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KR101572139B1 - Connector and fabrication method of connector - Google Patents

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KR101572139B1
KR101572139B1 KR1020140065333A KR20140065333A KR101572139B1 KR 101572139 B1 KR101572139 B1 KR 101572139B1 KR 1020140065333 A KR1020140065333 A KR 1020140065333A KR 20140065333 A KR20140065333 A KR 20140065333A KR 101572139 B1 KR101572139 B1 KR 101572139B1
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KR
South Korea
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conductive
sheet member
sheet
conductive electrode
connector
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Active
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KR1020140065333A
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Korean (ko)
Inventor
정영배
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주식회사 아이에스시
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Priority to TW104117452A priority patent/TWI550980B/en
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    • H01R11/01—Individual connecting elements providing two or more spaced connecting locations for conductive members which are, or may be, thereby interconnected, e.g. end pieces for wires or cables supported by the wire or cable and having means for facilitating electrical connection to some other wire, terminal, or conductive member, blocks of binding posts characterised by the form or arrangement of the conductive interconnection between the connecting locations
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Abstract

본 발명은 접속용 커넥터 및 접속용 커넥터의 제조방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 상호 전기적 접속이 요구되는 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 상기 검사장치의 패드를 전기적으로 연결하는 접속용 커넥터에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 복수의 관통공이 형성되며 유연성이 있으면서 절연성의 소재로 이루어지는 시트부재와, 상기 시트부재의 상기 관통공에 결합되어 상기 시트부재의 상면과 상기 시트부재의 하면보다 돌출되어 있는 도전성 전극으로 구성된 접속시트; 및 상기 접속시트의 도전성 전극의 아래에 배치되고 상기 도전성 전극과 접촉되어 있으며 두께방향으로 도전성을 나타내는 도전부와, 상기 도전부를 지지하면서 도전부를 서로 절연시키는 절연부로 구성된 이방 성 시트를 포함하되, 상기 접속시트의 도전성 전극에서 상기 시트부재의 하면보다 돌출된 부분의 가장자리는 라운드 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터 및 그의 제조방법에 대한 것이다.More particularly, the present invention relates to a method of manufacturing a connection connector and a connector for use in a method of manufacturing a connection connector and a connector, A sheet member made of a flexible and insulating material and provided with a plurality of through holes for each position corresponding to a terminal of the device to be inspected; and a connection member which is coupled to the through hole of the sheet member And a conductive electrode protruding from the upper surface of the sheet member and the lower surface of the sheet member; And an anisotropic sheet disposed below the conductive electrode of the connection sheet, the anisotropic sheet being in contact with the conductive electrode and having a conductive part which exhibits conductivity in the thickness direction, and an insulating part which insulates the conductive part from each other while supporting the conductive part, And the edge of the portion protruding from the lower surface of the sheet member in the conductive electrode of the connection sheet has a round shape.

Description

접속용 커넥터 및 접속용 커넥터의 제조방법{Connector and fabrication method of connector}[Technical Field] The present invention relates to a connector and a manufacturing method of connector,

본 발명은 접속용 커넥터 및 접속용 커넥터의 제조방법에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 두께방향으로 도전성 입자의 배열이 밀집되어 이루어지는 접속용 커넥터 및 접속용 커넥터의 제조방법에 대한 것이다.The present invention relates to a connector for connection and a method of manufacturing a connector, and more particularly, to a connector for connection and a method for manufacturing a connector for connection in which the array of conductive particles is concentrated in the thickness direction.

일반적으로 피검사 디바이스의 전기적 특성 검사를 위해서는 피검사 디바이스와 테스트 장치와의 전기적 연결이 안정적으로 이루어져야 한다. 통상 피검사 디바이스와 테스트 장치와의 연결을 위한 장치로서 접속용 커넥터가 사용된다.Generally, in order to inspect the electrical characteristics of a device to be inspected, the electrical connection between the device to be inspected and the testing device must be stable. A connector for connection is generally used as a device for connecting a device to be tested with a test apparatus.

이러한 접속용 커넥터의 역할은 피검사 디바이스의 단자와 테스트장치의 패드를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 교환 가능하게 하는 것이다. 이를 위하여 접속용 커넥터의 내부에 사용되는 접속수단으로 이방성 시트 또는 포고핀이 사용된다. 이러한 이방성 시트는 탄성을 가지는 도전부를 피검사 디바이스의 단자와 접속시키는 것이며, 포고핀은 내부에 스프링이 마련되어 있어서 피검사 디바이스와 테스트 장치와의 연결을 원활하게 하고, 연결시 발생할 수 있는 기계적인 충격을 완충할 수 있어 대부분의 테스트 소켓에 사용되고 있다. The role of the connecting connector is to connect the terminals of the device under test and the pads of the testing device to each other so that the electrical signals can be exchanged in both directions. For this purpose, an anisotropic sheet or pogo pin is used as the connection means used inside the connection connector. This anisotropic sheet is to connect the conductive part having elasticity with the terminal of the device to be inspected and the pogo pin is provided with a spring inside to smooth connection between the devices to be inspected and the testing device and to prevent mechanical shock It is used in most test sockets.

이러한 이방성 시트는, 전기적 접속이 요구되는 피검사 디바이스의 단자와의 빈번한 접촉으로 인하여 도전부의 상단이 쉽게 파손될 염려가 있게 된다. 즉, 연질의 실리콘 고무 내에 다수의 도전성 입자가 배열된 형태를 가지고 있는 도전부는, 금속소재로 이루어진 피검사 디바이스의 단자와 빈번한 접촉으로 인하여 실리콘 고무가 쉽게 파손될 염려가 있으며 이에 따라서 그 내부에 배치된 도전성 입자들이 도전부로부터 이탈되어 전체적인 전도성을 저해할 염려가 있게 된다.Such an anisotropic sheet may easily break the top of the conductive portion due to frequent contact with the terminals of the device to be inspected requiring electrical connection. That is, the conductive part having a shape in which a large number of conductive particles are arranged in the soft silicone rubber may easily break the silicone rubber due to frequent contact with terminals of the device to be inspected made of a metal material, There is a fear that the conductive particles may be detached from the conductive portion to deteriorate the overall conductivity.

