KR101528888B1 - 드라이아이스를 이용한 엘씨디 패널의 표면 세정장치 - Google Patents
드라이아이스를 이용한 엘씨디 패널의 표면 세정장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101528888B1 KR101528888B1 KR1020140043934A KR20140043934A KR101528888B1 KR 101528888 B1 KR101528888 B1 KR 101528888B1 KR 1020140043934 A KR1020140043934 A KR 1020140043934A KR 20140043934 A KR20140043934 A KR 20140043934A KR 101528888 B1 KR101528888 B1 KR 101528888B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- snow
- nozzle
- panel
- dry ice
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
본 발명에 따른 드라이아이스를 이용한 LCD 패널의 표면 세정장치는, 모터에 의해 구동되면서 LCD 패널을 이송시키는 컨베이어; 상기 컨베이어가 관통되도록 설치되며, 투명한 재질로 제작된 세정베스(clean bath); 상기 세정베스 내에 설치되며, 드라이아이스를 스노우 상태로 변환시킨 입자를 패널 상에 분사시키는 스노우노즐; 상기 세정베스 내의 스노우노즐 측면에 설치되며, 길이방향을 따라 중앙으로 패널 상에 초음파를 공급하는 초음파 공급노즐이 구비되고, 상기 초음파 공급노즐의 양 측면으로는 패널에서 분리된 이물질을 흡입하기 위한 진공흡입 노즐이 구비된 초음파-진공흡입 노즐을 포함하여 구성되며, 상기 스노우노즐이 스노우 상태의 드라이아이스를 패널 상에 분사하는 압력은 2∼5㎏/㎠인 것을 특징으로 한다.
Description
도 2는 세정장치를 개략적으로 설명하기 위한 단면도이다.
도 3은 스노우 상태의 드라이아이스를 공급하는 장치의 블록도이다.
도 4는 패널 상의 이물질을 제거하는 공정을 설명하기 위한 도면이다.
20 : 패널 21 : 유리기판
22 : 코팅막
30 : 세정베스(clean bath) 31 : 스노우노즐
311 : 스노우 공급장치 312 : 드라이아이스 제조 및 공급장치
313 : 드라이아이스 공급장치
33 : 초음파-진공흡입 노즐 331 : 초음파 공급노즐
332 : 진공흡입 노즐
Claims (5)
- 유리기판 위에 코팅막을 형성한 LCD 패널의 표면 세정장치에 있어서,
상기 세정장치는,
모터에 의해 구동되면서 LCD 패널을 이송시키는 컨베이어(conveyor);
상기 컨베이어가 관통되도록 설치되며, 투명한 재질로 제작된 세정베스 (clean bath);
상기 세정베스 내에 설치되며, 드라이아이스를 스노우 상태로 변환시킨 입자를 패널 상에 분사시키는 스노우노즐(snow nozzle);
상기 세정베스 내의 스노우노즐 측면에 설치되며, 패널 상에 초음파를 공급하는 초음파 공급노즐이 길이방향을 따라 중앙에 구비되고, 상기 초음파 공급노즐의 양 측면으로는 분리된 이물질을 흡입하기 위한 진공흡입 노즐이 구비된 초음파-진공흡입 노즐;
을 포함하여 구성되며, 상기 스노우노즐이 스노우 상태의 드라이아이스를 패널 상에 분사하는 압력은 2∼5㎏/㎠인 것을 특징으로 하는 드라이아이스를 이용한 LCD 패널의 표면 세정장치.
- 제1항에 있어서,
상기 스노우노즐은, 세정베스 외부에 설치된 스노우 공급장치로부터 드라이아이스를 스노우 상태로 변환시킨 입자를 공급받으며,
상기 스노우 공급장치는, 기(旣)제조된 드라이아이스를 공급받아 스노우 상태로 변환시켜 스노우노즐에 공급하는 것을 특징으로 하는 드라이아이스를 이용한 LCD 패널의 표면 세정장치.
- 제1항에 있어서,
상기 스노우노즐은, 세정베스 외부에 설치된 스노우 공급장치로부터 드라이아이스를 스노우 상태로 변환시킨 입자를 공급받으며,
상기 스노우 공급장치는, 액화된 이산화탄소로부터 직접 제조한 드라이아이스를 공급받아 스노우 상태로 변환시켜 스노우노즐에 공급하는 것을 특징으로 하는 드라이아이스를 이용한 LCD 패널의 표면 세정장치.
