KR101532390B1

KR101532390B1 - Electrical insulating sheet, fabrication method thereof and electrical test apparatus

Info

Publication number: KR101532390B1
Application number: KR1020130165894A
Authority: KR
Inventors: 윤용희; 정호영
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2013-12-27
Filing date: 2013-12-27
Publication date: 2015-06-30
Anticipated expiration: 2033-12-27

Abstract

본 발명은 절연성 시트에 대한 것으로서, 전기적 접속을 위한 소켓의 상면에 배치되어 사용되는 절연성 시트에 있어서, 소켓의 상면에 배치되며 절연성 탄성소재로 이루어지고 상면에 볼록부와 오목부가 다수 마련되어 있는 탄성시트; 상기 탄성시트의 상면에 배치되고 상기 오목부와 상기 볼록부를 덮도록 배치되며 접착성을 가지는 접착부재; 및 상기 접착부재의 상면측에 배치되며 절연성 탄성소재로 이루어지며 상기 접착부재에 의하여 상기 탄성시트의 상면측에 부착되는 시트부재로 이루어지는 절연성 시트에 대한 것이다.The present invention relates to an insulating sheet, and more particularly, to an insulating sheet which is disposed and used on the top surface of a socket for electrical connection. The insulating sheet includes an elastic sheet disposed on an upper surface of a socket and provided with a plurality of convex and concave portions, ; An adhesive member disposed on an upper surface of the elastic sheet and disposed to cover the concave portion and the convex portion and having adhesiveness; And a sheet member disposed on the upper surface side of the adhesive member and made of an insulating elastic material and attached to the upper surface side of the elastic sheet by the adhesive member.

Description

TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an insulating sheet, a method of manufacturing the same, and an electrical insulating sheet,

본 발명은 절연성 시트, 절연성 시트의 제조방법 및 전기적 검사장치에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 결합이 요구되는 한 쌍의 시트를 부착시 서로 견고하게 일체화될 수 있는 절연성 시트, 절연성 시트의 제조방법 및 전기적 검사장치에 대한 것이다.The present invention relates to an insulating sheet, a method for manufacturing an insulating sheet, and an electrical inspection apparatus, and more particularly, to an insulating sheet, a method for manufacturing an insulating sheet, and a method for manufacturing the same, which can firmly integrate a pair of sheets, Electrical inspection apparatus.

일반적으로 피검사 디바이스의 전기적 특성 검사를 위해서는 피검사 디바이스와 검사장치와의 전기적 연결이 안정적으로 이루어져야 한다. 통상 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 위한 장치로서 전기적 검사장치가 사용된다.Generally, in order to inspect the electrical characteristics of a device to be inspected, the electrical connection between the device to be inspected and the inspection device must be stable. An electrical inspection apparatus is usually used as a device for connection between a device to be inspected and an inspection apparatus.

이러한 전기적 검사장치의 역할은 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 교환 가능하게 하는 것이다. 이를 위하여 전기적 검사장치의 내부에 사용되는 접촉수단으로 또는 소켓 또는 포고핀이 사용된다. 이러한 소켓은 탄성을 가지는 도전부를 피검사 디바이스의 단자와 접속시키는 것이며, 포고핀은 내부에 스프링이 마련되어 있어서 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 원활하게 하고, 연결시 발생할 수 있는 기계적인 충격을 완충할 수 있어 대부분의 전기적 검사장치에 사용되고 있다.The role of such an electrical inspection apparatus is to connect the terminals of the device under test and the pads of the inspection apparatus to each other so that electrical signals can be exchanged in both directions. For this purpose, contact means or a socket or pogo pin is used inside the electrical inspection apparatus. Such a socket is for connecting a conductive part having elasticity to a terminal of the device to be inspected, and the pogo pin is provided with a spring inside to smooth connection between the device to be inspected and the inspection device, and a mechanical shock It can be buffered and used in most electrical testing equipment.

이러한 전기적 검사장치의 일예로서, 대한민국 공개특허 제10-2006-0013429호에 개시된 이방 도전성 커넥터 장치가 알려져 있다. 이러한 이방 도전성 커넥터 장치는, 두께 방향으로 신장하는 복수의 도전로 형성부가 절연부에 의해 서로 절연된 상태로 배치되어 이루어지는 이방 도전막과, 절연성 시트에 그 두께 방향으로 신장하는 복수의 전극 구조체가 배치되어 이루어지는 시트형 커넥터를 구비한 이방 도전성 커넥터 장치이며, 상기 시트형 커넥터가 각 전극 구조체의 각각이 상기 이방 도전막의 각 도전로 형성부 상에 위치한 상태에서, 상기 이방 도전막 상에 일체적으로 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.As an example of such an electrical inspection apparatus, an anisotropically conductive connector apparatus disclosed in Korean Patent Laid-Open No. 10-2006-0013429 is known. The anisotropic conductive connector device includes an anisotropic conductive film in which a plurality of conductive path forming portions extending in the thickness direction are arranged so as to be insulated from each other by insulating portions and a plurality of electrode structures extending in the thickness direction thereof are arranged And the sheet-like connector is integrally provided on the anisotropic conductive film in a state in which each of the electrode structures is positioned on each conductive path forming portion of the anisotropic conductive film .

상기 시트형 커넥터에서, 전극 구조체가 배치되는 절연성 시트는 통상 폴리이미드와 같은 탄성소재로 이루어지게 되는데, 이러한 폴리이미드는 전극 구조체를 지지하는 기능을 수행하게 된다.In the sheet-like connector, the insulating sheet on which the electrode structure is disposed is usually made of an elastic material such as polyimide. The polyimide functions to support the electrode structure.