이러한 단점을 해결코자, 이방 도전성 커넥터 장치(10)가 대한민국 공개특허공보 제10-2006-0013429호에 개시되어 있다. 이 이방 도전성 커넥터 장치(10)는 도 1에 개시된 바와 같이 직사각형의 이방 도전막(10A)과, 이 이방 도전막(10A)의 일면 상에 일체적으로 설치된 시트형 커넥터(20)와, 이방 도전막(10A)을 지지하는 직사각형의 판 형상인 지지 부재(30)에 의해 구성되어 있다. 이 이방 도전성 커넥터 장치(10)에서의 이방 도전막(10A)은, 각각 두께 방향으로 신장하는 복수의 원주형의 도전로 형성부(11)와, 이들 도전로 형성부(11)를 서로 절연하는 절연부(14)에 의해 구성되어 있고, 본 예에서는 도전로 형성부(11)가 격자점 위치에 따라서 일정한 피치로 배치되어 있다. 또한, 이방 도전막(10A)은 전체가 절연성의 탄성 고분자 물질에 의해 형성되고, 그 도전로 형성부(11)에는 자성을 띠는 도전성 입자 P가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 함유되어 있다. 이에 대하여, 절연부(14)는 도전성 입자가 전혀 혹은 거의 함유되어 있지 않은 것이다. 도시한 예에서는, 이방 도전막(10A)의 중앙 부분의 일면이 주연 부분보다 돌출한 상태로 형성되어 있다. 그리고 복수의 도전로 형성부(11) 중 당해 이방 도전막(10A)에서의 중앙 부분에 형성된 것이 접속 대상 전극, 예컨대 검사 대상인 회로 장치에서의 피검사 전극에 전기적으로 접속되는 유효 도전로 형성부(12)로 되어 있다. 또한, 이방 도전부(10A)에서의 주연 부분에 형성된 것이 접속 대상 전극에 전기적으로 접속되지 않는 무효 도전로 형성부(13)로 되어 있다. 또, 유효 도전로 형성부(12)는 접속 대상 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서 배치되어 있다. 한편, 절연부(14)는 개개의 도전로 형성부(11)의 주위를 둘러싸도록 일체적으로 형성되어 있으며, 이로써 모든 도전로 형성부(11)는 절연부(14)에 의해 서로 절연된 상태로 되어 있다. 또한, 상기 시트형 커넥터(20)는 유연한 절연성 시트(21)를 갖고, 이 절연성 시트(21)에는 당해 절연성 시트(21)의 두께 방향으로 신장하는 금속으로 이루어지는 복수의 전극 구조체(22)가, 접속 대상 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서, 당해 절연성 시트(21)의 면 방향으로 서로 떨어져 배치되어 있다. In order to solve such a disadvantage, an anisotropic conductive connector device 10 is disclosed in Korean Patent Laid-Open Publication No. 10-2006-0013429. 1, the anisotropic conductive connector device 10 includes a rectangular anisotropic conductive film 10A, a sheet-like connector 20 integrally provided on one surface of the anisotropic conductive film 10A, And a support member 30 in the shape of a rectangular plate that supports the support member 10A. The anisotropic conductive film 10A in this anisotropically conductive connector device 10 has a plurality of columnar conductive path forming portions 11 each extending in the thickness direction and a plurality of conductive path forming portions 11, And the insulating portion 14. In this example, the conductive path forming portions 11 are arranged at a constant pitch according to the lattice point positions. In addition, the anisotropic conductive film 10A is formed entirely of an insulating elastic polymer material, and the conductive path forming portion 11 contains the conductive particles P that are magnetized so as to be aligned in the thickness direction . On the other hand, the insulating portion 14 contains no or almost no conductive particles. In the illustrated example, one surface of the central portion of the anisotropic conductive film 10A is formed so as to protrude from the peripheral edge portion. The plurality of conductive path forming portions 11 formed in the central portion of the anisotropic conductive film 10A are connected to an electrode to be connected, for example, an effective conductive path forming portion (not shown) electrically connected to electrodes to be inspected in a circuit device to be inspected 12). In addition, an ineffective conductive path forming portion 13 formed in the periphery of the anisotropic conductive portion 10A is not electrically connected to the connection target electrode. The effective conductive path forming portion 12 is disposed along a pattern corresponding to the pattern of the electrodes to be connected. On the other hand, the insulating portion 14 is integrally formed so as to surround the peripheries of the individual conductive path forming portions 11, whereby all the conductive path forming portions 11 are insulated from each other by the insulating portion 14 . The sheet-like connector 20 has a flexible insulating sheet 21 on which a plurality of electrode structures 22 made of a metal extending in the thickness direction of the insulating sheet 21 are connected Are arranged apart from each other in the surface direction of the insulating sheet 21 along the pattern corresponding to the pattern of the target electrode.

이러한 이방 도전성 커넥터 장치(10)에 대한 제조방법은 도 2 및 도 3에 개시되어 있다. 구체적으로 도 2에 도시된 바와 같이 금형 내에 시트형 커넥터(20)을 배치한 상태에서 도전성 입자(P)가 성형 재료층(19) 중에 분산된 상태로 충전한다. 이후에, 계속해서, 상부형(50)에서의 강자성체 기판(51)의 상면 및 하부형(55)에서의 강자성체 기판(56)의 하면에 배치된 전자석(도시하지 않음)을 작동시킴으로써, 강도 분포를 갖는 평행 자장, 즉 상부형(50)의 강자성체층(52)과 이에 대응하는 하부형(55)의 강자성체층(57) 사이에 있어서 큰 강도를 갖는 평행 자장을 성형 재료층(19)의 두께 방향으로 작용시킨다. 그 결과, 성형 재료층(19)에 있어서는 당해 성형 재료층(19) 중에 분산되어 있던 도전성 입자가, 도 3에 도시한 바와 같이 상부형(50) 각각의 강자성체층(52)과 이에 대응하는 하부형(55)의 강자성체층(57) 사이에 위치하는 도전로 형성부(11)가 되어야 할 부분으로 집합하는 동시에, 성형 재료층(19)의 두께 방향으로 늘어서도록 배향한다. A manufacturing method for such an anisotropic conductive connector device 10 is disclosed in Figs. 2 and 3. Fig. Specifically, as shown in Fig. 2, the conductive particles P are filled in the molding material layer 19 while being dispersed in a state where the sheet-like connector 20 is disposed in the mold. Subsequently, subsequently, by operating an electromagnet (not shown) disposed on the lower surface of the ferromagnetic substrate 51 in the upper die 50 and the lower surface of the ferromagnetic substrate 56 in the lower die 55, Between the ferromagnetic material layer 52 of the upper die 50 and the ferromagnetic material layer 57 of the lower die 55 corresponding to the parallel magnetic field, Direction. As a result, in the molding material layer 19, the conductive particles dispersed in the molding material layer 19 are bonded to the respective ferromagnetic substance layers 52 of the upper mold 50 and the lower Forming portion 11 positioned between the ferromagnetic layer 57 of the mold 55 and aligned so as to be aligned in the thickness direction of the molding material layer 19. The conductive path forming portion 11 is formed of a conductive material,

