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KR101629704B1 - 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치 및 리크 검사방법 - Google Patents

라인 레이저를 이용한 리크 검사장치 및 리크 검사방법 Download PDF

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KR101629704B1
KR101629704B1 KR1020150154478A KR20150154478A KR101629704B1 KR 101629704 B1 KR101629704 B1 KR 101629704B1 KR 1020150154478 A KR1020150154478 A KR 1020150154478A KR 20150154478 A KR20150154478 A KR 20150154478A KR 101629704 B1 KR101629704 B1 KR 101629704B1
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KR
South Korea
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leakage
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KR1020150154478A
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English (en)
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김병순
Original Assignee
주식회사 나노하이테크
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Abstract

본 발명은 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치에 관한 것으로서, 베이스부 및 상기 베이스부 일측에 설치되고 상부가 개방되어 내부에 수용공간이 형성되며 일측면이 개방된 챔버본체와, 상기 챔버본체 상부에 상하 이동 가능하게 설치되고 일측에 투시창이 형성된 상부커버와, 상기 베이스부 일측과 상기 상부커버 저면 일측 간에 설치되어 상기 상부커버에 상기 챔버본체 상하 방향으로 이동력을 제공하는 상하 이동력 제공수단을 포함하는 챔버 및 상기 챔버본체의 개방된 일측면을 통해 상기 수용공간 내외측 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 상면에 함몰된 검사공간이 형성되며, 상기 검사공간 내에 상기 검사대상물이 안착되는 안착면이 형성되고, 상기 상부커버의 저면과 밀착되는 상면에 둘레방향을 따라 상기 검사공간과 외부 간을 밀폐하는 밀폐부재가 설치되는 안착부 및 상기 검사공간과 연통되도록 설치되고, 상기 검사공간의 내부공기를 외부로 배출하여 상기 검사공간을 진공압 상태로 유도하는 진공 유도부 및 상기 베이스부의 다른 일측에 설치되고, 상기 챔버의 일측 방향을 따라 이동 가능하게 설치되는 이송부 및 상기 이송부 일측에 설치되고, 상기 검사공간이 대기압인 상태에서 상기 검사대상물의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 상기 검사대상물의 각 검사영역의 제 1 높이정보를 산출하며, 상기 검사공간이 진공압으로 유도된 상태에서 상기 검사대상물의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 상기 검사대상물의 각 검사영역의 제 2 높이정보를 산출하는 라인 레이저 조사부 및 상기 산출된 제 1 높이정보와 제 2 높이정보를 비교하여 상기 검사대상물의 각 검사영역의 리크 발생여부를 검사하는 리크 검사부를 포함하여 이루어진다.
상기와 같은 본 발명에 의하면, 라인 레이저로 측정된 검사대상물의 각 검사영역의 미세한 높이변화를 이용하여 검사대상물의 각 검사영역의 리크 발생여부를 검사하므로 리크 발생시 미세한 압력변화가 발생되는 검사대상물의 리크 발생여부를 보다 정확하게 검사할 수 있다.

Description

라인 레이저를 이용한 리크 검사장치 및 리크 검사방법{Leakage Test Device Using Line Laser and Leakage Test Method Thereof}
본 발명은 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치 및 리크 검사방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 라인 레이저로 측정된 검사대상물의 각 검사영역의 미세한 높이변화를 이용하여 검사대상물의 각 검사영역의 리크 발생여부를 보다 정확하게 검사할 수 있도록 한 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치 및 리크 검사방법에 관한 것이다.
일반적으로 의약품, 진단시약 및 가공식품 등의 제품들은 외부요인으로 인해 변질되는 것을 방지하기 위해 비닐이나 캔에 수용되어 밀폐된 상태로 소비자에게 공급된다.
위와 같은 제품은 그 구조적인 특성상 제작 과정에서 미세한 핀 홀이 발생되거나 접합부의 불량으로 인해 기밀 상태가 해제되어 제품에 리크(leak)가 발생할 수 있으므로 이에 대한 신뢰성 테스트가 매우 중요하다.
