유입구와 연결되어 있고, 상기 약액 토출 유로는 약액 슬릿 노즐부의 내부에 설치된 제1 공간 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 약액 토출 유로를 구성하는 제1 공간 영역은 상기 약액 유입구로부터 상기 슬릿 토출구 방향으로 다단의 계단 형태로 경사지게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
4. 제1항에 있어서, 상기 세정액 슬릿 노즐부는,
   상기 약액 슬릿 노즐부의 내측과 체결되고 상기 슬릿 토출구의 내부로 세정액을 인도하는 제1 세정액 토출 유로를 가지는 세정액 슬릿 노즐 본체부와,
   상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 내측과 체결되고, 상기 제1 세정액 토출 유로와 연결되어 상기 세정액을 상기 슬릿 토출구의 내부로 인도하는 제2 세정액 토출 유로를 한정하는 슬릿 노즐 덮개부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 제1 세정액 토출 유로는 세정액 유입구와 연결되어 있고, 상기 제1 세정액 토출 유로는 상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 내부에 설치된 제2 공간 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
6. 제4항에 있어서, 상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 내측 하부는 상기 슬릿 토출구 방향으로 경사진 본체 경사부를 포함하고, 상기 슬릿 노즐 덮개부의 내측 하부는 상기 본체 경사부와 대응하여 덮개 경사부를 포함하고, 상기 제2 세정액 토출 유로는 상기 본체 경사부와 상기 덮개 경사부의 경계면인 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
7. 베이스 플레이트 상에 위치하여 세정액을 전달할 수 있는 세정액 전달 부재;
   상기 세정액 전달 부재의 하부에 설치된 세정액 분사 노즐;
   상기 베이스 플레이트의 하부 및 양측부에 설치되어 상기 세정액 분사 노즐을 커버하는 커버 부재; 및
   상기 세정액 전달 부재의 전단부에서 상기 베이스 플레이트와 연결 부재를 통하여 연결되고 세정액 및 약액을 토출할 수 있는 이중 슬릿 노즐을 포함하되,
   상기 이중 슬릿 노즐은,
   하부에 길이 방향으로 토출 길이를 가지고 폭 방향으로 토출 폭을 가지는 슬릿 토출구로 상부의 약액 유입구로부터 약액을 인도하고, 상기 토출 길이 방향으로 약액 토출 유로를 가지며, 약액을 외부로 토출하는 약액 슬릿 노즐부;
   상기 약액 슬릿 노즐부와 체결되고 상기 슬릿 토출구의 내부로 세정액을 인도하는 세정액 토출 유로를 가지며, 상기 슬릿 토출구의 내부를 세정하는 세정액 슬릿 노즐부; 및
   상기 약액 슬릿 노즐부 및 세정액 슬릿 노즐부를 체결하는 슬릿 노즐 체결부를 포함하고
   상기 세정액 슬릿 노즐부는,
   상기 약액 슬릿 노즐부의 내측과 체결되고, 상부의 세정액 유입구로부터 상기 하부의 슬릿 토출구의 내부로 세정액을 인도하고 상기 토출 길이 방향으로 제1 세정액 토출 유로를 가지는 세정액 슬릿 노즐 본체부와,
   상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 내측과 체결되고, 상기 제1 세정액 토출 유로의 하단부와 연결되어 상기 세정액을 상기 슬릿 토출구의 내부로 인도하고 상기 토출 길이 방향으로 제2 세정액 토출 유로를 한정하는 슬릿 노즐 덮개부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
8. 제7항에 있어서, 상기 약액 슬릿 노즐부의 내측에 상기 약액 토출 유로를 형성하고, 상기 약액 토출 유로는 상기 약액 슬릿 노즐부의 내부에 제1 공간 영역을 포함하고, 상기 제1 공간 영역은 상기 약액 유입구로부터 상기 슬릿 토출구 방향으로 다단의 계단 형태로 경사지게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
9. 제7항에 있어서, 상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 외측은 상기 약액 슬릿 노즐부의 약액 토출 유로와 접하고, 상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 내측은 상기 세정액이 통과하는 제2 공간 영역이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
10. 제9항에 있어서, 상기 슬릿 노즐 덮개부의 내측은 상기 세정액 슬릿 노즐 본체부의 제2 공간 영역과 접하고, 상기 슬릿 노즐 덮개부의 내측은 상기 제2 세정액 토출 유로를 한정하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
11. 베이스 플레이트 상에 위치하여 세정액을 전달할 수 있는 세정액 전달 부재;
    상기 세정액 전달 부재의 하부에 설치된 세정액 분사 노즐;
    상기 베이스 플레이트의 하부 및 양측부에 설치되어 상기 세정액 분사 노즐을 커버하는 커버 부재; 및
    상기 세정액 전달 부재의 전단부에서 상기 베이스 플레이트와 연결 부재를 통하여 연결되고 세정액 및 약액을 토출할 수 있는 이중 슬릿 노즐을 포함하되,
    상기 이중 슬릿 노즐은,
    슬릿 토출구로 약액을 인도하는 약액 토출 유로를 가지며, 약액을 외부로 토출하는 약액 슬릿 노즐부;
    상기 약액 슬릿 노즐부의 일측에 위치하고 상기 슬릿 토출구의 내부로 세정액을 인도하는 세정액 토출 유로를 가지며, 상기 슬릿 토출구의 내부를 세정하는 세정액 슬릿 노즐부; 및
    상기 약액 슬릿 노즐부 및 세정액 슬릿 노즐부를 체결하는 슬릿 노즐 체결부를 포함하고,
    상기 세정액 전달 부재에는 노즐 세정액 공급 라인이 연결되어 있고,
    상기 노즐 세정액 공급 라인은 상기 이중 슬릿 노즐의 세정액 유입구와 연결되고, 상기 세정액 유입구에는 약액의 역류를 방지하는 체크 밸브가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
12. 삭제
13. 제11항에 있어서, 상기 이중 슬릿 노즐에는 약액 유입구가 설치되어 있고, 상기 약액 유입구에는 약액을 공급하는 약액 공급 라인이 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
14. 제11항에 있어서, 상기 이중 슬릿 노즐은 연결 부재에 설치된 가이드홈을 통하여 수평 방향 및 회전 방향으로 이동할 수 있는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.

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