KR101506131B1

KR101506131B1 - 검사용 시트의 제조방법 및 검사용 시트

Info

Publication number: KR101506131B1
Application number: KR1020140043685A
Authority: KR
Inventors: 이병주; 이학용; 김종원
Original assignee: 주식회사 아이에스시
Priority date: 2014-04-11
Filing date: 2014-04-11
Publication date: 2015-03-26
Anticipated expiration: 2034-04-11
Also published as: CN106560004B; TWI570414B; WO2015156653A1; TW201546459A; CN106560004A

Abstract

본 발명은 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 상기 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 시트의 제조방법으로서, 소정온도 이상의 열을 가하면 고체상태에서 기체상태로 변화될 수 있는 제1물질로 이루어지며, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 구멍이 형성되어 있는 프레임을 제조하는 단계; 상기 프레임을 금형 내에 넣고 상기 금형 내에 액상 고분자 물질 내에 자성을 나타내는 도전성 입자를 분포되어 있는 액상 성형물질을 채워넣는 단계; 상기 금형 내에 두께방향으로 자장을 가하여 액상 성형물질 내에서 도전성 입자가 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 정렬되도록 하는 단계; 상기 액상 성형물질을 경화시켜 프레임이 일체화된 검사용 시트를 제작하는 단계; 및 상기 프레임에 소정온도 이상의 열을 가함으로서 상기 프레임을 기화시켜 검사용 시트로부터 프레임을 제거하고, 이로 인하여 상기 검사용 시트 내에 연통공이 마련되도록 하는 단계를 포함하는 검사용 시트의 제조방법에 대한 것이다.

Description

검사용 시트의 제조방법 및 검사용 시트{Fabrication method of test sheet and test sheet}

작은 하중으로도 전기적 접속이 확실하게 이루어질 수 있도록 하고 제조가 간편한 검사용 시트의 제조방법 및 검사용 시트에 대한 것이다.

일반적으로 제조가 완료된 반도체 디바이스와 같은 피검사 디바이스의 불량여부를 판단하기 위하여 전기적 테스트를 실시한다. 구체적으로는 검사장치로부터 소정의 테스트신호를 피검사 디바이스으로 흘려보내 그 기판의 단락여부를 판정하게 된다. 이러한 검사장치와 피검사

디바이스은 서로 직접 접속되는 것이 아니라, 소위 테스트 소켓이라는 매개장치를 이용하여 간접적으로 접속되게 된다. 그 이유는 검사장치의 단자에 피검사 디바이스의 단자가 직접 접촉하는 경우에는 반복적인 테스트과정에서 검사장치의 단자가 마모 또는 파손이 발생하게 되며 이러한 검사장치의 단자가 파손되면 전체적인 검사장치를 교체해야 하여 전체적으로 많은 비용이 발생될 요인이 되기 때문이다. 따라서, 테스트 소켓을 사용하게 되면 피검사 디바이스은 검사장치에 장착된 테스트소켓에 접촉하게 되고 이에 따라 테스트 소켓이 반복적인 접촉에 의하여 마모 또는 파손되며 그 테스트 소켓만을 교체하여 주면 되어 전체적인 교체비용을 절약할 수 있게 된다.

한편, 이러한 테스트소켓으로는 스프링이 포함된 포고핀 등 다양한 것이 사용될 수 있으나, 최근에는 내부에 도전성 입자가 포함되고 탄성을 가지는 검사용 시트가 주로 사용되어 오고 있다.

이러한 검사용 시트의 일예는 도 1에 도시된다. 상기 검사용 시트(1)는, 탄성 물질 내에 다수의 도전성 입자(21)가 함유되어 있는 형태로 이루어진다. 이러한 다수의 도전성 입자(21)는 두께방향으로 배향되어 하나의 도전부(20)를 이루며 이러한 도전부(20)가 상기 피검사 디바이스(50)의 단자(51)와 대응되도록 면방향으로 다수개가 배열되어 있게 된다. 이러한 도전부(20)는 피검사 디바이스(50)의 단자(51) 이외의 부분에 배치되며 상기 도전부(20)와 결합되어 각각을 지지하면서 상기 도전부(20)를 서로 절연시키는 절연지지부(10)에 의하여 절연 및 지지된다.

