KR101257116B1 - 터보 분자 펌프 고정 날개 - Google Patents

Abstract

고정 날개의 파손의 저감을 도모하는데에 적합한 터보분자 펌프 고정 날개를 제공한다. 고정 날개 집합체(30)를 2개 맞대어 링형상의 터보 분자 펌프 고정 날개(B)가 형성된다. 이 상태에 있어서, 내림부(32)에는 공극부(S)가 형성되는 것으로 한다.

Description

터보 분자 펌프 고정 날개{FIXED VANE OF TURBO MOLECULAR PUMP}

본 발명은, 터보 분자 펌프 고정 날개에 관한 것이며, 특히 그 고정 날개의 파손의 발생을 저감하도록 한 것이다.

진공 펌프는, 일반적으로는, 예를 들면 펌프 케이스의 안쪽에 로터를 회전 가능하게 설치한 구조로 이루어지고, 이 로터가 고속 회전함으로써, 이 로터의 외주에 다단으로 절취되어 일체 성형된 회전날개가 고속 회전한다. 펌프 케이스의 내주에는, 고정 날개가 회전날개와 교대로 다단으로 배치되어 있다.

이 다단의 교대로 배치된 고정 날개와 회전날개와의 상호작용에 의해, 가스 분자의 배기 동작을 행하고, 이 진공 펌프가 접속된 반도체 장치의 프로세스 챔버 등 안을 진공 상태로 한다. 즉, 고속 회전하고 있는 최상단의 회전날개가, 가스 흡기구로부터 입사한 가스 분자에 하향 방향의 운동량을 부여하고, 이 하향 방향의 운동량을 갖는 가스 분자가, 고정 날개에 안내되고 다음 단의 회전날개로 이송된다. 이상의 가스 분자로의 운동량의 부여와 이송 동작이 반복되어 다단으로 행해짐으로써, 가스 흡기구측의 가스 분자가 로터 하부측의 나사 고정자의 안쪽에 차례차례 이행하여 배기되고, 이것에 의해 반도체 장치의 프로세스 챔버 등의 안이 진공 상태가 된다.

이상과 같은 가스 분자의 배기 동작을 행하는 고정 날개와 회전날개와의 간격은, 효율적으로 가스 분자의 배기를 행하기 위해 매우 좁게 설정되어 있다.

이 고정 날개는, 예를 들면, 도 7(a)와 같이, 링형상의 내림(rim)부(32)와 외림부(33)와의 사이에 방사형상으로 복수 배치되고, 일체로 연결한 구조의 터보 분자 펌프 고정 날개(B)로서 진공 펌프에 배치된다. 또, 이 터보 분자 펌프 고정 날개(B)는, 일반적으로는, 펌프 케이스의 내주에 회전날개와 교대로 스페이서를 통해, 외림부(33)를 끼워가짐으로써 다단으로 위치 결정 고정되고 있다.

이와 같이 터보 분자 펌프 고정 날개(B)는 회전날개와 다단 교대로 배치되어 있지만, 상기한 바와 같이 그 형상은 링형상이고, 또한, 회전날개는 로터의 외주에 다단으로 절취되어 일체 성형되어 있으므로, 이 링형상의 터보 분자 펌프 고정 날개(B)의 중앙구멍의 부분을 로터에 씌우도록 하여 진공 펌프에 배치하는 것은 불가능하다. 따라서, 이 터보 분자 펌프 고정 날개(B)는, 진공 펌프에 배치 전 상태에 있어서 분할되어 있을 필요가 있다.

예를 들면, 이런 종류의 터보 분자 펌프 고정 날개(B)는, 도 7(b)에 나타낸 바와 같은 내림부(32)와, 외림부(33)와, 이 내림부(32)와 이 외림부(33)와의 사이에 방사형상으로 복수 배치된 고정 날개(31, 31...)를 구비한 반링형상의 고정 날개 집합체(30)를, 동도(a) 및 (b)에 나타낸 바와 같은 방법으로 2개 맞대어 링형상로 한 구조로 되어 있다. 그리고, 이 고정 날개 집합체(30)는 로터를 끼워 넣어 각 고정 날개 집합체(30)가 양측으로부터 끼워지고, 상기 방법으로 링형상로 조합됨으로써, 회전날개와 교대로 진공 펌프 내에 배치된다.