한편, 최근에는 시트형 커넥터에 해당하는 폴리이미드 시트의 상면에 실리콘 고무 등의 연질의 소재로 이루어진 별도의 연질 시트를 배치하여 피검사 디바이스의 단자가 절연성 시트의 상면에 직접 접촉되지 않고 연질의 실리콘 고무 시트에 접촉되도록 함으로서, 단자의 파손을 방지하는 기술도 개발되고 있다. 이러한 실리콘 고무로 이루어진 시트를 부가하는 방법은 도 1 및 도 2에 개시된 바와 같다.Recently, another soft sheet made of a soft material such as silicone rubber is disposed on the upper surface of the polyimide sheet corresponding to the sheet-like connector so that the terminals of the device to be inspected do not come into direct contact with the upper surface of the insulating sheet, A technique for preventing breakage of the terminal by bringing it into contact with the sheet has been developed. The method of adding such a sheet made of silicone rubber is as shown in Figs. 1 and 2.

먼저 폴리이미드로 이루어진 탄성시트(20)의 상면과 하면에 각각 열경화성 시트(40; 에폭시 수지 시트)에 의하여 부착되어 있는 시트체를 제조사로부터 제공받은 후에, 상기 시트체의 상면 측에 접착성을 가지는 접착부재(30)를 도포하고, 그 위에 실리콘 고무로 이루어진 시트부재(50)를 부착하여 절연성 시트를 제조하게 된다.First, after a sheet body attached to the upper and lower surfaces of the elastic sheet 20 made of polyimide by a thermosetting sheet 40 (epoxy resin sheet) is provided from the manufacturer, The adhesive member 30 is applied, and a sheet member 50 made of silicone rubber is attached thereon to produce an insulating sheet.

그러나, 이러한 종래기술에 따른 절연성 시트는 다음과 같은 문제점이 있게 된다. However, such conventional insulating sheets have the following problems.

절연성 시트는 그 자체로 절연성을 가지고 있기 때문에, 이방 도전막의 상면에 그대로 배치하는 경우에는 전기적 도통에 문제가 있게 되고, 이에 따라서 절연성 시트에 전기전도성을 위한 관통홀을 형성하는 경우가 있다. 또한 절연성 시트를 두껍게 하는 경우에는 전체적으로 절연성 시트의 유연성이 부족하기 때문에 절연성 시트에 별도의 홈(도 4의 도면번호 "60")을 형성하는 일이 있게 된다. Since the insulating sheet itself has insulating property, when the insulating sheet is directly disposed on the top surface of the anisotropic conductive film, there is a problem in electrical conduction, and accordingly, a through hole for electrical conductivity may be formed in the insulating sheet. Further, in the case of thickening the insulating sheet, since the flexibility of the insulating sheet as a whole is insufficient, another groove (reference numeral 60 in Fig. 4) may be formed in the insulating sheet.

이와 같이 폴리이미드로 이루어진 탄성시트의 위에 실리콘 고무로 이루어진 시트부재를 부착한 후에 레이저 등을 이용하여 관통홀 또는 홈을 형성하는 경우 레이저에 의한 고온의 열로 인하여 탄성시트의 상면에 형성되어 있는 열경화성 시트인 에폭시가 탄화됨으로 인하여 탄성시트와 시트부재 간의 접착강도가 떨어지게 된다는 문제점이 있다. 즉, 열경화성 시트인 에폭시가 레이저에 의하여 제거됨으로 인하여 전체적인 부착면적이 감소되고 에폭시가 고온의 열에 의하여 물성이 변화되어 전체적인 접착성능에 영향을 미치게 되는 것이다.When a through hole or a groove is formed by using a laser or the like after attaching a sheet member made of silicone rubber on an elastic sheet made of polyimide as described above, the heat-sensitive sheet, which is formed on the upper surface of the elastic sheet, There is a problem that the adhesive strength between the elastic sheet and the sheet member is deteriorated due to the carbonization of the epoxy resin. That is, since the thermosetting sheet epoxy is removed by the laser, the overall adhesion area is reduced and the epoxy is changed in properties due to the heat at high temperature, thereby affecting the overall adhesive performance.

이와 같이 탄성시트의 상면에 형성된 열경화성 시트의 탄화로 인하여 탄성시트와 시트부재 간의 접착강도가 떨어지게 되면, 피검사 디바이스의 빈번한 접촉으로 인하여 상기 탄성시트로부터 시트부재가 떨어져 나가게 되는 문제점이 있다.When the adhesive strength between the elastic sheet and the sheet member is lowered due to carbonization of the thermosetting sheet formed on the upper surface of the elastic sheet, the sheet member is separated from the elastic sheet due to frequent contact of the device under test.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 결합이 요구되는 한 쌍의 시트를 부착시 서로 견고하게 일체화될 수 있는 절연성 시트, 절연성 시트의 제조방법 및 전기적 검사장치에 대한 것이다.The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and more particularly, to an insulating sheet which can be firmly integrated with each other when a pair of sheets requiring bonding are attached, a method of manufacturing the insulating sheet, will be.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 절연성 시트는, 전기적 접속을 위한 소켓의 상면에 배치되어 사용되는 절연성 시트에 있어서,According to an aspect of the present invention, there is provided an insulating sheet disposed on an upper surface of a socket for electrical connection,

소켓의 상면에 배치되며 절연성 탄성소재로 이루어지고 상면에 볼록부와 오목부가 다수 마련되어 있는 탄성시트;An elastic sheet disposed on an upper surface of the socket and made of an insulating elastic material and having a plurality of projections and recesses on its upper surface;

상기 탄성시트의 상면에 배치되고 상기 오목부와 상기 볼록부를 덮도록 배치되며 접착성을 가지는 접착부재; 및An adhesive member disposed on an upper surface of the elastic sheet and disposed to cover the concave portion and the convex portion and having adhesiveness; And

상기 접착부재의 상면측에 배치되며 절연성 탄성소재로 이루어지며 상기 접착부재에 의하여 상기 탄성시트의 상면측에 부착되는 시트부재로 이루어진다.And a sheet member disposed on the upper surface side of the adhesive member and made of an insulating elastic material and attached to the upper surface side of the elastic sheet by the adhesive member.