이러한 이유로 종래에는 제품의 기밀 상태를 검사하기 위해 외부와 차단된 일정 크기의 진공 챔버, 상기 진공 챔버 내부를 진공 상태로 유도하기 위한 진공펌프 및 상기 진공 챔버 내부의 진공압 변화를 감지하기 위한 압력센서로 이루어진 진공 리크 검사장치를 이용하여 제품의 기밀 상태를 검사하고 있다.
상기한 종래의 진공 리크 검사장치는 진공펌프를 통해 검사 대상 제품이 수용된 진공 챔버 내부를 진공 상태로 유도하여 일정 시간 동안 유지한 상태에서 압력센서를 통해 진공챔버 내부의 진공압의 변화가 검출되지 않으면 검사 대상 제품에 리크가 발생하지 않는다고 판단하고, 반대로 압력센서를 통해 진공 챔버 내부의 진공압의 변화가 검출되면 검사 대상 제품의 리크가 발생한 것으로 판단하게 된다.
그러나, 상기한 종래의 진공 리크 검사장치는 리크 발생 시 압력변화가 아주 미세하게 발생되는 단면적이 적은 알약 또는 스틱(Stick) 형태의 소형 포장 제품에 적용할 경우, 압력센서를 통해 진공 챔버 내부의 진공압의 변화를 검출하기 어려워 해당 제품의 리크 발생여부를 정확하게 검출할 수 없는 문제점이 발생한다.
한국공개특허 제 2013-0027151호 “파우치 셀의 리크 테스트 장치”
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 라인 레이저로 측정된 검사대상물의 각 검사영역의 미세한 높이변화를 이용하여 검사대상물의 각 검사영역의 리크 발생여부를 검사할 수 있도록 한 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치 및 리크 검사방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따르면, 리크 발생시 압력변화가 미세하게 발생하는 검사대상물의 리크 발생여부를 검사하기 위한 장치에 있어서, 베이스부 및 상기 베이스부 일측에 설치되고 상부가 개방되어 내부에 수용공간이 형성되며 일측면이 개방된 챔버본체와, 상기 챔버본체 상부에 상하 이동 가능하게 설치되고 일측에 투시창이 형성된 상부커버와, 상기 베이스부 일측과 상기 상부커버 저면 일측 간에 설치되어 상기 상부커버에 챔버본체 상하 방향으로 이동력을 제공하는 상하 이동력 제공수단을 포함하는 챔버 및 상기 챔버본체의 개방된 일측면을 통해 상기 수용공간 내외측 방향으로 이동 가능하게 설치되고 상면에 함몰된 검사공간이 형성되며 상기 검사공간 내에 상기 검사대상물의 안착되는 안착면이 형성되고 상기 상부커버의 저면과 밀착되는 상면에 둘레방향을 따라 상기 검사공간과 외부 간을 밀폐하는 밀폐부재가 설치되는 안착부 및 상기 검사공간과 연통되도록 설치되고, 상기 검사공간의 내부공기를 외부로 배출하여 상기 검사공간을 진공압 상태로 유도하는 진공 유도부 및 상기 베이스부의 다른 일측에 설치되고, 상기 챔버의 일측 방향을 따라 이동 가능하게 설치되는 이송부 및 상기 이송부 일측에 설치되고, 상기 검사공간이 대기압인 상태에서 상기 검사대상물의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 상기 검사대상물의 각 검사영역의 제 1 높이정보를 산출하며, 상기 검사공간이 진공압으로 유도된 상태에서 상기 검사대상물의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 상기 검사대상물의 각 검사영역의 제 2 높이정보를 산출하는 라인 레이저 조사부 및 상기 산출된 제 1 높이정보와 제 2 높이정보를 비교하여 상기 검사대상물의 각 검사영역의 리크 발생여부를 검사하는 리크 검사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치가 제공된다.