이러한 검사용 시트(1)는 검사장치(40)에 탑재된 상태에서 그 각각의 도전부(20)가 검사장치(40)의 패드(41)와 접촉되어 있게 된다. 이후에 도 2에 도시한 바와 같이 피검사 디바이스(50)이 하강하면 그 피검사 디바이스(50)의 단자(51)가 각각의 도전부(20)와 접촉하면서 검사용 시트(1)를 하측으로 가압하게 되며, 이에 따라 도전부(20) 내의 도전성 입자(21)들은 서로 밀착되면서 통전이 가능한 상태를 형성한다. 이후, 검사장치(40)로부터 소정의 테스트신호가 인가되면 그 테스트신호가 검사용 시트(1)를 거쳐 피검사 디바이스(50)으로 전달되고, 그 반사신호는 반대로 검사용 시트(1)를 거쳐 검사장치(40)로 들어오게 된다.

이러한 검사용 시트는 두께방향으로 가압되었을 때 그 두께방향으로만 도전성을 나타내는 특성을 가지며, 납땜 또는 스프링과 같은 기계적 수단이 사용되지 않으므로 내구성이 우수하며 간단한 전기적 접속을 달성할 수 있는 장점이 있다. 또한 기계적인 충격이나 변형을 흡수할 수 있기 때문에, 부드러운 접속이 가능한 장점이 있어 각종 전기적 회로장치 등과 검사장치와의 전기적 접속을 위하여 널리 사용된다.

최근 검사용 시트를 이용하여 검사를 수행하게 되는 피검사 디바이스는 단자간의 간격이 좁아짐과 동시에 단위면적당 많은 수의 단자들이 배치되도록 구성되어 있다. 이와 같이 단자의 수가 많아지고 단자간 간격이 좁아지게 되면 피검사 디바이스의 단자를 검사용 시트에 확실하게 접촉시키기 위한 가압력이 커져야 한다는 문제점이 있다. 그러나, 가압력을 지나치게 크게 하는 경우 일부 단자 또는 검사용 시트의 파손등을 유발할 염려가 있어서 바람직하지 못하다. 이러한 점을 감안하여 적은 가압력으로도 쉽게 변형될 수 있도록 도 3에 도시된 바와 같이 상하방향으로 연장되는 홈(11)을 절연지지부(10)에 마련하는 일이 있다. 이와 같이 절연지지부(10)에 홈(11)을 마련하기 위하여 레이저에 의하여 도전부 사이에 빛을 조사하거나 커팅기구를 이용하게 되는데, 이러한 작업은 번거롭게 시간이 많이 걸리는 문제점이 있다. 특히, 도전부가 많이 형성되어 있게 되는 경우에는 촘촘하게 홈을 형성하는 일이 쉽지 않다는 문제점이 있다.

또한, 홈의 특성상 상면으로 하면을 향하여 패어진 형상을 제작하게 되는데, 이러한 홈은 도전부 상부 측의 변형만을 주로 흡수할 수 있게 되어 전체적으로 고른 변형을 기대할 수 없다는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 적은 가압력으로도 전기적 접속을 용이하게 하고 제조를 간편하게 할 수 있는 검사용 시트의 제조방법 및 검사용 시트에 대한 것이다.

상술한 목적을 달성하기 위한 검사용 시트의 제조방법은, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 상기 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 시트의 제조방법으로서,

소정온도 이상의 열을 가하면 고체상태에서 기체상태로 변화될 수 있는 제1물질로 이루어지며, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 구멍이 형성되어 있는 프레임을 제조하는 단계;

상기 프레임을 금형 내에 넣고 상기 금형 내에 액상 고분자 물질 내에 자성을 나타내는 도전성 입자를 분포되어 있는 액상 성형물질을 채워넣는 단계;

상기 금형 내에 두께방향으로 자장을 가하여 액상 성형물질 내에서 도전성 입자가 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 정렬되도록 하는 단계;

상기 액상 성형물질을 경화시켜 프레임이 일체화된 검사용 시트를 제작하는 단계; 및

상기 프레임에 소정온도 이상의 열을 가함으로서 상기 프레임을 기화시켜 검사용 시트로부터 프레임을 제거하고, 이로 인하여 상기 검사용 시트 내에 연통공이 마련되도록 하는 단계를 포함한다.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,