상기 절연성 시트에서,In the insulating sheet,

상기 탄성시트의 하면에는 상기 탄성시트를 적어도 일부분 덮는 열경화성 시트가 부착될 수 있다.A thermosetting sheet covering at least a part of the elastic sheet may be attached to the lower surface of the elastic sheet.

상기 절연성 시트에서,In the insulating sheet,

상기 탄성시트와 상기 접착부재의 사이에는 상기 탄성시트의 상면을 적어도 일부분 덮는 열경화성 시트가 마련될 수 있다.A thermosetting sheet covering at least a part of the upper surface of the elastic sheet may be provided between the elastic sheet and the adhesive member.

상기 절연성 시트에서,In the insulating sheet,

상기 열경화성 시트에는 상기 탄성시트의 오목부와 대응되는 위치마다 관통구멍이 형성될 수 있다.The thermosetting sheet may be provided with through holes at positions corresponding to the concave portions of the elastic sheet.

상기 절연성 시트에서,In the insulating sheet,

상기 탄성시트는 상기 시트부재보다 경질의 소재로 이루어질 수 있다.The elastic sheet may be made of a material harder than the sheet member.

상기 절연성 시트에서, 상기 시트부재는 실리콘 고무로 이루어질 수 있다.In the insulating sheet, the sheet member may be made of silicone rubber.

소켓의 상면에 배치되며 절연성 탄성소재로 이루어지는 탄성시트;An elastic sheet disposed on an upper surface of the socket and made of an insulating elastic material;

상기 탄성시트의 상면에 부착되며 상면에 오목부와 볼록부가 형성되어 있는 열경화성 시트;A thermosetting sheet attached to an upper surface of the elastic sheet and having a concave portion and a convex portion formed on an upper surface thereof;

상기 열경화성 시트의 상면에 배치되며 상기 오목부와 상기 볼록부를 덮도록 배치되며 접착성을 가지는 접착부재; 및An adhesive member disposed on an upper surface of the thermosetting sheet and disposed to cover the concave portion and the convex portion and having adhesiveness; And

상기 접착부재의 상면측에 배치되며 절연성 탄성소재로 이루어지며 상기 접착부재에 의하여 상기 탄성시트의 상면측에 부착되는 시트부재로 이루진다.And a sheet member disposed on the upper surface side of the adhesive member and made of an insulating elastic material and attached to the upper surface side of the elastic sheet by the adhesive member.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 전기적 검사장치는, 상기 절연성 시트; 및 상기 절연성 시트의 하면에 배치되며 두께방향으로 신장하는 다수의 도전성 입자가 분포된 복수의 도전부와, 상기 도전부들 사이에 배치되어 각각의 도전부를 절연시키는 절연부로 이루어지는 소켓을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an electrical inspection apparatus comprising: the insulating sheet; And a socket disposed on the lower surface of the insulating sheet and having a plurality of conductive parts distributed with a plurality of conductive particles extending in the thickness direction and an insulating part disposed between the conductive parts to insulate the respective conductive parts.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 절연성 시트의 제조방법은, 전기적 접속을 위한 소켓의 상면에 배치되어 사용되는 절연성 시트의 제조방법으로서,According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an insulating sheet, which is disposed on an upper surface of a socket for electrical connection,

탄성시트의 상면과 하면에 각각 열경화성 시트가 부착되어 있는 시트부재를 마련하는 단계;Providing a sheet member having a thermosetting sheet adhered to an upper surface and a lower surface of the elastic sheet, respectively;

상기 탄성시트의 상면에 볼록부와 오목부가 마련되도록 요철가공하는 단계;Concavo-convex machining to provide a convex portion and a concave portion on the upper surface of the elastic sheet;

상기 탄성시트의 상면의 볼록부와 오목부를 덮도록 접착성을 가지는 접착부재를 마련하는 단계; 및Providing an adhesive member having an adhesive property to cover the convex portion and the concave portion of the upper surface of the elastic sheet; And

상기 접착부재의 상면측에 배치되며 절연성 탄성소재로 이루어지고 상기 접착부재에 의하여 상기 탄성시트의 상면측에 시트부재를 부착하는 단계를 포함한다.And attaching the sheet member to the upper surface side of the elastic sheet by the adhesive member, the adhesive member being made of an insulating elastic material and disposed on the upper surface side of the adhesive member.

상기 제조방법의 상기 요철가공하는 단계에서,In the step of processing the corrugated iron of the manufacturing method,

상기 탄성시트의 상면에 부착된 열경화성 시트는 탄성시트로부터 제거될 수 있다.The thermosetting sheet attached to the upper surface of the elastic sheet can be removed from the elastic sheet.