여기서, 상기 리크 검사부는 상기 검사대상물의 각 검사영역의 대응되는 상기 제 1 높이정보와 제 2 높이정보의 차가 미리 설정된 값 이하인 경우, 상기 검사대상물의 각 검사영역에 리크가 발생한 것으로 판단하고, 상기 검사대상물의 각 검사영역에 대응되는 상기 제 1 높이정보와 제 2 높이정보의 차 중 어느 하나가 미리 설정된 값을 초과하는 경우, 상기 검사대상물의 각 검사영역에 리크가 발생하지 않은 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 레이저 조사부 일측에 설치되고, 상기 검사대상물의 평면영상을 촬영하는 영상촬영부 및 상기 영상촬영부로부터 제공된 상기 검사대상물의 평면영상을 화면으로 출력하는 디스플레이부를 더 포함하고, 상기 리크 검사부는 상기 평면영상에 리크가 발생된 검사대상물의 검사영역을 표시하여 사용자에게 시각적으로 제공하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 안착 플레이트는 상기 챔버의 외면 일측에 삽입되어 상기 챔버의 내외측 방향으로 이동 가능하게 설치되는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 안착 플레이트는 상면 일측에 둘레방향을 따라 상기 검사공간과 외부를 밀폐하기 위한 밀폐부재가 더 설치되는 것을 특징으로 한다.
제 1 항 기재의 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치를 이용한 리크 검사방법에 있어서, 상기 안착부의 안착면에 상기 검사대상물을 안착시키는 검사대상물 안착단계 및 상기 라인 레이저 조사부를 이용하여 상기 검사대상물의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 상기 검사대상물의 각 검사영역의 제 1 높이정보를 산출하는 제 1 높이정보 산출단계 및 진공 유도부를 통해 상기 검사공간의 내부공기를 외부로 배출하여 상기 검사공간을 진공압 상태로 유도하는 진공압 유도단계 및 상기 라인 레이저 조사부를 이용하여 상기 검사대상물의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 상기 검사대상물의 각 검사영역의 제 2 높이정보를 산출하는 제 2 높이정보 산출단계 및 상기 리크 검사부가 상기 산출된 검사대상물의 각 검사영역의 제 1 높이정보와 제 2 높이정보를 비교하여 검사대상물의 각 검사영역의 리크 발생여부를 검출하는 리크 검사단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 라인 레이저를 이용한 리크 검사방법이 제공된다.
상기와 같은 본 발명에 의하면, 라인 레이저로 측정된 검사대상물의 각 검사영역의 미세한 높이변화를 이용하여 검사대상물의 각 검사영역의 리크 발생여부를 검사하므로 리크 발생시 미세한 압력변화가 발생되는 검사대상물의 리크 발생여부를 보다 정확하게 검사할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치의 부분 분해사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치의 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치의 디스플레이부를 개략적으로 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치의 검사공정을 개략적으로 도시한 것이다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 어느 곳에서든지 동일한 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 또한 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치의 사시도이다, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치의 부분 분해사시도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치의 평면도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치의 측면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치(1)는 리크 발생시 압력변화가 미세하게 발생되는 검사대상물(P)의 검사영역의 리크 발생여부를 검사하기 위한 것으로서, 베이스부(10), 챔버(20), 안착부(30), 진공 유도부(미도시), 이송부(40), 레이저 조사부(50) 및 리크 검사부(미도시)를 포함하여 이루어진다.
이하 본 실시예에서는 검사대상물(P)을 일면에 알약이 수용되는 복수개의 포켓이 일정 간격 이격되게 형성되고, 복수개의 포켓을 밀폐하는 커버가 형성된 블리스트 팩을 일예로 설명하기로 한다.
그리고, 검사영역은 블리스트 팩의 포켓과 대응되는 영역의 커버면을 의미한다.
베이스부(10)는 대략 직사각형의 플레이트 형상으로 형성되고, 설치 대상영역에 설치되어 후술하는 챔버(20), 안착부(30), 진공 유도부(미도시), 이송부(40), 레이저 조사부(50)의 설치영역을 제공한다.
챔버(20)는 후술하는 안착부(30)가 수용되는 영역을 제공하는 것으로서, 챔버본체(21), 상부커버(22) 및 상하이동력 제공수단(23)을 포함한다.
챔버본체(21)는 상부가 개방된 직육면체 형상으로 형성되고, 내부에 수용공간(S1)이 형성되며, 일측면이 개방되어 후술하는 안착부(30)를 수용공간(S1)에 수용하기 위한 영역을 제공한다.
