KR101391448B1 - 평판 표시 장치의 검사시스템 및 검사방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 평판 표시 장치의 검사시스템 및 방법에 관한 것으로, 본 발명의 평판 표시 장치의 검사시스템은 상기 액정 표시 패널 어셈블리를 정렬 배치하는 검사 스테이지와, 상기 검사 스테이지의 상방에 배치되며 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 측정영역에 대해서 투과한 투과광의 스펙트럼을 측정하는 측정장치와, 상기 측정장치를 상기 검사 스테이지 상에서 등가속도로 이송시키는 이송장치와, 상기 측정장치와 전기적으로 연결되며 상기 측정장치로부터 전달된 스펙트럼의 전기적 신호를 처리하여 결함여부, 결함종류, 결함의 심각도를 알려주는 결함알림장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
평판, 표시, 화상, 불량, 검사
Description
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사시스템의 측정장치를 나타내는 개략 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 방법을 설명하기 위한 플로우챠트이다.
도 4a 및 4b는 각각 다른 위치에 결함을 갖는 적색 서브픽셀의 주기적 패턴 및 각각 다른 위치에 결함을 갖는 적색 서브픽셀를 투과한 스펙트럼 분포의 차이를 도시한 그래프이다.
도 5a 및 5b는 각각 다른 위치에 결함을 갖는 녹색 서브픽셀의 주기적 패턴 및 각각 다른 위치에 결함을 갖는 녹색 서브픽셀를 투과한 스펙트럼 분포의 차이를 도시한 그래프이다.
도 6a 및 6b는 각각 다른 위치에 결함을 갖는 청색 서브픽셀의 주기적 패턴 및 각각 다른 위치에 결함을 갖는 청색 서브픽셀를 투과한 스펙트럼 분포의 차이를 도시한 그래프이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 다른 평판 표시 장치의 검사시스템의 입체영상부에 표시되는 액정 표시 패널 어셈블리의 표시유닛당 스펙트럼 분포의 입체도이다.
본 발명은 평판 표시 장치의 검사시스템 및 그 검사방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 평판 표시 장치의 주기적으로 배열된 적어도 1 이상의 화소를 투과하는 스펙트럼을 분석하여 화소 단위로 결함 또는 불량 여부를 판단할 수 있는 평판 표시 장치의 검사시스템 및 그 검사방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 표시 장치는, 액정 표시 장치(LCD, liquid crystal display)와, 플라즈마 표시 장치(PDP, plasma display panel)와, 유기 전계 발광 표시 장치(OLED, organic electroluminescence display)와, 그리고 전계방출 표시 장치(FED, field emission display) 등을 들 수 있다.
이 중, 액정 표시 장치는, 해상도가 높고 동화상을 실현하기에 충분할 만큼 반응속도가 빠르기 때문에 가장 활발히 연구되고 있다.
상기 액정 표시 장치는 공통 전극과 컬러 필터(color filter) 등이 형성되어 있는 컬러 필터 표시 패널과 화소 전극과 박막 트랜지스터 등이 형성되어 있는 박막 트랜지스터 표시 패널 사이에 액정 물질을 주입해 놓고, 상기 공통 전극에 전압이 인가된 상태에서 상기 화소 전극에 인가되는 화상정보의 전압을 제어하여 유전율 이방성을 가지는 액정 분자들을 상기 공통전극과 화소전극 사이의 전계에 따라 회전시킴으로써 화소별로 빛을 투과시키거나 차단시켜 문자나 화상을 표시하게 된다.
특히, 상기 컬러 필터 표시 패널과 박막 트랜지스터 표시 패널은 진공 중에 어셈블리된 후 단위 패널로 절단된다. 이러한 단위 패널을 "액정 표시 패널 어셈블리"라 부르며, 이를 검사하기 위해서 상기 컬러 필터 표시 패널과 박막 트랜지스터 표시 패널 상의 공통전극과 화소전극 각각에 접촉자를 연결하고 구동신호를 인가함으로써 표시 패널 어셈블리에 테스트 패턴을 표시하고 그 표시된 테스트 패턴으로부터 불량 발생 여부를 검사한다.
종래에는 평판 표시 장치의 결함 또는 불량을 상기 평판 표시 장치의 화상을 육안 또는 현미경을 이용하여 관찰함으로써 검출하였다.
그러나 이러한 육안 검사 방법은 검사자의 주관적 기준에 의해 판단되므로 그 수율에 차이가 발생할 수 있을 뿐만 아니라 육안 검사에는 오랜 시간과 노동력이 많이 요구된다.
또한, 종래에는 텔레비전 카메라 및 화상처리기술을 이용한 자동검사장치도 이용되었으나 패널기판의 화소 밀도보다 높은 화소 밀도를 갖는 고분해 능력 및 고정밀도의 텔레비젼 카메라를 필요로 하는 것이기 때문에 장치 자체가 고가이며, 고분해 카메라로부터 촬영된 화상을 다시 육안으로 관찰하여 패널기판의 결함 또는 불량을 검사자가 판단하여야 하기 때문에 육안 검사의 문제점을 그대로 갖는다.
또한, 육안검사 또는 종래의 자동검사장치는 분해능력의 한계 등으로 인하여 패널 기판의 미세한 얼룩이나 미세한 패널 두께 불량 등을 검출할 수 없었다.