상기 탄성시트의 상면에 부착된 열경화성 시트에는 오목부와 대응되는 위치마다 관통구멍이 형성될 수 있다.The thermosetting sheet attached to the upper surface of the elastic sheet may be provided with through holes at positions corresponding to the recesses.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 절연성 시트는, The insulating sheet of the present invention for achieving the above-

절연성 탄성소재로 이루어지고 상면에 볼록부와 오목부가 다수 마련되어 있는 탄성시트;An elastic sheet made of an insulating elastic material and provided with a plurality of projections and recesses on its upper surface;

상기 탄성시트의 상면에 배치되며 상기 오목부와 상기 볼록부를 덮도록 배치되며 접착성을 가지는 접착부재; 및An adhesive member disposed on an upper surface of the elastic sheet and disposed to cover the concave portion and the convex portion and having adhesiveness; And

본 발명의 절연성 시트는, 탄성시트의 상면에 볼록부와 오목부로 이루어진 요철이 마련되어 있고 그 위에 시트부재가 접촉부재에 의하여 접착되어 있기 때문에, 접착강도가 우수하여 장시간 사용하더라도 탄성시트로부터 시트부재가 이탈되는 일이 없게 된다.Since the insulating sheet of the present invention is provided with concavities and convexities formed by convex portions and concave portions on the upper surface of the elastic sheet and the sheet member is adhered thereon by the contact member, the adhesive strength is excellent, There will be no escape.

도 1은 종래기술에 따른 절연성 시트를 나타내는 단면도.
도 2는 도 1의 절연성 시트에 레이저 가공을 수행하는 모습을 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사장치를 나타내는 도면.
도 4는 도 3의 일부 모습을 나타내는 도면.
도 5는 도 4의 절연성 시트를 확대한 모습을 나타낸 도면.
도 6은 도 5의 제조방법을 나타내는 도면.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 절연성 시트를 나타내는 도면.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 절연성 시트의 일 구성을 나타내는 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a cross-sectional view showing an insulating sheet according to the prior art;
Fig. 2 is a view showing a state where laser processing is performed on the insulating sheet of Fig. 1; Fig.
3 is a view showing an electrical inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 4 is a view showing a part of Fig. 3; Fig.
Fig. 5 is an enlarged view of the insulating sheet of Fig. 4; Fig.
6 is a view showing the manufacturing method of Fig.
7 is a view showing an insulating sheet according to another embodiment of the present invention.
8 is a view showing one configuration of an insulating sheet according to still another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 절연성 시트를 포함한 전기적 검사장치를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an electrical inspection apparatus including an insulating sheet according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

이러한 전기적 검사장치는, 소켓, 절연성 시트, 제2도전부를 포함하여 구성된다.Such an electrical inspection apparatus comprises a socket, an insulating sheet, and a second conductive portion.

상기 소켓(110)은, 두께방향으로는 전기적인 흐름을 가능하게 하고 두께방향과 직각인 면방향으로는 전기적인 흐름을 불가하게 하는 것으로서, 탄성적으로 압축되면서 피검사 디바이스(180)의 단자(181)로부터 가해지는 충격력을 흡수할 수 있도록 설계된 것이다. 이러한 소켓(110)은, 제1도전부(111)와 절연부(112)를 포함하여 구성된다.The socket 110 is electrically connected to the terminal 180 of the device 180 to be inspected 180 while allowing the electrical current to flow in the thickness direction and to inhibit electrical flow in the direction perpendicular to the thickness direction. 181, respectively. The socket 110 includes a first conductive portion 111 and an insulating portion 112.

상기 제1도전부(111)는, 피검사 디바이스(180)의 단자(181)와 대응되는 위치에 배치되되 탄성물질 내에 다수의 제1도전성 입자가 두께방향으로 일렬 배치되는 것이다.The first conductive part 111 is disposed at a position corresponding to the terminal 181 of the device under test 180 and a plurality of first conductive particles are arranged in a row in the elastic material.

상기 제1도전부(111)를 형성하는 탄성 물질로서는 가교 구조를 갖는 내열성의 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 가교 고분자 물질을 얻기 위해 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 다양한 것을 이용할 수 있지만, 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 액상 실리콘 고무는 부가형의 것이라도 축합형의 것이라도 좋지만, 부가형 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 제1도전부(111)를 액상 실리콘 고무의 경화물(이하,「실리콘 고무 경화물」이라 함)에 의해 형성하는 경우에 있어서, 상기 실리콘 경화물은 그 150 ℃에 있어서의 압축 영구 왜곡이 10 ％ 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 8 ％ 이하, 더욱 바람직하게는 6 ％ 이하이다. 이 압축 영구 왜곡이 10 ％를 넘는 경우에는, 얻을 수 있는 소켓(110)를 고온 환경 하에 있어서 반복해서 사용하였을 때에는 접속용 도전부(22)에 있어서의 도전성 입자의 연쇄에 흐트러짐이 생기는 결과, 소요의 도전성을 유지하는 것이 곤란해진다.As the elastic material for forming the first conductive part 111, a heat-resistant polymer material having a crosslinked structure is preferable. As the curable polymeric substance-forming material that can be used to obtain such a crosslinked polymeric substance, various ones can be used, but liquid silicone rubber is preferable. The liquid silicone rubber may be of an addition type or a condensation type, but an addition type liquid silicone rubber is preferable. In the case where the first conductive portion 111 is formed of a liquid silicone rubber cured product (hereinafter referred to as " silicone rubber cured product "), the silicone cured product has a compression set of 10 Or less, more preferably 8% or less, further preferably 6% or less. When the compression set is more than 10%, when the socket 110 that can be obtained is repeatedly used under a high-temperature environment, the chain of the conductive particles in the connecting conductive portion 22 is disturbed. As a result, It is difficult to maintain the conductivity of the substrate.