상부커버(22)는 직사각형의 플레이트 형상으로 형성되고, 일측에 투시창(22a)이 형성되며, 챔버본체(21) 상부에 상하 이동가능하게 설치된다.
이러한 상부커버(22)는 챔버본체(21)의 개방된 일측면을 통해 후술하는 안착부(30)를 수용하는 경우 안착부(30)를 챔버본체(21)의 수용공간(S1)에 용이하게 유입할 수 있도록 상부 방향으로 이동하고, 안착부(30)가 챔버본체(21)의 수용공간(S1)에 수용되면 하방으로 이동하여 챔버본체(21)의 상부에 밀착됨과 동시에 안착부(30)의 상면 일측에 밀착되어 후술하는 안착부(30)의 안착면(31) 상부에 형성되는 검사공간(S2)을 밀폐하는 역할을 한다.
상하 이동력 제공수단(23)은 베이스부(10) 일측과 상부커버(22) 저면 일측 간에 설치되어 상부커버(22)에 챔버본체(21)의 상하 방향으로 이동력을 제공하기 위한 것으로서, 일반적으로 공지된 실린더 구조가 사용될 수 있다.
안착부(30)는 검사대상물(P)이 안착되는 영역을 제공하는 것으로서, 직사각형의 플레이트 형상으로 형성되고, 상면 일측에 함몰된 검사공간(S2)이 형성되며, 검사공간(S2)이 형성된 내저면에 검사대상물(P)이 안착되는 안착면(31)이 형성된다.
그리고, 안착부(30)는 챔버본체(21)의 개방된 일측면을 통해 챔버본체(21)의 내외측 방향으로 이동 가능하게 설치된다.
또한, 본 실시예에서 안착부(30)는 검사대상물(P)인 블리스트 팩의 포켓을 수용할 수 있도록 안착면(31)에 블리스트 팩의 포켓과 대응되는 복수개의 수용홈(31a)이 일정 간격 이격되게 형성된다.
아울러, 안착부(30)는 상부 커버(22)와 밀착되는 상면 일측에 둘레방향을 따라 검사공간(S2)과 외부를 밀폐하는 유동성이 있는 재질의 밀폐부재(32)가 설치되는 것이 바람직하다.
진공 유도부(미도시)는 안착부(30) 상부에 형성되는 검사공간(S2)과 연통되도록 설치되고, 검사공간(S2)의 내부공기를 외부로 배출하여 검사공간(S2)을 진공상태로 유도하는 역할을 한다.
이송부(40)는 후술하는 라인 레이저 조사부(50)를 챔버(20)의 일측 방향을 따라 이동시키기 위한 수단으로서, 지지프레임(41), 이송바(42), 이송블럭(43), 회전력 전달수단(44), 회전력 제공수단(45) 및 케이블체인(46)을 포함한다.
지지프레임(41)은 일단이 베이스부(10)의 다른 일측에 챔버(20)의 일측 방향을 따라 이동 가능하게 설치되고 타단이 챔버(20) 방향으로 상향 경사지게 설치되는 수직지지대(41a)와, 수직지지대(41a)의 타단으로부터 챔버(20) 방향으로 수평하게 연장형성되는 수평지지대(41b)를 포함하여 이루어지며, 수평지지대(41b)의 타단부 저면에 후술하는 라인 레이저 조사부(50)가 설치된다.
그리고, 지지프레임(41)의 수직지지대(41a)의 이동 구조는 일반적으로 공지된 LM 가이드 구조가 사용될 수 있다.
이송바(42)는 지지프레임(41)과 인접한 베이스부의 일측에 지지프레임(41)의 이송방향을 따라 설치되며, 외주면에 스크류 타입의 나사산이 형성된다.
이송블럭(43)은 일측이 지지프레임(41)의 수직지지대(41a) 일측에 고정결합되고, 타측이 이송바(42)에 관통결합되되, 관통결합된 내주면에 이송바(42)의 외주면에 형성된 나사산과 대응되는 나사산이 형성되어 이송바(42)의 외주면에 이동 가능하게 나사결합된다.