그리고 이 상태에 있어서, 성형 재료층(19)을 경화 처리함으로써, 탄성 고분자 물질 중에 도전성 입자가 두께 방향으로 늘어서도록 배향한 상태로 밀하게 충전된 도전로 형성부(11)와, 이들의 도전로 형성부(11)의 주위를 포위하도록 형성된 도전성 입자가 전혀 혹은 거의 존재하지 않는 절연성의 탄성 고분자 물질로 이루어지는 절연부(14)를 갖는 이방 도전막(10A)이, 그 일면에 시트형 커넥터(20)가 일체적으로 접착된 상태로, 또한 그 주연 부분이 지지 부재(30)에 고정되어 지지된 상태로 형성된다.In this state, the conductive path forming portion 11 is filled with the conductive polymer particles in a state in which the conductive particles are aligned in the thickness direction by curing the molding material layer 19, The anisotropically conductive film 10A having the insulating portion 14 made of an insulating elastic polymer material having no or substantially no conductive particles formed so as to surround the periphery of the forming portion 11 has the sheet- Are integrally adhered and the peripheral edge portion thereof is fixedly supported on the support member 30. [

이러한 종래기술에 따른 이방 도전성 커넥터 장치는 시트형 커넥터를 금형에 넣은 상태에서 자장을 가하게 되는 경우 전극구조체가 니켈소재로 이루어져 있는 경우엔느 상기 전극구조체도 강자성체로서 기능을 수행하여 도전성 입자들의 배열에 영향을 미치게 된다. 이때 전극구조체의 하면 형상이 평면이기 때문에, 도전성 입자의 배열이 용이하지 않다는 문제점이 있다.In such an anisotropically conductive connector device according to the related art, when the electrode structure is made of a nickel material, the electrode structure also functions as a ferromagnetic material when a magnetic field is applied in a state where the sheet- . At this time, since the bottom surface of the electrode structure is flat, the arrangement of the conductive particles is not easy.

즉, 전극 구조체 간의 간격이 넓은 경우에는 별문제 없으나, 서로 간의 간격이 좁은 미세피치의 제품을 제작하기 위해서는 도전성 입자들이 두께방향으로 대략 원기둥형태를 이루어야 하는데, 전극구조체의 하면이 평면형태를 이루는 경우에는 상하방향으로 지나는 자기력이 모아주는 역할을 수행하기 어렵기 때문에 도 4에 도시된 바와 같이 도전로 형성부(11)들 사이에 각 도전로 형성부(11)를 연결하는 브릿지(11'; 도전성 입자 중에서 대열에서 이탈하여 인접한 도전로 형성부와 연결되는 부분)이 형성되는 경우가 있게 된다.That is, when the distance between the electrode structures is large, the conductive particles have to be substantially cylindrical in the thickness direction in order to manufacture a product having a fine pitch with a narrow gap therebetween. In the case where the lower surface of the electrode structure has a planar shape It is difficult to perform the role of collecting the magnetic force passing in the vertical direction. Therefore, as shown in FIG. 4, the bridge 11 'connecting the conductive path forming portions 11 between the conductive path forming portions 11, A portion which is separated from the row and connected to the adjacent conductive path forming portion) is formed.

이와 같이 브릿지(11')가 생성되는 경우에는 전기적 검사의 신뢰성에 저하시키게 되는 주요한 원인이 된다.In the case where the bridge 11 'is formed as described above, it is a major cause of deteriorating the reliability of the electrical inspection.

본 발명은 제조과정에서 인접한 도전부들을 서로 연결하는 브릿지의 발생을 최소화할 수 있는 접속용 커넥터 및 접속용 커넥터의 제조방법에 대한 것이다.The present invention relates to a connection connector and a method of manufacturing a connector that can minimize the occurrence of bridges connecting adjacent conductive parts in a manufacturing process.

상술한 문제를 해결하기 위한 본 발명의 접속용 커넥터는, 상호 전기적 접속이 요구되는 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 상기 검사장치의 패드를 전기적으로 연결하는 접속용 커넥터에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 복수의 관통공이 형성되며 유연성이 있으면서 절연성의 소재로 이루어지는 시트부재와, 상기 시트부재의 상기 관통공에 결합되어 상기 시트부재의 상면과 상기 시트부재의 하면보다 돌출되어 있는 도전성 전극으로 구성된 접속시트; 및 상기 접속시트의 도전성 전극의 아래에 배치되고 상기 도전성 전극과 접촉되어 있으며 두께방향으로 도전성을 나타내는 도전부와, 상기 도전부를 지지하면서 도전부를 서로 절연시키는 절연부로 구성된 이방 성 시트를 포함하되, 상기 접속시트의 도전성 전극에서 상기 시트부재의 하면보다 돌출된 부분의 가장자리는 라운드 형상을 가진다.A connection connector according to the present invention for solving the above-mentioned problems is provided with a connection device which is disposed between an inspecting device for which electrical connection is required between the inspecting device and a terminal for electrically connecting the terminal of the device to be inspected and the pad of the inspecting device The sheet connector according to claim 1, further comprising: a sheet member having a plurality of through holes for each position corresponding to a terminal of the device to be inspected, the sheet member being made of a flexible and insulating material; A connecting sheet made of a conductive electrode protruding from the lower surface of the sheet member; And an anisotropic sheet disposed below the conductive electrode of the connection sheet, the anisotropic sheet being in contact with the conductive electrode and having a conductive part which exhibits conductivity in the thickness direction, and an insulating part which insulates the conductive part from each other while supporting the conductive part, The edge of the conductive electrode of the connection sheet protruding from the lower surface of the sheet member has a round shape.

상기 접속용 커넥터에서, 상기 도전성 전극에서 시트부재의 하면보다 돌출된 부분은 전체적으로 돔형 또는 반구형으로 이루어질 수 있다.In the connector for connection, the portion protruding from the lower surface of the sheet member at the conductive electrode may be entirely dome-shaped or hemispherical.

상기 접속용 커넥터에서, 상기 도전성 전극의 상면에는 니켈 분말 또는 니켈-다이아혼합분말이 도금접합될 수 있다.In the connection connector, a nickel powder or a nickel-diamond mixed powder may be plated on the upper surface of the conductive electrode.

상기 접속용 커넥터에서, 상기 도전성 전극의 상면에는 다수의 범프가 도전성 전극의 중심에 대하여 일정거리 이격되어 원의 형태로 배열될 수 있다.In the connector for connection, a plurality of bumps may be arranged on the upper surface of the conductive electrode in a circular shape with a certain distance from the center of the conductive electrode.

상기 접속용 커넥터에서, 상기 도전성 전극은 상기 시트부재의 상면보다 돌출된 부분이 돔 형상을 이룰 수 있다.In the connector for connection, the conductive electrode may have a dome-shaped portion protruding from the upper surface of the sheet member.

상기 접속용 커넥터에서, 상기 도전부에서 시트부재의 상면보다 돌출된 부분의 수평방향 면적이 상기 도전부에서 시트부재의 하면보다 돌출된 부분의 수평방향 면적보다 클 수 있다.In the connector for connection, a horizontal area of a portion of the conductive part protruding from the upper surface of the sheet member may be larger than a horizontal area of a portion of the conductive part protruding from the lower surface of the sheet member.