이 고정 날개 집합체(30)를 2개 맞대어 회전날개의 사이에 배치할 때에, 맞대어진 상태로 링형상이 되도록 내림부 단부(32a) 및 외림부 단부(33a)의 위치를 결정을 행할 필요가 있지만, 회전날개는 상기한 바와 같이, 로터에 절취되어 일체 성형되어 있음과 동시에, 고정 날개 집합체(30)의 외림부(33)는 스페이서를 통해 위치 결정 단적(段積)되는 구성이기 때문에, 내림부 단부(32a)의 맞댐 상태가 바깥쪽에서 확인할 수 없다.

즉, 반링형상의 고정 날개 집합체(30)를 진공 펌프 내에 위치 결정 배치할 때에, 바깥쪽에서 눈으로 확인할 수 있는 외림부 단부(33a)만으로 행하는 것이 일반적이며, 내림부 단부(32a)에 대하여는, 눈으로 확인하지 않고 위치 결정 배치하고 있다.

그러나, 이 고정 날개 집합체(30)는, 비용 저감, 작업 효율 등의 관점에서 펀칭 프레스 등을 이용하여 동일 형상의 반링형상의 것이 복수 제조된다(특허 문헌 1).

따라서, 통상이면 이 반링형상의 고정 날개 집합체(30)를 도 7(a)와 같이 2개 맞대면, 맞대어진 각 고정 날개 집합체(30)의 내림부 단부(32a)도 외림부 단부(33a)도 모두 맞댐 라인(L) 상에 위치하게 된다. 그러나, 제조된 고정 날개 집합체(30)에는 불균형도 있고, 상기 펀칭 프레스 시에, 내림부 단부(32a)가 맞댐 라인(L)보다 둘레방향에 대해 설계 치수보다 길게 형성되는 일도 생길 수 있다.

이러한 제조 불량의 고정 날개 집합체(30)의 하나 또는 두 개를 이용하여 상기와 같이 맞대고, 진공 펌프에 위치 결정 배치한 경우에 있어서는, 상기한 바와 같이, 내림부 단부(32a)의 맞댐 상태를 확인할 수 없기 때문에, 이 내림부 단부(32a)끼리가 충돌하여, 도 9(a), (b)에 나타낸 바와 같이 겹쳐 버리거나, 휘어 버리거나 할 우려가 있고, 다음과 같은 문제를 일으킨다.

즉, 고정 날개(31)와 회전날개와의 간격은 상기한 바와 같이, 매우 좁게 설정되어 있다. 그 때문에, 내림부 단부(32a)에 있어서, 도 9(a),(b)에 나타낸 바와 같은 겹침이나 휨이 발생해 버리면, 그 간격이 더 좁아지고, 결국 그 겹침이나 휨이 생긴 돌출된 부분이 회전날개에 접촉되고, 고정 날개(31)의 파손에도 이어질 우려가 있다.

이러한 고정 날개(31)의 파손의 원인은 미연에 막는 것이 안전성 확보, 위험 회피 등의 관점에서 특히 중요하지만, 특허 문헌 2 기재와 같은 링형상의 터보 분자 펌프 고정 날개(B)를 세로로 반나누기한 상태의 고정 날개 집합체(30)를 2개 맞대어 형성된 터보분자 펌프 고정 날개(B), 즉, 반링형상의 고정 날개 집합체(30)의 양단부가, 내림부 단부(32a)와 외림부 단부(33a)가 맞댐 라인(L) 상에 위치하도록 제조된 고정 날개 집합체(30)를 2개 맞대어 형성되는 바와 같은 터보 분자 펌프 고정 날개(B)의 구조에서는, 내림부 단부(32a)의 겹침이나 휨이 원인이 되어 발생하는 고정 날개(31)의 파손의 미연 방지를 도모할 수 없고, 그 결과, 고정 날개(31)의 파손의 저감을 도모할 수 없다.