- 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 스노우노즐은 패널에 수직방향으로 설치되거나, 또는 일정 각도 경사지도록 설치되는 것을 특징으로 하는 드라이아이스를 이용한 LCD 패널의 표면 세정장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140043934A KR101528888B1 (ko) | 2014-04-14 | 2014-04-14 | 드라이아이스를 이용한 엘씨디 패널의 표면 세정장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020140043934A KR101528888B1 (ko) | 2014-04-14 | 2014-04-14 | 드라이아이스를 이용한 엘씨디 패널의 표면 세정장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR101528888B1 true KR101528888B1 (ko) | 2015-06-15 |
Family
ID=53504569
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020140043934A Active KR101528888B1 (ko) | 2014-04-14 | 2014-04-14 | 드라이아이스를 이용한 엘씨디 패널의 표면 세정장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101528888B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020174769A1 (ja) * | 2019-02-26 | 2020-09-03 | 富士フイルム株式会社 | ラビングローラ除塵方法および装置、並びにラビング処理方法および装置 |
KR102688542B1 (ko) * | 2023-06-14 | 2024-07-25 | 주식회사 비에이치에스티 | 이산화탄소 세정시스템 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030068772A (ko) * | 2002-02-18 | 2003-08-25 | 태화일렉트론(주) | 엘씨디 패널의 건식 세정 장치 |
JP2003245619A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-09-02 | Jfe Steel Kk | ドライアイススノー噴射洗浄方法及び装置 |
JP2009268948A (ja) * | 2008-05-01 | 2009-11-19 | Dainippon Printing Co Ltd | フィルム洗浄方法及びフィルム洗浄装置 |
JP2013059711A (ja) * | 2011-09-12 | 2013-04-04 | Japan Display East Inc | 洗浄方法 |
-
2014
- 2014-04-14 KR KR1020140043934A patent/KR101528888B1/ko active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030068772A (ko) * | 2002-02-18 | 2003-08-25 | 태화일렉트론(주) | 엘씨디 패널의 건식 세정 장치 |
JP2003245619A (ja) * | 2002-02-26 | 2003-09-02 | Jfe Steel Kk | ドライアイススノー噴射洗浄方法及び装置 |
JP2009268948A (ja) * | 2008-05-01 | 2009-11-19 | Dainippon Printing Co Ltd | フィルム洗浄方法及びフィルム洗浄装置 |
JP2013059711A (ja) * | 2011-09-12 | 2013-04-04 | Japan Display East Inc | 洗浄方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020174769A1 (ja) * | 2019-02-26 | 2020-09-03 | 富士フイルム株式会社 | ラビングローラ除塵方法および装置、並びにラビング処理方法および装置 |
JPWO2020174769A1 (ja) * | 2019-02-26 | 2021-10-14 | 富士フイルム株式会社 | ラビングローラ除塵方法および装置、並びにラビング処理方法および装置 |
KR102688542B1 (ko) * | 2023-06-14 | 2024-07-25 | 주식회사 비에이치에스티 | 이산화탄소 세정시스템 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI407522B (zh) | 基板處理裝置及其清潔模組 | |
KR101855200B1 (ko) | 글라스패널 세정시스템 | |
KR102368126B1 (ko) | 에칭 장치, 에칭 방법, 기판의 제조 방법, 및 기판 | |
KR101528888B1 (ko) | 드라이아이스를 이용한 엘씨디 패널의 표면 세정장치 | |
KR20060040559A (ko) | 평판램프 제조용 성형유리기판 세정 장치 및 방법 | |
TWI344398B (ko) | ||
JP6060140B2 (ja) | 乾式指紋洗浄装置 | |
JP2015202997A (ja) | 基板、基板製造システム、剥離装置、基板製造方法および剥離方法 | |
CN101081395B (zh) | 以复合式洁净基板的表面污染物的方法 | |
KR101988999B1 (ko) | 매엽식 화학연마장치 | |
JP6870617B2 (ja) | ディスプレイ用ガラス基板およびその製造方法 | |
JP2010131485A (ja) | 基板の液切り装置および液切り方法 | |
KR102009883B1 (ko) | 표시모듈 세정장치 및 세정방법 | |
JP6958476B2 (ja) | ガラス積層体の製造方法及び電子デバイスの製造方法 | |
JP5317304B2 (ja) | 化学研磨装置 | |
KR100693761B1 (ko) | 상압 플라즈마 발생기를 구비한 세정장치 | |
JP2016155728A (ja) | ガラス基板製造装置およびガラス基板製造方法 | |
CN104341113A (zh) | 夹层玻璃结构及防眩光玻璃的制造方法 | |
KR102266844B1 (ko) | 분사모듈 시스템 | |
KR102266843B1 (ko) | 분사모듈 시스템 | |
CN206806310U (zh) | 一种真空吸管头 | |
KR20110054939A (ko) | 건식 세정장치 | |
JP2003306774A (ja) | プラズマ放電処理装置 | |
KR20070080754A (ko) | 표시 장치의 제조 방법 및 제조 시스템 | |
KR101310091B1 (ko) | 박막 세정장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20140414 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20150318 Patent event code: PE09021S01D |
|
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20150605 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20150609 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20150609 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180702 Year of fee payment: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20180702 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20210510 Start annual number: 7 End annual number: 7 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20230531 Start annual number: 9 End annual number: 9 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20240610 Start annual number: 10 End annual number: 10 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20250526 Start annual number: 11 End annual number: 11 |