상기 접속용 커넥터에서, 상기 도전부는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배열된 구조를 이룰 수 있다.In the connector for connection, the conductive part may have a structure in which a plurality of conductive particles are arranged in the thickness direction in the elastic insulating material.

상기 접속용 커넥터의 제조방법은, 상호 전기적 접속이 요구되는 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 상기 검사장치의 패드를 전기적으로 연결하는 접속용 커넥터의 제조방법에 있어서,The manufacturing method of the connector for connection is a method of manufacturing a connector for connection, which is disposed between a device to be inspected requiring mutual electrical connection and an inspection apparatus and electrically connects a terminal of the device to be inspected and a pad of the inspection apparatus As a result,

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 복수의 관통공이 형성되며 유연성이 있으면서 절연성의 소재로 이루어지는 시트부재와, 강자성체로 이루어지고 상기 시트부재의 상기 관통공에 결합되어 상기 시트부재의 상면과 상기 시트부재의 하면보다 돌출되어 있으며 상시 시트부재의 하면보다 돌출된 부분의 가장자리가 라운드 형상을 가지는 도전성 전극으로 구성되는 접속시트를 마련하는 단계;A sheet member made of a flexible and insulating material and provided with a plurality of through holes for each position corresponding to a terminal of the device to be inspected; and a sheet member made of a ferromagnetic material and coupled to the through- Providing a connecting sheet comprising conductive electrodes protruding from the lower surface of the sheet member and having a rounded edge at a portion protruding from the lower surface of the sheet member at all times;

상기 시트부재의 도전성 전극과 대응되는 위치마다 강자성체층이 형성되고 그 외의 부분에는 비자성체층이 형성되는 금형을 준비하고, 상기 금형 내에 상기 접속시트를 배치함과 동시에, 상기 금형의 내부에 액상 탄성물질 내에 도전성 입자가 분포된 액상 성형물질을 충전하는 단계; 및And a non-magnetic layer is formed in the other portion of the sheet member, the connection sheet is disposed in the die, and a liquid elasticity is applied to the inside of the die, Filling the liquid molding material in which the conductive particles are distributed in the material; And

상기 금형 내에 수직방향으로 자장을 가함으로서 상기 도전성 입자가 도전성 전극과 대응되는 위치에 정렬되도록 하고 이를 경화시키는 단계;를 포함한다.And applying a magnetic field in a vertical direction in the mold so that the conductive particles are aligned at positions corresponding to the conductive electrodes and curing the conductive particles.

상기 접속용 커넥터의 제조방법에서, 상기 도전성 전극에서 시트부재의 하면보다 돌출된 부분은 전체적으로 돔형 또는 반구형으로 이루어질 수 있다.In the method for manufacturing a connector for connection, the portion protruding from the lower surface of the sheet member at the conductive electrode may be entirely dome-shaped or hemispherical.

상기 접속용 커넥터의 제조방법에서, 상기 도전성 전극은, 철, 니켈, 코발트 및 그들의 합금 중 적어도 어느 하나의 소재로 이루질 수 있다.In the method for manufacturing a connector for connection, the conductive electrode may be made of at least one of iron, nickel, cobalt and alloys thereof.

본 발명에 따른 접속용 커넥터는, 접속시트의 도전성 전극의 하부 가장자리가 라운드 형상을 가지고 있어 제조과정에서 자기력을 모아주는 역할을 수행하고 이에 따라서 브리지의 형성을 최소화할 수 있다는 장점이 있다.The connector for connection according to the present invention has the advantage that the lower edge of the conductive electrode of the connection sheet has a round shape, thereby collecting the magnetic force in the manufacturing process and thus minimizing the formation of the bridge.

도 1은 종래기술에 따른 이방 도전성 커넥터 장치의 도면.
도 2 및 도 3은 종래기술의 이방 도전성 커넥터의 제조방법을 나타내는 도면.
도 4는 도 2 및 도 3의 제조방법으로 제조된 이방 도전성 커넥터의 일예를 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 접속용 커넥터를 나타내는 도면.
도 6은 도 5의 접속용 커넥터를 제조하는 방법을 나타내는 도면.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 접속용 커넥터를 나타내는 도면.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 접속용 커넥터를 나타내는 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Figure 1 is a diagram of an anisotropic conductive connector device according to the prior art;
Figs. 2 and 3 are views showing a conventional method of manufacturing an anisotropic conductive connector; Fig.
4 is a view showing an example of an anisotropically conductive connector manufactured by the manufacturing method of Figs. 2 and 3. Fig.
5 is a view showing a connector for connection according to an embodiment of the present invention.
6 is a view showing a method for manufacturing the connector for connection of Fig.
7 is a view showing a connector for connection according to another embodiment of the present invention.
8 is a view showing a connector for connection according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 접속용 커넥터를 첨부된 도 5를 이용하여 상세하게 설명하겠다.Hereinafter, a connection connector according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 5 attached hereto.

본 발명의 일 실시예에 따른 접속용 커넥터(100)는, 상호 전기적 접속이 요구되는 피검사 디바이스(170)와 검사장치(180)의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스(170)의 단자(171)와 상기 검사장치(180)의 패드(181)를 전기적으로 연결하는 것이다.The connection connector 100 according to the embodiment of the present invention is disposed between the inspecting device 180 and the inspecting device 170 requiring mutual electrical connection so that the terminals 171 And the pad 181 of the inspection apparatus 180 are electrically connected to each other.

이러한 접속용 커넥터(100)는, 접속시트(110)와 이방성 시트(140)를 포함하여 구성된다.The connection connector 100 includes a connection sheet 110 and an anisotropic sheet 140.

상기 접속시트(110)는, 이방성 시트(140)의 상면측에 배치되어 피검사 디바이스(170)의 단자(171)와 접촉되는 것으로서, 시트부재(120)와 도전성 전극(130)으로 이루어진다.The connection sheet 110 is disposed on the upper surface side of the anisotropic sheet 140 and is in contact with the terminal 171 of the device under test 170 and comprises a sheet member 120 and a conductive electrode 130.

상기 시트부재(120)는 상기 피검사 디바이스(170)의 단자(171)와 대응되는 위치마다 복수의 관통공(121)이 형성되며 유연성이 있으면서 절연성의 소재로 이루어지는 것이다. 이러한 시트부재(120)를 구성하는 재료로는 폴리이미드 수지, 에폭시 수지 등의 열경화성 수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지, 폴리부티렌테레프탈레이트 수지 등의 폴리에스테르 수지, 폴리염화비닐 수지, 폴리스티렌수지, 폴리아크릴니트릴 수지, 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 아크릴 수지, 폴리부타디엔 수지, 폴리페닐렌에테르, 폴리페닐렌설파이드, 폴리아미드, 폴리옥시메틸렌 등의 열가소성 수지를 이용할 수 있지만, 폴리이미드 수지가 바람직하다. The sheet member 120 has a plurality of through holes 121 at positions corresponding to the terminals 171 of the device under test 170 and is made of a flexible and insulating material. Examples of the material constituting the sheet member 120 include a thermosetting resin such as polyimide resin and epoxy resin, a polyester resin such as polyethylene terephthalate resin and polybutylene terephthalate resin, a polyvinyl chloride resin, a polystyrene resin, Thermoplastic resins such as nitrile resin, polyethylene resin, polypropylene resin, acrylic resin, polybutadiene resin, polyphenylene ether, polyphenylene sulfide, polyamide and polyoxymethylene can be used.