[특허 문헌 1：일본국 특허공개공보 2003－269365호]

[특허 문헌 2：일본국 특허공개공보 평5－157090호]

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것이며, 그 목적으로 하는 바는, 고정 날개의 파손의 저감을 도모하는데 매우 적합한 터보 분자 펌프 고정 날개를 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 방사형상으로 나열되어 배치된 복수의 고정 날개를 내림부와 외림부에서 일체로 연결하여 이루어진 구조의 반링형상의 고정 날개 집합체를 2개 맞대어 이루어진 링형상의 터보 분자 펌프 고정 날개로서, 상기 터보 분자 펌프 고정 날개는, 상기 고정 날개 집합체를 2개 맞댄 상태로 상기 내림부에는 공극부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 고정 날개 집합체는, 예를 들면, 외형 빼기 가공, 슬릿 빼기 가공, 굽힘성형 가공을 거쳐 반링형상의 동일 형상의 것이 복수 제조되는 것이며, 이 고정 날개 집합체를 2개 맞댐으로써, 링형상의 터보 분자 펌프 고정 날개가 구성된다.

또, 이 고정 날개 집합체의 내림부 단부의 일단이, 맞댐 라인보다 둘레방향에 있어서 짧게 형성되어 있으므로, 이 고정 날개 집합체를 2개 맞대었을 때에 내림부 단부끼리가 충돌하는 일은 없고, 이 고정 날개 집합체를 2개 맞대어 형성된 링형상의 터보 분자 펌프 고정 날개의 내림부에는, 공극부가 형성되게 된다.

본 발명에 있어서, 공극부는, 0.3㎜~0.7㎜이어도 된다. 이 공극부는 고정 날개 집합체를 2개 맞대었을 때의 맞댐 부분에 있어서, 내림부 단부끼리가 겹쳐 버리거나, 휨을 일으키거나 하지 않을 정도의 간격일 필요가 있고, 보다 바람직하게는 공극부는 0.5㎜로 하는 것이 좋다.

또, 이 공극부는, 고정 날개 집합체 내림부 단부의 일단을, 이 고정 날개 집합체를 2개 맞대어 형성되는 맞댐 라인보다 둘레방향에 대하여 짧게 함으로써 형성되고, 이 내림부 단부는, 내림부의 잘라 세움측 단부여도 된다.

내림부의 절취 종단측 단부를 짧게 형성하면, 내림부에 의해 고정 날개를 유지하는 부분이 깎여져 버리게 되고, 고정 날개의 유지 강도가 떨어질 우려가 있으므로 상기와 같이 하는 것이 좋다.

도 1은 진공 펌프의 단면도이다.

도 2는 도 1에 나타낸 진공 펌프에 있어서의 스페이서 주변의 확대도이다.

도 3은 고정 날개 집합체를 제조하는 공정의 설명도(공정 1)이다.

도 4는 고정 날개 집합체를 제조하는 공정의 설명도(공정 2)이다.

도 5는 굽힘성형 가공 후의 고정 날개의 상태를 바로 옆에서 본 도면이다.

도 6은 고정 날개 집합체를 제조하는 공정의 설명도(공정도)이다.

도 7은 터보 분자 펌프 고정 날개의 조립도이다.

도 8은 본 발명에 관한 터보 분자 펌프 고정 날개의 도 7의 맞댐부에 있어서의 확대도이다.

도 9는 종래의 터보 분자 펌프 고정 날개의 도 7의 맞댐부에 있어서의 확대도이다.