상기 프레임의 제1물질은 발포제일 수 있다.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,

상기 발포제는 탄산 나트륨, 아조디카본아미드, 벤젠 술포닐 하이드라진 중 어느 하나일 수 있다.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,

상기 프레임에는 고체상태에서 열을 가하면 액화되는 제2물질이 더 포함될 수 있다.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,

상기 제2물질은 파라핀계 탄화수소 또는 알콜지방산 에스테르일 수 있다.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,

상기 프레임은 검사용 시트의 내부에 위치한 내부부분과, 검사용 시트의 외부로 노출되는 노출부분을 포함하되, 상기 내부부분은 노출부분에 연결되어 있어 내부부분에서 기화된 기체상태의 제1물질이 외부로 방출될 수 있다.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,

상기 연통공은 서로 연결되어 있으며, 적어도 일부는 외부와 연결될 수 있다.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,

상기 프레임은 복수개가 서로 상하방향으로 이격되어 배치될 수 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 시트의 제조방법은, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 상기 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 시트의 제조방법으로서,

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있는 프레임을 제조하는 단계;

상기 금형 내에 두께방향으로 자장을 가하여 액상 성형물질 내에서 도전성 입자가 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 정렬되도록 하는 단계;

상기 프레임을 검사용 시트의 면방향을 따라서 이동시킴으로서 상기 검사용 시트로부터 제거하고, 이로 인하여 상기 검사용 시트 내에 연통공이 마련되도록 하는 단계를 포함한다.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,

상기 프레임은 적어도 일부분이 상기 검사용 시트로부터 외부로 노출될 수 있다.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,

상기 프레임은 각각이 일정간격 이격되어 배치되며 일방향으로 연장되는 빔형 부재를 포함할 수 있다.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,

상기 프레임은 복수개가 서로 상하방향으로 배치되어 있어, 위아래에 인접한 빔형 부재는 서로 직각방향으로 교차되어 있을 수 있다.

상기 검사용 시트의 제조방법에서,

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 시트는, 상술한 제조방법에 의하여 제조된다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 시트는,

피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 상기 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 시트로서,

상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되되 두께방향으로 연장되고 다수의 도전성 입자가 탄성 절연물질 내에 포함되어 있는 복수의 도전부; 및

각각의 도전부를 지지하면서 절연시켜 도전부들이 서로 전기적으로 접속되는 것을 방지하는 절연지지부;를 포함하되,

상기 절연지지부에는 복수의 도전부 사이를 지나면서 수평방향으로 연장되어 있으며 단부가 외부와 연결되어 있는 연통공이 마련된다.

상기 검사용 시트에서,

상기 연통공은 원형 또는 사각형 단면을 가진다.

상기 검사용 시트에서,

상기 연통공은 상부에서 바라보았을 때 격자형상을 이룰 수 있다.

본 발명에 따른 검사용 시트는, 상기 검사용 시트 내에 수평방향으로 연장되는 연통공이 마련되어 있어 적은 가압력으로도 전기적 접속을 용이하게 하고 제조를 간편하게 할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 종래의 일 실시예에 따른 검사용 시트를 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 작동모습을 나타내는 도면.
도 3은 종래의 다른 실시예에 따른 검사용 시트를 나타내는 도면.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 시트를 제조하는 모습을 나타내는 도면.
도 5는 도 4에 의하여 제조된 검사용 시트를 나타내는 사시도.
도 6 내지 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 시트를 제조하는 모습을 나타내는 도면.
도 10 및 도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사용 시트를 제조하는 모습을 나타내는 도면.
도 12 및 도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 검사용 시트를 나타내는 도면.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 시트의 제조방법 및 검사용 시트를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 시트(100)는, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 상기 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 것으로서, 도전부(110)와 절연지지부(120)를 포함한다.

상기 도전부(110)는, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되되 두께방향으로 연장되고 다수의 도전성 입자(111)가 탄성 절연물질 내에 포함되어 있는 것으로서 복수개가 마련된다.

상기 탄성 절연물질은 탄성 고분자 물질로서는 가교 구조를 갖는 내열성의 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 가교 고분자 물질을 얻기 위해 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 다양한 것을 이용할 수 있지만, 액상 실리콘 고무가 바람직하다.