상기 제1도전성 입자로는 자성을 나타내는 코어 입자(이하,의 표면에 고도전성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 이용하는 것이 바람직하다. 여기서,「고도전성 금속」이라 함은, 0 ℃에 있어서의 도전율이 5 × 10⁶ Ω/m 이상인 것을 말한다. 도전성 입자(P)를 얻기 위한 자성 코어 입자는 그 수평균 입자 직경이 3 내지 40 ㎛인 것이 바람직하다. 여기서, 자성 코어 입자의 수평균 입자 직경은 레이저 회절 산란법에 의해 측정된 것을 말한다. 자성 코어 입자를 구성하는 재료로서는 철, 니켈, 코발트, 이들 금속을 구리, 수지에 코팅한 것 등을 이용할 수 있지만, 그 포화 자화가 0.1 ㏝/㎡ 이상인 것을 바람직하게 이용할 수 있고, 보다 바람직하게는 0.3 ㏝/㎡ 이상, 특히 바람직하게는 0.5 ㏝/㎡ 이상인 것이고, 구체적으로는 철, 니켈, 코발트 또는 그들 합금을 들 수 있다.As the first conductive particles, it is preferable to use core particles (hereinafter referred to as "core particles") coated with a high-conductive metal. Here, the term "high-conductive metal" The magnetic core particles for obtaining the conductive particles (P) preferably have a number average particle diameter of from 3 to 40 mu m, wherein the number average particle diameter of the magnetic core particles is preferably in the range of from 10 to 10 < ⁶ > As the material constituting the magnetic core particles, iron, nickel, cobalt, those obtained by coating these metals with copper and resin, or the like can be used, but it is preferable that the saturation magnetization is 0.1 ㏝ / More preferably not less than 0.3 m 2 / m 2, and particularly preferably not less than 0.5 m 2 / m 2. Specifically, iron, nickel, cobalt or their alloys may be used. There.

자성 코어 입자의 표면에 피복되는 고도전성 금속으로서는 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등을 이용할 수 있고, 이들 중에서는 화학적으로 안정되고 또한 높은 도전율을 갖는 점에서 금을 이용하는 것이 바람직하다.Gold, silver, rhodium, platinum, chromium and the like can be used as the high-conductive metal to be coated on the surface of the magnetic core particles. Among them, gold is preferably used because it is chemically stable and has high conductivity.

상기 절연부(112)는 상기 도전부를 지지하면서 도전부 간에 절연성을 유지시키는 기능을 수행한다. 이러한 절연부(112)는 상기 제1도전부(111) 내의 탄성물질과 동일한 소재가 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 탄성력이 좋이면서 절연성이 우수한 소재라면 무엇이나 사용될 수 있음은 물론이다.The insulation part 112 supports the conductive part and maintains insulation between the conductive parts. The insulating part 112 may be made of the same material as the elastic material in the first conductive part 111, but it is not limited thereto, and any material having good elasticity and excellent insulation properties can be used.

상기 절연성 시트는, 탄성시트(120)와, 시트부재(140)를 포함하여 구성된다. 즉, 도 3 및 도 4를 참조하여 살펴보면, 상기 탄성시트(120)는, 상기 소켓(110)의 상면측에 부착될 수 있다. 이러한 탄성시트(120)에는 상기 피검사 디바이스(180)의 단자(181)와 대응되는 위치마다 삽입공(121)이 형성될 수 있다. 상기 탄성시트(120)는, 후술하는 제2도전부(130)를 지지하는 기능을 수행하는 것으로서, 바람직하게는 상기 지지부재(140)보다 경질의 소재가 사용될 수 있다. 예컨데, 폴리이미드 같은 합성수지소재가 사용될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 실리콘, 우레탄 또는 기타 탄성소재가 사용될 수 있음은 물론이다. 상기 탄성시트(120)의 삽입공(121)은 레이저에 의하여 형성될 수 있다.The insulating sheet comprises an elastic sheet (120) and a sheet member (140). 3 and 4, the elastic sheet 120 may be attached to the upper surface side of the socket 110. As shown in FIG. The insertion holes 121 may be formed in the elastic sheet 120 at positions corresponding to the terminals 181 of the device under test 180. The elastic sheet 120 serves to support a second conductive part 130, which will be described later. Preferably, the elastic sheet 120 may be made of a harder material than the supporting member 140. For example, a synthetic resin material such as polyimide may be used. However, the present invention is not limited thereto, and it goes without saying that silicon, urethane or other elastic material may be used. The insertion hole 121 of the elastic sheet 120 may be formed by a laser.

한편, 상기 탄성시트(120)에는 서로 인접한 제2도전부(130)가 서로 독립적으로 작동할 수 있도록 분리부(122)가 형성될 수 있다. 이러한 분리부(122)는 레이져 에 의하여 상기 탄성시트(120)의 일부를 절개한 절단홈 또는 절단홀일 수 있다. 이와 같이 탄성시트(120)가 분리부(122)에 의하여 분리되어 있는 경우에는 서로 인접한 제2도전부(130)가 서로 독립적으로 상하이동할 수 있다. 즉, 어느 한 제2도전부(130)가 인접한 제2도전부(130)에 의하여 같은 높이 또는 동등한 높이로 하강하는 일이 없게 되고 독립적으로 위치 이동할 수 있게 되는 것이다.Meanwhile, the elastic sheet 120 may be provided with a separation part 122 so that the second conductive parts 130 adjacent to each other can operate independently of each other. The separating portion 122 may be a cutting groove or a cutting hole formed by cutting a part of the elastic sheet 120 by a laser. When the elastic sheet 120 is separated by the separating part 122, the second conductive parts 130 adjacent to each other can move up and down independently of each other. That is, any one second conductive part 130 is not lowered to the same height or the same height by the adjacent second conductive parts 130, and the position can be independently moved.