[도면의 부호의 설명]

1 펌프 케이스 2 가스 흡기구

3 가스 배기구 4 엔드플레이트

5 고정자 칼럼 6－1 지름 방향 전자석

6－2 축방향 전자석 7 로터축

8 구동 모터 9 로터

10 회전날개 12 나사 고정자

13 나사홈 14 챔버

30 고정 날개 집합체 31 고정 날개

32 내림부 32a 내림부 단부

32a－1 잘라 세움측 단부 32a－2 절취 종단측 단부

33 외림부 33a 외림부 단부

60 스페이서 61 단부

100 판재 101 반링형상 판재

101－1 내림부 단부 형성부 102 슬릿

200 펀치 B 터보 분자 펌프 고정 날개

L 맞댐 라인 S 공극부

이하, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태에 대하여, 첨부한 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

도 1에 나타낸 진공 펌프는, 반도체 제조장치나 액정 디스플레이 패널 제조 장치에 있어서의 진공 장치의 일부로서 사용되고, 진공 챔버 내의 압력을 소정의 진공도로 한 것이다. 또, 동도의 진공 펌프는, 터보 분자 펌프와 나사홈 펌프를 복합한 복합형 진공 펌프이며, 파이프형상의 펌프 케이스(1) 내에 회전 가능하게 배치된 로터(9)를 갖고, 이 로터(9)의 대략 상반부가 터보 분자 펌프로서 기능하고, 한편, 이 로터(9)의 대략 하반부가 나사홈 펌프로서 기능하도록 구성되어 있다.

이 펌프 케이스(1)는, 그 상면의 개구부를 가스 흡기구(2)로 하고, 또한 하부 일측부에 가스 배기구(3)가 되는 배기 파이프를 돌출시켜 설치한 바닥이 있는 원통형의 케이스 구조로 되어 있다. 또, 이 펌프 케이스(1)의 바닥부는 엔드플레이트(4)에 의해 뚜껑이 덮히고, 그 안바닥면 중앙에는 고정자 칼럼(5)이 세워져 있다.

이 고정자 칼럼(5)의 중심부에는 로터축(7)이 회전 가능하게 설치되어 있고, 이 로터축(7)은, 고정자 칼럼(5) 내에 설치한 지름 방향 전자석(6－1)과 축방향 전자석(6－2)으로 이루어진 자기 베어링에 의해, 그 축방향 및 지름 방향으로 각각 베어링 지지되어 있다.

고정자 칼럼(5)의 안쪽에는 구동 모터(8)가 배치되어 있고, 이 구동 모터(8)는, 그 고정자(8a)를 고정자 칼럼(5)의 안쪽에, 회전자(8b)를 로터축(7)에 배치한 구조로서, 로터축(7)을 그 축심 둘레로 회전시키도록 구성되어 있다.

펌프 케이스(1)의 안쪽에 있어서, 로터축(7)의 고정자 칼럼(5)으로부터의 상부 돌출단에는, 고정자 칼럼(5)의 바깥 주위에 덮이는 단면 형상의 로터(9)가 연결되어 있다.

로터(9)의 상부 외주에는 회전날개(10)가 다단으로 배치 고정되어 있고, 이 회전날개(10)와 교대로 고정 날개(31)가 다단으로 배치 고정되어 있다.

또, 이 각 단의 고정 날개(31)는, 그 극간이 소정의 거리로 설정되어 있고, 펌프 케이스(1)의 파이프 지름 방향에 위치 결정 고정되어 있다.

이 각 단의 고정 날개(31)의 극간 설정과 지름 방향 위치 결정은, 펌프 케이스(1)의 내주측에 다단으로 단적되어 설치된 링형상의 스페이서(60)를 통해 행해지고 있다.

이 스페이서(60)에 있어서는, 펌프 조립공정에서의 스페이서 단적 작업시에 있어서의 스페이서(60)의 옆으로 어긋남 방지나, 상하단의 스페이서(60, 60)를 똑같이 펌프 케이스(1)의 파이프 지름 방향으로 위치 결정 가능하게 하기 위해, 스페이서(60)를 단적 설치한 상태로 상하의 스페이서(60, 60)끼리 끼워 맞춰지는 구조로 되어 있다.

구체적으로는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 각 스페이서(60)의 내외 양 주면(周面)에 단부(61a, 61b)를 형성함과 동시에, 위쪽의 스페이서 내주면의 단부(61a)와 아래 쪽의 스페이서 외주면의 단부(61b)가 서로 끼워 맞추는 단적 끼워 맞춤 구조가 이 스페이서(60)에 채용되어 있다.