또한, 시트부재(120)는 이에 한정되는 것은 아니며 메쉬 혹은 부직포를 사용할 수 ㅇd으며 구체적으로는 유기 섬유에 의해 형성된 것을 적합하게 이용할 수 있다. 이러한 유기 섬유로서는, 폴리테트라플루오로에틸렌 섬유 등의 불소 수지 섬유, 아라미드 섬유, 폴리에틸렌 섬유, 폴리아릴레이트섬유, 나일론 섬유, 폴리 에스테르 섬유 등을 들 수 있다.In addition, the sheet member 120 is not limited thereto, and a mesh or nonwoven fabric may be used. Specifically, the sheet member 120 may be formed of organic fibers. Examples of such organic fibers include fluororesin fibers such as polytetrafluoroethylene fibers, aramid fibers, polyethylene fibers, polyarylate fibers, nylon fibers, and polyester fibers.

또한, 유기 섬유로서, 그 선열 팽창 계수가 접속 대상 부재를 형성하는 재료의 선열 팽창 계수와 동등 혹은 근사한 것, 구체적으로는 선열 팽창 계수가 30 × 10-6 내지 -5 × 10-6/K, 특히 10 × 10-6 내지 -3 × 10-6/K인 것을 이용함으로써, 당해 이방 도전막의 열팽창이 억제되므로, 온도 변화에 의한 열이력을 받은 경우에도, 접속 대상 부재에 대한 양호한 전기적 접속 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.As the organic fiber, one having a coefficient of linear thermal expansion equal to or close to the coefficient of linear thermal expansion of the material forming the member to be connected, specifically, a coefficient of linear thermal expansion of 30 x 10 -6 to -5 x 10 -6 / K, In particular, 10 × 10 -6 to -3 × 10 -6 / K, thermal expansion of the anisotropic conductive film is suppressed, so that even when a thermal history due to a temperature change is received, It can be stably maintained.

이러한 시트부재(120)에 형성되는 관통공(121)의 내경은 도전성 전극(130)의 최대 외경보다 작은 것이 바람직하다. 이러한 관통공(121)은 레이저에 의하여 형성되는 것도 가능하나 이에 한정되는 것은 아니며 드릴링 등과 같은 기계가공에 의하여 형성되는 것도 가능하다.The inner diameter of the through hole 121 formed in the sheet member 120 is preferably smaller than the maximum outer diameter of the conductive electrode 130. The through hole 121 may be formed by a laser, but not limited thereto, and may be formed by machining such as drilling or the like.

상기 도전성 전극(130)은, 상기 시트부재(120)의 상기 관통공(121)에 결합되어 상기 시트부재(120)의 상면과 상기 시트부재(120)의 하면보다 돌출되어 있는 것이다. 이러한 도전성 전극(130)은 상면이 평탄하게 되어 있으며 하면이 돔형 또는 반구형으로 이루어지게 된다. 구체적으로 상기 도전성 전극(130)은 상기 시트부재(120)보다 상측으로 돌출된 상부 전극(131)과, 상기 시트부재(120)보다 하측으로 돌출된 하부 전극(132)과, 상기 상부 전극(131)과 하부 전극(132)을 연결하며 상기 관통공(121) 내에 삽입된 연결 전극(133)으로 이루어진다. 이때 상기 상부 전극(131)은 대략 원판 형태로 이루어지고 하부 전극(132)은 대략 돔형 또는 반구형으로 이루어지게 되는 것이다.The conductive electrode 130 is coupled to the through hole 121 of the sheet member 120 and protrudes from the upper surface of the sheet member 120 and the lower surface of the sheet member 120. The upper surface of the conductive electrode 130 is flat and the lower surface of the conductive electrode 130 is dome-shaped or hemispherical. More specifically, the conductive electrode 130 includes an upper electrode 131 protruding upward from the sheet member 120, a lower electrode 132 protruding downward from the sheet member 120, And a connection electrode 133 connected to the lower electrode 132 and inserted into the through hole 121. At this time, the upper electrode 131 is formed in a substantially disc shape, and the lower electrode 132 is formed in a substantially dome-shaped or hemispherical shape.

이러한 도전성 전극(130)을 구성하는 소재로는 도전성이 우수한 강자성체로 구성되되 구체적으로는 철, 니켈, 코발트 또는 이들의 합금 등을 예로 들 수 있다. 상기 도전성 전극(130)은 피검사 디바이스(170)의 단자(171)와 대응되는 수만큼 시트부재(120)에 부착되어 있으며 각각의 도전성 전극(130)은 서로 이격되어 배치되어 있게 된다.The conductive electrode 130 is made of a ferromagnetic material having excellent conductivity, and examples thereof include iron, nickel, cobalt, or an alloy thereof. The conductive electrodes 130 are attached to the sheet member 120 by the number corresponding to the terminals 171 of the device under test 170 and the conductive electrodes 130 are spaced apart from each other.

이러한 도전성 전극(130)의 상면에는 니켈 분말(134) 또는 니켈- 다이아혼합분말이 도금접합되어 있을 수 있다. 구체적으로 니켈 분말(134)만이 도전성 전극(130)의 상면에 형성되는 것도 가능하나, 피검사 디바이스(170)의 전극 표면에 묻어 있는 이물질을 용이하게 제거하기 위하여 다이아분말이 상기 니켈분말과 함께 배치되는 것도 가능하다.The upper surface of the conductive electrode 130 may be plated with a nickel powder 134 or a nickel-diamond mixed powder. Specifically, only the nickel powder 134 may be formed on the upper surface of the conductive electrode 130. However, in order to easily remove foreign substances on the electrode surface of the device under test 170, .

한편, 상기 도전부(141)에서 시트부재(120)의 상면보다 돌출된 부분, 즉 상부 전극(131)의 수평방향 면적이 상기 도전부(141)에서 시트부재(120)의 하면보다 돌출된 부분, 즉 하부 전극(132)의 수평방향 면적보다 크다.A portion of the conductive part 141 protruding from the upper surface of the sheet member 120, that is, a horizontal area of the upper electrode 131 protrudes from the lower surface of the sheet member 120 at the conductive part 141 That is, the horizontal direction area of the lower electrode 132.