본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 평판 표시 장치의 결함 또는 불량을 강조연산을 이용하여 정확하고 신속하게 검출하기 위한 평판 표시 장치의 검사시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은 고분해 능력 및 고정밀도의 텔레비전 카메라를 필요로 하지 않고 미세한 얼룩이나 두께 불량 등을 검사할 수 있으며 비용도 저렴한 평판 표시 장치의 검사시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은 평판 표시 장치의 불량을 자동으로 검사하는 처리능력이 우수한 평판 표시 장치의 검사시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 패널 어셈블리를 구비한 평판 표시 장치의 검사시스템은 상기 액정 표시 패널 어셈블리를 정렬 배치하는 검사 스테이지와, 상기 검사 스테이지의 상방에 배치되며 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 측정영역을 투과한 투과광의 스펙트럼을 측정하는 측정장치와, 상기 측정장치를 상기 검사 스테이지 상에서 등가속도로 이송시키는 이송장치와, 상기 측정장치와 전기적으로 연결되며 상기 측정장치로부터 전달된 스펙트럼의 전기적 신호를 처리하여 결함여부, 결함종류, 결함의 심각도를 알려주는 결함알림장치를 포함한다.
상기 측정장치는 전방에 측정헤드를 갖는 케이스 내부에 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 측정영역을 투과한 빛을 집속시키는 집속 유닛과, 상기 집속된 빛을 파장별로 분리하는 분광유닛과, 상기 파장별로 분리된 빛을 흡수하고 상기 빛의 파장을 전기적 신호로 각각 변환시키는 광전변환센서를 포함하며, 상기 집속 유닛과 상기 분광유닛은 광 섬유로 연결되어 있을 수도 있다.
상기 광전변환센서는 광 다이오드 어레이, CCD, CMOC 중 어느 하나에 의해서 처리될 수도 있다.
상기 집속 유닛은 집속 렌즈 또는 오목 거울 중 어느 하나를 포함하여 측정영역의 면적을 제어할 수 있다.
상기 측정장치는 상기 적어도 1 이상의 측정헤드가 탈부착되는 바아 형태여서 부분적으로 고장이 난 경우에 교체가능할 수 있으며, 이를 위해서 상기 바아 내부에는 접점을 구비하는 것이 바람직할 것이다.
상기 측정장치의 양단부는 상기 이송장치에 의해서 연결되며, 상기 이송장치는 상기 측정장치를 등가속도로 이동시키며, 스텝 모터에 의해서 구동될 수도 있다.
상기 결함알림장치는 상기 상기 광전변환센서로부터 전송된 광학 데이터를 저장하는 메모리부와, 상기 메모리부에 저장된 데이터로부터 측정영역별 스펙트럼 세기의 평균값을 계산하는 분광계산부와, 상기 측정영역별 스펙트럼 세기가 상기 평균값 이상인 경우에 강조연산처리하는 강조처리 연산부와, 상기 측정영역별 스펙트럼 세기를 입체적으로 표시하는 입체영상표시부를 포함하며, 상기 입체영상표시부는 상기 측정영역별 스펙트럼 세기를 평균값과 비교하고, 상기 메모리부의 데이터베이스를 참조하여 결함여부, 결함종류, 결함의 심각도를 판단하고 이를 알려주는 결함알림부를 포함할 수도 있다.
상기 결함알림장치는 결함의 종류에 따른 패턴을 데이터베이스화하는 데이터베이스부를 더 포함하며, 데이터베이스부는 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 박막 트랜지스터 표시 패널의 전기적 특성 변화에 의해 컬러 필터 표시 패널에 나타나는 오작동에 의한 제1 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터의 두께 차이에 의한 제2 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 블랙 메트릭스의 두께 차이에 의한 제3 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 잔사하는 제4 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 오염에 의한 제5 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 오염에 의한 제6 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 배열 불량에 의한 제7 얼룩, 그리고 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 배향막 불량에 의한 제8 얼룩에 관한 데이터를 포함하며, 상기 데이터중 치유가능하거나 무시할 수 있는 결함과 액정 표시 패널를 버려야 하는 중대한 결함을 분류하여 저장하고 있을 수도 있다.
상기 광원은 평행면광원인 것이 바람직하며, 상기 광원은 200nm 내지 2100nm의 파장을 가지며, 백색광원인 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 방법은 검사 스테이지 상방에 액정 표시 패널 어셈블리를 배치하는 단계와, 상기 액정 표시 패널 어셈블리가 테스트 동작을 수행할 수 있도록 테스트 구동신호를 인가하는 단계와, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 측정영역을 상기 액정 표시 패널 어셈블리 상방의 측정장치를 제어하여 설정하는 단계와, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 하방의 광원으로부터 투과된 광을 상기 측정장치가 측정하는 단계와, 상기 측정장치는 측정된 스펙트럼을 결함알림장치에 전달하는 단계와, 상기 결함알림장치는 측정영역으로부터 측정된 스펙트럼을 중첩하여 평균값을 구하는 단계와, 상기 측정영역으로부터 측정된 스펙트럼 값이 평균값을 초과하는 경우에 결함을 알리는 단계를 포함할 수 있다.
한편, 상기 측정영역으로부터 측정된 스펙트럼 값이 평균값을 초과하는 경우에 결함을 알리는 단계는 해당 측정영역의 평균값 초과부분을 강조연산하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 결함을 알리는 단계는 상기 측정영역에 대응하는 스펙트럼 세기 값을 입체적으로 표시하는 단계와, 상기 입체적으로 표시된 스펙트럼 세기 값과 데이터베이스의 데이터를 비교하여 결함의 종류와 결함의 심각도를 판단하는 단계와, 상기 결함의 종류와 결함의 심각도를 소리, 색 등으로 경고하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 측정영역의 단변 m과 장변 n은 거의 동일하게 설정하는 것이 바람직하며, 상기 측정영역으로부터 측정된 스펙트럼 값이 평균값을 초과하는 경우에 해당 측정영역의 평균값 초과부분을 강조연산하는 단계는 초과부분의 x, y, z 성분 중 적어도 하나를 배수배 처리할 수도 있다.