이와 같이 구성된 진공 펌프의 동작 설명을 하면, 우선, 가스 배기구(3)에 접속되는, 도시하지 않은 보조 펌프를 작동시켜 챔버(14) 내를 어느 정도의 진공 상태로 한 후, 구동 모터(8)를 동작시키면, 로터축(7)과 이것에 연결된 로터(9) 및 회전날개(10)가 고속 회전한다.

그리고, 고속 회전하고 있는 최상단의 회전날개(10)가 가스 흡기구(2)로부터 입사한 가스분자에 하향 방향의 운동량을 부여하고, 이 하향 방향의 운동량을 갖는 가스 분자가 고정 날개(31)에 안내되고, 다음 단의 회전날개(10)측으로 이송된다. 이상의 가스 분자로의 운동량의 부여와 이송 동작이 반복되어 다단으로 행해짐으로써, 가스 흡기구(2) 측의 가스 분자가 로터(9) 하부측의 나사 고정자(12)의 안쪽으로 차례차례 이행하여 배기된다. 즉, 이러한 가스 분자의 배기의 동작을 회전날개(10)와 고정 날개(31)와의 상호작용에 의해 행한다.

또한, 상기와 같은 분자 배기 동작에 의해 로터(9) 하부측의 나사 고정자(12)에 도달한 가스 분자는, 회전하는 로터(9)와 나사 고정자(12)의 안쪽에 형성된 나사홈(13)과의 상호작용에 의해, 천이류(遷移流)에서 점성류(粘性流)로 압축되어 가스 배기구(3) 측으로 이송되고, 또한, 이 가스 배기구(3)로부터 도시하지 않은 보조 펌프를 통해 외부로 배기된다.

다음에, 본 발명에 관한 터보 분자 펌프 고정 날개의 일실시 형태에 대하여, 도 3 내지 도 8을 이용하여 설명한다.

본 발명에 관한 터보 분자 펌프 고정 날개(B)는, 2개의 고정 날개 집합체(30)를 맞대어 구성되므로, 이 고정 날개 집합체(30)의 제조 방법의 일실시 형태에 대하여, 우선 설명한다.

우선, 도 3(공정 1)의 도면 중, 점선으로 나타낸 바와 같이, 판재(100)로부터 반링형상 판재(101)를 천공하는 가공이 행해진다(외형 빼기 가공). 이 외형 빼기 가공에 대하여는 펀칭 프레스 가공을 적용할 수 있다.

이 외형 빼기 가공시에, 내림부 단부 형성부(101-1)의 일단에 절취부를 넣는 다. 이로 인해, 상기 및 하기 과정을 거쳐 제조된 고정 날개 집합체(30)를 2개 맞댄 상태에 있어서, 하기에 나타낸 바와 같이 내림부(32)에 공극부(S)가 형성되게 된다.

그 후, 도 4(공정 2)의 도면 중, 점선으로 나타낸 바와 같이, 반링형상 판재(101)에 슬릿(102)을 형성하는 가공이 행해진다(슬릿 빼기 가공). 이 슬릿 빼기 가공에 대하여도 펀칭 프레스 가공을 적용할 수 있다.

여기서, 상기 슬릿(102)에 대하여는, 반링형상 판재(101)의 둘레방향으로 내외 2개와, 같은 반링형상 판재(101)의 지름 방향으로 다수 형성되지만, 이 다수의 지름 방향 슬릿(102－1, 102－1) 간의 판재 부분(103－1)이 최종적으로 도 7(b)에 나타낸 고정 날개(31)가 된다.

또, 상기 내외 2개의 둘레방향 슬릿(102－2, 102－3) 중, 안쪽의 둘레방향 슬릿(102－2)보다 더 안쪽의 판재 부분(103－2) 및 외측의 둘레방향 슬릿(102－3)보다 더 외측의 판재부분(103－3)은, 도 7(b)에 나타낸 바와 같이, 고정 날개(31)(판재부분(103－1))를 지지하는 내림부(32) 및 외림부(33)가 된다. 또한, 고정 날개 집합체(30)는 동일 형상의 고정 날개(31)가 반복 배치되는 구조이므로, 도 4에서는 고정 날개 집합체(30)의 약 1/3만을 나타내고, 그 약 2/3은 생략하고 있다.