액상 실리콘 고무는 부가형의 것이라도 축합형의 것이라도 좋지만, 부가형 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 이 부가형 액상 실리콘 고무는 비닐기와 Si-H 결합의 반응에 의해 경화되는 것이며, 비닐기 및 Si-H 결합의 양쪽을 함유하는 폴리실록산으로 이루어지는 1액형(1성분형)의 것과, 비닐기를 함유하는 폴리실록산 및 Si-H 결합을 함유하는 폴리실록산으로 이루어지는 2액형(2성분형)의 것이 있지만, 본 발명에 있어서는 2액형의 부가형 액상 실리콘 고무를 이용하는 것이 바람직하다.

부가형 액상 실리콘으로서는 그 23 ℃에 있어서의 점도가 100 내지 1,250 ㎩ㆍs의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 150 내지 800 ㎩ㆍs, 특히 바람직하게는 250 내지 500 ㎩ㆍs의 것이다. 이 점도가 100 ㎩ㆍs 미만인 경우에는 상기 부가형 액상 실리콘 고무 중에 있어서의 도전성 입자(111)의 침강이 생기기 쉽고, 양호한 보존 안정성을 얻을 수 없고, 또한 성형 재료층에 평행 자장을 작용시켰을 때에 도전성 입자(111)가 두께 방향으로 늘어서도록 배향하지 않고, 균일한 상태에서 도전성 입자(111)의 연쇄를 형성하는 것이 곤란해지는 일이 있다. 한편, 이 점도가 1250 ㎩ㆍs를 넘는 경우에는 얻을 수 있는 성형 재료가, 점도가 높은 것이 되므로, 금형(140) 내에 성형 재료층을 형성하기 어려운 것이 되는 일이 있고, 또한 성형 재료층에 평행 자장을 작용시켜도 도전성 입자(111)가 충분히 이동하지 않고, 그로 인해 도전성 입자(111)를 두께 방향으로 늘어서도록 배향시키는 것이 어려워지는 일이 있다.

또한, 도전부(110)를 구성하는 도전성 입자(111)는 금속소재의 코어 입자(이하,「자성 코어 입자」라고도 함)의 표면에 고전도성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 이용하는 것이 바람직하다. 여기서,「고전도성 금속」이라 함은, 0 ℃에 있어서의 도전율이 5 ㅧ 10⁶ Ω1m^-1 이상인 것을 말한다. 도전성 입자(111)(13)(P)를 얻기 위한 코어 입자는 그 수평균 입자 직경이 3 내지 40 ㎛인 것이 바람직하다. 여기서, 코어 입자의 수평균 입자 직경은 레이저 회절 산란법에 의해 측정된 것을 말한다.

상기 수평균 입자 직경이 3 ㎛ 이상이면 가압 변형이 용이하고, 저항치가 낮고 접속 신뢰성이 높은 도전부(110)를 얻기 쉬워 바람직하다. 한편, 상기 수평균 입자 직경이 40 ㎛ 이하이면 미세한 접속용 도전부(110)를 쉽게 형성할 수 있고, 또한 얻게 되는 도전부(110)는 안정된 전도성을 갖는 것이 되기 쉽다.

이러한 코어 입자를 구성하는 재료로서는 철, 니켈, 코발트, 이들 금속을 구리, 수지에 코팅한 것 등을 이용할 수 있으며, 이외에도 자성을 띄고 있는 것이 바람직하다. 자성 코어 입자의 표면에 피복되는 고전도성 금속으로서는 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등을 이용할 수 있고, 이들 중에서는 화학적으로 안정되고 또한 높은 도전율을 갖는 점에서 금을 이용하는 것이 바람직하다.

상기 절연지지부(120)는 상기 피검사 디바이스의 단자 이외의 부분에 배치되는 것으로서, 각각의 도전부(110)와 결합되어 그 각각이 도전부(110)를 지지 및 절연시키는 것이다. 구체적으로는 상기 절연지지부(120)는 상기 도전부(110)의 탄성물질과 동일한 소재로 이루어지게 되는 것이 바람직하며, 구체적으로는 실리콘 고무로 이루어지는 것이 좋다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 도전부(110)의 탄성물질과 다른 소재로 구성되는 것도 가능하다.