회전력 제공수단(44)은 이송바(42)에 회전력을 제공하기 위한 것으로서, 일반적으로 공지된 모터가 사용될 수 있다.
회전력 전달수단(45)은 회전력 제공수단(44)의 회전력을 이송바(42)에 전달하기 위한 것으로서, 회전력 제공수단(44)의 회전축에 결합되는 구동풀리(45a), 이송바(42)에 결합되는 종동풀리(45b) 및 구동풀리(45a)와 종동풀리(45b) 간에 권취되는 벨트부재(45c)를 포함하여 이루어질 수 있다.
케이블 체인(46)은 일단이 베이스부(10)의 상면 일측에 결합되고, 타단이 이송블럭(43)의 일측에 결합되어 지지프레임(41)이 일측 방향으로 이동하는 경우, 이를 가이드하는 역할을 한다.
위와 같은 이송부(40)는 회전력 제공수단(44)이 구동되면 회전력 전달수단(45)에 의해 회전력 제공수단(44)의 회전력을 이송바(42)에 전달하고, 이송바(42)의 회전에 의해 이송블럭(43)이 챔버(20)의 일측방향을 따라 이동함에 따라 지지프레임(41)이 이송블럭(43)과 함께 동반 이동하게 된다.
라인 레이저 조사부(50)는 이송부(40)의 지지프레임(41) 중 수평지지대(41b) 저면 일측에 결합되고, 이송부(40)와 함께 챔버(20)의 일측 방향을 따라 동반 이동하면서 검사공간(S2)이 대기압인 상태에서 검사대상물(P)의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 검사대상물(P)의 각 검사영역의 제 1 높이정보를 산출하고, 검사공간(S2)이 진공압으로 유도된 상태에서 검사대상물(P)의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 검사대상물(P)의 각 검사영역의 제 2 높이정보를 산출한다.
이러한 라인 레이저 조사부(50)는 검사대상물(P)의 검사영역으로 선형의 레이저를 조사하는 발광부와 검사대상물(P)의 검사영역으로부터 반사되는 선형의 레이저를 수신하는 수광부를 포함하는 구조로 이루어질 수 있다.
리크 검사부(미도시)는 라인 레이저 조사부(50)로부터 산출된 검사대상물(P)의 각 검사영역의 제 1 높이정보와 제 2 높이정보를 비교하여 검사대상물(P)의 각 검사영역의 리크 발생여부를 검사하는 역할을 한다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치(1)는 라인 레이저를 이용하여 검사대상물(P)의 각 검사영역의 미세한 높이변화를 측정하여 검사대상물(P)의 각 검사영역의 리크 발생여부를 검사하므로 리크 발생시 압력변화가 미세하게 발생되는 검사대상물(P)의 검사영역의 리크를 보다 정확하게 검사할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치의 디스플레이부를 개략적으로 도시한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치(1)는 영상촬영부(미도시)와 디스플레이부(60)를 더 포함한다.
영상촬영부(미도시)는 라인 레이저 조사부(50) 내부 일측에 설치되고, 라인 레이저 조사부(50)에 의해 스캔되는 검사대상물(P)의 평면영상을 촬영한다.
디스플레이부(60)는 도 5에 도시된 바와 같이, 영상촬영부(미도시)로부터 제공된 검사대상물(P)의 평면영상을 화면으로 출력하여 사용자에게 제공한다.
그리고, 리크 검사부(미도시)는 디스플레이부(60)에 출력되는 검사대상물(P)의 평면영상에 리크가 검출된 검사영역을 표시하여 사용자에게 시각적으로 제공한다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치를 이용한 검사방법을 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치를 이용한 리크 검사방법의 순서도를 개략적으로 도시한 것이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치를 이용한 리크 검사방법은 검사대상물 안착단계, 제 1 높이정보 산출단계, 진공압 유도단계, 제 2 높이정보 산출단계 및 리크 검사단계를 포함한다.