다음에, 굽힘성형 가공(공정 3)이 행해진다. 이 굽힘성형 가공에 있어서는, 상기와 같은 지름 방향 슬릿(102－1, 102－1) 간의 판재부분(103－1)을, 도 5에 나타낸 바와 같이, 일정의 앙각(θ), 즉 기체 분자의 배기에 최적인 각도로 상향으로 세워 올리도록 굽힘가공한다.

이러한 굽힘성형 가공에 대하여는, 예를 들어, 도 6에 나타낸 프레스 굽힘가공에 의해 행할 수 있다. 동도의 프레스 굽힘가공은, 상하의 펀치(200, 201)의 대향면(200a, 201a)을 고정 날개(31)의 앙각(θ)에 대응하여 경사한 프레스면으로 하고, 이 프레스면에서 세로방향 슬릿(102－1, 102－1)간의 판재부분(103－1)을 도 6에 기재되어 있는 바와 같이, (a), (b), (c)의 순서로 양면측에서 프레스하는 방식의 굽힘가공이다.

이상과 같은 외형 빼기 가공(공정 1), 슬릿 빼기 가공(공정 2), 굽힘성형 가공(공정 3)이 완료되면, 도 7(b)에 나타낸 바와 같은 고정 날개(31)가 방사형상으로 복수 일체로 배치된 상태로 얻어지고, 이 복수의 고정 날개(31, 31...)의 일체품이 본 실시 형태에 있어서의 고정 날개 집합체(30)이다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 상기 과정을 거쳐 제조된 고정 날개 집합체(30)의 내림부 단부(32a)의 일단이 맞댐 라인(L)에 대하여 둘레방향으로 짧게 형성되어 있다.

이러한 구조로 함으로써, 이 고정 날개 집합체(30)를 2개 맞댄 상태에 있어서 내림부(32)에 공극부(S)가 형성되게 되고, 상기한 내림부(32)에 있어서의 겹침이나 휨을 방지할 수 있고, 터보 분자 펌프 고정 날개(B)의 파손의 저감을 도모할 수 있게 된다.

다음에, 이와 같이 제조된 고정 날개 집합체(30)를 진공 펌프에 배치하는 방법의 일실시 형태에 대하여 도 1, 도 7 및 도 8을 이용하여 설명한다. 또한, 도 7은 종래와 같이, 고정 날개 집합체(30)를 2개 맞대어 링형상의 터보 분자 펌프 고 정 날개(B)가 형성되는 공정을 나타낸 도면이며, 도 8은, 도 7의 A부 및 B부, 즉, 고정 날개 집합체(30)의 맞댐부의 확대도이다.

이 제조된 고정 날개 집합체(30) 중의 2개를 이용하여, 로터(9)에 일체적 또한, 링형상으로 다단으로 다수 형성된 회전날개(10)의 각 단의 사이에, 로터(9)를 끼워 넣도록 하여 각 고정 날개 집합체(30)를 양측으로부터 삽입된 상태로 진공 펌프 내에 배치한다.

또, 이 삽입되어 배치되었을 때의 각 고정 날개 집합체(30)의 맞댐 방법은, 종래와 같이, 도 7(a),(b)와 같은 방법이다. 또한, 이 맞대었을 때에 링형상이 되도록 각 고정 날개 집합체(30)의 위치 결정을 행하는 점에 있어서도 종래와 같고, 바깥쪽에서 눈으로 확인할 수 있는 외림부 단부(33a)의 맞댐 상태만으로 행한다.

그러나, 본 발명에 있어서는, 맞대어진 각 고정 날개 집합체(30)에는, 상기한 외형 빼기 가공 시에, 도 3에 나타낸 바와 같이, 내림부 단부 형성부(101－1)의 일단에 절취부가 들어가 있으므로, 도 8에 나타낸 바와 같이, 각 고정 날개 집합체(30)의 내림부 단부(32a)의 일단은, 맞댐 라인(L)에 대하여 둘레방향으로 짧게 형성되어 있다.