이러한 절연지지부(120)에는 복수의 도전부(110) 사이를 지나면서 수평방향으로 연장되어 있으며 단부가 외부와 연결되어 있는 연통공(121)이 마련된다. 이러한 연통공(121)은, 대략 사각단면형상을 가지며 위에서 바라보았을 때 격자형상을 가지게 된다. 이러한 연통공(121)은 전체적으로 서로 연결되어 있어 연통공(121)의 일부가 압축되어도 그 압축공기는 외부로 빠져나가게 되어 확실한 변형을 가능하게 한다.

이러한 본 발명의 검사용 시트(100)의 제조방법은 아래와 같다.

먼저, 도 4(a)에 도시된 바와 같이, 소정온도 이상의 열을 가하면 고체상태에서 기체상태로 변화될 수 있는 제1물질로 이루어지며, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 구멍이 형성되어 있는 프레임(130)을 제조한다. 상기 프레임(130)은 대략 격자형태로 이루어지게 된다.

이후에, 도 4(b)에 도시된 바와 같이, 상기 프레임(130)을 금형(140) 내에 넣고 상기 금형(140) 내에 액상 고분자 물질 내에 자성을 나타내는 도전성 입자(111)를 분포되어 있는 액상 성형물질(100')을 채워넣는다. 이때, 액상 성형물질(100')은 금형(140) 내 캐비티에 충전되되 상기 프레임(130)을 둘러싸도록 구성된다.

이후에, 도 4(c)에 도시된 바와 같이, 상기 금형(140) 내에 두께방향으로 자장을 가하여 액상 성형물질(100') 내에서 도전성 입자(111)가 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 정렬되도록 한다. 구체적으로 한 쌍의 금형(140)에서는 캐비티와 인접한 부분이 소정간격을 두고 배치되는 자성체층(141)이 형성되고 그 자성체 층의 사이에는 비자성체층(142)이 배치된다. 이때 자성체층(141)은 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치에 배치될 수 있다. 한편, 자성체층(141)과 비자성체층(142)의 배면측에는 자성체기판(143)이 형성되고 그 자성체기판(143)의 배면측에는 전자석(미도시)등이 배치되어 있다. 이때, 전자석을 가동시키게 되면 그 자기장이 상측에서부터 하측으로 이동하게 되어 이때 액상의 실리콘 고무 내의 도전성 입자(111)는 그 액상 성형물질(100')(실리콘 고무) 내에서 상하방향으로 일렬 배치될 수 있게 된다.

이후, 액상 성형물질(100')을 경화시키면 프레임(130)이 일체화된 검사용 시트(100)의 제작이 완료되게 되며, 경화가 완료된 검사용 시트(100)를 금형(140)에 꺼내게 되면 도 4(d)와 같은 검사용 시트(100)가 얻어진다.

이후, 프레임(130)에 소정온도 이상의 열을 가함으로서 상기 프레임(130)을 기화시켜 검사용 시트(100)로부터 프레임(130)을 제거한다. 이와 같이 검사용 시트(100)로부터 프레임(130)이 제거되면 프레임(130)이 있던 자리에 연통공(121)이 형성되게 된다. 이러한 연통공(121)의 형상은 프레임(130)의 형상과 대응되게 된다.

여기서, 상기 프레임(130)의 제1물질은 발포제일 수 있으며, 상기 발포제는 탄산 나트륨, 아조디카본아미드, 벤젠 술포닐 하이드라진 중 어느 하나일 수 있다. 다만, 프레임(130)을 구성하는 재료는 이에 한정되는 것은 아니며 프레임(130)이 고체상태에서 열을 가하면 액화되는 제2물질을 더 포함할 수 있다. 이때 제2물질은 파라핀계 탄화수소 또는 알콜지방산 에스테르일 수 있다.

또한, 상기 프레임(130)은 검사용 시트(100)의 내부에 위치한 내부부분(131)과, 검사용 시트(100)의 외부로 노출되는 노출부분을 포함하되, 상기 내부부분(131)은 노출부분에 연결되어 있어 내부부분(131)에서 기화된 기체상태의 제1물질이 외부로 방출된다. 이러한 프레임(130)에 의하여 형성된 연통공(121)은 서로 연결되어 있으며, 적어도 일부는 외부와 연결되는 것이다. 상기 프레임(130)을 소정의 틀 내에서 제조될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 방법으로 제조될 수 있다.

이러한 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 검사용 시트(100)는 다음과 같은 장점을 가진다.