상기 이방성 시트(140)는, 접속시트(110)의 도전성 전극(130)의 아래에 배치되고 상기 도전성 전극(130)과 접촉되어 있으며 두께방향으로 도전성을 나타내는 도전부(141)와, 상기 도전부(141)를 지지하면서 도전부(141)를 서로 절연시키는 절연부(142)로 이루어진다. The anisotropic sheet 140 includes a conductive part 141 disposed below the conductive electrode 130 of the connection sheet 110 and in contact with the conductive electrode 130 and exhibiting conductivity in the thickness direction, And an insulating portion 142 for supporting the conductive portions 141 while insulating the conductive portions 141 from each other.

이때, 도전부(141)는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자(1411)가 두께방향으로 배열된 구조를 이루고 있다. At this time, the conductive part 141 has a structure in which a plurality of conductive particles 1411 are arranged in the thickness direction in the elastic insulating material.

이때 도전부(141)를 구성하는 탄성 절연물질로는 탄성 고분자 물질로서는, 가교 구조를 갖는 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 탄성 고분자 물질을 얻기 위해 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 여러 가지의 것을 이용할 수 있고, 그 구체예로서는, 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공역(共役) 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔블록 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌블록 공중합체 등의 블록 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피크롤히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다. As the elastic insulating material constituting the conductive part 141, a polymer material having a crosslinked structure is preferable as the elastic polymer material. As the curable polymeric substance-forming material that can be used to obtain such an elastic polymer material, various materials can be used. Specific examples thereof include polybutadiene rubber, natural rubber, polyisoprene rubber, styrene-butadiene copolymer rubber, Conjugated diene rubbers such as acrylonitrile-butadiene copolymer rubber and nitrile-butadiene copolymer rubber, and hydrogenated products thereof, block copolymer rubbers such as styrene-butadiene-diene block copolymer rubber and styrene-isoprene block copolymer and hydrogenated products thereof, Rubber, urethane rubber, polyester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, ethylene-propylene-diene copolymer rubber and the like.

이 중에서 이방성 시트(140)에 내후성이 요구되는 경우에는, 공역 디엔계 고무 이외의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 특히 성형 가공성 및 전기 특성의 관점에서 실리콘 고무를 이용하는 것이 바람직하다.When weather resistance is required for the anisotropic sheet 140, it is preferable to use a material other than the conjugated diene rubber, and silicone rubber is preferably used from the viewpoints of molding processability and electrical characteristics.

상기 도전성 입자(1411)는 도전성 입자(1411)로서는, 후술하는 방법에 의해 당해 입자를 쉽게 배향시킬 수 있으므로, 자성을 띠는 도전성 입자(1411)가 이용된다. 이러한 도전성 입자(1411)의 구체예로서는, 철, 코발트, 니켈 등의 자성을 갖는 금속의 입자 혹은 이들 합금의 입자 또는 이들의 금속을 함유하는 입자, 또는 이들의 입자를 코어 입자로 하여, 당해 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 한 것, 혹은 비자성 금속 입자 혹은 글래스 비드 등의 무기물질 입자 또는 폴리머 입자를 코어 입자로 하여, 당해 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 자성 금속의 도금을 한 것 등을 들 수 있다.As the conductive particles 1411, the conductive particles 1411 can be easily oriented by the method described later, so that the conductive particles 1411 having magnetism are used. Specific examples of such conductive particles 1411 include particles of metal having magnetic properties such as iron, cobalt, and nickel, particles of these alloys, or particles containing these metals, or particles thereof as core particles, The surface of which is coated with a metal having a good conductivity such as gold, silver, palladium or rhodium, or inorganic particles or polymer particles such as non-magnetic metal particles or glass beads as core particles, Nickel, cobalt and the like, and the like.

이들 중에서는 니켈 입자를 코어 입자로 하고, 그 표면에 도전성이 양호한 금 도금을 한 것을 이용하는 것이 바람직하다.Among them, it is preferable to use nickel particles as core particles and gold plating with good conductivity on the surface thereof.

상기 절연부(142)는 상기 도전부(141)를 지지하면서 상기 도전부(141)를 서로 절연시키는 것으로서 상기 도전부(141)와 일체로 연결되어 있으면서 상기 도전부(141)를 구성하는 탄성 절연물질과 동일한 소재로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도전부(141)와는 다른 소재로 이루어지는 것도 가능하다. 예를 들어 상기 도전부(141)를 구성하는 탄성 절연물질보다 탄력성이 좋은 소재를 사용하는 것도 가능하다.The insulating part 142 is formed integrally with the conductive part 141 to insulate the conductive part 141 from the conductive part 141 while supporting the conductive part 141, The conductive part 141 may be made of the same material as that of the conductive part 141, but is not limited thereto. For example, it is also possible to use a material having better elasticity than the elastic insulating material constituting the conductive part 141.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 접속용 커넥터(100)의 제조방법을 도 6 (a) 내지 도 6(c)를 통하여 설명한다.A method of manufacturing the connector 100 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 (a) through 6 (c).

먼저, 도 6(a)에 도시된 바와 같이 상기 피검사 디바이스(170)의 단자(171)와 대응되는 위치마다 복수의 관통공(121)이 형성되며 유연성이 있으면서 절연성의 소재로 이루어지는 시트부재(120)와, 강자성체로 이루어지고 상기 시트부재(120)의 상기 관통공(121)에 결합되어 상기 시트부재(120)의 상면과 상기 시트부재(120)의 하면보다 돌출되어 있으며 상시 시트부재(120)의 하면보다 돌출된 부분의 가장자리가 라운드 형상을 가지는 도전성 전극(130)으로 구성되는 접속시트(110)를 마련한다. 6 (a), a plurality of through holes 121 are formed at positions corresponding to the terminals 171 of the device under test 170, and a sheet member made of a flexible and insulating material The sheet member 120 is made of a ferromagnetic material and is coupled to the through hole 121 of the sheet member 120 to protrude from the upper surface of the sheet member 120 and the lower surface of the sheet member 120, And the conductive sheet 130 having a rounded shape at the edge of the protruded portion.