따라서, 본 발명에 있어서는, 도 7(a)와 같이, 이 고정 날개 집합체(30)가 맞대어졌을 때에, 도 7(a)의 A부 및 B부, 즉, 고정 날개 집합체(30)의 맞댐부에는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 내림부(32)에 공극부(S)가 형성되게 된다.

이와 같이, 본 발명에 있어서의 터보 분자 펌프 고정 날개(B)의 내림부(32)에는 공극부(S)가 형성되어 있으므로, 각 고정 날개 집합체(30)의 위치 결정을, 외 림부 단부(33a)의 맞댐 상태만을 눈으로 확인하고, 내림부 단부(32a)의 맞댐 상태를 전혀 눈으로 확인하지 않고 행했다 하더라도, 각 고정 날개 집합체(30)의 내림부 단부(32a)끼리 충돌하지 않고, 내림부 단부(32a)끼리의 겹침이나 휨이 생기지 않는다.

또한, 이 공극부(S)는 내림부 단부(32a)에 상기와 같은 절취부를 만듦으로써 형성되지만, 이 절취부는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 내림부(32)의 절취 종단측 단부(32a－2)보다 내림부(32)의 잘라 세움측 단부(32a－1)에 형성하는 것이 바람직하다.

절취 종단측 단부(32a－2)에 절취부를 넣으면, 내림부(32)가 고정 날개(31)를 유지하는 부분이 깎여져 버리고, 고정 날개(31)의 유지 강도가 떨어질 우려가 있기 때문이다.

또, 이 공극부(S)는 너무 넓으면 안정성을 해치고, 터보 분자 펌프 고정 날개(B)가 회전할 때에 흔들리는 원인도 되므로, 고정 날개 집합체(30)를 2개 맞댄 상태에 있어서 겹침이나 휨을 일으키지 않을 정도의 간격이면 되고, 본 출원인은, 이 공극부(S)는 0.3~0.7㎜인 것이 바람직하고, 보다 바람직한 것은, 0.5㎜인 것을 실험에 의해 확인했다.

본 발명에 있어서는, 상기와 같이, 고정 날개 집합체를 2개 맞댄 상태로 내림부에는 공극부가 형성되는 구성을 채용했다. 이 때문에, 터보 분자 펌프 고정 날개를 진공 펌프 내에 배치할 때에 내림부의 겹침이나 휨의 발생을 방지할 수 있 게 되므로, 고정 날개의 파손을 미연에 방지할 수 있고, 고정 날개의 파손의 저감을 도모할 수 있는 터보 분자 펌프 고정 날개를 얻을 수 있다.

Claims (4)

1. 방사형상으로 나열하여 배치된 복수의 고정 날개를 내림(rim)부와 외림부에서 일체로 연결하여 이루어진 구조의 반링형상의 고정 날개 집합체를 2개 맞대어 이루어진 링형상의 터보 분자 펌프 고정 날개로서,

   상기 터보 분자 펌프 고정 날개는,

   상기 고정 날개 집합체를 2개 맞댄 상태에서 상기 내림부 또는 상기 외림부에는 공극부가 형성되어 있고,

   상기 공극부는, 상기 고정 날개 집합체의 내림부 단부 또는 외림부 단부의 적어도 일단(一端)을, 이 고정 날개 집합체를 2개 맞대어 형성되는 맞댐 라인보다 둘레방향에 대하여 짧게 함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 터보 분자 펌프 고정 날개.
2. 청구항 1에 있어서,

   상기 공극부는, 그 둘레 방향의 길이가 0.3㎜~0.7㎜인 것을 특징으로 하는 터보 분자 펌프 고정 날개.
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 내림부 단부 또는 상기 외림부 단부는, 상기 내림부의 잘라 세움측 단부 또는 상기 외림부의 잘라 세움측 단부인 것을 특징으로 하는 터보 분자 펌프 고정 날개.
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 터보 분자 펌프 고정 날개를 구비한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.

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