먼저 도전부 주변의 연통공이 피검사 디바이스와의 접촉시 도전부의 두께방향 변형을 일정정도 흡수하여 적은 하중상태로 피검사 디바이스와 접촉되는 것을 가능하도록 할 수 있다.

또한, 본 발명의 검사용 시트(100)에서는 도전부(110)의 도전성 입자(111)를 미세하면서도 고밀도로 정렬시키는 것이 가능하다. 일반적으로 도전성 입자(111)의 경우 미세하게 되거나 고밀도로 배치하게 되면 인접한 도전부(110)와 연결될 염려가 있으나, 본원발명은 제조과정에서 인접한 도전부(110)와 분리시키는 프레임(130)을 설치하고 있기 때문에 연결될 염려가 없다는 장점이 있다.

이러한 본 발명의 검사용 시트(100)는, 도 6 내지 도 9와 같이 변형되는 것도 가능하다. 즉, 상술한 도 4 및 도 5의 실시예에서는 프레임(130)을 단일로 사용하는 것을 예시하였으나, 도 6 내지 9에 도시된 바와 같이 복수의 프레임(230)이 서로 상하방향으로 배치되는 것도 가능하다.

이와 같이 복수의 프레임(230)을 이용하여 검사용 시트(240)를 제작하는 경우에는 소정의 연통공(221)이 상하방향으로 이격되어 배치될 수 있게 되며 이에 따라서 도전부(210)의 두께방향 변형을 충분하게 절연지지부(220)가 흡수할 수 있다는 장점이 있다.

또한, 상술한 실시예에 따름 검사용 시트(300)는 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이 변형되는 것도 가능하다.

도 10 및 도 11의 제조방법과 관련하여, 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 상기 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 시트(300)의 제조방법으로서, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있는 프레임(330)을 제조하는 단계; 상기 프레임(330)을 금형(300) 내에 넣고 상기 금형 내에 액상 고분자 물질 내에 자성을 나타내는 도전성 입자(111)를 분포되어 있는 액상 성형물질을 채워넣는 단계; 상기 금형 내에 두께방향으로 자장을 가하여 액상 성형물질 내에서 도전성 입자가 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 정렬되도록 하는 단계; 상기 액상 성형물질을 경화시켜 프레임(330)이 일체화된 검사용 시트(300)를 제작하는 단계; 및 상기 프레임(330)을 검사용 시트(300)의 면방향을 따라서 이동시킴으로서 상기 검사용 시트(300)로부터 제거하고, 이로 인하여 상기 검사용 시트(300) 내에 연통공(321)이 마련되도록 하는 단계를 포함할 수 있다.

이때, 상기 프레임(330)은 적어도 일부분이 상기 검사용 시트(300)로부터 외부로 노출되며, 상기 프레임(330)은 각각이 일정간격 이격되어 배치되며 일방향으로 연장되는 빔형 부재를 포함할 수 있다. 구체적으로 상기 프레임(330)을 대략 빗과 같은 형상으로 이루어질 수 있게 된다.

또한, 상기 프레임(330)은 복수개가 서로 상하방향으로 배치되어 있어, 위아래에 인접한 빔형 부재는 서로 직각방향으로 교차될 수 있다. 또한, 상기 연통공(321)은 서로 연결되어 있으며, 적어도 일부는 외부와 연결되며, 상기 프레임(330)은 복수개가 서로 상하방향으로 이격되어 배치될 수 있다.

일단 금형 내에서 검사용 시트(300)와 일체화된 빗의 형상을 가진 프레임(330)은 검사용 시트(300)가 경화된 후에 상기 검사용 시트(300)로부터 제거하게 되는데, 이는 일방향으로 빼내어서 제거하게 되는 것이다.

본 발명에 따른 검사용 시트(100)는 이에 한정되는 것은 아니며, 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같은 형상을 가질 수 있다. 즉, 검사용 시트(400) 내에 도전부(410) 사이를 수평방향으로 가로지르는 복수의 연통공(421)이 마련되는 것도 가능하다. 이러한 연통공(421)은 대략 원통단면을 가지면서 수평방향으로 연장된 형태를 가지는 것이다.

이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명의 전기적 검사소켓을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.