상기 액정 표시 패널 어셈블리 하방의 광원으로부터 투과된 광을 상기 측정장치가 측정하는 단계는 상기 광원으로부터 조사되는 광이 상기 측정장치의 헤드에 광경로 차이없이 입사되게 제어할 수도 있다.
상기 측정장치를 이송장치를 이용하여 등가속도로 이송시킬 수도 있다.
상기 액정 표시 패널 어셈블리는 컬러 필터 어레이를 포함하는 경우에 상기 적어도 1 이상의 측정영역 각각은 상기 컬러 필터 패널의 적어도 하나의 서브 픽셀 또는 적어도 하나의 픽셀일 수도 있다.
상기 측정장치는 볼록 렌즈를 포함하여 상기 측정영역을 가변시킬 수도 있다.
상기 결함알림부는, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 박막 트랜지스터 표시 패널의 전기적 특성 변화에 의해 컬러 필터 표시 패널에 나타나는 오작동에 의한 제1 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터의 두께 차이에 의한 제2 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 블랙 메트릭스의 두께 차이에 의한 제3 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 잔사하는 제4 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 오염에 의한 제5 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 오염에 의한 제6 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 배열 불량에 의한 제7 얼룩, 그리고 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 배향막 불량에 의한 제8 얼룩 중 적어도 하나를 알려줄 수도 있으며, 상기 측정장치는 상기 전기 신호와 상기 참조 신호의 차이에 의해서 상기 액정 표시 패널 어셈블리를 구성하는 컬러 필터 표시 패널, 박막 트랜지스터 표시 패널, 이들 사이에 채워진 액정 물질층의 두께 뿐만 아니라 상기 박막 트랜지스터 패널에 형성된 박막 트랜지스터의 두께, 상기 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터와 블랙 메트릭스의 두께, 상기 패널 이외의 광학 보상 패널의 두께 중 적어도 하나를 측정할 수도 있다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
특히, 본 발명의 일 실시예에 따르면 수광형 액정 표시 장치를 예를 들어 설명하였으나 이에 한정되지 않고, 능동형 액정 표시 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, 유기 전계 발광 표시 장치(OLED, organic electroluminescence display)와, 그리고 전계방출 표시 장치(FED, field emission display)의 결함 또는 불량 검사에 이용될 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 액정 표시 장치의 결함 또는 불량으로는 백 표시 상태에서 광을 투과시키지 않는 흑결함인 흑점, 흑 표시 상태에서는 광을 투과시키는 백결함, 선의 형태로 흑점이나 휘점이 생기는 선 결함, 화상의 일부가 콘트라스트나 색도가 다르게 표시되는 표시 얼룩 등을 들 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사시스템을 개략적으로 나타낸 사시도이고, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사시스템의 측정장치를 나타내는 개략 사시도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사시스템(1)은 검사대상인 액정 표시 패널 어셈블리(10)가 배치되는 검사 스테이지(100)와, 상기 검사 스테이지(100)에 배치된 액정 표시 패널 어셈블리(10)에 광을 조사하여 투과광의 스펙트럼을 측정하는 측정장치(200)와, 상기 측정장 치(200)로부터 측정된 스펙트럼, 즉 광학적 데이터를 전기적 신호로 전송받아 저장하고, 이를 데이터베이스화하며 광학적 데이터의 적어도 1 성분을 강조연산 처리하여 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)의 화소별 스펙트럼 분포를 입체적으로 표시하는 결함알림장치(300)를 포함한다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사시스템(1)은 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)의 공통전극과 화소전극에 구동신호를 인가하는 액정 표시 패널 어셈블리 구동유닛(11)을 더 포함하며, 상기 액정 표시패널 어셈블리(10)의 화소가 선택되어 테스트 패턴을 표시하는 중에 발생되는 색 얼룩과 같은 미세한 결함 또는 불량을 확인할 수 있도록 한다.
상기 액정 표시 패널 어셈블리 구동유닛(11)은 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)의 전극에 접촉되는 적어도 1 이상의 접촉자를 포함하며, 구동신호를 인가함으로써 액정 표시 패널 어셈블리(10)의 화소를 선택하여 테스트 패턴을 표시할 수 있다.
상기 검사 스테이지(100)는 X축, Y축, 및 XY축 사이의 각 Θ을 따라 이동시킬 수 있는 UVW 스테이지이다. 이와 같이 상기 검사 스테이지(100)를 UVW 스테이지로 선택함으로써 상기 측정장치(200)의 후술하는 측정헤드(210)가 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)의 측정영역(A)에 일대일 대응하도록 정렬되어 측정오차를 줄일 수 있다.
상기 측정장치(200)는 측정헤드(210)와 상기 측정헤드(210)를 소정의 방향으로 이송하는 이송유닛(250)과, 상기 측정헤드(210)의 수광면(210a)에 일방향으로 빛을 조사하는 광원(220)을 포함한다.