검사대상물 안착단계에서는 상부커버(22)를 챔버본체(21)의 상부로 이동시킨 상태에서 검사대상물(P)이 안착된 안착부(30)를 챔버본체(21)의 수용공간(S1) 내부로 유입시킨 후, 상부커버(22)를 하방으로 이동시켜 챔버본체(21)의 수용공간(S1)을 밀폐함과 동시에 안착플레이트(30)의 안착면(31) 상부에 형성된 검사공간(S2)을 밀폐한다.(S1)
제 1 높이정보 산출단계에서는 이송부(40)를 통해 라인 레이저 조사부(50)를 챔버(20)의 일측 방향을 따라 이동시키면서 안착부(30)의 안착면(31)에 안착된 검사대상물(P)의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 검사대상물(P)의 각 검사영역의 제 1 높이정보를 산출한다.
이 때, 안착부(30)의 안착면(31) 상부에 형성되는 검사공간(S2)은 대기압 상태이다.(S2)
진공압 유도단계에서는 진공유도부(미도시)를 통해 안착부(30)의 안착면(31) 상부에 형성된 검사공간(S2) 내부의 공기를 외부로 배출하여 검사공간(S2)을 진공압 상태로 유도한다.(S3)
제 2 높이정보 산출단계에서는 이송부(40)를 통해 라인 레이저 조사부(50)를 챔버(20)의 일측 방향을 따라 이동시키면서 안착부(30)의 안착면(31)에 안착된 검사대상물(P)의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 검사대상물(P)의 각 검사영역의 제 2 높이정보를 산출한다.(S4)
리크 검사단계에서는 리크 검사부(미도시)가 라인 레이저 조사부(50)로부터 제공되는 검사대상물(P)의 각 검사영역의 제 1 높이정보 및 제 2 높이정보를 비교하여 검사대상물(P)의 각 검사영역의 리크 발생여부를 검사한다.
보다 상세하게 설명하면, 리크 검사부(미도시)는 라인 레이저 조사부(50)로부터 산출된 검사대상물(P)의 각 검사영역의 대응되는 제 1 높이정보와 제 2 높이정보의 차가 미리 설정된 값(1㎛) 이하인 경우, 해당하는 검사영역에 리크가 발생한 것으로 판단한다.
이는 검사대상물(P)의 각 검사영역에 리크가 발생하는 경우, 검사영역의 내부압력과 검사공간(S2)의 압력이 모두 진공압 상태로 유도되므로 검사영역에 변위가 발생되지 않아 제 2 높이정보가 변화되지 않기 때문이다.
그리고, 리크 검사부(미도시)는 라인 레이저 조사부(50)로부터 산출된 검사대상물(P)의 각 검사영역의 대응되는 제 1 높이정보와 제 2 높이정보의 차 중 어느 하나가 미리 설정된 값(1㎛)을 초과하는 경우, 해당하는 검사영역에 리크가 발생되지 않은 것으로 판단한다.
이는 검사대상물(P)의 각 검사영역에 리크가 발생되지 않는 경우, 대기압 상태인 검사영역의 내부압력과 진공압 상태인 검사공간(S2)의 내부압력 간의 차이로 인해 검사영역이 검사공간(S2) 방향으로 부풀어올라 변위가 발생되므로 제 2 높이정보가 변화되기 때문이다.(S5)
비록 본 발명이 상기 바람직한 실시 예들과 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서, 첨부된 특허 청구범위는 본 발명의 요지에 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
1 : 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치
10 : 베이스부 20 : 챔버
21 : 챔버본체 22 : 상부커버
22a : 투시창 S1 : 수용공간
23: 상하 이동력 제공수단 30 : 안착부
31 : 안착면 31a : 수용홈
32 : 밀폐부재 40 : 이송부
41 : 지지프레임 41a : 수직지지대
41b : 수평지지대 42 : 이송바
43 : 이송블럭 44 : 회전력 제공수단
45 : 회전력 전달수단 45a : 구동풀리
45b : 종동풀리 45c : 벨트부재
46 : 케이블 체인 50 : 라인 레이저 조사부
60 : 디스플레이부 S2 : 검사공간
P : 검사대상물

Claims (6)

  1. 리크 발생시 압력변화가 미세하게 발생하는 검사대상물의 리크 발생여부를 검사하기 위한 장치에 있어서,
    베이스부와;