100...검사용 시트 110...도전부
111...도전성 입자 120...절연지지부
121...연통공 130...프레임
140...금형 141...자성체층
142...비자성체층 143...자성체기판

Claims

피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 상기 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 시트의 제조방법으로서,
소정온도 이상의 열을 가하면 고체상태에서 기체상태로 변화될 수 있는 제1물질로 이루어지며, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 구멍이 형성되어 있는 프레임을 제조하는 단계;
상기 프레임을 금형 내에 넣고 상기 금형 내에 액상 고분자 물질 내에 자성을 나타내는 도전성 입자를 분포되어 있는 액상 성형물질을 채워넣는 단계;
상기 금형 내에 두께방향으로 자장을 가하여 액상 성형물질 내에서 도전성 입자가 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 정렬되도록 하는 단계;
상기 액상 성형물질을 경화시켜 프레임이 일체화된 검사용 시트를 제작하는 단계; 및
상기 프레임에 소정온도 이상의 열을 가함으로서 상기 프레임을 기화시켜 검사용 시트로부터 프레임을 제거하고, 이로 인하여 상기 검사용 시트 내에 연통공이 마련되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 프레임의 제1물질은 발포제인 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
제2항에 있어서,
상기 발포제는 탄산 나트륨, 아조디카본아미드, 벤젠 술포닐 하이드라진 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 프레임에는 고체상태에서 열을 가하면 액화되는 제2물질이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
제4항에 있어서,
상기 제2물질은 파라핀계 탄화수소 또는 알콜지방산 에스테르인 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 프레임은 검사용 시트의 내부에 위치한 내부부분과, 검사용 시트의 외부로 노출되는 노출부분을 포함하되, 상기 내부부분은 노출부분에 연결되어 있어 내부부분에서 기화된 기체상태의 제1물질이 외부로 방출되는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 연통공은 서로 연결되어 있으며, 적어도 일부는 외부와 연결되는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
제1항에 있어서,
상기 프레임은 복수개가 서로 상하방향으로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 상기 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 시트의 제조방법으로서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통공이 형성되어 있는 프레임을 제조하는 단계;
상기 프레임을 금형 내에 넣고 상기 금형 내에 액상 고분자 물질 내에 자성을 나타내는 도전성 입자를 분포되어 있는 액상 성형물질을 채워넣는 단계;
상기 금형 내에 두께방향으로 자장을 가하여 액상 성형물질 내에서 도전성 입자가 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 두께방향으로 정렬되도록 하는 단계;
상기 액상 성형물질을 경화시켜 프레임이 일체화된 검사용 시트를 제작하는 단계; 및
상기 프레임을 검사용 시트의 면방향을 따라서 이동시킴으로서 상기 검사용 시트로부터 제거하고, 이로 인하여 상기 검사용 시트 내에 연통공이 마련되도록 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
제9항에 있어서,
상기 프레임은 적어도 일부분이 상기 검사용 시트로부터 외부로 노출되는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
제9항에 있어서,
상기 프레임은 각각이 일정간격 이격되어 배치되며 일방향으로 연장되는 빔형 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
제11항에 있어서,
상기 프레임은 복수개가 서로 상하방향으로 배치되어 있어, 위아래에 인접한 빔형 부재는 서로 직각방향으로 교차되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
제9항에 있어서,
상기 연통공은 서로 연결되어 있으며, 적어도 일부는 외부와 연결되는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
제9항에 있어서,
상기 프레임은 복수개가 서로 상하방향으로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 검사용 시트의 제조방법.
제1항 내지 제14항 중 어느 한 항의 제조방법에 의하여 제조된 검사용 시트.
피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드 사이에 배치되어 상기 단자와 상기 패드를 서로 전기적으로 연결시키기 위한 검사용 시트로서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 배치되되 두께방향으로 연장되고 다수의 도전성 입자가 탄성 절연물질 내에 포함되어 있는 복수의 도전부; 및
각각의 도전부를 지지하면서 절연시켜 도전부들이 서로 전기적으로 접속되는 것을 방지하는 절연지지부;를 포함하되,
상기 절연지지부에는 복수의 도전부 사이를 지나면서 수평방향으로 연장되어 있으며 단부가 외부와 연결되어 있는 연통공이 마련된 것을 특징으로 하는 검사용 시트.
제16항에 있어서,
상기 연통공은 원형 또는 사각형 단면을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 시트.
제16항에 있어서,
상기 연통공은 상부에서 바라보았을 때 격자형상을 이루는 것을 특징으로 하는 검사용 시트.