상기 측정장치(200)의 측정헤드(210)는 그 내부에 액정표시 패널 어셈블리(10)를 투과한 투과광을 수광하는 집속유닛(211)과, 집속된 투과광의 스펙트럼을 분광하는 분광유닛(213)과, 분광된 스펙트럼을 전기적 신호로 변환하는 광전변환센서(215)를 포함하여 구성된다.
상기 광원(220)은 상기 검사 스테이지(100) 하방에 일반적으로 배치되지만 상방에 배치되어 상기 액정표시 패널 어셈블리(10)로부터 반사된 빛을 이용할 수도 있다. 구체적으로, 상기 광원(220)은 액정 표시 패널 어셈블리(liquid crystal panel assembly)로부터 디스플레이 가능한 자외선 대역의 파장을 포함하기 위해 200nm 내지 2100nm의 파장을 갖는 것일 수 있다. 또한, 상기 광원(220)으로 액정 패널 어셈블리의 후면에 장착되는 백라이트(미도시)를 사용할 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 광원(220)으로부터 측정장치(200)까지의 광경로가 달라짐으로써 발생되는 측정 오차를 방지하기 위해서 평행면광원을 이용하는 것이 바람직하다. 상기 평행면광원은 일련의 렌즈들을 결합하거나 편광판 또는 도광판(700)을 이용하여 만들 수 있다. 상기 광원(220)은 단파장의 레이저 또는 UV 램프를 이용하는 백색광일 수 있다.
상기 광원(220)으로부터 조사된 빛은 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)를 투과한다. 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)를 투과한 빛은 측정장치(200)의 측정헤드(210)를 통해 상기 집속유닛(211)에 입사되고 집속된다.
상기 분광유닛(213)은 상기 집속된 빛을 파장별로 분리한다. 구체적으로, 상기 분광유닛(213)은 집속된 빛을 파장별로 분리시키는 프리즘을 포함하며 브라켓 을 이용하여 상기 측정헤드 내부에 고정되거나 직접 고정될 수 있다.
상기 광전변환센서(215)는 화소단위 이하의 센서로 파장별로 분리된 빛을 흡수하고 빛의 파장을 전기적 신호로 각각 변화시킬 수 있는 것으로 본 발명의 일 실시예에 있어서는 적어도 1 이상의 광 다이오드 어레이 또는 전하 결합 장치(CCD; Charge Coupled Device)에 의해서 처리될 수도 있다.
상기 측정헤드(210)는 적어도 1 이상의 측정영역을 동시에 측정할 수 있도록 바아 형태의 케이스(231)내부에 착탈가능하게 설치되어 이송유닛(250)에 의해서 동시에 구동될 수 있다. 상기 케이스(231) 내부에는 전기적 접점이 일렬로 구비되어 있기 때문에 해당 접점에 측정헤드(210) 고정하기만 하면 되어 어느 하나가 고장이 난 경우에 탈착하여 교체할 수도 있다.
상기 측정헤드(210)의 단면적 및 광전변환센서의 개수는 상기 액정 표시패널 어셈블리의 화소밀도에 대응하는 화소밀도를 갖도록 정해지는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 상기 측정헤드(210)가 상기 액정표시 패널 어셈블리의 화소밀도보다 고분해능, 고정밀도를 가질 필요가 없다.
또한, 상기 측정헤드(210)는 볼록렌즈를 더 구비하여 보다 넓은 측정면적을 측정할 수 있다. 즉, 상기 볼록렌즈를 상하방향으로 이동시킴으로써 적어도 1 이상의 측정영역의 면적을 제어할 수 있다. 따라서, 적어도 1 이상의 측정영역안에 10개의 화소가 있을 수도 있고 5개의 화소가 있을 수도 있다.
상기 측정헤드(210)의 광전변환센서(215)는 전기적으로 상기 결함알림장치(300)와 결합된다. 상기 결함알림장치(300)는 CPU 등으로 상기 광전변환센 서(215)로부터 전송된 광학 데이터를 저장하는 메모리부(311)와, 상기 메모리부(311)에 저장된 데이터로부터 측정영역별 스펙트럼 세기의 평균값을 계산하는 분광 계산부(313)와, 상기 측정영역별 스펙트럼 세기가 상기 평균값 이상인 경우에 강조연산 처리하는 강조처리연산부(315)와, 상기 측정영역별 스펙트럼 세기를 입체적으로 표시하는 입체영상표시부(317)를 포함하며, 상기 입체영상표시부(317)는 상기 측정영역별 스펙트럼 세기를 평균값과 비교하고, 상기 메모리부(311)의 데이터베이스를 참조하여 결함여부, 결함종류, 결함의 심각도를 판단하고 이를 알려주는 결함알림부(318)를 더 포함할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 측정영역은 적어도 하나의 서브 픽셀(SP)(sub-pixel)일 수 있고, 적어도 하나의 픽셀(P)(pixel)일 수도 있다. 여기서, 서브 픽셀(SP)은 컬러 필터(CF)에서 개별 R, G, B 중 어느 하나를 가리키는 것이며, 픽셀(P) 또는 화소는 컬러 필터(CF)에서 개별 R, G, B 한 쌍을 가리키는 것으로 본 발명의 일 실시예에 따르면 적어도 화소별 결함을 측정할 수 있다.