이러한 시트부재(140)는, 상기 탄성시트(120)의 상측에 배치되며 상기 피검사 디바이스(180)의 단자(181)와 대응되는 위치에 제2관통공(141)이 형성되는 것이다. 이러한 시트부재(140)는 대략 사각판의 시트형태로 이루어지되 상기 탄성시트(120)보다 연질의 소재로 이루어질 수 있다. 구체적으로는 상기 소켓(110)의 절연부(112)와 동일한 소재로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 시트부재(140)는 연질의 실리콘 고무로 이루어질 수 있다. 이와 같이 얇은 시트형태의 시트부재(140)가 상기 탄성시트(120)의 상측에 배치되어 있음에 따라서 피검사 디바이스(180)의 단자(181)가 상기 시트부재(140)와 접촉시 단자(181)의 파손이 일어나는 것을 최소화할 수 있다. 예를 들어, 피검사 디바이스가 비교적 경질의 탄성시트와 직접적으로 접촉하는 경우에는 상기 피검사 디바이스의 단자의 표면이 손상될 염려가 있으나 연질의 시트부재를 시트부재의 상측에 배치함으로서 단자의 손상을 최소화할 수 있다는 장점이 있다.The sheet member 140 is disposed on the elastic sheet 120 and has a second through hole 141 formed at a position corresponding to the terminal 181 of the device under test 180. The sheet member 140 may have a substantially rectangular plate shape and may be made of a material that is softer than the elastic sheet 120. Specifically, it may be made of the same material as that of the insulating portion 112 of the socket 110. For example, the sheet member 140 may be made of soft silicone rubber. When the terminal 181 of the device under test 180 contacts the sheet member 140 as the sheet member 140 in the form of a thin sheet is disposed on the upper side of the elastic sheet 120, ) Can be minimized. For example, when the inspected device is in direct contact with the relatively hard elastic sheet, the surface of the terminal of the device to be inspected may be damaged. However, by disposing the soft sheet member on the sheet member, It can be minimized.

이러한 탄성시트(120)와 시트부재(140)를 포함하는 절연성 시트에 대한 상세한 구성을 도 5를 통하여 설명한다.A detailed configuration of the insulating sheet including the elastic sheet 120 and the sheet member 140 will be described with reference to FIG.

절연성 시트는, 구체적으로 소켓(110)의 상면에 배치되며 절연성 탄성소재로 이루어지고 상면에 볼록부(120a)와 오목부(120b)가 다수 마련되어 있는 탄성시트(120)와, 상기 탄성시트(120)의 상면에 배치되고 상기 오목부(120b)와 상기 볼록부(120a)를 덮도록 배치되며 접착성을 가지는 접착부재(300)와, 상기 접착부재(300)의 상면측에 배치되며 절연성 탄성소재로 이루어지며 상기 접착부재(300)에 의하여 상기 탄성시트(120)의 상면측에 부착되는 시트부재(140)로 이루어진다. 이때, 탄성시트(120)의 하면에는 상기 탄성시트(120)의 적어도 일부분을 덮는 열경화성 시트(310)가 부착되어 있게 된다. 이와 같이 탄성시트(120)의 상면에 오목부(122)와 볼록부(121)가 서로 교대로 배치된 상태에서 시트부재(140)가 접착부재(300)에 의하여 부착됨에 따라서 상기 탄성시트(120)와 시트부재(140)는 확고하게 결합될 수 있으며 반복적인 검사과정에서 상기 시트부재(140)가 탄성시트(120)로부터 이탈되는 일이 없게 된다.The insulating sheet includes an elastic sheet 120 disposed on the top surface of the socket 110 and having a plurality of convex portions 120a and concave portions 120b formed on the upper surface thereof and an elastic sheet 120 An adhesive member 300 disposed on the upper surface of the adhesive member 300 and disposed to cover the concave portion 120b and the convex portion 120a and an adhesive elastic member 300 disposed on the upper surface of the adhesive member 300, And a sheet member 140 attached to the upper surface of the elastic sheet 120 by the adhesive member 300. At this time, a thermosetting sheet 310 covering at least a part of the elastic sheet 120 is attached to the lower surface of the elastic sheet 120. As the sheet member 140 is attached by the adhesive member 300 in a state where the concave portion 122 and the convex portion 121 are alternately arranged on the upper surface of the elastic sheet 120, And the sheet member 140 can be firmly coupled and the sheet member 140 is not separated from the elastic sheet 120 in a repeated inspection process.

상기 제2도전부(130)는, 상기 탄성시트(120)의 삽입공(121) 내에 배치되되, 탄성물질 내에 다수의 제2도전성 입자가 두께방향으로 배열되어 있는 것이다. 이러한 제2도전부(130)를 구성하는 탄성물질은 상기 제1도전부(111)의 탄성물질과 동일하거나 유사한 소재가 사용될 수 있다. 또한, 필요에 따라서는 제1도전부(111)의 탄성물질보다 강도가 높은 소재가 사용될 수 있음은 물론이다. 상기 제2도전부(130) 내에 배치되는 탄성물질의 양은 상기 제1도전부(111) 내에 배치되는 탄성물질의 양과 비교하여 단위면적당 적은 양이 채워져 있는 것이 바람직하다. 상기 제2도전성 입자는 상기 제1도전성 입자와 동일한 소재 또는 유사한 소재가 사용될 수 있다. 다만, 상기 제2도전성 입자는 상기 제1도전성 입자보다 상기 탄성물질 내에 고밀도로 배치될 수 있다. 예컨데, 단위면적당 제2도전성 입자가 차지하는 부분이 상기 제1도전성 입자가 차지하고 있는 부분보다 큰 것이 바람직하다. 따라서, 상기 제2도전성 입자는 빽빽하게 밀집되어 배치될 수 있다. 이러한 제2도전성 입자는 그 평균입경이 상기 제1도전성 입자의 평균입경보다 작은 것이 바람직하다. The second conductive part 130 is disposed in the insertion hole 121 of the elastic sheet 120, and a plurality of second conductive particles are arranged in the thickness direction in the elastic material. The elastic material constituting the second conductive part 130 may be the same or similar to the elastic material of the first conductive part 111. It goes without saying that a material having a higher strength than the elastic material of the first conductive portion 111 may be used, if necessary. The amount of the elastic material disposed in the second conductive part 130 may be less than the amount of the elastic material disposed in the first conductive part 111. [ The second conductive particles may be made of the same material as the first conductive particles or a similar material. However, the second conductive particles may be disposed in the elastic material at a higher density than the first conductive particles. For example, the portion occupied by the second conductive particles per unit area is preferably larger than the portion occupied by the first conductive particles. Therefore, the second conductive particles can be arranged closely and densely. It is preferable that the average particle diameter of the second conductive particles is smaller than the average particle diameter of the first conductive particles.