이후에는 도 6(b)에 도시된 바와 같이, 상기 시트부재(120)의 도전성 전극(130)과 대응되는 위치마다 강자성체층(1512)이 배치되고 그 외의 부분에는 비자성체층(1513)이 형성되어 있는 금형(150)을 준비하고, 상기 금형(150) 내에 상기 접속시트(110)를 배치한다. 이때, 금형(150)은 상금형(151)과 하금형(152)으로 이루어지고 상금형(151)에서는, 강자성체 기판(1511)의 표면에 도전성 전극(130)의 패턴에 대응하는 배치 패턴을 따라서 강자성체층(1512)이 형성되고, 이 강자성체층(1512) 이외의 부위에는 비자성체층(1513)이 형성되어 있고, 강자성체층(1512) 및 비자성체층(1513)에 의해 성형면이 형성되어 있다. 한편, 하금형(152)에서도 강자성체 기판(1521)의 표면에 강자성체층(1522) 및 비자성체층(1523)이 각각 형성되어 있게 된다. 이와 함께 상기 금형(150) 내에 액상 탄성물질 내에 도전성 입자(1411)가 분포된 액상 성형물질을 충전한다.Thereafter, as shown in FIG. 6 (b), a ferromagnetic material layer 1512 is disposed at a position corresponding to the conductive electrode 130 of the sheet member 120, and a nonmagnetic material layer 1513 is formed at the other portions And the connection sheet 110 is placed in the metal mold 150. The metal mold 150 may be a metal mold, At this time, the metal mold 150 is composed of the upper metal mold 151 and the lower metal mold 152. In the upper metal mold 151, the surface of the ferromagnetic substrate 1511 is arranged along the arrangement pattern corresponding to the pattern of the conductive electrode 130 A nonmagnetic layer 1513 is formed at a portion other than the ferromagnetic layer 1512 and a forming surface is formed by the ferromagnetic layer 1512 and the nonmagnetic layer 1513 . On the other hand, in the lower mold 152, the ferromagnetic substance layer 1522 and the nonmagnetic substance layer 1523 are formed on the surface of the ferromagnetic substance substrate 1521, respectively. In addition, the liquid molding material in which the conductive particles 1411 are distributed in the liquid elastic material is filled in the mold 150.

이후에는 도 6(c)에 도시된 바와 같이, 금형 내에 수직방향으로 자장을 가함으로서 상기 도전성 입자(1411)가 도전성 전극(130)과 대응되는 위치에 정렬되도록 하고 이를 경화시켜 접속용 커넥터(100)를 완성하게 된다.Thereafter, as shown in FIG. 6 (c), a magnetic field is applied in a vertical direction in the metal mold so that the conductive particles 1411 are aligned at positions corresponding to the conductive electrodes 130, ).

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 접속용 커넥터(100)는 자장을 가하여 도전성 입자(1411)를 두께방향으로 정렬시키고 이에 따라서 도전부(141)를 형성하는 과정에서 돔형상의 하부를 가지는 도전성 전극(130)이 자기력을 모아주는 역할을 수행하게 되어 도전부(141) 사이를 연결하는 브릿지의 발생을 최소화할 수 있는 장점이 있다.The connection connector 100 according to an embodiment of the present invention includes a conductive electrode 1411 having a dome-shaped lower portion in the process of aligning the conductive particles 1411 in the thickness direction by applying a magnetic field, 130 may serve to collect the magnetic force, thereby minimizing the occurrence of bridges connecting the conductive parts 141.

구체적으로는 접속시트(110)가 금형(150) 내에 삽입된 상태에서 접속시트(110)의 도전성 전극(130)은 금형(150)을 구성하는 강자성체층(1512)과 함께 도전성 입자(1411)를 두께방향으로 배열시키도록 기능하게 되는데, 이 과정에서 상기 도전성 전극(130)의 하부 형상이 전체적으로 돔 또는 반구형상을 가지고 있게 되고 별도의 각진 모서리가 존재하지 않음에 따라서 도전성 입자(1411)들이 밀집되어 배치될 수 있도록 한다.Specifically, in a state where the connection sheet 110 is inserted into the metal mold 150, the conductive electrode 130 of the connection sheet 110 is electrically connected to the conductive particles 1411 together with the ferromagnetic layer 1512 constituting the metal mold 150 In this process, the lower part of the conductive electrode 130 has a dome or hemispherical shape as a whole, and the conductive particles 1411 are concentrated .

또한, 본 발명에서는 도전성 전극(130)의 상부 단면적이 도전성 전극(130)의 하부 단면적보다 크기 때문에, 피검사 디바이스(170)의 단자(171)와 쉽게 도전성 전극(130)과 접촉될 수 있다는 장점이 있다. 예를 들어 항상 접촉상태에 있는 도전부(141)에 비하여 피검사 디바이스(170)는 별도의 트레이에서 이송되어 상기 접속용 커넥터(100)에 접촉하게 되는데 이 과정에서 정위치에 정렬되지 않을 염려가 있게 되는데, 도전성 전극(130)의 크기가 크기 때문에 피검사 디바이스(170)가 정위치에서 다소 벗어나 있어도 도전성 전극(130)과 확실하게 접촉할 수 있다는 장점이 있다.In the present invention, since the upper cross-sectional area of the conductive electrode 130 is larger than the lower cross-sectional area of the conductive electrode 130, it is possible to easily contact the conductive electrode 130 with the terminal 171 of the device under test 170 . For example, the inspected device 170 is transferred from the separate tray to the conductive connector 141, which is always in contact with the conductive connector 141, and is brought into contact with the connector 100. In this case, Since the size of the conductive electrode 130 is large, it is possible to reliably contact the conductive electrode 130 even if the device under test 170 deviates slightly from the predetermined position.

이러한 본 발명에 따른 접속용 커넥터는 다음과 같이 변형되는 것도 가능하다.The connection connector according to the present invention can be modified as follows.

상술한 실시예에서 도전성 전극의 상면에는 니켈분말이 도금접합되어 있을 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 7A 및 도 7B에 도시된 바와 같이 도전성 전극(130)의 상면에 다수의 범프(135)가 도전성 전극(130)의 중심에 대하여 일정거리 이격되어 원의 형태로 배열되는 것도 가능하다.7A and 7B, a plurality of bumps 135 are formed on the upper surface of the conductive electrode 130, and a plurality of bumps 135 are formed on the upper surface of the conductive electrode 130. However, May be arranged in a circular shape with a certain distance from the center of the conductive electrode 130.

또한, 상술한 실시예에서는 도전성 전극(130)의 상부는 플랫한 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 8에 도시된 바와 같이 상기 도전성 전극(130)은 상기 시트부재(120)의 상면보다 돌출된 부분이 돔 형상을 이루고 있는 것도 가능하다. 8, the conductive electrode 130 may protrude from the upper surface of the sheet member 120, and the conductive electrode 130 may protrude from the upper surface of the sheet member 120. In this case, It is also possible that the portion that has been formed into a dome shape.

이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.  While the present invention has been described with reference to the particular embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims.