또한, 상기 메모리부(311)는 결함의 종류에 따른 패턴을 데이터베이스화하는 데이터베이스를 더 포함하며, 상기 데이터베이스는 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 박막 트랜지스터 표시 패널의 전기적 특성 변화에 의해 컬러 필터 표시 패널에 나타나는 오작동에 의한 제1 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터의 두께 차이에 의한 제2 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 블랙 메트릭스의 두께 차이에 의한 제3 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 잔사하는 제4 얼 룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 오염에 의한 제5 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 오염에 의한 제6 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 배열 불량에 의한 제7 얼룩, 그리고 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 배향막 불량에 의한 제8 얼룩에 관한 데이터와, 상기 데이터중 치유가능하거나 무시할 수 있는 결함과 액정 표시 패널를 버려야 하는 중대한 결함을 분류하여 저장하여, 상기 결함알림부(318)는 상기 데이터베이스를 참조하여 치유가능하거나 무시할 수 있는 결함과 액정 표시 패널를 버려야 하는 중대한 결함을 분류하여 소리, 또는 색 등으로 강조하여 알려줄 수 있다.
이제 도 3 내지 도 7를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 방법을 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 표시 장치의 검사 방법을 설명하기 위한 플로우챠트이고, 도 4a 및 4b, 도 5a 및 도 5b, 및 도 6a 및 도 6b는 각각 다른 위치에 결함을 갖는 적색, 녹색, 청색 서브픽셀의 주기적 패턴 및 각각 다른 위치에 결함을 갖는 적색, 녹색, 청색 서브픽셀를 투과한 스펙트럼 분포의 차이를 도시한 그래프이다.
도 3을 참조하면, 먼저 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)를 검사스테이지(100)에 정렬 배치하고(S10), 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)의 공통전극과 화소전극 등 전극부에 상기 액정 표시 패널 어셈블리 구동유닛(11)에 의해서 구동신호를 인가함으로써 상기 액정 표시 패널 어셈블리(10)에 테스트 패턴을 형성 및 저장한다(S20).
예를들어, 점 또 선 결함을 검출하고자 하는 경우에는 모든 화소를 오프상태 또는 온 상태로 하여 즉, 블랙 또는 화이트상태에서 액정 표시 패널 어셈블리(10)를 투과한 투과광의 스펙트럼의 세기를 검출할 수 있다.
도 4a 내지 도 6b에 도시된 바와 같이, 주기적 패턴을 갖는 적색, 녹색, 청색 서브픽셀에 각각 다른 위치에 점 결함을 가질 경우에 각각 다른 위치에 결함을 갖는 적색, 녹색, 청색 서브픽셀을 투과한 스펙트럼이 각각 다른 분포를 나타냄을 알 수 있다.
이제 상기 테스트 패턴에 의해서 선택된 서브픽셀 또는 화소를 적어도 1 이상의 측정영역(A)으로 구획하여 상기 측정장치(200)가 상기 적어도 1 이상의 측정영역을 동시에 검사하도록 제어한다(S30).
이 때, 상기 액정 표시 패널 어셈블리는 적색, 녹색, 및 청색 3종의 빛을 각각 투과시키는 3종의 필터가 주기적으로 반복하여 배치되는 패턴을 가지며 화소의 크기가 정사각형에 가깝기 때문에 측정영역을 화소별로 정하는 것이 2종 이상의 필터가 동시에 포함되더라도 측정 위치에 따라서 청색, 적색, 녹색의 각 필터를 투과하는 빛의 혼재 비율이 달라질 염려가 적기 때문에 바람직하다.
즉, 측정영역(A)의 단변을 m, 장변을 n으로 분할하여 mxn개의 측정영역을 구획할 때 m과 n이 거의 동일한 것이 빛의 혼재 비율이 달라질 염려를 줄일 수 있어서 바람직하며, 상기 볼록렌즈를 상하방향으로 제어하여 측정영역(A)를 제어하거나, 상기 측정장치의 케이스(231)를 상하방향으로 이동시켜 적어도 1 이상의 측정헤드를 동시에 초점제어 할 수 있다.
상기 측정영역(A)과 측정장치의 측정헤드의 화소가 거의 일대일 대응되게 배치된 것을 확인하고, 즉, 측정영역(A)안에 1개의 화소, 4개의 화소 등과 같이 2n 개의 화소가 포함되는지 확인하고, 상기 측정헤드가 장착된 케이스(231)를 이동시키는 이동가속도가 상수로 설정되었는지 확인하고(S40), 광원(225)으로부터의 입사광이 평행한지를 확인하고(S50) 스펙트럼의 측정을 시작하기 때문에 고분해능의 카메라를 사용하지 않고도 신속하게 측정을 수행할 수 있다.
이와 같이 측정된 스펙트럼 세기를 측정하여 메모리부(311)에 저장하며(S60), 상기 저장된 스펙트럼 세기를 분광계산부(313)에서 측정영역별 평균값을 구하며(S70), 상기 강조처리연산부(315)에서 측정된 측정영역별 스펙트럼 세기가 평균값이상인지 비교하여 평균값 이상이면 해당 측정영역별 스펙트럼 세기를 정수배하거나 색을 달리하여 강조연산처리한다(S80).
예컨대, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 1개의 화소를 측정영역으로 설정하는 경우에 주기적 패턴을 가지기 때문에 10개의 화소에 대한 평균값도 정상인 경우라면 1개 화소의 측정된 스펙트럼 세기와 동일할 것이기 때문에 평균값을 액정 표시 패널 어셈블리 전체에 대해서 측정하지 않고서도 얻을 수 있다.
또한, 측정영역을 10 개 화소라고 하여 평균값이 100이라고 가정할 때, 적어도 1 이상의 측정영역중 평균값 100 미만인 예컨대 90으로 나타나는 측정영역을 선택하고, 다시 측정영역의 면적을 5개의 화소로 줄여서 평균값 미만인 영역을 찾고 이런 방식을 반복하여 최소 1개의 화소의 결함 또는 불량을 정확히 발견할 수도 있다.