한편, 상기 제2도전부(130)는, 탄성시트(120)의 제1삽입공(121) 및 상기 제1도전부(111)에 일체적으로 부착될 수 있다. 이와 같이 탄성시트(120) 및 제1도전부(111)에 일체적으로 부착되어 있음에 따라서 피검사 디바이스(180)의 단자(181)와 빈번하게 접촉되는 경우에도 쉽게 이탈되거나 파손되는 일이 적게 된다.The second conductive part 130 may be integrally attached to the first insertion hole 121 of the elastic sheet 120 and the first conductive part 111. Since the elastic sheet 120 and the first conductive portion 111 are integrally attached to the elastic sheet 120, even if the terminals 181 of the device under test 180 are frequently brought into contact with the elastic sheet 120, do.

이러한 본 발명의 일 실시예에 전기적 검사장치에서 절연성 시트를 제조하는 방법을 도 6을 참조하면서 설명한다.A method of manufacturing an insulating sheet in an electrical inspection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

먼저, 도 6a에 도시된 바와 같이 탄성시트의 상면과 하면에 각각 열경화성 시트가 부착되어 있는 시트체(500)를 마련한다. 이때 시트체(500)는 통상적으로 별도의 제조자에 의하여 공급받게 된다. First, as shown in FIG. 6A, a sheet body 500 having thermosetting sheets adhered to the upper and lower surfaces of the elastic sheet is provided. At this time, the sheet body 500 is usually supplied by a separate manufacturer.

이후에, 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 탄성시트(120)의 상면에 볼록부(120a)와 오목부(120b)가 마련되도록 요철가공한다. 구체적으로 레이저를 일방향으로 이동시켜가면서 상기 탄성시트(120) 위에 부착된 열경화성 시트(310)를 제거하게 된다. 이 과정에서 탄성시트(120)에는 레이저에 의하여 형성된 소정의 요철이 마련되게 되는 것이다.6B, the convex portion 120a and the concave portion 120b are formed on the upper surface of the elastic sheet 120 so that the convex portion 120a and the concave portion 120b are formed. Specifically, the thermosetting sheet 310 attached to the elastic sheet 120 is removed while moving the laser in one direction. In this process, the elastic sheet 120 is provided with predetermined irregularities formed by the laser.

이후에, 도 6(c)에 도시된 바와 같이, 액상의 접착성을 가지는 접착부재(300)를 상기 탄성시트(120)의 볼록부(120a)와 오목부(120b)를 덮도록 도포시킨 후에, 그 위에 절연성 탄성소재로 이루어지는 시트부재(140)를 상기 접착부재(300)에 의하여 상기 탄성시트(120)의 상면측에 부착시키게 된다. Thereafter, as shown in Fig. 6 (c), the adhesive member 300 having a liquid adhesive property is applied so as to cover the convex portion 120a and the concave portion 120b of the elastic sheet 120 , And a sheet member 140 made of an insulating elastic material is adhered on the upper surface of the elastic sheet 120 by the adhesive member 300.

이러한 과정에 의하여 제조된 절연성 시트는 시트부재(140)가 접착부재(300)에 의하여 견고하게 부착되어 있기 때문에, 절연성 시트에 삽입공을 형성하거나 또는 분리부를 형성하기 위하여 레이저에 의하여 절연성 시트에 고온의 열 충격을 가하는 경우에도 열경화성 에폭시 층의 탄화에 의한 접착력의 감소를 최소화할 수 있게 된다.Since the sheet member 140 is firmly adhered to the insulating sheet by the adhesive member 300, the insulating sheet produced by this process can be formed into a high-temperature insulating sheet by a laser to form an insertion hole in the insulating sheet, It is possible to minimize the decrease in the adhesive force due to the carbonization of the thermosetting epoxy layer.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 절연성 시트는 다음과 같이 변형되는 것이 가능하다.The insulating sheet according to one embodiment of the present invention can be modified as follows.

상술한 실시예에서는 탄성시트의 상면에 요철을 형성하는 과정에서 탄성시트에 부착된 열경화성 시트(예를 들면 에폭시 수지)를 레이저에 의하여 제거하는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 7에 개시된 바와 같이 탄성시트(120')의 상면측에 열경화성 시트(310')를 그대로 남겨두는 것도 가능하다. 다만, 이때 열경화성 시트(310')에는 탄성시트(120')의 오목부(120b')와 대응되는 위치마다 관통구멍(311')이 형성되어 있기 때문에 접착부재(300')가 상기 열경화성 시트(310')의 관통구멍(311') 및 탄성시트(120')의 오목부(120b')에 채워질 수 있게 한다. In the above-described embodiment, the thermosetting sheet (for example, epoxy resin) attached to the elastic sheet is removed by the laser in the process of forming the unevenness on the upper surface of the elastic sheet. However, the present invention is not limited to this, It is also possible to leave the thermosetting sheet 310 'as it is on the upper surface side of the elastic sheet 120'. At this time, since the thermosetting sheet 310 'is provided with the through holes 311' at positions corresponding to the recesses 120b 'of the elastic sheet 120', the adhesive member 300 ' Hole 311 'of the elastic sheet 120' and the recess 120b 'of the elastic sheet 120'.