100...접속용 커넥터 110...접속시트
120...시트부재 121...관통공
130...도전성 전극 131...상부 전극
132...하부 전극 133...연결전극
134...니켈 분말 140...이방성 시트
141...도전부 1411...도전성 입자
142...절연부 150...금형
151...상금형 152...하금형
170...피검사 디바이스 171...단자
180...검사장치 181...패드100 ... connection connector 110 ... connection sheet
120 ... sheet member 121 ... through hole
130 ... conductive electrode 131 ... upper electrode
132 ... lower electrode 133 ... connection electrode
134 ... Nickel powder 140 ... Anisotropic sheet
141 ... conductive part 1411 ... conductive particle
142 ... insulation part 150 ... mold
151 ... Prize money type 152 ... Lower mold
170 ... Inspected device 171 ... Terminal
180 ... inspection apparatus 181 ... pad

Claims (10)

상호 전기적 접속이 요구되는 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 상기 검사장치의 패드를 전기적으로 연결하는 접속용 커넥터에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 복수의 관통공이 형성되며 유연성이 있으면서 절연성의 소재로 이루어지는 시트부재와,
상기 시트부재의 상기 관통공에 결합되어 상기 시트부재의 상면과 상기 시트부재의 하면보다 돌출되어 있는 도전성 전극으로 구성된 접속시트; 및
상기 접속시트의 도전성 전극의 아래에 배치되고 상기 도전성 전극과 접촉되어 있으며 두께방향으로 도전성을 나타내는 도전부와,
상기 도전부를 지지하면서 도전부를 서로 절연시키는 절연부로 구성된 이방 성 시트를 포함하되,
상기 접속시트의 도전성 전극에서 상기 시트부재의 하면보다 돌출된 부분의 가장자리는 라운드 형상을 가지고,
상기 도전부는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배열된 구조를 이루고 있으며,
상기 시트부재의 하면보다 돌출된 도전성 전극의 표면과, 상기 시트부재의 하면은 상기 이방성 시트의 상면에 일체적으로 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.A connector for connection electrically connected between a terminal of an apparatus to be inspected and a pad of the inspecting apparatus, the connector being disposed between the inspecting device and the inspecting device requiring mutual electrical connection,
A sheet member made of a flexible and insulating material and having a plurality of through holes for each position corresponding to a terminal of the device to be inspected,
And a conductive electrode coupled to the through-hole of the sheet member and protruding from an upper surface of the sheet member and a lower surface of the sheet member; And
A conductive portion disposed below the conductive electrode of the connection sheet and in contact with the conductive electrode and exhibiting conductivity in the thickness direction;
And an insulating portion for insulating the conductive portions from each other while supporting the conductive portions,
The edge of the portion protruding from the lower surface of the sheet member at the conductive electrode of the connection sheet has a round shape,
The conductive part has a structure in which a plurality of conductive particles are arranged in the thickness direction in the elastic insulating material,
Wherein the surface of the conductive electrode protruded from the lower surface of the sheet member and the lower surface of the sheet member are integrally joined to the upper surface of the anisotropic sheet. 제1항에 있어서,
상기 도전성 전극에서 시트부재의 하면보다 돌출된 부분은 전체적으로 돔형 또는 반구형으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.The method according to claim 1,
Wherein the portion of the conductive electrode protruding from the lower surface of the sheet member is formed as a dome-like or hemispherical shape as a whole. 제1항에 있어서,
상기 도전성 전극의 상면에는 니켈 분말 또는 니켈-다이아혼합분말이 도금접합되어 있는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.The method according to claim 1,
And nickel powder or nickel-diamond powder is plated and bonded to the upper surface of the conductive electrode. 제1항에 있어서,
상기 도전성 전극의 상면에는 다수의 범프가 도전성 전극의 중심에 대하여 일정거리 이격되어 원의 형태로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.The method according to claim 1,
Wherein a plurality of bumps are arranged on the upper surface of the conductive electrode in a circular shape with a certain distance from the center of the conductive electrode. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 도전성 전극은 상기 시트부재의 상면보다 돌출된 부분이 돔 형상을 이루고 있는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the conductive electrode has a dome-shaped portion protruding from the upper surface of the sheet member. 제1항에 있어서,
상기 도전부에서 시트부재의 상면보다 돌출된 부분의 수평방향 면적이 상기 도전부에서 시트부재의 하면보다 돌출된 부분의 수평방향 면적보다 큰 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.The method according to claim 1,
Wherein a horizontal area of a portion of the conductive part protruding from the upper surface of the sheet member is larger than a horizontal area of a portion of the conductive part protruding from the lower surface of the sheet member. 삭제delete 상호 전기적 접속이 요구되는 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 상기 검사장치의 패드를 전기적으로 연결하는 접속용 커넥터의 제조방법에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 복수의 관통공이 형성되며 유연성이 있으면서 절연성의 소재로 이루어지는 시트부재와, 강자성체로 이루어지고 상기 시트부재의 상기 관통공에 결합되어 상기 시트부재의 상면과 상기 시트부재의 하면보다 돌출되어 있으며 상시 시트부재의 하면보다 돌출된 부분의 가장자리가 라운드 형상을 가지는 도전성 전극으로 구성되는 접속시트를 마련하는 단계;
상기 시트부재의 도전성 전극과 대응되는 위치마다 강자성체층이 형성되고 그 외의 부분에는 비자성체층이 형성되는 금형을 준비하고, 상기 금형 내에 상기 접속시트를 배치함과 동시에, 상기 금형의 내부에 액상 탄성물질 내에 도전성 입자가 분포된 액상 성형물질을 충전하는 단계; 및
상기 금형 내에 수직방향으로 자장을 가함으로서 상기 도전성 입자가 도전성 전극과 대응되는 위치에 정렬되도록 하고 이를 경화시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터의 제조방법.A method of manufacturing a connector for connection, which is disposed between an inspecting device and an inspecting device requiring mutual electrical connection and electrically connects a terminal of the device to be inspected and a pad of the inspecting device,
A sheet member made of a flexible and insulating material and provided with a plurality of through holes for each position corresponding to a terminal of the device to be inspected; and an upper surface of the sheet member, which is made of a ferromagnetic material and is coupled to the through- Providing a connecting sheet comprising conductive electrodes protruding from the lower surface of the sheet member and having a rounded edge at a portion protruding from the lower surface of the sheet member at all times;
And a non-magnetic layer is formed in the other portion of the sheet member, the connection sheet is disposed in the die, and a liquid elasticity is applied to the inside of the die, Filling the liquid molding material in which the conductive particles are distributed in the material; And
And applying a magnetic field in a vertical direction in the metal mold so that the conductive particles are aligned at positions corresponding to the conductive electrodes and curing the conductive particles. 제8항에 있어서,
상기 도전성 전극에서 시트부재의 하면보다 돌출된 부분은 전체적으로 돔형 또는 반구형으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터의 제조방법.9. The method of claim 8,
Wherein the portion of the conductive electrode protruding from the lower surface of the sheet member is entirely dome-shaped or hemispherical. 제8항에 있어서,
상기 도전성 전극은, 철, 니켈, 코발트 및 그들의 합금 중 적어도 어느 하나의 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터의 제조방법.9. The method of claim 8,
Wherein the conductive electrode is made of at least one of iron, nickel, cobalt and alloys thereof.
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