따라서 적어도 1 이상의 측정영역으로 나누어 여러 개의 픽셀을 하나의 측정영역으로 하여 불량여부를 판단할 수 있기 때문에 불량 검사가 신속하게 진행될 수 있을 뿐만 아니라 각각의 픽셀에 대해서도 평균값과 비교되기 때문에 정확하게 불량을 검출할 수 있다.
상기 입체영상표시부(317)는 상기 분광계산부(313)와 강조처리연산부(315)에 의해서 계산된 값을 각각의 측정영역별로 입체적으로 표시한다(S90).
따라서, 일반적으로 극히 극소한 막두께의 변화에 의하여 휘도치의 변화가 극히 적어서 검사하기 어려웠던 색 얼룩까지도 강조되어 입체적으로 표시되기 때문에 검사자가 쉽게 인식할 수 있다.
한편, 상기 결함알림부(318)는 상기 광전변환센서(215)로부터 전달된 측정영역의 전기적 신호, 스펙트럼 세기를 상기 메모리부(311)에 데이터베이스화된 데이터와 비교하여 결함여부, 결함종류, 결함의 심각도를 색 또는 소리로 알려준다(S100).
즉 상기 입체영상표시부(317)에 표시된 결함의 종류에 따른 패턴을 데이터베이스에 저장된 액정 표시 패널 어셈블리 중 박막 트랜지스터 표시 패널의 전기적 특성 변화에 의해 컬러 필터 표시 패널에 나타나는 오작동에 의한 제1 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터의 두께 차이에 의한 제2 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 블랙 메트릭스의 두께 차이에 의한 제3 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 잔사하는 제4 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 오염 에 의한 제5 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 오염에 의한 제6 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 배열 불량에 의한 제7 얼룩, 그리고 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 배향막 불량에 의한 제8 얼룩에 관한 데이터와 비교하여 상기 데이터중 치유가능하거나 무시할 수 있는 결함인지 액정 표시 패널를 버려야 하는 중대한 결함인지를 판단하여 치유가능하거나 무시할 수 있는 결함과 액정 표시 패널를 버려야 하는 중대한 결함을 분류하여 소리, 또는 색 등으로 강조하여 알려줄 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 다른 평판 표시 장치의 검사시스템의 결함표시부에 표시되는 액정 표시 패널 어셈블리의 표시유닛당 스펙트럼 분포의 입체도이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 예컨대 스펙트럼 측정을 통해서 결함을 측정영역별 검출면적을 비교하고 스펙트럼 세기가 평균값을 일정 범위 이상을 벗어난 경우를 라인성 휘점(A)이라고 정의하고, 측정영역별 검출면적을 비교했을 때 검출면적이 국소적이면서 평균값을 일정 범위 이상 벗어난 경우 포인트성 휘점(B)라고 정의하고, 검출면적이 일정한 범위를 가지며 변동성이 일정 범위 이상을 벗어난 경우, 즉 일정한 거리 이상의 경향성을 갖는 경우를 얼룩(C)이라고 표시할 수 있다.
즉, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 측정영역별 다양한 결함을 동시에 표시할 수 있으며, 측정영역별 결함이 종류 및 결함의 심각도를 판단하여 액정 표시 패널 어셈블리의 폐기 여부를 결정할 수 있다.
즉, 상기 결함알림장치(300)는 데이터베이스에 저장된 결함 패턴과 측정영역별 측정되는 스펙트럼 세기의 차이에 의해서, 예를 들어, 액정 표시 패널 어셈블리 중 박막 트랜지스터 표시 패널의 전기적 특성 변화에 의해 컬러 필터 표시 패널에 나타나는 오작동에 의한 얼룩과, 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터의 두께 차이에 의한 얼룩과, 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 블랙 메트릭스의 두께 차이에 의한 얼룩과, 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 잔사하는 얼룩과, 액정 표시 패널 어셈블리의 오염에 의한 얼룩과, 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 오염에 의한 얼룩과, 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 배열 불량에 의한 얼룩과, 그리고 액정 표시 패널 어셈블리의 배향막 불량에 의한 얼룩 등을 정확히 알려줄 수 있다.
이 때, 상기 결함알림장치(300)는 예컨대 광원(200)으로부터 상기 액정 표시 패널 어셈블리로 입사된 빛의 파장이 상기 액정 표시 패널 어셈블리를 구성하는 컬러 필터 표시 패널, 박막 트랜지스터 표시 패널, 이들 사이에 채워진 액정 물질층, 배향막의 두께 뿐만 아니라 상기 박막 트랜지스터 패널에 형성된 박막 트랜지스터의 두께, 상기 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터와 블랙 메트릭스의 두께, 상기 패널 이외의 광학 보상 패널의 두께 중 적어도 하나를 측정액정 표시 패널, 상기 액정 표시 패널상에 형성된 배향막, 포토레지스트층, 컬러필터, 또는 블랙 메트리스의 두께의 차이에 따라서 변화되기 때문에 이들 각각의 두께를 측정하여 이들의 차이에 의해서도 오염을 확인할 수 있다.