또한, 도 8에 도시된 바와 같이 절연성 시트의 상면의 요철의 형상을 바둑판 형상으로 만드는 것도 가능하다. 또한, 이때 탄성시트(120'')의 상면에 오목부와 볼록부가 형성되는 것이 아니라 열경화성 시트(310'')의 상면에만 오목부(310b'')와 볼록부(310a'')가 형성되어 있고, 탄성시트(120'')에는 별도의 오목부와 볼록부가 형성되지 않아도 무방하다.It is also possible to make the irregularities of the upper surface of the insulating sheet into a checkerboard shape as shown in Fig. At this time, not only concave portions and convex portions are formed on the upper surface of the elastic sheet 120 '', but concave portions 310b '' and convex portions 310a '' are formed only on the upper surface of the thermosetting sheet 310 '' And the elastic sheet 120 '' does not need to have a separate concave portion and convex portion.

상술한 실시예에서는, 전기적 검사장치에서 소켓의 상면측에 마련되는 절연성 시트를 예시하였으나, 다양한 전기적 검사장치에서 사용되는 절연성 시트에 적용되는 것도 가능하다. 예를 들면, 절연성 시트만을 단독으로 사용하는 시트형 커넥터에서도 본 발명에 따른 절연성 시트를 사용할 수 있음은 물론이고, 기타 다양한 범위에서 사용되는 절연성 시트에도 본 발명이 적용될 수 있음은 물론이다.In the above-described embodiments, the insulating sheet provided on the upper surface side of the socket in the electrical inspection apparatus is exemplified, but the present invention can also be applied to the insulating sheet used in various electrical inspection apparatuses. For example, it is needless to say that the insulating sheet according to the present invention can be used in a sheet-like connector using only an insulating sheet alone, and the present invention can also be applied to an insulating sheet used in various other ranges.

이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been described with reference to the particular embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims.

100...전기적 검사장치 110...소켓
111...제1도전부 112...절연부
120...탄성시트 130...제2도전부
140...시트부재 300...접착부재
310...열경화성 시트 500...시트체100 ... Electrical inspection device 110 ... Socket
111 ... first conductive part 112 ... insulating part
120 ... elastic sheet 130 ... second conductive part
140 ... sheet member 300 ... adhesive member
310 ... thermosetting sheet 500 ... sheet body

Claims

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An insulating sheet for use on a top surface of a socket for electrical connection,
An elastic sheet disposed on an upper surface of the socket and made of an insulating elastic material and having a plurality of projections and recesses on its upper surface;
An adhesive member disposed on an upper surface of the elastic sheet and disposed to cover the concave portion and the convex portion and having adhesiveness; And
And a sheet member disposed on the upper surface side of the adhesive member and made of an insulating elastic material and attached to the upper surface side of the elastic sheet by the adhesive member,
And a thermosetting sheet covering at least a part of the elastic sheet is attached to a lower surface of the elastic sheet.

An insulating sheet for use on a top surface of a socket for electrical connection,
An elastic sheet disposed on an upper surface of the socket and made of an insulating elastic material and having a plurality of projections and recesses on its upper surface;
An adhesive member disposed on an upper surface of the elastic sheet and disposed to cover the concave portion and the convex portion and having adhesiveness; And
And a sheet member disposed on the upper surface side of the adhesive member and made of an insulating elastic material and attached to the upper surface side of the elastic sheet by the adhesive member,
And a thermosetting sheet covering at least a part of the upper surface of the elastic sheet is provided between the elastic sheet and the adhesive member.

The method of claim 3,
Wherein the thermosetting sheet is provided with through holes at positions corresponding to the concave portions of the elastic sheet.

The method according to claim 2 or 3,
Wherein the elastic sheet is made of a material harder than the sheet member.

The insulating sheet according to claim 5, wherein the sheet member is made of silicone rubber.

An insulating sheet for use on a top surface of a socket for electrical connection,
An elastic sheet disposed on an upper surface of the socket and made of an insulating elastic material;
A thermosetting sheet attached to an upper surface of the elastic sheet and having a concave portion and a convex portion formed on an upper surface thereof;
An adhesive member disposed on an upper surface of the thermosetting sheet and disposed to cover the concave portion and the convex portion and having adhesiveness; And
And a sheet member disposed on the upper surface side of the adhesive member and made of an insulating elastic material and attached to the upper surface side of the elastic sheet by the adhesive member.

The insulating sheet as set forth in any one of claims 2, 3, and 7; And
And a plurality of conductive parts arranged on a lower surface of the insulating sheet and distributed with a plurality of conductive particles extending in a thickness direction and an insulating part disposed between the conductive parts to insulate the respective conductive parts.

A method of manufacturing an insulating sheet for use on an upper surface of a socket for electrical connection,
Providing a sheet member having a thermosetting sheet adhered to an upper surface and a lower surface of the elastic sheet, respectively;
Concavo-convex machining to provide a convex portion and a concave portion on the upper surface of the elastic sheet;
Providing an adhesive member having an adhesive property to cover the convex portion and the concave portion of the upper surface of the elastic sheet; And
And attaching the sheet member to the upper surface side of the elastic sheet by the adhesive member, the adhesive member being made of an insulating elastic material and disposed on the upper surface side of the adhesive member.

10. The method of claim 9,
In the step of machining the concavities and convexities,
Wherein the thermosetting sheet adhered to the upper surface of the elastic sheet is removed from the elastic sheet.

10. The method of claim 9,
In the step of machining the concavities and convexities,
Wherein the thermosetting sheet adhered to the upper surface of the elastic sheet is provided with a through hole at each position corresponding to the recess.

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