    상기 베이스부 일측에 설치되고 상부가 개방되어 내부에 수용공간이 형성되며 일측면이 개방된 챔버본체와, 상기 챔버본체 상부에 상하 이동 가능하게 설치되고 일측에 투시창이 형성된 상부커버와, 상기 베이스부 일측과 상기 상부커버 저면 일측 간에 설치되어 상기 상부커버에 상기 챔버본체 상하 방향으로 이동력을 제공하는 상하 이동력 제공수단을 포함하는 챔버와;
    상기 챔버본체의 개방된 일측면을 통해 상기 수용공간 내외측 방향으로 이동 가능하게 설치되고, 상면에 함몰된 검사공간이 형성되며, 상기 검사공간 내에 상기 검사대상물이 안착되는 안착면이 형성되고, 상기 상부커버의 저면과 밀착되는 상면에 둘레방향을 따라 상기 검사공간과 외부 간을 밀폐하는 밀폐부재가 설치되는 안착부와;
    상기 검사공간과 연통되도록 설치되고, 상기 검사공간의 내부공기를 외부로 배출하여 상기 검사공간을 진공압 상태로 유도하는 진공 유도부와;
    상기 베이스부의 다른 일측에 설치되고, 상기 챔버의 일측 방향을 따라 이동 가능하게 설치되는 이송부와;
    상기 이송부 일측에 설치되고, 상기 검사공간이 대기압인 상태에서 상기 검사대상물의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 상기 검사대상물의 각 검사영역의 제 1 높이정보를 산출하며, 상기 검사공간이 진공압으로 유도된 상태에서 상기 검사대상물의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 상기 검사대상물의 각 검사영역의 제 2 높이정보를 산출하는 라인 레이저 조사부와;
    상기 산출된 제 1 높이정보와 제 2 높이정보를 비교하여 상기 검사대상물의 각 검사영역의 리크 발생여부를 검사하는 리크 검사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 리크 검사부는
    상기 검사대상물의 각 검사영역의 대응되는 상기 제 1 높이정보와 제 2 높이정보의 차가 미리 설정된 값 이하인 경우, 상기 검사대상물의 각 검사영역에 리크가 발생한 것으로 판단하고,
    상기 검사대상물의 각 검사영역에 대응되는 상기 제 1 높이정보와 제 2 높이정보의 차 중 어느 하나가 미리 설정된 값을 초과하는 경우, 상기 검사대상물의 각 검사영역에 리크가 발생하지 않은 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 레이저 조사부 일측에 설치되고, 상기 검사대상물의 평면영상을 촬영하는 영상촬영부와;
    상기 영상촬영부로부터 제공된 상기 검사대상물의 평면영상을 화면으로 출력하는 디스플레이부를 더 포함하고,
    상기 리크 검사부는 상기 평면영상에 리크가 발생된 검사대상물의 검사영역을 표시하여 사용자에게 시각적으로 제공하는 것을 특징으로 하는 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항 기재의 라인 레이저를 이용한 리크 검사장치를 이용한 리크 검사방법에 있어서,
    상기 안착부의 안착면에 상기 검사대상물을 안착시키는 검사대상물 안착단계와;
    상기 라인 레이저 조사부를 이용하여 상기 검사대상물의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 상기 검사대상물의 각 검사영역의 제 1 높이정보를 산출하는 제 1 높이정보 산출단계와;
    진공 유도부를 통해 상기 검사공간의 내부공기를 외부로 배출하여 상기 검사공간을 진공압 상태로 유도하는 진공압 유도단계와;
    상기 라인 레이저 조사부를 이용하여 상기 검사대상물의 각 검사영역에 선형의 레이저를 스캔하여 상기 검사대상물의 각 검사영역의 제 2 높이정보를 산출하는 제 2 높이정보 산출단계와;
    상기 리크 검사부가 상기 산출된 검사대상물의 각 검사영역의 제 1 높이정보와 제 2 높이정보를 비교하여 검사대상물의 각 검사영역의 리크 발생여부를 검출하는 리크 검사단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 라인 레이저를 이용한 리크 검사방법.
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