상기 측정장치(200)는 측정된 광의 전기적 신호와 참조신호의 차이에 의해서 상기 액정 표시 패널 어셈블리를 구성하는 컬러 필터 표시 패널, 박막 트랜지스터 표시 패널, 이들 사이에 채워진 액정 물질층의 두께뿐만 아니라 상기 박막 트랜지스터 패널에 형성된 박막 트랜지스터의 두께, 상기 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터와 블랙 메트릭스의 두께, 상기 패널 이외의 광학 보상 패널의 두께 중 적어도 하나를 측정할 수 있다.
상기 측정장치(200)는 측정된 광의 전기적 신호와 참조신호의 차이에 의해서 상기 액정 표시 패널 어셈블리를 구성하는 컬러 필터 표시 패널, 박막 트랜지스터 표시 패널, 이들 사이에 채워진 액정 물질층의 두께뿐만 아니라 상기 박막 트랜지스터 패널에 형성된 박막 트랜지스터의 두께, 상기 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터와 블랙 메트릭스의 두께, 상기 패널 이외의 광학 보상 패널의 두께 중 적어도 하나를 측정할 수 있다.
입사된 빛의 파장이 매질의 굴절률 차이, 두께의 차이에 의해서 변화됨은 당해 기술분야의 통상의 지식을 가진자들에게 널리 알려질 사실이기 때문에 자세한 설명은 생략한다.
이상에서와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 평판 표시 장치의 검사시스템은 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 평판 표시 장치의 불량을 정확히 검출할 수 있다. 특히, 적어도 1 이상의 집속 렌즈를 각각 통과한 빛이 프리즘에 의해 파장 별로 분리되어 적어도 1 이상의 광 다이오드 어레이에 흡수되므로, 평판 표시 장치에서 디스플레이되는 화상의 불량 중 얼룩까지 정확히 검출할 수 있게 된다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
Claims (23)
- 액정 표시 패널 어셈블리를 구비한 평판 표시 장치의 검사시스템에 있어서상기 액정 표시 패널 어셈블리를 정렬 배열하는 검사 스테이지와,상기 검사 스테이지의 상방에 배치되며 광원으로부터 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 측정영역을 투과한 투과광의 스펙트럼을 측정하는 측정장치와,상기 측정장치를 상기 검사 스테이지 상에서 등가속도로 이송시키는 이송장치와,상기 측정장치와 전기적으로 연결되며 상기 측정장치로부터 전달된 스펙트럼의 전기적 신호를 처리하여 결함여부, 결함종류, 결함의 심각도를 알려주는 결함알림장치를 포함하며,상기 결함알림장치는 상기 측정장치로부터 전달된 스펙트럼의 측정영역별 스펙트럼 세기가 평균값 이상인 경우에 상기 평균값 초과부분의 x, y, z 성분 중 적어도 하나를 배수배 처리하여 강조연산처리하는 강조처리 연산부를 포함하는 평판 표시 장치의 검사시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 측정장치는 전방에 측정헤드를 갖는 케이스 내부에 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 측정영역을 투과한 빛을 집속시키는 집속 유닛과,상기 집속된 빛을 파장별로 분리하는 분광유닛과,상기 파장별로 분리된 빛을 흡수하고 상기 빛의 파장을 전기적 신호로 각각 변환시키는 광전변환센서를 포함하며,상기 집속 유닛과 상기 분광유닛은 광 섬유로 연결되어 있는 평판 표시 장치의 검사시스템.
- 제 2 항에 있어서,상기 광전변환센서는 광 다이오드 어레이, CCD, CMOC 중 어느 하나에 의해서 처리되는 평판 표시 장치의 검사시스템.
- 제 2 항에 있어서,상기 집속 유닛은 집속 렌즈 또는 오목 거울 중 어느 하나를 포함하여 측정영역의 면적을 제어할 수 있는 평판 표시 장치의 검사시스템.
- 제 2 항에 있어서,상기 측정장치는 상기 적어도 1 이상의 측정헤드가 탈부착되는 바아 형태인 평판 표시 장치의 검사시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 측정장치의 양단부는 상기 이송장치에 의해서 연결되며, 상기 이송장치는 상기 측정장치를 등가속도로 이동시키며, 스텝 모터에 의해서 구동되는 평판 표시 장치의 검사시스템.
- 제 2 항에 있어서,상기 결함알림장치는 상기 광전변환센서로부터 전송된 광학 데이터를 저장하는 메모리부와, 상기 메모리부에 저장된 데이터로부터 측정영역별 스펙트럼 세기의 평균값을 계산하는 분광 계산부와, 상기 측정영역별 스펙트럼 세기를 입체적으로 표시하는 입체영상표시부를 더 포함하며, 상기 입체영상표시부는 상기 측정영역별 스펙트럼 세기를 평균값과 비교하고, 상기 메모리부의 데이터베이스를 참조하여 결함여부, 결함종류, 결함의 심각도를 판단하고 이를 알려주는 결함알림부를 포함하는 평판 표시 장치의 검사시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 결함알림장치는 결함의 종류에 따른 패턴을 데이터베이스화하는 데이터베이스부를 더 포함하며, 데이터베이스부는 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 박막 트랜지스터 표시 패널의 전기적 특성 변화에 의해 컬러 필터 표시 패널에 나타나는 오작동에 의한 제1 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터의 두께 차이에 의한 제2 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 블랙 메트릭스의 두께 차이에 의한 제3 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 잔사하는 제4 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 오염에 의한 제5 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 오염에 의한 제6 얼룩, 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 배열 불량에 의한 제7 얼룩, 그리고 상기 액정 표시 패널 어셈블리의 배향막 불량에 의한 제8 얼룩에 관한 데이터를 포함하며, 상기 데이터중 치유가능하거나 무시할 수 있는 결함과 액정 표시 패널를 버려야 하는 중대한 결함을 분류하여 저장하고 있는 평판 표시 장치의 검사시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 광원은 평행면광원인 평판 표시 장치의 검사시스템.
- 제 9 항에 있어서,상기 광원은 200nm 내지 2100nm의 파장을 가지며, 백색광원인 평판 표시 장치의 검사시스템.
- 평판 표시 장치의 검사 방법에 있어서,검사 스테이지 상방에 상기 평판 표시 장치의 액정 표시 패널 어셈블리를 배치하는 단계와,상기 액정 표시 패널 어셈블리가 테스트 동작을 수행할 수 있도록 테스트 구동신호를 인가하는 단계와,상기 액정 표시 패널 어셈블리의 적어도 1 이상의 측정영역을 상기 액정 표시 패널 어셈블리 상방의 측정장치를 제어하여 설정하는 단계와,상기 액정 표시 패널 어셈블리 하방의 광원으로부터 투과된 광을 상기 측정장치가 측정하는 단계와,상기 측정장치는 측정된 스펙트럼을 결함알림장치에 전달하는 단계와,상기 결함알림장치는 상기 적어도 1 이상의 측정영역으로부터 측정된 스펙트럼을 중첩하여 평균값을 구하는 단계와,상기 적어도 1 이상의 측정영역으로부터 측정된 스펙트럼 값이 평균값과 비교하여 초과하는 경우에 결함을 알리는 단계를 포함하며,상기 적어도 1 이상의 측정영역으로부터 측정된 스펙트럼 값이 평균값과 비교하여 초과하는 경우에 결함을 알리는 단계는 해당 측정영역의 평균값 초과부분의 x, y, z 성분 중 적어도 하나를 배수배 처리하여 강조연산하는 단계를 더 포함하는 평판 표시 장치의 검사 방법.
- 삭제
- 제 11 항에 있어서,상기 적어도 1 이상의 측정영역으로부터 측정된 스펙트럼 값이 평균값과 비교하여 초과하는 경우에 결함을 알리는 단계는 상기 적어도 1 이상의 측정영역에 대응하는 스펙트럼 세기 값을 입체적으로 표시하는 단계를 더 포함하는 평판 표시 장치의 검사 방법.
- 제 13 항에 있어서,상기 적어도 1 이상의 측정영역으로부터 측정된 스펙트럼 값이 평균값과 비교하여 초과하는 경우에 결함을 알리는 단계는 상기 입체적으로 표시된 스펙트럼 세기 값과 데이터베이스의 데이터를 비교하여 결함의 종류와 결함의 심각도를 판단하는 단계와,상기 결함의 종류와 결함의 심각도를 알리는 단계를 포함하는 평판 표시 장치의 검사 방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 측정영역의 단변 m과 장변 n은 동일하게 설정하는 평판 표시 장치의 검사 방법.
- 삭제
- 제 11 항에 있어서,상기 액정 표시 패널 어셈블리 하방의 광원으로부터 투과된 광을 상기 측정장치가 측정하는 단계는 상기 광원으로부터 조사되는 광이 상기 측정장치의 헤드에 광 경로의 차이 없이 입사되게 제어하는 평판 표시 장치의 검사 방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 측정장치를 이송장치를 이용하여 등가속도로 이송시키는 평판 표시 장치의 검사 방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 액정 표시 패널 어셈블리는 컬러 필터 어레이를 포함하며,상기 적어도 1 이상의 측정영역 각각은 상기 컬러 필터 패널의 적어도 하나의 서브 픽셀인 평판 표시 장치의 검사 방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 적어도 1 이상의 측정영역 각각은 상기 컬러 필터 패널의 적어도 하나의 픽셀인 평판 표시 장치의 검사방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 측정장치는 볼록 렌즈를 포함하여 상기 적어도 1 이상의 측정영역을 가변시키는 평판 표시 장치의 검사방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 결함알림장치는,상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 박막 트랜지스터 표시 패널의 전기적 특성 변화에 의해 컬러 필터 표시 패널에 나타나는 오작동에 의한 제1 얼룩,상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러 필터의 두께 차이에 의한 제2 얼룩,상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 형성된 블랙 메트릭스의 두께 차이에 의한 제3 얼룩,상기 액정 표시 패널 어셈블리 중 컬러 필터 표시 패널에 잔사하는 제4 얼룩,상기 액정 표시 패널 어셈블리의 오염에 의한 제5 얼룩,상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 오염에 의한 제6 얼룩,상기 액정 표시 패널 어셈블리의 액정 분자의 배열 불량에 의한 제7 얼룩, 그리고상기 액정 표시 패널 어셈블리의 배향막 불량에 의한 제8 얼룩 중 적어도 하나를 알려주는 평판 표시 장치의 검사방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 측정장치는 측정된 광의 전기적 신호와 참조신호의 차이에 의해서 상기 액정 표시 패널 어셈블리를 구성하는 컬러 필터 표시 패널, 박막 트랜지스터 표시 패널, 이들 사이에 채워진 액정 물질층의 두께뿐만 아니라 상기 박막 트랜지스터 패널에 형성된 박막 트랜지스터의 두께, 상기 컬러 필터 표시 패널에 형성된 컬러필터와 블랙 메트릭스의 두께, 상기 패널 이외의 광학 보상 패널의 두께 중 적어도 하나를 측정하는 평판 표시 장치의 검사방법.
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